KR102471430B1

KR102471430B1 - Digital displacement gauge

Info

Publication number: KR102471430B1
Application number: KR1020220074044A
Authority: KR
Inventors: 이용석; 황철규
Original assignee: 동도이아이 주식회사
Priority date: 2022-06-17
Filing date: 2022-06-17
Publication date: 2022-11-28

Abstract

The present invention relates to a digital displacement gauge including a probe coming in contact with the surface of a target object, and a processor receiving a signal from the probe to calculate the displacement of the surface of the target object, wherein the probe includes: a tubular housing; a shaft installed inside the housing and installed to be movable within a predetermined range with respect to the housing; a measuring tip coupled to one side of the shaft to come in contact with the surface of an object to be measured; a pattern plate installed on the other side of the shaft, disposed inside the housing, and having a predetermined pattern etched thereon; a light emitting element fixed inside the housing, and emitting light such that the light passes through the pattern plate; and a light receiving element fixed inside the housing, and outputting a light reception signal by receiving the light of the light emitting element having a predetermined pattern through the pattern plate. The pattern etched on the pattern plate is a pseudo-random binary sequence (PRBS) pattern. Therefore, the present invention is capable of making convenient work for etching a pattern on a pattern plate.

Description

디지털 변위 게이지{Digital displacement gauge}Digital displacement gauge

본 발명은 디지털 변위 게이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접촉식으로 대상 물체의 표면의 높이, 단차, 거리변화 등을 측정하며, 전원이 꺼졌다 켜지거나 빠른 이동속도에도 변화량을 놓치지 않고 알 수 있는 절대 위치형 디지털 변위 게이지에 관한 것이다.The present invention relates to a digital displacement gauge, and more particularly, to measure the height, step, distance change, etc. of the surface of a target object in a contact manner, and to know the absolute amount of change without missing the change even when the power is turned off and on or at a fast moving speed. It relates to a positional type digital displacement gauge.

일반적으로 접촉식 변위 게이지는 원통형의 케이스 내부에 탄성적으로 지지되는 로드를 포함하고 로드의 팁 부분은 대상 물체의 표면과 수직으로 맞닿은 상태로 배치된다. 이 상태에서 일정한 방향으로 직선으로 게이지를 이동시키면 로드의 팁 부분이 물체의 표면에 따라 상승 또는 하강하게 되며 상승 또는 하강으로 인해 게이지의 팁 부분이 변위 되는 것을 검출함으로써 대상 물체의 표면의 높이, 거리변화 등을 측정하게 된다. In general, a contact-type displacement gauge includes a rod elastically supported inside a cylindrical case, and a tip portion of the rod is disposed in a state of being in vertical contact with the surface of a target object. In this state, if the gauge is moved in a straight line in a certain direction, the tip of the rod rises or falls along the surface of the object. change, etc.

종래의 이러한 접촉식 디지털 변위 게이지의 일 예로서 특허문헌 1과 같이 본체 및 본체에 대하여 상하 이동 가능하게 설치되는 이동체(3)와 이동체의 하면에 설치되는 평행 용수철(2)과 이동체의 변위량를 검출하는 이동체 변위 검출 수단(7) 및 평행 용수철의 변위량를 검출하는 탄성체 변위 검출 수단(6)을 포함하는 표면 형상 측정 장치가 개시되어 있다. As an example of such a conventional contact type digital displacement gauge, as shown in Patent Document 1, a body and a movable body 3 installed to be movable up and down with respect to the body, a parallel spring 2 installed on the lower surface of the movable body, and a displacement amount of the movable body are detected. A surface shape measuring device including a moving body displacement detecting means 7 and an elastic body displacement detecting means 6 for detecting the amount of displacement of a parallel spring is disclosed.

그러나, 특허문헌 1에 개시된 표면 형상 측정 장치에서는, 촉침(1)이 피측정면의 표면 형상으로 추종해 상하 이동하면 그것에 따라 평행 용수철(2)이 휘기 때문에, 평행 용수철의 선단에 장착되어 있는 촉침의 횡방향의 위치가 평행 용수철의 기단측에 어긋나 버리고, 그 때문에 계측 결과에 있어서 오차가 생기는 문제점이 있으며, 구성이 복잡하고 부피가 큰 문제점이 있다.However, in the surface shape measurement device disclosed in Patent Literature 1, when the stylus 1 moves up and down following the surface shape of the surface to be measured, the parallel spring 2 bends accordingly, so the stylus attached to the tip of the parallel spring The position in the lateral direction of is displaced from the proximal end side of the parallel spring, which causes an error in the measurement result, and there are problems in that the configuration is complicated and bulky.

또한, 특허문헌 2(공개특허공보 제10-2014-0117682호)와 같은 종래기술의 경우 일반적으로 광을 이용한 AB상 사각파 출력 엔코더 방식의 게이지는 정밀도를 위해 수 마이크로 미터로 0, 1의 슬릿을 식각 해야하는 부담이 있었다. 특히 절대위치를 알기 위해서 패턴부에 넣은 수 마이크로 미터의 0, 1의 조합 코드를 수광부에서 구분하기가 난해하였고, 1줄이 아닌 여러 줄의 패턴이 필요하기도 했다. 또한 이를 읽어 내기 위한 평행광의 구조 또한 콜리메이팅 렌즈 등의 구성이 복잡하고 및 부피가 커지는 문제가 있다.In addition, in the case of the prior art such as Patent Document 2 (Patent Publication No. 10-2014-0117682), the gauge of the AB phase square wave output encoder method using light generally has a slit of 0 and 1 with several micrometers for precision. There was a burden of etching. In particular, in order to know the absolute position, it was difficult to distinguish the combination code of several micrometers of 0 and 1 inserted in the pattern part in the light receiver, and several lines of patterns were needed instead of one line. In addition, there is a problem in that the structure of the collimated light for reading it and the structure of the collimating lens are complicated and bulky.

