KR102535626B1 - Transfer facility, transfer method - Google Patents

Transfer facility, transfer method Download PDF

Info

Publication number
KR102535626B1
KR102535626B1 KR1020180141463A KR20180141463A KR102535626B1 KR 102535626 B1 KR102535626 B1 KR 102535626B1 KR 1020180141463 A KR1020180141463 A KR 1020180141463A KR 20180141463 A KR20180141463 A KR 20180141463A KR 102535626 B1 KR102535626 B1 KR 102535626B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
fork
article
transfer
unit
Prior art date
Application number
KR1020180141463A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190072407A (en
Inventor
히로시 사카타
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20190072407A publication Critical patent/KR20190072407A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102535626B1 publication Critical patent/KR102535626B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이에서 카세트(90)의 이송을 행하는 이송 설비(10)이며, 포크 유닛(40)의 장착면(41a)에 있어서의 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 푸셔(25)를 구비하고, 포크 유닛(40)은 장착면(41a) 상에 플로팅 유닛(50)을 구비하고, 플로팅 유닛(50)은 물품 장착 지지용의 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 고정부(53)에 대해서, 수평방향으로 이동 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하는 구조이며, 카세트(90)는 물품 장착 지지용의 지지부(51)에 지지되고, 가동부(52)를 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 가능하게 하며, 또한 푸셔(25)에 의해 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 것에 의해, 카세트(90)의 위치결정이 이루어지는 것이다.It is a transfer facility 10 that transfers the cassette 90 between the fork unit 40 and the transfer machine 20, and regulates the position of the cassette 90 on the mounting surface 41a of the fork unit 40. The fork unit 40 is provided with a floating unit 50 on the mounting surface 41a, and the floating unit 50 is a movable unit provided with a support portion 51 for supporting article mounting. 52 is a structure in which the fixed part 53 is movably horizontally supported and supported, and the cassette 90 is supported by the support part 51 for mounting and supporting the article, and the movable part 52 Positioning of the cassette 90 is achieved by making it movable in the horizontal direction with respect to the fixing part 53 and positioning the cassette 90 by the pusher 25 regulating the position of the cassette 90 .

Description

이송 설비, 이송 방법{TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}Transfer facility, transfer method {TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}

본 발명은, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송을 행하는 이송 설비에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying facility for transferring articles between a first conveyor for placing and moving articles in a horizontal direction and a second conveyor for supporting and vertically moving an upper part of an article. .

상기 이송 설비로서는, 예를 들면, 처리 장치인 챔버에 기판을 수용한 카세트(물품)를 이송하는 설비가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이송 설비에 있어서는, 반송대차 유닛에 의해서 반송되는 카세트를 카세트 반송 유닛(제1 이송기)이 설비 내로 반입하고, 카세트 반송 유닛에 의해 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛(제2 이송기)이 챔버로 반입한다. 혹은 챔버로 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛이 반출하고, 카세트 이송 유닛이 반송하는 카세트를 카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛에 이송한다.As the transfer facility, there is, for example, a facility for transporting a cassette (article) in which a substrate is accommodated in a chamber serving as a processing device (for example, refer to Patent Literature 1). In the transport facility of Patent Literature 1, the cassette transport unit (first transporter) transports the cassette transported by the transport cart unit into the facility, and the cassette transported by the cassette transport unit is transported into the facility by the cassette transport unit (second transporter). ) is brought into the chamber. Alternatively, the cassette transport unit carries out the cassette transported into the chamber, and the cassette transport unit transfers the cassette transported by the cassette transport unit to the transfer cart unit.

카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로부터 이송한 카세트는, 카세트 이송 유닛에 의해서 챔버로 반입되기 전에, 챔버의 위쪽에 마련되는 수하대(荷受台)에 놓인다. 마찬가지로, 카세트 이송 유닛이 챔버로부터 반출한 카세트는, 카세트 반송 유닛에 의해서 반송대차 유닛에 이송되기 전에 수하대에 놓인다.The cassette transported by the cassette transport unit from the transport cart unit is placed on a hanging platform provided above the chamber before being carried into the chamber by the cassette transport unit. Similarly, the cassette taken out of the chamber by the cassette transfer unit is placed on the delivery table before being transferred to the transport cart unit by the cassette transfer unit.

카세트 이송 유닛은, 카세트를 위쪽으로부터 파지하여 승강 이동시키는 것에 의해, 수하대에 놓인 카세트를 챔버로 반입하고, 혹은 챔버로부터 반출한 카세트를 수하대로 반입한다.The cassette transfer unit carries the cassette placed on the lower deck into the chamber by gripping the cassette from above and moving it up and down, or carries the cassette carried out from the chamber onto the lower deck.

한국등록특허공보 제10－1511963호Korean Registered Patent Publication No. 10-1511963

그렇지만, 상기와 같은 이송 설비에 있어서는, 카세트(물품)를 카세트 반송 유닛(제1 이송기)과 카세트 이송 유닛(제2 이송기) 사이에서 이송할 때에, 이송 도중에, 일단 카세트(물품)를 수하대에 놓이는 동작이 필요하게 된다. 또, 카세트 이송 유닛(제2 이송기)이 카세트(물품)를 파지하여 승강 이동시킬 때에, 카세트(물품)가 수하대에 간섭하기 때문에, 수하대와의 간섭을 피하기 위해서, 카세트(물품)를 선회시키는 등의 동작이 필요하게 된다. 그 때문에, 카세트 반송 유닛(제1 이송기)과 카세트 이송 유닛(제2 이송기) 사이의 카세트(물품)의 이송에 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다.However, in the transfer facility as described above, when transferring the cassette (article) between the cassette transfer unit (first transfer machine) and the cassette transfer unit (second transfer machine), the cassette (article) is once transported during transfer. Actions placed on the lower stage are required. In addition, since the cassette (article) interferes with the luggage platform when the cassette transfer unit (second transfer machine) grips the cassette (article) and moves it up and down, the cassette (article) is An operation such as turning is required. Therefore, there has been a problem that it takes time to transfer the cassette (article) between the cassette transfer unit (first transfer machine) and the cassette transfer unit (second transfer machine).

그래서, 본 발명은, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이의 물품의 이송을 효율 좋게 행하는 것이 가능한 이송 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present invention provides a transport facility capable of efficiently transferring an article between a first conveyor for placing and moving an article in a horizontal direction and a second conveyor for supporting an upper portion of the article and vertically moving the article. intended to provide

본 발명의 해결 하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.The problem to be solved by the present invention is above, and means for solving this problem will be described next.

즉, 본 발명의 이송 설비는, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송을 행하는 이송 설비로서, 상기 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품의 측면에 당접하여 상기 장착면에 있어서의 상기 물품의 위치 규제를 행하는 위치 규제 장치를 구비하고, 상기 제1 이송기는, 그의 장착면 상에 플로팅 유닛을 구비하고, 상기 플로팅 유닛은, 물품 장착 지지용의 지지부를 구비한 가동부가, 고정부에 대해서, 수평방향으로 이동 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하는 구조이며, 상기 물품은 상기 물품 장착 지지용의 지지부에 지지되고, 상기 가동부를 상기 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 가능하게 하며, 또한 상기 위치 규제 장치에 의해 상기 물품의 위치 규제를 행하는 것에 의해, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 물품의 위치결정이 상기 장착면 상에서 행해지는 것이다.That is, the conveying facility of the present invention is a conveying facility that transfers an article between a first conveyor for placing and moving an article in the horizontal direction and a second conveyor for supporting the upper part of the article and vertically moving it up and down, and a position regulating device for abutting a side surface of an article placed on a mounting surface of the first conveyor and regulating a position of the article on the mounting surface, wherein the first conveyor comprises a floating unit on the mounting surface thereof. The floating unit has a structure in which a movable part having a support for mounting and supporting an article is freely movable in a horizontal direction with respect to the fixed part, and is supported and supported, and the article is supported by the support for mounting and supporting the article. The position of the article relative to the elevating position of the second transfer machine is supported by the movable part, and the position of the article is regulated by the position regulating device. A decision is made on the mounting surface.

