KR102527268B1 - Thermo electric element - Google Patents
Thermo electric element Download PDFInfo
- Publication number
- KR102527268B1 KR102527268B1 KR1020220048205A KR20220048205A KR102527268B1 KR 102527268 B1 KR102527268 B1 KR 102527268B1 KR 1020220048205 A KR1020220048205 A KR 1020220048205A KR 20220048205 A KR20220048205 A KR 20220048205A KR 102527268 B1 KR102527268 B1 KR 102527268B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- insulating layer
- substrate
- disposed
- electrode
- thermoelectric
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 152
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 23
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 18
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 abstract description 16
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 10
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 10
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 abstract description 9
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 abstract description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 29
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 23
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 14
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 4
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 3
- 230000005678 Seebeck effect Effects 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- -1 ships Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018516 Al—O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003849 O-Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003872 O—Si Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 2
- 229910016339 Bi—Sb—Te Inorganic materials 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018110 Se—Te Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000003018 immunoassay Methods 0.000 description 1
- 238000000338 in vitro Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002773 nucleotide Substances 0.000 description 1
- 125000003729 nucleotide group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000000554 physical therapy Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000008279 sol Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
Abstract
본 발명의 한 실시예에 따른 열전소자는 제1 기판, 상기 제1 기판 상에 배치된 제1 절연층, 상기 제1 절연층 상에 배치되고, 상기 제1 절연층과 조성 및 탄성이 상이한 제2 절연층, 상기 제2 절연층 상에 배치된 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 배치된 P형 열전 레그 및 N형 열전 레그, 상기 P형 열전 레그 및 N형 열전 레그 상에 배치된 제2 전극, 상기 제2 전극 상에 배치된 제3 절연층, 그리고 상기 제3 절연층 상에 배치된 제2 기판을 포함하고, 상기 제1 절연층은 실리콘과 알루미늄을 포함하는 복합체(composite)로 이루어지고, 상기 제2 절연층은 에폭시 수지 및 실리콘 수지 중 적어도 하나와 무기충전재를 포함하는 수지 조성물로 이루어진 수지층이다.A thermoelectric element according to an embodiment of the present invention includes a first substrate, a first insulating layer disposed on the first substrate, and a second insulating layer disposed on the first insulating layer and having a composition and elasticity different from those of the first insulating layer. 2 insulating layers, a first electrode disposed on the second insulating layer, a P-type thermoelectric leg and an N-type thermoelectric leg disposed on the first electrode, and a first electrode disposed on the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg. It includes two electrodes, a third insulating layer disposed on the second electrode, and a second substrate disposed on the third insulating layer, wherein the first insulating layer is made of a composite including silicon and aluminum. and the second insulating layer is a resin layer made of a resin composition including at least one of an epoxy resin and a silicone resin and an inorganic filler.
Description
본 발명은 열전소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 열전소자의 기판 및 절연층에 관한 것이다.The present invention relates to a thermoelectric device, and more particularly, to a substrate and an insulating layer of the thermoelectric device.
열전현상은 재료 내부의 전자(electron)와 정공(hole)의 이동에 의해 발생하는 현상으로, 열과 전기 사이의 직접적인 에너지 변환을 의미한다.The thermoelectric phenomenon is a phenomenon caused by the movement of electrons and holes inside a material, and means a direct energy conversion between heat and electricity.
열전소자는 열전현상을 이용하는 소자를 총칭하며, P형 열전 재료와 N형 열전 재료를 금속 전극들 사이에 접합시켜 PN 접합 쌍을 형성하는 구조를 가진다. A thermoelectric element is a generic term for a device using a thermoelectric phenomenon, and has a structure in which a PN junction pair is formed by bonding a P-type thermoelectric material and an N-type thermoelectric material between metal electrodes.
열전소자는 전기저항의 온도 변화를 이용하는 소자, 온도 차에 의해 기전력이 발생하는 현상인 제벡 효과를 이용하는 소자, 전류에 의한 흡열 또는 발열이 발생하는 현상인 펠티에 효과를 이용하는 소자 등으로 구분될 수 있다.Thermoelectric devices can be classified into devices using temperature changes in electrical resistance, devices using the Seebeck effect, a phenomenon in which electromotive force is generated by a temperature difference, and devices using the Peltier effect, a phenomenon in which heat absorption or heat generation occurs due to current. .
열전소자는 가전제품, 전자부품, 통신용 부품 등에 다양하게 적용되고 있다. 예를 들어, 열전소자는 냉각용 장치, 온열용 장치, 발전용 장치 등에 적용될 수 있다. 이에 따라, 열전소자의 열전성능에 대한 요구는 점점 더 높아지고 있다.Thermoelectric devices are widely applied to home appliances, electronic components, and communication components. For example, the thermoelectric element may be applied to a device for cooling, a device for heating, a device for power generation, and the like. Accordingly, the demand for thermoelectric performance of thermoelectric devices is increasing.
열전소자는 기판, 전극 및 열전 레그를 포함하며, 상부 기판과 하부 기판 사이에 복수의 열전 레그가 배치되고, 복수의 열전 레그와 상부기판 사이에 복수의 상부 전극이 배치되고, 복수의 열전 레그와 및 하부기판 사이에 복수의 하부전극이 배치된다.The thermoelectric element includes a substrate, electrodes, and thermoelectric legs, wherein a plurality of thermoelectric legs are disposed between an upper substrate and a lower substrate, a plurality of upper electrodes are disposed between the plurality of thermoelectric legs and the upper substrate, and a plurality of thermoelectric legs and and a plurality of lower electrodes are disposed between the lower substrate.
열전소자의 열전달 성능을 향상시키기 위하여, 금속기판을 사용하고자 하는 시도가 늘고 있다.In order to improve the heat transfer performance of thermoelectric devices, attempts to use a metal substrate are increasing.
일반적으로, 열전소자는 미리 마련된 금속기판 상에 전극 및 열전 레그를 순차적으로 적층하는 공정에 따라 제작될 수 있다. 금속기판이 사용되는 경우, 열전도 측면에서는 유리한 효과를 얻을 수 있으나, 내전압이 낮아 장기간 사용 시 신뢰성이 낮아지는 문제가 있다.In general, a thermoelectric element may be manufactured according to a process of sequentially stacking electrodes and thermoelectric legs on a previously prepared metal substrate. When a metal substrate is used, an advantageous effect can be obtained in terms of heat conduction, but there is a problem in that reliability is lowered during long-term use due to a low withstand voltage.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 알루미늄 기판의 표면을 아노다이징 처리하여 내전압을 높이고자 하는 시도가 있으나, 아노다이징 처리된 금속기판과 전극 간의 접합이 어려운 문제가 있다. In order to solve this problem, attempts have been made to increase withstand voltage by anodizing the surface of the aluminum substrate, but there is a problem in that it is difficult to bond between the anodized metal substrate and the electrode.
이에 따라, 열전도 성능뿐만 아니라, 내전압 성능 및 접합 성능이 모두 개선된 열전소자가 필요하다. Accordingly, there is a need for a thermoelectric device having improved thermal conductivity performance as well as withstand voltage performance and bonding performance.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 열전도 성능, 내전압 성능 및 접합 성능이 모두 개선된 열전소자의 기판 및 절연층 구조를 제공하는 것이다.A technical problem to be achieved by the present invention is to provide a substrate and an insulating layer structure of a thermoelectric device having improved thermal conductivity performance, withstand voltage performance, and bonding performance.
본 발명의 한 실시예에 따른 열전소자는 기판; 상기 기판 상에 배치된 제1 절연층; 상기 제1 절연층 상에 배치된 제2 절연층; 상기 제2 절연층 상에 배치되고, 제1 방향을 따라 서로 이격된 제1 하부 전극, 및 제2 하부 전극; 상기 제1 하부 전극, 및 상기 제2 하부 전극 각각 상에 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배치된 제1 반도체 구조물, 및 제2 반도체 구조물; 및 상기 제1 하부 전극 상의 제1 반도체 구조물 및 제2 반도체 구조물 중 하나와 상기 제2 하부 전극 상의 제1 반도체 구조물 및 제2 반도체 구조물 중 하나 상에 상기 제1 방향을 따라 배치된 상부 전극을 포함하고, 상기 제1 하부 전극, 및 상기 제2 하부 전극 각각의 일부는 상기 제2 절연층에 매립되고, 상기 제2 절연층의 상면은 상기 제1 하부 전극과 상기 제2 하부 전극 사이에 배치되고, 상기 기판을 향하여 오목한 오목면을 포함하고, 상기 오목면은 상기 상부 전극과 수직 방향을 따라 중첩되고, 상기 오목면의 상기 제1 방향의 폭은 상기 상부 전극의 상기 제1 방향의 폭보다 작다.A thermoelectric element according to an embodiment of the present invention includes a substrate; a first insulating layer disposed on the substrate; a second insulating layer disposed on the first insulating layer; a first lower electrode and a second lower electrode disposed on the second insulating layer and spaced apart from each other in a first direction; a first semiconductor structure and a second semiconductor structure disposed spaced apart from each other along the first direction on each of the first lower electrode and the second lower electrode; And an upper electrode disposed along the first direction on one of the first semiconductor structure and the second semiconductor structure on the first lower electrode and on one of the first semiconductor structure and the second semiconductor structure on the second lower electrode. A portion of each of the first lower electrode and the second lower electrode is buried in the second insulating layer, and an upper surface of the second insulating layer is disposed between the first lower electrode and the second lower electrode. , a concave surface concave toward the substrate, the concave surface overlapping the upper electrode in a vertical direction, and a width of the concave surface in the first direction is smaller than a width of the upper electrode in the first direction. .
상기 기판은 상기 제1 절연층이 배치된 상면을 포함하고, 상기 제1 하부 전극은 상기 제1 반도체 구조물 및 상기 제2 반도체 구조물이 배치된 상면, 및 상기 상면과 마주보는 하면을 포함하고, 상기 제2 절연층의 오목면과 상기 기판의 상면 사이의 제1 거리는 상기 제1 하부 전극의 상면과 상기 기판의 상면 사이의 제2 거리보다 작을 수 있다.The substrate includes an upper surface on which the first insulating layer is disposed, and the first lower electrode includes an upper surface on which the first semiconductor structure and the second semiconductor structure are disposed, and a lower surface facing the upper surface, A first distance between the concave surface of the second insulating layer and the upper surface of the substrate may be smaller than a second distance between the upper surface of the first lower electrode and the upper surface of the substrate.
