KR102447890B1 - Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage - Google Patents

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KR102447890B1
KR102447890B1 KR1020200112792A KR20200112792A KR102447890B1 KR 102447890 B1 KR102447890 B1 KR 102447890B1 KR 1020200112792 A KR1020200112792 A KR 1020200112792A KR 20200112792 A KR20200112792 A KR 20200112792A KR 102447890 B1 KR102447890 B1 KR 102447890B1
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손문배
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Abstract

본 발명에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치는, 회전 구동력을 발생시키는 구동유닛, 상기 구동유닛의 회전중심에 연결되어 구동력에 의하여 회전되는 구동력 전달유닛, 상기 구동력 전달유닛 상에서 이동 가능하게 연결되어 상기 구동력 전달유닛이 회전되면 회전 방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동됨으로써 회전운동을 직선운동으로 변환하는 브라켓 및 상기 브라켓의 측면에 복수의 베어링이 형성된 구동력 변환유닛 및 상기 구동력 변환유닛과 접하여 위치되고, 상기 구동력 변환유닛이 이동되면 상기 베어링과 치합관계에 의하여 상기 구동력 변환유닛의 이동방향, 이동거리에 따라 회전방향, 회전각도가 조절되면서 회전되는 회전유닛을 포함한다.The device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage according to the present invention includes a driving unit that generates a rotational driving force, a driving force transmission unit connected to the rotation center of the driving unit and rotated by a driving force, and movably connected on the driving force transmission unit. When the driving force transmitting unit is rotated, it is moved forward or backward according to the rotational direction to convert a rotational motion into a linear motion, and a driving force converting unit having a plurality of bearings formed on a side surface of the bracket and the driving force converting unit. Positioned in contact with, When the driving force converting unit is moved, it includes a rotating unit that rotates while adjusting a rotational direction and a rotational angle according to a moving direction and a moving distance of the driving force converting unit by a meshing relationship with the bearing.

Description

검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치{Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage} Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage

본 발명은 회전유닛을 제자리에서 자유회전이 가능한 베어링과의 치합관계에 의하여 회전시킴으로써 검사 스테이지의 회전각도를 정밀하게 조절할 수 있고, 마찰력과 마모를 최소화하여 내구성이 우수한 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치에 관한 것이다.The present invention can precisely adjust the rotation angle of the inspection stage by rotating the rotation unit in place by a meshing relationship with a bearing that can rotate freely in place, and has excellent durability by minimizing friction and wear. is about

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 발명에 대한 배경정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The content described in this section merely provides background information on the present invention and does not constitute the prior art.

일반적으로 다양한 광학제품, 전자제품 등과 같이 정밀도가 높은 기계장치들은 제조가 완료된 후 정상품인지를 확인하기 위해 별도의 검사 스테이지에서 검사를 수행하게 되는 경우가 많다.In general, high-precision mechanical devices such as various optical products and electronic products are often inspected on a separate inspection stage to check whether they are normal products after manufacturing is completed.

그리고 상기 검사 스테이지는 제품을 정밀하게 검사하기 위해 상기 제품을 회전시키며 검사를 수행하는 것은 물론, 제품의 각도를 변화시킬 수 있도록 회전시키며 검사를 수행하는 과정도 함께 수행된다.In addition, the inspection stage rotates the product to precisely inspect the product and performs the inspection, as well as rotating the product to change the angle of the product and performing the inspection.

종래의 검사 스테이지(대한민국 등록특허 제10-0837729호)Conventional inspection stage (Korea Patent Registration No. 10-0837729)

를 회전 구동시키기 위한 구동계의 경우, 검사 스테이지의 회전을 구현하기 위해 웜기어를 사용하는 것이 일반적이다.In the case of a drive system for rotationally driving a , it is common to use a worm gear to implement rotation of the inspection stage.

다만, 이와 같은 형태의 구동계는 제어 시 정밀성이 떨어지기 때문에 의도대로 정확한 검사를 수행하는 것이 쉽지 않으며, 또한 웜기어의 특성 상 큰 백래시(Backlash)가 발생하게 되는 문제가 있다. 웜기어의 경우 구동 과정에서 잦은 고장이 발생하게 되는 문제점을 가지고 있다. However, since this type of drive system has poor control precision, it is not easy to perform an accurate inspection as intended, and there is a problem in that a large backlash occurs due to the characteristics of the worm gear. In the case of a worm gear, there is a problem in that frequent failures occur during the driving process.

또한, 종래의 검사 장치들은 회전 매커니즘을 위하여 많은 종류의 구성품이 요구되어 장치의 부피와 무게를 증가 시키고, 제조원가를 상승시키는 요인이 된다.In addition, conventional inspection apparatuses require many types of components for the rotation mechanism, thereby increasing the volume and weight of the apparatus, and increasing the manufacturing cost.

