KR102549345B1 - Apparatus for conveying the object to be cleaned - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피세척물의 이송장치에 관한 것으로서, 외주면이 피세척물의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러, 상기 하부 롤러의 상부에 배치되며 피세척물을 사이에 두고 수평면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러, 이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛, 및 이송방향으로 이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 양면을 향해 각각 유체를 분사하는 제2 유체분사 유닛을 포함하여 구성되므로, 피세척물의 바닥에서는 상기 제1 유체분사 유닛 의해 부상하는 힘을 받게 되므로 하부 롤러에 작용하는 하중이 크게 경감되게 되고, 상기 제2 유체분사 유닛에 의해 피세척물의 상부가 균형을 이루어 상부 롤러에 작용하는 하중이 크게 경감될 수 있다는 이점이 있다.The present invention relates to a conveying device for objects to be washed, wherein a plurality of lower rollers are rotatably disposed on a vertical surface with outer circumferential faces facing the bottom surface of objects to be washed and spaced apart from each other in the conveying direction of objects to be washed, and upper portions of the lower rollers. A plurality of upper rollers arranged rotatably on a horizontal surface with an object to be washed interposed therebetween and arranged spaced apart in the conveying direction of the object to be washed, disposed between a lower roller and a lower roller adjacent to each other in the conveying direction of the object to be washed It is configured to include a first fluid spray unit that sprays fluid toward the floor, and a second fluid spray unit that is disposed between upper rollers adjacent to each other in the transfer direction and sprays fluid toward both sides of the object to be cleaned, respectively. , Since the bottom of the object to be washed is subjected to the force of lifting by the first fluid spray unit, the load acting on the lower roller is greatly reduced, and the upper part of the object to be washed is balanced by the second fluid spray unit to move the upper roller. There is an advantage that the applied load can be greatly reduced.

Description

피세척물의 이송장치{APPARATUS FOR CONVEYING THE OBJECT TO BE CLEANED}Transfer device for objects to be cleaned {APPARATUS FOR CONVEYING THE OBJECT TO BE CLEANED}

본 발명은 피세척물의 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이나 반도체 제작공정에 포함되는 마스크 등 피세척물의 이송시 피세척물에 의해 이송장치에 가해지는 하중을 경감함으로써 내구성을 크게 제고할 수 있는 피세척물의 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer device for objects to be cleaned, and more particularly, to greatly improve durability by reducing the load applied to the transfer device by objects to be cleaned when transferring objects such as masks included in a display or semiconductor manufacturing process. It relates to a transfer device for objects to be washed.

고도화된 정보화 산업의 급격한 발달과 함께 초고속의 정보전달은 시간과 장소의 제한 없이 문자, 음성, 화상 등의 정보를 주고받을 수 있는 사회에 이르렀다.With the rapid development of the advanced information industry, high-speed information transmission has reached a society where information such as text, voice, and image can be exchanged without time and place limitations.

이러한 정보전달의 매개체는 CRT를 시발점으로 발전을 거듭하여 왔고 이제는 인간공학적, 고기능화 등에 부합할 수 있는 LCD, PDP, LED, UHD, OLED 등의 대형 평판디스플레이와 초고속 이동통신 단말기, PDA 및 Web Pad 등의 소형디스플레이로 빠르게 바뀌고 있으며 편리함에 따른 수요 폭등에 따라 디스플레이 시장은 끊임없이 발전되고 있다.The medium of this information transmission has been developing from the CRT as a starting point, and now it is ergonomic and highly functional, such as large flat-panel displays such as LCD, PDP, LED, UHD, and OLED, ultra-high-speed mobile communication terminals, PDAs and web pads, etc. of small displays are rapidly changing, and the display market is constantly developing according to the soaring demand for convenience.

평판디스플레이의 고품질, 저전력 소비 등을 기초하여 다양한 어플리케이션 시장이 더욱 활발해지고 있으며, 특히 OLED(Organic Light Emitting Diodes, 유기발광 다이오드)는 PDP, LCD, LED에 이어서 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있다.Based on the high quality and low power consumption of flat panel displays, various application markets are becoming more active. In particular, OLED (Organic Light Emitting Diodes) is in the limelight as a next-generation display following PDP, LCD, and LED.

OLED는 1987년 Eastman Kodak의 Tang이 적층 구조의 유기물질에서 고휘도로 빛을 내는 데 성공한 것을 시작으로 현재까지 많은 기술적인 진보가 이루어졌다.Starting from the success of Eastman Kodak's Tang in 1987 in emitting high-brightness light from organic materials with a layered structure, many technological advances have been made until now.

OLED는 밝기, 명암비, 응답속도, 색 재현율, 시인성 등에서 뛰어난 화질과 제조공정이 단순해 저렴하다는 장점 등을 가지며 소위 ‘꿈의 디스플레이’로 여겨져 왔다.OLED has been considered a so-called ‘dream display’ because of its excellent image quality in terms of brightness, contrast ratio, response speed, color gamut, and visibility, as well as being inexpensive due to its simple manufacturing process.

그러나 짧은 수명, 낮은 수율 등으로 인하여 상용화에 어려움을 겪었으며 LCD 관련 기술의 빠른 진전으로 OLED의 시장 진입을 위한 입지를 상당히 좁게 만들어 상용화가 지연되었다.However, commercialization was difficult due to short lifespan and low yield, and the rapid progress of LCD-related technology significantly narrowed the market entry of OLED, resulting in delay in commercialization.

최근 전 세계 디스플레이업계에서 상당 부분의 기술적 문제를 해결함에 따라 한국을 비롯한 일본, 대만의 관련업체들이 양산을 시작하고 있다.As many of the technical problems in the global display industry have recently been resolved, related companies in Korea, Japan, and Taiwan are starting mass production.

