KR102552720B1 - 기판 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브러시를 틸팅 가능하도록 설치하여, 기판의 굴곡된 표면을 정밀하게 세정할 수 있도록 하는 기판 세정장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판을 세정하기 위한 브러시와, 상기 브러시가 배치되는 브러시 본체를 포함하는 브러시유닛; 상기 브러시를 구동시키기 위한 구동모터; 상기 구동모터를 지지하기 위하여, 상기 브러시 본체상에 설치되는 지지프레임; 상기 구동모터와 연결되어 상기 구동모터의 회전력을 상기 브러시로 전달하기 위한 구동력 전달축을 포함하는 구동력 전달유닛; 상기 지지프레임의 일측에 설치되어, 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위한 틸팅모터; 및 상기 기판의 굴곡된 표면에 대응하여 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여, 일측은 상기 틸팅모터와 연결되고 타측은 상기 브러시 본체와 연결되어 상기 틸팅모터의 회전력을 상기 브러시 본체로 전달하는 틸팅력 전달축을 포함하는 틸팅력 전달유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치를 제공한다.

Description

기판 세정장치{APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브러시를 틸팅 가능하도록 설치하여, 기판의 굴곡된 표면을 정밀하게 세정할 수 있도록 하는 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 장치는 실질적으로 영상을 표시하는 평판 디스플레이 패널을 포함하고, 평판디스플레이 패널의 제조에는 유리 또는 석영 재질로 이루어진 대면적의 기판이 사용된다.
평판 디스플레이 패널은 기판에 다양한 공정들을 반복적으로 수행하여 제조되는데, 이들 공정 중에는 기판 상에 부착되는 먼지나 유기물 등을 제거하기 위한 세정 공정을 필수적으로 포함한다.
기판을 세정하기 위한 방법 중 하나로 브러시를 이용한 방식이 있으며, 브러시를 이용한 방식으로는 롤 브러시와, 원판형의 디스크 브러시를 이용한 기판 세정 방법이 있다. 디스크 브러시는 원판면을 기판에 접촉시킨 상태에서 회전시키는 것에 의해 기판에 대한 세정을 수행하게 된다.
이때, 브러시를 이용한 기판의 세정 방법은 이송 부재를 사용하여 기판을 일방향으로 이송시키면서 수행하는 것이 일반적이다. 또한, 디스크 브러시의 원판 지름은 기판의 폭에 대하여 상당히 작으므로, 기판의 이송 방향과 수직한 방향을 따라서 다수의 브러시를 열 형태로 배치시켜 이송되는 기판에 대한 세정을 수행하는 방식이 사용된다.
그러나, 이러한 종래의 디스크 브러시를 이용하여 기판의 굴곡된 표면을 세정할 경우, 기판의 굴곡된 표면이 디스크 브러시와 접촉이 잘 이루어지지 않아 기판을 균일하게 세정되지 못하는 문제점이 있었다.
한국공개특허공보 제10-2009-005143호(2009.05.22 공개공고, 발명의 명칭 : 기판 세정 장치)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 기판의 곡면에 대응하여 브러시를 틸팅시킬 수 있도록 함으로써, 곡면을 가진 기판을 정밀하게 세척할 수 있도록 하는 기판 세정장치를 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 세정장치는, 기판을 세정하기 위한 브러시와, 상기 브러시가 배치되는 브러시 본체를 포함하는 브러시유닛; 상기 브러시를 구동시키기 위한 구동모터; 상기 구동모터를 지지하기 위하여, 상기 브러시 본체상에 설치되는 지지프레임; 상기 구동모터와 연결되어 상기 구동모터의 회전력을 상기 브러시로 전달하기 위한 구동력 전달축을 포함하는 구동력 전달유닛; 상기 지지프레임의 일측에 설치되어, 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위한 틸팅모터; 및 상기 기판의 굴곡된 표면에 대응하여 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여, 일측은 상기 틸팅모터와 연결되고 타측은 상기 브러시 본체와 연결되어 상기 틸팅모터의 회전력을 상기 브러시 본체로 전달하는 틸팅력 전달축을 포함하는 틸팅력 전달유닛;을 포함하고, 상기 틸팅력 전달유닛은, 일측은 상기 틸팅모터와 축 결합되고, 타측은 상기 틸팅력 전달축의 일측과 힌지 결합되는 링크부재; 상기 틸팅력 전달축의 이동에 의해 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여, 상기 브러시 본체상에 설치되는 틸팅브라켓; 및 일측은 상기 틸팅브라켓에 결합되고, 타측은 상기 틸팅력 전달축의 타측에 힌지 결합되는 브라켓 결합부;를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 브러시 본체는, 상기 브러시가 설치되는 베이스프레임; 및 상기 베이스프레임의 상면에 설치되어, 상기 지지프레임과, 상기 구동력 전달유닛 및 상기 틸팅력 전달유닛이 설치되는 설치프레임;을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 구동력 전달유닛은, 상기 구동력 전달축의 일측에 결합되는 제1 베벨기어; 상기 제1 베벨기어와 기어 결합되는 제2 베벨기어; 상기 제2 베벨기어에 결합되고, 상기 지지프레임의 양측에 회전가능하게 설치되는 제2 기어축; 상기 제1 베벨기어로부터 일정간격 이격되게 배치되고, 상기 제2 베벨기어와 기어 결합되는 제3 베벨기어; 및 상기 브러시를 회전시키기 위하여, 일측은 상기 브러시에 결합되고 타측은 상기 제3 베벨기어에 결합되는 구동풀리;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 브러시는, 상기 구동력 전달축과 연결되는 제1 브러시와, 상기 제1 브러시의 양측에 각각 배치되어 상기 제1 브러시와 함께 회전되는 복수 개의 제2 브러시를 포함하고, 상기 구동풀리는 상기 제1 브러시와 결합되는 제1 구동풀리와, 상기 제2 브러시와 결합되는 제2 구동풀리를 포함하며, 상기 구동력 전달유닛은, 상기 제1 구동풀리와 