KR102606035B1 - Sensor manufacturing method using laser and the sensor manufactured by the method - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 44
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 11
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 15
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 3
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229920005610 lignin Polymers 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/12—Chemical modification
- C08J7/123—Treatment by wave energy or particle radiation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/04—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of carbon-silicon compounds, carbon or silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
- H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2791/00—Shaping characteristics in general
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Abstract
본 발명은 레이저를 이용한 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 금속을 증착시키지 않고 폴리머 필름에 레이저만 가하여 레이저 유도 그래핀 기반의 센서를 다층구조로 제조할 수 있는 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서에 대한 것이다.
본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법은 필름적층단계와, 전극형성단계와, 필름제거단계를 포함한다. 상기 필름적층단계는 폴리머로 된 베이스기판의 일면에 폴리머 필름을 위치시킨다. 상기 전극형성단계는 상기 필름적층단계에서 베이스기판에 적층된 폴리머 필름에 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 레이저빔을 조사하여 탄소그래핀화 된 적극을 형성한다. 상기 필름제거단계는 상기 전극형성단계에서 상기 전극으로 형성되지 않은 상기 폴리머 필름을 제거한다.
본 발명에 의하면, 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 폴리머 필름의 표면에 레이저빔을 조사한다. 그러면 레이저빔에 조사된 폴리머 필름이 탄소그래핀화 되어 탄소 전극이 형성된다. 이 경우, 전기가 통하도록 금속을 증착시키지 않더라도 전기전도성이 높은 전극을 형성할 수 있으므로 용이하게 센서를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 탄소그래핀화 된 전극을 베이스기판에서 분리시킬 수 있으므로, 부피가 축소된 센서를 제조하여 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 전극을 다단으로 적층하여 형성할 수 있으므로, 적층된 각각의 센서 마다 서로 다른 기능을 가지는 센서를 제조하여 제공할 수 있다. The present invention relates to a sensor manufacturing method using a laser and a sensor manufactured by this method. More specifically, it relates to a method for manufacturing a laser-induced graphene-based sensor in a multi-layer structure by only applying a laser to a polymer film without depositing metal. This relates to a sensor manufacturing method and sensors manufactured by this method.
The sensor manufacturing method using a laser according to the present invention includes a film stacking step, an electrode forming step, and a film removal step. In the film stacking step, a polymer film is placed on one side of a polymer base substrate. In the electrode forming step, a laser beam is irradiated inside a chamber where an inert gas is supplied to the polymer film laminated on the base substrate in the film stacking step to form a carbon graphene electrode. The film removal step removes the polymer film that was not formed as the electrode in the electrode forming step.
According to the present invention, a laser beam is irradiated to the surface of a polymer film inside a chamber supplied with an inert gas. Then, the polymer film irradiated by the laser beam is converted to carbon graphene, forming a carbon electrode. In this case, a sensor can be easily manufactured because an electrode with high electrical conductivity can be formed even without depositing metal to conduct electricity.
In addition, according to the present invention, since the carbon graphene electrode can be separated from the base substrate, a sensor with a reduced volume can be manufactured and provided.
Additionally, according to the present invention, since electrodes can be formed by stacking them in multiple stages, it is possible to manufacture and provide sensors having different functions for each stacked sensor.
Description
본 발명은 레이저를 이용한 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 금속을 증착시키지 않고 폴리머 필름에 레이저만 가하여 레이저 유도 그래핀 기반의 센서를 다층구조로 제조할 수 있는 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서에 대한 것이다. The present invention relates to a sensor manufacturing method using a laser and a sensor manufactured by this method. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a laser-induced graphene-based sensor with a multi-layer structure by only applying a laser to a polymer film without depositing metal. This relates to a sensor manufacturing method and sensors manufactured by this method.
폴리이미드의 표면에 UV 레이저를 가하여 전극을 형성하기 위하여 국내 등록특허 제10-1308024호에서는 폴리이미드 필름의 표면에 펄스 UV 레이저를 단속적으로 가하여 원뿔형의 규칙적인 구조물을 형성시킨 후 백금을 진공증착하여 전기전도성 막을 형성하여 센서를 제조하는 방법을 개시하고 있다.
