KR102477013B1 - Load port - Google Patents

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KR102477013B1
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겐고로 오구라
다카시 시게타
유키오 오가사와라
도시히로 가와이
야스시 다니야마
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신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Abstract

FOUP를 도어를 향하여 이동시켰을 때에, FOUP와 도어가 접촉하는 것을 방지하고, 로드 포트와, FOUP 또는 도어의 시일이 해제되는 것을 방지할 수 있는 로드 포트를 제공한다. 이 때문에, 베이스(21)와, 개구부(43)와, 도어(51)와, 베이스(21)와 용기(7) 사이를 시일하는 제1 시일 부재(43)와, 베이스(21)와 도어(51) 사이를 시일하는 제2 시일 부재(44)를 구비하고, 용기(7)를 적재하는 적재대(24)에 용기(7)가 적재된 후, 도어(51)가 제2 시일 부재(44)와 맞닿고, 또한 도어(51)의 용기(7)측의 단부면이 도어(51)와 제2 시일 부재(44)의 맞닿음면보다도 용기(7)측에 있는 초기 위치로부터, 용기(7)와 반대 방향으로 도어(51)를 퇴피시킨다.When the FOUP is moved toward the door, contact between the FOUP and the door is prevented, and a load port and a load port capable of preventing the seal of the FOUP or the door from being released are provided. For this reason, the base 21, the opening 43, the door 51, the first sealing member 43 for sealing between the base 21 and the container 7, the base 21 and the door ( 51) is provided with a second sealing member 44 to seal the space between them, and after the container 7 is loaded on the loading table 24 on which the container 7 is loaded, the door 51 closes the second sealing member 44 ), and from the initial position where the end face of the door 51 on the container 7 side is closer to the container 7 than the contact surface between the door 51 and the second sealing member 44, the container ( The door 51 is retracted in the opposite direction to 7).

Description

로드 포트 {LOAD PORT}load port {LOAD PORT}

본 발명은 반송 중인 웨이퍼를 외기에 노출시키는 일이 없도록, 웨이퍼 반송실 내의 가스를 순환시킬 수 있는 로드 포트에 관한 것이다.The present invention relates to a load port capable of circulating gas in a wafer transfer chamber without exposing wafers being transferred to the outside air.

종래, 기판으로서의 웨이퍼에 대해 다양한 처리 공정이 실시됨으로써 반도체의 제조가 이루어져 오고 있다. 최근에는 소자의 고집적화나 회로의 미세화가 점점 진행되고 있어, 웨이퍼 표면에의 산소, 수분이나 파티클의 부착이 발생하지 않도록, 웨이퍼 주변을 높은 클린도로 유지하는 것이 요구되고 있다. 또한, 웨이퍼 표면이 산화되는 등 표면의 성상이 변화되는 일이 없도록, 웨이퍼 주변을 불활성 가스인 질소 분위기로 하거나, 진공 상태로 하거나 하는 것도 행해지고 있다.[0002] Conventionally, semiconductor manufacturing has been performed by performing various processing steps on wafers serving as substrates. In recent years, high integration of devices and miniaturization of circuits are gradually progressing, and it is required to keep the wafer periphery at a high degree of cleanliness so that oxygen, moisture or particles do not adhere to the wafer surface. In addition, in order to prevent surface properties from changing, such as oxidation of the wafer surface, the wafer periphery is made into a nitrogen atmosphere, which is an inert gas, or made into a vacuum state.

이러한 웨이퍼 주변의 분위기를 적절하게 유지하기 위해, 웨이퍼는, FOUP(Front-Opening Unified Pod)라 불리는 밀폐식의 저장 포드의 내부에 넣어 관리되고, 이 내부에는 질소가 충전된다. 또한, 웨이퍼에 처리를 행하는 처리 장치와, FOUP 사이에서 웨이퍼의 수수를 행하기 위한 로드 포트(Load Port)가 이용된다. 로드 포트는, 웨이퍼 처리 장치를 외부 공간으로부터 격리하는 벽의 일부를 구성하고, 처리 장치와 FOUP 사이에서의 인터페이스부로서 기능한다. 처리 장치와 로드 포트가 직접 접속되는 경우가 있는 한편, 처리 장치와 로드 포트 사이에는, EFEM(Equipment Front End Module)이 배치되는 경우도 있다. EFEM은, 하우징의 내부에서 대략 폐지된 웨이퍼 반송실을 구성함과 함께, 그 대향 벽면의 한쪽에 FOUP와의 사이에서의 인터페이스부로서 기능하는 로드 포트를 구비함과 함께, 다른 쪽에 처리 장치와 반송실이 직접 연통하는 것을 방지하기 위한 로드 로크실이 접속된다. 웨이퍼 반송실 내에는, 웨이퍼를 반송하기 위한 웨이퍼 반송 장치가 설치되어 있고, 이 웨이퍼 반송 장치를 사용하여, 로드 포트에 접속되는 FOUP와 로드 로크실 사이에서 웨이퍼의 출납이 행해진다. 웨이퍼 반송실은, 통상, 반송실 상부에 배치된 팬 필터 유닛으로부터 청정한 대기인 다운 플로우를 상시 흐르게 하고 있다.In order to appropriately maintain such an atmosphere around the wafer, the wafer is put into and managed in a sealed storage pod called a FOUP (Front-Opening Unified Pod), and nitrogen is filled into the inside. In addition, a load port for transferring wafers between a processing device that processes wafers and a FOUP is used. The load port constitutes a part of a wall that isolates the wafer processing device from the external space, and functions as an interface between the processing device and the FOUP. While there are cases where the processing unit and the load port are directly connected, there are cases where an Equipment Front End Module (EFEM) is disposed between the processing unit and the load port. The EFEM constitutes a wafer transfer chamber substantially closed inside the housing, and has a load port functioning as an interface between the FOUP and the FOUP on one side of the opposite wall, and the processing device and the transfer room on the other side. A load lock chamber for preventing this direct communication is connected. A wafer transport device for transporting wafers is installed in the wafer transport room, and wafers are loaded and unloaded between the load lock chamber and the FOUP connected to the load port using this wafer transport device. In the wafer transfer room, down flow, which is a clean atmosphere, is normally always flowing from a fan filter unit disposed above the transfer room.

또한, 최근에는, 웨이퍼의 최첨단 프로세스에 있어서는, 다운 플로우로서 사용되는 청정한 대기에 포함되는 산소, 수분 등에 의해서조차, 웨이퍼의 성상을 변화시킬 우려가 있다. 이 때문에 특허문헌 1과 같이, 불활성 가스를 EFEM 내에 순환시키는 기술의 실용화가 요구되고 있다.Further, in recent, in the state-of-the-art process for wafers, there is a possibility that the properties of the wafers may be changed even by oxygen, moisture, etc. contained in the clean atmosphere used as a down flow. For this reason, as in Patent Document 1, practical use of a technique for circulating an inert gas in the EFEM has been demanded.

일본 특허 공개 제2014-112631호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-112631

그러나, 특허문헌 1에 기재된 로드 포트에서는, 로드 포트의 도어의 단부면이 FOUP(용기)측으로 돌출되어 있다. 이 때문에, FOUP를 도어를 향하여 이동시켰을 때에, FOUP와 도어가 접촉하여 충돌하여, 로드 포트와, FOUP 또는 도어의 시일이 해제된다는 문제가 있다. 또한, 로드 포트의 도어의 단부면이 FOUP측으로 돌출되어 있는 경우가 아니라도, 불활성 가스가 주입되어 FOUP 내의 압력이 높아진 결과, 그 압력에 의해 FOUP의 덮개의 일부가 팽창 혹은 덮개 전체가 로드 포트측으로 돌출되어 버리는 경우에도 마찬가지의 문제가 일어날 수 있다.However, in the load port described in Patent Literature 1, the end surface of the door of the load port protrudes toward the FOUP (container) side. For this reason, there is a problem that when the FOUP is moved toward the door, the FOUP and the door contact and collide, and the seal between the load port and the FOUP or door is released. Also, even when the end face of the load port door does not protrude toward the FOUP side, as a result of the inert gas being injected and the pressure within the FOUP increasing, the pressure causes the FOUP lid to partially expand or the entire lid to move toward the load port side. The same problem may occur when it protrudes.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, FOUP를 도어를 향하여 이동시켰을 때에, FOUP와 도어가 접촉하는 것을 방지하여, 로드 포트와, FOUP 또는 도어의 시일이 해제되는 것을 방지할 수 있는 로드 포트를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and when the FOUP is moved toward the door, it is possible to prevent the FOUP from contacting the door, thereby preventing the seal of the load port, the FOUP, or the door from being released. Its purpose is to provide a load port that can

제1 발명에 관한 로드 포트는, 반송 공간을 외부 공간으로부터 격리하는 벽의 일부를 구성하는 베이스와, 상기 베이스에 설치된 개구부와, 수용물을 수용한 용기를 적재함과 함께 상기 개구부에 이격 가능하게 동작하는 적재대와, 상기 용기를 상기 적재대에 고정하는 로크부와, 상기 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 용기 가스 주입부와, 상기 개구부의 개폐 및 상기 적재대 상의 상기 용기에 대한 덮개체의 고정 및 고정 해제를 행하는 도어부와, 상기 베이스와 상기 용기 사이를 시일하는 용기측 시일 부재와, 상기 베이스와 상기 도어부 사이를 시일하는 반송 공간측 시일 부재와, 상기 용기측 시일 부재에 의한 상기 베이스와 상기 용기와의 시일성을 높이도록 상기 용기를 상기 베이스에 가압하는 클램프 유닛과, 상기 반송 공간측 시일 부재에 의한 상기 베이스와 상기 도어부와의 시일성을 높이도록 상기 도어부를 상기 베이스에 가압하는 도어 클램프를 구비하고, 상기 도어부는, 도어 구동부에 의해 상기 베이스에 대하여 도어 폐지 위치와 도어 퇴피 위치 사이를 전진하거나 후퇴하도록 설치되고, 상기 도어 폐지 위치는, 상기 도어부가 상기 반송 공간측 시일 부재와 맞닿고, 또한 상기 도어부의 용기측 단부면이 상기 도어부와 상기 반송 공간측 시일 부재와의 맞닿음면보다도 용기측에 있는 위치이고, 상기 도어 퇴피 위치는, 상기 도어 폐지 위치로부터 상기 도어부를 상기 용기와 반대측에 퇴피시키는 위치이고, 상기 수용물을 수용한 상기 용기가 상기 적재대에 적재된 후, 상기 도어부는 상기 도어 폐지 위치에서 상기 도어 퇴피 위치로 퇴피되며, 상기 도어 퇴피 위치에서는, 상기 반송 공간측 시일 부재와 상기 도어부가 맞닿고 있는 것을 특징으로 한다. The load port according to the first aspect of the invention operates a base constituting a part of a wall that isolates a transport space from an external space, an opening provided in the base, and a container containing a contained object loaded therein and separated from the opening. A loading table for holding, a lock unit for fixing the container to the loading table, a container gas injection unit for supplying an inert gas into the container, opening and closing of the opening and fixing a lid for the container on the loading table, and A door portion for releasing the fixation, a container side sealing member for sealing between the base and the container, a conveyance space side sealing member for sealing between the base and the door portion, and the container side sealing member for sealing the base and the container. A clamp unit for pressing the container against the base so as to increase sealing performance with the container, and pressing the door portion against the base so as to increase sealing performance between the base and the door portion by the transfer space side sealing member. A door clamp is provided, wherein the door unit is installed to advance or retreat with respect to the base between a door closing position and a door retracting position with respect to the base by a door driving unit, wherein the door closing position is such that the door unit is connected to the sealing member at the conveyance space side. The container-side end surface of the door portion is at a position closer to the container than the contact surface of the door portion and the conveyance space-side sealing member, and the door retracted position is such that the door portion is moved from the door closed position to the container side. It is a position to be retracted to the opposite side of the container, and after the container containing the contents is loaded on the loading table, the door part is retracted from the door closing position to the door retracting position, and at the door retracting position, the conveyance It is characterized in that the space-side sealing member and the door portion are in contact with each other.

제4 발명에 관한 로드 포트는, 상기 도어부의 진퇴의 위치를 검지하는 도어 위치 검지 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다. A load port according to a fourth aspect of the present invention is characterized in that it includes a door position detection sensor that detects a forward and backward position of the door part.

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제5 발명에 관한 로드 포트는, 상기 도어 클램프는, 상기 도어 구동부가 상기 도어부를 상기 도어 퇴피 위치로부터 상기 용기를 향하여 이동시키는 때에 동작하는 것을 특징으로 한다. A load port according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that the door clamp operates when the door driver moves the door part from the door retracted position toward the container.

제6 발명에 관한 로드 포트는, 상기 용기의 개구부를 폐지하는 덮개는, 상기 도어부측에 설치되는 덮개 외면과, 상기 용기측에 설치되는 덮개 배면을 갖고, 상기 베이스에 설치된 상기 개구부가 상기 용기에 의해 폐지된 상태에 있어서, 상기 덮개 외면과 상기 덮개 배면 사이에 상기 용기측 시일 부재와 상기 용기와의 맞닿음면이 위치하는 것을 특징으로 한다. In a load port according to a sixth aspect of the present invention, a lid closing an opening of the container has an outer surface of the lid provided on the door portion side and a back surface of the lid provided on the container side, and the opening provided on the base is attached to the container. In the closed state by, characterized in that the contact surface between the container side sealing member and the container is located between the outer surface of the cover and the rear surface of the cover.