상기 제1 거리는 상기 제1 하부 전극의 하면과 상기 기판의 상면 사이의 제3 거리보다 클 수 있다.The first distance may be greater than a third distance between the lower surface of the first lower electrode and the upper surface of the substrate.
상기 제1 하부 전극은 상기 제1 하부 전극의 상면과 상기 제1 하부 전극의 하면 사이에 위치한 측면을 포함하고, 상기 제1 하부 전극의 측면은 상기 제2 절연층과 접촉하는 제1 면을 포함하고, 상기 제1 면의 상기 수직 방향의 높이는 상기 제1 하부 전극의 상기 수직 방향의 두께의 0.1 배 내지 0.9 배일 수 있다.The first lower electrode includes a side surface positioned between an upper surface of the first lower electrode and a lower surface of the first lower electrode, and the side surface of the first lower electrode includes a first surface contacting the second insulating layer. The height of the first surface in the vertical direction may be 0.1 to 0.9 times the thickness of the first lower electrode in the vertical direction.
상기 기판을 기준으로 상기 제1 하부 전극의 최고 높이는 상기 제2 절연층의 최고 높이보다 높을 수 있다.A highest height of the first lower electrode with respect to the substrate may be higher than a highest height of the second insulating layer.
상기 제2 절연층의 상기 수직 방향의 두께는 35 ㎛ 이상이고, 상기 제1 하부 전극의 상기 수직 방향의 두께는 10㎛ 이상일 수 있다.A thickness of the second insulating layer in the vertical direction may be 35 μm or more, and a thickness of the first lower electrode in the vertical direction may be 10 μm or more.
상기 제1 반도체 구조물 또는 상기 제2 반도체 구조물의 상기 제1 방향의 폭은 상기 제2 절연층의 오목면의 상기 제1 방향의 폭보다 클 수 있다.The width of the first semiconductor structure or the second semiconductor structure in the first direction may be greater than the width of the concave surface of the second insulating layer in the first direction.
상기 제2 절연층의 상기 수직 방향의 두께는 상기 제1 절연층의 상기 수직 방향의 두께보다 클 수 있다.A thickness of the second insulating layer in the vertical direction may be greater than a thickness of the first insulating layer in the vertical direction.
상기 제1 절연층은 상기 제2 절연층을 구성하는 물질과 다른 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer may include a material different from a material constituting the second insulating layer.
상기 제2 절연층은 수지, 및 무기충전재를 포함하고, 상기 무기충전재는 산화알루미늄, 및 질화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The second insulating layer may include a resin and an inorganic filler, and the inorganic filler may include at least one of aluminum oxide and nitride.
상기 제1 절연층은 실리콘, 및 알루미늄을 포함할 수 있다.The first insulating layer may include silicon and aluminum.
상기 무기충전재는 상기 수지층의 60wt% 이상 80wt% 이하로 포함될 수 있다.The inorganic filler may be included in 60wt% or more and 80wt% or less of the resin layer.
본 발명의 한 실시예에 따른 열전소자는 기판; 상기 기판 상에 배치되는 제1 절연층; 상기 제1 절연층 상에 배치되는 제2 절연층; 상기 제2 절연층 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 하부 전극; 상기 복수의 하부 전극 각각의 상에 배치된 복수의 반도체 구조물; 상기 복수의 반도체 구조물 상에 배치된 복수의 상부 전극을 포함하고, 상기 제2 절연층은 상기 복수의 상부 전극과 수직 방향을 따라 중첩되는 중첩부를 포함하고, 상기 중첩부의 상면은 상기 기판을 향하여 오목한 오목면을 포함하고, 상기 복수의 상부 전극 각각의 폭은 상기 오목면의 폭보다 크다.A thermoelectric element according to an embodiment of the present invention includes a substrate; a first insulating layer disposed on the substrate; a second insulating layer disposed on the first insulating layer; a plurality of lower electrodes disposed spaced apart from each other on the second insulating layer; a plurality of semiconductor structures disposed on each of the plurality of lower electrodes; It includes a plurality of upper electrodes disposed on the plurality of semiconductor structures, the second insulating layer includes an overlapping portion overlapping the plurality of upper electrodes in a vertical direction, and an upper surface of the overlapping portion is concave toward the substrate. and a concave surface, and a width of each of the plurality of upper electrodes is greater than that of the concave surface.
상기 복수의 하부 전극은 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배치된 제1 하부 전극, 및 제2 하부 전극을 포함하고, 상기 제1 하부 전극 상에 배치된 복수의 반도체 구조물은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격된 제1 반도체 구조물, 및 제2 반도체 구조물을 포함하고, 상기 제2 하부 전극 상에 배치된 복수의 반도체 구조물은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격된 제3 반도체 구조물, 및 제4 반도체 구조물을 포함하고, 상기 복수의 상부 전극은 상기 제1 하부 전극 상에 배치된 제2 반도체 구조물, 및 상기 제2 하부 전극 상에 배치된 제3 반도체 구조물과 연결된 제1 상부 전극을 포함할 수 있다.The plurality of lower electrodes include a first lower electrode and a second lower electrode disposed to be spaced apart from each other along a first direction, and a plurality of semiconductor structures disposed on the first lower electrode are disposed along the first direction. A plurality of semiconductor structures including a first semiconductor structure and a second semiconductor structure spaced apart from each other, and disposed on the second lower electrode include a third semiconductor structure spaced apart from each other along the first direction, and a fourth semiconductor structure. Including, the plurality of upper electrodes may include a second semiconductor structure disposed on the first lower electrode, and a first upper electrode connected to a third semiconductor structure disposed on the second lower electrode.
상기 제1 상부 전극의 상기 제1 방향의 폭은 상기 중첩부의 상기 제1 방향의 폭보다 클 수 있다.A width of the first upper electrode in the first direction may be greater than a width of the overlapping portion in the first direction.
상기 제1 하부 전극은 상기 제2 절연층에 일부 매립되고, 상기 제1 하부 전극은 상기 복수의 반도체 구조물이 배치된 상면, 상기 상면과 마주보는 하면, 및 상기 상면과 상기 하면 사이에 배치되고, 상기 수직 방향을 따라 배치된 측면을 포함하고, 상기 제2 절연층의 오목면과 상기 기판 사이의 상기 수직 방향의 제1 높이는 상기 제1 하부 전극의 상면과 상기 기판 사이의 상기 수직 방향의 제2 높이보다 작을 수 있다.The first lower electrode is partially buried in the second insulating layer, and the first lower electrode is disposed between an upper surface on which the plurality of semiconductor structures are disposed, a lower surface facing the upper surface, and between the upper surface and the lower surface, and a side surface disposed along the vertical direction, wherein the first height in the vertical direction between the concave surface of the second insulating layer and the substrate is the second height in the vertical direction between the top surface of the first lower electrode and the substrate. height may be less than
상기 제1 높이는 상기 제1 하부 전극의 하면과 상기 기판 사이의 상기 수직 방향의 제3 높이보다 클 수 있다.The first height may be greater than the third height between the lower surface of the first lower electrode and the substrate in the vertical direction.
상기 제1 하부 전극의 측면은 상기 제2 절연층의 중첩부와 접촉하는 제1 면을 포함하고, 상기 제1 면의 높이는 상기 제1 하부 전극의 측면의 상기 수직 방향의 높이의 0.1배 내지 0.9배일 수 있다.The side surface of the first lower electrode includes a first surface contacting the overlapping portion of the second insulating layer, and the height of the first surface is 0.1 to 0.9 times the height of the side surface of the first lower electrode in the vertical direction. it can be a boat
상기 제2 절연층은 상기 제1 절연층이 포함하는 물질과 상이한 물질을 포함하고, 상기 제2 절연층의 상기 수직 방향의 두께는 상기 제1 절연층의 상기 수직 방향의 두께보다 클 수 있다.The second insulating layer may include a material different from a material included in the first insulating layer, and a thickness of the second insulating layer in the vertical direction may be greater than a thickness of the first insulating layer in the vertical direction.
상기 제1 절연층의 두께는 35 ㎛ 보다 작고, 상기 제2 절연층의 두께는 35 ㎛ 보다 크고, 상기 전극의 두께는 10 ㎛ 보다 클 수 있다.The thickness of the first insulating layer may be less than 35 μm, the thickness of the second insulating layer may be greater than 35 μm, and the thickness of the electrode may be greater than 10 μm.
본 발명의 실시예에 따르면, 성능이 우수하고, 신뢰성이 높은 열전소자를 얻을 수 있다. 특히, 본 발명의 실시예에 따르면, 열전도 성능뿐만 아니라, 내전압 성능 및 접합 성능까지 개선된 열전소자를 얻을 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기판과 전극 간의 접합력과 기판과 히트싱크 간의 접합력이 모두 높은 열전소자를 얻을 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a thermoelectric element having excellent performance and high reliability can be obtained. In particular, according to an embodiment of the present invention, a thermoelectric element having improved thermal conductivity performance, withstand voltage performance, and junction performance can be obtained. According to an embodiment of the present invention, a thermoelectric element having high bonding strength between the substrate and the electrode and between the substrate and the heat sink can be obtained.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자는 소형으로 구현되는 애플리케이션뿐만 아니라 차량, 선박, 제철소, 소각로 등과 같이 대형으로 구현되는 애플리케이션에서도 적용될 수 있다. The thermoelectric element according to an embodiment of the present invention may be applied not only to small-sized applications but also to large-scale applications such as vehicles, ships, steel mills, and incinerators.
도 1은 열전소자의 단면도이다.
도 2는 열전소자의 사시도이다.
도 3은 실링부재를 포함하는 열전소자의 사시도이다.
도 4는 실링부재를 포함하는 열전소자의 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 열전소자의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 열전소자의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 열전소자의 단면도이다.
도 8은 실시예에 따른 절연층의 표면거칠기를 측정한 결과이고, 도 9는 비교예에 따른 절연층의 표면거칠기를 측정한 결과이다.1 is a cross-sectional view of a thermoelectric element.
2 is a perspective view of a thermoelectric element.
3 is a perspective view of a thermoelectric element including a sealing member.
4 is an exploded perspective view of a thermoelectric element including a sealing member.
5 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to another embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to another embodiment of the present invention.
