KR102423270B1 - 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판을 지지하는 메인바와 연결바에 히터를 삽입하여 기판을 가열할 수 있게 하는 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 메인바와 연결바에 히터를 삽입하여 기판을 가열할 수 있게 하는 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
어닐링(annealing) 장치는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리 단계를 담당하는 장치이다.
기존의 공정 튜브는 보트가 설치된 베이스와 체결되는 것으로서, 이러한 공정 튜브나 베이스에는 기판을 가열할 수 있도록 내벽에 판형 히터가 설치될 수 있다.
여기서, 이러한 판형 히터는 공정 튜브의 내벽이나 베이스의 내벽에 설치되는 것으로서, 이러한 벽면 설치형 히터로 인하여 먼저 공정 튜브나 베이스가 1차로 가열되면 이를 통해서 2차로 기판을 둘러싼 공간의 내부가 가열되고, 이를 통해서 상기 기판이 3차로 가열되는 간접 가열 방식으로 기판을 가열할 수 있었다.
그러나, 이러한 기판 히팅 방식은 기판 히팅이 간접적으로 이루어지기 때문에 이 과정에서 낭비되는 열에너지가 많고, 내벽면에 가까운 기판 또는 기판의 테두리부분 등의 일부분에만 먼저 고온으로 가열되어 기판의 중심부와 테두리부에 대한 온도 편차가 심하게 발생됨으로써 기판을 균일하게 가열할 수 없었던 문제점들이 있었다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 보트의 메인바와 연결바에 각각 히터를 삽입하여 공간 활용도와 열효율을 향상시키고, 열용량을 줄여서 승온 시간 및 쿨링 시간을 단축시키고, 멀티존으로 기판의 전면 가열이 가능하여 기판의 중심부나 테두리부 모두 균일하게 복사열로 가열할 수 있으며, 기판의 온도 편차를 줄여서 제품의 소자 특성을 향상시킬 수 있게 하는 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치를 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 지지용 보트는, 기판 처리 장치의 챔버에 투입되어 처리되는 기판을 지지하는 보트로서, 상호 대향하는 한 쌍의 메인바; 및 한 쌍의 상기 메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바;를 포함하고, 상기 메인바 또는 상기 연결바에 적어도 하나의 히터가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 메인바 또는 상기 연결바 상에 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 메인바 또는 상기 연결바에 삽입로가 형성되고, 상기 삽입로에 상기 히터가 삽입될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는 봉 형상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는 열선 형상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 지지용 보트는, 상기 메인바 또는 상기 연결바를 지지하는 적어도 하나의 기둥;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 지지용 보트는, 상기 메인바, 상기 연결바 및 상기 히터 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터와 전기적으로 연결되는 제 1 단자; 및 전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥의 상기 제 1 단자 대응부에 형성되는 제 2 단자;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 단자는 패드 또는 접속핀이고, 상기 제 2 단자는 접속핀 또는 패드일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는, 상기 메인바에 형성되는 적어도 하나의 제 1 히터; 및 상기 연결바에 형성되는 적어도 하나의 제 2 히터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 봉상 히터이고, 상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 봉상 히터일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 열선형 히터이고, 상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 열선형 히터일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버; 및 상기 수용 공간에 상기 기판을 수용할 수 있도록 상기 기판을 지지하는 보트;를 포함하고, 상기 보트는, 상호 대향하는 한 쌍의 메인바; 및 한 쌍의 상기 메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바;를 포함하며, 상기 메인바 또는 상기 연결바에 적어도 하나의 히터가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 메인바 또는 상기 연결바 상에 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 메인바 또는 상기 연결바에 삽입로가 형성되고, 상기 삽입로에 상기 히터가 삽입될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는 봉 형상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는 열선 형상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 보트는, 상기 메인바 또는 상기 연결바를 지지하는 적어도 하나의 기둥;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 메인바, 상기 연결바 및 상기 히터 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터와 전기적으로 연결되는 제 1 단자; 및 전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥의 상기 제 1 단자 대응부에 형성되는 제 2 단자;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 단자는 패드 또는 접속핀이고, 상기 제 2 단자는 접속핀 또는 패드일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터는, 