KR102402362B1 - Transport apparatus, exposure apparatus and transport method - Google Patents
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Abstract
반송 장치(100)는, 레일(200)을 따라 이동 가능하다. 반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110), 기체 분출부(120), 제동부(130)를 구비한다. 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)을 따라 반송 방향으로 슬라이딩한다. 기체 분출부(120)는, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에 위치해, 레일(200)에 기체를 분출한다. 제동부(130)는, 슬라이딩 부재(110)의 반송 방향의 일방측의 측면에 설치된다.The conveying apparatus 100 is movable along the rail 200 . The conveying device 100 includes a sliding member 110 , a gas blowing unit 120 , and a braking unit 130 . The sliding member 110 slides along the rail 200 in the conveyance direction. The gas ejection unit 120 is located between the sliding member 110 and the rail 200 , and ejects the gas to the rail 200 . The braking unit 130 is provided on one side of the sliding member 110 in the conveyance direction.
Description
본 발명은, 반송 장치, 노광 장치 및 반송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus, an exposure apparatus, and a conveying method.
레일에 대해 공기(에어) 등의 기체를 분출해서 부상하여 레일을 따라 슬라이딩함으로써 부재를 반송하는 반송 장치가 알려져 있다. 이러한 반송 장치는, 에어 베어링이라고도 불린다. 이러한 반송 장치는, 부재를 매끄럽게 반송할 수 있기 때문에, 노광 처리하는 기판을 반송하기 위해서 이용된다(특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이동체 장치는, 에어를 분출하여 부상 장치를 부상시킨 다음에 부상 장치 상에 재치(載置)된 기판을 소정 방향으로 반송한다.DESCRIPTION OF RELATED ART The conveyance apparatus which blows gas, such as air (air) with respect to a rail, floats, and conveys a member by sliding along a rail is known. Such a conveying apparatus is also called an air bearing. Since such a conveying apparatus can convey a member smoothly, it is used in order to convey the board|substrate to be exposed (refer patent document 1). The movable body apparatus of patent document 1 conveys the board|substrate mounted on the floating apparatus in a predetermined direction, after blowing off air and making the floating apparatus float.
그러나, 특허문헌 1의 이동체 장치에서는, 슬라이딩 부재의 속도가 변화할 때에, 슬라이딩 부재가 가이드 부재(레일)와 접촉할 우려가 있었다. 특히, 최근에, 기판의 대형화가 진행되고 있고, 처리 속도의 향상을 위해서, 슬라이딩 부재가 레일 상을 고속으로 슬라이딩하는 것이 요망되고 있다. 이 경우, 슬라이딩 부재의 속도가 변화할 때에 슬라이딩 부재가 레일과 접촉할 우려가 있다.However, in the movable body apparatus of patent document 1, when the speed of a sliding member changes, there exists a possibility that a sliding member may come into contact with a guide member (rail). In particular, in recent years, the size of the substrate is progressing, and in order to improve the processing speed, it is desired that the sliding member slides on the rail at high speed. In this case, when the speed of a sliding member changes, there exists a possibility that a sliding member may come into contact with a rail.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 슬라이딩 부재와 레일의 접촉을 억제 가능한 반송 장치, 노광 장치 및 반송 방법을 제공하는 것에 있다.This invention was made in view of the said subject, The objective is to provide the conveyance apparatus, exposure apparatus, and conveyance method which can suppress the contact of a sliding member and a rail.
본 발명의 일 국면에 의하면, 반송 장치는, 레일을 따라 이동 가능하다. 상기 반송 장치는, 슬라이딩 부재, 기체 분출부, 제동부를 구비한다. 상기 슬라이딩 부재는, 상기 레일을 따라 반송 방향으로 슬라이딩한다. 상기 기체 분출부는, 상기 슬라이딩 부재와 상기 레일 사이에 위치해, 상기 레일에 기체를 분출한다. 상기 제동부는, 상기 슬라이딩 부재의 반송 방향의 일방측의 측면에 설치된다.According to one aspect of this invention, a conveyance apparatus is movable along a rail. The conveying device includes a sliding member, a gas blowing unit, and a braking unit. The said sliding member slides along the said rail in a conveyance direction. The gas ejection unit is located between the sliding member and the rail, and ejects the gas to the rail. The said braking part is provided in the side surface of the one side of the conveyance direction of the said sliding member.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 제동부는, 상기 레일에 기체를 분출하여 상기 레일에 대해 부상한다.In the conveying apparatus of this invention, the said braking part blows out gas to the said rail, and floats with respect to the said rail.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩할 때의 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 레일에 대한 상기 제동부의 부상력이 최대가 되는 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리보다 길다.In the conveying apparatus of the present invention, the distance between the braking unit and the rail when the sliding member slides along the rail is the braking unit and the rail at which the levitation force of the braking unit with respect to the rail is maximized. longer than the distance between
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩하는 경우, 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 기체 분출부와 상기 레일 사이의 거리보다 길다.In the conveying apparatus of this invention, when the said sliding member slides along the said rail, the distance between the said braking part and the said rail is longer than the distance between the said gas ejection part and the said rail.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 레일에 대한 상기 제동부의 부상력이 최대가 되는 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩할 때의 상기 기체 분출부와 상기 레일 사이의 거리보다 짧다.In the conveying apparatus of this invention, the distance between the said brake part and the said rail at which the levitation force of the said brake part with respect to the said rail becomes maximum is the said gas ejection part when the said sliding member slides along the said rail, and the said shorter than the distance between the rails.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 제동부로부터 분출되는 상기 기체의 분출량이 변화한다.In the conveying apparatus of this invention, the ejection amount of the said gas ejected from the said braking part changes.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 반송 장치는, 상기 슬라이딩 부재의 상기 일방측의 측면과 상기 제동부를 연결하는 연결부를 더 구비한다.In the conveying apparatus of this invention, the said conveying apparatus is further provided with the connection part which connects the side surface of the said one side of the said sliding member, and the said braking part.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 연결부는, 상기 슬라이딩 부재의 상기 일방측의 측면에 장착된 접촉부와, 상기 접촉부로부터 상기 슬라이딩 부재의 반송 방향을 따라 연장되는 지지부와, 상기 제동부와 상기 지지부를 접속하는 접속부를 포함한다.In the conveying apparatus of the present invention, the connecting portion includes: a contact portion mounted on the side surface of the one side of the sliding member; a support portion extending from the contact portion along a conveyance direction of the sliding member; It includes a connecting portion for connecting.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 접속부는, 상기 제동부와 접촉하는 구체를 포함한다.In the conveying apparatus of this invention, the said connection part contains the spherical body which contacts the said braking part.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 접속부는, 상기 지지부에 지지되어, 상기 구체를 압압(押壓)하는 로드부를 더 포함한다.In the conveying apparatus of this invention, the said connection part further includes the rod part which is supported by the said support part and presses the said spherical body.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 반송 장치는, 상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 이동하도록 상기 슬라이딩 부재를 구동하는 구동부를 더 구비한다.In the conveying apparatus of this invention, the said conveying apparatus is further provided with the drive part which drives the said sliding member so that the said sliding member may move along the said rail.
본 발명의 반송 장치에 있어서, 상기 슬라이딩 부재는, 상기 레일에 대향하는 내주면과, 상기 일방측의 측면을 포함하는 외주면을 가지며, 상기 기체 분출부는, 상기 슬라이딩 부재의 내주면에 배치된다.In the conveying apparatus of this invention, the said sliding member has an inner peripheral surface opposing to the said rail, and the outer peripheral surface containing the said one side side surface, The said gas ejection part is arrange|positioned on the inner peripheral surface of the said sliding member.
본 발명의 다른 국면에 의하면, 노광 장치는, 기판을 반송하는, 상기에 기재된 반송 장치와, 상기 반송 장치에 반송된 기판을 노광하는 노광부를 구비한다.According to another aspect of this invention, an exposure apparatus is equipped with the conveyance apparatus as described above which conveys a board|substrate, and the exposure part which exposes the board|substrate conveyed by the said conveyance apparatus.
본 발명의 또 다른 국면에 의하면, 반송 방법은, 레일에 기체를 분출하면서 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 반송 방향으로 슬라이딩는 공정과, 상기 슬라이딩 부재의 반송 방향의 일방측의 측면에 설치된 제동부에 의해서 상기 슬라이딩 부재를 제동하는 공정을 포함한다.According to another aspect of the present invention, a conveying method includes a step of sliding a sliding member in a conveying direction along the rail while blowing gas on the rail, and a braking unit provided on a side surface of the sliding member on one side in the conveying direction. and braking the sliding member.
본 발명의 반송 방법에 있어서, 상기 제동하는 공정에서, 상기 제동부로부터 분출되는 상기 기체의 분출량이 변화한다.In the conveying method of this invention, in the said braking process, the ejection amount of the said gas ejected from the said braking part changes.
본 발명에 의하면, 슬라이딩 부재와 레일의 접촉을 억제할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the contact of a sliding member and a rail can be suppressed.
도 1은, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 사시도이다.
도 2(a)~도 2(c)는, 본 실시형태의 반송 장치에 의한 반송 방법을 설명하기 위한 모식도이다.
도 3(a)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 저면도이며, 도 3(b) 및 도 3(c)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 단면도이다.
