KR102647111B1 - 전기분해에 의한 tmah 회수시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면은, 전기분해부; 제1 저장조, 및 상기 제1 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인을 포함하는 제1 부; 및 제2 저장조, 및 상기 제2 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함하는 TMAH 회수시스템을 제공한다.

Description

전기분해에 의한 TMAH 회수시스템{TMAH RECOVERING SYSTEM BY ELECTROLYSIS}
본 발명은 강염기성 유기물 중 하나인 TMAH(Tetramethylammonium hydroxide)를 화학반응 이후에 재사용을 위해 회수하는 TMAH 회수시스템에 관한 것으로, 특히, 전기분해를 통해 고순도의 TMAH를 회수할 수 있도록 하는 전기분해에 의한 TMAH 회수시스템에 관한 것이다.
TMAH(Tetramethylammonium hydroxide)는 강염기성 유기물로, 독성이 강하고 물에 잘 녹는 특징을 가진다. TMAH는 화학반응에서 NaOH와 같은 무기염기를 대체하여 합성반응의 촉매로 사용되고 있으며 NaOH와 달리 유기염기이므로 반응용매가 물이 아닌 화학반응에 효과적인 것으로 알려져 있다.
다만, TMAH는 무기염기에 비해 고가이므로 경제성을 확보하기 위해서는 반응 후 회수하여 재사용하여야 한다. TMAH는 회수과정에서 무기염기와 달리 온도에 따라 분해되고, TMA-염과 같은 부산물이 생성, 누적되는 경향이 있다. TMA-염은 TMAH의 염기 특성을 저하시키므로 장시간 재사용 시 TMA-염을 일부 재생하거나 제거하여야 한다.
TMAH와 TMA-염은 물에 대한 용해도가 유사하므로 일반적인 방법으로 TMA-염을 제거하기는 어렵고, TMA-염을 일부 재생하는 방법으로 Ca(OH)2를 이용하는 방법이 알려져 있으나, 이 경우 재생되지 않은 TMA-염이 제거되지 않고 TMAH에 포함됨에 따라 TMAH의 순도를 높이는데 한계가 있다. 재사용 TMAH에 포함된 TMA-염을 일부 재생하거나 재생되지 않은 TMA-염을 제거하여 고순도 TMAH를 제조하는 방법으로 전기분해에 의한 TMAH의 재생, 회수방법이 알려져 있다.
한국공개특허 제10-2003-0059194호, 제10-2010-0029816호 등은 고형물에 의한 전극의 오염, 격막의 열화 및 그에 따른 구동 전압의 상승과 같은 문제를 해결하기 위해 3격실 또는 2격실 구조를 가지는 전기분해조를 이용하되, 격실의 수, 전기분해조의 구조, 격막의 구조, 소재 등을 선택적으로 적용하는 방법을 개시하나, 이 경우, 전기분해조의 구동 간 폐-TMAH 순환루프에서 발생하는 pH 감소, CO2 가스 발생, TMA-염의 결정화, 석출 등은 전기분해조의 구동 전압을 상승시켜 전해 효율을 저하시키는 요인이 된다.
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 전기분해부의 구동 간 폐-TMAH 순환루프에서 발생하는 pH 감소, CO2 가스 발생, TMA-염의 결정화, 석출 및 그에 따른 구동 전압 상승 등을 최소화, 억제하여 폐-TMAH로부터 고순도의 TMAH를 재생, 회수할 수 있는 TMAH 회수시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면은, 전기분해부; 제1 저장조, 및 상기 제1 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인을 포함하는 제1 부; 및 제2 저장조, 및 상기 제2 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함하는 TMAH 회수시스템을 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 저장조에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시키는 폭기수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인에 위치하고, 상기 전기분해부로부터 상기 제1 저장조로 순환되는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고 상기 폭기수단으로 공급하는 제1 음압생성기를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인으로부터 분기되어 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 순환시키는 제1 서브라인을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 서브라인에 위치하고, 상기 제1 서브라인을 따라 이동하는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고 상기 폭기수단으로 공급하는 제2 음압생성기를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인으로부터 상기 제1 서브라인과 독립적으로 분기되어 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 순환시키는 제2 서브라인을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 위치하고, 상기 제1 저장조로 제1 약품을 공급하여 상기 제1 저장조에 체류하는 상기 제1 물질의 pH를 제어하는 pH제어수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 저장조는, 상기 전기분해부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실, 외부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제2 격실, 및 상기 제1 및 제2 격실의 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부로 공급하는 제3 격실을 포함하고, 상기 폭기수단은 상기 제1 내지 제3 격실 중 적어도 하나에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 저장조는, 상기 전기분해부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실, 및 외부로부터 공급되는 상기 제1 물질 및 상기 제1 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부로 공급하는 제2 격실을 포함하고, 상기 폭기수단은 상기 제1 및 제2 격실 중 적어도 하나에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인에 위치하고, 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질로부터 고형물을 여과하는 