8 is a result of measuring surface roughness of an insulating layer according to an embodiment, and FIG. 9 is a result of measuring surface roughness of an insulating layer according to a comparative example.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical idea of the present invention is not limited to some of the described embodiments, but may be implemented in a variety of different forms, and if it is within the scope of the technical idea of the present invention, one or more of the components among the embodiments can be selectively implemented. can be used by combining and substituting.
또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention, unless explicitly specifically defined and described, can be generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. It can be interpreted as meaning, and commonly used terms, such as terms defined in a dictionary, can be interpreted in consideration of contextual meanings of related technologies.
또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.Also, terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.In this specification, the singular form may also include the plural form unless otherwise specified in the phrase, and when described as "at least one (or more than one) of A and (and) B and C", A, B, and C are combined. may include one or more of all possible combinations.
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다.Also, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used to describe components of an embodiment of the present invention.
이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.These terms are only used to distinguish the component from other components, and the term is not limited to the nature, order, or order of the corresponding component.
그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성 요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속' 되는 경우도 포함할 수 있다.In addition, when a component is described as being 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected to, combined with, or connected to the other component, but also with the component. It may also include the case of being 'connected', 'combined', or 'connected' due to another component between the other components.
또한, 각 구성 요소의 "상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한, "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when it is described as being formed or disposed on the "top (above) or bottom (bottom)" of each component, the top (top) or bottom (bottom) is not only a case where two components are in direct contact with each other, but also one A case in which another component above is formed or disposed between two components is also included. In addition, when expressed as "up (up) or down (down)", it may include the meaning of not only an upward direction but also a downward direction based on one component.
도 1은 열전소자의 단면도이고, 도 2는 열전소자의 사시도이다. 도 3은 실링부재를 포함하는 열전소자의 사시도이고, 도 4는 실링부재를 포함하는 열전소자의 분해사시도이다.1 is a cross-sectional view of a thermoelectric element, and FIG. 2 is a perspective view of the thermoelectric element. 3 is a perspective view of a thermoelectric element including a sealing member, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the thermoelectric element including a sealing member.
도 1 내지 2를 참조하면, 열전소자(100)는 하부 기판(110), 하부 전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140), 상부 전극(150) 및 상부 기판(160)을 포함한다.1 and 2, the
하부 전극(120)은 하부 기판(110)과 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)의 하부 바닥면 사이에 배치되고, 상부 전극(150)은 상부 기판(160)과 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)의 상부 바닥면 사이에 배치된다. 이에 따라, 복수의 P형 열전 레그(130) 및 복수의 N형 열전 레그(140)는 하부 전극(120) 및 상부 전극(150)에 의하여 전기적으로 연결된다. 하부 전극(120)과 상부 전극(150) 사이에 배치되며, 전기적으로 연결되는 한 쌍의 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 단위 셀을 형성할 수 있다. The
예를 들어, 리드선(181, 182)을 통하여 하부 전극(120) 및 상부 전극(150)에 전압을 인가하면, 펠티에 효과로 인하여 P형 열전 레그(130)로부터 N형 열전 레그(140)로 전류가 흐르는 기판은 열을 흡수하여 냉각부로 작용하고, N형 열전 레그(140)로부터 P형 열전 레그(130)로 전류가 흐르는 기판은 가열되어 발열부로 작용할 수 있다. 또는, 하부전극(120) 및 상부전극(150) 간 온도 차를 가해주면, 제벡 효과로 인하여 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140) 내 전하가 이동하며, 전기가 발생할 수도 있다.For example, when a voltage is applied to the
여기서, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 비스무스(Bi) 및 텔루륨(Te)를 주원료로 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 열전 레그일 수 있다. P형 열전 레그(130)는 안티몬(Sb), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga), 텔루륨(Te), 비스무스(Bi) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 열전 레그일 수 있다. 예를 들어, P형 열전 레그(130)는 전체 중량 100wt%에 대하여 주원료물질인 Bi-Sb-Te를 99 내지 99.999wt%로 포함하고, 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 0.001 내지 1wt%로 포함할 수 있다. N형 열전 레그(140)는 셀레늄(Se), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga), 텔루륨(Te), 비스무스(Bi) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 열전 레그일 수 있다. 예를 들어, N형 열전 레그(140)는 전체 중량 100wt%에 대하여 주원료물질인 Bi-Se-Te를 99 내지 99.999wt%로 포함하고, 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 0.001 내지 1wt%로 포함할 수 있다.Here, the P-type
P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 벌크형 또는 적층형으로 형성될 수 있다. 일반적으로 벌크형 P형 열전 레그(130) 또는 벌크형 N형 열전 레그(140)는 열전 소재를 열처리하여 잉곳(ingot)을 제조하고, 잉곳을 분쇄하고 체거름하여 열전 레그용 분말을 획득한 후, 이를 소결하고, 소결체를 커팅하는 과정을 통하여 얻어질 수 있다. 이때, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 다결정 열전 레그일 수 있다. 다결정 열전 레그를 위하여, 열전 레그용 분말을 소결할 때, 100MPa 내지 200MPa로 압축할 수 있다. 예를 들어, P형 열전 레그(130)의 소결 시 열전 레그용 분말을 100 내지 150MPa, 바람직하게는 110 내지 140MPa, 더욱 바람직하게는 120 내지 130MPa로 소결할 수 있다. 그리고, N형 열전 레그(130)의 소결 시 열전 레그용 분말을 150 내지 200MPa, 바람직하게는 160 내지 195MPa, 더욱 바람직하게는 170 내지 190MPa로 소결할 수 있다. 이와 같이, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 다결정 열전 레그인 경우, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)의 강도가 높아질 수 있다. 적층형 P형 열전 레그(130) 또는 적층형 N형 열전 레그(140)는 시트 형상의 기재 상에 열전 소재를 포함하는 페이스트를 도포하여 단위 부재를 형성한 후, 단위 부재를 적층하고 커팅하는 과정을 통하여 얻어질 수 있다.The P-type
이때, 한 쌍의 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 동일한 형상 및 체적을 가지거나, 서로 다른 형상 및 체적을 가질 수 있다. 예를 들어, P형 열전 레그(130)와 N형 열전 레그(140)의 전기 전도 특성이 상이하므로, N형 열전 레그(140)의 높이 또는 단면적을 P형 열전 레그(130)의 높이 또는 단면적과 다르게 형성할 수도 있다. In this case, the pair of P-type
이때, P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)는 원통 형상, 다각 기둥 형상, 타원형 기둥 형상 등을 가질 수 있다. In this case, the P-type
또는, P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)는 적층형 구조를 가질 수도 있다. 예를 들어, P형 열전 레그 또는 N형 열전 레그는 시트 형상의 기재에 반도체 물질이 도포된 복수의 구조물을 적층한 후, 이를 절단하는 방법으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 재료의 손실을 막고 전기 전도 특성을 향상시킬 수 있다. 각 구조물은 개구 패턴을 가지는 전도성층을 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 구조물 간의 접착력을 높이고, 열전도도를 낮추며, 전기전도도를 높일 수 있다. Alternatively, the P-type
또는, P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)는 하나의 열전 레그 내에서 단면적이 상이하도록 형성될 수도 있다. 예를 들어, 하나의 열전 레그 내에서 전극을 향하도록 배치되는 양 단부의 단면적이 양 단부 사이의 단면적보다 크게 형성될 수도 있다. 이에 따르면, 양 단부 간의 온도차를 크게 형성할 수 있으므로, 열전효율이 높아질 수 있다. Alternatively, the P-type
본 발명의 한 실시예에 따른 열전 소자의 성능은 열전성능 지수(figure of merit, ZT)로 나타낼 수 있다. 열전성능 지수(ZT)는 수학식 1과 같이 나타낼 수 있다. Performance of the thermoelectric element according to an embodiment of the present invention may be represented by a figure of merit (ZT). The thermoelectric figure of merit (ZT) can be expressed as in Equation 1.
여기서, α는 제벡계수[V/K]이고, σ는 전기 전도도[S/m]이며, α2σ는 파워 인자(Power Factor, [W/mK2])이다. 그리고, T는 온도이고, k는 열전도도[W/mK]이다. k는 a·cp·ρ로 나타낼 수 있으며, a는 열확산도[cm2/S]이고, cp 는 비열[J/gK]이며, ρ는 밀도[g/cm3]이다.Here, α is the Seebeck coefficient [V/K], σ is the electrical conductivity [S/m], and α 2 σ is the power factor (W/mK 2 ). And, T is the temperature and k is the thermal conductivity [W/mK]. k can be expressed as a·cp·ρ, where a is the thermal diffusivity [cm 2 /S], cp is the specific heat [J/gK], and ρ is the density [g/cm 3 ].
열전 소자의 열전성능 지수를 얻기 위하여, Z미터를 이용하여 Z 값(V/K)을 측정하며, 측정한 Z값을 이용하여 열전성능 지수(ZT)를 계산할 수 있다. In order to obtain the thermoelectric figure of merit of the thermoelectric element, a Z value (V/K) may be measured using a Z meter, and the thermoelectric figure of merit (ZT) may be calculated using the measured Z value.