도 4(a)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 저면도이며, 도 4(b)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식도이다.
도 5는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 확대도이다.
도 6(a) 및 도 6(b)는, 본 실시형태의 반송 장치에 있어서의 제동부의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다.
도 7은, 제동부와 레일 사이의 거리와 제동부의 부상력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 8(a) 및 도 8(b)는, 본 실시형태의 반송 장치에 있어서의 제동부의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다.
도 9(a) 및 도 9(b)는, 본 실시형태의 반송 장치에 있어서의 제동부의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다.
도 10(a)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 저면도이며, 도 10(b) 및 도 10(c)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 단면도이다.
도 11은, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 사시도이다.
도 12(a)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 XZ단면도이며, 도 12(b)는, 본 실시형태의 반송 장치의 모식적인 YZ단면도이다.
도 13은, 본 실시형태의 반송 장치의 모식도이다.
도 14(a)는, 본 실시형태의 반송 장치를 구비한 노광 장치의 모식적인 측면도이며, 도 14(b)는, 노광 장치의 모식적인 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic perspective view of the conveying apparatus of this embodiment.
FIG.2(a) - FIG.2(c) is a schematic diagram for demonstrating the conveyance method by the conveyance apparatus of this embodiment.
Fig. 3(a) is a schematic bottom view of the conveying apparatus of the present embodiment, and Fig. 3(b) and 3(c) are schematic cross-sectional views of the conveying apparatus of the present embodiment.
Fig. 4(a) is a schematic bottom view of the conveying apparatus of the present embodiment, and Fig. 4(b) is a schematic diagram of the conveying apparatus of the present embodiment.
5 : is a schematic enlarged view of the conveying apparatus of this embodiment.
6(a) and 6(b) are schematic diagrams for explaining the change in the levitation force of the braking unit in the conveying apparatus of the present embodiment.
7 is a graph showing the relationship between the distance between the brake unit and the rail and the levitation force of the brake unit.
8(a) and 8(b) are schematic diagrams for explaining the change in the levitation force of the braking unit in the conveying apparatus of the present embodiment.
Fig.9 (a) and Fig.9(b) are schematic diagrams for demonstrating the change of the levitation force of the brake part in the conveyance apparatus of this embodiment.
Fig. 10(a) is a schematic bottom view of the conveying apparatus of the present embodiment, and Figs. 10(b) and 10(c) are schematic cross-sectional views of the conveying apparatus of the present embodiment.
11 is a schematic perspective view of the conveying apparatus of the present embodiment.
Fig. 12(a) is a schematic XZ sectional view of the conveying apparatus of the present embodiment, and Fig. 12(b) is a schematic YZ cross-sectional view of the conveying apparatus of the present embodiment.
13 : is a schematic diagram of the conveying apparatus of this embodiment.
Fig. 14(a) is a schematic side view of an exposure apparatus provided with the conveying apparatus of the present embodiment, and Fig. 14(b) is a schematic plan view of the exposure apparatus.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 또한, 도면 중, 동일 또는 상당 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙여 설명을 반복하지 않는다. 또한, 본원 명세서에서는, 발명의 이해를 용이하게 하기 위해, 서로 직교 하는 X방향, Y방향 및 Z방향을 기재하는 경우가 있다. 전형적으로는, X방향 및 Y방향은 수평 방향에 평행하며, Z방향은 연직 방향에 평행하다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings. In addition, the same reference numerals are attached to the same or equivalent parts in the drawings, and description thereof is not repeated. In addition, in this specification, in order to make an understanding of invention easy, the X direction, Y direction, and Z direction orthogonal to each other may be described. Typically, the X and Y directions are parallel to the horizontal direction, and the Z direction is parallel to the vertical direction.
도 1을 참조하여, 본 발명에 의한 반송 장치의 실시형태를 설명한다. 도 1은, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 사시도이다. 반송 장치(100)는, 반송 대상물을 반송하기 위해서 이용된다. 반송 장치(100)는, 레일(200)을 따라 이동한다. 여기에서는, 레일(200)은, Y방향을 따라 연장된다. 예를 들면, 레일(200)은, 정반(定盤)(210) 상에 배치된다.With reference to FIG. 1, embodiment of the conveying apparatus by this invention is described. 1 : is a schematic perspective view of the
반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110), 기체 분출부(120), 제동부(130)를 구비한다. 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)에 장착된다.The
슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)을 따라 반송 방향으로 슬라이딩한다. 슬라이딩 부재(110)는, 반송 대상물을 재치한 상태로 슬라이딩한다. 여기에서는, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)을 따라 +Y방향으로 슬라이딩한다. 또, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)을 따라 -Y방향으로 슬라이딩 가능해도 된다.The sliding
예를 들면, 슬라이딩 부재(110)는, 돌을 가공함으로써 제작된다. 일례에서는, 슬라이딩 부재(110)는, 그라나이트의 가공에 의해서 제작된다.For example, the sliding
기체 분출부(120)는, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에 위치한다. 기체 분출부(120)는, 슬라이딩 부재(110)의 내주면에 설치된다. 기체 분출부(120)는, 레일(200)에 기체를 분출한다. 전형적으로는, 기체 분출부(120)가 레일(200)에 기체를 분출함으로써, 기체 분출부(120)와 함께 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 부상하고, 슬라이딩 부재(110) 및 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이에 간극이 형성된다.The
예를 들면, 기체 분출부(120)와 레일(200)의 간극은 3μm 이상 15μm 이하이다. 또, 기체 분출부(120)와 레일(200)의 간극은 5μm 이상 10μm 이하여도 된다. 기체 분출부(120)가 기체를 분출함으로써, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 슬라이딩할 때에, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)과 접촉하는 일 없이 레일(200)에 대해 매끄럽게 슬라이딩할 수 있다.For example, the clearance gap between the
제동부(130)는, 슬라이딩 부재(110)의 외주면에 설치된다. 상세하게는, 제동부(130)는, 슬라이딩 부재(110)의 반송 방향의 일방측의 측면에 설치된다. 여기에서는, 제동부(130)는 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면에 설치된다.The
슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 슬라이딩한 다음에 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우, 관성에 의해, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉할 우려가 있다. 그러나, 본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 제동부(130)가, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화하지 않도록 슬라이딩 부재(110)의 움직임을 제한한다. 이 때문에, 제동부(130)에 의해, 슬라이딩 부재(110)의 움직임의 변화에 기인하여 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.When the sliding
혹은, 슬라이딩 부재(110)가 발진 또는 가속하는 경우, 관성에 의해, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉할 우려가 있다. 그러나, 본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 제동부(130)가, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화하지 않도록 슬라이딩 부재(110)의 움직임을 제한한다. 이 때문에, 제동부(130)에 의해, 슬라이딩 부재(110)의 움직임의 변화에 기인하여 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.Alternatively, when the sliding
예를 들면, 제동부(130)는, 레일(200)에 기체를 분출해도 된다. 이 경우, 제동부(130)는, 레일(200)에 대해 부상한다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면에 설치된 제동부(130)가 레일(200)에 기체를 분출함으로써, +Y방향으로 슬라이딩한 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우에서도, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.For example, the
또한, 제동부(130)가 기체를 분출하는 경우, 제동부(130)에 의한 기체의 분출량은, 슬라이딩 부재(110)의 움직임에 따라 변화해도 된다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)가 반송 방향으로 슬라이딩하는 경우에는, 제동부(130)는 기체를 분출하지 않는 한편, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우, 제동부(130)는 기체를 분출해도 된다. 혹은, 슬라이딩 부재(110)가 반송 방향으로 슬라이딩하는 경우에는, 제동부(130)에 의한 기체의 분출량은 적은 한편, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속할 때에, 제동부(130)에 의한 기체의 분출량은 증대해도 된다. 또한, 슬라이딩 부재(110)가 완전히 정지하면, 제동부(130)에 의한 기체의 분출량은 0으로 까지 감소해도 된다.In addition, when the
