KR102513063B1 - 코팅된 절삭 공구 - Google Patents

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산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
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Abstract

본 발명은 기재 및 코팅을 포함하는 코팅된 절삭 공구에 관한 것으로, 상기 코팅은 α-Al2O3 의 서브층과 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 의 서브층이 교대하는 것으로 이루어진 α-Al2O3-다층을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층은 적어도 5 개의 α-Al2O3 의 서브층들을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층의 총 두께는 1 ~ 15 ㎛ 이고, 상기 α-Al2O3-다층의 주기는 50 ~ 900 nm 이다. 상기 α-Al2O3-다층은 20°~ 140°의 θ-2θ 스캔에 대한 XRD 회절을 나타내고, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3), 1 1 6 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 6), 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는 I(0 0 12)/I(1 1 3) > 1, I(0 0 12)/I(1 1 6) > 1 및 I(0 0 12)/I(0 2 4) > 1 이다.

Description

코팅된 절삭 공구
본 발명은 코팅된 절삭 공구에 관한 것으로, 상기 코팅된 절삭 공구는 α-Al2O3 의 서브층과 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 의 서브층이 교대하는 것으로 이루어진 α-Al2O3-다층을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층은 적어도 5 개의 α-Al2O3 의 서브층들을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층의 총 두께는 1 ~ 15 ㎛ 이고, 상기 α-Al2O3-다층의 주기는 50 ~ 900 nm 이다.
금속 절삭 산업에서, 코팅된 절삭 공구는 종래 기술에 충분히 공지되어 있다. CVD 코팅된 절삭 공구 및 PVD 코팅된 절삭 공구는 2 개의 가장 우세한 유형의 코팅된 절삭 공구이다. 이러한 코팅의 이점은 코팅된 절삭 공구의 긴 공구 수명을 달성하는데 중요한 화학 및 연마 마모에 대한 높은 내성이다.
알루미나 층과 함께 TiCN 층을 포함하는 CVD 코팅은 예를 들어 강의 선삭에서 잘 수행되는 것으로 공지되어 있다. 알루미나의 다층은 예를 들어 TiCN 층과 TiAlOC 층 모두를 포함하는 결합층에 의해 분리된 알루미나의 서브층들을 개시하는 US 9,365,925 B2 로부터 공지되어 있다.
절삭 공구의 수명을 연장시킬 수 있고 그리고/또는 공지된 절삭 공구 코팅보다 더 높은 절삭 속도를 견딜 수 있는 절삭 공구 코팅을 지속적으로 찾아야 한다.
본 발명의 일 목적은 금속 절삭 공구 적용에서 개선된 특성을 갖는 내마모성 코팅을 제공하는 것이다. 추가의 목적은 강 및 경화된 강의 선삭에서 높은 플레이킹 마모와 함께 높은 크레이터 및 플랭크 내마모성을 제공하는 내마모성 코팅을 제공하는 것이다. 본 발명의 추가의 목적은 절삭 엣지의 소성 변형으로 인해 플레이킹에 대해 높은 내성과 함께 결합된 높은 크레이터 내마모성을 갖는 코팅을 제공하는 것이다.
이러한 목적들 중 적어도 하나는 청구항 1 에 따른 코팅 공구로 달성된다.
바람직한 실시형태들은 종속 청구항들에서 제시된다.
본 발명은 기재 및 코팅을 포함하는 코팅된 절삭 공구에 관한 것으로, 상기 코팅은 α-Al2O3 의 서브층과 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 의 서브층이 교대하는 것으로 이루어진 α-Al2O3-다층을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층은 적어도 5 개의 α-Al2O3 의 서브층들을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층의 총 두께는 1 ~ 15 ㎛ 이고, 상기 α-Al2O3-다층에서 주기는 50 ~ 900 nm 이다. 상기 α-Al2O3-다층은 20°~ 140°의 θ-2θ 스캔에 대한 XRD 회절을 나타내고, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3), 1 1 6 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 6), 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는 I(0 0 12)/I(1 1 3) > 1, I(0 0 12)/I(1 1 6) > 1 및 I(0 0 12)/I(0 2 4) > 1 이다. 일 실시형태에서, 비율 I(0 0 12)/I(1 1 3) 은 바람직하게는 > 2, 더 바람직하게는 > 3, 훨씬 더 바람직하게는 > 4 이다. 일 실시형태에서, 비율 I(0 0 12)/I(0 2 4) 은 바람직하게는 > 2, 더 바람직하게는 > 3 이다. 회절 데이터에는 박막 보정이 적용되지 않지만, 데이터는 이하에서 더 상세하게 설명된 바와 같이 Cu-Kα2 스트리핑 및 백그라운드 피팅 (background fitting) 으로 처리된다.
놀랍게도, 본 발명에 따른 코팅에서 α-Al2O3-다층을 갖는 코팅된 절삭 공구는 강 및 경화된 강의 선삭 작업에서 절삭 엣지의 소성 변형으로 인해 코팅의 플레이킹을 견딜 수 있다는 것이 발견되었다. 본 발명의 이러한 고도로 배향된 α-Al2O3-다층이 높은 크레이터 내마모성 및 플레이킹에 대한 높은 내성 모두를 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 에 대한 0 1 14 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 1 14) 는 I(0 1 14) /I(0 0 12) < 2, 바람직하게는 < 1, 더 바람직하게는 < 0.8 또는 < 0.7 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3) 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 의 관계는 I(110) > 각각의 I(113) 및 I(024) 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는 I(0 0 12) > I(110) 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층은 돌출부들을 포함하고, 상기 돌출부들은 결정질이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 돌출부들은 적어도 하나의 트윈 경계를 포함하고, 바람직하게는 상기 돌출부들은 (111) 평면을 쉐어하고, 또한 <211> 방향으로 연장된다. 일 실시형태에서, 상기 돌출부들의 결정 구조는 입방정이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 연장된 방향으로 상기 돌출부들의 길이는 10 ~ 100 nm 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 기재의 표면 법선에 수직한 방향으로 측정된 바와 같은 상기 돌출부들의 높이는 상기 다층의 주기 미만, 바람직하게는 상기 다층의 주기의 80% 미만, 더 바람직하게는 상기 다층의 주기의 50% 이하이다.