따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.Therefore, a method for solving these problems is required.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 검사 스테이지의 회전 구동을 위한 구동계의 구조를 베어링에 의한 구조로 구성하여 간단한 구성으로 설계하고, 백래시를 최소화하여 정밀한 검사를 수행할 수 있도록 하기 위한 목적을 가진다.The present invention is an invention devised to solve the problems of the prior art, and the structure of the drive system for rotational driving of the inspection stage is designed with a bearing structure to have a simple structure, and the backlash is minimized to perform a precise inspection purpose to make it possible.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치는, 회전 구동력을 발생시키는 구동유닛, 상기 구동유닛의 회전중심에 연결되어 구동력에 의하여 회전되는 구동력 전달유닛, 상기 구동력 전달유닛 상에서 이동 가능하게 연결되어 상기 구동력 전달유닛이 회전되면 회전 방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동됨으로써 회전운동을 직선운동으로 변환하는 브라켓 및 상기 브라켓의 일측면에 복수의 베어링이 형성된 구동력 변환유닛 및 상기 구동력 변환유닛과 접하여 위치되고, 상기 구동력 변환유닛이 이동되면 상기 베어링과 치합관계에 의하여 상기 구동력 변환유닛의 이동방향, 이동거리에 따라 회전방향, 회전각도가 조절되면서 회전되는 회전유닛을 포함할 수 있다.The apparatus for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage of the present invention for achieving the above object includes a driving unit for generating a rotational driving force, a driving force transmitting unit connected to the rotation center of the driving unit and rotating by a driving force, the driving force transmitting unit When the driving force transmission unit is rotated on a movably connected surface, a bracket that converts rotational motion into linear motion by moving forward or backward according to the rotational direction, a driving force converting unit having a plurality of bearings formed on one side of the bracket, and the driving force It is positioned in contact with the conversion unit, and when the driving force conversion unit is moved, the rotation direction and rotation angle are adjusted according to the moving direction and the moving distance of the driving force conversion unit by the meshing relationship with the bearing. .

상기 복수의 베어링은 캠팔로워(camfollower)로서, 제자리에서 자유회전이 가능하게 구성되어 상기 회전유닛과 접촉 시 손상이 방지될 수 있다.The plurality of bearings are cam followers, and are configured to freely rotate in place, so that damage can be prevented when they come into contact with the rotating unit.

상기 회전유닛은 제자리에서 회전 가능하게 형성된 회전 플레이트 및 상기 회전 플레이트의 하부에 연결되고 외주면에 복수의 톱니가 형성된 체인기어로 구성될 수 있다.The rotation unit may include a rotation plate rotatably formed in place and a chain gear connected to a lower portion of the rotation plate and formed with a plurality of teeth on an outer peripheral surface.

또한, 상기 구동력 변환유닛이 전방 또는 후방으로 이동되면서 상기 베어링이 상기 체인기어의 톱니에 순차적으로 맞물려 상기 체인기어를 회전시킴으로써 상기 회전 플레이트가 회전될 수 있다.In addition, as the driving force conversion unit is moved forward or backward, the bearing may be sequentially engaged with the teeth of the chain gear to rotate the chain gear, whereby the rotation plate may be rotated.

또한, 상기 회전유닛은 상기 체인기어의 하부가 수용되는 플랜지를 더 포함하고, 상기 플랜지는 상기 구동력 변환유닛의 측면에 접촉되어 회전될 수 있다.In addition, the rotation unit may further include a flange in which a lower portion of the chain gear is accommodated, and the flange may be rotated in contact with a side surface of the driving force conversion unit.

상기 구동력 전달유닛은 외주면에 제1나사산이 형성되고, 상기 브라켓은 상기 구동력 전달유닛의 제1나사산과 접촉되는 내주면에 상기 구동력 전달유닛의 제1나사산과 치합되는 제2나사산이 형성될 수 있다.A first screw thread may be formed on an outer peripheral surface of the driving force transmitting unit, and a second screw thread meshing with the first screw thread of the driving force transmitting unit may be formed on an inner peripheral surface of the bracket in contact with the first screw thread of the driving force transmitting unit.

상기 제2나사산에는 상호간 접촉되는 복수의 볼이 마련되고, 상기 구동력 변환유닛의 이동 시 상기 볼이 이동될 수 있다.A plurality of balls in contact with each other are provided on the second screw thread, and when the driving force conversion unit moves, the balls may be moved.

상기 구동유닛, 상기 구동력 전달유닛 및 상기 브라켓의 중심이 일치하도록 구성될 수 있다.The driving unit, the driving force transmitting unit, and the center of the bracket may be configured to coincide.

또한, 상기 구동력 변환유닛은 상기 복수의 베어링이 삽입되어 각각의 베어링의 위치를 고정하되 상기 복수의 베어링이 자유회전 가능하도록 연결된 고정부를 더 포함할 수 있다.In addition, the driving force conversion unit may further include a fixing unit in which the plurality of bearings are inserted to fix the position of each bearing, but the plurality of bearings are connected to allow free rotation.

상기 고정부는 상기 복수의 베어링의 하부가 서로 간섭되지 않도록 격벽이 형성될 수 있다.In the fixing part, a partition wall may be formed so that lower portions of the plurality of bearings do not interfere with each other.

상기 구동력 변환유닛은 상기 브라켓이 직선운동하는 경로를 제공하도록 상기 브라켓의 하부와 접촉하는 LM(Linear Mortion) 가이드를 더 포함할 수 있다.The driving force conversion unit may further include an LM (Linear Motion) guide in contact with a lower portion of the bracket to provide a path for the bracket to linearly move.

또한, 상기 회전유닛의 회전 각도를 검출하는 검출유닛을 더 포함하고, 상기 회전유닛은 적어도 일부가 외측으로 돌출된 검출부재를 더 포함하며, 상기 검출유닛은, 상기 검출부재의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제1검출모듈 및 상기 검출부재의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제2검출모듈을 포함할 수 있다.In addition, further comprising a detection unit for detecting the rotation angle of the rotation unit, the rotation unit further includes a detection member at least a part protruding to the outside, the detection unit, at one side of the rotation range of the detection member and a first detection module provided to detect the detection member and a second detection module provided to the other side of the rotation range of the detection member to detect the detection member.