OLED는 유기 박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 정공(Hole)과 전자(Electron)가 재결합하여 여기자(Exciton)를 형성하고, 여기자가 다시 안정된 상태로 돌아오면서 방출되는 에너지가 빛으로 변하여 발광하는 자체 발광형 디스플레이 소자이다.In OLED, holes and electrons injected into an organic thin film through an anode and a cathode recombine to form excitons. It is a light emitting display device.

가장 간단한 구조의 OLED는 전자를 주입하는 음극, 정공을 주입하는 양극, 발광이 일어나는 유기 박막으로 이루어지며, 캐리어의 재결합 및 발광 특성 향상을 위해 전자 또는 정공의 주입 및 전달을 도와주는 기능층을 추가적으로 포함한다.OLED with the simplest structure consists of a cathode for injecting electrons, an anode for injecting holes, and an organic thin film that emits light. A functional layer is added to help inject and transfer electrons or holes to improve carrier recombination and light emission characteristics. include

유기박막형성 기술은 FMM(Fine Metal Mask)와 같은 마스크를 이용한 증착기술, 레이저를 이용한 패터닝 기술, 액체기반의 잉크화 재료를 이용한 프린팅 기술 등이 있다.Organic thin film formation technology includes a deposition technology using a mask such as a fine metal mask (FMM), a patterning technology using a laser, and a printing technology using a liquid-based ink material.

이중, 마스크를 이용한 증착기술에서는 기판을 선택적으로 스크리닝(screening)하는 과정에서 마스크의 표면에도 유기 물질이 증착되기 때문에, 일정한 공정 횟수가 지난 이후에는 마스크를 세정하는 것이 필수적으로 요구되어 진다.Among them, in the deposition technology using a mask, since organic materials are deposited on the surface of the mask in the process of selectively screening the substrate, it is essential to clean the mask after a certain number of processes have passed.

따라서, 마스크를 마스크 세정장비로 이송하거나 세정 및 건조가 완료된 마스크를 세정장비로부터 반출하여 공정 스테이지로 이송하는 과정이 필수적이다.Therefore, it is essential to transfer the mask to the mask cleaning equipment or take the cleaned and dried mask out of the cleaning equipment and transfer it to the process stage.

종래에는, 마스크 등 피세척물을 이송하기 위해 고성능의 베어링이 내장된 다수의 롤러를 포함하는 컨베이어 시스템을 이용하였으며 롤러의 회전을 통해 피세척물을 다음 스테이지로 이송하는 방식을 채택하였다.Conventionally, a conveyor system including a plurality of rollers with built-in high-performance bearings was used to transfer objects to be washed, such as masks, and a method of transferring the objects to be washed to the next stage through rotation of the rollers was adopted.

그러나, 피세척물의 이송시 피세척물의 하중이 그대로 롤러에 전달되었기 때문에 베어링과 롤러 표면에 마모가 발생하였고, 이에 따라 짧은 주기로 베어링을 교체해야 했으므로 생산성이 저하되는 것과 함께 생산원가가 상승하는 단점이 있었다.However, since the load of the object to be cleaned was transmitted to the roller as it was during the transport of the object to be cleaned, wear occurred on the bearing and roller surface, and as a result, the bearing had to be replaced in a short period of time, resulting in a decrease in productivity and an increase in production cost. there was.

더욱이, 피세척물의 중량이 커짐에 따라 베어링과 롤러의 마모는 심해지고 롤러에서 나오는 마모된 입자가 마스크 등 피세척물에 부착되어 표면을 다시 오염시키는 단점도 있었다.Moreover, as the weight of the object to be cleaned increases, the wear of the bearing and the roller becomes severe, and worn particles from the roller adhere to the object to be cleaned, such as a mask, to contaminate the surface again.

한국등록특허 제10-1314651호(2013.09.27)Korean Patent Registration No. 10-1314651 (2013.09.27)

본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 발명의 목적은 마스크 등 피세척물의 이송시 롤러 및 베어링에 접촉하여 가해지는 하중을 최소화하여 이송장치의 내구성을 제고함으로써 생산성을 높이고 생산원가를 절감할 수 있는 피세척물의 이송장치를 제공하는데 있다.The present invention was made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to minimize the load applied by contacting the roller and the bearing during the transfer of the object to be washed, such as a mask, to improve the durability of the transfer device, thereby increasing productivity It is to provide a transfer device for objects to be washed that can reduce production costs.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 피세척물의 이송장치는,In order to achieve the above object, the transfer device of the object to be washed according to the present invention,

외주면이 피세척물의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러;a plurality of lower rollers rotatably disposed on a vertical surface with outer circumferential surfaces facing the bottom surface of the object to be washed and spaced apart from each other in the transport direction of the object to be washed;

상기 하부 롤러의 상부에 배치되며 피세척물을 사이에 두고 수평면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러;a plurality of upper rollers disposed above the lower roller, rotatably disposed on a horizontal surface with objects to be washed interposed therebetween, and spaced apart from each other in a transport direction of objects to be washed;

이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛;a first fluid spraying unit disposed between lower rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward the bottom of the object to be cleaned;

이송방향으로 이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 양면을 향해 각각 유체를 분사하는 제2 유체분사 유닛;a second fluid spraying unit disposed between upper rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward both sides of the object to be cleaned;

을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to include.