상기 구성에서는, 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품이, 제2 이송기의 승강 위치에 위치결정된다.In the above configuration, the article placed on the mounting surface of the first conveyor is positioned at the lifting position of the second conveyor.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 상기 제1 이송기의 위치결정을 행하는 위치결정 수단을 구비하는 것이다.The transfer facility of the present invention is provided with positioning means for positioning the first transfer machine with respect to the lifting position of the second transfer machine in the transfer facility described above.

상기 구성에서는, 제1 이송기가 제2 이송기의 승강 위치에 위치결정된다.In the above configuration, the first conveyor is positioned at the lifting position of the second conveyor.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 물품은, 그의 상부에 상기 제2 이송기에 계지되는 계지부가 형성되는 대략 상자형 형상의 것이며, 또한 상기 계지부가 갈고리모양으로 형성되어 있는 것이다.In the conveying facility of the present invention, in the conveying facility, the article has a substantially box-shaped shape in which an upper portion of the article is formed with a locking portion that is locked to the second conveyor, and the locking portion is formed in a hook shape. will be.

상기 구성에서는, 갈고리모양의 계지부를 가지는 대략 상자형 형상의 물품이, 제1 이송기와 제2 이송기 사이에서 이송된다.In the above configuration, a substantially box-shaped article having a hook-shaped locking portion is conveyed between the first conveyor and the second conveyor.

본 발명의 이송 설비에 의하면, 제1 이송기와 제2 이송기 사이의 물품의 이송을 수하대를 개재하지 않고 직접 행할 수가 있기 때문에, 이송 도중에 물품을 수하대에 놓는 동작 및 제2 이송기에 의한 물품의 승강 이동시에 물품을 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 된다. 그 때문에, 제1 이송기와 제2 이송기 사이의 물품의 이송을 효율 좋게 행할 수가 있다.According to the conveying equipment of the present invention, since the transfer of goods between the first conveyor and the second conveyor can be carried out directly without intervening through the delivery table, the operation of placing the article on the delivery table during the transfer and the article by the second conveyor When moving up and down, an operation such as turning the article is unnecessary. Therefore, it is possible to efficiently transfer the article between the first conveyor and the second conveyer.

도 1은 본 발명에 관계된 이송 설비의 평면도이다.
도 2는 같은(同) 이송 설비의 정면도이다.
도 3은 같은 이송 설비에 있어서의 플로팅 유닛의 측면 단면도이다.
도 4는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 반송대차로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 5a는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 5b는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 6은 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 7a는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 포크 유닛으로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 7b는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 포크 유닛으로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 8은 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 증착 장치의 로드 포트(load port)에 카세트를 이송할 때의 개략을 나타내는 정면 단면도이다.1 is a plan view of a transfer facility related to the present invention.
Fig. 2 is a front view of the same transfer equipment.
Fig. 3 is a side sectional view of a floating unit in the same transfer facility.
Fig. 4 is a side cross-sectional view schematically showing the case when the fork unit in the same transfer facility carries out the cassette from the transport cart.
Fig. 5A is a side view showing an outline of when a fork unit in the same transfer facility carries a cassette into the transfer facility.
Fig. 5B is a plan view showing an outline of when a fork unit in the same transfer facility carries a cassette into the transfer facility.
Fig. 6 is a side cross-sectional view showing an outline of when a fork unit in the same transfer facility carries a cassette into the transfer facility.
Fig. 7A is a side view showing an outline of when a conveyer in the same conveying facility carries out a cassette from a fork unit.
Fig. 7B is a plan view showing an outline of when the transfer machine in the same transfer facility carries out the cassette from the fork unit.
Fig. 8 is a front cross-sectional view showing an outline of when a transfer machine in the same transfer facility transfers a cassette to a load port of an evaporation apparatus.

본 발명에 관계된 이송 설비(10)에 대해서 설명한다.The transfer equipment 10 according to the present invention will be described.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 반도체 제품 혹은 액정 표시 소자 제품의 아직 완성되지 않은 제품인 기판(91)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)에 부설되는 설비이다. 이송 설비(10)는, 판모양체(板狀體)의 기판(91)을 수용한 카세트(90)(「물품」의 1예)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송하는 것이다. 이송 설비(10)에 있어서는, 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송됨과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출된 카세트(90)가 이송 설비(10)의 외부로 반출된다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the transfer facility 10 is a facility annexed to the deposition device 80 that performs a deposition process on a substrate 91, which is an unfinished product of semiconductor products or liquid crystal display devices. . The transfer facility 10 transfers a cassette 90 (an example of an "article") containing a plate-like substrate 91 to a load port 83 of the deposition device 80. . In the transport facility 10, the cassette 90 carried into the transport facility 10 is transported to the load port 83 of the deposition device 80 and taken out from the load port 83 of the deposition device 80. The cassette 90 is taken out of the transport facility 10.

이송 설비(10)에 있어서 반송되는 카세트(90)는, 그의 한쪽 측면 혹은 양측면이 개구(開口)된 대략 상자형 형상의 부재에 의해 형성된다. 카세트(90)는, 그의 내부에 복수의 기판(91)을 수용 가능하게 구성되어 있다. 카세트(90)는, 그의 상부에 후술하는 이송기(20)에 계지되는 플랜지부(92)(「계지부」의 1예)가 복수 형성되어 있다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면으로부터 돌출하여 마련되는 갈고리모양의 부재에 의해 구성된다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면의 복수 개소에 마련된다.The cassette 90 transported in the transport facility 10 is formed of a substantially box-shaped member with one side or both sides open. Cassette 90 is configured to accommodate a plurality of substrates 91 therein. Cassette 90 has a plurality of flange portions 92 (an example of "locking portion") that are locked to feeder 20 described later are formed on the upper portion thereof. The flange portion 92 is constituted by a hook-shaped member protruding from the upper surface of the cassette 90 . The flange portion 92 is provided in a plurality of places on the upper surface of the cassette 90 .

이송 설비(10)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 부설되어 있다. 이송 설비(10)가 부설되는 증착 장치(80)는, 장치 전체가 장치 케이스(81)에 의해 덮여 있다. 장치 케이스(81)는, 그의 내부에 증착 장치(80)를 격납 가능한 내부 공간을 가진다. 장치 케이스(81)는, 그의 상부에, 카세트(90)를 내부로 반송하기 위한 카세트 반입구(82)가 형성되어 있다.The transfer facility 10 is attached above the deposition apparatus 80 . In the vapor deposition apparatus 80 to which the transfer facility 10 is installed, the entire apparatus is covered by the apparatus case 81 . The device case 81 has an internal space in which the deposition device 80 can be stored. The device case 81 has a cassette carrying inlet 82 for conveying the cassette 90 inside at its upper part.

장치 케이스(81)는, 그의 내부 공간에 있어서 카세트(90)를 놓기 위한 로드 포트(83)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 로드 포트(83)는, 카세트 반입구(82)의 바로 밑(후술하는 이송기(20)의 바로 밑으로서, 이송기(20)에 의해서 승강하는 카세트(90)의 승강 경로 상)에 마련되어 있다.The device case 81 is provided with a load port 83 for placing the cassette 90 in its internal space. Specifically, the load port 83 is directly under the cassette loading port 82 (right under the transporter 20 described later, and is located on the elevation path of the cassette 90 that is moved up and down by the transporter 20). ) is provided.

이송 설비(10)의 옆쪽으로서 증착 장치(80)의 위쪽에는, 카세트(90)를 이송 설비(10)에 대해서 반송하는 포크 유닛(40)(「 제1 이송기」의 1예)이 마련되어 있다. 즉, 카세트(90)는, 증착 장치(80)의 위쪽으로서, 이송 설비(10)의 옆쪽으로부터 반입 또는 반출된다.A fork unit 40 (an example of a "first transfer machine") for conveying the cassette 90 relative to the transfer facility 10 is provided on the side of the transfer facility 10 and above the deposition device 80. . That is, the cassette 90 is carried in or out from the side of the transfer facility 10 above the deposition apparatus 80 .

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 것이다. 포크 유닛(40)은, 대차(台車) 주행 레일(85)을 따라 주행하는 반송대차(86)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 이송 설비(10)로 반입한다. 또, 포크 유닛(40)은, 이송 설비(10)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.As shown in Fig. 1, the fork unit 40 places the cassette 90 and moves it in and out in the horizontal direction. The fork unit 40 carries the cassette 90 out of the transport cart 86 traveling along the bogie running rail 85, and carries the unloaded cassette 90 into the transport facility 10. Further, the fork unit 40 carries out the cassette 90 from the transfer facility 10 and transfers the carried out cassette 90 to the transport cart 86 .

