KR102446448B1 - Method for fabricating mask frame and Method for fabricating mask assembly - Google Patents

Abstract

A method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same are disclosed. According to the present invention, the method for manufacturing a mask frame comprises: a step of performing a first cutting process from a parent material having a plate-shaped structure and forming a first frame in a square edge structure; a step of performing a second cutting process from a cut material corresponding to an opening area of the first frame and separated from the cut parent material and forming a first cut member and a second cut member; a step of bonding the first cut member and the second cut member and forming a second frame in a square edge structure; and a step of respectively performing a mask processing process for the first frame and the second frame and manufacturing a first mask frame and a second mask frame. The present invention is able to reduce the loss of material.

Description

마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법{Method for fabricating mask frame and Method for fabricating mask assembly}Mask frame manufacturing method and mask assembly manufacturing method using same {Method for fabricating mask frame and Method for fabricating mask assembly}

본 발명은 표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 및 마스크 조립체에 관한 것이다. 보다 자세하게는, 압연판재로부터 복수의 마스크 프레임을 제작할 수 있는 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame and a mask assembly for thin film deposition of a display device. More particularly, it relates to a method of manufacturing a mask frame capable of manufacturing a plurality of mask frames from a rolled sheet material, and a method of manufacturing a mask assembly using the same.

최근에는 영상 디스플레이를 위한 표시장치로 유기발광 표시장치(OLED: Organic Light Emitting Diode), LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 평판형 표시장치가 널리 사용되고 있다. 본 명세서에서는 유기발광 표시장치(OLED)를 중심으로 발명을 설명하지만, 평판형 표시장치 분야에는 모두 적용될 수 있다.Recently, flat panel display devices such as organic light emitting diodes (OLEDs) and liquid crystal displays (LCDs) have been widely used as display devices for image display. In this specification, the invention is mainly described with respect to an organic light emitting diode display (OLED), but it can be applied to all flat panel display devices.

유기발광 표시장치(OLED)는 유기물질의 전계발광 현상을 이용하여 자체 발광하는 표시장치로서, 전극으로부터 전자(electron)와 홀(hole)이 주입되고 이들이 여기상태를 거쳐 다시 재결합하는 과정에서 발광되는 원리를 이용한다.An organic light emitting display device (OLED) is a display device that emits light by using the electroluminescence phenomenon of an organic material. Electrons and holes are injected from an electrode, and they emit light in the process of recombination through an excited state. use the principle

유기발광 표시장치는 플렉시블(flexible) 기판 상에 유기물질 또는 무기물질을 박막 형태로 형성한 후, 패터닝하는 과정을 반복하는 방식으로 제조된다.The organic light emitting display device is manufactured by repeating a patterning process after forming an organic material or an inorganic material in the form of a thin film on a flexible substrate.

이와 같이, 유기발광 표시장치 제조 공정에서는 유기물질 또는 무기물질을 기판 상에 증착하기 위해 마스크 조립체를 사용한다. 마스크 조립체는 금속 시트에 개구 영역들이 격자 구조로 형성된 메탈 마스크와 메탈 마스크를 지지하는 마스크 프레임을 포함한다. 메탈 마스크는 TV, PC, 스마트폰 등의 디스플레이와 대응되는 셀 영역 크기의 개구영역들이 형성된 오픈 메탈 마스크(OMM: Open Metal Mask)와 셀 영역 내의 각 화소 영역들과 대응되도록 미세 개구 영역들이 형성된 미세 메탈 마스크(FFM: Fine Metal Mask)로 구분될 수 있다.As described above, in the organic light emitting display device manufacturing process, a mask assembly is used to deposit an organic material or an inorganic material on a substrate. The mask assembly includes a metal mask in which opening regions are formed in a grid structure on a metal sheet, and a mask frame supporting the metal mask. The metal mask is an open metal mask (OMM) in which opening regions the size of a cell region corresponding to the display of a TV, PC, smartphone, etc. are formed, and a microscopic opening region in which fine opening regions are formed to correspond to each pixel region in the cell region. It may be classified into a fine metal mask (FFM).

메탈 마스크는 얇은 금속 시트로 형성되기 때문에 고정 및 처짐 방지를 위해 마스크 프레임에 고정된다. 기판 상에 박막을 형성하는 방법은 유기물질 또는 무기물질을 메탈 마스크의 개구 영역 또는 미세 개구 영역에 통과시시켜 기판 상에 형성한다.Since the metal mask is formed from a thin metal sheet, it is fixed to the mask frame for fixing and preventing sagging. In the method of forming a thin film on a substrate, an organic material or an inorganic material is passed through an opening region or a fine opening region of a metal mask to form on the substrate.

따라서, 마스크 프레임은 메탈 마스크의 개구 영역들 또는 미세 개구 영역들과 대응되는 영역에 개구부가 형성된 사각테 구조로 형성된다.Accordingly, the mask frame is formed in a rectangular frame structure in which openings are formed in regions corresponding to the opening regions or the fine opening regions of the metal mask.

종래 기술에 따른 마스크 프레임은 특허문헌 1(대한민국 등록특허 10-0721564호(2007.05.17.))과 같이 니켈을 포함하는 압연판재를 사각테 구조로 절단하여 제조하거나 특허문헌 2(대한민국 공개특허 10-2016-0146105)와 같이 원주형 잉곳을 롤러를 이용하여 링(ring) 구조를 제조한 후, 이를 사각테 형태로 제조하는 단조 작업으로 제조한다.The mask frame according to the prior art is manufactured by cutting a rolled plate material containing nickel into a square frame structure as in Patent Document 1 (Republic of Korea Patent No. 10-0721564 (2007.05.17.)) or Patent Document 2 (Korean Patent Publication No. 10). -2016-0146105), a cylindrical ingot is manufactured by a forging operation of manufacturing a ring structure using a roller, and then manufacturing it in the form of a square frame.

하지만, 특허문헌 1과 같은 종래 기술은 압연판재에 직사각형 개구부를 갖도록 절단 공정을 진행하기 때문에 제조 시간은 비교적 빠르나 개구부와 대응되는 압연판재가 제거되기 때문에 소재 손실이 크다는 단점이 있다.However, in the prior art such as Patent Document 1, since the cutting process is performed to have a rectangular opening in the rolled sheet, the manufacturing time is relatively fast, but there is a disadvantage in that the material loss is large because the rolled sheet corresponding to the opening is removed.

또한, 특허문헌 2와 같이, 가열된 원주형 잉곳을 단조 가공으로 마스크 프레임을 제조하는 경우는 원주형 잉곳을 롤러에 의한 단조 가공으로 링 구조로 제작한 후, 다시 내부 원형 개구부를 직사각형 형태로 단조 가공해야 하기 때문에 제조 공정이 복잡하고 제조 공정에 오랜 시간이 소요되는 문제가 있다.In addition, as in Patent Document 2, in the case of manufacturing a mask frame by forging a heated cylindrical ingot, the cylindrical ingot is manufactured into a ring structure by forging with a roller, and then the inner circular opening is forged into a rectangular shape again. Since it has to be processed, the manufacturing process is complicated and the manufacturing process takes a long time.

대한민국 등록특허 10-0721564호(2007.05.17.)Republic of Korea Patent Registration No. 10-0721564 (2007.05.17.) 대한민국 공개특허 10-2016-0146105(2016.12.21.)Republic of Korea Patent Publication 10-2016-0146105 (2016.12.21.)

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the problems of the prior art as described above, and a method for manufacturing a mask frame that minimizes material loss by manufacturing a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled plate, and manufacturing a mask assembly using the same The purpose is to provide a method.

또한, 본 발명은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, in the present invention, the first frame for the first mask frame is manufactured by cutting the base material, and the cutting material separated from the base material together with the first frame is separated into the first and second cutting members, and then they are joined to An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a mask frame capable of additionally manufacturing a second mask frame, and a method for manufacturing a mask assembly using the same.

또한, 본 발명은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, in the present invention, the first frame for the first mask frame is manufactured by cutting the base material, the cutting material separated from the base material together with the first frame is separated into a plurality of cutting members, and then they are joined to form a plurality of masks An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a mask frame capable of additionally manufacturing the frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same.

또한, 본 발명은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention separates the cutting material separated from the base material into a plurality of cutting members and forms a plurality of fastening patterns on the cross section in the bonding area to which they are joined to obtain the vertical and horizontal support power of the mask frame manufactured by the bonding process. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a reinforced mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same.

또한, 본 발명은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention provides a mask frame with improved bonding characteristics by arranging a bonding guide part in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other so that bonding is performed while the electron beam intensity irradiated by the cutting members for bonding is sufficiently maintained in the bonding area. An object of the present invention is to provide a method and a method for manufacturing a mask assembly using the same.

다만, 본 발명 및 본 발명의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical problems to be achieved by the present invention and embodiments of the present invention are not limited to the technical problems as described above, and other technical problems may exist.

전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 판형 구조를 갖는 모재로부터 제1 절단 공정을 진행하여 사각테 구조의 제1 프레임을 형성하는 단계; 상기 제1 프레임의 개구 영역과 대응하고 절단된 모재로부터 분리된 절단재로부터 제2 절단 공정을 진행하여 제1 및 제2 절단부재를 형성하는 단계; 상기 제1 및 제2 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계; 및 상기 제1 프레임 및 제2 프레임에 대해 각각 마스크 가공 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임과 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계를 포함한다.The method for manufacturing a mask frame of the present invention for solving the problems of the prior art described above includes the steps of forming a first frame of a rectangular frame structure by performing a first cutting process from a base material having a plate-shaped structure; forming first and second cutting members by performing a second cutting process from the cutting material that corresponds to the opening region of the first frame and is separated from the cut base material; forming a second frame having a rectangular frame structure by bonding the first and second cutting members; and manufacturing a first mask frame and a second mask frame by performing a mask processing process on the first frame and the second frame, respectively.

또한, 본 발명의 마스크 제조방법은, 상기 제1 절단부재는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 수직한 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부 사이에 배치된 제1 밴드부를 포함하며, 상기 제2 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제3 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제4 지지부 및 상기 제3 및 제4 지지부 사이에 배치된 제2 밴드부를 포함하고, 상기 제2 프레임을 형성하는 단계는, 상기 제1 절단부재와 제2 절단부재를 사각테 형태로 배치하는 단계; 상기 제1 및 제2 절단부재가 서로 마주하는 제1 및 2 접합영역에 각각 제1 및 제2 접합 가이드부를 배치하는 단계; 및 상기 제1 및 제2 접합영역은 제2 프레임의 대각선 방향에 평행하도록 형성되고, 상기 제1 및 제2 접합영역에 전자빔을 조사하여 상기 제1 및 제2 접합영역에 위치한 제1 및 제2 절단부재를 서로 접합하는 단계를 포함한다.In addition, in the mask manufacturing method of the present invention, the first cutting member includes a first support portion, a second support portion perpendicular to the first support portion, and a first band portion disposed between the first and second support portions, The second cutting member includes a third support portion parallel to the first support portion, a fourth support portion parallel to the second support portion, and a second band portion disposed between the third and fourth support portions, and the second Forming the frame may include disposing the first cutting member and the second cutting member in a rectangular frame shape; disposing first and second bonding guide portions in first and second bonding regions where the first and second cutting members face each other; and the first and second junction regions are formed to be parallel to a diagonal direction of a second frame, and first and second junction regions positioned in the first and second junction regions by irradiating electron beams to the first and second junction regions and bonding the cutting members to each other.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법의 상기 제1 절단부재와 제2 절단부재를 사각테 형태로 배치하는 단계는, 상기 제1 절단부재의 제1 지지부 가장자리 경사면과 상기 제2 절단부재의 제4 지지부 가장자리 경사면이 서로 마주하고, 상기 제1 절단부재의 제2 지지부 가장자리 경사면과 상기 제2 절단부재의 제3 지지부 가장자리 경사면이 서로 마주하도록 배치하는 단계를 포함한다.In addition, the step of disposing the first cutting member and the second cutting member in the form of a square frame of the mask frame manufacturing method of the present invention, the first support portion edge inclined surface of the first cutting member and the fourth of the second cutting member and disposing the support edge inclined surfaces to face each other, and the second support edge inclined surface of the first cutting member and the third support edge inclined surface of the second cutting member to face each other.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 및 제2 절단부재의 제1 내지 제4 지지부 중 마주하는 지지부들의 경사면에는 서로 체결될 수 있도록 요철패턴으로 구성된 제1 체결부 및 제2 체결부를 선택적으로 형성하고, 상기 제1 체결부의 요철패턴 또는 상기 제2 체결부의 요철패턴은 상기 제1 내지 제4 지지부 가장자리 경사면의 상측과 하측에 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, a first fastening part and a second fastening part configured in a concave-convex pattern to be fastened to each other on inclined surfaces of the opposing support parts among the first to fourth support parts of the first and second cutting members. The portion is selectively formed, and the concave-convex pattern of the first fastening part or the concave-convex pattern of the second fastening part is formed above and below the inclined surfaces of the edges of the first to fourth support parts.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 및 제2 절단부재의 제1 내지 제4 지지부 중 마주하는 지지부들의 경사면에는 적어도 하나 이상의 돌출된 고정돌기로 구성된 제3 체결부 및 적어도 하나 이상의 함몰된 고정홈으로 구성된 제4 체결부를 선택적으로 형성하고, 상기 제1 및 제2 접합영역에 전자빔을 조사하여 상기 제1 및 제2 접합영역에 위치한 제1 및 제2 절단부재를 서로 접합하는 단계는, 상기 전자빔을 상기 제1 및 제2 접합영역에 각각 배치된 상기 제1 또는 제2 접합 가이드부에서부터 상기 제1 또는 제2 접합영역 및 상기 제2 또는 제1 접합 가이드부 순서로 조사하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, a third fastening part composed of at least one protruding fixing protrusion and at least one or more on the inclined surfaces of the opposing supports among the first to fourth support parts of the first and second cutting members. selectively forming a fourth fastening part composed of a recessed fixing groove, and irradiating an electron beam to the first and second junction regions to bond the first and second cutting members positioned in the first and second junction regions to each other irradiating the electron beam from the first or second bonding guide portion disposed in the first and second bonding regions, respectively, to the first or second bonding region and the second or first bonding guide portion in order characterized.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 접합 가이드부는 상기 제1 절단부재와 일체로 형성하고, 상기 제2 접합 가이드부는 상기 제2 절단부재와 일체로 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first bonding guide part is integrally formed with the first cutting member, and the second bonding guide part is integrally formed with the second cutting member.

또한, 본 발명의 마스크 조립체 제조 방법은, 판형 구조를 갖는 모재로부터 제1 절단 공정을 진행하여 사각테 구조의 제1 프레임을 형성하는 단계; 상기 제1 프레임의 개구 영역과 대응하고 절단된 모재로부터 분리된 절단재로부터 제2 절단 공정을 진행하여 제1 및 제2 절단부재를 형성하는 단계; 상기 제1 및 제2 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계; 상기 제1 프레임 및 제2 프레임에 대해 각각 마스크 가공 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임과 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계; 상기 제1 마스크 프레임과 제2 마스크 프레임에 각각 메탈 마스크를 체결하여 제1 마스크 조립체와 제2 마스크 조립체를 형성하는 단계를 포함한다.In addition, the mask assembly manufacturing method of the present invention comprises the steps of: forming a first frame having a rectangular frame structure by performing a first cutting process from a base material having a plate-shaped structure; forming first and second cutting members by performing a second cutting process from the cutting material that corresponds to the opening region of the first frame and is separated from the cut base material; forming a second frame having a rectangular frame structure by bonding the first and second cutting members; manufacturing a first mask frame and a second mask frame by performing a mask processing process on the first frame and the second frame, respectively; and forming a first mask assembly and a second mask assembly by fastening a metal mask to the first mask frame and the second mask frame, respectively.

또한, 본 발명의 마스크 조립체 제조 방법은, 상기 제1 절단부재는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 수직한 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부 사이에 배치된 제1 밴드부를 포함하고, 상기 제2 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제3 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제4 지지부 및 상기 제3 및 제4 지지부 사이에 배치된 제2 밴드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the mask assembly manufacturing method of the present invention, the first cutting member includes a first support portion, a second support portion perpendicular to the first support portion, and a first band portion disposed between the first and second support portions, , The second cutting member comprises a third support portion parallel to the first support portion, a fourth support portion parallel to the second support portion, and a second band portion disposed between the third and fourth support portions do.

또한, 본 발명의 마스크 조립체 제조 방법의 상기 제2 프레임을 형성하는 단계는, 상기 제1 절단부재와 제2 절단부재를 사각테 형태로 배치하는 단계; 상기 제1 및 제2 절단부재가 서로 마주하는 제1 및 2 접합영역에 각각 제1 및 제2 접합 가이드부를 배치하는 단계; 및 상기 제1 및 제2 접합영역은 제2 프레임의 대각선 방향에 평행하도록 형성되고, 상기 제1 및 제2 접합영역에 전자빔을 조사하여 상기 제1 및 제2 접합영역에 위치한 제1 및 제2 절단부재를 서로 접합하여 제2 프레임을 형성하는 단계를 포함한다.In addition, the step of forming the second frame of the mask assembly manufacturing method of the present invention comprises: disposing the first cutting member and the second cutting member in the form of a square frame; disposing first and second bonding guide portions in first and second bonding regions where the first and second cutting members face each other; and the first and second junction regions are formed to be parallel to a diagonal direction of a second frame, and first and second junction regions positioned in the first and second junction regions by irradiating electron beams to the first and second junction regions and bonding the cutting members to each other to form a second frame.