여기서, 하부 기판(110)과 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140) 사이에 배치되는 하부 전극(120), 그리고 상부 기판(160)과 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140) 사이에 배치되는 상부 전극(150)은 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 및 니켈(Ni) 중 적어도 하나를 포함하며, 0.01mm 내지 0.3mm의 두께를 가질 수 있다. 하부 전극(120) 또는 상부 전극(150)의 두께가 0.01mm 미만인 경우, 전극으로서 기능이 떨어지게 되어 전기 전도 성능이 낮아질 수 있으며, 0.3mm를 초과하는 경우 저항의 증가로 인하여 전도 효율이 낮아질 수 있다.Here, the
그리고, 상호 대향하는 하부 기판(110)과 상부 기판(160)은 금속 기판일 수 있으며, 그 두께는 0.1mm~1.5mm일 수 있다. 금속 기판의 두께가 0.1mm 미만이거나, 1.5mm를 초과하는 경우, 방열 특성 또는 열전도율이 지나치게 높아질 수 있으므로, 열전 소자의 신뢰성이 저하될 수 있다. 또한, 하부 기판(110)과 상부 기판(160)이 금속 기판인 경우, 하부 기판(110)과 하부 전극(120) 사이 및 상부 기판(160)과 상부 전극(150) 사이에는 각각 절연층(170)이 더 형성될 수 있다. 절연층(170)은 1~20W/mK의 열전도도를 가지는 소재를 포함할 수 있다. Also, the
이때, 하부 기판(110)과 상부 기판(160)의 크기는 다르게 형성될 수도 있다. 예를 들어, 하부 기판(110)과 상부 기판(160) 중 하나의 체적, 두께 또는 면적은 다른 하나의 체적, 두께 또는 면적보다 크게 형성될 수 있다. 이에 따라, 열전 소자의 흡열 성능 또는 방열 성능을 높일 수 있다. 바람직하게는, 하부기판(110)의 체적, 두께 또는 면적은 상부기판(160)의 체적, 두께 또는 면적 중 적어도 하나 보다 더 크게 형성될 수 있다. 이때, 하부기판(110)은 제벡 효과를 위해 고온영역에 배치되는 경우, 펠티에 효과를 위해 발열영역으로 적용되는 경우 또는 후술할 열전모듈의 외부환경으로부터 보호를 위한 실링부재가 하부기판(110) 상에 배치되는 경우에 상부기판(160) 보다 체적, 두께 또는 면적 중 적어도 하나를 더 크게 할 수 있다. 이때, 하부기판(110)의 면적은 상부기판(160)의 면적대비 1.2 내지 5배의 범위로 형성할 수 있다. 하부기판(110)의 면적이 상부기판(160)에 비해 1.2배 미만으로 형성되는 경우, 열전달 효율 향상에 미치는 영향은 높지 않으며, 5배를 초과하는 경우에는 오히려 열전달 효율이 현저하게 떨어지며, 열전모듈의 기본 형상을 유지하기 어려울 수 있다. At this time, the size of the
또한, 하부 기판(110)과 상부 기판(160) 중 적어도 하나의 표면에는 방열 패턴, 예를 들어 요철 패턴이 형성될 수도 있다. 이에 따라, 열전 소자의 방열 성능을 높일 수 있다. 요철 패턴이 P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)와 접촉하는 면에 형성되는 경우, 열전 레그와 기판 간의 접합 특성도 향상될 수 있다. 열전소자(100)는 하부기판(110), 하부전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140), 상부전극(150) 및 상부기판(160)을 포함한다.In addition, a heat dissipation pattern, for example, a concavo-convex pattern, may be formed on a surface of at least one of the
도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 하부기판(110)과 상부기판(160) 사이에는 실링부재(190)가 더 배치될 수도 있다. 실링부재는 하부기판(110)과 상부기판(160) 사이에서 하부전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140) 및 상부전극(150)의 측면에 배치될 수 있다. 이에 따라, 하부전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140) 및 상부전극(150)은 외부의 습기, 열, 오염 등으로부터 실링될 수 있다. 여기서, 실링부재(190)는, 복수의 하부전극(120)의 최외곽, 복수의 P형 열전 레그(130) 및 복수의 N형 열전 레그(140)의 최외곽 및 복수의 상부전극(150)의 최외곽의 측면으로부터 소정 거리 이격되어 배치되는 실링 케이스(192), 실링 케이스(192)와 하부 기판(110) 사이에 배치되는 실링재(194) 및 실링 케이스(192)와 상부 기판(160) 사이에 배치되는 실링재(196)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 실링 케이스(192)는 실링재(194, 196)를 매개로 하여 하부 기판(110) 및 상부 기판(160)과 접촉할 수 있다. 이에 따라, 실링 케이스(192)가 하부 기판(110) 및 상부 기판(160)과 직접 접촉할 경우 실링 케이스(192)를 통해 열전도가 일어나게 되고, 결과적으로 하부 기판(110)과 상부 기판(160) 간의 온도 차가 낮아지는 문제를 방지할 수 있다. 여기서, 실링재(194, 196)는 에폭시 수지 및 실리콘 수지 중 적어도 하나를 포함하거나, 에폭시 수지 및 실리콘 수지 중 적어도 하나가 양면에 도포된 테이프를 포함할 수 있다. 실링재(194, 194)는 실링 케이스(192)와 하부 기판(110) 사이 및 실링 케이스(192)와 상부 기판(160) 사이를 기밀하는 역할을 하며, 하부전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140) 및 상부전극(150)의 실링 효과를 높일 수 있고, 마감재, 마감층, 방수재, 방수층 등과 혼용될 수 있다. 여기서, 실링 케이스(192)와 하부 기판(110) 사이를 실링하는 실링재(194)는 하부 기판(110)의 상면에 배치되고, 실링케이스(192)와 상부 기판(160) 사이를 실링하는 실링재(196)는 상부기판(160)의 측면에 배치될 수 있다. 이를 위하여, 하부 기판(110)의 면적은 상부 기판(160)의 면적보다 클 수 있다. 한편, 실링 케이스(192)에는 전극에 연결된 리드선(180, 182)를 인출하기 위한 가이드 홈(G)이 형성될 수 있다. 이를 위하여, 실링 케이스(192)는 플라스틱 등으로 이루어진 사출 성형물일 수 있으며, 실링 커버와 혼용될 수 있다. 다만, 실링부재에 관한 이상의 설명은 예시에 지나지 않으며, 실링부재는 다양한 형태로 변형될 수 있다. 도시되지 않았으나, 실링부재를 둘러싸도록 단열재가 더 포함될 수도 있다. 또는 실링부재는 단열 성분을 포함할 수도 있다.As shown in FIGS. 3 and 4 , a sealing
한편, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 도 1(a) 또는 도 1(b)에서 도시하는 구조를 가질 수 있다. 도 1(a)를 참조하면, 열전 레그(130, 140)는 열전 소재층(132, 142), 열전 소재층(132, 142)의 한 면 상에 적층되는 제1 도금층(134-1, 144-1), 및 열전 소재층(132, 142)의 한 면과 대향하여 배치되는 다른 면에 적층되는 제2 도금층(134-2, 144-2)을 포함할 수 있다. 또는, 도 1(b)를 참조하면, 열전 레그(130, 140)는 열전 소재층(132, 142), 열전 소재층(132, 142)의 한 면 상에 적층되는 제1 도금층(134-1, 144-1), 열전 소재층(132, 142)의 한 면과 대향하여 배치되는 다른 면에 적층되는 제2 도금층(134-2, 144-2), 열전 소재층(132, 142)과 제1 도금층(134-1, 144-1) 사이 및 열전 소재층(132, 142)과 제2 도금층(134-2, 144-2) 사이에 각각 배치되는 제1 버퍼층(136-1, 146-1) 및 제2 버퍼층(136-2, 146-2)을 포함할 수 있다. 또는, 열전 레그(130, 140)는 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2) 각각과 하부 기판(110) 및 상부 기판(160) 각각 사이에 적층되는 금속층을 더 포함할 수도 있다.Meanwhile, the P-type
여기서, 열전 소재층(132, 142)은 반도체 재료인 비스무스(Bi) 및 텔루륨(Te)을 포함할 수 있다. 열전 소재층(132, 142)은 전술한 P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)와 동일한 소재 또는 형상을 가질 수 있다. 열전 소재층(132, 142)이 다결정인 경우, 열전소재층(132, 142), 제1 버퍼층(136-1, 146-1) 및 제1 도금층(134-1, 144-1)의 접합력 및 열전소재층(132, 142), 제2 버퍼층(136-2, 146-2) 및 제2 도금층(134-2, 144-2) 간의 접합력이 높아질 수 있다. 이에 따라, 진동이 발생하는 애플리케이션, 예를 들어 차량 등에 열전소자(100)가 적용되더라도 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2)이 P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)로부터 이탈되어 탄화되는 문제를 방지할 수 있으며, 열전소자(100)의 내구성 및 신뢰성을 높일 수 있다.Here, the thermoelectric material layers 132 and 142 may include semiconductor materials such as bismuth (Bi) and tellurium (Te). The thermoelectric material layers 132 and 142 may have the same material or shape as the P-type
그리고, 금속층은 구리(Cu), 구리 합금, 알루미늄(Al) 및 알루미늄 합금으로부터 선택될 수 있으며, 0.1 내지 0.5mm, 바람직하게는 0.2 내지 0.3mm의 두께를 가질 수 있다.The metal layer may be selected from copper (Cu), copper alloys, aluminum (Al), and aluminum alloys, and may have a thickness of 0.1 to 0.5 mm, preferably 0.2 to 0.3 mm.
다음으로, 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2)은 각각 Ni, Sn, Ti, Fe, Sb, Cr 및 Mo 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 1 내지 20㎛, 바람직하게는 1 내지 10㎛의 두께를 가질 수 있다. 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2)은 열전 소재층(132, 142) 내 반도체 재료인 Bi 또는 Te와 금속층 간의 반응을 막으므로, 열전 소자의 성능 저하를 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 금속층의 산화를 방지할 수 있다. Next, the first plating layers 134-1 and 144-1 and the second plating layers 134-2 and 144-2 may include at least one of Ni, Sn, Ti, Fe, Sb, Cr, and Mo, respectively. and may have a thickness of 1 to 20 μm, preferably 1 to 10 μm. Since the first plating layers 134-1 and 144-1 and the second plating layers 134-2 and 144-2 prevent a reaction between the semiconductor material Bi or Te in the
이때, 열전 소재층(132, 142)과 제1 도금층(134-1, 144-1) 사이 및 열전 소재층(132, 142)과 제2 도금층(134-2, 144-2) 사이에는 제1 버퍼층(136-1, 146-1) 및 제2 버퍼층(136-2, 146-2)이 배치될 수 있다. 이때, 제1 버퍼층(136-1, 146-1) 및 제2 버퍼층(136-2, 146-2)은 Te를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 버퍼층(136-1, 146)-1 및 제2 버퍼층(136-2, 146-2)은 Ni-Te, Sn-Te, Ti-Te, Fe-Te, Sb-Te, Cr-Te 및 Mo-Te 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 열전 소재층(132, 142)과 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2) 사이에 Te를 포함하는 제1 버퍼층(136-1, 146-1) 및 제2 버퍼층(136-2, 146-2)이 배치되면, 열전 소재층(132, 142) 내 Te가 제1 도금층(134-1, 144-1) 및 제2 도금층(134-2, 144-2)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, Bi 리치 영역으로 인하여 열전소재층 내 전기 저항이 증가하는 문제를 방지할 수 있다.At this time, between the thermoelectric material layers 132 and 142 and the first plating layers 134-1 and 144-1 and between the thermoelectric material layers 132 and 142 and the second plating layers 134-2 and 144-2, the first Buffer layers 136-1 and 146-1 and second buffer layers 136-2 and 146-2 may be disposed. In this case, the first buffer layers 136-1 and 146-1 and the second buffer layers 136-2 and 146-2 may include Te. For example, the first buffer layers 136-1 and 146-1 and the second buffer layers 136-2 and 146-2 may include Ni-Te, Sn-Te, Ti-Te, Fe-Te, Sb-Te, It may include at least one of Cr-Te and Mo-Te. According to an embodiment of the present invention, the first plating layer including Te is between the thermoelectric material layers 132 and 142, the first plating layers 134-1 and 144-1, and the second plating layers 134-2 and 144-2. When the buffer layers 136-1 and 146-1 and the second buffer layers 136-2 and 146-2 are disposed, Te in the thermoelectric material layers 132 and 142 is transferred to the first plating layer 134-1 and 144-1. and diffusion into the second plating layers 134-2 and 144-2. Accordingly, it is possible to prevent an increase in electrical resistance in the thermoelectric material layer due to the Bi-rich region.