포크 유닛(40)은, 그의 상면에 카세트(90)를 놓기 위한 장착면(41a)을 가지는 포크(41)와, 포크(41)를 수평방향으로 출퇴 이동시키기 위한 굴신식(屈伸式, bending and stretching type) 암(42)과, 굴신식 암(42)을 선회하는 선회대(43)로 주로 구성되어 있다.The fork unit 40 includes a fork 41 having a mounting surface 41a for placing the cassette 90 on its upper surface, and a bending and bending type for moving the fork 41 in and out in the horizontal direction. It is mainly composed of a stretching type arm 42 and a turning table 43 turning the flexural arm 42.

포크(41)는, 카세트(90)에 놓아 이송 가능한 대략 장방(長方, 직사각형) 형상의 판으로 구성된다. 포크(41)는, 굴신식 암(42)을 굴신시키는 것에 의해서, 반송대차(86) 혹은 이송 설비(10)(이송기(20))에 대해서 출퇴 이동을 행한다.The fork 41 is composed of a substantially rectangular plate that can be transported by placing it on the cassette 90 . The fork 41 moves in and out with respect to the transport cart 86 or the transfer facility 10 (transfer machine 20) by flexing the telescopic arm 42.

굴신식 암(42)은, 한 쌍의 암을 신장시키는 것에 의해, 반송대차(86)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 반출입 위치(45), 혹은 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 카세트 반출입 위치(11)까지 포크(41)를 수평 이동시킨다.The retractable arm 42 extends a pair of arms so that the carry-in/out position 45 for transporting or carrying the cassette 90 into or out of the transport cart 86 or the transfer machine 20 is provided. With respect to the fork 41, the fork 41 is horizontally moved to the cassette loading/unloading position 11 for carrying out or carrying in the cassette 90.

도 1, 도 5a 및 도 5b에 나타내는 바와 같이, 포크(41)는, 장착면(41a)에 플로팅 유닛(50)이 마련되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 장착면(41a)에 놓이는 카세트(90)가, 수평방향 전(全)방위로, 이동 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하는 것이다. 플로팅 유닛(50)은, 포크(41)의 폭방향(포크(41)의 출퇴방향과 수평으로 직교하는 방향)의 양단 측에, 포크(41)의 긴쪽방향(포크의 출퇴방향)을 따라 복수개(도 1, 도 5a 및 도 5b에서는 2개씩 합계 4개) 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치된다.As shown to FIG. 1, FIG. 5A, and FIG. 5B, the fork 41 is provided with the floating unit 50 in the mounting surface 41a. The floating unit 50 allows the cassette 90 placed on the mounting surface 41a to be supported and supported freely in all directions in the horizontal direction. A plurality of floating units 50 are provided at both ends of the fork 41 in the width direction (direction horizontally orthogonal to the forward and backward direction of the fork 41) along the longitudinal direction of the fork 41 (the forward and backward direction of the fork). (In Fig. 1, Fig. 5A and Fig. 5B, 2 pieces in total, 4 pieces) are arranged on the mounting surface 41a in a lined state.

도 3에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)은, 포크(41)를 구성하는 프레임체(frame body)의 내부에 수납되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 카세트(90)를 놓아 지지하기 위한 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 고정부(53)에 대해서, 수평방향으로 이동 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하는 구조를 가진다. 플로팅 유닛(50)은, 물품 장착 지지용의 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 복수의 전동 부재(54)를 보존유지구(55)로 회전 자유롭게 보존유지하는 상태로 구비한 전동식 지지체(56)에 의해, 고정부(53)에 대해서, 수평방향의 전방위로 이동 자유롭게, 또한 평면으로 보아 회전 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하고 있다.As shown in FIG. 3 , the floating unit 50 is accommodated inside a frame body constituting the fork 41 . The floating unit 50 has a structure in which a movable part 52 having a support part 51 for placing and supporting a cassette 90 is supported and supported in a horizontal direction with respect to a fixed part 53. have The floating unit 50 is a motorized type in which a movable part 52 provided with a support part 51 for attaching and supporting articles has a plurality of rolling members 54 rotatably held by a holder 55. With respect to the fixing part 53, by the support body 56, it is supported and supported freely moving in all directions in the horizontal direction and also rotatably in plan view.

전동식 지지체(56)는, 고정부(53)에 상향 상태로 구비시킨 평탄모양의 고정부측 접촉면 형성 부재(57a)와, 가동부(52)에 하향 상태로 구비시킨 평탄모양의 가동부측 접촉면 형성 부재(57b) 사이에, 복수의 전동 부재(54)를 위치시킨 상태에서, 가동부(52) 및 고정부(53)에 대해서 수평방향의 전방위로 이동 자유롭게 마련되어 있다.The motorized support 56 includes a flat fixed part side contact surface forming member 57a provided on the fixed part 53 in an upward state, and a flat movable part side contact surface forming member 57a provided on the movable part 52 in a downward state ( 57b), in a state where a plurality of transmission members 54 are positioned, they are provided freely movable in all directions in the horizontal direction with respect to the movable part 52 and the fixed part 53.

플로팅 유닛(50)은, 가동부(52)를 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 위치 고정시키는 위치 고정 수단(KF)과, 전동식 지지체(56)를 고정부(53)에 대해서 수평방향에 있어서의 기준 위치로 복귀 이동시키는 지지체 복귀 수단(SF)을 가진다.The floating unit 50 includes a position fixing means KF for positioning and fixing the movable part 52 in the horizontal direction with respect to the fixed part 53, and the motorized support 56 in the horizontal direction with respect to the fixed part 53. It has a support body returning means (SF) for returning and moving to the reference position of.

위치 고정 수단(KF)은, 전자석(電磁石)(58a)에 의한 자기 흡인력에 의해 가동부(52)의 고정부에 대한 수평 위치를 고정하는 고정 수단이다. 위치 고정 수단(KF)은, 고정부(53)측의 전자석(58a)과, 가동부(52)측의 강자성체(58b)를 자력에 의해 접착시키는 것에 의해, 가동부(52)의 평면시에서의 위치를 고정시킨다.The position fixing means KF is a fixing means for fixing the horizontal position of the movable part 52 with respect to the fixed part by the magnetic attraction force of the electromagnet 58a. The position fixing means KF attaches the electromagnet 58a on the stationary part 53 side and the ferromagnetic material 58b on the side of the movable part 52 by magnetic force to the position of the movable part 52 in a planar view. fix the

지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식의 복귀 수단이다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 원환모양의 전동식 지지체(56)의 지름방향 바깥쪽측에 둘레방향(周方向)으로 등 간격을 떼고 복수개의 누름 조작식의 코일 스프링(59)을 마련하고, 코일 스프링(59)의 지름방향 바깥쪽측을 고정부(53)에 위치 고정 상태로 마련한 스프링 받침구(59a)에 의해서 받치고, 전동식 지지체(56)를 지름방향 안쪽측을 향해 누름 조작하는 것에 의해서, 전동식 지지체(56)를 기준 위치로 복귀 이동시킨다.The support body return means SF is an elastic bias type return means using the elastic bias force of the coil spring 59 . The support body return means SF is provided with a plurality of push-operated coil springs 59 at equal intervals in the circumferential direction on the outer side in the radial direction of the annular motorized support body 56, the coil spring The radially outer side of (59) is supported by the spring bearing (59a) provided in a fixed position on the fixing part (53), and the motorized support (56) is pressed toward the radially inner side, thereby operating the motorized support. (56) is moved back to the reference position.

도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 포크(41)는, 그의 긴쪽방향의 단부(포크(41)의 신장방향의 선단부)에, 후술하는 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합(嵌合)하는 롤러 감합부(41b)가 형성되어 있다. 롤러 감합부(41b)는, 포크(41)의 폭방향을 따라 형성되는 측면시(側面視) 오목모양(凹狀)의 긴 모양의 부재이다. 롤러 감합부(41b)는, 오목모양 부분이 아래쪽을 향한 상태로 형성되어 있다.As shown in FIGS. 2 and 4 , the fork 41 is fitted to a positioning guide roller 26 described later at an end in the longitudinal direction thereof (an end in the extension direction of the fork 41). A roller fitting portion 41b is formed. The roller fitting portion 41b is a long member having a concave shape when viewed from the side and formed along the width direction of the fork 41 . The roller fitting portion 41b is formed with a concave portion facing downward.