또한, 본 발명의 마스크 조립체 제조 방법의 상기 제1 절단부재와 제2 절단부재를 사각테 형태로 배치하는 단계는, 상기 제1 절단부재의 제1 지지부 가장자리 경사면과 상기 제2 절단부재의 제4 지지부 가장자리 경사면이 서로 마주하고, 상기 제1 절단부재의 제2 지지부 가장자리 경사면과 상기 제2 절단부재의 제3 지지부 가장자리 경사면이 서로 마주하도록 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of arranging the first cutting member and the second cutting member in the form of a square frame of the method for manufacturing a mask assembly of the present invention includes the first support portion inclined surface of the first cutting member and the fourth of the second cutting member It characterized in that it comprises the step of disposing the support edge inclined surface facing each other, the second support portion edge inclined surface of the first cutting member and the third support portion edge inclined surface of the second cutting member to face each other.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 판형 구조를 갖는 모재로부터 제1 절단 공정을 진행하여 사각테 구조의 제1 프레임을 형성하는 단계; 상기 제1 프레임의 개구 영역과 대응하고 절단된 모재로부터 분리된 절단재로부터 제2 절단 공정을 진행하여 제1 내지 제4 절단부재를 형성하는 단계; 상기 제1 내지 제4 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계; 및 상기 제1 프레임 및 제2 프레임에 대해 각각 마스크 가공 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임과 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계를 포함한다.In addition, the mask frame manufacturing method of the present invention comprises the steps of: forming a first frame having a rectangular frame structure by performing a first cutting process from a base material having a plate-shaped structure; forming first to fourth cutting members by performing a second cutting process from the cutting material that corresponds to the opening region of the first frame and is separated from the cut base material; forming a second frame having a rectangular frame structure by bonding the first to fourth cutting members; and manufacturing a first mask frame and a second mask frame by performing a mask processing process on the first frame and the second frame, respectively.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 절단부재는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 수직한 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부 사이에 배치된 제1 밴드부를 포함하며, 상기 제2 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제4 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제3 지지부 및 상기 제3 및 제4 지지부 사이에 배치된 제2 밴드부를 포함하고, 상기 제3 절단부재는 상기 제2 지지부와 평행한 제5 지지부와, 상기 제1 지지부와 평행한 제6 지지부 및 상기 제5 및 제6 지지부 사이에 배치된 제3 밴드부를 포함하며, 상기 제4 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제8 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제7 지지부 및 상기 제7 및 제8 지지부 사이에 배치된 제4 밴드부를 포함한다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first cutting member includes a first support portion, a second support portion perpendicular to the first support portion, and a first band portion disposed between the first and second support portions, , The second cutting member includes a fourth support portion parallel to the first support portion, a third support portion parallel to the second support portion, and a second band portion disposed between the third and fourth support portions, The third cutting member includes a fifth support portion parallel to the second support portion, a sixth support portion parallel to the first support portion, and a third band portion disposed between the fifth and sixth support portions, and the fourth cutting member includes an eighth support portion parallel to the first support portion, a seventh support portion parallel to the second support portion, and a fourth band portion disposed between the seventh and eighth support portions.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법의 제2 프레임을 형성하는 단계는, 상기 제1 내지 제4 절단부재의 제1 내지 제4 밴드부가 상기 제2 프레임의 4 모서리에 각각 위치하도록 배치하는 단계를 포함한다.In addition, the step of forming the second frame of the mask frame manufacturing method of the present invention comprises the steps of arranging the first to fourth band portions of the first to fourth cutting members so as to be positioned at the four corners of the second frame, respectively. include

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 내지 제4 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계는, 상기 제1 절단부재의 제1 지지부와 상기 제4 절단부재의 제8 지지부를 마주하도록 배치하여 제1 접합영역을 형성하는 단계와, 상기 제1 절단부재의 제2 지지부와 상기 제2 절단부재의 제3 지지부를 마주하도록 배치하여 제2 접합영역을 형성하는 단계와, 상기 제3 절단부재의 제5 지지부와 상기 제4 절단부재의 제7 지지부를 마주하도록 배차하여 제3 접합영역을 형성하는 단계와, 상기 제2 절단부재의 제4 지지부와 상기 제3 절단부재의 제6 지지부를 마주하도록 배치하여 제4 접합영역을 형성하는 단계를 포함한다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the step of bonding the first to fourth cutting members to form a second frame having a rectangular frame structure includes the first support portion of the first cutting member and the fourth cutting member Forming a first bonding area by arranging the eighth support portion of the to face, and forming a second bonding area by disposing the second support portion of the first cutting member and the third support portion of the second cutting member to face each other Step, distributing the fifth support portion of the third cutting member and the seventh support portion of the fourth cutting member to face each other to form a third bonding region, and the fourth support portion of the second cutting member and the third and forming a fourth bonding region by disposing the sixth support portion of the cutting member to face each other.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 상기 제1 내지 제4 접합영역 각각에는 한쌍의 제1 및 제2 접합 가이드부를 배치하는 단계를 포함한다.In addition, the method of manufacturing a mask frame of the present invention includes disposing a pair of first and second bonding guides in each of the first to fourth bonding regions.

본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.The mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention have the effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

다만, 본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있다.However, the effects obtainable in the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned can be clearly understood from the description below.

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임에 박막 증착용 미세 메탈 마스크가 조립된 미세 메탈 마스크 조립체를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임에 박막 증착용 오픈 메탈 마스크가 조립된 오픈 마스크 조립체를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임의 제조 공정을 나타내는 플로챠트이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 수행하는 마스크 가공 공정을 나타내는 플로챠트이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 공정을 나타내는 플로챠트이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제1 절단 공정과 제2 절단 공정을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제2 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 7의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정 중 전자빔 접합 공정을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 사용되는 전자빔의 특성을 나타내는 그래프이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제조되는 제1 및 제2 절단부재의 가장자리 영역의 단면 구조를 도시한 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 실시예에 따라 제1 및 제2 절단부재 가장자리 단면 구조에 따라 수평 지지력과 수직 지지력이 증가하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제2 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 15 내지 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 절단부재들의 접합 단면에 대한 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 18 및 도 19는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 절단부재에 접합 가이드부가 일체로 형성된 다른 실시예를 나타내는 도면이다.
도 20a 및 도 20b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 21은 도 20a 및 도 20b의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임의 구조를 도시한 도면이다.1 is a perspective view illustrating a fine metal mask assembly in which a fine metal mask for thin film deposition is assembled on a mask frame manufactured according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating an open mask assembly in which an open metal mask for thin film deposition is assembled to a mask frame manufactured according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a mask frame according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a mask processing process performed in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating a process for manufacturing a mask assembly according to an embodiment of the present invention.
6A and 6B are views illustrating a first cutting process and a second cutting process in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining a second frame manufacturing process in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an enlarged view of area A of FIG. 7 .
9 is a view illustrating an electron beam bonding process during a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
10 is a graph illustrating characteristics of an electron beam used in a process of manufacturing a mask frame according to an embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating a cross-sectional structure of edge regions of first and second cutting members manufactured in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
12 and 13 are views for explaining the principle of increasing the horizontal support force and the vertical support force according to the cross-sectional structure of the first and second cutting member edge according to an embodiment of the present invention.
14 is a view for explaining a second frame manufacturing process in a mask frame manufacturing process according to another embodiment of the present invention.
15 to 17 are views showing various embodiments of the bonding cross-sections of cutting members in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
18 and 19 are views illustrating another embodiment in which a bonding guide part is integrally formed with a cutting member in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
20A and 20B are diagrams for explaining a mask frame manufacturing process according to another embodiment of the present invention.
21 is a diagram illustrating a structure of a mask frame manufactured according to the embodiment of FIGS. 20A and 20B .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method for achieving them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms. In the following embodiments, terms such as first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one component from another, not in a limiting sense. Also, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, terms such as include or have means that the features or components described in the specification are present, and do not preclude the possibility that one or more other features or components will be added. In addition, in the drawings, the size of the components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when described with reference to the drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. .

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임에 박막 증착용 미세 메탈 마스크가 조립된 미세 메탈 마스크 조립체를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임에 박막 증착용 오픈 메탈 마스크가 조립된 오픈 마스크 조립체를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a fine metal mask assembly in which a fine metal mask for thin film deposition is assembled on a mask frame manufactured according to an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view illustrating an open mask assembly in which an open metal mask for thin film deposition is assembled to a mask frame manufactured according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 유기발광 표시장치(OLED)의 박막 형성을 위한 마스크 조립체는 미세 메탈 마스크 조립체(FMA)와 오픈 마스크 조립체(OMA)로 구분할 수 있다. 미세 메탈 마스크 조립체(FMA)와 오픈 마스크 조립체(OMA)는 각각 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임(MF)을 포함한다.1 and 2 , a mask assembly for forming a thin film of an organic light emitting diode display (OLED) may be divided into a fine metal mask assembly (FMA) and an open mask assembly (OMA). Each of the fine metal mask assembly FMA and the open mask assembly OMA includes a mask frame MF manufactured according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 미세 메탈 마스크 조립체(FMA)는, 복수의 스틱 마스크들로 구성된 미세 메탈 마스크(FMM)와, 미세 메탈 마스크(FMM)를 지지하는 지지 마스크(SM)와, 미세 메탈 마스크(FMM)와 지지 마스크(SM)를 고정 및 지지하는 마스크 프레임(MF)을 포함한다. 전술한 바와 같이, 미세 메탈 마스크(FMM)는 유기발광 표시장치(OLED)의 디스플레이 영역에 배치되는 각각의 화소(Pixel)와 대응되는 미세 개구 패턴들이 형성된 구조를 갖는다(미도시).Referring to FIG. 1 , the fine metal mask assembly FMA includes a fine metal mask FMM composed of a plurality of stick masks, a support mask SM supporting the fine metal mask FMM, and a fine metal mask ( FMM) and a mask frame MF for fixing and supporting the support mask SM. As described above, the fine metal mask FMM has a structure in which fine opening patterns corresponding to each pixel disposed in the display area of the organic light emitting diode display (OLED) are formed (not shown).

일반적으로 유기발광 표시장치(OLED)는 표시영역에 복수의 화소들이 배치되고, 각 화소 영역에는 자발광 소자인 유기발광 다이오드가 배치된다. 유기발광 다이오드는 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 유기발광층(EL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)으로 포함한다. 또한, 특정 파장의 광을 발생시키는 유기발광층(EML)은 각 화소 영역에만 형성되고, 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)은 기판의 셀 영역(표시영역) 전체에 형성된다.In general, in an organic light emitting diode display (OLED), a plurality of pixels are disposed in a display area, and an organic light emitting diode, which is a self-light emitting device, is disposed in each pixel area. The organic light emitting diode includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an organic light emitting layer (EL), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL), and a cathode layer (Cathod). In addition, the organic light emitting layer (EML) for generating light of a specific wavelength is formed only in each pixel area, and a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL), and a cathode layer (Cathod) is formed over the entire cell area (display area) of the substrate.

따라서, 유기발광 표시장치의 유기발광층(EML)을 기판 상에 증착할 때는 도 1에 도시한 미세 개구 패턴들이 형성된 미세 메탈 마스크(FMM)를 사용하고, 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)을 기판 상에 증착할 때는 도 2에 도시한 오픈 메탈 마스크(OMM)를 사용한다.Accordingly, when the organic light emitting layer (EML) of the organic light emitting display device is deposited on the substrate, the fine metal mask (FMM) having the fine opening patterns shown in FIG. 1 is used, and the hole injection layer (HIL) and the hole transport layer (HTL) are used. ), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL), and a cathode layer (Cathod) are deposited on a substrate using an open metal mask (OMM) shown in FIG. 2 .

또한, 유기발광 표시장치는 단위 화소 영역이 적색(R) 화소, 녹색(G) 화소 및 청색(B) 화소로 구성되거나 RGB 화소에 선택적으로 추가 화소를 더 포함시켜 단위 화소 영역이 정의될 수 있다.In addition, in the organic light emitting display device, the unit pixel area may be defined by a unit pixel area including a red (R) pixel, a green (G) pixel, and a blue (B) pixel, or by selectively including additional pixels in RGB pixels. .

예를 들어, 휴대폰 등 특정 조건(크기, 사용환경 등)에서 사용되는 유기발광 표시장치는 사용자에게 보다 선명한 화질을 제공하기 위해 적색(R) 화소, 녹색(G) 화소 및 청색(B) 화소에 적색 프라임(R') 화소, 녹색 프라임(G') 화소를 더 포함시켜 단위 화소 영역을 정의할 수 있다. 따라서, 적색 프라임(R') 화소, 녹색 프라임(G') 화소에는 적색 프라임(R') 유기발광층과 녹색 프라임(G') 유기발광층이 추가적으로 증착될 수 있다.For example, an organic light emitting display device used under specific conditions (size, usage environment, etc.) such as a mobile phone uses a red (R) pixel, a green (G) pixel, and a blue (B) pixel to provide a clearer picture quality to the user. A unit pixel area may be defined by further including a red prime (R') pixel and a green prime (G') pixel. Accordingly, a red prime (R′) organic emission layer and a green prime (G′) organic emission layer may be additionally deposited on the red prime (R′) pixel and the green prime (G′) pixel.

여기서, 적색 프라임(R') 유기발광층 또는 녹색 프라임(G') 유기발광층은 색좌표상 적색(R)과 녹색(G) 영역을 기준으로 선택된 파장의 광을 발생하는 물질이 적색(R) 유기발광층 또는 녹색(G) 유기발광층에 도핑되어 구현될 수 있다.Here, the red prime (R') organic light emitting layer or the green prime (G') organic light emitting layer is a red (R) organic light emitting layer that emits light of a wavelength selected based on the red (R) and green (G) regions on the color coordinates. Alternatively, it may be implemented by doping the green (G) organic light emitting layer.

지지 마스크(SM)는 미세 메탈 마스크(FMM)의 처짐 등의 불량을 방지하기 위한 마스크(SM)로서, 미세 개구 영역들과 대응되는 영역에 개구영역을 갖는 격자 구조로 형성된다.The support mask SM is a mask SM for preventing defects such as sagging of the fine metal mask FMM, and is formed in a lattice structure having opening regions in regions corresponding to the fine opening regions.

마스크 프레임(MF)은 미세 메탈 마스크(FMM)의 미세 개구 영역들과 대응되는 영역에 개구부(OP)를 갖는 사각 테 구조로 형성된다. 또한, 마스크 프레임(MF)은 사각 테 구조의 베이스 프레임(100)과, 베이스 프레임(100) 상에 소정의 높이로 돌출된 지지 프레임(150)을 포함할 수 있다. 지지 프레임(150)은 인장 공정이 완료된 오픈 메탈 마스크(OMM), 지지 마스크(SM), 미세 메탈 마스크(FMM)와 직접 접촉되는 영역으로서, 레이저 웰딩 공정에 의해 마스크와 마스크 프레임(MF)이 결합하는 영역이다.The mask frame MF is formed in a rectangular frame structure having an opening OP in a region corresponding to the fine opening regions of the fine metal mask FMM. In addition, the mask frame MF may include a base frame 100 having a rectangular frame structure, and a support frame 150 protruding from the base frame 100 to a predetermined height. The support frame 150 is a region in direct contact with the open metal mask (OMM), the support mask (SM), and the fine metal mask (FMM) on which the tensile process has been completed, and the mask and the mask frame MF are combined by a laser welding process. is an area to

또한, 도 2를 참조하면, 박막 증착용 오픈 마스크 조립체(OMA)는, 기판의 셀 영역과 대응되는 개구 영역(OA)이 형성된 오픈 메탈 마스크(OMM)와, 오픈 메탈 마스크(OMM)를 고정 및 지지하는 마스크 프레임(MF)을 포함한다.In addition, referring to FIG. 2 , the open mask assembly OMA for thin film deposition includes an open metal mask OMM in which an opening area OA corresponding to a cell area of a substrate is formed, and the open metal mask OMM is fixed and and a mask frame MF for supporting it.

전술한 바와 같이, 박막 증착용 오픈 마스크 조립체(OMA)는 기판의 셀 영역 전면에 유기물질 또는 무기물질을 박막 형태로 형성할 때 사용된다.As described above, the open mask assembly (OMA) for thin film deposition is used to form an organic material or an inorganic material in the form of a thin film on the entire surface of the cell region of the substrate.

이와 같이, 유기발광 표시장치(OLED) 제조 공정에는 오픈 마스크 조립체(OMA)와 미세 메탈 마스크 조립체(FMA)가 사용되고, 이들 조립체에는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임(MF)이 사용된다.As described above, an open mask assembly (OMA) and a fine metal mask assembly (FMA) are used in the organic light emitting display (OLED) manufacturing process, and a mask frame (MF) manufactured according to an embodiment of the present invention is used for these assemblies. .

본 발명의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임(MF)은 작업 특성상 화학물질 및 고온의 작업 환경에서 사용되기 때문에 니켈을 포함하는 합금소재인 인바(Invar: Fe-Ni)를 재료로 하여 제조된다.The mask frame MF manufactured according to the embodiment of the present invention is manufactured using Invar (Fe-Ni), which is an alloy material containing nickel, as a material because it is used in a high temperature working environment and chemicals due to the nature of the work.

