KR102486580B1 - Overhead Hoist Transport Vehicle - Google Patents
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Abstract
비히클은 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하방에 구비되며, 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 유닛에 구비되며 선택적으로 자력을 발생하는 마그네틱 스위치 및 상기 이송 유닛에 구비되며 상기 이송 유닛을 상기 주행 유닛에 고정하기 위해 상기 마그네틱 스위치의 자력에 의해 상기 마그네틱 스위치에 부착되는 자성 부재로 이루어지는 제1 체결 유닛을 포함할 수 있다. The vehicle includes a travel unit that travels along a travel rail on the ceiling, a transport unit provided below the travel unit to hold and transport a cassette, a magnetic switch provided to the travel unit and selectively generating magnetic force, and the transport unit. and a first fastening unit made of a magnetic member attached to the magnetic switch by the magnetic force of the magnetic switch to fix the transfer unit to the driving unit.
Description
본 발명은 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 공정 장치들 사이에서 카세트를 이송하는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle, and more particularly to a vehicle for transporting a cassette between semiconductor processing equipment.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor process devices for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be supplied to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in a cassette, or retrieved from each semiconductor processing apparatus using the cassette.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is transported by Overhead Hoist Transport (OHT). The OHT includes a traveling rail provided along a ceiling of a space where the semiconductor processing equipment is provided, and a vehicle that travels along the traveling rail while holding the cassette.
상기 비히클은 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과 상기 주행 유닛에 고정되며, 상기 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함한다. The vehicle includes a travel unit that travels along the travel rail and a transport unit that is fixed to the travel unit and grips and transports the cassette.
상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 체결 구조물이 상기 이송 유닛에 위치한다. 상기 비히클의 유지 보수를 위해서는 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 분리해야 한다. 상기 이송 유닛의 구성 요소를 순차적으로 분해하여 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 고정 부위를 노출한 후, 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 분리한다. 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 결합은 상기 분해 과정의 역순으로 진행한다. 따라서, 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 분리와 결합이 복잡하고 많은 시간이 소요된다. A fastening structure between the driving unit and the transporting unit is located in the transporting unit. For maintenance of the vehicle, the driving unit and the transport unit must be separated. Components of the transport unit are sequentially disassembled to expose fixed portions of the transport unit and the transport unit, and then the transport unit and the transport unit are separated. The combination of the driving unit and the transport unit proceeds in the reverse order of the disassembly process. Therefore, separation and coupling of the driving unit and the transport unit are complicated and take a lot of time.
본 발명은 주행 유닛과 이송 유닛의 분리와 결합을 신속하게 수행할 수 있는 비히클을 제공한다. The present invention provides a vehicle capable of quickly performing separation and coupling of a driving unit and a transport unit.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하방에 구비되며, 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 유닛에 구비되며 선택적으로 자력을 발생하는 마그네틱 스위치 및 상기 이송 유닛에 구비되며 상기 이송 유닛을 상기 주행 유닛에 고정하기 위해 상기 마그네틱 스위치의 자력에 의해 상기 마그네틱 스위치에 부착되는 자성 부재로 이루어지는 제1 체결 유닛을 포함할 수 있다. A vehicle according to the present invention includes a travel unit that travels along a travel rail on a ceiling, a transport unit provided under the travel unit to grip and transport a cassette, and a magnetic drive provided to the travel unit and selectively generating magnetic force. It may include a switch and a first fastening unit provided on the transfer unit and made of a magnetic member attached to the magnetic switch by the magnetic force of the magnetic switch to fix the transfer unit to the driving unit.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 주행 유닛에 구비되는 제1 고리와, 상기 이송 유닛에 구비되는 제2 고리 및 상기 제1 고리와 상기 제2 고리를 결합하는 체결 부재를 포함하며, 상기 제1 체결 유닛의 이상으로 인해 상기 이송 유닛이 낙하하는 것을 방지하는 제2 체결 유닛을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle includes a first ring provided in the driving unit, a second ring provided in the transport unit, and a fastening member coupling the first ring and the second ring. and a second fastening unit preventing the transfer unit from falling due to an abnormality of the first fastening unit.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 주행 유닛의 하부면에 베이스 플레이트가 더 구비되며, 상기 마그네틱 스위치 및 상기 제1 고리는 상기 베이스 플레이트에 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, a base plate may be further provided on a lower surface of the driving unit, and the magnetic switch and the first ring may be provided on the base plate.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고리는 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제2 고리는 상기 베이스 플레이트에 형성된 개구를 통해 상기 베이스 플레이트의 상방으로 돌출될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first ring is provided on the upper surface of the base plate, the second ring may protrude upward from the base plate through an opening formed in the base plate.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고리 및 상기 제2 고리와의 결합과 분리를 위해 상기 체결 부재는 일측이 힌지 형태로 개폐되는 게이트를 갖는 고리일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first ring and the fastening member for coupling and separation of the second ring may be a ring having a gate that opens and closes in the form of a hinge at one side.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 유닛은, 상기 주행 유닛에 대해 수평 이동 가능하도록 구비되는 이동부와, 상기 이동부의 하부면에 고정되며, 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 승강부 및 상기 벨트의 하단부에 고정되며, 상기 카세트를 파지하는 파지부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the transfer unit is fixed to the lower surface of the moving unit provided to be horizontally movable with respect to the driving unit, and winding or unwinding the belt to lift the belt. It is fixed to the lifting part and the lower end of the belt, and may include a holding part for gripping the cassette.
본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 제1 체결 유닛을 이용하여 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 체결한다. 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 분리와 결합을 위해 상기 이송 유닛을 분해할 필요가 없다. 따라서, 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다. The vehicle according to the present invention couples the driving unit and the transport unit using the first fastening unit. It is not necessary to disassemble the transport unit for separation and coupling of the transport unit and the transport unit. Accordingly, separation and coupling of the driving unit and the transport unit can be performed simply and quickly.
또한, 상기 비히클은 상기 제2 체결 유닛을 이용하여 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 체결한다. 상기 제1 체결 유닛의 오작동으로 인해 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛이 분리되더라도 상기 제2 체결 유닛이 상기 이송 유닛의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 상기 비히클에서 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 결합 안정성을 높일 수 있다. In addition, the vehicle couples the driving unit and the transport unit using the second fastening unit. Even if the driving unit and the transfer unit are separated due to a malfunction of the first fastening unit, the second fastening unit may prevent the transfer unit from falling. Accordingly, coupling stability between the driving unit and the transport unit in the vehicle may be increased.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 체결 유닛 및 제2 체결 유닛을 설명하기 위한 측면 단면도이다. 1 is a side view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side cross-sectional view illustrating a first fastening unit and a second fastening unit shown in FIG. 1 .
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, it should be understood that this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, and includes all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals have been used for like elements throughout the description of each figure. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown enlarged than actual for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first element may be termed a second element, and similarly, a second element may be termed a first element, without departing from the scope of the present invention.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 체결 유닛 및 제2 체결 유닛을 설명하기 위한 측면 단면도이다. FIG. 1 is a side view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side cross-sectional view illustrating a first fastening unit and a second fastening unit shown in FIG. 1 .
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 비히클(500)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(100), 이송 유닛(200), 제1 체결 유닛(300) 및 제2 체결 유닛(400)을 갖는다. 1 and 2, the
상기 주행 유닛(100)은 별도의 구동부에 의해 주행 롤러(110)가 회전하면서 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. The
상기 주행 유닛(100)은 베이스 플레이트(120)를 더 포함한다. The
상기 베이스 플레이트(120)는 주행 유닛(100)의 하부면에 구비된다. 상기 베이스 플레이트(120)는 상기 이송 유닛(200)을 상기 주행 유닛(100)에 체결하는데 이용된다. The
상기 이송 유닛(200)은 상기 제1 체결 유닛(300) 및 상기 제2 체결 유닛(400)에 의해 상기 주행 유닛(100), 구체적으로, 상기 베이스 플레이트(120)에 체결된다. 상기 이송 유닛(200)은 상기 카세트(20)를 파지하여 이송한다. The
상기 이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230)) 및 파지부(240)를 포함한다. The
상기 하우징(210)은 상기 베이스 플레이트(120)의 하부면 둘레를 따라 고정된다. 상기 하우징(210)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 하우징(210)은 상기 카세트(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 상기 비히클(500)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다. The
상기 이동부(220)는 상기 베이스 플레이트(120)의 하부면에 수평 이동 가능하도록 구비된다. 상기 이동부(220)는 상기 하우징(210)의 개방된 정면을 통해 수평 이동할 수 있다. The moving
상기 승강부(230)는 상기 이동부(220)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(232)를 승강시킬 수 있다.The lifting
상기 파지부(240)는 상기 벨트(232)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 파지한다. The
상기 카세트(20)는 상기 이동부(220)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 승강부(230)에 의해 승강할 수 있다. The
상기 제1 체결 유닛(300)은 상기 이송 유닛(200)을 상기 주행 유닛(100)에 체결한다. 상기 이송 유닛(200)을 상기 주행 유닛(100)에 안정적으로 체결하기 위해 상기 제1 체결 유닛(300)은 2 개 이상이 구비될 수 있다. The
상기 제1 체결 유닛(300)은 마그네틱 스위치(310) 및 자성 부재(320)를 포함할 수 있다. The
상기 마그네틱 스위치(310)는 상기 주행 유닛(100), 구체적으로, 상기 베이스 플레이트(120)의 상부면에 상기 베이스 플레이트(120)를 관통하여 구비된다. 상기 마그네틱 스위치(310)는 선택적으로 자력을 발생한다. The
레버(312)는 상기 마그네틱 스위치(310)의 상부면에 구비된다. 상기 레버(312)를 회전시켜 상기 자력을 발생하거나 상기 자력의 발생을 차단할 수 있다. A
상기 자성 부재(320)는 상기 이송 유닛(200), 구체적으로, 상기 이송부(220)의 상부면에 구비된다. 예를 들면, 상기 자성 부재(320)는 상기 이송부(220)의 상부면에 매립될 수 있다. 상기 자성 부재(320)의 예로는 영구 자석, 금속 블록 등을 들 수 있다. 상기 마그네틱 스위치(310)의 자력에 의해 상기 자성 부재(320)는 상기 마그네틱 스위치(310)에 부착될 수 있다. 상기 마그네틱 스위치(310)의 자력이 해제되면, 상기 자성 부재(320)는 상기 마그네틱 스위치(310)로부터 분리될 수 있다.The
따라서, 상기 마그네틱 스위치(310) 및 상기 자성 부재(320)를 이용하여 상기 주행 유닛(100)과 상기 이송 유닛(200)을 서로 체결하거나 분리할 수 있다. Therefore, the driving
특히, 상기 마그네틱 스위치(310)가 상기 베이스 플레이트(120)의 상부면에 구비되므로, 상기 베이스 플레이트(120)의 상방에서 상기 마그네틱 스위치(310)를 조작하여 상기 주행 유닛(100)에 상기 이송 유닛(200)을 체결하거나 분리할 수 있다. 따라서, 상기 주행 유닛(100)에 상기 이송 유닛(200)을 체결하거나 분리하기 위해 상기 이송 유닛(200)을 분해할 필요가 없다. 그러므로, 상기 주행 유닛(100)과 상기 이송 유닛(200)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다. In particular, since the
상기 제2 체결 유닛(400)도 상기 이송 유닛(200)을 상기 주행 유닛(100)에 체결한다. 상기 이송 유닛(200)을 상기 주행 유닛(100)에 안정적으로 체결하기 위해 상기 제2 체결 유닛(400)은 2 개 이상이 구비될 수 있다. The
상기 제2 체결 유닛(400)은 제1 고리(410), 제2 고리(420) 및 체결 부재(430)를 포함한다. The
상기 제1 고리(410)는 상기 주행 유닛(100), 구체적으로, 상기 베이스 플레이트(120)의 상부면에 구비된다. The
상기 제2 고리(420)는 상기 이송 유닛(200), 구체적으로, 상기 이동부(220)의 상부면에 구비된다. 여기서, 상기 제2 고리(420)는 상기 베이스 플레이트(120)에 형성된 개구(122)를 통해 상기 베이스 플레이트(120)의 상방으로 돌출된다. The
상기 체결 부재(430)는 상기 제1 고리(410)와 상기 제2 고리(420)를 체결한다. 따라서, 상기 주행 유닛(100)과 상기 이송 유닛(200)이 서로 체결된다. The
상기 체결 부재(430)는 대략 고리 형상을 가지며, 일측이 힌지 형태로 개폐되는 게이트(432)를 갖는다. 상기 게이트(432)를 이용하여 상기 체결 부재(430)를 상기 제1 고리(410) 및 상기 제2 고리(420)와 편리하게 결합하거나 분리할 수 있다. 예를 들면, 상기 체결 부재(430)는 카리비너(carabiner) 타입일 수 있다. The
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고리(410) 및 상기 제2 고리(420) 중 적어도 하나에 힌지 형태로 개폐되는 게이트가 구비될 수도 있다. On the other hand, although not shown, at least one of the
상기 제1 고리(410)가 상기 베이스 플레이트(120)의 상부면에 구비되고, 상기 제2 고리(420)는 상기 베이스 플레이트(120)의 상방으로 돌출되므로, 상기 베이스 플레이트(120)의 상방에서 상기 체결 부재(430)를 상기 제1 고리(410) 및 상기 제2 고리(420)에 체결하거나 상기 제1 고리(410) 및 상기 제2 고리(420)로부터 분리할 수 있다. 따라서, 상기 체결 부재(430)의 체결과 분리가 편리하다. Since the
상기 제2 체결 유닛(400)은 상기 주행 유닛(100)과 상기 이송 유닛(200)을 보조적으로 체결한다. 따라서, 상기 제1 체결 유닛(300)의 이상이나 오작동으로 인해 상기 이송 유닛(200)이 상기 주행 유닛(100)으로부터 분리되는 경우, 상기 제2 체결 유닛(400)에 의해 상기 이송 유닛(200)이 상기 주행 유닛(100)에 체결된 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 상기 이송 유닛(200)이 낙하하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. The
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 분리와 결합을 단순하면서도 신속하게 수행할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 유지 보수가 편리하다. As described above, the vehicle according to the present invention can perform separation and coupling of the driving unit and the transport unit simply and quickly. Therefore, maintenance of the vehicle is convenient.
또한, 상기 비히클은 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛의 결합 안정성을 높일 수 있으므로, 상기 이송 유닛의 낙하로 인한 사고를 줄일 수 있다.In addition, since the vehicle can increase coupling stability between the driving unit and the transport unit, accidents caused by falling of the transport unit can be reduced.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.
100 : 비히클 110 : 주행 롤러
120 : 베이스 플레이트 200 : 이송 유닛
210 : 하우징 220 : 이동부
230 : 승강부 240 : 파지부
300: 제1 체결 유닛 310 : 마그네틱 스위치
320 : 자성 부재 400 : 제2 체결 유닛
410 : 제1 고리 420 : 제2 고리
430 : 체결 부재 10 : 주행 레일
20 : 카세트100: vehicle 110: running roller
120: base plate 200: transfer unit
210: housing 220: moving part
230: lifting part 240: gripping part
300: first fastening unit 310: magnetic switch
320: magnetic member 400: second fastening unit
410: first ring 420: second ring
430: fastening member 10: running rail
20: Cassette
Claims (6)
상기 주행 유닛의 하방에 구비되며, 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛;
상기 주행 유닛에 구비되며 선택적으로 자력을 발생하는 마그네틱 스위치 및 상기 이송 유닛에 구비되며 상기 이송 유닛을 상기 주행 유닛에 고정하기 위해 상기 마그네틱 스위치의 자력에 의해 상기 마그네틱 스위치에 부착되는 자성 부재로 이루어지는 제1 체결 유닛; 및
상기 주행 유닛에 구비되는 제1 고리와, 상기 이송 유닛에 구비되는 제2 고리 및 상기 제1 고리와 상기 제2 고리를 결합하는 체결 부재를 포함하며, 상기 제1 체결 유닛의 이상으로 인해 상기 이송 유닛이 낙하하는 것을 방지하는 제2 체결 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.a travel unit that travels along the travel rail of the ceiling;
a transfer unit provided under the driving unit and configured to grip and transfer the cassette;
A magnetic switch provided in the driving unit and selectively generating magnetic force, and a magnetic member provided in the transportation unit and attached to the magnetic switch by the magnetic force of the magnetic switch to fix the transportation unit to the driving unit. 1 fastening unit; and
A first ring provided in the driving unit, a second ring provided in the transport unit, and a fastening member coupling the first ring and the second ring, and the transport due to an abnormality of the first fastening unit. A vehicle characterized in that it comprises a second fastening unit preventing the unit from falling.
상기 마그네틱 스위치 및 상기 제1 고리는 상기 베이스 플레이트에 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클.The method of claim 1, wherein a base plate is further provided on a lower surface of the driving unit,
The vehicle, characterized in that the magnetic switch and the first ring is provided on the base plate.
상기 제2 고리는 상기 베이스 플레이트에 형성된 개구를 통해 상기 베이스 플레이트의 상방으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 비히클. The method of claim 3, wherein the first ring is provided on an upper surface of the base plate,
The vehicle, characterized in that the second ring protrudes upward of the base plate through an opening formed in the base plate.
상기 주행 유닛에 대해 수평 이동 가능하도록 구비되는 이동부;
상기 이동부의 하부면에 고정되며, 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 승강부; 및
상기 벨트의 하단부에 고정되며, 상기 카세트를 파지하는 파지부를 포함하고,
상기 자성 부재 및 상기 제2 고리는 상기 이동부의 상부면에 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클.The method of claim 1, wherein the transfer unit,
a moving unit provided to be horizontally movable with respect to the driving unit;
a lifting unit fixed to a lower surface of the moving unit and winding or unwinding the belt to lift the belt; and
It is fixed to the lower end of the belt and includes a gripping portion for gripping the cassette,
The vehicle, characterized in that the magnetic member and the second ring is provided on the upper surface of the moving unit.
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