KR102576532B1 - 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 실시예 들은 동일 또는 ±5％을 갖는 가열선의 길이 편차 또는 용량 편차 또는 저항 편차를 실현하는 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치를 제공한다.
이에, 본 실시예들은 열 용량 편차를 줄여 열 용량을 거의 동일하게 유지할 수 있고, 이에 따른 히터 라이프 타임(Heater life time)을 동일하게 유지 가능하고, 열 팽창을 감소시킨다.

Description

기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치{SUSCEPTOR AND SUBSTRATE DISPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 실시예들은 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가열부(발열부)의 열 용량을 최적으로 설계하고, 가열부의 열 팽창 현상 등을 줄이기 위한 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 메모리 소자, 액정표시장치 및 유기발광장치 등은 기판상에 복수회의 반도체 공정을 실시하여 원하는 형상의 구조물을 적층하여 제조한다.
반도체 제조공정은 기판상에 소정의 박막을 증착하는 공정, 박막의 선택된 영역을 노출시키는 포토리소그래피(photolithography) 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하는 식각 공정 등을 포함한다. 이러한 반도체를 제조하는 기판 처리공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 공정 챔버를 포함하는 기판 처리장치에서 진행된다.
공정 챔버에는 가공의 대상인 기판과 상기 기판이 안착되는 기판 안착부가 구비되고, 상기 기판에 소스 물질을 함유하는 공정 가스가 분사된다. 이러한 공정 가스에 함유된 소스 물질에 의해 기판에 증착, 식각공정 등이 진행된다.
한편, 전술한 기판 안착부(기판 안착 유닛은)는 기판 처리 공정의 진행을 위해 복수의 가열선을 구비할 수 있는데, 복수의 가열선은 각 영역별 길이가 상이하게 설계되기 때문에, 각 영역별 열 용량 차이가 발생하여 히터 수명이 짧아지는 원인을 제공하거나, 히터 수명이 달라지는 원인을 제공하였다.
게다가, 복수의 가열선은 각 영역별 직진도 유지 길이가 달라 열 팽창을 증가시키는 원인을 제공하였고, 열 팽창 증가를 대비한 각 영역별 공차 계산 및 기판 안착부의 가열선의 설계 적용에 어려움이 따랐다.
본 실시예들은 전체 가열부의 길이 또는 각 영역별 가열부(가열선)의 길이를 최적으로 설계하기 위한 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 실시예들은 각 영역별 가열부(가열선)의 직진성을 최적으로 설계하기 위한 기판 안착 유닛 및 그를 포함한 기판 처리 장치를 제공하는데 그 다른 목적이 있다.
하나의 실시예에 따르면, 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서, 적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과; 상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하는 기판 안착 유닛을 제공하고, 상기 기판 안착 유닛은 상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되어, 해당하는 상기 내측 영역과 상기 외측 영역에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 내측 가열부는 상기 내측 영역에 가로 방향으로 배치된 복수의 제1 가열선과, 상기 복수의 제1 가열선으로부터 이격되어 배치되되, 세로 방향으로 배치된 복수의 제2 가열선과, 상기 복수의 제1 가열선과 상기 복수의 제2 가열선의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차내에서 패턴화되도록, 상기 복수의 제1 가열선의 사이 및 상기 복수의 제2 가열선 사이에 배치된 복수의 버퍼 가열선을 포함할 수 있다.
상기 내측 가열부는 상기 내측 영역마다 반원형의 지그재그 형상을 갖는 복수의 제1 가열선과, 상기 내측 영역마다 일단이 상기 제1 가열선의 일단에 연결되고, 타단이 전원 공급부에 연결되는 복수의 제2 가열선과, 상기 내측 영역마다 상기 복수의 제1 가열선과 제2 가열선에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제3 가열선을 포함할 수 있다.
상기 내측 가열부는 상기 내측 영역마다 상기 복수의 제3 가열선의 각 직진 길이가 상기 지그재그 형상에 포함된 직진 가열선의 길이와 비교하여 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 반원형의 형상을 가지고, 상기 복수의 제3 가열선 사이에 배치된 복수의 제1 버퍼 가열선과, 상기 복수의 제1 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 상기 제1 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 복수의 제2 버퍼 가열선을 더 포함할 수 있다.
상기 외측 가열부는 상기 외측 영역에 가로 방향으로 배치된 복수의 제4 가열선과, 상기 외측 영역에 세로 방향으로 배치된 복수의 제5 가열선과, 상기 복수의 제4 가열선과 상기 복수의 제5 가열선의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 상기 복수의 제4 가열선의 사이 및 상기 복수의 제5 가열선 사이에 배치된 복수의 버퍼 가열선을 포함할 수 있다.
상기 복수의 제4 가열선과 상기 복수의 제6 가열선 중 임의의 끝단에 배치된 어느 하나의 가열선은 전원 공급부에 연결되고, 다른 임의의 끝단에 배치된 다른 하나의 가열선은 서로 연결될 수 있다.
상기 외측 가열부는 상기 외측 영역마다 반원형의 지그재그 형상을 갖는 복수의 제6 가열선과, 상기 외측 영역마다 일단이 상기 복수의 제6 가열선 중 임의의 끝단과 연결되되, 상기 복수의 제6 가열선에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제7 가열선을 포함할 수 있다.
상기 외측 가열부는 상기 외측 영역마다 상기 복수의 제7 가열선의 각 직진 길이가 상기 지그재그 형상에 포함된 직진 가열선의 길이와 비교하여 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 상기 복수의 제6 가열선 사이에 배치된 반원형의 제3 버퍼 가열선과, 상기 복수의 제6 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 상기 제3 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 제4 버퍼 가열선을 더 포함할 수 있다.
