KR102542185B1 - Vision alignment probe unit - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 비전 얼라인 프로브 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 비전 얼라인먼트를 이용하여 전자 부품을 검사하는 비전 얼라인 프로브 시스템을 구성하는 비전 얼라인 프로브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vision alignment probe device, and more particularly, to a vision alignment probe device constituting a vision alignment probe system for inspecting electronic components using vision alignment.
전자 부품 검사용 프로브 장치는 예컨대 디스플레이의 패널의 에이징 테스트를 위한 장치이다. 에이징은 디스플레이 패널의 제조 과정 중에 수행되는 공정으로, 디스플레이 패널이 제대로 구동되는지 확인하기 위한 신뢰성을 실험하는 공정이다.A probe device for inspecting electronic parts is, for example, a device for testing aging of a panel of a display. Aging is a process performed during the manufacturing process of a display panel, and is a process of testing reliability to check whether the display panel is properly driven.
이러한 에이징 공정에서는 에이징 챔버 내에 디스플레이 패널을 베이스 플레이트에 결합된 복수 개의 블록에 프로브를 장착한 상태에서, 일정 시간 동안 전기적 신호를 인가하여 디스플레이가 정상적으로 작동하는지 검사한다.In this aging process, with probes mounted on a plurality of blocks coupled to the display panel and the base plate in the aging chamber, electrical signals are applied for a predetermined period of time to check whether the display operates normally.
전자 부품 검사용 프로브 장치에는 복수 개의 프로브 블록이 정렬되어 배치될 수 있다. 각각의 프로브 블록에는 디스플레이 패널과 접촉하는 프로브가 장착된다. 프로브와 디스플레이 패널의 접촉 위치는 정렬되어야 한다. 다만, 디스플레이 패널의 종류 및 크기에 따라 접촉 위치가 상이할 수 있다. 따라서, 종류나 크기가 다른 디스플레이 패널로 바뀔 때마다, 디스플레이 패널의 테스트 장치를 교체해야 하는 문제가 있다.A plurality of probe blocks may be aligned and arranged in a probe device for inspecting an electronic component. Each probe block is equipped with a probe that contacts the display panel. The contact position of the probe and the display panel must be aligned. However, the contact position may be different depending on the type and size of the display panel. Therefore, whenever a display panel of a different type or size is changed, there is a problem in that the test device of the display panel needs to be replaced.
본 발명과 관련된 기술로서, 대한민국 등록 특허 공보에 개시된, 디스플레이 패널의 테스트 장치는 패널과 접촉하는 프로브를 포함하는 제2 블록을 개시한다. 이 관련 기술은 비전 얼라인먼트 이용에 적합한 구성을 포함하고 있지 않은 점에서, 비전 얼라인먼트를 이용하여 프로브의 위치를 자동으로 고정시킬 수 있는 구성을 포함하는 본 발명의 구성 및 효과와 구별된다.As a technology related to the present invention, a test apparatus for a display panel disclosed in Korean Registered Patent Publication discloses a second block including a probe contacting the panel. This related art is distinguished from the configuration and effect of the present invention including a configuration for automatically fixing the position of a probe using vision alignment in that it does not include a configuration suitable for use of vision alignment.
본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 피검사체 상의 복수의 단자들과 접촉하는 프로브를 독립적으로 얼라인(정렬) 시킬 수 있는 비전 얼라인 프로브 장치를 제공하는 것이다.One problem to be solved by the present invention is to provide a vision alignment probe device capable of independently aligning (aligning) probes in contact with a plurality of terminals on an object to be inspected.
본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 복수의 단자와 복수의 프로브가 접촉된 얼라인 상태를 안정적으로 고정시킬 수 비전 얼라인 프로브 장치를 제공하는 것이다.One problem to be solved by the present invention is to provide a vision alignment probe device capable of stably fixing an alignment state in which a plurality of terminals and a plurality of probes are in contact.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned herein will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치는, 피검사체(20)가 안착되는 베이스 플레이트(100), 일 방향으로 베이스 플레이트에 배치되고 피검사체(20)의 단자(22)에 접촉하여 검사용 신호를 입력시키는 적어도 하나 이상의 프로브(300), 프로브(300)의 변위를 일으키는 적어도 하나 이상의 프로브 블록(200), 및 프로브 블록(200)의 변위를 안내하는 가이드 세트(400)를 포함하고, 프로브 블록(200)은, 상기 가이드 세트(400)를 통해 상기 프로브(300)의 좌표 변위를 조절하도록 구성될 수 있다.The vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention is disposed on the
또한, 피검사체(20)의 안착, 상기 검사용 신호의 입력 및 상기 프로브(300)의 변위를 제어하는 제어부(50)를 포함하고, 제어부(50)는 비전 얼라인(vision align) 정보를 이용하여, 상기 피검사체(20)의 위치 제어 및 상기 프로브 블록(200)의 동작 제어를 통해, 피검사체(20)에 형성된 적어도 하나 이상의 상기 단자(22)에 대응되게 상기 프로브(300)의 위치를 제어하도록 구성될 수 있다.In addition, a control unit 50 for controlling the seating of the object to be inspected 20, the input of the inspection signal, and the displacement of the
또한, 베이스 플레이트(100)는, 피검사체(20)가 안착되는 제1 베이스 플레이트(110) 및 베이스 플레이트(100) 하부에 설치된 카메라(30)를 통해 상기 프로브(300)의 바닥 면에 설치된 얼라인 마크(310) 및 피검사체(20)에 표시된 얼라인 마크(align mark)(21)가 인식되도록 바닥 홀(121)이 구비된 제2 베이스 플레이트(120)를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the
또한, 비전 얼라인 프로브 장치(10)는 피검사체(20)가 안착된 상기 베이스 플레이트(100)에서 상기 프로브 블록(200)의 위치를 고정시키는 클램퍼(430)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the vision align
또한, 가이드 세트(400)는, 상기 베이스 플레이트(100) 상에 배치되는 복수의 가이드 레일(410) 및 상기 프로브 블록(200)에 결합되어 상기 가이드 레일(410)을 따라 슬라이딩 이동하는 복수의 가이드 블록(420)을 포함하고, 클램퍼(430)는, 공압을 이용하여 상기 가이드 블록(420)을 상기 가이드 레일(410)에 고정하도록 구성될 수 있다.In addition, the guide set 400 includes a plurality of
또한, 프로브 블록(200)은, 피검사체(20)가 지그(40)에 의해 상기 베이스 플레이트(100) 상에 안착되게 상기 프로브(300)의 Z축(상하) 변위를 야기하고, 안착된 상기 피검사체(20)에 상기 프로브(300)의 탐침이 대응되게 상기 프로브(300)의 Y축(일 방향) 변위 및 Z축 변위를 야기하도록 구성될 수 있다.In addition, the