보다 구체적으로, 마스크 프레임(MF)을 구성하는 재료는 니켈(Ni)과 철(Fe)을 주 재료로 하고 탄소(C), 실리콘(Si), 망간(Mn), 황(S), 인(P)을 포함할 수 있다. 또한, 마스크 프레임(MF)의 재료는 니켈(Ni) 함량은 중량비율로 35~40%, 철(Fe)은 55~64%로 구성될 수 있다.More specifically, as the material constituting the mask frame MF, nickel (Ni) and iron (Fe) are the main materials, and carbon (C), silicon (Si), manganese (Mn), sulfur (S), phosphorus ( P) may be included. In addition, the material of the mask frame MF may include a nickel (Ni) content of 35 to 40% by weight, and an iron (Fe) content of 55 to 64%.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임(MF) 제조 방법은 니켈(Ni)을 포함하는 합금 소재인 인바로 구성된 모재(MB)를 제공받은 후, 1차 절단 공정으로 제1 마스크 프레임(MF)을 제조한 후, 1차 절단 공정에서 남은 모재 일부(절단재)를 2차 절단 공정 및 접합 공정을 진행하여 추가적으로 제2 마스크 프레임(MF)을 제조할 수 있다. 즉, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 마스크 프레임의 재료인 모재(MB)로부터 복수의 마스크 프레임을 제작하도록 하여 소재 손실을 최소화하였다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame (MF) according to an embodiment of the present invention, after receiving a base material (MB) composed of invar, which is an alloy material containing nickel (Ni), a first mask frame (MF) is provided as a primary cutting process. ), a portion of the base material (cutting material) remaining in the primary cutting process may be subjected to a secondary cutting process and a bonding process to additionally manufacture a second mask frame MF. That is, the mask frame manufacturing method of the present invention minimizes material loss by manufacturing a plurality of mask frames from the base material MB, which is the material of the mask frame.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임의 제조 공정을 나타내는 플로챠트이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 수행하는 마스크 가공 공정을 나타내는 플로챠트이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 공정을 나타내는 플로챠트이다.3 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a mask frame according to an embodiment of the present invention. 4 is a flowchart illustrating a mask processing process performed in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention. 5 is a flowchart illustrating a process for manufacturing a mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 니켈(Ni)을 포함한 판형 구조의 모재를 제공하는 단계(S301)와, 모재를 사각 테 구조의 제1 프레임으로 절단하는 제1 절단 공정(S302)과, 제1 절단 공정에 따라 형성된 제1 프레임에 대해 도 4의 마스크 가공 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임을 제조하는 단계(S303)와, 제1 절단 공정에서 제1 프레임으로 분리된 남은 절단재(CB)를 제공하는 단계(S304)와, 절단재(CB)를 절단하여 바(Bar) 형태의 복수의 절단부재를 형성하는 제2 절단 공정(S305)과, 절단부재들을 사각 테 구조로 얼라인 하는 단계(S306)와, 절단부재들을 서로 접합하여 사각 테 구조의 제2 프레임을 제조하는 전자빔 접합 공정(S307)과, 접합 공정으로 형성된 제2 프레임에 대해 도 4의 마스크 가공 공정을 진행하여 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계(S308)를 포함한다.Referring to FIG. 3 , the method for manufacturing a mask frame of the present invention includes a step of providing a base material having a plate-shaped structure including nickel (Ni) (S301), and a first cutting process of cutting the base material into a first frame having a rectangular frame structure. (S302), manufacturing a first mask frame by performing the mask processing process of FIG. 4 with respect to the first frame formed according to the first cutting process (S303), and the first frame separated into the first frame in the first cutting process A step (S304) of providing the remaining cutting material (CB), a second cutting process (S305) of cutting the cutting material (CB) to form a plurality of cutting members in the form of a bar (S305), and cutting the cutting members into a square frame The step of aligning the structure (S306), the electron beam bonding process of manufacturing a second frame having a rectangular frame structure by bonding the cutting members to each other (S307), and the mask processing process of FIG. 4 for the second frame formed by the bonding process and manufacturing a second mask frame ( S308 ).

도 3의 제1 마스크 프레임 제조 단계(S303)와 제2 마스크 프레임 제조 단계(S308)에서 수행하는 마스크 가공 공정은 다음과 같다.The mask processing process performed in the first mask frame manufacturing step S303 and the second mask frame manufacturing step S308 of FIG. 3 is as follows.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 가공 공정은 모재(MB) 또는 절단재(CB)로부터 사각 테 구조를 갖는 프레임(제1 또는 제2 프레임)이 제조되면, 제1 및 제2 프레임에 대한 열처리 공정을 진행한다(S401).Referring to FIG. 4 , in the mask processing process according to an embodiment of the present invention, when a frame (first or second frame) having a rectangular frame structure is manufactured from a base material MB or a cutting material CB, the first and second 2 A heat treatment process for the frame is performed (S401).

열처리 공정은 소둔 또는 풀림(annealing) 작업일 수 있다. 모재(MB)는 니켈(Ni)을 포함하는 합금으로써, 압연 강판으로 이루어져 있기 때문에 경화도가 높은 대신 가공성은 떨어진다.The heat treatment process may be an annealing or annealing operation. The base material MB is an alloy containing nickel (Ni), and since it is made of a rolled steel sheet, the degree of hardening is high, but workability is poor.

따라서, 도 1 및 도 2에 도시한 마스크 프레임(MF)과 같이 제1 및 제2 프레임을 베이스 프레임(100)과 지지 프레임(150)으로 가공하기 위해서는 소둔 또는 풀림 공정을 진행해야 한다. 열처리 공정은 가열로에 제1 또는 제2 프레임을 650~900℃로 일정시간 가열하는 방식으로 이루어 질 수 있다. 제1 또는 제2 프레임에 열처리 공정이 진행되면 제1 또는 제2 프레임은 재결정 현상으로 인하여 경도가 낮아진다. 따라서, 제1 또는 제2 프레임에 대한 경도가 낮아지면 상대적으로 가공성이 우수해져 다양한 형태로 가공할 수 있다.Accordingly, in order to process the first and second frames into the base frame 100 and the support frame 150 like the mask frame MF shown in FIGS. 1 and 2 , an annealing or annealing process must be performed. The heat treatment process may be performed by heating the first or second frame in a heating furnace at 650 to 900° C. for a predetermined time. When the heat treatment process is performed on the first or second frame, the hardness of the first or second frame is lowered due to recrystallization. Accordingly, when the hardness of the first or second frame is lowered, the workability becomes relatively excellent, and thus it can be processed into various shapes.

열처리 공정(S401)이 완료되면, 제1 또는 제2 프레임에 대해 제1 내지 제3 표면 가공 공정을 순차적으로 진행한다(S402, S403, S404).When the heat treatment process ( S401 ) is completed, the first to third surface processing processes are sequentially performed on the first or second frame ( S402 , S403 , S404 ).

제1 및 제2 표면 가공 공정(S402, S403)은 제1 또는 제2 프레임의 두께를 요구되는 두께로 가공하는 공정과 도 1 및 도 2에 도시한 마스크 프레임(MF)과 같이 특정 형상(베이스 프레임 및 지지 프레임)의 구조로 가공하는 것을 포함할 수 있다.The first and second surface machining processes ( S402 and S403 ) are a process of machining the thickness of the first or second frame to a required thickness and a specific shape (base) such as the mask frame MF shown in FIGS. 1 and 2 . frame and support frame).

따라서, 제1 및 제2 표면 가공 공정(S402, S403)에서는 제1 또는 제2 프레임에 대한 홀 가공, 단차 가공(베이스 프레임과 지지 프레임 사이의 단차) 및 포켓 가공(도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 지지 프레임을 따라 일정한 간격으로 형성된 홈 구조)을 포함할 수 있다.Accordingly, in the first and second surface machining processes ( S402 and S403 ), hole machining, step machining (step difference between the base frame and the support frame) and pocket machining (shown in FIGS. 1 and 2 ) for the first or second frame As described above, groove structures formed at regular intervals along the support frame) may be included.

제1 및 제2 표면 가공 공정(S402, S403)은 MCT(Machining Center Tool)를 이용한 X축, Y축, Z축 방향의 가공 공정을 포함할 수 있다. 이것은 고정된 가공 방법이 아니기 때문에 3차원 가공이 가능한 장비일 경우에는 이를 적용하여 가공 공정을 수행할 수 있다.The first and second surface machining processes S402 and S403 may include machining processes in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions using a machining center tool (MCT). Since this is not a fixed machining method, in the case of equipment capable of 3D machining, it can be applied to perform the machining process.

제3 표면 가공 공정(S404)은 제1 또는 제2 프레임의 상면 및 하면 평탄도, 표면 반사도 및 표면 버어(Burr) 제거 공정을 포함할 수 있다.The third surface processing process S404 may include top and bottom flatness, surface reflectivity, and surface burr removal of the first or second frame.

이와 같이, 제1 내지 제3 표면 가공 공정(S402, S403, S404)이 완료되면, 초음파 세정 공정(S405)과 기능 및 외관에 대한 검사 공정(S406)을 진행하여 최종 제1 또는 제2 마스크 프레임(MF)을 완성한다. 경우에 따라서는 세정 공정(S405) 전에 제1 또는 제2 프레임 표면에 제품의 특성 정보를 포함하는 식별 표시(ID) 또는 QR 코드를 형성하는 레이저 인쇄 공정을 진행할 수 있다.As such, when the first to third surface processing processes (S402, S403, and S404) are completed, the ultrasonic cleaning process (S405) and the function and appearance inspection process (S406) are performed to perform the final first or second mask frame (MF) is completed. In some cases, a laser printing process of forming an identification mark (ID) or QR code including product characteristic information on the surface of the first or second frame before the cleaning process (S405) may be performed.

도 3 및 도 4와 함께 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에서는 도 3과 도 4의 공정에 따라 모재(MB)와 절단재(CB)로부터 제1 및 제2 마스크 프레임이 제조되면 제1 및 제2 마스크 프레임에 메탈 마스크를 체결하여 마스크 조립체를 제조한다.Referring to Fig. 5 together with Figs. 3 and 4, in the embodiment of the present invention, when the first and second mask frames are manufactured from the base material MB and the cutting material CB according to the processes of Figs. A mask assembly is manufactured by fastening a metal mask to the first and second mask frames.

따라서, 본 발명의 마스크 조립체 제조 공정은 도 3에 도시한 공정에 따라 모재(MB)로부터 제1 프레임(F-1)을 형성하고, 제1 프레임(F-1)에 대해 도 4의 마스크 가공 공정에 따라 제1 마스크 프레임을 제조하는 단계(S501)와, 도 3에 도시한 공정에 따라 절단재(CB)로부터 제2 프레임(F-2)을 형성하고, 제2 프레임(F-2)에 대해 도 4의 마스크 가공 공정에 따라 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계(S502)와, 제1 마스크 프레임 상에 지지 마스크(SM)를 체결하는 단계(S503)와, 지지 마스크(SM)가 체결된 제1 마스크 프레임 상에 미세 메탈 마스크(FMM)를 체결하여 도 1의 미세 메탈 조립체(FMA)를 제조하는 단계(S504)와, 제2 마스크 프레임 상에 오픈 메탈 마스크(OMM)를 체결하여 도 2의 오픈 마스크 조립체(OMA)를 제조하는 단계(S505)를 포함한다.Accordingly, in the mask assembly manufacturing process of the present invention, the first frame F-1 is formed from the base material MB according to the process shown in FIG. 3, and the mask of FIG. 4 is processed with respect to the first frame F-1. Manufacturing the first mask frame according to the process (S501), and forming the second frame F-2 from the cutting material CB according to the process shown in FIG. 3, and the second frame F-2 According to the mask processing process of FIG. 4 , manufacturing the second mask frame ( S502 ), and fastening the support mask SM on the first mask frame ( S503 ), and the support mask SM are fastened The step of manufacturing the fine metal assembly (FMA) of FIG. 1 by fastening the fine metal mask (FMM) on the first mask frame (S504), and fastening the open metal mask (OMM) on the second mask frame in FIG. and manufacturing the open mask assembly (OMA) of 2 ( S505 ).

제1 마스크 프레임 상에 지지 마스크(SM)와 미세 메탈 마스크(FMM)를 체결하는 공정과, 제2 마스크 프레임 상에 오픈 메탈 마스크(OMM)를 체결하는 공정을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The process of fastening the support mask SM and the fine metal mask FMM on the first mask frame and the process of fastening the open metal mask OMM on the second mask frame will be described in more detail as follows.

먼저, 제1 마스크 프레임은 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스 프레임(100)과 지지 프레임(150)을 포함한다. 따라서, 지지 마스크(SM)의 가장자리 둘레는 지지 프레임(150) 상면에 체결되는데, 체결전 인장 공정을 진행한다. 인장 공정은 지지 마스크(SM) 전영역에서 소정의 텐션이 유지되도록 가장자리 둘레를 외측 방향으로 늘리는 공정이다. 지지 마스크(SM)는 금속시트로 제작되기 때문에 표면에서 처짐 불량 등이 발생될 수 있다. 인장 공정은 지지 마스크(SM)가 제1 마스크 프레임에 체결될 때, 제1 마스크 프레임의 개구부(OP)와 대응되는 영역에서 발생될 수 있는 처짐 등의 불량을 방지하는 기능을 한다.First, as shown in FIG. 1 , the first mask frame includes a base frame 100 and a support frame 150 . Therefore, the periphery of the support mask SM is fastened to the upper surface of the support frame 150 , and a tensioning process is performed before fastening. The tensioning process is a process of extending the periphery of the support mask SM in an outward direction so that a predetermined tension is maintained in the entire area. Since the support mask SM is made of a metal sheet, a sagging defect may occur on the surface. The tensioning process functions to prevent defects such as sagging that may occur in an area corresponding to the opening OP of the first mask frame when the support mask SM is fastened to the first mask frame.

전술한 바와 같이, 지지 마스크(SM)에 대한 인장 공정이 완료되면 레이저 용접(Lasor welding) 공정에 따라 지지 마스크(SM)의 가장자리 영역과 지지 프레임(150)의 상면이 체결된다.As described above, when the tensioning process for the support mask SM is completed, the edge region of the support mask SM and the upper surface of the support frame 150 are fastened according to a laser welding process.

이와 같이, 제1 마스크 프레임 상에 지지 마스크(SM)가 체결되면 계속해서 미세 메탈 마스크(FMM)에 대해 인장 공정 및 레이저 용접 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임 상에 체결하여 미세 메탈 마스크 조립체(FMA)를 완성한다.As described above, when the support mask SM is fastened on the first mask frame, a tension process and a laser welding process are continuously performed on the fine metal mask FMM to be fastened on the first mask frame, thereby forming a fine metal mask assembly (FMA). ) is completed.

다음으로, 제2 마스크 프레임 상에는 오픈 메탈 마스크(OMM)를 체결하는데, 오픈 메탈 마스크(OMM)도 금속시트로 제조되기 때문에 인장 공정과 레이저 용접 공정을 진행하여 제2 마스크 프레임의 지지 프레임(150) 상면에 체결한다. 제2 마스크 프레임 상에 오픈 메탈 마스크(OMM)가 체결되면 오픈 마스크 조립체(OMA)가 완성된다.Next, an open metal mask (OMM) is fastened on the second mask frame. Since the open metal mask (OMM) is also made of a metal sheet, a tensile process and a laser welding process are performed to support the frame 150 of the second mask frame. fasten to the top. When the open metal mask OMM is fastened on the second mask frame, the open mask assembly OMA is completed.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제1 절단 공정과 제2 절단 공정을 나타내는 도면이다.6A and 6B are views illustrating a first cutting process and a second cutting process in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.

도 3과 함께 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 니켈(Ni)을 포함한 판형 구조의 모재(MB)에 대해 제1 절단 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임(F-1)을 제조한다. 이후, 모재(MB)를 절단하고 남은 절단재(CB)에 대해 제2 절단 공정을 진행하여 제2 마스크 프레임(F-2)을 제조한다. 즉, 종래 기술에서는 모재(MB)로부터 제1 마스크 프레임을 제조한 후 남은 절단재(CB)는 폐기하거나 마스크 프레임 제조에 사용하지 않아 재료 손실이 큰 단점이 있었다.Referring to FIGS. 6A and 6B together with FIG. 3 , in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, a first cutting process is performed on a base material MB having a plate-shaped structure including nickel (Ni) to thereby perform a first mask frame F -1) is prepared. Thereafter, a second cutting process is performed on the remaining cutting material CB after cutting the base material MB to manufacture the second mask frame F-2. That is, in the prior art, since the cutting material CB remaining after manufacturing the first mask frame from the base material MB is discarded or not used for manufacturing the mask frame, material loss is large.

하지만, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은 모재(MB)로부터 두 개 이상의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 줄인 효과가 있다.However, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same of the present invention has an effect of reducing material loss by making it possible to manufacture two or more mask frames from the base material MB.

도면에 도시한 바와 같이, 모재(MB)가 제공되면 제1 마스크 프레임(F-1)을 제조하기 위해 제1 절단 공정을 진행한다. 제1 절단 공정을 진행하기 위해 모재(MB) 표면에는 컷팅 라인(CL)이 형성되고, 컷팅 라인(CL)을 따라 워터젯 절단 방식 등을 이용하여 모재(MB)를 절단한다.As shown in the drawing, when the base material MB is provided, a first cutting process is performed to manufacture the first mask frame F-1. In order to proceed with the first cutting process, a cutting line CL is formed on the surface of the base material MB, and the base material MB is cut along the cutting line CL using a waterjet cutting method or the like.