제7 발명에 관한 로드 포트는, 상기 용기 가스 주입부는, 상기 적재대에 상기 용기가 적재된 직후부터 질소를 공급하는 것을 특징으로 한다. A load port according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that the container gas injection unit supplies nitrogen immediately after the container is loaded on the loading table.

베이스, 도어부 및 시일 부재에 의한 시일성을 높일 수 있다.Sealing performance can be improved by the base, the door part, and the sealing member.

도 1은 EFEM의 측면벽을 떼어낸 상태를 도시하는 측면도.
도 2는 도 1에 도시한 로드 포트의 사시도.
도 3은 FOUP와 로드 포트를 도시하는 측면 단면도.
도 4는 EFEM을 구성하는 윈도우 유닛과 도어부를 확대하여 도시하는 주요부 확대 사시도.
도 5는 제1 실시 형태의 제1 O링의 단면도.
도 6은 제1 실시 형태의 제2 O링의 단면도.
도 7은 밀폐 공간을 형성하는 각 부재의 단면도.
도 8은 제어부와 각 센서 및 각 구동부의 접속 상태를 도시하는 블록도.
도 9는 FOUP 내의 웨이퍼를 꺼내고, 또한 집어넣을 때의 제1 실시 형태의 흐름도.
도 10은 FOUP를 적재대에 적재한 상태를 도시하는 단면도.
도 11은 도 10의 상태로부터 FOUP를 로드 포트를 향하여 전진시키고, 도어부를 퇴피시킨 상태를 도시하는 단면도.
도 12는 도 11의 상태로부터 도어부를 FOUP를 향하여 전진시킨 상태를 도시하는 단면도.
도 13은 도 12의 상태로부터 로드 포트의 개구부를 개방한 상태를 도시하는 단면도.
도 14는 제2 실시 형태의 제1 O링의 단면도.
도 15는 제2 실시 형태의 제2 O링의 단면도.
도 16은 FOUP 내의 웨이퍼를 꺼내고, 또한 집어넣을 때의 제2 실시 형태의 흐름도.
도 17은 FOUP를 퇴피 위치까지 전진시켰을 때의 상태를 도시하는 단면도.
도 18은 도 17의 상태로부터 도어부를 향하여 FOUP를 더 전진시켰을 때의 상태를 도시하는 단면도.
도 19는 제3 실시 형태의 제1 O링의 단면도.
도 20은 제3 실시 형태의 제2 O링의 단면도.
도 21은 FOUP 내의 웨이퍼를 꺼내고, 또한 집어넣을 때의 제3 실시 형태의 흐름도.
도 22는 FOUP를 퇴피 위치까지 전진시키고, 도어부를 퇴피 위치까지 후퇴시킨 상태를 도시하는 단면도.
도 23은 도 22의 상태로부터 FOUP와 도어부를 근접시킨 상태를 도시하는 단면도.
도 24는 제1 O링 및 제2 O링의 변형예를 도시하는 단면도.
도 25는 제1 O링 및 제2 O링을 일체로 한 변형예를 도시하는 단면도.1 is a side view showing a state in which a side wall of an EFEM is removed;
Fig. 2 is a perspective view of the load port shown in Fig. 1;
3 is a side sectional view showing a FOUP and a load port;
4 is an enlarged perspective view of a main part showing a window unit and a door part constituting the EFEM in an enlarged manner;
Fig. 5 is a cross-sectional view of the first O-ring of the first embodiment;
Fig. 6 is a cross-sectional view of the second O-ring of the first embodiment;
Fig. 7 is a cross-sectional view of each member forming an airtight space.
Fig. 8 is a block diagram showing a connection state of a control unit, each sensor, and each driving unit;
Fig. 9 is a flowchart of the first embodiment when taking out and inserting wafers in the FOUP;
10 is a cross-sectional view showing a state in which a FOUP is loaded on a loading stand;
Fig. 11 is a sectional view showing a state in which the FOUP is advanced toward the load port from the state shown in Fig. 10 and the door portion is retracted;
Fig. 12 is a cross-sectional view showing a state in which the door part is advanced toward the FOUP from the state in Fig. 11;
Fig. 13 is a cross-sectional view showing a state in which an opening of a load port is opened from the state in Fig. 12;
Fig. 14 is a cross-sectional view of a first O-ring of a second embodiment;
Fig. 15 is a cross-sectional view of a second O-ring in a second embodiment;
Fig. 16 is a flowchart of the second embodiment when wafers are taken out and placed in the FOUP;
Fig. 17 is a sectional view showing a state when the FOUP is advanced to the retracted position;
Fig. 18 is a sectional view showing a state when the FOUP is further advanced from the state shown in Fig. 17 toward the door portion;
Fig. 19 is a cross-sectional view of a first O-ring in a third embodiment;
Fig. 20 is a cross-sectional view of a second O-ring in a third embodiment;
Fig. 21 is a flowchart of the third embodiment when wafers are taken out and put into the FOUP.
Fig. 22 is a sectional view showing a state in which the FOUP is advanced to the retracted position and the door portion is retracted to the retracted position.
Fig. 23 is a cross-sectional view showing a state in which the FOUP and the door are brought closer to each other from the state shown in Fig. 22;
Fig. 24 is a cross-sectional view showing a modified example of the first O-ring and the second O-ring;
Fig. 25 is a cross-sectional view showing a modified example in which a first O-ring and a second O-ring are integrated.

이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면에 따라서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described according to accompanying drawing.

<제1 실시 형태><First Embodiment>

도 1은 EFEM(1)의 측면의 벽을 떼어냄으로써 내부가 보이도록 한 측면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, EFEM(1)은, 소정의 수수 위치간에서 웨이퍼 W의 반송을 행하는 웨이퍼 반송 장치(2)와, 이 웨이퍼 반송 장치(2)를 둘러싸도록 설치된 상자형의 하우징(3)과, 하우징(3)의 전방면측의 벽의 외측에 접속되는 로드 포트(4)와, 제어 수단(5)으로 구성되어 있다. 여기서, 본원에 있어서는 하우징(3)으로부터 보아 로드 포트(4)가 접속되는 측의 방향을 전방, 하우징(3)으로부터 보아 로드 포트(4)가 접속되는 측과 반대측의 방향을 후방으로 정의한다.1 is a side view showing the inside of the EFEM 1 by removing the side wall. As shown in FIG. 1, the EFEM 1 includes a wafer transport device 2 that transports the wafer W between predetermined delivery and delivery positions, and a box-shaped housing provided to surround the wafer transport device 2 ( 3), a load port 4 connected to the outside of the wall on the front face side of the housing 3, and a control means 5. Here, in this application, the direction of the side to which the load port 4 is connected when viewed from the housing 3 is defined as forward, and the direction opposite to the side to which the load port 4 is connected as seen from the housing 3 is defined as rear.

제어 수단(5)이 웨이퍼 반송 장치(2)의 동작을 제어함으로써, 로드 포트(4)에 적재된 FOUP(용기)(7)에 수용되어 있는 웨이퍼(수용물) W를 하우징(3) 내부의 반송 공간(9)으로 반송하는 것 및 각 처리가 행해진 후의 웨이퍼 W를 FOUP(7) 내로 다시 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.The control means 5 controls the operation of the wafer transport device 2, so that the wafers (contained objects) W accommodated in the FOUP (container) 7 loaded in the load port 4 are moved inside the housing 3. It is possible to transport to the transport space 9 and transport the wafer W after each process has been performed into the FOUP 7 again.

로드 포트(4)는 도어부(51)(도 2 참조)를 구비하고 있고, 이 도어부(51)가 FOUP(7)에 설치된 덮개체(32)와 연결되어 함께 이동함으로써, FOUP(7)가 반송 공간(9)에 대하여 개방되도록 되어 있다. FOUP(7) 내에는 적재부가 상하 방향으로 다수 설치되어 있고, 이것에 의해 다수의 웨이퍼 W를 수용할 수 있다. 또한, FOUP(7) 내에는 통상 질소가 충전됨과 함께, 제어 수단(5)의 제어에 의해 로드 포트(4)를 통해 FOUP(7) 내의 분위기를 질소 치환하는 것도 가능하게 되어 있다.The load port 4 has a door portion 51 (see Fig. 2), and the door portion 51 is connected to the cover body 32 installed on the FOUP 7 and moves together, thereby opening the FOUP 7. is opened to the transport space 9. In the FOUP 7, a large number of stacking units are provided in the vertical direction, whereby a large number of wafers W can be accommodated. In addition, while nitrogen is usually filled in the FOUP 7, it is also possible to replace the atmosphere in the FOUP 7 with nitrogen through the load port 4 under the control of the control means 5.

제어 수단(5)은 하우징(3)의 상부 공간에 설치된 컨트롤러 유닛으로서 구성되어 있다. 또한 제어 수단(5)은 웨이퍼 반송 장치(2)의 구동 제어, 로드 포트(4)에 의한 FOUP(7)의 질소 치환 제어, 도어부(51)의 개폐 제어 및 하우징(3) 내에 있어서의 질소 순환 제어 등을 행하고 있다. 제어 수단(5)은 CPU, 메모리 및 인터페이스를 구비한 통상의 마이크로프로세서 등에 의해 구성되는 것이며, 메모리에는 미리 처리에 필요한 프로그램이 저장되어 있고, CPU는 순차적으로 필요한 프로그램을 빼내어 실행하고, 주변 하드 리소스와 협동하여 소기의 기능을 실현하는 것으로 되어 있다. 또한, 질소 순환 제어에 대해서는 후술한다.The control means 5 is configured as a controller unit installed in the upper space of the housing 3. In addition, the control means 5 controls driving of the wafer transport device 2, controls replacement of nitrogen in the FOUP 7 by the load port 4, controls opening and closing of the door unit 51, and controls nitrogen in the housing 3. Circulation control, etc. are being performed. The control means 5 is constituted by a normal microprocessor having a CPU, memory and interface, and programs necessary for processing are stored in the memory in advance. It is supposed to realize the intended function in cooperation with In addition, nitrogen cycle control will be described later.

하우징(3)의 내부 공간은, 구획 부재(8)에 의해 웨이퍼 반송 장치(2)가 구동되는 공간인 반송 공간(9)과, 가스 귀환로(10)로 구획되어 있다. 반송 공간(9)과 가스 귀환로(10)는, 반송 공간(9)의 상부에 폭 방향으로 연장되어 설치된 가스 송출구(11)와 반송 공간(9)의 하부에 폭 방향으로 연장되어 설치된 가스 흡인구(12)에 있어서만 연통하고 있다. 그리고, 가스 송출구(11)와 가스 흡인구(12)가 반송 공간(9) 내에 하강 기류를 발생시키고, 가스 귀환로(10) 내에 상승 기류를 발생시킴으로써, 불활성 가스가 순환하도록 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 불활성 가스로서 질소를 사용하는 것으로 하지만, 순환시키는 가스는 이것에 한정되는 것은 아니고, 다른 가스를 사용할 수도 있다.The inner space of the housing 3 is partitioned into a transport space 9 that is a space in which the wafer transport device 2 is driven by a partition member 8 and a gas return path 10 . The conveyance space 9 and the gas return path 10 include a gas outlet 11 installed to extend in the width direction at the top of the conveyance space 9 and a gas outlet 11 provided to extend in the width direction at the bottom of the conveyance space 9. It communicates only in the suction port 12. Then, the gas outlet 11 and the gas suction port 12 generate a downward air current in the transfer space 9 and generate an up air flow in the gas return path 10, so that the inert gas is circulated. In this embodiment, nitrogen is used as the inert gas, but the gas to be circulated is not limited to this, and other gases may be used.

귀환로(10)의 배면측 상부에는 하우징(3) 내에 질소를 도입하는 가스 공급 수단(16)이 접속되어 있다. 가스 공급 수단(16)은 제어 수단(5)으로부터의 명령에 기초하여 질소의 공급과 공급의 정지를 제어하는 것이 가능하게 되어 있다. 그 때문에, 질소의 일부가 하우징(3)의 외부로 유출된 경우에는, 가스 공급 수단(16)이 유출분의 질소를 공급함으로써, 하우징(3) 내의 질소 분위기를 일정하게 유지할 수 있다. 또한, 배면측 하부에는 하우징(3) 내의 질소 가스를 배출하는 가스 배출 수단(17)이 접속되어 있다. 가스 배출 수단(17)은, 제어 수단(5)으로부터의 명령에 기초하여 동작하여, 도시하지 않은 셔터를 개방함으로써 하우징(3)의 내부와 외부에 설치된 질소 가스 배출처를 연통시키는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 상술한 가스 공급 수단(16)에 의한 질소의 공급과 병용함으로써, 하우징(3) 내를 질소 분위기로 치환하거나 하우징(3) 내의 압력을 제어하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 순환시키는 가스를 질소로 하기 위해, 가스 공급 수단(16)은 질소를 공급하지만, 다른 가스를 순환시키는 경우에는, 가스 공급 수단(16)은 그 순환시키는 가스를 공급한다.A gas supply means 16 for introducing nitrogen into the housing 3 is connected to the upper part of the back side of the return passage 10 . The gas supply means 16 is capable of controlling the supply of nitrogen and the stoppage of supply based on a command from the control means 5 . Therefore, when a part of nitrogen flows out of the housing 3, the nitrogen atmosphere in the housing 3 can be kept constant by the gas supply means 16 supplying nitrogen of the outflow. Further, a gas discharge means 17 for discharging nitrogen gas in the housing 3 is connected to the lower part of the back side. The gas discharge means 17 operates based on a command from the control means 5, and opens a shutter (not shown) to make it possible to communicate the inside of the housing 3 with the nitrogen gas discharge source provided outside. have. And by using together with supply of nitrogen by the above-mentioned gas supply means 16, it becomes possible to replace the inside of the housing 3 with nitrogen atmosphere, or to control the pressure in the housing 3. In the present embodiment, the gas supply means 16 supplies nitrogen in order to use nitrogen as the gas to be circulated, but in the case of circulating another gas, the gas supply means 16 supplies the gas to be circulated. do.

