KR19980019247A - SAMPLE TRANSPORTING APPARATUS OF VACUUM CHAMBER FOR CONTINUOUS SURFACE TREATMENT - Google Patents

Abstract

본 발명은 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치에 관한 것으로서, 박판상의 시이트와 같은 긴 시료에 대한 연속적인 표면처리를 위하여 그 시료를 진공챔버로 연속투입하고 회수하기 위한 것이다. 개시된 장치는 진공챔버(11)의 투입구(12) 및 배출구(13)에 각각 연결된 유도챔버(16,17)와, 각 유도챔버 내에 복수 배치된 2개의 롤러로 이루어진 감압롤러유니트(18,19), 그리고 각 감압롤러유니트(18,19) 사이에 형성되는 밀폐공간을 개별적으로 배기하도록 설치된 진공펌프(22,23)를 가진다. 시료(7)는 일측의 공급롤(24)로부터 풀리고 일측 유도챔버의 감압롤러유니트를 차례로 통과하여 진공챔버 내부로 연속투입되고 다시 타측의 유도챔버 내의 감압롤러유니트를 경유하여 연속배출되면서 타측의 회수롤에 감겨 회수된다. 이 과정에서 감압롤러유니트는 시료의 이송을 허용하면서 그 주위 및 유도챔버의 내벽을 기밀하게 차단한다. 따라서 진공챔버는 진공이 누설되지 않고 원하는 진공도로 유지될 수 있다. 즉, 시료에 대한 연속적인 표면처리가 가능한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample transfer device of a vacuum chamber for continuous surface treatment, wherein the sample is continuously fed and recovered into a vacuum chamber for continuous surface treatment of a long sample such as a sheet on a sheet. The disclosed apparatus comprises induction chambers 16 and 17 connected to the inlet 12 and outlet 13 of the vacuum chamber 11, respectively, and the reduced pressure roller units 18 and 19 comprising a plurality of rollers disposed in each induction chamber. And vacuum pumps 22 and 23 installed to individually exhaust the sealed spaces formed between the pressure reducing roller units 18 and 19. The sample 7 is unwound from the supply roll 24 on one side, passes through the pressure reducing roller unit of one side induction chamber, and is continuously introduced into the vacuum chamber, and is discharged continuously through the pressure reducing roller unit in the other side induction chamber. It is wound on a roll and recovered. In this process, the pressure reducing roller unit hermetically blocks the inner wall of the surrounding chamber and the guide chamber while allowing the transfer of the sample. Thus, the vacuum chamber can be maintained at a desired degree of vacuum without leakage of the vacuum. That is, continuous surface treatment of the sample is possible.

Description

연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치Sample transfer device of vacuum chamber for continuous surface treatment

본 발명은 판상의 시이트와 같은 피가공물에 대한 연속적인 표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치에 관한 것으로서, 특히 대기중에서 진공챔버로 시료를 연속투입하고 또한 그 역으로 회수하는 과정에서 진공챔버의 진공이 누설되지 않게 잘 밀폐하여 시료에 대한 연속적인 표면처리 공정을 가능하게 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a sample transfer device of a vacuum chamber for continuous surface treatment of a workpiece such as a sheet sheet, and more particularly, to a vacuum chamber in the process of continuously feeding a sample into the vacuum chamber in the atmosphere and vice versa. The present invention relates to a sample transfer device of a vacuum chamber for continuous surface treatment that seals well so that a vacuum does not leak and enables a continuous surface treatment process for a sample.

진공분위기에서 행하는 박막코팅이나 세척 등의 표면처리에 있어서는 진공챔버를 적절한 진공압력으로 유지하는 것이 아주 중요하다. 또한 연속적인 표면처리 공정을 가능하게 하기 위하여는 외부(대기)에서 진공챔버 내부로 시료를 투입하고 휘수하는 과정에서 진공챔버의 진공이 파괴되는 일이 없이 시료를 연속적으로 이송할 수 있는 수단이 요구된다.In the surface treatment such as thin film coating or washing performed in a vacuum atmosphere, it is very important to maintain the vacuum chamber at an appropriate vacuum pressure. In addition, in order to enable a continuous surface treatment process, a means for continuously transporting a sample without breaking the vacuum in the vacuum chamber is required in the process of inserting and evacuating the sample from the outside (atmosphere) into the vacuum chamber. do.

