KR102394114B1 - 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 - Google Patents
침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102394114B1 KR102394114B1 KR1020217036232A KR20217036232A KR102394114B1 KR 102394114 B1 KR102394114 B1 KR 102394114B1 KR 1020217036232 A KR1020217036232 A KR 1020217036232A KR 20217036232 A KR20217036232 A KR 20217036232A KR 102394114 B1 KR102394114 B1 KR 102394114B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- condensate
- distillation
- dielectric fluid
- filtering
- tank
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 190
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000007654 immersion Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title description 3
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims abstract description 139
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims abstract description 99
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 48
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 87
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 30
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 30
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 19
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 45
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 35
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 14
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 7
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 7
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 6
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 4
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 2
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- -1 fine-grained Substances 0.000 description 2
- 239000002529 flux (metallurgy) Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000005182 potential energy surface Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
- B01D3/14—Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
- B01D3/143—Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step
- B01D3/145—One step being separation by permeation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D15/00—Separating processes involving the treatment of liquids with solid sorbents; Apparatus therefor
- B01D15/08—Selective adsorption, e.g. chromatography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/50—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
- B01D29/56—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition in series connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
- B01D36/003—Filters in combination with devices for the removal of liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0003—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation by using heat-exchange surfaces for indirect contact between gases or vapours and the cooling medium
- B01D5/0006—Coils or serpentines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0057—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation in combination with other processes
- B01D5/006—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation in combination with other processes with evaporation or distillation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0057—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation in combination with other processes
- B01D5/0072—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation in combination with other processes with filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0078—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation characterised by auxiliary systems or arrangements
- B01D5/009—Collecting, removing and/or treatment of the condensate
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20218—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures
- H05K7/20236—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures by immersion
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20218—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures
- H05K7/20272—Accessories for moving fluid, for expanding fluid, for connecting fluid conduits, for distributing fluid, for removing gas or for preventing leakage, e.g. pumps, tanks or manifolds
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2029—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant with phase change in electronic enclosures
- H05K7/203—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant with phase change in electronic enclosures by immersion
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 방법 및 시스템으로서, 그러한 방법은 제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계; 증발된 유전체 유체를 생산하기 위해 필터링된 유전체 유체를 하나 이상의 증류 탱크 내에서 증류하는 단계; 증발된 유전체 유체가 응축물로서 순환 탱크 내로 도입되도록, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계; 응축물을 순환 탱크로부터 적어도 하나의 필터를 통해서 펌핑하는 것에 의해서 응축물을 순환시키는 단계; 제2 그룹의 오염물질을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터(들)를 통해서 필터링하는 단계; 및 필터링된 응축물을 순환 탱크로 복귀시키는 단계를 포함한다.
Description
관련 출원에 대한 상호 참조
본원은, 전체가 본원에서 참조로 포함되는 2019년 4월 9일자로 출원되고 명칭이 "METHOD AND APPARATUS FOR RECOVERING DIELECTRIC FLUIDS USED FOR IMMERSION COOLING"인 미국 정규 특허출원 제16/379,136호에 대한 우선권 및 그 이익을 주장한다.
본 발명은 일반적으로 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템 및 방법, 보다 특히 다수의 여과 및 증류 스테이지를 이용하여 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
유전체 유체, 예를 들어 냉매, 드라이-크리닝 용매, 및 다른 비-수성 기반의 용액이, 예를 들어 민감한 전자기기 및/또는 전기 장비를 포함하는, 첨단 기술 기구 및 디바이스를 세정하기 위해서 자주 이용된다. 통상적인 세정 방법은, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 침지, 헹굼, 분무, 증발, 및 기타를 포함할 수 있다. 불리하게도, 세정 동작에서의 반복된 사용 중에, 유전체 유체는, 예를 들어 소립자, 불순물, 고체 물질, 액체 물질, 및 기타에 의해서 오염되기 시작할 수 있다.
불순물/오염물질의 예시적인 공급원은 인쇄회로기판(PCB) 플럭스, 가소제, 물, 및 기타를 포함할 수 있다. 플럭스, 예를 들어 수지 및 로진이 원래는 PCB에서 발견될 수 있으나, 유전체 유체에 의해서 PCB로부터 세척될 수 있다. 전형적인 플럭스는 약 100℃ 내지 약 130℃ 사이의 비등점을 갖는다. 가소제는, 예를 들어, 일부 전기 케이블의 코팅에서 전형적으로 발견되는 플라스틱의 연성을 개선하기 위해서 사용되는 첨가제를 포함한다. 플럭스와 마찬가지로, 유전체 유체는 가소제를 씻어 내고, 이는 이어서 유전체 유체 내에서 현탁되어(suspended) 유지되거나 용액 내에서 유지된다. 전자기기 장비의 반복적인 가열 및 냉각으로 인해서, 주변 공기 내의 수증기가 응축될 수 있고 그 후에 유전체 유체 내로 용해될 수 있다.
이러한 오염의 결과로서 유전체 유체는 세정제로서 덜 효과적이 될 수 있다. 특히, 유전체 유체의 반복된 사용은 전기 전송에 대한 유체의 저항의 척도인 유체의 전기 비저항에 영향을 미칠 수 있고, 이는 전자기기 및/또는 전기 장비에 유해할 수 있다.
최근에 유전체 유체를 세정제로서 구현하는 것은, 특히 전자기기 또는 다른 전기 물품의 1-상 또는 2-상 액체 냉각을 위한, 전자기기 장비의 침지 냉각을 포함한다. 침지 냉각에서 반복적으로 사용될 때, 유전체 유체의 전기 비저항, 광학적 투과도, 및 다른 특성이 해로운 영향을 받을 수 있다. 따라서, 작업 유전체 유체가 그 순수한 형태 또는 순수한 상태에서 또는 그에 가깝게 유지되게 보장하기 위해서, 유전체 유체의 전기 비저항, 광학적 투과도, 및 다른 특성이 수용 가능한 한계 내에서 유지되도록, 유전체 유체는 극히 청정하게 유지되어야 하고 액체 및/또는 고체 오염물질을 본질적으로 포함하지 않아야 한다.
일부 유전체 유체의 높은 비용에 의해서, 예를 들어 침지 냉각에서 사용된 유전체 유체를 회수, 재활용, 및 재-사용하는 것이 유리할 수 있다. 그러나, 임의의 회수 및 재-사용은 많은 고체 및 액체 오염물질을 유전체 유체로부터 제거 또는 분리하는 것을 필요로 한다. 예시적인 오염물질은, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 미세-입자 또는 조대-입자 고체 소립자, 유전체 유체 내에 용해되지 않은 액체 오염물질, 유전체 유체 내에서 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 및 유전체 유체 내에서 완전히 용해된 액체 오염물질을 포함할 수 있다. 불리하게, 용해된 그리고 부분적으로 용해된 액체 오염물질은 공비혼합물(azeotrope)을 형성하여, 예를 들어 증류에 의한 유전체 유체로부터의 제거 및 분리를 더 어렵게 만들 수 있는데, 이는 공비혼합물 내의 액체의 동일한 또는 거의 동일한 비등점들 때문이다.
관련 기술은 바람직하지 못한 오염물질을 포함하는 유체를 필터링 및/또는 가열하는 예시적인 시스템 및 방법을 제공한다. 그러나, 이러한 시스템 및 방법의 일부는 전형적으로 용해된 및/또는 혼화성 유체를 효율적으로 필터링 및 제거할 수 없다.
그에 따라, 유전체 유체를 회수하고 정제하여 이를 순수한 또는 거의 순수한 상태 또는 순수한 또는 거의 순수한 형태로 복귀시키기 위한, 예를 들어 전자기기 및/또는 전기 장비의 침지 냉각을 위해서 사용된 오염된 유전체 유체를 재활용하기 위한 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직할 수 있다. 보다 특히, 하나의 적용예에서, 세정 및 재활용 시스템과 유체 연통되는 침지 냉각 시스템의 동작을 중단시킬 필요가 없이, 오염된 유전체 유체를 재활용하도록 구성된 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직할 수 있다.
제1 양태에서, 본 발명은 하나 이상의 전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하는 방법에 관한 것이다. 일부 실시형태에서, 방법은 제1 그룹의 고체 오염물질(예를 들어, 중간-입자 내지 조대 입자 고체 오염물질)을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계; 필터링된 유전체 유체를 하나 이상의 증류 탱크 내에서 증류하여 증발된 유전체 유체를 생산하는 단계; 증발된 유전체 유체가 응축물(condensate)로서 순환 탱크 내로 도입되도록, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계; 응축물을 순환 탱크로부터 하나 이상의 필터를 통해서 펌핑하는 것에 의해서 응축물을 순환시키는 단계; 제2 그룹의 오염물질(예를 들어, 미세-입자의, 고체 오염물질, 매우 미세-입자의, 고체 오염물질, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터(들)를 통해서 필터링하는 단계; 및 필터링된 응축물을 순환 탱크로 복귀시키는 단계를 포함한다. 일 구현예에서, 제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계는 유전체 유체를 기계적 여과 프로세스 내로 도입하는 단계를 포함할 수 있고, 기계적 여과 프로세스는, 일부 변경예에서, 가장 큰 소공 크기(pore size)로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열될 수 있는 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터로 구성되거나 본질적으로 구성될 수 있다. 선택적으로, 오염된 유전체 유체를 기계적 여과 프로세스를 통해서 필터링하는 단계에 더하여, 오염된 유전체 유체는 또한 건조제를 갖는 필터를 통해서, 혼합 탄소 필터를 통해서, 및 이들의 조합을 통해서 필터링될 수 있다.
일부 구현예에서, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계는, 응축물을 생산하기 위해서 증발된 유전체 유체를 증류 탱크(들) 내에서 응축시키는 단계, 응축물을 순환 탱크 내에서 수집하는 단계, 및 더 적은 휘발성의 오염물질을 증류 탱크(들)의 하단 부분에서 수집하는 단계를 포함할 수 있다. 하나의 변형예에서, 응축시키는 단계는, 증류 탱크(들) 내에, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 제공하는 단계를 포함하고, 증발된 유전체 유체가 그러한 응축 코일 상에서 응축되며, 응축물을 수집하는 단계는 응축물을 유체-냉각된 응축 코일의 외측부 표면으로부터 순환 탱크로 중력 공급하는 단계를 포함한다. 일부 변경예에서, 하나 이상의 증류 탱크는, 유체 연통되는, 제1 증류 탱크 및/또는 제2 증류 탱크 또는 그 초과를 포함할 수 있고, 증발된 유전체 유체의 응축물을 분리하는 단계는 유전체 유체를 증발시키기 위해서 제1 증류 탱크 내의 유전체 유체를 제1 교정 온도까지 가열하는 단계, 증발된 유전체 유체의 응축물을 제2 증류 탱크 내에서 수집하는 단계, 및 수집된 응축물을 증발시키기 위해서 제2 증류 탱크 내의 수집된 응축물을 (예를 들어, 제1 교정 온도보다 낮은) 제2 교정 온도까지 가열하는 단계를 포함한다.
