KR102398079B1 - Tilting stage - Google Patents

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KR102398079B1
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rotating body
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tilt stage
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류덕재
오종복
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주식회사 리얼마이크로시스템
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Abstract

The present invention relates to a tilting stage which ensures stability on a load or load capacity of an inspection target to be tilted as well as reduces manufacturing costs to perform precise inspection and, more specifically, to a tilting stage which comprises: a support body having a plurality of moving grooves formed on a top surface; a tilting means mounted on the support body to be able to move within the moving groove in a rotational direction; and a rotational body having a shape of a plate in order to allow the inspection target to be mounted thereon and joined to the support body to be able to rotate such that both sides thereof move vertically in an opposite direction according to a moving direction of the tilting means, wherein the tilting means includes a screw having one side joined to the support body to be able to rotate and the other side with a rotational handle and a linear motion (LM) guide at both sides thereof, through which the screw passes to be screwed thereto, wherein the LM guide reciprocates within the moving groove in the rotational direction of the screw.

Description

틸트 스테이지{TILTING STAGE}Tilt Stage{TILTING STAGE}

본 발명은 제작단가의 절감은 물론, 틸팅되는 검사대상물의 하중이나 내하중에 대하여 안정성을 확보하여 정밀한 검사를 진행할 수 있는 틸트 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a tilt stage capable of performing a precise inspection by not only reducing the manufacturing cost, but also securing stability with respect to the load or load-bearing capacity of a tilted inspection object.

통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작된다.In general, a wafer is manufactured as a semiconductor device as processes such as photography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition are repeatedly performed.

상기 반도체장치는 반도체소자의 고집적화, 고밀도화 추세에 따라 정밀한 제조설비와 제작기술 그리고, 반도체장치의 회로를 이루는 패턴의 형성 또한 보다 정교함과 정확성을 요구하고 있다.The semiconductor device requires precise manufacturing equipment and manufacturing technology, and the formation of patterns constituting the circuit of the semiconductor device according to the trend toward high integration and high density of semiconductor devices, and also requires more precision and accuracy.

상술한 바와 같이 형성되는 패턴의 정확성은 생산되는 반도체장치의 수율에 직접적인 영향을 줌에 따라 패턴의 정확성을 측정 검사하기 위한 검사장치가 사용되고 있다.As the accuracy of the pattern formed as described above directly affects the yield of the produced semiconductor device, an inspection apparatus for measuring and inspecting the accuracy of the pattern is being used.

그리고, 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel) 및 전계발광체(EL, Electro Luminescent)와 같은 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display) 장비에는 그에 형성된 패턴의 단락/오픈 유무를 검사하기 위한 검사장치가 사용되고 있다.In addition, in flat panel display (FPD) equipment such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), and electro luminescent (EL), the short circuit of the pattern formed thereon /Inspection device is used to check whether there is an open or not.

상기의 반도체장치의 회로나 평판 디스플레이 장비에 형성된 패턴들을 측정하고 검사하기 위한 검사장치에 있어서는 카메라가 이용되고 있으며, 아울러 상기 카메라를 장착하여 틸팅시키면서 패턴을 측정하고 검사하도록 하기 위해서 스테이지를 이용하고 있다.A camera is used in the inspection apparatus for measuring and inspecting the patterns formed in the circuit of the semiconductor device or the flat panel display equipment, and a stage is used to measure and inspect the pattern while the camera is mounted and tilted. .

여기서, 상기 카메라는 고정된 상태에서 스테이지에 장착되게 하고, 단지 스테이지를 상하의 수직방향 그리고 좌우의 수평방향으로 이동시키되 카메라의 틸팅이 미세하게 조절되게 함으로써 패턴을 정밀하고 정확하게 검사 및 측정할 수 있게 하는 틸트 스테이지가 필요하다 하겠다.Here, the camera is mounted on the stage in a fixed state, and the pattern is precisely and accurately inspected and measured by only moving the stage in the vertical and left and right directions, but the tilting of the camera is finely adjusted. You will need a tilt stage.

즉, 종래의 틸트 스테이지의 경우에 복수의 선반가공기기를 이용하여 제작(예를 들어, 지면에 지지되는 지지체와 원기어가 회전시에 상기 지지체의 곡면을 따라 이동하는 이동체)해야 하는 불편함에 의한 단가상승의 원인이 되는 문제점과, 하중(편중포함)에 대한 안정도가 보장되는 틸트 스테이지의 개선이 필요하다.That is, in the case of the conventional tilt stage, manufacturing (for example, a support supported on the ground and a movable body that moves along the curved surface of the support when the original gear rotates) using a plurality of lathes is inconvenient due to the inconvenience. It is necessary to improve the tilt stage, which is a problem that causes a rise in unit price and ensures stability against load (including bias).