이와 관련하여 종래의 진공챔버에 시료를 투입하는 과정을 도 1을 참조하여 설명하면, 종래에는 메인챔버(1)에 조그마한 보조챔버(2)를 연결하고 그 양 챔버(1,2)의 사이를 개폐하는 게이트밸브(gate valve; 3)를 설치하여 왔다. 즉, 시료(4)를 곧바로 메인챔버(1)에 넣지 않고, 게이트밸브(3)를 닫은 상태에서 보조챔버(2)에 넣고 도시하지 않은 진공펌프를 작동시켜서 그 보조챔버(2)를 진공상태로 만든 다음 게이트밸브(3)를 열고서 보조챔버(2)에 있는 시료(4)를 메인챔버(1)로 이동시키고, 게이트밸브(3)를 다시 닫고 작업을 수행하는 것이다. 이와 같이 종래에는 메인챔버(1)의 진공상태를 유지시키기 위해 보조챔버(2)와 게이트밸브(3)를 구비하였으나 이러한 구조로는 시이트와 같은 길이가 긴 시료를 연속적으로 투입할 수 없게 된다.In this regard, a process of injecting a sample into a conventional vacuum chamber will be described with reference to FIG. 1. In the related art, a small auxiliary chamber 2 is connected to the main chamber 1, and the two chambers 1 and 2 are connected to each other. Gate valves 3 that open and close have been installed. That is, instead of putting the sample 4 directly into the main chamber 1, the gate valve 3 is closed and the auxiliary chamber 2 is operated by operating a vacuum pump (not shown) to close the auxiliary chamber 2 in a vacuum state. Then, open the gate valve (3) to move the sample (4) in the auxiliary chamber (2) to the main chamber (1), and close the gate valve (3) to perform the operation. As described above, although the auxiliary chamber 2 and the gate valve 3 are provided in order to maintain the vacuum state of the main chamber 1, such a structure prevents continuous input of a long sample such as a sheet.

요컨대, 얇은 두께와 일정한 폭으로 연속하여 압출 성형되는 금속제 또는 고분자중합 수지제의 시이트(sheet)나 필름(film)과 같은 판상의 피가공물(이하 시료라 함)에 대한 표면처리 공정은 연속하여 수행될 필요가 있는데, 이를 위해 시료를 대기중에서 진공챔버에 연속적으로 투입하고 동시에 그로부터 표면처리 완료된 부분을 연속하여 회수시킬 수 있고 동시에 그러한 과정에서 진공챔버가 대기에 노출됨으로써 내부의 진공상태가 파괴되는 일이 없게 잘 밀폐할 수 있는 수단이 요구되는 것이다.In short, the surface treatment process for a sheet-like workpiece (hereinafter referred to as a sample), such as a sheet or film, made of metal or polymer polymer resin, which is continuously extruded to a thin thickness and a constant width, is performed continuously. For this purpose, the sample can be continuously introduced into the vacuum chamber in the atmosphere and at the same time the surface-treated portion can be recovered continuously, and at the same time, the vacuum chamber inside is destroyed by exposing the vacuum chamber to the atmosphere. There is a need for means that can be sealed well without this.

본 발명의 목적은 길이가 긴 시료의 연속적인 표면처리를 위하여 진공챔버의 진공을 파괴시키지 않고 대기중에서 그 진공챔버로 시료를 연속적으로 삽입하고 배출할 수 있게 이동시킬 수 있는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a vacuum for continuous surface treatment that can be moved to continuously insert and discharge a sample into the vacuum chamber in the air without breaking the vacuum of the vacuum chamber for continuous surface treatment of long samples. It is to provide a sample transfer device of the chamber.

도 1은 종래의 진공챔버에 대한 시료 투입을 설명하기 위해 나타낸 개요도.1 is a schematic diagram for explaining a sample input to a conventional vacuum chamber.