필터를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템은, 제3 저장조 및 상기 제3 저장조와 상기 필터를 연결하여 세정액을 포함하는 제3 물질을 일방 순환시키는 제3 라인을 포함하는 제3 부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제2 저장조로부터 상기 제3 저장조로 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제3 서브라인을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제3 라인으로부터 분기되어 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 공급하는 제4 서브라인을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 전기분해부는, 양극을 포함하는 양극실, 중간실, 및 음극을 포함하는 음극실을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템은, 제4 저장조, 및 상기 제4 저장조와 상기 양극실을 연결하여 산(acid)을 포함하는 제4 물질을 일방 순환시키는 제4 라인을 포함하는 제4 부를 더 포함하고, 상기 제1 라인은 상기 제1 저장조 및 상기 중간실을 연결하고, 상기 제2 라인은 상기 제2 저장조 및 상기 음극실을 연결할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제4 저장조로부터 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나로 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제5 서브라인을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나와 상기 제5 서브라인의 접점에 위치하고, 음압을 생성하여 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 혼입하고 상기 제1 저장조로 공급하는 제3 음압생성기를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 전기분해부는, 양극을 포함하는 양극실, 및 음극을 포함하는 음극실을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 라인은 상기 제1 저장조 및 상기 양극실을 연결하고, 상기 제2 라인은 상기 제2 저장조 및 상기 음극실을 연결할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 TMAH 회수시스템을 구동하기 전, 상기 제2 저장조에 충진된 상기 제2 물질은 TMAH를 더 포함하고, 상기 제2 물질 중 상기 TMAH의 함량은 5중량% 이하일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 TMAH 회수시스템은, 전기분해부; 제1 저장조, 및 상기 제1 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인을 포함하는 제1 부; 및 제2 저장조, 및 상기 제2 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함함으로써, 전기분해부의 구동 간 폐-TMAH 순환루프에서 발생하는 pH 감소, CO2 가스 발생, TMA-염의 결정화, 석출 및 그에 따른 구동 전압 상승 등을 최소화, 억제하여 폐-TMAH로부터 고순도의 TMAH를 재생, 회수할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 저장조를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 제1 저장조를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 제1 저장조를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다.
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 일 측면은, 전기분해부; 제1 저장조, 및 상기 제1 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인을 포함하는 제1 부; 및 제2 저장조, 및 상기 제2 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함하는 TMAH 회수시스템을 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다. 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템은, 전기분해부(10); 제1 저장조(110), 상기 제1 저장조(110)와 상기 전기분해부(10)를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인, 및 상기 제1 저장조(110)에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시키는 폭기수단(140)을 포함하는 제1 부; 및 제2 저장조(210), 및 상기 제2 저장조(210)와 상기 전기분해부(10)를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함할 수 있다.
상기 전기분해부(10)는 TMAH를 포함하는 상기 제1 물질 및 물을 포함하는 상기 제2 물질을 전기분해하고, 여기에 수반되는 반응을 통해 고순도의 TMAH를 생성할 수 있다. 상기 전기분해부(10)는 양극을 포함하는 양극실 및 음극을 포함하는 음극실을 포함할 수 있고, 필요에 따라, 상기 양극실 및 상기 음극실의 사이에 중간실을 더 포함할 수 있다. 상기 양극실과 상기 음극실은 소정의 격막, 바람직하게는, 이온교환막, 더 바람직하게는, 양이온교환막에 의해 구획될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 및 제2 물질은 각각 상기 전기분해부(10)의 내부에서 구획되어 상호 독립된 2 이상의 영역을 통과, 순환할 수 있고, 고순도의 TMAH를 생성하는데 필요한 물질, 특히, 이온은 상기 격막을 통해 이동하거나 교환될 수 있다. 상기 전기분해부(10)의 구조 및 상기 TMAH 회수시스템과의 연결관계에 대해서는 후술하기로 한다.
상기 제1 부는, 제1 저장조(110), 상기 제1 저장조(110)와 상기 전기분해부(10)를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인, 및 상기 제1 저장조(110)에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시키는 폭기수단(140)을 포함할 수 있다. 상기 제1 저장조(110)는 외부에서 공급된 폐-TMAH 및 상기 제1 라인을 따라 일방 순환하는 상기 제1 물질이 체류하는 공간을 제공할 수 있다.