하나의 실시예에 따르면, 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서, 적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과; 상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하는 기판 안착 유닛을 제공하고, 상기 기판 안착 유닛은 상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 상기 각 가열선에서 발생되는 용량의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서 결정되는 것을 특징으로 한다.
하나의 실시예에 따르면, 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서, 적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과; 상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하는 기판 안착 유닛을 제공하고, 상기 기판 안착 유닛은 상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 상기 각 가열선에서 발생되는 저항의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서 결정되는 것을 특징으로 한다.
하나의 실시예에 따르면, 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 처리 장치에 있어서, 공정 챔버 내에 구비된 기판; 상기 기판을 상부에 안착시켜 상기 안착된 기판을 가열하는 선택적인 전술한 기판 안착 유닛; 상기 공정 챔버 내로 공정 가스를 분사하는 가스 분배 장치; 및 상기 기판 안착 유닛의 하부에 배치되어, 상기 기판 안착 유닛을 상기 가스 분배 장치에 근접하도록 상기 기판 안착 유닛을 상하로 이동시키는 승강 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.
이상과 같이, 본 실시예들은 영역별 전체 가열선의 길이 또는 각 가열선의 길이를 편차 이내로 설계하여 열 용량 편차를 줄여 열 용량을 거의 동일하게 유지할 수 있고, 이에 따른 히터 라이프 타임(Heater life time)을 동일하게 유지 가능하고, 열 팽창을 감소시키는 효과가 있다.
또한, 본 실시예들은 영역별 전체 가열선의 길이 또는 각 가열선에서 발생하는 용량 또는 저항을 편차 이내에 유지되도록 전체 가열선의 길이 또는 각 가열선의 길이를 설계함으로써, 열 팽창의 증가를 막아 히터 수명을 연장시키는 효과가 있다.
또한, 본 실시예들은 영역별 전체 가열선의 길이 또는 각 가열선의 직진 길이를 편차 이내로 설계함으로써, 열 팽창에 따른 공차 계산이 용이하고, 과도 열 팽창 방지로 히터 페일(Heater fail) 가능성이 제거되는 효과가 있다.
이상의 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 실시예들이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛의 일례를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 내측 가열부의 패턴 구조를 보다 구체적으로 예시하여 나타내 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛을 구비한 기판 처리 장치를 도식화하여 나타낸 블럭 구성도이다.
이하의 실시예에서 개시되는 방법과 차량 제어기들에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 이하의 실시예에서 개시되는 용어들은 단지 특정한 일례를 설명하기 위하여 사용된 것이지 이들로부터 제한되는 것은 아니다.
예를 들면, 이하의 실시예에서 개시되는 '포함하다', '가지다' 또는 '이루어지다' 등의 용어 들은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것으로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 이하의 실시예에서 개시되는 "제1" 및 "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.
또한, 이하의 실시예에서 개시되는 실시예의 설명 및 특허청구범위에 사용되는 단수 표현인 '상기'는 아래위 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현도 포함하는 것으로 이해될 수 있으며, '또는/및' 또는 '및/또는'는 열거되는 관련 항목들 중 하나 이상의 항목에 대한 임의의 및 모든 가능한 조합들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 이하의 실시예에서 개시되는 각 element의 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 이하의 실시예에서 개시되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용되는 것으로 이해될 수도 있다.
이하에서는, 전술한 관점들을 토대로 개시되는 기판 안착 유닛 및 기판 처리 장치에 대해 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
<기판 안착 유닛의 실시예>
도 1은 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛의 일례를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛(1000)은 적어도 하나의 내측 가열부(110, 가열선의 영역 형태로 표시함)를 포함하는 내측 영역(100)과 상기 내측 영역(100)을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부(210, 가열선의 영역 형태로 표시함)를 포함하는 외측 영역(200) 및 전원 공급부(300)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 내측 영역(100)은 외측 영역(200)으로부터 구분되어 복수개로 구획(분할)된 영역을 일컫으며, 외측 영역(200)은 내측 영역(100)에 둘러 쌓여져 형성됨과 동시에, 내측 영역(100)으로부터 구분되어 복수개로 구획(분할)된 영역을 일컫는다.
언급된 '외측 영역'이라는 용어에서 '외측'은 기판 안착 유닛(1000)의 외각을 지칭하는 것이 아닌 내측 영역(100)을 기준으로 할 때 그로부터 이웃하여 기판 안착 유닛(1000)에 배치된 상태를 가리키고, '내측 영역'이라는 용어에서 '내측'은 기판 안착 유닛(100)의 대략 중앙 기점으로부터 이웃하여 기판 안착 유닛(1000)에 배치된 상태를 가리킬 수 있다.
일 실시예에서, 내측 영역(100)에 배치된 내측 가열부(110) 및 외측 영역에 배치된 외측 가열부(210)는 각각 복수 개의 가열선이 소정의 패턴을 가지고 나란하게 또는 일정한 패턴을 가지고 해당하는 각 영역에 배치될 수 있다.
게다가, 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)마다 복수 개의 가열선의 일부가 기판 안착 유닛(1000)의 임의의 지점에서 서로 연결되도록 설계될 수도 있다.
이러한 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)는 각각 복수 개로 이루어질 수 있다.
예를 들면, 내측 가열부(110)는 내측 영역(100)의 좌측에 배치된 제1 내측 가열부(111) 및 내측 영역(100)의 우측에 배치된 제2 내측 가열부(112)를 포함할 수 있다.
언급된 제1 내측 가열부(111) 및 제2 내측 가열부(112)는 각각 복수 개의 가열선을 구비하며, 구비된 복수 개의 가열선을 서로 대칭적인 구조로 패턴화될 수 있다.