일부 적용예에서, 순환 응축물을 필터링하는 단계는 응축물을 건조제를 갖는 하나 이상의 필터를 통해서, 하나 이상의 혼합 탄소 필터를 통해서, 및/또는 하나 이상의 기계적 소립자 필터를 통해서 통과시키는 또는 강제하는 단계를 포함하고, 기계적 소립자 필터는 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터로 구성되거나 본질적으로 구성될 수 있다.
일부 변경예에서, 방법은 또한 이하의 단계 중 하나 이상을 포함할 수 있다: 증류 탱크(들) 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에 증류를 중단시키는 단계, 증류 탱크(들) 내의 필터링된 유전체 유체의 레벨이 최소 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에 증류를 중단시키는 단계, 및/또는 희망하는 전기 비저항 및/또는 희망하는 광학적 투과도 및/또는 희망하는 적외선 투과도가 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키는 단계. 다른 변경예에서, 방법은 또한 유전체 유체를 침지 냉각 시스템으로부터 직접적으로 회수하는 단계 및/또는 필터링된 응축물을 침지 냉각 시스템으로 직접적으로 복귀시키는 단계를 포함할 수 있다.
제2 양태에서, 본 발명은 전자 디바이스(들)의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템에 관한 것이다. 일부 실시형태에서, 시스템은 제1 그룹의 고체 오염물질(예를 들어, 중간-입자 내지 조대 입자 고체 오염물질)을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하기 위한 제1 필터 디바이스; 증발된 유전체 유체를 생산하기 위해서 필터링된 유전체 유체를 증류하기 위한 하나 이상의 증류 탱크; 증발된 유전체 유체의 응축물을 분리하기 위해서 각각의 증류 탱크 내에 위치되는 응축 디바이스; 증발된 유전체 유체의 응축물을 순환시키기 위한 순환 탱크로서, 하나 이상의 펌핑 시스템을 선택적으로 포함하는, 순환 탱크; 및 제2 그룹의 오염물질(예를 들어, 미세-입자 고체 오염물질, 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터링하기 위한 하나 이상의 제2 필터 디바이스를 포함할 수 있다. 일부 적용예에서, 제1 필터 디바이스 및/또는 제2 필터 디바이스는, 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터를 포함할 수 있는 하나 이상의 기계적 필터를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 제1 및/또는 제2 필터 디바이스는 또한 하나 건조제를 갖는 하나 이상의 필터 및/또는 하나 이상의 혼합 탄소 필터를 포함할 수 있다.
일부 적용예에서, 하나 이상의 증류 탱크는, 응축 후에, 제1 증류 탱크로부터의 증발된 유전체 유체가 제2 증류 탱크 내로 도입될 수 있도록, 유체 연통되는 제1 증류 탱크 및 제2 증류 탱크를 포함할 수 있다. 일부 구현예에서, 응축 디바이스는, 증발된 유전체 유체를 응축시킬 수 있는 외측부 표면을 갖는 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다.
선택적으로, 시스템은: 증류 탱크 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에 증류를 중단시키도록 구성된 중단 디바이스, 증류 탱크 내의 필터링된 유전체 유체의 레벨이 최소 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에 증류를 중단시키도록 구성된 중단 디바이스, 순환 응축물 내의 전기 비저항을 감지하기 위한 감지 디바이스, 순환 응축물 내의 광학적 투과도를 감지하기 위한 감지 디바이스, 및/또는 희망하는 전기 비저항 및/또는 희망하는 적외선 투과도가 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키기 위한 중단 디바이스를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 시스템은 또한 유전체 유체를 침지 냉각 시스템으로부터 직접적으로 회수하기 위한 도관 및/또는 필터링된 순환 응축물을 침지 냉각 시스템으로 직접적으로 복귀시키기 위한 도관을 포함할 수 있다.
도면에서, 유사 참조 문자는 일반적으로 상이한 도면들 전체를 통해서 동일 부품을 지칭한다. 또한, 도면이 반드시 실제 축척(scale)이지 않고, 그 대신에 본 발명의 원리를 설명할 때 일반적으로 강조된다. 이하의 설명에서, 본 발명의 여러 실시형태가 설명된다.
도 1은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제1 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제2 시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 추가적인 실시형태에 따른 침지 냉각 시스템으로부터 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템의 블록도이다.
도 1은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제1 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제2 시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 추가적인 실시형태에 따른 침지 냉각 시스템으로부터 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템의 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 구현 방법 및 구현 방법을 수행하기 위한 예시적인 시스템이 각각 도시되어 있다. 제1 단계에서, 오염된 또는 부분적으로 오염된 유전체 유체(101)가 오염된 유전체 유체(101)의 회수를 위해서 다수-스테이지 여과 및 증류 시스템(200) 내로 도입될 수 있다(단계 1). 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 유전체 유체는 미국 미네소타 세인트 폴에 소재하는 3MTM에 의해서 제조된 NOVECTM 7100과 같은 조작된 유체일 수 있다. 순수한 또는 실질적으로 순수한 NOVECTM 7100은, 알려진 불순물/오염물질인 물의 비등점보다 훨씬 낮은, 약 61℃의 비등점을 갖는다. 이에 비해서, NOVECTM 7300은, 물의 100℃의 비등점에 매우 가까운, 약 98℃의 비등점을 갖는다. 당업자는, 그 근접한 비등점들로 인해서, NOVECTM 7300 및 물을 포함하는 액체 혼합물이, NOVECTM 7100 및 물을 포함하는 액체 혼합물보다, 공비혼합물을 형성할 가능성이 더 높다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
유전체 유체의 오염물은 (예를 들어, 잔류물, 파편, 불순물, 조대-입자 오염물질, 중간-입자 오염물질, 미세-입자 오염물질, 매우 미세-입자의 오염물질, 및 이들의 조합과 같은) 고체 오염물질, 및/또는 액체 오염물질(예를 들어, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 포함할 수 있다.
일부 실시형태에서, 오염된 유체(101)가 내부로 도입되는 다수-스테이지 여과 및 증류 시스템(200)의 제1 스테이지(102)가 제1 기계적 소립자 필터(201)를 포함할 수 있다(단계 2). 제1 기계적 소립자 필터(201) 및 제1 스테이지(102)는, 유전체 유체를 큰 고체(예를 들어, 조대-입자 내지 중간-입자) 및 불용성 오염물질로부터 분리하도록 구성되고 배열된다(단계 2). 일부 변경예에서, 제1 기계적 소립자 필터(201)는, (전형적으로 미크론으로 측정되는) 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소가 제1 스테이지(102)에 대한 유입구(108)에 가장 가까이 위치되고 가장 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소가 제1의 복수의 기계적 필터(201)의 배출구(109)에 가장 가까이 위치되도록 직렬로 배열된 복수의 기계적 필터를 포함할 수 있고, 임의의 중간의 필터들의 소공 크기는 유입구(108)에 근접한 가장 큰 소공 크기로부터 배출구(109)에 근접한 가장 작은 소공 크기까지 감소된다. 동작 시에 제1의 복수의 기계적 필터(201) 내에서, 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소는 조대-입자 고체 오염물질을 포획하고 보유하도록 구성되어, 중간-입자 및 미세-입자 내지 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 하류로 더 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소에 그리고 배출구(109)에 전달한다. 작은 소공 크기를 갖는 필터는 중간-입자의 고체 오염물질을 포획 및 보유하도록 구성되어, 미세-입자 내지 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 하류로 배출구(109)에 전달한다. 필터는, 막힘을 방지하거나 최소화하기 위해서, 필요에 따라, 시간 경과시에 제거 및 교체될 수 있다.
다음 단계에서, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)가 (예를 들어, 제1 기계적 소립자 필터(201)의 배출구(109)를 통해서) 제1 스테이지(102)를 빠져 나가고(예를 들어, 유동되거나 그로부터 펌핑되고), 증류를 위해서 예를 들어 제1 증류 탱크(203)(단계 3) 내의 유입구(110)를 통해서, 제2 스테이지(103) 내로 도입된다. 증류 전에 또는 그와 동시에, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 가볍거나 그보다 덜 조밀한 액체 불순물/오염물질이 액체 혼합물로부터 제거될 수 있다. 더 구체적으로, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 가볍거나 그보다 덜 조밀한 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203) 내의 액체 혼합물의 상단부까지, 더 조밀한 유전체 유체 및 더 조밀한 액체 오염물질의 상단부 상으로, 부유하려는 경향이 있고, 그러한 곳에서 이들은, 예를 들어 액체 스쿠프 또는 사이펀(liquid scoop or siphon)을 이용하여 수작업으로, 제거될 수 있다. 예를 들어, 로진으로 구성된 액체 플럭스 불순물은 전형적으로, 약 1.5 g/ cm3의 전형적인 NOVECTM 7100 밀도에 대비되는, 약 1.07 g/cm3의 밀도를 갖는다. 회수하고자 하는 유전체 유체보다 무겁거나 조밀한 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203)의 하단부로 가라 앉을 것이다. 일부 변경예에서, 더 조밀한 액체 불순물/오염물질을 제거하기 위해서, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)의 대부분이 증발되고 더 조밀한 액체 불순물/오염물질이 증류 탱크(203)의 하단부까지 가라 앉으면, 하단부의 부분(bottom fraction)이 예를 들어 휴대 가능 저장용기 내로 펌핑될 수 있고, 그에 따라 불순물/오염물질이 증류 탱크(203)로부터 제거된다. 오염의 정도가 허용하는 경우에, 제거된 하단부의 부분이 별도로 회수될 수 있다. 제거된 하단부의 부분이 너무 오염된 경우에, 이는 재활용될 수 없는 폐기물로 처리될 수 있다.