종래의 경우, 폴리이미드에 UV 레이저를 가하여 전극을 형성하기 위하여 UV 레이저를 가한 후 백금을 진공증착하여 전기전도성이 있는 막을 형성하였다. 이 경우, 백금을 사용하여 별도의 진공증착하는 작업이 필요하므로 공정이 복잡하고 까다롭다는 문제점이 있었다. 또한, 베이스기판에 전극이 형성되므로 센서에 두꺼운 베이스기판이 포함되어 센서의 부피가 커진다는 문제점이 있었다. In order to form an electrode by applying a UV laser to the surface of polyimide, in Domestic Patent No. 10-1308024, a pulsed UV laser is intermittently applied to the surface of the polyimide film to form a regular cone-shaped structure, and then vacuum-deposited platinum. A method of manufacturing a sensor by forming an electrically conductive film is disclosed.
In the conventional case, a UV laser was applied to polyimide to form an electrode, and then platinum was vacuum deposited to form an electrically conductive film. In this case, there was a problem that the process was complicated and difficult because a separate vacuum deposition using platinum was required. In addition, since electrodes are formed on the base substrate, there is a problem that the sensor includes a thick base substrate and increases the volume of the sensor.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 금속을 증착시키지 않고 폴리머 필름에 레이저만 가하여 레이저 유도 그래핀 기반의 센서를 다층구조로 제조할 수 있는 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is intended to solve the above problems. The purpose of the present invention is to provide a sensor manufacturing method that can manufacture a laser-induced graphene-based sensor with a multilayer structure by only applying a laser to a polymer film without depositing metal, and a sensor manufactured by this method.
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본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법은 필름적층단계와, 전극형성단계와, 필름제거단계를 포함한다. 상기 필름적층단계는 폴리머로 된 베이스기판의 일면에 폴리머 필름을 위치시킨다. 상기 전극형성단계는 상기 필름적층단계에서 베이스기판에 적층된 폴리머 필름에 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 레이저빔을 조사하여 탄소그래핀화 된 적극을 형성한다. 상기 필름제거단계는 상기 전극형성단계에서 상기 전극으로 형성되지 않은 상기 폴리머 필름을 제거한다.
또한, 상기의 레이저를 이용한 센서제조방법에 있어서, 기판분리단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 기판분리단계는 상기 전극형성단계에서 형성된 전극에서 상기 베이스기판을 분리시킨다.
또한, 상기의 레이저를 이용한 센서제조방법에 있어서, 코팅단계와, 제2필름적층단계와, 제2전극형성단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 코팅단계는 상기 필름제거단계에서 상기 폴리머 필름이 제거된 상기 전극을 덮을 수 있게 상기 베이스기판의 일면에 폴리머를 코팅한다. 상기 제2필름적층단계는 상기 코팅단계에서 상기 폴리머가 코팅된 베이스기판의 일면에 상기 폴리머 필름을 위치시킨다. 상기 제2전극형성단계는 상기 제2필름적층단계에서 상기 베이스기판에 적층된 상기 폴리머 필름에 상기 불활성가스가 공급되는 상기 챔버 내부에서 상기 레이저빔을 조사하여 탄소그래피화 된 전극을 형성한다.
또는, 상기의 레이저를 이용한 센서제조방법에 있어서, 상기 폴리머 필름은 폴리이미드로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기의 제조방법에 의하여 제조된 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다. The sensor manufacturing method using a laser according to the present invention includes a film stacking step, an electrode forming step, and a film removal step. In the film stacking step, a polymer film is placed on one side of a polymer base substrate. In the electrode forming step, a laser beam is irradiated inside a chamber where an inert gas is supplied to the polymer film laminated on the base substrate in the film stacking step to form a carbon graphene electrode. The film removal step removes the polymer film that was not formed as the electrode in the electrode forming step.
In addition, in the above sensor manufacturing method using a laser, it is preferable to further include a substrate separation step. The substrate separation step separates the base substrate from the electrode formed in the electrode forming step.
In addition, in the above sensor manufacturing method using a laser, it is preferable to further include a coating step, a second film stacking step, and a second electrode forming step. In the coating step, a polymer is coated on one surface of the base substrate to cover the electrode from which the polymer film was removed in the film removal step. In the second film stacking step, the polymer film is placed on one surface of the base substrate coated with the polymer in the coating step. The second electrode forming step forms a carbonographed electrode by irradiating the laser beam inside the chamber where the inert gas is supplied to the polymer film laminated on the base substrate in the second film stacking step.