도 2a 내지 2d는 본 발명을 도출하기 위해 시료를 대기중에서 진공챔버로 연속이송시키는 수단에 대한 여러 가지 실시예들을 나타낸 단면도.2A-2D are cross-sectional views of various embodiments of a means for continuously transferring a sample from the atmosphere to a vacuum chamber to derive the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치를 보인 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a sample transfer device of the vacuum chamber for the continuous surface treatment according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치에 사용되는 감압롤러유니트의 각 롤러 구조를 설명하기 위해 발췌한 단면도.4 is a cross-sectional view for explaining each roller structure of the reduced pressure roller unit used in the sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment according to the present invention.

도 5는 도 4를 Ⅴ-Ⅴ선상에 나타낸 단면도.FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG. 4 taken along the line VV. FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawing

7 : 시료 11 : 진공챔버7 sample 11: vacuum chamber

16,17 : 유도관 18,19 : 감압롤러유니트16,17: guide pipe 18,19: pressure reducing roller unit

20,21 : 밀폐공간 22,23 : 진공펌프20,21: Enclosed space 22,23: Vacuum pump

30 : 심재 31 : 탄성층30: core material 31: elastic layer

32 : 표피층 33 : 보호막32: epidermal layer 33: protective film

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 대기중에서 진공챔버로 시료를 연속적으로 투입하고 그로부터 회수하기 위한 는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치를 구성함에 있어서, 진공챔버의 투입구 및 배출구에 각각 연결되어 시료의 연속이송을 안내하기 위한 유도챔버와, 각 유도챔버의 내부에 상하로 상호 가압배치되는 적어도 롤러로써 시료의 양측면을 상호 밀착되게 가압하는 동시에 각각 유도관 내벽면을 밀착하여 회전할 수 있게 지지함과 아울러, 그 유도챔버를 통해서 진공챔버의 투입구 및 배출구가 대기에 노출되지 않도록 차단하는 감압롤러 유니트와, 상기한 롤러와 시료 사이의 회전마찰을 이용하여 시료를 이동시키는 동력수단을 포함하는 것이다.In order to achieve the above object, the present invention is to provide a sample conveying apparatus of a vacuum chamber for continuous surface treatment of the sample to continuously feed the sample into the vacuum chamber in the atmosphere, the inlet and outlet of the vacuum chamber It is connected to each other by guide chambers for guiding the continuous transfer of the sample and at least rollers which are mutually pressurized up and down inside each guide chamber to press the two sides of the sample to be in close contact with each other and to close and rotate the inner wall of each guide tube. And a pressure reducing roller unit for blocking the inlet and outlet of the vacuum chamber from being exposed to the atmosphere through the induction chamber, and a power means for moving the sample using the rotational friction between the roller and the sample. It is to include.

상기한 구성에 있어서, 바람직하게는 상기한 감압롤러 유니트를 각 유도챔버에 간격으로 두고 배치하고, 각 감압롤러 유니트 사이를 각각 진공으로 만드는 수단을 포함하여 다단계 진공을 구현하는 것이다.In the above configuration, preferably, the pressure reducing roller units are disposed at intervals in each of the induction chambers, and means for realizing a multi-stage vacuum including a means for making a vacuum between each of the pressure reducing roller units.

즉, 본 발명은 감압롤러 유니트를 사용하여 시료의 연속이동을 꾀하는 것으로서, 상하 2개의 롤러가 시료의 통해을 허용하면서 공간적으로 기밀을 유지하게 하여 진공챔버를 진공누설시키지 않고 시료를 연속하여 통과시킬 수 있도록 하는 것으로, 그 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.That is, the present invention is to achieve continuous movement of the sample by using a reduced pressure roller unit, the two upper and lower rollers to allow the passage of the sample to maintain the airtight spatially to pass the sample continuously without vacuum leakage vacuum chamber The preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 2d는 본 발명을 도출해 내기 위해 시도된 실시예를 보인 것으로, 이들은 각기 판상 시료를 대기중에서 진공챔버로 연속이동시키는 과정을 나타내고 있다.2A to 2D show an embodiment attempted to derive the present invention, each of which shows a process of continuously moving a plate-like sample into a vacuum chamber in the atmosphere.