상기 제2 구동풀리가 감기도록 설치되어, 상기 제1 구동풀리의 회전력을 상기 제2 구동풀리에 전달하는 구동력 전달벨트;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 구동력 전달유닛은, 상기 구동력 전달벨트의 장력을 조절하기 위하여, 상기 브러시 본체상에서 회전가능하게 설치되되, 상기 구동력 전달벨트의 외측면에 밀착되게 설치되는 장력조절 풀리;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 구동력 전달유닛은, 상기 구동력 전달축의 일단에 결합되는 제1 베벨기어; 상기 제1 베벨기어와 기어 결합되는 제2 베벨기어; 상기 제2 베벨기어에 결합되어 상기 지지프레임의 양측에 회전가능하게 설치되는 제2 기어축; 상기 제2 기어축에 결합되어 상기 제2 기어축의 회전에 의해 회전되는 구동 기어; 및 상기 브러시를 회전시키기 위하여, 일측은 상기 브러시에 결합되고 타측은 상기 구동 기어와 기어 결합되는 브러시 기어;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 브러시는, 상기 구동력 전달축에 대해 일직선상에 배치되는 제1 브러시와, 상기 제1 브러시의 양측에 각각 배치되어 상기 제1 브러시와 함께 회전되는 복수 개의 제2 브러시를 포함하고, 상기 브러시 기어는, 상기 제1 브러시와 결합되는 제1 브러시 기어와, 상기 제2 브러시와 결합되는 제2 브러시 기어를 포함하며, 상기 구동 기어는, 상기 제1 브러시 기어와 기어 결합되는 제1 구동기어와, 상기 제2 브러시와 기어 결합되는 제2 구동기어를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 브러시 본체의 하면에는 곡률부가 마련되고, 상기 제2 브러시가 상기 곡률부를 따라 설치되며, 상기 제2 구동기어에 대해 상기 제2 브러시 기어가 일정 각도를 가지고 경사지게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 브러시 본체상에 설치되되, 상기 제2 기어축이 회전 가능하게 결합되어 상기 브러시 본체상에서 상기 제2 기어축을 지지하는 지지부재;를 더 포함할 수 있다.
삭제
본 발명에 따른 기판 세정장치에 있어서, 상기 제1 브러시는 상기 구동력 전달축의 중심방향을 기준으로 하여 상기 본체 브러시상에서 후방측에 배치되고, 상기 제2 브러시는 상기 제1 브러시의 양측에 지그재그 형태로 배열되는 것을 특징으로 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 세정장치는 기판의 굴곡된 표면에 대응하여 브러시를 틸팅시킴에 따라 기판의 굴곡된 표면과 브러시를 밀착시켜서 세정할 수 있어 기판의 세정력을 최대한 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 세정장치는, 상하방향 이송수단이 구비된 것에 의해, 브러시와 기판 사이의 간격을 조절할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 세정장치는, 브러시 본체에 곡률부가 형성되고, 브러시가 곡률부를 따라 배치된 것에 의해, 브러시를 기판의 굴곡된 표면에 긴밀하게 밀착시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 전방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 후방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 구동력 전달유닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 브러시 유닛이 틸팅되는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 좌우방향 이송수단 및 상하방향 이송수단을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 전방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 후방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치이 구동력 전달유닛을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 전방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 후방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 구동력 전달유닛을 설명하기 위한 도면이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 브러시 유닛이 틸팅되는 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 좌우방향 이송수단 및 상하방향 이송수단을 개략적으로 나타낸 도면이다. 이때, 도 4의 (a)는 브러시 본체가 틸팅되기 전 상태를 나타낸 것이고, 도 4의 (b)는 브러시 본체가 틸팅된 상태를 나타낸 것이며, 도 5의 점선으로 나타낸 것은 좌우방향 이송수단에 의해 세정장치가 기판의 굴곡된 표면 방향으로 이동된 상태를 나타낸 것이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 일 실시예에 따른 기판 세정장치는 브러시유닛(100)과, 구동모터(200)와, 구동력 전달유닛(400)과, 틸팅모터(700) 및 틸팅력 전달유닛(800)을 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 브러시유닛(100)은 브러시(110)와 브러시 본체(120)를 포함할 수 있다.
상기 브러시는 기판(도 5의 10)을 세정하기 위한 구성으로서, 본 실시예에서는 상기 브러시가 원판형의 디스크 브러시가 사용된 것이 제시되며, 상기 브러시(110)는 제1 브러시(111)와 제2 브러시(112)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 브러시(111)는 후술하는 브러시 본체(120)상에 설치되되, 상기 브러시 본체(120)의 폭 방향 중심을 기준으로 어느 일측으로 치우치게 설치될 수 있으며, 구동력 전달축(410)과 연결되어 회전될 수 있다.