제2 스테이지(103)에서의 증류는 주요 액체 불순물/오염물질의 대부분을 회수하고자 하는 유전체 유체의 대부분으로부터 분리하도록 구성되고 배열된다. 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점보다 상당히 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질은, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점에 가까운 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질보다, 증류 중에(단계 3), 프로세스된 (즉, 필터링된) 유전체 유체(106)로부터 더 용이하고 더 완전하게 분리된다. 따라서, 제2 스테이지(103) 증류(단계 3)의 하나의 목적은, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106) 내의 더 높은 비등점의 액체 불순물/오염물질이 용액 내에 잔류하도록, 회수하고자 하는 유전체 유체를 더 낮은 온도에서 증발시키는 것이다.
예를 들어, 각각 약 61℃ 및 약 98℃의 비등점을 갖는 NOVECTM 7100 및 NOVECTM 7300를 회상하면, (비등점이 100℃인) 물 및 61℃보다 상당히 높은 비등점을 갖는 다른 액체 불순물/오염물질은, (예를 들어, 약 105℃의 비등점에서) NOVECTM 7300으로부터 분리되는 것보다, 증류 중에(단계 3)(예를 들어, 약 65℃의 비등점에서) NOVECTM 7100으로부터 더 용이하고 완전하게 분리될 것이다. 간략히, NOVECTM 7100이 유전체 유체로서 사용될 때, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)가 약 65℃까지 가열되면, 회수하고자 하는 유전체 유체가 증발되고, 그에 따라 65℃를 초과하는 비등점을 갖는 물 및 다른 액체 불순물/오염물질을 후속 제거를 위해서 용액 내에 남긴다.
일부 구현예에서, 제2 스테이지(103)는 단일 증류 탱크(203)(도 2)를 포함할 수 있는 반면, 다른 구현예에서, 제2 스테이지(103')는 다수의 증류 탱크(203, 303)를 포함할 수 있다(도 3). 유리하게, 다수의 증류 탱크(203, 303)를 이용한 제2 스테이지(103') 증류는 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를, 가변적인 또는 더 넓은 범위의 비등점 및 가변적인 농도를 갖는 액체 불순물/오염물질로부터 점진적으로 분리한다.
관련 부분에서, 증류 탱크(203)는 증류 탱크(203)의 하단 표면에 또는 그 부근에 위치된 가열 요소(204) 및 증류 탱크(203)의 상단 표면에 또는 그 부근에 위치된 응축 디바이스(202)를 포함할 수 있다. 가열 요소(204), 예를 들어 가열 코일은 증류 탱크(203) 내에 포함된 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 교정 온도(예를 들어, 순수한 또는 거의 순수 상태 또는 형태의 유전체 유체의 비등점보다 약간 높은 온도)까지 가열하도록 구성될 수 있다. 일부 적용예에서, 최대 증류 효과를 달성하기 위한 비등 만이 유지되도록, 가열 요소/코일(204)의 온도가 제어될 수 있다. 그와 달리, 가열 요소(204)의 온도가 제어되지 않는 경우에, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)의 비등 온도가, 회수하고자 하는 유전체 유체(NOVECTM 7100)의 비등점에 비해서, 너무 높아질 수 있고, 그에 따라 회수하고자 하는 유전체 유체(NOVECTM 7100)와 함께 더 많은 불순물/오염물질이 증발되게 할 수 있다.
일부 변경예에서, 응축 디바이스(202)는, 냉각 유체(예를 들어, 물, 오일, 냉각제, 프레온, 암모니아, 및 기타)가 통과하여 유동되거나 펌핑될 수 있는, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다. 동작 시에, 가열 요소(204)가 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 교정된 비등 온도까지 가열하면, 증류 탱크(203) 내의 유전체 유체뿐만, 아니라 비등점이 유전체 유체 보다 낮은 임의의 액체 불순물/오염물질이 증발된다. 비등점이 교정된 비등 온도를 초과하는 다른 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203) 내에서 액체 상태로 잔류할 것이다.
증발된 유전체 유체는 증류 탱크(203)의 상단부로 상승되고, 그 곳에서 응축 디바이스(202)의 외측부 표면(들)과 접촉된다. 응축 디바이스(202)를 통해서 유동하거나 펌핑되는 냉각제는, 고온 증기가 응축 디바이스(202)(예를 들어, 코일)의 외측부 표면(들)과 접촉되게 하여, 코일 상에서 유전체 유체의 액적(droplet)이 형성되게 한다. 유리하게 응축 디바이스(202)는, (예를 들어, 증류 탱크(203) 내의 배출구(111)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)의 액적을 제3 스테이지(104)에 중력 공급하도록 피칭되거나(pitched) 달리 구성될 수 있다. 그에 따라, 제2 (증류) 스테이지(103)(단계 3)는, 배출구(111)를 통해서 증류 탱크(203)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를, 증류 탱크(203)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 구현예에서, 센서가 증류 탱크(203) 내로 통합될 수 있고 경고 시스템 및/또는 자동 차단 시스템에 각각 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그에 따라, 발생 가능한 위험 조건이 임박할 때, 발생 가능한 위험 조건을 조작자에게 경고할 수 있고/있거나 가열기 요소(204)를 자동적으로 차단할 수 있다. 예를 들어, 가열 요소(204)가 증류 탱크(203) 내의 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 계속 증발시키는 동안 응축 유체가 응축 디바이스(202)를 통해서 유동되지 않는 경우에, 과압이 초래될 수 있다. 응축 유체가 응축 디바이스(202)를 통해서 유동하지 않기 때문에, 응축이 존재하지 않는다. 결과적으로, 가열된 증기를 증류 탱크(203)로부터 제거하기 위한 수단이 없기 때문에, 증기의 밀도가 계속 증가될 것이다.
탱크(203) 내의 압력을 감지하기 위해서, 압력-감지 디바이스(125)가 증류 탱크(203) 내에 위치될 수 있다. 압력-감지 디바이스(125)에 의해서 생성되고 증류 탱크(203) 내의 측정 압력을 나타내는 신호가 근거리의 또는 원격의 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 증류 탱크(203)에 대한 최대 허용 가능 압력을 초과할 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 증류 탱크(203)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다른 예에서, 액체 레벨-감지 디바이스(135)가, 증류 탱크(203) 내에 포함된 프로세스된(필터링된) 유전체 유체(106)의 액체 부분의 레벨을 감지하기 위해서 증류 탱크(203) 내에 위치될 수 있다. 액체 레벨-감지 디바이스(135)에 의해서 생성되고 증류 탱크(203) 내의 액체 부분의 높이를 나타내는 신호가 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 증류 탱크(203)에 대한 최소 허용 가능 액체 레벨 미만으로 떨어질 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 증류 탱크(203)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다음 단계에서, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)는 (예를 들어, 증류 탱크(203)의 배출구(111)를 통해서) 제2 스테이지(103)를 빠져 나가고(예를 들어, 중력 공급에 의해서 그로부터 유동하고), 순환 여과(단계 5)를 위해서 (예를 들어, 순환 탱크(205)의 유입구(114)를 통해서) 제3 스테이지(104) 내로 도입된다(단계 4). 일부 구현예에서, 제3 스테이지(104)는, 폐쇄 시스템에서 서로 유체적으로 커플링된, 순환 탱크(205), 복수의 필터(206, 207, 208), 및 펌프 시스템(211)을 포함할 수 있다. 제3 스테이지(104)(단계 5)에서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를 반복적으로 순환 및 필터링하는 것 또는 순환 필터링하는 것은 회수하고자 하는 유전체 유체를 더 정제한다. 사실상, 순환 필터링은 필터(206) 내의 건조제에 의한 불순물/오염물질의 화학적 흡수를 증폭시키고, 그에 따라 흡수되는 불순물/오염물질의 양 및 속도(rate)를 증가시킨다.
본 발명의 일부 변경예에서, 순환 탱크(205)는, 유입되는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)뿐만 아니라, 예를 들어 미세-입자 또는 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 부가적으로 필터링된 추가적인 필터링된 유전체 유체(210); 혼화성, 용해된, 그리고 부분적으로 용해된 액체 오염물질(예를 들어, 공비혼합물, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점과 유사한 비등점을 갖는 액체 불순물, 및 기타); 그리고 용해되지 않은 액체 오염물질(예를 들어, 오일, 물, 및 기타)를 유지 및 혼합하기 위한 스테이징 용기로서의 역할을 한다. 일부 변경예에서, 하나 이상의 감지 디바이스가 순환 탱크(205) 내에 위치되어, 순환 탱크(205) 내에 포함된 액체가 추가적인 필터링을 필요로 하는지(단계 5) 또는 침지 냉각 시스템으로 복귀시킬 수 있을 정도로 충분히 순수한지(단계 6)의 여부를 결정하기 위해서 이용될 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 예를 들어, 일부 구현예에서, 하나 이상의 센서(140, 145)가 순환 탱크(205) 내로 통합될 수 있고 프로세싱 디바이스(130)에 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그러한 프로세싱 디바이스는, 순환 탱크(205) 내의 액체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208)에 유체적으로 커플링된 제1 배출구(115)를 통해서 탱크(205)를 빠져 나가는지의 여부 또는 제2 배출구(121)를 통해서 침지 냉각 시스템으로 탱크(205)를 빠져 나가는지의 여부를 제어하기 위해서, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
예를 들어, 일부 적용예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)가 순환 탱크(205) 내에 위치될 수 있다. 전기 비저항은, 바람직하지 않은, 전류를 전도할 수 있는 유체의 경향에 관한 척도를 제공한다. 사실상, 침지 냉각 시스템에서 냉각되는 침지된 전자기기 장비에 손상을 가할 수 있는 전류를 유전체 유체가 전송하는 것을 방지하거나 최소화하기 위해서, 유전체 유체 내에서 큰 전기 비저항을 유지하는 것이 바람직할 수 있다. 따라서, 일부 구현예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 의해서 감지되거나 측정된 전기 비저항이 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 전기 비저항보다 작을 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 추가적으로 필터링될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 그러나, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 의해서 감지되거나 측정된 전기 비저항이 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 전기 비저항 이상일 때, 프로세싱 디바이스(130)는 (순환 탱크(205) 내의 액체의 광학적 투과도가 또한 수용될 수 있는 경우에), 청정 유전체 유체(105)가 침지 냉각 시스템으로 복귀될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 폐쇄하고 제2 배출구(121)를 개방하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다.
