KR102495302B1 - 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템 - Google Patents

노광기용 렌즈 위치 조정 시스템 Download PDF

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KR102495302B1
KR102495302B1 KR1020220136618A KR20220136618A KR102495302B1 KR 102495302 B1 KR102495302 B1 KR 102495302B1 KR 1020220136618 A KR1020220136618 A KR 1020220136618A KR 20220136618 A KR20220136618 A KR 20220136618A KR 102495302 B1 KR102495302 B1 KR 102495302B1
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Abstract

본 발명은 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템으로서 프레임부; 및 상기 프레임부에 일측면이 연결되어 있으며 상단 방향으로 회전하여 개방 가능하도록 회전 구동하는 덮개부;를 포함할 수 있다.

Description

노광기용 렌즈 위치 조정 시스템{Lens positioning system for the exposure machine}
본 발명은 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조를 위한 전처리 공정으로서, 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼 표면에 포토 레지스트(이하, 레지스트)를 코팅하는 공정이 있다. 이 공정에서, 엣지부를 포함한 웨이퍼의 전체면 상에 레지스터가 코팅된다.
한편, 웨이퍼의 핸들링을 위해, 웨이퍼의 엣지을 로봇 집게 또는 작업자의 손으로 파지할 필요가 있는데, 웨이 퍼의 엣지부까지 레지스트가 코팅되어 있으면, 웨이퍼의 핸들링시에 레지스트의 일부가 벗겨져 버리는 경우가 발생하고, 벗겨진 레지스트는 파티클이 되어 수율의 저하를 초래하게 된다. 따라서, 파티클의 발생을 억제하기 위해, 미리 웨이퍼 엣지부를 노광하여 제거할 필요가 있다.
따라서, 웨이퍼의 엣지부를 일정한 폭으로 정확하게 노광하기 위한 광원 및 이 광원을 메인 노광 설비와 연동하여 제어할 수 있는 광원 장치에 대한 필요성이 대두하였다.
한편 노광장치에는 자외선을 조사(照射)하는 광원장치가 장착되어 있고, 주로 자외선램프를 사용하여 빛을 쪼여주는 관계로 노광시간을 일정하게 유지할 수 없었을 뿐 아니라 자외선을 조사할 때 빛의 확산 및 산란이 발 생되어 포토마스크의 회로패턴을 정밀하게 전사하기 어려웠다.
한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득 한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
한국등록특허 제 10-0960083호
본 발명의 목적은 레일을 통해 이동할 수 있는 렌즈수용부를 이용하여 노광기의 렌즈 위치를 세밀하게 조절하여 레이저의 포인트가 선명하게 조사되도록 할 수 있는 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템을 제공한다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템은, 프레임부; 및 상기 프레임부에 일측면이 연결되어 있으며 상단 방향으로 회전하여 개방 가능하도록 회전 구동하는 덮개부;를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 프레임부는, 외측 둘레를 따라 형성되는 지지프레임; 내부에 광을 조사하는 레이저가 구비되어 있는 레이저케이스; 내부에 렌즈가 수용되어 있어 상기 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 모으고, 말단에는 반사경이 구비되어 있는 주케이스; 렌즈가 수용되어 있어 상기 반사경을 통해 조사되는 광원을 모으는 렌즈수용부; 및 상단에 위치하여 길이 방향을 따라 이동 가능한 상기 렌즈 수용부의 위치를 조정하는 레일부;를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 레이저케이스는, 내부에 구비된 레이저가 a의 방향으로 광을 조사할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 반사경은, 상기 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 b의 방향으로 광을 조사할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 렌즈수용부는, 상기 레일부를 따라 위치가 조정되어 광을 모아 웨이퍼에 조사되는 광원이 설정된 소정의 위치에 조사되도록 할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 프레임부는, 상기 덮개부를 지지하는 덮개지지부가 일측면에 구비되어 있을 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 덮개지지부는, 상기 프레임부의 일측면에 고정되는 하단지지대; 상기 하단지지대의 일측에 고정 연결되어 있으며 상단의 방향으로 갈수록 직경이 커지는 형상으로 형성되는 탄성지지대; 상기 탄성지지대의 상단에 위치하며 소정의 두께를 갖는 다각 판의 형상으로 형성되는 중앙지지판; 및 상기 중앙지지판의 상단 모서리에 구비되어 있는 다수 개의 상단지지대;를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 하단지지대는, 'Ω'와 같은 형상으로 형성되되 반원형 띠의 형상으로 형성되어 외측면으로 돌출된 하단부를 이용해 분리 및 결합 가능한 형상으로 형성되는 반원부; 상기 반원부의 외측면으로 돌출된 양단에 원형 홈의 형상으로 각각 형성된 나사홈; 상기 나사홈을 관통하여 상기 반원부의 결합을 견고하게 하는 나사부; 결합되는 상기 반원부 중 하나의 반원부 일측면에 위치하여 있으며, 상기 탄성지지대의 최하단이 삽입되는 제1 지지대 삽입부; 및 상기 제1 지지대 삽입부에 끼워진 상기 탄성지지대의 최하단을 고정하는 제1 끼움핀;을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 나사부는, 볼트 및 너트로 구비되어 너트가 상기 나사홈을 관통하면 볼트가 상기 나사홈을 관통한 너트의 일단으로 끼움되어 결합된 상기 반원부가 분리되는 것을 방지할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 볼트는, 상기 너트의 외측면에 형성되어 있는 나사산의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 서로 맞물려 견고하게 회전 결합 가능할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 제1 끼움핀은, 상기 제1 지지대 삽입부를 수직으로 관통하여 일단이 상기 제1 지지대 삽입부에 삽입되어져 있는 상기 탄성지지대의 최하단과 맞닿아 상기 탄성지지대의 최하단이 상기 제1 지지대 삽입부로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 탄성지지대는, 다수 개의 층을 갖는 용수철의 형상으로 형성되되, 각 층마다 양단으로 분리 가능하도록 반원 띠의 형상으로 형성될 수 있고, 상기 반원 띠의 형상 양단에는 각각 끼움부 및 끼움홈이 형성되어 있을 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 끼움홈은, 상기 끼움부의 외측면의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 상기 끼움부가 내측으로 삽입되어 견고하게 고정될 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 탄성지지대는, 상기 덮개부가 상기 프레임부로 이동할 때 발생하는 충격 또는 진동이 발생하는 경우, 각 층의 간격이 좁아져 충격 또는 진동을 완화할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 중앙지지판은, 상기 탄성지지대의 최상단이 삽입되는 제2 지지대 삽입부; 및 상기 제2 지지대 삽입부에 끼워진 상기 탄성지지대의 최상단은 고정하는 제2 끼움핀;을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 제2 끼움핀은, 상기 제2 지지대 삽입부를 수직으로 관통하여 일단이 상기 제2 지지대 삽입부에 삽입되어져 있는 상기 탄성지지대의 최상단과 맞닿아 상기 탄성지지대의 최상단이 상기 제2 지지대 삽입부로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압할 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 중앙지지판은, 모서리에 상기 상단지지대가 관통 가능한 관통홈이 형성되어 있을 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 상단지지대는, 원기둥 형상의 상단부와 원판 형상의 하단부로 형성될 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 관통홈은, 상기 상단지지대의 원기둥 형상으로 형성되는 상단부와 대응되는 직경의 홈으로 형성되어 상기 상단지지대의 상단부가 끼움 고정될 수 있다.
일 실시예에 따른, 상기 상단지지대는, 상단부의 직경보다 큰 직경을 갖는 원판 형상의 하단부에 의해 상기 관통홈으로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 본 발명이 제안하는 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템은 레일을 통해 이동할 수 있는 렌즈수용부를 이용하여 노광기의 렌즈 위치를 세밀하게 조절하여 레이저의 포인트가 선명하게 조사되도록 할 수 있다.
또한, 덮개부가 프레임부의 상단으로부터 덮어지는 구동을 지지하는 덮개지지부가 구비되어 있어 덮개부가 프레임부의 상단으로 덮여질 때 덮개부의 무게에 의해 발생하는 충격 또는 진동을 덮개지지부가 흡수하여 프레임부에 압력이 가해지는 것을 방지할 수 있고, 이를 통해 렌즈 및 레이저가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 덮개지지부의 구성 중 일부인 상단지지대가 완충 가능한 구성으로 형성되어 덮개지지부의 탄성지지대에 의해 덮개부로부터 발생하는 충격 또는 진동을 1차적으로 흡수한 뒤 남은 잔여 충격 또는 진동을 2차적으로 흡수할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 미만에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템의 구성이 도시된 도면이다.
