KR19980040062A - 액튜에이티드 미러 어레이를 이용한 광학적 투사 시스템 - Google Patents

Abstract

액튜에이티드 미러 어레이(AMA) 광 변조기를 이용하는 광학적 투사 시스템이 개시되어 있다. 광학적 투사 시스템은 광선을 발생시키기 위한 광원, 상기 광선의 플럭스를 집중시키며, 화상을 형성하는 광선의 양을 결정하는 소오스 스톱, 상기 소오스 스톱을 통과하는 광선의 세기를 변조하여 스크린 상에 투영하기 위한 AMA 광 변조기, 및 상기 소오스 스톱보다 큰 크기를 가지며 상기 AMA 광 변조기에 의해 변조된 광선의 플럭스를 집중시키기 위한 프로젝션 스톱을 구비한다. 프로젝션 스톱이 소오스 스톱보다 크게 설계되므로, 소오스 스톱의 이미지가 광 손실 없이 프로젝션 스톱을 통과함으로써 고 휘도의 화면을 구현할 수 있다.

Description

액튜에이티드 미러 어레이를 이용한 광학적 투사 시스템

본 발명은 광학적 투사 시스템에 관한 것으로, 특히 액튜에이티드 미러 어레이를 광 변조기로 사용하는 광학적 투사 시스템에 있어서 스크린 상에서의 휘도를 향상시킬 수 있는 광학적 투사 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 광학 에너지(Optical energy)를 스크린 상에 투영하기 위한 장치인 공간적인 광 변조기(Spatial light modulator)는 광 통신, 화상 처리, 및 정보 디스플레이 장치와 같은 다양한 분야에 응용될 수 있다. 통상적으로 이러한 장치들은 광학 에너지를 스크린 상에 표시하는 방법에 따라 직시형 화상 표시 장치(Direct-view image display device)와 투사형 화상 표시 장치(Projection-type image display device)로 구분된다.

직시형 화상 표시 장치의 예로서는 CRT(Cathode Ray Tube)를 들 수 있는데, 이러한 CRT 장치는 소위 브라운관으로 불리는 것으로서 화질은 우수하나 화면의 대형화에 따라 그 중량과 용적이 증가하여 제조 비용이 상승하게 되는 문제가 있다.

투사형 화상 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display : 이하 LCD라 칭함), 디포머블 미러 어레이(Deformable Mirror Device; 이하 DMD라 칭함), 및 액튜에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Array; 이하 AMA라 칭함)를 들 수 있다. 이러한 투사형 화상 표시 장치는 다시 그들의 광학적 특성에 따라 2개의 그룹으로 나뉠 수 있다. 즉, LCD와 같은 장치는 전송 광 변조기(Transmissive spatial light modulators)로 분류될 수 있는데 반하여, DMD 및 AMA는 반사 광 변조기(Reflective spatial light modulators)로 분류될 수 있다.

LCD와 같은 전송 광 변조기는 광학적 구조가 매우 간단하므로, 얇게 형성하여 중량을 가볍게 할 수 있으며 용적을 줄이는 것이 가능하다. 그러나, 빛의 극성으로 인하여 광 효율이 낮으며, 액정 재료에 고유하게 존재하는 문제, 예를 들면 응답 속도가 느리고 그 내부가 과열되기 쉬운 단점이 있다. 또한, 현존하는 전송 광 변조기의 최대 광 효율은 1 내지 2 % 범위로 한정되며, 수용 가능한 디스플레이 품질을 제공하기 위해서 암실 조건을 필요로 한다.

DMD 및 AMA와 같은 광 변조기는 전술한 LCD 타입의 광 변조기가 갖고 있는 문제점들을 해결하기 위하여 개발되었다. DMD는 5％ 정도의 비교적 양호한 광 효율을 나타내지만, DMD에 채용된 힌지 구조물에 의해서 심각한 피로 문제가 발생한다. 또한, 매우 복잡하고 값비싼 구동 회로가 요구된다는 단점이 있다.