이상에서, 하부 기판(110), 하부 전극(120), 상부 전극(150) 및 상부 기판(160)이라는 용어를 사용하고 있으나, 이는 이해의 용이 및 설명의 편의를 위하여 임의로 상부 및 하부로 지칭한 것일 뿐이며, 하부 기판(110) 및 하부 전극(120)이 상부에 배치되고, 상부 전극(150) 및 상부 기판(160)이 하부에 배치되도록 위치가 역전될 수도 있다.In the above, the terms
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 열전소자의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 열전소자의 단면도이며, 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 열전소자의 단면도이다. 도 1 내지 4에서 설명한 내용과 동일한 내용에 대해서는 중복된 설명을 생략한다.5 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to one embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a thermoelectric element according to another embodiment of the present invention. am. Redundant descriptions of the same contents as those described in FIGS. 1 to 4 will be omitted.
도 5 내지 도 7를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 열전소자(300)는 제1 기판(310), 제1 기판(310) 상에 배치된 제1 절연층(320), 제1 절연층(320) 상에 배치된 제2 절연층(330), 제2 절연층(330) 상에 배치된 복수의 제1 전극(340), 복수의 제1 전극(340) 상에 배치된 복수의 P형 열전 레그(350) 및 복수의 N형 열전 레그(355), 복수의 P형 열전 레그(350) 및 복수의 N형 열전 레그(355) 상에 배치된 복수의 제2 전극(360), 복수의 제2 전극(360) 상에 배치된 제3 절연층(370) 및 제3 절연층(370) 상에 배치된 제2 기판(380)을 포함한다. 도시되지 않았으나, 제1 기판(310) 또는 제2 기판(380)에는 히트싱크가 더 배치될 수도 있다. 도시되지 않았으나, 제1 기판(310)과 제2 기판(380) 사이에는 실링부재가 더 배치될 수 있다. 도시되지 않았으나, 제1 전극(340) 또는 제2 전극(360)에는 전원이 연결되며, 와이어가 절연층 및 기판을 관통하여 인출되거나, 기판 및 절연층 상에서 측면으로 인출될 수 있다.5 to 7, the
여기서, 제1 전극(340), P형 열전 레그(350), N형 열전 레그(360), 제2 전극(370)은 각각 도 1 내지 2에서 설명한 상부전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140) 및 하부전극(150)에 대응할 수 있으며, 도 1 내지 2에서 설명한 내용이 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.Here, the
여기서, 제1 기판(310) 및 제2 기판(380) 중 적어도 하나는 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리 및 구리 합금 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다. 제1 기판(310) 및 제2 기판(380)은 이종 소재로 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 제1 기판(310) 및 제2 기판(320) 중 내전압 성능이 더 요구되는 기판은 알루미늄 기판으로 이루어지고, 열전도 성능이 더 요구되는 기판은 구리 기판으로 이루어질 수도 있다.Here, at least one of the
본 발명의 실시예에 따른 내전압 성능은 AC 2.5kV의 전압 및 1mA의 전류 하에서 10초 동안 절연 파괴 없이 유지되는 특성을 의미할 수 있다. 본 명세서에서, 내전압 성능은 기판 상에 절연층을 배치한 후 기판에 한 단자를 연결하고, 절연층의 9개의 포인트에 대하여 각각 다른 단자를 연결하여 AC 2.5kV의 전압 및 1mA의 전류 하에서 10초 동안 절연 파괴 없이 유지되는지를 테스트하는 방법으로 측정되었다.The withstand voltage performance according to an embodiment of the present invention may refer to characteristics that are maintained without dielectric breakdown for 10 seconds under a voltage of AC 2.5 kV and a current of 1 mA. In this specification, the withstand voltage performance is measured by placing an insulating layer on the board, connecting one terminal to the board, and connecting different terminals to 9 points of the insulating layer for 10 seconds under a voltage of AC 2.5 kV and a current of 1 mA. It was measured as a method of testing whether it is maintained without dielectric breakdown during
한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 기판(310)과 제1 전극(340) 사이에는 2층의 절연층이 배치될 수 있다. 즉, 제1 기판(310) 상에는 제1 절연층(320)이 배치되고, 제1 절연층(320) 상에는 제2 절연층(330)이 배치되며, 제2 절연층(330) 상에는 제1 전극(340)이 배치될 수 있다. 이때, 제1 절연층(320)의 한 면은 제1 기판(310)과 직접 접촉하고, 제1 절연층(320)의 다른 면은 제2 절연층(330)과 직접 접촉할 수 있다. 그리고, 제2 절연층(330)은 제1 전극(340)과 직접 접촉할 수도 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present invention, two insulating layers may be disposed between the
여기서, 제1 절연층(320)과 제2 절연층(330)은 서로 상이한 조성 및 탄성을 가질 수 있다. 즉, 제1 절연층(320)은 절연 성능 및 열전도 성능을 가지는 조성으로 이루어지고, 제2 절연층(330)은 절연 성능 및 열전도 성능과 함께 접착 성능 및 열충격 완화 성능을 가지는 조성으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 절연층(320) 및 제2 절연층(330)이 모두 절연 성능 및 열전도 성능을 가지되, 제1 절연층(320)의 내전압 성능은 제2 절연층(330)의 내전압 성능보다 높고, 제2 절연층(330)의 열전도 성능은 제1 절연층(320)의 열전도 성능보다 높을 수 있다. 여기서, 내전압 성능이 상대적으로 높다는 것은 AC 2.5kV의 전압 및 1mA의 전류 하에서 절연 파괴 없이 상대적으로 긴 시간 동안 유지되는 것을 의미할 수 있다. Here, the first insulating
이를 위하여, 제1 절연층(320)은 실리콘과 알루미늄을 포함하는 복합체(composite)를 포함할 수 있다. 여기서, 복합체는 실리콘과 알루미늄을 포함하는 산화물, 탄화물 및 질화물 중 적어도 하나일 수 있다. 예를 들어, 복합체는 Al-Si 결합, Al-O-Si 결합, Si-O 결합, Al-Si-O 결합 및 Al-O 결합 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이와 같이, Al-Si 결합, Al-O-Si 결합, Si-O 결합, Al-Si-O 결합 및 Al-O 결합 중 적어도 하나를 포함하는 복합체는 절연 성능이 우수하며, 이에 따라 높은 내전압 성능을 얻을 수 있다. 또는, 복합체는 실리콘 및 알루미늄과 함께 티타늄, 지르코늄, 붕소, 아연 등을 더 포함하는 산화물, 탄화물, 질화물일 수도 있다. 이를 위하여, 복합체는 무기바인더 및 유무기 하이브리드 바인더 중 적어도 하나와 알루미늄을 혼합한 후 열처리하는 과정을 통하여 얻어질 수 있다. 무기바인더는, 예를 들어 실리카(SiO2), 금속알콕사이드, 산화붕소(B2O3) 및 산화아연(ZnO2) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 무기바인더는 무기입자이되, 물에 닿으면 졸 또는 겔화되어 바인딩의 역할을 할 수 있다. 이때, 실리카(SiO2), 금속알콕사이드 및 산화붕소(B2O3) 중 적어도 하나는 알루미늄 간 밀착력 또는 제1 기판(310)과의 밀착력을 높이는 역할을 하며, 산화아연(ZnO2)은 제1 절연층(320)의 강도를 높이고, 열전도율을 높이는 역할을 할 수 있다.To this end, the first insulating
여기서, 복합체는 제1 절연층(320) 전체의 80wt% 이상, 바람직하게는 85wt% 이상, 더욱 바람직하게는 90wt%이상으로 포함될 수 있다. Here, the composite may be included in an amount of 80 wt% or more, preferably 85 wt% or more, and more preferably 90 wt% or more of the total amount of the first insulating
이때, 제1 절연층(320)에는 0.1㎛ 이상의 표면 거칠기(Ra)가 형성될 수 있다. 표면 거칠기는 복합체를 이루는 입자가 제1 절연층(320)의 표면으로부터 돌출되어 형성될 수 있으며, 표면거칠기 측정기를 이용하여 측정될 수 있다. 표면거칠기 측정기는 탐침을 이용하여 단면 곡선을 측정하며, 단면 곡선의 산봉우리선, 골바닥선, 평균선 및 기준길이를 이용하여 표면거칠기를 산출할 수 있다. 본 명세서에서, 표면거칠기는 중심선 평균 산출법에 의한 산술평균 거칠기(Ra)를 의미할 수 있다. 산술평균 거칠기(Ra)는 아래 수학식 2를 통하여 얻어질 수 있다. At this time, a surface roughness Ra of 0.1 μm or more may be formed on the first insulating
즉, 표면거칠기 측정기의 탐침을 얻은 단면 곡선을 기준길이 L만큼 뽑아내어 평균선 방향을 x축으로 하고, 높이 방향을 y축으로 하여 함수(f(x))로 표현하였을 때, 수학식 2에 의하여 구해지는 값을 ㎛미터로 나타낼 수 있다.That is, when the cross-sectional curve obtained by the probe of the surface roughness measuring instrument is extracted by the reference length L and expressed as a function (f (x)) with the average line direction as the x-axis and the height direction as the y-axis, by Equation 2 The value obtained can be expressed in μm meters.