상기 제1 라인은 상기 제1 저장조(110)로부터 상기 전기분해부(10)로 상기 제1 물질(TMAH를 포함하는 제1 반응물)을 공급하는 제1 공급라인 및 상기 전기분해부(10)로부터 상기 제1 저장조(110)로 상기 제1 물질(TMAH를 포함하는 제1 생성물)을 순환시키는 제1 순환라인을 포함할 수 있다. 본 명세서에 사용된 용어, "일방 순환(one-way circulation)"은 상기 TMAH 회수시스템의 구동 간 폐루프(closed-loop)를 구성하는 공급라인 및 순환라인을 통한 물질의 이동이 일방향으로 이루어지는 것을 의미하고, 상기 제1 물질의 순환이 일방향으로 이루어지는 한 그 방향이 반대로 전환될 수도 있다. 또한, 본 명세서에 사용된 용어, "제1 물질"은 외부로부터 공급된 폐-TMAH 및 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 희석된 TMAH를 포함하는 혼합물로서 상기 제1 공급라인을 통해 상기 전기분해부(10)로 공급되는 물질인 제1 반응물, 및 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 희석된 TMAH를 포함하는 것으로서 상기 제1 순환라인을 통해 상기 제1 저장조(110)로 순환되는 물질인 제1 생성물을 포함하는 것으로 해석될 수 있다.
상기 폭기수단(140)은 상기 제1 저장조(110)의 내부, 바람직하게는, 상기 제1 저장조(110)의 하부에 위치하여 상기 제1 저장조(110)에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시킬 수 있다. 상기 제1 물질은 기사용된 폐-TMAH(제1 반응물) 및 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 희석된 TMAH(제1 생성물)를 포함하는 TMAH 수용액일 수 있다. 상기 TMAH 회수시스템의 구동 간 상기 제1 물질에 포함된 TMAH 및 물의 전기분해에 의해 H+ 이온이 생성될 수 있고, 상기 제1 라인을 따라 순환하는 상기 제1 물질 중 H+ 이온의 농도가 증가함에 따라 상기 제1 물질의 pH가 감소할 수 있다. 상기 제1 물질의 pH가 10 이하로 감소하는 경우, 상기 제1 물질에 포함된 TMAH로부터 CO2 가스가 지속적으로 생성될 수 있고, 상기 제1 물질 중 CO2 가스의 농도가 증가하는 경우 상기 전기분해부(10)의 구동 전압이 상승할 수 있으므로, 생성된 CO2 가스를 적절히 제거하는 것이 중요하다. 상기 폭기수단(140)은 상기 제1 저장조(110)에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시켜 상기 제1 물질에 포함된 CO2 가스를 제거할 수 있고, 제거된 CO2 가스를 상기 제1 저장조(110)의 외부로 배출시키는데 기여할 수 있다.
상기 제1 부는, 상기 제1 라인, 바람직하게는, 상기 제1 순환라인에 위치하고, 상기 전기분해부(10)로부터 상기 제1 저장조(110)로 순환되는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고, 혼입된 상기 외기를 상기 폭기수단(140)으로 공급하는 제1 음압생성기를 더 포함할 수 있다. 일반적으로, 폭기수단(140)을 구동하기 위해서는 에너지(전력), 가스(공기) 및 이들을 제공하는 별도의 설비가 필요하나, 이러한 설비가 과다한 경우 TMAH 회수시스템의 경제성, 유지보수성 등이 저하될 수 있다. 상기 제1 음압생성기는 상기 전기분해부(10)로부터 상기 제1 저장조(110)로 순환되는 상기 제1 물질의 유속에 의해 생성된 음압, 즉, 물리적 수단을 에너지로 사용하고, 상기 제1 음압생성기의 주변에 체류하는 외기를 가스원으로 사용하므로 상기 폭기수단(140)의 경제성, 유지보수성을 충분히 확보할 수 있다.
상기 제1 부는, 상기 제1 라인, 바람직하게는, 상기 제1 공급라인으로부터 분기되어 상기 제1 저장조(110)로부터 상기 전기분해부(10)로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조(110)로 순환시키는 제1 서브라인, 및 상기 제1 서브라인에 위치하고, 상기 제1 서브라인을 따라 이동하는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고 상기 폭기수단(140)으로 공급하는 제2 음압생성기를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 음압생성기는 상기 제1 서브라인을 따라 상기 제1 저장조(110)로 순환되는 상기 제1 물질의 유속에 의해 생성된 음압, 즉, 물리적 수단을 에너지로 사용하고, 상기 제2 음압생성기의 주변에 체류하는 외기를 가스원으로 사용하므로 상기 폭기수단(140)의 경제성, 유지보수성을 충분히 확보할 수 있다.