또한, 가스 송출구(11)에는 제1 송풍 수단으로서의 팬(13a)과 필터(13b)로 구성되는 팬 필터 유닛(13)[FFU(13)]이 설치되어 있다. 팬 필터 유닛(13)은 하우징(3) 내를 순환하는 질소 가스 내에 포함되는 파티클을 제거함과 함께, 반송 공간(9) 내에 하방을 향하여 송풍함으로써 반송 공간(9) 내에 하강 기류를 발생시키고 있다. 또한, FFU(13)는, 구획 부재(8)에 연결되어 수평 방향으로 연장되는 지지 부재(18)에 의해 지지되어 있다.Further, a fan filter unit 13 (FFU 13) composed of a fan 13a as a first blowing means and a filter 13b is provided in the gas outlet 11. The fan filter unit 13 removes particles contained in the nitrogen gas circulating in the housing 3 and blows air downward into the conveyance space 9 to generate a downward air current in the conveyance space 9 . Further, the FFU 13 is supported by a support member 18 connected to the partition member 8 and extending in the horizontal direction.

그리고, 상술한 FFU(13)의 팬(13a) 및 팬(15)에 의해, 하우징(3) 내의 질소 가스는 반송 공간(9) 내를 하강하고, 가스 귀환로(10) 내를 상승함으로써 순환하도록 되어 있다. 가스 송출구(11)는 하방을 향하여 개구되어 있기 때문에, FFU(13)에 의해 질소 가스가 하방을 향하여 송출된다. 가스 흡인구(12)는 상방을 향하여 개구되어 있기 때문에, FFU(13)에 의해 발생시킨 하강 기류를 교란시키지 않고 그대로 하방을 향하여 질소 가스를 흡인시킬 수 있고, 이들에 의해 원활한 질소 가스의 흐름을 만들어 낼 수 있다. 또한, 반송 공간(9) 내에 하강 기류가 발생하고 있음으로써, 웨이퍼 W 상부에 부착된 파티클이나 처리 완료된 웨이퍼로부터 일시적으로 방출되는 방출 가스를 제거함과 함께, 반송 공간(9) 내의 웨이퍼 반송 장치(2) 등의 장치가 이동함으로써, 그것들의 방출 가스나 파티클이 부유하는 것을 방지하고 있다.Then, by the fan 13a and the fan 15 of the FFU 13 described above, the nitrogen gas in the housing 3 descends in the transfer space 9 and rises in the gas return path 10 to circulate. is supposed to do Since the gas delivery port 11 is open downward, nitrogen gas is delivered downward by the FFU 13 . Since the gas suction ports 12 are open upward, nitrogen gas can be sucked downward as it is without disturbing the downward airflow generated by the FFU 13, thereby ensuring a smooth flow of the nitrogen gas. can create In addition, by generating a downward air current in the transfer space 9, particles adhering to the upper portion of the wafer W and discharged gas temporarily released from the processed wafer are removed, and the wafer transfer device 2 in the transfer space 9 ) and the like are moved to prevent their emitted gas and particles from floating.

도 2는 로드 포트(4)의 사시도를 도시한다. 이하, 로드 포트(4)의 구성을 설명한다.2 shows a perspective view of the load port 4 . The configuration of the load port 4 will be described below.

로드 포트(4)는 캐스터 및 설치 다리가 설치되는 다리부(25)의 후방으로부터 베이스(21)를 수직으로 기립시키고, 이 베이스(21)의 약 60％ 정도의 높이 위치로부터 전방을 향하여 수평 기부(23)가 설치되어 있다. 또한, 이 수평 기부(23)의 상부에는, FOUP(7)를 적재하기 위한 적재대(24)가 설치되어 있다.The load port 4 vertically stands the base 21 from the rear of the leg 25 where the casters and installation legs are installed, and the horizontal base moves forward from a height position of about 60% of the base 21. (23) is installed. Further, a loading table 24 for loading the FOUP 7 is installed on the upper portion of the horizontal base 23 .

FOUP(7)는, 도 3에 모식적으로 도시된 바와 같이, 웨이퍼 W(도 1 참조)를 수용하기 위한 내부 공간 Sf를 구비한 본체(31)와, 웨이퍼 W의 반출 입구로 되기 위해 본체(31)의 한 면에 형성된 개구(31a)를 개폐하는 덮개체(32)로 구성되어 있다. FOUP(7)는, 적재대(24)에 정확하게 적재된 경우에는 덮개체(32)가 베이스(21)와 대향하도록 되어 있다.As schematically shown in FIG. 3, the FOUP 7 includes a main body 31 having an inner space Sf for accommodating the wafer W (see FIG. 1), and a main body ( 31) is composed of a cover body 32 that opens and closes the opening 31a formed on one side. When the FOUP 7 is correctly placed on the mounting platform 24, the lid 32 faces the base 21.

도 2로 되돌아가, 적재대(24) 상에는, FOUP(7)의 위치 결정을 행하기 위한 위치 결정 핀(24a)이 설치됨과 함께, 적재대(24)에 대하여 FOUP(7)의 고정을 행하기 위한 로크 갈고리(24b)가 설치되어 있다. 로크 갈고리(24b)는 적재대(24) 상에 FOUP(7)가 적절하게 위치 결정된 후, 로크 동작을 행함으로써 FOUP(7)를 고정할 수 있고, 언로크 동작을 행함으로써 FOUP(7)를 적재대(24)로부터 이격 가능한 상태로 할 수 있다. 또한, 적재대(24)는 FOUP(7)를 적재한 상태에서, 적재대 구동부(도시하지 않음)에 의해 전후 방향으로 이동하는 것이 가능하게 되어 있다.Returning to Fig. 2, on the mounting table 24, a positioning pin 24a for positioning the FOUP 7 is provided, and the FOUP 7 is fixed to the mounting table 24. A lock hook 24b for doing so is provided. After the FOUP 7 is properly positioned on the mounting table 24, the lock claw 24b can fix the FOUP 7 by performing a locking operation, and by performing an unlocking operation, the FOUP 7 is secured. It can be made into a state in which separation from the mounting table 24 is possible. Further, the loading platform 24 can be moved in the front-rear direction by a loading platform driving unit (not shown) in a state where the FOUP 7 is loaded thereon.

FOUP(7)가 적정한 위치에 위치 결정되었는지 여부는, 위치 결정 핀(24a)의 근방에 배치된 위치 결정 센서(60)에 의해 검지된다. 이 위치 결정 센서(60)는 각 위치 결정 핀(24a)의 근방에, 각각 배치하는 것이 바람직하다. 여기서, 적절하게 위치 결정된다란, 적재대(24)에 대한 FOUP(7)의 저면의 높이가, 적재대(24)의 상면으로부터 소정 범위 내에 있는 것을 의미한다.Whether or not the FOUP 7 is positioned at an appropriate position is detected by a positioning sensor 60 disposed near the positioning pin 24a. It is preferable to arrange this positioning sensor 60 in the vicinity of each positioning pin 24a, respectively. Here, properly positioned means that the height of the bottom face of the FOUP 7 relative to the mounting table 24 is within a predetermined range from the top surface of the mounting table 24 .

또한, 적재대(24)에는, FOUP(7) 내에 질소 가스를 공급하는 가스 주입부(70)와, FOUP(7) 내로부터 질소 가스를 배출하는 가스 배기부(71)가 각각 2개소에 설치되어 있다. 가스 주입부(70)와 가스 배기부(71)는 통상, 적절하게 위치 결정된 상태에 있는 FOUP(7)의 저면보다 하방에 위치하고, 사용 시에 상방으로 진출하여 FOUP(7)가 구비하는 가스 공급 밸브(33)(도 3 참조)와 가스 배출 밸브(34)에 각각 연결되도록 되어 있다.In addition, on the mounting table 24, a gas injection unit 70 for supplying nitrogen gas into the FOUP 7 and a gas exhaust unit 71 for discharging nitrogen gas from the FOUP 7 are provided at two locations, respectively. has been The gas injection unit 70 and the gas exhaust unit 71 are usually located below the bottom surface of the FOUP 7 in an appropriately positioned state, and advance upward during use to supply the gas provided by the FOUP 7 They are connected to the valve 33 (see Fig. 3) and the gas discharge valve 34, respectively.

사용 시에는, 가스 주입부(70)의 상단이 FOUP(7)의 가스 공급 밸브(33)에 접촉하고, 마찬가지로, 가스 배기부(71)의 상단이 FOUP(7)의 가스 배기 밸브(34)에 접촉한다. 그리고, 가스 공급 밸브(33)를 통해 가스 주입부(70)로부터 FOUP(7)의 내부 공간 Sf에 건조 질소 가스 등의 가스를 공급하고, 가스 배출 밸브(34)를 통해 가스 배기부(71)로부터 내부 공간 Sf의 질소 가스를 배출 가능하게 되어 있다. 또한, 질소 가스 공급량을 질소 가스 배출량보다도 많게 함으로써, 외부나 하우징(3)의 반송 공간(9)의 압력에 대하여 내부 공간 Sf의 압력을 높인 양압 설정으로 할 수도 있다.During use, the upper end of the gas injection part 70 contacts the gas supply valve 33 of the FOUP 7, and similarly, the upper end of the gas exhaust part 71 contacts the gas exhaust valve 34 of the FOUP 7. to contact Then, gas such as dry nitrogen gas is supplied from the gas injection unit 70 to the internal space Sf of the FOUP 7 through the gas supply valve 33, and the gas exhaust unit 71 through the gas discharge valve 34. It is possible to discharge the nitrogen gas of the internal space Sf from the . In addition, by making the nitrogen gas supply amount larger than the nitrogen gas discharge amount, it is also possible to set a positive pressure setting in which the pressure in the inner space Sf is increased relative to the pressure in the outside or in the transfer space 9 of the housing 3.

로드 포트(4)를 구성하는 베이스(21)는 반송 공간(9)을 외부 공간으로부터 격리하는 전면벽의 일부를 구성하고 있다. 도 2에 도시한 바와 같이 베이스(21)는 양측방에 기립시킨 지주(21a, 21a)와, 이들에 의해 지지된 베이스 본체(21b)와, 이 베이스 본체(21b)에 대략 직사각형으로 개방된 창부(21c)에 설치된 윈도우 유닛(40)으로 구성되어 있다. 여기서, 본원에서 말하는 대략 직사각형이란, 4변을 구비하는 직사각형을 기본 형상으로 하면서 4코너를 원호에 의해 매끄럽게 연결한 형상을 말한다.The base 21 constituting the load port 4 constitutes a part of the front wall that isolates the transfer space 9 from the external space. As shown in Fig. 2, the base 21 includes pillars 21a and 21a erected on both sides, a base body 21b supported by them, and a window portion opened in a substantially rectangular shape to the base body 21b. It is composed of a window unit 40 installed in (21c). Here, the approximate rectangle as used herein refers to a shape in which a rectangle with four sides is used as a basic shape and four corners are smoothly connected by arcs.

윈도우 유닛(40)은 상술한 FOUP(7)의 덮개체(32)(도 3 참조)와 대향하는 위치에 설치되어 있다. 윈도우 유닛(40)은 후에 상세하게 설명하는 바와 같이 대략 직사각형의 개구부(42)(도 4 참조)가 마련되어 있기 때문에, 이 개구부(42)를 통해 하우징(3)의 반송 공간(9)을 개방할 수 있다.The window unit 40 is installed in a position facing the cover body 32 (see Fig. 3) of the FOUP 7 described above. Since the window unit 40 is provided with a substantially rectangular opening 42 (see FIG. 4) as described in detail later, the transfer space 9 of the housing 3 can be opened through the opening 42. can

윈도우 유닛(40)은 창틀부(41)와, 이것에 설치되는 탄성재로서의 제1 O링(제1 시일 부재)(43), 제2 O링(제2 시일 부재)(44)과, 제1 O링(43)을 통해 FOUP(7)를 창틀부(41)에 대하여 밀착시키기 위한 인입 수단으로서의 클램프 유닛(45)으로 구성되어 있다.The window unit 40 includes a window frame portion 41, a first O-ring (first sealing member) 43 and a second O-ring (second sealing member) 44 as an elastic material attached thereto, It consists of a clamp unit 45 as a drawing means for bringing the FOUP 7 into close contact with the window frame portion 41 via one O-ring 43.

창틀부(41)는 내측에 대략 직사각형의 개구부(42)가 형성된 프레임 형상을 이루고 있다. 창틀부(41)는 윈도우 유닛(40)의 구성 요소로서 상술한 베이스(21)(도 2 참조)의 일부를 구성하는 것이기 때문에, 개구부(42)는 하우징(3)의 전방면벽을 개방하는 것이라고 할 수 있다.The window frame portion 41 has a frame shape with a substantially rectangular opening 42 formed therein. Since the window frame portion 41 constitutes a part of the above-described base 21 (see FIG. 2) as a component of the window unit 40, the opening 42 is said to open the front wall of the housing 3. can do.