이러한 내측 가열부(110)에 대해서는 차후의 도 2에서 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 외측 가열부(210)는 내측 영역(100)의 좌측에 배치된 제1 외측 가열부(211), 내측 영역(100)의 우측 배치된 제2 외측 가열부(212), 내측 영역(100)의 상측에 배치된 제3 외측 가열부(213) 및 내측 영역(100)의 하측에 배치된 제4 외측 가열부(214)를 포함할 수 있다.
언급된 제1 외측 가열부(211) 및 제2 외측 가열부(212)는 각각 복수 개의 가열선을 구비하며, 구비된 복수 개의 가열선을 서로 대칭적인 구조로 패턴화시킬 수 있고, 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)는 각각 복수 개의 가열선을 구비하며, 구비된 복수 개의 가열선을 서로 대칭적인 구조로 패턴화시킬 수 있다.
그러나, 전술한 패턴 구조는 일례에 불과할 뿐, 다양한 가열선의 패턴 구조를 가질 수 있음은 물론이다.
일 실시예에서, 전원 공급부(300)는 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에 구비된 임의의 가열선과 연결될 수 있다. 예를 들면, 도 1의 오른쪽에 도시된 전원 공급부(300)는 제2 내측 가열부(112)의 임의의 가열선과 연결되고, 제2 외측 가열부(212)과 제4 외측 가열부(214)의 각 임의의 가열선과 연결될 수 있다.
반면, 도 1의 왼쪽에 도시된 전원 공급부(300)는 제1 내측 가열부(111)의 임의의 가열선과 연결되고, 제1 외측 가열부(211) 및 제3 외측 가열부(212)의 각 임의의 가열선과 연결될 수 있다.
여기서, 적어도 하나의 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에 구비된 각 가열선 길이는 서로 대비하여 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되어, 해당하는 내측 영역과 외측 영역에 배치된다.
상기 각 가열선의 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차를 갖는 이유는 대략 동일한 전압이 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에 공급될 경우 하기의 (표 1)과 같이 저항, 전압 및 열 용량의 편차를 줄여 거의 동일한 저항, 전압 및 열 용량을 가지도록 하기 위함이다.
구분 내측 가열부 상하 외측 가열부 좌우 외측 가열부
가열선의 길이 14.678 14.435 14.284
외경 0.48 0.48 0.48
1m 당 저항 2.29 2.29 2.29
저항 33.61 33.06 32.71
전압(V) 440 440 440
용량(W) 5759.74 5856.70 59118.61
전류(A) 13.09 13.31 13.45
와트밀도(W/cm2) 2.60 2.69 2.75
각 영역 의 개수 2개 2개 2개
총 용량 11519.48 11713.40 11837.23
총합(KW) 35.1
(표 1)에서 상기 상하 외측 가열부는 내측 영역(100)의 상부와 하부에 구비된 외측 영역(200)의 외측 가열부(210)를 가리키고, 상기 좌우 외측 가열부는 내측 영역(100)의 좌측과 우측에 구비된 외측 영역(200)의 외측 가열부(210)를 가리킨다.
이와 같이, 열 용량의 차이가 크지 않으면, 궁극적으로 히터 라이프 타임(Heater life time)을 길게가져갈 수 있고, 히트 수명 등을 연장시키는 등 다양한 해택이 따른다.
반대로, 예컨대, 적어도 하나의 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에 구비된 각 가열선 길이가 동일하지 않거나 ±5％의 길이 편차를 벗어하는 경우는 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에서 발생되는 저항 및 용량(열 용량/ 총 용량) 등의 크기가 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)마다 크게 달라, 히터 수명이 단축되거나, 각 히터 라이프 타임(Heater life time)이 달라지며, 더욱이 열 팽창이 증가하게 된다.
이런 단점을 극복하기 위해, 앞서 설명한 바와 같이 각 가열선의 길이를 편차 이내로 조절하는 것이며, 그러나 반드시 이에 한정되지는 않는다.
다시 말해, 적어도 하나의 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)에 구비된 임의의 두 가열선 길이를 비교하지 않고, 내측 가열부(110)에 구비된 전체 가열선 길이 대비 외측 가열부(210)에 구비된 전체 가열선 길이가 동일하거나 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화될 수도 있다.
이와 같이, 본 실시예에서는 영역별 전체 가열선의 길이 또는 내측 영역과 외측 영역에 배치된 각 가열선의 길이를 편차 이내로 설계하여 열 용량 편차를 줄여 열 용량을 거의 동일하게 유지할 수 있고, 이에 따른 히터 라이프 타임(Heater life time)을 동일하게 유지하는 등 다양한 잇점을 줄 수 있다.
한편, 전술한 각 가열선의 길이 설계와 다르게, 다른 관점에서 살펴보면, 전술한 적어도 하나의 내측 가열부(110)와 적어도 하나의 외측 가열부(210)에 배치된 각 가열선의 길이는 각 가열선에서 발생되는 용량의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서 결정될 수 있다.
또는 전술한 적어도 하나의 내측 가열부(110)와 적어도 하나의 외측 가열부(210)에 배치된 각 가열선의 길이는 각 가열선에서 발생되는 저항의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서 결정될 수도 있다.
부가 설명하자면, 전술한 영역별 전체 가열선 길이 또는 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)의 각 가열선의 길이가 전술한 바와 같이 최적으로 설계되면, (표 1)에서와 같이 계산 결과인 각 파라미터가 오차 범위내에 있어, 전술한 다양한 장점을 가질 수 있는 것과 마찬가지로, 결론적인 각 파라미터, 예컨대 저항 또는 용량의 편차를 동일 또는 ±5% 범위 안에서 전술한 영역별 전체 가열선 길이 또는 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)의 각 가열선의 길이를 최적으로 결정할 수 있게 된다.