돌출부들은 α-Al2O3-다층의 서브층들 사이의 접착에 중요한 것으로 고려된다. 양호한 접착은 절삭 작업 동안 높은 마모를 견디는데 필요하다.
α-Al2O3-다층 통틀어 높은 배향은 높은 플랭크 및 크레이터 내마모성을 제공하는데 중요한 것으로 고려된다. α-Al2O3-다층의 하나의 α-Al2O3-서브층의 높은 정도의 배향은 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층을 통해 계속된다.
상기 돌출부들의 평균 높이는 α-Al2O3-다층의 주기보다 바람직하게는 더 작다. α-Al2O3-다층의 내마모성은 α-Al2O3-서브층이 계속되지 않을 경우 감소할 것이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 α-Al2O3-서브층의 평균 두께는 40 ~ 800 nm, 바람직하게는 80 ~ 700 nm, 더 바람직하게는 100 ~ 500 nm 또는 100 ~ 300 nm 이다. α-Al2O3-서브층은 높은 내마모성을 제공하기에 충분한 두께를 가져야 하지만, 다층의 이점을 제공하기에 충분히 작아야 한다. α-Al2O3-서브층이 너무 큰 두께를 가지는 경우, 이는 다층이 갖는 이점 없이 단일층으로 표시될 것이다. 본 발명의 α-Al2O3-다층은 단일 α-Al2O3-층을 갖는 코팅과 비교하여 절삭 엣지의 소성 변형에 대한 높은 내성 및 절삭 엣지의 소성 변형에서 플레이킹에 대한 더 높은 내성을 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 제 1 α-Al2O3-층을 포함하고, 상기 제 1 α-Al2O3-층의 두께는 < 1 ㎛, 바람직하게는 < 0.5 ㎛, 더 바람직하게는 < 0.3 ㎛ 또는 100 ~ 300 nm 이다. 기재와 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 제 1 α-Al2O3-층이 절삭 엣지의 소성 변형에서 플레이킹에 대한 높은 내성을 제공하는데 중요한 것으로 밝혀졌다. 일 실시형태에서, 제 1 α-Al2O3-층은 α-Al2O3-다층의 α-Al2O3-서브층들 중 하나와 동일한 두께를 갖는다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 코팅된 절삭 공구는 상기 기재와 상기 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 적어도 하나의 TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층, 바람직하게는 TiCN 층을 포함한다. 본 발명의 일 실시형태에서, TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층의 두께는 2 ~ 15 ㎛ 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅의 최외측 층은 α-Al2O3 층이다. 대안적으로, TiN, TiC, Al2O3 및/또는 이들의 조합의 층들과 같은 하나 이상의 추가 층이 α-Al2O3 층을 커버할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, α-Al2O3 층을 커버하는 상기 하나 이상의 추가의 층들은 플랭크면 또는 레이크면 또는 절삭 엣지 또는 이들의 조합으로부터 제거된다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 초경 합금, 서멧, 세라믹, 고속도강 또는 cBN 를 갖는다. 기재는 본 발명의 코팅에 적합한 경도 및 인성을 가져야 한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 3 ~ 14 wt% 의 Co 및 50 wt% 초과의 WC 를 포함하는 초경 합금을 갖는다. 본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구의 기재는 4 ~ 12 wt% Co, 바람직하게는 6 ~ 8 wt% Co, 선택적으로는 주기율표의 IVb, Vb 및 VIb 족으로부터의 금속들, 바람직하게는 Ti, Nb, Ta 또는 그의 조합의 0.1 ~ 10 wt% 입방정 탄화물, 질화물 또는 탄질화물, 및 잔부 WC 를 포함하는 초경 합금으로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 목적 및 특징은 첨부 도면과 함께 고려되는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1 은 샘플 멀티 A24 의 코팅의 파단된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다. 주상 (columnar) TiCN 층은 α-Al2O3-다층 아래에서 볼 수 있다.
도 2 는 샘플 멀티 A24 의 α-Al2O3-다층의 파단된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다. 1 ㎛ 의 α-Al2O3-층은 α-Al2O3-다층 아래에서 볼 수 있다.
도 3 은 샘플 멀티 A32 의 코팅의 파단된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다. 1 ㎛ 의 α-Al2O3-층은 α-Al2O3-다층 아래에서 볼 수 있다.
도 4 는 샘플 멀티 A28u 의 α-Al2O3-다층의 폴리싱된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다.
도 5 는 샘플 멀티 A40u 의 파단된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다.
도 6 은 샘플 멀티 B38 의 코팅의 파단된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다.
도 7 은 샘플 멀티 B38 의 α-Al2O3-다층의 폴리싱된 단면의 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지이다. 1 ㎛ 의 α-Al2O3-층은 α-Al2O3-다층 아래에서 볼 수 있다.
도 8 은 2 개의 α-Al2O3-서브층들 사이의 TiCO 서브층의 단면의 명시야 주사 투과 전자 현미경 (STEM; Bright Field Scanning Transmission Electron Microscope) 이미지이다.
도 9 는 샘플 멀티 A32 의 코팅의 α-Al2O3-다층의 일부의 단면의 HAADF 주사 투과 전자 현미경 (HAADF STEM) 이미지이다.
도 10 은 샘플 멀티 A32 의 코팅의 TiCO 서브층의 돌출부의 단면의 HAADF 주사 투과 전자 현미경 (HAADF STEM) 이미지이다. 111 평면 및 112 평면은 도면에서 선으로 표시된다. 뷰는 011 구역 축선을 따라 정렬된다.
도 11 은 샘플 멀티 A32 의 코팅의 TiCO 서브층의 돌출부의 단면의 HAADF 주사 투과 전자 현미경 (HAADF STEM) 이미지이다. 111 평면 및 112 평면은 도면에서 선으로 표시된다. 뷰는 011 구역 축선을 따라 정렬된다.