Alternatively, in the above sensor manufacturing method using a laser, the polymer film is preferably formed of polyimide.
The present invention provides a sensor manufactured by the above manufacturing method.
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본 발명에 의하면, 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 폴리머 필름의 표면에 레이저빔을 조사한다. 그러면 레이저빔에 조사된 폴리머 필름이 탄소그래핀화 되어 탄소 전극이 형성된다. 이 경우, 전기가 통하도록 금속을 증착시키지 않더라도 전기전도성이 높은 전극을 형성할 수 있으므로 용이하게 센서를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 탄소그래핀화 된 전극을 베이스기판에서 분리시킬 수 있으므로, 부피가 축소된 센서를 제조하여 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 전극을 다단 또는 다층으로 적층하여 형성할 수 있으므로, 적층된 각각의 센서 마다 서로 다른 기능을 가지는 센서를 제조하여 제공할 수 있다. According to the present invention, a laser beam is irradiated to the surface of a polymer film inside a chamber supplied with an inert gas. Then, the polymer film irradiated by the laser beam is converted to carbon graphene, forming a carbon electrode. In this case, a sensor can be easily manufactured because an electrode with high electrical conductivity can be formed even without depositing metal to conduct electricity.
In addition, according to the present invention, since the carbon graphene electrode can be separated from the base substrate, a sensor with a reduced volume can be manufactured and provided.
Additionally, according to the present invention, electrodes can be formed by stacking them in multiple stages or layers, so it is possible to manufacture and provide sensors having different functions for each stacked sensor.
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도 1은 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 개념도이고,
도 2는 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 일 실시예의 동작순서도이고,
도 3은 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서조제방법의 다른 실시예의 동작순서도이고,
도 4는 도 3에 도시된 실시예의 방법으로 제조된 센서의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 또 다른 실시예의 방법으로 제조된 센서의 측면도이다. 1 is a conceptual diagram of a sensor manufacturing method using a laser according to the present invention;
Figure 2 is an operation flowchart of an embodiment of the sensor manufacturing method using a laser according to the present invention;
Figure 3 is an operation flowchart of another embodiment of the sensor manufacturing method using a laser according to the present invention;
Figure 4 is a top view of a sensor manufactured by the method of the embodiment shown in Figure 3.
Figure 5 is a side view of a sensor manufactured by another embodiment of the sensor manufacturing method using a laser according to the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 일 실시예를 설명한다.
본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법은 필름적층단계(S1)와, 전극형성단계(S2)와, 필름제거단계(S3)를 포함한다.
필름적층단계(S1)는 폴리머로 된 베이스기판(10)의 일면에 폴리머 필름(20)을 위치시킨다. 이때, 베이스기판(10)의 일면에 폴리머 필름(20)을 접착하지 않고, 물리적으로 닿도록 얹혀두기만 한다. 여기서, 베이스기판(10)은 폴리디메틸실록산(PDMS) 또는 폴리프로필렌(Polypropylene) 또는 폴리에틸렌(Polyethylene) 등으로 형성되는 것이 바람직하며, 폴리머 필름(20)은 폴리이미드(Polyimide)나 리그닌(lignin) 또는 포토레지스트(photoresist) 등으로 형성되는 것이 바람직하다.
전극형성단계(S2)는 필름적층단계(S1)에서 베이스기판(10)에 적층된 폴리머 필름(20)에 불활성가스가 공급되는 챔버(1) 내부에서 레이저빔(3)을 조사하여 탄소그래핀화 된 전극(30)을 형성한다. 즉, 전극형성단계(S2)에서는 도 1에 도시된 바와 같이 불활성가스가 공급되는 챔버(1) 내부에 필름적층단계(S1)에서 폴리머 필름(20)이 적층된 베이스기판(10)을 위치시킨 후, 레이저빔(3)을 폴리머 필름(20)에 조사한다. 그러면 레이저빔(3)이 조사된 폴리머 필름(20)은 탄소그래핀화 되어 베이스기판(10)에 증착되어 전기가 통하는 탄소 전극(30)으로 형성된다. 여기서 불활성가스는 N₂, CO₂, Ar 등이 챔버(1) 내부로 공급된다. 폴리이미드로 형성된 폴리머 필름(20)은 레이저빔(3)이 조사되면, 열에너지에 의하여 구조적인 변형과 화학적인 변형이 일어난다. 그래서 레이저빔(3)의 열로 인하여 베이스기판(10)이 녹으면서 탄소그래핀화 된 전극(30)이 베이스기판(10)에 증착되어 고정되어 진다.