또한, 프로브 블록(200)은, Z축 방향으로 슬롯이 형성된 헤드 블록 세트(210), 슬롯(214)에 따른 변위를 통해 하부에 결합된 상기 프로브(300)의 Z축 변위를 야기하는 미들 블록 세트(220), 일측에서 상기 헤드 블록 세트(210)와 결합되고, 타측에서 상기 가이드 세트(400)를 구성하는 가이드 블록(420)과 결합되는 가이드 플레이트(230)를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the
또한, 헤드 블록 세트(210)는, 카메라를 통해 인식되는 얼라인 마크(212) 및 프로브 블록(200)의 Y축 변위를 일으키는 힘이 작용하는 사이드 스토퍼(213)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the head block set 210 may be configured to further include an
또한, 미들 블록 세트(220)는, 세로 가이드(vertical guide)를 이용하여 상기 슬롯(214)을 따라 Z축 변위하는 T형 블록(221) 및 T형 블록의 Z축 변위를 위한 힘이 작용되는 레버(223)를 더 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the middle block set 220 has a T-shaped
기타 실시 예의 구체적인 사항은 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 및 첨부 "도면"에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the "specific details for carrying out the invention" and the accompanying "drawings".
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 각종 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다.Advantages and/or features of the present invention, and methods of achieving them, will become apparent with reference to the various embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 각 실시 예의 구성만으로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로도 구현될 수도 있으며, 단지 본 명세서에서 개시한 각각의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐임을 알아야 한다.However, the present invention is not limited only to the configuration of each embodiment disclosed below, but may also be implemented in various other forms, and each embodiment disclosed herein only makes the disclosure of the present invention complete, and the present invention It is provided to completely inform those skilled in the art of the scope of the present invention, and it should be noted that the present invention is only defined by the scope of each claim of the claims.
본 발명에 의하면, 피검사체 상의 복수의 단자들과 접촉하는 프로브가 독립적으로 얼라인(정렬) 제어될 수 있다.According to the present invention, probes in contact with a plurality of terminals on an object to be inspected can be independently aligned (aligned).
또한, 복수의 단자와 복수의 프로브가 접촉된 얼라인 상태가 안정적으로 고정될 수 있다.In addition, an alignment state in which a plurality of terminals and a plurality of probes are in contact may be stably fixed.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치의 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 시스템의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치와 피검사체의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치의 분해도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 블록의 분해도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인먼트를 설명하기 위한 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인먼트를 설명하기 위한 저면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램퍼를 설명하기 위한 예시도이다.1 is an exemplary diagram of a vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of a vision alignment probe system according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a vision alignment probe device and an object to be inspected according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded view of a vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention.
5 is a front view of a vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention.
6 is an exploded view of a probe block according to an embodiment of the present invention.
7 is an exemplary view for explaining vision alignment according to an embodiment of the present invention.
8 is a bottom view illustrating vision alignment according to an embodiment of the present invention.
9 is an exemplary view for explaining a clamper according to an embodiment of the present invention.
본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.Before explaining the present invention in detail, the terms or words used in this specification should not be construed unconditionally in a conventional or dictionary sense, and in order for the inventor of the present invention to explain his/her invention in the best way It should be noted that concepts of various terms may be appropriately defined and used, and furthermore, these terms or words should be interpreted as meanings and concepts corresponding to the technical spirit of the present invention.
즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.That is, the terms used in this specification are only used to describe preferred embodiments of the present invention, and are not intended to specifically limit the contents of the present invention, and these terms represent various possibilities of the present invention. It should be noted that it is a defined term.
또한, 본 명세서에서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.In addition, it should be noted that in this specification, singular expressions may include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise, and similarly, even if they are expressed in plural numbers, they may include singular meanings. .
본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.Throughout this specification, when a component is described as "including" another component, it does not exclude any other component, but further includes any other component, unless otherwise stated. It can mean you can do it.