국내등록특허 제10-1164427호(공고일:2012.07.12.)Domestic Registered Patent No. 10-1164427 (Announcement Date: 2012.07.12.) 국내등록특허 제10-1161524호(공고일:2012.07.02.)Domestic Registered Patent No. 10-1161524 (Announcement Date: 2012.07.02.)

상술한 종래의 문제점을 통해 선반가공에 대한 편의성을 제공함과 동시에 단가상승 원인을 해소하며, 검사에 필요한 장비가 틸트 스테이지에 장착시 그 하중과 편중에 의한 안정성이 확보될 수 있는 틸트 스테이지를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.To provide a tilt stage that provides convenience for lathe processing through the above-mentioned conventional problems, solves the cause of unit price increase, and can secure stability due to the load and bias when the equipment required for inspection is mounted on the tilt stage but it has a purpose.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 틸트 스테이지는 상면에 복수의 이동홈(110)이 형성된 지지체(100)와, 회전방향에 따라 상기 이동홈(110) 내에서 이동가능하게 상기 지지체(100)에 장착되는 틸팅수단(200) 및 검사대상물이 안착할 수 있게 판의 형상으로 이루어지되 상기 틸팅수단(200)의 이동방향에 따라 양측이 서로 반대방향으로 승강할 수 있게 상기 지지체(100)와 회전가능하게 결합하는 회전체(300)를 포함하되, 상기 틸팅수단(200)은 일측이 상기 지지체(100)와 회전가능하게 결합하되 타측에는 회전손잡이가 구비된 스크류(210) 및 상기 스크류(210)가 치(齒) 결합하도록 관통하되 양측에는 상기 스크류(210)의 회전방향에 따라 상기 이동홈(110) 내에서 왕복 이동하는 엘엠가이드(220)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described technical problem, the tilt stage according to the present invention includes a support 100 having a plurality of moving grooves 110 formed on its upper surface, and the support body ( The tilting means 200 mounted on 100) and the support body 100 are formed in the shape of a plate so that the inspection object can be seated so that both sides can be lifted in opposite directions according to the moving direction of the tilting means 200. and a rotating body 300 that is rotatably coupled to, wherein the tilting means 200 is rotatably coupled to the support 100 on one side, and a screw 210 having a rotation handle on the other side and the screw ( It is characterized in that it includes an LM guide 220 reciprocating within the moving groove 110 according to the rotation direction of the screw 210 on both sides of the LM guide 220 through which the 210 is tooth-coupled.

또한, 상기 엘엠가이드(220) 하부는 상기 이동홈(110)에 소정길이를 갖도록 구비된 안내바(120)에 삽입되어 이동할 수 있게 삽입홈(227)이 형성되며, 상면에는 상기 회전체(300)가 안착하는 경사면(225)이 상기 엘엠가이드(220)가 이동하는 방향으로 서로 대칭되게 형성된 것이 바람직하다.In addition, the lower portion of the LM guide 220 is inserted into the guide bar 120 provided to have a predetermined length in the moving groove 110 and an insertion groove 227 is formed so as to be movable, and the rotating body 300 is formed on the upper surface of the LM guide 220 . ) is preferably formed to be symmetrical to each other in the direction in which the LM guide 220 moves.

또한, 상기 회전체(300)는 하면에 상기 엘엠가이드(220)는 물론, 상기 경사면(225)과 면접하여 회전에 의해 이동하는 안내롤러(310)를 포함하되, 상기 안내롤러(310)는 상기 엘엠가이드(220) 각각의 일측에 대응하여 상기 회전체(300) 하면에 한 쌍이 서로 이웃하게 장착되는 것이 바람직하다.In addition, the rotating body 300 includes a guide roller 310 on the lower surface of the LM guide 220 as well as a guide roller 310 that moves by rotation in contact with the inclined surface 225, wherein the guide roller 310 is the It is preferable that a pair of LM guides 220 are mounted adjacent to each other on the lower surface of the rotating body 300 corresponding to one side of each.

또한, 상기 회전체(300)는 상기 엘엠가이드(220)가 이동한 이후에 상기 회전체(300)가 받는 외압에 대응하여 상기 안내롤러(310)의 고정력을 향상시키기 위해 상기 안내롤러(310)를 하방으로 가압하는 고정수단(320)을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the rotating body 300 is the guide roller 310 to improve the fixing force of the guide roller 310 in response to the external pressure received by the rotating body 300 after the LM guide 220 moves. It is preferable to further include a fixing means 320 for pressing downward.