상기 제1 유체분사 유닛은,The first fluid injection unit,

이웃하는 하부 롤러들 사이에서 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 이송방향을 따라 배열되고 상기 피세척물의 바닥을 향하는 복수의 제1 유체 분사공이 형성되는 제1 튜브; 및a first tube extending between adjacent lower rollers along the transport direction and having a plurality of first fluid injection holes arranged along the transport direction on an outer circumferential surface and directed toward the bottom of the object to be cleaned; and

상기 제1 튜브의 통로와 연통되는 제1 유체 공급부;a first fluid supply unit communicating with the passage of the first tube;

를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to include.

상기 제1 튜브의 상부에는 상기 피세척물의 하단 횡단면 형상에 대응하도록 제1 가이드 홈이 형성되며, 상기 제1 가이드 홈의 바닥에 제1 유체 분사공이 형성되는 것을 특징으로 한다.A first guide groove is formed at an upper portion of the first tube to correspond to a cross-sectional shape of a lower end of the object to be washed, and a first fluid injection hole is formed at a bottom of the first guide groove.

상기 제1 튜브의 제1 가이드 홈을 구성하는 양측면에는 상기 제1 튜브의 통로와 연통하며 상기 피세척물의 양측면을 향하는 제3 유체 분사공이 형성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that a third fluid injection hole is formed on both sides constituting the first guide groove of the first tube and communicates with the passage of the first tube and faces both sides of the object to be washed.

상기 제3 유체 분사공은 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.The third fluid ejection hole is characterized in that it is formed inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be cleaned.

상기 제2 유체분사 유닛은,The second fluid injection unit,

이웃하는 상부 롤러들 사이에서 상기 피세척물을 사이에 두고 양면측에 각각 배치되고, 각각은 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 상기 피세척물의 양면을 각각 향하도록 이송방향을 따라 배열되는 복수의 제2 유체 분사공이 형성되는 제2 튜브; 및A plurality of rollers disposed on both sides of the object to be washed between adjacent upper rollers, each extending along the conveying direction and arranged along the conveying direction on an outer circumferential surface to face both sides of the object to be washed, respectively. a second tube in which a second fluid injection hole is formed; and

상기 제2 튜브의 통로와 연통되는 제2 유체 공급부;a second fluid supply unit communicating with the passage of the second tube;

를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to include.

상기 제2 유체 분사공은 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.The second fluid injection hole is characterized in that it is formed inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be cleaned.

또한, 본 발명에 따른 피세척물의 이송장치의 다른 실시예로서,In addition, as another embodiment of the transfer device of the object to be washed according to the present invention,

외주면이 피세척물의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러;a plurality of lower rollers rotatably disposed on a vertical surface with outer circumferential surfaces facing the bottom surface of the object to be washed and spaced apart from each other in the transport direction of the object to be washed;

상기 하부 롤러의 상부에 배치되며 피세척물을 사이에 두고 수평면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러;a plurality of upper rollers disposed above the lower roller, rotatably disposed on a horizontal surface with objects to be washed interposed therebetween, and spaced apart from each other in a transport direction of objects to be washed;

이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛;a first fluid spraying unit disposed between lower rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward the bottom of the object to be cleaned;

이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에서 상기 피세척물을 사이에 두고 각각 배치되는 제1 자석과, 상기 제1 자석과 인력 또는 척력이 작용하도록 상기 피세척물의 양면에 각각 설치되는 제2 자석을 포함하는 자석 유닛;Includes first magnets respectively disposed between adjacent upper rollers and upper rollers with the object to be washed interposed therebetween, and second magnets respectively installed on both sides of the object to be washed so that attractive or repulsive force acts with the first magnet a magnet unit to;

을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to include.

제1 자석과 제2 자석은 상향 경사진 방향으로 자력이 향하도록 배열되는 것을 특징으로 한다.The first magnet and the second magnet are characterized in that they are arranged so that magnetic force is directed in an upwardly inclined direction.

전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛과, 이송방향으로 이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 양면을 향해 각각 유체를 분사하는 제2 유체분사 유닛을 포함하므로, 피세척물의 바닥에서는 상기 제1 유체분사 유닛 의해 부상하는 힘을 받게 되어 하부 롤러에 작용하는 하중이 크게 경감되게 되고, 상기 제2 유체분사 유닛에 의해 피세척물의 상부가 균형을 이루어 상부 롤러에 작용하는 하중이 크게 경감될 수 있다.According to the present invention configured as described above, the first fluid spray unit disposed between the lower roller and the lower roller adjacent in the transport direction and spraying the fluid toward the bottom of the object to be washed, and the upper roller adjacent in the transport direction and a second fluid spray unit disposed between the upper roller and spraying fluid toward both sides of the object to be washed, so that the bottom of the object to be washed is subjected to a force to rise by the first fluid spray unit and acts on the lower roller. The load acting on the upper roller can be greatly reduced because the upper portion of the object to be washed is balanced by the second fluid spray unit.

이와 같이, 하부 롤러 및 상부 롤러, 그리고 하부 롤러와 상부 롤러 내에 내장된 베어링이 마모되는 경우를 최소화할 수 있게 되므로, 하부 롤러와 상부 롤러의 내구성을 제고할 수 있으며, 이에 따라 생산성을 높이고 생산원가를 절감할 수 있게 된다.In this way, since it is possible to minimize the case where the lower roller and the upper roller and the bearings embedded in the lower roller and the upper roller are worn out, the durability of the lower roller and the upper roller can be improved, thereby increasing productivity and reducing production costs. will be able to save

또한 본 발명에 따르면, 상기 제1 유체분사 유닛은, 이웃하는 하부 롤러들 사이에서 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 이송방향을 따라 배열되고 상기 피세척물의 바닥을 향하는 복수의 제1 유체 분사공이 형성되는 제1 튜브 및, 상기 제1 튜브의 유체 통로와 연통되는 제1 유체 공급부를 포함하여 구성되므로, 상기 제1 유체 공급부를 통해 상기 제1 튜브로 유체를 공급하면 상기 제1 유체 분사공을 통해 유체가 피세척물의 바닥을 향해 분사하여 효과적으로 부상력을 발생시킬 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, the first fluid ejection unit extends between adjacent lower rollers along the conveying direction and has a plurality of first fluid ejection holes arranged along the conveying direction on an outer circumferential surface toward the bottom of the object to be washed. Since it includes a formed first tube and a first fluid supplying part communicating with the fluid passage of the first tube, when fluid is supplied to the first tube through the first fluid supplying part, the first fluid injection hole Through this, the fluid can be sprayed toward the bottom of the object to be washed to effectively generate levitation force.