일본 특허공보 제2966214호Japanese Patent Publication No. 2966214 대한민국 등록특허공보 제10-1591904호Republic of Korea Patent Registration No. 10-1591904

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 빛을 이용하여 접촉식으로 대상 물체의 표면의 변위를 측정함으로써 소형화 및 고정밀화를 달성할 수 있는 디지털 변위 게이지를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a digital displacement gauge capable of achieving miniaturization and high precision by measuring the displacement of the surface of a target object in a contact manner using light.

본 발명은 상기한 과제의 해결 수단으로서, 대상 물체의 표면에 접촉하는 프로브와 상기 프로브로부터 신호를 수신하여상기 대상 물체의 표면의 변위를 산출하는 처리 장치를 포함하는 디지털 변위 게이지에 있어서, 상기 프로브는, 통 형상의 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며 상기 하우징에 대하여 소정 범위에서 이동 가능하게 설치되는 샤프트; 상기 샤프트의 일측에 결합되어 측정 대상 물체의 표면에 접촉하는 측정 팁; 상기 샤프트의 타측에 설치되며 상히 하우징의 내부에 배치되고 소정의 패턴이 식각되어 있는 패턴 플레이트; 상기 하우징의 내부에 고정되며, 상기 패턴 플레이트를 통과하도록 빛을 조사하는 발광 소자; 및 상기 하우징의 내부에 고정되며, 상기 패턴 플레이트를 통과함으로써 소정의 패턴을 가지는 발광 소자의 빛을 수광하여 수광 신호를 출력하는 수광 소자;를 포함하고, 상기 패턴 플레이트에 식각되어 있는 패턴은 PRBS(Pseudo-Random Binary Sequences) 패턴인 것을 특징으로 하는 디지털 변위 게이지를 제공한다.As a means for solving the above problems, the present invention provides a digital displacement gauge comprising a probe contacting a surface of a target object and a processing device receiving a signal from the probe to calculate displacement of the surface of the target object, wherein the probe Is, a tubular housing; a shaft installed inside the housing and installed to be movable within a predetermined range with respect to the housing; a measuring tip coupled to one side of the shaft and contacting the surface of the object to be measured; a pattern plate installed on the other side of the shaft, disposed inside the housing, and having a predetermined pattern etched thereon; a light emitting element fixed inside the housing and emitting light to pass through the pattern plate; And a light-receiving element fixed inside the housing and receiving light from a light-emitting element having a predetermined pattern by passing through the pattern plate to output a light-receiving signal; the pattern etched on the pattern plate is a PRBS ( A digital displacement gauge characterized in that it is a Pseudo-Random Binary Sequences) pattern is provided.

상기 발광 소자 및 상기 수광 소자와 상기 처리 장치를 연결하는 통신선을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.It may further include a communication line connecting the light emitting element and the light receiving element and the processing device.

상기 패턴 플레이트에는 빛이 통과할 수 있는 다수의 슬릿이 형성되어 있으며, 상기 패턴 플레이트에서 상기 슬릿 이외의 부분은 빛이 통과할 수 없도록 불투명하게 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.A plurality of slits through which light can pass may be formed in the pattern plate, and portions of the pattern plate other than the slits may be formed to be opaque so that light cannot pass through.

상기 처리 장치는 상기 수광 신호에 나타나는 빛의 밝기의 파장을 분석하여 피크 값들을 파악하고 인접한 피크 값들 사이의 간격으로부터 인접한 두 슬릿 사이의 간격을 파악하는 것을 특징으로 할 수 있다.The processing device may analyze a wavelength of brightness of light appearing in the light reception signal to determine peak values, and determine a distance between two adjacent slits from a distance between adjacent peak values.

상기 인접한 두 슬릿 사이의 간격은 서로 다른 간격인 a 간격과 b 간격 중 어느 하나이며, 상기 처리 장치는 상기 a 간격은 '0'으로 정의하고, 상기 b 간격은 '1'로 정의함으로써 상기 수광 신호를 디지털 신호인 PRBS 코드로 변환하는 것을 특징으로 할 수 있다.The interval between the two adjacent slits is any one of different intervals, a interval a and interval b, and the processing device defines the interval a as '0' and the interval b as '1', so that the light reception signal It may be characterized by converting to a PRBS code, which is a digital signal.

상기 처리 장치는 2진수로 이루어진 상기 PRBS 코드를 10진수로 변환하고, 상기 변환된 10진수 값에 대응되는 위치값을 산출하여 측정 팁의 위치를 파악하는 것을 특징으로 할 수 있다.The processing device may be characterized in that the PRBS code composed of binary numbers is converted into decimal numbers, and a position value corresponding to the converted decimal number is calculated to determine the location of the measuring tip.

상기 처리 장치는 측정 대상 물체의 표면을 따라 상기 측정 팁이 이동하는 경우 이로 인해 변화되는 상기 위치값의 변화량을 계산하여 상기 측정 팁의 변위를 산출하는 것을 특징으로 할 수 있다.The processing device may calculate the displacement of the measuring tip by calculating a change amount of the position value that is changed when the measuring tip moves along the surface of the object to be measured.

상기 처리 장치에 연결되는 디스플레이 장치를 더 포함할 수 있다.It may further include a display device connected to the processing device.

본 발명의 실시예에 따른 디지털 변위 게이지에 의하면 패턴 플레이트에 서로 다른 간격을 가지는 슬릿들을 식각하여 PRBS 패턴을 형성할 수 있으므로 패턴 플레이트에 패턴을 식각하는 작업이 간편해질 수 있고, 패턴 플레이트의 구성도 간소화 될 수 있는 효과가 있다.According to the digital displacement gauge according to an embodiment of the present invention, since the PRBS pattern can be formed by etching slits having different intervals on the pattern plate, the work of etching the pattern on the pattern plate can be simplified, and the configuration of the pattern plate can be simplified. There is an effect that can be simplified.