또한, 상기 고정수단(320)은 상기 안내롤러(310)의 개수와 대응되게 상기 회전체(300) 외면에 형성된 고정홈(321)과, 상기 고정홈(321) 내벽과 회전가능하게 치 결합하여 이동하는 고정핀(323) 및 상기 안내롤러(310) 상면에 회전가능하게 구비되되 이동하는 상기 고정핀(323)의 하부 방향으로 작용하는 외력에 의해 상기 안내롤러(310)의 고정력을 향상시키는 가압롤러(325)를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the fixing means 320 is a fixing groove 321 formed on the outer surface of the rotating body 300 to correspond to the number of the guide rollers 310, and the fixing groove 321 is rotatably toothed with the inner wall. The moving fixing pin 323 and the guide roller 310 are rotatably provided on the upper surface of the moving fixing pin 323 by an external force acting in the lower direction to improve the fixing force of the guide roller 310 Pressurization A roller 325 is preferably included.

또한, 상기 고정홈(321)은 상기 회전체(300) 상면에서 수직되게 형성되거나 상기 회전체(300) 측면에서 수평되게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the fixing groove 321 is preferably formed vertically on the upper surface of the rotation body 300 or horizontally on the side surface of the rotation body 300 .

본 발명에 따르면, 종래와는 차별되게 웜기어의 형식이 아닌, 지지체 내에서 스크류의 회전방향에 따라 전후진이 가능한 엘엠가이드의 경사면을 이용하여 회전체의 회전이 가능하게 함으로써, 제작원가를 줄이되 검사대상물의 하중이나 편중에 의한 안정성을 확보한 상태에서 정밀한 검사를 실행할 수 있는 효과의 구현이 가능하게 된다.According to the present invention, the manufacturing cost is reduced by enabling the rotation of the rotating body by using the inclined surface of the LM Guide that can move forward and backward according to the rotation direction of the screw in the support, rather than in the form of a worm gear, which is different from the conventional one. It becomes possible to realize the effect of performing a precise inspection while securing stability due to the load or bias of the body.

도 1은 본 발명에 따른 틸트 스테이지를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 지지체를 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 틸팅수단을 나타낸 도면.
도 4는 도 3에 대한 편면도.
도 5는 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 지지체 상부에 틸팅수단이 구비된 모습을 도시한 도면.
도 6은 도 5에 대한 측면도.
도 7은 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 회전체 하부에 틸팅수단이 구비된 도면.
도 8은 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 보강부재 확대 도면.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 작용관계도.
도 12는 본 발명에 따른 틸트 스테이지에 대한 다른 실시예.1 is a view showing a tilt stage according to the present invention.
Figure 2 is a plan view showing a support for the tilt stage according to the present invention.
3 is a view showing a tilting means for the tilt stage according to the present invention.
Fig. 4 is a side view of Fig. 3;
5 is a view showing a state in which the tilting means is provided on the upper part of the support for the tilt stage according to the present invention.
Fig. 6 is a side view of Fig. 5;
7 is a view in which a tilting means is provided at the lower part of the rotating body for the tilt stage according to the present invention.
8 is an enlarged view of the reinforcing member for the tilt stage according to the present invention.
9 to 11 are operational relationship diagrams for the tilt stage according to the present invention.
12 is another embodiment of a tilt stage according to the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, various embodiments will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described herein may be variously modified. Certain embodiments may be depicted in the drawings and described in detail in the detailed description. However, the specific embodiments disclosed in the accompanying drawings are only provided to facilitate understanding of the various embodiments. Therefore, the technical idea is not limited by the specific embodiments disclosed in the accompanying drawings, and it should be understood to include all equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including an ordinal number such as 1st, 2nd, etc. may be used to describe various components, but these components are not limited by the above-mentioned terms. The above terminology is used only for the purpose of distinguishing one component from another component.

본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is mentioned that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that no other element is present in the middle.

그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be abbreviated or omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 틸트 스테이지(이하, 간략하게 '스테이지'라 한다)에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a tilt stage (hereinafter, simply referred to as a 'stage') according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지(1)는 크게 지지체(100), 틸팅수단(200) 및 회전체(300)를 포함한다.First, as shown in FIG. 1 , the stage 1 according to the present invention largely includes a support 100 , a tilting means 200 , and a rotating body 300 .