필름제거단계(S3)는 전극형성단계(S2)에서 전극(30)으로 형성되지 않은 폴리머 필름(20)을 제거한다. 여기서 폴리머 필름(20)은 베이스기판(10)의 일면에 접착되지 않고 얹혀진 상태이므로, 전극(30)으로 형성되지 않은 폴리머 필름(20)은 쉽게 제거될 수 있다.
본 실시예의 경우, 탄소그래핀화 된 전극(30)은 전기전도성을 가진다. 그래서 전기전도성 기반 센서로서의 기능을 가질 수 있다. 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이 베이스기판(10)에서 전극(30)이 노출되면 압력센서나 습도센서로 이용될 수 있다. 즉, 외부에서 압력이 가해지면 전극(30)이 변형되어 전기전도도가 달라지므로 외부의 압력을 측정할 수 있고, 외부의 습도에 따라 전극(30)의 전기전도도가 달라지므로 전극(30)의 전기전도도를 파악하여 습도를 측정할 수 있다.
한편, 본 실시예의 경우, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이 기판분리단계(S4)가 더 포함된다.
기판분리단계(S4)는 전극형성단계(S2)에서 형성된 전극(30)에서 베이스기판(10)을 분리시킨다. 전극(30)은 베이스기판(10)에 증착되어 결합되어 있지만, 물리적인 힘을 가하면 전극(30)을 베이스기판(10)에서 분리시킬 수 있다. 그래서 베이스기판(10)에서 분리된 전극(30)만을 센서로 이용할 수 있으므로 센서의 부피를 줄일 수 있다.
종래의 경우, 폴리이미드의 표면에 UV 레이저를 가하여 전극을 형성하기 위하여 UV 레이저를 가한 후 백금을 진공증착하여 전기전도성이 있는 막을 형성하였다. 이 경우, 금속을 사용하여 별도의 진공증착하는 작업이 필요하므로 공정이 복잡하고 까다롭다는 문제점이 있었다. 또한, 베이스기판에 전극이 형성되므로 센서에 베이스기판이 포함되어 센서의 부피가 커진다는 문제점이 있었다. 반면, 본 실시예에 의하면, 불활성가스가 공급되는 챔버(1) 내부에서 베이스기판(10)에 적층된 폴리머 필름(20)의 표면에 레이저빔(3)을 조사한다. 그러면 폴리이미드로 형성된 폴리머 필름(20)이 탄소그래핀화 되어 전기가 통하는 전극(30)이 형성된다. 이 경우, 레이저빔(3)이 조사된 폴리머 필름(20)의 표면에 전기가 통하도록 금속을 증착시키지 않더라도 전극(30)을 형성할 수 있으므로 용이하게 센서를 제조할 수 있다. 또한, 본 실시예에 의하면, 탄소그래핀화 된 전극(30)을 베이스기판(10)에서 분리시킬 수 있으므로, 부피가 축소된 센서를 제조하여 제공할 수 있다.
도 3 및 도 4를 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 다른 실시예이다. 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 레이저를 이용한 센서제조방법의 다른 실시예를 설명한다.
도 3에 도시된 실시예의 경우, 코팅단계(S5)와, 제2필름적층단계(S6)와, 제2전극형성단계(S7)를 더 포함한다.
코팅단계(S5)는 필름제거단계(S3)에서 폴리머 필름(20)이 제거된 전극(30)을 덮을 수 있게 베이스기판(10)의 일면에 폴리머를 코팅한다.
제2필름적층단계(S6)는 폴리머가 코팅된 베이스기판(10)의 일면에 폴리머 필름(20)을 위치시킨다.