더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"라고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결하기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.Furthermore, when a component is described as “existing inside or connected to and installed” of another component, this component may be directly connected to or installed in contact with the other component, and a certain It may be installed at a distance, and when it is installed at a certain distance, a third component or means for fixing or connecting the corresponding component to another component may exist, and now It should be noted that the description of the components or means of 3 may be omitted.
반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.On the other hand, when it is described that a certain element is "directly connected" to another element, or is "directly connected", it should be understood that no third element or means exists.
마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.Similarly, other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "directly between", or "adjacent to" and "directly adjacent to" have the same meaning. should be interpreted as
또한, 본 명세서에서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.In addition, in this specification, the terms "one side", "the other side", "one side", "the other side", "first", "second", etc., if used, refer to one component It is used to be clearly distinguished from other components, and it should be noted that the meaning of the corresponding component is not limitedly used by such a term.
또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.In addition, in this specification, terms related to positions such as "top", "bottom", "left", and "right", if used, should be understood as indicating a relative position in the drawing with respect to the corresponding component, Unless an absolute position is specified for these positions, these positional terms should not be understood as referring to an absolute position.
또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.In addition, in this specification, in specifying the reference numerals for each component of each drawing, for the same component, even if the component is displayed in different drawings, it has the same reference numeral, that is, the same reference throughout the specification. Symbols indicate identical components.
본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.In the drawings accompanying this specification, the size, position, coupling relationship, etc. of each component constituting the present invention is partially exaggerated, reduced, or omitted in order to sufficiently clearly convey the spirit of the present invention or for convenience of explanation. may be described, and therefore the proportions or scale may not be exact.
또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대해 상세한 설명은 생략될 수도 있다.In addition, in the following description of the present invention, a detailed description of a configuration that is determined to unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, for example, a known technology including the prior art, may be omitted.
이하, 본 발명의 실시 예에 대해 관련 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to related drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치의 예시도이다.1 is an exemplary diagram of a vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 비전 얼라인 프로브 장치(10)(이하 프로브 장치)는 피검사체(20)에 접촉하는 프로브(300)가 포함된 복수의 프로브 블록(200) 및 피검사체(20)가 안착되는 베이스 플레이트(100)를 포함하도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1 , in the vision alignment probe device 10 (hereinafter referred to as the probe device), a plurality of