일부 변경예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)는 순환 탱크(205) 내의 액체의 전기 비저항을 감지하여, 측정된 전기 비저항에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있다. 예시적인 전기 비저항-감지 디바이스(140)는, 일본 도쿄에 소재하는 Kyoritsu에 의해서 제조된 Model 3007A와 같은, 디지털 절연/연속성 테스터를 포함할 수 있다.
일부 적용예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 더하여 또는 대안적으로, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)가 또한 순환 탱크(205) 내에 위치될 수 있다. 투과도는 광을 전달할 수 있는 액체의 능력에 관한 척도이고, 이는 다시, 순환 탱크(205) 내의 유체가 흐리게 또는 불투명하게 보일 수 있게 하는 미립자 물질 및/또는 다른 고체 또는 액체 불순물/오염물질의 존재 또는 부재에 관한 표시를 제공한다. 일부 구현예에서, 약 2000 MΩ보다 큰 목표 최소 투과도가 바람직할 수 있으나; 수용 가능한 투과도 최소 값은 회수되는 유전체 유체의 유형 및 특성에 따라 달라진다.
일부 구현예에서, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)에 의해서 측정되거나 감지된 광학적 투과도가 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 광학적 투과도보다 작을 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 추가적으로 필터링될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 그러나, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)에 의해서 측정되거나 감지된 광학적 투과도가 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 광학적 투과도 이상일 때, 프로세싱 디바이스(130)는 (순환 탱크(205) 내의 유체의 전기 비저항이 또한 수용될 수 있는 경우에), 청정 유전체 유체(105)가 침지 냉각 시스템으로 복귀될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 폐쇄하고 제2 배출구(121)를 개방하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 예시적인 광학적 투과도-측정 디바이스(145)가 루멘 미터(lumen meter)와 조합된 광원을 포함할 수 있다.
일부 구현예에서, 부가적으로 또는 대안적으로, 적외선 분광법을 기초로 하는 감지 디바이스를 이용하여 순환 응축물의 특성을 결정할 수 있다. 적외선 분광법은, 분자 구조의 특징인 주파수를 분자가 흡수한다는 사실을 활용한다. 이러한 흡수는 공진 주파수에서 발생되고, 즉 흡수된 복사선의 주파수는 진동 주파수에 매칭된다. 에너지가 분자 포텐셜 에너지 표면의 형상, 원자의 질량, 및/또는 연관된 진동 커플링에 의해서 영향을 받을 수 있다. 적외선 복사선과 물질의 상호 작용 지표가 검사 물질의 화학적 구성에 따라 달라진다는 것이 알려져 있다. 따라서, 순환 응축물이 더 많은 오염물질을 포함할수록, 적외선 스펙트럼은 순수 유전체 유체와 더 많이 달라진다.
전술한 바와 같이, 전기 비저항-감지 디바이스(140)는 순환 탱크(205) 내의 액체의 전기 비저항을 감지하여, 측정된 전기 비저항에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있는 한편, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)는 순환 탱크(205) 내의 액체를 통한 광의 투과도를 감지하여, 측정된 투과도에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있다. 감지된 또는 측정된 전기 비저항 및/또는 광학적 투과도가 그 각각의 허용 가능한 최대 및 최소 한계를 만족시키지 못할 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 순환되도록 그리고 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 부가적으로 필터링되도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 일부 실시형태에서, 순환 응축물(209)은, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(206)(단계 5A), 하나 이상의 혼합 탄소 필터(207)(단계 5B), 및 하나 이상의 기계적 소립자 필터(208)(단계 5C)로 이루어진 또는 본질적으로 이루어진 직렬 시퀀스를 통해서 필터링될 수 있다. 순환 응축물(209)이 제2의 복수의 필터(206, 207, 208)를 통과하면, 추가적인 필터링된 응축물(210)이, 전기 비저항 및 광학적 투과도 테스팅을 위해서, 예를 들어 펌프 시스템(211)을 이용한 펌핑에 의해서, 순환 탱크(205)로 복귀될 수 있다.
제3 스테이지(104)에 진입할 때 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내의, 순환 응축물(209) 내의, 및/또는 추가적인 필터링된 응축물(210) 내의 물의 존재는 혼합물의 전기 비저항에 유해한 영향을 미친다. 따라서, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내의, 순환 응축물(209) 내의, 및/또는 추가적인 필터링된 응축물(210)을 건조제로 반복적으로 순환 및 필터링하는 것은 혼합물이 목표 전기 비저항 값에 도달할 수 있게 한다. 일부 적용예에서, 증류 프로세스 중에 제거되지 않은 또는 가열된 주변 공기의 응축을 통해서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내로 재도입된 임의의 물이, 예를 들어 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(206)에서 순환 응축물(209)을 필터링하는 것(단계 5A)에 의해서, 순환 응축물(209)로부터 분리될 수 있다. 예를 들어, 순환 응축물(209)은, 각각, 유입구(116), 그리고 하나 이상의 혼합 탄소 필터(207)의 유입구(117b)에 유체적으로 커플링된 배출구(117a)를 통해서, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(들)(206)에 진입 및 진출할 수 있다.
일부 변경예에서, 예를 들어 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)를 주로 이용하여, 증류 프로세스 중에 제거되지 않은 또는 가열된 주변 공기의 응축을 통해서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내로 재도입된 임의의 잔류 물을 제거할 수 있다. 예를 들어, 회수하고자 하는 유전체 유체가 NOVECTM 7100인 경우에, 공비혼합물의 가능성이 낮고, 그에 따라, 증류 후에 물을 제거하기 위해서 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)가 문제가 될 가능성이 낮은데, 이는 NOVECTM 7100의 비등점(61℃)과 물의 비등점(100℃) 사이의 상당한 차이 때문이다. 다른 한편으로, 회수하고자 하는 유전체 유체가 NOVECTM 7300인 경우에, 공비혼합물의 가능성이 더 높고, 그에 따라, 증류 후에 물을 제거하기 위해서 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)가 문제가 될 가능성이 더 높은데, 이는 NOVECTM 7300의 비등점(98℃)과 물의 비등점(100℃)이 근접하기 때문이다. 당업자는, 건조제 필터 흡수 속도가 건조제의 노출 표면적 및 불순물/오염물질이 건조제에 노출되는 시간에 비례하고; 그에 따라, 순환 응축물(209)의 반복적인 순환이, 물을 순환 응축물(209)로부터 분리하기 위한 다수의 기회를 제공한다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이러한 목적을 위한 예시적인 필터는, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 건조제를 포함하는 밀봉된, 예를 들어 강(steel)의, 관을 포함한다.
혼합 탄소 필터(들)(207) 및 기계적 소립자 필터(들)(208)에서, 고체, 미용해 오염물질, 미세-입자 또는 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 그리고 증기 내에서 운반될 정도로 충분히 가벼운 중금속 소립자가 순환 응축물(209)로부터 분리될 수 있다(단계 5B 및 단계 5C). 이러한 목적을 위한 예시적인 필터는, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 활성 탄소 필터, 이온 교환 중합체 필터, 세라믹 필터, 및 이들의 조합을 포함한다. 일부 실시형태에서, 순환 응축물(209)은, 각각, 유입구(117b), 그리고 하나 이상의 기계적 소립자 필터(208)의 유입구(118b)에 유체적으로 커플링된 배출구(118a)를 통해서, 혼합 탄소 필터(들)(207)에 진입 및 진출할 수 있다. 일부 변경예에서, 기계적 소립자 필터(208)는, 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소가 기계적 소립자 필터(208)의 유입구(118b)에 가장 가까이 위치되고 가장 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소가 기계적 소립자 필터(208)의 배출구(121)에 가장 가까이 위치되도록 직렬로 배열된 복수의 기계적 필터를 포함할 수 있고, 임의의 중간의 필터들의 소공 크기는 유입구(118b)에 위치된 가장 큰 소공 크기로부터 배출구(121)에 위치되는 가장 작은 소공 크기까지 감소된다. 동작 시에, 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터는 미세-입자 고체 오염물질을 포획하고 보유하여, 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 통과시키도록 구성된다. 작은 소공 크기를 갖는 필터는, 이러한 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 포획하도록 구성된다.
추가적인 필터링된 응축물(210)이, 예를 들어, 순환 탱크(205)에 유체적으로 커플링된 배출구(121)를 통해서, 기계적 소립자 필터(208), 및 복수의 필터(206, 207, 208)를 빠져 나간다. 일부 변경예에서, 펌프 디바이스(211)가 복수의 필터(206, 207, 208)의 배출구(121)와 순환 탱크(205)의 유입구(120) 사이에 위치되어, 순환 응축물(209) 및 추가적인 필터링된 응축물(210)을 제3 스테이지(104)를 통해서 펌핑한다. 대안적으로, 펌프 디바이스(211)가 순환 탱크(205)의 배출구(115)와 복수의 필터(206, 207, 208)의 유입구(116) 사이에 위치될 수 있다.
순환 응축물(209) 및 추가적인 필터링된 응축물(210)은, 전기 비저항 및 광학적 투과도 요건을 만족시키는 순수한 또는 거의 순수한 형태 또는 상태로 유전체 유체를 복귀시키는데 필요한 횟수만큼, 제3 스테이지(104)(단계 5)에서 순환 탱크(205) 및 복수의 필터(206, 207, 208)를 통해서 순환될 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 전자 디바이스(들)를 침지 냉각하기 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 시스템(200')의 제2 실시형태가 도시되어 있다. 일부 구현예에서, 구현된 시스템(200')은 전술한 바와 같이 제1 스테이지(102'), 제2 스테이지(103'), 및 제3 스테이지(104)를 포함할 수 있으나, 제1 스테이지(102') 및 제2 스테이지(103')가 수정되었다. 예를 들어, 일 구현예에서, 제1 스테이지(102')는, 제1 구현 시스템(200)과 관련하여 전술한 바와 같은 유일한 기계적 소립자 필터(들)(201) 대신, 복수의 필터(201, 306, 307)를 포함할 수 있다. 수정된 제1 스테이지(102')의 여과 시스템과 비교하면, (수정되지 않은) 제1 스테이지(102)의 여과 시스템은 더 작고 결합시키는데 있어서 더 저렴하나; 예를 들어 필터 유지, 필터 교환, 및 기타를 위한 더 많은 유지보수 및 중단 시간을 필요로 할 수 있다. 많은 양의 조대-입자 내지 중간-입자 고체 오염물질이 존재할 가능성이 높은 경우에, (수정되지 않은) 제1 스테이지(102)가 또한 더 양호한 선택이 될 수 있다. 다른 수정에서, 제2 스테이지(103')는 직렬 구성으로 구성된 복수의 증류 탱크(203, 303)를 포함할 수 있다. 유리하게, 다수의 증류 단계 및 탱크(203, 303)는 더 높은 비등점의 액체 불순물/오염물질의 더 효과적인 제거를 제공한다.