슬라이딩 부재(110)는, 상부(112), 제1 측부(114a), 제2 측부(114b)를 가진다. 전형적으로는, 상부(112)의 상면은 평탄하다. 반송 장치(100)가 반송 대상물을 반송하는 경우, 반송 대상물은 상부(112)의 상면에 재치된다.The sliding
상부(112)는, 대략 직방체 형상이다. 상부(112)는, +Z방향측의 주면과, -Z방향측의 주면을 가진다. 상부(112)는, 레일(200)의 상면에 배치된다. 상부(112)의 -Z방향측의 주면은, 레일(200)의 상면과 대향한다.The
제1 측부(114a)는, 대략 직방체 형상이며, 상부(112)의 -Z방향측의 주면에 있어서 +X방향측에 위치한다. 제1 측부(114a)는, 상부(112)와 연결된다. 제1 측부(114a)는, 레일(200)의 측면을 따라 배치되어, 레일(200)의 측면과 대향한다.The
제2 측부(114b)는, 대략 직방체 형상이며, 상부(112)의 -Z방향측의 주면에 있어서 -X방향측에 위치한다. 제2 측부(114b)는, 상부(112)와 연결된다. 제2 측부(114b)는, 레일(200)의 측면을 따라 배치되어, 레일(200)의 측면과 대향한다.The
여기에서는, 제동부(130)는, 상부(112)의 +Y방향측의 측면에 배치된다. 또, 제동부(130)로서 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)가 설치되어 있다. 제1 제동부(130a)는, 슬라이딩 부재(110)의 +X방향측에 설치되어 있고, 제2 제동부(130b)는, 슬라이딩 부재(110)의 -X방향측에 설치되어 있다.Here, the
레일(200)은, 기대(202), 제1 부재(204a), 제2 부재(204b)를 포함한다. 기대(202), 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)는, 서로 평행하게 연장된다. 여기에서는, 기대(202), 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)는, Y방향을 따라 연장된다. 기대(202)는, 정반(210)의 상면에 재치된다.The
제1 부재(204a)는, 기대(202)의 상부의 +X방향측에 위치하고, 기대(202)의 +X방향측의 측면보다 +X방향으로 돌출되어 있다. 제2 부재(204b)는, 기대(202)의 상부의 -X방향측에 위치하고, 기대(202)의 -X방향측의 측면보다 -X방향으로 돌출되어 있다.The
여기에서는, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)를 상방 및 측방으로부터 덮는다. 레일(200)은, 반송 장치(100)의 일부여도 된다. 또, 정반(210)도, 반송 장치(100)의 일부여도 된다. 예를 들면, 레일(200) 및 정반(210)은, 돌을 가공함으로써 제작된다. 일례에서는, 레일(200) 및 정반(210)은, 그라나이트의 가공에 의해서 제작된다.Here, the sliding
또한, 도 1에서는, 도면이 과도하게 복잡해지는 것을 피하기 위해서, 슬라이딩 부재(110)를 이동하도록 슬라이딩 부재(110)를 구동하는 구동원을 생략하여 나타내고 있다. 슬라이딩 부재(110)의 구동원으로서, 리니어 모터를 이용해도 된다. 혹은, 슬라이딩 부재(110)는, 다른 구동원과 연결되어, 구동원과 연동하여 이동해도 된다.In addition, in FIG. 1, in order to avoid the figure from becoming too complicated, the driving source which drives the sliding
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 의한 반송 방법을 설명한다. 도 2(a)~도 2(c)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 의한 반송 방법을 설명하기 위한 모식도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the conveying method by the conveying
도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(100)는 레일(200)을 따라 +Y방향으로 이동한다. 반송 장치(100)에서는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)에 기판(W)이 재치되어 있고, 반송 장치(100)는, 기판(W)을 반송한다. 또한, 반송 장치(100)의 반송 대상물은 기판(W)으로 한정되지 않는다. 반송 장치(100)는, 여러 가지 부재를 반송할 수 있다.As shown to Fig.2 (a), the
기체 분출부(120)는 레일(200)에 기체를 분출하고, 슬라이딩 부재(110)는 레일(200)을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 기체 분출부(120)가 기체를 분출하기 때문에, 슬라이딩 부재(110)는 레일(200)과 접촉하는 일 없이 레일(200)을 따라 슬라이딩한다. 또한, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 안정적으로 슬라이딩하는 경우, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이의 거리는 대략 일정하다.The
도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(100)는 소정 위치에서 정지한다. 이 때, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화할 우려가 있다. 구체적으로는, 슬라이딩 부재(110)는 레일(200)에 대해 부상하고 있지만, 슬라이딩 부재(110)의 반송 방향측의 단부와 레일(200) 사이의 거리가 짧아지는 경우가 있다.As shown in FIG.2(b), the
그러나, 본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 제동부(130)가, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화하지 않도록 슬라이딩 부재(110)의 움직임을 제한한다. 이 때문에, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200)의 접촉이 억제된다.However, in the
또한, 도 2를 참조한 상술한 설명에서는, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속할 때의 슬라이딩 부재(110)의 자세에 대해서 설명했으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 반송 장치(100)의 속도가 증가하는 경우, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화하여 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉할 우려가 있다. 예를 들면, 정지 중인 반송 장치(100)가 이동을 개시하는 경우, 또는, 반송 장치(100)가 가속하는 경우, 슬라이딩 부재(110)의 자세가 변화하여 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉할 우려가 있다. 본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 제동부(130)가 슬라이딩 부재(110)의 자세의 변화를 억제하기 때문에, 슬라이딩 부재(110)의 속도가 증가하는 경우에서도, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200)의 접촉을 억제할 수 있다.In addition, in the above description with reference to FIG. 2, although the attitude|position of the sliding
이하, 도 1 및 도 3을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 3(a)은, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 저면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1 and FIG. 3, the conveying
도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 기체 공급부(220)는, 기체 분출부(120)에 기체를 공급한다. 기체 분출부(120)는, 기체 공급부(220)로부터 공급된 기체를 레일(200)에 분출함으로써, 기체 분출부(120)는 레일(200)과 접촉하는 일 없이 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이에 간극을 형성할 수 있다.As shown in FIG.3(a), the
기체 분출부(120)는, 개구부(122)와, 연락로(124)를 갖는다. 개구부(122) 및 연락로(124)는, 슬라이딩 부재(110)에 형성된다. 기체 공급부(220)로부터, 연락로(124)를 경유한 기체는 개구부(122)로부터 분출된다.The
여기에서는, 개구부(122)는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)의 -Z방향측의 주면의 +X방향측에 있어서 Y방향을 따라 3개 나열되어 있고, 또, 상부(112)의 -Z방향측의 주면의 -X방향측에 있어서 Y방향을 따라 3개 나열되어 있다. 또한, 개구부(122)는, 슬라이딩 부재(110)의 제1 측부(114a)의 -X방향측의 주면에 있어서 Y방향을 따라 3개 나열되어 있고, 또, 제2 측부(114b)의 +X방향측의 주면에 있어서 Y방향을 따라 3개 나열되어 있다. 연락로(124)는, 개구부(122)를 연락한다. 연락로(124)는, 슬라이딩 부재(110)의 내부에 형성된다.Here, three
또, 제동부(130)가 기체를 분출하는 경우, 기체 공급부(220)는, 기체 분출부(120)뿐만 아니라 제동부(130)에 기체를 공급해도 된다. 도 3(a)에는 도시하지 않았으나, 제동부(130)의 -Z방향측의 면에 개구부가 형성되어 있고, 제동부(130)는 개구부로부터 기체를 분출해도 된다.In addition, when the
반송 장치(100)는, 기체 분출부(120)로서, 상방 분출부(120a) 및 측방 분출부(120b)를 포함한다. 상방 분출부(120a)는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)에 설치되어 있고, 레일(200)에 대해 -Z방향을 향해 기체를 분출한다. 측방 분출부(120b)는, 슬라이딩 부재(110)의 제1 측부(114a) 및 제2 측부(114b)에 설치되어 있고, 레일(200)에 대해 -X방향 또는 +X방향을 향해 기체를 분출한다.The conveying
도 3(b) 및 도 3(c)은, 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이다. 상세하게는, 도 3(b)은, -X방향에서 +X방향을 보았을 경우의 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이며, 도 3(c)은, +X방향에서 -X방향을 보았을 경우의 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이다.3(b) and 3(c) are schematic cross-sectional views of the conveying
도 1 및 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 상부(112)의 +Y방향측의 측면에 제1 제동부(130a)가 배치되어 있다. 제1 측부(114a)에는 3개의 개구부(122)가 형성되어 있다. 이들 개구부(122)로부터 기체가 분출되기 때문에, 제1 측부(114a)와 레일(200)의 제1 부재(204a)는 접촉하는 일 없이 제1 측부(114a)와 제1 부재(204a) 사이에 간극이 형성된다.1 and 3(b) , the
도 1 및 도 3(c)에 나타내는 바와 같이, 상부(112)의 +Y방향측의 측면에 제2 제동부(130b)가 배치되어 있다. 제2 측부(114b)에는 3개의 개구부(122)가 형성되어 있다. 이들 개구부(122)로부터 기체가 분출되기 때문에, 제2 측부(114b)와 레일(200)의 제2 부재(204b)는 접촉하는 일 없이 제2 측부(114b)와 제2 부재(204b) 사이에 간극이 형성된다. 이 때문에, 반송 장치(100)는, 레일(200)과 접촉하는 일 없이, 같은 자세로 레일(200)을 따라 이동할 수 있다.1 and 3(c) , the
또한, 도 1~도 3에 나타낸 반송 장치(100)에서는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면에 제동부(130)가 설치되었으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 제동부(130)는, 슬라이딩 부재(110)의 -Y방향측의 측면에 설치되어도 된다. 혹은, 제동부(130)는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면 및 -Y방향측의 측면 양쪽에 설치되어도 된다.In addition, in the conveying
이하, 도 1 및 도 4(a)를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 4(a)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 저면도이다. 도 4(a)의 반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측 및 -Y방향측 양쪽에 제동부(130)가 설치되는 점을 제외하고, 도 3을 참조하여 상술한 반송 장치(100)와 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 장황해지는 것을 피하기 위해서 중복되는 설명을 생략한다.Hereinafter, with reference to FIG.1 and FIG.4(a), the