이와 같이, 제1 절연층(320)의 표면 거칠기(Ra)가 0.1㎛ 이상인 경우, 제2 절연층(330)과의 접촉 면적이 넓어지게 되며, 이에 따라 제2 절연층(330)과의 접합 강도가 높아질 수 있다. 특히, 후술하는 바와 같이, 제2 절연층(330)이 수지층으로 이루어진 경우, 제1 절연층(320)의 표면 거칠기에 의하여 형성된 홈 사이에 제2 절연층(330)의 수지층이 스며들기 쉬우므로, 제1 절연층(320)과 제2 절연층(330) 사이의 접합 강도가 더욱 높아질 수 있다.As such, when the surface roughness (Ra) of the first insulating
이때, 제1 절연층(320)은 습식 공정을 통하여 제1 기판(310) 상에 형성될 수 있다. 여기서, 습식 공정은 스프레이 코팅 공정, 딥 코팅 공정, 스크린 프린팅 공정 등일 수 있다. 이에 따르면, 제1 절연층(320)의 두께를 제어하기 용이하며, 다양한 조성의 복합체를 적용하는 것이 가능하다.In this case, the first insulating
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 절연층(320)이 실리콘 및 알루미늄을 포함하는 복합체로 이루어지며, 습식 공정에 형성되기 때문에 표면거칠기가 0.1㎛이상으로 형성될 수 있다 도 8은 알루미늄 기판 상에 본 발명의 실시예에 따라 제1 절연층(320)을 형성한 3개의 샘플에 대한 표면 거칠기를 측정한 그래프이고, 도 9는 알루미늄 기판을 아노다이징한 3개의 샘플에 대한 표면 거칠기를 측정한 그래프이다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 제 1 절연층의 표면 거칠기가 0.1㎛ 이상으로 형성될 수 있음을 알 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the first insulating
한편, 제2 절연층(330)은 에폭시 수지 및 무기충전재를 포함하는 에폭시 수지 조성물 및 PDMS(polydimethylsiloxane)를 포함하는 실리콘 수지 조성물 중 적어도 하나를 포함하는 수지층으로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 제2 절연층(330)은 제1 절연층(320)과 제1 전극(340) 간의 절연성, 접합력 및 열전도 성능을 향상시킬 수 있다.Meanwhile, the second insulating
여기서, 무기충전재는 수지층의 60 내지 80wt%로 포함될 수 있다. 무기충전재가 60wt%미만으로 포함되면, 열전도 효과가 낮을 수 있으며, 무기충전재가 80wt%를 초과하여 포함되면 무기충전재가 수지 내에 고르게 분산되기 어려우며, 수지층은 쉽게 깨질 수 있다.Here, the inorganic filler may be included in 60 to 80 wt% of the resin layer. If the inorganic filler is included in less than 60wt%, the heat conduction effect may be low, and if the inorganic filler is included in more than 80wt%, it is difficult to evenly disperse the inorganic filler in the resin, and the resin layer may be easily broken.
그리고, 에폭시 수지는 에폭시 화합물 및 경화제를 포함할 수 있다. 이때, 에폭시 화합물 10 부피비에 대하여 경화제 1 내지 10 부피비로 포함될 수 있다. 여기서, 에폭시 화합물은 결정성 에폭시 화합물, 비결정성 에폭시 화합물 및 실리콘 에폭시 화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 무기충전재는 산화알루미늄 및 질화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 무기충전재가 질화물을 포함하는 경우, 질화물은 무기충전재의 55 내지 95wt%로 포함될 수 있으며, 더 좋게는 60 내지 80wt% 일 수 있다. 질화물이 이러한 수치범위로 포함될 경우, 열전도도 및 접합 강도를 높일 수 있다. 여기서, 질화물은, 질화붕소 및 질화알루미늄 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.And, the epoxy resin may include an epoxy compound and a curing agent. In this case, the curing agent may be included in a volume ratio of 1 to 10 based on 10 volume ratio of the epoxy compound. Here, the epoxy compound may include at least one of a crystalline epoxy compound, an amorphous epoxy compound, and a silicone epoxy compound. The inorganic filler may include at least one of aluminum oxide and nitride. When the inorganic filler includes nitride, the nitride may be included in 55 to 95 wt% of the inorganic filler, and more preferably 60 to 80 wt%. When nitride is included in this numerical range, thermal conductivity and bonding strength can be increased. Here, the nitride may include at least one of boron nitride and aluminum nitride.
이때, 질화붕소 응집체의 입자크기 D50은 250 내지 350㎛이고, 산화알루미늄의 입자크기 D50은 10 내지 30㎛일 수 있다. 질화붕소 응집체의 입자크기 D50과 산화알루미늄의 입자크기 D50이 이러한 수치 범위를 만족할 경우, 질화붕소 응집체와 산화알루미늄이 수지층 내에 고르게 분산될 수 있으며, 이에 따라 수지층 전체적으로 고른 열전도 효과 및 접착 성능을 가질 수 있다.In this case, the particle size D50 of the boron nitride agglomerate may be 250 to 350 μm, and the particle size D50 of the aluminum oxide may be 10 to 30 μm. When the particle size D50 of the boron nitride agglomerate and the particle size D50 of the aluminum oxide satisfy these numerical ranges, the boron nitride agglomerate and the aluminum oxide can be evenly dispersed in the resin layer, thereby providing an even heat conduction effect and adhesive performance throughout the resin layer. can have
제2 절연층(330)이 PDMS(polydimethylsiloxane) 수지 및 산화알루미늄을 포함하는 수지 조성물인 경우, 제1 절연층(320) 내 실리콘의 함량(예를 들어, 중량비)은 제2 절연층(330) 내 실리콘의 함량보다 높게 포함되고, 제2 절연층(330) 내 알루미늄의 함량은 제1 절연층(320) 내 알루미늄의 함량보다 높게 포함될 수 있다. 이에 따르면, 제1 절연층(320) 내 실리콘이 내전압 성능 향상에 주로 기여하며, 제2 절연층(330) 내 산화알루미늄이 열전도 성능 향상에 주로 기여할 수 있다. 이에 따라, 제1 절연층(320) 및 제2 절연층(330)이 모두 절연 성능 및 열전도 성능을 가지되, 제1 절연층(320)의 내전압 성능은 제2 절연층(330)의 내전압 성능보다 높고, 제2 절연층(330)의 열전도 성능은 제1 절연층(320)의 열전도 성능보다 높을 수 있다.When the second insulating
한편, 제2 절연층(330)은 미경화 상태 또는 반경화 상태의 수지 조성물을 제1 절연층(320) 상에 도포한 후, 미리 정렬된 복수의 제1 전극(340)을 배치하고 가압하는 방식으로 형성될 수 있다. 이에 따르면, 제1 절연층(320)의 표면거칠기(Ra)에 의한 홈 내에 제2 절연층(330)을 이루는 수지 조성물이 스며들게 되어 제1 절연층(320)과 제2 절연층(330) 간의 접합 강도가 높아질 수 있다. 또한, 복수의 제1 전극(340)의 측면의 일부는 제2 절연층(330) 내에 매립될 수 있다. 이때, 제2 수지층(330) 내에 매립된 복수의 제1 전극(340)의 측면의 높이(H1)는 복수의 제1 전극(340)의 두께(H)의 0.1 내지 1.0배, 바람직하게는 0.2 내지 0.9배, 더 바람직하게는 0.3 내지 0.8배일 수 있다. 이와 같이, 복수의 제1 전극(340)의 측면의 일부가 제2 절연층(330) 내에 매립되면, 복수의 제1 전극(340)과 제2 절연층(330) 간의 접촉 면적이 넓어지게 되며, 이에 따라 복수의 제1 전극(340)과 제2 절연층(330) 간의 열전달 성능 및 접합 강도가 더욱 높아질 수 있다. 제2 절연층(330) 내에 매립된 복수의 제1 전극(340)의 측면의 높이(H1)가 복수의 제1 전극(340)의 두께(H)의 0.1배 미만일 경우, 복수의 제1 전극(340)과 제2 절연층(330) 간의 열전달 성능 및 접합 강도를 충분히 얻기 어려울 수 있고, 제2 절연층(330) 내에 매립된 복수의 제1 전극(340)의 측면의 높이(H1)가 복수의 제1 전극(340)의 두께(H)의 1.0배를 초과할 경우 제2 절연층(330)이 복수의 제1 전극(340) 상으로 올라올 수 있으며, 이에 따라 전기적으로 단락될 가능성이 있다. On the other hand, the second insulating
더 자세하게는, 복수의 제1 전극(340) 사이에서 제2 절연층(330)의 두께는 각각의 전극 측면에서 중심영역으로 갈수록 감소하여, 꼭지점이 원만한 'V'형상을 가질 수 있다. 따라서, 복수의 제1 전극(340) 사이의 제2 절연층(330)은 두께의 편차를 가지며, 복수의 제1 전극(340)의 측면과 직접 접촉하는 영역에서의 높이(T2)가 가장 높고, 중심영역에서의 높이(T3)는 복수의 제1 전극(340)의 측면과 직접 접촉하는 영역에서의 높이(T2)보다 낮을 수 있다. 즉, 복수의 제1 전극(340) 사이의 제2 절연층(330)의 중심영역 높이(T3)는 복수의 제1 전극(340) 사이의 제2 절연층(330) 내에서 가장 낮을 수 있다. 또한, 복수의 제1 전극(340) 아래의 제2 절연층(330)의 높이(T1)는 즉, 복수의 제1 전극(340) 사이의 제2 절연층(330)의 중심영역 높이(T3)보다 더 낮을 수 있다. More specifically, the thickness of the second insulating
한편, 제1 절연층(320) 및 제2 절연층(330)의 조성에 따라 제1 절연층(320) 및 제2 절연층(330)의 경도, 탄성 계수, 연신율(elongation) 및 영률(Young's modulus) 중 적어도 하나가 달라질 수 있으며, 이에 따라 내전압 성능, 열전도 성능, 접합 성능 및 열충격 완화 성능 등을 제어하는 것이 가능하다.Meanwhile, the hardness, elastic modulus, elongation, and Young's modulus of the first insulating
예를 들어, 제1 절연층(320) 전체에 대한 복합체의 중량비는 제2 절연층(330) 전체에 대한 무기충전재의 중량비보다 높을 수 있다. 전술한 바와 같이, 복합체는 실리콘과 알루미늄을 포함하는 복합체(composite), 더욱 구체적으로는 실리콘과 알루미늄을 포함하는 산화물, 탄화물 및 질화물 중 적어도 하나를 포함하는 복합체일 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(320) 전체에 대한 복합체의 중량비는 80wt%를 초과하고, 제2 절연층(320) 전체에 대한 무기충전재의 중량비는 60 내지 80wt%일 수 있다. 이와 같이, 제1 절연층(320)에 포함되는 복합체의 함량이 제2 절연층(330)에 포함되는 세라믹 입자의 함량보다 높은 경우, 제1 절연층(320)의 경도가 제2 절연층(330)의 경도보다 높을 수 있다. 이에 따라, 제1 절연층(320)은 높은 내전압 성능 및 높은 열전도 성능을 동시에 가질 수 있다.For example, the weight ratio of the composite to the entire first insulating
이에 따라, 제2 절연층(330)은 제1 절연층(320)보다 높은 탄성을 가질 수 있다. 이에 따라, 제2 절연층(330)은 제1 절연층(320)과 제1 전극(340) 사이의 접착 성능을 높일 수 있으며, 열전소자(300)의 구동 시 열충격을 완화할 수 있다. 이때, 탄성은 인장강도(tensile strength)로 나타낼 수 있다. 예를 들어, 제2 절연층(330)의 인장강도는 2 내지 5MPa, 바람직하게는 2.5 내지 4.5MPa, 더욱 바람직하게는 3 내지 4MPa일 수 있고, 제1 절연층(320)의 인장강도는 10MPa 내지 100Mpa, 바람직하게는 15MPa 내지 90MPa, 더욱 바람직하게는 20MPa 내지 80MPa일 수 있다. Accordingly, the second insulating