상기 TMAH 회수시스템이 상기 제1 및 제2 음압생성기를 택일적으로 포함하는 경우, 상기 폭기수단(140)의 성능, 즉, 상기 폭기수단(140)에 공급되는 외기의 양, 압력 등이 주변 환경에 따라 크게 변동할 수 있으므로, 상기 TMAH 회수시스템이 상기 제1 및 제2 음압생성기를 모두 포함함으로써 이러한 변동을 완화하여 상기 폭기수단(140)의 성능을 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 제2 부는 제2 저장조(210), 및 상기 제2 저장조(210)와 상기 전기분해부(10)를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함할 수 있다. 상기 제2 저장조(210)는 외부에서 공급된 물 또는 TMAH 수용액, 및 상기 제2 라인을 따라 일방 순환하는 상기 제2 물질이 체류하는 공간을 제공할 수 있다. 또한, 상기 TMAH 회수시스템의 구동 간 상기 제2 저장조(210)에 체류하는 상기 제2 물질 중 TMAH의 농도 및/또는 순도가 기설정된 값에 도달하는 경우, 상기 제2 저장조(210)로부터 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 회수할 수 있다.
상기 제2 라인은 상기 제2 저장조(210)로부터 상기 전기분해부(10)로 상기 제2 물질(물을 포함하는 제2 반응물)을 공급하는 제2 공급라인 및 상기 전기분해부(10)로부터 상기 제2 저장조(210)로 상기 제2 물질(TMAH를 포함하는 제2 생성물)을 순환시키는 제2 순환라인을 포함할 수 있다. 본 명세서에 사용된 용어, "제2 물질"은 외부로부터 공급된 물 또는 TMAH를 포함하는 용액으로서 상기 제2 공급라인을 통해 상기 전기분해부(10)로 공급되는 물질인 제2 반응물, 및 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 농축된 고순도 TMAH를 포함하는 것으로서 상기 제2 순환라인을 통해 상기 제2 저장조(210)로 순환되는 물질인 제2 생성물을 포함하는 것으로 해석될 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다. 도 2를 참고하면, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인, 바람직하게는, 상기 제1 공급라인으로부터 상기 제1 서브라인과 독립적으로 분기되어 상기 제1 저장조(110)로부터 상기 전기분해부(10)로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조(110)로 순환시키는 제2 서브라인을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 서브라인은 상기 제1 서브라인의 전방 또는 후방에 위치할 수 있다.
상기 제1 부는, 상기 제1 라인, 바람직하게는, 상기 제1 순환라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 위치하고, 상기 제1 저장조(110)로 제1 약품을 공급하여 상기 제1 저장조(110)에 체류하는 상기 제1 물질의 pH를 제어하는 pH제어수단을 더 포함할 수 있다. 상기와 같이, 상기 TMAH 회수시스템의 구동 간 상기 제1 라인을 따라 순환하는 상기 제1 물질 중 H+ 이온의 농도가 증가함에 따라 상기 제1 물질의 pH가 감소할 수 있다. 상기 제1 물질의 pH가 10 이하로 감소하는 경우, 상기 제1 물질에 포함된 TMAH로부터 CO2 가스가 지속적으로 생성될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 물질의 pH가 약 10 이하인 구간에서 CO2 가스의 생성이 개시되며, 이는 pH가 약 4~5로 감소할 때까지 지속될 수 있다. 상기 제1 물질 중 CO2 가스의 농도가 증가하는 경우 상기 전기분해부(10)의 구동 전압이 상승할 수 있으므로, CO2 가스가 생성되는 범위에서 pH를 보다 신속히 낮추어 CO2 가스의 생성이 지속되는 시간을 단축함과 동시에, 생성된 CO2 가스의 총량을 저감하는 것 또한 중요하다. 상기 pH제어수단은 상기 제1 물질이 체류하는 상기 제1 저장조(110)로 산(acid)을 포함하는 상기 제1 약품을 공급하여 상기 제1 물질의 pH를 신속히 낮추어 CO2 가스의 생성이 지속되는 시간을 현저히 단축할 수 있다. 상기 제1 약품은 상기 TMAH 회수시스템의 외부로부터 상기 pH제어수단으로 공급될 수 있고, 후술할 것과 같이, 상기 TMAH 회수시스템의 내부에서 별도의 라인을 통해 상기 pH제어수단으로 공급될 수도 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제1 저장조(110)를 나타낸다. 도 3을 참고하면, 상기 제1 저장조(110)는, 상기 전기분해부(10)로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실, 외부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제2 격실, 및 상기 제1 및 제2 격실의 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부(10)로 공급하는 제3 격실을 포함할 수 있고, 상기 폭기수단(140)은 상기 제1 내지 제3 격실 중 적어도 하나에 위치할 수 있다.