상기 메인바에 형성되는 적어도 하나의 제 1 히터; 및 상기 연결바에 형성되는 적어도 하나의 제 2 히터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 봉상 히터이고, 상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 봉상 히터일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 열선형 히터이고, 상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 열선형 히터일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 복수개의 상기 히터들 중 어느 하나 이상의 히터에 개별 제어 신호를 인가할 수 있는 적어도 하나의 개별 제어부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 개별 제어부에 통합 제어 신호를 인가할 수 있는 통합 제어부;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 기판의 지지 역할과 가열 역할을 겸임할 수 있으며, 보트의 메인바와 연결바에 각각 히터를 삽입하여 공간 활용도와 열효율을 향상시키고, 열용량을 줄여서 승온 시간 및 쿨링 시간을 단축시키고, 멀티존으로 기판의 전면 가열이 가능하여 기판의 중심부나 테두리부 모두 균일하게 복사열로 가열할 수 있으며, 기판의 온도 편차를 줄여서 제품의 소자 특성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 지지용 보트를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 기판 지지용 보트를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 4는 도 2의 기판 지지용 보트의 단자들을 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 기판 지지용 보트를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 기판 지지용 보트를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 4는 도 2의 기판 지지용 보트의 단자들을 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 블록도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
본 명세서에 있어서, 기판은 LED, LCD 등의 표시장치에 사용하는 기판, 반도체 기판, 태양전지 기판 등의 모든 기판을 포함하는 의미로 이해될 수 있으며, 바람직하게는 플렉서블(Flexible) 표시장치에 사용되는 플렉서블 기판을 의미하는 것으로 이해될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.
또한, 본 명세서에 있어서, 기판 처리 공정이란 증착 공정, 열처리 공정 등을 포함하는 의미로 이해될 수 있으며, 바람직하게는 논플렉서블(Non-Flexible) 기판 상에 플렉서블 기판 형성, 플렉서블 기판 상에 패턴 형성, 플렉서블 기판 분리 등의 공정을 의미하는 것으로 이해될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트(20) 및 기판 처리 장치(100)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트(20) 및 기판 처리 장치(100)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판 지지용 보트(20)를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 기판 지지용 보트(20)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 4는 도 2의 기판 지지용 보트(20)의 단자(E1)(E2)들을 나타내는 분해 사시도이다.
먼저, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트(20)는, 기판 처리 장치(100)의 챔버(10)에 투입되어 처리되는 기판(1)을 지지하는 보트(20)로서, 상기 보트(20)는, 상호 대향하는 한 쌍의 메인바(21) 및 한 쌍의 상기 메인바(21)를 상호 연결하는 복수의 연결바(22)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 메인바(21)는 반드시 도면에 국한되지 않는 것으로서, 제 1 방향 또는 상기 기판(1)의 폭 방향 또는 X축 방향으로 연결되는 원형봉 또는 사각봉 형태의 막대 구조물일 수 있다. 또한, 상기 연결바(22) 역시, 반드시 도면에 국한되지 않는 것으로서, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향 또는 상기 기판(1)의 길이 방향 또는 Y축 방향으로 연결되는 원형봉 또는 사각봉 형태의 막대 구조물일 수 있다.
이외에도 도시되지 않았지만, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)는 직선 형태 이외에도 곡선 형태나 구불 구불한 형태 등 3차원적이고 기하학적인 다양한 형태가 모두 적용될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 보트(20)의 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)에 적어도 하나의 히터(30)가 설치될 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 히터(30)가 각각 설치된 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22) 상에 상기 기판(1)을 지지하는 적어도 하나의 지지핀(P)이 형성될 수 있다.
따라서, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트(20)는, 상기 기판(1)을 지지하는 역할과 함께 상기 기판(1)을 가열하는 역할을 겸임할 수 있다.
즉, 본 발명은, 상기 기판(1)의 지지 역할과 가열 역할을 겸임할 수 있어서 상기 보트(20)의 상기 메인바(21)와 상기 연결바(22)에 각각 히터를 삽입하여 공간 활용도와 열효율을 향상시키고, 열용량을 줄여서 승온 시간 및 쿨링 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)에 길이 방향으로 길게 내부에 형성되는 중공홀 형태의 삽입로(G)가 형성될 수 있고, 이러한 상기 삽입로(G)에 봉 형상의 상기 히터(30)가 삽입될 수 있다.
여기서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 히터(30)는 원형봉 또는 사각봉 형태의 카트리지 타입의 히터일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 히터(30)의 형상은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 전체적으로 원호 형태나, 곡선 형태나, 코일 형태나 이들이 조합된 3차원적이고 기하학적인 다양한 형상이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 상기 기판 지지용 보트(20)는, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)를 지지하는 적어도 하나(도면에서는 4개)의 기둥(23)을 더 포함할 수 있다.
이러한, 상기 기둥(23)들은 복수개의 기판을 지지할 수 있도록 복수개의 돌출턱(24)이 돌출되게 형성될 수 있다. 이러한 상기 돌출턱(24)을 대신하여 도시하지 않았지만, 복수개의 슬롯들이 형성되는 것도 가능하다.
도 4에 도시된 바와 같이, 이러한 상기 히터(30)들에게 전원을 공급하기 위해서 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 지지용 보트(20)는, 상기 메인바(21), 상기 연결바(22) 및 상기 히터(30) 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터(30)와 전기적으로 연결되는 제 1 단자(E1) 및 전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자(E1)와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥(23)의 상기 돌출턱(24)의 상기 제 1 단자 대응부(25)에 형성되는 제 2 단자(E2)를 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 제 1 단자(E1)는 패드 또는 접속핀이고, 상기 제 2 단자(E2)는 접속핀 또는 패드일 수 있다. 여기서 상기 접속핀은 탄성이 부여된 포고핀(pogo pin) 등이 적용될 수 있다.
따라서, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)가 상기 기둥(23)의 상기 돌출턱(24)의 상기 제 1 단자 대응부(25) 상에 거치되면, 이와 동시에 상기 제 1 단자(E1)와 상기 제 2 단자(E2)가 전기적으로 접촉되어 상기 히터(30)에 전원을 공급할 수 있다.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 상기 히터(30)와 연결되는 일체형 전선 또는 커넥터가 상기 기둥(23)에 설치되거나, 이외에도 상기 기둥(23)에 전자기 유도형 무선 전원 공급 장치 등이 설치되어 비접촉 방식으로도 상기 히터(30)에 전원이 공급되게 할 수 있는 등 다양한 전원 공급 방식이 모두 적용될 수 있다.
한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 히터(30)는, 상기 메인바(21)에 형성되는 적어도 하나의 제 1 히터(30-1) 및 상기 연결바(22)에 형성되는 적어도 하나의 제 2 히터(30-2)를 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로는, 상기 제 1 히터(30-1)는 상기 기판(1)의 폭 방향을 따라 설치되는 봉상 히터이고, 상기 제 2 히터(30-2)는 상기 기판(1)의 길이 방향을 따라 설치되는 봉상 히터일 수 있다.
여기서, 상기 제 1 히터(30-1)와 상기 제 2 히터(30-2)는 분리 형태로 예시되었으나, 상기 제 1 히터(30-1)와 상기 제 2 히터(30-2)가 일체형으로 형성되거나, 이외에도 상기 메인바(21)와 상기 연결바(22)에 코일 형태로 권취되는 열선형 히터 등 매우 다양하게 형태의 히터가 설치될 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는, 기판(1)을 처리하는 기판 처리 공정을 수행할 수 있는 기판 처리 장치(100)로서, 상부 챔버(10-1)와 하부 챔버(10-2)로 이루어져서 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버(10) 및 상기 수용 공간에 상기 기판(1)을 수용할 수 있도록 상기 기판(1)을 지지하는 보트(20)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 보트(20)는, 상호 대향하는 한 쌍의 메인바(21) 및 한 쌍의 상기 메인바(21)를 상호 연결하는 복수의 연결바(22)를 포함할 수 있고, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)에 적어도 하나의 히터(30)가 설치될 수 있다.
이러한, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22) 상에 상기 기판(1)을 지지하는 적어도 하나의 지지핀(P)이 형성될 수 있고, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)에 삽입로(G)가 형성되고, 상기 삽입로(G)에 상기 히터(30)가 삽입될 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 보트(20)는, 상기 메인바(21) 또는 상기 연결바(22)를 지지하는 적어도 하나의 기둥(23)과, 상기 메인바(21), 상기 연결바(22) 및 상기 히터(30) 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터(30)와 전기적으로 연결되는 제 1 단자(E1) 및 전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자(E1)와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥(23)의 상기 제 1 단자 대응부에 형성되는 제 2 단자(E2)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 단자(E1)는 패드 또는 접속핀일 수 있고, 상기 제 2 단자(E2)는 접속핀 또는 패드일 수 있다.
이러한 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)의 상기 보트(20)는 상술된 본 발명의 보트(20)와 그 구성과 역할이 동일할 수 있다. 따라서, 상세한 설명은 생략한다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치(100)를 나타내는 블록도이다.
한편, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는, 복수개의 상기 제 1 히터(30-1)들 및 상기 제 2 히터(30-2)들 중 어느 하나 이상의 히터에 개별 제어 신호를 인가할 수 있는 적어도 하나의 개별 제어부(50) 및 상기 개별 제어부(50)에 통합 제어 신호를 인가할 수 있는 통합 제어부(60)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 개별 제어부(50)의 상기 개별 제어 신호는 상기 제 1 히터(30-1)들 및 상기 제 2 히터(30-2)들의 가열 온도를 개별적으로 제어할 수 있는 개별적 제어 신호이고, 상기 통합 제어부(60)의 상기 통합 제어 신호는 상기 기판(1)을 균일하게 가열하기 위해서 부족한 부분의 히터의 온도를 높이고, 높은 부분의 히터의 온도를 낮출 수 있는 통합적 제어 신호일 수 있다.
이러한 통합 제어부(60)는 상기 기판(1) 또는 상기 챔버(10)에 설치된 온도 센서로부터 온도 신호를 인가받아 각종 연산 작업에 의한 제어 결과치를 산출하고, 이들을 피드백하여 최종 제어 신호를 인가할 수 있다.
따라서, 상술된 바와 같이, 다양한 형태의 히터들과 이들을 개별적 또는 통합적으로 제어할 수 있는 제어부들을 이용하여 상기 기판(1)을 균일하게 가열할 수 있고, 이로 인하여, 제품의 균일도와 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 기판의 온도 편차를 줄여서 제품의 소자 특성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 기판
10: 챔버
10-1: 상부 챔버
10-2: 하부 챔버
20: 보트
21: 메인바
22: 연결바
23: 기둥
24: 돌출턱
25: 제 1 단자 대응부
30: 히터
30-1: 제 1 히터
30-2: 제 2 히터
P: 지지핀
G: 삽입로
E1: 제 1 단자
E2: 제 2 단자
50: 개별 제어부
60: 통합 제어부
100: 기판 처리 장치
10: 챔버
10-1: 상부 챔버
10-2: 하부 챔버
20: 보트
21: 메인바
22: 연결바
23: 기둥
24: 돌출턱
25: 제 1 단자 대응부
30: 히터
30-1: 제 1 히터
30-2: 제 2 히터
P: 지지핀
G: 삽입로
E1: 제 1 단자
E2: 제 2 단자
50: 개별 제어부
60: 통합 제어부
100: 기판 처리 장치
Claims (24)
- 기판 처리 장치의 챔버에 투입되어 처리되는 기판을 지지하는 보트로서,
상호 대향하는 한 쌍의 메인바;
한 쌍의 상기 메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바; 및
상기 메인바 또는 상기 연결바를 지지하는 적어도 하나의 기둥;
을 포함하고,
상기 메인바 또는 상기 연결바에 적어도 하나의 히터가 설치되며,
상기 메인바, 상기 연결바 및 상기 히터 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터와 전기적으로 연결되는 제 1 단자; 및
전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥의 상기 제 1 단자 대응부에 형성되는 제 2 단자;
를 더 포함하는, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 메인바 또는 상기 연결바 상에 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀이 형성되는, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 메인바 또는 상기 연결바에 삽입로가 형성되고, 상기 삽입로에 상기 히터가 삽입되는, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 히터는 봉 형상인, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 히터는 열선 형상인, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 기둥에 복수개의 돌출턱이 돌출되게 형성되는, 기판 지지용 보트. - 제 6 항에 있어서,
상기 제2 단자는 상기 돌출턱 상에 배치되는, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 단자는 패드 또는 접속핀이고, 상기 제 2 단자는 접속핀 또는 패드인, 기판 지지용 보트. - 제 1 항에 있어서,
상기 히터는,
상기 메인바에 형성되는 적어도 하나의 제 1 히터; 및
상기 연결바에 형성되는 적어도 하나의 제 2 히터;
를 포함하는, 기판 지지용 보트. - 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 봉상 히터이고,
상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 봉상 히터인, 기판 지지용 보트. - 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 열선형 히터이고,
상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 열선형 히터인, 기판 지지용 보트. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
내부에 수용 공간이 형성되는 챔버; 및
상기 수용 공간에 상기 기판을 수용할 수 있도록 상기 기판을 지지하는 보트;
를 포함하고,
상기 보트는,
상호 대향하는 한 쌍의 메인바;
한 쌍의 상기 메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바; 및
상기 메인바 또는 상기 연결바를 지지하는 적어도 하나의 기둥;
을 포함하며,
상기 메인바 또는 상기 연결바에 적어도 하나의 히터가 설치되며,
상기 메인바, 상기 연결바 및 상기 히터 중 어느 하나 이상에 형성되고, 상기 히터와 전기적으로 연결되는 제 1 단자; 및
전원 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되도록 상기 기둥의 상기 제 1 단자 대응부에 형성되는 제 2 단자;
를 더 포함하는, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 메인바 또는 상기 연결바 상에 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀이 형성되는, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 메인바 또는 상기 연결바에 삽입로가 형성되고, 상기 삽입로에 상기 히터가 삽입되는, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 히터는 봉 형상인, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 히터는 열선 형상인, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 기둥에 복수개의 돌출턱이 돌출되게 형성되는, 기판 처리 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 제2 단자는 상기 돌출턱 상에 배치되는, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 단자는 패드 또는 접속핀이고, 상기 제 2 단자는 접속핀 또는 패드인, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 히터는,
상기 메인바에 형성되는 적어도 하나의 제 1 히터; 및
상기 연결바에 형성되는 적어도 하나의 제 2 히터;
를 포함하는, 기판 처리 장치. - 제 20 항에 있어서,
상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 봉상 히터이고,
상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 봉상 히터인, 기판 처리 장치. - 제 20 항에 있어서,
상기 제 1 히터는 상기 기판의 폭 방향을 따라 설치되는 열선형 히터이고,
상기 제 2 히터는 상기 기판의 길이 방향을 따라 설치되는 열선형 히터인, 기판 처리 장치. - 제 12 항에 있어서,
복수개의 상기 히터들 중 어느 하나 이상의 히터에 개별 제어 신호를 인가할 수 있는 적어도 하나의 개별 제어부;
를 더 포함하는, 기판 처리 장치. - 제 23 항에 있어서,
상기 개별 제어부에 통합 제어 신호를 인가할 수 있는 통합 제어부;
를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180106420A KR102423270B1 (ko) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180106420A KR102423270B1 (ko) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200028135A KR20200028135A (ko) | 2020-03-16 |
| KR102423270B1 true KR102423270B1 (ko) | 2022-07-21 |
Family
ID=69948711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180106420A KR102423270B1 (ko) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | 기판 지지용 보트 및 기판 처리 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102423270B1 (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004179672A (ja) * | 2003-12-12 | 2004-06-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板加熱装置及び半導体回路の形成方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101243309B1 (ko) * | 2011-04-13 | 2013-03-13 | 주식회사 테라세미콘 | 기판 지지용 보트, 보트를 포함하는 지지 유닛 및 지지 유닛을 사용한 기판 처리 장치 |
| KR101982724B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2019-05-27 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 열처리 장치 |
| KR102166491B1 (ko) * | 2014-07-24 | 2020-10-15 | 주식회사 원익아이피에스 | 배치식 기판처리 장치 |
-
2018
- 2018-09-06 KR KR1020180106420A patent/KR102423270B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004179672A (ja) * | 2003-12-12 | 2004-06-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板加熱装置及び半導体回路の形成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20200028135A (ko) | 2020-03-16 |
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