또한 본 발명에 따르면, 상기 제1 튜브의 상부에는 상기 피세척물의 하단 횡단면 형상에 대응하도록 제1 가이드 홈이 형성되며, 상기 제1 가이드 홈의 바닥에 제1 유체 분사공이 형성되므로, 유체가 상기 피세척물의 양측면과 상기 제1 가이드 홈의 측면 사이로 지나가면서 피세척물의 측면에 대하여 누르는 힘이 작용하게 되므로 이송중 피세척물의 흔들림이 최소화되고 하부 롤러의 축방향을 따라 피세척물의 중량에 따른 불균일 하중이 최소화될 수 있다.In addition, according to the present invention, since a first guide groove is formed at the top of the first tube to correspond to the cross-sectional shape of the lower end of the object to be washed, and a first fluid injection hole is formed at the bottom of the first guide groove, the fluid is As it passes between both sides of the object to be cleaned and the side of the first guide groove, a pressing force is applied to the side of the object to be cleaned, so that shaking of the object to be cleaned during transport is minimized and unevenness according to the weight of the object to be washed along the axial direction of the lower roller load can be minimized.

또한 본 발명에 따르면, 상기 제2 유체분사 유닛을 구성하는 제2 유체 분사공이 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되도록 하여 부상력을 보조함으로써 하부 롤러에 대한 하중을 경감하도록 할 수 있다.In addition, according to the present invention, the load on the lower roller can be reduced by assisting the levitation force by allowing the second fluid injection hole constituting the second fluid injection unit to be inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be cleaned.

또한 본 발명에 따르면, 상기 제1 튜브의 제1 가이드 홈을 구성하는 양측면에는 상기 제1 튜브의 통로와 연통하며 상기 피세척물의 양측면을 향하는 제3 유체 분사공이 형성되므로, 피세척물의 양측면에 대하여 누르는 힘이 동일하게 되므로 이송중 피세척물의 흔들림이 더욱 최소화되고 하부 롤러의 축방향을 따라 피세척물의 중량에 따른 불균일 하중이 최소화될 수 있다.In addition, according to the present invention, since the third fluid injection hole is formed on both sides constituting the first guide groove of the first tube and communicates with the passage of the first tube and faces both sides of the object to be washed, with respect to both sides of the object to be washed Since the pressing force becomes the same, shaking of the object to be cleaned during transport can be further minimized and uneven load according to the weight of the object to be cleaned along the axial direction of the lower roller can be minimized.

또한 본 발명에 따르면, 상기 제3 유체 분사공은 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되므로 상기 피세척물에 대한 부상력을 유지할 수 있다.In addition, according to the present invention, since the third fluid injection hole is formed to be inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be washed, it is possible to maintain a levitation force with respect to the object to be washed.

또한 본 발명에 따르면, 제2 유체분사 유닛 대신, 이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에서 상기 피세척물을 사이에 두고 각각 배치되는 제1 자석과, 상기 제1 자석과 인력 또는 척력이 작용하도록 상기 피세척물의 양면에 각각 설치되는 제2 자석을 포함하는 자석 유닛을 포함하므로, 상기 제2 자석 유닛에 의해 상기 피세척물의 상부 양측면을 동일한 힘으로 누르게 되므로 상부 롤러에 접촉하지 않은 상태 또는 최소의 반력을 받는 상태로 이동이 가능하게 되며 상부 롤러에 작용하는 하중을 최소화할 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, instead of the second fluid spray unit, first magnets disposed between adjacent upper rollers and upper rollers with the object to be washed interposed therebetween, and the first magnet and the attractive or repulsive force act on the first magnet. Since it includes a magnet unit including second magnets installed on both sides of the object to be washed, both upper sides of the object to be washed are pressed with the same force by the second magnet unit, so that there is no contact with the upper roller or a minimum reaction force. It is possible to move while receiving and minimize the load acting on the upper roller.

또한 본 발명에 따르면, 상기 제1 자석과 제2 자석이 상향 경사진 방향으로 자력이 향하도록 배열됨으로써 피세척물에 대한 부상력을 한층 높일 수 있다.In addition, according to the present invention, the first magnet and the second magnet are arranged so that the magnetic force is directed in an upwardly inclined direction, so that the levitation force on the object to be washed can be further increased.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 피세척물의 이송장치를 나타내는 상면 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 피세척물의 이송장치를 나타내는 저면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 피세척물의 이송장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 3에서 제1 튜브와 피세척물의 배치 상태의 일 예를 나타내는 부분 단면 사시도이다.
도 5는 도 4에서 제1 튜브와 피세척물의 배치 상태의 일 예를 나타내는 정단면도이다.
도 6은 도 4에서 제1 튜브와 피세척물의 배치 상태의 다른 예를 나타내는 정단면도이다.
도 7은 자석 유닛을 적용한 본 발명의 다른 실시예에 따른 피세척물의 이송장치를 나타내는 상면 사시도이다.
도 8는 도 7의 측면도이다.1 is a top perspective view showing a transfer device for objects to be washed according to an embodiment of the present invention.
2 is a bottom perspective view showing a transfer device for objects to be washed according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view showing a transfer device for objects to be washed according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partial cross-sectional perspective view illustrating an example of a disposition state of a first tube and an object to be washed in FIG. 3 .
FIG. 5 is a front cross-sectional view showing an example of a disposition state of a first tube and an object to be washed in FIG. 4 .
FIG. 6 is a front cross-sectional view showing another example of the arrangement of the first tube and the object to be washed in FIG. 4;
7 is a top perspective view showing a transfer device for objects to be washed according to another embodiment of the present invention to which a magnet unit is applied.
Figure 8 is a side view of Figure 7;