도 2a는 탄력있는 재료(flexible material), 예를 들면 실리콘 고무로 제작되는 2개의 탄성체블록(5,5')을 사용한 실시예이다. 이들 탄성체블록(5,5') 각각은 소정 두께와 길이를 가지는 각 블록몸체의 일단을 도시하지 않은 진공챔버와 연결되는 유도챔버(6)의 내면 상하에 각각 고착하여 상호 인접되는 상하 블록의 자유단부 사이로 시료(7)를 통과시키되, 그 각 자유단이 시료(7)의 양측면을 탄력적으로 가압하도록 하여 유도챔버(6) 내부에서 진공챔버를 대기와 기밀하게 차단한다. 또한 탄성체 블록(5,5')의 자유단 사이에 밀착된 시료(7)를 도시하지 않은 외부동력을 사용하여 강제로 당김으로써 그 이송을 꾀한다. 즉, 탄성체블록(5,5')의 자유단과 시료(7) 표면 사이의 미끄럼마찰을 통해 시료(7)의 이동을 허용하는 동시에, 미끄럼 접촉하는 자유단 사이의 기밀을 유지하여 진공의 누설을 방지하도록 시도한 것이다. 여기서 본 발명은 기밀성을 위해 실리콘 고무 등으로 제작한 탄성체블록(5,5')을 사용하게 되었는데, 그 결과 마찰력이 크게 작용하므로 그 마찰력을 이기기 위해서는 큰 동력을 사용하여야 하고, 마찰하는 탄성체블록과 시료의 손상문제가 발생되었다.FIG. 2a shows an embodiment using two elastomer blocks 5, 5 ′ made of a flexible material, for example silicone rubber. Each of these elastic blocks 5, 5 'freely has upper and lower blocks adjacent to each other by fixing one end of each block body having a predetermined thickness and length to upper and lower inner surfaces of the induction chamber 6 connected to a vacuum chamber (not shown). The sample (7) is passed between the ends, each free end is to elastically press the both sides of the sample (7) to close the vacuum chamber inside the induction chamber (6) to airtightly. In addition, the conveyance of the sample 7 in close contact between the free ends of the elastic blocks 5 and 5 'is forcibly pulled by using an external power not shown. That is, while allowing the movement of the sample 7 through the sliding friction between the free end of the elastic block (5, 5 ') and the surface of the sample 7, while maintaining the airtight between the free end of the sliding contact to prevent leakage of vacuum I tried to prevent it. Here, the present invention is to use the elastic block (5, 5 ') made of silicone rubber, etc. for airtightness, the friction force acts as a result, to use the large power to overcome the friction force, and the friction of the elastic block and Sample damage problems have occurred.

이러한 문제를 극복하고자 도 2b와 같이 탄력있는 고무제 롤러(8,8')를 제작하여 유도관(6) 내에서 유도관 내벽과 시료(7)를 밀착하면서 회전되게 설치하였다. 그러나 이러한 고무제 롤러(8,8')는 재료 자체가 강도를 갖지 못하여 축방향으로 긴 원주형의 롤러제작이 곤란하다. 따라서 광폭의 시이트 이송에는 적용하기 곤란한 것이다. 또한 재료특성상 기밀성은 좋으나 여전히 마찰력이 커서 마모등이 문제되었다. 이러한 강도와 마모문제를 해결하기 위한 시도로서 마찰계수가 작고 충분한 강도를 갖는 재료로서 예를 들면 테프론(상품명) 등의 수지제 롤러(9,9)를 제작하였다(도2c). 또다른 시도로서는 강도가 높은 철강 등의 금속제 롤러(10,10')를 제작하였다(도2d). 그러나 수지제 롤러(9,9')나 금속제 롤러(10,10')들은 안정된 기밀을 유지하기 위해 매우 높은 표면조도를 필요로 하여 제작에 어려운 문제를 가진다.In order to overcome this problem, as shown in FIG. 2b, elastic rubber rollers 8 and 8 'were manufactured and installed to rotate while closely contacting the inner wall of the guide tube and the sample 7 in the guide tube 6. However, such rubber rollers 8 and 8 'do not have strength of the material itself, making it difficult to manufacture cylindrical rollers that are long in the axial direction. Therefore, it is difficult to apply to wide sheet conveyance. In addition, the airtightness is good due to the material properties, but the frictional force is still large, causing wear and the like. In an attempt to solve such a strength and abrasion problem, resin rollers 9 and 9 made of, for example, Teflon (trade name) were manufactured as materials having a small friction coefficient and sufficient strength (Fig. 2C). As another attempt, metal rollers 10 and 10 'made of high strength steel and the like were produced (FIG. 2D). However, the resin rollers 9 and 9 'and the metal rollers 10 and 10' require a very high surface roughness in order to maintain stable airtightness and thus have a difficult problem in manufacturing.