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)의 양옆쪽에는, 카세트(90)를 일시적으로 보관하기 위한 버퍼 스테이션(95)이 마련되어 있다. 버퍼 스테이션(95)에는, 카세트(90)를 놓기 위한 장착대(96)가 마련되어 있다.As shown in Fig. 1, on both sides of the fork unit 40, buffer stations 95 for temporarily storing the cassette 90 are provided. The buffer station 95 is provided with a mount 96 for placing the cassette 90 thereon.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 그의 하부에, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 카세트(90)를 반출하기 위한 카세트 반출구(14)가 마련되어 있다. 카세트 반출구(14)는, 장치 케이스(81)의 카세트 반입구(82)와 연통하여 마련되어 있다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the transfer facility 10 is provided with a cassette outlet 14 for discharging the cassette 90 to the load port 83 of the deposition apparatus 80 at a lower portion thereof. there is. The cassette carrying port 14 communicates with the cassette carrying port 82 of the device case 81 and is provided.

이송 설비(10)는, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 반송부인 이송기(20)(「제2 이송기」의 1예)와, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 장착면(41a)에 놓여 있는 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 푸셔(pusher)(25)(「위치 규제 장치」의 1예)와, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 포크 유닛(40)의 포크(41)의 위치결정을 행하는 위치결정 가이드 롤러(26)(「위치결정 수단」의 1예)를 구비한다.The transfer facility 10 includes a transfer machine 20 (an example of a "second transfer machine") that is a transport unit of the cassette 90 in the transfer facility 10, and a fork 41 of the fork unit 40. A pusher 25 (an example of a "position regulating device") for regulating the position of the cassette 90 placed on the mounting surface 41a of the , and a fork unit for the lifting position of the conveyor 20 ( 40) is provided with a positioning guide roller 26 (an example of "positioning means") for positioning the fork 41.

도 2에 나타내는 바와 같이, 이송기(20)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 카세트(90)를 포크(41)와 증착 장치(80)의 로드 포트(83) 사이에서 승강 이동시키는 것이다. 즉, 이송 설비(10)에 있어서는, 포크 유닛(40)에 의해 반송되는 카세트(90)를, 수하대 등에 일단 놓는 일 없이, 이송기(20)가 직접 포크 유닛(40)으로부터 반출함과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출되는 카세트(90)를, 수하대 등에 일단 놓는 일 없이, 이송기(20)가 직접 포크 유닛(40)에 대해서 반입한다.As shown in FIG. 2 , the transfer machine 20 carries out or carries in the cassette 90 with respect to the fork 41 of the fork unit 40, and carries the cassette 90 to be carried out or carried in with the fork 41. It moves up and down between the load ports 83 of the deposition apparatus 80. That is, in the transfer facility 10, the transfer machine 20 directly carries out the cassette 90 transported by the fork unit 40 from the fork unit 40 without once placing it on a luggage rack or the like. , The transporter 20 directly carries the cassette 90 carried out from the load port 83 of the deposition device 80 into the fork unit 40 without once placing it on a delivery table or the like.

이송기(20)는, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)의 위쪽에 마련되고, 평면시에 있어서 증착 장치(80)의 로드 포트(83)와 겹치는 위치에 배치된다. 이송기(20)는, 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된 카세트(90)를 포크(41)로부터 반출하고, 또는, 카세트 반출입 위치(11)까지 이동한 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반입한다. 이송기(20)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 있어서, 카세트(90)의 상부를 계지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 것에 의해 카세트(90)를 반송한다. 이송기(20)는, 카세트(90)를 승강 이동시키기 위한 승강 기구(21)와, 카세트(90)의 상부를 계지하기 위한 계지 기구(24)로 주로 구성되어 있다.The transporter 20 is provided above the load port 83 of the deposition apparatus 80, and is disposed at a position overlapping the load port 83 of the deposition apparatus 80 in a planar view. The transporter 20 carries out the cassette 90 conveyed to the cassette carrying in/out position 11 from the fork 41, or moves the cassette 90 to the fork 41 that has moved to the cassette carrying in/out position 11. import The transfer machine 20 conveys the cassette 90 by holding the upper part of the cassette 90 above the deposition apparatus 80 and moving it up and down in the vertical direction. The feeder 20 is mainly composed of a lifting mechanism 21 for lifting and moving the cassette 90 and a locking mechanism 24 for holding the upper portion of the cassette 90.

승강 기구(21)는, 계지 기구(24)를 지지 프레임(22A)에 의해 매단 상태로 지지한다. 승강 기구(21)는, 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제1 승강부(22)와, 제1 승강부(22) 및 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제2 승강부(23)로 구성되어 있다. 즉, 승강 기구(21)는, 2단계의 승강 이동에 의해 카세트(90)를 승강시킨다.The lifting mechanism 21 supports the locking mechanism 24 in a suspended state by the support frame 22A. The lifting mechanism 21 includes a first lifting portion 22 that lifts and moves the locking mechanism 24 (cassette 90), the first lifting portion 22 and the locking mechanism 24 (cassette 90) It is composed of a second lifting unit 23 for moving up and down. That is, the elevating mechanism 21 elevates the cassette 90 by a two-step elevating movement.

제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 지지 프레임(22A)과, 지지 프레임(22A)을 승강시키기 위한 볼나사(22B)와, 볼나사(22B)의 나사축(22d)을 회동(回動)하는 제1 모터(22C)로 주로 구성되어 있다.The first elevation part 22 includes a support frame 22A for suspending and supporting the locking mechanism 24, a ball screw 22B for moving the support frame 22A up and down, and a screw shaft of the ball screw 22B ( It is mainly comprised by the 1st motor 22C which rotates 22d).

지지 프레임(22A)은, 정면시 역U자 모양으로 형성되는 프레임재(frame material)이다. 지지 프레임(22A)은, 그의 양단에 마련되는 한 쌍의 다리부(脚部)(22a)에 있어서 나사축(22d)을 회동 가능하게 지지하고, 한 쌍의 다리부(22a)에 가설되는 지지부(22b)에 있어서 계지 기구(24)를 매단 상태로 지지한다. 볼나사(22B)는, 나사축(22d)이 지지 프레임(22A)에 지지됨과 함께, 너트(22e)가 제2 승강부(23)에 지지된다. 제1 모터(22C)는, 지지 프레임(22A)의 양단 상부에 마련된다.The support frame 22A is a frame material formed in an inverted U shape when viewed from the front. The support frame 22A supports the screw shaft 22d so as to be able to rotate in a pair of leg portions 22a provided at both ends thereof, and supports the pair of legs 22a. In (22b), the locking mechanism 24 is supported in a suspended state. In the ball screw 22B, the screw shaft 22d is supported by the support frame 22A, and the nut 22e is supported by the second elevation part 23. The 1st motor 22C is provided in the upper part of both ends of the support frame 22A.

제1 승강부(22)는, 제1 모터(22C)의 구동에 의해 나사축(22d)을 승강시킴으로써, 제2 승강부(23)에 지지되는 너트(22e)에 대해서 나사축(22d)을 승강시킨다. 이것에 의해, 나사축(22d)을 회동 가능하게 지지하는 지지 프레임(22A)이 승강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제1 승강부(22)는, 나사축(22d)의 회동에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 것으로 인해, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 미세한(섬세한) 위치맞춤을 용이하게 행할 수가 있다.The first elevation portion 22 moves the screw shaft 22d relative to the nut 22e supported by the second elevation portion 23 by moving the screw shaft 22d up and down by driving the first motor 22C. elevate As a result, the support frame 22A, which supports the screw shaft 22d so as to be able to rotate, moves up and down, and the locking mechanism 24 (cassette 90) moves up and down due to the elevation. The first elevation part 22 lifts and moves the locking mechanism 24 (cassette 90) by the rotation of the screw shaft 22d, thereby moving the cassette relative to the load port 83 of the deposition apparatus 80. Fine (delicate) positioning of (90) can be easily performed.