상기 제2 브러시(112)는 상기 제1 브러시(111)의 양측에 복수 개가 배치될 수 있으며, 상기 제1 브러시(111)와 함께 회전될 수 있다.
상기 제2 브러시(112)는 상기 제1 브러시(111)를 기준으로 상기 제1 브러시(111)의 양측에 배치되되, 상기 브러시 본체(120)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치될 수 있다.
여기서, 상기 제2 브러시(112)가 지그재그로 형태로 배치된 것은, 상기 브러시 본체(120) 상에서 상기 제1 브러시(111)를 기준으로 상기 제2 브러시(112)들을 균형 있게 배치되도록 하여 후술하는 구동력 전달축(410)의 회전력을 상기 각 브러시(111,112)로 고르게 전달할 수 있도록 하기 위함이다.
상기 브러시 본체(120)는 베이스프레임(121)과 상기 베이스프레임(121)의 상부에 형성되는 설치프레임(122)을 포함할 수 있으며, 상기 베이스프레임(121)과 상기 설치프레임(122)은 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 베이스프레임(121)의 하부에는 상기 제1 브러시(111) 및 상기 제2 브러시(112)가 설치될 수 있다.
상기 설치프레임(122)상에는 후술하는 지지프레임(300) 및 틸팅력 전달유닛(800)이 설치될 수 있으며, 상기 지지프레임(300)상에는 상기 구동력 전달유닛(400)이 설치될 수 있다.
상기 제2 브러시 축(112a)은 상기 제1 브러시 축(111a)에 대해 평행하게 배치될 수 있다.
한편, 상기 브러시 본체(120)가 틸팅되기 전에는 상기 제1 브러시 축(111a) 및 상기 제2 브러시 축(112a)이 상기 구동력 전달축(410)에 대해 평행하게 배치된 상태가 되고, 상기 브러시 본체(120)가 틸팅되면 상기 제1 브러시 축(111a) 및 상기 제2 브러시(112a) 축이 상기 구동력 전달축(410)에 대해 경사지게 배치된 상태가 될 수 있다.
한편, 상기 베이스프레임(121) 및 상기 설치프레임(122)에 상기 제1 브러시 축(111a) 및 상기 제2 브러시 축(112a)이 관통 설치될 수 있으며, 상기 제1 브러시(111) 축은 후술하는 제1 구동풀리(461)와 결합되고 상기 제2 브러시(112) 축은 제2 구동풀리(462)와 결합될 수 있다.
이에 따라, 상기 제1 브러시(111) 및 상기 제2 브러시(112)는 상기 베이스프레임(121)의 하면에 배치되고, 상기 제1 구동풀리(461) 및 상기 제2 구동풀리(462)는 상기 설치프레임(122)의 상면에 배치되게 된다.
상기 구동모터(200)는 상기 브러시(110)를 구동시키기 위해 후술하는 구동력 전달유닛(400)으로 구동력을 제공할 수 있다.
상기 지지프레임(300)은 후술하는 상하방향 이송수단(1000)에 설치되어 고정될 수 있다.
이때, 상기 지지프레임(300)의 상부에 상기 구동모터(200)가 설치될 수 있다.
상기 구동력 전달유닛(400)은 상기 구동모터(200)와 연결되어 상기 구동모터(200)의 회전력을 상기 브러시(110)로 전달할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 구동력 전달유닛(400)은 구동력 전달축(410)과, 제1 베벨기어(420)와, 제2 베벨기어(430)와, 제2 기어축(440)과, 제3 베벨기어(450) 및 구동풀리(460)를 포함할 수 있다.
상기 구동력 전달축(410)은 상기 지지프레임(300)의 내부에 배치되되, 상기 기판(도 5의 10)에 대해 수직인 제1 방향을 따라 배치될 수 있으며, 상기 구동모터(200)와 연결되어 상기 구동모터(200)의 작동에 의해 회전될 수 있다.
이때, 상기 구동모터(200)와 상기 구동력 전달축(410)의 연결은 연결 커플링(220)에 의해 연결될 수 있다.
즉, 상기 연결 커플링(220)의 일측은 상기 구동모터 축(210)과 결합되고, 타측은 상기 구동력 전달축(410)의 일측과 결합됨으로써, 상기 구동모터(200)와 상기 구동력 전달축(410)을 연결시킬 수 있다.
상기 제1 베벨기어(420)는 상기 구동력 전달축(410)의 타측과 결합되어 상기 구동력 전달축(410)과 함께 회전될 수 있다.
상기 제2 베벨기어(430)는 상기 제1 베벨기어(420)와 기어 결합될 수 있으며, 상기 제1 베벨기어(420)와 연동되어 회전될 수 있다.
상기 제2 기어축(440)은 상기 구동력 전달축(410)이 설치된 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 설치될 수 있으며, 상기 제2 베벨기어(430)에 결합되어 상기 제2 베벨기어(430)의 회전에 의해 회전될 수 있다.
이때, 상기 제2 기어축(440)의 양단부는 상기 지지프레임(300)의 하단부 양측에 회전 가능하게 설치될 수 있다.