이상에서와 같은 시도들을 통해 시료의 연속표면처리를 위한 이송수단으로서 롤러를 사용하되, 각 재료가 가지는 단점을 보완하여 충분한 강도와 탄력 및 마찰력 등을 만족하는 롤러의 제작을 통해 본 발명을 도출하기에 이르렀으며, 그 바람직한 실시예로서 도 3에 도시된 바와 같은 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치를 구현한 것이다.Using the rollers as a conveying means for the continuous surface treatment of the sample through the above attempts, to solve the disadvantages of each material to derive the present invention through the production of rollers satisfying sufficient strength, elasticity, friction, etc. As a preferred embodiment of the present invention, the sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment as shown in FIG. 3 is implemented.

도 3에서 부호 11은 진공챔버로이다. 진공챔버(11)는 양측에 시료(7)가 연속 투입되는 투입구(12)와 연속 배출되는 배출구(13)를 가지며, 일측에 진공펌프(12)가 설치되어 진공상태가 되도록 배기된다. 이 도면에 예시된 진공챔버(11)는 이온도움증착 등의 표면처리를 위한 것으로서, 이온원으로부터 주입된 이온을 방출하는 이온건(ion gun; 15)을 포함하는 도시하지 않은 통상적인 처리수단을 구비한다. 물론 본 발명은 이러한 진공챔버의 처리수단에 국한 되는 것은 아니며 진공분위기에서 행해질 수 있는 어떤 표면처리를 위한 진공챔버에도 적용될 수 있는 것이다.In Fig. 3, reference numeral 11 denotes a vacuum chamber. The vacuum chamber 11 has an inlet 12 through which the sample 7 is continuously introduced and discharge outlets 13 continuously discharged on both sides, and a vacuum pump 12 is installed on one side to evacuate to a vacuum state. The vacuum chamber 11 illustrated in this figure is for surface treatment such as ion assist deposition and the like, and includes conventional treatment means (not shown) including an ion gun 15 for releasing ions injected from an ion source. Equipped. Of course, the present invention is not limited to the processing means of such a vacuum chamber, but may be applied to a vacuum chamber for any surface treatment that may be performed in a vacuum atmosphere.

이러한 진공챔버(11)의 투입구(12)와 배출구(13) 양측에 유도챔버(16,17)가 연결되어 있다. 유도챔버(16,17)에는 2개 1조로 가압된 감압롤러유니트(18,19)가 각각에 4개씩 일정간격을 두고 배치되어 있다. 이들 감압롤러유니트(18,19) 각각은 전술한 바와 같이 유도챔버(16,17)을 각각 밀폐한다. 따라서 이들 감압롤러유니트(18,19)에 의하여 각 사이의 유도챔버(18,19) 내에는 진공챔버(11)와는 별개의 밀폐공간(20,21)이 제공된다. 이들 밀폐공간(20,21)의 일측에는 각 밀폐공간을 진공상태로 유지시키기 위한 진공펌프(22,23)가 설치되어 있다.Induction chambers 16 and 17 are connected to both the inlet 12 and the outlet 13 of the vacuum chamber 11. In the induction chambers 16 and 17, two pressure reducing roller units 18 and 19 pressurized are arranged at regular intervals, four in each. Each of these pressure reducing roller units 18 and 19 seals the induction chambers 16 and 17, respectively, as described above. Therefore, the pressure reducing roller units 18 and 19 provide a closed space 20 and 21 separate from the vacuum chamber 11 in the induction chambers 18 and 19 therebetween. One side of these sealed spaces 20 and 21 is provided with vacuum pumps 22 and 23 for maintaining each sealed space in a vacuum state.