상기 전기분해부(10)로부터 유출된 상기 제1 물질, 구체적으로, 희석된 폐-TMAH 수용액은 상기 제1 순환라인을 통해 상기 제1 격실로 공급, 순환될 수 있고, 재생이 필요한 상기 제1 물질, 구체적으로, 폐-TMAH 수용액은 외부로부터 상기 제2 격실로 공급될 수 있다. 상기 제1 및 제2 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질은 상기 제3 격실에서 혼합된 후 상기 제1 공급라인을 통해 상기 전기분해부(10)로 공급될 수 있다. 상기 제3 격실에 체류하는 상기 제1 물질은 상기 폭기수단(140)에 의해 원활히 혼합되어 상기 전기분해부(10)로 공급될 수 있다.
상기 전기분해부(10)와 상기 제1 격실을 연결하는 라인, 즉, 상기 제1 순환라인에는 상기 제1 물질의 pH를 측정하는 pH 센서가 설치될 수 있다. 또한, 상기 제1 격실에는 CO2 가스를 신속히 제거, 배출하기 위한 외기가 상기 폭기수단(140)을 통해 주입될 수 있고, CO2 가스의 생성이 지속되는 시간을 단축시키기 위한 상기 제1 약품이 주입될 수 있다. 또한, 상기 제1 순환라인에는 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 생성되어 상기 제1 물질에 혼입된 고형물을 여과하기 위한 필터가 설치될 수 있다.
상기 제2 격실에는 외부로부터 재생이 필요한 폐-TMAH 또는 그 수용액이 공급될 수 있고, 반응 및/또는 오버플로우에 필요한 유량을 고려하여 그 수위가 유지될 수 있다.
상기 제1 저장조(110)에서 상기 폭기수단(140)에 의해 산기된 가스, 구체적으로, CO2 가스는 상기 제1 저장조(110)의 상부에 별도로 구비된 스크러버 장치를 통해 희석되어 외부로 배출될 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 생성되어 상기 제1 물질에 혼입된 고형물, 예를 들어, TMA-염을 여과하기 위한 필터는 상기 제1 격실의 내부에 구비될 수도 있다. 상기 필터는 후술할 세정액에 의해 적절히 세정될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 제1 저장조(110)를 나타낸다. 도 5를 참고하면, 상기 제1 저장조(110)는, 상기 전기분해부(10)로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실, 및 외부로부터 공급되는 상기 제1 물질 및 상기 제1 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부(10)로 공급하는 제2 격실을 포함하고, 상기 폭기수단(140)은 상기 제1 및 제2 격실 중 적어도 하나에 위치할 수 있다.
상기 전기분해부(10)로부터 유출된 상기 제1 물질, 구체적으로, 희석된 폐-TMAH 수용액은 상기 제1 순환라인을 통해 상기 제1 격실로 공급, 순환될 수 있고, 재생이 필요한 상기 제1 물질, 구체적으로, 폐-TMAH 수용액은 외부로부터 상기 제2 격실로 공급될 수 있다. 상기 제1 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질은 상기 제2 격실에서 혼합된 후 상기 제1 공급라인을 통해 상기 전기분해부(10)로 공급될 수 있다. 상기 제2 격실에 체류하는 상기 제1 물질은 상기 폭기수단(140)에 의해 원활히 혼합되어 상기 전기분해부(10)로 공급될 수 있다.
상기 전기분해부(10)와 상기 제1 격실을 연결하는 라인, 즉, 상기 제1 순환라인에는 상기 제1 물질의 pH를 측정하는 pH 센서가 설치될 수 있다. 또한, 상기 제1 격실에는 CO2 가스를 신속히 제거, 배출하기 위한 외기가 상기 폭기수단(140)을 통해 주입될 수 있고, CO2 가스의 생성이 지속되는 시간을 단축시키기 위한 상기 제1 약품이 주입될 수 있다. 또한, 상기 제1 순환라인에는 상기 전기분해부(10)에서의 반응에 의해 생성되어 상기 제1 물질에 혼입된 고형물을 여과하기 위한 필터가 설치될 수 있다.