일부 실시형태에서, 수정된 제1 스테이지(102')가 복수의 필터(201, 306, 307)를 포함하는 경우에, 그러한 필터는, 침지 냉각 탱크에 유체적으로 커플링될 수 있는 유입구(108)에 가장 가까이 위치된, 전술한 바와 같은, 파편 및 조대-입자 내지 중간-입자 고체 오염물질을 제거하기 위한(단계 2A) 기계적 소립자 필터(들)(201)와 직렬로 배열될 수 있다. 물을 제거하기 위해서 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(306)가 기계적 소립자 필터(들)(201)의 하류에 위치될 수 있다(단계 2B). 예를 들어, 고체, 용해되지 않은 오염물질, 미세-입자 및 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 및 중금속 소립자를 제거하기 위해서, 하나 이상의 혼합 탄소 필터(307)가 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(들)(306)의 하류에 위치될 수 있다(단계 2C). 혼합 탄소 필터(들)(307)의 배출구(123)는 제2 스테이지(103')와 유체 연통될 수 있다. 복수의 필터(201, 306, 307)를 제1 스테이지(102')에 제공하는 것의 장점은, 예를 들어, 혼합물의 비등점을 낮추는 것, 그에 의해서 혼합물을 증류하는데 필요한 시간 및 에너지를 잠재적으로 줄일 수 있는 것을 포함하고, (증류 전의) 부가적인 예비-필터링은, 유지보수가 필요할 때까지, 시스템(200')이 더 오래 동작하게 할 수 있다.
일부 적용예에서, 오염된 유전체 유체(101)가 기계적 소립자 필터(들)(201)를 통해서 필터링되면(단계 2A), 액체 불순물/오염물질, 예를 들어 물이, 예를 들어, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(306) 내에서 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체를 필터링하는 것에 의해서, 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체로부터 분리될 수 있다(단계 2B). 유리하게, 증류 전의 물의 제거는 혼합물의 비등점을 낮출 수 있고, 그에 따라 증류를 완료하는데 필요한 에너지 및 시간을 줄일 수 있으며, 이는 물론 회수되는 유전체 유체의 비등점에 따라 달라진다. 동작 시에, 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체가, 각각, 기계적 소립자 필터(들)(201)의 배출구(109a)에 유체적으로 커플링될 수 있는 유입구(109b) 및 하나 이상의 혼합 탄소 필터(들)(307)의 유입구(122b)에 유체적으로 커플링될 수 있는 배출구(122a)를 통해서, 건조제를 갖는 필터(들)(306)에 진입 및 진출할 수 있다.
혼합 탄소 필터(들)(307) 내에서, 고체, 용해되지 않은 오염물질, 미세-입자 및 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 그리고 중금속 소립자가 프로세스된(건조된) 유전체 유체로부터 분리될 수 있다(단계 2C). 동작 시에, 프로세스된(건조된) 유전체 유체는, 각각, 유입구(122b), 및 제2 스테이지(103')의 유입구(110)에 유체적으로 커플링될 수 있는 배출구(123)를 통해서, 혼합 탄소 필터(들)(307)에 진입 및 진출할 수 있다.
제2 수정예에서, 제2 스테이지(103')는 다수의 증류 탱크(203, 303), 그리고 결과적으로, 다수의 증류 프로세스를 포함할 수 있다. 유리하게, 다수의 증류 탱크(203, 303) 및 다수의 증류 프로세스는, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질로부터, 회수하고자 하는 유전체 유체의 보다 효율적인 분리를 가능하게 한다. 예를 들어, NOVECTM 7100의 비등점은 61℃이고, 물의 비등점은 100℃이며, 다양한 플럭스의 비등점은 100℃내지 130℃의 범위인 한편, 다른 불순물/오염물질(예를 들어, 가소제, 오일 및 기타)은 보다 더 높은 비등점을 가질 수 있다. 결과적으로, 제1 증류 탱크(203) 내의 이러한 불순물의 일부 부분과 NOVECTM 7100 유전체 유체가 조합된 프로세스된(필터링되고 건조된) 유전체 유체가 약 65℃의 혼합물 비등 온도를 가질 수 있다. 이러한 혼합물이 66℃의 온도까지 가열되는 경우에, 제2 증류 탱크(303) 내에서 수집된 응축물(305)은 더 높은 비율의 NOVECTM 7100 유전체 유체 및 더 낮은 비율의 물 및 다른 액체 불순물/오염물질을 가질 것이고, 결과적으로 65℃가 아니라 62℃의 비등점을 가질 수 있다. 제2 증류 탱크(303) 내에서, 응축물(305) 혼합물이 63℃까지 가열되는 경우에, 제3 스테이지(104)로 유동하는 프로세스 (증류된) 유전체 유체(107)는 보다 더 높은 비율의 NOVECTM 7100 유전체 유체 및 낮은 비율의 물 및 다른 불순물/오염물질을 가질 것이다.
비록 도 3이 2개의 증류 탱크(203, 303)를 도시하지만, 당업자는, 제2 스테이지(103')가 2개 초과의 증류 탱크(203, 303) 및 2개 초과의 증류 프로세스를 포함할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 2개의 도시된 증류 탱크(203, 303)를 포함하는 구현예에서, 제1 교정 온도에서 혼합 탄소 필터(들)(307)로부터 유동하는(또는 펌핑되는) 프로세스된(필터링되고 건조된) 유전체 유체(106)를 가열하는 제1 증류 프로세스(단계 3A)에 의해서 생산된 제1 응축물(305)에, 제2 교정 온도에서 제1 응축물(305)을 가열하는 제2 증류 프로세스(단계 3B)를 적용할 수 있다. 전형적으로, 제1 교정 온도는 제2 교정 온도보다 높고, 유전체 유체를, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점보다 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질로부터 분리하기 위해서, 제1 및 제2 교정 온도 모두는 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점을 초과한다.
관련 부분에서, 각각의 증류 탱크(203, 303)는 증류 탱크(203, 303)의 각각의 하단 표면에 또는 그 부근에 위치된 가열 요소(204, 304), 예를 들어 가열 코일 및 증류 탱크(203, 303)의 각각의 상단 표면에 또는 그 부근에 위치된 응축 디바이스(202, 302)를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 응축 디바이스(202, 302)는, 비교적 큰 비열 용량을 갖는 냉각 유체(예를 들어, 물, 오일, 냉각제, 프레온, 암모니아, 및 기타)가 통과하여 유동되거나 펌핑될 수 있는, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다. 동작 시에, 각각의 가열 요소(204, 304)가 증류 탱크(203, 303) 내에 포함된 액체를 적절한 교정 온도까지 가열하면, 유전체 유체가 증발된다. 증발된 유전체 유체는 증류 탱크(203, 303)의 상단부로 상승되고, 그 곳에서 증발된 유전체 유체는 응축 디바이스(202, 302)의 외측부 표면(들)과 접촉된다. 응축 디바이스(202, 302)를 통해서 유동하거나 펌핑되는 냉각제는, 고온 증기가 응축 디바이스(202, 302)(예를 들어, 코일)의 외측부 표면들과 접촉되게 하여, 코일 상에서 액적이 형성되게 한다. 유리하게, 제1 응축 디바이스(202)는 (예를 들어, 유입구(112)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)의 액적을 제2 증류 탱크(303) 내로 중력 공급하도록 피칭되거나 달리 구성될 수 있고, 제2 증류 탱크에서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)가 제2의 더 낮은 교정 온도까지 가열된다. 그에 따라, 제2 스테이지(103')의 제1 증류 프로세스는, 배출구(111)를 통해서 제1 증류 탱크(203)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)를, 제1 증류 탱크(203)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 적용예에서, 제2 응축 디바이스(302)는 또한, (예를 들어, 제2 증류 탱크(303) 내의 배출구(113)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)의 액적을 제3 스테이지(104)에 중력 공급하도록 피칭되거나 달리 구성될 수 있다. 그에 따라, 제2 스테이지(103')는, 배출구(113)를 통해서 제2 증류 탱크(303)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를, 제1 증류 탱크(203) 및 제2 증류 탱크(303)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 구현예에서, 센서가 또한 제2 증류 탱크(303) 내로 통합될 수 있고 경고 시스템 및/또는 자동 차단 시스템에 각각 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그에 따라, 발생 가능한 위험 조건이 임박할 때, 발생 가능한 위험 조건을 조작자에게 경고할 수 있고/있거나 가열기 요소(304)를 자동적으로 차단할 수 있다. 예를 들어, 가열 요소(304)가 제2 증류 탱크(303) 내의 응축물(305)을 계속 증발시키는 동안 응축 유체가 응축 디바이스(302)를 통해서 유동되지 않는 경우에, 과압이 초래될 수 있다. 응축 유체가 응축 디바이스(302)를 통해서 유동하지 않기 때문에, 응축이 존재하지 않는다. 결과적으로, 가열된 증기를 제2 증류 탱크(303)로부터 제거하기 위한 수단이 없기 때문에, 증기의 밀도가 계속 증가될 것이다.