창틀부(41)의 전방면에는, 개구부(42)의 주연 근방을 주회하도록 제1 O링(43)이 배치되어 있다. 창틀부(41)의 후방면에는, 개구부(42)의 주연 근방을 주회하도록 제2 O링(44)이 배치되어 있다.On the front surface of the window frame portion 41, a first O-ring 43 is disposed so as to go around the periphery of the opening 42. On the rear surface of the window frame portion 41, a second O-ring 44 is disposed so as to go around the periphery of the opening 42.

도 5는 길이 방향을 따른 제1 O링(43)의 단면도, 도 6은 길이 방향을 따른 제2 O링(44)의 단면도를 도시한다. 제1 O링(43) 및 제2 O링(44)의 단면 형상은 볼록 형상이다. 도면 중, 화살표는 윈도우 유닛(40)의 전후 방향, 즉 FOUP(9) 및 도어부(51)의 후술하는 진퇴 방향을 나타낸다. 치수 L1은, 도어부(51)의 진퇴 방향에 있어서의 제1 O링(43)의 높이 치수를 나타낸다. 치수 L2는, 도어부(51)의 진퇴 방향에 있어서의 제2 O링(44)의 높이 치수를 나타낸다. 즉 본 실시 형태에서는, 제2 O링(44)의 치수 L2가 제1 O링(43)의 치수 L1보다도 크다.FIG. 5 shows a cross-sectional view of the first O-ring 43 along the longitudinal direction, and FIG. 6 shows a cross-sectional view of the second O-ring 44 along the longitudinal direction. The sectional shape of the 1st O-ring 43 and the 2nd O-ring 44 is a convex shape. In the drawing, arrows indicate forward and backward directions of the window unit 40, that is, forward and backward directions of the FOUP 9 and the door unit 51, which will be described later. The dimension L1 represents the height dimension of the first O-ring 43 in the forward and backward direction of the door portion 51 . The dimension L2 represents the height dimension of the second O-ring 44 in the forward and backward direction of the door portion 51 . That is, in this embodiment, the dimension L2 of the 2nd O-ring 44 is larger than the dimension L1 of the 1st O-ring 43.

개구부(42)는 FOUP(7)의 덮개체(32)의 외주보다도 약간 크고, 이 개구부(42)를 통해 덮개체(32)는 이동 가능하게 되어 있다. 또한, FOUP(7)를 적재대(24)에 적재시킨 상태에 있어서, 도 7에 도시한 바와 같이 덮개체(32)의 주위를 이루는 본체(31)의 전방면은 맞닿음면(31b)으로 하여, 제1 O링(43)을 통해 창틀부(41)[베이스(21)]의 전방면에 맞닿는다. 이에 의해, FOUP(7)가 윈도우 유닛(40)에 설치되었을 때에, 제1 O링(43)은 개구부(42)[베이스(21)]의 주연과 FOUP(7) 사이를 시일(폐지)한다.The opening 42 is slightly larger than the outer periphery of the lid 32 of the FOUP 7, and the lid 32 is movable through the opening 42. Further, in a state where the FOUP 7 is placed on the mounting table 24, as shown in FIG. 7, the front surface of the main body 31 forming the periphery of the cover body 32 is abutting surface 31b. Thus, it abuts on the front surface of the window frame portion 41 (base 21) through the first O-ring 43. Thus, when the FOUP 7 is attached to the window unit 40, the first O-ring 43 seals (closes) between the periphery of the opening 42 (base 21) and the FOUP 7. .

또한, 창틀부(41)의 후방면에는, 상술한 도어부(51)가 제2 O링(44)을 통해 맞닿게 되어 있다. 이에 의해, 제2 O링(44)이 개구부(42)의 주연과 도어부(51) 사이를 시일한다.In addition, the above-mentioned door part 51 abuts on the rear surface of the window frame part 41 via the 2nd O-ring 44. Thus, the second O-ring 44 seals between the periphery of the opening 42 and the door portion 51 .

클램프 유닛(45)은 창틀부(41)의 양측부에 있어서 상하 방향으로 이격하여 배치된 합계 4개소에 설치되어 있다. 각 클램프 유닛(45)은 대략 걸림 결합편(46)과 이것을 동작시키는 실린더(47)로 구성되고, FOUP(7)가 윈도우 유닛(40)에 설치된 상태에서, FOUP(7)를 베이스(21)측으로 압박한다.The clamp units 45 are installed at four locations in total spaced apart from each other in the vertical direction on both sides of the window frame portion 41 . Each clamp unit 45 is composed of a substantially engaging piece 46 and a cylinder 47 that operates it, and in a state where the FOUP 7 is installed on the window unit 40, the FOUP 7 is attached to the base 21 press to the side

그리고, 걸림 결합편(46)이 전방으로 튀어나온 경우에는 그 선단이 상측 방향을 향하고, 후방으로 인입된 상태로 된 경우에는 선단이 내측의 FOUP(7)를 향하는 방향으로 된다. 클램프 조작에 의해, 걸림 결합편(46)은 선단이 내측을 향함으로써, FOUP(7)로부터 측방으로 돌출된 플랜지부에 걸림 결합하는 것이 가능하게 되어 있다.And, when the engaging piece 46 protrudes forward, its tip faces upward, and when it is retracted backward, its tip faces toward the inside FOUP 7. By the clamp operation, the tip of the engaging piece 46 is directed inward, so that it can be engaged with the flange portion projecting sideways from the FOUP 7 .

또한, 로드 포트(4)는 FOUP(7)를 설치 가능하게 구성된 윈도우 유닛(40)을 개폐하기 위한 개폐 기구(50)를 구비하고 있다.In addition, the load port 4 includes an opening/closing mechanism 50 for opening/closing the window unit 40 configured to enable installation of the FOUP 7 .

도 3에 도시한 바와 같이 개폐 기구(50)는 개구부(42)를 개폐하기 위한 도어부(51)와, 이것을 지지하기 위한 지지 프레임(52)과, 이 지지 프레임(52)이 슬라이드 지지 수단(53)을 통해 전후 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동 블록(54)과, 이 가동 블록(54)을 베이스 본체(21b)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 슬라이드 레일(55)을 구비하고 있다.As shown in FIG. 3, the opening/closing mechanism 50 includes a door portion 51 for opening and closing the opening 42, a support frame 52 for supporting it, and the support frame 52 are slide support means ( 53), and a movable block 54 supporting the movable block 54 so as to be movable in the forward and backward direction, and a slide rail 55 supporting the movable block 54 so as to be movable in the vertical direction with respect to the base body 21b. .

도어부(51)는 FOUP(7)의 덮개체(32)를 흡착하는 흡착부(56)(도 4 참조)와, FOUP(7)의 덮개체(32)를 개폐하기 위한 래치 조작이나, 덮개체(32)의 보유 지지를 행하기 위한 연결 수단(57)을 구비하고 있다. 도어부(51)는 덮개체(32)의 고정 및 고정의 해제를 행하여, FOUP(7)로부터 덮개체(32)의 떼어냄 및 설치가 가능하게 되어 있다. 연결 수단(57)에서는, 덮개체(32)의 언래치 동작을 행함으로써 덮개체(32)를 개방 가능한 상태로 함과 함께, 덮개체(32)를 도어부(51)에 연결하여 일체화한 상태로 할 수 있다. 이것과는 반대로, 연결 수단(57)에서는, 덮개체(32)의 래치 동작을 행함으로써 덮개체(32)와 도어부(51)의 연결을 해제함과 함께, 덮개체(32)를 본체(31)에 설치하여 폐지 상태로 할 수도 있다.The door unit 51 includes an adsorption unit 56 (see FIG. 4) that adsorbs the lid 32 of the FOUP 7, a latch operation for opening and closing the lid 32 of the FOUP 7, and a lid. A connecting means 57 for holding the sieve 32 is provided. The door portion 51 fixes and releases the fixation of the lid 32, so that the lid 32 can be removed from the FOUP 7 and installed. In the linking means 57, the lid 32 is made openable by performing an unlatching operation of the lid 32, and the lid 32 is connected to the door 51 to form an integrated state. can be done with Contrary to this, in the connecting means 57, the lid 32 is latched to release the connection between the lid 32 and the door 51, and the lid 32 is moved to the main body ( 31) to make it abolished.

도 3에 도시한 바와 같이 도어부(51)에는, FOUP(7)가 윈도우 유닛(40)에 설치되었을 때에, FOUP(7)와 도어부(51) 사이에 질소 가스를 주입하는 가스 주입 노즐(73)과, FOUP(7)와 도어부(51) 사이의 질소 가스를 배출하는 가스 배출 노즐(74)이 설치되어 있다. 가스 주입 노즐(73)의 상단이 도어부(51)의 외표면까지 연장되고, 하단이 가스 공급 장치(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 가스 배출 노즐(74)의 상단이 도어부(51)의 외표면까지 연장되고, 하단이 가스 배출 장치(도시하지 않음)에 접속되어 있다. FOUP(7)와 도어부(51)를 클램프 유닛(45)에 의해 일체로 한 상태에서, 가스 주입 노즐(73)이 밀폐 공간 Sd(도 7 참조)에 연통하여 질소를 공급하고, 가스 배출 노즐(74)이 밀폐 공간 Sd에 연통하여 질소를 배출함으로써, 밀폐 공간 Sd를 질소로 치환 및 충전할 수 있다.As shown in FIG. 3, the door unit 51 has a gas injection nozzle for injecting nitrogen gas between the FOUP 7 and the door unit 51 when the FOUP 7 is installed on the window unit 40 ( 73) and a gas discharge nozzle 74 for discharging nitrogen gas between the FOUP 7 and the door unit 51 are installed. The upper end of the gas injection nozzle 73 extends to the outer surface of the door portion 51, and the lower end is connected to a gas supply device (not shown). Similarly, the upper end of the gas discharge nozzle 74 extends to the outer surface of the door portion 51, and the lower end is connected to a gas discharge device (not shown). With the FOUP 7 and the door portion 51 integrated by the clamp unit 45, the gas injection nozzle 73 communicates with the closed space Sd (see Fig. 7) to supply nitrogen, and the gas discharge nozzle When 74 communicates with the closed space Sd and discharges nitrogen, the closed space Sd can be substituted and filled with nitrogen.

또한, 도어부(51)의 전후 방향으로의 이동 및 상하 방향으로의 이동을 행하게 하기 위한 액추에이터(도시하지 않음)가 각 방향마다 설치되어 있고, 이들에 제어부 Cp로부터의 구동 명령을 부여함으로써, 도어부(51)를 전후 방향 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 이와 같이 로드 포트(4)는 제어부 Cp에 의해, 각 부에 구동 명령이 부여됨으로써 동작하도록 되어 있다.In addition, actuators (not shown) for moving the door unit 51 in the front-rear direction and in the vertical direction are provided in each direction, and by giving drive commands from the control unit Cp to these actuators, the door can be moved. The portion 51 can be moved in the front-back and up-down directions. In this way, the load port 4 is operated by giving a drive command to each unit by the control unit Cp.

도 8에 도시한 바와 같이, 제어부 Cp의 입력측은, 위치 결정 센서(60)와 도어 위치 검지 센서(81)와 적재대 검지 센서(82)와 분위기 센서(83)에 접속되어 있다. 위치 결정 센서(60)는 FOUP(7)가 적재대(24)의 적정한 위치에 위치 결정되었는지 여부를 검지한다. 도어 위치 검지 센서(81)는 도어부(51)의 진퇴의 위치를 검지한다. 적재대 검지 센서(82)는 적재대(24)의 진퇴 방향의 위치를 검지한다. 분위기 센서(83)는 밀폐 공간 Sd 내의 습도나 산소 농도를 검출하여, 밀폐 공간 Sd가 질소로 치환되었는지 여부를 검지한다.As shown in FIG. 8 , the input side of the controller Cp is connected to a positioning sensor 60, a door position detection sensor 81, a loading platform detection sensor 82, and an atmosphere sensor 83. The positioning sensor 60 detects whether the FOUP 7 is positioned at an appropriate position on the mounting table 24 or not. The door position detection sensor 81 detects the forward and backward position of the door part 51 . The loading platform detection sensor 82 detects the position of the loading platform 24 in the forward and backward direction. The atmosphere sensor 83 detects the humidity and oxygen concentration in the closed space Sd, and detects whether or not the closed space Sd has been substituted with nitrogen.

제어부 Cp의 출력측은, 적재대 구동부(85)와 도어 구동부(86)와 클램프 유닛 구동부(87)와 가스 공급 장치(88)와 가스 배출 장치(89)에 접속되어 있다. 가스 공급 장치(88)는 가스 주입 노즐(73)에 접속되어, 밀폐 공간 Sd에 질소를 공급한다. 가스 배출 장치(89)는 가스 배출 노즐(74)에 접속되어, 밀폐 공간 Sd로부터 질소를 배출한다.The output side of the controller Cp is connected to the mounting table drive unit 85, the door drive unit 86, the clamp unit drive unit 87, the gas supply device 88, and the gas exhaust device 89. The gas supply device 88 is connected to the gas injection nozzle 73 and supplies nitrogen to the closed space Sd. The gas exhaust device 89 is connected to the gas exhaust nozzle 74 and exhausts nitrogen from the closed space Sd.

이하, 본 제1 실시 형태의 로드 포트(4)를 사용한 경우의 FOUP(7) 및 도어부(51)의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, operations of the FOUP 7 and the door unit 51 in the case of using the load port 4 of the first embodiment will be described.