시료(7)는 예를 들면 롤(roll)에 감겨 출하되는 시이트상의 소재를 예로든다. 이것은 일측 공급롤(24)에서 풀려나와 진공챔버(11)의 투입구(12)에 연결된 유도챔버(16) 내의 감압롤러유니트(18)의 각 롤러 사이를 차례로 통과하여 진공챔버(11)로 이동하고, 진공챔버(11)로부터는 그 배출구(13)에 연결된 유도챔버(17) 내의 감압롤러유니트(19)를 차례로 통과하여 타측의 회수롤(25)에 감긴다. 여기서 시료(7)의 연속적인 이동을 위해 모터(26)를 사용하여 그 회수롤(25)을 구동한다. 진공챔버(11) 내의 또다른 롤러유니트(27,28)는 진공챔버(11)에 들어온 시료(7)를 그 표면처리작업 영역에서 지지하기 위한 것이다.The sample 7 exemplifies a sheet-like material which is wound on a roll and shipped, for example. It is released from the one side supply roll 24 and passes through each roller of the pressure reducing roller unit 18 in the induction chamber 16 connected to the inlet 12 of the vacuum chamber 11 in order to move to the vacuum chamber 11 From the vacuum chamber 11, the pressure reducing roller unit 19 in the induction chamber 17 connected to the outlet 13 is sequentially passed and wound around the recovery roll 25 on the other side. In this case, the recovery roll 25 is driven by using the motor 26 for the continuous movement of the sample 7. The other roller units 27 and 28 in the vacuum chamber 11 are for supporting the sample 7 entering the vacuum chamber 11 in its surface treatment working area.

상기한 실시예에 있어서, 대기중에 있는 일측 공급롤(24)에서 시료(7)를 풀어서 진공챔버(11)로 투입시키고자, 그 투입측 유도챔버(16)내의 감압롤러유니트(18)를 차례로 통과시킬 때, 진공펌프(22)를 차례로 작동시켜 감압롤러유니트(18) 각 사이에 형성된 밀폐공간(20)을 순차적으로 진공상태가 되게 배기한다. 바람직하게는 연속배치되는 각 필폐공간(20) 내의 진공압력에 차등을 두어 다단계 진공이 이루어지게 한다. 예를 들면 대기측에서 첫 번째 위치하는 밀폐공간의 진공압력이 10^-1Torr로 유지되도록 배기하고 그 다음은 10^-3Torr, 그다음은 10^-5Torr을 유지하도록 각각 배기하는 것이다. 다음 시료(7)를 진공챔버(11) 내에서의 표면처리 완료후 대기중으로 배출시키는 과정에서는 위의 역순으로 하여 배출측 유도챔버(17)에 있는 감압롤러유니트(19) 사이의 밀폐공간들이 각기 10^-5Torr, 10^-3Torr, 10^-1Torr로 유지되도록 배기한다.In the above-described embodiment, the pressure reducing roller unit 18 in the feeding side induction chamber 16 is sequentially turned on in order to release the sample 7 from the one-side supply roll 24 in the atmosphere and to put it into the vacuum chamber 11. When passing, the vacuum pump 22 is operated in order to exhaust the sealed space 20 formed between each of the pressure reduction roller units 18 in order to be in a vacuum state sequentially. Preferably, a differential pressure is applied to the vacuum pressure in each of the penetrating spaces 20 to be continuously arranged so as to achieve a multi-stage vacuum. For example, the air pressure in the first airtight space in the air is maintained at 10 ^-1 Torr, followed by 10 ^-3 Torr and then 10 ^-5 Torr. In the process of discharging the next sample 7 to the atmosphere after completion of surface treatment in the vacuum chamber 11, the closed spaces between the pressure reducing roller units 19 in the discharge-side induction chamber 17 are respectively reversed in the reverse order. Exhaust is maintained at 10 ^-5 Torr, 10 ^-3 Torr, and 10 ^-1 Torr.

도 4는 상기한 감압롤러유니트(18,19)의 구조를 보인 단면도로서, 전술한 바와 같은 롤러를 구성하는 각 재료가 가지는 단점을 보완하여 효과적으로 진공상태를 유지할 수 있게 개선되어 있다. 개선된 롤러는 그 중심부가 원주형 롤러본체(30)로 되고 그 롤러본체(30) 주위를 두텁게 두른 탄성층(31)과 이 탄성층(31)의 표면에 코팅된 내마모층(32)을 가진다. 롤러본체(30)는 시료(7)의 폭에 대응한 롤러 길이를 고려하여 충분한 강도를 갖도록 강도가 높은 철강재, 예를 들면 스테인레스 304를 사용하여 제작되었다. 탄성층(31)은 자체의 탄력으로 기밀성을 높이기 위해 실리콘고무나 천연 또는 합성고무를 사용한다. 내마모층(32)은 시료(7) 표면과의 마찰을 고려하여 마찰계수가 작고 내마모성이 우수한 합성수지, 예를들면 테프론이나 MoS₂등을 피복하여 된다.4 is a cross-sectional view showing the structure of the pressure reducing roller units 18 and 19 described above, and has been improved to effectively maintain the vacuum state by compensating for the disadvantages of the materials constituting the rollers as described above. The improved roller has an elastic layer 31 whose center portion is a cylindrical roller body 30, which is thickly wrapped around the roller body 30, and a wear-resistant layer 32 coated on the surface of the elastic layer 31. Have The roller body 30 was manufactured using high strength steel, for example, stainless 304, to have sufficient strength in consideration of the roller length corresponding to the width of the sample 7. The elastic layer 31 uses silicone rubber or natural or synthetic rubber to increase airtightness by its elasticity. The wear resistant layer 32 is coated with a synthetic resin having a small friction coefficient and excellent wear resistance, for example, Teflon, MoS _2, etc. in consideration of friction with the surface of the sample 7.

도 4에서 롤러의 내마모층(32)은 또한 유도챔버(16,17)의 내벽과도 마찰하게 되는데, 이때의 마모를 방지하기 위해 그 유챔버(16,17) 내벽에 롤러의 내마모층(32)과 동일한 재료의 보호막(33)을 형성하는 것이다.In FIG. 4 the wear-resistant layer 32 of the roller also rubs against the inner walls of the induction chambers 16 and 17, in which case the wear-resistant layer of the rollers on the inner walls of the oil chambers 16 and 17 to prevent wear. It is to form the protective film 33 of the same material as (32).

다음 도 5는 유도챔버(16,17)에 대한 롤러의 회전지지구조를 보인 것이다. 롤러본체(30)는 유도챔버(16,17)의 양측벽 사이에 회전가능하게 지지되는데, 롤러본체(30)의 양 단부가 그 유도관(16,17)의 양측벽을 관통하여 회전지지되는 다단형상의 저어널부(34)를 가진다. 그 저어널부(34)에 부쉬(35)와 함께 패킹링(36)이 끼워지고, 유도챔버(16,17)의 양측벽 외부로 노출되는 단부는 너트(37)와 볼트(38)를 체결하여 마감된다. 여기서 부쉬(35)와 패킹링(36)은 유도챔버(16,17) 외부의 공기가 저어널부(34) 주위를 통해 그 유도챔버(16,17) 내부로 새어들어가는 것을 방지하기 위한 것이다.Next, Figure 5 shows the rotational support structure of the roller relative to the guide chamber (16, 17). The roller body 30 is rotatably supported between both side walls of the induction chambers 16 and 17, and both ends of the roller body 30 are rotatably supported through both side walls of the induction pipes 16 and 17. It has a multistage journal portion 34. The packing ring 36 is fitted with the bush 35 in the journal portion 34, and the ends exposed to the outside of both side walls of the induction chambers 16 and 17 are tightened with the nut 37 and the bolt 38. Closes. Here, the bush 35 and the packing ring 36 are for preventing air outside the induction chambers 16 and 17 from leaking into the induction chambers 16 and 17 through the journal portion 34.

이와같이 본 발명은, 롤러를 이용하여 진공챔버의 진공을 파괴시키지 않으면서 시료를 연속적으로 이송시킬 수 있게 하고 이를 응용하여 시료의 연속표면처리를 가능케 하는 것으로서, 특히 개선된 롤러로 기밀성을 높이는 동시에 내구성이나 마모문제를 간단히 해결한다. 또한 본 발명에 의하면, 진공챔버의 진공실과 다른 단계적인 밀폐공간으로 만들어 다단진공의 분위기를 조성함으로써 시료이송중 이물질 침투에 의해 어느 한 롤러쌍에 순간적인 틈이 생기는 경우에도 진공의 누설을 극소화할 수 있게 된다. 따라서 본 발명은 진공챔버의 원하는 진공도를 잘 유지할 수 있고 그래서 보다 안정된 진공분위기를 만들어 연속적인 표면처리작업을 가능하게 한다.As described above, the present invention enables the continuous transport of the sample without breaking the vacuum of the vacuum chamber by using the roller and enables the continuous surface treatment of the sample by applying the roller. In particular, the improved roller improves airtightness and durability. Simple wear and tear problems. In addition, according to the present invention, the vacuum chamber of the vacuum chamber is made different from the vacuum chamber to create a multi-stage vacuum atmosphere to minimize the leakage of vacuum even when a momentary gap occurs in any one roller pair due to foreign matter penetration during sample transfer. It becomes possible. Therefore, the present invention can maintain the desired degree of vacuum of the vacuum chamber well, thus making a more stable vacuum atmosphere and enabling continuous surface treatment.

Claims (6)

연속표면처리를 위하여 대기중에서 진공챔버로 시료를 연속적으로 투입하고 회수하는 진공챔버의 시료이송장치에 있어서, 상기한 진공챔버의 투입구 및 배출구에 각각 연결되어 시료의 이송을 안내하기 위한 유도챔버와, 2개의 롤러를 상기한 유도관 내에서 각각 시료의 양측면에서 상호 마주하는 방향으로 밀착시키고 동시에 유도관 내벽면에 각각 밀착시킨 상태로 회전할 수 있게 지지되어 그 유도관 내에서 진공챔버의 시료투입구가 유도관을 통해 대기에 노출되지 않도록 차단하는 감압롤러유니트와, 상기한 롤러와 시료 사이의 회전마찰을 이용하여 시료를 이동시키는 동력수단이 구비된 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.A sample transfer device of a vacuum chamber for continuously feeding and recovering a sample into a vacuum chamber in the air for continuous surface treatment, the sample transfer device comprising: an induction chamber connected to an inlet and an outlet of the vacuum chamber to guide a sample transfer; The two rollers are held in close contact with each other on both sides of the sample in the above-mentioned induction pipe and rotated while being in close contact with the inner wall of the induction pipe, respectively, so that the sample inlet of the vacuum chamber is in the induction pipe. Sample of the vacuum chamber for continuous surface treatment, characterized in that the pressure reducing roller unit for blocking the exposure to the atmosphere through the induction pipe, and the power means for moving the sample using the rotational friction between the roller and the sample Conveying device. 제 1 항에 있어서, 상기한 유도챔버 내에 상기한 감압롤러유니트가 둘 이상 구비되고, 그 둘 이상의 감압롤러유니트 사이에 밀폐되는 적어도 하나의 밀폐공간을 갖는 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.2. The vacuum chamber according to claim 1, wherein at least one pressure reducing roller unit is provided in the induction chamber, and at least one sealed space is sealed between the two or more pressure reducing roller units. Sample transfer device. 제 2 항에 있어서, 상기한 적어도 하나의 밀폐공간을 진공상태로 배기하기 위한 진공펌프가 더 구비된 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.The sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment according to claim 2, further comprising a vacuum pump for evacuating the at least one sealed space in a vacuum state. 제 1 항에 있어서, 상기한 롤러가, 중심부에 위치되어 강도를 보유하는 롤러본체와, 이 롤러본체 주위에 둘러져 탄력을 제공하는 탄성층과, 이 탄성층 표면을 마찰계수가 적은 내마모성 재료로 코팅하여 되는 내마모층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.2. The roller according to claim 1, wherein the roller is located in the center of the roller body for holding strength, an elastic layer wrapped around the roller body to provide elasticity, and the surface of the elastic layer is coated with a wear resistant material having a low coefficient of friction. Sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment, characterized in that consisting of a wear-resistant layer. 제 1 항에 있어서, 상기한 유도챔버 내벽에 상기한 롤러와 마찰하는 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.2. The sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment according to claim 1, wherein a protective film is formed on the inner wall of the induction chamber to friction with the roller. 제 5 항에 있어서, 상기한 보호막이 상기한 롤러의 표면과 동일재질로 된 것을 특징으로 하는 연속표면처리를 위한 진공챔버의 시료이송장치.The sample transfer device of the vacuum chamber for continuous surface treatment according to claim 5, wherein the protective film is made of the same material as the surface of the roller.