도 12 는 샘플 멀티 A28u 의 XRD 회절도이다. 보정이 강도 데이터에 대해 이루어지지 않고, Cu-Kα2 스트리핑이 적용되지 않는다. Al2O3 로부터 유래되는 피크들 (110, 113, 024, 116, 0 0 12 및 0 1 14) 은 도면에 표시된다.
도 13 은 샘플 싱글 A1 의 XRD 회절도이다. 보정이 강도 데이터에 대해 이루어지지 않고, Cu-Kα2 스트리핑이 적용되지 않는다. Al2O3 로부터 유래되는 피크들 (110, 113, 024, 116, 0 0 12 및 0 1 14) 은 도면에 표시된다.
정의
약어 "절삭 공구" 는 본원에서 절삭 공구 인서트들, 엔드 밀들 또는 드릴들을 나타내는 것으로 의도된다. 적용 분야는 금속 절삭 적용이고, 또한 예를 들어 선삭, 밀링 또는 드릴링일 수 있다.
방법
XRD 분석
층(들)의 조직 또는 배향을 조사하기 위해, PIXcel 검출기가 장착된 PANalytical CubiX3 회절계를 사용하여 플랭크면에서 X선 회절 (XRD) 이 수행되었다. 코팅된 절삭 공구는 샘플 홀더 내에 탑재되어, 샘플들의 플랭크면이 샘플 홀더의 기준 표면에 평행하고 또한 플랭크면이 적절한 높이에 있다는 것을 보장한다. 45 kV 의 전압 및 40 mA 의 전류로 측정을 위해 Cu-Kα 방사선이 사용되었다. ½ 도의 산란방지 슬릿 및 ¼ 도의 발산 슬릿 사용되었다. 코팅된 절삭 공구로부터의 회절 강도는 20°~ 140°의 2θ 에서, 즉 10 ~ 70°의 입사 각도 θ 에 걸쳐 측정되었다. 백그라운드 피팅, Cu-Kα2 스트리핑 및 데이터의 프로파일 피팅 (profile fitting) 을 포함하는 데이터 분석은 PANalytical 의 X'Pert HighScore Plus 소프트웨어를 사용하여 수행되었다. 그런 다음 이러한 프로그램으로부터의 출력 (프로파일 피팅된 곡선에 대한 통합 피크 영역) 은 강도 비율 및/또는 관계의 관점에서 본 발명의 코팅을 정의하는데 사용되었다.
일반적으로 소위 박막 보정은 층에서 흡수 및 상이한 경로 길이로 인해 강도의 차이를 보상하기 위해 통합 피크 면적 데이터에 적용되어야 하지만, 본 발명의 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층은 돌출부를 포함하므로, 이러한 층의 두께는 설정하기 쉽지 않고, 이러한 층을 통한 경로 길이는 복잡하다. 그러므로, 다층의 배향은 프로파일 피팅된 곡선에 대해 추출된 통합 피크 면적 강도에 적용된 박막 보정 없이 데이터에 기초하여 설정된다. 하지만, Cu-Kα2 스트리핑은 강도 면적이 계산되기 전에 데이터에 적용된다.
α-Al2O3-다층 위의 가능한 추가의 층이 α-Al2O3-다층에 들어가서 전체 코팅을 빠져 나가는 X선 강도에 영향을 미칠 것이므로, 층의 개별 화합물의 선형 흡수 계수를 고려하여 이에 대해서도 보정이 필요하다. 대안적으로, α-Al2O3-다층 위의 추가의 층은 XRD 측정 결과에 실질적으로 영향을 미치지 않는 방법, 예컨대 화학적 에칭에 의해 제거될 수 있다.
피크 오버랩은 예를 들어 여러 결정질 층들을 포함하고 그리고/또는 결정질 상을 포함하는 기재 상에 디포짓된 코팅의 X선 회절 분석에서 발생할 수 있는 현상이며, 이는 당업자에 의해 고려되어야 하고 보상되어야 한다는 것에 유의해야 한다. TiCN 층으로부터의 피크와 α-Al2O3 층으로부터의 피크의 피크 오버랩은 측정에 영향을 미칠 수 있으므로 고려될 필요가 있다. 또한, 예를 들어 기재 내의 WC 가 본 발명의 관련 피크에 가까운 회절 피크를 가질 수 있다는 것에 유의해야 한다.
STEM 분석
서브층의 돌출부를 조사하기 위해, STEM 분석은 단색화된 (monochromated) 수차 프로브 보정 Titan 80-300 TEM/STEM 에서 이루어졌다.
STEM 분석을 위해 샘플의 시료를 준비하기 위해, 이중 초점 이온 빔 시스템 인 FEI VERSA3D LoVac (Versa) 가 사용되었다. Pt 스트립은 샘플의 표면에 디포짓되었고, 시료는 이온 빔을 사용하여 샘플로 컷 아웃되었다. 옴니프로브가 PT 스트립에 용접된 후, 시료는 샘플로부터 자유롭게 절단되었고, 또한 구리로 만들어진 지지 그리드에 용접되었다. 그 후, 시료는 80 ~ 100 nm 의 두께로 이온 빔을 이용하여 신 다운 (thin down) 되었다. 30 kV 의 전압 및 3 개의 상이한 전류들이 시료를 신 다운하기 위해 사용되었다. 1 nA 의 전류는 약 400 nm 의 두께로 샘플을 신 다운하기 위해 사용되었다. 시료가 시닝 (thinning) 동안 이온 빔에 대해 ± 2 도로 틸팅되었다. 0.3 nA 의 전류는 약 200 nm 의 두께로 샘플을 신 다운하기 위해 사용되었다. 시료가 시닝 동안 이온 빔에 대해 ± 1.5 도로 틸팅되었다. 0.1 nA 의 전류는 약 100 nm 의 두께로 샘플을 신 다운하기 위해 사용되었다. 시료가 시닝 동안 이온 빔에 대해 ± 1.2 도로 틸팅되었다. 시료를 약 100 nm 로 신 다운한 후에, 시료의 측면은 비정질 재료를 제거하기 위하여 낮은 kV 이온들을 사용하여 세척되었다. 제 1 세척 단계는 5 kV 의 전압 및 48 pA 의 전류를 사용하여 행해졌다. 시료는 세척 동안 이온 빔에 대해 ± 5 도로 기울어지고, 각 측면은 2 분 동안 세척되었다. 제 2 세척 단계는 2 kV 의 전압 및 27 pA 의 전류를 사용하여 행해졌다. 시료는 세척 동안 이온 빔에 대해 ± 7 도로 기울어지고, 각 측면은 30 초 동안 세척되었다.
