KR102573768B1 - 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템 - Google Patents

단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템에 관한 것으로, 베이스; 상기 베이스로부터 입설되는 지지대; 상기 베이스 상에 위치하여 피사체를 배치하는 스테이지; 상기 지지대에 설치되며, 상기 스테이지에 배치된 피사체와 대향하는 경통; 상기 경통의 내부에 설치되는 빔 스플리터; 상기 경통의 외부에 설치되어 상기 빔 스플리터와 대향하며, 상기 빔 스플리터를 통해 상기 피사체에 광을 조사하는 광원; 상기 경통의 내부에 설치되며, 상기 피사체로부터 반사되는 상기 광원의 광으로부터 0.9㎛∼2.5㎛의 단파장 적외선을 획득하는 광학모듈; 및 상기 광학모듈이 획득한 단파장 적외선을 디지털 영상신호로 변환하여 출력하는 검출기를 포함한다.
본 발명에 의하면, 물질의 투과 특성을 가지는 단파장 적외선을 피사체로부터 획득하여 기존 광학 현미경으로 볼 수 없는 실리콘 내부의 결합 부분의 영상을 얻을 수 있다.

Description

단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템{SWIR HYPER SPECTRAL IMAGING MICROSCOPE SYSTEM}
본 발명은 현미경 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기존 광학 현미경으로 볼 수 없는 실리콘 내부의 결합을 탐색할 수 있는 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템에 관한 것이다.
원적외선(LWIR)은 8~13㎛의 파장대역의 광으로서 인간이 내는 적외선의 파장대를 포함하고, 중적외선(MWIR)은 파장대역이 3~5㎛인 적외선을 말한다.
일반적인 중적외선과 원적외선 현미경 시스템은 적외선 파장영역에서 물체에서 발생되는 복사에너지에 의해 물체의 이미지를 얻는다. 기존의 적외선 현미경 시스템에서 얻어지는 물체의 이미지는 중적외선 이상의 파장대역의 복사에너지를 수광하여 얻은 것으로 물질을 투과한 영상을 얻는데 한계가 있다.
관련 선행기술로는 한국 공개특허공보 제10-2012-0006631호 "적외선렌즈 현미경"이 있다. 상기 선행기술은 2 내지 5 ㎛ 파장의 중적외선만을 투과하여 영상을 얻는다.
한국 공개특허공보 제10-2012-0006631호 "적외선렌즈 현미경"
본 발명의 목적은 기존 광학 현미경으로 볼 수 없는 실리콘 내부의 결합을 탐색할 수 있는 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 베이스; 상기 베이스로부터 입설되는 지지대; 상기 베이스 상에 위치하여 피사체를 배치하는 스테이지; 상기 지지대에 설치되며, 상기 스테이지에 배치된 피사체와 대향하는 경통; 상기 경통의 내부에 설치되는 빔 스플리터; 상기 경통의 외부에 설치되어 상기 빔 스플리터와 대향하며, 상기 빔 스플리터를 통해 상기 피사체에 광을 조사하는 광원; 상기 경통의 내부에 설치되며, 상기 피사체로부터 반사되는 상기 광원의 광으로부터 0.9㎛∼2.5㎛의 단파장 적외선을 획득하는 광학모듈; 및 상기 경통에 설치되며, 상기 광학모듈이 획득한 단파장 적외선을 디지털 영상신호로 변환하여 출력하는 검출기를 포함한다.
더 구체적으로, 상기 지지대와 상기 스테이지 사이에는 상기 스테이지를 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 이동수단이 설치될 수 있다.
상기 경통은 상기 스테이지로부터 거리가 조절될 수 있다.
본 발명에 의하면, 기존 광학 현미경으로 볼 수 없는 실리콘 내부의 결합 부분의 영상을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 측면 도면이다.
도 3은 본 발명에서 경통에 내장된 광학모듈 및 빔 스플리터의 배열을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템은 베이스(11)를 포함한다. 베이스(11)는 판상형을 이루어 바닥에 안정적으로 정치될 수 있다. 베이스(11)의 일측에는 지지대(13)가 수직으로 입설되고, 지지대(13)는 베이스(11)와 일체를 이루어 현미경의 몸체(10)를 형성한다.