이로써, 전술한 다른 관점의 설계로 인해, 본 실시예에서는 열 용량 편차를 줄여 열 용량을 거의 동일하게 유지할 수 있고, 이에 따른 히터 라이프 타임(Heater life time)을 동일하게 유지하는 등 다양한 잇점을 줄 수도 있다.
한편, 전술한 제1 외측 가열부(211)은 가로 방향으로 형성된 복수의 제4 가열선(210A), 세로 방향으로 형성된 복수의 제5 가열선(210B) 및 복수의 제4 가열선(210A) 및/또는 복수의 제5 가열선(210B) 중 적어도 하나의 임의의 지점에 형성된 복수의 버퍼 가열선(210C)을 포함할 수 있다.
이와 마찬가지로, 전술한 제2 외측 가열부(212), 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)도 복수의 제4 가열선(210A), 복수의 제5 가열선(210B) 및 복수의 버퍼 가열선(210C)이 형성될 수 있지만, 도 1에서는 도시하지 않았음을 미리 밝혀둔다.
일 실시예에서, 복수의 제4 가열선(210A)은 각 외측 영역(200)에 가로 방향으로 배치되는 반원형의 지그재그 형상 또는 일자 형상의 형태를 가질 수 있다.
예를 들면, 제1 외측 가열부(211)에 구비된 복수의 제4 가열선(210A)은 가로 방향으로 배치된 반원형의 지그재그 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 복수의 제4 가열선(210A) 중 임의의 끝단에 위치한 제4-1 가열선은 전원 공급부(300)에 연결될 수 있다.
반면, 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)에 구비된 복수의 제4 가열선은 이후에 설명할 복수의 제5 가열부(210B)로부터 이격되어 가로 방향으로 일자 형상의 형태로 배치될 수 있다. 상기 복수의 제4 가열선 중 임의의 끝단에 위치한 제4-2 가열선은 전원 공급부(300)에 연결될 수 있다.
이런 경우, 각 가열부에 구비된 복수의 제4 가열선은 전원 공급부(300)로부터 연결되지 않는 임의의 다른 끝단이 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 제5 가열선(21B)은 각 외측 영역(200)에 세로 방향으로 배치되는 반원형의 지그재그 형상 또는 일자 형상의 형태를 가질 수 있다.
예를 들면, 제1 외측 가열부(211)에 구비된 복수의 제5 가열선(210B)은 세로 방향으로 배치된 전술한 복수의 제4 가열부(210A)로부터 이격되어 세로 방향으로 일자 형상의 형태로 배치될 수 있다. 상기 복수의 제5 가열선(21B) 중 임의의 끝단에 위치한 제5-1 가열선은 전원 공급부(300)에 연결될 수 있다.
반면, 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)에 구비된 복수의 제5 가열선은 세로 방향으로 배치된 반원형의 지그재그 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 복수의 제5 가열선 중 임의의 끝단에 위치한 제5-2 가열선은 전원 공급부(300)에 연결될 수 있다.
이런 경우, 각 가열부에 구비된 복수의 제5 가열선은 전원 공급부(300)로부터 연결되지 않는 임의의 다른 끝단이 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 버퍼 가열선(210C)은 전술한 복수의 제4 가열선(210A)과 복수의 제5 가열선(210B)의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 복수의 제4 가열선(210A)의 사이 및 복수의 제5 가열선(210B) 사이에 배치될 수 있다.
이를 위해, 복수의 버퍼 가열선(210C)은 제1 외측 가열부(211), 제2 외측 가열부(212), 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)마다 임의의 두 제4 가열선(210A)의 사이 및 임의의 두 제5 가열선(210B) 사이에 배치되는 각 복수의 제1 버퍼 가열선(210C-1)과 제2 버퍼 가열선(210C-2)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 제1 외측 가열부(211)에 구비된 임의의 두 제4 가열선(210A)의 사이 및 임의의 두 제5 가열선(210B) 사이에 배치되는 복수의 제1 버퍼 가열선(210C-1)과 제2 버퍼 가열선(210C-2)은 제1 외측 가열부(211)에 배치된 제4 가열선(210A) 및 제5 가열선(210B)의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 위치가 결정될 수 있다.
바꾸어 말하면, 제1 외측 가열부(211)에 배치된 제4 가열선(210A)의 가로 방향 길이와 제5 가열선(120B)의 세로 방향 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 각 버퍼 가열선(210C)의 위치가 결정될 수 있다.
이와 마찬가지로, 제3 외측 가열부(213)에 구비된 임의의 두 제4 가열선의 사이 및 임의의 두 제5 가열선 사이에 배치되는 제1 버퍼 가열선과 제2 버퍼 가열선은 제3 외측 가열부(213)에 배치된 임의의 제4 가열선 및 제5 가열선의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 위치가 결정될 수 있다.
바꾸어 말하면, 제3 외측 가열부(213)에 배치된 임의의 제4 가열선의 세로 방향 길이와 제5 가열선의 가로 방향 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 각 버퍼 가열선의 위치가 결정될 수 있다.
이로써, 본 실시예에서는 각각 복수의 제4 가열선(210A) 및 복수의 제5 가열선(210B)에 구비된 가열선간 길이를 동일 또는 ±5％의 길이 편차로 유지시켜 줌으로써, 열 팽창의 증가를 막아 히터 수명을 연장시키고, 열 팽창에 따른 공차 계산이 용이하게 하며, 과도 열 팽창 방지로 히터 페일(Heater fail) 가능성을 제거하는 장점을 줄 수 있다.