따라서, 본 발명의 실시예에 따르면 펜슬타입의 컴팩트하고 가벼운 디지털 변위 게이지를 구현할 수 있다.Accordingly, according to an embodiment of the present invention, a pencil-type compact and lightweight digital displacement gauge can be implemented.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면 측정범위에 따라 패턴 플레이트에 형성되는 PRBS 패턴을 bit수를 변경하여 대응할 수 있다. 즉, 측정하고자 하는 범위(예를 들어, 15mm, 30mm, 50mm 등)에 따라 9bit, 10bit, 11bit 등으로 패턴 플레이트에 구현함으로써 측정 거리에 효과적으로 대응이 가능한 이점이 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the number of bits of the PRBS pattern formed on the pattern plate can be changed according to the measurement range. That is, there is an advantage in that it is possible to effectively respond to the measurement distance by implementing 9bit, 10bit, 11bit, etc. on the pattern plate according to the range to be measured (eg, 15mm, 30mm, 50mm, etc.).

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 변위 게이지의 구성을 간략하게 도시한 블록도이다.
도 2는 도 1의 디지털 변위 게이지의 프로브와 통신선의 결합 사시도이다.
도 3은 도 2의 일부 분해 사시도이다.
도 4는 도 1의 프로브의 주요 부분의 결합 사시도이다.
도 5는 도 4를 다른 각도에서 바라본 사시도이다.
도 6은 도 4의 구성 중 접촉 장치를 위주로 도시한 도면이다.
도 7은 도 2의 디지털 변위 게이지의 구성 중 발광 소자와, 수광 소자, 및 패턴 플레이트를 위주로 도시한 도면이다.
도 8은 도 2의 디지털 변위 게이지의 내부 구조를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따라 패턴 플레이트에 PRBS 패턴을 구현하는 방법을 도시한 도면이다.
도 10은 PRBS 패턴 다항식의 일부를 도표로 나타낸 것이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 PRBS 코드의 일부를 도시한 도면이다.1 is a block diagram briefly showing the configuration of a digital displacement gauge according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a probe of the digital displacement gauge of FIG. 1 and a communication line; FIG.
3 is a partially exploded perspective view of FIG. 2 .
4 is a combined perspective view of main parts of the probe of FIG. 1;
5 is a perspective view of FIG. 4 viewed from another angle.
FIG. 6 is a view mainly showing contact devices among the components of FIG. 4 .
FIG. 7 is a view mainly showing a light emitting element, a light receiving element, and a pattern plate among the components of the digital displacement gauge of FIG. 2 .
FIG. 8 is a diagram showing the internal structure of the digital displacement gauge of FIG. 2 .
9 is a diagram illustrating a method of implementing a PRBS pattern on a pattern plate according to an embodiment of the present invention.
10 is a graphical representation of a portion of the PRBS pattern polynomial.
11 is a diagram showing part of a PRBS code according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이하 설명 및 첨부된 도면들에서 실질적으로 동일한 구성요소들은 각각 동일한 부호들로 나타냄으로써 중복 설명을 생략하기로 한다. 또한 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Substantially the same elements in the following description and accompanying drawings are indicated by the same reference numerals, respectively, and redundant description will be omitted. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 또한, 설명의 편의를 위하여, 도면의 X축 방향을 좌우 방향, Y축 방향을 상하 방향, Z축 방향을 전후 방향으로 설정하여 설명하지만 이는 단지 설명을 위하여 설정된 방향이므로 이에 한정되지 않는다.In describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, and B may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the term is not limited to the nature, order, or order of the corresponding component. In addition, for convenience of explanation, the X-axis direction of the drawing is set to the left-right direction, the Y-axis direction to the up-down direction, and the Z-axis direction to the front-back direction, but this is not limited to this because it is set for explanation only.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 변위 게이지의 구성을 간략하게 도시한 블록도이고, 도 2는 도 1의 디지털 변위 게이지의 프로브와 통신선의 결합 사시도이고, 도 3은 도 2의 일부 분해 사시도이며, 도 4는 프로브의 주요 부분의 결합 사시도이고, 도 5는 도 4를 다른 각도에서 바라본 사시도이며, 도 6은 도 4의 구성 중 접촉 장치를 위주로 도시한 도면이고, 도 7은 도 2의 디지털 변위 게이지의 구성 중 발광 소자와, 수광 소자, 및 패턴 플레이트를 위주로 도시한 도면이며, 도 8은 도 2의 디지털 변위 게이지의 내부 구조를 도시한 도면이다.1 is a block diagram briefly showing the configuration of a digital displacement gauge according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a probe and a communication line of the digital displacement gauge of FIG. 1, and FIG. 3 is a part of FIG. 2 An exploded perspective view, Figure 4 is a combined perspective view of the main part of the probe, Figure 5 is a perspective view of Figure 4 viewed from another angle, Figure 6 is a view mainly showing the contact device of the configuration of Figure 4, Figure 7 is a view 2 is a diagram mainly showing a light emitting element, a light receiving element, and a pattern plate among the configurations of the digital displacement gauge, and FIG. 8 is a diagram showing the internal structure of the digital displacement gauge of FIG. 2 .

도 1 내지 도 8에 일 실시예로 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 디지털 변위 게이지는 크게 프로브(10)와, 통신선(20), 처리 장치(30), 및 디스플레이 장치(40)로 이루어질 수 있다. As shown in FIGS. 1 to 8 as an embodiment, the digital displacement gauge according to an embodiment of the present invention is largely composed of a probe 10, a communication line 20, a processing device 30, and a display device 40. It can be done.

프로브(10)는 대상 물체의 표면에 접촉하여 대상 물체의 높이, 단차, 거리 변화 등을 측정하고 그 신호를 통신선(20)을 통해 처리 장치(30)로 전송한다. 처리 장치(30)는 일 실시예에 따르면 CPU가 될 수 있으며 프로브(10)에서 전송되는 신호를 수집하고 분석하여 대상 물체의 표면으로부터 측정되는 변위를 산출한다. 처리 장치(30)에서 산출된 변위 값은 디스플레이 장치(40)에 수치나 그래프로 표시된다.The probe 10 contacts the surface of the target object to measure the height, step difference, distance change, etc. of the target object, and transmits the signal to the processing device 30 through the communication line 20 . The processing device 30 may be a CPU according to an embodiment, and collects and analyzes signals transmitted from the probe 10 to calculate the displacement measured from the surface of the target object. The displacement value calculated by the processing device 30 is displayed as a numerical value or a graph on the display device 40 .