도 1에 도시된 좌표와 같이 이하 참조되는 도면들에서 프로브 장치(10)의 폭 방향을 X축 방향으로 정하고, 프로브 장치(10)의 길이 방향을 Y축 방향으로 정하고, 프로브 장치(10)의 높이 방향을 Z축 방향으로 정하기로 한다.1, the width direction of the
도 2은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 시스템의 블록도이다.2 is a block diagram of a vision alignment probe system according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 프로브 장치(10)는, 카메라(30), 프로브 장치(10)를 구동시키는 구동 장치(이하 지그(40)), 제어부(50) 및 공기압축기(air compressor)(60)를 포함하는 비전 얼라인 프로브 시스템(1)의 구성요소 중의 하나이다.Referring to FIG. 2 , the
비전 얼라인 프로브 시스템(1)은, 카메라(30)를 이용하여 프로브 장치(10) 및 피검사체(20)의 위치를 인식하고, 위치 인식 및 제어부(50)를 이용한 지그(40)의 동작 제어를 통한 프로브 장치(10)와 피검사체(20)의 얼라인먼트에 기반하여 피검사체(20)의 검사(프로브)를 수행하도록 구성될 수 있다.The vision
제어부(50)는 비전 얼라인먼트에 기반하여 베이스 플레이트(100) 상에서의 피검사체(20)의 위치를 결정할 수 있다. 예를 들어 제어부(50)는 지그(40)의 동작 제어를 통해 피검사체(20)의 변위를 제어하도록 구성될 수 있다. 즉 제어부(50)는 프로브 장치(10)의 베이스 플레이트(100) 상에서 X축 방향과 Y축 방향의 좌표 변위 및 Z축 중심의 회전 각도(yaw )를 조절하도록 구성될 수 있다. 제어부(50)는 카메라(30)를 이용하여 피검사체(20)의 복수의 단자(22)와 이와 접촉될 프로브(300)의 단자의 위치가 일치하는지 파악하고, 이들의 위치가 서로 일치하지 않을 경우, 프로브 블록(200)의 Y축 좌표를 개별적으로 제어하여 모든 단자가 대응되는 프로브(300)에 접촉하도록 할 수 있다. 제어부(50)는 프로브 블록(200)의 좌표 변위를 위해 지그(40)를 이용하여 프로브 블록(200)의 사이드 스토퍼(213)에 힘을 가하도록 구성될 수 있다. 프로브 블록(200)은 지그(40)에 의해 가이드 레일(410)을 따라 Y축 좌표 변위를 하도록 구성될 수 있다.The control unit 50 may determine the position of the subject 20 on the
카메라(30)에 의해 인식될 수 있는 얼라인 마크(align mark)가, 프로브 장치(10) 및 피검사체(20)에 표시될 수 있다. 카메라(30)는 프로브 장치(10)의 탑 면에 표시된 얼라인 마크(212)를 촬영하는 제1 카메라(31) 및 프로브 장치(10)의 바닥 면에 표시된 얼라인 마크(310)와 피검사체(20)에 표시된 얼라인 마크(21)을 촬영하는 제2 카메라(32)를 포함하도록 구성될 수 있다.Align marks that can be recognized by the camera 30 may be displayed on the
프로브 장치(10)가 Y축 방향으로 좌표 변위하기 위한 동력을 지그(40)로부터 전달받는 사이드 스토퍼(213)가 프로브 장치(10)에 구비될 수 있다. 제어부(50)는 비전 얼라인먼트(vision alignment)에 기초하여 지그(40)를 제어함으로써 복수의 프로브 블록(200)의 Y축 방향의 좌표 변위를 개별적으로 제어할 수 있다.A
프로브 블록(200)은 Y축 방향으로 복수 개가 피검사체(20)의 단자에 대응되는 간격을 두고 배치될 수 있다. 즉 복수의 프로브 블록(200)은 각 프로브 블록(200)이 피검사체(20)의 단자(22)와 접촉에 필요한 Y축 방향의 독립적 변위를 위해 일정 간격 떨어지게 배치될 수 있다.A plurality of probe blocks 200 may be disposed at intervals corresponding to the terminals of the inspected
프로브 블록(200)은 X축 방향에서 일측의 베이스 플레이트(100) 상의 일 영역에 배치되고, 타측의 베이스 플레이트(100) 상의 일 영역에는 피검사체(20)가 안착된다. Z축 방향에서 바라볼 때 프로브 블록(200)과 피검사체(20)가 중첩되는 영역에서 피검사체(20)에 대한 검사(프로브)가 일어난다.The
베이스 플레이트(base plate)(100)는 피검사체(20)를 안착시킬 수 있고, 가이드 레일(410)이 설치되는 기반이 될 수 있다.The
공기압축기(60)는 비전 얼라인에 기반하여 프로브 블록(200)을 지정된 위치에 고정시키기 위해 클램퍼(430)에 공기압을 제공하는 기능을 갖는다.The air compressor 60 has a function of providing air pressure to the
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 장치와 피검사체의 평면도이다. 3 is a plan view of a probe device and a test subject according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 프로브 장치(10) 및 피검사체(20)가 도시되어 있다. 프로브 장치(10)는, 이의 바닥이 지그(40)의 본체와 결합함으로써 작업 공간 상에 배치될 수 있다. 피검사체(20)가 지그(40)에 포함된 암(arm)에 의해 화살표 방향으로 이동 배치되어 프로브 장치(10)의 베이스 플레이트(100) 상에 안착됨으로써 피검사체(20)의 검사를 위한 준비 과정이 완료된다.Referring to FIG. 3 , a
피검사체(20)는 얼라인 마크(21) 및 단자(22)를 포함하도록 구성될 수 있다. 예를 들어 피검사체(20)는 복수의 단자(22) 및 이에 대응되는 복수의 얼라인 마크(21)를 포함하는 디스플레이 패널일 수 있다. 그리고 얼라인 마크(21) 및 단자(22)는 디스플레이 패널을 구성하는 유연 인쇄회로기판 상에 배치될 수 있다.The test subject 20 may be configured to include an
단자(22)는 피검사체(20) 상에 복수 개가 마련될 수 있다. 단자(22)는 프로브 장치(10)로부터 검사에 필요한 신호를 입력 받는다. 피검사체(20)의 얼라인 마크(21)는 피검사체(20)의 바닥 면 또는 피검사체(20)를 구성하는 투명한 구성요소, 예를 들어 유연 인쇄회로기판 상에 표시될 수 있다.A plurality of