상기 제2 격실에는 외부로부터 재생이 필요한 폐-TMAH 또는 그 수용액이 공급될 수 있고, 반응 및/또는 오버플로우에 필요한 유량을 고려하여 그 수위가 유지될 수 있다.
상기 제1 저장조(110)에서 상기 폭기수단(140)에 의해 산기된 가스, 구체적으로, CO2 가스는 상기 제1 저장조(110)의 상부에 별도로 구비된 스크러버 장치를 통해 희석되어 외부로 배출될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다. 도 6을 참고하면, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인에 위치하고, 상기 제1 저장조(110)로부터 상기 전기분해부(10)로 공급되는 상기 제1 물질로부터 고형물을 여과하는 필터(340)를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 TMAH 회수시스템은, 제3 저장조(310) 및 상기 제3 저장조(310)와 상기 필터(340)를 연결하여 세정액을 포함하는 제3 물질을 일방 순환시키는 제3 라인을 포함하는 제3 부를 더 포함할 수 있다.
상기 필터(340)는 상기 제1 저장조(110)로부터 상기 전기분해부(10)로 공급되는 상기 제1 반응물로부터 고형물, 예를 들어, pH 감소에 따라 생성되는 임의의 슬러지를 여과할 수 있고, 상기 필터(340)는 교번 운전이 가능하도록 2개 이상 설치되는 것이 바람직하다.
상기 세정액을 포함하는 상기 제3 물질은 상기 TMAH 회수시스템의 외부로부터 상기 제3 저장조(310)로 공급될 수 있고, 후술할 것과 같이, 상기 TMAH 회수시스템의 내부에서 별도의 라인을 통해 상기 제3 저장조(310)로 공급될 수도 있다.
상기 제3 라인은 상기 제3 저장조(310)로부터 상기 필터(340)로 상기 세정액을 공급하는 제3 공급라인 및 상기 필터(340)로부터 상기 제3 저장조(310)로 기사용된 상기 세정액을 순환시키는 제3 순환라인을 포함할 수 있다. 본 명세서에 사용된 용어, "제3 물질"은 세정액을 포함하는 용액으로서 상기 제3 공급라인을 통해 상기 필터(340)로 공급되는 세정액, 및 상기 필터(340)에 적용된 후 상기 제3 순환라인을 통해 상기 제3 저장조(310)로 순환되는 세정액을 포함하는 것으로 해석될 수 있다.
상기 TMAH 회수시스템의 연속식 운전을 위해 상기 필터(340)에서 여과된 상기 고형물은 상기 제2 저장조(210)에서 농축된 상태로 체류하는 고농도(고순도) TMAH에 의해 세정되도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제2 저장조(210)로부터 상기 제3 저장조(310)로 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제3 서브라인을 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 세정액을 포함하는 상기 제3 물질은 상기 제2 물질로부터 유래한 것일 수 있다.
상기 제2 저장조(210)로부터 공급되어 상기 제3 저장조(310)에 체류하는 상기 제2 물질은 상기 필터(340)의 세정에 적용된 후 그 농도가 희석되고 아닐린, 염류와 같은 물질에 의해 오염되므로 이를 재생이 필요한 폐-TMAH로 적용할 수 있다. 이를 위해, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제3 라인, 바람직하게는, 상기 제3 공급라인으로부터 분기되어 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조(110)로 공급하는 제4 서브라인을 더 포함할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다. 도 7을 참고하면, 상기 전기분해부(10)는, 양극을 포함하는 양극실(11), 중간실(12), 및 음극을 포함하는 음극실(13)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 TMAH 회수시스템은, 제4 저장조(410), 및 상기 제4 저장조(410)와 상기 양극실(11)을 연결하여 산(acid)을 포함하는 제4 물질을 일방 순환시키는 제4 라인을 포함하는 제4 부를 더 포함하고, 상기 제1 라인은 상기 제1 저장조(110) 및 상기 중간실(12)을 연결하고, 상기 제2 라인은 상기 제2 저장조(210) 및 상기 음극실(13)을 연결할 수 있다.
상기 제4 저장조(410)는 외부에서 공급된 상기 제4 물질 및 상기 제4 라인을 따라 일방 순환하는 상기 제4 물질이 체류하는 공간을 제공할 수 있다.