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 피세척물의 이송장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of a transfer device for objects to be washed according to the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 피세척물의 이송장치(1000)는, 외주면이 피세척물(900)의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물(900)의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러(100), 상기 하부 롤러(100)의 상부에 배치되며 피세척물(900)을 사이에 두고 수평면 상에 회전 가능하게 배치되며 피세척물(900)의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러(200), 이송방향으로 이웃하는 하부 롤러(100)와 하부 롤러(100) 사이에 배치되며 상기 피세척물(900)의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛(300), 이송방향으로 이웃하는 상부 롤러(200)와 상부 롤러(200) 사이에 배치되며 상기 피세척물(900)의 양면을 향해 각각 유체를 분사하는 제2 유체분사 유닛(400)을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 5, the transfer device 1000 of the object to be washed according to the present invention is rotatably disposed on a vertical surface with the outer circumferential surface facing the bottom surface of the object 900 to be washed, A plurality of lower rollers 100 arranged spaced apart in the transport direction of the 900, disposed above the lower rollers 100 and rotatably disposed on a horizontal surface with the object to be cleaned 900 interposed therebetween, and disposed to be cleaned A plurality of upper rollers 200 arranged spaced apart in the conveying direction of the water 900, disposed between lower rollers 100 and lower rollers 100 adjacent to each other in the conveying direction, and cleaning the bottom of the object to be washed 900 A first fluid spraying unit 300 for spraying fluid toward, disposed between upper rollers 200 adjacent to each other in the transfer direction and spraying fluid toward both sides of the object to be cleaned 900, respectively It is configured to include a second fluid injection unit 400 .

이러한 구성에 따라, 피세척물(900)의 바닥에서는 상기 제1 유체분사 유닛(300)에 의해 부상하는 힘을 받게 되어 그 만큼 하부 롤러(100)에 작용하는 피세척물(900)의 하중이 크게 경감되게 되고, 상기 제2 유체분사 유닛(400)에 의해 피세척물(900)의 상부가 균형을 이루어 상부 롤러(200)에 작용하는 하중이 크게 경감될 수 있다.According to this configuration, the bottom of the object to be cleaned 900 is subjected to a force to rise by the first fluid spray unit 300, and the load of the object to be washed 900 acting on the lower roller 100 increases accordingly. The load acting on the upper roller 200 can be greatly reduced by balancing the upper part of the object to be cleaned 900 by the second fluid spray unit 400 .

상기 하부 롤러(100)의 축방향 중간 부분에는 둘레방향으로 반송홈(170)이 형성되어 있어, 이송중 상기 피세척물(900)이 측방향으로 이탈하는 것을 방지하게 된다.A conveying groove 170 is formed in the circumferential direction at the middle portion of the lower roller 100 in the axial direction to prevent the object to be cleaned 900 from escaping in the lateral direction during transport.

이와 같이, 하부 롤러(100) 및 상부 롤러(200), 그리고 롤러 내에 내장된 베어링(미도시)이 마모되는 경우를 최소화할 수 있게 되므로, 하부 롤러(100)와 상부 롤러(200)의 내구성을 제고할 수 있으며, 이에 따라 교체주기가 길어지는 것에 의해 생산성을 높이고 생산원가를 절감할 수 있게 된다. In this way, since it is possible to minimize the case where the lower roller 100 and the upper roller 200 and the bearings (not shown) built in the rollers are worn, the durability of the lower roller 100 and the upper roller 200 is improved. As a result, it is possible to increase productivity and reduce production cost by lengthening the replacement cycle.

상기 유체는 마스크 등 피세척물(900)의 세정에 사용하는 세정액을 채택할 수 있다.The fluid may be a cleaning liquid used for cleaning the object to be cleaned 900 such as a mask.

따라서, 유체가 접촉하는 마스크의 표면이 오염되는 경우가 없으며 별도의 유체를 준비할 필요가 없어 유체 공급라인이 간소화될 수 있다.Therefore, the surface of the mask contacting the fluid is not contaminated, and there is no need to prepare a separate fluid, so the fluid supply line can be simplified.

상기 제1 유체분사 유닛(300)은, 이웃하는 하부 롤러(100)들 사이에서 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 이송방향을 따라 배열되고 상기 피세척물(900)의 바닥을 향하는 복수의 제1 유체 분사공(311)이 형성되는 제1 튜브(310) 및, 상기 제1 튜브(310)의 유체 통로(315)와 연통되는 제1 유체 공급부(320)를 포함하여 구성될 수 있다.The first fluid spray unit 300 extends between adjacent lower rollers 100 along the transport direction, and a plurality of agents arranged along the transport direction on an outer circumferential surface and facing the bottom of the object to be washed 900. 1 may include a first tube 310 in which a fluid injection hole 311 is formed, and a first fluid supply unit 320 communicating with the fluid passage 315 of the first tube 310.