제1 절단 공정에 의해 모재(MB)로부터 사각 테 구조의 제1 프레임(F-1)이 획득된다. 또한, 제1 프레임(F-1)과 함께 도 6a에 도시된 바와 같이, 제1 절단 공정으로 중앙 개구 영역과 대응되고 제1 프레임(F-1)과 분리된 절단재(CB)가 분리된다. 제1 프레임(F-1)은 전술한 도 4의 마스크 가공 공정에 따라 열처리 공정, 제1 내지 제3 표면 가공 공정, 세정 공정 및 검사 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임으로 제조된다.A first frame F-1 having a rectangular frame structure is obtained from the base material MB by the first cutting process. In addition, as shown in FIG. 6a together with the first frame F-1, the cutting material CB corresponding to the central opening area and separated from the first frame F-1 is separated in the first cutting process. . The first frame F-1 is manufactured as a first mask frame by performing a heat treatment process, first to third surface processing processes, a cleaning process, and an inspection process according to the mask processing process of FIG. 4 described above.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은 도 6b에 도시한 바와 같이, 절단재(CB)를 이용하여 제2 마스크 프레임을 제조한다. 절단재(CB)는 모재(MB)와 같이 판형 구조로 되어 있지만 제1 절단 공정을 진행하고 남은 모재(MB)의 일부분이기 때문에 모재(MB)보다는 면적이 작다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to the present invention, as shown in FIG. 6B , a second mask frame is manufactured using a cutting material CB. The cutting material CB has a plate-like structure like the base material MB, but since it is a part of the base material MB remaining after the first cutting process, the area is smaller than the base material MB.

따라서, 제2 마스크 프레임을 절단재(CB)로부터 제1 마스크 프레임과 동일한 크기나 비슷한 크기로 제작하기 위해서는 세부적인 절단 작업이 요구된다. 예를 들어, 마스크 프레임은 세로 길이가 가로 길이보다 긴 직사각형 테 구조로 형성되기 때문에 절단재(CB)로부터 한번의 절단 공정에 의해 제1 마스크 프레임의 세로 길이와 동일한 길이를 획득하기 어렵다.Therefore, in order to manufacture the second mask frame from the cutting material CB to have the same size or similar size as the first mask frame, a detailed cutting operation is required. For example, since the mask frame is formed in a rectangular frame structure in which the vertical length is longer than the horizontal length, it is difficult to obtain a length equal to the vertical length of the first mask frame by one cutting process from the cutting material CB.

본 발명의 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은 절단재(CB)를 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)로 절단한 후, 이를 전자빔 접합 공정에 의해 접합하는 방식으로 제2 마스크 프레임을 제조한다.The method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same of the present invention comprises cutting the cutting material CB into the first and second cutting members CP1 and CP2, and then bonding them by an electron beam bonding process. Fabricate the mask frame.

도 7과 함께 도 6b를 참조하면, 제2 절단 공정에 의해 절단재(CB)로부터 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)가 획득되면, 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 사각 테 구조로 배치한 다음 전자빔 접합 공정에 따라 제2 프레임(F-2)을 제조한다. 특히, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은 전자빔 접합 공정 수를 최소화하기 위해 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 수평축(X축) 방향과 수직축(Y축) 방향의 지지부들(SP1, SP2, SP3, SP4)과 지지부들(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 배치된 밴드부(BP1, BP2)로 구성된 'ㄱ' 구조로 절단할 수 있다.Referring to FIG. 6b together with FIG. 7 , when the first and second cutting members CP1 and CP2 are obtained from the cutting material CB by the second cutting process, the first and second cutting members CP1 and CP2 is arranged in a rectangular frame structure, and then the second frame F-2 is manufactured according to an electron beam bonding process. In particular, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the first and second cutting members CP1 and CP2 are horizontally (X-axis) and vertical axes to minimize the number of electron beam bonding processes. It can be cut in an 'a' structure consisting of the support parts SP1, SP2, SP3, SP4 in the (Y-axis) direction and the band parts BP1, BP2 disposed between the support parts SP1, SP2, SP3, SP4. .

따라서, 제1 절단부재(CP1)는 수직축 방향의 길이를 갖는 제1 지지부(SP1)와, 제1 지지부(SP1)에 대해 직각 방향의 길이를 갖는 제2 지지부(SP2)와, 제1 지지부(SP1)와 제2 지지부(SP2) 사이에 배치되는 제1 밴드부(BP1)를 포함한다.Accordingly, the first cutting member CP1 includes a first support portion SP1 having a length in the vertical axis direction, a second support portion SP2 having a length in a direction perpendicular to the first support portion SP1, and a first support portion ( and a first band part BP1 disposed between SP1) and the second support part SP2.

마찬가지로 제2 절단부재(CP2)는 수직축 방향의 길이를 갖는 제3 지지부(SP3)와, 제3 지지부(SP3)에 대해 직각 방향의 길이를 갖는 제4 지지부(SP4)와, 제3 지지부(SP3)와 제4 지지부(SP4) 사이에 배치된 제2 밴드부(BP2)를 포함한다.Similarly, the second cutting member CP2 includes a third support part SP3 having a length in a vertical axis direction, a fourth support part SP4 having a length in a direction perpendicular to the third support part SP3, and a third support part SP3. ) and a second band portion BP2 disposed between the fourth support portion SP4.

제2 프레임(F-2)의 구조가 직사각형 테 구조로 형성될 경우, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3)는 개구 영역을 사이에 두고 서로 평행하고 동일한 길이로 형성될 수 있다.When the structure of the second frame F-2 is formed in a rectangular frame structure, the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the third support part SP3 of the second cutting member CP2 are openings. They may be formed to be parallel to each other and to have the same length with the regions interposed therebetween.

또한, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)는 개구 영역을 사이에 두고 서로 평행하고 동일한 길이로 형성될 수 있다.In addition, the second support part SP2 of the first cutting member CP1 and the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 may be formed to have the same length and parallel to each other with the opening area therebetween.

또한, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)의 길이는 제2 지지부(SP2)의 길이보다 길게 형성되고, 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3)의 길이는 제4 지지부(SP4)의 길이보다 길게 형성된다.In addition, the length of the first support part (SP1) of the first cutting member (CP1) is formed to be longer than the length of the second support part (SP2), the length of the third support part (SP3) of the second cutting member (CP2) is the second 4 is formed to be longer than the length of the support part SP4.

제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)는 서로 접합되어 직사각형 테 구조의 제2 프레임(F-2)을 형성하기 때문에 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 단면은 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 단면과 서로 마주한다. 또한, 제1 지지부(SP1)와 제4 지지부(SP4)는 단면이 서로 접합될 경우 제1 및 제4 지지부(SP1, SP4)에 의해 이루는 각이 직각이 될 수 있도록 두 단면은 소정의 경사면으로 형성될 수 있다. 바람직하게는 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)에 의해 형성되는 직사각형의 대각 방향의 모서리를 잇는 대각선에 서로 평행한 방향의 경사면이 형성될 수 있다.Since the first and second cutting members CP1 and CP2 are joined to each other to form the second frame F-2 having a rectangular frame structure, the edge cross-section of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 is the first 2 of the cutting member CP2 faces an edge end face of the fourth support part SP4. In addition, when the cross-sections of the first support part SP1 and the fourth support part SP4 are joined to each other, the first and fourth support parts SP1 and SP4 have a predetermined slope so that the angle formed by the first and fourth support parts SP1 and SP4 becomes a right angle. can be formed. Preferably, inclined surfaces in a direction parallel to each other may be formed on a diagonal line connecting the corners of the rectangle formed by the first and second cutting members CP1 and CP2 in the diagonal direction.

즉, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 단면, 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 단면, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 단면, 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 단면은 경사면으로 형성되고 경사각도는 제2 프레임(F-2)의 마주하는 모서리를 잇는 대각선이 이루는 각도와 동일할 수 있다.That is, an edge cross-section of the first support part SP1 of the first cutting member CP1, an edge cross-section of the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2, and a second support part SP2 of the first cutting member CP1 The edge section, the edge section of the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 is formed as an inclined surface, and the inclination angle may be the same as the angle formed by a diagonal line connecting the opposite corners of the second frame F-2. .

이와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 절단재(CB)로부터 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)가 획득되면 도 3에서 설명한 전자빔 접합 공정에 따라 제2 프레임(F-2)을 제조한다. 제2 프레임(F-2)이 제조되면 도 4에서 설명한 마스크 가공 공정에 따라 제2 마스크 프레임을 제조하고, 계속해서 도 5에 따라 제1 및 제2 마스크 프레임 상에 미세 메탈 마스크(FMM)와 오픈 메탈 마스크(OMM)를 체결하여 마스크 조립체를 제조한다.As described above, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same of the present invention, the first and second cutting members CP1 and CP2 are obtained from the cutting material CB according to the electron beam bonding process described in FIG. 3 . 2 The frame F-2 is manufactured. When the second frame F-2 is manufactured, the second mask frame is manufactured according to the mask processing process described with reference to FIG. 4, and then, the fine metal mask FMM and A mask assembly is manufactured by fastening an open metal mask (OMM).

절단재(CB)로부터 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 제조한 후, 이를 접합하여 제2 프레임(F-2)을 제조하는 전자빔 접합 공정은 아래 도 7 내지 도 10을 참조하여 보다 자세히 설명하면 다음과 같다.After manufacturing the first and second cutting members CP1 and CP2 from the cutting material CB, the electron beam bonding process of manufacturing the second frame F-2 by bonding them is performed with reference to FIGS. 7 to 10 below. A more detailed description is as follows.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제2 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 도 7의 A 영역을 확대한 도면이다. 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정 중 전자빔 접합 공정을 나타내는 도면이다. 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 사용되는 전자빔의 특성을 나타내는 그래프이다.7 is a view for explaining a second frame manufacturing process in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is an enlarged view of area A of FIG. 7 . 9 is a view illustrating an electron beam bonding process during a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention. 10 is a graph illustrating characteristics of an electron beam used in a process of manufacturing a mask frame according to an embodiment of the present invention.

도 7 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법은 제1 절단 공정에 의해 모재(MB)로부터 제1 프레임(F-1)을 제조하고, 제1 프레임(F-1)을 도 4에서 설명한 마스크 가공 공정에 따라 제1 마스크 프레임을 제조한다. 또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법은, 제1 프레임(F-1)을 제조하고 남은 절단재(CB)에 대해 제2 절단 공정과 전자빔 접합 공정을 진행하여 제2 프레임(F-2)을 제조한다.7 to 10 , in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, a first frame F-1 is manufactured from a base material MB by a first cutting process, and the first frame F-1 is shown A first mask frame is manufactured according to the mask processing process described in step 4 . In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the second frame F-2 is formed by performing a second cutting process and an electron beam bonding process for the cutting material CB remaining after manufacturing the first frame F-1. manufacture

도 6b에서 설명한 바와 같이, 절단재(CB)를 절단하여 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 획득한다. 여기서는 제2 프레임(F-2) 제조를 위한 접합 공정을 줄이기 위해 두 개의 절단부재(CP1, CP2)가 접합되는 실시예를 설명하지만, 이것은 고정된 것이 아니다. 따라서, 전자빔 접합 공정 수가 증가하더라도 절단재(CB)로부터 보다 많은 절단부재들을 분리하여 제2 프레임(F-2)을 제조할 수 있다. 절단재(CB)로부터 분리된 절단부재들이 많을 경우에는 접합 공정 수는 증가하지만 크기에 상관없이 절단재(CB) 또는 모재(MB)로부터 남은 절단재를 마스크 프레임 제작에 사용할 수 있어 소재의 손실 정도를 현저히 줄일 수 있는 장점이 있다.As described in FIG. 6B , the first and second cutting members CP1 and CP2 are obtained by cutting the cutting material CB. Here, an embodiment in which the two cutting members CP1 and CP2 are joined to reduce the joining process for manufacturing the second frame F-2 will be described, but this is not fixed. Therefore, even if the number of electron beam bonding processes increases, the second frame F-2 may be manufactured by separating more cutting members from the cutting material CB. When there are many cutting members separated from the cutting material (CB), the number of bonding processes increases, but regardless of the size, the cutting material remaining from the cutting material (CB) or the base material (MB) can be used to manufacture the mask frame, so the degree of material loss has the advantage of significantly reducing

예를 들어, 모재(MB)로부터 제1 프레임(F-1)을 제조하고 1차 절단재(CB)로부터 제2 프레임(F-1)을 제조한 후, 남은 절단재(CB)의 면적이 작은 경우, 다수의 절단재(CB)를 모아 절단부재들을 제조하여 제1 프레임(F-1)의 크기와 동일하거나 더 큰 마스크 프레임을 제작할 수 있다.For example, after the first frame F-1 is manufactured from the base material MB and the second frame F-1 is manufactured from the primary cutting material CB, the area of the remaining cutting material CB is In a small case, a mask frame having the same size or larger than the size of the first frame F-1 may be manufactured by collecting a plurality of cutting materials CB to manufacture cutting members.

도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 방법은 모재(MB)를 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)로 절단하고, 이들을 얼라인한 후 접합 공정을 진행하여 제2 프레임(F-2)을 제조한다. 따라서, 제2 프레임(F-2)은 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)로 구성될 수 있다.7, in the method for manufacturing a mask frame according to an embodiment of the present invention, the base material MB is cut into the first and second cutting members CP1 and CP2, and after aligning them, a bonding process is performed. A second frame F-2 is manufactured. Accordingly, the second frame F-2 may include the first and second cutting members CP1 and CP2.

또한, 제2 프레임(F-2)의 평면도에서 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)에 평행한 축을 Y축 또는 세로축으로 명명하고, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2)에 평행한 축을 X축 또는 가로축으로 명명한다. 도면에는 도시하지 않았지만, 도 7의 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)가 배치된 도면에서 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2))의 두께 방향, X축과 Y축이 이루는 평면과 수직한 방향을 Z축으로 명명한다(도 13 참조).In addition, in a plan view of the second frame F-2, an axis parallel to the first support part SP1 of the first cutting member CP1 is named a Y-axis or a vertical axis, and the second support part of the first cutting member CP1 The axis parallel to (SP2) is called the X-axis or the horizontal axis. Although not shown in the drawings, in the drawing in which the first and second cutting members CP1 and CP2 of FIG. 7 are disposed, the thickness direction of the first and second cutting members CP1 and CP2), the X axis and the Y axis form A direction perpendicular to the plane is called the Z-axis (see FIG. 13).

전술한 바와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 절단재(CB)를 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)로 절단하고, 이들을 접합하여 제2 프레임(F-2)을 제조하기 때문에 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3)의 길이는 제2 프레임(F-2)의 세로 길이와 동일한 길이를 갖는다. 또한, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)의 길이는 제2 프레임(F-2)의 가로 길이와 동일한 길이를 갖는다.As described above, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the cutting material CB is cut into the first and second cutting members CP1 and CP2, and the second frame F-2 is manufactured by joining them. The length of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the third support part SP3 of the second cutting member CP2 have the same length as the vertical length of the second frame F-2. In addition, the length of the second support part SP2 of the first cutting member CP1 and the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 have the same length as the horizontal length of the second frame F-2. .

또한, 제2 프레임(F-2)은 직사각형 테 구조로 형성되기 때문에 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3)는 서로 평행하고, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)는 서로 평행하다.In addition, since the second frame F-2 is formed in a rectangular frame structure, the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the third support part SP3 of the second cutting member CP2 are parallel to each other. and the second support part SP2 of the first cutting member CP1 and the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 are parallel to each other.

즉, 제1 절단부재(CP1)의 제1 및 제2 지지부(SP1, SP2) 사이에 배치되는 제1 밴드부(BP1) 영역의 각도는 직각을 갖고 제2 절단부재(CP2)의 제3 및 제4 지지부(SP3, SP4) 사이에 배치되는 제2 밴드부(BP2) 영역의 각도는 직각을 가질 수 있다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니기 때문에 제2 프레임(F-2)이 사각형 테 구조를 갖는 경우에는 제1 및 제2 밴드부(BP1, BP2) 영역의 각도는 직각보다 크거나 작게 형성될 수 있다. That is, the angle of the region of the first band portion BP1 disposed between the first and second support portions SP1 and SP2 of the first cutting member CP1 has a right angle, and the third and third portions of the second cutting member CP2 have a right angle. The angle of the region of the second band portion BP2 disposed between the 4 support portions SP3 and SP4 may have a right angle. However, since this is not fixed, when the second frame F-2 has a rectangular frame structure, the angles of the first and second band portions BP1 and BP2 regions may be greater or smaller than a right angle.

제2 프레임(F-2)의 구조가 직사각형 테 구조로 형성될 경우, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)의 길이는 제2 지지부(SP2)의 길이보다 길게 형성될 수 있다. 마찬가지로 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3)의 길이는 제4 지지부(SP4)의 길이보다 길게 형성될 수 있다.When the structure of the second frame F-2 has a rectangular frame structure, the length of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 may be longer than the length of the second support part SP2. . Similarly, the length of the third support part SP3 of the second cutting member CP2 may be longer than the length of the fourth support part SP4.