베이스(11)에는 피사체가 배치되는 스테이지(20)를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 이동수단(30)이 탑재된다. 이동수단(30)은 고정대(31)와, X축이동대(32)와, Y축이동대(33)와, Z축이동대(34)와, X축노브(35)와, Y축노브(36) 및 Z축노브(37)를 포함하여 구성될 수 있다.
고정대(31)는 판상형을 이루어 베이스(11)의 상면에 적치되어 고정 설치되고, 판상형의 X축이동대(32)는 고정대(31)의 상면에 적치되어 고정대(31)의 평면과 평행한 X축 방향으로 이동한다. X축노브(35)는 고정대(31)와 X축이동대(32) 사이에 위치하며, 일측은 고정대(31)와 결합되고 타측은 X축이동대(32)에 결합되어 X축이동대(32)를 고정대(31)의 평면과 평행한 X축 방향으로 이동시킨다.
판상형의 Y축이동대(33)는 X축이동대(32)의 상면에 적치되고 고정대(31)의 평면과 평행한 Y축 방향으로 이동하며 X축이동대(32)의 X축과 직교한다. Y축노브(36)는 X축이동대(32)와 Y축이동대(33) 사이에 위치하며, 일측은 X축이동대(32)와 결합되고 타측은 Y축이동대(33)에 결합되어 Y축이동대(32)를 고정대(31)의 평면과 평행한 Y축 방향으로 이동시킨다.
스테이지(20)를 받쳐 지지하는 사각 모양의 Z축이동대(34)는 Y축이동대(33)의 상면에 적치되고 고정대(31)의 평면과 직교하는 Z축방향으로 이동한다. 예를 들면, Z축이동대(34)는 랙과 피니언을 이용하여 고정대(31)의 평면으로부터 Z축방향으로 이동할 수 있다.
Y축이동대(33)의 상면에는 홈을 가지는 ㄷ자 모양의 홀더(38)가 설치되고, Z축이동대(34)가 홀더(38)의 홈에 삽입 설치되어 홀더(38)의 지지를 받으며 슬라이드하게 Z축방향으로 이동할 수 있다.
홀더(38)와 Y축이동대(33)의 사이에는 Y축이동대(33)의 상면에 적치되어 고정되는 고정판(39)이 설치되고, 고정판(39)과 Z축이동대(34)에는 Z축이동대(34)의 위치를 고정하는 고정수단(40)이 설치될 수 있다.
고정수단(40)은 일단이 Z축이동대(34)에 고정되고 타단은 고정판(39)에 고정되는 길이를 가지는 길이부재(41)와, 길이부재(41)의 길이를 따라 형성되는 슬롯(43)과, Z축이동대(34)에 형성되어 슬롯(43)과 대응하는 고정홀(미도시)과, 슬롯(43)를 관통하여 고정홀과 나사 결합되는 고정볼트(45)로 이루어질 수 있다.
Z축이동대(34)는 고정볼트(45)가 고정홀로부터 느슨하게 풀린 상태에서 슬롯(43)의 길이를 따라 이동하며, 고정볼트(45)가 고정홀에 단단히 나사 결합되어 박히면, Z축이동대(34)가 길이부재(41)에 고정되어 위치가 고정된다.
이와 같이 고정수단(40)은 Z축노브(37)의 미세 조정으로 위치가 맞춰진 Z축이동대(34)가 더이상 이동하지 않도록 견고히 고정한다.
홀더(38)의 벽체를 관통하여 Z축이동대(34)와 결합되는 Z축노브(36)에는 피니언이 형성되고, 피니언과 치합되는 랙은 Z축이동대(34)에 형성되어 Z축이동대(34)가 Z축방향으로 이동할 수 있다.
X축노브(35), Y축노브(36) 및 Z축노브(37)는 X축이동대(32), Y축이동대(33) 및 Z축이동대(34)의 이동을 미세하게 조절할 수 있도록 마이크로미터일 수 있다. 바람직하게는 구동 정밀도 1㎛ 이하의 마이크로미터로 이루어져 피사체가 올려진 스테이지(20)를 X축, Y축, Z축 방향으로 미세하게 조정할 수 있다.