제2 증류 탱크(303) 내의 압력을 감지하기 위해서, 압력-감지 디바이스(125)가 제2 증류 탱크(303) 내에 위치될 수 있다. 압력-감지 디바이스(125)에 의해서 생성되고 제2 증류 탱크(303) 내의 측정 압력을 나타내는 신호가 근거리의 또는 원격의 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 제2 증류 탱크(303)에 대한 최대 허용 가능 압력을 초과할 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 제2 증류 탱크(303)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다른 예에서, 액체 레벨-감지 디바이스(135)가, 제2 증류 탱크(303) 내에 포함된 응축물(305)의 액체 부분의 레벨을 감지하기 위해서 제2 증류 탱크(303) 내에 위치될 수 있다. 액체 레벨-감지 디바이스(135)에 의해서 생성되고 제2 증류 탱크(303) 내의 액체 부분의 높이를 나타내는 신호가 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 제2 증류 탱크(303)에 대한 최소 허용 가능 액체 레벨 미만으로 떨어질 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 제2 증류 탱크(303)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다음 단계에서, 전술한 바와 같이, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)는 (예를 들어, 제2 증류 탱크(303)의 배출구(113)를 통해서) 제2 스테이지(103')를 빠져 나가고(예를 들어, 중력 공급에 의해서 그로부터 유동하고), (예를 들어, 순환 탱크(205)의 유입구(114)를 통해서) 제3 스테이지(104) 내로 도입된다(단계 4). 일부 구현예에서, 전술한 바와 같이, 제3 스테이지(104)는, 폐쇄 시스템에서 서로 유체적으로 커플링된, 순환 탱크(205), 복수의 필터(206, 207, 208), 및 펌프 시스템(211)을 포함할 수 있다. 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를 필터(206, 207, 208)를 통해서 제3 스테이지(104)에서 반복적으로 순환시킴으로써, 필터(206) 내의 건조제에 의한 불순물/오염물질의 화학적 흡수 및 흡수 속도가 증가된다.
전술한 구현된 시스템(200, 200') 모두가 독립형 시스템일 수 있거나, 유리하게, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(102, 102')의 유입구(108) 및 제3 스테이지(104)의 배출구(121)가 침지 냉각 시스템(401)과 유체 연통되도록, 침지 냉각 시스템(401) 내로 통합되거나 그에 포함될 수 있다. 바람직하게, 시스템(200, 200') 내외로의 유량이 일정할 때, 시스템(200, 200')을 침지 냉각 시스템(401) 내로 통합하는 것 또는 그에 포함시키는 것이 실현 가능하고, 경제적이며, 실용적이다. 예를 들어, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도와 동일(또는 초과)하기만 한다면, 시스템(200, 200') 모두가 침지 냉각 시스템(401) 내로 효율적으로 통합되거나 그에 포함될 수 있다. 그러나, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도보다 크게 또는 약간 이상 초과하는 경우에, 시스템(200, 200')을 침지 냉각 시스템(401)에 커플링시키는 것은 경제적이지 않을 수 있다. 대조적으로, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도 미만인 경우에, 시스템(200, 200')은 침지 냉각 시스템(401) 내로 효율적으로 통합될 수 없거나 그에 포함되지 않을 수 있다.
대안적으로, 일부 적용예에서, 침지 냉각 시스템(401)은 과다한 오염된 유전체 유체를 저장하기 위한 버퍼 탱크를 포함할 수 있고, 그에 따라, 침지 냉각 시스템(401)의 버퍼 탱크의 액체 레벨이 특정의 미리-규정된 문턱값을 초과하는 경우에, 오염된 유전체 유체(101)는 펌프 시스템(402)을 통해서 제1 스테이지(102, 102') 내로만 유동할 수 있다. 일부 대안적인 적용예에서, 제3 스테이지(104)는 세정된 유전체 유체를 저장하기 위한 버퍼 탱크를 포함할 수 있고, 그에 따라, 제3 스테이지(104)의 버퍼 탱크의 액체 레벨이 특정의 미리-규정된 문턱값을 초과하는 경우에, 세정된 유전체 유체(105)는 펌프 시스템(403)을 통해서 침지 냉각 시스템 내로만 유동할 수 있다.
일부 적용예에서, 하나 이상의 펌프 시스템(402, 403)이, 구현된 시스템(200, 200')과 침지 냉각 시스템(401) 사이의 도관 내에 통합될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 펌프 시스템(402)이 침지 냉각 시스템(401)과 제1 스테이지(102, 102')의 유입구(108) 사이에 설치되어 오염된 유전체 유체(101)를 제1 스테이지(102, 102')로 전달(즉, 펌핑)할 수 있는 한편, 제2 펌프 시스템(403)이 침지 냉각 시스템(401)과 제3 스테이지(104)의 배출구(121) 사이에 설치되어 회수된 유전체 유체(105)를 침지 냉각 시스템(401)에 전달(즉, 펌핑)할 수 있다.
유리하게, 본 발명의 다수 스테이지의 여과 및 증류는, 회수된 유전체 유체(105)가 방출되어 침지 냉각 시스템(401)에 복귀하기 전에, 순환 탱크(205)에서 수행된 전기 비저항 및 광학적 투과도 측정에 의해 입증되는 바와 같이, 예를 들어 순수한 형태 또는 순수한 상태의, 공장에서의 신선한 유전체 유체에 필적하는 순도 레벨을 달성할 수 있다.
본 발명의 사상 및 본질적인 특성으로부터 벗어나지 않고도, 본 발명이 다른 구체적인 형태로 이용될 수 있을 것이다. 그에 따라, 전술한 실시예는 모든 측면에서, 본원에서 설명된 발명을 제한하지 않고, 예시적인 것으로 간주된다. 그에 따라, 본 발명의 범위는, 전술한 설명이 아니라, 첨부된 청구항에 의해서 결정되고, 청구항의 의미 내의 그리고 균등론 범위 내의 모든 변화가 그에 따라 포함될 것이다.
Claims (33)
- 적어도 하나의 전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 액체 유전체를 회수하는 방법이며:
제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하는 단계;
증발된 유전체 기체를 생산하기 위해서 필터링된 액체 유전체를 적어도 하나의 증류 탱크 내에서 증류하는 단계;
응축물을 생산하기 위해 교정 온도에서 적어도 하나의 증류 탱크 내의 증발된 유전체 기체를 응축하는 단계;
응축물을 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계로서, 응축물이 증류 탱크의 하류에 배치된 순환 탱크 내로 도입되는, 단계;
증류 탱크의 하류에 배치된 순환 탱크를 통해 응축물을 펌핑하는 것에 의해서 응축물을 순환시키는 단계;
제2 그룹의 오염물질을 제거하기 위해서 순환 응축물을 증류 탱크의 하류에 배치된 적어도 하나의 필터를 사용하여 필터링하는 단계; 및
필터링된 응축물을 증류 탱크의 하류에 배치된 순환 탱크로 복귀시키는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
제1 그룹을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하는 단계는 액체 유전체를 증류 탱크의 상류에 배치된 기계적 여과 프로세스 내로 도입하는 단계를 포함하는, 방법. - 제2항에 있어서,
기계적 여과 프로세스는, 액체 유전체를, 필터 소공 크기가 감소되는 복수의 기계적 소립자 필터를 통해서 필터링하는 것을 포함하는, 방법. - 제3항에 있어서,
기계적 여과 프로세스는, 액체 유전체를, 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 복수의 기계적 소립자 필터를 통해서 필터링하는 것을 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
제1 그룹을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하는 단계는, 액체 유전체를, 건조제를 갖는 필터 내로 도입하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
제1 그룹을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하는 단계는, 액체 유전체를, 혼합 탄소 필터 내로 도입하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
더 적은 휘발성의 오염물질을 적어도 하나의 증류 탱크의 하단 부분에서 수집하는 단계를 더 포함하는, 방법. - 제7항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크는 제2 증류 탱크와 유체 연통되는 제1 증류 탱크를 포함하고, 증발된 유전체 기체를 생산하고 분리하는 단계는:
액체 유전체를 증발시키기 위해서 제1 증류 탱크 내의 액체 유전체를 제1 교정 온도까지 가열하는 단계;
증발된 유전체 기체의 응축물을 제2 증류 탱크 내에서 수집하는 단계; 및
수집된 응축물을 증발시키기 위해서 제2 증류 탱크 내의 수집된 응축물을 제2 교정 온도까지 가열하는 단계를 포함하는, 방법. - 제8항에 있어서,
제2 교정 온도가 제1 교정 온도보다 낮은, 방법. - 제1항에 있어서,
응축시키는 단계는, 적어도 하나의 증류 탱크 내에, 적어도 하나의 유체-냉각된 응축 코일을 제공하는 단계를 포함하고, 유체-냉각된 응축 코일 상에서 증발된 유전체 기체가 응축되는, 방법. - 제10항에 있어서,
응축물을 수집하는 단계는 응축물을 유체-냉각된 응축 코일의 표면으로부터 순환 탱크에 중력 공급하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
순환 응축물을 필터링하는 단계는, 순환 응축물을, 건조제를 갖는 적어도 하나의 필터를 통해서 필터링하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
순환 응축물을 필터링하는 단계는, 순환 응축물을, 적어도 하나의 혼합 탄소 필터를 통해서 필터링하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
순환 응축물을 필터링하는 단계는, 순환 응축물을, 적어도 하나의 기계적 소립자 필터를 통해서 필터링하는 단계를 포함하는, 방법. - 제14항에 있어서,
순환 응축물을 필터링하는 단계는, 순환 응축물을, 필터 소공 크기가 감소되는 복수의 기계적 소립자 필터를 통해서 필터링하는 단계를 포함하는, 방법. - 제15항에 있어서,
순환 응축물을 필터링하는 단계는, 순환 응축물을, 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 복수의 기계적 소립자 필터를 통해서 필터링하는 단계를 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 중 임의의 증류 탱크 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에, 증류 단계를 중단하는 단계를 더 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 중 임의의 증류 탱크 내의 필터링된 액체 유전체의 레벨이 최소의 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에, 증류 단계를 중단하는 단계를 더 포함하는, 방법. - 제1항에 있어서,
희망하는 전기 비저항, 미리 정해진 적외선 분광, 또는 미리 정해진 광학적 투과도 중 적어도 하나가 순환 응축물 내에서 측정될 때, 응축물을 순환 탱크를 통해서 순환시키는 단계를 중단시키는 단계를 더 포함하는, 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020227014574A KR20220062674A (ko) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US16/379,136 | 2019-04-09 | ||
| US16/379,136 US10773192B1 (en) | 2019-04-09 | 2019-04-09 | Method and apparatus for recovering dielectric fluids used for immersion cooling |
| PCT/IB2020/000257 WO2020208415A1 (en) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | Method and apparatus for recovering dielectric fluids used for immersion cooling |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020227014574A Division KR20220062674A (ko) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20210145277A KR20210145277A (ko) | 2021-12-01 |
| KR102394114B1 true KR102394114B1 (ko) | 2022-05-04 |
Family
ID=71094620
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020227014574A KR20220062674A (ko) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 |
| KR1020217036232A KR102394114B1 (ko) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020227014574A KR20220062674A (ko) | 2019-04-09 | 2020-04-09 | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10773192B1 (ko) |
| EP (1) | EP3953010B1 (ko) |
| JP (1) | JP7383047B2 (ko) |
| KR (2) | KR20220062674A (ko) |
| CN (1) | CN114206464B (ko) |
| AU (1) | AU2020271285A1 (ko) |
| CA (1) | CA3136269C (ko) |
| ES (1) | ES2952569T3 (ko) |
| IL (1) | IL287028A (ko) |
| MA (1) | MA55620A (ko) |
| SG (1) | SG11202111110RA (ko) |
| TW (1) | TW202106363A (ko) |
| WO (1) | WO2020208415A1 (ko) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10773192B1 (en) | 2019-04-09 | 2020-09-15 | Bitfury Ip B.V. | Method and apparatus for recovering dielectric fluids used for immersion cooling |
| AU2022241744A1 (en) | 2021-03-22 | 2023-11-09 | Modine LLC | Processes and systems for monitoring filter materials |
| US11965846B2 (en) * | 2021-04-23 | 2024-04-23 | Dell Products L.P. | System and method for detecting contamination in two-phase immersion cooling systems based on temperature |