도 3 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템에 대한 구성이 도시된 도면이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "체결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구 성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 체결되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 체결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
미만, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템의 구성이 도시된 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템(100)은 프레임부(130) 및 프레임부에 일측면이 연결되어 있으며 상단 방향으로 회전하여 개방 가능하도록 회전 구동하는 덮개부(110)를 포함할 수 있다.
프레임부(130)는 외측 둘레를 따라 형성되는 지지프레임(131), 내부에 광을 조사하는 레이저가 구비되어 있는 레이저케이스(133), 내부에 렌즈가 수용되어 있어 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 모으고, 말단에는 반사경이 구비되어 있는 주케이스(135), 렌즈가 수용되어 있어 반사경을 통해 조사되는 광원을 모으는 렌즈수용부(137) 및 상단에 위치하여 길이 방향을 따라 이동 가능한 렌즈 수용부의 위치를 조정하는 레일부(139)를 포함할 수 있다.
레이저케이스(133)는 내부에 구비된 레이저가 a의 방향으로 광을 조사할 수 있다.
주케이스(135)에 구비된 반사경은 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 b의 방향으로 광을 조사할 수 있다.
렌즈수용부(137)는 레일부(139)를 따라 위치가 조정되어 광을 모아 웨이퍼에 조사되는 광원이 설정된 소정의 위치에 조사되도록할 수 있다.
결론적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템(100)은 레이저케이스(133)의 내부에 레이저가 구비되어 광을 조사하면 a 방향으로 조사될 수 있고,
동시에, 주케이스(135)의 내부에 수용된 렌즈를 거쳐 빛이 모아지고, 주케이스(135) 말단의 반사경을 통해 b 방향으로 광이 조사될 수 있다.
한편, b 방향으로 조사된 광은 렌즈수용부(137)에 수용된 렌즈(1375)를 거쳐 더 모아지게 될 수 있다.
노광기 사용에 따라 광의 세기가 달라지고, 렌즈의 위치를 조절할 필요가 있는데 레일부(139)에 위치한 렌즈수용부(137)의 위치를 조정하여 광을 정밀하게 모아서 웨이퍼에 설정된 위치에 조사될 수 있도록 할 수 있다.
결론적으로, 본 발명이 제안하는 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템(100)을 통해 레일을 통해 이동할 수 있는 렌즈수용부를 이용하여 노광기의 렌즈 위치를 세밀하게 조절하여 레이저의 포인트가 선명하게 조사되도록 할 수 있는 것이다.
도 3 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템에 대한 구성이 도시된 도면이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임부(130)는 덮개부(110)를 지지하는 덮개지지부(200)가 일측면에 구비되어 있을 수 있습니다.
더욱 구체적으로, 덮개지지부(200)는 하단지지대(220), 탄성지지대(240), 중앙지지판(260), 상단지지대(280)를 포함할 수 있다.
하단지지대(220)는 프레임부(130)의 일측면에 고정되어 있을 수 있다.
하단지지대(220)는 반원부(220'), 나사홈(222), 나사부(224), 제1 지지대 삽입부(227) 및 제1 끼움핀(226)을 포함할 수 있다.
반원부(220')는 'Ω'와 같은 형상으로 형성되되 반원형 띠의 형상으로 형성되어 외측면으로 돌출된 하단부를 이용해 분리 및 결합 가능한 형상으로 형성될 수 있다.
나사홈(222)은 반원부(220')의 외측면으로 돌출된 양단에 원형 홈의 형상으로 각각 형성될 수 있다.
나사부(224)는 나사홈(222)을 관통하여 반원부(220')의 결합을 견고하게 고정시킬 수 있다.
나사부는 볼트 및 너트로 구비되어 너트가 나사홈(222)을 관통하면 볼트가 나사홈(222)을 관통한 너트의 일단으로 끼움되어 결합된 반원부(220')가 분리되는 것을 방지할 수 있다.
볼트는 너트의 외측면에 형성되어 있는 나사산의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 서로 맞물려 견고하게 회전 결합 가능할 수 있다.
제1 지지대 삽입부(227)는 결합되는 반원부(220') 중 하나의 반원부(220') 일측면에 위치하여 있으며, 탄성지지대(240)의 최하단이 삽입될 수 있다.
즉, 제1 지지대 삽입부(227)는 서로 맞닿아 결합되는 반원부(220') 중 하나에만 형성되어 있을 수 있다.
제1 끼움핀(226)은 제1 지지대 삽입부(227)에 끼워진 탄성지지대(240)의 최하단을 고정시킬 수 있다.
여기서, 제1 끼움핀(226)은 제1 지지대 삽입부(227)를 수직으로 관통하여 일단이 제1 지지대 삽입부(227)에 삽입되어져 있는 탄성지지대(240)의 최하단과 맞닿아 탄성지지대(240)의 최하단이 제1 지지대 삽입부(227)로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압할 수 있다.
즉, 하단지지대(220)는 반원부(220')의 'Ω'와 같은 형상으로 형성되어 평평하게 형성되어 있는 하단부가 각각 맞닿아 결합될 수 있으며, 결합된 후 나사홈(222)과 나사부(224)를 통해 견고하게 고정될 수 있다.
한편, 하단지지대(220)는 프레임부(130)의 일측면에 고정되기 위하여 별도의 부착부재가 하단에 구비되어 있을 수 있다.
여기서, 부착부재는 본드 등의 견고하게 부착 가능한 소재를 의미할 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니고, 하단지지대(220)의 하단에 프레임부(130)의 일측면에 고정될 수 있는 소재라면 그 명칭에 구애됨없이 모두 포함될 수 있다.
탄성지지대(240)는 하단지지대(220)의 일측에 고정 연결되어 있으며 상단의 방향으로 갈수록 직경이 커지는 형상으로 형성될 수 있다.
탄성지지대(240)는 다수 개의 층을 갖는 용수철의 형상으로 형성되되, 각 층마다 양단으로 분리 가능하도록 반원 띠의 형상으로 형성될 수 있고, 반원 띠의 형상 양단에는 각각 끼움부(2424) 및 끼움홈(2422)이 형성되어 있을 수 있다.
즉, 탄성지지대(240)는 상단의 방향으로 갈수록 직경이 커지는 용수철의 형상으로 형성될 수 있으며, 각 층마다 양단으로 분리 가능하도록 반원 띠의 형상으로 형성될 수 있다.
끼움홈(2422)은 끼움부(2424)의 외측면의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 끼움부(2424)가 내측으로 삽입되어 견고하게 고정될 수 있다.
여기서, 끼움부(2424)는 외측면에 나사산이 형성되어 있을 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니고, 각이 져 있는 형상으로 형성되는 등 끼움부(2424)가 끼움홈(2422)에 끼워져 있는 채로 이탈되는 것이 방지되도록 형성될 수도 있다.
탄성지지대(240)는 덮개부(110)가 프레임부(130)로 이동할 때 발생하는 충격 또는 진동이 발생하는 경우, 각 층의 간격이 좁아져 충격 또는 진동을 완화할 수 있다.
중앙지지판(260)은 탄성지지대(240)의 상단에 위치하며 소정의 두께를 갖는 다각 판의 형상으로 형성될 수 있다.
더욱 구체적으로, 중앙지지판(260)은 사각 판의 형상으로 형성되되 각진 모서리로 인해 사용자 또는 작업자가 안전사고 당하는 등의 일을 방지하기 위하여 각 모서리가 일정하게 깎인 형상으로 형성될 수 있다.
중앙지지판(260)은 제2 지지대 삽입부(266) 및 제2 끼움핀(268)을 포함할 수 있다.
제2 지지대 삽입부(266)는 탄성지지대(240)의 최상단이 삽입될 수 있다.
제2 끼움핀(268)은 제2 지지대 삽입부(266)에 끼워진 탄성지지대(240)의 최상단은 고정할 수 있다.
더욱 구체적으로, 제2 끼움핀(268)은 제2 지지대 삽입부(266)를 수직으로 관통하여 일단이 제2 지지대 삽입부(266)에 삽입되어져 있는 탄성지지대(240)의 최상단과 맞닿아 탄성지지대(240)의 최상단이 제2 지지대 삽입부(266)로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압할 수 있다.
중앙지지판(260)은 모서리에 상단지지대(280)가 관통 가능한 관통홈(264)이 형성되어 있을 수 있다.
여기서, 관통홈(264)은 상단지지대(280)의 원기둥 형상으로 형성되는 상단부와 대응되는 직경의 홈으로 형성되어 상단지지대(280)의 상단부가 끼움 고정될 수 있다.
상단지지대(280)는 중앙지지판(260)의 상단 모서리에 구비되어 있을 수 있으며 다수 개 구비될 수 있다.
상단지지대(280)는 원기둥 형상의 상단부와 원판 형상의 하단부로 형성될 수 있고, 상단부의 직경보다 큰 직경을 갖는 원판 형상의 하단부에 의해 관통홈(264)으로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
한편, 상단지지대(280)는 상단에 맞닿는 덮개부(110)의 무게에 의해 일정한 충격 또는 진동이 가해질 수 있는데 이를 흡수하기 위하여 수축 및 이완 가능한 소재로 형성될 수 있으며, 효율적일 수축 및 이완이 가능하도록 외측면에는 다수 개의 홈(2842)이 소정의 간격을 가지고 형성되어 있을 수 있다.
도 7 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상단지지대(300)는 완충부(310), 완충공간(320), 제1 내측끼움부(340), 제2 내측끼움부(330), 끼움고정나사(350), 상단덮개부(360) 및 지지기둥(370)을 포함할 수 있다.
완충부(310)는 소정의 직경 및 높이를 갖는 원기둥의 형상으로 형성되되 내측(311)은 비어 있는 원기둥 띠의 형상으로 형성되어 있을 수 있다.
또한, 완충부(310)는 상단에 소정의 간격을 가지며 다수 개의 제1 삽입홈(312)이 형성되어 있을 수 있다.
완충공간(320)은 완충부(310)의 하단에 형성될 수 있는데, 지지기둥(370)이 제1 내측끼움부(340), 제2 내측끼움부(330) 및 상단덮개부(360)에 의해 고정된 후 완충부(310)의 내측에 남는 공간을 의미할 수 있다.
제1 내측끼움부(340)는 하단은 완충부(310)의 비어 있는 내측에 끼워지며 상단은 완충부(310)의 상단에 밀착되도록 형성될 수 있다.
제1 내측끼움부(340)의 하단은 완충부(310)의 비어 있는 내측과 동일한 직경으로 형성되어 완충부(310)의 비어 있는 내측과 맞닿도록 형성될 수 있고, 상단(341)은 하단과 외측 방향으로 수직되도록 형성되어 완충부의 상단에 밀착 가능하도록 형성될 수 있다.
한편, 제1 내측끼움부(340)의 상단은 완충부(310)의 상단에 형성된 다수 개의 제1 삽입홈(312)과 대응되는 간격으로 제2 삽입홈(342)이 형성되어 있을 수 있다.
제2 삽입홈(342)은 제1 삽입홈(312)과 맞닿아 동일선상에 위치하며 끼움고정나사(350)에 의해 제1 내측끼움부(340)가 완충부(310)의 상단에 고정될 수 있다.
한편, 제1 내측끼움부(340)의 상단은 외측 하단, 즉 완충부(310)와 맞닿는 부분 중 외측 둘레를 따라 소정의 간격을 두고 돌기홈(343)이 형성되어 있을 수 있다.
제2 내측끼움부(330)는 제1 내측끼움부(340)의 내측 직경과 동일한 직경을 가지며 소정의 높이를 갖는 원기둥의 형상으로 형성될 수 있다.
끼움고정나사(350)는 제1 내측끼움부(340)를 완충부(310)에 고정시킬 수 있다.
더욱 구체적으로, 끼움고정나사(350)는 제1 삽입홈(312) 및 제2 삽입홈(342)에 관통 가능한 직경을 갖는 원기둥의 형상으로 형성되는 하단부와 제1 삽입홈(312)과 제2 삽입홈(342)의 직경보다 큰 직경을 갖는 원판의 형상으로 형성되는 상단부로 형성될 수 있다.
끼움고정나사(350)는 원판의 형상으로 형성되는 상단부에 의해 제1 내측끼움부(340) 또는 완충부(310)가 외부로부터의 충격 또는 진동에 의해 흔들리더라도 제1 내측끼움부(340)가 완충부(310)로부터 이탈하는 것이 방지될 수 있다.
상단덮개부(360)는 완충부(310)의 상단에 구비되며 돔 형상의 덮개로 형성되고, 중앙에는 소정의 직경을 갖는 중앙홈(361)이 형성되어 있을 수 있다.
상단덮개부(360)의 중앙홈(361)을 통해 돌출되어 있는 지지기둥(370)의 상단은 덮개부(360)의 하단과 맞닿을 수 있고, 이에 따라 지지기둥(370)은 완충부(310)의 완충공간(320)을 따라 하단 방향으로 이동될 수 있다.
상단덮개부(360)는 중앙에 끼워진 지지기둥(370)이 하단 방향으로 이동됨에 따라 중앙부가 하단의 방향으로 이동될 수 있는 소재로 형성될 수 있다.
또한, 상단덮개부(360)는 하단에 내측 방향으로 내측돌기(362)가 형성되어 있어 제1 내측끼움부(340)의 상단에 형성된 돌기홈(343)에 끼워질 수 있다.
지지기둥(370)은 상단덮개부(360)의 중앙홈(361)에 끼움 가능한 직경 및 높이를 갖는 원기둥의 형상으로 형성될 수 있다.
제1 내측끼움부(340)는 양단으로 분리 가능하도록 형성 가능하여 완충부의 비어 있는 내측으로 각각 삽입 가능할 수 있다.
상술한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상단지지대(300)는 상단덮개부(360)가 제1 내측끼움부(340)의 상단에 형성된 돌기홈(343)에 끼워져 상단덮개부(360)가 견고하게 고정될 수 있고, 제1 내측끼움부(340)는 끼움고정나사(350)에 의해 완충부에 고정되어 제1 내측끼움부(340)가 완충부에 견고하게 고정될 수 있고, 제2 내측끼움부(330)의 내측 직경은 지지기둥(370)의 외측 직경과 동일한 직경을 갖도록 형성되며 외측 직경은 제1 내측끼움부(340)의 내측 직경과 동일한 직경을 갖도록 형성되어 지지기둥(370)의 외측면에 억지 끼움되어 견고하게 고정됨과 동시에 제1 내측끼움부(340)의 내측면에 억지 끼움되어 견고하게 고정될 수 있다.
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템

Claims (3)

  1. 프레임부; 및
    상기 프레임부에 일측면이 연결되어 있으며 상단 방향으로 회전하여 개방 가능하도록 회전 구동하는 덮개부;를 포함하고,
    상기 프레임부는,
    외측 둘레를 따라 형성되는 지지프레임;
    내부에 광을 조사하는 레이저가 구비되어 있는 레이저케이스;
    내부에 렌즈가 수용되어 있어 상기 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 모으고, 말단에는 반사경이 구비되어 있는 주케이스;
    렌즈가 수용되어 있어 상기 반사경을 통해 조사되는 광원을 모으는 렌즈수용부; 및
    상단에 위치하여 길이 방향을 따라 이동 가능한 상기 렌즈 수용부의 위치를 조정하는 레일부;를 포함하고,
    상기 레이저케이스는,
    내부에 구비된 레이저가 a의 방향으로 광을 조사하고,
    상기 반사경은,
    상기 레이저케이스의 내부에 구비된 레이저로부터 조사되는 광원을 b의 방향으로 광을 조사하고,
    상기 렌즈수용부는,
    상기 레일부를 따라 위치가 조정되어 광을 모아 웨이퍼에 조사되는 광원이 설정된 소정의 위치에 조사되도록 하고,
    상기 프레임부는,
    상기 덮개부를 지지하는 덮개지지부가 일측면에 구비되어 있고,
    상기 덮개지지부는,
    상기 프레임부의 일측면에 고정되는 하단지지대;
    상기 하단지지대의 일측에 고정 연결되어 있으며 상단의 방향으로 갈수록 직경이 커지는 형상으로 형성되는 탄성지지대;
    상기 탄성지지대의 상단에 위치하며 소정의 두께를 갖는 다각 판의 형상으로 형성되는 중앙지지판; 및
    상기 중앙지지판의 상단 모서리에 구비되어 있는 다수 개의 상단지지대;를 포함하고,
    상기 하단지지대는,
    'Ω'와 같은 형상으로 형성되되 반원형 띠의 형상으로 형성되어 외측면으로 돌출된 하단부를 이용해 분리 및 결합 가능한 형상으로 형성되는 반원부;
    상기 반원부의 외측면으로 돌출된 양단에 원형 홈의 형상으로 각각 형성된 나사홈;
    상기 나사홈을 관통하여 상기 반원부의 결합을 견고하게 하는 나사부;
    결합되는 상기 반원부 중 하나의 반원부 일측면에 위치하여 있으며, 상기 탄성지지대의 최하단이 삽입되는 제1 지지대 삽입부; 및
    상기 제1 지지대 삽입부에 끼워진 상기 탄성지지대의 최하단을 고정하는 제1 끼움핀;을 포함하고,
    상기 나사부는,
    볼트 및 너트로 구비되어 너트가 상기 나사홈을 관통하면 볼트가 상기 나사홈을 관통한 너트의 일단으로 끼움되어 결합된 상기 반원부가 분리되는 것을 방지하고,
    상기 볼트는,
    상기 너트의 외측면에 형성되어 있는 나사산의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 서로 맞물려 견고하게 회전 결합 가능하고,
    상기 제1 끼움핀은,
    상기 제1 지지대 삽입부를 수직으로 관통하여 일단이 상기 제1 지지대 삽입부에 삽입되어져 있는 상기 탄성지지대의 최하단과 맞닿아 상기 탄성지지대의 최하단이 상기 제1 지지대 삽입부로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압하고,
    상기 탄성지지대는,
    다수 개의 층을 갖는 용수철의 형상으로 형성되되, 각 층마다 양단으로 분리 가능하도록 반원 띠의 형상으로 형성되고,
    상기 반원 띠의 형상 양단에는 각각 끼움부 및 끼움홈이 형성되어 있고,
    상기 끼움홈은,
    상기 끼움부의 외측면의 형상과 대응되는 형상이 내측면에 형성되어 있어 상기 끼움부가 내측으로 삽입되어 견고하게 고정되고,
    상기 탄성지지대는,
    상기 덮개부가 상기 프레임부로 이동할 때 발생하는 충격 또는 진동이 발생하는 경우, 각 층의 간격이 좁아져 충격 또는 진동을 완화하고,
    상기 중앙지지판은,
    상기 탄성지지대의 최상단이 삽입되는 제2 지지대 삽입부; 및
    상기 제2 지지대 삽입부에 끼워진 상기 탄성지지대의 최상단은 고정하는 제2 끼움핀;을 포함하고,
    상기 제2 끼움핀은,
    상기 제2 지지대 삽입부를 수직으로 관통하여 일단이 상기 제2 지지대 삽입부에 삽입되어져 있는 상기 탄성지지대의 최상단과 맞닿아 상기 탄성지지대의 최상단이 상기 제2 지지대 삽입부로부터 이탈하는 것을 방지하도록 가압하고,
    상기 중앙지지판은,
    모서리에 상기 상단지지대가 관통 가능한 관통홈이 형성되어 있고,
    상기 상단지지대는,
    원기둥 형상의 상단부와 원판 형상의 하단부로 형성되고,
    상기 관통홈은,
    상기 상단지지대의 원기둥 형상으로 형성되는 상단부와 대응되는 직경의 홈으로 형성되어 상기 상단지지대의 상단부가 끼움 고정되고,
    상기 상단지지대는,
    상단부의 직경보다 큰 직경을 갖는 원판 형상의 하단부에 의해 상기 관통홈으로부터 이탈되는 것이 방지되는, 노광기용 렌즈 위치 조정 시스템.
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