피검사체(20)는 연성 인쇄회로기판(flexible printed circuit board, FPCB)을 포함하도록 구성될 수 있다. 따라서 피검사체(20) 상에 마련된 복수의 단자(22) 간의 거리가 온도 조건 또는 제조 상의 오류로 인해 서로 다르게 나타날 수 있다.The
피검사체(20)의 얼라인 마크(21)는 단자(22)와 가까운 위치에 표시될 수 있다. 그리고 각 단자(22)에 하나 또는 2개의 얼라인 마크(21)가 표시될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따라 단자(22) 당 2개의 얼라인 마크(21)가 표시되어 있다.The
피검사체(20)는 지그(40)의 압착을 통해 Y축 방향 상승 변위, X축 방향 이동 변위 및 Y축 방향 하강 변위함으로써 프로브 장치(10) 상의 의도된 위치에 안착될 수 있다.The inspected
제어부(50)는 비전 얼라인먼트에 기반하는 제2 카메라(32)를 이용하여 피검사체(20)의 얼라인 마크(21)를 인식할 수 있다.The controller 50 may recognize the
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 장치의 분해도이다.4 is an exploded view of a probe device according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 프로브 장치(10)는, 제1 베이스 플레이트(110), 제2 베이스 플레이트(120), 글라스 어셈블리(130), 복수의 프로브 블록(200), 복수의 가이드 세트(400), 및 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB)(140)을 포함하도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
베이스 플레이트(100)는 제1 베이스 플레이트(110) 및 제2 베이스 플레이트(120), 글라스 어셈블리(130), 및 PCB(140)를 포함하도록 구성될 수 있다.The
베이스 플레이트(100)는 복수의 구성요소를 포함하도록 구성될 수 있다. 예를 들어 베이스 플레이트(100)는 제1 베이스 플레이트(110), 제2 베이스 플레이트(120) 및 바닥 홀(111)을 포함할 수 있다.The
제1 베이스 플레이트(110)는 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB)(140) 및 가이드 레일(410)이 설치되는 기반이 된다. PCB(140)는 프로브(300) 및 제어부(50)와 전기적으로 연결되고 검사 신호 생성에 관여한다.The
제2 베이스 플레이트(120)는 제1 베이스 플레이트(110)와 결합되고, 피검사체(20)가 안착되는 영역을 포함한다.The
글라스 어셈블리(130)가 베이스 플레이트(100) 상에 설치될 수 있다. 글라스 어셈블리(glass assembly)(130)는 글라스(glass)(131) 및 글라스 픽스 블록(glass fix block)(132)을 포함하도록 구성될 수 있다. 글라스(131)는 제1 베이스 플레이트(110) 상에 형성된 바닥 홀(111)을 덮도록 배치될 수 있다. 글라스 픽스 블록(132)은 글라스(131)를 고정하는 기능을 갖는다.A
프로브 블록(200)은 일측에 프로브(300)를 포함하도록 구성될 수 있다. 프로브(300)는 피검사체(20)의 단자(22)에 접촉하는 부위에 해당한다. 프로브 블록(200)은 프로브(300)의 Y축 변위 및 Z축 변위를 유발시키는 기능을 갖는다. 즉 프로브 블록(200)은 제어부(50)의 제어를 통해 Y축 변위를 위한 이동 및 정지하는 기능을 갖는다.The
가이드 세트(400)는 프로브 블록(200)의 Y축 변위를 위한 이동을 담당한다.The guide set 400 is responsible for the Y-axis displacement of the
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치의 정면도이다.5 is a front view of a vision alignment probe device according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 블록의 분해도이다.6 is an exploded view of a probe block according to an embodiment of the present invention.
도 5 및 도 6을 참조하면, 프로브 블록(200)은, 헤드 블록 세트(210), 미들 블록 세트(220), 가이드 플레이트(230) 및 프로브(300)를 포함하도록 구성될 수 있다.5 and 6 , the
헤드 블록 세트(210)는, 프로브(300)와 결합된 미들 블록 세트(220)의 Z축 변위를 가이드 하는 기능을 갖는다. 헤드 블록 세트(210)는 헤드 블록(211), 얼라인 마크(212), 사이드 스토퍼(213), 슬롯(214), 탄성체(215) 및 탄성체 고정핀(216)을 포함하도록 구성될 수 있다.The head block set 210 has a function of guiding the Z-axis displacement of the middle block set 220 coupled with the
헤드 블록(211)은 미들 블록 세트(220)의 Z축 변위를 가이드 하는 기능을 갖는다. 헤드 블록(211)의 상부에 얼라인 마크(212)가 표시되고, 커넥터(435)가 배치될 수 있다.The
프로브 블록(200)의 헤드 블록(211)에 표시된 얼라인 마크(212)는 제1 카메라(31)에 의해 촬영될 수 있다. 제어부(50)는 얼라인 마크(212)의 위치에 기반하여 프로브 블록(200)의 Y축 좌표를 인식할 수 있다.The
사이드 스토퍼(213)는, 헤드 블록(211)에 결합될 수 있다. 사이드 스토퍼(213)는 지그(40)로부터 프로브 블록(200)의 Y축 변위를 일으키는 힘을 전달받는 부위에 해당한다.The
슬롯(214)은, 미들 블록 세트(220)의 Z축 변위를 가이드하는 세로 가이드(vertical guide)(222)와 슬라이딩 결합하도록 구성될 수 있다.The
탄성체(215)는, 헤드 블록 세트(210)와 미들 블록 세트(220) 간에 탄성력을 작용하도록 한다. 미들 블록 세트(220)는 탄성력을 이용하여 프로브(300)를 중력 방향으로 가압한다.The
탄성체 고정핀(216)은 탄성체(215)가 헤드 블록(211)에 형성된 홀에서 빠지지 않도록 탄성체(215)를 고정하는 기능을 갖는다.The elastic
미들 블록 세트(220)는, 지그(40)에 의한 레버(223) 구동에 따라 프로브(300)의 Z축 변위를 일으키는 기능을 갖는다. 피검사체(20)의 교체 시에 프로브(300)는 Z축 변위가 필요하다.The middle block set 220 has a function of causing the Z-axis displacement of the