이에 따라, 상기 제1 유체 공급부(320)를 통해 상기 제1 튜브(310)로 유체를 공급하면 상기 제1 유체 분사공(311)을 통해 유체가 피세척물(900)의 바닥을 향해 분사하여 부상력을 발생시키게 된다.Accordingly, when fluid is supplied to the first tube 310 through the first fluid supply unit 320, the fluid is sprayed toward the bottom of the object to be cleaned 900 through the first fluid spray hole 311, it creates an injury force.

특히, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 제1 튜브(310)의 상부에는 상기 피세척물(900)의 하단 횡단면 형상에 대응하도록 제1 가이드 홈(312)이 형성되고, 상기 제1 가이드 홈(312)의 바닥에는 제1 유체 분사공(311)이 형성되도록 하면, 유체가 상기 피세척물(900)의 양측면과 상기 제1 가이드 홈(312)의 측면 사이로 지나가면서 피세척물(900)을 측면에서 누르는 힘을 작용하게 되므로 이송중 피세척물(900)의 흔들림이 최소화된다.In particular, as shown in FIG. 6, a first guide groove 312 is formed on the upper part of the first tube 310 to correspond to the cross-sectional shape of the lower end of the object to be cleaned 900, and the first guide groove When the first fluid injection hole 311 is formed at the bottom of the 312, the fluid passes between both side surfaces of the object to be cleaned 900 and the side surface of the first guide groove 312, and the object to be washed 900 Since the pressing force is applied from the side, shaking of the object to be cleaned 900 during transport is minimized.

상기 제1 유체 분사공(311)은 이송방향을 따라 이격되게 배열되는 것과 함께 가로방향을 따라 간격을 두고 배열될 수도 있으며 미세한 다공성의 구멍이 소정 폭과 길이 내에 조밀하게 형성된 구성으로 하여도 무방하다.The first fluid ejection holes 311 may be arranged at intervals along the transverse direction as well as spaced apart along the transport direction, and fine porous holes may be densely formed within a predetermined width and length. .

상기 제1 튜브(310)의 제1 가이드 홈(312)을 구성하는 양측면에는 상기 제1 튜브(310)의 통로와 연통하며 상기 피세척물(900)의 양측면을 향하는 제3 유체 분사공(313)이 형성되어 피세척물(900)의 양측면을 동일한 힘으로 누를 수 있도록 하는 것이 바람직하다.On both sides of the first guide groove 312 of the first tube 310, third fluid injection holes 313 communicate with the passage of the first tube 310 and face both sides of the object to be cleaned 900. ) is formed so that both sides of the object to be washed 900 can be pressed with the same force.

이 경우, 상기 제3 유체 분사공(313)은 상기 피세척물(900)의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되어 부상력을 유지하도록 하는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the third fluid ejection hole 313 is formed inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be cleaned 900 to maintain levitation force.

한편, 상기 제2 유체분사 유닛(400)은, 이웃하는 상부 롤러(200)들 사이에서 상기 피세척물(900)을 사이에 두고 양면측에 각각 배치되고, 각각은 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 상기 피세척물(900)의 양면을 각각 향하도록 이송방향을 따라 배열되는 복수의 제2 유체 분사공(411)이 형성되는 제2 튜브(410) 및, 상기 제2 튜브(410)의 유체 통로와 연통되는 제2 유체 공급부(420)를 포함한다.On the other hand, the second fluid spray unit 400 is disposed on both sides of the adjacent upper rollers 200 with the object to be cleaned 900 interposed therebetween, and each extends along the transport direction. A second tube 410 having a plurality of second fluid injection holes 411 arranged along the transport direction so as to face both sides of the object to be cleaned 900, respectively, on an outer circumferential surface of the second tube 410, and It includes a second fluid supply unit 420 communicating with the fluid passage.

이에 따라, 상기 제2 유체 분사공(411)을 통해 피세척물(900)의 상부 양측면을 동일한 힘으로 누르게 되므로 상부 롤러(200)에 접촉하지 않은 상태 또는 최소의 반력을 받는 상태로 이동이 가능하게 되며, 상부 롤러(200)에 작용하는 하중을 최소화할 수 있게 되어 상부 롤러(200)의 내구성이 한층 커지게 되는 장점이 있다.Accordingly, since both sides of the upper portion of the object to be cleaned 900 are pressed with the same force through the second fluid injection hole 411, it is possible to move without contacting the upper roller 200 or with minimal reaction force. And, it is possible to minimize the load acting on the upper roller 200, thereby increasing the durability of the upper roller 200.

이 경우, 상기 제2 유체 분사공(411)은 상기 피세척물(900)의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되도록 하여 부상력을 보조함으로써, 하부 롤러(100)에 대한 하중을 한층 경감할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In this case, the second fluid injection hole 411 is formed to be inclined upward with respect to both sides of the object to be washed 900 to assist the levitation force, thereby further reducing the load on the lower roller 100 it is desirable

한편, 상기 하부 롤러(100)에 작용하는 하중을 경감시키기 위한 제1 유체분사 유닛(300), 및 상부 롤러(200)에 작용하는 하중을 경감시키기 위한 제2 유체분사 유닛(400) 대신, 자석 유닛을 채택할 수 있다.Meanwhile, instead of the first fluid spray unit 300 for reducing the load acting on the lower roller 100 and the second fluid spray unit 400 for reducing the load acting on the upper roller 200, the magnet units can be adopted.

이하 설명에서, 동일한 구성요소에는 동일한 구성부호를 적용하며 중복된 설명은 생략하도록 한다.In the following description, the same component numerals are applied to the same components, and redundant descriptions will be omitted.