본 발명의 추가적인 해결수단은 아래에서 이어지는 설명에서 일부 설명될 것이고, 그 설명으로부터 부분적으로 용이하게 확인할 수 있게 되거나, 또는 본 발명의 실시에 의해 지득될 수 있다.Additional solutions of the present invention will be set forth in part in the description that follows, and in part will be readily ascertained from the description, or may be learned by practice of the invention.

전술한 일반적인 설명 및 다음의 상세한 설명 모두는 단지 예시적이고 설명을 위한 것이며 청구범위에 기재된 본 발명을 제한하지 않는다.Both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory only and do not limit the invention as set forth in the claims.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사 스테이지의 회전각도 정밀 조절장치는 다음과 같은 효과가 있다.The device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage of the present invention for solving the above problems has the following effects.

첫째, 검사 스테이지와 연결되는 회전 플레이트의 회전 운동을 구현하기 위한 구동력 변환유닛에 복수의 베어링이 형성되고, 베어링과의 치합관계에 의하여 회전유닛이 회전됨으로써 백래시 현상을 방지하고 유닛간 접촉에 의한 손상을 방지하며, 베어링에 의하여 응력이 분산되어 내구성이 우수한 효과를 가진다.First, a plurality of bearings are formed in the driving force conversion unit for implementing the rotational motion of the rotating plate connected to the inspection stage, and the rotating unit is rotated by the meshing relationship with the bearing to prevent backlash and damage caused by contact between units and the stress is dispersed by the bearing, which has excellent durability.

둘째, 웜기어, 랙기어, 피니언기어와 같은 부품을 포함하지 않고 간단한 구조로 구성되어 제작이 용이하고 제조원가가 저렴하며, 신속하고 정밀하게 회전 각도를 제어할 수 있는 장점이 있다.Second, it has a simple structure without including parts such as a worm gear, a rack gear, and a pinion gear, so it is easy to manufacture, has a low manufacturing cost, and has the advantages of quickly and precisely controlling the rotation angle.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 내부구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 구동력 전달유닛의 제1나사산과 구동력 변환유닛의 제2나사산을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사유닛이 포함된 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사유닛이 포함된 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치에 있어서, 검출유닛의 모습을 나타낸 도면이다.1 is a perspective view of an apparatus for precisely adjusting a rotation angle of an inspection stage according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are diagrams showing the internal structure of the device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a first screw thread of a driving force transmission unit and a second screw thread of the driving force conversion unit of the device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of an apparatus for precisely adjusting a rotation angle of an inspection stage including an inspection unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a state of a detection unit in the apparatus for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage including the inspection unit according to an embodiment of the present invention.

본 명세서 또는 출원에 개시되어 있는 본 발명의 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명에 따른 실시 예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서 또는 출원에 설명된 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. Specific structural or functional descriptions of the embodiments of the present invention disclosed in this specification or application are only exemplified for the purpose of describing the embodiments according to the present invention, and the embodiments according to the present invention may be implemented in various forms. and should not be construed as being limited to the embodiments described in the present specification or application.

본 발명에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Since the embodiment according to the present invention may have various changes and may have various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the present specification or application. However, this is not intended to limit the embodiment according to the concept of the present invention with respect to a specific disclosed form, and should be understood to include all changes, equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1 및/또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.Terms such as first and/or second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one element from another element, for example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be called a second element, and similarly The second component may also be referred to as the first component.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in each figure indicate like elements.

본 발명은 검사 대상물을 올려두고 회전시키며 검사를 수행하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치에 관한 것이다. 회전각도를 웜기어에 의해 조절하는 것이 아니라 베어링(320)이 형성된 구동력 변환유닛(300)을 이동시키며 조절하도록 구성되어 정밀한 각도제어가 가능함은 물론 기계적 손상, 마모를 방지할 수 있어 내구성이 우수한 효과를 가진다.The present invention relates to an apparatus for precisely adjusting the rotation angle of an inspection stage that places and rotates an inspection object and performs inspection. The rotation angle is not controlled by the worm gear, but is configured to move and adjust the driving force conversion unit 300 having the bearing 320 formed therein, enabling precise angle control as well as preventing mechanical damage and abrasion, resulting in excellent durability. have

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 사시도이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 내부구조를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view of an apparatus for precisely adjusting the rotation angle of an inspection stage according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 4 are views showing the internal structure of the apparatus for precisely adjusting the rotation angle of an inspection stage according to an embodiment of the present invention. It is a drawing.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치는 구동유닛(100), 구동력 전달유닛(200), 구동력 변환유닛(300) 및 회전유닛(400)을 포함하여 구성될 수 있다.1 to 5 , an apparatus for precisely adjusting a rotation angle of an inspection stage according to an embodiment of the present invention includes a driving unit 100 , a driving force transmitting unit 200 , a driving force converting unit 300 and a rotating unit 400 . ) may be included.

구동유닛(100)은 구동력을 발생시키는 구성요소로서, 동력원에 의하여 회전됨으로써 회전 구동력을 발생시킬 수 있다. 본 실시예에서 상기 구동유닛(100)은 회전 구동력을 발생시키는 구동모터(110)와, 상기 구동모터(110)에 의해 회전되는 회전축(111)을 포함할 수 있다. 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(111)은 구동모터(110)의 회전중심에 위치되는 것이 바람직하다.The driving unit 100 is a component that generates a driving force, and may generate a rotational driving force by being rotated by a power source. In this embodiment, the driving unit 100 may include a driving motor 110 that generates a rotational driving force, and a rotating shaft 111 rotated by the driving motor 110 . 2 to 4 , the rotation shaft 111 is preferably located at the rotation center of the driving motor 110 .