더욱 상세하게 설명하면, 상기 지지체(100)는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 스틸 재질을 이용하여 전체적으로 판의 형상을 갖도록 성형되되 후에 설명하는 틸팅수단(200)이 이동가능하게 장착되어 그 이동에 의해 회전체(300) 양측이 서로 방대방향으로 승강할 수 있도록 회전시키기 위한 구성으로 이동홈(110) 및 안내바(120)를 포함한다.More specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the support body 100 is molded to have a plate shape as a whole using a steel material, and a tilting means 200 to be described later is movably mounted. It includes a moving groove 110 and a guide bar 120 in a configuration for rotating the rotating body 300 so that both sides of the rotating body 300 can be lifted and lowered in the opposite direction by the movement.

예컨대 지지체(100)는 도시한 바와 같이, 상면에 상호 대칭되게 이동홈(110)이 형성되되 상기 이동홈(110)의 바닥면에는 안착몸체(223)가 이동가능하게 삽입되는 소정길이의 안내바(120)가 형성된다.For example, as shown in the figure, the support body 100 has a guide bar of a predetermined length in which the moving groove 110 is formed symmetrically on the upper surface and the seating body 223 is movably inserted into the bottom surface of the moving groove 110 . (120) is formed.

지지체(100) 양측에는 회전체(300) 양측에 형성된 회전축이 회전가능하게 축 결합하기 위한 축 결합체(130)가 구비되어 틸팅수단(200)이 전진 또는 후진시에 상기 회전체(300)가 회전축을 중심으로 회전할 수 있는 구조를 갖는다.A shaft coupling body 130 for rotatably coupling the rotation shafts formed on both sides of the rotation body 300 is provided on both sides of the support body 100 so that the rotation body 300 is rotated when the tilting means 200 moves forward or backward. It has a structure that can rotate around the

그리고, 상기 틸팅수단(200)은 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 상술한 지지체(100)에 회전은 물론, 그 회전에 의해 전후진 방향으로 왕복 이동하여 회전체(300)를 회전시키기 위한 구성으로 스크류(210) 및 엘엠가이드(220)를 포함한다.And, as shown in FIGS. 3 to 5, the tilting means 200 not only rotates on the above-described support 100, but also reciprocates in the forward and backward directions by the rotation to rotate the rotating body 300. It includes a screw 210 and an LM guide 220 for the configuration.

예컨대 스크류(210)는 도시한 바와 같이, 상호 치(齒) 결합하는 스크류너트(221)를 관통하되 일측은 지지체(100)와 정위치에서 회전가능하게 결합하며, 타측에는 손잡이가 구비되어 사용자의 수동작업을 통해 상기 스크류(210)가 정방향(시계방향) 또는 역방향으로 회전할 수 있도록 한다.For example, the screw 210, as shown, passes through the screw nut 221 that is coupled to each other, but one side is rotatably coupled with the support 100 at a fixed position, and the other side is provided with a handle to the user's Manual operation allows the screw 210 to rotate in a forward (clockwise) or reverse direction.

이때, 스크류(210) 타측에는 손잡이의 회전 이후에 사용자의 부주의 등으로 인하여 해당 손잡이가 원치 않게 회전하는 것을 방지할 수 있도록 고정나사(211)가 더 구비되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that a fixing screw 211 is further provided on the other side of the screw 210 to prevent the handle from being rotated undesirably due to the user's carelessness after rotation of the handle.

하여, 고정나사(211)의 조임 정도에 따라 상시 고정나사(211)의 단부가 나사산이 형성되어 있는 않은 스크류(210) 외면을 가압하거나 해지하여 상기 스크류(210)가 지지체(100)에서 고정 또는 해지될 수 있는 구조가 가능하게 된다.Thus, depending on the degree of tightening of the set screw 211, the end of the set screw 211 presses or releases the outer surface of the screw 210 in which the thread is not formed so that the screw 210 is fixed or fixed in the support 100. A structure that can be revoked becomes possible.

또한, 엘엠가이드(220)는 상술한 스크류(210)의 회전방향에 따라 이동홈(110) 내에서 전후진하되 그 전후진에 의해 회전체(300)가 회전할 수 있도록 하기 위한 구성으로 스크류너트(221)와 안착몸체(223)를 포함한다.In addition, the LM guide 220 moves forward and backward in the moving groove 110 according to the rotation direction of the screw 210 described above. 221 and a seating body 223 .

스크류너트(221)는 도시한 바와 같이, 박스의 형상을 갖도록 형성되되 그 내측으로 스크류(210) 외면이 상기 스크류너트(221) 내면과 서로 치(齒) 결합할 수 있도록 회전가능하게 관통 삽입되며, 상기 스크류너트(221) 양측에는 한 쌍의 안착몸체(223)가 서로 대칭되게 형성된다.As shown, the screw nut 221 is formed to have the shape of a box and is rotatably inserted through the outer surface of the screw 210 so that the inner surface of the screw 210 and the inner surface of the screw nut 221 can be teeth-coupled to each other. , a pair of seating bodies 223 are formed symmetrically on both sides of the screw nut 221 .

각각의 안착몸체(223)는 도시한 바와 같이, 지지체(100) 상면에 형성된 이동홈(110) 내에 위치하되 그 하부에 형성된 삽입홈(227)은 안내바(120)와 슬라이드 이동가능하게 삽입되어 스크류(210)의 회전에 의해 엘엠가이드(220)가 왕복 이동시, 안정적인 이동이 가능하게 한다.As shown, each seating body 223 is located in the movable groove 110 formed on the upper surface of the support body 100, but the insertion groove 227 formed in the lower part is inserted so as to be slidably movable with the guide bar 120. When the LM Guide 220 reciprocates by the rotation of the screw 210, it enables stable movement.

이때, 안착몸체(223) 상면에는 엘엠가이드(220)가 이동하는 방향으로 한 쌍의 경사면(225)이 형성되며, 상기 경사면(225)에는 후에 설명하는 안내롤러(310) 하면이 면접할 수 있게 안착하여 상기 경사면(225)의 경사각에 따라 회전체(300)가 회전할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.At this time, a pair of inclined surfaces 225 are formed on the upper surface of the seating body 223 in the direction in which the LM guide 220 moves, and the lower surface of the guide roller 310 to be described later is interviewed on the inclined surface 225 . It is preferable to be seated so that the rotating body 300 can rotate according to the inclination angle of the inclined surface 225 .

그리고, 상기 회전체(300)는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 상술한 틸팅수단(200)에 의해 지지체(100)의 축 결합체(130)를 중심으로 회전할 수 있도록 하기 위한 구성으로 안내롤러(310) 및 고정수단(320)을 포함한다.And, as shown in FIGS. 7 and 8, the rotating body 300 is configured to be able to rotate around the shaft coupling body 130 of the support body 100 by the above-described tilting means 200. It includes a guide roller 310 and a fixing means 320 .

예컨대 안내롤러(310)는 도시한 바와 같이, 하면에 롤러가 형성되되 해당 롤러가 회전체(300)의 하방으로 향하도록 설치되어 경사면(225)에 안착할 수 있도록 한다.For example, the guide roller 310 is installed on the lower surface of the guide roller 310 to face downward of the rotating body 300 so that it can be seated on the inclined surface 225 as shown.

또한, 안내롤러(310)의 개수와 대응하여 구비되는 고정수단(320)은 회전체(300) 상면 등에 안착하는 검사대상물의 하중(회전체의 회전에 의한 검사대상물의 편중 포함)에 대한 외압에 대응하여 안내롤러(310)가 가질 수 있는 공차가 존재시에 그 공차를 보상할 수 있도록 상기 안내롤러(310)의 고정력을 향상시키기 위한 구성으로 고정홈(321) 및 고정핀(323)을 포함한다.In addition, the fixing means 320 provided to correspond to the number of guide rollers 310 is external to the load (including the bias of the inspection object due to the rotation of the rotating body) of the inspection object seated on the upper surface of the rotating body 300, etc. Correspondingly, a fixing groove 321 and a fixing pin 323 are included as a configuration for improving the fixing force of the guide roller 310 to compensate for the tolerance when there is a tolerance that the guide roller 310 may have. do.

고정홈(321)은 회전체(300) 상면에 형성되되 내면에는 고정핀(323) 외면과 치 결합하기 위한 나사산이 형성된다(도 1 참조).Fixing groove 321 is formed on the upper surface of the rotating body 300, the inner surface is formed with a screw thread for tooth engagement with the outer surface of the fixing pin 323 (see FIG. 1).

한편, 고정홈(321)의 형성 위치는 일방적으로 회전체(300) 상면에 수직방향으로 길이를 갖도록 형성되어 고정핀(323)의 삽입을 통해 상기 고정핀(323) 끝단이 안내롤러(310)를 직접적으로 가압할 수 있도록 하는 것도 가능하나 본 발명에 따른 스테이지(1)가 X축과 Y축 방향으로 회전할 수 있게 적층 구조를 갖도록 복수로 구성되는 경우에는 상기 회전체(300) 측면에서 수평방향으로 길이를 갖도록 형성되어 상기 고정핀(323)의 가압에 의해 상기 안내롤러(310)의 고정력이 향상될 수 있도록 한다(도 12 참조).On the other hand, the formation position of the fixing groove 321 is unilaterally formed to have a length in the vertical direction to the upper surface of the rotating body 300, and through the insertion of the fixing pin 323, the end of the fixing pin 323 is a guide roller 310. Although it is possible to directly pressurize the It is formed to have a length in the direction so that the fixing force of the guide roller 310 can be improved by the pressing of the fixing pin 323 (see FIG. 12 ).

이때, 고정홈(321)이 회전체(300) 측면에 형성되는 경우, 고정수단(320)은 가압롤러(325)를 더 포함할 수 있으며, 상기 가압롤러(325)는 안내롤러(310) 상부에 형성되어 고정홈(321)을 통해 상기 회전체(300) 측면에서 수평방향으로 진입하는 고정핀(323) 하면이 상기 가압롤러(325) 상면을 하방으로 가압하여 상기 안내롤러(310)의 고정력을 증대시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.At this time, when the fixing groove 321 is formed on the side of the rotating body 300 , the fixing means 320 may further include a pressing roller 325 , and the pressing roller 325 is an upper guide roller 310 . The lower surface of the fixing pin 323 that is formed in and enters in the horizontal direction from the side of the rotating body 300 through the fixing groove 321 presses the upper surface of the pressing roller 325 downward, thereby fixing the guide roller 310 . It is desirable to be able to increase

이 경우, 가압롤러(325)와 면접하는 고정핀(323) 끝단은 뽀족한 형상을 갖도록 성형되어 안내롤러(310) 상면에 회전가능하게 구비된 상기 가압롤러(325) 외면과 면접시에 상기 고정핀(323)이 용이하게 상기 가압롤러(325) 상면을 하방으로 가압할 수 있도록 한다.In this case, the end of the fixing pin 323 that interfaces with the pressure roller 325 is formed to have a pointed shape and is fixed at the time of contact with the outer surface of the pressure roller 325 rotatably provided on the upper surface of the guide roller 310 . The pin 323 can easily press the upper surface of the pressing roller 325 downward.

나아가 본 발명에서의 회전체(300)는 상기 회전체(300)가 회전한 이후에 상술한 고정수단(320)과 병행하여 상기 회전체(300)의 회전상태를 더욱 견고하게 고정시키기 위한 보강부재(330)를 더 포함할 수 있으며, 상기 보강부재(330)는 보강스크류(331) 및 보강체(333)를 포함한다(도 6 참조).Furthermore, the rotating body 300 in the present invention is a reinforcing member for more firmly fixing the rotational state of the rotating body 300 in parallel with the above-described fixing means 320 after the rotating body 300 rotates. A 330 may be further included, and the reinforcing member 330 includes a reinforcing screw 331 and a reinforcing body 333 (see FIG. 6 ).

보강스크류(331)는 상부나 하부가 지지체(100) 하면 또는 회전체(300) 상면과 결합하는 기둥형상으로 이루어지되 외면에는 원판 형상으로 이루어진 보강체(333)와 나사 결합하기 한다.The reinforcing screw 331 is made of a column shape in which the upper or lower portion is coupled to the lower surface of the support body 100 or the upper surface of the rotating body 300, and the outer surface thereof is screwed to the reinforcing body 333 made in the shape of a disk.

이때, 지지체(100) 또는 회전체(300)와 고정되지 않은 보강스크류(331)의 상부나 하부 중 어느 하나는 상기 지지체(100) 또는 상기 회전체(300)에 형성되되 상기 보강스크류(331)의 지름보다 더 큰 지름을 갖는 회전홈(335)에 삽입되어 상기 회전체(300)가 소정 각도로 회전한 상태에서도 상기 보강스크류(331)가 동일 각도로 원활하게 회전이 이루어지는 구조를 갖도록 하며, 적어도 상기 지지체(100) 또는 상기 회전체(300) 일측이나 양측에 각각 한 쌍으로 설치되는 것이 바람직하다.At this time, any one of the upper or lower portion of the support 100 or the rotating body 300 and the unreinforced screw 331 is formed on the support 100 or the rotating body 300 and the reinforcing screw 331 . It is inserted into the rotation groove 335 having a larger diameter than the diameter of the reinforcing screw 331 even in a state in which the rotation body 300 rotates at a predetermined angle to have a structure in which the reinforcing screw 331 rotates smoothly at the same angle, It is preferable that at least one pair of each of the support body 100 or the rotation body 300 is installed on one side or both sides.