고정대(31)의 상면에는 제1 레일이 형성되고, X축이동대(32)의 하면에는 제1 레일과 대응하여 끼워지는 제1 레일홈이 형성되어, X축이동대(32)가 제1 레일을 따라 정밀하게 이동할 수 있다.
또한, X축이동대(32)의 상면에는 제2 레일이 형성되고, Y축이동대(33)의 하면에는 제2 레일과 대응하여 끼워지는 제2 레일홈이 형성되어, Y축이동대(33)가 제2 레일을 따라 정밀하게 이동할 수 있다.
지지대(13)에는 경통(50)이 설치된다. 경통(50)은 스테이지(20)로부터 거리조절(Working Distance)이 가능하게 지지대(13)에 설치될 수 있다. 경통(50)은 ㄷ자 모양의 브라켓(60)에 설치되어 고정되며, 브라켓(60)을 승강시킴으로써 스테이지(20)로부터 경통(50)의 거리가 조절될 수 있다.
예를 들면, 지지대(13)의 상부에는 브라켓(60)의 수직부(61)와 대면하는 길이를 가지는 거리조절대(70)를 설치하여 스테이지(20)로부터 경통(50)의 거리를 조절할 수 있다. 경통(50)은 브라켓(60)의 수평부들(63)을 관통하여 고정 설치된다.
거리조절대(70)에는 상하 길이방향(Z축방향)으로 다수개의 거리조절홀(71)이 서로 거리를 두고 형성되고, 브라켓(60)의 수직부(61)에는 거리조절홀(71)과 대응하는 구멍(미도시)이 형성될 수 있다.
브라켓(60)이 거리조절대(70)의 길이를 따라 상하로 이동되어, 구멍이 거리조절홀들(71) 중 어느 하나의 거리조절홀(71)과 일치되고, 그 일치된 구멍과 거리조절홀(71)에 고정구(73)을 박아 고정함으로써 스테이지(20)로부터 경통(50)의 거리가 조절될 수 있다. 이와 같이 스테이지(20)로부터 경통(50)의 거리 조절은 피사체의 부피에 따라 결정된다.
거리조절홀(71)은 거리조절대(70)의 길이를 따라 2열로 배열됨으로써 브라켓(60)이 거리조절대(70)에 견고히 고정되어, 거리 조절된 경통(50)이 안정적으로 고정됨이 바람직하고, 고정구(73)는 구멍과 거리조절홀(71)로부터 삽탈이 가능한 핀이나 볼트일 수 있다.
거리조절대(70)에는 안내홈(75)이 형성되고, 브라켓(60)의 수직부(61)에는 안내홈(75)과 대응하여 끼워지는 안내돌기(미도시)가 형성되어, 거리조절대(70)의 길이를 따라 상하로 이동하는 브라켓(60)을 안내할 수 있다.
경통(50)의 내부에는 스테이지(20)에 올려진 피사체로부터 반사되는 광을 수광하여 집광하는 광학모듈이 설치된다. 광학모듈은 제1 및 제2 렌즈(81)(83)로 이루어질 수 있다.
제1 렌즈(81)는 경통(50)의 하단에 설치되고, 제2 렌즈(83)는 경통(50)의 상단에 설치되며, 필요하면 제1 및 제2 렌즈(81)(83) 사이에 렌즈가 더 설치될 수 있다. 제1 및 제2 렌즈(81)(83)는 각각 렌즈군으로 이루어질 수 있다.
경통(50)의 하단에 설치되는 제1 렌즈(81)는 피사체로부터 반사되는 적외선을 수광하여 상을 포착하는 대물렌즈의 기능을 수행하고, 경통(50)의 상단에 설치되는 제2 렌즈(83)는 제1 렌즈(81)에 의해 평행광으로 진행하는 광을 집광하는 집광렌즈의 기능을 수행한다.
제1 및 제2 렌즈(81)(83)로 이루어진 광학모듈은 피사체로부터 반사되는 0.9㎛∼2.5㎛ 파장대역의 단파장 적외선(SWIR)을 수광하여 집광한다. 0.9㎛∼2.5㎛ 의 단파장 적외선은 안개 및 물질 투과 특성을 가진다.