또한, 전술한 바와 같이 제1 절단부재(CP1)와 제2 절단부재(CP2)의 접합으로 제2 프레임(F-2)을 형성하기 때문에 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 단면은 경사면을 갖는 제1면(S1)으로 형성되고 제1면(S1)과 마주하는 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 단면은 경사면을 갖는 제2면(S2)으로 형성된다.In addition, since the second frame F-2 is formed by bonding the first cutting member CP1 and the second cutting member CP2 as described above, the first support part SP1 of the first cutting member CP1 is The edge cross-section is formed of a first surface S1 having an inclined surface, and the edge cross-section of the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 facing the first surface S1 is a second surface S2 having an inclined surface. is formed with

제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 단면과 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 가장자리 단면 역시 서로 마주하는 경사면을 갖는 제3면(S3)과 제4면(S4)으로 형성된다.A third surface S3 and a fourth surface having an edge cross-section of the second support part SP2 of the first cutting member CP1 and an edge cross-section of the third support part SP3 of the second cutting member CP2 also face each other. (S4) is formed.

제1 절단부재(CP1)의 제1면(S1) 및 제3면(S3)과 제2 절단부재(CP2)의 제2면(S2) 및 제4면(S4)은 제2 프레임(F-2)의 마주하는 모서리를 잇는 대각선과 평행한 경사각을 가질 수 있다.The first surface S1 and the third surface S3 of the first cutting member CP1 and the second surface S2 and the fourth surface S4 of the second cutting member CP2 are connected to the second frame F- 2) may have an angle of inclination parallel to the diagonal line connecting the opposite corners.

이와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 제1 절단부재(CP1)의 제1면(S1)과 제2 절단부재(CP2)의 제2면(S2)이 서로 마주하도록 접합되고 제1 절단부재(CP1)의 제2면(S2)과 제2 절단부재(CP2)의 제4면(S4)이 서로 마주하도록 접합되어 제2 프레임(F-2)이 제조된다. As described above, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first surface S1 of the first cutting member CP1 and the second surface S2 of the second cutting member CP2 are joined to face each other, and the first cutting member The second frame F-2 is manufactured by bonding the second surface S2 of the CP1 and the fourth surface S4 of the second cutting member CP2 to face each other.

도 7에 도시된 바와 같이, 절단재(CB)로부터 제2 절단 공정에 의해 제조된(획득된) 제1 절단부재(CP1)는 Y축 방향(세로축 방향)과 평행하고 제1길이(L1)를 갖는 제1 지지부(SP1)와 X축 방향(가로축 방향)과 평행하고 제2길이(L2)를 갖는 제2 지지부(SP2)를 포함한다. 또한, 제2 절단부재(CP2)는 Y축 방향(세로축 방향)과 평행하고 제1길이(L1)를 갖는 제3 지지부(SP3)와 X축 방향(가로축 방향)과 평행하고 제2길이(L2)를 갖는 제2 지지부(SP2)를 포함한다.7, the first cutting member CP1 manufactured (obtained) by the second cutting process from the cutting material CB is parallel to the Y-axis direction (vertical axis direction) and has a first length L1 It includes a first support part SP1 having a , and a second support part SP2 parallel to the X-axis direction (horizontal axis direction) and having a second length L2 . In addition, the second cutting member CP2 is parallel to the Y-axis direction (vertical axis direction) and parallel to the third support part SP3 and the X-axis direction (horizontal axis direction) having a first length L1 and a second length L2 ) including a second support (SP2) having a.

또한, 제1 지지부(SP1) 및 제3 지지부(SP3)는 각각 X축 방향(가로축 방향)과 평행한 제1폭(W1)을 갖고 제2 지지부(SP2) 및 제4 지지부(SP4)는 각각 Y축 방향(세로축 방향)과 평행한 제2폭(W2)을 갖는다.In addition, the first support part SP1 and the third support part SP3 have a first width W1 parallel to the X-axis direction (horizontal axis direction), respectively, and the second support part SP2 and the fourth support part SP4 have each It has a second width W2 parallel to the Y-axis direction (vertical axis direction).

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 접합하여 제2 프레임(F-2)을 제조하기 때문에 제1 지지부(SP1)와 제4 지지부(SP4) 사이와 제2 지지부(SP2)와 제3 지지부(SP3) 사이에 각각 제1 접합영역(FCA-1)과 제2 접합영역(FCA-2)을 갖는다.In addition, in the method of manufacturing the mask frame of the present invention, since the second frame F-2 is manufactured by bonding the first and second cutting members CP1 and CP2, the first support part SP1 and the fourth support part SP4 are used. A first bonding area FCA-1 and a second bonding area FCA-2 are respectively provided between the second support part SP2 and the third support part SP3 and between the second support part SP2 and the third support part SP3.

제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)의 제1 및 제2 접합영역(FCA-1, FCA-2)은 제2 프레임(F-2)의 대각선과 평행하게 형성된다.The first and second bonding areas FCA-1 and FCA-2 of the first and second cutting members CP1 and CP2 are formed parallel to the diagonal of the second frame F-2.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조방법은, 제1 및 제2 접합영역(FCA-1, FCA-2) 각각에는 한쌍의 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치된다. 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 제1 접합영역(FCA-1) 또는 제2 접합영역(FCA-2)을 사이에 두고 서로 마주하도록 배치된다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니다. 도 14의 실시예들과 같이 접합영역이 Y축 또는 X축 영역(모서리 영역 이외의 영역)에서 소정의 경사각을 갖도록 형성되는 경우에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 서로 마주하지 않게 배치될 수 있다.In addition, in the method of manufacturing the mask frame of the present invention, a pair of bonding guide portions CCP1 and CCP2 are disposed in each of the first and second bonding areas FCA-1 and FCA-2. The first and second bonding guides CCP1 and CCP2 are disposed to face each other with the first bonding area FCA-1 or the second bonding area FCA-2 interposed therebetween. However, this is not fixed. 14 , when the bonding area is formed to have a predetermined inclination angle in the Y-axis or X-axis area (region other than the corner area), the first and second bonding guide parts CCP1 and CCP2 face each other. It can be placed so that it does not

이와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 절단재(CB)로부터 제조된 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 직사각형 테 구조로 배치한 후, 제1 및 제2 접합영역(FCA-1, FCA-2)에 전자빔 접합 공정을 진행하여 2개의 절단부재(CP1, CP2)를 접합하여 제2 프레임(F-2)을 형성한다.As described above, in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, after arranging the first and second cutting members CP1 and CP2 manufactured from the cutting material CB in a rectangular frame structure, the first and second bonding areas FCA -1 and FCA-2), an electron beam bonding process is performed to bond the two cutting members CP1 and CP2 to form a second frame F-2.

도 7의 A 영역을 확대한 도 8을 참조하면, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)과 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)이 서로 마주하도록 배치된다. 도면에는 도시하지 않았지만 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 제3면(S3)과 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 가장자리 제4면(S4)도 서로 마주하도록 배치된다. Referring to FIG. 8, which is an enlarged area A of FIG. 7 , the first support part SP1 edge of the first cutting member CP1, the first surface S1 and the second cutting member CP2, the fourth support part SP4 The edge second surfaces S2 are disposed to face each other. Although not shown in the drawing, the third surface S3 of the edge of the second support portion SP2 of the first cutting member CP1 and the third surface S4 of the edge of the third support portion SP3 of the second cutting member CP2 are also mutually placed to face each other.

즉, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)는 제1 접합영역(FCA-1)을 중심으로 서로 수직하게 배치된다.That is, the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 are disposed perpendicular to each other around the first bonding area FCA-1.

제1 접합영역(FCA-1)의 양측 가장자리에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치되고, 전자빔은 제1 접합 가이드부(CCP1) 또는 제2 접합 가이드부(CCP2)에서부터 제1 접합영역(FCA-1)과 제2 접합 가이드부(CCP2) 또는 제1 접합 가이드부(CCP1) 순서로 조사될 수 있다.First and second bonding guide units CCP1 and CCP2 are disposed at both edges of the first bonding area FCA-1, and the electron beam is emitted from the first bonding guide unit CCP1 or the second bonding guide unit CCP2. The first bonding area FCA-1 and the second bonding guide part CCP2 or the first bonding guide part CCP1 may be irradiated in this order.

도 9 및 도 10을 참조하면, 전자빔 접합 공정은 전지빔건(BG)으로부터 전자빔을 제1 접합영역(FCA-1)에 조사하는 방식으로 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 접합한다. 도면에는 구체적으로 도시하지 않았지만 도 7을 참조하면 제2 접합영역(FCA-2)에서도 동일한 방식으로 전자빔이 조사된다. 9 and 10 , in the electron beam bonding process, the first and second cutting members CP1 and CP2 are bonded by irradiating an electron beam from the battery beam gun BG to the first bonding area FCA-1. . Although not specifically illustrated in the drawings, referring to FIG. 7 , the electron beam is also irradiated to the second junction area FCA - 2 in the same manner.

특히, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 제1 절단부재(CP1)와 제2 절단부재(CP2)를 접합할 때, 전자빔을 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)가 마주하는 제1 및 제2 접합영역(FCA-1, FCA-2)에 먼저 조사히지 않고 제1 접합 가이드부(CCP1) 또는 제2 접합 가이드부(CCP2)에 조사한다.In particular, in the mask frame manufacturing method of the present invention, when the first cutting member CP1 and the second cutting member CP2 are joined, the electron beam is applied to the first and second cutting members CP1 and CP2 facing each other. The first bonding guide part CCP1 or the second bonding guide part CCP2 is irradiated without first irradiating the second bonding areas FCA-1 and FCA-2.

왜냐하면, 도 10에 도시한 바와 같이, 전자빔 접합 공정에 사용하는 전자빔은 전자빔을 조사하는 시점(t1)부터 소정의 시간 후(t2)에 접합을 위한 빔강도에 도달하기 때문이다. 도면에 도시된 바와 같이, 전자빔을 제1시점(t1)에 조사하였다면 접합 공정에 필요한 전자빔 강도는 제2시점(t2)에 도달하기 때문에 제2시점(t2)부터 제1 절단부재(CP1)와 제2 절단부재(CP2)를 접합하는 것이 접합 강도 확보 및 접합 특성에서 더 바람직하다. 접합 특성은 두 지지부의 접합력 및 접합영역에서의 균일성 등을 포함하는 개념이다.This is because, as shown in FIG. 10, the electron beam used in the electron beam bonding process reaches the beam intensity for bonding after a predetermined time (t2) from the time point (t1) of irradiating the electron beam. As shown in the figure, if the electron beam is irradiated at the first time point t1, since the electron beam intensity required for the bonding process reaches the second time point t2, from the second time point t2, the first cutting member CP1 and Bonding the second cutting member CP2 is more preferable in terms of securing bonding strength and bonding characteristics. The bonding characteristic is a concept including the bonding strength of the two supports and the uniformity in the bonding area.

전자빔 조사가 완료되는 시점 역시, 마찬가지로 소정의 빔강도 감소 구간을 갖는다. 즉, 전자빔 조사 완료 시점이 제4시점(t4)이라면 접합을 위한 빔강도는 그보다 앞선 제3시점(t3)까지 유지되다가 제3시점(t3)과 제4시점(t4) 사이에서는 빔강도가 감소하다 제4시점(t4)에 도달한다.The time point at which the electron beam irradiation is completed also has a predetermined beam intensity reduction section. That is, if the completion point of electron beam irradiation is the fourth time point (t4), the beam intensity for bonding is maintained until the third time point (t3) preceding it, and then the beam intensity is decreased between the third time point (t3) and the fourth time point (t4). Then, the fourth time point t4 is reached.

이와 같은 이유로 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법에서는 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 접합할 때, 전자빔을 제1 접합 가이드부(CCP1) 또는 제2 접합 가이드부(CCP2)에서부터 제1 접합영역(FCA-1)으로 조사하여 절단부재들이 견고하게 접합될 수 있도록 하였다.For this reason, in the method of manufacturing the mask frame of the present invention, when the first and second cutting members CP1 and CP2 are bonded, the electron beam is applied from the first bonding guide part CCP1 or the second bonding guide part CCP2 to the first It was irradiated to the bonding area (FCA-1) so that the cutting members could be firmly bonded.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제조되는 제1 및 제2 절단부재의 가장자리 영역의 단면 구조를 도시한 도면이다. 도 12 및 도 13은 본 발명의 실시예에 따라 제1 및 제2 절단부재 가장자리 단면 구조에 따라 수평 지지력과 수직 지지력이 증가하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.11 is a diagram illustrating a cross-sectional structure of edge regions of first and second cutting members manufactured in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention. 12 and 13 are views for explaining the principle of increasing the horizontal support force and the vertical support force according to the cross-sectional structure of the first and second cutting member edge according to an embodiment of the present invention.

도 7과 함께 도 11 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 모재(MB)로부터 제1 마스크 프레임을 제조하고, 모재(MB)에서 남은 절단재(CB)로부터 제2 마스크 프레임을 제조한다.Referring to FIGS. 11 to 13 together with FIG. 7 , in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, a first mask frame is manufactured from a base material MB, and a second mask frame is prepared from the cutting material CB remaining in the base material MB. to manufacture

제2 마스크 프레임은 절단재(CB)를 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)로 절단한 후, 이들 절단부재들을 도 7에 도시한 방식으로 접합하여 제조한다. 따라서, 제2 마스크 프레임은 제1 마스크 프레임과 같이 모재(MB)를 사각형 테 구조로 직접 절단하는 방식에 비해 접합영역에서의 수평지지력 또는 수직지지력이 떨어질 수 있다. 이러한 점을 고려하여 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)의 가장자리 제1 내지 제4면(S1, S2, S3, S4)에 제1 내지 제4 체결부(JP1, JP2, JP3, JP4)를 형성하였다.The second mask frame is manufactured by cutting the cutting material CB into the first and second cutting members CP1 and CP2, and then joining these cutting members in the manner shown in FIG. 7 . Accordingly, the second mask frame may have lower horizontal support or vertical support in the bonding area than the method in which the base material MB is directly cut into a rectangular frame structure like the first mask frame. In consideration of this point, in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, the first to fourth fastenings are performed on the first to fourth edges S1, S2, S3, and S4 of the first and second cutting members CP1 and CP2. Part (JP1, JP2, JP3, JP4) was formed.

도면에 도시된 바와 같이, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)에 제1 체결부(JP1)를 형성하고, 이와 마주하는 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)에 제1 체결부(JP1)와 체결될 수 있는 제2 체결부(JP2)를 형성한다. 또한, 제1면(S1)의 중앙 영역에는 돌출된 구조를 갖는 제3 체결부(JP3)를 형성하고, 제2면(S2) 중앙 영역에는 제3 체결부(JP3)와 체결될 수 있는 제4 체결부(JP4)를 형성한다.As shown in the drawing, a first fastening part JP1 is formed on the first surface S1 of the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1, and a second cutting member CP2 facing it is formed. A second fastening part JP2 capable of being fastened to the first fastening part JP1 is formed on the second surface S2 of the edge of the fourth support part SP4. In addition, a third fastening part JP3 having a protruding structure is formed in the central region of the first surface S1 , and a third fastening part JP3 that can be fastened to the third fastening part JP3 is formed in the central region of the second surface S2 . 4 A fastening portion JP4 is formed.

제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 제3면(S3)과 이와 마주하는 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 가장자리 제4면(S4)에도 제1면(S1) 및 제2면(S2)과 동일한 형태로 제1 내지 제4 체결부(JP1, JP2, JP3, JP4)를 형성한다. 즉, 제1 내지 제4 지지부(SP1, SP2, SP3, SP4) 중 서로 접합하는 한쌍의 단면에는 각각 서로 체결될 수 있는 제1 및 제2 체결부(JP1, JP2)가 선택적으로 형성된다. 마찬가지로 제3 및 제4 체결부(JP3, JP4)도 한쌍의 단면(S1, S2, S3, S4)에 선택적으로 형성된다. The first surface is also on the third surface S3 of the edge of the second support portion SP2 of the first cutting member CP1 and the third surface S4 of the edge of the third support portion SP3 of the second cutting member CP2 facing the same. The first to fourth fastening portions JP1, JP2, JP3, and JP4 are formed in the same shape as (S1) and the second surface (S2). That is, first and second fastening parts JP1 and JP2 that can be respectively fastened to each other are selectively formed on a pair of end surfaces that are joined to each other among the first to fourth support parts SP1 , SP2 , SP3 , and SP4 . Similarly, the third and fourth fastening portions JP3 and JP4 are also selectively formed on the pair of end surfaces S1, S2, S3, and S4.

제1 또는 제2 체결부(JP1, JP2)는 도면에 도시된 바와 같이, 수평지지력을 강화시키기 위한 것으로 제1 내지 제4면(S1, S2, S3, S4)의 상측과 하측에 패턴 형태로 각각 형성된다. 제3 및 제4 체결부(JP3, JP4)는 제1 내지 제4면(S1, S2, S3, S4) 중앙 영역에 형성된다.As shown in the drawing, the first or second fastening portions JP1 and JP2 are formed in a pattern on the upper and lower sides of the first to fourth surfaces S1, S2, S3, and S4 to strengthen the horizontal support force. each is formed The third and fourth fastening portions JP3 and JP4 are formed in the central region of the first to fourth surfaces S1 , S2 , S3 , and S4 .