미들 블록 세트(220)는 T형 블록(221), 세로 가이드(222), 레버(223), 레버 가이드(224)를 포함하도록 구성될 수 있다. T형 블록(221)에 세로 가이드(222), 레버(223) 및 레버 가이드(224)가 결합된다. 탄성체(215)의 탄성력이 T형 블록(221)을 통해 프로브(300)에 전달될 수 있다. 레버 가이드(224)는 지렛대 축을 포함하고, 레버(223) 구동 시에 지렛대 원리에 의해 T형 블록(221)이 Z축 변위하도록 구성될 수 있다.The middle block set 220 may be configured to include a T-shaped
세로 가이드(222)는 슬롯(214)에 끼워진 상태로 슬라이딩 변위하도록 구성될 수 있다.The
가이드 플레이트(230)는, 상부에서 헤드 플레이트 세트(210)와 결합하고, 하부에서 가이드 블록(420) 및 클램퍼(430)와 결합한다.The
프로브(300)는 얼라인 마크(310) 및 프로브 바디(320)를 포함하도록 구성될 수 있다. 프로브 바디(320)는 피검사체(20)의 단자(22)에 접촉하는 프로브 핀(탐침)을 포함하도록 구성될 수 있다. 프로브(300)는 피검사체(20) 및 프로브(300)에 표시된 얼라인 마크 간의 매칭 정보에 기반하여 T형 블록(221)에 결합되어 Z축 변위하고, 프로브 블록(200)을 따라 Y축 변위하도록 구성될 수 있다.The
도 3을 다시 참조하면, 프로브 장치(10)는 가이드 세트(guide set)(400)를 포함하도록 구성될 수 있다. 가이드 세트(400)는 가이드 레일(guide rail)(410) 및 가이드 블록(guide block)(420)을 포함하도록 구성될 수 있다.Referring back to FIG. 3 , the
가이드 레일(410)은 복수로 구성될 수 있다. 가이드 블록(420)은 가이드 레일(410)에 대응되게, 각 가이드 레일(410)에 대해 복수로 구성될 수 있다. 복수의 가이드 블록(420) 중에서 적어도 하나의 가이드 블록(420)에는 정지 기능을 갖는 가이드 블록(420)이 포함될 수 있다. 이하 정지 기능을 갖는 가이드 블록(420)을 클램퍼(430)로 지칭하기로 한다.A plurality of
가이드 블록(420) 및 클램퍼(430)는 가이드 플레이트(guide plate)(230)의 바닥 면에 결합될 수 있다. 가이드 레일(410)은 제1 베이스 플레이트(base plate)(110) 상에 설치될 수 있다.The
제1 베이스 플레이트(110) 상에 설치된 가이드 레일(410)을 따라 프로브 블록(200)과 결합된 가이드 블록(420)이 이동하도록 구성될 수 있다. 가이드 세트(400)는 선형 운동(linear motion, LM) 가이드 형태로 구현될 수 있다. 즉 가이드 레일(410)은 LM 레일, 가이드 블록(420)은 LM 블록 형태로 구현될 수 있다.The
클램퍼(clamper)(430)는 프로브 블록(200)을 가이드 레일(410) 상에서 정지시키는 기능을 갖는다. 구체적으로 제어부(50)는 카메라(30)를 이용한 비전 얼라인먼트에 기반하여 클램퍼(430)를 동작시켜 프로브 블록(200)을 가이드 레일(410)이 설치된 베이스 플레이트(100) 상의 특정 위치, 즉 얼라인이 마쳐진 위치에 정지하도록 구성될 수 있다.The
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인먼트를 설명하기 위한 예시도이다.7 is an exemplary view for explaining vision alignment according to an embodiment of the present invention.
도 6 및 도 7을 참조하면, 도 6은, 프로브 장치(10)를 구성하는 프로브 블록(200), 가이드 세트(400) 및 베이스 플레이트(100) 중에서 프로브 블록(200)과 가이드 세트(400)를 묘사한다. 그리고 도 7은 베이스 플레이트(100)가 투명하게 처리된 프로브 블록(200)의 바닥 면을 묘사한다.6 and 7, FIG. 6 shows the
상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 시스템(1)은 프로브 장치(10), 피검사체(20), 카메라(30), 지그(40), 제어부(50) 및 공기압축기(60)를 포함하도록 구성될 수 있다.As described above, the vision
비전 얼라인먼트를 위해 카메라(30)를 통해 인식되는 인식 표에 해당하는 얼라인 마크가 프로브 장치(10) 및 피검사체(20)에 표시될 수 있다. 피검사체(20)에 표시된 얼라인 마크(21)는 도 2에 묘사되어 있다.For vision alignment, an alignment mark corresponding to an identification mark recognized by the camera 30 may be displayed on the
도 7을 참조하면, 프로브 장치(10)를 구성하는 헤드 블록 세트(210) 상에 제1 얼라인 마크(212)가 표시될 수 있다. 그리고 프로브 장치(10)를 구성하는 프로브(300)의 바닥 면에 제2 얼라인 마크(310)가 표시될 수 있다. 제2 얼라인 마크(310)는 프로브(300)의 구성에 따라 복수 개가 표시될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따라 프로브 블록(200) 마다 2개의 제2 얼라인 마크(310)가 표시되어 있다.Referring to FIG. 7 , a
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인먼트를 설명하기 위한 저면도이다.8 is a bottom view illustrating vision alignment according to an embodiment of the present invention.
도 7 및 도 8을 참조하면, 제어부(50)가 카메라(30)를 이용하여 프로브(300)의 바닥 면에 표시된 제2 얼라인 마크(310)를 인식하기 위해서, 카메라(30)의 렌즈와 제2 얼라인 마크(310) 사이에 장애물이 없어야 한다. 카메라(30)에 의해 제2 얼라인 마크(310)가 촬영되도록 하기 위해 장애물에 해당하는 베이스 플레이트(100), 예를 들어 제1 베이스 플레이트(110)에 바닥 홀(111)이 형성될 수 있다. 그리고 피검사체(20)는 투명한 소재, 예를 들어 투명한 소재의 FPCB를 포함하도록 구성될 수 있다.7 and 8 , in order for the controller 50 to recognize the
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램퍼를 설명하기 위한 예시도이다.9 is an exemplary view for explaining a clamper according to an embodiment of the present invention.