| US11930617B2 (en) * | 2021-07-20 | 2024-03-12 | Dell Products, L.P. | Enhanced information handling system component immersion cooling via pump return connection |
| US12041751B2 (en) | 2021-07-21 | 2024-07-16 | Delta Electronics, Inc. | Immersion cooling system |
| TWI796929B (zh) * | 2021-07-21 | 2023-03-21 | 台達電子工業股份有限公司 | 浸入式冷卻系統 |
| US20230400444A1 (en) * | 2022-06-10 | 2023-12-14 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Electrochemical sensor for sensing two-phase cooling fluid contamination |
| KR102580889B1 (ko) * | 2022-11-20 | 2023-09-20 | 이민래 | 유기용제 회수장치 |
| ES2975796A1 (es) * | 2022-11-23 | 2024-07-15 | Univ Coruna | Sistema de termoestabilización de una carga en el seno de un fluido dieléctrico |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0194589A2 (en) | 1985-03-11 | 1986-09-17 | AlliedSignal Inc. | Apparatus and method for cleaning and drying surfaces of non-absorbent articles |
Family Cites Families (87)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2340898A (en) * | 1941-11-29 | 1944-02-08 | Gen Electric | Electric apparatus |
| US2505581A (en) * | 1945-03-26 | 1950-04-25 | Gen Electric | Means for drying gas in electrical apparatus |
| US2718709A (en) * | 1951-10-26 | 1955-09-27 | Westinghouse Electric Corp | Process for drying electrical equipment disposed in a sealed casing |
| US2985706A (en) * | 1957-09-13 | 1961-05-23 | Westinghouse Electric Corp | Removal of oxidation catalysts from oil dielectrics in inductive apparatus |
| US3009124A (en) * | 1960-05-16 | 1961-11-14 | Westinghouse Electric Corp | Electrical apparatus |
| US3591946A (en) * | 1968-11-26 | 1971-07-13 | Loe Ind | Fluid-degassing system |
| US3675395A (en) * | 1970-10-09 | 1972-07-11 | Keene Corp | Apparatus for the purification of oils and the like |
| US3949063A (en) * | 1971-11-18 | 1976-04-06 | Oxysynthese | Regeneration of a anthraquinone working solution by continuous multi-stage thin film distillation |
| GB1440190A (en) * | 1972-11-23 | 1976-06-23 | Boc International Ltd | Electrical transformers |
| US3989102A (en) * | 1974-10-18 | 1976-11-02 | General Electric Company | Cooling liquid de-gassing system |
| US3934453A (en) * | 1974-10-25 | 1976-01-27 | Allmanna Svenska Elektriska Aktiebolaget | Conservator system |
| GB1603619A (en) * | 1977-06-08 | 1981-11-25 | Mobil Oil Corp | Process for coal liquefaction |
| US4089662A (en) * | 1977-06-22 | 1978-05-16 | Allen Filters, Inc. | Oil treatment system |
| US4124834A (en) * | 1977-10-05 | 1978-11-07 | Westinghouse Electric Corp. | Electrical inductive apparatus |
| US4236484A (en) * | 1979-02-22 | 1980-12-02 | Mcgraw-Edison Company | Apparatus for processing an electrical apparatus |
| CH655609B (ko) * | 1979-09-21 | 1986-04-30 | ||
| US4353798A (en) * | 1980-05-19 | 1982-10-12 | General Electric Company | Apparatus for removing polychlorinated biphenyls from contaminated transformer dielectric liquid |
| US4379746A (en) * | 1980-08-18 | 1983-04-12 | Sun-Ohio, Inc. | Method of destruction of polychlorinated biphenyls |
| US4394635A (en) * | 1981-04-16 | 1983-07-19 | General Electric Company | Method for determining dissolved gas concentrations in dielectric coolants |
| US4437082A (en) * | 1982-07-12 | 1984-03-13 | Westinghouse Electric Corp. | Apparatus for continually upgrading transformer dielectric liquid |
| US4477354A (en) * | 1982-09-07 | 1984-10-16 | Electric Power Research Institute | Destruction of polychlorinated biphenyls during solvent distillation |
| CS234325B1 (en) * | 1982-11-03 | 1985-04-16 | Josef Altmann | Method of oil charge vacuum cleaning and equipment for application of this method |
| US4514294A (en) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | Robert G. Layman | Apparatus for decontaminating hydrocarbons containing PCB |
| US4592844A (en) * | 1983-10-03 | 1986-06-03 | Chemical Decontamination Corporation | Method of decontaminating hydrocarbons containing PCB |
| DE3339051A1 (de) * | 1983-10-28 | 1985-05-09 | Henkel KGaA, 4000 Düsseldorf | Verfahren zur verbesserten destillativen aufarbeitung von glycerin |
| US4699667A (en) * | 1983-11-14 | 1987-10-13 | Westinghouse Electric Corp. | Removing residual PCB S from transformers |
| US4828703A (en) * | 1983-12-28 | 1989-05-09 | Union Carbide Corporation | Method for replacing PCB-containing coolants in electrical induction apparatus with substantially PCB-free dielectric coolants |
| US4744905A (en) * | 1984-11-27 | 1988-05-17 | Union Carbide Corporation | Method for replacing PCB containing coolants in electrical induction apparatus with substantially PCB-free dielectric coolants |
| DE3401866C2 (de) * | 1984-01-20 | 1986-10-09 | Didier-Werke Ag, 6200 Wiesbaden | Verfahren zur Langzeitentfernung von chlorierten Biphenylen (PCB) aus Transformatorisolierflüssigkeiten |
| US4913178A (en) * | 1984-07-18 | 1990-04-03 | Quadrex Hps Inc. | Process and apparatus for removing PCB's from electrical apparatus |
| US4790337A (en) * | 1984-07-18 | 1988-12-13 | Quadrex Hps Inc. | Apparatus for removing PCB's from electrical apparatus |
| US4685972A (en) * | 1984-07-18 | 1987-08-11 | Quadrex Hps, Inc. | Process for removing PCB's from electrical apparatus |
| US4738780A (en) * | 1984-11-27 | 1988-04-19 | Union Carbide Corporation | Method for replacing PCB-containing coolants in electrical induction apparatus with substantially PCB-free dielectric coolants |
| US4753735A (en) * | 1985-03-11 | 1988-06-28 | Allied-Signal Inc. | Solvent and apparatus and method for cleaning and drying surfaces of non absorbent articles |
| US5082012A (en) * | 1986-08-01 | 1992-01-21 | Ensr Corporation | Simplified apparatus for decontaminating electrical apparatus contaminated with PCBs |
| US4814021A (en) * | 1986-08-01 | 1989-03-21 | Ensr Corporation | Apparatus and method for reclassifying electrical apparatus contaminated with PCB |
| DE3861050D1 (de) * | 1987-05-07 | 1990-12-20 | Micafil Ag | Verfahren und vorrichtung zum extrahieren von oel oder polychloriertem biphenyl aus impraegnierten elektrischen teilen mittels eines loesungsmittels sowie destillation des loesungsmittels. |
| US5152844A (en) * | 1987-10-13 | 1992-10-06 | Michael Wilwerding | Degradation of polychlorinated biphenyls |
| US4781826A (en) * | 1987-12-03 | 1988-11-01 | General Electric Company | Apparatus for decontaminating PCB-contaminated dielectric fluids |
| US4857150A (en) * | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Union Carbide Corporation | Silicone oil recovery |
| US4936955A (en) * | 1988-08-12 | 1990-06-26 | Alameda Instruments, Inc. | Hydrofluoric acid reprocessing for semiconductor standards |
| US5061348A (en) * | 1988-08-12 | 1991-10-29 | Alameda Instruments | Sulfuric acid reprocessor with continuous purge of second distillation vessel |
| JPH0278401A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 溶剤再生装置 |
| US4950837A (en) * | 1989-07-18 | 1990-08-21 | General Electric Company | Method for reclassifying PCB transformers |
| US5252188A (en) * | 1990-03-26 | 1993-10-12 | Red Arrow Products Company, Inc. | Process for producing hydroxyacetaldehyde |
| US5167804A (en) * | 1991-05-16 | 1992-12-01 | Tigg Corporation | Liquid treatment system |
| US5211856A (en) * | 1992-03-06 | 1993-05-18 | Hanshi Shen | Method of oil/water separation and device for purification of oil |
| US5362381A (en) * | 1993-03-25 | 1994-11-08 | Stanton D. Brown | Method and apparatus for conversion of waste oils |
| US5527449A (en) * | 1993-03-25 | 1996-06-18 | Stanton D. Brown | Conversion of waste oils, animal fats and vegetable oils |
| US5507953A (en) * | 1993-11-05 | 1996-04-16 | Peter Flakus | Extraction method and apparatus for cleaning contaminated soil |
| US5500095A (en) * | 1994-04-08 | 1996-03-19 | Athens Corporation | High efficiency chemical processing |
| US5766464A (en) * | 1995-11-22 | 1998-06-16 | Campbell; David C. | Fluid filtration system positionable within a fluid-containing apparatus |
| US6143927A (en) * | 1996-06-24 | 2000-11-07 | Rpc Inc. | Methods for removing catalyst after oxidation of hydrocarbons |