구동력 전달유닛(200)은 상기 구동유닛(100)에서 발생한 회전 구동력을 전달하는 구성요소이다. 구동력 전달유닛(200)은 구동유닛(100)의 회전중심에 연결되어 구동력에 의하여 제자리에서 회전될 수 있다. 구동력 전달유닛(200)은 전후방으로 길이가 연장 형성된 바(bar) 형태로 구성될 수 있다. 도 3에는 전방, 후방을 도시하고 있으며, 여기에서 전방과 후방은 구동력 전달유닛(200)의 길이방향을 의미하는 것으로 상호 변경될 수도 있다.The driving force transmitting unit 200 is a component that transmits the rotational driving force generated by the driving unit 100 . The driving force transmitting unit 200 is connected to the rotation center of the driving unit 100 and can be rotated in place by the driving force. The driving force transmission unit 200 may be configured in the form of a bar extending in front and rear. 3 shows the front and rear, where the front and the rear may be interchanged to mean the longitudinal direction of the driving force transmission unit 200 .

구동력 변환유닛(300)은 회전 구동력을 직선 운동으로 변환하는 구성요소이다. 구동력 변환유닛(300)은 상기 구동력 전달유닛(200) 상에서 전후방으로 이동 가능하게 연결될 수 있다. 즉, 구동력 전달유닛(200)이 회전하면 회전력에 의하여 구동력 변환유닛(300)은 직선운동을 하는 것이다. The driving force conversion unit 300 is a component that converts rotational driving force into linear motion. The driving force converting unit 300 may be movably connected to the front and rear on the driving force transmitting unit 200 . That is, when the driving force transmitting unit 200 rotates, the driving force converting unit 300 performs a linear motion by the rotational force.

구동력 변환유닛(300)은 브라켓(310) 및 복수개의 베어링(320)을 포함할 수 있다. 브라켓(310)은 구동력 전달유닛(200) 상에서 전방 또는 후방으로 이동되고, 브라켓(310)의 측면에는 복수의 베어링(320)이 형성될 수 있다. 복수의 베어링(320)은 일정 간격만큼 이격되어 일렬로 배치될 수 있다.The driving force conversion unit 300 may include a bracket 310 and a plurality of bearings 320 . The bracket 310 is moved forward or backward on the driving force transmission unit 200 , and a plurality of bearings 320 may be formed on a side surface of the bracket 310 . A plurality of bearings 320 may be arranged in a line spaced apart by a predetermined interval.

브라켓(310)은 구동력 전달유닛(200)의 회전 방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동되도록 구성될 수 있다. 이를 위하여 후술하는 바와 같이, 구동력 전달유닛(200)의 외주면에는 제1나사산(210)이 형성되고, 브라켓(310)에는 제2나사산(311)이 형성될 수 있다.The bracket 310 may be configured to move forward or backward according to the rotational direction of the driving force transmission unit 200 . To this end, as will be described later, a first screw thread 210 may be formed on the outer peripheral surface of the driving force transmission unit 200 , and a second screw thread 311 may be formed on the bracket 310 .

회전유닛(400)은 검사 스테이지와 연결되며, 회전 가능하게 형성될 수 있다. 회전유닛(400)은 구동력 변환유닛(300)에 접하여 위치될 수 있으며, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 구동력 변환유닛(300)의 측면에 위치될 수 있다.The rotation unit 400 is connected to the inspection stage and may be rotatably formed. The rotation unit 400 may be located in contact with the driving force converting unit 300 , and may be located on the side of the driving force converting unit 300 as shown in FIGS. 2 to 5 .

회전유닛(400)은 구동력 변환유닛(300)이 이동되면서 베어링(320)과 치합관계에 의하여 회전될 수 있다. 구동력 변환유닛(300)의 이동방향에 따라 회전방향이 결정되고, 구동력 변환유닛(300)의 이동거리에 따라 회전각도가 조절될 수 있다. The rotation unit 400 may be rotated by a meshing relationship with the bearing 320 while the driving force conversion unit 300 is moved. The rotational direction is determined according to the moving direction of the driving force converting unit 300 , and the rotational angle may be adjusted according to the moving distance of the driving force converting unit 300 .

예를 들면, 브라켓(310)이 전방으로 이동하면 베어링(320)이 순차적으로 회전유닛(400)과 맞물려 회전유닛(400)이 시계 방향으로 회전되고, 반대로 브라켓(310)이 후방으로 이동하면 동일하게 회전유닛(400)이 반시계 방향으로 회전될 수 있다.For example, when the bracket 310 moves forward, the bearing 320 is sequentially engaged with the rotation unit 400 so that the rotation unit 400 rotates in a clockwise direction. Conversely, when the bracket 310 moves backward, the same The rotation unit 400 may be rotated counterclockwise.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치는 구동유닛(100), 구동력 전달유닛(200) 및 구동력 변환유닛(300)의 중심이 일치되도록 구성될 수 있다. 즉, 구동유닛(100)의 회전중심에 구동력 전달유닛(200)이 연결되고, 구동력 전달유닛(200)은 브라켓(310)의 중심에 연결됨으로써 구동 시 오차를 최소화 하고 효율적으로 구동될 수 있다.The apparatus for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage according to an embodiment of the present invention may be configured so that the centers of the driving unit 100 , the driving force transmitting unit 200 , and the driving force converting unit 300 coincide. That is, the driving force transmitting unit 200 is connected to the center of rotation of the driving unit 100 , and the driving force transmitting unit 200 is connected to the center of the bracket 310 , thereby minimizing an error during driving and can be efficiently driven.