상기 프로브(10)는 하우징(110), 제1 통(120), 발광 소자(130), 수광 소자(140), 제2 통(150), 접촉 장치(160), 자바라(170) 등을 포함하여 구성될 수 있다.The probe 10 includes a housing 110, a first tube 120, a light emitting element 130, a light receiving element 140, a second tube 150, a contact device 160, a bellows 170, and the like. can be configured.

상기 하우징(110)은 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이 대략 원통 형상을 가질 수 있으며 하우징(110) 내부의 부품들을 보호한다. 하우징(110)의 일측은 통신선(20)의 커버(21)와 연결될 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3 , the housing 110 may have a substantially cylindrical shape and protects components inside the housing 110 . One side of the housing 110 may be connected to the cover 21 of the communication line 20 .

하우징(110)의 내측에는 제1 통(120)과 제2 통(150)이 배치될 수 있다. 하나 또는 다수의 실시예에서 제1 통(120)과 제2 통(150)은 서로 결합될 수 있으며, 제1 통(120) 및 제2 통(150) 모두 하우징(110)의 내면에 고정될 수 있다.A first cylinder 120 and a second cylinder 150 may be disposed inside the housing 110 . In one or multiple embodiments, the first cylinder 120 and the second cylinder 150 may be coupled to each other, and both the first cylinder 120 and the second cylinder 150 may be fixed to the inner surface of the housing 110. can

제1 통(120)의 몰딩을 통해 형성될 수 있으며 제1 통(120)의 내부에는 발광 소자(130)와 수광 소자(140)가 서로 대향하여 결합될 수 있고 발광 소자(130)와 수광 소자(140) 사이에는 후술할 패턴 플레이트(163) 및 플레이트 고정 부재(164)가 통과할 수 있도록 소정의 공간(H)이 형성된다.It may be formed through molding of the first barrel 120, and inside the first barrel 120, the light emitting element 130 and the light receiving element 140 may be coupled to face each other, and the light emitting element 130 and the light receiving element may be coupled to each other. A predetermined space H is formed between the 140 to pass the pattern plate 163 and the plate fixing member 164 to be described later.

한편, 도 4에 일 실시예로 도시된 바와 같이, 제1 통(120)에서 발광 소자(130)가 고정되는 발광 소자 고정 홈(121)의 경우 발광 소자(130)의 일부분이 외부에 노출되도록 개방되어 있으며, 마찬가지로 도 6에 일 실시예로 도시된 바와 같이 제1 통(120)에서 수광 소자(140)가 고정되는 수광 소자 고정 홈(122)의 경우에도 수광 소자(140)의 일부분이 외부로 노출되도록 개구되어 있다. On the other hand, as shown in FIG. 4 as an embodiment, in the case of the light emitting element fixing groove 121 in which the light emitting element 130 is fixed in the first tube 120, a part of the light emitting element 130 is exposed to the outside. As shown in FIG. 6 as an exemplary embodiment, even in the case of the light receiving element fixing groove 122 in which the light receiving element 140 is fixed in the first cylinder 120, a part of the light receiving element 140 is open to the outside. It is opened to expose

발광 소자(130)와 수광 소자(140)는 이렇게 개구되어 있는 발광 소자 고정 홈(121)과 수광 소자 고정 홈(122)을 통해 설치되는 각각의 전송 선로(미도시)를 통해 외부의 통신선(20)과 연결되어 신호를 송수신하고 전력을 공급받을 수 있다.The light emitting element 130 and the light receiving element 140 are connected to the external communication line 20 through each transmission line (not shown) installed through the light emitting element fixing groove 121 and the light receiving element fixing groove 122 opened in this way. ) to transmit and receive signals and receive power.

제2 통(150)의 내부에는 접촉 장치(160)의 일 부분이 이동 가능하게 삽입된다. 접촉 장치(160)는 실제로 대상 물체의 표면에 접촉하여 이동하는 부분으로서 대상 물체의 표면의 굴곡에 따라 소정 범위에서 이동 가능하게 제2 통(150)의 내부에 배치된다.A part of the contact device 160 is movably inserted into the second cylinder 150 . The contact device 160 is a part that actually moves in contact with the surface of the target object, and is disposed inside the second cylinder 150 to be movable within a predetermined range according to the curvature of the surface of the target object.

도 4 내지 도 7에 일 실시예로 도시된 바와 같이 접촉 장치(160)는 샤프트(161), 측정 팁(162), 패턴 플레이트(163), 플레이트 고정 부재(164), 스프링(165), 슬라이드핀(166), 베어링(167) 등을 포함하여 구성될 수 있다.4 to 7, the contact device 160 includes a shaft 161, a measuring tip 162, a pattern plate 163, a plate fixing member 164, a spring 165, and a slide. It may be configured to include a pin 166, a bearing 167, and the like.

샤프트(161)는 제2 통(150)의 내부에 이동 가능하게 삽입되며 샤프트(161)의 이동 범위를 제한하기 위하여 제2 통(150)의 일부분에는 홀(151)이 소정의 길이로 연장되어 있고, 샤프트(161)에 고정되는 슬라이드핀(166)의 헤드가 제2 통(150)의 홀(151) 내부에 배치된다. 따라서, 측정 팁(162)는 홀(151) 길이 만큼만 이동될 수 있다.The shaft 161 is movably inserted into the second cylinder 150, and a hole 151 extends to a predetermined length in a part of the second cylinder 150 to limit the movement range of the shaft 161. And, the head of the slide pin 166 fixed to the shaft 161 is disposed inside the hole 151 of the second cylinder 150. Therefore, the measuring tip 162 can be moved only as much as the length of the hole 151 .