다른 관점에서, 전술한 외측 가열부(210)를 바라보면 다음과 같다.
일 실시예에 따른 다른 관점의 외측 가열부(210)는 내측 영역의 좌측에 배치된 제1 외측 가열부, 내측 영역의 우측 배치된 제2 외측 가열부, 내측 영역의 상측에 배치된 제3 외측 가열부 및 내측 영역의 하측에 배치된 제4 외측 가열부를 포함한다.
그리고, 상기 제1 외측 가열부, 제2 외측 가열부, 제3 외측 가열부 및 제4 외측 가열부는 각각의 외측 영역(200)마다 반원형의 지그재그 형상을 갖는 복수의 제6 가열선과, 외측 영역(200)마다 일단이 복수의 제6 가열선 중 임의의 끝단과 연결되되 복수의 제6 가열선에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제7 가열선을 포함할 수 있다.
더 나아가, 일 실시예에 따른 제1 외측 가열부(211), 제2 외측 가열부(212), 제3 외측 가열부(213) 및 제4 외측 가열부(214)는 외측 영역(200)마다 복수의 제7 가열선의 각 직진 길이가 지그재그 형상에 포함된 직진 가열선의 길이와 비교하여 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 복수의 제6 가열선 사이에 배치된 반원형의 제3 버퍼 가열선과, 상기 복수의 제6 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 상기 제3 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 제4 버퍼 가열선을 더 포함할 수 있다.
여기서, 복수의 제3 버퍼 가열선과 복수의 제4 버퍼 가열선을 두는 이유는 외측 영역(200)마다 복수의 제6 가열선 및 복수의 제7 가열선에 구비된 가열선간 길이를 동일 또는 ±5％의 길이 편차로 유지시켜 줌으로써, 열 팽창의 증가를 막아 히터 수명을 연장시키고, 열 팽창에 따른 공차 계산이 용이하게 하며, 과도 열 팽창 방지로 히터 페일(Heater fail) 가능성을 제거하는데 일조하기 위함이다.
<내측 가열부의 실시예>
도 2는 일 실시예에 따른 내측 가열부의 패턴 구조를 보다 구체적으로 예시하여 나타내 도면이다. 상기 도 2는 도 1의 내측 가열부 및 전원 공급부 만을 도려낸 상태이다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 내측 가열부(110)의 제1 내측 가열부(111)과 제2 내측 가열부(112)를 포함하고, 상기 제1 내측 가열부(111)과 제2 내측 가열부(112)는 각각 여러 개의 가열선들로 이루어질 수 있는데, 예컨대 복수의 제1 가열선(110A, 도면에 하나만 표시됨), 복수의 제2 가열선(110B, 도면에 하나만 표시됨) 및 복수의 버퍼 가열선(110C)을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 제1 가열선(110A)은 서로 연결되어, 각 내측 영역(100)에서 가로 방향으로 배치된 가열선들을 가리킬 수 있다.
이런 경우, 복수의 제1 가열선(110A)이 서로 연결되면, 반원형의 지그재그 형상을 가질 수 있다. 각 내측 영역(100)마다 구비된 복수의 제1 가열선(110A) 중 임의의 끝단에 구비된 제1-1 가열선은 각각 전원 공급부(300)에 연결될 수 있다.
이러한 복수의 제1 가열선(110A)은 각 내측 영역(100)에서 대칭적인 반원형의 지그재그 형상를 가질 수 있다. 대칭적으로 배치되면, 열 효율 향상에 기여할 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 제2 가열선(110B)은 복수의 제1 가열선(110A)으로부터 이격되어 배치되되, 세로 방향으로 배치된 가열선들을 가리킬 수 있다. 예를 들면, 복수의 제2 가열선(110B)의 일단이 전원 공급부(300)의 연결선에 연결되고, 복수의 제2 가열선(110B)의 타단이 복수의 제1 가열선(110A) 중 임의의 끝단에 구비된 제1-2 가열선에 연결되도록 복수의 제1 가열선(110A)으로부터 이격되어 세로 방향으로 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 버퍼 가열선(110C)은 복수의 제1 가열선(110A)과 복수의 제2 가열선(110B)의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차내에서 패턴화되도록, 임의의 복수의 제1 가열선(110A)의 사이 및 복수의 제2 가열선(110B) 사이에 배치될 수 있다.
이를 위해, 복수의 버퍼 가열선(110C)은 제1 버퍼 가열선(110C-1), 제2 버퍼 가열선(110C-2), 제3 버퍼 가열선(110C-3) 및 제4 버퍼 가열선(110C-4)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 제1 버퍼 가열선(110C-1)은 좌측의 내부 영역의 상단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A)과 좌측의 내부 영역의 중간단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A) 사이에 배치됨과 동시에, 좌측의 내부 영역의 상단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B)과 좌측 내부 영역의 중간단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B) 사이에 배치될 수 있다.
예를 들면, 제2 버퍼 가열선(110C-2)은 우측의 내부 영역(100)의 상단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A)과 우측의 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A) 사이에 배치됨과 동시에, 우측의 내부 영역(100)의 상단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B)과 우측 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B) 사이에 배치될 수 있다.
또한, 제3 버퍼 가열선(110C-3)은 좌측의 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A)과 좌측의 내부 영역(100)의 하단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A) 사이에 배치됨과 동시에, 좌측의 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B)과 좌측의 내부 영역(100)의 하단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B) 사이에 배치될 수 있다.