또한, 상기 구동력 변환유닛(300)은 상기 브라켓(310)이 직선운동하는 경로를 제공하도록 상기 브라켓(310)의 하부와 접촉하는 LM(Linear Mortion) 가이드(330)를 더 포함할 수 있다. LM 가이드(330)는 브라켓(310)이 이동하는 경로로써 구동력 전달유닛(200)과 나란하게 배치되며, 브라켓(310)의 하면이 삽입되거나 접촉하도록 구성될 수 있다. LM 가이드(330)에 의하여 브라켓(310)은 안정적으로 직선 방향의 이동이 가능할 수 있다.In addition, the driving force conversion unit 300 may further include an LM (Linear Motion) guide 330 in contact with the lower portion of the bracket 310 to provide a path for the bracket 310 to linearly move. The LM guide 330 is a path along which the bracket 310 moves, and is disposed in parallel with the driving force transmission unit 200 , and may be configured such that a lower surface of the bracket 310 is inserted or contacted. By the LM guide 330, the bracket 310 may be stably moved in a straight direction.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상술한 회전유닛(400)의 구동을 위하여 회전유닛(400)은 제자리에서 회전 가능하게 형성된 회전 플레이트(410) 및 회전 플레이트(410)의 하부에 연결되고, 외주면에 복수의 톱니가 형성된 체인기어(420)로 구성될 수 있다. 체인기어(420)의 톱니 수를 조절하여 정밀도를 조절할 수 있다.3 and 4, for driving the above-described rotation unit 400, the rotation unit 400 is connected to the lower portion of the rotation plate 410 and the rotation plate 410 formed rotatably in place, the outer peripheral surface It may be composed of a chain gear 420 in which a plurality of teeth are formed. The precision can be adjusted by adjusting the number of teeth of the chain gear 420 .

또한, 복수의 베어링(320)은 캠팔로워(camfollower)일 수 있다. 캠팔로워는 두꺼운 외륜과 내부에 롤러가 내장되어 강성이 높은 베어링(320)으로, 상대면과 직접 접촉하여 회전운동을 하므로, 상기 베어링(320)은 제자리에서 자유회전이 가능하게 구성될 수 있다. 회전유닛(400)과 접촉되어 제자리에서 회전 됨으로써 구동 시 손상을 방지하여 내구성이 뛰어난 장점을 가진다.In addition, the plurality of bearings 320 may be cam followers. The cam follower is a bearing 320 with high rigidity due to a thick outer ring and a roller built therein. Since the cam follower rotates in direct contact with the mating surface, the bearing 320 can be configured to freely rotate in place. It is in contact with the rotation unit 400 and rotates in place to prevent damage during operation, thereby having excellent durability.

구동력 변환유닛(300)이 전방 또는 후방으로 이동되면, 베어링(320)은 체인기어(420)의 톱니에 순차적으로 맞물리면서 체인기어(420)를 회전시키게 된다. 체인기어(420)가 회전되면 회전 플레이트(410)가 회전되므로, 검사 스테이지의 회전구동이 가능하게 되는 것이다.When the driving force conversion unit 300 is moved forward or backward, the bearing 320 rotates the chain gear 420 while sequentially engaged with the teeth of the chain gear 420 . When the chain gear 420 is rotated, the rotation plate 410 is rotated, so that rotational driving of the inspection stage is possible.

또한, 회전유닛(400)은 체인기어(420)의 하부가 수용되는 플랜지(430)를 더 포함할 수 있다. 플랜지(430)는 구동력 변환유닛(300)의 측면에 접촉되도록 구성된다. 회전유닛(400)이 회전하는 경우 플랜지(430)가 구동력 변환유닛(300)의 측면과 접촉하여 회전됨으로써 체인기어(420)의 마모나 손상을 방지할 수 있다.In addition, the rotation unit 400 may further include a flange 430 in which the lower portion of the chain gear 420 is accommodated. The flange 430 is configured to contact the side of the driving force conversion unit 300 . When the rotation unit 400 rotates, the flange 430 is rotated in contact with the side surface of the driving force conversion unit 300 to prevent wear or damage to the chain gear 420 .

도 4를 참조하면, 구동력 변환유닛(300)은 고정부(340)를 더 포함할 수 있다. 고정부(340)는 복수의 베어링(320)이 삽입되어 각각의 베어링(320)의 위치를 고정하는 기능을 수행할 수 있다. 베어링(320)은 고정부(340)에 대하여 자유회전 가능하게 삽입된다. 따라서, 베어링(320)의 위치는 고정되면서도 회전유닛(400)을 회전시키는 경우 베어링(320)이 자유회전 가능하게 형성됨으로써 안정적으로 구동될 수 있는 효과를 가진다.Referring to FIG. 4 , the driving force conversion unit 300 may further include a fixing unit 340 . The fixing part 340 may perform a function of fixing the position of each bearing 320 by inserting a plurality of bearings 320 . The bearing 320 is freely rotatably inserted with respect to the fixed part 340 . Accordingly, when the rotation unit 400 is rotated while the position of the bearing 320 is fixed, the bearing 320 is formed to be freely rotatable, so that it can be stably driven.