한편, 샤프트(161)의 외주면에는 스프링(165)의 일측이 고정될 수 있고 스프링(165)의 타측은 제2 통(150)과 결합하는 제1 통(120)의 홈에 안착될 수 있다. 스프링(165)에 의해 샤프트(161)는 항상 제1 통(120)의 반대방향으로 탄성력이 작용하게 되므로 대상 물체의 표면을 이동시에 표면에 굴곡이 있더라도 대상 물체의 표면에 안정적으로 접촉할 수 있게 된다.Meanwhile, one side of the spring 165 may be fixed to the outer circumferential surface of the shaft 161 and the other side of the spring 165 may be seated in a groove of the first cylinder 120 coupled with the second cylinder 150. Since the spring 165 causes the shaft 161 to always exert an elastic force in the opposite direction to the first cylinder 120, it can stably contact the surface of the target object even if there is a curve when moving the surface of the target object. do.

샤프트(161)이 일측에는 제1 통(120) 내부로 삽입되는 플레이트 고정 부재(164)가 결합되며 샤프트(161)의 타측에는 대상 물체와 접촉하는 측정 팁(162)이 결합된다. 그리고 샤프트(161)의 외주에는 샤프트(161)의 외주면과 제2 통(150)의 내주면 사이의 마찰력을 감소시키기 위하여 베어링(167)이 배치될 수 있다.The plate fixing member 164 inserted into the first cylinder 120 is coupled to one side of the shaft 161, and the measuring tip 162 that contacts the target object is coupled to the other side of the shaft 161. A bearing 167 may be disposed on an outer circumference of the shaft 161 to reduce frictional force between the outer circumferential surface of the shaft 161 and the inner circumferential surface of the second cylinder 150 .

샤프트(161)의 일측에 결합되는 플레이트 고정 부재(164)에는 PRBS (Pseudo Random Binary Sequence) 패턴(P)이 슬릿 형상으로 식각된 패턴 플레이트(163)가 안착된다. 발광 소자(130)에 의해 방출된 빛은 패턴 플레이트(163)의 슬릿을 통과하여 수광 소자(140)에 수광 됨으로써 PRBS 패턴(P)이 수광소자에 나타나게 된다.A pattern plate 163 in which a pseudo random binary sequence (PRBS) pattern P is etched in a slit shape is seated on the plate fixing member 164 coupled to one side of the shaft 161 . The light emitted by the light emitting element 130 passes through the slit of the pattern plate 163 and is received by the light receiving element 140, so that the PRBS pattern P appears on the light receiving element.

패턴 플레이트(163)는 글라스와 같은 소재로 이루어질 수 있으며, 패턴 플레이트(163)에서 슬릿 이외의 부분은 빛이 통과할 수 없도록 불투명하게 형성된다.The pattern plate 163 may be made of a material such as glass, and portions other than the slits in the pattern plate 163 are opaque so that light cannot pass through.

발광 소자(130)로는 LED 광원 등이 사용될 수 있으며, 수광 소자(140)로는 라인 이미지 센서 등이 사용될 수 있다.An LED light source or the like may be used as the light emitting device 130 , and a line image sensor or the like may be used as the light receiving device 140 .

한편, 샤프트(161)이 외부측에는 도 4에 도시된 바와 같이 자바라(170)가 배치될 수 있다.On the other hand, the bellows 170 may be disposed on the outer side of the shaft 161 as shown in FIG. 4 .

이하에서는 패턴 플레이트(163)에 슬릿 형상으로 식각된 PRBS 패턴(P)에 대하여 설명한다.Hereinafter, the PRBS pattern P etched in the pattern plate 163 in a slit shape will be described.

도 9는 본 발명의 실시예에 따라 패턴 플레이트에 PRBS 패턴을 구현하는 방법을 도시하고 있으며, 도 10은 PRBS 패턴 다항식의 일부를 도표로 나타낸 것이고, 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 PRBS 코드의 일부를 도시한 도면이다.9 shows a method of implementing a PRBS pattern in a pattern plate according to an embodiment of the present invention, FIG. 10 is a diagram showing a part of a PRBS pattern polynomial, and FIG. 11 is a PRBS code according to an embodiment of the present invention. It is a drawing showing part of

일반적으로, 0과 1 두 개의 숫자(또는 두 개의 문자)로 이루어진 수열을 이진 수열이라 한다. 이러한 이진 수열은 정보통신의 다양한 분야에서 널리 사용되고 있으며, 이진 수열 중 1bit씩 shift가능하도록 수를 배치한 것이 PRBS의 특징이다. 이의 예로 10 bit로 구성된 0110000010(십진수로 386) 다음 항이 모든 이진 bit가 오른쪽으로 1칸씩 이동하고 제일 우측의 bit는 버리고, 좌측의 이진bit를 0(또는 1)으로 채워 0011000001(십진수로 193)이 되도록 하는 것이다. 즉, 의사 랜덤 이진 수열(Psudo Random Binary Sequence: PRBS, 이하 "PRBS"라 함)은 의사적으로 랜덤하게 만들어진 패턴(P)을 갖는 비트열을 의미한다. PRBS는 연속적인 bit의 이동 변화를 필요로하는 분야에 널리 사용되고있다. In general, a sequence of two numbers (or two letters) 0 and 1 is called a binary sequence. This binary sequence is widely used in various fields of information communication, and the characteristic of PRBS is that the numbers are arranged so that they can be shifted by 1 bit among the binary sequences. An example of this is 0110000010 (386 in decimal) composed of 10 bits. The next term moves all binary bits to the right by 1 space, discards the rightmost bit, and fills the left binary bit with 0 (or 1), resulting in 0011000001 (193 in decimal). is to make it That is, a pseudo random binary sequence (PRBS, hereinafter referred to as “PRBS”) refers to a bit string having a pseudo-random pattern P. PRBS is widely used in fields requiring continuous bit shift change.

또한, PRBS 패턴(P) 다항식은 PRBS 패턴(P)을 생성하기 위하여 규정해 놓은 것으로서, X^k + X^m + X^n으로 표현되며 그 일 예가 도 10에 도표화되어 있다.In addition, the PRBS pattern (P) polynomial is defined to generate the PRBS pattern (P), and is expressed as X^k + X^m + X^n, an example of which is diagrammed in FIG. 10.