경통(50)의 상단에는 검출기(90)가 설치된다. 검출기(90)는 광학모듈이 집광한 단파장 적외선 에너지를 디지털 영상신호로 변환하여 출력한다. 검출기(90)는 광학모듈이 집광한 피사체의 단파장 적외선 에너지를 획득하고, 그 획득한 단파장 적외선 에너지를 디지털 영상신호로 변환하여 출력한다.
예를 들면, 검출기(90)가 640×512 배열인 경우, 제1 및 제2 렌즈(81)(83)로 이루어진 광학모듈은 수평 시야(FOV) 2.5mm를 확보할 수 있도록 4배(4×)의 배율을 가지는 것이 바람직하며, 분해능은 4㎛ 이하의 값을 가져 최적화 된다. 나아가, 광학모듈은 6배(6×), 10배(10×) 등의 배열을 가질 수 있고, 검출기(90)의 배열도 이에 따라 변경될 수 있다.
경통(50)에는 광원(110)이 설치된다. 광원(110)은 하우징에 내장되어 경통(50)의 중간에 직교되게 설치될 수 있다. 광원(110)은 경통(50)을 통해 피사체에 광을 조사하여 단파장 적외선을 확보할 수 있도록 한다.
광원(110)은 빛을 조사할 수 있는 광원이면 어느 것도 무방하며 한정하지 않는다. 바람직하게, 광원(110)은 모든 파장대를 충족할 수 있는 할로겐램프임이 좋고, 광원(110)이 할로겐램프이면 방전의 안정성을 확보하기 위해 안정기(111)가 전기적으로 연결됨이 바람직하다.
경통(50)의 내부에는 빔 스플리터(120)가 설치된다. 빔 스플리터(120)는 광원(110)과 대향하게 경통(50)에 내장되어 광원(110)에서 조사되는 광 일부를 반사하고 다른 부분은 투과한다. 빔 스플리터(120)를 반사한 광은 피사체에서 반사되어 빔 스플리터(120)로 되돌아와서 투과하여 검출기(90)로 입사되어 영상을 볼 수 있게 한다.
경통(50)의 하단에는 필터(130)가 장착될 수 있다. 필터(130)는 피사체에서 반사되는 광을 선별적으로 투과시키고 나머지 광은 차단시키는 역할을 수행한다. 이러한 필터(130)는 0.9㎛∼2.5㎛의 좁은 파장대역의 단파장 적외선(SWIR)을 투과시키고 나머지 광은 차단하는 협대역 광학필터임이 바람직하다.
필터(130)를 이루는 협대역 광학필터는 단파장 적외선 영역의 하이퍼 스펙트럴 영상을 얻을 수 있도록 하고, 이때 단파장 적외선 영역에서 파장대역 폭이 30나노미터 이하를 적용할 수 있다. 협대역 광학필터는 하이퍼 스펙트럴 필터이다.
광원(110)에서 광이 조사되면, 광은 빔 스플리터(120)에서 경통(50)을 따라 스테이지(20)에 놓인 피사체 방향으로 반사된다. 빔 스플리터(120)는 광의 일부만을 반사하며, 반사된 광은 제1 렌즈(81)와 필터(130)를 투과하여 피사체에 조사된다.
피사체에 조사된 광은 반사되어 필터(130)를 투과하며, 필터(130)는 0.9㎛∼2.5㎛의 좁은 파장대역의 단파장 적외선(SWIR)을 투과시키고 나머지 광은 차단한다. 필터(130)를 투과한 단파장 적외선은 제1 렌즈(81)에서 수광되고, 제1 렌즈(81)에서 수광되어 평행광으로 진행되는 단파장 적외선은 빔 스플리터(120)를 투과한다. 빔 스플리터(120)는 렌즈(81)를 투과한 단파장 적외선만을 투과한다.
빔 스플리터(120)를 투과하여 평행광으로 진행하는 단파장 적외선은 제2 렌즈(83)에서 집광되고, 집광된 단파장 적외선은 경통(50)의 상부에 위치한 검출기(90)로 전달된다. 검출기(90)는 제2 렌즈(83)를 통해 집광된 피사체의 단파장 적외선 에너지를 획득하고, 그 획득한 단파장 적외선 에너지를 디지털 영상신호(전기신호)로 변환하여 출력한다.
검출기(90)에는 모니터 등의 표시장치(140)가 전기적으로 연결되고, 검출기(90)에서 출력되는 디지털 영상신호는 표시장치(140)에서 영상으로 디스플레이되며, 그 영상은 단파장적외선 파장영역에 대한 하이퍼 스펙트럴 영상이다.
하이퍼 스펙트럴 영상은 파장대역을 잘게 쪼개서 각 파장 특성에 따라서 피사체에서 반사되는 광의 세기가 다른 영상을 확보한다. 이 경우에 전체 파장대역에서 볼 수 없는 피사체의 특성을 가진 영상을 확보할 수 있다.
광원(110)은 할로겐 램프, LED 조명, 레이저 등을 사용할 수 있다. 할로겐 램프는 단파장적외선 파장대역 전부를 피사체에 조명한다. 따라서 단파장적외선 파장대역 전부에 대하여 피사체에서 반사된 광선의 영상을 확보할 수 있다. 할로겐 램프로 조명한 뒤에 현미경과 피사체 사이에 협대역 광학필터(130)를 삽입하게 되면 특정 파장영역 즉, 단파장적외선 영역에 대한 하이퍼 스펙트럴 영상을 얻게 된다.
LED 조명 또는 레이저 조명을 광원(110)으로 사용하는 경우에도 단파장적외선 파장영역에 대한 하이퍼 스펙트럴 영상을 얻을 수 있다. 하이퍼 스펙트럴 영상의 파장 분해능은 20nm 이하로 구현이 가능하다.
검출기(90)는 표시장치(140)의 영상 출력을 제어하는 컴퓨터수단과 전기적으로 연결될 수 있다. 노트북이나 PC 등과 같은 컴퓨터수단은 검출기(90)에서 출력되는 디지털 영상신호를 저장하고 표시장치(140)에 출력을 제어하며, 표시장치(140)에 출력된 영상을 분석할 수 있도록 한다.
잘 알려진 기술의 가시광선 현미경은 육안으로 보이는 파장대역을 사용하여 물체의 크기를 확대하여 볼 수 있는 현미경으로, 반사광선을 이용하여 물체의 영상을 확보한다.
적외선 현미경은 육안으로 보이지 않는 파장대역을 사용하여 물체의 크기를 확대하여 볼 수 있는 현미경으로, 적외선은 파장대역별로 근적외선, 단파장적외선, 중적외선, 원적외선으로 구분된다.
근적외선 현미경은 가시광선을 검출하는 CCD 센서 또는 CMOS 센서를 이용하여 피사체에서 반사된 광선으로부터 영상을 확보하고, 단파장적외선 현미경은 단파장적외선을 검출하는 InGAS(인듐 갈륨 비소) 센서를 이용하여 피사체에서 반사된 광선으로부터 영상을 확보한다.
중적외선 현미경과 원적외선 현미경은 피사체에서 반사되는 광선을 검출하는 것이 아니고 복사되는 에너지를 검출하여 영상을 확보한다. 복사에너지에 의해 볼 수 있는 영상은 피사체의 온도분포가 영상으로 표현되기 때문에 빛이 전혀 없는 경우에도 볼 수 있다는 장점이 있으나 온도차이가 없는 경우는 영상에 표현되지 않는다는 단점이 있다.
일반적으로 가시광선은 물체를 투과하지 못하기 때문에 물체 내부의 크랙이나 손상 여부를 알 수 없다. 그러나 단파장 적외선은 물체를 투과하기 때문에 내부의 크랙이나 손상을 비파괴로 검사할 수 있다. 다만, 중적외선과 원적외선의 경우에도 물체를 투과하기 때문에 내부를 볼 수는 있지만 크랙이나 손상부위와 주변부와의 온도차이가 없으면 볼 수가 없다. 따라서, 물체 내부의 크랙이나 손상을 검사하기 위해서는 단파장 적외선을 사용하는 것이 가장 바람직하다.
예를 들면, 반도체 공정에서 사용되는 핵심부품인 실리콘 웨이퍼의 내부 크랙이나 손상을 검사하는데 단파장 적외선을 사용하는 것이 가장 바람직하다. 근적외선은 파장대역이 0.7um ~ 1.0um 로써 단파장적외선 파장대역 0.9um ~ 2.5um 보다 짧아서 실리콘 웨이퍼를 거의 투과하지 못한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 물질의 투과 특성을 가지는 단파장 적외선을 피사체로부터 획득하여 기존 광학 현미경으로 볼 수 없는 실리콘 내부의 결합 부분의 영상을 얻을 수 있다.
상기의 본 발명은 바람직한 실시예를 중심으로 살펴보았으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적 기술 범위 내에서 상기 본 발명의 상세한 설명과 다른 형태의 실시예들을 구현할 수 있을 것이다. 여기서 본 발명의 본질적 기술범위는 청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 몸체 11: 베이스
13: 지지대 20: 스테이지
30: 이동수단 31: 고정대
32: X축이동대 33: Y축이동대
34: Z축이동대 35: X축노브
36: Y축노브 37: Z축노브
38: 홀더 39: 고정판
40: 고정수단 41: 길이부재
43: 슬롯 45: 고정볼트
50: 경통 60: 브라켓
61: 수직부 63: 수평부
70: 거리조절대 71: 거리조절홀
73: 고정구 75: 안내홈
81: 제1 렌즈 83: 제2 렌즈
90: 검출기 110: 광원
111: 안정기 120: 빔 스플리터
130: 필터 140: 표시장치

Claims (3)

  1. 베이스;
    상기 베이스로부터 입설되는 지지대;
    상기 베이스 상에 위치하여 피사체를 배치하는 스테이지;
    상기 지지대에 설치되며, 상기 스테이지에 배치된 피사체와 대향하는 경통;
    상기 경통의 내부에 설치되는 빔 스플리터;
    상기 경통의 외부에 설치되어 상기 빔 스플리터와 대향하며, 상기 빔 스플리터를 통해 상기 피사체에 광을 조사하는 광원;
    상기 경통의 내부에 설치되며, 상기 피사체로부터 반사되는 상기 광원의 광으로부터 0.9㎛∼2.5㎛의 단파장 적외선을 획득하는 광학모듈; 및
    상기 경통에 설치되며, 상기 광학모듈이 획득한 0.9㎛∼2.5㎛의 단파장 적외선을 디지털 영상신호로 변환하여 출력하는 검출기를 포함하며,
    상기 경통의 하단에 설치되며, 상기 피사체로부터 반사되는 상기 광원의 광으로부터 0.9㎛∼2.5㎛의 단파장 적외선만을 투과하는 필터를 더 포함하고,
    상기 지지대의 상부에는 거리조절대가 설치되고, 상기 거리조절대에는 상기 경통을 고정하는 ㄷ자 모양의 브라켓의 수직부가 대면하며, 상기 브라켓이 상기 거리조절대를 따라 상하로 이동하며 상기 브라켓의 수직부에 형성된 구멍이 상기 거리조절대에 형성된 거리조절홀들 중 어느 하나의 거리조절홀에 일치되고, 그 일치된 구멍과 거리조절홀에 고정구가 설치됨으로써, 상기 경통이 상기 스테이지로부터 거리가 조절되는 것을 특징으로 하는 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 지지대와 상기 스테이지 사이에는 상기 스테이지를 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 이동수단이 설치되는 단파장 적외선 하이퍼 스펙트럴 이미징 현미경 시스템.
  3. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20120006631A (ko) 2010-07-13 2012-01-19 주식회사 휴비츠 적외선렌즈 현미경
KR20130083830A (ko) * 2010-04-26 2013-07-23 나노텍 솔루션 광학 장치 및 구조화된 물체들을 조사하는 방법
KR20150075772A (ko) * 2013-12-26 2015-07-06 한국원자력연구원 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치 및 방법

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