고정부(340)에는 격벽(341)이 마련될 수 있다. 격벽(341)은 각각의 베어링(320) 사이에 형성되어 구동 시 인접되어 있는 베어링(320) 간의 간섭을 방지할 수 있다. 격벽(341)은 일정 간격으로 형성될 수 있다. 또한, 고정부(340)의 강성을 증가시키고 성형 사출로 제작하는 경우 제조 단가를 낮출 수 있는 효과를 가진다. A partition wall 341 may be provided in the fixing part 340 . The partition wall 341 may be formed between each bearing 320 to prevent interference between adjacent bearings 320 during operation. The partition walls 341 may be formed at regular intervals. In addition, it has the effect of increasing the rigidity of the fixing part 340 and lowering the manufacturing cost when manufactured by molding injection.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 구동력 전달유닛(200)의 제1나사산(210)과 구동력 변환유닛(300)의 제2나사산(311)을 나타낸 도면이다.5 is a view showing a first screw thread 210 and a second screw thread 311 of the driving force conversion unit 300 of the driving force transmitting unit 200 of the precision adjusting device for the rotation angle of the inspection stage according to an embodiment of the present invention. to be.

도 5를 참조하면, 구동력 전달유닛(200)은 외주면에 제1나사산(210)이 형성되고, 브라켓(310)은 내주면에 제2나사산(311)이 형성될 수 있다. 제1나사산(210)과 제2나사산(311)은 서로 접촉되는 부분에 형성되고, 형상이 일치하여 치합관계에 의하여 구동력이 전달될 수 있도록 구성될 수 있다. Referring to FIG. 5 , a first screw thread 210 may be formed on an outer circumferential surface of the driving force transmission unit 200 , and a second screw thread 311 may be formed on an inner circumferential surface of the bracket 310 . The first screw thread 210 and the second screw thread 311 may be formed in a portion in contact with each other, and may have the same shape so that the driving force can be transmitted through the meshing relationship.

구동력 전달유닛(200)이 회전하면서 제1나사산(210)이 회전하면, 제1나사산(210)과 접촉되어 있는 제2나사산(311)이 회전된다. 제2나사산(311)의 회전에 의하 브라켓(310)은 전방 또는 후방으로 이동하는 직선운동을 하게 됨으로써 구동력 변환유닛(300)이 움직이게 된다. 이로써 구동력 전달유닛(200)의 회전운동이 구동력 변환유닛(300)의 직선운동으로 전환될 수 있는 것이다.When the first screw thread 210 rotates while the driving force transmission unit 200 rotates, the second screw thread 311 in contact with the first screw thread 210 is rotated. By the rotation of the second screw thread 311, the bracket 310 performs a linear motion to move forward or backward, so that the driving force conversion unit 300 is moved. Accordingly, the rotational motion of the driving force transmitting unit 200 can be converted into a linear motion of the driving force converting unit 300 .

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 브라켓(310)의 내주면에 형성된 제2나사산(311)에는 복수의 볼(312)이 마련될 수 있다. 복수의 볼(312)은 동일한 형상으로 상호간 접촉되도록 구성될 수 있다. 구동력 변환유닛(300)이 이동하는 경우, 복수의 볼(312)은 제2나사산(311)을 따라서 순차적으로 이동될 수 있다. 복수의 볼(312)이 회전되면서 이동함으로써 구동력 변환유닛(300)이 전후방으로 이동될 때 구동력 전달유닛(200)과의 마찰력에 의한 손상을 방지하는 효과를 가질 수 있다. 따라서, 내구성이 우수한 효과를 가질 수 있다.In addition, as shown in FIG. 5 , a plurality of balls 312 may be provided on the second screw thread 311 formed on the inner circumferential surface of the bracket 310 . The plurality of balls 312 may be configured to contact each other in the same shape. When the driving force conversion unit 300 moves, the plurality of balls 312 may be sequentially moved along the second screw thread 311 . When the plurality of balls 312 are rotated and moved, when the driving force converting unit 300 is moved forward and backward, it may have an effect of preventing damage due to frictional force with the driving force transmitting unit 200 . Therefore, it may have an effect of excellent durability.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검출유닛이 포함된 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검출유닛이 포함된 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치에 있어서, 검출유닛(500)의 모습을 나타낸 도면이다. 6 is a perspective view of an apparatus for precisely adjusting a rotation angle of an inspection stage including a detection unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a rotation angle precision of an inspection stage including a detection unit according to an embodiment of the present invention. In the control device, it is a view showing the state of the detection unit (500).

도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치는 검출유닛(500)을 포함할 수 있다. 검출유닛(500)은 회전 플레이트(410)의 회전 각도를 검출하는 기능을 수행할 수 있다. 검출유닛(500)은 상기 회전 플레이트(410)의 회전 각도가 기 설정된 범위를 벗어나는 것으로 판단될 경우 상기 구동유닛(100)의 구동을 제어하도록 제어신호를 송신할 수 있다Referring to FIG. 6 , an apparatus for precisely adjusting a rotation angle of an inspection stage according to an embodiment of the present invention may include a detection unit 500 . The detection unit 500 may perform a function of detecting the rotation angle of the rotation plate 410 . The detection unit 500 may transmit a control signal to control the driving of the driving unit 100 when it is determined that the rotation angle of the rotation plate 410 is out of a preset range.

본 실시예에서 상기 회전유닛(400)은, 상기 회전 플레이트(410)에 고정되어 상기 회전 플레이트(410)의 회전과 함께 회전되되, 적어도 일부가 상기 회전 플레이트(410)의 외측으로 돌출된 검출부재(240)를 더 포함할 수 있다.In this embodiment, the rotation unit 400 is fixed to the rotation plate 410 and rotates together with the rotation of the rotation plate 410 , at least a part of the detection member protruding to the outside of the rotation plate 410 . (240) may be further included.