도 7 및 도 9를 참조하면, 클램퍼(430)는 클램퍼 바디(431), 제1 피팅(432), 연결 관(433), 제2 피팅(434) 및 커넥터(435)를 포함하도록 구성될 수 있다.7 and 9, the
클램퍼(430)는 가이드 레일(410)에 맞물리도록 설치될 수 있다. 클램퍼(430)는 에어 리니어 클램퍼(air linear clamper) 형태로 구현될 수 있다. 클램퍼(430)는 내부에 이동 모듈 및 공압을 이용한 정지 모듈을 포함하도록 구성될 수 있다. 즉 클램퍼(430)의 이동 모듈은 베어링을 포함하고, 클램퍼(430)의 정지 모듈은 공압에 의해 동작하는 브레이크를 포함하도록 구성될 수 있다.The
정지 모듈의 동작을 위해 클램퍼(430)의 커넥터(435)와 공기압축기(air compressor)(60)는 연결 수단, 예를 들어 고압 에어 호스를 통해 연결될 수 있다. 프로브 블록(200)이 베이스 플레이트(100) 상에서 이동하기 때문에 고압 에어 호스와의 간섭을 피하기 위해 커넥터(435)는 프로브 블록(200)의 탑 면에 배치되는 것이 바람직하다. 클램퍼(430)를 구동시키는 공기압 작용은 제어부(50)에 의해 제어될 수 있다.For the operation of the stop module, the
커넥터(435)의 프로브 블록(200)의 탑면 배치에 따라 프로브 블록(200)의 저면에 배치된 클램퍼 바디(431)에 연결되는 제1 피팅(432), 프로브 블록(200)에 설치되는 제2 피팅(434) 및 제1 피팅(432)과 제2 피팅(434)을 연결하는 연결 관(433)이 구비될 수 있다. 프로브 블록(200)의 내부에는 커넥터(435)와 제2 피팅(434)을 연결하는 에어 터널이 형성될 수 있다.According to the top surface arrangement of the
본 발명의 일 실시 예에 따른 비전 얼라인 프로브 장치(10)는 복수의 프로브 블록(200)을 포함할 수 있다. 복수의 프로브 블록(200)은 비전 얼라인 프로브 시스템(1)에 포함된 제어부(50)에 의해 개별적으로 Y축 변위가 제어될 수 있으며, 제어 과정 중 클램퍼(430)에 의해 얼라인이 마쳐진 Y 좌표의 위치에 자동으로 고정될 수 있다. 피검사체(20)의 단자(22)와 프로브(300)의 프로브 핀(탐침)의 접촉 부위가 안정되게 유지된 상태에서 피검사체(20)에 대한 검사가 진행될 수 있다.The vision
이상으로 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 장치(10)에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보았다. In the above, the
전술된 본 발명의 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형 가능한 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.One embodiment of the present invention described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting, and the scope of the present invention will be indicated by the claims to be described later rather than the detailed description above. And it should be construed that all changes or transformable forms derived from the meaning and scope of the claims as well as their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.
이와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 피검사체 상의 복수의 단자들과 접촉하는 프로브가 독립적으로 얼라인(정렬) 제어될 수 있다.In this way, according to an embodiment of the present invention, probes in contact with a plurality of terminals on the object to be inspected may be independently aligned (aligned).
또한, 복수의 단자와 복수의 프로브가 접촉된 얼라인 상태가 안정적으로 고정될 수 있다.In addition, an alignment state in which a plurality of terminals and a plurality of probes are in contact may be stably fixed.
이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시 예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러 가지 다양한 실시 예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.In the above, various preferred embodiments of the present invention have been described with some examples, but the description of various embodiments described in the "Specific Contents for Carrying Out the Invention" section is only exemplary, and the present invention Those skilled in the art will understand from the above description that the present invention can be practiced with various modifications or equivalent implementations of the present invention can be performed.
또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시 내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.In addition, since the present invention can be implemented in various other forms, the present invention is not limited by the above description, and the above description is intended to complete the disclosure of the present invention and is common in the technical field to which the present invention belongs. It is only provided to completely inform those skilled in the art of the scope of the present invention, and it should be noted that the present invention is only defined by each claim of the claims.
1: 비전 얼라인 프로브 시스템
10: 프로브 장치
20: 피검사체
30: 카메라
40: 지그
50: 제어부
60: 공기압축기
100: 베이스 플레이트
200: 프로브 블록
300: 프로브
400: 가이드 세트1: Vision Align Probe System
10: probe device
20: test subject
30: camera
40: jig
50: control unit
60: air compressor
100: base plate
200: probe block
300: probe
400: guide set
Claims (9)
상기 베이스 플레이트에 대해 선형 변위 가능하게 결합하는 적어도 하나 이상의 프로브 블록; 및
상기 프로브 블록의 변위를 안내하는 가이드 세트를 포함하고,
상기 프로브 블록은,
Z축 방향으로 슬롯이 형성된 헤드 블록 세트;
상기 슬롯을 따라 Z축 방향으로 변위하는 미들 블록 세트; 및
일측에서 상기 헤드 블록 세트와 결합하고, 타측에서 상기 가이드 세트에 포함된 가이드 블록과 결합하는 가이드 플레이트를 포함하고,
상기 미들 블록 세트는,
세로 가이드(vertical guide)를 이용하여 상기 슬롯을 따라 Z축 방향으로 변위하는 T형 블록; 및
상기 T형 블록의 Z축 방향의 변위를 위한 힘이 작용되는 레버를 포함하고,
상기 프로브 블록은, 상기 T형 블록과 결합하여 피검사체의 단자에 접촉하는 프로브를 더 포함하고,
상기 헤드 블록 세트는, 상기 T형 블록을 하방으로 가압하는 탄성체를 포함하고,
상기 프로브 블록은, 상기 가이드 세트를 통해 상기 프로브의 좌표 변위를 조절하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.Base plate on which the test object is seated;
at least one probe block coupled to the base plate in a linear displacement manner; and
Includes a guide set for guiding the displacement of the probe block;
The probe block,
A head block set with slots formed in the Z-axis direction;
a middle block set displaced in the Z-axis direction along the slot; and
A guide plate coupled to the head block set on one side and coupled to the guide block included in the guide set on the other side,
The middle block set,
A T-shaped block displaced in the Z-axis direction along the slot using a vertical guide; and
Including a lever on which the force for displacement of the T-shaped block in the Z-axis direction is applied,
The probe block further includes a probe coupled to the T-shaped block to contact a terminal of the test object,
The head block set includes an elastic body that presses the T-shaped block downward,
The probe block is configured to adjust the coordinate displacement of the probe through the guide set,
Vision Align Probe Device.