또한, 제4 버퍼 가열선(110C-4)은 우측의 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A)과 우측의 내부 영역(100)의 하단에 구비된 복수의 제1 가열선(110A) 사이에 배치됨과 동시에, 우측의 내부 영역(100)의 중간단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B)과 우측의 내부 영역(100)의 하단에 구비된 복수의 제2 가열선(110B) 사이에 배치될 수 있다.
여기서, 제1 버퍼 가열선(110C-1) 내지 제4 버퍼 가열선(110C-4)을 전술한 바와 같이 배치하는 이유는 전술한 두 가열선(110A, 110B)의 가로 방향의 길이와 세로 방향의 길이를 동일 또는 ±5％의 길이 편차로 유지시켜 줌으로써, 열 팽창의 증가를 막아 히터 수명을 연장시키고, 열 팽창에 따른 공차 계산이 용이하게 하고, 과도 열 팽창 방지로 히터 페일(Heater fail) 가능성을 제거하는데 일조하기 위함이다.
다른 관점에서, 전술한 내측 가열부(110)를 바라보면 다음과 같다.
일 실시예에 따른 다른 관점의 내측 가열부(110)는 내측 영역(100)마다 반원형의 지그재그 형상을 갖는 복수의 제1 가열선과 내측 영역(100)마다 일단이 복수의 제1 가열선의 일단에 연결되고, 타단이 전원 공급부(300)에 연결되는 복수의 제2 가열선 및 내측 영역(100)마다 상기 복수의 제1 가열선과 제2 가열선에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제3 가열선을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 다른 관점의 내측 가열부(110)는 내측 영역(100)마다 복수의 제3 가열선의 각 직진 길이가 반원형의 지그재그 형상에 포함된 직진 가열선의 길이와 비교하여 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 반원형의 형상을 가지고 복수의 제3 가열선 사이에 배치된 복수의 제1 버퍼 가열선과, 복수의 제1 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 제1 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 복수의 제2 버퍼 가열선을 더 포함할 수 있다.
여기서, 복수의 제1 버퍼 가열선과 복수의 제2 버퍼 가열선을 두는 이유는 복수의 제1 가열선, 복수의 제2 가열선 및 복수의 제3 가열선에 구비된 가열선간 길이를 동일 또는 ±5％의 길이 편차로 유지시켜 줌으로써, 열 팽창의 증가를 막아 히터 수명을 연장시키고, 열 팽창에 따른 공차 계산이 용이하게 하고, 과도 열 팽창 방지로 히터 페일(Heater fail) 가능성을 제거하는데 일조하기 위함이다.
이하에서는, 전술한 기판 안착 유닛을 기판 처리 장치에 적용한 일례에 대해 설명하기로 한다.
<기판 처리 장치의 실시예>
도 3은 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛을 구비한 기판 처리 장치를 도식화하여 나타낸 블럭 구성도이다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 기판 처리장치는 반응 공간이 구비된 공정 챔버(1100)와, 상기 공정챔버(1100) 내에 구비되어 적어도 하나의 기판(1010)을 지지하는 기판 안착 유닛(1000)과, 상기 기판 안착 유닛(1000)과 대향되는 공정 챔버(1100) 내의 타측에 구비되어 공정가스를 분사하는 가스 분배 장치(1300)와, 상기 공정 챔버(1100)의 외측에 구비되어 가스 분배 장치(1300)로 공정 가스를 공급하는 가스 공급부(1400)를 포함할 수 있다.
또한, 기판 처리장치는 공정챔버(1100) 내부를 배기하기 위한 배기부(1500)를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 공정 챔버(1100)는 내부에 기판(1001)의 증착을 위한 공간이 구비되는 통 형상으로 구비될 수 있다. 이러한 공정 챔버(1100)는 기판(1010)의 형상에 따라 다양한 형상으로 구비될 수 있다.
이러한 공정 챔버(1100)의 내부에는 기판 안착 유닛(1000)과 가스 분배 장치(1300)가 서로 대향되도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 기판 안착 유닛(1000)이 공정 챔버(1100)의 하측에 구비되고, 가스 분배 장치(1300)는 공정 챔버(1100)의 상측에 구비될 수 있다.
또한, 공정 챔버(1100)에는 기판(1010)이 인입 및 인출되는 기판 출입구(1110)가 구비될 수 있다. 그리고, 공정 챔버(1100)에는 공정 챔버(1100)의 내부로 공정 가스를 공급하는 가스 공급부(1400)와 연결된 가스 유입구(1120)가 구비될 수 있다.
또한, 공정 챔버(1100)의 내부 압력을 조절하거나, 공정 챔버(1100) 내부의 이물질 등을 배기하기 위해, 배기구(1130)가 구비되고, 배기구(1130)에는 배기부(1500)가 연결될 수 있다.
예를 들어, 기판 출입구(1110)는 공정 챔버(1100)의 일 측면에 기판(1010)이 출입할 수 있는 정도의 크기로 구비될 수 있고, 가스 유입구(1120)는 공정 챔버(1100)의 상부벽을 관통하여 구비될 수 있으며, 배기구(1130)는 기판 안착 유닛(1000) 보다 낮은 위치의 공정 챔버(1100)의 측벽 또는 하부벽을 관통하여 구비될 수 있다.
일 실시예에서, 기판 안착 유닛(1000)은 공정 챔버(1100)의 내부에 구비되어 공정 챔버(1100)의 내부로 유입된 적어도 하나의 기판(1010)이 안착된다. 이러한 기판 안착 유닛(1000)은 가스 분배 장치(1300)와 대향하는 위치에 구비될 수 있다.
이러한 기판 안착 유닛(1000)은 상하 방향으로 볼때 대략 원형 또는 사각형 판으로 형성될 수 있다. 다만, 하기에서는 일 실시예로 사각 판형으로 형성되는 기판 안착 유닛(1000)에 대하여 설명한다.