도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(100)는, 제동부(130)로서 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)에 더하여 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)를 구비한다. 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면에 설치된다. 제1 제동부(130a)는, 슬라이딩 부재(110)의 +X방향 및 +Y방향측에 위치하고 있고, 제2 제동부(130b)는, 슬라이딩 부재(110)의 -X방향 및 +Y방향측에 위치하고 있다.As shown to Fig.4 (a), in addition to the
또, 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)는, 슬라이딩 부재(110)의 -Y방향측의 측면에 설치된다. 제3 제동부(130c)는, 슬라이딩 부재(110)의 +X방향 및 -Y방향측에 위치하고 있고, 제4 제동부(130d)는, 슬라이딩 부재(110)의 -X방향 및 -Y방향측에 위치하고 있다.Moreover, the
본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)가 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측에 설치되어 있기 때문에, +Y방향으로 슬라이딩하는 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속할 때에 슬라이딩 부재(110)와 레일(200)의 접촉을 억제할 수 있다. 또, 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)가 슬라이딩 부재(110)의 -Y방향측에 설치되어 있기 때문에, -Y방향으로 슬라이딩하는 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속할 때에 슬라이딩 부재(110)와 레일(200)의 접촉을 억제할 수 있다.In the
또한, 본 실시형태의 반송 장치(100)에서는, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)에 의한 기체의 분출량은, 슬라이딩 부재(110)의 움직임에 따라 변화해도 된다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)가 +Y방향으로 슬라이딩한 다음에 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우, 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)는 기체의 분출을 개시하거나 또는 기체의 분출량을 증대시키고, 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)는 기체의 분출을 정지하거나 또는 기체의 분출량을 저감시켜도 된다. 혹은, 슬라이딩 부재(110)가 -Y방향으로 슬라이딩한 다음에 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우, 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)는 기체의 분출을 개시하거나 또는 기체의 분출량을 증대시키고, 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)는 기체의 분출을 정지하거나 또는 기체의 분출량을 저감시켜도 된다.In addition, in the
또한, 도 1~도 4(a)에 나타낸 반송 장치(100)에서는, 제동부(130)는 슬라이딩 부재(110)에 직접 장착되어 있었으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 제동부(130)는 별도의 부재를 통해 슬라이딩 부재(110)에 연결되어도 된다.In addition, in the conveying
이하, 도 4(b)를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 4(b)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식도이다. 또한, 도 4(b)의 반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측 및 -Y방향측에 제동부(130)가 설치됨과 더불어 연결 부재(140)을 더 구비하는 점을 제외하고, 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 반송 장치(100)와 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 장황해지는 것을 피하기 위해서 중복되는 설명을 생략한다.Hereinafter, with reference to FIG.4(b), the
도 4(b)에는, 제동부(130) 중 제1 제동부(130a) 및 제3 제동부(130c)를 나타내고 있다. 도 4(a)를 참조하여 상술한 바와 같이, 제1 제동부(130a)는, 슬라이딩 부재(110)의 +Y방향측의 측면에 설치되어 있고, 제3 제동부(130c)는, 슬라이딩 부재(110)의 -Y방향측의 측면에 설치되어 있다. 여기에서는, 제1 제동부(130a) 및 제3 제동부(130c)는 동일한 구성을 가지고 있다.4( b ) shows the
반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110), 기체 분출부(120) 및 제동부(130)에 더하여 연결 부재(140)를 더 구비한다. 연결 부재(140)는, 슬라이딩 부재(110)와 제동부(130)를 연결한다. 연결 부재(140)는, 슬라이딩 부재(110)의 측면에 장착된다. 연결 부재(140)의 적어도 일부는 슬라이딩 부재(110)와 일체화되는 한편, 제동부(130)는 슬라이딩 부재(110)와는 별도의 부재인 것이 바람직하다.The conveying
연결 부재(140)는, 접촉부(142), 지지부(144), 접속부(146)를 포함한다. 접촉부(142)는, 슬라이딩 부재(110)의 측면과 접촉한다. 예를 들면, 접촉부(142)는, 슬라이딩 부재(110)의 측면에 장착된다. 일례에서는, 접촉부(142)는, 슬라이딩 부재(110)의 측면에 나사 고정된다.The
지지부(144)는, 접촉부(142)로부터 슬라이딩 부재(110)의 반송 방향을 따라 연장된다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)에 제1 제동부(130a)를 연결하는 연결 부재(140)에서는, 지지부(144)는, 접촉부(142)로부터 +Y방향으로 연장된다. 전형적으로는, 접촉부(142) 및 지지부(144)는 일체적으로 형성된다. 예를 들면, 접촉부(142) 및 지지부(144)는 L자 형상의 부재로 형성된다.The
접속부(146)는, 제동부(130)와 지지부(144)를 접속한다. 예를 들면, 접속부(146)는 구체를 포함한다. 구체의 외주면은 구상(球狀)이다. 구체의 내부는, 충전되어 있어도 되고, 충전되어 있지 않아도 된다.The
제동부(130)가 구동할 때에, 접속부(146)의 구체는, 제동부(130)와 지지부(144) 사이에 끼워져 유지되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제동부(130)와 지지부(144)가 충돌하여 변형 또는 파손되는 것을 억제할 수 있다. 또, 접속부(146)가 구체를 포함하는 경우, 구체와 접촉하는 제동부(130) 및 지지부(144) 중 적어도 한쪽에, 구체에 대응한 오목 부분이 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 구체는 오목 부분 내에 위치하기 때문에, 접속부(146)는, 제동부(130)와 지지부(144)를 같은 위치에서 접속할 수 있다.When the
또, 상술한 바와 같이, 기체 분출부(120)와 레일(200)의 간극은 비교적 좁다. 이 때문에, 제동부(130)와 지지부(144) 사이의 거리는 고정밀도로 조정 가능한 것이 바람직하다.Moreover, as mentioned above, the clearance gap between the
다음에, 도 5를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 5는, 반송 장치(100)의 모식적인 확대도이다. 도 5에서는, 반송 장치(100)에 있어서의 제동부(130) 및 연결 부재(140)의 근방을 확대하여 나타내고 있다.Next, with reference to FIG. 5, the conveying
접속부(146)는, 구체(146a)와, 로드부(146b)를 포함한다. 로드부(146b)는, 구체(146a)를 압압한다. 여기에서는, 제동부(130)의 상면에는, 오목 부분(130s)이 형성된다. 구체(146a)는, 제동부(130)의 상면의 오목 부분(130s)에 끼워진다. 오목 부분(130s)은, 구체(146a)에 대응한 형상을 가지고 있다. 예를 들면, 오목 부분(130s)은, 원뿔 측면에 대응하는 형상을 가지고 있다.The connecting
로드부(146b)는, 한쪽의 선단이 움푹 패인 원기둥 형상이다. 로드부(146b)의 한쪽의 선단에는 오목 부분(146s)이 형성된다. 오목 부분(146s)은, 구체(146a)에 대응한 형상을 가지고 있다. 예를 들면, 오목 부분(146s)은, 원뿔 측면에 대응하는 형상을 가지고 있다.The
지지부(144)에는 원 형상의 관통구멍이 형성되어 있고, 로드부(146b)는, 지지부(144)의 관통구멍을 관통한다. 로드부(146b)의 외경(外徑)은, 지지부(144)의 관통구멍의 구경(口徑)과 거의 같다.A circular through hole is formed in the
지지부(144)의 관통구멍 및 로드부(146b)는 나사 절삭되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 지지부(144)에 대해 로드부(146b)를 회전함으로써, 로드부(146b)는 지지부(144)를 관통한다. 이로 인해, 제동부(130)와 지지부(144) 사이의 거리를 고정밀도로 조정할 수 있다.It is preferable that the through hole of the
도 1~도 5를 참조하여 상술한 바와 같이, 기체 분출부(120)뿐만 아니라 제동부(130)도 기체를 분출하는 경우, 제동부(130)가 레일(200)에 대해 부상함과 더불어 슬라이딩 부재(110), 지지부(144) 및 로드부(146b)도 레일(200)에 대해 부상한다. 이 때문에, 구체(146a)는 제동부(130)와 로드부(146b) 사이에 끼워진 채로 레일(200)에 대해 부상한다. 이 경우, 기체 분출부(120)의 기체의 분출을 유지한 채 제동부(130)의 기체의 분출을 정지하면, 제동부(130)가 레일(200)과 접촉할 때까지 낙하하고, 구체(146a)도 제동부(130)와 함께 낙하한다.As described above with reference to FIGS. 1 to 5 , when not only the
또한, 슬라이딩 부재(110)가 슬라이딩하는 경우, 기체 분출부(120)와 레일(200)의 간극은 제동부(130)와 레일(200)의 간극과 같아도 된다. 이 경우, 기체 분출부(120) 및 제동부(130)의 기체의 분출을 정지하면, 구체(146a)는 제동부(130)와 로드부(146b) 사이에 끼워진 채로, 슬라이딩 부재(110), 지지부(144) 및 제동부(130)는, 레일(200)과 접촉할 때까지 같은 거리만큼 낙하한다.In addition, when the sliding
또한, 본 명세서에 있어서, 기체 분출부(120)와 레일(200)의 간극(기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리)을 기체 분출부(120)의 갭이라고 하는 경우가 있다. 또, 제동부(130)와 레일(200)의 간극(거리)을 제동부(130)의 갭이라고 하는 경우가 있다.In addition, in this specification, the gap between the
상술한 바와 같이, 제동부(130)는 레일(200)에 대해 기체를 분출함으로써 레일(200)에 대해 부상한다. 또한, 제동부(130)의 부상력은, 제동부(130)의 갭에 따라 제어할 수 있다. 또, 제동부(130)의 구성에 따라, 제동부(130)의 부상력과 갭의 대응관계도 제어 가능하다. 예를 들면, 도 3에 나타낸 기체 공급부(220)에 의한 기체의 공급량이 일정해도, 개구부(122)의 크기, 간격 및 형상 등을 변경함으로써, 제동부(130)의 갭과 부상력의 관계를 변경할 수 있다.As described above, the
이하, 도 6을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 있어서의 제동부(130)의 부상력의 변화를 설명한다. 도 6(a) 및 도 6(b)는, 제동부(130)의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다. 또한, 도 6(a) 및 도 6(b)에 있어서 화살표는, 제동부(130)의 부상력의 크기를 나타내고 있다.Hereinafter, with reference to FIG. 6, the change of the levitation force of the
도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 제동부(130)의 갭 La가 비교적 큰 경우, 제동부(130)의 부상력 Fa는 비교적 작은 것이 바람직하다. 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 매끄럽게 슬라이딩 가능한 경우, 제동부(130)의 갭 La은 비교적 크다. 이 경우, 제동부(130)의 부상력 Fa은 비교적 작아도 된다.As shown in Fig. 6(a) , when the gap La of the
도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 제동부(130)의 갭 Lb가 비교적 작은 경우, 제동부(130)의 부상력 Fb는 비교적 큰 것이 바람직하다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 정지 또는 감속하는 경우, 제동부(130)의 갭 Lb가 작아지는 경우가 있다. 이 경우, 제동부(130)의 부상력 Fb가 커지는 것이 바람직하다. 이로 인해, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속할 때에 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.As shown in Fig. 6(b) , when the gap Lb of the
혹은, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 발진 또는 가속하는 경우, 제동부(130)의 갭이 작아지는 경우가 있다. 이 경우, 제동부(130)의 부상력이 커지는 것이 바람직하다. 이로 인해, 슬라이딩 부재(110)가 발진 또는 가속할 때에 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.Alternatively, when the sliding
예를 들면, 제동부(130)의 부상력은, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리에 따라 변화한다. 또한, 제동부(130)의 구성에 따라, 제동부(130)의 갭과 부상력의 대응관계도 제어 가능하다.For example, the levitation force of the
이하, 도 7을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 있어서의 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리와 제동부(130)의 부상력의 관계를 설명한다. 도 7은, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리와, 제동부(130)의 부상력의 관계를 나타내는 그래프이다.Hereinafter, with reference to FIG. 7, the relationship between the distance between the
도 7에 나타내는 바와 같이, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 어느 정도 길어짐과 더불어 부상력은 증대하고, 부상력은 피크에 달한다. 한편, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 더 길어지면 부상력은 저감한다. 이와 같이, 제동부(130)의 부상력은, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리(제동부(130)의 갭)에 따라 변화한다.As shown in FIG. 7 , as the distance between the
예를 들면, 도 7의 그래프에서는, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 5μm 일때에 제동부(130)의 부상력은 최대치를 나타낸다. 이 경우, 슬라이딩 부재(110)의 슬라이딩 시에 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 10μm가 되도록 미리 설정하면, 슬라이딩 시에는 제동부(130)의 부상력은 비교적 작은 한편, 슬라이딩 부재(110)의 정지 또는 감속 시에는 제동부(130)의 부상력을 증대시킬 수 있다. 이 때문에, 슬라이딩 부재(110)의 정지 또는 감속 시에, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 억제할 수 있다.For example, in the graph of FIG. 7 , when the distance between the
또한, 슬라이딩 부재(110)가 슬라이딩할 때에, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리보다 길어도 된다. 이 경우, 제동부(130)의 부상력이 최대가 되는 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리와 동일한 것이 바람직하다.Further, when the sliding
이하, 도 8을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 8(a) 및 도 8(b)는, 반송 장치(100)에 있어서의 제동부(130)의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 8, the conveying
도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 슬라이딩하는 경우, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리는 L2이며, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는 L2이다. 여기서, 거리 L2일 때의 제동부(130)의 부상력은 비교적 약하다. 여기서, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리가 L2인 경우, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)의 부상력은 최대가 되도록 설정되어 있다.As shown in Fig. 8 (a), when the sliding
도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 정지 또는 감속하는 경우, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는 L2에서 거리 L1으로 변화한다. 여기서, 제동부(130)는, 거리 L1일 때의 부상력이 가장 강해지도록 설계되어 있다. 이 때문에, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 슬라이딩 시의 거리 L2보다 짧아지면, 제동부(130)의 부상력이 증대한다. 이로 인해, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우에 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 효율적으로 억제할 수 있다. 이와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 슬라이딩할 때의 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 제동부(130)의 부상력이 최대가 되는 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리보다 길어도 된다.As shown in FIG. 8(b) , when the sliding
또한, 도 8을 참조하여 상술한 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 슬라이딩하는 경우, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리와 동일해도 된다. 또, 레일(200)에 대한 제동부(130)의 부상력이 최대가 되는 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 슬라이딩할 때의 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리보다 짧아도 된다. 또한, 슬라이딩 부재(110)의 슬라이딩 시에, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리보다 길어도 된다.In addition, as described above with reference to FIG. 8 , when the sliding
이하, 도 9를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 9(a) 및 도 9(b)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 있어서의 제동부(130)의 부상력의 변화를 설명하기 위한 모식도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 9, the conveying
도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 슬라이딩하는 경우, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리는 L1이며, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는 L2이다. 거리 L2는 거리 L1보다 크다.As shown in Fig. 9 (a), when the sliding
도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)에 대해 정지 또는 감속하는 경우, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는 L2에서 거리 L1으로 변화한다. 거리 L1는 거리 L2보다 짧다. 여기서, 제동부(130)는, 거리 L1일 때의 부상력이 가장 강해지도록 설계되어 있다. 이 때문에, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리가 슬라이딩 시의 거리 L2보다 짧아지면, 제동부(130)의 부상력이 증대한다. 이로 인해, 슬라이딩 부재(110)가 정지 또는 감속하는 경우에 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)과 접촉하는 것을 효율적으로 억제할 수 있다.As shown in FIG. 9B , when the sliding
이와 같이, 슬라이딩 부재(110)의 슬라이딩 시에, 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리보다 길어도 된다. 이 경우, 제동부(130)의 부상력이 최대가 되는 제동부(130)와 레일(200) 사이의 거리는, 슬라이딩 시의 슬라이딩 부재(110) 또는 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이의 거리와 동일한 정도인 것이 바람직하다.In this way, when the sliding
또한, 도 3 및 도 4에 나타낸 반송 장치(100)에서는, 기체 분출부(120)의 개구부(122)는 슬라이딩 부재(110)의 평탄한 내주면에 형성되어 있었으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 개구부(122)는, 돌기부 및/또는 오목부에 둘러싸여도 된다.In addition, in the conveying
이하, 도 1 및 도 10을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 10(a)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 저면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1 and FIG. 10, the conveying
슬라이딩 부재(110)의 내주면은, 평탄부(110f), 돌기부(110p), 오목부(110q)를 가진다. 돌기부(110p)는, 개구부(122)의 주위에 위치하고, 개구부(122)를 환상으로 둘러싼다. 여기에서는, 슬라이딩 부재(110)의 내주면을 정면에서 본 경우, 돌기부(110p)는 정방형의 외연이다. 오목부(110q)는, 돌기부(110p)에 둘러싸여 있고, 오목부(110q)에는, X방향 및 Y방향을 따른 홈이 형성되어 있다. 오목부(110q)의 중앙에 개구부(122)가 형성된다.The inner peripheral surface of the sliding
본 실시형태의 반송 장치(100)는, 기체 분출부(120)로서, 상방 분출부(120a) 및 측방 분출부(120b)를 구비한다. 상방 분출부(120a)는, +X방향측에 Y방향을 따라 3개 나열되어 있고, 또, -X방향측에 Y방향을 따라 3개 나열되어 있다.The conveying
측방 분출부(120b)는, +X방향측에 Y방향을 따라 3개 나열되어 있고, 또, -X방향측에 Y방향을 따라 3개 나열되어 있다. 또한, Y방향을 따라 나열된 측방 분출부(120b) 주위의 돌기부(110p)의 높이는 모두 거의 동일하다.Three
여기에서는, 반송 장치(100)는, 제동부(130)로서 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)에 더하여 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)를 구비한다. 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)는, 원기둥 형상 또는 직방체 형상이다.Here, the conveying
예를 들면, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)는 금속 부재를 포함한다. 일례에서는, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)는 스테인리스를 포함한다. 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)의 각각에는 복수의 개구부가 형성된다. 혹은, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)의 -Z방향의 저면의 중앙에 1개의 개구부가 형성되고, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)의 -Z방향의 저면에, 저면을 덮는 다공질 부재가 장착되어도 된다.For example, the
기체 공급부(220)는, 기체 분출부(120) 및 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)에 기체를 공급한다. 기체 분출부(120)가 기체 공급부(220)로부터 공급된 기체를 레일(200)에 분출함으로써, 기체 분출부(120)는 레일(200)과 접촉하는 일 없이 기체 분출부(120)와 레일(200) 사이에 간극이 형성된다.The
또, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)는, 기체 공급부(220)로부터 공급된 기체를 레일(200)에 분출한다. 이로 인해, 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)는, 슬라이딩 부재(110)의 자세의 변화를 억제하도록 슬라이딩 부재(110)의 움직임을 제한하여, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200)의 접촉을 억제할 수 있다.In addition, the
여기에서는, 기체 공급부(220)와 기체 분출부(120) 및 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d) 사이에, 압력 레귤레이터(222)가 설치된다. 압력 레귤레이터(222)에 의해, 기체 공급부(220)로부터, 기체 분출부(120) 및 제1 제동부(130a)~제4 제동부(130d)에 공급되는 기체의 양을 조정할 수 있다.Here, the
도 10(b) 및 도 10(c)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이다. 도 10(b)는, -X방향에서 +X방향을 보았을 경우의 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이며, 도 10(c)는, +X방향에서 -X방향을 보았을 경우의 반송 장치(100)의 모식적인 단면도이다.10(b) and 10(c) are schematic cross-sectional views of the conveying
도 10(b) 및 도 10(c)에 나타내는 바와 같이, Y방향을 따라 나열된 상방 분출부(120a)의 개구부(122) 주위의 돌기부(110p)의 높이는 일정하다.As shown in FIG.10(b) and FIG.10(c), the height of the
또한, 도 1~도 10을 참조하여 상술한 설명에서는, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)를 상방 및 측방에서부터 덮었으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)를 상방 및 측방뿐만 아니라 하방으로부터 덮어도 된다.In addition, in the description described above with reference to FIGS. 1 to 10 , the sliding
이하, 도 11을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 11은, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 사시도이다. 도 11에 나타낸 반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110)가 제1 하부(116a) 및 제2 하부(116b)를 더 가지는 점을 제외하고 도 1을 참조하여 상술한 반송 장치(100)와 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 장황해지는 것을 피하기 위해서 중복되는 기재를 생략한다.Hereinafter, with reference to FIG. 11, the conveying
도 11에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)를 상방, 측방 및 하방으로부터 덮는다. 레일(200)의 제1 부재(204a)는, 슬라이딩 부재(110)에 상방, +X방향 측방 및 하방으로부터 덮인다. 또, 레일(200)의 제2 부재(204b)는, 슬라이딩 부재(110)에 상방, -X방향 측방 및 하방으로부터 덮인다.As shown in FIG. 11, the sliding
슬라이딩 부재(110)는, 상부(112), 제1 측부(114a) 및 제2 측부(114b)에 더하여, 제1 하부(116a) 및 제2 하부(116b)를 더 가진다. 제1 하부(116a)는, 제1 측부(114a)의 -Z방향측에 배치되어 있고, 제1 측부(114a)와 연결되어 있다. 제2 하부(116b)는, 제2 측부(114b)의 -Z방향측에 배치되어 있고, 제2 측부(114b)와 연결되어 있다.The sliding
이와 같이, 슬라이딩 부재(110)는, 레일(200)의 제1 부재(204a)를 상방, 측방 및 하방으로부터 덮음과 더불어, 레일(200)의 제2 부재(204b)를 상방, 측방 및 하방으로부터 덮는다. 이 때문에, 슬라이딩 부재(110)의 위치를 고정밀도로 제어할 수 있다.In this way, the sliding
또, 도 1~도 11을 참조하여 상술한 설명에서는, 기체 분출부(120)는, 레일(200)에 대해, -Z방향, -X방향 및 +X방향으로 기체를 분출했으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 기체 분출부(120)는, -Z방향, -X방향 및 +X방향뿐만 아니라 +Z방향으로도 기체를 분출해도 된다.In addition, in the description mentioned above with reference to FIGS. 1-11, the
이하, 도 12를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 12(a)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 XZ단면도이며, 도 12(b)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식적인 YZ단면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 12, the conveying
도 12(a) 및 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(100)는, 기체 분출부(120)로서, 상방 분출부(120a), 측방 분출부(120b) 및 하방 분출부(120c)를 구비한다. 상방 분출부(120a)는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)에 설치되어 있고, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)에 대해 -Z방향을 향해 기체를 분출한다.As shown to Fig.12(a) and FIG.12(b), the
측방 분출부(120b)는, 슬라이딩 부재(110)의 제1 측부(114a) 및 제2 측부(114b)에 설치되어 있고, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)에 대해 -X방향 또는 +X방향을 향해 기체를 분출한다. 또, 하방 분출부(120c)는, 제1 하부(116a) 및 제2 하부(116b)에 설치되어 있고, 레일(200)의 제1 부재(204a) 및 제2 부재(204b)에 대해 +Z방향을 향해 기체를 분출한다.The
이와 같이, 상방 분출부(120a) 및 측방 분출부(120b)가 레일(200)의 상방 및 측방으로부터 기체를 분출함과 더불어, 하방 분출부(120c)가 레일(200)의 하방으로부터 기체를 분출하기 때문에, 슬라이딩 시에 있어서의 레일(200)에 대한 슬라이딩 부재(110)의 위치를 고정밀도로 제어할 수 있다.In this way, while the
보다 상세하게는, 상방 분출부(120a)는, +X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있고, 또, -X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있다. 측방 분출부(120b)는, +X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있고, 또, -X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있다. 하방 분출부(120c)는, +X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있고, 또, -X방향측에 Y방향을 따라 3개 설치되어 있다.In more detail, three
+X방향측에 설치된 3개의 상방 분출부(120a)는, +Y방향측, 중앙 및 -Y방향측에 설치되어 있다. +X방향측에 설치된 3개의 하방 분출부(120c)는, +Y방향측, 중앙 및 -Y방향측에 설치되어 있다. +Y방향측, 중앙 및 -Y방향측의 하방 분출부(120c)는, 레일(200)의 제1 부재(204a)를 개재하여, 3개의 상방 분출부(120a)와 대향하고 있다.The three
또, -X방향측에 설치된 3개의 상방 분출부(120a)는, +Y방향측, 중앙 및 -Y방향측에 설치되어 있다. -X방향측에 설치된 3개의 하방 분출부(120c)는, +Y방향측, 중앙 및 -Y방향측에 설치되어 있다.Moreover, the three
슬라이딩 부재(110)의 구동 기구는, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에 설치되어도 된다. 예를 들면, 슬라이딩 부재(110)의 구동 기구는, 리니어 모터여도 된다.The driving mechanism of the sliding
이하, 도 13을 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 설명한다. 도 13은, 본 실시형태의 반송 장치(100)의 모식도이다. 도 13에 나타낸 반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에 배치된 구동부(150)를 구비하는 점을 제외하고 도 1을 참조하여 상술한 반송 장치(100)와 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 장황해지는 것을 피하기 위해서 중복되는 기재를 생략한다.Hereinafter, with reference to FIG. 13, the conveying
도 13에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 반송 장치(100)에 있어서, 구동부(150)는, 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에 설치된다. 구동부(150)는, 슬라이딩 부재(110)가 레일(200)을 따라 이동하도록 슬라이딩 부재(110)를 구동한다.As shown in FIG. 13 , in the conveying
구동부(150)는, 가동자(152)와, 고정자(154)를 가진다. 가동자(152)는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)에 장착된다. 상세하게는, 가동자(152)는, 슬라이딩 부재(110)의 상부(112)의 -Z방향측의 주면에 있어서 X방향의 중앙에 Y방향을 따라 장착된다. 가동자(152)는, 코일을 포함한다.The driving
고정자(154)는, 레일(200)의 기대(202)의 상부에 배치된다. 고정자(154)는, Y방향으로 연장되어 있다. 고정자(154)는, XZ단면에 있어서 U자 형상을 가지고 있다. 고정자(154)는, 자석을 포함한다. 자석으로서, 네오디뮴 자석이 적합하게 이용된다.The stator 154 is disposed above the
가동자(152) 및 고정자(154)는, 가동자(152)의 선단이 고정자(154)의 개구부 내에 진입하도록 배치된다. 가동자(152)에 전류가 흐르는 경우, 가동자(152)로부터 발생하는 자속과 고정자(154) 사이의 흡인작용 및 반발작용에 의해, 가동자(152)에 대해 힘이 부여된다. 이 때문에, 가동자(152)가 장착된 슬라이딩 부재(110)를 레일(200)에 대해 슬라이딩할 수 있다.The mover 152 and the stator 154 are arranged so that the tip of the mover 152 enters into the opening of the stator 154 . When a current flows through the mover 152 , a force is applied to the mover 152 by the attraction and repulsion action between the magnetic flux generated from the mover 152 and the stator 154 . For this reason, the sliding
상술한 것처럼, 본 실시형태의 반송 장치(100)는, 여러 가지 부재를 반송할 수 있다. 특히, 반송 장치(100)는, 기체 분출부(120)에 의해, 레일(200)에 대해 매끄럽게 이동하기 때문에, 진동이 바람직하지 않은 부재를 적합하게 반송할 수 있다. 예를 들면, 반송 장치(100)는, 기판의 반송에 적합하게 이용된다. 특히, 반송 장치(100)는, 기체 분출부(120)를 구비하고 있기 때문에, 반송 중이라도 진동의 영향을 억제하면서 적절히 동작을 실행할 수 있다. 반송 장치(100)는, 반도체 기판 등의 기판에 대해 노광하는 노광 장치에 적합하게 이용된다.As mentioned above, the conveying
이하, 도 14를 참조하여, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 구비한 노광 장치(300)를 설명한다. 도 14(a)는, 본 실시형태의 반송 장치(100)를 구비한 노광 장치(300)의 모식적인 측면도이며, 도 14(b)는 노광 장치(300)의 모식적인 평면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 14, the
여기에서는, 노광 장치(300)는, 기판(W)에 대해 노광 처리를 행한다. 노광 장치(300)는, 기판(W)의 상면에, CAD 데이터 등에 따라 공간 변조한 광을 조사하여, 패턴(예를 들면, 회로 패턴)을 노광(묘화)한다. 반송 장치(100)는, 노광 전 또는 노광 후의 기판(W)을 반송한다.Here, the
기판(W)에는, 레지스트 등의 감광 재료의 층이 형성된다. 기판(W)은, 예를 들면, 반도체 기판, 프린트 기판, 액정 표시 장치 등에 구비되는 칼라필터용 기판, 액정 표시 장치나 플라즈마 표시 장치 등에 구비되는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판, 자기디스크용 기판, 광디스크용 기판, 태양전지용 패널 등이다. 예를 들면, 기판(W)는 얇은 원 형상이다.A layer of a photosensitive material such as a resist is formed on the substrate W. The substrate W is, for example, a color filter substrate provided in a semiconductor substrate, a printed circuit board, a liquid crystal display device, or the like, a flat panel display glass substrate, a magnetic disk substrate, or an optical disc provided in a liquid crystal display device or a plasma display device. substrates for solar cells, and panels for solar cells. For example, the substrate W has a thin circular shape.
노광 장치(300)는, 기대(310), 지지 프레임(320), 유지부(330), 스테이지 구동부(340), 노광부(350) 및 촬상부(360)를 구비한다. 기대(310)는, Y방향으로 연장된다. 기대(310)는, 지지 프레임(320), 유지부(330), 스테이지 구동부(340), 노광부(350) 및 촬상부(360)를 직접적 또는 간접적으로 지지한다.The
지지 프레임(320)은, 기대(310) 상에 설치되어 있다. 지지 프레임(320)은, 문 형상이며, 노광부(350)를 지지한다. 구체적으로는, 지지 프레임(320)은, 복수의 기둥과, 기둥에 의해 지지되는 중공 형상의 박스부를 가지고 있다. 노광부(350)는, 박스부의 내부에 배치된다.The
유지부(330)는, 기판(W)을 유지하는 스테이지를 포함한다. 유지부(330)는, 기대(310) 상에 배치된다. 예를 들면, 유지부(330)는, 평판 형상의 외형을 가지며, 그 상면에 기판(W)을 수평 자세로 재치하여 유지한다. 유지부(330)의 상면에는, 복수의 흡인구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 흡인구멍에 부압(흡인압)을 형성함으로써, 유지부(330) 상에 재치된 기판(W)은 유지부(330)의 상면에 유지된다.The holding
스테이지 구동부(340)는, 기대(310)에 대해 유지부(330)를 이동시킨다. 스테이지 구동부(340)는, 회전 부재(342), 반송 장치(100), 레일(200), 반송 장치(100A), 레일(200A)를 포함한다.The
회전 부재(342)는, 기판(W)을 유지하는 유지부(330)를 회전방향(Z방향을 회전축으로 하는 회전방향)으로 회전시킨다. 반송 장치(100) 및 반송 장치(100A)는, 기판(W)을 유지하는 유지부(330)를 반송한다. 반송 장치(100)는, 유지부(330)를 Y방향으로 반송한다. 반송 장치(100A)는, 유지부(330)를 X방향으로 반송한다. 스테이지 구동부(340)는, 기대(310) 상에 배치된다.The
반송 장치(100)는, 기대(310) 상에 배치된다. 반송 장치(100)는, Y방향(주(主)주사 방향)으로 이동 가능하다. 반송 장치(100A)는, 반송 장치(100) 상에 배치된다. 반송 장치(100A)는, X방향(부(副)주사 방향)으로 이동 가능하다. 회전 부재(342)는, 반송 장치(100A) 상에 배치된다.The conveying
회전 부재(342)는, 유지부(330)의 상면(기판(W)의 재치면)의 중심을 지나, 기판(W)의 재치면에 대하여 수직인 회전축(A)을 중심으로 회전한다. 회전 부재(342)는, 회전 축부(342a)와, 회전 구동부(342b)를 포함한다. 회전 축부(342a)는, 예를 들면, 상단이 재치면의 이면(裏面)측에 고착되어, 연직축을 따라 연장된다. 회전 구동부(342b)는, 회전 축부(342a)의 하단에 설치되어, 회전 축부(342a)를 회전시킨다. 회전 구동부(342b)는, 회전 모터를 포함한다. 회전 구동부(342b)가 회전 축부(342a)를 회전시킴으로써, 유지부(330)가 수평면 내에서 회전축(A)을 중심으로 회전한다.The
반송 장치(100A)는, 슬라이딩 부재(110A), 볼베어링(120A), 구동부(150A)를 구비한다. 슬라이딩 부재(110A)는, 회전 부재(342)를 통해 유지부(330)를 지지한다. 슬라이딩 부재(110A)는, 한 쌍의 레일(200A)을 따라 슬라이딩한다.100 A of conveying apparatuses are equipped with 110 A of sliding members, 120 A of ball bearings, and 150 A of drive parts. The sliding
반송 장치(100)는, 슬라이딩 부재(110), 기체 분출부(120), 제동부(130), 구동부(150)를 구비한다. 슬라이딩 부재(110)는, 반송 장치(100A)를 지지한다. 제동부(130)로서, 제1 제동부(130a) 및 제2 제동부(130b)에 더하여 제3 제동부(130c) 및 제4 제동부(130d)가 설치된다.The conveying
한 쌍의 레일(200A)은, 슬라이딩 부재(110)의 상면에서 X방향을 따라 연장된다. 각 레일(200A)과 슬라이딩 부재(110A) 사이에는, 볼베어링(120A)이 설치되어 있다. 슬라이딩 부재(110A)는, 볼베어링(120A)을 개재하여 한 쌍의 레일(200A) 상에 지지된다. 슬라이딩 부재(110A)는, 레일(200A)에 슬라이딩하면서 레일(200A)을 따라 이동할 수 있다.The pair of
구동부(150A)는, 리니어 모터를 포함한다. 리니어 모터는, 가동자와, 고정자를 가진다. 가동자는, 슬라이딩 부재(110A)의 하면에 장착되어 있다. 고정자는, 슬라이딩 부재(110)의 상면에 배치된다. 구동부(150A)를 구동시키면, 슬라이딩 부재(110A)는 레일(200A)을 따라 X방향을 따라 매끄럽게 이동한다.The driving
또, 기대(310)에는, 한 쌍의 레일(200)이 배치된다. 레일(200)은, 각각, Y방향으로 연장된다. 슬라이딩 부재(110)와 레일(200) 사이에는 기체 분출부(120)가 설치되어 있다. 기체 분출부(120)에는, 외부의 기체 공급부로부터 에어가 상시 공급되고 있고, 슬라이딩 부재(110)는, 기체 분출부(120)에 의해서 레일(200) 상에 비접촉으로 부상하여 지지된다.Moreover, on the
구동부(150)는, 리니어 모터를 포함한다. 리니어 모터는, 가동자와, 고정자를 가진다. 가동자는, 슬라이딩 부재(110)의 하면에 장착된다. 고정자는, 기대(310) 상에 배치된다. 구동부(150)를 구동시키면, 슬라이딩 부재(110)는 레일(200)을 따라 Y방향을 따라 매끄럽게 이동한다.The driving
노광부(350)는, 기판(W)에 광을 조사하여 패턴을 묘화한다. 여기에서는, 노광 장치(300)는, 노광부(350)를 2개 구비한다. 단, 노광부(350)의 탑재 개수는, 반드시 2개일 필요는 없고, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.The
촬상부(360)는, 기판(W)을 촬상하는 광학기기를 포함한다. 촬상부(360)는, 유지부(330)에 유지된 기판(W)의 상면을 촬상한다. 촬상부(360)는, 지지 프레임(320)에 지지된다.The
촬상부(360)는, 예를 들면, 경통, 포커싱 렌즈, CCD 이미지 센서, 구동부를 구비한다. 경통은, 노광 장치(300)의 하우징 외부에 배치된 조명 유닛(즉, 촬상용 조명광(단, 조명광으로서는, 기판(W) 상의 레지스트 등을 감광시키지 않는 파장의 광이 선택되어 있다)을 공급하는 조명 유닛)과, 파이버 케이블 등을 통해 접속되어 있다. CCD 이미지 센서는, 에리어 이미지 센서(이차원 이미지 센서) 등에 의해 구성된다. 또, 구동부는, 모터 등에 의해 구성되고, 포커싱 렌즈를 구동하여 그 높이 위치를 변경한다. 구동부가, 포커싱 렌즈의 높이 위치를 조정함으로써, 오토 포커스가 행해진다.The
촬상부(360)에 있어서는, 외부의 조명 유닛으로부터 출사되는 광이 경통에 도입되고, 포커싱 렌즈를 통해, 유지부(330) 상의 기판(W)의 상면으로 유도된다. 그리고, 그 반사광이, CCD 이미지 센서에서 수광된다. 이로 인해, 기판(W)의 상면의 촬상 데이터가 취득된다. 이 촬상 데이터는, 기판(W)의 얼라이먼트(위치 맞춤)에 이용된다.In the
노광 장치(300)는, 노광 동작 시에, 반송 장치(100)가 기판(W)을 유지한 유지부(330)를 +Y방향으로 이동시키면서 유지부(330)의 위치를 계측하고, 노광부(350)는, 원하는 타이밍에 기판(W)에 조사하는 광을 전환함으로써, 기판(W) 상에 패턴을 형성한다. Y방향의 이동이 종료되면, 반송 장치(100A)가 X방향으로 노광빔 폭 분의 스텝만큼 기판(W)을 이동시키고, 그 후, 반송 장치(100)가 기판(W)를 유지한 유지부(330)를 -Y방향으로 이동시킨다. 이를 반복함으로써 기판(W)의 전면에 패턴이 형성된다.The
본 실시형태의 노광 장치(300)에서는, 반송 장치(100)는, 레일(200)에 기체를 분출하면서 기판(W)을 Y방향으로 반송한다. 이 때문에, 기판(W)에 대한 진동을 억제할 수 있고, 노광부(350)가 기판(W)에 광으로 패턴을 형성할 때의 노광 어긋남을 억제할 수 있다. 특히, 기판(W)의 직경이 300mm 이상이어도, 반송 장치(100)는 저진동으로 고정밀도로 기판(W)을 반송할 수 있다. 또, 본 실시형태의 노광 장치(300)에서는, 반송 장치(100A)는, 볼베어링(120A)에 의해서 기판(W)을 X방향으로 반송한다. 이 때문에, 소정의 거리만큼 이동한 후의 기판(W)을 확실히 정지시킬 수 있다.In the
또한, 도 14를 참조하여 상술한 노광 장치(300)에서는, 기판(W)은, X방향으로는 볼베어링(120A)를 개재하여 반송되었으나, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 기판(W)을 Y방향으로 반송하는 반송 장치(100)뿐만 아니라 기판(W)을 X방향으로 반송하는 반송 장치(100A) 모두 슬라이딩 부재(110, 110A)에 기체 분출부 및 제동부가 설치되어도 된다.Moreover, in the