이를 통해, 회전체(300)의 회전이 구현된 이후에 사용자는 보강체(333)를 회전시켜 상기 보강체(333) 외면이 지지체(100) 또는 회전체(300)를 가압할 수 있도록 하여 회전 이후의 상기 회전체(300)에 대한 고정력을 더욱 극대화할 수 있도록 한다.Through this, after the rotation of the rotating body 300 is implemented, the user rotates the reinforcing body 333 so that the outer surface of the reinforcing body 333 can press the support 100 or the rotating body 300 to rotate. It is possible to further maximize the fixing force for the subsequent rotation body 300 .

이와 같이, 본 발명에 따른 스테이지(1)는 도 9 내지 도 11에 도시한 바와 같이, 사용자가 스크류(210) 타측에 구비된 스크류(210)를 일 방향으로 회전시키면 임의의 기준선(L)에서 벗어나도록 엘엠가이드(220)가 이동하게 되는데, 이 과정에서 회전체(300) 하부에 구비된 한 쌍의 안내롤러(310) 중 적어도 어느 하나가 안착몸체(223)에 형성된 한 쌍의 경사면(225) 중 어느 하나와 면접할 수 있도록 이동하여 그 경사각에 대응되게 상기 회전체(300)가 회전축을 중심으로 기울어져 회전하는 틸팅이 구현되게 된다.In this way, the stage 1 according to the present invention is, as shown in FIGS. 9 to 11 , when the user rotates the screw 210 provided on the other side of the screw 210 in one direction at an arbitrary reference line L. The LM guide 220 is moved to escape, and in this process, at least one of the pair of guide rollers 310 provided under the rotating body 300 is a pair of inclined surfaces 225 formed on the seating body 223 . ) to move so as to face any one of them, the rotation body 300 is tilted around the rotation axis to correspond to the inclination angle, and the tilting is implemented.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 틸트 스테이지(1)는 종래와는 차별되게 웜기어의 형식이 아닌, 지지체(100) 내에서 스크류(210)의 회전방향에 따라 전후진이 가능한 엘엠가이드(220)의 경사면(225)을 이용하여 회전체(300)의 회전이 가능하게 함으로써, 제작원가를 줄이되 검사대상물의 하중이나 편중에 의한 안정성을 확보한 상태에서 정밀한 검사를 실행할 수 있는 효과의 구현이 가능하게 된다.As described above, the tilt stage 1 according to the present invention is not a worm gear type, unlike the conventional one, but a LM guide 220 capable of moving forward or backward according to the rotation direction of the screw 210 in the support 100. By enabling the rotation of the rotating body 300 by using the inclined surface 225, it is possible to reduce the manufacturing cost and realize the effect of performing a precise inspection while ensuring stability due to the load or bias of the inspection object. .

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, in the present invention, specific matters such as specific components, etc., and limited embodiments and drawings have been described, but these are only provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims to be described later, but also all those with equivalent or equivalent modifications to the claims will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention. .

1: 본 발명에 따른 틸트 스테이지
100: 지지체
110: 이동홈 120: 안내바
130: 축 결합체
200: 틸팅수단
210: 스크류 211: 고정나사
220: 엘엠가이드 221: 스크류너트
223: 안착몸체 225: 경사면
227: 삽입홈
300: 회전체
310: 안내롤러 320: 고정수단
321: 고정홈 323: 고정핀
325: 가압롤러 330: 보강부재
331: 보강스크류 333: 보강체1: Tilt stage according to the present invention
100: support
110: mobile home 120: information bar
130: shaft assembly
200: tilting means
210: screw 211: set screw
220: LM guide 221: screw nut
223: seating body 225: inclined surface
227: insertion groove
300: rotating body
310: guide roller 320: fixing means
321: fixing groove 323: fixing pin
325: pressure roller 330: reinforcing member
331: reinforcing screw 333: reinforcing body

Claims (6)