도 7과 함께 도 11을 참조하면, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)은 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)과 서로 마주한다. 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)의 상측과 하측에 제1 체결부(JP1)가 형성된다면 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)의 상측과 하측에 제1 체결부(JP1)와 체결될 수 있는 제2 체결부(JP2)가 형성된다. 또한, 제1면(S1)에 제1 체결부(JP1)가 형성되고 제2면(S2)에 제2 체결부(JP2)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 11 together with FIG. 7 , the first surface S1 of the edge of the first support portion SP1 of the first cutting member CP1 is the second surface of the edge of the fourth support portion SP4 of the second cutting member CP2. (S2) and facing each other. If the first fastening part JP1 is formed on the upper and lower sides of the second surface S2 of the edge of the fourth support part SP4, the first fastening part is formed on the upper and lower sides of the first surface S1 of the first support part SP1. A second fastening part JP2 capable of being fastened to JP1 is formed. In addition, the first fastening part JP1 may be formed on the first surface S1 and the second fastening part JP2 may be formed on the second surface S2 .

마찬가지로 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)의 중앙 영역에 제3 체결부(JP3)가 형성된다면 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)의 중앙 영역에 제3 체결부(JP3)와 체결될 수 있는 제4 체결부(JP4)가 형성된다. 또한, 제1면(S1)에 제3 체결부(JP3)가 형성되고 제2면(S2)에 제4 체결부(JP3)가 형성될 수 있다.Similarly, if the third fastening part JP3 is formed in the central region of the second surface S2 of the edge of the fourth support part SP4, the third fastening part ( A fourth fastening portion JP4 capable of being fastened to JP3 is formed. In addition, the third fastening part JP3 may be formed on the first surface S1 and the fourth fastening part JP3 may be formed on the second surface S2 .

전술한 바와 같이, 제1면(S1)과 제2면(S2)은 소정의 경사면으로 형성되기 때문에 제1 내지 제4 체결부(JP1, JP2, JP3, JP4)는 경사면의 일측 가장자리에서 타측 가장자리 방향으로 갈 수록 제1 내지 제4 체결부(JP1, JP2, JP3, JP4)를 구성하는 결합패턴들의 길이는 서로 다른 길이로 형성될 수 있다.As described above, since the first surface S1 and the second surface S2 are formed with a predetermined inclined surface, the first to fourth fastening parts JP1, JP2, JP3, and JP4 are formed from one edge of the inclined surface to the other edge of the inclined surface. The lengths of the coupling patterns constituting the first to fourth coupling parts JP1, JP2, JP3, and JP4 may be formed to have different lengths in the direction.

도 11에서는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)의 가장자리 단면인 제1면(S1)과 제2면(S2)을 중심으로 설명하였지만, 이와 대응되는 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 제3면(S3)과 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 가장자리 제4면(S4)도 동일한 방식으로 제1 내지 제4 체결부(JP1, JP2, JP3, JP4)가 형성된다.In Figure 11, the first surface (S1) and the second surface (S2) of the edge cross-section of the first support (SP1) of the first cutting member (CP1) and the fourth support (SP4) of the second cutting member (CP2) Although described as the center, the third surface S3 of the second support portion SP2 of the first cutting member CP1 and the fourth surface S4 of the third support portion SP3 edge of the second cutting member CP2 corresponding thereto ), the first to fourth fastening portions JP1, JP2, JP3, and JP4 are formed in the same manner.

도 12를 참조하면, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)에 요철 패턴 구조를 갖는 제1 체결부(JP1)가 형성된 경우, 이와 대응되는 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)에는 제1 체결부(JP1)와 체결될 수 있도록 형성된 요철 패턴이 형성된다.Referring to FIG. 12 , when the first fastening part JP1 having a concave-convex pattern structure is formed on the first surface S1 of the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1, a second cut corresponding thereto is formed. A concave-convex pattern formed to be fastened to the first fastening part JP1 is formed on the second surface S2 of the edge of the fourth support part SP4 of the member CP2 .

제1 체결부(JP1)와 제2 체결부(JP2)는 각각 제1면(S1)과 제2면(S2)에 형성되고 서로 결합되기 때문에 제2 프레임(F-2)의 대각선과 평행한 방향에 대한 수평 지지력이 강화될 수 있다.Since the first fastening part JP1 and the second fastening part JP2 are respectively formed on the first surface S1 and the second surface S2 and are coupled to each other, they are parallel to the diagonal of the second frame F-2. The horizontal support force for the direction can be strengthened.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 전자빔 접합 공정으로 제조된 제2 마스크 프레임의 수직 지지력을 강화시키기 위해 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)의 제1 내지 제4면(S1, S2, S3, S4)의 중앙에 제3 체결부(JP3)와 제4 체결부(JP4)를 형성한다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first to fourth surfaces S1 and S1 of the first and second cutting members CP1 and CP2 in order to strengthen the vertical support force of the second mask frame manufactured by the electron beam bonding process. A third fastening part JP3 and a fourth fastening part JP4 are formed in the center of S2 , S3 , and S4 .

도 11에 도시된 바와 같이, 제3 및 제4 체결부(JP3, JP4)는 제1 및 제2 절단부재(CP1, CP2)를 구성하는 제1 내지 제4 지지부(SP1, SP2, SP3, SP4)의 길이 방향으로 돌출된 고정돌기와 길이 방향으로 함몰된 고정홈 구조로 형성될 수 있다.11, the third and fourth fastening parts JP3 and JP4 are first to fourth support parts SP1, SP2, SP3, SP4 constituting the first and second cutting members CP1 and CP2. ) may be formed of a fixing protrusion protruding in the longitudinal direction and a fixing groove recessed in the longitudinal direction.

또한, 제3 체결부(JP3)는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1) 중앙 영역에 형성된다. 보다 구체적으로 제1면(S1)의 상측과 하측에는 요철 패턴들로 구성된 제1 체결부(JP1)가 형성되고 상측과 하측 사이 영역에 제1 지지부(SP1) 길이 방향으로 제3 체결부(JP3) 또는 제4 체결부(JP4)가 형성될 수 있다. 다만, 제4 체결부(JP4)는 고정홈 구조로 형성되고 돌출된 고정돌기를 수용해야 하기 때문에 고정돌기 방향으로 형성될 수 있다. 즉, 제4 체결부(JP4)는 제4 체결부(JP4)가 형성되는 제1 내지 제4 지지부(SP1, SP2, SP3, SP4)의 길이 방향에 수직한 방향으로 형성될 수 있다.In addition, the third fastening portion JP3 is formed in the central region of the first surface S1 of the first support portion SP1 of the first cutting member CP1. More specifically, the first fastening part JP1 composed of concave-convex patterns is formed on the upper and lower sides of the first surface S1, and the third fastening part JP3 in the longitudinal direction of the first support part SP1 in the region between the upper and lower sides. ) or a fourth fastening part JP4 may be formed. However, since the fourth fastening part JP4 is formed in a fixing groove structure and has to accommodate the protruding fixing projections, it may be formed in the fixing projection direction. That is, the fourth fastening part JP4 may be formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the first to fourth supporting parts SP1 , SP2 , SP3 , and SP4 on which the fourth fastening part JP4 is formed.

도 13에 도시된 바와 같이, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 제1면(S1)에는 제4 체결부(JP4)가 형성되고, 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 제2면(S2)에는 제3 체결부(JP3)가 형성된다. 전술한 바와 같이, 제3 체결부(JP3)와 제4 체결부(JP4)는 제1면(S1)과 제2면(S2) 또는 제3면(S3)과 제4면(S4)에 선택적으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 13 , a fourth fastening part JP4 is formed on the first surface S1 of the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1, and the second cutting member CP2 is 4 A third fastening part JP3 is formed on the second surface S2 of the edge of the support part SP4. As described above, the third fastening part JP3 and the fourth fastening part JP4 are selective to the first surface S1 and the second surface S2 or the third surface S3 and the fourth surface S4. can be formed with

제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4)에 각각 형성된 제3 체결부(JP3)와 제4 체결부(JP4)가 체결될 경우, 제1 지지부(SP1) 및 제4 지지부(SP4)의 두께 방향(Z축 방향)과 대응되는 수직 지지력이 강화될 수 있다.The third fastening part JP3 and the fourth fastening part JP4 respectively formed on the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 are to be fastened. In this case, the vertical support force corresponding to the thickness direction (Z-axis direction) of the first support part SP1 and the fourth support part SP4 may be strengthened.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 제2 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도 15 내지 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 절단부재들의 접합 단면에 대한 다양한 실시예를 나타내는 도면이다. 14 is a view for explaining a second frame manufacturing process in a mask frame manufacturing process according to another embodiment of the present invention. 15 to 17 are views showing various embodiments of the bonding cross-sections of cutting members in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.

도 14를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 방법은 모재(MB)로부터 제1 및 제2 마스크 프레임을 제조한다. 제2 마스크 프레임은 절단재(CB)를 복수의 절단부재로 절단한 후, 이들을 전자빔 접합 공정을 이용하여 제조한다. 도면에서는 제1 내지 제6 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, CP6)를 체결하여 제2 프레임(F-2)을 제조하는 구조를 도시하였다.Referring to FIG. 14 , in the method for manufacturing a mask frame according to another embodiment of the present invention, first and second mask frames are manufactured from a base material MB. The second mask frame is manufactured by cutting the cutting material CB into a plurality of cutting members, and then using an electron beam bonding process. The drawing shows a structure in which the second frame F-2 is manufactured by fastening the first to sixth cutting members CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, and CP6.

제2 프레임(F-2)을 구성하는 제1 절단부재(CP1)는 수평축(X축) 방향의 길이를 갖는 제1 지지부(SP1)와, 수직축(Y축) 방향의 길이를 갖는 제2 지지부(SP2)와, 제1 및 제2 지지부(SP1, SP2) 사이에 배치된 제1 밴드부(BP1)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 지지부(SP1) 및 제2 지지부(SP2)의 일측 가장자리 단면은 소정의 경사면으로 형성된다.The first cutting member CP1 constituting the second frame F-2 includes a first support part SP1 having a length in a horizontal axis (X-axis) direction, and a second support part having a length in a vertical axis (Y-axis) direction. It may include a first band portion BP1 disposed between the SP2 and the first and second support portions SP1 and SP2. In addition, a cross section of one edge of the first support part SP1 and the second support part SP2 is formed as a predetermined inclined surface.

제2 프레임(F-2)을 구성하는 제2 절단부재(CP2)는 수평축(X축) 방향의 길이를 갖는 제3 지지부(SP3)와, 수직축(Y축) 방향의 길이를 갖는 제4 지지부(SP4)와, 제3 및 제4 지지부(SP3, SP4) 사이에 배치된 제2 밴드부(BP2)를 포함할 수 있다. 또한, 제3 지지부(SP3) 및 제4 지지부(SP4)의 일측 가장자리 단면은 소정의 경사면으로 형성된다.The second cutting member CP2 constituting the second frame F-2 includes a third support part SP3 having a length in a horizontal axis (X-axis) direction, and a fourth support part having a length in a vertical axis (Y-axis) direction. It may include a second band portion BP2 disposed between the SP4 and the third and fourth support portions SP3 and SP4. In addition, cross-sections of one side edge of the third support part SP3 and the fourth support part SP4 are formed as a predetermined inclined surface.

제2 프레임(F-2)을 구성하는 제3 절단부재(CP3)는 수평축(X축) 방향의 길이를 갖는 제5 지지부(SP5)와, 수직축(Y축) 방향의 길이를 갖는 제6 지지부(SP6)와, 제5 및 제6 지지부(SP5, SP6) 사이에 배치된 제3 밴드부(BP3)를 포함할 수 있다. 또한, 제5 지지부(SP5) 및 제6 지지부(SP6)의 일측 가장자리 단면은 소정의 경사면으로 형성된다.The third cutting member CP3 constituting the second frame F-2 includes a fifth support part SP5 having a length in a horizontal axis (X-axis) direction, and a sixth support part having a length in a vertical axis (Y-axis) direction. It may include a third band portion BP3 disposed between SP6 and the fifth and sixth support portions SP5 and SP6. In addition, cross-sections of one side edge of the fifth support part SP5 and the sixth support part SP6 are formed with a predetermined inclined surface.

제2 프레임(F-2)을 구성하는 제4 절단부재(CP4)는 수평축(X축) 방향의 길이를 갖는 제7 지지부(SP7)와, 수직축(Y축) 방향의 길이를 갖는 제8 지지부(SP8)와, 제7 및 제8 지지부(SP7, SP8) 사이에 배치된 제4 밴드부(BP4)를 포함할 수 있다. 또한, 제7 지지부(SP7) 및 제8 지지부(SP8)의 일측 가장자리 단면은 소정의 경사면으로 형성된다.The fourth cutting member CP4 constituting the second frame F-2 includes a seventh support portion SP7 having a length in a horizontal axis (X-axis) direction, and an eighth support portion having a length in a vertical axis (Y-axis) direction. It may include a fourth band portion BP4 disposed between the SP8 and the seventh and eighth support portions SP7 and SP8. In addition, a cross section of one side edge of the seventh support part SP7 and the eighth support part SP8 is formed with a predetermined inclined surface.

또한, 제2 프레임(F-2)을 구성하는 제5 절단부재(CP5)와 제6 절단부재(CP6)는 각각 수직축(Y축) 방향의 길이를 갖고, 양측 가장자리 단면이 소정의 경사면으로 형성된다.In addition, the fifth cutting member CP5 and the sixth cutting member CP6 constituting the second frame F-2 have a length in the vertical axis (Y-axis) direction, respectively, and both edge cross-sections are formed with a predetermined slope. do.

도면에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제6 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, CP6)를 사각형 테 구조로 배열하여 제2 프레임(F-2)을 제조할 때, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면과 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면은 서로 마주한다. 제1 지지부(SP1)의 경사면과 제7 지지부(SP7)의 경사면 사이에는 제1 접합영역(FCA-1)이 위치한다.As shown in the figure, when manufacturing the second frame (F-2) by arranging the first to sixth cutting members (CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, CP6) in a rectangular frame structure, the first cutting The inclined surface of the edge of the first support part SP1 of the member CP1 and the inclined surface of the edge of the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 face each other. The first bonding area FCA-1 is positioned between the inclined surface of the first support part SP1 and the inclined surface of the seventh support part SP7.

제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 경사면과 제5 절단부재(CP5)의 일측 경사면은 서로 마주한다. 제2 지지부(SP2)의 경사면과 제5 절단부재(CP5)의 일측 경사면 사이에는 제2 접합영역(FCA-2)이 위치한다.An inclined surface of the edge of the second support part SP2 of the first cutting member CP1 and the inclined surface of one side of the fifth cutting member CP5 face each other. A second bonding area FCA-2 is positioned between the inclined surface of the second support part SP2 and one inclined surface of the fifth cutting member CP5.

제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 가장자리 경사면과 제5 절단부재(CP5)의 타측 경사면은 서로 마주한다. 제4 지지부(SP4)의 경사면과 제5 절단부재(CP5)의 타측 경사면 사이에는 제3 접합영역(FCA-3)이 위치한다.The edge inclined surface of the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 and the other inclined surface of the fifth cutting member CP5 face each other. A third bonding area FCA-3 is positioned between the inclined surface of the fourth support part SP4 and the other inclined surface of the fifth cutting member CP5.

제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 가장자리 경사면과 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 가장자리 경사면은 서로 마주한다. 제3 지지부(SP3)의 경사면과 제5 지지부(SP5)의 경사면 사이에는 제4 접합영역(FCA-4)이 위치한다.The edge inclined surface of the third support part SP3 of the second cutting member CP2 and the edge inclined surface of the fifth support part SP5 of the third cutting member CP3 face each other. A fourth bonding area FCA - 4 is positioned between the inclined surface of the third support part SP3 and the inclined surface of the fifth support part SP5 .

제3 절단부재(CP3)의 제6 지지부(SP6) 가장자리 경사면과 제6 절단부재(CP6)의 일측 경사면은 서로 마주한다. 제6 지지부(SP6)의 경사면과 제6 절단부재(CP6)의 일측 경사면 사이에는 제5 접합영역(FCA-5)이 위치한다.The edge inclined surface of the sixth support part SP6 of the third cutting member CP3 and the inclined surface of one side of the sixth cutting member CP6 face each other. A fifth bonding area FCA-5 is positioned between the inclined surface of the sixth support part SP6 and one inclined surface of the sixth cutting member CP6.

제4 절단부재(CP4)의 제8 지지부(SP8) 가장자리 경사면과 제6 절단부재(CP6)의 타측 가장자리 경사면은 서로 마주한다. 제8 지지부(SP8)의 경사면과 제6 절단부재(CP6)의 타측 가장자리 경사면 사이에는 제6 접합영역(FCA-6)이 위치한다.The inclined surface of the eighth support part SP8 of the fourth cutting member CP4 and the inclined surface of the other edge of the sixth cutting member CP6 face each other. A sixth bonding area FCA-6 is positioned between the inclined surface of the eighth support part SP8 and the inclined surface of the other edge of the sixth cutting member CP6.

또한, 제1 내지 제6 접합영역(FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4, FCA-5, FCA-6) 각각에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치된다.In addition, in each of the first to sixth bonding regions FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4, FCA-5, FCA-6, first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 are provided. are placed

이와 같이, 제1 내지 제6 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, CP6)가 접합을 위해 배열되면 제1 내지 제6 접합영역(FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4, FCA-5, FCA-6)에 대해 전자빔 접합 공정을 진행하여 제2 프레임(F-2)을 완성한다.As such, when the first to sixth cutting members CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, and CP6 are arranged for bonding, the first to sixth bonding areas FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA -4, FCA-5, FCA-6), an electron beam bonding process is performed to complete the second frame F-2.

또한, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제6 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4, CP5, CP6)들의 접합 방향은 다양하게 선택될 수 있다. 제1 접합영역(FCA-1)이 형성되는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1)와 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)는 경사면들이 서로 수평축(X축) 방향과 평행한 방향으로 접합될 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 15 and 16 , the bonding directions of the first to sixth cutting members CP1 , CP2 , CP3 , CP4 , CP5 , and CP6 may be variously selected. The first support part SP1 of the first cutting member CP1 on which the first bonding area FCA-1 is formed and the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 are inclined surfaces of the horizontal axis (X-axis) of each other. It can be joined in a direction parallel to the direction.

반대로 제1 절단부재(CP10의 제1 지지부(SP1)와 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)는 도 16과 같이 두께 방향(Z축)과 평행한 방향으로 접합될 수 있다.Conversely, the first support part SP1 of the first cutting member CP10 and the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 may be joined in a direction parallel to the thickness direction (Z-axis) as shown in FIG. 16 .

제1 접합영역(FCA-1)에 배치되는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 제1 접합영역(FCA-1)이 소정의 경사를 가지기 때문에 경사 방향을 기준으로 서로 마주하게 배치된다.The first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 disposed in the first bonding area FCA-1 face each other based on the inclination direction because the first bonding area FCA-1 has a predetermined inclination. are placed

도 16에서는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면은 Z축 방향을 기준으로 상부에 위치하고 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면은 하부에 위치한다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니기 때문에 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면이 상부에 위치하고 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면이 하부에 위치할 수 있다.In FIG. 16 , the edge inclined surface of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 is located on the upper side with respect to the Z-axis direction, and the edge inclined surface of the edge of the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 is located at the bottom. . However, since this is not fixed, the inclined surface of the edge of the seventh support part SP7 may be positioned on the upper part and the inclined surface of the edge of the first support part SP1 may be positioned on the lower part.

도 16과 같이 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면과 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면이 Z축 방향(두께 방향)으로 접합되면 Z축 방향에 대한 수직 지지력이 증가된다. As shown in FIG. 16 , when the inclined surface of the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 and the inclined surface of the edge of the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 are joined in the Z-axis direction (thickness direction), the Z-axis The vertical bearing force in the direction is increased.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 절단재(CB)로부터 절단된 복수의 절단부재 가장자리 경사면에 제5 체결부(JP5)와 제6 체결부(JP6)를 형성할 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이, 제5 체결부(JP5)는 절단부재의 두께 방향을 따라 연속한 소정의 홈들로 구성될 수 있고, 제6 체결부(JP6)는 제5 체결부(JP5)와 슬라이드 방식으로 체결될 수 있는 돌기부들로 구성될 수 있다. 돌기부들은 절단부재의 두께 방향을 따라 연속한 구조로 형성될 수 있다.In addition, in the method of manufacturing a mask frame of the present invention, the fifth fastening part JP5 and the sixth fastening part JP6 may be formed on the inclined surfaces of the edges of the plurality of cutting members cut from the cutting material CB. As shown in FIG. 17 , the fifth fastening part JP5 may be formed of predetermined grooves continuous along the thickness direction of the cutting member, and the sixth fastening part JP6 is connected to the fifth fastening part JP5 and JP5. It may be composed of protrusions that can be fastened in a slide manner. The protrusions may be formed in a continuous structure along the thickness direction of the cutting member.

도 14를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면에 제5 체결부(JP5)를 형성하고, 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면에 제6 체결부(JP6)를 형성한다. 즉, 제5 체결부(JP5)와 제6 체결부(JP6)는 제1 내지 제6 접합영역(FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4, FCA-5, FCA-6)에 위치하는 마주하는 경사면들에 선택적으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 14 , a fifth fastening part JP5 is formed on the inclined surface of the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1, and the seventh support part of the fourth cutting member CP4 is formed. (SP7) A sixth fastening part JP6 is formed on the edge inclined surface. That is, the fifth fastening part JP5 and the sixth fastening part JP6 are the first to sixth joining areas FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4, FCA-5, FCA-6). It may be selectively formed on the opposite inclined surfaces located in the.

도 18 및 도 19는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 절단부재에 접합 가이드부가 일체로 형성된 다른 실시예를 나타내는 도면이다.18 and 19 are views illustrating another embodiment in which a bonding guide part is integrally formed with a cutting member in a mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention.

도 18 및 도 19를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정에서 절단부재들의 접합 영역에 배치되는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 절단부재와 일체로 형성될 수 있다.18 and 19 , in the mask frame manufacturing process according to an embodiment of the present invention, the first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 disposed in the bonding area of the cutting members may be formed integrally with the cutting member. can

도 7 또는 도 14와 함께 도 18을 참조하면, 제2 프레임(F-2)을 구성하는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면(제1면: S1)과 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면(또는 제2 절단부재(CP2)의 제2면:S2)이 마주하는 제1 접합영역(FCA-1)에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치된다. 여기서, 제1 접합 가이드부(CCP1)는 제1 지지부(SP1) 가장자리 경사면 영역에 제1 지지부(SP1)와 일체로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 18 together with FIG. 7 or FIG. 14 , the edge of the first support part SP1 of the first cutting member CP1 constituting the second frame F-2 (first surface: S1) and the fourth The first and second bonding guides are provided in the first bonding area FCA-1 where the edge inclined surface of the seventh support part SP7 of the cutting member CP4 (or the second side: S2 of the second cutting member CP2) faces each other. The parts CCP1 and CCP2 are arranged. Here, the first bonding guide part CCP1 may be integrally formed with the first support part SP1 on the inclined surface area of the edge of the first support part SP1 .

또한, 제2 접합 가이드부(CCP2)는 제7 지지부(SP7) 가장자리 경사면 영역에 제7 지지부(SP7)와 일체로 형성될 수 있다. 전술한 도 17과 도 18의 구조는 도 7읠 실시예와 도 14의 실시예에 동일하게 적용될 수 있다.In addition, the second bonding guide part CCP2 may be integrally formed with the seventh support part SP7 on the inclined surface area of the edge of the seventh support part SP7 . The above-described structures of FIGS. 17 and 18 may be equally applied to the embodiment of FIG. 7 and the embodiment of FIG. 14 .

또한, 도 14와 함께 도 19를 참조하면, 제2 프레임(F-2)을 구성하는 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 가장자리 경사면과 제5 절단부재(CP5)의 일측 가장자리 경사면이 마주하는 제2 접합영역(FCA-2)에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치된다. 여기서, 제1 접합 가이드부(CCP1)는 제2 지지부(SP2) 가장자리 경사면 영역에 제2 지지부(SP2)와 일체로 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 19 together with FIG. 14 , the second support part SP2 edge inclined surface of the first cutting member CP1 constituting the second frame F-2 and one edge of the fifth cutting member CP5 The first and second bonding guides CCP1 and CCP2 are disposed in the second bonding area FCA-2 where the inclined surfaces face each other. Here, the first bonding guide part CCP1 may be integrally formed with the second support part SP2 on the inclined surface area of the edge of the second support part SP2 .

또한, 제2 접합 가이드부(CCP2)는 제5 절단부재(CP5)의 일측 가장자리 경사면 영역에 제5 절단부재(CP5)와 일체로 형성될 수 있다.In addition, the second bonding guide part CCP2 may be integrally formed with the fifth cutting member CP5 on the inclined surface area of one edge of the fifth cutting member CP5 .

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

도 20a 및 도 20b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도 21은 도 20a 및 도 20b의 실시예에 따라 제조된 마스크 프레임의 구조를 도시한 도면이다.20A and 20B are diagrams for explaining a mask frame manufacturing process according to another embodiment of the present invention. 21 is a diagram illustrating a structure of a mask frame manufactured according to the embodiment of FIGS. 20A and 20B .

먼저, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 공정은 전술한 도 3 내지 도 7에서의 마스크 프레임 제조 공정을 기초로 한다. 따라서, 아래에서 설명한 부분 중 생략되거나 설명하지 않은 부분은 도 3 내지 도 7의 공정 내용을 동일하게 적용한다. 이하에서는 전술한 실시예와 구별되는 부분을 중심으로 설명한다.First, the mask frame manufacturing process according to another embodiment of the present invention is based on the mask frame manufacturing process in FIGS. 3 to 7 described above. Accordingly, the process contents of FIGS. 3 to 7 are identically applied to the parts that are omitted or not described among the parts described below. Hereinafter, parts distinguished from the above-described embodiments will be mainly described.

도 3 내지 도 5와 함께 도 20a 및 도 20b를 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 모재(MB)로부터 제1 프레임(F-1)을 분리한 후, 절단재(CB)로부터 제2 프레임(F-2) 제조를 위한 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 분리한다.Referring to FIGS. 20A and 20B together with FIGS. 3 to 5 , the mask frame manufacturing method of the present invention separates the first frame F-1 from the base material MB, and then removes the first frame F-1 from the cutting material CB. 2 Separate the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, and CP4 for manufacturing the frame F-2.

도면에 도시한 바와 같이, 절단재(CB)로부터 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 획득하기 위해 컷팅 라인(CL)을 따라 절단 공정을 진행한다. 즉, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 하나의 절단재(CB)로부터 제2 프레임(F-2)을 구성하는 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 분리한다.As shown in the drawing, a cutting process is performed along the cutting line CL to obtain the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, and CP4 from the cutting material CB. That is, the mask frame manufacturing method of the present invention separates the first to fourth cutting members CP1 , CP2 , CP3 and CP4 constituting the second frame F-2 from one cutting material CB.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조 방법은 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)의 구조를 'ㄱ'자 형태 또는 'ㄴ'자 형태로 제작하여 X축 및 Y축 방향의 지지력을 개선하였다.In particular, in the mask frame manufacturing method according to an embodiment of the present invention, the structure of the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, CP4 is manufactured in a 'L' shape or 'L' shape to form an X-axis and The bearing capacity in the Y-axis direction was improved.

또한, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 제1 프레임(F-1)을 제작하고 남은 절단재(CB)를 이용하여 1차적으로 가장자리 둘레를 따라 지지부의 길이가 상대적으로 긴 제1 및 제3 절단부재(CP1, CP3)를 분리하고, 절단재(CB)의 내부에서 지지부의 길이가 상대적으로 짧은 제2 및 제4 절단부재(CP2, CP4)를 제작하여 제2 프레임(F-2)을 제작할 수 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first and third cuttings having relatively long support portions along the edge periphery are primarily using the cutting material CB remaining after manufacturing the first frame F-1. Separating the members CP1 and CP3, and manufacturing the second and fourth cutting members CP2 and CP4 having a relatively short length of the support inside the cutting material CB to manufacture the second frame F-2. can

따라서, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 모재(MB)로부터 제1 및 제2 마스크 프레임을 제작할 수 있어 재료 손실을 줄일 수 있다.Accordingly, in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, the first and second mask frames can be manufactured from the base material MB, thereby reducing material loss.

도 20b를 참조하면, 절단재(CB)로부터 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)가 분리된다.Referring to FIG. 20B , the first to fourth cutting members CP1 , CP2 , CP3 , and CP4 are separated from the cutting material CB.

도면에 도시된 바와 같이, 제1 절단부재(CP1)는 일방향의 길이를 갖는 제1 지지부(SP1)와, 타방향의 길이를 갖는 제2 지지부(SP2) 및 제1 밴드부(BP1)로 구성되고, 제3 절단부재(CP3)는 일방향의 길이를 갖는 제5 지지부(SP5)와, 타방향의 길이를 갖는 제6 지지부(SP6) 및 제3 밴드부(BP3)로 구성될 수 있다. 제1 및 제2 지지부(SP1, SP2)의 길이는 서로 다른 길이로 형성될 수 있고, 이들은 제1 밴드부(BP1)를 사이에 두고 수직하게 배치될 수 있다.As shown in the drawing, the first cutting member (CP1) is composed of a first support portion (SP1) having a length in one direction, a second support portion (SP2) and a first band portion (BP1) having a length in the other direction, and , the third cutting member CP3 may include a fifth support part SP5 having a length in one direction, and a sixth support part SP6 and a third band part BP3 having a length in the other direction. The lengths of the first and second support parts SP1 and SP2 may be different from each other, and they may be vertically disposed with the first band part BP1 interposed therebetween.

마찬가지로, 제5 및 제6 지지부(SP5, SP6)의 길이는 서로 다른 길이로 형성될 수 있고, 이들은 제3 밴드부(BP3)를 사이에 두고 수직하게 배치될 수 있다.Similarly, the lengths of the fifth and sixth support parts SP5 and SP6 may be different from each other, and they may be vertically disposed with the third band part BP3 interposed therebetween.

또한, 제2 절단부재(CP2)는 일방향의 길이를 갖는 제3 지지부(SP3)와, 타방향의 길이를 갖는 제4 지지부(SP4) 및 제2 밴드부(B2)로 구성되고, 제4 절단부재(CP4)는 일방향의 길이를 갖는 제7 지지부(SP7)와, 타방향의 길이를 갖는 제8 지지부(SP8) 및 제4 밴드부(BP4)로 구성될 수 있다. 제3 및 제4 지지부(SP3, SP4)의 길이는 서로 다른 길이로 형성될 수 있고, 이들은 제2 밴드부(BP2)를 사이에 두고 수직하게 배치될 수 있다.In addition, the second cutting member (CP2) is composed of a third support portion (SP3) having a length in one direction, a fourth support portion (SP4) and a second band portion (B2) having a length in the other direction, the fourth cutting member The CP4 may include a seventh support part SP7 having a length in one direction, and an eighth support part SP8 and a fourth band part BP4 having a length in the other direction. The third and fourth support parts SP3 and SP4 may have different lengths, and they may be vertically disposed with the second band part BP2 interposed therebetween.

마찬가지로, 제7 및 제8 지지부(SP7, SP8)의 길이는 서로 다른 길이로 형성될 수 있고, 이들은 제4 밴드부(BP4)를 사이에 두고 수직하게 배치될 수 있다.Similarly, the seventh and eighth support parts SP7 and SP8 may have different lengths, and they may be vertically disposed with the fourth band part BP4 interposed therebetween.

여기서, 일방향은 X축 방향 또는 Y축 방향일 수 있고, 타방향은 Y축 방향 또는 X축 방향일 수 있다.Here, one direction may be an X-axis direction or a Y-axis direction, and the other direction may be a Y-axis direction or an X-axis direction.

이와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 제1 내지 제4 절단부(CP1, CP2, CP3, CP4) 각각에 밴드부(제1 내지 제4 밴드부 중 어느 하나)를 포함한다.상기와 같이, 절단재(CB)로부터 제1 내지 재4 절단부(CP1, CP2, CP3, CP4)가 분리되면 절단부재들을 사각 테 구조로 배치한 다음, 전자빔 접합 공정에 따라 접합 공정을 진행하여 제2 프레임(F-2)을 제조한다.As described above, the mask frame manufacturing method of the present invention includes a band portion (any one of the first to fourth band portions) in each of the first to fourth cut portions CP1, CP2, CP3, and CP4. As described above, the cutting material When the first to fourth cut portions CP1, CP2, CP3, and CP4 are separated from (CB), the cutting members are arranged in a rectangular frame structure, and then the bonding process is performed according to the electron beam bonding process to proceed with the second frame (F-2). ) is manufactured.

도 21을 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법에 의해 제조된 제2 프레임(F-2)은, 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 서로 접합하여 제조된다. 도면에서는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1), 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4), 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 및 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)의 방향을 세로축(Y축) 방향으로 가정하고, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2), 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3), 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 및 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)를 가로축(X축) 방향으로 가정하였다.Referring to FIG. 21 , the second frame F-2 manufactured by the method of manufacturing a mask frame of the present invention is manufactured by bonding the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, and CP4 to each other. In the drawings, the first support portion SP1 of the first cutting member CP1, the fourth support portion SP4 of the second cutting member CP2, the fifth support portion SP5 of the third cutting member CP3, and the fourth cutting Assuming that the direction of the seventh support part SP7 of the member CP4 is the longitudinal axis (Y-axis) direction, the second support part SP2 of the first cutting member CP1, and the third support part of the second cutting member CP2 (SP3), the fifth support part SP5 of the third cutting member CP3, and the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 were assumed to be in the horizontal axis (X-axis) direction.

또한, 제2 프레임(F-2)은 직사각형 테 구조로 형성되기 때문에 제1 절단부재(CP1)의 제1 밴드부(BP1), 제2 절단부재(CP2)의 제2 밴드부(BP2), 제3 절단부재(CP3)의 제3 밴드부(BP1) 및 제4 절단부재(CP4)의 제4 밴드부(BP4)는 제2 프레임(F-2)의 각 모서리 영역에 위치한다.In addition, since the second frame F-2 is formed in a rectangular frame structure, the first band portion BP1 of the first cutting member CP1, the second band portion BP2 of the second cutting member CP2, and the third The third band portion BP1 of the cutting member CP3 and the fourth band portion BP4 of the fourth cutting member CP4 are located in respective corner regions of the second frame F-2.

따라서, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1), 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3), 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 및 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)는 각각 세로축(Y축)에 평행하게 배치된다.Accordingly, the first support portion SP1 of the first cutting member CP1, the third support portion SP3 of the second cutting member CP2, the fifth support portion SP5 of the third cutting member CP3, and the fourth cutting The seventh support parts SP7 of the member CP4 are respectively disposed parallel to the longitudinal axis (Y axis).

또한, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2), 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4), 제3 절단부재(CP3)의 제6 지지부(SP6) 및 제4 절단부재(CP4)의 제8 지지부(SP8)는 각각 가로축(X축)에 평행하게 배치된다.In addition, the second support portion SP2 of the first cutting member CP1, the fourth support portion SP4 of the second cutting member CP2, the sixth support portion SP6 and the fourth cutting of the third cutting member CP3 The eighth support parts SP8 of the member CP4 are respectively disposed parallel to the horizontal axis (X-axis).

본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은 전술한 바와 같이, 절단재(CB)로부터 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 분리하고, 이를 전자빔 접합 공정으로 접합하기 때문에 접합영역이 형성된다.As described above, in the mask frame manufacturing method of the present invention, the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, and CP4 are separated from the cutting material CB and joined by an electron beam bonding process. is formed

도면에 도시된 바와같이, 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1) 접합면과 제4 절단부재(CP4)의 제8 지지부(SP8) 접합면은 제1 접합영역(FCA-1)을 형성하고, 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2) 접합면과 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3) 접합면은 제2 접합영역(FCA-2)을 형성한다.As shown in the drawing, the bonding surface of the first support portion SP1 of the first cutting member CP1 and the bonding surface of the eighth support portion SP8 of the fourth cutting member CP4 are in the first bonding area FCA-1. and a bonding surface of the second support portion SP2 of the first cutting member CP1 and the bonding surface of the third support portion SP3 of the second cutting member CP2 form a second bonding area FCA-2. .

또한, 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7) 접합면과 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 접합면은 제3 접합영역(FCA-3)을 형성하고, 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4) 접합면과 제3 절단부재(CP3)의 제6 지지부(SP6) 접합면은 제4 접합영역(FCA-4)을 형성한다.In addition, the bonding surface of the seventh support portion SP7 of the fourth cutting member CP4 and the bonding surface of the fifth support portion SP5 of the third cutting member CP3 form a third bonding area FCA-3, The bonding surface of the fourth support part SP4 of the second cutting member CP2 and the bonding surface of the sixth support part SP6 of the third cutting member CP3 form a fourth bonding area FCA-4.

또한, 세로축(Y축)에 배치되는 제1 절단부재(CP1)의 제2 지지부(SP2), 제2 절단부재(CP2)의 제3 지지부(SP3), 제3 절단부재(CP3)의 제5 지지부(SP5) 및 제4 절단부재(CP4)의 제7 지지부(SP7)는 동일한 제1폭(W1)을 가질 수 있다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니기 때문에 지지부들의 폭은 마스크 프레임의 사용 조건 또는 사용 환경에 따라 적어도 하나 이상이 서로 다른 폭으로 형성될 수 있다.In addition, the second support portion SP2 of the first cutting member CP1 disposed on the vertical axis (Y-axis), the third support portion SP3 of the second cutting member CP2, and the fifth of the third cutting member CP3 The support part SP5 and the seventh support part SP7 of the fourth cutting member CP4 may have the same first width W1 . However, since this is not fixed, at least one or more widths of the support portions may be formed to have different widths depending on the use condition or use environment of the mask frame.

또한, 가로축(X축)에 배치되는 제1 절단부재(CP1)의 제1 지지부(SP1), 제2 절단부재(CP2)의 제4 지지부(SP4), 제3 절단부재(CP3)의 제6 지지부(SP6) 및 제4 절단부재(CP4)의 제8 지지부(SP8)는 동일한 제2폭(W2)을 가질 수 있다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니기 때문에 지지부들의 폭은 마스크 프레임의 사용 조건 또는 사용 환경에 따라 적어도 하나 이상이 서로 다른 폭으로 형성될 수 있다.In addition, the first support portion SP1 of the first cutting member CP1 disposed on the horizontal axis (X-axis), the fourth support portion SP4 of the second cutting member CP2, and the sixth of the third cutting member CP3 The support part SP6 and the eighth support part SP8 of the fourth cutting member CP4 may have the same second width W2. However, since this is not fixed, at least one or more widths of the support portions may be formed to have different widths depending on the use condition or use environment of the mask frame.

또한, 도면에 도시된 바와 같이, 제1 절단부재(CP1)를 구성하는 제1 및 제2 지지부(SP1, SP2)와 제3 절단부재(CP3)를 구성하는 제5 및 제6 지지부(SP5, SP6)는 각각 서로 다른 제1 및 제2 길이(L1, L2)를 가질 수 있다. 하지만, 마스크 프레임의 사용 조건 또는 사용 환경에 따라 제1 및 제2 지지부(SP1, SP2)와 제5 및 제6 지지부(SP5, SP6)의 길이는 동일한 길이로 형성될 수 있다.In addition, as shown in the drawings, the first and second support parts SP1 and SP2 constituting the first cutting member CP1 and the fifth and sixth support parts SP5 constituting the third cutting member CP3, SP6) may have different first and second lengths L1 and L2, respectively. However, the lengths of the first and second support parts SP1 and SP2 and the fifth and sixth support parts SP5 and SP6 may be formed to have the same length depending on the use condition or environment of the mask frame.

마찬가지로 제2 절단부재(CP2)를 구성하는 제3 및 제4 지지부(SP3, SP4)와 제4 절단부재(CP4)를 구성하는 제7 및 제8 지지부(SP7, SP8)는 각각 서로 다른 제3 및 제4 길이(L3, L4)를 가질 수 있다. 하지만, 마스크 프레임의 사용 조건 또는 사용 환경에 따라 제3 및 제4 지지부(SP3, SP4)와 제7 및 제8 지지부(SP7, SP8)의 길이는 동일한 길이로 형성될 수 있다.Similarly, the third and fourth support parts SP3 and SP4 constituting the second cutting member CP2 and the seventh and eighth support parts SP7 and SP8 constituting the fourth cutting member CP4 are different from each other. and fourth lengths L3 and L4. However, the third and fourth support parts SP3 and SP4 and the seventh and eighth support parts SP7 and SP8 may be formed to have the same length depending on the use condition or environment of the mask frame.

따라서, 제1 내지 제8 지지부(SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6, SP7, SP8)의 길이에 따라 제1 접합영역(FCA-1)과 제4 접합영역(FCA-4)의 위치는 제1 지지부(SP1) 및 제8 지지부(SP8)와 중첩되는 가로축과 제4 지지부(SP4) 및 제6 지지부(SP6)와 중첩되는 가로축을 따라 각각 소정의 위치에 형성될 수 있다.Accordingly, the positions of the first bonding area FCA-1 and the fourth bonding area FCA-4 according to the lengths of the first to eighth supporting parts SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6, SP7, and SP8. may be formed at predetermined positions along a horizontal axis overlapping the first support part SP1 and the eighth support part SP8 and a horizontal axis overlapping the fourth support part SP4 and the sixth support part SP6, respectively.

또한, 제2 접합영역(FCA-2)과 제3 접합영역(FCA-3)의 위치는 제2 지지부(SP2) 및 제3 지지부(SP3)와 중첩되는 세로축과 제5 지지부(SP5) 및 제7 지지부(SP7)와 중첩되는 세로축을 따라 각각 소정의 위치에 형성될 수 있다.In addition, the positions of the second bonding area FCA-2 and the third bonding area FCA-3 have a vertical axis overlapping the second support part SP2 and the third support part SP3, and the fifth support part SP5 and the second support part SP3. 7 may be formed at predetermined positions along the vertical axis overlapping the support portion SP7, respectively.

도면에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4 접합영역(FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4)에는 각각 한쌍의 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)가 배치될 수 있다. 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 접합영역의 양측 가장자리에 배치되어 접합영역을 사이에 두고 서로 마주하게 배치될 수 있다.As shown in the drawing, a pair of first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 are disposed in the first to fourth bonding areas FCA-1, FCA-2, FCA-3, and FCA-4, respectively. can be The first and second bonding guides CCP1 and CCP2 may be disposed at both edges of the bonding area to face each other with the bonding area therebetween.

따라서, 접합영역을 구성하는 각 지지부의 접합면이 세로축(Y축) 또는 가로축(X축)과 평행한 단면일 경우에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 세로축 또는 가로축에 평행하게 배치된다. 하지만, 각 지지부의 접합면에 세로축(Y축) 또는 가로축(X축)과 소정의 경사각을 이루는 단면일 경우에는 제1 및 제2 접합 가이드부(CCP1, CCP2)는 세로축 또는 가로축과 소정의 경사각을 갖는 기준선 상에 배치된다.Accordingly, when the bonding surface of each support constituting the bonding region is a cross section parallel to the vertical axis (Y axis) or the horizontal axis (X axis), the first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 are parallel to the vertical axis or the horizontal axis. is laid out However, in the case of a cross section forming a predetermined inclination angle with the vertical axis (Y axis) or the horizontal axis (X axis) on the joint surface of each support, the first and second bonding guide portions CCP1 and CCP2 have a predetermined inclination angle with the vertical axis or the horizontal axis. is placed on a baseline with

특히, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법에 의해 제조되는 제2 프레임(F-2)은 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)가 제1 내지 제4 밴드부(BP1, BP2, BP3, BP4)를 포함하기 때문에 마스크 프레임의 모서리 영역에서의 수직 및 수평 지지력이 강화된다.In particular, in the second frame F-2 manufactured by the method for manufacturing a mask frame of the present invention, the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, CP4 include the first to fourth band portions BP1, BP2, BP3 and BP4), the vertical and horizontal support forces in the edge region of the mask frame are strengthened.

또한, 도 21에서는 구체적으로 도시하지 않았지만, 전술한 도 11, 도 16 및 도 17에서와 같이, 지지부의 가장자리에 위치하는 접합면에 복수의 체결구조를 형성할 수 있다.In addition, although not specifically illustrated in FIG. 21 , a plurality of fastening structures may be formed on the bonding surface positioned at the edge of the support, as in FIGS. 11, 16 and 17 described above.

이와 같이, 본 발명의 마스크 프레임 제조 방법은, 절단재(CB)로부터 제조된 제1 내지 제4 절단부재(CP1, CP2, CP3, CP4)를 직사각형 테 구조로 배치한 후, 제1 내지 제4 접합영역(FCA-1, FCA-2, FCA-3, FCA-4)에 전자빔 접합 공정을 진행하여 제2 프레임(F-2)을 제조한다.As described above, in the method for manufacturing a mask frame of the present invention, after arranging the first to fourth cutting members CP1, CP2, CP3, and CP4 manufactured from the cutting material CB in a rectangular frame structure, the first to fourth An electron beam bonding process is performed on the bonding regions FCA-1, FCA-2, FCA-3, and FCA-4 to manufacture the second frame F-2.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 압연판재로 구성된 모재로부터 복수의 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 하여 재료 손실을 최소화한 효과가 있다.As described above, the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention has an effect of minimizing material loss by making it possible to manufacture a plurality of mask frames from a base material composed of a rolled sheet material.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 제1 및 제2 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 추가적으로 제2 마스크 프레임을 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating the first and second cutting members, there is an effect of joining them to additionally manufacture a second mask frame.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재를 절단하여 제1 마스크 프레임을 위한 제1 프레임을 제조하고, 제1 프레임과 함께 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리한 후, 이들을 접합하여 복수의 마스크 프레임을 추가적으로 제조할 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, in the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention, a first frame for the first mask frame is manufactured by cutting a base material, and a cutting material separated from the base material together with the first frame. After separating into a plurality of cutting members, there is an effect that can additionally manufacture a plurality of mask frames by bonding them.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 모재로부터 분리된 절단재를 복수의 절단부재로 분리하고 이들이 접합되는 접합영역에서의 단면에 복수의 체결 패턴들을 형성하여 접합 공정으로 제조된 마스크 프레임의 수직 지지력과 수평 지지력을 강화시킨 효과가 있다.In addition, the mask frame manufacturing method and the mask assembly manufacturing method using the same according to an embodiment of the present invention separate a cutting material separated from a base material into a plurality of cutting members and apply a plurality of fastening patterns to a cross section in a bonding area where they are joined. It has the effect of strengthening the vertical support and horizontal support of the mask frame manufactured by the bonding process.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법은, 복수의 절단부재들이 서로 접합되는 접합영역에 접합 가이드부를 배치하여 절단부재들이 접합하기 위해 조사하는 전자빔 강도가 접합영역에서 충분히 유지되면서 접합되도록 하여 접합 특성을 향상시킨 효과가 있다.In addition, in the method for manufacturing a mask frame and a method for manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, the bonding guide unit is disposed in a bonding area where a plurality of cutting members are bonded to each other, so that the intensity of the electron beam irradiated to the cutting members is bonded to each other. There is an effect of improving the bonding characteristics by allowing bonding while being sufficiently maintained in the region.

또한 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술할 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.In addition, although the detailed description of the present invention has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those having ordinary knowledge in the art will appreciate the spirit of the present invention described in the claims to be described later. And it will be understood that various modifications and variations of the present invention can be made without departing from the technical scope. Accordingly, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (13)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 판형 구조를 갖는 모재로부터 제1 절단 공정을 진행하여 사각테 구조의 제1 프레임을 형성하는 단계;
상기 제1 프레임의 개구 영역과 대응하고 절단된 모재로부터 분리된 절단재로부터 제2 절단 공정을 진행하여 제1 내지 제4 절단부재를 형성하는 단계;
상기 제1 내지 제4 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계; 및
상기 제1 프레임 및 제2 프레임에 대해 각각 마스크 가공 공정을 진행하여 제1 마스크 프레임과 제2 마스크 프레임을 제조하는 단계를 포함하고,
상기 제1 절단부재는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 수직한 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부 사이에 배치된 제1 밴드부를 포함하며,
상기 제2 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제4 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제3 지지부 및 상기 제3 및 제4 지지부 사이에 배치된 제2 밴드부를 포함하고,
상기 제3 절단부재는 상기 제2 지지부와 평행한 제5 지지부와, 상기 제1 지지부와 평행한 제6 지지부 및 상기 제5 및 제6 지지부 사이에 배치된 제3 밴드부를 포함하며,
상기 제4 절단부재는 상기 제1 지지부와 평행한 제8 지지부와, 상기 제2 지지부와 평행한 제7 지지부 및 상기 제7 및 제8 지지부 사이에 배치된 제4 밴드부를 포함하고,
상기 제2 프레임을 형성하는 단계는,
상기 제1 내지 제4 절단부재의 제1 내지 제4 밴드부가 상기 제2 프레임의 4 모서리에 각각 위치하도록 배치하는 단계를 포함하는,
마스크 프레임 제조 방법.Forming a first frame of a rectangular frame structure by performing a first cutting process from the base material having a plate-shaped structure;
forming first to fourth cutting members by performing a second cutting process from the cutting material that corresponds to the opening region of the first frame and is separated from the cut base material;
forming a second frame having a rectangular frame structure by bonding the first to fourth cutting members; and
manufacturing a first mask frame and a second mask frame by performing a mask processing process on the first frame and the second frame, respectively;
The first cutting member includes a first support portion, a second support portion perpendicular to the first support portion, and a first band portion disposed between the first and second support portions,
The second cutting member includes a fourth support portion parallel to the first support portion, a third support portion parallel to the second support portion, and a second band portion disposed between the third and fourth support portions,
The third cutting member includes a fifth support portion parallel to the second support portion, a sixth support portion parallel to the first support portion, and a third band portion disposed between the fifth and sixth support portions,
The fourth cutting member includes an eighth support portion parallel to the first support portion, a seventh support portion parallel to the second support portion, and a fourth band portion disposed between the seventh and eighth support portions,
Forming the second frame comprises:
Comprising the step of arranging the first to fourth band portions of the first to fourth cutting members to be respectively located at the four corners of the second frame,
How to make a mask frame. 제11항에 있어서,
상기 제1 내지 제4 절단부재를 접합하여 사각테 구조의 제2 프레임을 형성하는 단계는,
상기 제1 절단부재의 제1 지지부와 상기 제4 절단부재의 제8 지지부를 마주하도록 배치하여 제1 접합영역을 형성하는 단계와,
상기 제1 절단부재의 제2 지지부와 상기 제2 절단부재의 제3 지지부를 마주하도록 배치하여 제2 접합영역을 형성하는 단계와,
상기 제3 절단부재의 제5 지지부와 상기 제4 절단부재의 제7 지지부를 마주하도록 배차하여 제3 접합영역을 형성하는 단계와,
상기 제2 절단부재의 제4 지지부와 상기 제3 절단부재의 제6 지지부를 마주하도록 배치하여 제4 접합영역을 형성하는 단계를 포함하는,
마스크 프레임 제조 방법.12. The method of claim 11,
Forming a second frame of a rectangular frame structure by bonding the first to fourth cutting members,
forming a first bonding region by disposing the first support portion of the first cutting member and the eighth support portion of the fourth cutting member to face;
forming a second bonding region by disposing the second support portion of the first cutting member and the third support portion of the second cutting member to face;
distributing the fifth support part of the third cutting member to face the seventh support part of the fourth cutting member to form a third bonding area;
and arranging the fourth support part of the second cutting member to face the sixth support part of the third cutting member to form a fourth bonding area,
How to make a mask frame. 제12항에 있어서,
상기 제1 내지 제4 접합영역 각각에는 한쌍의 제1 및 제2 접합 가이드부를 배치하는 단계를 포함하는,
마스크 프레임 제조 방법.13. The method of claim 12,
and disposing a pair of first and second bonding guides in each of the first to fourth bonding regions.
How to make a mask frame.

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