구체적으로 상기 검출부재(240)는 상기 회전 플레이트(410)에 고정되는 체결고정부(242)와, 상기 회전 플레이트(410)의 외측으로 돌출되어 상기 검출유닛(500) 방향으로 연장된 연장부(244)를 포함하는 형태를 가진다.Specifically, the detection member 240 includes a fastening fixing part 242 fixed to the rotation plate 410 and an extension part protruding outside the rotation plate 410 and extending in the detection unit 500 direction ( 244).

또한, 상기 검출유닛(500)은, 상기 검출부재(240)의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재(240)를 검출하는 제1검출모듈(510a)과, 상기 검출부재(240)의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재(240)를 검출하는 제2검출모듈(510b)을 포함할 수 있다.In addition, the detection unit 500 includes a first detection module 510a provided on one side of the rotation range of the detection member 240 to detect the detection member 240 , and rotation of the detection member 240 . A second detection module 510b provided on the other side of the range to detect the detection member 240 may be included.

이에 따라 상기 검출유닛(500)은 상기 제1검출모듈(510a)과 상기 제2검출모듈(510b)의 이격 범위 내에서 상기 검출부재(240)가 벗어나는 것을 검출할 수 있으며, 이와 같은 경우 상기 구동유닛(100)의 구동을 제어하도록 제어신호를 송신할 수 있다.Accordingly, the detection unit 500 can detect the deviation of the detection member 240 within the separation range between the first detection module 510a and the second detection module 510b. In this case, the driving A control signal may be transmitted to control the operation of the unit 100 .

또한 상기 제1검출모듈(510a)과 상기 제2검출모듈(510b)은 상기 검출부재(240)의 이동 궤적을 중심으로 상하 이격된 상부검출부(512) 및 하부검출부(514)를 포함할 수 있다.In addition, the first detection module 510a and the second detection module 510b may include an upper detection unit 512 and a lower detection unit 514 spaced apart from each other with respect to the movement trajectory of the detection member 240 . .

그리고 상기 상부검출부(512) 및 상기 하부검출부(514) 중 어느 하나에는 빛을 송출하는 광 송출부(515a)가 형성될 수 있으며, 나머지 하나에는 상기 광 송출부(515a)로부터 송출된 빛을 수신하는 광 수신부(515b)가 형성될 수 있다.In addition, a light transmitting unit 515a for emitting light may be formed in any one of the upper detecting unit 512 and the lower detecting unit 514, and the other one receiving the light transmitted from the light transmitting unit 515a. A light receiving unit 515b may be formed.

즉 상기 상부검출부(512) 및 상기 하부검출부(514)는 상기 검출부재(240)가 상기 광 송출부(515a)와 상기 광 수신부(515b) 사이에 위치되어 빛의 이동 경로를 차단하게 됨에 따라 상기 검출부재(240)의 위치를 파악할 수 있게 되며, 이를 통해 상기 회전 플레이트(410)의 회전 각도를 검출할 수 있게 된다.That is, in the upper detection unit 512 and the lower detection unit 514, the detection member 240 is positioned between the light transmitting unit 515a and the light receiving unit 515b to block the movement path of light. The position of the detection member 240 can be grasped, and the rotation angle of the rotation plate 410 can be detected through this.

본 발명에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절 장치는 통신 연결을 위한 통신 포트를 포함할 수 있다. 통신 포트를 통하여 사용자 단말기에 의해 작동되어 회전유닛(400)을 제어하도록 구성될 수 있다.The apparatus for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage according to the present invention may include a communication port for communication connection. It may be configured to be operated by a user terminal through a communication port to control the rotation unit 400 .

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.As described above, preferred embodiments according to the present invention have been described, and the fact that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the present invention in addition to the above-described embodiments is a fact having ordinary skill in the art. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be regarded as illustrative rather than restrictive, and accordingly, the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and their equivalents.

100 : 구동유닛
110 : 구동모터
111: 회전축
200 : 구동력 전달유닛
210 : 제1나사산
240 : 검출부재
300 : 구동력 변환유닛
310 : 브라켓
311 : 제2나사산
312 : 볼
320 : 베어링
330 : LM 가이드
340 : 고정부
341 : 격벽
400 : 회전유닛
410 : 회전 플레이트
420 : 체인기어
430 : 플랜지
500 : 검출유닛
510a : 제1검출모듈
510b : 제2검출모듈100: drive unit
110: drive motor
111: rotation axis
200: driving force transmission unit
210: first thread
240: detection member
300: driving force conversion unit
310: bracket
311: second thread
312: ball
320: bearing
330: LM guide
340: fixed part
341: bulkhead
400: rotation unit
410: rotating plate
420: chain gear
430: flange
500: detection unit
510a: first detection module
510b: second detection module

Claims (13)

회전 구동력을 발생시키는 구동유닛;
상기 구동유닛의 회전중심에 연결되어 구동력에 의하여 회전되는 구동력 전달유닛;
상기 구동력 전달유닛 상에서 이동 가능하게 연결되어 상기 구동력 전달유닛이 회전되면 회전 방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동됨으로써 회전운동을 직선운동으로 변환하는 브라켓 및 상기 브라켓의 측면에 복수의 베어링이 형성된 구동력 변환유닛; 및
상기 구동력 변환유닛과 접하여 위치되고, 상기 구동력 변환유닛이 이동되면 상기 베어링과 치합관계에 의하여 상기 구동력 변환유닛의 이동방향, 이동거리에 따라 회전방향, 회전각도가 조절되면서 회전되는 회전유닛;
을 포함하며,

상기 복수의 베어링은,
캠팔로워(camfollower)로서, 제자리에서 자유회전이 가능하게 구성되어 상기 회전유닛과 접촉 시 손상이 방지되고,

상기 회전유닛은,
제자리에서 회전 가능하게 형성된 회전 플레이트 및 상기 회전 플레이트의 하부에 연결되고 외주면에 복수의 톱니가 형성된 체인기어로 구성된 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
a driving unit for generating rotational driving force;
a driving force transmission unit connected to the rotation center of the driving unit and rotated by a driving force;
A bracket that is movably connected on the driving force transmission unit and converts rotational motion into linear motion by moving forward or backward according to the rotational direction when the driving force transmission unit is rotated, and a driving force conversion unit having a plurality of bearings formed on the side of the bracket ; and
a rotation unit positioned in contact with the driving force converting unit and rotating while the driving force converting unit is moved while the rotation direction and the rotation angle are adjusted according to the moving direction and the moving distance of the driving force converting unit by a meshing relationship with the bearing;
includes,

The plurality of bearings ,
As a cam follower , it is configured to be able to rotate freely in place to prevent damage when in contact with the rotating unit,

The rotation unit is
A rotation angle precision adjusting device of an inspection stage, characterized in that it consists of a rotation plate rotatably formed in place and a chain gear connected to a lower portion of the rotation plate and formed with a plurality of teeth on an outer circumferential surface.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 구동력 변환유닛은,
상기 구동력 변환유닛이 전방 또는 후방으로 이동되면서 상기 베어링이 상기 체인기어의 톱니에 순차적으로 맞물려 상기 체인기어를 회전시킴으로써 상기 회전 플레이트가 회전되는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
According to claim 1,
The driving force conversion unit ,
The rotation angle precision adjusting device of the inspection stage, characterized in that the rotation plate is rotated by rotating the chain gear by sequentially engaging the bearings with the teeth of the chain gear while the driving force converting unit is moved forward or backward.
 제1항에 있어서,
상기 회전유닛은,
상기 체인기어의 하부가 수용되는 플랜지를 더 포함하고,
상기 플랜지는,
상기 구동력 변환유닛의 측면에 접촉되어 회전되는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
According to claim 1,
The rotation unit is
Further comprising a flange in which the lower portion of the chain gear is accommodated,
The flange is
A device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage, characterized in that it is rotated in contact with the side surface of the driving force conversion unit .
 제1항에 있어서,
상기 구동력 전달유닛은,
외주면에 제1나사산이 형성되고,
상기 브라켓은,
상기 구동력 전달유닛의 제1나사산과 접촉되는 내주면에 상기 구동력 전달유닛의 제1나사산과 치합되는 제2나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
According to claim 1,
The driving force transmission unit ,
A first screw thread is formed on the outer circumferential surface,
The bracket is
A device for precisely adjusting the rotation angle of the inspection stage, characterized in that a second screw thread meshing with the first screw thread of the driving force transmission unit is formed on an inner circumferential surface of the driving force transmission unit in contact with the first screw thread.
 제6항에 있어서,
상기 제2나사산에는,
상호간 접촉되는 복수의 볼이 마련되고, 상기 구동력 변환유닛의 이동 시 상기 볼이 이동되는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
7. The method of claim 6,
In the second screw thread ,
A plurality of balls in contact with each other are provided, and the rotation angle precision adjustment device of the inspection stage, characterized in that the balls are moved when the driving force conversion unit is moved.
 제1항에 있어서,According to claim 1,
상기 구동유닛, 상기 구동력 전달유닛 및 상기 브라켓의 of the driving unit, the driving force transmitting unit, and the bracket. 중심이 일치concentric 하는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.A precision adjustment device for the rotation angle of the inspection stage, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 구동력 변환유닛은,
상기 복수의 베어링이 삽입되어 각각의 베어링의 위치를 고정하되 상기 복수의 베어링이 자유회전 가능하도록 연결된 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
According to claim 1,
The driving force conversion unit ,
The plurality of bearings are inserted to fix the positions of the respective bearings, but the apparatus further comprises a fixing part connected to allow the plurality of bearings to rotate freely.
 제9항에 있어서,
상기 고정부는 상기 복수의 베어링의 하부가 서로 간섭되지 않도록 격벽이 형성된 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
10. The method of claim 9,
The fixing unit is a rotation angle precision adjusting device of the inspection stage, characterized in that the partition wall is formed so that the lower portions of the plurality of bearings do not interfere with each other.
 제1항에 있어서,
상기 구동력 변환유닛은,
상기 브라켓이 직선운동하는 경로를 제공하도록 상기 브라켓의 하부와 접촉하는 LM(Linear Mortion) 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.
According to claim 1,
The driving force conversion unit ,
The precision adjusting device of the rotation angle of the inspection stage, characterized in that it further comprises an LM (Linear Motion) guide in contact with the lower portion of the bracket to provide a path for the bracket to linearly move.
 제1항에 있어서,
상기 회전유닛의 회전 각도를 검출하는 검출유닛;
을 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.According to claim 1,
a detection unit for detecting a rotation angle of the rotation unit ;
A precision adjustment device for the rotation angle of the inspection stage further comprising a. 제12항에 있어서,
상기 회전유닛은 적어도 일부가 외측으로 돌출된 검출부재를 더 포함하고,
상기 검출유닛은,
상기 검출부재의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제1검출모듈; 및
상기 검출부재의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제2검출모듈;
을 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀 조절장치.

13. The method of claim 12,
The rotation unit further includes a detection member , at least a part of which protrudes outward,
The detection unit is
a first detection module provided on one side of the rotation range of the detection member to detect the detection member; and
a second detection module provided on the other side of the rotation range of the detection member to detect the detection member;
A precision adjustment device for the rotation angle of the inspection stage comprising a.
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