PRBS 패턴(P)은 2^L-1개(여기서, L은 비트수)의 이진수로 이루어진 길이를 가지며, 해당 이진수의 개수만큼 다양한 코드를 포함할 수 있다. 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 10 비트 PRBS 코드의 일부를 도시하고 있다. 도 11에 도시된 PRBS 패턴(P)의 경우 10비트에 관한 것으로서 원칙적으로는 2¹⁰-1=1023 개의 이진수로 이루어진 패턴(P)을 가지며 이에 따라 1023개의 서로 다른 PRBS 코드가 존재할 수 있다. 도 11은 1023개의 PRBS 코드 중에서 일부분인 90부터 127까지의 PRBS 코드를 도시하고 있다. The PRBS pattern P has a length of 2 ^L -1 binary numbers (where L is the number of bits), and may include as many codes as the number of corresponding binary numbers. 11 shows a portion of a 10-bit PRBS code according to an embodiment of the present invention. In the case of the PRBS pattern (P) shown in FIG. 11, it is related to 10 bits, and in principle, it has a pattern (P) consisting of 2 ¹⁰ -1 = 1023 binary numbers, and accordingly, 1023 different PRBS codes may exist. 11 shows PRBS codes from 90 to 127, which are a part of 1023 PRBS codes.

0과 1로 이루어지는 의사 랜덤 이진 수열(PRBS)을 패턴 플레이트(163)에 표현하는 방법으로서, 본 발명은 도 9에 일 실시예로 도시된 바와 같이, 패턴 플레이트(163)에 빛이 통과할 수 있는 다수의 슬릿을 식각을 통해 형성하고 있으며, 인접한 두 슬릿 사이의 간격은 서로 다른 간격인 a 간격과 b 간격 중 어느 하나로 이루어진다. 여기서, a 간격은 상기 PRBS 코드의 2진수 중 '0'으로 정의되고, 상기 b 간격은 상기 PRBS 코드의 2진수 중 '1'로 정의된다. 본 발명의 경우 일 실시예로서 a 간격은 160 미크론으로 구성되며, b 간격은 200 미크론으로 구성된다.As a method of expressing a pseudo random binary sequence (PRBS) consisting of 0 and 1 on the pattern plate 163, the present invention, as shown in FIG. 9 as an embodiment, allows light to pass through the pattern plate 163 A plurality of slits are formed through etching, and the interval between two adjacent slits is made of one of different intervals, a interval and b interval. Here, the interval a is defined as '0' among the binary numbers of the PRBS code, and the interval b is defined as '1' among the binary numbers of the PRBS code. In the case of the present invention, as an embodiment, the interval a is composed of 160 microns, and the interval b is composed of 200 microns.

본 발명에 따르면 패턴 플레이트(163)에 슬릿의 간격을 a 간격과 b 간격으로 다르게 식각함으로써, 0과 1의 조합으로 이루어지는 따른 PRBS 패턴(P)을 패턴 플레이트(163)에 구현할 수 있다.According to the present invention, a PRBS pattern (P) consisting of a combination of 0 and 1 can be implemented on the pattern plate 163 by etching the pattern plate 163 differently at intervals a and b.

발광 소자(130)로부터 방출되는 빛은 소정 범위에서 패턴 플레이트(163)의 슬릿을 통과하여 수광 소자(140)에 수광되며, 수광 소자(140)는 수광된 빛의 파장에 나타나는 인접한 피크 값들 사이의 간격으로부터 인접한 두 슬릿 사이의 간격이 a 간격인지 b 간격인지 파악할 수 있다. 수광 소자(140)는 수광된 빛의 간격이 a 간격인 경우 0으로 처리하고, b 간격인 경우 1로 처리하여 이진수로 이루어진 PRBS 코드(수광 신호)로 변환하여 상기 처리 장치(30)로 전송한다.The light emitted from the light emitting element 130 passes through the slit of the pattern plate 163 in a predetermined range and is received by the light receiving element 140, and the light receiving element 140 detects the difference between adjacent peak values appearing in the wavelength of the received light. From the spacing, it can be determined whether the spacing between two adjacent slits is the a spacing or the b spacing. The light-receiving element 140 processes the received light as 0 when the interval a is the interval and processes it as 1 when the interval b is converted into a binary PRBS code (light reception signal) and transmits the received light to the processing device 30. .

패턴 플레이트(163)에 구현된 PRBS 코드는 제각각 미리 정해진 측정 팁(162)의 위치를 표시한다. 따라서, 1개의 PRBS 코드를 읽으면 해당 코드에 해당하는 측정 팁(162)의 정확한 위치를 알 수 있다. The PRBS codes embodied in the pattern plate 163 each indicate a predetermined position of the measuring tip 162 . Therefore, if one PRBS code is read, the exact position of the measuring tip 162 corresponding to the corresponding code can be known.

예를 들어, 본 발명의 실시예에 따르면 10비트에 해당하는 이진수로 이루어진 PRBS 패턴(P)의 일부가 패턴 플레이트(163)에 식각되어 있고, 도 8에 도시된 바와 같이 발광 소자(130)는 발광 소자(130)에서 소정 각도로 방사되는 빛이 패턴 플레이트(163)에 식각된 슬릿 중 적어도 11개 이상의 슬릿을 통과하도록 설치된다. 이진수 하나는 인접한 2개의 슬릿 사이의 간격으로 정의되므로 도 11에 도시된 본 발명의 실시예와 같이 10개의 이진수로 이루어지는 PRBS 코드를 얻기 위해서는 발광 소자(130)에서 방출된 빛이 적어도 패턴 플레이트(163)의 11개의 슬릿을 통과해야 한다.For example, according to an embodiment of the present invention, a part of the PRBS pattern P made of binary numbers corresponding to 10 bits is etched on the pattern plate 163, and as shown in FIG. 8, the light emitting element 130 Light emitted from the light emitting device 130 at a predetermined angle is installed to pass through at least 11 or more slits among slits etched in the pattern plate 163 . Since one binary number is defined as the interval between two adjacent slits, in order to obtain a PRBS code consisting of 10 binary numbers as in the embodiment of the present invention shown in FIG. ) must pass through 11 slits of

예를 들어, 수광 소자(140)에 수광된 빛의 밝기에 관한 파형이 20개의 슬릿에 대응되는 20개의 피크 값들을 가지는 파형인 경우 처리 장치(30)는 10비트에 해당하는 10개의 이진수로 이루어진 PRBS 코드를 얻기 위하여, 수광소자(140)에 나타나는 파형을 분석하여 다수의 인접한 피크 사이의 가운데 부분들 중 발광 소자(130)의 중심과 가장 가까운 인접한 피크 사이의 가운데 부분부터 좌우로 5개씩 총 10개의 이진수만 취할 수 있다. For example, when the waveform of the brightness of light received by the light receiving element 140 is a waveform having 20 peak values corresponding to 20 slits, the processing device 30 is composed of 10 binary numbers corresponding to 10 bits. In order to obtain the PRBS code, a waveform appearing in the light receiving element 140 is analyzed, and among the middle parts between a plurality of adjacent peaks, a total of 10, 5 each from the left and right from the center between the center of the light emitting element 130 and the closest adjacent peak. Only binary digits can be taken.

도 11에 붉은색 사각형 안에 표시된 바와 같이, 9열부터 0열까지 “0100000110”의 순서로 구성되는 PRBS 코드를 처리 장치(30)가 읽은 경우 이 PRBS 코드는 실제값 “99”로 표시되는 미리 정해진 측정 팁(162)의 위치를 표시한다. 구체적으로 처리 장치(30)는 도 11에 도시된 바와 같이 2진수로 이루어진 PRBS 코드(여기서, 0100000110)를 10진수 값(랜덤값: 0+2+128+256=386)으로 변환하고, 상기 변환된 10진수 값(랜덤값: 386)에 대응되는 실제값(99)을 산출하여 측정 팁(162)의 위치를 파악한다.As shown in the red rectangle in FIG. 11, when the processing device 30 reads the PRBS code composed in the order of “0100000110” from column 9 to column 0, this PRBS code is displayed as the actual value “99”. The location of the measuring tip 162 is indicated. Specifically, the processing device 30 converts a PRBS code (here, 0100000110) made of binary numbers into a decimal value (random value: 0+2+128+256=386) as shown in FIG. 11, and the conversion The location of the measuring tip 162 is determined by calculating an actual value 99 corresponding to the decimal value (random value: 386).

만약, 프로브(10)가 대상 물체의 표면을 따라 이동하면서 측정 팁(162)의 높이가 변경되면 이에 따라 패턴 플레이트(163)의 위치도 변경되기 때문에 처리 장치(30)에서 파악되는 PRBS 코드도 변경된다. 예를 들어, 프로브(10)가 이동 후에 파악되는 PRBS 코드가 9열부터 0열까지 “0100110100”의 순서로 구성되는 PRBS 코드라면 이에 해당하는 10진수 값은 랜덤값 “178”이 되고, 이는 다시 실제값(109)에 대응된다. 따라서, 프로브(10)가 이동하여 측정 팁(162)의 높이가 변경된 후의 위치를 나타내는 실제값(109)와 초기의 측정 팁(162)의 위치를 나타내는 실제값(99)의 차이만큼 측정 팁(162)의 위치가 변경된 것을 알 수 있다. If the height of the measuring tip 162 is changed while the probe 10 moves along the surface of the target object, the position of the pattern plate 163 is also changed accordingly, so the PRBS code identified by the processing device 30 is also changed. do. For example, if the PRBS code identified after the probe 10 moves is a PRBS code composed in the order of “0100110100” from column 9 to column 0, the corresponding decimal value becomes the random value “178”, which is again Corresponds to the actual value (109). Therefore, the measurement tip ( 162) has been changed.

구체적으로, 도 11의 0번 열이 PRBS 패턴으로 패턴 플레이트에 형성되어 있으면, 실제값 99와 100 사이의 간격은 0번째 열에 따르면 '0'이므로 a 간격 즉 160 미크론이 되고, 실제값 100과 101 사이의 간격은 0번째 열에 따르면 '1'이므로 b 간격 즉 200 미크론이 된다. 따라서, 대상 물체의 표면을 이동하면서 측정 팁(162)의 위치가 실제값 99 부터 109까지 변경되었다면 실제로 측정 팁이 변위된 거리는 도 11의 0번째 열의 99부터 109까지 순서대로 카운트 하여 '0100110100'에 해당되는 실제 간격을 모두 더하여(즉, 160+200+160+160+200+200+160+200+160+160=1760) 1760 미크론(㎛) 만큼 이동한 것을 알 수 있다.Specifically, if column 0 of FIG. 11 is formed on the pattern plate in the PRBS pattern, the interval between the actual values 99 and 100 is '0' according to the 0th column, so the interval a is 160 microns, and the actual values 100 and 101 The spacing between them is '1' according to the 0th column, so the b spacing is 200 microns. Therefore, if the position of the measurement tip 162 is changed from the actual value 99 to 109 while moving the surface of the target object, the actual displacement distance of the measurement tip is counted in order from 99 to 109 in the 0th column of FIG. 11 to '0100110100' It can be seen that by adding all the corresponding actual spacings (i.e., 160+200+160+160+200+200+160+200+160+160=1760), it has moved by 1760 microns (μm).

이러한 방식으로 처리 장치(30)는 프로브(10)가 대상 물체의 표면을 따라 이동하는 경우 수신되는 수광 신호로부터 측정 팁(162)의 높이 변화를 실시간으로 산출할 수 있다.In this way, the processing device 30 can calculate the height change of the measuring tip 162 in real time from the received light receiving signal when the probe 10 moves along the surface of the target object.

본 발명의 실시예에 따르면 펜슬타입(ø8)의 컴팩트하고 가벼운 프로브(10)를 구현할 수 있다. 이로 인해 다양한 멀티 채널 측정에 활용할 수 있고 오염에 강하며, 측정범위는 15mm 정도이고, 분해능은 0.1um 정도이며, 정확도가 ±1um 정도인 디지털 변위 게이지를 구현할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a compact and lightweight probe 10 of a pencil type (ø8) can be implemented. As a result, it is possible to implement a digital displacement gauge that can be used for various multi-channel measurements, is resistant to contamination, has a measurement range of about 15 mm, a resolution of about 0.1 um, and an accuracy of about ±1 um.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far, the present invention has been looked at with respect to its preferred embodiments. Those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to understand that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered from an illustrative rather than a limiting point of view. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the equivalent scope will be construed as being included in the present invention.

10: 프로브 20: 통신선
30: 처리 장치 40: 디스플레이 장치
110: 하우징 120: 제1 통
130: 발광 소자 140: 수광 소자
150: 제2 통 160: 접촉 장치
161: 샤프트 162: 접촉 팁
163: 패턴 플레이트 164: 플레이트 고정 부재
165: 스프링 166: 슬라이드핀
167: 베어링 170: 자바라10: probe 20: communication line
30: processing unit 40: display unit
110: housing 120: first barrel
130: light emitting element 140: light receiving element
150: second barrel 160: contact device
161 shaft 162 contact tip
163: pattern plate 164: plate fixing member
165: spring 166: slide pin
167: bearing 170: bellows

Claims

대상 물체의 표면에 접촉하는 프로브와 상기 프로브로부터 신호를 수신하여상기 대상 물체의 표면의 변위를 산출하는 처리 장치를 포함하는 디지털 변위 게이지에 있어서,
상기 프로브는,
통 형상의 하우징;
상기 하우징 내부에 설치되며 상기 하우징에 대하여 소정 범위에서 이동 가능하게 설치되는 샤프트;
상기 샤프트의 일측에 결합되어 측정 대상 물체의 표면에 접촉하는 측정 팁;
상기 샤프트의 타측에 설치되며 상히 하우징의 내부에 배치되고 소정의 패턴이 식각되어 있는 패턴 플레이트;
상기 하우징의 내부에 고정되며, 상기 패턴 플레이트를 통과하도록 빛을 조사하는 발광 소자; 및
상기 하우징의 내부에 고정되며, 상기 패턴 플레이트를 통과함으로써 소정의 패턴을 가지는 발광 소자의 빛을 수광하여 수광 신호를 출력하는 수광 소자;를 포함하고,
상기 패턴 플레이트에 식각되어 있는 패턴은 PRBS(Pseudo-Random Binary Sequences) 패턴이고,
상기 패턴 플레이트에는 빛이 통과할 수 있는 다수의 슬릿이 형성되어 있으며, 상기 패턴 플레이트에서 상기 슬릿 이외의 부분은 빛이 통과할 수 없도록 불투명하게 형성되며 ,
상기 처리 장치는 상기 수광 신호에 나타나는 빛의 밝기의 파장을 분석하여 피크 값들을 파악하고 인접한 피크 값들 사이의 간격으로부터 인접한 두 슬릿 사이의 간격을 파악하고,
상기 인접한 두 슬릿 사이의 간격은 서로 다른 간격인 a 간격과 b 간격 중 어느 하나이며,
상기 처리 장치는 상기 a 간격은 '0'으로 정의하고, 상기 b 간격은 '1'로 정의함으로써 상기 수광 신호를 디지털 신호인 PRBS 코드로 변환하는 것을 특징으로 하는 디지털 변위 게이지.A digital displacement gauge comprising a probe contacting a surface of a target object and a processing device receiving a signal from the probe to calculate displacement of the surface of the target object,
The probe is
a tubular housing;
a shaft installed inside the housing and installed to be movable within a predetermined range with respect to the housing;
a measuring tip coupled to one side of the shaft and contacting the surface of the object to be measured;
a pattern plate installed on the other side of the shaft, disposed inside the housing, and having a predetermined pattern etched thereon;
a light emitting element fixed inside the housing and emitting light to pass through the pattern plate; and
A light-receiving element fixed inside the housing and receiving light from a light-emitting element having a predetermined pattern by passing through the pattern plate and outputting a light-receiving signal;
The pattern etched on the pattern plate is a PRBS (Pseudo-Random Binary Sequences) pattern,
A plurality of slits through which light can pass are formed in the pattern plate, and portions other than the slits in the pattern plate are formed to be opaque so that light cannot pass through.
The processing device analyzes the wavelength of the brightness of light appearing in the light reception signal to determine peak values and to determine the interval between two adjacent slits from the interval between adjacent peak values;
The interval between the two adjacent slits is any one of the different intervals a interval and b interval,
The digital displacement gauge according to claim 1 , wherein the processing device converts the light-receiving signal into a PRBS code that is a digital signal by defining the interval a as '0' and the interval b as '1'.

제1항에 있어서,
상기 발광 소자 및 상기 수광 소자와 상기 처리 장치를 연결하는 통신선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 변위 게이지.According to claim 1,
The digital displacement gauge further comprises a communication line connecting the light emitting element and the light receiving element and the processing device.

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제1항에 있어서,
상기 처리 장치는 2진수로 이루어진 상기 PRBS 코드를 10진수로 변환하고, 상기 변환된 10진수 값에 대응되는 위치값을 산출하여 측정 팁의 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 디지털 변위 게이지.According to claim 1,
The digital displacement gauge, characterized in that the processing device converts the PRBS code composed of binary numbers into decimal numbers, and calculates a position value corresponding to the converted decimal number value to determine the position of the measuring tip.

제6항에 있어서,
상기 처리 장치는 측정 대상 물체의 표면을 따라 상기 측정 팁이 이동하는 경우 이로 인해 변화되는 상기 위치값의 변화량을 계산하여 상기 측정 팁의 변위를 산출하는 것을 특징으로 하는 디지털 변위 게이지.According to claim 6,
The digital displacement gauge according to claim 1 , wherein the processing device calculates the displacement of the measuring tip by calculating the amount of change in the position value that is changed when the measuring tip moves along the surface of the measuring object.

제1항, 제2항, 제6항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 처리 장치에 연결되는 디스플레이 장치를 더 포함하는 디지털 변위 게이지.
According to any one of claims 1, 2, 6 or 7,
A digital displacement gauge further comprising a display device coupled to said processing device.