이에 비해서, AMA는 압전식으로 구동하는 미러 어레이로서, 10％ 이상의 광효율을 제공한다. AMA 광 변조기에서, 각각의 액튜에이터는 인가되는 전기적인 화상 신호 및 바이어스 전압에 의하여 발생되는 전계에 따라 변형을 일으킨다. 상기 액튜에이터가 변형을 일으킬 때, 상기 액튜에이터의 상부에 장착된 각각의 미러들이 경사지게 된다. 따라서, 상기 경사진 미러들은 광원으로 부터 입사된 빛을 소정의 각도로 반사시킬 수 있게 된다. 이러한 AMA 광 변조기는 그 구조와 동작 원리가 간단하며, LCD나 DMD 등에 비해 높은 광 효율을 얻을 수 있다. 또한, 보통의 실온 광 조건 하에서 밝고 선명한 화상을 제공하기에 충분한 콘트라스트(Contrast)를 제공한다. 더욱이, 입사되는 빛의 극성에 영향을 받지 않을 뿐만 아니라, 반사되는 빛의 극성에도 영향을 미치지 않는다. 또한, AMA의 반사 특성은 온도에 상대적으로 덜 민감하기 때문에, 고전력의 광원에 의해 쉽게 영향을 받는 다른 장치들에 비해서 스크린의 밝기를 향상시킬 수 있다는 잇점을 갖는다.

이러한 AMA 장치는 크게 벌크형(Bulk Type)과 박막형(Thin Film Type)으로 구분된다. 상기 벌크형 AMA는 액튜에이터들을 쏘잉 방법에 의하여 분리하여야 하므로 설계 및 제조에 있어서 높은 정밀도가 요구되며, 변형부의 응답 속도가 느린 단점이 있다. 따라서, 최근에는 반도체 제조 공정을 이용하여 제조할 수 있는 박막형 AMA (이하 TFAMA라 칭함)가 주로 사용된다. 예를 들면, 본 출원인이 대한민국 특허청에 특허출원한 특허출원 제95-13353호(발명의 명칭 : 광로 조절 장치의 제조 방법)에 이러한 TFAMA가 개시되어 있다.

TFAMA는 반도체 산업 분야에서 널리 알려진 박막 공정을 이용하여 제조된다. TFAMA는 보통의 실내 조명 조건 하에서 디지탈 화상을 고 휘도(High Brightness)와 고 콘트라스트(High Contrast)로 디스플레이 하기에 충분한 빛을 스크린상에 전송하기 위하여 개발된 것이다. TFAMA는 100μ-100μ 크기의 현미경적인 거울들과 관련하여 박막 압전 액튜에이터(thin film piezo-electric actuators)를 이용하는 반사형 광 모듈레이터이다. TFAMA는 고 콘트라스트를 위한 향상된 경사각, 고 휘도를 위한 충분한 광효율 및 단일 패널로 이루어진 미러의 300,000 개의 화소(Pixel)에 결쳐서 대규모 집적의 균등도를 갖도록 개발되어 왔다. TFAMA는 각각 적색, 녹색 및 청색을 나타내는 640×480 화소의 패널들로 구성된다. TFAMA의 개별적인 화소의 크기는 예를 들어 100μm×100μm 이다. 이러한 화소의 크기는 고화질 TV에 요구되는 해상도를 만족시키기 위해서 50μm×50μm 로 쉽게 축소할 수 있다. 일반적으로, 단일 TFAMA 모듈을 만들기 위해서 4인치의 실리콘 웨이퍼 상에 640×480 화소들이 조립된다. 다중의 TFAMA 모듈은 양호한 생산성 및 낮은 생산비를 위해서 필요한 거울 화소 크기로 축소한 6인치 또는 8인치의 웨이퍼 상에 조립될 수 있다. 화소들은 광효율을 높이도록 거울 표면적을 최대화하기 위해서 캔틸레버(Cantilever) 구조물로 고안된다.

도 1은 본 출원인의 선행 출원에 기재된 TFAMA 장치의 평면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 상기 TFAMA 장치는 액티브 매트릭스(1)와 상기 액티브 매트릭스(1)의 상부에 설치된 캔틸레버 구조의 액튜에이터(2)로 구성된다. 상기 액티브 매트릭스(1)는 실리콘(Si) 등의 반도체로 구성되며, 내부에 M×N (M, N은 정수)개의 MOS 트랜지스터(도시되지 않음)가 내장되어 있다. 상기 액튜에이터(2)는 멤브레인층, 신호 전극용 하부 전극, 압전층, 그리고 공통 전극으로 사용되며 그 일부가 입사되는 광선을 반사하는 미러로 작용하는 상부 전극으로 구성된다. 상기 액튜에이터(2)는 그 중앙부를 중심으로 일측에는 사각형 형상의 오목한 부분이 형성되어 있으며, 타측에는 상기 오목한 부분에 대응하는 사각형 형상의 돌출부가 형성된다. 상기 액튜에이터(2)의 오목한 부분에 인접하는 액튜에이터의 돌출부가 끼워지고, 상기 액튜에이터(2)의 돌출부가 인접하는 액튜에이터의 오목한 부분에 끼워진다.

상술한 구조를 갖는 TFAMA 광 변조기를 이용하는 종래의 광학적 투사 시스템이 도 2에 도시되어 있다.

도 2를 참조하면, 종래의 AMA 투사 시스템(10)은 광선을 방출하기 위한 170W 내지 250W의 할로겐 금속 램프(Metal halide lamp)(11), 반사기(Reflector)(15), 소오스 렌즈(12), 소오스 스톱(13), 소오스 미러(14), 모듈레이션 렌즈(16), AMA 광 변조기(18), 프로젝션 스톱(20), 및 프로젝션 렌즈(22)를 포함한다.

종래의 AMA 투사 시스템(10)의 동작 원리를 간단히 설명하면 다음과 같다.

먼저, AMA 투사 시스템(10)를 구동시키면, 할로겐 금속 램프(11)로 부터 방출되는 광선이 반사기(15)에 의해 반사된 후 소오스 렌즈(12)에 의해 평행광으로 소오스 스톱(13)의 개구를 통과하여 소오스 미러(14) 상에 조사된다. 상기 소오스 미러(14)로 부터 반사된 광선은 그 경로가 1차적으로 변경된 후, 모듈레이션 렌즈(15)에 입사된다. 상기 모듈레이션 렌즈(15)는 소오스 스톱(13)의 이미지가 프로젝션 스톱(20)에 1:1로 대응되도록 하기 위하여, 상기 소오스 스톱(13)을 통과한 광선을 평행광으로 AMA 광 변조기(18) 상에 조사한다. AMA 광 변조기(18)의 미러는 그 아래에 구비된 압전 액튜에이터에 인가된 전기 신호에 따라서 액튜에이팅되어 프로젝션 스톱(20) 상에 조사된다. 프로젝션 스톱(20)의 개구를 통과한 광선은 프로젝션 렌즈(22)를 통해 스크린 상에 투사됨으로써 화상을 형성한다. 이때, 상기 미러로 부터 반사되는 광선의 경로는 프로젝션 스톱(20)의 개구를 통과하는 광선의 세기를 결정한다. 즉, 프로젝션 스톱(20)의 개구를 통과하는 광선의 플럭스는 프로젝션 스톱(20)에 대한 AMA 광 변조기(18)의 미러의 방향에 의해서 제어된다.

도 3a 및 3b는 전압을 인가하지 않을 경우와 전압을 인가할 경우, 소오스 스톱의 이미지와 프로젝션 스톱과의 관계를 설명하기 위한 개략도들이다.

도 3a를 참조하면, 상기 AMA 광 변조기(18)에 전압을 인가하지 않을 경우 (즉, 전압 OFF시), AMA 광 변조기(18)의 각 미러들의 경사각(Tilting angle)이 제로(0°)가 된다. 그 결과, AMA 광 변조기(18)로 조사된 소오스 스톱의 이미지(13a)가 그대로 상기 프로젝션 스톱(20)에서 벗어나서 상을 맺게 된다. 이때, 소오스 스톱(13)과 프로젝션 스톱(20)은 동일한 크기로 형성되어 있으므로, 소오스 스톱의 이미지(13a)는 프로젝션 스톱(20)에 1:1로 대응되게 된다.