상면에 복수의 이동홈(110)이 형성된 지지체(100);
회전방향에 따라 상기 이동홈(110) 내에서 이동가능하게 상기 지지체(100)에 장착되는 틸팅수단(200); 및
검사대상물이 안착할 수 있게 판의 형상으로 이루어지되 상기 틸팅수단(200)의 이동방향에 따라 양측이 서로 반대방향으로 승강할 수 있게 상기 지지체(100)와 회전가능하게 결합하는 회전체(300);를 포함하고,
상기 틸팅수단(200)은 일측이 상기 지지체(100)와 회전가능하게 결합하되 타측에는 회전손잡이가 구비된 스크류(210) 및 상기 스크류(210)가 치(齒) 결합하도록 관통하되 양측에는 상기 스크류(210)의 회전방향에 따라 상기 이동홈(110) 내에서 왕복 이동하는 엘엠가이드(220)를 포함하며,
상기 엘엠가이드(220) 하부는 상기 이동홈(110)에 소정길이를 갖도록 구비된 안내바(120)에 삽입되어 이동할 수 있게 삽입홈(227)이 형성되며, 상면에는 상기 회전체(300)가 안착하는 경사면(225)이 상기 엘엠가이드(220)가 이동하는 방향으로 서로 대칭되게 형성된 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지.
a support body 100 having a plurality of moving grooves 110 formed on its upper surface;
a tilting means 200 mounted on the support body 100 to be movable within the movable groove 110 according to the rotational direction; and
A rotating body 300 that is rotatably coupled with the support 100 so that both sides can be raised and lowered in opposite directions according to the moving direction of the tilting means 200, which is made in the shape of a plate so that the object to be inspected can be seated. including;
The tilting means 200 penetrates so that one side is rotatably coupled to the support 100 and the other side is provided with a rotation handle and the screw 210 is toothed, but the screw 210 is coupled to both sides. It includes an LM guide 220 that reciprocates within the moving groove 110 according to the rotational direction of 210,
The lower portion of the LM guide 220 is inserted into the guide bar 120 provided to have a predetermined length in the movable groove 110 and an insertion groove 227 is formed so as to be movable, and the rotating body 300 is formed on the upper surface. The tilt stage, characterized in that the inclined surface (225) to be seated is formed to be symmetrical to each other in the direction in which the LM guide (220) moves.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 회전체(300)는
하면에 상기 엘엠가이드(220)는 물론, 상기 경사면(225)과 면접하여 회전에 의해 이동하는 안내롤러(310);를 포함하되,
상기 안내롤러(310)는 상기 엘엠가이드(220) 각각의 일측에 대응하여 상기 회전체(300) 하면에 한 쌍이 서로 이웃하게 장착되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지.
According to claim 1,
The rotating body 300 is
On the lower surface of the LM guide 220, as well as a guide roller 310 that moves by rotation in contact with the inclined surface 225;
The guide roller 310 is a tilt stage, characterized in that a pair is mounted adjacent to each other on the lower surface of the rotating body 300 corresponding to one side of each of the LM guide 220.
 제3항에 있어서,
상기 회전체(300)는
상기 엘엠가이드(220)가 이동한 이후에 상기 회전체(300)가 받는 외압에 대응하여 상기 안내롤러(310)의 고정력을 향상시키기 위해 상기 안내롤러(310)를 하방으로 가압하는 고정수단(320);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지.
4. The method of claim 3,
The rotating body 300 is
Fixing means 320 for pressing the guide roller 310 downward to improve the fixing force of the guide roller 310 in response to the external pressure received by the rotating body 300 after the LM guide 220 moves ); Tilt stage, characterized in that it further comprises.
 제4항에 있어서,
상기 고정수단(320)은
상기 안내롤러(310)의 개수와 대응되게 상기 회전체(300) 외면에 형성된 고정홈(321);
상기 고정홈(321) 내벽과 회전가능하게 치 결합하여 이동하는 고정핀(323); 및
상기 안내롤러(310) 상면에 회전가능하게 구비되되 이동하는 상기 고정핀(323)의 하부 방향으로 작용하는 외력에 의해 상기 안내롤러(310)의 고정력을 향상시키는 가압롤러(325);를 포함하는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지.
5. The method of claim 4,
The fixing means 320 is
Fixing grooves 321 formed on the outer surface of the rotating body 300 to correspond to the number of the guide rollers 310;
The fixing groove 321, the inner wall and rotatably toothed fixing pin 323 to move; and
Containing; Tilt stage, characterized in that.
 제5항에 있어서,
상기 고정홈(321)은
상기 회전체(300) 상면에서 수직되게 형성되거나 상기 회전체(300) 측면에서 수평되게 형성되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지.
6. The method of claim 5,
The fixing groove 321 is
The tilt stage, characterized in that formed vertically on the upper surface of the rotating body (300) or horizontally formed on the side of the rotating body (300).
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