상기 피검사체의 안착, 검사용 신호의 입력 및 상기 프로브의 변위를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는 비전 얼라인(vision align) 정보를 이용하여, 상기 피검사체의 위치 제어 및 상기 프로브 블록의 동작 제어를 통해, 피검사체에 형성된 적어도 하나 이상의 상기 단자에 대응되게 상기 프로브의 위치를 제어하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 1,
A controller for controlling seating of the object to be inspected, input of a test signal, and displacement of the probe;
The control unit controls the position of the probe to correspond to at least one terminal formed on the target object through control of the position of the target object and operation control of the probe block using vision alignment information. made up,
Vision Align Probe Device.
상기 베이스 플레이트는,
상기 피검사체가 안착되는 제1 베이스 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트 하부에 설치된 카메라를 통해 상기 프로브의 바닥 면과 상기 피검사체에 표시된 얼라인 마크가 인식되도록 바닥 홀이 구비된 제2 베이스 플레이트를 포함하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 1,
The base plate,
A first base plate on which the test object is seated; and
It is configured to include a second base plate having a bottom hole so that an alignment mark displayed on the bottom surface of the probe and the object to be inspected is recognized through a camera installed below the base plate.
Vision Align Probe Device.
상기 피검사체가 안착된 상기 베이스 플레이트에서 상기 프로브 블록의 위치를 고정시키는 클램퍼를 더 포함하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 1,
It is configured to further include a clamper for fixing the position of the probe block on the base plate on which the test object is seated.
Vision Align Probe Device.
상기 가이드 세트는,
상기 베이스 플레이트 상에 배치되는 복수의 가이드 레일 및 상기 프로브 블록에 결합되어 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩 이동하는 복수의 가이드 블록을 포함하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 4,
The guide set,
It is configured to include a plurality of guide rails disposed on the base plate and a plurality of guide blocks coupled to the probe block and sliding along the guide rail,
Vision Align Probe Device.
상기 프로브 블록은,
상기 피검사체가 지그에 의해 상기 베이스 플레이트 상에 안착되게 상기 프로브의 Z축(상하) 변위를 야기하고, 안착된 상기 피검사체에 상기 프로브의 탐침이 대응되게 상기 프로브의 Y축(일 방향) 변위 및 Z축 변위를 야기하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 1,
The probe block,
The Z-axis (upper and lower) displacement of the probe is caused so that the object to be inspected is seated on the base plate by the jig, and the Y-axis (one direction) displacement of the probe is caused so that the probe of the probe corresponds to the seated object to be inspected. and configured to cause a Z-axis displacement.
Vision Align Probe Device.
상기 헤드 블록 세트는,
카메라를 통해 인식되는 얼라인 마크; 및
상기 프로브 블록의 Y축 변위를 일으키는 힘이 작용하는 사이드 스토퍼를 더 포함하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 1,
The head block set,
Align marks recognized through a camera; and
It is configured to further include a side stopper on which the force that causes the Y-axis displacement of the probe block acts.
Vision Align Probe Device.
상기 클램퍼는, 공압을 이용하여 상기 가이드 블록을 상기 가이드 레일에 고정하고,
상기 프로브 블록은,
탑면에 배치되어, 상기 클램퍼에 공압을 제공하는 고압 에어 호스가 연결되는 커넥터를 더 포함하도록 구성되는,
비전 얼라인 프로브 장치.The method of claim 5,
The clamper fixes the guide block to the guide rail using air pressure,
The probe block,
Disposed on the top surface, configured to further include a connector to which a high-pressure air hose for providing air pressure to the clamper is connected.
Vision Align Probe Device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210186848A KR102542185B1 (en) | 2021-12-24 | 2021-12-24 | Vision alignment probe unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210186848A KR102542185B1 (en) | 2021-12-24 | 2021-12-24 | Vision alignment probe unit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102542185B1 true KR102542185B1 (en) | 2023-06-13 |
Family
ID=86762531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210186848A KR102542185B1 (en) | 2021-12-24 | 2021-12-24 | Vision alignment probe unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102542185B1 (en) |
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---|---|---|---|---|
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2021
- 2021-12-24 KR KR1020210186848A patent/KR102542185B1/en active IP Right Grant
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