제2전극형성단계(S7)는 제2필름적층단계(S6)에서 베이스기판(10)에 적층된 폴리머 필름(20)에 볼활성가스가 공급되는 챔버(1) 내부에서 레이저빔(3)을 조사하여 탄소그래핀화 된 전극(30)을 형성한다. 그러면 전극(30)은 도 3의 (e)에 도시된 바와 같이 2단으로 형성된다. 이때 전극(30)은 도 4에 도시된 바와 같이 서로 직각으로 교차되어 2단으로 형성되지만, 서로 나란하게 다단으로 형성될 수도 있다. 나머지 구성요소는 도 1 및 도 2에 도시된 실시예와 동일하므로 자세한 설명은 생략한다. An embodiment of a sensor manufacturing method using a laser according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
The sensor manufacturing method using a laser according to the present invention includes a film stacking step (S1), an electrode forming step (S2), and a film removal step (S3).
In the film stacking step (S1), the polymer film 20 is placed on one side of the polymer base substrate 10. At this time, the polymer film 20 is not adhered to one surface of the base substrate 10, but is simply placed so as to physically touch it. Here, the base substrate 10 is preferably made of polydimethylsiloxane (PDMS), polypropylene, or polyethylene, and the polymer film 20 is made of polyimide, lignin, or It is preferably formed of photoresist or the like.
The electrode forming step (S2) converts carbon into graphene by irradiating a laser beam (3) inside the chamber (1) where an inert gas is supplied to the polymer film (20) laminated on the base substrate (10) in the film stacking step (S1). An electrode 30 is formed. That is, in the electrode forming step (S2), as shown in FIG. 1, the base substrate 10 on which the polymer film 20 is laminated in the film stacking step (S1) is placed inside the chamber 1 to which inert gas is supplied. Afterwards, the laser beam 3 is irradiated to the polymer film 20. Then, the polymer film 20 irradiated with the laser beam 3 is converted into carbon graphene and deposited on the base substrate 10 to form an electrically conductive carbon electrode 30. Here, inert gases such as N₂, CO₂, Ar, etc. are supplied into the chamber (1). When the polymer film 20 formed of polyimide is irradiated with the laser beam 3, structural and chemical deformation occurs due to thermal energy. Therefore, as the base substrate 10 melts due to the heat of the laser beam 3, the carbon graphene electrode 30 is deposited and fixed on the base substrate 10.
The film removal step (S3) removes the polymer film 20 that was not formed as the electrode 30 in the electrode forming step (S2). Here, since the polymer film 20 is placed on one surface of the base substrate 10 without being adhered, the polymer film 20 that is not formed as the electrode 30 can be easily removed.
In this embodiment, the carbon graphene electrode 30 has electrical conductivity. Therefore, it can function as an electrical conductivity-based sensor. As shown in (d) of FIG. 2, when the electrode 30 is exposed from the base substrate 10, it can be used as a pressure sensor or a humidity sensor. That is, when pressure is applied from the outside, the electrode 30 is deformed and the electrical conductivity changes, so the external pressure can be measured. Since the electrical conductivity of the electrode 30 varies depending on the external humidity, the electrical conductivity of the electrode 30 changes. Humidity can be measured by determining conductivity.
Meanwhile, in the case of this embodiment, a substrate separation step (S4) is further included, as shown in (e) of FIG. 2.
The substrate separation step (S4) separates the base substrate 10 from the electrode 30 formed in the electrode forming step (S2). The electrode 30 is deposited and bonded to the base substrate 10, but the electrode 30 can be separated from the base substrate 10 by applying physical force. Therefore, since only the electrode 30 separated from the base substrate 10 can be used as a sensor, the volume of the sensor can be reduced.
In the conventional case, a UV laser was applied to the surface of polyimide to form an electrode, and then platinum was vacuum deposited to form an electrically conductive film. In this case, there was a problem that the process was complicated and difficult because a separate vacuum deposition operation using metal was required. In addition, since electrodes are formed on the base substrate, there is a problem that the sensor includes the base substrate, increasing the volume of the sensor. On the other hand, according to this embodiment, the laser beam 3 is irradiated to the surface of the polymer film 20 laminated on the base substrate 10 inside the chamber 1 to which the inert gas is supplied. Then, the polymer film 20 made of polyimide is converted to carbon graphene to form an electrically conductive electrode 30. In this case, since the electrode 30 can be formed without depositing a metal to conduct electricity on the surface of the polymer film 20 irradiated with the laser beam 3, the sensor can be easily manufactured. In addition, according to this embodiment, the carbon graphene electrode 30 can be separated from the base substrate 10, so a sensor with a reduced volume can be manufactured and provided.