제2 승강부(23)는, 볼나사(22B)의 너트(22e)를 승강 가능하게 가이드하는 가이드체(23A)와, 너트(22e)를 승강 이동시키는 구동 벨트(23B)와, 구동 벨트(23B)를 회동시키기 위한 제2 모터(23C)로 주로 구성되어 있다.The second lifting unit 23 includes a guide body 23A for guiding the nut 22e of the ball screw 22B so as to be able to move up and down, a drive belt 23B for moving the nut 22e up and down, and a drive belt ( 23B) is mainly composed of a second motor 23C for rotating.

가이드체(23A)는, 한 쌍의 긴 모양의 부재에 의해 구성된다. 구동 벨트(23B)는, 가이드체(23A)의 상단부와 하단부 사이에 회동 가능하게 걸쳐 놓여진다. 제2 모터(23C)는 가이드체(23A)의 하단부에 마련된다.The guide body 23A is constituted by a pair of elongated members. The drive belt 23B is rotatably placed between the upper end and the lower end of the guide body 23A. The second motor 23C is provided on the lower end of the guide body 23A.

제2 승강부(23)는, 제2 모터(23C)를 구동시켜 구동 벨트(23B)를 회동시키는 것에 의해 볼나사(22B)의 너트(22e)를 승강 이동시킨다. 이것에 의해, 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 승강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제2 승강부(23)는, 연직방향으로 연장설치(延設)되는 긴 모양의 한 쌍의 가이드체(23A) 사이에서 가이드 프레임(23A)을 승강 이동시킴으로써, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 대략적인 위치맞춤을 행한다.The 2nd lifting part 23 raises and moves the nut 22e of the ball screw 22B by driving the 2nd motor 23C and rotating the drive belt 23B. As a result, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e moves up and down, and the locking mechanism 24 (cassette 90) moves up and down due to the elevation. The second elevation part 23 moves the guide frame 23A up and down between a pair of elongated guide bodies 23A extending in the vertical direction, thereby moving the load port of the deposition apparatus 80. Coarse positioning of cassette 90 relative to 83 is performed.

이와 같이, 승강 기구(21)는, 제2 승강부(23)에 의해 카세트(90)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 대략적인 위치까지 하강시키고, 계속해서 제1 승강부(22)에 의해 카세트(90)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 접근하는 위치까지 하강시킴으로써, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 위치맞춤을 할 수가 있다.In this way, the lifting mechanism 21 lowers the cassette 90 to an approximate position with respect to the load port 83 of the deposition apparatus 80 by the second lifting part 23, and continues with the first lifting part. Positioning of the cassette 90 relative to the load port 83 of the deposition apparatus 80 by lowering the cassette 90 to a position approaching the load port 83 of the deposition apparatus 80 by means of (22). can do

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)는, 제1 승강부(22)의 지지 프레임(22A)(지지부(22b))에 의해 지지됨과 함께, 카세트(90)의 상부의 플랜지부(92)를 계지한다. 계지 기구(24)는, 카세트(90)의 계지 시에 카세트(90)와 대향하는 측에 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지하기 위한 계지부(24A)를 가진다. 계지부(24A)는, 카세트(90)의 플랜지부(92)에 대응하는 위치에 복수(도 1에 있어서는 4개) 마련되어 있다. 계지부(24A)는, 플랜지부(92)에 계지 가능한 갈고리모양의 부재에 의해 형성된다. 계지부(24A)는, 해당(當該) 갈고리모양의 부재가 소정방향으로 선회 가능하게 구성되어 있다. 계지 기구(24)는, 계지부(24A)가 플랜지부(92)를 계지하는 것에 의해 카세트(90)를 매단 상태로 지지한다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the locking mechanism 24 is supported by the support frame 22A (support portion 22b) of the first elevation portion 22, and the upper planar portion of the cassette 90. The branch 92 is held. The locking mechanism 24 has a locking portion 24A for locking the flange portion 92 of the cassette 90 on the side facing the cassette 90 when the cassette 90 is locked. A plurality of locking portions 24A (four in FIG. 1 ) are provided at positions corresponding to the flange portion 92 of the cassette 90 . The locking portion 24A is formed of a claw-like member capable of being locked to the flange portion 92 . In the locking portion 24A, the claw-shaped member is configured to be able to turn in a predetermined direction. The locking mechanism 24 supports the cassette 90 in a suspended state by the locking portion 24A locking the flange portion 92 .

도 1 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 푸셔(25)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 장착면(41a)에 놓여 있는 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 것이다. 푸셔(25)는, 포크(41)에 놓이는 카세트(90)의 모서리부(角部)(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접함으로써, 포크(41) 상에서의 카세트(90)의 위치를 규제한다. 푸셔(25)는, 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된 카세트(90)를, 쌍이 되는 푸셔(25)와 함께 끼워서 이루어지는 카세트(90)의 대각(對角) 위치 근방에 배치된다. 푸셔(25)는, 푸셔 본체(25A)와, 푸셔 본체(25A)에 지지되어 수평방향으로 출퇴 이동 가능한 암부(25B)를 구비한다. 암부(25B)는 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접 가능하게 구성되어 있다. 푸셔(25)는, 암부(25B)를, 쌍이 되는 푸셔(25)의 암부(25B)와 함께, 포크(41) 상의 카세트(90)의 대각 위치로부터 끼워넣도록, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접시킴으로써, 포크(41) 상의 카세트(90)의 위치를, 소정의 위치에 규제한다. 여기서, 소정의 위치란, 이송기(20)가 포크(41) 상의 카세트(90)의 자세를 보존유지한 상태에서 계지하여 승강 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))이다. 암부(25B)는, 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입할 때는, 카세트(90)를 향해 신장 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접한다. 암부(25B)는, 이송기(20)에 의해서 카세트(90)가 승강할 때에는, 카세트(90)로부터 떨어지도록 수축 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다.As shown in FIGS. 1 and 7B , the pusher 25 regulates the position of the cassette 90 placed on the mounting surface 41a of the fork 41 of the fork unit 40 . The pusher 25 regulates the position of the cassette 90 on the fork 41 by abutting against a corner portion 90A (side surface of the lower corner portion) of the cassette 90 placed on the fork 41. do. The pusher 25 is disposed near the diagonal position of the cassette 90 obtained by sandwiching the cassette 90 transported to the cassette loading/unloading position 11 together with the pair of pushers 25 . The pusher 25 includes a pusher main body 25A and an arm 25B supported by the pusher main body 25A and capable of moving in and out in the horizontal direction. The arm portion 25B is configured to be able to come into contact with the corner portion 90A (side surface of the lower corner portion) of the cassette 90. The pusher 25, together with the arm portion 25B of the paired pusher 25, inserts the arm portion 25B of the cassette 90 on the fork 41 from a diagonal position of the cassette 90, the corner portion of the cassette 90 The position of the cassette 90 on the fork 41 is restricted to a predetermined position by making contact with 90A (side surface of the lower corner). Here, the predetermined position is a position (cassette loading/unloading position 11) at which the transfer machine 20 can move up and down by locking the cassette 90 on the fork 41 while maintaining its posture. When the feeder 20 carries out or carries in the cassette 90 with respect to the fork 41, the arm portion 25B extends and moves toward the cassette 90, so that the corner portion 90A of the cassette 90 ) (the side of the lower corner). When the cassette 90 is moved up and down by the feeder 20, the arm portion 25B moves in a direction avoiding the up and down path of the cassette 90 by contracting and moving away from the cassette 90.

도 2, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 위치결정 가이드 롤러(26)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 출퇴 이동방향에 대해서 수평방향으로 직교하여 마련되는 긴 모양의 롤러이다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)까지 이동했을 때에 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합 가능한 위치에 마련된다. 위치결정 가이드 롤러(26)에, 카세트 반출입 위치(11)까지 이동한 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합함으로써, 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하는 위치(카세트 반출입 위치(11))에, 포크(41)를 위치결정할 수가 있다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 롤러 감합부(41b)의 오목모양 부분의 형상에 맞춘 롤러 지름에 의해 구성되어 있다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 회동 가능하게 지지되는 회동축을 개재하여 회동한다. 위치결정 가이드 롤러(26)가 회동축을 개재하여 회동 가능하게 구성됨으로써, 위치결정 가이드 롤러(26)를 향해 이동하는 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 끌어넣어져 감합하기 쉬워진다.As shown in Figs. 2, 7A and 7B, the positioning guide roller 26 is a long roller provided perpendicularly in the horizontal direction to the moving direction of the fork 41 of the fork unit 40. . The positioning guide roller 26 is provided at a position where the roller engaging portion 41b of the fork 41 can engage when the fork 41 moves to the cassette loading/unloading position 11. When the roller engaging portion 41b of the fork 41 moved to the cassette loading/unloading position 11 engages the positioning guide roller 26, the feeder 20 moves the cassette 90 with respect to the fork 41. The fork 41 can be positioned at a position for carrying out or carrying in (cassette loading/unloading position 11). The positioning guide roller 26 is configured with a roller diameter matched to the shape of the concave portion of the roller fitting portion 41b. The positioning guide roller 26 rotates via a rotation shaft supported so as to be able to rotate. Since the positioning guide roller 26 is configured to be rotatable via a rotation axis, the roller fitting portion 41b moving toward the positioning guide roller 26 is drawn into and fitted to the positioning guide roller 26. It gets easier.