한편, 상기 제2 기어축(440)이 설치된 상기 지지프레임(300)의 양측에는 상기 지지프레임(300)상에서 상기 제2 기어축(440)이 회전 가능하도록 제1 베어링(310)이 설치될 수 있다.
이에 따라, 상기 제2 베벨기어(430)가 회전되면 상기 지지프레임(300)상에서 상기 제2 기어축(440)이 회전될 수 있다.
한편, 상기 브러시 본체(120)상에서 상기 제2 기어축(440)을 지지하기 위한 지지부재(600)가 구비될 수 있다.
상기 지지부재(600)는 상기 설치프레임(122)의 상면에 설치되는 한쌍의 수직 지지부재(610)와, 상기 한쌍의 수직 지지부재(610)의 상부에 안착되어 상기 한쌍의 수직 지지부재(610)와 결합되는 수평 지지부재(620) 및 상기 수평 지지부재(620)의 양측단으로부터 하측방향으로 돌출 형성된 한쌍의 제2 기어축 지지부재(630)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 한쌍의 제2 기어축 지지부재(630)에 상기 제2 기어축(440)의 양단부가 회전 가능하게 결합될 수 있다.
한편, 상기 한쌍의 제2 기어축 지지부재(630)에는 상기 제2 기어축(440)이 회전 가능하게 결합되도록 제2 베어링(631)이 설치될 수 있다.
결과적으로, 상기 제2 기어축(440)은 상기 한쌍의 제2 기어축 지지부재(630)을 포함하는 지지부재(600)에 의해 상기 브러시 본체(120)상에서 회전 가능하게 지지될 수 있으며, 상기 지지프레임(300)은 상기 브러시 본체(120)상에서 상기 제2 기어축(440)에 의해 지지될 수 있게 된다.
상기 제3 베벨기어(450)는 상기 제1 베벨기어(420)로부터 일정간격 이격되게 배치되고, 상기 제2 베벨기어(430)와 기어 결합될 수 있다.
이때, 상기 제3 베벨기어(450)는 상기 제2 베벨기어(430)와 연동되어 회전될 수 있다.
상기 구동풀리(460)는 일측이 상기 제1 브러시(111)에 결합되고 타측이 상기 제3 베벨기어(450)에 결합되어 상기 제3 베벨기어(450)의 회전에 의해 상기 제1 브러시(111)를 회전시킬 수 있다.
이때, 상기 구동풀리(460)는 제1 브러시(111)와 결합되는 제1 구동풀리(461)와, 상기 제2 브러시(112)와 결합되는 제2 구동풀리(462)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 구동력 전달유닛(400)는 상기 제1 구동풀리(461)와 상기 제2 구동풀리(462)가 감기도록 설치되어, 상기 제1 구동풀리(461)의 회전력을 상기 제2 구동풀리(462)에 전달하는 구동력 전달벨트(470)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제1 구동풀리(461)가 회전되면, 상기 제1 구동풀리(461)와 결합된 상기 제1 브러시(111)가 회전되고, 상기 구동력 전달벨트(470)를 통해 상기 제1 구동풀리(461)의 회전력이 상기 제2 구동풀리(462)에 전달되어 상기 제2 구동풀리(462)가 회전되면서 상기 제2 브러시(112)가 회전되게 된다.
한편, 상기 구동력 전달유닛(400)은 상기 구동력 전달벨트(470)의 장력을 조절하기 위한 장력조절 풀리(480)를 더 포함할 수 있다.
상기 장력조절 풀리(480)는 상기 설치프레임(122)에 회전 가능하게 설치되되, 상기 구동력 전달벨트(470)의 외측면에 밀착되게 설치될 수 있다.
이때, 상기 장력조절 풀리(480)는 각 구동풀리(461,462)에 대응하여 상기 브러시 본체(120)상에 복수 개가 설치될 수 있다.
즉, 상기 장력조절 풀리(480)는 상기 제1 구동풀리(461) 및 상기 제2 구동풀리(462)의 회전 시, 상기 제1 구동풀리(461) 및 상기 제2 구동풀리(462)를 감싼 상기 구동력 전달벨트(470)의 장력을 조절함으로써, 상기 제1 구동풀리(461) 및 상기 제2 구동풀리(462)로부터 상기 구동력 전달벨트(470)가 풀리는 것을 방지할 수 있다.
상기 틸팅모터(700)는 상기 지지프레임(300)의 일측에 설치될 수 있으며, 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여 후술하는 틸팅력 전달축(810)을 이동시킬 수 있다.
상기 틸팅력 전달유닛(800)은 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 대응하여 상기 브러시 본체(120)를 틸팅시킬 수 있다. 이러한, 상기 틸팅력 전달유닛(800)은 틸팅력 전달축(810)과, 링크부재(820)와, 틸팅브라켓(830) 및 브라켓 결합부(840)를 포함할 수 있다.
상기 틸팅력 전달축(810)은 상기 지지프레임(300)의 내부에 배치될 수 있으며, 상기 틸팅력 전달축(810)의 일측이 상기 틸팅모터(700)와 연결되고 타측이 후술하는 틸팅브라켓(830)과 연결될 수 있다.
이때, 상기 틸팅력 전달축(810)은 상기 틸팅모터(700)의 정역회전에 의해 상하방향으로 이동될 수 있다.
상기 틸팅모터(700)와 상기 틸팅력 전달축(810)은 링크부재(820)에 의해 연결될 수 있다.
즉, 상기 링크부재(820)의 일측이 상기 틸팅모터(700)의 축과 결합되고 타측이 상기 틸팅력 전달축(810)과 힌지 결합됨으로써, 상기 틸팅모터(700)와 상기 틸팅력 전달축(810)을 연결시키게 된다.
상기 틸팅브라켓(830)은 상기 브러시 본체(120)상에 설치되어, 상기 틸팅력 전달축(810)의 이동에 의해 회전되어 상기 브러시 본체(120)를 틸팅시킬 수 있다.
즉, 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 틸팅모터(700)의 정역방향 회전에 의해 상기 틸팅력 전달축(810)이 상하방향으로 이동되면, 상기 틸팅력 전달축(810)에 의해 상기 틸팅브라켓(830)이 전후방향으로 회전되면서 상기 브러시 본체(120)를 상기 제2 기어축(440)이 설치된 제2 방향을 기준으로 전후 방향으로 틸팅시키게 된다.
이때, 상기 브러시 본체(120)는 제2 기어축(440)을 매개로 상기 지지프레임(300)에 지지된 상태에서 상기 제2 기어축(440)을 회전시키면서 전후방향으로 틸팅된다.
상기 틸팅브라켓(830)은 상기 설치프레임(122)의 상면에 설치될 수 있으며, 상기 틸팅브라켓(830)의 양측이 상기 한쌍의 수직 지지부재(610)와 결합될 수 있다.
상기 브라켓 결합부(840)는 일측이 상기 틸팅브라켓(830)에 결합되고, 타측이 상기 틸팅력 전달축(810)의 타측에 힌지 결합될 수 있다.
이때, 상기 브라켓 결합부(840)는 상기 틸팅브라켓(830)과 결합되는 브라켓 결합부 본체(841)와 상기 브라켓 결합부 본체(841)의 양측으로부터 상기 틸팅력 전달축(810)을 향해 돌출 형성되어 상기 틸팅력 전달축(810)의 타측과 힌지 결합되는 전달축 결합부(842)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 전달축 결합부(842)에는 상기 틸팅력 전달축(810)의 타측이 힌지 결합된 상태에서 회전 가능하도록 회전홈(842a)이 형성될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치는 상기 기판(10)이 세정되는 공간이 마련된 챔버(C)의 내부에 설치되어 상기 브러시유닛(100)을 좌우방향으로 이송시키기 위한 좌우방향 이송수단(900)과, 상기 좌우방향 이송수단(900)에 설치되어 상기 브러시유닛(100)을 상하 방향으로 이송시키기 위한 상하방향 이송수단(1000)을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 좌우방향 이송수단(900)은 갠트리 타입의 이송수단이 사용될 수 있다.
상기 상하방향 이송수단(1000)에 상기 지지프레임(300)이 설치될 수 있으며, 상기 상하방향 이송수단(1000)의 작동에 의해 상기 지지프레임(300)이 상하방향으로 이동되면서, 상기 기판(10)과 상기 브러시(110) 사이의 간격을 조절할 수 있게 된다.
또한, 상기 상하방향 이송수단(1000)의 작동에 의해 상기 좌우방향 이송수단(900)을 좌우방향으로 이송시키게 되면 상기 지지프레임(300)이 상기 상하방향 이송수단(1000)과 함께 좌우방향으로 이동하게 된다.
결과적으로, 상기 좌우방향 이송수단(900)에 의해 상기 지지프레임(300)을 좌우방향으로 이동시키고, 상기 상하방향 이송수단(1000)에 의해 상기 기판(10)과 상기 브러시 사이의 간격을 조절하며, 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 대응하여 상기 브러시를 틸팅시켜 세정함에 따라, 상기 기판의 굴곡된 표면(11)을 포함한 기판(10)의 전체 표면을 정밀하게 세정할 수 있는 이점이 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치의 작동과정에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 상기 기판(10)을 세정하기 위해서, 팔레트(P)와 같은 기판 이송수단에 상기 기판(10)을 안착시켜 상기 챔버(C)의 내부로 기판(10)을 이송시킨다.
상기 기판(10)의 표면이 상대적으로 평평한 기판(10)영역을 세정하는 경우를 먼저 설명하면, 상기 상하방향 이송수단(1000)을 작동시켜 상기 기판(10)의 표면에 상기 제1 브러시(111) 및 제2 브러시(112)가 접촉될 수 있도록 한다.
다음, 상기 기판(10)의 세정을 위하여 상기 구동모터(200)를 작동시킨다.
상기 구동모터(200)가 작동되면, 상기 구동력 전달축(410)이 회전되고 상기 구동력 전달축(410)과 연동되어 상기 제1 베벨기어(420)가 회전된다.
상기 제1 베벨기어(420)가 회전되면 상기 제2 베벨기어(430)가 회전됨과 동시에 제2 기어축(440)이 회전된다.
상기 제2 베벨기어(430)가 회전되면 상기 제3 베벨기어(450)가 회전되고 상기 제3 베벨기어(450)에 의해 상기 제1 구동풀리(461)가 회전되면서 상기 제1 브러시(111)가 회전된다.
이때, 상기 제1 구동풀리(461)의 회전력이 상기 구동력 전달벨트(470)를 통해 상기 제2 구동풀리(462)에 전달되어 상기 제2 구동풀리(462)가 회전된다.
상기 제2 구동풀리(462)가 회전되면 상기 제2 브러시(112)가 회전되어 상기 제1 브러시(111)와 상기 제2 브러시(112)가 동시에 회전되면서 상대적으로 평평한 기판(10)의 표면을 세정한다.
다음, 상기 기판의 굴곡된 표면(11)을 세정하기 위하여, 상기 좌우방향 이송수단(900)에 의해 상기 지지프레임(300)을 상기 기판의 굴곡된 표면(11)측으로 이동시킨다.
이때, 상기 제1 브러시(111) 및 상기 제2 브러시(112)가 상기 기판의 굴곡된 표면(11)으로 이동되면서 차이 나는 상기 기판의 굴곡된 표면(11)과 상기 브러시 사이의 간격을 상기 상하방향 이송수단(1000)에 의해 조절한다.
이와 동시에 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 대응하여 상기 브러시 본체(120)를 틸팅시키기 위해 상기 틸팅모터(700)를 작동시킨다.
상기 틸팅모터(700)가 작동되면 상기 틸팅력 전달축(810)이 이동되면서, 상기 틸팅브라켓(830)을 매개로 상기 브러시 본체(120)를 틸팅시킨다.
이때, 상기 브러시 본체(120)는 상기 제2 기어축이 설치된 제2 방향을 기준으로 전후방향으로 틸팅된다.
상기 브러시 본체(120)가 틸팅되면 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 상기 제1 브러시(111) 및 제2 브러시(112)가 긴밀하게 접촉되면서 세정이 이루어지게 된다.
이하에서는 도 6 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치에 대해 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 전방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 후방 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치이 구동력 전달유닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치는 브러시유닛(100)과, 구동모터(200)와, 지지프레임(300)과, 구동력 전달유닛(400)과, 틸팅모터(700) 및 틸팅력 전달유닛(800)을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 세정장치를 설명하기에 앞서 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정장치와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 브러시유닛(100)은 브러시(110)와 브러시 본체(120)를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 상기 브러시(110)는 상술한 본 발명의 일 실시예에 동일하게 제1 브러시(111)와 상기 제1 브러시(111)를 기준으로 양측에 각각 배치된 복수 개의 제2 브러시(112)를 포함할 수 있다.
상기 제1 브러시(111)는 상기 구동력 전달축(410)의 중심방향으로 기준으로 브러시 본체(120)상에서 후방측에 배치될 수 있으며, 상기 제2 브러시(112)는 상기 제2 기어축(440)을 기준으로 전후방측에 지그재그 형태로 배치될 수 있다.
상기 브러시 본체(120)는 상기 제1 브러시(111) 및 상기 제2 브러시(112)가 설치되는 베이스프레임(121)과, 상기 베이스프레임(121)의 상면에 설치되어, 후술하는 지지프레임(300)과, 구동력 전달유닛(400) 및 틸팅력 전달유닛(800)이 설치되는 설치프레임(122)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 베이스프레임(121)의 하면에는 곡률부(121a)가 마련될 수 있으며, 상기 제2 브러시(112)가 상기 곡률부(121a)를 따라 설치될 수 있다.
즉, 상기 제2 브러시(112)들이 상기 곡률부(121a)를 따라 설치됨에 따라, 상기 제2 브러시(112)들은 상기 구동력 전달축(410)의 중심방향을 향해 경사지게 배치되게 된다.
결과적으로, 상기 제2 브러시(112)들이 상기 곡률부(121a)를 따라 배치되면서 상기 구동력 전달축(410)의 중심방향을 향해 경사지게 설치된 것에 의해, 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 대응하여 상기 제2 브러시(112)들이 상기 기판의 굴곡된 표면(11)에 더욱 긴밀하게 밀착시킬 수 있게 된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 상기 구동모터(200) 및 상기 지지프레임(300)의 구성은 본 발명의 일 실시예에서 설명한 상기 구동모터(200) 및 상기 지지프레임(300)의 구성과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 구동력 전달유닛(400)은 구동력 전달축(410)과, 제1 베벨기어(420)와, 제2 베벨기어(430)와, 제2 기어축(440)과, 구동기어(490) 및 브러시 기어(510)를 포함할 수 있다.
상기 구동력 전달축(410)과, 상기 제1 베벨기어(420) 및 상기 제2 베벨기어(430)의 구성은 본 발명의 일 실시예에서 설명한 구동력 전달축(410)과 상기 제1 베벨기어(420) 및 상기 제2 베벨기어(430)의 구성과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 제2 기어축(440)은 본 발명의 일 실시예에서와 다르게 상기 제2 기어축(440)의 양측단부로부터 연장 형성되고 상기 제2 기어축(440)의 연장된 부위에 후술하는 제2 구동기어(492)가 결합될 수 있다.
한편, 상기 브러시 본체(120)상에서 상기 제2 기어축(440)을 지지하기 위한 지지부재(600)가 구비될 수 있다.
이때, 상기 지지부재(600)는 상기 설치프레임(122)상에 일정 간격을 가지고 복수 개가 배치될 수 있으며, 상기 설치프레임(122)상에는 상기 지지부재를 고정시키기 위한 고정홈(122a)이 마련될 수 있다.
상기 구동기어(490)는 상기 제2 기어축(440)에 결합되어 상기 제2 기어축(440)에 의해 회전에 의해 회전될 수 있다.
상기 브러시 기어(510)는 일측이 상기 브러시(110)에 결합되고 타측은 상기 구동 기어(490)와 기어 결합되어 상기 브러시(110)를 회전시킬 수 있다.
이때, 상기 구동기어(490)는 제1 구동기어(491)와 제2 구동기어(492)를 포함할 수 있으며, 상기 브러시 기어(510)는 제1 브러시 기어(511)와 제2 브러시 기어(512)를 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 제1 브러시 기어(511)는 일측이 상기 제1 브러시(111)와 결합되고, 타측이 상기 제1 구동기어(491)와 기어 결합될 수 있다.
또한, 상기 제2 브러시 기어(512)는 일측이 상기 제2 브러시(112)와 결합되고, 타측이 상기 제2 구동기어(492)와 기어 결합될 수 있다.
이때, 상기 제2 브러시(112)가 상기 곡률부(121a)를 따라 설치됨으로써, 상기 제2 구동기어(492)에 대해 상기 제2 브러시(112) 기어가 일정 각도를 가지고 경사지게 배치되는 것이 바람직하다.
상기 틸팅모터(700) 및 상기 틸팅력 전달유닛(800)의 구성은 앞서 상술한 본 발명의 일 실시예에서의 상기 틸팅모터(700)의 구성과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 브러시(111) 및 제2 브러시(112)의 작동과정에 대해 설명하기로 한다.
상기 기판(10)의 세정을 위하여 상기 구동모터(200)를 작동시킨다.
상기 구동모터(200)가 작동되면, 상기 구동력 전달축(410)이 회전되고 상기 구동력 전달축(410)과 연동되어 상기 제1 베벨기어(420)가 회전된다.
상기 제1 베벨기어(420)가 회전되면 상기 제2 베벨기어(430)가 회전됨과 동시에 제2 기어축(440)이 회전된다.
이때, 상기 제2 기어축(440)과 함께 상기 제1 구동기어(491) 및 상기 제2 구동기어(492)가 회전된다.
상기 제1 구동기어(491)가 회전되면서 상기 제1 브러시(111) 기어가 회전되어 상기 제1 브러시(111)가 회전되고, 상기 제2 구동기어(492)가 회전되면서 상기 제2 브러시(112) 기어가 회전되어 상기 제2 브러시(112)가 회전되면서 상기 기판(10)의 표면을 세정할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
10: 기판 11: 기판의 굴곡된 표면
100: 브러시 유닛 110: 브러시
111: 제1 브러시 112: 제2 브러시
111a: 제1 브러시 축 112a: 제2 브러시 축
120: 브러시 본체 121: 베이스프레임
122: 설치프레임 122a: 고정홈
200: 구동모터 210: 구동모터 축
220: 연결 커플링 300: 지지프레임
310: 제1 베어링 400: 구동력 전달유닛
410: 구동력 전달축 420: 제1 베벨기어
430: 제2 베벨기어 440: 제2 기어축
450: 제3 베벨기어 460: 구동풀리
461: 제1 구동풀리 462: 제2 구동풀리
470: 구동력 전달벨트 480: 장력조절 풀리
490: 구동기어 491: 제1 구동기어
492: 제2 구동기어 510: 브러시 기어
511: 제1 브러시 기어 512: 제2 브러시 기어
600: 지지부재 610: 수직 지지부재
620: 수평 지지부재 630: 제2 기어축 지지부재
631: 제2 베어링 700: 틸팅모터
800: 틸팅력 전달유닛 810: 틸팅력 전달축
820: 링크부재 830: 틸팅브라켓
840: 브라켓 결합부 841: 브라켓 결합부 본체
842: 전달축 결합부 842a: 회전홈
900: 좌우방향 이송수단 1000: 상하방향 이송수단

Claims (11)

  1. 기판을 세정하기 위한 브러시와, 상기 브러시가 배치되는 브러시 본체를 포함하는 브러시유닛;
    상기 브러시를 구동시키기 위한 구동모터;
    상기 구동모터를 지지하기 위하여, 상기 브러시 본체상에 설치되는 지지프레임;
    상기 구동모터와 연결되어 상기 구동모터의 회전력을 상기 브러시로 전달하기 위한 구동력 전달축을 포함하는 구동력 전달유닛;
    상기 지지프레임의 일측에 설치되어, 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위한 틸팅모터; 및
    상기 기판의 굴곡된 표면에 대응하여 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여, 일측은 상기 틸팅모터와 연결되고 타측은 상기 브러시 본체와 연결되어 상기 틸팅모터의 회전력을 상기 브러시 본체로 전달하는 틸팅력 전달축을 포함하는 틸팅력 전달유닛;을 포함하고,
    상기 틸팅력 전달유닛은,
    일측은 상기 틸팅모터와 축 결합되고, 타측은 상기 틸팅력 전달축의 일측과 힌지 결합되는 링크부재;
    상기 틸팅력 전달축의 이동에 의해 상기 브러시 본체를 틸팅시키기 위하여, 상기 브러시 본체상에 설치되는 틸팅브라켓; 및
    일측은 상기 틸팅브라켓에 결합되고, 타측은 상기 틸팅력 전달축의 타측에 힌지 결합되는 브라켓 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 브러시 본체는,
    상기 브러시가 설치되는 베이스프레임; 및
    상기 베이스프레임의 상면에 설치되어, 상기 지지프레임과, 상기 구동력 전달유닛 및 상기 틸팅력 전달유닛이 설치되는 설치프레임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동력 전달유닛은,
    상기 구동력 전달축의 일측에 결합되는 제1 베벨기어;