먼저 도 9에 도시한 스텝 S1에서, 도시하지 않은 천장 주행형 무인 반송기가 적재대(24)의 용기 수수 위치에 FOUP(7)를 적재한다. 용기 수수 위치란 적재대(24)의 이동 범위 중, 적재대(24)에 FOUP(7)를 적재할 수 있는 위치를 가리킨다.First, in step S1 shown in FIG. 9, an overhead traveling type unmanned transporter, not shown, loads the FOUP 7 on the container delivery position of the loading platform 24. The container delivery position refers to a position where the FOUP 7 can be loaded on the loading table 24 within the moving range of the loading table 24 .

이때, 도 10에 도시한 바와 같이, 도어부(51)는 도어 폐지 위치에 배치되어 있다. 도어 폐지 위치란, 도어부(51)가 제2 시일 부재(44)와 맞닿고, 또한 도어부(51)의 FOUP(7)측의 단부면(51a)이 도어부(51)와 제2 시일 부재(44)의 맞닿음면보다도 FOUP(7)측에 있는 초기 위치를 가리킨다. 도어부(51)의 단부면(51a)은 구체적으로는, 로드 포트(4)의 베이스(21)보다도 FOUP(7)측에 위치하고, 또한 제1 O링(43)의 전후 방향 치수의 범위 내에 있다.At this time, as shown in FIG. 10, the door part 51 is disposed at the door closing position. The door closing position means that the door portion 51 is in contact with the second seal member 44, and the end surface 51a of the door portion 51 on the FOUP 7 side is in contact with the door portion 51 and the second seal member 44. The initial position on the FOUP 7 side rather than the contact surface of the member 44 is indicated. Specifically, the end face 51a of the door portion 51 is located closer to the FOUP 7 than the base 21 of the load port 4, and is within the range of the first O-ring 43 in the longitudinal direction. have.

스텝 S2에서 위치 결정 센서(60)가, 적재대(24)의 적절한 위치에 FOUP(7)가 위치 결정되었는지 여부를 검지한다. FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되지 않았으면, 상위 컨트롤러에 에러를 송신하여 반복한다.In step S2, the positioning sensor 60 detects whether or not the FOUP 7 is positioned at an appropriate position on the mounting platform 24. If the FOUP 7 is not properly positioned, an error is sent to the upper controller and repeated.

FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되었으면 스텝 S3으로 진행하여, 도어 구동부(86)가, 도어 폐지 위치로부터 도어 퇴피 위치까지 FOUP(7)와 반대 방향으로 도어부(51)를 퇴피시킨다(도 11 참조). 도어 퇴피 위치란, 도어 폐지 위치(초기 위치)로부터, FOUP(7)와 반대 방향으로 도어부(51)를 퇴피시키고, 또한 도어부(51)가 제2 시일 부재(44)와 맞닿아 있는 위치를 가리킨다. 도어부(51)는 로드 포트(4)의 후방으로부터 전방을 향하여 전진하고, 로드 포트(4)의 전방으로부터 후방을 향하여 퇴피한다. 이들 전진 및 퇴피 방향은 수평 방향이다. 도어부(51)를 퇴피시킴으로써, 제2 O링(44)은 도 10과 비교하여 신장된다. 도어부(51)가 도어 퇴피 위치까지 퇴피되었는지 여부는, 도어 위치 검지 센서(81)에 의해 검지한다.When the FOUP 7 is properly positioned, the process proceeds to step S3, and the door driving unit 86 retracts the door unit 51 in the opposite direction to the FOUP 7 from the door closing position to the door retracting position (Fig. 11). Reference). The door retract position is a position in which the door portion 51 is retracted in the opposite direction to the FOUP 7 from the door closing position (initial position), and the door portion 51 is in contact with the second sealing member 44 points to The door portion 51 advances from the rear of the load port 4 toward the front, and retracts from the front of the load port 4 toward the rear. These advancing and retracting directions are horizontal. By retracting the door portion 51, the second O-ring 44 is extended compared to FIG. Whether or not the door portion 51 has been retracted to the door retracted position is detected by the door position detection sensor 81.

스텝 S4에서는, 적재대 구동부(85)가 용기 수수 위치로부터 도어 개폐 위치로 적재대(24) 및 FOUP(7)를 전진시킨다(도 11 참조). 이 도어 개폐 위치란, 도어부(51)의 이동 범위 중, 연결 수단(57)에 의해 FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정 또는 고정의 해제, 및 덮개체(32)의 착탈을 행하는 위치를 가리킨다. 용기 수수 위치로부터 도어 개폐 위치까지의 FOUP(7)의 이동량은 71㎜이다. 적재대(24)가 도어 개폐 위치로 이동하였는지 여부는, 적재대 검지 센서(82)가 검지한다. 적재대 검지 센서(82)에 의해 적재대(24)가 도어 개폐 위치에 있는 것을 검지하면, 클램프 유닛 구동부(87)로부터의 신호에 의해, 클램프 유닛(45)이 작동한다. 이에 의해, FOUP(7)를 로드 포트(4)측으로 가까이 끌어당겨, FOUP(7)와 베이스(21)와 제1 O링(43)의 시일성을 높인다. 또한, FOUP(7)는 로드 포트(4)의 전방으로부터 후방을 향하여 전진하고, 로드 포트(4)의 후방으로부터 전방을 향하여 퇴피(후퇴)한다. 이들 전진 및 퇴피 방향은 수평 방향이다.In step S4, the loading table driver 85 advances the loading table 24 and the FOUP 7 from the container delivery position to the door opening and closing position (see Fig. 11). This door opening/closing position refers to the fixation or release of the cover 32 to the FOUP 7 by the connecting means 57 and the attachment/detachment of the cover 32 within the movement range of the door unit 51. indicates where to do it. The amount of movement of the FOUP 7 from the container delivery position to the door opening/closing position is 71 mm. The loading platform detection sensor 82 detects whether the loading platform 24 has moved to the door opening/closing position. When the loading platform detection sensor 82 detects that the loading platform 24 is in the door open/closed position, the clamp unit 45 is actuated by a signal from the clamp unit driving unit 87. This pulls the FOUP 7 closer to the load port 4 side, and improves the sealing performance between the FOUP 7, the base 21, and the first O-ring 43. Further, the FOUP 7 advances from the front of the load port 4 toward the rear, and retracts (retracts) toward the front from the rear of the load port 4. These advancing and retracting directions are horizontal.

도어부(51)가 도어 퇴피 위치에 있고, 또한 FOUP(7)가 도어 개폐 위치에 있으며 제1 O링(43)을 통해 로드 포트(4)의 창틀부(41)와 맞닿을 때, 밀폐 공간 Sd가 형성된다. 이 밀폐 공간 Sd는, 베이스(21), 제1 시일 부재(43), 제2 시일 부재(44), 덮개체(32), FOUP(7) 및 도어부(51)에 의해 형성되어 있다. 또한 스텝 S5에서 밀폐 공간 Sd는, 가스 주입 노즐(73)과 가스 배출 노즐(74)에 의해 대기로부터 질소 가스로 치환된다. 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 치환되었는지 여부는, 분위기 센서(83)가 검지한다.When the door part 51 is in the door retract position and the FOUP 7 is in the door open position and abuts with the window frame part 41 of the load port 4 via the first O-ring 43, the closed space Sd is formed. This closed space Sd is formed by the base 21, the 1st sealing member 43, the 2nd sealing member 44, the cover body 32, the FOUP 7, and the door part 51. Further, in step S5, the closed space Sd is substituted with nitrogen gas from the air by the gas injection nozzle 73 and the gas discharge nozzle 74. An atmosphere sensor 83 detects whether or not the closed space Sd has been substituted with nitrogen gas.

이후, 스텝 S6에서는 도어 구동부(86)가 도어 퇴피 위치로부터 도어 개폐 위치(도어 전진 위치)까지 FOUP(7)를 향하여 도어부(51)를 전진시킨다(도 12 참조). 도어부(51)가 도어 개폐 위치에 있을 때, 도어부(51)와 덮개체(32)는 접촉하고, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정을 해제하고, 덮개체(32)를 보유 지지한다. 또한, 도어 퇴피 위치와 도어 개폐 위치의 거리는 3㎜로 설정되어 있다.Thereafter, in step S6, the door drive unit 86 advances the door unit 51 toward the FOUP 7 from the door retracted position to the door open/close position (door forward position) (see Fig. 12). When the door part 51 is in the door open/closed position, the door part 51 and the cover body 32 come into contact, and the connecting means 57 releases the fixation of the cover body 32 to the FOUP 7 and , and holds the cover body 32 . Further, the distance between the door retracted position and the door open/closed position is set to 3 mm.

스텝 S7에서 도어 구동부(86)가, 도어 개폐 위치로부터 도어 개방 위치까지 도어부(51) 및 도어부(51)에 보유 지지된 덮개체(32)를 이동시켜, 로드 포트(4)의 개구부(42)를 개방한다(도 13 참조). 도어 개방 위치란, 개구부(42)가 개방되어, 웨이퍼 반송 장치(2)가 FOUP(7) 내에 액세스 가능한 위치를 가리킨다. 이 상태에서 웨이퍼 반송 장치(2)는 FOUP(7) 내의 웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음을 행한다.In step S7, the door drive unit 86 moves the door unit 51 and the cover body 32 held by the door unit 51 from the door open/closed position to the door open position, thereby moving the opening of the load port 4 ( 42) is opened (see FIG. 13). The door open position refers to a position where the opening 42 is open and the wafer transport device 2 can access the inside of the FOUP 7 . In this state, the wafer transport device 2 takes out and inserts the wafer W into the FOUP 7 .

웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음이 종료되면, 스텝 S8에서 도어 구동부(86)가 도어 개방 위치로부터 도어 개폐 위치까지 도어부(51)를 이동시킨다. 이때, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대하여 덮개체(32)를 설치하고, 고정한다. 그리고, 클램프 유닛(45)에 의한 FOUP(7)와 로드 포트(4)의 고정을 해제하고, 스텝 S9에서, 적재대 구동부(85)가 적재대(24) 및 FOUP(7)를 용기 수수 위치까지 후퇴시킨다.When the removal and insertion of the wafer W is completed, the door drive unit 86 moves the door unit 51 from the door open position to the door open position in step S8. At this time, the connecting means 57 installs and fixes the cover body 32 to the FOUP 7 . Then, the fixing of the FOUP 7 and the load port 4 by the clamp unit 45 is released, and in step S9, the loading table driving unit 85 moves the loading table 24 and the FOUP 7 to the container transfer position. back up to

[본 실시 형태의 로드 포트의 특징][Features of the load port of the present embodiment]

본 실시 형태의 로드 포트(4)에는 이하의 특징이 있다.The load port 4 of this embodiment has the following characteristics.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 적재대(24)에 FOUP(7)가 적재된 후, 도어부(51)가 제2 시일 부재(44)와 맞닿고, 또한 도어부(51)의 FOUP(7)측의 단부면(51a)이 도어부(51)와 제2 시일 부재(44)의 맞닿음면보다도 FOUP(7)측에 있는 초기 위치로부터, FOUP(7)와 반대 방향으로 도어부(51)를 퇴피시킨다. 이에 의해, 제1 시일 부재(43)와 맞닿을 때까지 FOUP(7)를 도어부(51)를 향하여 이동시켰을 때에, FOUP(7)와 도어부(51)가 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 접촉에 의해 FOUP(7) 또는 도어부(51)가 설령 압출되거나, 또는 경사졌다고 해도, 베이스(21)와, FOUP(7) 또는 도어부(51) 사이의 시일이 해제되는 것을 방지할 수 있다.In the load port 4 of the present embodiment, after the FOUP 7 is loaded on the loading table 24, the door portion 51 abuts against the second sealing member 44, and furthermore, the door portion 51 The end face 51a on the FOUP 7 side is closer to the FOUP 7 side than the contact surface between the door portion 51 and the second sealing member 44. The part 51 is retracted. Thus, when the FOUP 7 is moved toward the door portion 51 until it comes into contact with the first sealing member 43, contact between the FOUP 7 and the door portion 51 can be prevented. Therefore, even if the FOUP 7 or the door part 51 is extruded or inclined by contact, the seal between the base 21 and the FOUP 7 or the door part 51 can be prevented from being released. can

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본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 도어부(51)를 퇴피시킨 도어 퇴피 위치에서, 도어부(51)가 제2 시일 부재(44)와 맞닿아 있다. 이에 의해, FOUP(7)를 도어부(51)를 향하여 이동시켜, FOUP(7)가 제1 시일 부재(43)와 맞닿았을 때에, 적어도 베이스, 제1 시일 부재(43), 제2 시일 부재(44), 덮개체(32) 및 도어부(51)에 의해 밀폐 공간 Sd를 형성할 수 있다.In the load port 4 of the present embodiment, the door portion 51 is in contact with the second sealing member 44 at the door retracted position where the door portion 51 is retracted. This moves the FOUP 7 toward the door portion 51, and when the FOUP 7 comes into contact with the first sealing member 43, at least the base, the first sealing member 43, and the second seal The closed space Sd can be formed by the member 44, the cover body 32, and the door part 51.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 충전된 후, 퇴피 위치로부터 FOUP(7)를 향하여 도어부(51)를 전진시킨다. 이에 의해, FOUP(7)와 도어부(51)를 근접시켜, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정의 해제를 도어부(51)의 연결 수단(57)이 행하여, FOUP(7)로부터 덮개체(32)의 떼어냄이 가능한 상태로 된다.In the load port 4 of this embodiment, after the closed space Sd is filled with nitrogen gas, the door portion 51 is advanced from the retracted position toward the FOUP 7 . This causes the FOUP 7 and the door portion 51 to come close to each other, and the fixing of the cover body 32 to the FOUP 7 is released by the connecting means 57 of the door portion 51, and the FOUP 7 ) from which the lid 32 can be removed.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 도어부(51)를 전진시킨 도어 전진 위치에서, 도어부(51)가 덮개체(32)와 접촉하고 있다. 이에 의해, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정의 해제를 도어부(51)의 연결 수단(57)이 확실히 행하여, FOUP(7)로부터 덮개체(32)의 떼어냄이 가능하다. 또한 도어부(51)가 덮개체(32)와 접촉함으로써, 설령 도어부(51)가 기울어져 도어부(51)와 제2 시일 부재(44) 사이의 시일이 해제되었다고 해도, 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 충전되어 있기 때문에 반송 공간(9)에 대기가 침입하는 일은 없다.In the load port 4 of the present embodiment, the door portion 51 is in contact with the cover body 32 at the door forward position in which the door portion 51 is advanced. As a result, the fixing of the lid 32 to the FOUP 7 is released reliably by the connecting means 57 of the door unit 51, and the lid 32 can be removed from the FOUP 7. . Further, when the door portion 51 comes into contact with the cover body 32, even if the seal between the door portion 51 and the second sealing member 44 is released due to the inclination of the door portion 51, the closed space Sd is closed. Since it is filled with nitrogen gas, air does not intrude into the transport space 9 .