구체적으로, 도 7과 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 피세척물의 이송장치(1000')는, 외주면이 피세척물(900)의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물(900)의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러(100), 상기 하부 롤러(100)의 상부에 배치되며 피세척물(900)을 사이에 두고 수평면 상에 회전 가능하게 배치되며 피세척물(900)의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러(200), 이송방향으로 이웃하는 하부 롤러(100)와 하부 롤러(100) 사이에 배치되며 상기 피세척물(900)의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛(300), 이웃하는 상부 롤러(200)와 상부 롤러(200) 사이에서 상기 피세척물(900)을 사이에 두고 각각 배치되는 제1 자석(610)과, 상기 제1 자석(610)과 인력 또는 척력이 작용하도록 상기 피세척물(900)의 양면에 각각 설치되는 제2 자석(620)을 포함하는 자석 유닛(600)을 포함하여 구성된다.Specifically, as shown in FIGS. 7 and 8, the transfer device 1000' of the object to be washed according to another embodiment of the present invention is on a vertical surface with the outer peripheral surface facing the bottom surface of the object to be washed 900. A plurality of lower rollers 100 rotatably arranged and spaced apart from each other in the transport direction of the objects to be cleaned 900, disposed on top of the lower rollers 100, on a horizontal surface with the objects to be cleaned 900 interposed therebetween A plurality of upper rollers 200 rotatably disposed in and arranged to be spaced apart in the conveying direction of the object to be washed 900, disposed between the lower roller 100 and the lower roller 100 neighboring in the conveying direction, and the blood A first fluid spray unit 300 spraying fluid toward the bottom of the object to be washed 900 is disposed between adjacent upper rollers 200 and upper rollers 200 with the object to be washed 900 interposed therebetween. A magnet unit 600 including a first magnet 610 and second magnets 620 respectively installed on both sides of the object to be cleaned 900 so that the first magnet 610 and the attractive or repulsive force act It consists of including.

이러한 구성에 따라, 상기 자석 유닛(600)에 의해 상기 피세척물(900)의 상부 양측면을 동일한 힘으로 누르게 되므로 상부 롤러(200)에 접촉하지 않은 상태 또는 최소의 반력을 받는 상태로 이동이 가능하게 되며, 상부 롤러(200)에 작용하는 하중을 최소화할 수 있게 된다.According to this configuration, since both sides of the upper portion of the object to be washed 900 are pressed with the same force by the magnet unit 600, it is possible to move without contacting the upper roller 200 or with minimal reaction force. And, it is possible to minimize the load acting on the upper roller 200.

또한, 상기 제1 자석(610)과 제2 자석(620)이 상향 경사진 방향으로 자력이 향하도록 배열됨으로써 피세척물(900)에 대한 부상력을 한층 높일 수 있다.In addition, since the first magnet 610 and the second magnet 620 are arranged so that the magnetic force is directed in an upwardly inclined direction, the levitation force on the object to be washed 900 can be further increased.

전술한 바와 같이, 자석을 이용한 이송장치는 유체분사 유닛을 이용한 이송장치에 비해 그 구조가 매우 간단하여 제조가 용이한 장점이 있다.As described above, the transfer device using a magnet has an advantage of being easy to manufacture due to its very simple structure compared to the transfer device using a fluid injection unit.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예의 기재에 한정되지 않으며, 본 발명의 특허청구범위의 기재를 벗어나지 않는 한 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 다양한 변형 실시 또한 본 발명의 보호범위 내에 있는 것으로 해석되어야 한다.Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the description of the above embodiments, and those skilled in the art in the art to which the present invention pertains unless departing from the description of the claims of the present invention Various modifications made by the person should also be construed as falling within the protection scope of the present invention.

100... 하부 롤러
170... 반송홈
200... 상부 롤러
300... 제1 유체분사 유닛
310... 제1 튜브
311... 제1 유체 분사공
312... 제1 가이드 홈
313... 제3 유체 분사공
320... 제1 유체 공급부
400... 제2 유체분사 유닛
410... 제2 튜브
411... 제2 유체 분사공
420... 제2 유체 공급부
600... 자석 유닛
610... 제1 자석
620... 제2 자석
900... 피세척물
1000, 1000'... 피세척물의 이송장치100... lower roller
170... return home
200... upper roller
300 ... first fluid injection unit
310 ... first tube
311... first fluid injection hole
312... first guide groove
313... 3rd fluid injection hole
320 ... first fluid supply
400 ... 2nd fluid injection unit
410... second tube
411... second fluid injection hole
420 ... second fluid supply
600... magnet unit
610... first magnet
620... second magnet
900 ... to be washed
1000, 1000'... transfer device for objects to be cleaned

Claims (9)