3 and 4 show another example of the sensor manufacturing method using a laser according to the present invention. Another embodiment of the sensor manufacturing method using a laser according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
The embodiment shown in FIG. 3 further includes a coating step (S5), a second film stacking step (S6), and a second electrode forming step (S7).
In the coating step (S5), a polymer is coated on one side of the base substrate (10) to cover the electrode (30) from which the polymer film (20) was removed in the film removal step (S3).
In the second film stacking step (S6), the polymer film 20 is placed on one surface of the polymer-coated base substrate 10.
The second electrode forming step (S7) uses a laser beam (3) inside the chamber (1) where the ball active gas is supplied to the polymer film (20) laminated on the base substrate (10) in the second film stacking step (S6). Irradiation is performed to form a graphene carbon electrode (30). Then, the electrode 30 is formed in two stages as shown in (e) of FIG. 3. At this time, the electrodes 30 are formed in two stages by crossing each other at right angles as shown in FIG. 4, but may also be formed in multiple stages parallel to each other. Since the remaining components are the same as the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, detailed description will be omitted.
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1 : 챔버 3 : 레이저 빔
10 : 베이스기판 20 : 폴리머 필름
30 : 전극1: Chamber 3: Laser beam
10: Base substrate 20: Polymer film
30: electrode
Claims (5)
상기 필름적층단계에서 베이스기판에 적층된 폴리이미드로 형성된 필름에 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 레이저빔을 조사하여 탄소그래핀화 된 전극을 형성하는 전극형성단계와,
상기 전극형성단계에서 상기 전극으로 형성되지 않은 상기 폴리이미드로 형성된 필름을 제거하는 필름제거단계와,
상기 필름제거단계에서 상기 폴리이미드로 형성된 필름이 제거된 상기 전극을 덮을 수 있게 상기 베이스기판의 일면에 폴리머를 코팅하는 코팅단계와,
상기 코팅단계에서 상기 폴리머가 코팅된 베이스기판의 일면에 상기 폴리이미드로 형성된 필름을 위치시키는 제2필름적층단계와,
상기 제2필름적층단계에서 상기 베이스기판에 적층된 상기 폴리이미드로 형성된 필름에 상기 불활성가스가 공급되는 상기 챔버 내부에서 상기 레이저빔을 조사하여 탄소그래핀화 된 전극을 형성하는 제2전극형성단계를 포함하며,
상기 탄소그래핀화 된 전극을 다단으로 형성할 수 있도록 상기 폴리머가 코팅된 베이스기판에 폴리이미드로 형성된 필름을 반복 적층하여 상기 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 센서제조방법. A film lamination step of placing a film formed of polyimide on one side of a polymer base substrate,
An electrode forming step of forming a carbon graphene electrode by irradiating a laser beam inside a chamber where an inert gas is supplied to a film formed of polyimide laminated on a base substrate in the film stacking step;
A film removal step of removing a film formed of the polyimide that was not formed as the electrode in the electrode forming step,
A coating step of coating a polymer on one surface of the base substrate so that the film formed of polyimide can cover the electrode removed in the film removal step;
A second film stacking step of positioning a film formed of the polyimide on one surface of the base substrate coated with the polymer in the coating step;
A second electrode forming step of forming a carbon graphene electrode by irradiating the laser beam inside the chamber where the inert gas is supplied to the film formed of the polyimide laminated on the base substrate in the second film stacking step. Includes,
A sensor manufacturing method using a laser, characterized in that the electrode is formed by repeatedly stacking a film formed of polyimide on the polymer-coated base substrate so that the carbon graphene electrode can be formed in multiple stages.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190105758A KR102606035B1 (en) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | Sensor manufacturing method using laser and the sensor manufactured by the method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190105758A KR102606035B1 (en) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | Sensor manufacturing method using laser and the sensor manufactured by the method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20210025857A KR20210025857A (en) | 2021-03-10 |
| KR102606035B1 true KR102606035B1 (en) | 2023-11-24 |
Family
ID=75148749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190105758A KR102606035B1 (en) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | Sensor manufacturing method using laser and the sensor manufactured by the method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102606035B1 (en) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20210025857A (en) | 2021-03-10 |
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