이상, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태를 설명했다. 단, 본 발명은, 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 양태로 실시하는 것이 가능하다. 또, 상기의 실시형태에 개시되는 복수의 구성요소를 적절히 조합함으로써, 여러 가지 발명의 형성이 가능하다. 예를 들면, 실시형태에 나타나는 구성요소 전체에서 몇 개의 구성요소를 삭제해도 된다. 또한, 다른 실시형태에 걸친 구성요소를 적절히 조합해도 된다. 도면은, 이해하기 쉽게 하기 위해서, 각각의 구성요소를 주체에 모식적으로 나타내고 있고, 도시된 각 구성요소의 두께, 길이, 개수, 간격 등은, 도면 작성의 형편상 실제와는 다른 경우도 있다. 또, 상기의 실시형태에서 나타내는 각 구성요소의 재질, 형상, 치수 등은 일례로서, 특별히 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 효과로부터 실질적으로 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다.As mentioned above, embodiment of this invention was described, referring drawings. However, this invention is not limited to said embodiment, It is possible to implement in various aspects in the range which does not deviate from the summary. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of components disclosed in the above embodiments. For example, you may delete some components from all the components shown in embodiment. In addition, you may combine the components which span other embodiment suitably. In the drawings, each component is schematically shown in the main body for easy understanding, and the thickness, length, number, spacing, etc. of each illustrated component may differ from the actual one for the convenience of drawing. . In addition, the material, shape, dimension, etc. of each component shown in said embodiment are an example, It is not specifically limited, Various changes are possible in the range which does not deviate substantially from the effect of this invention.
예를 들면, 상술한 설명에서는, 제동부(130)는 레일(200)에 기체를 분출했는데, 본 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 제동부(130)는, 자력을 이용하여, 슬라이딩 부재(110)를 제동해도 된다. 예를 들면, 제동부(130)와 레일(200)의 자력에 의한 상호작용에 의해, 제동부(130)는 슬라이딩 부재(110)를 제동할 수 있다.For example, in the above description, the
본 발명은, 반송 장치 및 반송 방법에 적합하게 이용된다. 또, 본 발명은, 노광 장치에 특히 적합하게 이용된다.INDUSTRIAL APPLICATION This invention is used suitably for a conveyance apparatus and a conveyance method. Moreover, this invention is used especially suitably for an exposure apparatus.
100: 반송 장치 110: 슬라이딩 부재
120: 기체 분출부 130: 제동부100: conveying device 110: sliding member
120: gas ejection unit 130: braking unit
Claims (15)
상기 레일을 따라 반송 방향으로 슬라이딩하는 슬라이딩 부재와,
상기 슬라이딩 부재 중 상기 레일과 대향하는 내주면에 설치되어, 상기 레일에 기체를 분출하는 기체 분출부와,
상기 슬라이딩 부재의 반송 방향의 일방측의 측면에 설치되어, 상기 레일에 기체를 분출하여 상기 레일에 대해 부상하는 제동부와,
상기 슬라이딩 부재의 상기 일방측의 측면과 상기 제동부를 연결하는 연결부를 구비하고,
상기 연결부는,
상기 슬라이딩 부재의 상기 일방측의 측면에 장착된 접촉부와,
상기 접촉부로부터 상기 슬라이딩 부재의 반송 방향을 따라 연장되는 지지부와,
상기 제동부와 상기 지지부를 접속하는 접속부를 포함하는, 반송 장치.A conveying device movable along a rail, comprising:
a sliding member sliding along the rail in a conveying direction;
a gas ejection part installed on an inner peripheral surface of the sliding member opposite to the rail and ejecting gas to the rail;
a braking unit provided on one side of the sliding member in the conveying direction and floating with respect to the rail by blowing gas to the rail;
and a connection part connecting the side surface of the one side of the sliding member and the braking part;
The connection part,
a contact portion mounted on a side surface of the one side of the sliding member;
a support portion extending from the contact portion along a conveyance direction of the sliding member;
and a connection part for connecting the braking part and the support part.
상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩할 때의 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 레일에 대한 상기 제동부의 부상력이 최대가 되는 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리보다 긴, 반송 장치.The method according to claim 1,
a distance between the brake unit and the rail when the sliding member slides along the rail is longer than a distance between the brake unit and the rail at which a levitation force of the brake unit with respect to the rail is maximum .
상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩하는 경우, 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 기체 분출부와 상기 레일 사이의 거리보다 긴, 반송 장치.4. The method according to claim 1 or 3,
When the sliding member slides along the rail, a distance between the braking unit and the rail is longer than a distance between the gas ejection unit and the rail.
상기 레일에 대한 상기 제동부의 부상력이 최대가 되는 상기 제동부와 상기 레일 사이의 거리는, 상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 슬라이딩할 때의 상기 기체 분출부와 상기 레일 사이의 거리보다 짧은, 반송 장치.4. The method according to claim 1 or 3,
a distance between the braking unit and the rail at which the levitation force of the braking unit with respect to the rail is maximized is shorter than the distance between the gas ejection unit and the rail when the sliding member slides along the rail Device.
상기 제동부로부터 분출되는 상기 기체의 분출량이 변화하는, 반송 장치.4. The method according to claim 1 or 3,
A conveying device in which an amount of the gas ejected from the braking unit changes.
상기 접속부는, 상기 제동부와 접촉하는 구체를 포함하는, 반송 장치.The method according to claim 1,
The connecting portion includes a sphere in contact with the braking portion.
상기 접속부는, 상기 지지부에 지지되어, 상기 구체를 압압(押壓)하는 로드부를 더 포함하는, 반송 장치.10. The method of claim 9,
The said connection part is supported by the said support part, The conveying apparatus further comprising the rod part which presses the said spherical body.
상기 슬라이딩 부재가 상기 레일을 따라 이동하도록 상기 슬라이딩 부재를 구동하는 구동부를 더 구비하는, 반송 장치.The method according to claim 1,
and a driving unit for driving the sliding member so that the sliding member moves along the rail.
상기 슬라이딩 부재는, 상기 내주면과, 상기 일방측의 측면을 포함하는 외주면을 가지는, 반송 장치.The method according to claim 1,
The said sliding member has the said inner peripheral surface and the outer peripheral surface containing the said one side side surface, The conveying apparatus.
상기 반송 장치에 반송된 기판을 노광하는 노광부를 구비하는, 노광 장치.The conveying apparatus of Claim 1 which conveys a board|substrate, and
Exposure apparatus provided with the exposure part which exposes the board|substrate conveyed by the said conveyance apparatus.
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