    상기 제1 베벨기어와 기어 결합되는 제2 베벨기어;
    상기 제2 베벨기어에 결합되고, 상기 지지프레임의 양측에 회전가능하게 설치되는 제2 기어축;
    상기 제1 베벨기어로부터 일정간격 이격되게 배치되고, 상기 제2 베벨기어와 기어 결합되는 제3 베벨기어; 및
    상기 브러시를 회전시키기 위하여, 일측은 상기 브러시에 결합되고 타측은 상기 제3 베벨기어에 결합되는 구동풀리;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 브러시는,
    상기 구동력 전달축과 연결되는 제1 브러시와, 상기 제1 브러시의 양측에 각각 배치되어 상기 제1 브러시와 함께 회전되는 복수 개의 제2 브러시를 포함하고,
    상기 구동풀리는 상기 제1 브러시와 결합되는 제1 구동풀리와, 상기 제2 브러시와 결합되는 제2 구동풀리를 포함하며,
    상기 구동력 전달유닛은,
    상기 제1 구동풀리와 상기 제2 구동풀리가 감기도록 설치되어, 상기 제1 구동풀리의 회전력을 상기 제2 구동풀리에 전달하는 구동력 전달벨트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동력 전달유닛은,
    상기 구동력 전달벨트의 장력을 조절하기 위하여, 상기 브러시 본체상에서 회전가능하게 설치되되, 상기 구동력 전달벨트의 외측면에 밀착되게 설치되는 장력조절 풀리;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동력 전달유닛은,
    상기 구동력 전달축의 일단에 결합되는 제1 베벨기어;
    상기 제1 베벨기어와 기어 결합되는 제2 베벨기어;
    상기 제2 베벨기어에 결합되어 상기 지지프레임의 양측에 회전가능하게 설치되는 제2 기어축;
    상기 제2 기어축에 결합되어 상기 제2 기어축의 회전에 의해 회전되는 구동 기어; 및
    상기 브러시를 회전시키기 위하여, 일측은 상기 브러시에 결합되고 타측은 상기 구동 기어와 기어 결합되는 브러시 기어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 브러시는,
    상기 구동력 전달축에 대해 일직선상에 배치되는 제1 브러시와, 상기 제1 브러시의 양측에 각각 배치되어 상기 제1 브러시와 함께 회전되는 복수 개의 제2 브러시를 포함하고,
    상기 브러시 기어는,
    상기 제1 브러시와 결합되는 제1 브러시 기어와, 상기 제2 브러시와 결합되는 제2 브러시 기어를 포함하며,
    상기 구동 기어는,
    상기 제1 브러시 기어와 기어 결합되는 제1 구동기어와, 상기 제2 브러시와 기어 결합되는 제2 구동기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 브러시 본체의 하면에는 곡률부가 마련되고,
    상기 제2 브러시가 상기 곡률부를 따라 설치되며, 상기 제2 구동기어에 대해 상기 제2 브러시 기어가 일정 각도를 가지고 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  9. 제3항 또는 제6항에 있어서,
    상기 브러시 본체상에 설치되되, 상기 제2 기어축이 회전 가능하게 결합되어 상기 브러시 본체상에서 상기 제2 기어축을 지지하는 지지부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  10. 삭제
  11. 제4항 또는 제7항에 있어서,
    상기 제1 브러시는 상기 구동력 전달축의 중심방향을 기준으로 하여 상기 본체 브러시상에서 후방측에 배치되고, 상기 제2 브러시는 상기 제1 브러시의 양측에 지그재그 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6084858A (ja) * 1983-10-14 1985-05-14 Matsushita Electric Works Ltd バイポ−ラ集積回路の製法
DE20313676U1 (de) * 2003-09-01 2003-11-13 WSI Wolfgang Suttner-Innovation GmbH & Co. KG, 33689 Bielefeld Bodenreiniger zum Anschluß an ein Hochdruckaggregat
US20070259117A1 (en) 2006-05-04 2007-11-08 Bayer Materialscience Llc Article having photochromic properties and process for its manufacture
KR20080047748A (ko) * 2006-11-27 2008-05-30 세메스 주식회사 브러시 세정 유닛 및 이를 이용한 기판 세정 장치
CN203917215U (zh) * 2014-06-16 2014-11-05 郭旺水 一种抽油烟机清洗装置
CN204908413U (zh) * 2015-08-31 2015-12-30 陶佐林 电动清洗刷
CN206047812U (zh) * 2016-09-29 2017-03-29 沈阳英嘉朗木工机械有限公司 一种异形砂光机构
CN206581199U (zh) * 2017-02-22 2017-10-24 北京泽通顺达机械有限公司 隧道壁清洗刷倾斜机构
CN206661754U (zh) * 2017-03-13 2017-11-24 安徽昆蒙新型建材有限公司 一种空心砖清灰装置
CN106914438A (zh) * 2017-05-09 2017-07-04 国网湖南省电力公司带电作业中心 一种可自动清洗绝缘子的清洗装置

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