돌출부의 분석은 HAADF STEM 을 사용하여 행해질 수 있다. 돌출부의 분석에서 초기 단계는 그들 각각의 Kikuchi 패턴에 기초하여 돌출부를 정렬하는 것이다. 돌출부의 결정 구조는 입방정으로서 핸들링되고 (예를 들어 TiCNO 의 경우 PDF 00-050-0681 참조), 각 돌출부는 돌출부의 결정학적 확장에 대한 결론이 도출되기 전에 011 영역 축선과 같은 공지된 영역 축선을 따라 배향되어야 한다. 그 후 데이터의 Fourier 변환 (Fast Fourier Transform) 에 의해 돌출부의 확장 방향뿐만 아니라 트윈 경계의 배향이 식별될 수 있다.
본 발명의 상세한 설명
본 발명은 기재 및 코팅을 포함하는 코팅된 절삭 공구에 관한 것으로, 상기 코팅은 α-Al2O3 의 서브층들과 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 의 서브층들이 교대하는 것으로 이루어진 α-Al2O3-다층을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층은 적어도 5 개의 α-Al2O3 의 서브층들을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층의 총 두께는 1 ~ 15 ㎛ 이고, 상기 α-Al2O3-다층의 주기는 50 ~ 900 nm 이다. 상기 α-Al2O3-다층은 20°~ 140°의 θ-2θ 스캔에 대한 XRD 회절을 나타내고, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3), 1 1 6 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 6), 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는 I(0 0 12)/I(1 1 3) > 1, I(0 0 12)/I(1 1 6) > 1 및 I(0 0 12)/I(0 2 4) > 1 이다. 일 실시형태에서, 비율 I(0 0 12)/I(1 1 3) 은 바람직하게는 > 2, 더 바람직하게는 > 3, 훨씬 더 바람직하게는 > 4 이다. 일 실시형태에서, 비율 I(0 0 12)/I(0 2 4) 은 바람직하게는 > 2, 더 바람직하게는 > 3 이다. 회절 데이터에는 박막 보정이 적용되지 않지만, 데이터는 이하에서 더 상세하게 설명된 바와 같이 Cu-Kα2 스트리핑 및 백그라운드 피팅으로 처리된다.
놀랍게도, 본 발명에 따른 코팅에서 α-Al2O3-다층을 갖는 코팅된 절삭 공구는 강 및 경화된 강의 선삭 작업에서 절삭 엣지의 소성 변형으로 인해 코팅의 플레이킹을 견딜 수 있다는 것이 발견되었다. 본 발명의 이러한 고도로 배향된 α-Al2O3-다층이 높은 크레이터 내마모성 및 플레이킹에 대한 높은 내성 모두를 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 에 대한 0 1 14 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 1 14) 는 I(0 1 14) /I(0 0 12) < 2, 바람직하게는 < 1, 더 바람직하게는 < 0.8 또는 < 0.7 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3) 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 의 관계는 I(110) > 각각의 I(113) 및 I(024) 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는 I(0 0 12) > I(110) 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층은 돌출부들을 포함하고, 상기 돌출부들은 결정질이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 돌출부들은 적어도 하나의 트윈 경계를 포함하고, 바람직하게는 상기 돌출부는 (111) 평면을 쉐어하고, 또한 <211> 방향으로 연장된다. 일 실시형태에서, 상기 돌출부들의 결정 구조는 입방정이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 연장된 방향으로 상기 돌출부들의 길이는 10 ~ 100 nm 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 기재의 표면 법선에 수직한 방향으로 측정된 바와 같은 상기 돌출부들의 높이는 상기 다층의 주기 미만, 바람직하게는 상기 다층의 주기의 80% 미만, 더 바람직하게는 상기 다층의 주기의 50% 이하이다.
돌출부들은 α-Al2O3-다층의 서브층들 사이의 접착에 중요한 것으로 고려된다. 양호한 접착은 절삭 작업 동안 높은 마모를 견디는데 필요하다.
α-Al2O3-다층 통틀어 높은 배향은 높은 플랭크 및 크레이터 내마모성을 제공하는데 중요한 것으로 고려된다. α-Al2O3-다층의 하나의 α-Al2O3-서브층의 높은 정도의 배향은 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층을 통해 계속된다.
상기 돌출부들의 평균 높이는 α-Al2O3-다층의 주기보다 바람직하게는 더 작다. α-Al2O3-다층의 내마모성은 α-Al2O3-서브층이 계속되지 않을 경우 감소할 것이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 α-Al2O3-서브층의 평균 두께는 40 ~ 800 nm, 바람직하게는 80 ~ 700 nm, 더 바람직하게는 100 ~ 500 nm 또는 100 ~ 300 nm 이다. α-Al2O3-서브층은 높은 내마모성을 제공하기에 충분한 두께를 가져야 하지만, 다층의 이점을 제공하기에 충분히 작아야 한다. α-Al2O3-서브층이 너무 큰 두께를 가지는 경우, 이는 다층이 갖는 이점 없이 단일층으로 표시될 것이다. 본 발명의 α-Al2O3-다층은 단일 α-Al2O3-층을 갖는 코팅과 비교하여 절삭 엣지의 소성 변형에 대한 높은 내성 및 절삭 엣지의 소성 변형에서 플레이킹에 대한 높은 내성을 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 제 1 α-Al2O3-층을 포함하고, 상기 제 1 α-Al2O3-층의 두께는 < 1 ㎛, 바람직하게는 < 0.5 ㎛, 더 바람직하게는 < 0.3 ㎛ 또는 100 ~ 300 nm 이다. 기재와 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 제 1 α-Al2O3-층이 절삭 엣지의 소성 변형에서 플레이킹에 대한 높은 내성을 제공하는데 중요한 것으로 밝혀졌다. 일 실시형태에서, 제 1 α-Al2O3-층은 α-Al2O3-다층의 α-Al2O3-서브층들 중 하나와 동일한 두께를 갖는다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 코팅된 절삭 공구는 상기 기재와 상기 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 적어도 하나의 TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층, 바람직하게는 TiCN 층을 포함한다. 본 발명의 일 실시형태에서, TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층의 두께는 2 ~ 15 ㎛ 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅의 최외측 층은 α-Al2O3 층이다. 대안적으로, TiN, TiC, Al2O3 및/또는 이들의 조합의 층들과 같은 하나 이상의 추가 층이 α-Al2O3 층을 커버할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, α-Al2O3 층을 커버하는 상기 하나 이상의 추가의 층들은 플랭크면 또는 레이크면 또는 절삭 엣지 또는 이들의 조합으로부터 제거된다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 초경 합금, 서멧, 세라믹, 고속도강 또는 cBN 를 갖는다. 기재는 본 발명의 코팅에 적합한 경도 및 인성을 가져야 한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 3 ~ 14 wt% 의 Co 및 50 wt% 초과의 WC 를 포함하는 초경 합금을 갖는다. 본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구의 기재는 4 ~ 12 wt% Co, 바람직하게는 6 ~ 8 wt% Co, 선택적으로는 주기율표의 IVb, Vb 및 VIb 족으로부터의 금속들, 바람직하게는 Ti, Nb, Ta 또는 그의 조합의 0.1 ~ 10 wt% 입방정 탄화물, 질화물 또는 탄질화물, 및 잔부 WC 를 포함하는 초경 합금으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 바인더 상이 농후한 표면 구역을 갖는 초경 합금으로 이루어진다. 바인더 상이 농후한 표면 구역의 두께는, 기재의 표면으로부터 기재의 중심을 향해 측정할 때에, 바람직하게는 5 ~ 35㎛ 이다. 바인더 상이 풍부한 구역은 평균적으로 기재의 코어에서 바인더 상 함량보다 적어도 50% 더 높은 바인더 상 함량을 갖는다. 바인더 상이 농후한 표면 구역은 기재의 인성을 향상시킨다. 높은 인성을 갖는 기재는 강의 선삭에서와 같이 절삭 작업들에서 바람직하다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 입방정 탄화물이 사실상 없는 표면 구역을 갖는 초경 합금으로 이루어진다. 입장정 탄화물이 사실상 없는 표면 구역의 두께는, 기재의 표면으로부터 기재의 중심을 향해 측정했을 때에, 바람직하게는 5 ~ 35 ㎛ 이다. "사실상 없는" 은 광 광학 현미경에서 단면의 시각상 분석으로 입방정 탄화물을 볼 수 없다는 것을 나타낸다.
본 발명의 일 실시형태에서, 기재는 전술한 바와 같은 입방정 탄화물이 사실상 없는 표면 구역과 조합하여 전술한 바와 같은 바인더 상이 농후한 표면 구역을 갖는 초경 합금으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅은 CVD 코팅층의 인장 응력을 해제하기 위해 그리고 표면 거칠기를 감소시키기 위해 숏피닝 (shot peening), 블라스팅 또는 브러싱에 의해 후처리된다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 TiCN 층을 포함하고, 상기 TiCN 층은 CuKα 방사선과 θ-2θ 스캔을 사용하여 X-선 회절에 의해 측정했을 때, Harris 공식에 따라 정의된 조직 계수 TC(hkl) 를 나타내고,
Figure 112019123755838-pct00001
여기에서 I(hkl) 는 (hkl) 반사의 측정된 강도 (적분 면적) 이고, I0(hkl) 는 ICDD's PDF-card No. 42-1489 에 따른 표준 강도이고, n 은 반사 개수이고, 계산에 사용된 반사는 (1 1 1), (2 0 0), (2 2 0), (3 1 1), (3 3 1), (4 2 0), (4 2 2) 및 (5 1 1) 이고, 이는 TC(4 2 2) ≥ 3, 바람직하게는 ≥ 3.5 을 나타낸다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재로부터 코팅의 외부 표면을 향해 이하의 층들을 포함한다: TiN, TiCN, α-Al2O3, TiCO 의 서브층들과 α-Al2O3 의 서브층들이 교대하는 α-Al2O3-다층.
본 발명의 일 실시형태에서, 총 코팅 두께는 7 ~ 25 ㎛ 이고, α-Al2O3-다층은 α-Al2O3 의 10 ~ 150 개의 서브층들을 포함한다. α-Al2O3-다층의 두께는 바람직하게는 3 ~ 15 ㎛ 이다. 이러한 다층은 선삭 적용에서 바람직하다.
본 발명의 일 실시형태에서, 총 코팅 두께는 2 ~ 9 ㎛ 이고, α-Al2O3-다층은 α-Al2O3 의 5 ~ 70 개의 서브층들을 포함한다. α-Al2O3-다층의 두께는 바람직하게는 1 ~ 5 ㎛ 이다. 이러한 다층은 밀링 또는 드릴링 적용에서 바람직하다.
본원에 개시된 코팅된 절삭 공구들은 임의의 조합으로 블라스팅, 브러싱 또는 숏피닝과 같은 후처리를 받을 수 있다. 블라스팅 후처리는 예를 들어 알루미나 입자들을 사용하는 습식 블라스팅 또는 건식 블라스팅일 수 있다.
실시예
이제, 본 발명의 예시적인 실시형태가 더 상세하게 개시되고 기준 실시형태와 비교된다. 코팅된 절삭 공구들 (인서트들) 이 절삭 테스트에서 제조, 분석, 및 평가되었다.
샘플 오버뷰
초경 합금 기재들은 밀링, 혼합, 분무 건조, 프레싱 및 소결을 포함하는 종래의 프로세스들을 사용하여 제조되었다. 소결된 기재들은 10.000 하프 인치 크기의 절삭 인서트들을 수용할 수 있는 Ionbond 유형 크기 530 의 방사상 CVD 반응기에서 CVD 코팅되었다. 초경 합금 기재들 (인서트들) 의 ISO-유형 기하학적 구조는 CNMG-120408-PM 였다. 샘플들 싱글 A1, 멀티 A6, 멀티 A24, 멀티 A26, 멀티 A32, 멀티 A56, 멀티 A28u 및 멀티 A40u 의 초경 합금의 조성은 7.2 wt% 의 Co, 2.9 wt% 의 TaC, 0.5 wt% 의 NbC, 1.9 wt% 의 TiC, 0.4 wt% 의 TiN 및 잔부 WC 였다. 샘플들 멀티 B38 및 멀티 B58 의 초경 합금의 조성은 7.5 wt% 의 Co, 2.9 wt% 의 TaC, 0.5 wt% 의 NbC, 1.9 wt% 의 TiC, 0.4 wt% 의 TiN 및 잔부 WC 였다. 샘플들의 오버뷰는 표 1 에 나타내어 진다.
표 1 - 샘플 오버뷰
Figure 112019123755838-pct00002
CVD 디포지션
약 0.4 ㎛ 의 TiN 의 제 1 최내측 코팅은 400 mbar 및 885 ℃ 의 프로세스에서 모든 기재들에 디포짓되었다. 48.8 vol% 의 H2, 48.8 vol% 의 N2 및 2.4 vol% 의 TiCl4 의 가스 혼합물이 사용되었다.
그 후, 약 7 ~ 7.5㎛ 두께의 TiCN 이 2 단계, 내부 TiCN 및 외부 TiCN 로 디포짓되었다.
내부 TiCN 은 10 분 동안 55 mbar 에서 885 ℃ 로 3.0 vol% 의 TiCl4, 0.45 vol% 의 CH3CN, 37.6 vol% 의 N2 및 잔부 H2 의 가스 혼합물에서 디포짓되었다.
외부 TiCN 은 55 mbar 에서 885 ℃ 로 7.8 vol% 의 N2, 7.8 vol% 의 HCl, 2.4 vol% 의 TiCl4, 0.65 vol% 의 CH3CN 및 잔부 H2 의 가스 혼합물에서 디포짓되었다.
MTCVD TiCN 층의 상부에, 1 ~ 1.5 ㎛ 두께의 결합층이 4 개의 별개의 반응 스텝들로 이루어진 프로세스에 의해 1000 ℃ 에서 디포짓되었다.
우선 HTCVD TiCN 은 400 mbar 에서 1.5 vol% 의 TiCl4, 3.4 vol% 의 CH4, 1.7% 의 HCl, 25.5 vol% 의 N2 및 67.9 vol% 의 H2 를 사용하여 디포짓되었다.
3 개의 다음 단계들이 70 mbar 에서 모두 디포짓되었다. 제 1 (TiCNO-1) 에서, 1.5 vol% 의 TiCl4, 0.40 vol% 의 CH3CN, 1.2 vol% 의 CO, 1.2 vol% 의 HCl, 12.0 vol% 의 N2 및 잔부 H2 의 가스 혼합물이 사용되었다. 다음 단계 (TiCNO-2) 는 3.1 vol% 의 TiCl4, 0.63 vol% 의 CH3CN, 4.6 vol% 의 CO, 30.6 vol% 의 N2 및 잔부 H2 의 가스 혼합물이 사용되었다. 마지막 결합층 단계 (TiN) 에서, 3.2 vol% 의 TiCl4, 32.3% vol% 의 N2 및 64.5 vol% 의 H2 의 가스 혼합물이 사용되었다.
후속 Al2O3 핵생성의 시작 전에, 결합층은 CO2, CO, N2 및 H2 의 혼합물에서 4 분 동안 산화되었다.
모든 샘플들에서, α-Al2O3-층이 2 단계로 1000℃ 및 60 mbar 에서 결합층의 상부에 디포짓되었다. 제 1 단계는 1.2 vol% 의 AlCl3, 4.7 vol% 의 CO2, 1.8 vol% 의 HCl 및 잔부 H2 의 가스 혼합물을 포함했고, 제 2 단계는 1.2 vol% 의 AlCl3, 4.7 vol% 의 CO2, 2.9 vol% 의 HCl, 0.58 vol% 의 H2S 및 잔부 H2 의 가스 혼합물을 포함했다.
샘플 싱글 A1 에서, 이러한 층은 대략 5 ㎛ 까지 성장했고, 샘플 싱글 B1 에서, 이러한 층은 대략 9 ㎛ 까지 성장했다.
샘플들 멀티 A6, 멀티 A24, 멀티 A26, 멀티 A32, 멀티 A56, 멀티 B38 및 멀티 B58 에서, 이러한 층은 대략 1 ㎛ 까지 성장했다.
샘플들 멀티 A28u 및 멀티 A40u 에서, 이러한 층은 각각 대략 0.2 및 0.1 ㎛ 까지 성장했다.
α-Al2O3-다층은 샘플들 멀티 A6, 멀티 A24, 멀티 A26, 멀티 A32, 멀티 A56, 멀티 A28u, 멀티 A40u, 멀티 B38 및 멀티 B58 에서 디포짓되었고, 여기에서 TiCO 의 결합 서브층은 α-Al2O3 의 서브층과 교대되었다. TiCO 서브층은 모든 실시예들에 대해 75 초 동안 디포짓되었다. 이는 1.7 vol% 의 TiCl4, 3.5 vol% 의 CO, 4.3 vol% 의 AlCl3 및 90.5 vol% 의 H2 의 가스 혼합물에서 1000 ℃ 및 60 mbar 에서 디포짓되었다. α-Al2O3 서브층은 저부 α-Al2O3 층에 대한 것과 동일한 프로세스 파라미터들을 사용하여 2 단계로 디포짓되었다. 제 1 단계는 2.5 분 동안 수행되었고, 제 2 단계의 프로세스 시간은 각 샘플들에서 다층의 주기 두께에 도달하도록 조정되었다.
일 주기는 일 TiCO 결합 서브층의 두께와 일 α-Al2O3 서브층의 두께의 합과 같다.샘플들의 α-Al2O3-다층들에서 주기의 측정은 α-Al2O3-다층의 총 두께를 층 내 주기들의 개수로 나눔으로써 이루어졌다.
샘플들의 층들의 두께들은 광학 현미경 및 SEM 에서 연구되었고, 표 2 에 제시되어 있다.
표 2 - 층 두께
Figure 112019123755838-pct00003
XRD 분석 결과
XRD 분석은 전술한 방법에서 개시된 대로 수행되었다. 박막 보정은 강도 데이터에 적용되지 않았다. 샘플들에 대해 α-Al2O3 로부터 비롯되는 피크들 110, 113, 024, 116, 0 0 12 및 0 1 14 의 강도는 0 0 12 의 강도가 100% 로 설정되도록 표준화된 값들로 표 3 에서 제시되어 있다. 샘플 멀티 A28u 및 싱글 A1 의 XRD 회절도는 각각 도 12 및 도 13 에 도시되어 있다.
표 3 - α-Al2O3 로부터 비롯되는 XRD 강도
Figure 112019123755838-pct00004
샘플 싱글 A1 의 α-Al2O3-단일층과 기재 사이에 위치한 TiCN 층은 XRD 에서 연구되었다. 데이터의 α-Al2O3-단일층에서의 흡수를 위한 보정 및 박막 보정에 후속하여, TC 값은 Harris 공식을 사용하여 계산되었다. 결과는 표 4 에 제시되어 있다.
Harris 공식:
Figure 112019123755838-pct00005
여기에서 I(hkl) 는 (hkl) 반사의 측정된 강도 (적분 면적) 이고, I0(hkl) 는 ICDD's PDF-card No. 42-1489 에 따른 표준 강도이고, n 은 반사 개수이고, 계산에 사용된 반사는 (1 1 1), (2 0 0), (2 2 0), (3 1 1), (3 3 1), (4 2 0), (4 2 2) 및 (5 1 1) 이다.
표 4
Figure 112019123755838-pct00006
대응하는 TiCN 층은 또한 α-Al2O3-다층들을 갖는 샘플들 모두에서 존재하였다. α-Al2O3-다층들의 XRD 회절도는 XRD 회절도에서 약 36.1°에서 본 넓은 111 반사를 나타내고, 그에 따라 이러한 반사에 대한 오리진 (origin) 이 TiCO 서브층들이어야 한다는 결론을 내릴 수 있다. TiCO 서브층들로부터의 XRD 신호 및 TiCN 층으로부터의 신호들은, TiCO 및 TiCN 모두가 유사한 셀 파라미터를 갖는 입방정이기 때문에 층들을 분석할 때 분리하기 어렵다. TiCN 층을 분석하기 위하여, α-Al2O3-다층들은 에칭 또는 폴리싱과 같은 기계적 또는 화학적 수단에 의해 우선 제거되어야 한다. 그 후 TiCN 층이 분석될 수 있다.
STEM
서브층의 돌출부를 조사하기 위해, HAADF STEM 분석은 단색화된 수차 프로브 보정 Titan 80-300 TEM/STEM 에서 이루어졌다.
전술한 방법에서 개시된 방법에 따라 시료들이 제조되었다. α-Al2O3-다층에서 TiCO 서브층의 수 개의 돌출부들은 STEM 으로 연구되었다. 돌출부들은 입방정 결정 구조로서 핸들링되었고, 또한 그의 구역 축선 011 을 따라서 정렬되었다. 돌출부들이 트윈 경계를 포함했다는 것이 발견되었다. 트윈 경계는 111 평면이였고 돌출부는 그의 <211> 방향으로 연장되었다. 샘플 멀티 A32 의 HAADF STEM 이미지들이 도 10 및 도 11 에 도시되어 있다.
마모 테스트
마모 테스트 전에 코팅된 절삭 공구의 레이크면들에서 블라스팅이 수행되었다. 사용된 블라스터 슬러리는 물에서 20 vol-% 의 알루미나로 이루어졌고, 또한 절삭 인서트의 레이크면과 블라스터 슬러리의 방향 사이에서 90°의 각도로 이루어졌다. 건에 대한 슬러리의 압력은 모든 마모 테스트된 샘플들에 대해 1.8 bar 였다.
PD 임프레션
샘플들은 작업 피스 재료 SS2541 (700x180 mm 의 바아) 에서 절삭되는 건식 선삭 테스트에서 테스트되었다. 178 mm 의 직경으로부터 60 mm 의 직경까지 상기 바아에 대해 면 선삭이 적용되었다. 이하의 절삭 데이터가 사용되었다:
절삭 속도, Vc: 200 m/분
이송, fz: 0.35 mm/회전
절삭 깊이, ap: 2 mm
중단 조건은 플랭크 마모 (Vb)≥ 0.5 mm 일 때 또는 엣지 파손 시로서 규정되었다. 플레이킹은 주로 절삭 엣지의 소성 변형으로 인해 발생하는 것으로 고려된다. 각 인서트 엣지는 각 5 커트들 후에 검사되었고, 메인 엣지에 대한 그리고 2 차 엣지에 대한 플랭크 마모가 측정되었다. 플랭크 마모가 0.4 mm 의 값에 도달했을 때, 절삭 엣지는 각 3 커트들 후에 검사되었다. 중단 조건이 도달되었을 때 커트들의 총 개수와 관련하여 절삭 엣지의 소성 변형으로 인해 플레이킹 전에 커트들의 개수들과 Vb=0.3 mm (보간값) 에서의 커트들의 개수는 표 5 에 도시되어 있다.
표 5
Figure 112019123755838-pct00007
샘플들 멀티 A28u 및 멀티 A40u 은 이러한 테스트에서 플레이킹에 대한 내가장 높은 내성을 보여준 샘플들이였고 또한 모든 다층 샘플들은 기준 싱글 A1 과 비교하여 더 높은 플랭크 내마모성을 보여줬다는 결론을 내렸다.
PD 디프레션
샘플들은 작업 피스 재료 SS2541 (700x180 mm 바아) 에서 건식 조건에서 종방향 선삭으로 테스트되었다. 이하의 절삭 데이터가 사용되었다:
절삭 속도, Vc: 98 또는 110 m/분
이송, fz: 0.7 mm/회전
절삭 깊이, ap: 2 mm
절삭 시간: 30 s
테스트를 시작하기 전에, 인서트는 고정 장치 (fixture) 내에 배치되었고, 노즈 상의 절삭 엣지의 위치는 다이얼 게이지를 통해 영 (0) 으로 설정된다. 30 초의 절삭 시간 후에, 노즈 상의 절삭 엣지의 새로운 위치는 다이얼 게이지에 의해 측정되어 엣지 디프레션의 값을 제공한다. 마모된 엣지들은 광학 현미경으로 연구되었고, 기준 샘플 A1 과 관련한 플레이킹의 정도가 주목되었다. 3 개의 평행 PD 디프레션 절삭 테스트의 평균 결과는 표 6 에 제시되어 있다.
표 6
Figure 112019123755838-pct00008
샘플 멀티 A6 은 기준 싱글 A1 보다 양호하게 이러한 절삭 테스트를 견디지 못한 반면에, 모든 다른 샘플들은 비슷하거나 보다 양호하게 수행했다는 결론을 내렸다.
다양한 예시적인 실시형태들과 관련하여 본 발명이 설명되었지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시형태들로 한정되지 않고, 반대로 첨부된 청구항들 내에서 다양한 수정 및 균등 배치를 커버하려는 것임을 이해하여야 한다. 또한, 본 발명의 임의의 개시된 형태 또는 실시형태는 설계 선택의 일반적인 문제로서 임의의 다른 개시되거나 설명되거나 제안된 형태 또는 실시형태에 통합될 수 있다는 것을 인식하여야 한다. 따라서, 본원에 첨부된 청구항들의 범위에 의해 제시된 바에 의해서만 제한되려는 것이다.

Claims (15)

  1. 기재 및 코팅을 포함하는 코팅된 절삭 공구로서,
    상기 코팅은 α-Al2O3 의 서브층들과 TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 의 서브층들이 교대하는 것으로 이루어진 α-Al2O3-다층을 포함하고, 상기 α-Al2O3-다층은 적어도 5 개의 α-Al2O3 의 서브층들을 포함하고,
    상기 α-Al2O3-다층의 총 두께는 1 ~ 15 ㎛ 이고,
    상기 α-Al2O3-다층의 주기는 50 ~ 900 nm 이고,
    상기 α-Al2O3-다층은 20°~ 140°의 θ-2θ 스캔에 대한 XRD 회절을 나타내고, 1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3), 1 1 6 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 6), 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는
    I(0 0 12)/I(1 1 3) > 1, I(0 0 12)/I(1 1 6) > 1 및 I(0 0 12)/I(0 2 4) > 1
    인, 코팅된 절삭 공구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 에 대한 0 1 14 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 1 14) 는 I(0 1 14) /I(0 0 12) < 2 인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  3. 제 1 항에 있어서,
    1 1 3 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 3) 및 0 2 4 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 2 4) 에 대한 1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 의 관계는
    I(110) > 각각의 I(113) 및 I(024)
    인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  4. 제 1 항에 있어서,
    1 1 0 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(1 1 0) 에 대한 0 0 12 회절 피크의 강도 (피크 면적), I(0 0 12) 의 관계는
    I(0 0 12) > I(110)
    인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    TiCO, TiCNO, AlTiCO 또는 AlTiCNO 서브층은 돌출부들을 포함하고, 상기 돌출부들은 결정질인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 돌출부들은 적어도 하나의 트윈 경계 (twin boundary) 를 포함하고, 상기 돌출부들은 (111) 평면을 쉐어 (share) 하고, 또한 <211> 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  7. 제 5 항에 있어서,
    연장된 방향으로의 상기 돌출부들의 길이는 10 ~ 100 nm 인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 기재의 표면 법선에 수직한 방향으로 측정된 바와 같은 상기 돌출부들의 높이는 상기 다층의 주기 미만, 또는 상기 다층의 주기의 80 % 미만인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  9. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 α-Al2O3 서브층의 평균 두께는 40 ~ 800 nm 인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  10. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅된 절삭 공구는 상기 기재와 상기 α-Al2O3-다층 사이에 위치되어 상기 α-Al2O3-다층과 직접 접촉하는 제 1 α-Al2O3-층을 더 포함하고, 상기 α-Al2O3-층의 두께는 < 1 ㎛ 인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  11. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅된 절삭 공구는 상기 기재와 상기 α-Al2O3-다층 사이에 위치된 적어도 하나의 TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 TiC, TiN, TiAlN 또는 TiCN 층의 두께는 2 ~ 15 ㎛ 인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  13. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅의 최외측 층은 α-Al2O3 층인 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  14. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기재는 초경 합금, 서멧, 세라믹, 고속도강 또는 cBN 을 갖는 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
  15. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기재는 3 ~ 14 wt% 의 Co 및 50 wt% 초과의 WC 를 포함하는 초경 합금을 갖는 것을 특징으로 하는, 코팅된 절삭 공구.
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