예를 들면, 공정 챔버(1100) 내부의 하측에 기판 안착 유닛(1000)이 구비되고, 공정 챔버(1100)의 내부 상측에 가스 분배 장치(1300)가 구비될 수 있다.
더욱이, 기판 안착 유닛(1000)의 하부에는 기판 안착 유닛(1000)을 상하로 이동시키는 승강 장치(1210)가 구비될 수 있다. 승강 장치(1210)는 기판 안착 유닛(1000)의 적어도 일 영역, 예컨대 중앙부를 지지하도록 구비되고, 기판 안착 유닛(1000 상에 기판(1010)이 안착되면, 기판 안착 유닛(1000)을 가스 분배 장치(1300)에 근접되도록 이동시킬 수 있다.
특히, 일 실시예에 따른 기판 안착 유닛(1000)은 적어도 하나의 내측 가열부(110)를 포함하는 내측 영역(100)과 상기 내측 영역(100)을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부(210)를 포함하는 외측 영역(200) 및 전원 공급부(300)를 포함한다. 이로 인한 특징은 도 1 내지 도 2에서 충분히 설명하였기 때문에 그에 대한 설명은 생략하지만, 본 실시예에도 동일하게 적용됨을 미리 밝혀둔다.
부가적으로, 적어도 하나의 내측 가열부(110) 및 외측 가열부(210)는 정해진 온도로 발열하여 기판(1010)을 가열하기 때문에, 박막 증착 공정 및 식각 공정 등이 기판(1010) 상에서 용이하게 실시되도록 하는데 크게 기여할 수 있다.
일 실시예에서, 가스 분배장치(1300)는 공정 챔버(1100)의 내부 상측에 구비되어 기판 안착 유닛(1000) 상에 안치된 기판(1010)을 향해 공정 가스를 분사할 수 있다. 이러한 가스 분배 장치(1300)는 기판 안착 유닛(1000)과 마찬가지로 기판(1010)의 형상에 대응되는 형상으로 제작될 수 있는데, 대략 원형 또는 사각형으로 제작될 수 있다.
더욱이, 가스 분배 장치(1300)는 상부판(1310), 샤워헤드(1320), 측벽판(1330)을 포함할 수 있다. 상부판(1310)은 공정챔버(1100)의 상부벽과 마찬가지로 가스 유입구(1120)가 형성되어 가스 공급부(1400)와 연결될 수 있다.
샤워헤드(1320)는 상부판(1310)과 상하 방향으로 소정의 거리만큼 이격되어 구비되고, 복수의 분사홀(미도시)이 형성될 수 있다. 측벽판(1330)은 상부판(1310)과 샤워헤드(1320) 사이의 공간을 밀폐하도록 구비될 수 있다.
일 실시예에서, 가스 공급부(1400)는 복수의 공정 가스를 각각 공급하는 가스 공급원(1410), 가스 공급원(1410)으로부터 공정 가스를 공정 챔버(1100)의 내부로 공급하는 가스 공급관(1420)을 포함할 수 있다. 공정 가스는 박막증착 가스 및 식각 가스 등을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 배기부(1500)는 배기 장치(1510)와 공정 챔버(1100)의 배기구(1130)와 연결된 배기관(1520)을 포함할 수 있다. 이러한 배기 장치(1510)는 진공 펌프 등이 사용될 수 있으며, 이에 따라 공정 챔버(1100)의 내부를 진공에 가까운 압력, 예를 들어 0.1mTorr 이하의 압력까지 진공 흡입할 수 있도록 구성될 수 있다.
한편, 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에는 RF 전원(1620), 임피던스 매칭박스(I.M.B (Impedance Matching Box), 1610)를 구비하는 전원 공급부(300)를 구비한다. 전원 공급부(300) 및 기판 안착 유닛(1000)의 내측 가열부(110)/외측 가열부(210)간의 연결 관계 및 전압 공급 관계는 도 1 내지 도 2에서 충분히 설명하였기 때문에 그에 대한 설명은 생략한다.
추가적으로, 전원 공급부(300)는 가스 분배장치(1300)의 상부판(1310)을 플라즈마 전극으로 사용하여 공정 가스에 플라즈마를 발생시킬 수 있다.
이를 위해, 상부판(1310)에는 RF 전력을 공급하는 RF 전원(310)이 연결되고, 상부판(1310)과 RF 전원(310)의 사이에는 최대 전력이 인가될 수 있도록 임피던스를 매칭하는 임피던스 매칭박스(320)를 더 구비할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서는 도 1 내지 도 2에서 설명한 기판 안착 유닛(1000)을 전술한 기판 처리 장치에 적용함으로써, 영역별 전체 가열선의 길이 또는 내측 영역과 외측 영역에 배치된 각 가열선의 길이를 편차 이내로 설계하고, 열 용량 편차를 줄여 열 용량을 거의 동일하게 유지할 수 있으며, 이에 따른 히터 라이프 타임(Heater life time)을 동일하게 유지하는 등 다양한 잇점을 제공할 수 있게 된다.
이상에서 개시된 실시예들은 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.
아울러, 이상에서 개시된 실시예들은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
따라서, 전술한 실시예들은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 실시예의 범위에 포함된다.