상기 제4 라인은 상기 제4 저장조(410)로부터 상기 양극실로 상기 제4 물질(산을 포함하는 제4 반응물)을 공급하는 제4 공급라인 및 상기 양극실로부터 상기 제4 저장조(410)로 상기 제1 물질(희석된 산을 포함하는 제4 생성물)을 순환시키는 제4 순환라인을 포함할 수 있다. 본 명세서에 사용된 용어, "제4 물질"은 외부로부터 공급되는 산(acid) 및 상기 양극실에서의 반응에 의해 희석된 산을 포함하는 혼합물로서 상기 제4 공급라인을 통해 상기 양극실로 공급되는 물질인 제4 반응물, 및 상기 양극실에서의 반응에 의해 희석된 산을 포함하는 것으로서 상기 제4 순환라인을 통해 상기 제4 저장조(410)로 순환되는 물질인 제4 생성물을 포함하는 것으로 해석될 수 있다.
상기 TMAH 회수시스템의 연속식 운전을 위해 상기 pH제어수단으로 공급되는 상기 제1 약품은 상기 제4 저장조(410)에 체류하는 상기 제4 물질로부터 유래한 것일 수 있다. 이를 위해, 상기 TMAH 회수시스템은, 상기 제4 저장조(410)로부터 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나로 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제5 서브라인을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 부는, 상기 제1 라인, 바람직하게는, 상기 제1 순환라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나와 상기 제5 서브라인의 접점에 위치하고, 음압을 생성하여 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 혼입하고 상기 제1 저장조(110)로 공급하는 제3 음압생성기를 더 포함할 수 있다. 일반적으로, TMAH를 회수함에 있어서 필수적인 반응물 이외의 물질, 예를 들어, 상기 제1 약품 및/또는 산을 포함하는 상기 제4 물질을 공급, 주입하기 위해서는 에너지(전력), 원료물질 및 이들을 제공하는 별도의 설비가 필요하나, 이러한 설비가 과다한 경우 TMAH 회수시스템의 경제성, 유지보수성 등이 저하될 수 있다. 상기 제3 음압생성기는 상기 제1 순환라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나를 따라 이동하는 상기 제1 물질의 유속에 의해 생성된 음압, 즉, 물리적 수단을 에너지로 사용하고, 상기 제3 음압생성기와 상기 제5 서브라인에 의해 연결된 상기 제4 저장조(410)에 체류하는 상기 제4 물질을 원료물질로 사용하므로 상기 pH제어수단의 경제성, 유지보수성을 충분히 확보할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 TMAH 회수시스템을 나타낸다. 도 8을 참고하면, 상기 전기분해부(10)는, 양극을 포함하는 양극실(11'), 및 음극을 포함하는 음극실(13')을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 라인은 상기 제1 저장조(110) 및 상기 양극실(11')을 연결하고, 상기 제2 라인은 상기 제2 저장조(210) 및 상기 음극실(13')을 연결할 수 있다. 도 8에 따른 상기 TMAH 회수시스템은 도 7에 기재된 시스템에 비해, 상기 제4 물질의 일방 순환을 위한 상기 제4 부가 생략되고, 상기 제1 물질의 일방 순환 및 반응이 상기 중간실이 아닌 상기 양극실에서 이루어지는 점에서 차이가 있으나, 그 외 구성 및 그 작용효과는 실질적으로 동일하다.