| CA2215045A1 (en) * | 1997-09-10 | 1999-03-10 | Kenneth Garfield Ross | Refrigerant reclamation system |
| US6217634B1 (en) * | 1999-08-27 | 2001-04-17 | Electric Power Research Institute, Inc. | Apparatus and method for monitoring and purifying dielectric fluids |
| US6395142B1 (en) * | 1999-10-14 | 2002-05-28 | Chemcycles, Inc. | Method and apparatus for purifying low grade acetonitrile and other constituents from hazardous waste |
| CN1750867A (zh) * | 2003-02-21 | 2006-03-22 | 株式会社物产纳米技术研究所 | 水溶性有机物的浓缩方法 |
| US7018444B2 (en) * | 2003-05-07 | 2006-03-28 | Praxair Technology, Inc. | Process for carbon dioxide recovery from a process tool |
| JP2006141546A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Sanyo Electric Co Ltd | ドライクリーナ用蒸留装置 |
| US8702910B2 (en) * | 2005-02-02 | 2014-04-22 | Intelligent Energy, Inc. | Multi-stage sulfur removal system and process for a fuel system |
| US7452405B2 (en) * | 2005-02-02 | 2008-11-18 | Intelligent Energy, Inc. | Multi stage sulfur removal system and process for an auxiliary fuel system |
| CA2820149A1 (en) * | 2005-12-29 | 2007-07-05 | Bp Corporation North America Inc. | Ethanolysis of pet to form det and oxidation thereof |
| US7892321B2 (en) * | 2006-02-01 | 2011-02-22 | Intelligent Energy, Inc. | Integrated heated prevaporation module |
| TW200911773A (en) * | 2007-06-12 | 2009-03-16 | Solvay | Epichlorohydrin, manufacturing process and use |
| JPWO2009110549A1 (ja) * | 2008-03-07 | 2011-07-14 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | 電子部品の洗浄方法および洗浄システム |
| WO2009155675A2 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-30 | Dedini S/A. Indústrias De Base | Process for the recovery of water and energy from the processing of sugar cane in sugar and ethanol production mills |
| FR2933974B1 (fr) * | 2008-07-18 | 2010-09-17 | Rhodia Operations | Procede de separation d'un aldehyde aromatique |
| KR20110056280A (ko) * | 2008-08-13 | 2011-05-26 | 에이엠티 인터내셔널 인코포레이티드 | 대응하는 에스테르를 함유하는 공급 흐름으로부터 아세트산의 회수를 위한 공정 및 장치 |
| EP2601184B1 (en) * | 2010-08-03 | 2015-12-16 | Segetis, Inc. | Methods for the manufacture of ketals |
| US8968685B2 (en) * | 2011-04-26 | 2015-03-03 | Alliant Techsystems Inc. | Fuel processing system and related methods |
| US20130156675A1 (en) * | 2011-12-16 | 2013-06-20 | Rec Silicon Inc | Process for production of silane and hydrohalosilanes |
| US9850192B2 (en) * | 2012-06-08 | 2017-12-26 | Cj Cheiljedang Corporation | Renewable acrylic acid production and products made therefrom |
| US8961744B2 (en) * | 2013-02-25 | 2015-02-24 | Korex Corporation | System and method for recycling high-boiling-point waste photoresist stripper |
| BR112015030640B1 (pt) * | 2013-06-19 | 2021-09-08 | Fpinnovations | Processo para produzir um metanol purificado |
| CN104194929B (zh) * | 2014-09-04 | 2016-07-13 | 陈汉卿 | 一种油脂提炼*** |
| CZ309310B6 (cs) * | 2014-10-16 | 2022-08-17 | Spolek Pro Chemickou A Hutní Výrobu, Akciová Společnost | Způsob přípravy vysoce čistého 1,1,1,2,3-pentachlorpropanu |
| FR3033558B1 (fr) * | 2015-03-12 | 2017-02-24 | Arkema France | Procede ameliore de production d'acide (meth)acrylique |
| DE102015205752A1 (de) * | 2015-03-31 | 2016-10-20 | Basf Se | Herstellung von tert-Butylestern aliphatischer Carbonsäuren |
| MX2018012546A (es) * | 2016-04-13 | 2019-07-08 | Arkema France | Proceso para la produccion de 2,3,3,3-tetrafluoropropeno. |
| GB2549946A (en) * | 2016-05-03 | 2017-11-08 | Bitfury Group Ltd | Immersion cooling |
| CA2935825A1 (en) * | 2016-07-11 | 2018-01-11 | Steeper Energy Aps | Process for producing low sulphur renewable oil |
| US11111473B2 (en) * | 2016-07-22 | 2021-09-07 | Vito Nv (Vlaamse Instelling Voor Technologisch Onderzoek Nv) | Method and system for producing products by fermentation |
| EP3553047B1 (en) * | 2016-12-09 | 2021-10-27 | Mitsubishi Chemical Corporation | Method for purifying n-(alpha-alkoxyethyl)formamide, method for producing high-purity n-(alpha-alkoxyethyl)formamide, and device for purifying n-(alpha-alkoxyethyl)formamide |
| US10729987B1 (en) * | 2016-12-09 | 2020-08-04 | Whitefox Technologies Limited | Process and system for heat integration in ethanol production |
| MX2020007371A (es) * | 2018-01-10 | 2020-10-28 | Steeper Energy Aps | Procedimiento de enriquecimiento de petroleo renovable que contiene oxigeno. |
| CN108854131A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-23 | 安徽宜安精密机械零部件有限公司 | 一种精密零件清洗液真空蒸馏装置 |
| US10773192B1 (en) * | 2019-04-09 | 2020-09-15 | Bitfury Ip B.V. | Method and apparatus for recovering dielectric fluids used for immersion cooling |
-
2019
- 2019-04-09 US US16/379,136 patent/US10773192B1/en active Active
-
2020
- 2020-04-09 CN CN202080036883.5A patent/CN114206464B/zh active Active
- 2020-04-09 KR KR1020227014574A patent/KR20220062674A/ko active Application Filing
- 2020-04-09 KR KR1020217036232A patent/KR102394114B1/ko active IP Right Grant
- 2020-04-09 SG SG11202111110RA patent/SG11202111110RA/en unknown
- 2020-04-09 MA MA055620A patent/MA55620A/fr unknown
- 2020-04-09 EP EP20732999.6A patent/EP3953010B1/en active Active
- 2020-04-09 JP JP2021560566A patent/JP7383047B2/ja active Active
- 2020-04-09 AU AU2020271285A patent/AU2020271285A1/en not_active Abandoned
- 2020-04-09 CA CA3136269A patent/CA3136269C/en active Active
- 2020-04-09 WO PCT/IB2020/000257 patent/WO2020208415A1/en unknown
- 2020-04-09 ES ES20732999T patent/ES2952569T3/es active Active
- 2020-04-09 TW TW109112069A patent/TW202106363A/zh unknown
- 2020-08-19 US US16/997,424 patent/US11772019B2/en active Active
-
2021
- 2021-10-06 IL IL287028A patent/IL287028A/en unknown
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0194589A2 (en) | 1985-03-11 | 1986-09-17 | AlliedSignal Inc. | Apparatus and method for cleaning and drying surfaces of non-absorbent articles |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG11202111110RA (en) | 2021-11-29 |
| CN114206464A (zh) | 2022-03-18 |
| CN114712933A (zh) | 2022-07-08 |
| JP7383047B2 (ja) | 2023-11-17 |
| CA3136269A1 (en) | 2020-10-15 |
| KR20210145277A (ko) | 2021-12-01 |
| MA55620A (fr) | 2022-05-04 |
| EP3953010C0 (en) | 2023-08-02 |
| US10773192B1 (en) | 2020-09-15 |
| US11772019B2 (en) | 2023-10-03 |
| JP2022529142A (ja) | 2022-06-17 |
| US20200406175A1 (en) | 2020-12-31 |
| CA3136269C (en) | 2024-03-05 |
| CN114206464B (zh) | 2023-07-04 |
| WO2020208415A1 (en) | 2020-10-15 |
| TW202106363A (zh) | 2021-02-16 |
| IL287028A (en) | 2021-12-01 |
| EP3953010A1 (en) | 2022-02-16 |
| ES2952569T3 (es) | 2023-11-02 |
| KR20220062674A (ko) | 2022-05-17 |
| EP3953010B1 (en) | 2023-08-02 |
| AU2020271285A1 (en) | 2021-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102394114B1 (ko) | 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 | |
| US11778781B2 (en) | Method and system for in-situ measuring of a heat transfer fluid in a device for immersion cooling and device for immersion cooling | |
| US9976804B2 (en) | Vapor supplying apparatus, vapor drying apparatus, vapor supplying method, and vapor drying method | |
| KR100433069B1 (ko) | 진공 펌프 보호 방법 및 진공 퍼지 장치 | |
| US5236555A (en) | Apparatus for concentration of liquids | |
| CN114712933B (zh) | 对用于浸入式冷却的电介质流体进行回收的方法和设备 | |
| US5061348A (en) | Sulfuric acid reprocessor with continuous purge of second distillation vessel | |
| US5500095A (en) | High efficiency chemical processing | |
| US5525213A (en) | System for decontamination dry cleaning waste water | |
| KR20170125961A (ko) | 불소-함유 용매의 분리 방법, 불소-함유 용매 오염물의 제거 방법, 및 그를 위한 장치 | |
| WO1992012777A1 (en) | Method and apparatus for concentration of liquids | |
| KR101144268B1 (ko) | 폐액에 함유된 엔엠피 회수 장치 및 이를 이용한 엔엠피 회수 방법 | |
| JP4506464B2 (ja) | 連続式樹脂回収装置および回収方法 | |
| JP5187566B2 (ja) | フェノール類含有廃液からのフェノールの回収法 | |
| JP2000005546A (ja) | 電子工業用薬品中の微粒子除去方法 | |
| RU2803723C1 (ru) | Установка для регенерации растворителей | |
| JP6934257B2 (ja) | 洗浄槽内の洗浄溶剤の大気への拡散防止方法 | |
| TW202303292A (zh) | 用於驗證和再利用處理流體的設備和方法 | |
| JP4710203B2 (ja) | 含フッ素ポリマーの回収装置および回収方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |