KR102495561B1 - Crucible For Manufacturing Organic Light Emitting Diode and Cleaning Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 제조용 도가니는, 제1 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제1 도가니 몸통 및 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 제1 도가니 몸통을 감싸도록 구성된, 제2 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제2 도가니 몸통을 포함한다.A crucible for manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes a first crucible body configured to have a first thermal expansion coefficient and a second thermal expansion disposed on an outer side surface of the first crucible body to surround the first crucible body. and a second crucible body configured to have a modulus.
Description
본 발명은 유기 발광 다이오드 제조에 이용되는 도가니에 관한 것이다. The present invention relates to crucibles used in the manufacture of organic light emitting diodes.
유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED)는 표시 장치 및 조명 장치 등에 사용되고 있다. 유기 발광 다이오드는 애노드(anode)와 캐소드(cathode) 사이에 위치하는 복수의 기능층들을 증착 하는 공정을 필요로 한다. 유기 발광 다이오드의 기능층들 중 적어도 일부는 도가니를 가열하여 증착 된다. 도가니 내부에 수용된 특정 기능층의 증착 재료는 도가니의 외측에 구비된 가열부에 의해서 가열되어 기화된다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are used in display devices and lighting devices. An organic light emitting diode requires a process of depositing a plurality of functional layers positioned between an anode and a cathode. At least some of the functional layers of the organic light emitting diode are deposited by heating a crucible. The deposition material of the specific functional layer accommodated inside the crucible is heated and vaporized by a heating unit provided outside the crucible.
유기 발광 다이오드의 기능층들은 예를 들어, 호스트(host) 및 도펀트(dopant)를 포함하고 특정 가시광선 파장대역을 발광하는 발광 층(emissive layer), 정공 주입 층(hole injection layer), 정공 수송 층(hole transport layer), 전자 수송 층(electron transport layer), 전자 주입 층(electron injection layer) 또는 전하 생성 층(charge generation layer) 등이 있다. Functional layers of the organic light emitting diode include, for example, an emissive layer including a host and a dopant and emitting light in a specific visible ray wavelength band, a hole injection layer, and a hole transport layer. (hole transport layer), electron transport layer, electron injection layer, or charge generation layer.
기능층 재료는 일반적으로 상온에서 고체상태(분말상태)이며, 제1 온도 이상이 되면 액체 상태로 변하게 된다. 그리고 제2 온도 이상이 되면 기체 상태로 변하게 된다. The functional layer material is generally in a solid state (powder state) at room temperature, and changes to a liquid state at a temperature higher than a first temperature. And when the second temperature or higher is changed to a gaseous state.
도 1은 종래의 도가니를 개략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a conventional crucible.
도 2는 종래의 도가니를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다. 2 is an exploded perspective view schematically showing a conventional crucible.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 도가니(10)는 상측이 개방된 원통형 도가니 몸통(11), 도가니 몸통(11)의 상측에 배치되고 기화된 기능층 재료를 분출하도록 구성된 분출부(13)를 포함한다. 도가니(10)는 가열부에 의해 둘러싸여서 가열된다. Referring to FIGS. 1 and 2 , the
도 1 내지 도 2에는 사용된 도가니 몸통(11) 내벽에 달라 붙은 기능층 재료(20)가 도시되어 있다.1 and 2 show the
기능층 재료(20)의 일부는 증착 공정 중 기화되어 유기 발광 다이오드의 기판에 증착 되지만, 다른 일부는 도가니 몸통(11) 내부에 잔존하게 된다. 증착 공정이 끝난 후 도가니 몸통(11)의 온도는 저감되고, 기능층 재료(20)는 기체 상태에서 액체 상태로 변해서 도가니 몸통(11)의 내벽에 달라 붙게 된다. A portion of the
특히 기능층 재료(20)가 도가니 몸통(11)의 내벽에 달라 붙게 될 경우, 피막을 형성하듯이 도가니 몸통(11)의 내벽에 코팅될 수 있다. 그리고 기능층 재료(20)가 도가니 몸통(11) 내벽에 달라 붙은 상태로 경화되기 때문에, 일반적인 세정방법으로 쉽게 제거되지 않는다.In particular, when the
또한 기능층 재료(20)는 산소 및 수소와 반응하여 변질될 수 있다. 따라서 도가니 몸통(11) 내부에 기능층 재료(20)가 장시간 잔존하거나, 진공 분위기가 대기압으로 바뀌게 되면, 기능층 재료(20)가 오염될 수 있다. In addition, the
따라서 이후 진행되는 또 다른 기능층 증착 시 도가니 몸통(11) 내벽에 눌러 붙은, 오염된 기능층 재료(20)에 의해서 불량이 발생될 수 있다. Therefore, when another functional layer is deposited thereafter, a defect may occur due to the contaminated
또한 내벽에 달라 붙은 기능층 재료(20)가 오염되지 않더라도, 증착하려는 기능층 재료가 다른 물질로 바뀌게 될 경우, 내벽에 달라 붙은 기능층 재료(20)와 같이 기화되어 불량이 발생될 수 있다.In addition, even if the
도 3은 종래의 도가니 몸통에 달라 붙은 기능층 재료를 세정하는 종래의 공정을 개략적으로 설명하는 그래프이다.3 is a graph schematically illustrating a conventional process of cleaning a functional layer material adhering to a conventional crucible body.
도 3의 X-축은 공정 시간(T)을 나타낸다. 제1 Y-축은 도가니 몸통을 가열하는 가열부의 온도(℃)를 나타낸다. 그리고 제2 Y-축은 도가니 몸통에서 기화되는 기능층 재료가 유기 발광 다이오드의 기판에 증착되는 증착 속도(Å/second))를 의미한다. The X-axis of FIG. 3 represents the process time (T). The first Y-axis represents the temperature (° C.) of the heating section for heating the crucible body. And, the second Y-axis means a deposition rate (Å/second) at which the functional layer material vaporized in the body of the crucible is deposited on the substrate of the organic light emitting diode.
제1 구간(T1) 동안에는 가열부의 출력을 적정 수준(예를 들어, 최대 출력의 50%)으로 사용하여, 기능층 재료를 유기 발광 다이오드의 기판상에 증착시키는 일반적인 제조 공정 구간을 의미한다. 제1 구간(T1)에서는 목표 온도와 실제 온도를 실시간으로 비교해서 증착 속도가 균일하게 유지 될 수 있도록 제어한다.During the first period T1, it refers to a general manufacturing process period in which the functional layer material is deposited on the organic light emitting diode substrate by using the output of the heating unit at an appropriate level (eg, 50% of the maximum output). In the first period T1, the target temperature and the actual temperature are compared in real time, and the deposition rate is controlled so as to be uniform.
제2 구간(T2) 동안에는 가열부의 출력을 제1 구간(T1)보다 높은 수준(예를 들어, 최대 출력의 70%)으로 사용하여, 도가니 몸통의 내벽에 달라 붙은 기능층 재료를 기화시켜서 제거하는, 세정 공정 구간을 의미한다. During the second period T2, the power of the heating unit is used at a higher level than that of the first period T1 (eg, 70% of the maximum output) to vaporize and remove the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible body. , means the cleaning process section.
제1 구간(T1)과 제2 구간(T2) 사이에는 휴식 기간이 있을 수 있으며, 경우에 따라서 휴식 기간이 없는 것도 가능하다.There may be a rest period between the first section T1 and the second section T2, and in some cases, it is possible that there is no rest period.
제2 구간(T2) 동안에는 기능층 재료를 기화시켜 제거한다. 이때 종래의 도가니의 가열부의 소비 전력이 증가 되고, 도가니 몸통의 내벽에 달라 붙은 기능층 재료를 완전히 기화시키는데 걸리는 시간은 대략 10시간 이내이다. 따라서, 제2 구간(T2) 동안에는 종래의 도가니를 이용하여 유기 발광 다이오드를 제조할 수 없기 때문에 유기 발광 다이오드의 생산량이 저감된다. 또한 종래의 도가니를 감싸는 가열부의 출력 증가는 가열부에 고온을 발생시키고, 따라서 가열부의 수명이 단축될 수 있다.During the second period T2, the functional layer material is vaporized and removed. At this time, the power consumption of the heating part of the conventional crucible is increased, and the time required to completely vaporize the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible body is within about 10 hours. Therefore, since organic light emitting diodes cannot be manufactured using a conventional crucible during the second period T2, the amount of organic light emitting diodes produced is reduced. In addition, the increase in output of the heating unit surrounding the conventional crucible generates a high temperature in the heating unit, and thus the life of the heating unit may be shortened.
[관련기술문헌][Related technical literature]
1. 유기박막 형성장치의 가열용기 (한국특허출원번호 제10-2005-0112940호)1. Heating container of organic thin film forming apparatus (Korean Patent Application No. 10-2005-0112940)
본 발명의 발명자는, 유기 발광 다이오드를 포함하는 장치의 생산량 증가를 위해서, 도가니의 세정시간 단축이 필요하다고 인식하였다. 특히 도가니에서 처리되는 세정 공정은 시간이 오래 걸리고, 처리 비용도 높고, 특히 세정 중 유기 발광 다이오드를 제작할 수 없기 때문에 비효율 적이라고 인식하였다.The inventors of the present invention recognized that it was necessary to shorten the cleaning time of the crucible in order to increase the production volume of devices including organic light emitting diodes. In particular, it was recognized that the cleaning process in the crucible is inefficient because it takes a long time, the processing cost is high, and in particular, organic light emitting diodes cannot be manufactured during cleaning.
본 발명의 발명자는, 도가니 내벽에 달라 붙은 기능층 재료는 단단한 막을 형성하기 때문에, 종래의 도가니를 통한 세정 방법이 아닌 일반적인 세정으로는 달라 붙은 기능층 재료를 제거하기 어렵다는 사실을 인식하였다.The inventor of the present invention recognized that since the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible forms a hard film, it is difficult to remove the adhering functional layer material by general cleaning, other than the conventional crucible cleaning method.
본 발명의 발명자는 달라 붙은 기능층 재료의 표면을 갈라지게 만드는 것이 달라 붙은 기능층 재료를 제거하는데 효과적이라고 생각하였다. The inventor of the present invention thought that cracking the surface of the stuck functional layer material was effective in removing the stuck functional layer material.
구체적으로, 도가니의 열 팽창 및 열 수축 특성을 이용해서 기능층 재료의 표면에 틈이 형성되면, 도가니 내벽에 달라 붙은 기능층 재료를 세정하는데 매우 효과적이란 사실을 인식하였다. Specifically, it was recognized that when a gap is formed on the surface of the functional layer material by using the thermal expansion and contraction characteristics of the crucible, it is very effective in cleaning the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible.
이에 본 발명에서 개시되는 실시예들이 해결하고자 하는 과제는, 열 팽창 및 열 수축이 가능한, 도가니 및 도가니를 이용한 세정 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object to be solved by embodiments disclosed in the present invention is to provide a crucible capable of thermal expansion and contraction and a cleaning method using the crucible.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The tasks of the present invention are not limited to the tasks mentioned above, and other tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 일 실시예에 따른, 도가니는 제1 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제1 도가니 몸통 및 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 제1 도가니 몸통을 감싸도록 구성된, 제2 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제2 도가니 몸통을 포함하고, 제1 열팽창 계수는 상기 제2 열팽창 계수보다 크도록 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the crucible has a first crucible body configured to have a first coefficient of thermal expansion and a second coefficient of thermal expansion disposed on an outer side surface of the first crucible body and configured to surround the first crucible body. and a second crucible body configured to have a first coefficient of thermal expansion greater than the second coefficient of thermal expansion.
본 발명에 개시된 실시예들에 따르면, 내 측의 열 팽창 계수가 외 측의 열 팽창 계수보다 크도록 구성된 도가니 구조에 의해서, 도가니 내벽에 달라 붙은 기능층 재료를 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있다. According to the embodiments disclosed in the present invention, the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible can be easily removed by the crucible structure configured such that the coefficient of thermal expansion of the inner side is greater than the coefficient of thermal expansion of the outer side. .
또한, 내 측의 열 팽창 계수가 외 측의 열 팽창 계수보다 크도록 구성된 도가니를 냉각하여 도가니 내벽에 달라 붙은 기능층 재료를 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect of easily removing the functional layer material adhering to the inner wall of the crucible by cooling the crucible configured such that the coefficient of thermal expansion of the inner side is greater than the coefficient of thermal expansion of the outer side.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다. Effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.
도 1은 종래의 도가니를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 종래의 도가니를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 종래의 도가니의 도가니 몸통에 달라 붙은 기능층 재료를 세정하는 종래의 공정을 개략적으로 설명하는 그래프이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니의 열 팽창 상태를 개략적으로 설명하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니의 열 수축 상태를 개략적으로 설명하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도가니를 세정하는 공정 순서도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional crucible.
2 is an exploded perspective view schematically showing a conventional crucible.
3 is a graph schematically illustrating a conventional process of cleaning a functional layer material adhering to a crucible body of a conventional crucible.
4 is a schematic cross-sectional view of a crucible according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view schematically illustrating a crucible according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view schematically illustrating a thermal expansion state of a crucible according to an embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view schematically illustrating a thermal contraction state of a crucible according to an embodiment of the present invention.
8 is a flow chart of a process for cleaning a crucible according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다. 4 is a schematic cross-sectional view of a crucible according to an embodiment of the present invention. 5 is an exploded perspective view schematically illustrating a crucible according to an embodiment of the present invention.
도 4 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른, 유기 발광 다이오드 제조용 도가니(100)는 기능층 재료(200)가 수용되는 제1 도가니 몸통(110), 제1 도가니 몸통(110)의 외측에 배치된 제2 도가니 몸통(120) 및 분출부(130)를 포함한다. Referring to FIGS. 4 and 5 , the
제1 도가니 몸통(110) 및 제2 도가니 몸통(120)은 원통형으로, 각각의 도가니 몸통(110, 120)의 하 측은 닫혀 있고, 상 측은 개방되어 있다. 제1 도가니 몸통(110) 및 제2 도가니 몸통(120)은 상단이 개방되어 있는 원통형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first
제1 도가니 몸통(110)에는 유기 발광 다이오드의 기능층 재료가 수용될 수 있다. 제1 도가니 몸통(110)은 제2 도가니 몸통(120)에 수용되어 있다.A material for a functional layer of an organic light emitting diode may be accommodated in the
제1 도가니 몸통(110)이 원통형일 경우 제1 도가니 몸통(110)의 내측 공간은 제1 지름(L1)을 가지도록 구성된다. 제2 도가니 몸통(120)은 제1 도가니 몸통(110)에 대응되도록 구성된다. 제2 도가니 몸통(120)이 원통형일 경우 제2 도가니 몸통(110)의 내측 공간은 제2 지름(L2)을 가지도록 구성된다. 이때 제2 지름(L2)은 제1 지름(L1)보다 크도록 구성된다. 즉, 제2 도가니 몸통(120) 내부에 제1 도가니 몸통(110)이 수용된다. When the
제1 도가니 몸통(110)의 밑면은 제2 도가니 몸통(120)의 밑면과 밀착되도록 구성된다. 도 4를 참조하면, 제1 도가니 몸통(110)의 밑면은 평면이고, 제2 도가니 몸통(120)의 밑면은 평면이다. 따라서 각각의 밑면은 서로 밀착될 수 있다. The bottom of the
제1 도가니 몸통(110)의 외측면과 제2 도가니 몸통(120)의 내측면 사이의 이격거리(D1)는 상온에서 0 보다 크도록 구성되고, 기능층 재료(200)의 기화 온도에서 0이 되도록 구성된다. 즉, 기능층 재료(200)가 기화될 정도의 고온 환경에서는 제1 도가니 몸통(110)이 열 팽창되어, 제2 도가니 몸통(120)과 밀착되도록 이격거리(D1)를 설정한다. 또한, 이격거리(D1)는 도가니(100)의 온도가 상승할수록 저감되도록 구성되고, 온도가 감소할수록 증가되도록 구성된다. 부연 설명하면, 도 4 및 도 5는 상온(예를 들면, 20±5℃) 상태이다.The distance D1 between the outer surface of the
구체적으로, 제1 도가니 몸통(110)은 제1 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성된다. 제2 도가니 몸통(120)은 제2 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성된다. 그리고 제1 열팽창 계수는 제2 열팽창 계수보다 크도록 구성된다. Specifically, the
제2 도가니 몸통(120)은 가열부로부터 전달받은 열에너지를 제1 도가니 몸통(110)에 열전도 하도록 구성된다. 제1 도가니 몸통(110)은 열에 의한 수축 및 팽창 정도가 제2 도가니 몸통(120)보다 상대적으로 크기 때문에, 고온에서 제1 도가니 몸통(110)은 열 팽창하여 제2 도가니 몸통(120)으로 밀착될 수 있다. 이때 기능층 물질(200)의 기화 조건을 기준으로 제1 도가니 몸통(110)의 열팽창 계수와 제2 도가니 몸통(120)의 열팽창 계수를 고려하여 이격거리(D1)가 0이 되도록 계산될 수 있다. 그리고 이격거리(D1)를 고려하여 제1 지름(L1)과 제2 지름(L2)도 계산될 수 있다.The
기화 조건에서 이격거리(D1)가 0 이 될 때, 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120) 사이에 공간이 없을 경우, 접촉에 의한 열전도가 가능해진다는 장점을 가진다. When the separation distance D1 becomes 0 under vaporization conditions and there is no space between the
부연 설명하면, 기능층 물질(200)은 산소와 수소에 손상될 수 있는 재료이기 때문에, 진공 분위기의 챔버에서 가열된다. 진공 분위기에서는 대류현상이 실질적으로 거의 없기 때문에, 복사열 또는 전도열에 의해서 열이 전달될 수 있다. 따라서 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120) 사이에 공간이 존재하면, 열전도가 차단될 수 있다. More specifically, since the
단 이에 제한되지 않으며, 실질적으로 오차 범위 또는 공차를 고려하여, 기능층 재료(200)의 기화 가능한 온도에서, 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120) 사이의 이격거리(D1)는 100㎛이내가 되도록 구성되는 것도 가능하다. 즉, 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120) 사이의 공간이 최소화 되도록 설계되는 것이 중요하다.However, it is not limited thereto, and in consideration of the error range or tolerance, the separation distance D1 between the
부연 설명하면, 상온에서는 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)은 서로 이격되기 때문에, 제1 도가니 몸통(110)만 분리하여 세정하는 것도 가능하다. In other words, since the
제1 도가니 몸통(110)의 원통부의 두께는 제1 두께(T1)를 가지도록 구성된다. 제2 도가니 몸통(120)의 원통부의 두께는 제2 두께(T2)를 가지도록 구성된다. 이때 제2 두께(T2)는 제1 두께(T1)보다 두껍도록 구성된다.The thickness of the cylindrical portion of the
제2 도가니 몸통(120)은 기구적인 안정성과 신뢰성을 가지도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제2 도가니 몸통(120)의 제2 두께(T2)가 두꺼울수록, 열에 의한 변형 및 손상이 저감될 수 있다. The
예를 들면, 제2 두께(T2)가 제1 두께(T1)보다 두꺼울 경우, 제2 도가니 몸통(120)은, 제1 도가니 몸통(110)이 수축 및 팽창을 반복하더라도 제1 도가니 몸통(110)이 변형되지 않도록 외형을 유지시켜줄 수 있는 외형 틀의 기능도 수행할 수 있다. 단 이에 제한되지 않으며, 제1 두께(T1)는 제2 두께(T2)와 동일하게 설계되는 것도 가능하다.For example, when the second thickness T2 is thicker than the first thickness T1, the
제1 도가니 몸통(110)은 열 팽창 및 열 수축 특성을 가지도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 도가니 몸통(120)의 제1 두께(T1)가 얇을수록, 열에 의한 팽창 및 수축이 용이할 수 있다. The
제1 도가니 몸통(110)은, 제조 공정이 끝난 후 열 팽창 또는 열 수축에 의해서 달라 붙은 기능층 재료(200)를 용이하게 세정할 수 있도록, 달라 붙은 기능층 재료(200)의 표면에 손상을 줄 수 있다.The
예를 들면, 제1 도가니 몸통(110)을 형성하는 물질의 열 팽창 계수가 클수록 제1 도가니 몸통(110) 내벽에 달라 붙은 기능층 재료(200)를 용이하게 제거할 수 있다. 즉 제1 도가니 몸통(110)의 내벽이 수축 및 팽창을 할 경우, 제1 도가니 몸통(110)의 내벽과 달라 붙은 기능층 재료(200) 사이의 계면에는 스트레스가 인가되고, 결과적으로 기능층 재료(200)의 표면에는 손상이 발생될 수 있다. 이러한 손상은 예를 들면, 크랙(crack) 또는 홈(groove) 등일 수 있다. 또한 제1 도가니 몸통(110)의 내벽과 달라 붙은 기능층 재료(200) 사이의 계면의 접착력이 저하될 수 있다. 따라서 제1 도가니 몸통(110)의 내벽에 달라 붙은 기능층 재료(200)를 세정하는 것이 용이해 질 수 있다. For example, as the thermal expansion coefficient of the material forming the
제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)을 이루는 물질의 용융점은 가열부의 온도보다 높은 것을 특징으로 한다. 예를 들어, 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)의 용융점이 가열부의 온도보다 낮으면, 도가니(100)가 손상될 수 있다.The melting point of the material constituting the
제1 도가니 몸통(110)은 예를 들면, 티타늄(Ti)으로 이루어 질 수 있다. 단 이에 제한되지 않는다. 제2 도가니 몸통(120)은 예를 들면, 구리(Copper), 망간(Manganese), 은(Silver), 또는 금(Gold) 등이 이용될 수 있다. 단 이에 제한되지 않는다. The
표 1을 참조하면, 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)에 적용 가능한 물질들의 용융점과 열팽창 계수에 대하여 예시되어 있다. 단 이런 물질들에 제한되지 않는다.Referring to Table 1, melting points and thermal expansion coefficients of materials applicable to the
분출부(130)는 제1 도가니 몸통(110)의 상 측의 개방부를 덮는다. 분출부(130)는 제1 도가니 몸통(110)의 상단에 배치된다. 분출부(130)의 중앙에는 노즐(132; nozzle)이 형성되어 있다. 분출부(130)는 제2 도가니 몸통(120)의 상단의 측면 일부를 감싸도록 구성되어 있다. 분출부(130)는 제2 도가니 몸통(120)의 상단의 측면의 일부를 감싸도록 구성될 수 있다. 단 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 가열부로부터 전달된 열에너지는 제2 도가니 몸통(120)의 상단의 측면의 일부에 전달되며, 전달된 열에너지는 상기 분출부(130)로 전달될 수 있다.The
분출부(130)는 제1 도가니 몸통(110)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. The
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니의 열 팽창 상태를 개략적으로 설명하는 단면도이다.6 is a cross-sectional view schematically illustrating a thermal expansion state of a crucible according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 도가니(100)의 제1 도가니 몸통(110)은 열 팽창되어 제2 도가니 몸통(120)과 밀착되어 있다. 이러한 상태는 진공 분위기에서 고온으로 기능층 재료(200)를 기화시키는 제조 공정 중의 상태를 도시한 것이다. 도가니(100)는 가열부(610)에 의해서 가열된다. 그리고 기능층 재료(200)는 제1 도가니 몸통(110) 내부에 수용되어 있으며, 기화되어 유기 발광 다이오드의 기판(620)에 증착된다. Referring to FIG. 6 , the
특히 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)은 밀착되어 열전도되기 때문에 가열부(610)에서 발생된 열에너지가 제2 도가니 몸통(120)을 통해서 제1 도가니 몸통(110)으로 전도된다. In particular, since the
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니의 열 수축 상태를 개략적으로 설명하는 단면도이다.7 is a cross-sectional view schematically illustrating a thermal contraction state of a crucible according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 도가니(100)의 제1 도가니 몸통(110)은 열 수축되어 제2 도가니 몸통(120)과 이격되어 있다. 이러한 상태는 제조 공정이 끝난 상태에서 저온으로 도가니(100)를 냉각한 상태이다. 도 7에서는 설명의 편의를 위해 분출부(130)를 생략하고 설명한다. 제1 도가니 몸통(110)의 열 팽창 계수는 제2 도가니 몸통(120)의 열 팽창 계수보다 크기 때문에, 온도가 낮아질수록 이격거리(D1)이 증가하게 된다. 또한 제1 도가니 몸통(110)의 내측 면이 수축하기 때문에, 제1 도가니 몸통(110)과 달라 붙은 기능층 재료(200)의 계면 사이에 스트레스가 발생된다. 따라서 달라 붙은 기능층 재료(200)는 다수의 조각으로 분리될 수 있으며, 계면 접착력이 저감되기 때문에, 달라 붙은 기능층 재료(200)의 세정이 용이해 진다.Referring to FIG. 7 , the
또한 도가니(100)의 냉각은 제1 도가니 몸통(110)과 제2 도가니 몸통(120)을 같이 냉각하거나 또는 제1 도가니 몸통(110)만 냉각하는 것도 가능하다. In addition, the
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도가니를 세정하는 공정 순서도이다.8 is a flow chart of a process for cleaning a crucible according to another embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 먼저 도가니의 내부에 기능층 재료를 배치한다(S810).Referring to FIG. 8 , first, a functional layer material is disposed inside the crucible (S810).
예를 들면, 도가니는 제1 열팽창 계수를 가지는 제1 도가니 몸통 및 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 제1 도가니 몸통을 감싸도록 구성된, 제1 열팽창 계수보다 작은 제2 열팽창 계수를 가지는 제2 도가니 몸통을 포함한다. 기능층 재료는 기화 가능한 특징을 가지고 있다.For example, the crucible may include a first crucible body having a first coefficient of thermal expansion and a second crucible having a second coefficient of thermal expansion smaller than the first coefficient of thermal expansion, disposed on an outer side surface of the first crucible body and configured to surround the first crucible body. Contains the crucible body. The functional layer material has a vaporizable characteristic.
그 다음 도가니를 가열시켜 기능층 재료를 기화시킨다(S820).Then, the crucible is heated to vaporize the functional layer material (S820).
예를 들면, 도가니는 가열부에 의해서 500℃로 가열할 수 있다. 그리고 기능층 재료의 증착 속도는 1.5(A/second)로 제어할 수 있다. 이때 가열부의 온도는 실시간으로 조절될 수 있다. 즉, 온도가 올라갈수록 증착 속도가 증가할 수 있기 때문에, 증착 속도가 일정하게 유지되도록, 가열부의 온도를 실시간으로 모니터링하여, 도가니의 온도를 조절한다.For example, the crucible can be heated to 500°C by the heating unit. And the deposition rate of the functional layer material can be controlled to 1.5 (A/second). At this time, the temperature of the heating unit may be adjusted in real time. That is, since the deposition rate may increase as the temperature increases, the temperature of the crucible is adjusted by monitoring the temperature of the heating unit in real time so that the deposition rate is kept constant.
그 다음 도가니의 가열을 중단하여 기능층 재료의 일부가 달라 붙게 한다(S830).Then, heating of the crucible is stopped so that a part of the functional layer material sticks (S830).
제조 공정이 끝나면, 도가니의 가열을 중지한다. 도가니의 온도는 예를 들면 상온이 될 수 있다. 도가니의 가열이 중단되면 기화되었던 기능층 재료가 도가니의 내측 벽에 달라 붙게 된다. When the manufacturing process is finished, the heating of the crucible is stopped. The temperature of the crucible may be room temperature, for example. When heating of the crucible is stopped, the vaporized functional layer material adheres to the inner wall of the crucible.
그 다음 제1 도가니 몸통을 냉각한다(S840).Then, the body of the first crucible is cooled (S840).
제1 도가니 몸통이 열 수축(냉각)되면 달라 붙은 기능층 재료의 표면에 크랙 또는 홈이 형성될 수 있다. When the body of the first crucible is thermally contracted (cooled), cracks or grooves may be formed on the surface of the adhering functional layer material.
제1 도가니 몸통은 예를 들어, 제1 도가니를 냉동 챔버에 일정 시간 보관함으로 실시할 수 있다. 온도는 예를 들어 영하 40℃ 이하로 냉각할 수 있다. The first crucible body may be implemented by storing the first crucible in a freezing chamber for a certain period of time, for example. The temperature can be cooled to, for example, minus 40°C or lower.
제1 도가니 몸통은 예를 들어, 제1 도가니의 내부에 냉각제를 공급함으로 실시할 수 있다, 냉각제는 예를 들면, 액체질소일 수 있다. 특히 액체질소를 공급하면, 제1 도가니 몸통 및 기능층 재료가 급속으로 냉각되기 때문에, 빠른 수축이 발생한다. 그리고 빠르게 수축될수록, 기능층 재료 표면에 손상이 쉽게 발생될 수 있다. 따라서 기능층 재료가 박리될 수 있다.The first crucible body may be implemented by, for example, supplying a coolant to the inside of the first crucible. The coolant may be, for example, liquid nitrogen. In particular, when liquid nitrogen is supplied, rapid shrinkage occurs because the body of the first crucible and the material of the functional layer are rapidly cooled. In addition, the faster the shrinkage, the easier damage may occur to the surface of the functional layer material. Accordingly, the functional layer material may be peeled off.
몇몇 실시예에서는, 냉각된 제1 도가니 몸통은 다시 가열될 수 있다. 제1 도가니 몸통이 열 팽창되면, 기능층 재료 표면에 생성된 홈 또는 크랙이 더 발생될 수 있다. 냉각과 가열을 순차적으로 반복하면 열 팽창과 열 수축이 반복되기 대문에, 달라 붙은 기능층 재료를 쉽게 제거할 수 있다.In some embodiments, the cooled first crucible body may be heated again. When the first crucible body is thermally expanded, grooves or cracks may be further generated on the surface of the functional layer material. When cooling and heating are sequentially repeated, the adhering functional layer material can be easily removed because thermal expansion and contraction are repeated.
몇몇 실시예에서는, 달라 붙은 기능층 재료 표면에 홈 또는 크랙을 생성한 다음 제1 도가니 몸통에 냉동시 부피가 팽창하는 액체를 채워서 냉동할 수 있다. 이러한 경우, 홈 또는 크랙 사이로 침투된 액체가 얼면서 부피가 팽창하게 되고, 제1 도가니 몸통의 내측 면에 달라 붙은 기능층 재료 사이에서 팽창하기 때문에 기능층 재료의 제거가 용이하게 할 수 있다. 액체는 예를 들어 물, 아세톤 에탄올 들이 있으며, 단 이에 제한되지 않는다. 몇몇 실시예에서는, 달라 붙은 기능층 재료 표면에 홈 또는 금을 생성한 다음 제1 도가니 몸통에 세정액을 채워서 세정할 수 있다. 예를 들면 세정액은 테트라 하이드로 퓨란(Tetra Hydro Furan) 또는 이소프로필 알코올(Isopropyl Alchol)일 수 있다. 단 이에 제한되지 않는다. 이러한 경우, 홈 또는 크랙 사이로 세정액이 침투될 수 있기 때문에, 제1 도가니 몸통의 내측 면에 달라 붙은 기능층 재료를 보다 용이하게 세정할 수 있다.In some embodiments, grooves or cracks may be formed on the surface of the adhering functional layer material, and then the body of the first crucible may be filled with a liquid that expands when frozen, and then frozen. In this case, the liquid penetrating between the grooves or cracks freezes and expands in volume, and since it expands between the functional layer materials adhering to the inner surface of the body of the first crucible, the functional layer material can be easily removed. The liquid includes, for example, water, acetone and ethanol, but is not limited thereto. In some embodiments, grooves or cracks may be formed on the surface of the adhering functional layer material, and then cleaning may be performed by filling the body of the first crucible with a cleaning solution. For example, the cleaning solution may be tetra hydro furan or isopropyl alcohol. However, it is not limited thereto. In this case, since the cleaning solution can permeate through the grooves or cracks, the functional layer material adhering to the inner surface of the body of the first crucible can be more easily cleaned.
몇몇 실시예에서는, 도가니(100)를 가열하는 가열부가 도가니(100) 주변에 배치될 수 있다. 가열부는 열선을 포함할 수 있다. 가열부는 도가니(100)를 가열시키고, 도가니(100)에 수용된 기능층 재료(200)는 기화된다. 기화된 기능층 재료(200)는 유기 발광 다이오드의 기판 쪽으로 이동하여 증착됨으로써 유기 발광 다이오드를 형성한다. 기능층 재료(200)는 애노드(anode)와 캐소드(cathode) 사이에 위치하는 다양한 기능층(예를 들면, 발광 층, 정공 주입 층, 정공 수송 층, 전자 수송 층, 전자 주입 층, 정공 저지층, 전자 저지층 또는 전하 생성 층 중 적어도 하나)을 형성할 수 있다. 기능층 재료(200)는 유기 재료 또는 무기 재료가 될 수 있다.In some embodiments, a heating unit for heating the
몇몇 실시예에서는, 도가니(100)는 분출부(130)의 온도 편차를 저감하기 위한 추가적인 구성요소들을 더 포함하도록 구성될 수 있다. 예를 들어 기능층 재료에 의해서 막히는 클로깅(clogging) 문제를 저감하기 위해서 분출부(130) 상단을 덮으며, 노즐(132)에 대응되는 구멍이 형성되어 있는 복사열 반사판을 더 포함할 수 있다. 복사열 반사판은, 분출부(130)의 상단을 덮으며, 분출부(130)에서 방출되는 복사 열에너지를 다시 분출부(130)로 반사시키는 기능을 수행한다. 반사판의 중앙부에 형성된 구멍의 직경은, 분출부(130)의 노즐(132)직경과 동일하거나 또는 더 크게 형성될 수 있다. In some embodiments, the
본 발명의 몇몇 실시예에 따르면, 도가니는 제1 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제1 도가니 몸통 및 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 제1 도가니 몸통을 감싸도록 구성된, 제2 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제2 도가니 몸통을 포함하고, 제1 열팽창 계수는 상기 제2 열팽창 계수보다 크도록 구성될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the crucible has a first crucible body configured to have a first coefficient of thermal expansion and a second coefficient of thermal expansion disposed on an outer side surface of the first crucible body and configured to surround the first crucible body. and a second crucible body configured to have a first coefficient of thermal expansion greater than the second coefficient of thermal expansion.
제1 도가니 몸통의 일 단면의 형상은 제1 지름을 가지는 원통형이고, 제2 도가니 몸통의 일 단면의 형상은 제2 지름을 가지는 원통형이고, 제1 지름은 제2 지름보다 작도록 구성될 수 있다. 제1 도가니 몸통과 제2 도가니 몸통 사이의 이격 거리는 온도에 따라서 가변 되도록 구성될 수 있다. 제1 도가니 몸통 내에 수용되는 기능층 재료의 기화 가능 온도(예를 들면, 300℃ 이상)에서, 제1 도가니 몸통의 외 측면은 제2 도가니 몸통의 내 측면과, 밀착되도록 구성될 수 있다. 제1 도가니 몸통은 특정 냉각 온도에서, 제1 도가니 몸통의 내 측면은 눌러 붙은 기능층 재료의 표면에 크랙이 발생하도록 수축될 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 도가니 몸통의 두께는 제2 도가니의 두께보다 얇도록 구성될 수 있다. 제1 도가니 몸통은 구리 재질로 이루어지고, 제2 도가니 몸통은 티타늄재질로 이루어질 수 있다.The shape of one cross-section of the first crucible body may be a cylindrical shape having a first diameter, the shape of one cross-section of the second crucible body may be a cylindrical shape having a second diameter, and the first diameter may be smaller than the second diameter. . The separation distance between the first crucible body and the second crucible body may be configured to vary according to temperature. At a vaporization temperature (eg, 300° C. or higher) of the functional layer material accommodated in the first crucible body, the outer side surface of the first crucible body may be configured to be in close contact with the inner side surface of the second crucible body. At a specific cooling temperature, the first crucible body may be configured such that an inner side surface of the first crucible body can be contracted to generate cracks on the surface of the pressed functional layer material. The thickness of the body of the first crucible may be configured to be thinner than the thickness of the second crucible. The first crucible body may be made of copper, and the second crucible body may be made of titanium.
본 발명의 몇몇 실시예에 따르면, 제1 열팽창 계수를 가지는 제1 도가니 몸통 및 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 제1 도가니 몸통을 감싸도록 구성된, 제1 열팽창 계수보다 제2 열팽창 계수를 가지는 제2 도가니 몸통을 포함하는 도가니의 내부에 기능층 재료를 배치한다. 그 다음 도가니를 가열시켜 기능층 재료를 기화시킨다. 그 다음 도가니의 가열을 중단시켜 기능층 재료의 일부가 제1 도가니 몸통의 내측 벽에 달라 붙게 한다. 그 다음 제1 도가니 몸통을 냉각한다. 상술한 방법에 의하면 도가니 내부에 달라 붙은 기능층 재료 표면에 손상이 발생될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a first crucible body having a first coefficient of thermal expansion and a second coefficient of thermal expansion greater than the first coefficient of thermal expansion configured to surround the first crucible body and disposed on an outer side surface of the first crucible body. A functional layer material is disposed inside the crucible including the second crucible body. Then, the crucible is heated to vaporize the functional layer material. Heating of the crucible is then stopped so that a portion of the functional layer material adheres to the inner wall of the first crucible body. Then, the body of the first crucible is cooled. According to the method described above, damage may occur to the surface of the functional layer material adhering to the inside of the crucible.
또한 냉각된 제1 도가니 몸통을 가열하면, 냉각된 기능층 재료 표면에 발생된 손상이 더 증가될 수 있다. 그리고 제1 도가니 몸통을 교번하여 냉각 및 가열을 반복하면 기능층 재료 표면에 손상이 더욱 더 증가될 수 있다.In addition, when the cooled first crucible body is heated, damage to the surface of the cooled functional layer material may further increase. In addition, if the first crucible body is alternately cooled and heated repeatedly, damage to the surface of the functional layer material may further increase.
제1 도가니 몸통을 냉각하는 단계는, 제1 도가니 몸통에 냉각제를 공급하는 방식으로도 가능하다. 냉각제는 액체질소일 수 있다.The step of cooling the first crucible body may be performed by supplying a coolant to the first crucible body. The coolant may be liquid nitrogen.
또는 제1 도가니 몸통을 냉각 하는 단계는, 제1 도가니 몸통을 냉동 챔버에 투입하는 방식으로도 가능하다. 제1 도가니 몸통을 가열 하는 단계는, 제1 도가니 몸통을 고온 챔버에 투입하는 방식으로도 가능하다. 냉동 챔버 및 고온 챔버는 동일한 챔버일 수 있으며, 별도의 챔버일 수도 있다.Alternatively, the step of cooling the first crucible body may be performed by introducing the first crucible body into the freezing chamber. The step of heating the first crucible body may be performed by introducing the first crucible body into a high-temperature chamber. The freezing chamber and the high temperature chamber may be the same chamber or may be separate chambers.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and may be variously modified and implemented without departing from the technical spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be construed according to the claims below, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.
100 : 도가니
110 : 제1 도가니 몸통
120 : 제2 도가니 몸통
130 : 분출부
132 : 노즐
200 : 기능층 재료
610 : 가열부
620 : 기판 100: crucible
110: first crucible body
120: second crucible body
130: ejection part
132: nozzle
200: functional layer material
610: heating unit
620: substrate
Claims (15)
상기 제1 도가니 몸통의 외 측면에 배치되어 상기 제1 도가니 몸통을 감싸며 제2 열팽창 계수를 가지도록 구성된 제2 도가니 몸통;
상기 제1 도가니 몸통의 상측 개방부를 덮는 분출부; 및
상기 분출부의 상단을 덮는 복사열 반사판을 포함하고,
상기 제1 열팽창 계수는 상기 제2 열팽창 계수보다 크고,
상기 복사열 반사판은 상기 분출부에서 방출되는 복사 열에너지를 상기 분출부로 반사시키고,
상기 분출부는 노즐을 포함하고,
상기 노즐의 직경은 상기 분출부에서 상기 복사열 반사판을 향하는 방향으로 갈수록 감소하고,
상기 복사열 반사판은 상기 노즐에 대응되는 위치에 형성된 구멍을 포함하고,
상기 복사열 반사판의 상기 구멍의 직경은 상기 노즐의 직경과 동일하거나 더 큰 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.a first crucible body configured to have a first coefficient of thermal expansion;
a second crucible body disposed on an outer side surface of the first crucible body to surround the first crucible body and to have a second coefficient of thermal expansion;
an ejection portion covering an upper opening of the first crucible body; and
Including a radiant heat reflector covering the upper end of the ejection part,
The first coefficient of thermal expansion is greater than the second coefficient of thermal expansion,
The radiant heat reflector reflects radiant heat energy emitted from the jetting unit to the jetting unit,
The ejection unit includes a nozzle,
The diameter of the nozzle decreases in a direction from the ejection part toward the radiant heat reflector,
The radiant heat reflector includes a hole formed at a position corresponding to the nozzle,
The crucible for manufacturing an organic light emitting diode, wherein the diameter of the hole of the radiant heat reflector is equal to or greater than the diameter of the nozzle.
상기 제1 도가니 몸통의 일 단면의 형상은 제1 지름을 가지는 원통형이고,
상기 제2 도가니 몸통의 일 단면의 형상은 제2 지름을 가지는 원통형이고,
상기 제1 지름은 상기 제2 지름보다 작은 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 1,
The shape of one cross section of the first crucible body is a cylinder having a first diameter,
The shape of one cross section of the second crucible body is a cylinder having a second diameter,
The crucible for manufacturing an organic light emitting diode, wherein the first diameter is smaller than the second diameter.
상기 제1 도가니 몸통과 상기 제2 도가니 몸통 사이의 이격 거리는 온도에 따라서 가변되는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 2,
A crucible for manufacturing an organic light emitting diode in which a separation distance between the first crucible body and the second crucible body varies according to temperature.
상기 제1 도가니 몸통 내에 수용되는 기능층 재료의 기화 가능 온도에서, 상기 제1 도가니 몸통의 외 측면은 상기 제2 도가니 몸통의 내 측면과 밀착되도록 구성된 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 3,
A crucible for manufacturing an organic light emitting diode configured to be in close contact with an outer side surface of the first crucible body at a vaporization temperature of the functional layer material accommodated in the first crucible body.
상기 제1 도가니 몸통은 냉각 온도에서, 상기 제1 도가니 몸통의 내 측면은 상기 제1 도가니 몸통에 달라 붙은 기능층 재료의 표면에 크랙 또는 홈이 발생하도록 수축될 수 있도록 구현된 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 4,
A crucible for manufacturing an organic light emitting diode implemented such that the inner side of the first crucible body can be contracted to generate cracks or grooves on the surface of the functional layer material adhering to the first crucible body at a cooling temperature. .
상기 제1 도가니 몸통의 두께는 상기 제2 도가니 몸통의 두께보다 얇은 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 1,
The crucible for manufacturing an organic light emitting diode, wherein the thickness of the body of the first crucible is smaller than the thickness of the body of the second crucible.
상기 제1 도가니 몸통은 구리 재질로 이루어지고 상기 제2 도가니 몸통은 티타늄재질로 이루어진 유기 발광 다이오드 제조용 도가니.According to claim 1,
The crucible for manufacturing an organic light emitting diode, wherein the first crucible body is made of copper and the second crucible body is made of titanium.
상기 도가니를 가열시켜 상기 기능층 재료를 기화시키는 단계;
상기 도가니의 가열을 중단시켜 상기 기능층 재료의 일부가 상기 제1 도가니 몸통의 내측 벽에 달라 붙게 하는 단계; 및
상기 제1 도가니 몸통을 냉각하는 단계를 포함하고,
상기 도가니를 가열시켜 상기 기능층 재료를 기화시키는 단계는 상기 복사열 반사판이 상기 분출부에서 방출되는 복사 열에너지를 상기 분출부로 반사시키는 단계를 포함하고,
상기 분출부는 노즐을 포함하고,
상기 노즐의 직경은 상기 분출부에서 상기 복사열 반사판을 향하는 방향으로 갈수록 감소하고,
상기 복사열 반사판은 상기 노즐에 대응되는 위치에 형성된 구멍을 포함하고,
상기 복사열 반사판의 상기 구멍의 직경은 상기 노즐의 직경과 동일하거나 더 큰 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.A first crucible body having a first coefficient of thermal expansion, a second crucible body disposed on an outer side surface of the first crucible body and surrounding the first crucible body and having a second coefficient of thermal expansion smaller than the first coefficient of thermal expansion, the first crucible body arranging a functional layer material inside a crucible including a jetting unit covering an upper opening of a crucible body and a radiant heat reflector covering an upper end of the jetting unit;
vaporizing the functional layer material by heating the crucible;
stopping heating of the crucible so that a portion of the material for the functional layer adheres to the inner wall of the body of the first crucible; and
Cooling the first crucible body;
The step of vaporizing the functional layer material by heating the crucible includes reflecting radiant heat energy emitted from the ejection portion to the ejection portion by the radiant heat reflector;
The ejection unit includes a nozzle,
The diameter of the nozzle decreases in a direction from the ejection part toward the radiant heat reflector,
The radiant heat reflector includes a hole formed at a position corresponding to the nozzle,
The diameter of the hole of the radiant heat reflector is equal to or greater than the diameter of the nozzle.
상기 제1 도가니 몸통을 가열하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 8,
A method of cleaning a crucible for manufacturing an organic light emitting diode, further comprising heating the body of the first crucible.
상기 제1 도가니 몸통을 냉각하는 단계 및 가열하는 단계는 서로 교번하며 반복되는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 9,
A method of cleaning a crucible for manufacturing an organic light emitting diode in which the steps of cooling and heating the body of the first crucible are alternately repeated.
상기 제1 도가니 몸통을 냉각하는 단계는, 상기 제1 도가니 몸통에 냉각제를 공급하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 8,
The cooling of the first crucible body further comprises supplying a coolant to the first crucible body.
상기 제1 도가니 몸통을 냉각하는 단계는, 상기 제1 도가니 몸통을 냉동 챔버에 투입하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 8,
The step of cooling the first crucible body further comprises putting the first crucible body into a freezing chamber.
상기 제1 도가니 몸통을 가열하는 단계는, 상기 제1 도가니 몸통을 고온 챔버에 투입하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 12,
The heating of the first crucible body further comprises introducing the first crucible body into a high-temperature chamber.
상기 냉동 챔버 및 상기 고온 챔버는 동일한 챔버인 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 13,
Wherein the freezing chamber and the high-temperature chamber are the same chamber.
상기 냉각제는 액체질소인 유기 발광 다이오드 제조용 도가니의 세정 방법.According to claim 11,
The method of cleaning a crucible for manufacturing an organic light emitting diode in which the coolant is liquid nitrogen.
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