한편, 상기 TMAH 회수시스템을 구동하기 전, 상기 제2 저장조(210)에 충진된 상기 제2 물질은 TMAH를 더 포함하고, 상기 제2 물질 중 상기 TMAH의 함량은 5중량% 이하, 바람직하게는, 3중량% 이하일 수 있다. 상기 TMAH 회수시스템을 구동하기 전, 상기 제2 저장조(210)에 충진된 상기 제2 물질 중 TMAH의 농도를 상기 범위로 조절함으로써, 전기분해 반응의 초기에 상기 음극실에 체류하는 상기 제2 물질에 소정의 전도성을 부여할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 전기분해부 11, 11': 양극실
12: 중간실 13, 13': 음극실
110: 제1 저장조 111, 111': 제1 격실
112, 112': 제2 격실 113: 제3 격실
114: pH 센서 120: 제1 공급라인
130: 제1 순환라인 131: 제1 음압생성기
140: 폭기수단 150: 제1 서브라인
151: 제2 음압생성기 160: 제2 서브라인
132, 162: pH제어수단, 제3 음압생성기 210: 제2 저장조
220: 제2 공급라인 230: 제2 순환라인
310: 제3 저장조 320: 제3 공급라인
330: 제3 순환라인 340: 필터
350: 제3 서브라인 360: 제4 서브라인
410: 제4 저장조 420: 제4 공급라인
430: 제4 순환라인 440, 440': 제5 서브라인

Claims (20)

  1. 전기분해부;
    제1 저장조, 및 상기 제1 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 TMAH를 포함하는 제1 물질을 일방 순환시키는 제1 라인을 포함하는 제1 부; 및
    제2 저장조, 및 상기 제2 저장조와 상기 전기분해부를 연결하여 물을 포함하는 제2 물질을 일방 순환시키는 제2 라인을 포함하는 제2 부;를 포함하는,
    TMAH 회수시스템에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템을 구동하기 전, 상기 제2 저장조에 충진된 상기 제2 물질은 TMAH를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 저장조에 체류하는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 산기시키는 폭기수단을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인에 위치하고, 상기 전기분해부로부터 상기 제1 저장조로 순환되는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고 상기 폭기수단으로 공급하는 제1 음압생성기를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인으로부터 분기되어 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 순환시키는 제1 서브라인을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 서브라인에 위치하고, 상기 제1 서브라인을 따라 이동하는 상기 제1 물질의 유속에 의해 음압을 생성하여 외기를 혼입하고 상기 폭기수단으로 공급하는 제2 음압생성기를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인으로부터 상기 제1 서브라인과 독립적으로 분기되어 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 순환시키는 제2 서브라인을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 위치하고, 상기 제1 저장조로 제1 약품을 공급하여 상기 제1 저장조에 체류하는 상기 제1 물질의 pH를 제어하는 pH제어수단을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제1 저장조는,
    상기 전기분해부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실,
    외부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제2 격실, 및
    상기 제1 및 제2 격실의 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부로 공급하는 제3 격실을 포함하고,
    상기 폭기수단은 상기 제1 내지 제3 격실 중 적어도 하나에 위치하는,
    TMAH 회수시스템.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 제1 저장조는,
    상기 전기분해부로부터 공급되는 상기 제1 물질이 체류하는 제1 격실, 및
    외부로부터 공급되는 상기 제1 물질 및 상기 제1 격실로부터 오버플로우된 상기 제1 물질을 상기 전기분해부로 공급하는 제2 격실을 포함하고,
    상기 폭기수단은 상기 제1 및 제2 격실 중 적어도 하나에 위치하는,
    TMAH 회수시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인에 위치하고, 상기 제1 저장조로부터 상기 전기분해부로 공급되는 상기 제1 물질로부터 고형물을 여과하는 필터를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템은,
    제3 저장조 및 상기 제3 저장조와 상기 필터를 연결하여 세정액을 포함하는 제3 물질을 일방 순환시키는 제3 라인을 포함하는 제3 부를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템은,
    상기 제2 저장조로부터 상기 제3 저장조로 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제3 서브라인을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템은,
    상기 제3 라인으로부터 분기되어 상기 제2 물질 중 적어도 일부를 상기 제1 저장조로 공급하는 제4 서브라인을 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기분해부는,
    양극을 포함하는 양극실, 중간실, 및 음극을 포함하는 음극실을 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템은,
    제4 저장조, 및 상기 제4 저장조와 상기 양극실을 연결하여 산(acid)을 포함하는 제4 물질을 일방 순환시키는 제4 라인을 포함하는 제4 부를 더 포함하고,
    상기 제1 라인은 상기 제1 저장조 및 상기 중간실을 연결하고,
    상기 제2 라인은 상기 제2 저장조 및 상기 음극실을 연결하는,
    TMAH 회수시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 TMAH 회수시스템은,
    상기 제4 저장조로부터 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나로 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 공급하는 제5 서브라인을 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1 부는,
    상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나와 상기 제5 서브라인의 접점에 위치하고, 음압을 생성하여 상기 제1 라인 및 상기 제2 서브라인 중 적어도 하나에 상기 제4 물질 중 적어도 일부를 혼입하고 상기 제1 저장조로 공급하는 제3 음압생성기를 더 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  18. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기분해부는, 양극을 포함하는 양극실, 및 음극을 포함하는 음극실을 포함하는,
    TMAH 회수시스템.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제1 라인은 상기 제1 저장조 및 상기 양극실을 연결하고,
    상기 제2 라인은 상기 제2 저장조 및 상기 음극실을 연결하는,
    TMAH 회수시스템.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 제2 물질 중 상기 TMAH의 함량은 5중량% 이하인,
    TMAH 회수시스템.
KR1020220027519A 2022-03-03 2022-03-03 전기분해에 의한 tmah 회수시스템 KR102647111B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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