이때, 제1 절연층(320)의 두께는 20 내지 35㎛이고, 제2 절연층(330)의 두께는 20 내지 70㎛, 바람직하게는 30 내지 60㎛, 더욱 바람직하게는 35 내지 50㎛일 수 있다. 이때, 제2 절연층(330)의 두께는 제1 절연층(320)의 두께의 1배 내지 3.5배, 바람직하게는 1배 내지 3배, 더욱 바람직하게는 1배 내지 2배일 수 있다.At this time, the thickness of the first insulating
제1 절연층(320)의 두께 및 제2 절연층(330)의 두께가 각각 이러한 수치 범위를 만족시키는 경우, 내전압 성능, 열전도 성능, 접합 성능 및 열충격 완화 성능을 동시에 얻는 것이 가능하다. 특히, 제1 절연층(320)의 두께가 20㎛ 미만이면 높은 내전압 성능을 얻기 어려우며, 제2 절연층(330)의 열팽창에 의하여 깨지기 쉽고, 35㎛를 초과하면 열전도 성능이 낮아질 수 있다.When the thickness of the first insulating
한편, 제2 기판(380) 측에 배치되는 절연층(370)도 제1 기판(310) 측에 배치되는 절연층(320, 330)과 동일한 구조를 가질 수 있다. 즉, 제2 기판(380) 측에 배치되는 절연층(370)은 에폭시 수지 조성물 및 실리콘 수지 조성물 중 적어도 하나를 포함하는 수지층으로 이루어진 제3 절연층(372) 및 실리콘과 알루미늄을 포함하는 복합체로 이루어진 제4 절연층(374)을 포함할 수 있다. Meanwhile, the insulating
이때, 제4 절연층(374)은 제2 기판(380)과 직접 접촉하고, 제3 절연층(372)은 제4 절연층(374)과 제2 전극(360) 사이에 배치될 수 있다. 제3 절연층(372)에 관한 구체적인 설명은 제2 절연층(330)에 관한 설명과 동일하게 적용될 수 있으며, 제4 절연층(374)에 관한 구체적인 설명은 제1 절연층(320)에 관한 설명과 동일하게 적용될 수 있다.In this case, the fourth insulating
또는, 제3 절연층(372)은 에폭시 수지 조성물 및 실리콘 수지 조성물 중 적어도 하나를 포함하는 수지층으로 이루어지고, 제4 절연층(374)도 에폭시 수지 조성물 및 실리콘 수지 조성물 중 적어도 하나를 포함하는 수지층으로 이루어질 수도 있다. 이때, 제3 절연층(372)을 이루는 수지층과 제4 절연층(374)을 이루는 수지층은 동일한 조성일 수도 있고, 상이한 조성일 수도 있다. 여기서, 상이한 조성이라 함은 수지의 종류, 수지의 함량, 무기충전재의 종류 및 무기충전재의 함량 중 적어도 하나가 상이한 것을 의미할 수 있다. Alternatively, the third insulating
한편, 일반적으로 열전소자(300)의 저온부 측에 배치된 전극에 전원이 연결되므로, 고온부 측에 비하여 저온부 측에 더욱 높은 내전압 성능이 요구될 수 있다. 이에 반해, 열전소자(300)의 구동 시 열전소자(300)의 고온부 측은 고온, 예를 들어 약 180℃이상에 노출될 수 있으며, 전극, 절연층 및 기판의 서로 다른 열팽창 계수로 인하여 전극, 절연층 및 기판 간의 박리가 문제될 수 있다. 이에 따라, 열전소자(300)의 고온부 측은 저온부 측에 비하여 더욱 높은 열충격 완화 성능이 요구될 수 있다. 이에 따라, 고온부 측 절연층의 구조와 저온부 측 절연층의 구조를 다르게 할 수도 있다. On the other hand, since power is generally connected to the electrode disposed on the low-temperature side of the
이하, 제1 기판(310)이 열전소자(300)의 저온부 측에 배치되고, 제2 기판(380)이 열전소자(300)의 고온부 측에 배치되는 것을 가정하여 설명한다.Hereinafter, it is assumed that the
도 6을 참조하면, 제2 기판(380) 측 제4 절연층(374)의 두께는 제1 기판(310) 측 제1 절연층(320)의 두께보다 작고, 제2 기판(380) 측 제3 절연층(372)의 두께는 제1 기판(310) 측 제2 절연층(330)의 두께보다 클 수 있다. 또는, 도 7을 참조하면, 제1 기판(310)측의 절연층은 제1 절연층(320)과 제2 절연층(330)으로 이루어지되, 제2 기판(380) 측의 절연층(370)은 에폭시 수지 조성물 및 실리콘 수지 조성물 중 적어도 하나를 포함하는 수지층으로만 이루어질 수도 있다. Referring to FIG. 6 , the thickness of the fourth insulating
이에 따라, 고온부 측의 열충격 완화 성능을 높일 수 있으며, 고온부 측의 기판과 전극 간 열팽창 계수의 차로 인하여 발생할 수 있는 박리 가능성을 최소화할 수 있다.Accordingly, the thermal shock mitigation performance of the high-temperature portion may be improved, and the possibility of separation that may occur due to a difference in thermal expansion coefficient between the substrate and the electrode at the high-temperature portion may be minimized.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자는 발전용 장치, 냉각용 장치, 온열용 장치 등에 작용될 수 있다. 구체적으로는, 본 발명의 실시예에 따른 열전소자는 주로 광통신 모듈, 센서, 의료 기기, 측정 기기, 항공 우주 산업, 냉장고, 칠러(chiller), 자동차 통풍 시트, 컵 홀더, 세탁기, 건조기, 와인셀러, 정수기, 센서용 전원 공급 장치, 서모파일(thermopile) 등에 적용될 수 있다. The thermoelectric element according to the embodiment of the present invention may act on a device for power generation, a device for cooling, a device for heating, and the like. Specifically, the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention is mainly used in optical communication modules, sensors, medical devices, measuring devices, aerospace industry, refrigerators, chillers, automobile ventilation seats, cup holders, washing machines, dryers, and wine cellars. , a water purifier, a sensor power supply, a thermopile, and the like.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 의료 기기에 적용되는 예로, PCR(Polymerase Chain Reaction) 기기가 있다. PCR 기기는 DNA를 증폭하여 DNA의 염기 서열을 결정하기 위한 장비이며, 정밀한 온도 제어가 요구되고, 열 순환(thermal cycle)이 필요한 기기이다. 이를 위하여, 펠티어 기반의 열전소자가 적용될 수 있다. Here, as an example of applying the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention to a medical device, there is a polymerase chain reaction (PCR) device. A PCR device is a device for amplifying DNA to determine a nucleotide sequence of DNA, and requires precise temperature control and a thermal cycle. To this end, a Peltier-based thermoelectric element may be applied.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 의료 기기에 적용되는 다른 예로, 광 검출기가 있다. 여기서, 광 검출기는 적외선/자외선 검출기, CCD(Charge Coupled Device) 센서, X-ray 검출기, TTRS(Thermoelectric Thermal Reference Source) 등이 있다. 광 검출기의 냉각(cooling)을 위하여 펠티어 기반의 열전소자가 적용될 수 있다. 이에 따라, 광 검출기 내부의 온도 상승으로 인한 파장 변화, 출력 저하 및 해상력 저하 등을 방지할 수 있다. Another example of applying the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention to a medical device is an optical detector. Here, the photodetector includes an infrared/ultraviolet ray detector, a charge coupled device (CCD) sensor, an X-ray detector, a thermoelectric thermal reference source (TTRS), and the like. A Peltier-based thermoelectric element may be applied to cool the photodetector. Accordingly, it is possible to prevent a change in wavelength, a decrease in output, and a decrease in resolution due to an increase in temperature inside the photodetector.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 의료 기기에 적용되는 또 다른 예로, 면역 분석(immunoassay) 분야, 인비트로 진단(In vitro Diagnostics) 분야, 온도 제어 및 냉각 시스템(general temperature control and cooling systems), 물리 치료 분야, 액상 칠러 시스템, 혈액/플라즈마 온도 제어 분야 등이 있다. 이에 따라, 정밀한 온도 제어가 가능하다. As another example of application of the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention to medical devices, the field of immunoassay, the field of in vitro diagnostics, the field of temperature control and cooling (general temperature control and cooling systems), There are physical therapy fields, liquid chiller systems, and blood/plasma temperature control fields. Accordingly, precise temperature control is possible.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 의료 기기에 적용되는 또 다른 예로, 인공 심장이 있다. 이에 따라, 인공 심장으로 전원을 공급할 수 있다. Another example of applying the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention to a medical device is an artificial heart. Accordingly, power can be supplied to the artificial heart.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 항공 우주 산업에 적용되는 예로, 별 추적 시스템, 열 이미징 카메라, 적외선/자외선 검출기, CCD 센서, 허블 우주 망원경, TTRS 등이 있다. 이에 따라, 이미지 센서의 온도를 유지할 수 있다. As an example of application of the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention to the aerospace industry, there are a star tracking system, a thermal imaging camera, an infrared/ultraviolet ray detector, a CCD sensor, a Hubble Space Telescope, and a TTRS. Accordingly, the temperature of the image sensor may be maintained.
본 발명의 실시예에 따른 열전소자가 항공 우주 산업에 적용되는 다른 예로, 냉각 장치, 히터, 발전 장치 등이 있다. Another example of the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention applied to the aerospace industry includes a cooling device, a heater, and a power generating device.
이 외에도 본 발명의 실시예에 따른 열전소자는 기타 산업 분야에 발전, 냉각 및 온열을 위하여 적용될 수 있다.In addition to this, the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention can be applied to other industrial fields for power generation, cooling, and heating.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that it can be done.
Claims (13)
상기 제1 기판 상에 배치된 제1 절연층;
상기 제1 절연층 상에 배치된 제2 절연층;
상기 제2 절연층 상에 배치된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 배치된 열전 반도체;
상기 열전 반도체 상에 배치된 제2 전극;및
상기 제2 전극 상에 배치된 제2 기판을 포함하고,
상기 제2 절연층은 상기 제1 전극이 배치된 제1 영역과
상기 제1 전극이 배치되지 않고 상기 제1 기판을 향해 오목하게 형성된 제1 리세스를 포함하는 제2 영역을 갖고,
상기 제2 영역의 상기 제1 기판에서 상기 제2 기판을 향하는 방향의 최소 두께는
상기 제1 절연층의 최대 두께보다 큰 열전 소자.a first substrate;
a first insulating layer disposed on the first substrate;
a second insulating layer disposed on the first insulating layer;
a first electrode disposed on the second insulating layer;
a thermoelectric semiconductor disposed on the first electrode;
a second electrode disposed on the thermoelectric semiconductor; and
A second substrate disposed on the second electrode;
The second insulating layer includes a first region where the first electrode is disposed and
a second region including a first recess formed concavely toward the first substrate in which the first electrode is not disposed;
The minimum thickness in the direction from the first substrate to the second substrate of the second region is
A thermoelectric element greater than the maximum thickness of the first insulating layer.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 서로 상이한 물질을 포함하는 열전 소자.According to claim 1,
The first insulating layer and the second insulating layer include different materials from each other.
상기 제2 전극과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 제3 절연층을 더 포함하는 열전 소자.According to claim 1,
The thermoelectric element further comprises a third insulating layer disposed between the second electrode and the second substrate.
상기 제2 절연층은 상기 제1 영역에 형성된 제2 리세스를 포함하는 열전 소자.According to claim 1,
The second insulating layer includes a second recess formed in the first region.
상기 제3 절연층의 두께는 상기 제1 절연층의 두께보다 큰 열전 소자.According to claim 3,
A thickness of the third insulating layer is greater than a thickness of the first insulating layer.
상기 제3 절연층과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 제4 절연층을 포함하는 열전 소자.According to claim 3,
A thermoelectric element comprising a fourth insulating layer disposed between the third insulating layer and the second substrate.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 서로 상이한 탄성을 갖는 열전 소자.According to claim 1,
The first insulating layer and the second insulating layer have different elasticity from each other.
상기 제2 절연층의 두께는 상기 제1 절연층의 두께의 3.5배 이하인 열전 소자.According to claim 1,
A thickness of the second insulating layer is 3.5 times or less than a thickness of the first insulating layer.
상기 제1 절연층의 두께는 20 내지 35㎛인 열전 소자.According to claim 1,
The thermoelectric element has a thickness of the first insulating layer is 20 to 35㎛.
상기 제1 전극의 측면은 상기 제2 절연층과 접촉하는 제1 면을 포함하고,
상기 제1 면의 높이는 상기 제1 전극의 두께의 0.1배 내지 0.9배인 열전 소자.According to claim 1,
The side surface of the first electrode includes a first surface in contact with the second insulating layer,
The height of the first surface is 0.1 to 0.9 times the thickness of the first electrode.
상기 제1 기판을 기준으로 상기 제1 전극의 최고 높이는 상기 제2 절연층의 최고 높이보다 높은 열전 소자.According to claim 1,
The thermoelectric element of claim 1 , wherein a highest height of the first electrode is higher than a highest height of the second insulating layer with respect to the first substrate.
상기 제1 기판은 금속기판인 열전 소자.According to claim 1,
The first substrate is a thermoelectric element comprising a metal substrate.
상기 제1 기판 상에 배치된 제1 절연층;
상기 제1 절연층 상에 배치된 제2 절연층;
상기 제2 절연층 상에 배치된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 배치된 열전 반도체;및
상기 열전 반도체 상에 배치된 제2 기판을 포함하고,
상기 제2 절연층은 상기 제1 전극이 배치된 제1 영역과
상기 제1 전극이 배치되지 않고 상기 제1 기판을 향해 오목하게 형성된 리세스를 포함하는 제2 영역을 갖고,
상기 제2 영역의 상기 제1 기판에서 상기 제2 기판을 향하는 방향의 최소 두께는
상기 제1 영역의 최대 두께보다 큰 열전 소자.a first substrate;
a first insulating layer disposed on the first substrate;
a second insulating layer disposed on the first insulating layer;
a first electrode disposed on the second insulating layer;
a thermoelectric semiconductor disposed on the first electrode; and
A second substrate disposed on the thermoelectric semiconductor;
The second insulating layer includes a first region where the first electrode is disposed and
a second region including a recess formed concavely toward the first substrate in which the first electrode is not disposed;
The minimum thickness in the direction from the first substrate to the second substrate of the second region is
A thermoelectric element greater than the maximum thickness of the first region.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220048205A KR102527268B1 (en) | 2021-02-01 | 2022-04-19 | Thermo electric element |
KR1020230054118A KR20230065207A (en) | 2021-02-01 | 2023-04-25 | Thermo electric element |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210014059A KR102390171B1 (en) | 2019-06-18 | 2021-02-01 | Thermo electric element |
KR1020220048205A KR102527268B1 (en) | 2021-02-01 | 2022-04-19 | Thermo electric element |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210014059A Division KR102390171B1 (en) | 2019-06-18 | 2021-02-01 | Thermo electric element |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020230054118A Division KR20230065207A (en) | 2021-02-01 | 2023-04-25 | Thermo electric element |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20220054564A KR20220054564A (en) | 2022-05-03 |
KR102527268B1 true KR102527268B1 (en) | 2023-04-28 |
KR102527268B9 KR102527268B9 (en) | 2024-02-08 |
Family
ID=81591068
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020220048205A KR102527268B1 (en) | 2021-02-01 | 2022-04-19 | Thermo electric element |
KR1020230054118A KR20230065207A (en) | 2021-02-01 | 2023-04-25 | Thermo electric element |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020230054118A KR20230065207A (en) | 2021-02-01 | 2023-04-25 | Thermo electric element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (2) | KR102527268B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115666203B (en) | 2022-12-26 | 2023-06-16 | 山东大学 | Heat flow sensor |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005285981A (en) | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Aisin Seiki Co Ltd | Method for manufacturing thermoelectric module |
JP2010118475A (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Mitsumi Electric Co Ltd | Thermoelectric conversion module and thermoelectric conversion device |
US20160245556A1 (en) * | 2014-02-21 | 2016-08-25 | MAHLE Behr GmbH & Co. KG | Thermoelectric device, in particular thermoelectric generator or heat pump |
US20180261751A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-13 | Mahle International Gmbh | Method for producing a thermoelectric module |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06169108A (en) * | 1992-02-19 | 1994-06-14 | Nippon Inter Electronics Corp | Thermoelectric element |
KR102359057B1 (en) * | 2017-07-31 | 2022-02-07 | 엘지이노텍 주식회사 | Thermo electric element |
-
2022
- 2022-04-19 KR KR1020220048205A patent/KR102527268B1/en active IP Right Grant
-
2023
- 2023-04-25 KR KR1020230054118A patent/KR20230065207A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005285981A (en) | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Aisin Seiki Co Ltd | Method for manufacturing thermoelectric module |
JP2010118475A (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Mitsumi Electric Co Ltd | Thermoelectric conversion module and thermoelectric conversion device |
US20160245556A1 (en) * | 2014-02-21 | 2016-08-25 | MAHLE Behr GmbH & Co. KG | Thermoelectric device, in particular thermoelectric generator or heat pump |
US20180261751A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-13 | Mahle International Gmbh | Method for producing a thermoelectric module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230065207A (en) | 2023-05-11 |
KR102527268B9 (en) | 2024-02-08 |
KR20220054564A (en) | 2022-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102164983B1 (en) | Thermo electric element | |
KR20220019005A (en) | Thermo electric element | |
US20220069190A1 (en) | Thermoelectric device | |
KR20230065207A (en) | Thermo electric element | |
KR102618305B1 (en) | Thermo electric element | |
US20220320405A1 (en) | Thermoelectric device | |
KR102390171B1 (en) | Thermo electric element | |
KR102509339B1 (en) | Thermo electric element | |
KR102220946B1 (en) | Thermo electric element | |
US11723275B2 (en) | Thermoelectric module | |
CN110268536B (en) | thermoelectric element | |
KR102575215B1 (en) | Thermoelectric module | |
US11980098B2 (en) | Thermoelectric module | |
KR102624298B1 (en) | Thermo electric element | |
KR20220037668A (en) | Thermo electric element | |
CN114902436A (en) | Thermoelectric element | |
KR20200101712A (en) | Thermoelectric leg and thermoelectric element comprising the same | |
KR20210028492A (en) | Thermo electric module | |
KR20210028494A (en) | Thermo electric module | |
KR20200091573A (en) | Thermoelectric element | |
KR20210029521A (en) | Electric generator | |
KR20210028493A (en) | Thermo electric module | |
KR20210029522A (en) | Thermoelectric device and thermoelectric system comprising the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] |