다음에, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 이송 방법에 대하여 설명한다.Next, a transfer method of the cassette 90 in the transfer facility 10 will be described.

도 4에 나타내는 바와 같이, 반송대차(86)에 의해 카세트(90)가 소정의 위치까지 반송되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)에 대해서 수평 이동시키는 것에 의해 반송대차(86) 상의 카세트(90)를 포크(41) 상에 놓여 지지한다. 카세트(90)가 포크(41) 상에 놓이면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 불능인 상태로 된다.As shown in FIG. 4 , when the cassette 90 is transported to a predetermined position by the transport cart 86, the fork unit 40 extends the telescopic arm 42 to move the fork 41 to the transport cart ( 86), the cassette 90 on the transfer cart 86 is placed on the fork 41 and supported. When the cassette 90 is placed on the fork 41, the floating unit 50 operates (the movable part 52 becomes immovable in the horizontal direction relative to the fixed part 53), and the cassette 90 moves the fork ( 41) It becomes impossible to move on the top.

도 5a, 도 5b 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)이 작동하면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 포크(41)에 놓인 상태에서 굴신식 암(42)을 굴곡 시킴과 함께 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장시켜 포크(41)를 이송 설비(10)의 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 이것에 의해, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된다.As shown in FIGS. 5A, 5B and 6 , when the floating unit 50 operates, the fork unit 40 bends the telescopic arm 42 in a state where the cassette 90 is placed on the fork 41. Rotate the fork 41 together with the shaking. Further, the fork unit 40 extends the telescoping arm 42 to horizontally move the fork 41 to the cassette loading/unloading position 11 of the transport facility 10 . As a result, the cassette 90 is conveyed to the cassette loading/unloading position 11.

도 6, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 반송되면, 포크(41)가 하강함과 함께, 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합된다. 이것에 의해, 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)에 위치결정된다. 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)에 위치결정되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 가능해지고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 가능한 상태로 된다. 계속해서, 푸셔(25)의 암부(25B)가 카세트(90)를 향해 신장 이동하고, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접한다. 이것에 의해, 카세트(90)의 한쪽의 대각이 한 쌍의 암부(25B)에 의해 끼워유지(挾持)된 상태로 된다.As shown in Figs. 6, 7A and 7B, when the cassette 90 is conveyed to the cassette loading/unloading position 11, the fork 41 descends and the roller engaging portion 41b of the fork 41 It is fitted to the positioning guide roller 26. As a result, the fork 41 is positioned at the cassette loading/unloading position 11. When the fork 41 is positioned at the cassette loading/unloading position 11, the operation of the floating unit 50 is released (the movable part 52 becomes movable relative to the fixed part 53 in the horizontal direction), and the cassette 90 ) becomes movable on the fork 41. Subsequently, the arm portion 25B of the pusher 25 extends toward the cassette 90 and abuts against the corner portion 90A of the cassette 90 . As a result, one diagonal of the cassette 90 is held in a state where it is held by the pair of arm portions 25B.

푸셔(25)는, 한 쌍의 암부(25B)를 서로 신축 이동시키는 것에 의해, 카세트(90)를 사방으로 이동시킨다. 그리고, 푸셔(25)는, 카세트(90)를, 이송기(20)의 계지부(24A)(계지 기구(24))가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))까지 이동시킨다. 즉, 푸셔(25)는, 카세트(90)를 사방으로 이동시킴으로써 이송기(20)의 승강 위치에 대한 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)에 의한 카세트(90)의 위치결정이 완료하면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 불능인 상태로 된다. 이것에 의해, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지된다.The pusher 25 moves the cassette 90 in all directions by mutually extending and retracting the pair of arm portions 25B. Then, the pusher 25 holds the cassette 90 at a position where the locking portion 24A (locking mechanism 24) of the conveyor 20 can lock the flange portion 92 of the cassette 90 (carrying in and out of the cassette). Move to position (11)). That is, the pusher 25 positions the cassette 90 relative to the lifting position of the transfer machine 20 by moving the cassette 90 in all directions. When the positioning of the cassette 90 by the pusher 25 is completed, the floating unit 50 operates (the movable part 52 becomes unable to move in the horizontal direction relative to the fixed part 53), and the cassette 90 ) becomes immovable on the fork 41. Thereby, the cassette 90 is held at the cassette loading/unloading position 11.

카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지되면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 이송기(20)의 계지 기구(24)가 카세트(90)의 위쪽 위치까지 하강한다. 그리고, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정방향으로 선회함으로써, 카세트(90)의 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 의해 계지된다. 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 계지되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제된다(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 가능해진다). 이것에 의해, 카세트(90)가 이송기(20)에 의해 승강 이동 가능한 상태로 된다.When the cassette 90 is held at the cassette loading/unloading position 11, the second lifting part 23 of the conveying machine 20 is driven, and the locking mechanism 24 of the conveying machine 20 moves the cassette 90. Descend to the upper position. Then, when the locking portion 24A of the locking mechanism 24 turns in a predetermined direction, the flange portion 92 of the cassette 90 is locked by the locking portion 24A. When the flange portion 92 is locked by the locking portion 24A, the operation of the floating unit 50 is released (the movable portion 52 becomes movable relative to the fixed portion 53 in the horizontal direction). In this way, the cassette 90 is in a state in which it can be moved up and down by the transfer machine 20 .

플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되면, 포크 유닛(40)은 굴신식 암(42)을 굴곡 시켜 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어진 위치까지 수평 이동시킨다. 또, 푸셔(25)는, 암부(25B)를 카세트(90)로부터 떨어지는 방향(카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향)으로 수축 이동시킨다.When the operation of the floating unit 50 is released, the fork unit 40 horizontally moves the fork 41 from the cassette loading/unloading position 11 to a position away from the cassette loading/unloading position 11 by bending the telescoping arm 42 . Further, the pusher 25 contracts and moves the arm portion 25B in a direction away from the cassette 90 (a direction avoiding the ascending/lowering path of the cassette 90).

포크(41) 및 암부(25B)가 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어진 위치까지 이동하면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 카세트(90)를 계지한 계지 기구(24)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)를 향해 하강한다. 구체적으로는, 제2 모터(23C)가 구동함으로써 구동 벨트(23B)가 작동하고, 구동 벨트(23B)가 작동함으로써 볼나사(22B)의 너트(22e)가 가이드체(23A)를 따라 하강한다. 그리고 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 하강하고, 그 하강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 소정 위치까지 하강한다.When the fork 41 and the arm 25B move to a position away from the cassette loading/unloading position 11, the second lifting part 23 of the conveyor 20 is driven, and the locking mechanism holding the cassette 90 ( 24 descends toward the load port 83 of the deposition apparatus 80. Specifically, when the second motor 23C drives, the drive belt 23B operates, and when the drive belt 23B operates, the nut 22e of the ball screw 22B descends along the guide body 23A. . Then, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e is lowered, and the locking mechanism 24 (cassette 90) is lowered to a predetermined position by the lowering.