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 도어부(51)가 진퇴하는 방향에 있어서의 제2 시일 부재(44)의 치수가, 도어부(51)가 진퇴하는 방향에 있어서의 제1 시일 부재(43)의 치수보다도 크다. 이에 의해, 도어부(51)와 제2 시일 부재(44)가 맞닿아 시일된 상태에서, 도어부(51)의 진퇴(이동) 거리를 크게 확보할 수 있다.In the load port 4 of this embodiment, the size of the second sealing member 44 in the direction in which the door portion 51 advances and retreats is the first sealing member in the direction in which the door portion 51 advances and retreats. It is larger than the dimension of (43). Accordingly, in a state where the door portion 51 and the second sealing member 44 are brought into contact with each other and sealed, the forward/backward (moving) distance of the door portion 51 can be increased.

<제2 실시 형태><Second Embodiment>

제2 실시 형태의, 예를 들어 로드 포트(4) 등의 각 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 단, 제1 실시 형태에서는 제2 O링(44)의 치수 L2가 제1 O링(43)의 치수 L1보다도 크다. 그러나 도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이 제2 실시 형태에서는, 제1 O링(43)의 치수 L1이 제2 O링(44)의 치수 L2보다도 큰 점에서 제1 실시 형태와 상이하다.Each configuration of the second embodiment, such as the load port 4, for example, is the same as that of the first embodiment, so the description is omitted. However, in 1st Embodiment, the dimension L2 of the 2nd O-ring 44 is larger than the dimension L1 of the 1st O-ring 43. However, as shown in FIGS. 14 and 15, the second embodiment differs from the first embodiment in that the dimension L1 of the first O-ring 43 is larger than the dimension L2 of the second O-ring 44.

이하, 제2 실시 형태의 로드 포트(4)를 사용한 경우의 FOUP(7) 및 도어부(51)의 동작에 대하여 설명한다. 또한, FOUP(7)의 예를 들어 용기 수수 위치 및 도어부(51)의 예를 들어 도어 폐지 위치 등의 각 위치의 정의는 제1 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Hereinafter, operations of the FOUP 7 and the door unit 51 in the case of using the load port 4 of the second embodiment will be described. In addition, since the definition of each position, such as the container delivery position of the FOUP 7 and the door closing position of the door part 51, for example, is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted.

먼저 도 16에 도시한 스텝 S11에서, 도시하지 않은 천장 주행형 무인 반송기가 적재대(24)의 용기 수수 위치에 FOUP(7)를 적재한다.First, in step S11 shown in FIG. 16, an overhead traveling type unmanned transport machine (not shown) loads the FOUP 7 on the container delivery position of the loading platform 24.

이때, 도 17에 도시한 바와 같이, 도어부(51)는 도어 폐지 위치에 배치되고, 도어 압출 기구(90)에 의한 도어 클램프가 작동하고 있다. 이 도어 압출 기구(90)는 베이스(21)의 반송 공간(9)측의 벽면에 있어서, 개구부(42)의 개구 주연을 따라서 복수 배치된다. 이 도어 압출 기구(90)는 실린더(91)와, 이 실린더(91)로부터 돌출 함몰 가능한 로드(92)와, 로드(92)의 선단부에 회전 가능하게 설치된 롤러(93)를 주요 구성 요소로 하고 있다. 실린더(91)는 도어부(51)에 롤러(93)가 적절하게 압박 접촉되도록, 베이스(21)로부터 경사를 부여하여 배치할 수 있도록 한 받침대(94)에 설치되어 있다. 도어부(51)에 롤러(93)를 적절하게 압박 접촉함으로써, 베이스(21), 도어부(51) 및 제2 O링(44)에 의한 시일성을 높일 수 있다.At this time, as shown in FIG. 17 , the door part 51 is disposed at the door closed position, and the door clamp by the door extrusion mechanism 90 is operating. A plurality of the door extruding mechanisms 90 are disposed along the periphery of the opening 42 on the wall surface of the base 21 on the transport space 9 side. This door extrusion mechanism (90) has as its main components a cylinder (91), a rod (92) protruding and retractable from the cylinder (91), and a roller (93) rotatably installed at the distal end of the rod (92). have. The cylinder 91 is installed on a pedestal 94 so that it can be placed with an inclination from the base 21 so that the roller 93 appropriately presses against the door portion 51. By appropriately pressing the roller 93 to the door portion 51, the sealing performance of the base 21, the door portion 51, and the second O-ring 44 can be improved.

스텝 S12에서 위치 결정 센서(60)가 적재대(24)의 적절한 위치에 FOUP(7)가 위치 결정되었는지 여부를 검지한다. FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되지 않았으면, 반복한다.In step S12, the positioning sensor 60 detects whether or not the FOUP 7 is positioned at an appropriate position on the mounting platform 24. If FOUP 7 is not positioned properly, repeat.

FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되었으면 스텝 S13으로 진행한다. 스텝 S13에서는, 적재대(24) 및 FOUP(7)가, 용기 수수 위치로부터 용기 퇴피 위치까지 도어부(51)를 향하여 전진한다(도 17 참조). 용기 퇴피 위치란, FOUP(7)가 제1 O링(43)과 맞닿고, 또한 제2 O링(44)과 맞닿는 도어부(51)의 FOUP(7)측의 단부면과 FOUP(7)가 소정의 간격을 둔 위치를 가리킨다. 또한 용기 퇴피 위치는, 후술하는 용기 개폐 위치와 용기 수수 위치 사이에 위치한다.When the FOUP 7 is properly positioned, the process proceeds to step S13. In step S13, the loading table 24 and the FOUP 7 advance toward the door 51 from the container delivery position to the container retracting position (see Fig. 17). The container retracting position is the end face of the door part 51 on the FOUP 7 side where the FOUP 7 abuts the first O-ring 43 and the second O-ring 44, and the FOUP 7 indicates a position at a predetermined interval. The container retracting position is located between a container opening/closing position and a container transfer position, which will be described later.

이때, 밀폐 공간 Sd가 형성되므로, 스텝 S14에서 밀폐 공간 Sd는, 가스 주입 노즐(73)과 가스 배출 노즐(74)에 의해 대기로부터 질소 가스로 치환되어 충전된다.At this time, since the closed space Sd is formed, the closed space Sd is substituted with nitrogen gas from the air by the gas injection nozzle 73 and the gas discharge nozzle 74 in step S14 and filled.

스텝 S15에서, 적재대 구동부(85)가 용기 퇴피 위치로부터 용기 개폐 위치(용기 전진 위치)까지 도어부(51)를 향하여 적재대(24) 및 FOUP(7)를 전진시킨다(도 18 참조). 용기 개폐 위치란, 적재대(24)의 이동 범위 중, 개구부(42)를 통해 웨이퍼 반송 장치(2)가 FOUP(7) 내의 웨이퍼 W를 꺼낼 수 있는 위치를 가리킨다. FOUP(7)가 용기 개폐 위치에 있을 때, 도어부(51)와 덮개체(32)는 접촉하고, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정을 해제하고, 덮개체(32)를 보유 지지한다. 용기 퇴피 위치로부터 용기 개폐 위치까지의 FOUP(7)의 이동량은 8㎜로 설정되어 있다.In step S15, the loading table driving unit 85 advances the loading table 24 and the FOUP 7 toward the door 51 from the container retracting position to the container opening/closing position (container forwarding position) (see Fig. 18). The container opening/closing position refers to a position within the movement range of the loading platform 24 from which the wafer transport device 2 can take out the wafer W from the FOUP 7 through the opening 42 . When the FOUP 7 is in the container opening/closing position, the door part 51 and the cover body 32 come into contact, and the connecting means 57 releases the fixation of the cover body 32 to the FOUP 7; The lid body 32 is held. The amount of movement of the FOUP 7 from the container retracting position to the container opening/closing position is set to 8 mm.

이후, 도어 클램프를 해제하고, 스텝 S16에서, 도어 개폐 위치로부터 도어 개방 위치로 도어부(51) 및 덮개체(32)를 이동시킨다. 이 상태에서 웨이퍼 반송 장치(2)는 FOUP(7) 내의 웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음을 행한다.Thereafter, the door clamp is released, and the door portion 51 and the cover body 32 are moved from the door open/close position to the door open position in step S16. In this state, the wafer transport device 2 takes out and inserts the wafer W into the FOUP 7 .

웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음이 완료되면 스텝 S17로 진행한다. 스텝 S17에서 도어 구동부(86)가 도어 개방 위치로부터 도어 개폐 위치까지 도어부(51)를 이동시킨다. 이때, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대하여 덮개체(32)를 설치함과 함께, 도어 클램프를 작동한다.When taking out and inserting the wafer W is completed, the process proceeds to step S17. In step S17, the door driver 86 moves the door unit 51 from the door open position to the door open position. At this time, the connecting means 57 attaches the cover body 32 to the FOUP 7 and operates the door clamp.

*그리고, 클램프 유닛(45)에 의한 FOUP(7)와 로드 포트(4)의 고정을 해제하고, 스텝 S18에서, 적재대 구동부(85)가 적재대(24) 및 FOUP(7)를 용기 수수 위치까지 후퇴시킨다.* Then, the fixation of the FOUP 7 and the load port 4 by the clamp unit 45 is released, and in step S18, the loading table drive unit 85 transfers the loading table 24 and the FOUP 7 to the container. back to position.

[본 실시 형태의 로드 포트의 특징][Features of the load port of the present embodiment]

본 실시 형태의 로드 포트(4)에는 이하의 특징이 있다.The load port 4 of this embodiment has the following characteristics.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, FOUP(7)를 적재하는 적재대(24)에 FOUP(7)가 적재된 후, 적재 위치로부터, FOUP(7)가 제1 O링(43)과 맞닿고, 또한 제2 O링(44)과 맞닿는 도어부(51)의 FOUP(7)측의 단부면과 FOUP(7)가 소정의 간격을 둔 용기 퇴피 위치까지, 도어부(51)를 향하여 FOUP(7)를 전진시킨다. 이에 의해, 제1 O링(43)과 맞닿을 때까지 FOUP(7)를 도어부(51)를 향하여 이동시켰을 때에, FOUP(7)와 도어부(51)가 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 접촉에 의해 FOUP(7) 또는 도어부(51)가 설령 경사졌다고 해도, 베이스(21)와, FOUP(7) 또는 도어부(51) 사이의 시일이 해제되는 것을 방지할 수 있다.In the load port 4 of this embodiment, after the FOUP 7 is loaded on the loading table 24 on which the FOUP 7 is loaded, the FOUP 7 is connected to the first O-ring 43 from the loading position. The end surface on the FOUP 7 side of the door portion 51 that abuts and also abuts on the second O-ring 44 and the FOUP 7 face the door portion 51 to the container retracting position at a predetermined interval. Advance the FOUP (7). Thus, when the FOUP 7 is moved toward the door portion 51 until it comes into contact with the first O-ring 43, contact between the FOUP 7 and the door portion 51 can be prevented. Accordingly, even if the FOUP 7 or the door portion 51 is inclined due to contact, it is possible to prevent the seal between the base 21 and the FOUP 7 or the door portion 51 from being released.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 충전된 후, 용기 퇴피 위치로부터 도어부(51)를 향하여 FOUP(7)를 전진시킨다. 이에 의해, FOUP(7)와 도어부(51)를 근접시켜, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정의 해제를 도어부(51)의 흡착부(56)가 행하여, FOUP(7)로부터 덮개체(32)의 떼어냄이 가능한 상태로 된다.In the load port 4 of this embodiment, after the closed space Sd is filled with nitrogen gas, the FOUP 7 is advanced from the container retracted position toward the door portion 51. This causes the FOUP 7 and the door portion 51 to come close to each other, and the fixing of the lid 32 to the FOUP 7 is released by the adsorption portion 56 of the door portion 51, and the FOUP 7 ) from which the lid 32 can be removed.

본 실시 형태의 로드 포트(4)에서는, FOUP(7)를 전진시킨 용기 전진 위치에서, 덮개체(32)가 도어부(51)와 접촉하고 있다. 이에 의해, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정의 해제를 도어부(51)의 흡착부(56)가 확실하게 행하여, FOUP(7)로부터 덮개체(32)의 떼어냄이 가능하다. 또한 도어부(51)가 덮개체(32)와 접촉함으로써, 설령 도어부(51)가 기울어져 도어부(51)와 제2 O링(44) 사이의 시일이 해제되었다고 해도, 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 충전되어 있기 때문에 반송 공간(9)에 대기가 침입하는 일은 없다.In the load port 4 of this embodiment, the cover body 32 is in contact with the door portion 51 at the container forward position where the FOUP 7 is advanced. In this way, the fixing of the lid 32 to the FOUP 7 is released reliably by the adsorption unit 56 of the door unit 51, and the lid 32 can be removed from the FOUP 7. do. Further, when the door portion 51 comes into contact with the cover body 32, even if the door portion 51 tilts and the seal between the door portion 51 and the second O-ring 44 is released, the closed space Sd is closed. Since it is filled with nitrogen gas, air does not intrude into the transport space 9 .

<제3 실시 형태><Third Embodiment>

제3 실시 형태의, 예를 들어 로드 포트(4) 등의 각 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 단, 제1 실시 형태에서는 제2 O링(44)의 치수 L2가 제1 O링(43)의 치수 L1보다도 크다. 그러나 도 19 및 도 20에 도시한 제3 실시 형태에서는, 제1 O링(43)의 치수 L1과 제2 O링(44)의 치수 L2가 대략 동등한 점에서 제1 실시 형태와 상이하다.Each configuration of the third embodiment, for example, such as the load port 4, is the same as that of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted. However, in 1st Embodiment, the dimension L2 of the 2nd O-ring 44 is larger than the dimension L1 of the 1st O-ring 43. However, in 3rd embodiment shown in FIG. 19 and FIG. 20, the dimension L1 of the 1st O-ring 43 and the dimension L2 of the 2nd O-ring 44 are substantially equal, and it differs from 1st embodiment.

이하, 제3 실시 형태의 로드 포트(4)를 사용한 경우의 FOUP(7) 및 도어부(51)의 동작에 대하여 설명한다. 또한, FOUP(7)의 예를 들어 용기 수수 위치 및 도어부(51)의 예를 들어 도어 폐지 위치 등의 각 위치의 정의는 제1 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Hereinafter, operations of the FOUP 7 and the door unit 51 in the case of using the load port 4 of the third embodiment will be described. In addition, since the definition of each position, such as the container delivery position of the FOUP 7 and the door closing position of the door part 51, for example, is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted.

먼저 도 21에 도시한 스텝 S21에서, 도시하지 않은 천장 주행형 무인 반송기가 적재대(24)의 용기 수수 위치에 FOUP(7)를 적재한다.First, in step S21 shown in FIG. 21, an overhead traveling type unmanned transport machine (not shown) loads the FOUP 7 on the container delivery position of the loading platform 24.

스텝 S22에서 위치 결정 센서(60)가 적재대(24)의 적절한 위치에 FOUP(7)가 위치 결정되었는지 여부를 검지한다. FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되지 않았으면, 반복한다.In step S22, the positioning sensor 60 detects whether or not the FOUP 7 is positioned at an appropriate position on the mounting table 24. If FOUP 7 is not positioned properly, repeat.

FOUP(7)가 적절하게 위치 결정되었으면 스텝 S23으로 진행하여, 도어 폐지 위치로부터 도어 퇴피 위치로 도어부(51)를 후퇴시킨다(도 22 참조). 이것과 동시에, 또는 지연되어 스텝 S24에서 용기 수수 위치로부터 용기 퇴피 위치까지 적재대(24) 및 FOUP(7)를 전진시킨다. 따라서, 도어부(51)가 제2 O링(44)과 맞닿고, 또한 FOUP(7)가 제1 O링(43)과 맞닿은 상태에서, 확실하게 도어부(51)와 덮개체(32)의 접촉을 방지할 수 있다. 또한, 도어 폐지 위치와 도어 퇴피 위치의 거리는 4㎜ 이하가 바람직하다.When the FOUP 7 is properly positioned, the process proceeds to step S23 to retract the door portion 51 from the door closed position to the door retracted position (see Fig. 22). At the same time or with a delay, the loading table 24 and the FOUP 7 are advanced from the container transfer position to the container retracting position in step S24. Therefore, in a state where the door portion 51 abuts against the second O-ring 44 and the FOUP 7 abuts against the first O-ring 43, the door portion 51 and the lid 32 are reliably formed. contact can be prevented. Further, the distance between the door closing position and the door retracting position is preferably 4 mm or less.

이때, 밀폐 공간 Sd가 형성되므로, 스텝 S25에서 밀폐 공간 Sd는, 가스 주입 노즐(73)과 가스 배출 노즐(74)에 의해 대기로부터 질소 가스로 치환되어 충전된다.At this time, since the closed space Sd is formed, the closed space Sd is substituted with nitrogen gas from the air by the gas injection nozzle 73 and the gas discharge nozzle 74 in step S25 and filled.

다음에 스텝 S26에서, 적재대(24) 및 FOUP(7)를 용기 적재 위치로부터 도어부(51)에 근접시킨다. 바꿔 말하면, 적재대(24) 및 FOUP(7)를 도어부(51)를 향하여 전진시킨다. 이것과 동시에 스텝 S27에서, 도어부(51)를 도어 퇴피 위치로부터 FOUP(7)에 근접시킨다. 바꿔 말하면, 도어부(51)를 FOUP(7)를 향하여 전진시킨다.Next, in step S26, the loading table 24 and the FOUP 7 are brought closer to the door part 51 from the container loading position. In other words, the mounting table 24 and the FOUP 7 are advanced toward the door portion 51 . Simultaneously with this, in step S27, the door part 51 is brought closer to the FOUP 7 from the door retracted position. In other words, the door portion 51 is advanced toward the FOUP 7 .

스텝 S26 및 스텝 S27에 의해, 도 23에 도시한 바와 같이, 덮개체(32)와 도어부(51)가 접촉한다. 이때, 적재대 구동부(85)의 구동력과, 도어 구동부(86)의 도어부(51)의 폐지력을 동등하게 설정함으로써, 설령 덮개체(32)와 도어부(51)가 접촉하였다고 해도, 덮개체(32) 및 도어부(51) 중 어느 쪽이 경사지는 것을 방지할 수 있다.At steps S26 and S27, as shown in Fig. 23, the lid 32 and the door 51 come into contact. At this time, by equally setting the driving force of the mounting table driver 85 and the closing force of the door unit 51 of the door driver 86, even if the cover body 32 and the door unit 51 come into contact, the lid Any one of the body 32 and the door part 51 can be prevented from inclining.

덮개체(32)와 도어부(51)가 접촉한 상태에서, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 고정을 해제하고, 덮개체(32)를 보유 지지한다.With the lid 32 and the door 51 in contact, the connecting means 57 releases the fixing of the lid 32 to the FOUP 7 and holds the lid 32 therein.

그리고 스텝 S28에서, 도어 구동부(86)가 도어 개방 위치까지 도어부(51) 및 덮개체(32)를 이동시킨다. 스텝 S28의 동작 완료 후 또는 동작에 연동시켜, 적재대(24)를 도어부(51)를 향하여 전진시켜, 웨이퍼 W를 꺼낼 수 있는 소정 위치로 이동시킨다. 이 상태에서 웨이퍼 반송 장치(2)는 FOUP(7) 내의 웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음을 행한다.Then, in step S28, the door drive unit 86 moves the door unit 51 and the cover body 32 to the door open position. After completion of the operation in step S28 or in conjunction with the operation, the loading table 24 is advanced toward the door unit 51 and moved to a predetermined position from which the wafer W can be taken out. In this state, the wafer transport device 2 takes out and inserts the wafer W into the FOUP 7 .

웨이퍼 W의 꺼냄 및 집어넣음이 완료되면 스텝 S29로 진행한다. 스텝 S29에서 도어 구동부(86)가 도어 개방 위치로부터 도어 개폐 위치까지 도어부(51)를 이동시킨다. 이때, 연결 수단(57)이 FOUP(7)에 대하여 덮개체(32)를 설치하고, 도어 클램프를 작동한다.When taking out and inserting the wafer W is completed, the process proceeds to step S29. In step S29, the door driver 86 moves the door unit 51 from the door open position to the door open position. At this time, the connecting means 57 installs the cover body 32 on the FOUP 7 and operates the door clamp.

그리고, 클램프 유닛(45)에 의한 FOUP(7)와 로드 포트(4)의 고정을 해제하고, 스텝 S30에서, 적재대 구동부(85)가 적재대(24) 및 FOUP(7)를 용기 수수 위치까지 후퇴시킨다.Then, the fixation of the FOUP 7 and the load port 4 by the clamp unit 45 is released, and in step S30, the loading table drive unit 85 moves the loading table 24 and the FOUP 7 to the container delivery position. back up to

이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면에 기초하여 설명하였지만, 구체적인 구성은, 이들 실시 형태에 한정되는 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시 형태의 설명뿐만 아니라 특허 청구 범위에 의해 나타내어지며, 또한 특허 청구 범위와 균등의 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.As mentioned above, although embodiment of this invention was demonstrated based on drawing, it should be thought that a specific structure is not limited to these embodiment. The scope of the present invention is shown by not only the description of the embodiment described above but also the scope of the claims, and includes all modifications within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.

상기 실시 형태의 로드 포트(4)는 EFEM(1)에 설치하였다. 그러나, 이들에 한정되지 않고, EFEM(1)을 통하지 않고 처리 장치에 직접 적용하거나, FOUP(7) 내의 웨이퍼 W를 교환, 재배열을 행하는 소터 장치나, FOUP(7) 내의 웨이퍼 W를 일시적으로 보관하는 스토커 장치에 적용할 수 있다.The load port 4 of the above embodiment was installed in the EFEM 1. However, it is not limited to these, and it is directly applied to the processing device without passing through the EFEM 1, a sorter device that exchanges and rearranges the wafer W in the FOUP 7, or temporarily removes the wafer W in the FOUP 7. It can be applied to stored stalker devices.

상기 실시 형태에서는, 용기로서 FOUP(7)를 예시적으로 사용하였지만 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 웨이퍼 반송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)나 FOSB(Front Opening Shipping Box)를 용기로서 사용해도 된다. 또한, 웨이퍼 반송 이외에도, 외기보다도 소정 환경을 유지하고 싶은 물품을 반송하는 용기에 본 발명을 적용해도 된다.In the above embodiment, the FOUP 7 is illustratively used as the container, but is not limited thereto. For example, you may use MAC (Multi Application Carrier) or FOSB (Front Opening Shipping Box) used for wafer transport as a container. In addition to conveying wafers, the present invention may be applied to a container for conveying articles to which a predetermined environment is desired to be maintained rather than that of outside air.

상기 실시 형태에서는, 용기 내에 수납하는 수납물로서 웨이퍼 W를 예시하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 전자 부품이나 플랫 패널 디스플레이에 사용되는 기판, 세포를 보관하기 위한 세포 배양 용기 등을 수납해도 된다.In the above embodiment, the wafer W is exemplified as an object stored in the container, but it is not limited thereto. For example, a cell culture container for storing substrates and cells used in electronic components and flat panel displays may be housed.

상기 실시 형태에서는, 가스로서 질소를 사용하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 드라이 가스나 아르곤 가스 등 원하는 환경 가스를 사용할 수 있다.In the above embodiment, nitrogen was used as the gas, but it is not limited to this. For example, a desired environmental gas such as dry gas or argon gas can be used.

상기 실시 형태에서는, 도어부(51)가 도어 퇴피 위치까지 퇴피하였는지 여부는, 도어 위치 검지 센서(81)에 의해 검지하였다. 그러나 이것에 한정되지 않고, 도어 구동부(86)의 구동 상태로부터 검지해도 되고, 타이머에 의해 소정 시간을 경과하였는지 여부로 검지해도 된다.In the above embodiment, whether or not the door portion 51 has been retracted to the door retracted position is detected by the door position detection sensor 81. However, it is not limited to this, and it may be detected from the driving state of the door drive unit 86 or whether or not a predetermined time has elapsed by a timer.

상기 실시 형태에서는, 적재대(24)가 도크 위치로 이동하였는지 여부는, 적재대 검지 센서(82)가 검지하였다. 그러나 이것에 한정되지 않고, 적재대 구동부(85)의 신호에 의해 검지해도 되고, 타이머에 의해 소정 시간을 경과하였는지 여부로 검지해도 된다.In the above embodiment, the loading platform detection sensor 82 detects whether or not the loading platform 24 has moved to the dock position. However, it is not limited to this, and it may be detected by a signal from the loading table driving unit 85 or by a timer as to whether or not a predetermined time has elapsed.

상기 실시 형태에서는, 밀폐 공간 Sd가 질소 가스로 치환되었는지 여부는, 분위기 센서(83)가 검지하였다. 그러나 이것에 한정되지 않고, 타이머에 의해 소정 시간을 경과하였는지 여부로 검지해도 된다.In the above embodiment, the atmosphere sensor 83 detects whether or not the closed space Sd has been substituted with nitrogen gas. However, it is not limited to this, and it may be detected by a timer whether or not a predetermined time has elapsed.

상기 실시 형태에서는, 적재대(24)에 FOUP(7)가 적재된 직후부터, 적재대(24)를 용기 개폐 위치 또는 용기 퇴피 위치까지 전진시키는 동안, 가스 주입부(70)로부터 질소 가스를 분출하였다. 그러나 이것에 한정되지 않고, 동시에 가스 배기부(71)로부터 도어부(51) 주변의 대기를 배기해도 된다.In the above embodiment, from immediately after the FOUP 7 is loaded on the loading table 24, nitrogen gas is ejected from the gas injection unit 70 while the loading table 24 is advanced to the container opening/closing position or the container retracting position. did However, it is not limited to this, and air around the door part 51 may be exhausted from the gas exhaust part 71 at the same time.

제1 O링(43) 및 제2 O링(44)의 소재는 특별히 한정되지 않는다. 시일 부재는, 불소 고무나 실리콘 고무제의 O링이나 EPDM(ethylene propylene diene monomer) 등 에틸렌프로필렌 고무제의 스펀지 등 탄성 부재이면 된다. 불소 고무나 실리콘 고무제의 O링의 경우, 탄성력을 갖게 하기 위해 중공 구조로 해도 된다. 중공 구조로 한 경우, 중공부 내에 가스를 공급 또는 배출하면, 시일성이나 다른 부재의 접촉 위치를 조정할 수 있다.The material of the first O-ring 43 and the second O-ring 44 is not particularly limited. The sealing member may be an elastic member such as an O-ring made of fluororubber or silicone rubber or a sponge made of ethylene propylene rubber such as EPDM (ethylene propylene diene monomer). In the case of an O-ring made of fluororubber or silicone rubber, it is good also as a hollow structure in order to have elastic force. In the case of a hollow structure, by supplying or discharging gas into the hollow portion, the sealing property and the contact position of other members can be adjusted.

상기 실시 형태에서는, 단면이 볼록 형상인 제1 O링(43) 및 제2 O링(44)을 채용하였다. 그러나 이것에 한정되지 않고 도 24에 도시한 바와 같이, 완만하게 만곡되는 박판 형상의 단면을 갖는 시일 부재여도 된다. 이에 의해, 밀폐 공간 Sd 내의 분위기가 반송 공간(9) 내에 침입하기 어렵고, 또한 FOUP(7)로부터 외측의 대기가 밀폐 공간 Sd 내에 침입하는 것을 방지할 수 있다.In the above embodiment, first O-rings 43 and second O-rings 44 having convex cross sections are employed. However, it is not limited to this, and as shown in FIG. 24, the sealing member which has a gently curved thin-plate-shaped cross section may be sufficient. This makes it difficult for the atmosphere in the sealed space Sd to enter the conveyance space 9, and it is possible to prevent the air outside the FOUP 7 from entering the sealed space Sd.

상기 실시 형태에서는, 별체인 제1 O링(43) 및 제2 O링(44)을 채용하였다. 그러나 도 25에 도시한 바와 같이, 베이스(21)의 개구 에지부에 장착되며, 일단이 FOUP(7)와 맞닿고, 타단이 도어부(51)와 맞닿음으로써, 밀폐 공간 Sd를 시일하는 일체형의 O링(43)을 채용해도 된다. 이때, 적어도 제1 O링과 제2 O링을 일체로 한 O링(43), 덮개체(32) 및 도어부(51)에 의해 밀폐 공간 Sd가 형성된다.In the above embodiment, separate first O-rings 43 and second O-rings 44 are employed. However, as shown in FIG. 25, it is mounted on the opening edge of the base 21, one end abuts with the FOUP 7, and the other end abuts with the door 51, thereby sealing the closed space Sd. An O-ring 43 may be employed. At this time, the closed space Sd is formed by the O-ring 43, the cover body 32, and the door part 51 which integrated at least the 1st O-ring and the 2nd O-ring.

상기 실시 형태에서는, FOUP(7)의 맞닿음면(31b)으로부터 덮개체(32)가 로드 포트(4)측으로 돌출되어 있지만, 이 돌출량은 예를 들어 설계된 치수에 대하여 ±5㎜로 설정되어 있다. 또한 FOUP(7)에 질소 가스를 주입하였을 때에 덮개체(32)가 돌출되는 양은 약 3㎜로 설정되어 있다.In the above embodiment, the cover body 32 protrudes toward the load port 4 side from the abutting surface 31b of the FOUP 7, but this protrusion amount is set to ±5 mm with respect to the designed dimension, for example. have. In addition, the amount by which the cover body 32 protrudes when nitrogen gas is injected into the FOUP 7 is set to about 3 mm.

상기 실시 형태에서는, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 설치 및 떼어냄을, 도어부(51)가 덮개체(32)를 보유 지지한 상태에서, FOUP(7)에 대하여 도어부(51)를 이동시킴으로써 행하고 있다. 그러나, 이들에 한정되지 않고, 도어부(51)가 덮개체(32)를 고정한 상태(도 18 참조)에서, 적재대(24) 및 FOUP(7)를 도 17에 도시한 위치까지 이동시킴으로써, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 설치 및 떼어냄을 행해도 된다. 또한, 적재대(24)와 도어부(51)의 양쪽을 이동시켜, FOUP(7)에 대한 덮개체(32)의 설치 및 떼어냄을 행해도 된다. 즉, FOUP(7)와 덮개체(32)의 상대적인 거리를 변화시킴으로써, 덮개체(32)의 설치 및 떼어냄을 행하면 된다.In the above embodiment, the lid 32 is attached to and removed from the FOUP 7 in a state where the door unit 51 holds the lid 32, and the door unit ( 51). However, it is not limited to these, and by moving the mounting table 24 and the FOUP 7 to the positions shown in FIG. 17 in a state where the lid 32 is fixed by the door unit 51 (see FIG. 18), The lid 32 may be attached to and removed from the FOUP 7 . Alternatively, the lid 32 may be attached to and removed from the FOUP 7 by moving both the mounting table 24 and the door portion 51 . That is, the cover 32 may be installed and removed by changing the relative distance between the FOUP 7 and the cover 32 .

본 발명은 제1 O링(43) 및 제2 O링(44)을 설치하고 있지 않은 로드 포트에도 적용할 수 있다. 이 로드 포트에서는, 제1 O링(43) 및 제2 O링(44)을 설치하고 있지 않은 것 이외의 구성은, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 즉, 본 출원의 선행 문헌으로서 예시한 특허문헌 1과 같이 도어가 로드 포트의 베이스면보다도 외부 공간측으로 튀어나와 있는 경우, 또는, FOUP 내의 압력이 높아져 덮개체의 일부 혹은 전부가 로드 포트측으로 튀어나와 있거나, 혹은 팽창되어 있는 경우에도, 도어와 FOUP가 접촉하여 충돌하였을 때, 도어 또는 FOUP 중 어느 것이 경사져 버려, 도어의 래치 동작을 적절하게 행할 수 없다는 문제가 있다. 그러나, 본 발명을 적용하여, 도어 및 FOUP 중 적어도 어느 것을 대피 위치로 이동시킴으로써, 도어 및 FOUP와의 거리를 래치 동작 전에 상대적으로 조정할 수 있다. 물론 제1 O링(43), 제2 O링(44)을 설치하고 있는 상기 실시 형태에도, 이 효과는 발생한다.The present invention can also be applied to a load port in which the first O-ring 43 and the second O-ring 44 are not installed. In this load port, the configuration except that the first O-ring 43 and the second O-ring 44 are not provided is the same as that of the above embodiment, and thus the description is omitted. That is, as in Patent Literature 1 exemplified as a prior document of this application, when the door protrudes toward the outside space rather than the base surface of the load port, or the pressure in the FOUP increases and part or all of the cover body protrudes toward the load port side. There is a problem that even when the door is inflated or inflated, when the door and the FOUP come into contact and collide, either the door or the FOUP tilts, making it impossible to properly latch the door. However, by applying the present invention, by moving at least one of the door and the FOUP to the evacuation position, the distance between the door and the FOUP can be relatively adjusted before the latch operation. Of course, this effect also occurs in the above embodiment in which the first O-ring 43 and the second O-ring 44 are provided.

또한 본 발명은 제1 O링(43) 및 제2 O링(44) 중, 어느 것만을 설치하고 있는 로드 포트에도 적용할 수 있다.In addition, the present invention can also be applied to a load port in which only either of the first O-ring 43 and the second O-ring 44 is installed.

4 : 로드 포트
7 : FOUP(용기)
9 : 반송 공간
21 : 베이스
32 : 덮개체
42 : 개구부
43 : 제1 O링(제1 시일 부재)
44 : 제2 O링(제2 시일 부재)
51 : 도어부(도어)
Sd : 밀폐 공간
W : 웨이퍼(수용물)4 : load port
7 : FOUP (container)
9: return space
21: Base
32: cover body
42: opening
43: first O-ring (first sealing member)
44: second O-ring (second sealing member)
51: door part (door)
Sd: confined space
W: Wafer (receiving material)

Claims (7)

반송 공간을 외부 공간으로부터 격리하는 벽의 일부를 구성하는 베이스와,
상기 베이스에 설치된 개구부와,
수용물을 수용한 용기를 적재함과 함께 상기 개구부에 이격 가능하게 동작하는 적재대와,
상기 용기를 상기 적재대에 고정하는 로크부와,
상기 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 용기 가스 주입부와,
상기 개구부의 개폐 및 상기 적재대 상의 상기 용기에 대한 덮개체의 고정 및 고정 해제를 행하는 도어부와,
상기 베이스와 상기 용기 사이를 시일하는 용기측 시일 부재와,
상기 베이스와 상기 도어부 사이를 시일하는 반송 공간측 시일 부재와,
상기 용기측 시일 부재에 의한 상기 베이스와 상기 용기와의 시일성을 높이도록 상기 용기를 상기 베이스에 가압하는 클램프 유닛과,
상기 반송 공간측 시일 부재에 의한 상기 베이스와 상기 도어부와의 시일성을 높이도록 상기 도어부를 상기 베이스에 가압하는 도어 클램프를 구비하고,
상기 도어부는, 도어 구동부에 의해 상기 베이스에 대하여 도어 폐지 위치와 도어 퇴피 위치 사이를 전진하거나 후퇴하도록 설치되고,
상기 도어 폐지 위치는, 상기 도어부가 상기 반송 공간측 시일 부재와 맞닿고, 또한 상기 도어부의 용기측 단부면이 상기 도어부와 상기 반송 공간측 시일 부재와의 맞닿음면보다도 용기측에 있는 위치이고,
상기 도어 퇴피 위치는, 상기 도어 폐지 위치로부터 상기 도어부를 상기 용기와 반대측에 퇴피시키는 위치이고,
상기 수용물을 수용한 상기 용기가 상기 적재대에 적재된 후, 상기 도어부는 상기 도어 폐지 위치에서 상기 도어 퇴피 위치로 퇴피되며,
상기 도어 퇴피 위치에서는, 상기 반송 공간측 시일 부재와 상기 도어부가 맞닿고 있는, 로드 포트.a base constituting a part of a wall that isolates the transfer space from the outside space;
an opening installed in the base;
A loading table that operates to be spaced apart from the opening while loading the container containing the contained object;
A lock unit for fixing the container to the loading table;
a container gas injection unit for supplying an inert gas into the container;
a door portion that opens and closes the opening and fixes and releases the lid to and from the container on the loading table;
a container-side sealing member for sealing between the base and the container;
a conveyance space-side sealing member for sealing between the base and the door portion;
a clamp unit which presses the container against the base so as to increase the sealing property between the base and the container by the container-side sealing member;
a door clamp that presses the door portion against the base so as to increase sealing performance between the base and the door portion by the conveyance space-side sealing member;
The door unit is installed to advance or retreat between a door closing position and a door retracting position with respect to the base by a door driver,
The door closing position is a position where the door part abuts against the conveyance space side sealing member and the container side end surface of the door part is closer to the container side than the contact surface between the door part and the conveyance space side sealing member. ,
The door retracting position is a position in which the door portion is retracted from the door closing position to a side opposite to the container;
After the container containing the contents is loaded on the loading stand, the door part is retracted from the door closing position to the door retracting position;
The load port wherein the conveyance space side sealing member and the door portion are in contact with each other at the door retracted position. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 도어부의 진퇴의 위치를 검지하는 도어 위치 검지 센서를 구비하는, 로드 포트. The load port according to claim 1, further comprising a door position detection sensor that detects a forward and backward position of the door unit. 제1항에 있어서, 상기 도어 클램프는, 상기 도어 구동부가 상기 도어부를 상기 도어 퇴피 위치로부터 상기 용기를 향하여 이동시키는 때에 동작하는, 로드 포트.The load port according to claim 1, wherein the door clamp operates when the door driver moves the door part from the door retracted position toward the container. 제1항에 있어서, 상기 용기의 개구부를 폐지하는 덮개는, 도어부측에 설치되는 덮개 외면과, 용기측에 설치되는 덮개 배면을 갖고,
상기 베이스에 설치된 상기 개구부가 상기 용기에 의해 폐지된 상태에 있어서, 상기 덮개 외면과 상기 덮개 배면 사이에 상기 용기측 시일 부재와 상기 용기와의 접촉면이 위치하는, 로드 포트. The method of claim 1, wherein the cover closing the opening of the container has an outer surface of the cover installed on the door side and a rear surface of the cover installed on the container side,
The load port according to claim 1 , wherein a contact surface between the container-side sealing member and the container is located between the outer surface of the cover and the rear surface of the cover when the opening provided in the base is closed by the container. 제1항에 있어서, 상기 용기 가스 주입부는, 상기 적재대에 상기 용기가 적재된 직후부터 질소를 공급하는, 로드 포트. The load port according to claim 1, wherein the container gas injection unit supplies nitrogen immediately after the container is loaded on the loading platform.
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