도 3b를 참조하면, 상기 AMA 광 변조기(18)에 전압을 인가할 경우, AMA 광 변조기(18)의 미러가 기울어지게 된다. 그 결과, AMA 광 변조기(18) 상에 조사된 광선이 상기 미러에 의해 반사되어 프로젝션 스톱(20)의 개구를 통과하도록 조준된다. 이때, 도 1에 도시된 바와 같은 구조를 갖는 AMA 광 변조기는 상부 전극의 일부만이 미러로 사용되기 때문에 (도 1의 A 부분), 변조되는 소오스 스톱의 이미지(13a)가 상하 및 좌우로 퍼지게 된다. 소오스 스톱(13)과 프로젝션 스톱(20)은 동일한 크기로 형성되어 있으므로, 소오스 스톱의 이미지(13a)가 프로젝션 스톱(20)보다 커지게 된다. 따라서, 프로젝션 스톱(20)과 소오스 스톱 이미지(13a)의 차이에 해당하는 만큼의 광 손실 (도 3b의 빗금친 부분 참조)이 발생하여, 스크린 상에서의 휘도가 감소되는 문제가 초래된다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 스크린 상에서 휘도를 향상시킬 수 있는 AMA 광 변조기를 사용하는 광학적 투사 시스템을 제공하는데 있다.

도 1은 본 출원인의 선행 기술에 기재된 박막형 액튜에이티드 미러 어레이 장치의 평면도이다.

도 2는 종래의 액튜에이티드 미러 어레이 투사 시스템을 나타내는 개략도이다.

도 3a 및 3b는 도 2의 투사 시스템에 있어서, 전압을 인가하지 않을 경우와 전압을 인가할 경우, 소오스 스톱의 이미지와 프로젝션 스톱과의 관계를 설명하기 위한 개략도들이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 액튜에이티드 미러 어레이 투사 시스템을 나타내는 개략도이다.

도 5는 도 4의 투사 시스템에 사용되는 소오스 스톱과 프로젝션 스톱을 나타내는 개략도이다.

도 6a 및 6b는 도 4의 투사 시스템에 있어서, 전압을 인가하지 않을 경우와 전압을 인가할 경우, 소오스 스톱의 이미지와 프로젝션 스톱과의 관계를 설명하기 위한 개략도들이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,100 ... AMA 투사 시스템11,111 ... 램프

12,112 ... 소오스 렌즈13,113 ... 소오스 스톱

14,114 ... 소오스 미러15,115 ... 반사기

16,116 ... 모듈레이션 렌즈18,118 ... AMA 광 변조기

20,120 ... 프로젝션 스톱22,122 ... 프로젝션 렌즈

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

광선을 발생시키기 위한 광원;

상기 광선의 플럭스를 집중시키며, 화상을 형성하는 광선의 양을 결정하는 소오스 스톱;

상기 소오스 스톱을 통과하는 광선의 세기를 변조하여 스크린 상에 투영하기 위한 AMA 광 변조기; 및

상기 소오스 스톱보다 큰 크기를 가지며, 상기 AMA 광 변조기에 의해 변조된 광선의 플럭스를 집중시키기 위한 프로젝션 스톱을 구비하는 것을 특징으로 하는 광학적 투사 시스템을 제공한다.

전술한 바와 같이 본 발명은, 소오스 스톱과 프로젝션 스톱의 크기를 서로 다르게 설계한다. 즉, 프로젝션 스톱을 소오스 스톱보다 크게 만들어서 AMA 광 변조기의 미러에 의해 상하 좌우로 퍼지면서 반사되는 소오스 스톱의 이미지가 광 손실 없이 프로젝션 스톱을 통과하도록 한다.

따라서, 본 발명에 의한 광학적 투사 시스템에 의하면, 소오스 스톱의 이미지가 광 손실 없이 프로젝션 스톱을 통과하므로, 스크린에 도달하는 광량이 증가되어 고 휘도의 화면을 구현할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 AMA 광 변조기를 사용하는 광학적 투사 시스템을 나타내는 개략도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 AMA 투사 시스템(100)은 광선을 방출하기 위한 램프(111), 소오스 렌즈(112), 소오스 스톱(113), 소오스 미러(114), 반사기(115), 모듈레이션 렌즈(116), AMA 광 변조기(118), 프로젝션 스톱(120), 및 프로젝션 렌즈(122)를 포함한다.

광선을 방출하기 위한 램프(111)는 바람직하게는, 170W 내지 250W의 할로겐 금속 램프와 같은 아크 램프로서 스펙트럼에서 장파장의 적외선(LWIR) 내지 자외선(UV)을 방출한다. 반사기(115)는 소오스 렌즈(112)에 대해 반대 방향으로 램프(111)로 부터 방출되는 광선을 반사시켜 다시 소오스 렌즈(112)로 향하게 하는 역할을 한다.

소오스 렌즈(112)는 램프(111)로 부터 방출되는 광선을 평행광으로 만들어 소오스 스톱(113)에 조사시킨다. 소오스 스톱(113)은 광학적으로 불투명한 부재이며, 광선을 통과시키도록 형성된 개구를 갖는다. 상기 소오스 스톱(113)은 화상을 형성하는 광선의 양을 결정한다.

모듈레이션 렌즈(116)는 상기 소오스 스톱(113)의 이미지가 프로젝션 스톱(120)에 1:1로 대응되도록 하기 위하여, 상기 소오스 스톱(113)을 통과한 광선을 광 손실 없이 AMA 광 변조기(118)로 조사하는 역할을 한다.

AMA 광 변조기(118)는 조사된 광선을 반사시키기 위한 다수의 미러를 포함하며, 상기 미러는 그 아래에 구비된 압전 액튜에이터에 인가되는 전기 신호에 따라서 광선의 세기를 변조한다.

프로젝션 스톱(120)은 광학적으로 불투명한 부재이며, 광학적으로 반사면인 전면 및 광선을 통과시키도록 형성된 개구를 구비한다. 바람직하게는, 상기 개구는 핀홀 또는 슬릿이다. 프로젝션 렌즈(122)는 프로젝션 스톱(120)의 개구를 통과한 광선을 스크린(도시되지 않음) 상에 투사하여 그에 상응되는 화상을 표시하는 기능을 수행한다.

이하, 상술한 구조를 갖는 본 발명에 따른 AMA 투사 시스템(100)의 작동 원리를 보다 상세히 설명한다.

먼저, AMA 투사 시스템(100)를 구동시키면, 할로겐 금속 램프(111)로 부터 방출된 광선들이 소오스 렌즈(112)를 통해 평행광으로 소오스 스톱(113) 상에 조사된다. 상기 소오스 스톱(113)의 개구를 통과한 광선은 모듈레이션 렌즈부(116)에 의해 평행광으로 AMA 광 변조기(118)에 조사된다. 상기 AMA 광변조기(118)의 미러는 그 아래에 구비된 압전 액튜에이터에 인가된 전기 신호에 따라서 액튜에이팅되어 프로젝션 스톱(120) 상에 조사된다. 프로젝션 스톱(120)의 개구를 통과한 광선은 프로젝션 렌즈(122)를 통해 스크린 상에 투사됨으로써 화상을 형성한다. 이때, 상기 미러로 부터 반사되는 광선의 경로는 프로젝션 스톱(120)의 개구를 통과하는 광선의 세기를 결정한다. 즉, 프로젝션 스톱(120)의 개구를 통과하는 광선의 플럭스는 프로젝션 스톱(120)에 대한 AMA 광 변조기(118)의 미러의 방향에 의해서 제어된다.

여기서, 본 발명의 AMA 투사 시스템(100)에 사용되는 소오스 스톱(113)과 프로젝션 스톱(120)은 도 5에 도시된 바와 같이 그 크기가 서로 다르게 설계된다. 즉, 프로젝션 스톱(120)이 소오스 스톱(113)보다 크게 설계된다. 이와 같이 설계된 소오스 스톱(113)의 이미지와 프로젝션 스톱(120)과의 관계를 도 6a 및 6b를 참조하여 설명한다.

도 6a를 참조하면, 상기 AMA 광 변조기(118)에 전압을 인가하지 않을 경우(즉, 전압 OFF시), AMA 광 변조기(118)의 각 미러들의 경사각이 제로(0°)가 된다. 그 결과, AMA 광 변조기(118)로 조사된 소오스 스톱의 이미지(113a)가 그대로 상기 프로젝션 스톱(120)에서 벗어나서 상을 맺게 된다. 이때, 소오스 스톱(113)과 프로젝션 스톱(120)은 서로 다른 크기로 형성되어 있으므로, 소오스 스톱의 이미지(113a)는 프로젝션 스톱(120)에 1:1로 대응되지 않는다.

도 6b를 참조하면, 상기 AMA 광 변조기(118)에 전압을 인가할 경우, AMA 광 변조기(118)의 미러가 진동하거나 기울어지거나 구부러지게 된다. 그 결과, AMA 광 변조기(118) 상에 조사된 광선이 상기 미러에 의해 반사되어 프로젝션 스톱(120)의 개구를 통과하도록 조준된다. 이때, 도 1에 도시된 바와 같은 구조를 갖는 AMA 광 변조기는 상부 전극의 일부만이 미러로 사용되기 때문에 (도 1의 A 부분), 변조되는 소오스 스톱의 이미지(113a)가 상하 및 좌우로 퍼지게 된다. 그러나, 본 발명에서는 프로젝션 스톱(120)이 소오스 스톱(113)보다 크게 설계되어 있으므로, 소오스 스톱의 이미지(113a)가 광 손실이 거의 없으면서 프로젝션 스톱(120)을 통과하게 된다.

여기서, 도 4는 단판식(Singel panel) AMA 광 변조기를 이용한 단색(Monochrome) 시스템을 예시하였으나, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 의하면, 단판식 AMA 광 변조기에 순차적으로 적색, 녹색 및 청색 광들을 조사시키기 위하여 컬러 휠과 같은 장치를 사용하여 컬러(R,G,B) 화상을 표시하는 단판식 컬러 시스템에 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 의하면, 3판식(Three panel) AMA 광 변조기를 이용하여 컬러 화상을 표시하는 다판식 컬러 시스템에 본 발명을 적용할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명은, 소오스 스톱과 프로젝션 스톱의 크기를 서로 다르게 설계한다. 즉, 프로젝션 스톱을 소오스 스톱보다 크게 만들어서 AMA 광 변조기의 미러에 의해 상하 좌우로 퍼지면서 반사되는 소오스 스톱의 이미지가 광 손실 없이 프로젝션 스톱을 통과하도록 한다.

따라서, 본 발명에 의한 광학적 투사 시스템에 의하면, 소오스 스톱의 이미지가 광 손실 없이 프로젝션 스톱을 통과하므로, 스크린에 도달하는 광량이 증가되어 고 휘도의 화면을 구현할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로 부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할수 있을 것이다.

Claims (3)

1. 광선을 발생시키기 위한 광원(111);

   상기 광선의 플럭스를 집중시키며, 화상을 형성하는 광선의 양을 결정하는 소오스 스톱(113);

   상기 소오스 스톱(113)을 통과하는 광선의 세기를 변조하여 스크린 상에 투영하기 위한 액튜에이티드 미러 어레이 광 변조기(118); 및

   상기 소오스 스톱(113)보다 큰 크기를 가지며, 상기 액튜에이티드 미러 어레이 광 변조기(118)에 의해 변조된 광선의 플럭스를 집중시키기 위한 프로젝션 스톱(120)을 구비하는 것을 특징으로 하는 광학적 투사 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 광원(111)으로 부터 발생되는 광선을 평행광으로 만들어 상기 소오스 스톱(113)으로 향하게 하는 소오스 렌즈(112), 상기 소오스 스톱(113)을 통과한 광선을 평행광으로 상기 액튜에이티드 미러 어레이 광 변조기(118)로 조사하기 위한 모듈레이션 렌즈(116), 및 상기 프로젝션 스톱(120)을 통과한 광선을 스크린 상에 투사하기 위한 프로젝션 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광학적 투사 시스템.
3. 제1항에 있어서, 상기 액튜에이티드 미러 어레이 광 변조기(118)는 화상 신호전압이 인가되는 액티브 매트릭스와 상기 액티브 매트릭스로 부터 화상 신호 전압을 전달받아서 작동하는 액튜에이터를 구비하며, 상기 액튜에이터는 액티브 매트릭스 상에 지지부를 갖고 형성되며 액튜에이터에 안정성을 제공하는 멤브레인층, 멤브레인층 상에 형성되며 신호 전극으로서 기능하는 하부 전극, 하부 전극 상에 형성되며 변형 가능한 압전층, 및 압전층 상에 형성되며 광학 에너지를 반사하는 상부 전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학적 투사 시스템.