100 : 내측 영역 110 : 내측 가열부
111: 제1 내측 가열부 112 : 제2 내측 가열부
110A : 복수의 제1 가열선 110B : 복수의 제2 가열선
110C,210C : 복수의 버퍼 가열선 200 : 외측 영역
210 : 외측 가열부 211 : 제1 외측 가열부
212 : 제2 외측 가열부 213 : 제3 외측 가열부
214 : 제4 외측 가열부 201A : 복수의 제4 가열선
210B : 복수의 제5 가열선 210C : 복수의 버퍼 가열선
300 : 전원 공급부 1000 : 기판 안착 유닛

Claims (11)

  1. 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서,
    적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과;
    상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역
    을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되어, 해당하는 상기 내측 영역과 상기 외측 영역에 배치되고,
    상기 내측 가열부는,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 제1 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치되고, 적어도 하나의 일단이 상기 복수의 제1 가열선 중 하나의 제1 가열선의 일단에 연결되고, 다른 하나의 일단이 전원 공급부에 연결되는 복수의 제2 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 이웃하는 상기 복수의 제1 가열선들 사이와 복수의 제2 가열선들 사이에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제3 가열선을 포함하는 기판 안착 유닛.
  2. 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서,
    적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과;
    상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되어, 해당하는 상기 내측 영역과 상기 외측 영역에 배치되고,
    상기 내측 가열부는,
    상기 내측 영역에 가로 방향으로 배치된 복수의 제1 가열선과,
    상기 복수의 제1 가열선으로부터 이격되어 배치되되, 세로 방향으로 배치된 복수의 제2 가열선과,
    상기 복수의 제1 가열선과 상기 복수의 제2 가열선의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차내에서 패턴화되도록, 상기 복수의 제1 가열선의 사이 및 상기 복수의 제2 가열선 사이에 배치된 복수의 버퍼 가열선을 포함하는, 기판 안착 유닛.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제3 가열선은,
    반원형의 형상을 가지고, 상기 복수의 제2 가열선 사이에 배치된 복수의 제1 버퍼 가열선과,
    상기 복수의 제1 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 상기 제1 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 복수의 제2 버퍼 가열선을 포함하는, 기판 안착 유닛.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 외측 가열부는,
    상기 외측 영역에 가로 방향으로 배치된 복수의 제4 가열선과, 상기 외측 영역에 세로 방향으로 배치된 복수의 제5 가열선과,
    상기 복수의 제4 가열선과 상기 복수의 제5 가열선의 직진 길이가 동일 또는 ±5％의 길이 편차 내에서 패턴화되도록, 상기 복수의 제4 가열선의 사이 및 상기 복수의 제5 가열선 사이에 배치된 복수의 버퍼 가열선을 포함하는, 기판 안착 유닛.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 외측 가열부는 상기 내측 가열부와 동일한 패턴으로 이루어지는, 기판 안착 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 외측 가열부는,
    상기 외측 영역에서 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 제4 가열선과,
    상기 외측 영역에서 소정 간격을 두고 배치되고, 적어도 하나의 일단이 상기 복수의 제4 가열선 중 하나의 일단에 연결되고, 다른 하나의 일단이 전원 공급부에 연결되는 복수의 제5 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 이웃하는 상기 복수의 제4 가열선들 사이와 상기 복수의 제5 가열선들 사이에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제6 가열선을 포함하는, 기판 안착 유닛.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제6 가열선은,
    반원형의 형상을 가지고 상기 복수의 제5 가열선 사이에 배치된 제3 버퍼 가열선과,
    상기 복수의 제4 가열선의 사이에 연결됨과 동시에, 상기 제3 버퍼 가열선에 대향하여 반원형의 형상을 갖는 제4 버퍼 가열선을 포함하는, 기판 안착 유닛.
  9. 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서,
    적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과;
    상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 상기 각 가열선에서 발생되는 용량의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서결정되고,
    상기 내측 가열부는,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 제1 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치되고, 적어도 하나의 일단이 상기 복수의 제1 가열선 중 하나의 제1 가열선의 일단에 연결되고, 다른 하나의 일단이 전원 공급부에 연결되는 복수의 제2 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 이웃하는 상기 복수의 제1 가열선들 사이와 복수의 제2 가열선들 사이에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제3 가열선을 포함하는 기판 안착 유닛.
  10. 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 안착 유닛에 있어서,
    적어도 하나의 내측 가열부를 포함하는 내측 영역과;
    상기 내측 영역을 둘러쌓고 배치된 적어도 하나의 외측 가열부를 포함하는 외측 영역을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 내측 가열부와 상기 적어도 하나의 외측 가열부에 배치된 각 가열선의 길이는, 상기 각 가열선에서 발생되는 저항의 편차가 동일 또는 ±5% 범위 안에서 결정되고,
    상기 내측 가열부는,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 제1 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 배치되고, 적어도 하나의 일단이 상기 복수의 제1 가열선 중 하나의 제1 가열선의 일단에 연결되고, 다른 하나의 일단이 전원 공급부에 연결되는 복수의 제2 가열선과,
    상기 내측 영역마다 소정의 간격을 두고 이웃하는 상기 복수의 제1 가열선들 사이와 복수의 제2 가열선들 사이에 소정의 간격을 두고 이웃하여 배치된 복수의 제3 가열선을 포함하는 기판 안착 유닛.
  11. 기판 처리 공정에서 사용되는 기판 처리 장치에 있어서,
    공정 챔버 내에 구비된 기판;
    상기 기판을 상부에 안착시켜 상기 안착된 기판을 가열하는 청구항 제1항, 제2 항, 제4 항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 기판 안착 유닛;
    상기 공정 챔버 내로 공정 가스를 분사하는 가스 분배 장치; 및
    상기 기판 안착 유닛의 하부에 배치되어, 상기 기판 안착 유닛을 상기 가스 분배 장치에 근접하도록 상기 기판 안착 유닛을 상하로 이동시키는 승강 장치
    를 포함하는, 기판 처리 장치.
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