외주면이 피세척물의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러;
상기 하부 롤러의 상부에 배치되며 피세척물을 사이에 두고 수평면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러;
이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛; 및
이송방향으로 이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 양면을 향해 각각 유체를 분사하는 제2 유체분사 유닛;
을 포함하여 구성되되,
상기 제1 유체분사 유닛은,
상기 피세척물의 바닥 아래 배치되어 이웃하는 하부 롤러들 사이에서 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 이송방향을 따라 배열되고 상기 피세척물의 바닥을 향하는 복수의 제1 유체 분사공이 형성되는 제1 튜브; 및
상기 제1 튜브의 통로와 연통되는 제1 유체 공급부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
a plurality of lower rollers rotatably disposed on a vertical surface with outer circumferential surfaces facing the bottom surface of the object to be washed and spaced apart from each other in the transport direction of the object to be washed;
a plurality of upper rollers disposed above the lower roller, rotatably disposed on a horizontal surface with objects to be washed interposed therebetween, and spaced apart from each other in a transport direction of objects to be washed;
a first fluid spraying unit disposed between lower rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward the bottom of the object to be cleaned; and
a second fluid spraying unit disposed between upper rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward both sides of the object to be cleaned;
It consists of including,
The first fluid injection unit,
A first tube disposed under the bottom of the object to be washed, extending between adjacent lower rollers along the conveying direction, and having a plurality of first fluid ejection holes arranged along the conveying direction on an outer circumference thereof and directed toward the bottom of the object to be washed; and
a first fluid supply unit communicating with the passage of the first tube;
Transfer device for objects to be washed, characterized in that configured to include a.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 튜브의 상부에는 상기 피세척물의 하단 횡단면 형상에 대응하도록 제1 가이드 홈이 형성되며, 상기 제1 가이드 홈의 바닥에 제1 유체 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
According to claim 1,
A first guide groove is formed at an upper portion of the first tube to correspond to a cross-sectional shape of a lower end of the object to be washed, and a first fluid injection hole is formed at a bottom of the first guide groove.
 제3항에 있어서,
상기 제1 튜브의 제1 가이드 홈을 구성하는 양측면에는 상기 제1 튜브의 통로와 연통하며 상기 피세척물의 양측면을 향하는 제3 유체 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
According to claim 3,
The transfer device of the object to be washed, characterized in that the third fluid injection hole is formed on both sides constituting the first guide groove of the first tube and communicates with the passage of the first tube and faces both sides of the object to be washed.
 제4항에 있어서,
상기 제3 유체 분사공은 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
According to claim 4,
The third fluid injection hole is formed to be inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be washed.
 제1항 또는 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 유체분사 유닛은,
이웃하는 상부 롤러들 사이에서 상기 피세척물을 사이에 두고 양면측에 각각 배치되고, 각각은 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 상기 피세척물의 양면을 각각 향하도록 이송방향을 따라 배열되는 복수의 제2 유체 분사공이 형성되는 제2 튜브; 및
상기 제2 튜브의 통로와 연통되는 제2 유체 공급부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
According to any one of claims 1 or 3 to 5,
The second fluid injection unit,
A plurality of rollers disposed on both sides between adjacent upper rollers with the object to be washed interposed therebetween, each extending along the conveying direction and arranged along the conveying direction on an outer circumferential surface to face both sides of the object to be washed, respectively. a second tube in which a second fluid injection hole is formed; and
a second fluid supply unit communicating with the passage of the second tube;
Transfer device for objects to be washed, characterized in that configured to include a.
 제6항에 있어서,
상기 제2 유체 분사공은 상기 피세척물의 양측면에 대하여 상향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
According to claim 6,
The second fluid injection hole is a transfer device for the object to be washed, characterized in that formed inclined upward with respect to both side surfaces of the object to be washed.
 외주면이 피세척물의 바닥면에 면한 상태에서 수직면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 하부 롤러;
상기 하부 롤러의 상부에 배치되며 피세척물을 사이에 두고 수평면 상에서 회전 가능하게 배치되며 피세척물의 이송방향으로 이격되게 배열되는 복수의 상부 롤러;
이송방향으로 이웃하는 하부 롤러와 하부 롤러 사이에 배치되며 상기 피세척물의 바닥을 향해 유체를 분사하는 제1 유체분사 유닛; 및
이웃하는 상부 롤러와 상부 롤러 사이에서 상기 피세척물을 사이에 두고 각각 배치되는 제1 자석과, 상기 제1 자석과 인력 또는 척력이 작용하도록 상기 피세척물의 양면에 각각 설치되는 제2 자석을 포함하는 자석 유닛;
을 포함하여 구성되되,
상기 제1 유체분사 유닛은,
상기 피세척물의 바닥 아래 배치되어 이웃하는 하부 롤러들 사이에서 상기 이송방향을 따라 연장되며 외주면에는 이송방향을 따라 배열되고 상기 피세척물의 바닥을 향하는 복수의 제1 유체 분사공이 형성되는 제1 튜브; 및
상기 제1 튜브의 통로와 연통되는 제1 유체 공급부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.
a plurality of lower rollers rotatably disposed on a vertical surface with outer circumferential surfaces facing the bottom surface of the object to be washed and spaced apart from each other in the transport direction of the object to be washed;
a plurality of upper rollers disposed above the lower roller, rotatably disposed on a horizontal surface with objects to be washed interposed therebetween, and spaced apart from each other in a transport direction of objects to be washed;
a first fluid spraying unit disposed between lower rollers adjacent to each other in a transport direction and spraying fluid toward the bottom of the object to be cleaned; and
Includes first magnets respectively disposed between adjacent upper rollers and upper rollers with the object to be washed interposed therebetween, and second magnets respectively installed on both sides of the object to be washed so that attractive or repulsive force acts with the first magnet a magnet unit to;
It consists of including,
The first fluid injection unit,
A first tube disposed under the bottom of the object to be washed, extending between adjacent lower rollers along the conveying direction, and having a plurality of first fluid ejection holes arranged along the conveying direction on an outer circumference thereof and directed toward the bottom of the object to be washed; and
a first fluid supply unit communicating with the passage of the first tube;
Transfer device for objects to be washed, characterized in that configured to include a.
 제8항에 있어서,
제1 자석과 제2 자석은 상향 경사진 방향으로 자력이 향하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 피세척물의 이송장치.According to claim 8,
The first magnet and the second magnet are arranged so that the magnetic force is directed in an upwardly inclined direction.
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