도 8에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)가 소정 위치까지 하강하면, 제2 승강부(23)의 구동이 정지하고, 제1 승강부(22)가 구동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송된다. 구체적으로는, 제2 모터(23C)의 구동이 정지함으로써, 제1 모터(22C)가 구동하여 볼나사(22B)의 나사축(22d)이 회동한다. 이것에 의해, 나사축(22d)을 지지하는 지지 프레임(22A)이 하강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 하강한다.As shown in FIG. 8 , when the locking mechanism 24 is lowered to a predetermined position, the drive of the second lift part 23 is stopped and the first lift part 22 is driven. As a result, the cassette 90 held by the locking mechanism 24 is transported to the load port 83 of the deposition apparatus 80 . Specifically, when the driving of the second motor 23C is stopped, the first motor 22C is driven to rotate the screw shaft 22d of the ball screw 22B. As a result, the support frame 22A supporting the screw shaft 22d is lowered, and the locking mechanism 24 (cassette 90) is lowered by the elevation.

한편, 증착 장치(80)에 있어서 기판(91)에 대한 처리가 완료하면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지한다. 그리고, 제1 모터(22C)가 구동하여 볼나사(22B)의 나사축(22d)이 회동한다. 이것에 의해, 지지 프레임(22A)이 상승하고, 그 상승에 맞추어 계지 기구(24)가 상승하여 카세트(90)가 로드 포트(83)로부터 반출된다. 계지 기구(24)가 소정 위치까지 상승하면, 제1 모터(22C)의 구동이 정지하고, 제2 모터(23C)가 구동한다. 이것에 의해, 구동 벨트(23B)가 작동하고, 구동 벨트(23B)가 작동함으로써 볼나사(22B)의 너트(22e)가 가이드체(23A)를 따라 상승한다. 그리고, 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 상승하고, 그 상승에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 상승한다.On the other hand, when processing of the substrate 91 in the deposition apparatus 80 is completed, the locking portion 24A of the locking mechanism 24 locks the flange portion 92 of the cassette 90 . Then, the first motor 22C is driven to rotate the screw shaft 22d of the ball screw 22B. As a result, the support frame 22A rises, and the locking mechanism 24 rises in accordance with the rise, and the cassette 90 is carried out from the load port 83 . When the locking mechanism 24 rises to a predetermined position, the driving of the first motor 22C is stopped and the second motor 23C is driven. As a result, the drive belt 23B operates, and the nut 22e of the ball screw 22B rises along the guide body 23A as the drive belt 23B operates. Then, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e rises, and the locking mechanism 24 (cassette 90) rises due to the rise.

계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 상승하면, 포크 유닛(40)은 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 이 때, 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합된다.When the cassette 90 held by the locking mechanism 24 rises to the cassette loading/unloading position 11, the fork unit 40 horizontally moves the fork 41 to the cassette loading/unloading position 11. At this time, the roller fitting portion 41b is fitted to the positioning guide roller 26.

포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동하면, 제2 모터(23C)가 구동하여 계지 기구(24)가 하강한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 하강하여 포크(41)에 놓인다. 카세트(90)가 포크(41)에 놓이면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정방향으로 선회함으로써, 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제된다. 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제되면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓은 상태에서 포크(41)를 상승시켜 롤러 감합부(41b)와 위치결정 가이드 롤러(26)와의 감합을 해제하고, 굴신식 암(42)을 굴절시킴과 함께, 카세트(90)를 놓은 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장시켜 포크(41)를 반송대차(86)까지 수평 이동시키고, 포크(41) 상의 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.When the fork 41 moves horizontally to the cassette loading/unloading position 11, the second motor 23C is driven to lower the locking mechanism 24. By this, the cassette 90 is lowered and placed on the fork 41 . When the cassette 90 is placed on the fork 41, the locking portion 24A of the locking mechanism 24 rotates in a predetermined direction, thereby releasing the locking of the locking portion 24A to the flange portion 92. When the locking of the flange portion 92 by the locking portion 24A is released, the fork unit 40 raises the fork 41 in a state where the cassette 90 is placed, and engages the roller fitting portion 41b and the positioning guide. Engagement with the roller 26 is released, the telescoping arm 42 is bent, and the fork 41 on which the cassette 90 is placed is rotated. Further, the fork unit 40 extends the telescopic arm 42 to horizontally move the fork 41 to the transport cart 86, and transfers the cassette 90 on the fork 41 to the transport cart 86. do.

이상과 같이, 본 발명에 관계된 이송 설비(10)는, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이의 카세트(90)의 이송을 수하대를 개재하지 않고 직접 행할 수가 있기 때문에, 이송 도중에 카세트(90)를 수하대에 놓는 동작 및 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)를 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 된다. 그 때문에, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이의 카세트(90)의 이송을 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 수하대가 불필요하게 되기 때문에, 이송 설비(10)가 설비 케이스로 덮인 것이더라도 카세트(90)의 이송을 행할 수가 있다.As described above, since the transfer equipment 10 according to the present invention can directly transfer the cassette 90 between the fork unit 40 and the transfer machine 20 without intervening a hanging table, the cassette is in the middle of transfer. An operation of placing the cassette 90 on the hanging platform and an operation of turning the cassette 90 when the cassette 90 is moved up and down by the transfer machine 20 are unnecessary. Therefore, the transfer of the cassette 90 between the fork unit 40 and the feeder 20 can be performed efficiently. In addition, since the luggage rack is unnecessary, the cassette 90 can be transferred even if the transfer facility 10 is covered with a facility case.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)에 있어서 이송되는 물품은 카세트(90)에 한정되는 것은 아니고, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이에서 이송을 행하는 것이 가능한 물품이면 상관없다.In addition, in this embodiment, the articles conveyed in the conveying equipment 10 are not limited to the cassette 90, and any articles that can be conveyed between the fork unit 40 and the conveyor 20 are acceptable. does not exist.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 상부의 갈고리모양 플랜지부(92)를 계지한 상태에서, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 이송기(20)가 카세트(90)의 측면을 파지한 상태에서 카세트(90)를 승강 이동시켜도 상관없다.In the present embodiment, the conveyor 20 moves the cassette 90 up and down in a state in which the locking portion 24A of the conveyor 20 holds the claw-shaped flange portion 92 at the top of the cassette 90. Although it is moved, it is not limited to this, and, for example, the cassette 90 may be lifted and moved in a state where the feeder 20 grips the side surface of the cassette 90.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)가 제1 승강부(22)와 제2 승강부(23)에 의한 2단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 승강부(22) 또는 제2 승강부(23)의 어느 것인가 한쪽만, 즉, 1단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시켜도 상관없다. 또, 제1 승강부(22)는, 볼나사(22B)를 이용하여 카세트(90)의 승강을 행하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 계지 기구(24)에 부착한 승강 벨트를 권취 및 권출함으로써 카세트(90)의 승강을 행해도 상관없다.In this embodiment, although the transfer machine 20 raises and lowers the cassette 90 by a two-stage lifting movement by the first lifting part 22 and the second lifting part 23, it is limited to this Instead, the cassette 90 may be moved up and down by only one of the first elevator unit 22 or the second elevator unit 23, that is, by a single-stage elevator movement. Further, the first lifting unit 22 lifts the cassette 90 using the ball screw 22B, but is not limited thereto, and winds up and unwinds the lifting belt attached to the locking mechanism 24. By doing so, the cassette 90 may be moved up and down.

본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)이, 포크(41)의 폭방향의 양단부에, 포크(41)의 긴쪽방향을 따라 복수개 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치되어 있지만, 카세트(90)를 포크(41) 상에서 충분히 지지하는 것이 가능하면, 플로팅 유닛(50)의 배치 위치, 갯수는 한정되지 않는다.In this embodiment, the floating units 50 are disposed on the mounting surface 41a in a state in which a plurality of floating units 50 are arranged along the longitudinal direction of the fork 41 at both ends in the width direction of the fork 41, but the cassette As long as it is possible to sufficiently support the 90 on the fork 41, the arrangement position and number of the floating units 50 are not limited.

본 실시 형태에 있어서는, 지지체 복귀 수단(SF)을 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 자석식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다.In this embodiment, although the support body return means SF is constituted by the elastic bias type return means, it does not matter if it is constituted by the magnet type return means.

본 실시 형태에 있어서는, 푸셔(25)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접함으로써 카세트(90)의 위치를 규제하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 측면으로서, 당접시에 카세트(90)의 위치를 규제 가능하면, 카세트(90)의 측면의 중앙부를 당접하도록 구성해도 상관없다. 또, 2개의 푸셔(25)에 의해 카세트(90)의 위치 규제를 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개, 혹은 3개 이상의 푸셔(25)에 의해 위치 규제를 행해도 상관없다.In the present embodiment, the pusher 25 regulates the position of the cassette 90 by abutting the corner portion 90A of the cassette 90, but it is not limited to this, and as a side surface of the cassette 90 , as long as the position of the cassette 90 can be regulated at the time of contact, it may be configured so that the central part of the side surface of the cassette 90 is in contact. Moreover, although the position of the cassette 90 is regulated by the two pushers 25, it is not limited to this, You may regulate the position by 1 or 3 or more pushers 25.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 포크 유닛(40)의 포크(41)의 위치결정을 롤러인 위치결정 가이드 롤러(26)에 의해 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지 가능한 구성이면, 예를 들면, 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합 가능한 볼록모양(突狀)의 부재에 의해 구성해도 상관없다.In this embodiment, positioning of the fork 41 of the fork unit 40 with respect to the lifting position of the conveyor 20 is performed by the positioning guide roller 26 as a roller, but it is not limited to this. As long as the fork 41 can be held at the cassette loading/unloading position 11, for example, the roller fitting portion 41b of the fork 41 may be configured by a convex member capable of fitting. does not exist.

10: 이송 설비
20: 이송기(제2 이송기)
25: 푸셔(위치 규제 장치)
40: 포크 유닛(제1 이송기)
41a: 장착면
50: 플로팅 유닛
51: 지지부
52: 가동부
53: 고정부
90: 카세트10: transfer facility
20: transporter (second transporter)
25: pusher (position regulating device)
40: fork unit (first transporter)
41a: mounting surface
50: floating unit
51: support
52: moving part
53: fixing part
90: cassette

Claims (3)

물품을 놓아 수평방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송을 행하는 이송 설비로서,
상기 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품의 측면에 당접하여 상기 장착면에 있어서의 상기 물품의 위치 규제를 행하는 위치 규제 장치를 구비하고,
상기 제1 이송기는, 그의 장착면 상에 플로팅 유닛을 구비하고,
상기 플로팅 유닛은, 물품 장착 지지용의 지지부를 구비한 가동부가, 고정부에 대해서, 수평방향으로 이동 자유롭게, 받쳐져서 지지되게 하는 구조이며,
상기 물품은 상기 물품 장착 지지용의 지지부에 지지되고,
상기 가동부를 상기 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 가능하게 하며, 또한 상기 위치 규제 장치에 의해 상기 물품의 위치 규제를 행하는 것에 의해, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 물품의 위치결정이 상기 장착면 상에서 행해지는 것
　을 특징으로 하는 이송 설비.A conveying facility that transfers an article between a first conveyor for placing and moving an article in a horizontal direction and a second conveyor for supporting an upper portion of the article and moving it vertically in a vertical direction, comprising:
a position regulating device that abuts against a side surface of an article placed on a mounting surface of the first conveyor and regulates the position of the article on the mounting surface;
The first conveyor has a floating unit on its mounting surface,
The floating unit has a structure in which a movable part having a support part for mounting and supporting an article is supported and supported in a horizontal direction relative to the fixed part,
The article is supported by a support for mounting and supporting the article,
By making the movable part movable in the horizontal direction relative to the fixed part and regulating the position of the article by the position regulating device, the positioning of the article relative to the elevating position of the second conveyor is determined by the mounting. what is done on the surface
A transfer facility characterized by a. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 상기 제1 이송기의 위치결정을 행하는 위치결정 수단을 구비하는 것
을 특징으로 하는 이송 설비.According to claim 1,
Equipped with positioning means for positioning the first transfer machine relative to the elevation position of the second transfer machine.
A transfer facility characterized by a. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 물품은, 그의 상부에 상기 제2 이송기에 계지되는 계지부가 형성되는 상자형 형상의 것이며, 또한 상기 계지부가 갈고리모양으로 형성되어 있는 것인 것
을 특징으로 하는 이송 설비.According to claim 1 or 2,
The article has a box-like shape in which a locking part that is locked to the second conveyor is formed on the upper part thereof, and the locking part is formed in a hook shape.
A transfer facility characterized by a.
KR1020180141463A 2017-12-15 2018-11-16 Transfer facility, transfer method KR102535626B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017240108A JP6794976B2 (en) 2017-12-15 2017-12-15 Transfer equipment, transfer method
JPJP-P-2017-240108 2017-12-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190072407A KR20190072407A (en) 2019-06-25
KR102535626B1 true KR102535626B1 (en) 2023-05-23

Family

ID=66984538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180141463A KR102535626B1 (en) 2017-12-15 2018-11-16 Transfer facility, transfer method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6794976B2 (en)
KR (1) KR102535626B1 (en)
CN (1) CN109928188B (en)
TW (1) TWI756449B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117401417B (en) * 2023-12-01 2024-03-22 济南诺洁清洁用品有限公司 Conveying device for washing powder production

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006073946A (en) 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Mach Mfg Co Ltd Glass substrate feeder
JP2015063351A (en) 2013-09-24 2015-04-09 村田機械株式会社 Carrier device and transfer device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3608950B2 (en) * 1998-06-26 2005-01-12 村田機械株式会社 Automated guided vehicle
JP2001002213A (en) * 1999-06-18 2001-01-09 Hirata Corp Floating unit and positioning device
JP4039157B2 (en) * 2002-07-22 2008-01-30 株式会社ダイフク Self-propelled cart
TWI228098B (en) * 2003-04-30 2005-02-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Manual guided vehicle capable of working on a rail
JP4239748B2 (en) * 2003-08-08 2009-03-18 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 Transport device
JP4614091B2 (en) * 2005-08-16 2011-01-19 株式会社ダイフク Floating unit and article support device
KR100999383B1 (en) * 2005-08-16 2010-12-09 가부시키가이샤 다이후쿠 Floating unit and article support apparatus having floating unit
JP4518269B2 (en) * 2006-03-13 2010-08-04 株式会社ダイフク Load positioning device
JP4949091B2 (en) * 2007-03-16 2012-06-06 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing apparatus, substrate processing method, and recording medium
JP2009038326A (en) * 2007-08-06 2009-02-19 Yaskawa Electric Corp Cassette floating stage and cassette station using the same
JP5090269B2 (en) * 2008-06-25 2012-12-05 台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司 Substrate storage container
KR101077566B1 (en) * 2008-08-20 2011-10-28 세메스 주식회사 Substrate processing apparatus and method for transferring substrate of the same
JP5287227B2 (en) * 2008-12-25 2013-09-11 村田機械株式会社 Transport cart
TWI363732B (en) * 2009-01-23 2012-05-11 Au Optronics Corp Object conveying device and method therefor
JP2010239115A (en) * 2009-03-10 2010-10-21 Hitachi Kokusai Electric Inc Substrate processing apparatus
KR101511963B1 (en) * 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006073946A (en) 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Mach Mfg Co Ltd Glass substrate feeder
JP2015063351A (en) 2013-09-24 2015-04-09 村田機械株式会社 Carrier device and transfer device

Also Published As

Publication number Publication date
CN109928188B (en) 2021-11-16
TWI756449B (en) 2022-03-01
TW201927667A (en) 2019-07-16
JP2019106517A (en) 2019-06-27
KR20190072407A (en) 2019-06-25
CN109928188A (en) 2019-06-25
JP6794976B2 (en) 2020-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4666215B2 (en) Article conveying device
TWI546238B (en) Article transport facility
TWI246501B (en) Overhead traveling carriage system
JP4711770B2 (en) Conveying apparatus, vacuum processing apparatus, and conveying method
JP2019043753A5 (en)
TWI722208B (en) Transport system
JP6256694B2 (en) Container lifting and lowering conveyor
WO2015190387A1 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
CN108290687B (en) Storage device and transport system
KR20220058223A (en) Carriage robot and tower lift including the same
KR102535626B1 (en) Transfer facility, transfer method
KR102293463B1 (en) Transportation apparatus
KR102535629B1 (en) Transfer facility, transfer method
KR20210041345A (en) Apparatus for transferring articles
KR20200100982A (en) Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
JP2005136294A (en) Transfer apparatus
CN113581764A (en) Transfer facility and method for transferring container
KR102189275B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
TWI805815B (en) Transfer device
JP4026073B2 (en) Transport system
KR20230096788A (en) Stocker and article transport facility
JP5154148B2 (en) Loading device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant