KR102381787B1 - Coating device and coating method - Google Patents

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KR102381787B1
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사토시 도모에다
겐이치 시마타니
시게루 도오노
유고 후쿠시마
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토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
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Abstract

판상 또는 시트상의 대상물에 도액을 도포하는 것에 있어서, 도포 위치 분해능을 향상시킴과 함께, 도포 속도를 향상시킨다. 구체적으로는, 도포 장치에 있어서, 도액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와, 상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와, 상기 헤드의 상기 도포 대상물과의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와, 상기 기억부로부터 판독한 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 유지하는 레지스터와, 상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와, 상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기와, 상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 구동 파형을 생성하는 토출 구동 파형 생성부를 구비하는 구성으로 하였다.In apply|coating a coating liquid to a plate-shaped or sheet-shaped object, while improving the application|coating position resolution, an application|coating speed is improved. Specifically, in the coating device, a nozzle for discharging the coating liquid, a head holding a plurality of the nozzles, and a driving unit for relatively moving the head and the object to be coated so as to move the head to a discharge position of the coating liquid; A position detection unit for detecting the relative position of the head with the application object, a storage unit for storing the discharging position coordinates for discharging the coating liquid for each nozzle, and the discharging position coordinates for each nozzle read from the storage unit for the nozzles a register held each time; A comparator installed for each nozzle that compares the coordinates with the position detected by the position detection unit, and when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged as a result of comparison by the respective comparators, a drive waveform for discharging the coating liquid from the nozzle is generated. It was set as the structure provided with the discharge drive waveform generating part.

Description

도포 장치 및 도포 방법 {COATING DEVICE AND COATING METHOD}Applicator and coating method {COATING DEVICE AND COATING METHOD}

본 발명은 판상 또는 시트상의 대상물에 도액을 도포하는 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a coating device and a coating method for applying a coating liquid to a plate-shaped or sheet-shaped object.

종래부터 유기 EL이나 터치 패널의 기판 상에 회로를 형성하기 위해, 잉크젯 등의 노즐로부터 도액을 토출하여 기판에 도포하는 일이 행해지고 있다. 회로를 형성하기 위해서는, 자유롭게 도포 형상을 그릴 수 있을 것이 요구되며, 헤드를 이동시키면서 결정된 위치에 도달하면, 헤드에 구비한 노즐로부터 순차적으로 도액을 토출하도록 토출 타이밍을 제어하여 회로를 형성하고 있다.Conventionally, in order to form a circuit on the board|substrate of organic electroluminescent or touchscreen, discharging a coating liquid from nozzles, such as an inkjet, and apply|coating to a board|substrate is performed. In order to form a circuit, it is required to be able to draw the application shape freely, and when a determined position is reached while moving the head, the discharge timing is controlled so that the coating liquid is sequentially discharged from a nozzle provided in the head to form a circuit.

일본 특허 공개 제2004-290958호 공보에는, 격자상의 복수의 단위 영역인 픽셀을 갖는 비트맵을 설정하여, 설정된 픽셀 위치에 도액을 토출하도록 토출 타이밍을 제어한 구성이 기재되어 있다. 또한, 헤드에 복수의 노즐을 구비하여, 각각의 노즐의 토출 타이밍을 비트맵 등의 화상 데이터로 설정하는 일도 종래 행해지고 있다.Japanese Patent Laid-Open No. 2004-290958 describes a configuration in which a bitmap having pixels that are a plurality of unit regions on a grid is set, and the ejection timing is controlled so as to eject the coating liquid at the set pixel positions. Also, conventionally, a head is provided with a plurality of nozzles, and the ejection timing of each nozzle is set by image data such as a bitmap.

일본 특허 공개 제2004-290958호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2004-290958

종래의 비트맵을 설정한 토출 타이밍 제어에 대하여, 도 6을 사용하여 설명한다. 헤드(3)에는 5개의 노즐(41 내지 45)이 설치되어 있어 헤드(3)가 도포 방향으로 이동하면서 각 노즐(41 내지 45)로부터 도액을 토출하도록 구성되어 있다. 토출 구동 파형은 비트맵의 도포 방향에 직교하는 당해 종렬의 모든 격자에 생성되지만, 비트맵에 설정된 위치(도 6에 있어서의 모두 칠해진 격자의 위치)에 각 노즐(41 내지 45)이 이동하였을 때 해당하는 노즐(41 내지 45)로부터만 도액을 토출하도록 구성되어 있다. 그리고, 비트맵의 설정을 변경함으로써, 격자마다 자유롭게 토출 위치를 결정할 수 있고, 기판에 도포하는 형상을 자유롭게 결정할 수 있다.The conventional ejection timing control in which the bitmap is set will be described with reference to FIG. Five nozzles 41 to 45 are provided in the head 3, and the head 3 is configured to discharge the coating liquid from the respective nozzles 41 to 45 while moving in the application direction. The ejection drive waveform is generated in all the grids in the column orthogonal to the application direction of the bitmap, but when the nozzles 41 to 45 are moved to the position set in the bitmap (the position of the full-filled grid in Fig. 6) It is comprised so that the coating liquid may be discharged only from the corresponding nozzles 41-45. And, by changing the bitmap setting, the ejection position can be freely determined for each grid, and the shape to be applied to the substrate can be freely determined.

헤드(3)가 도포 방향으로 이동하면서 행하는 도포에는 도포 방향 또는 도포 방향에 직교하는 방향의 직선을 묘화하는 도포뿐만 아니라, 도포 방향에 직교하는 방향으로부터 약간 각도가 부여된 직선(즉 기울기 직선)을 묘화하는 도포도 있으며, 그 경우에는 하나의 노즐(41 내지 45)에서 연속적으로 도액을 토출하는 것이 아니라, 순서대로 상이한 노즐(41 내지 45)에서 도액을 토출할 필요가 있다.For application performed while the head 3 moves in the application direction, not only the application drawing a straight line in the application direction or a direction perpendicular to the application direction, but also a straight line with a slight angle from the direction orthogonal to the application direction (i.e., an inclined straight line) There is also application for drawing, and in that case, it is not necessary to continuously discharge the coating liquid from one nozzle 41 to 45, but it is necessary to discharge the coating liquid from the different nozzles 41 to 45 in order.

노즐(41 내지 45)로부터 도액을 토출하면 도포 대상으로 되는 면에서는 예를 들어 착탄된 액적이 직경 20㎛ 정도로 확산되는 경우가 있으며, 그 경우에 있어서는, 동일 노즐(41 내지 45)로부터 도포 방향으로 연속적으로 도포하고, 결락이 없는 직선을 묘화하기 위해서는, 약 20㎛ 간격으로 도액을 토출하면 된다. 그러나, 비스듬하게 매끄러운 형상의 선을 도포하는 경우에는 상이한 노즐 사이에서의 고분해능이 필요하며, 약 1㎛ 정도의 도포 위치 분해능이 요구된다.When the coating liquid is discharged from the nozzles 41 to 45, for example, the impacted droplet may spread to about 20 μm in diameter on the surface to be applied, and in that case, from the same nozzles 41 to 45 in the application direction What is necessary is just to discharge the coating liquid at intervals of about 20 micrometers in order to apply continuously and to draw a straight line without glitch|missing. However, in the case of applying obliquely smooth lines, high resolution between different nozzles is required, and a coating position resolution of about 1 μm is required.

그러나, 비트맵 등의 화상 데이터로 토출 위치가 설정되어 있는 경우에는, 이미 설명한 바와 같이 토출하지 않는 노즐도 포함시켜 당해 종렬의 모든 격자 위치에서 토출 구동 파형이 생성되어 있으므로, 토출 구동 파형의 1 사이클에 요하는 시간이 격자 사이즈에 상당하는 이동 시간 내에 수렴되어 있을 필요가 있다. 이 토출 구동 파형의 1 사이클은 토출하는 도액의 용량으로 정해져 있으며, 1 사이클에 요하는 시간을 단축하기는 용이하지는 않다.However, when the ejection position is set by image data such as a bitmap, as already described, since ejection drive waveforms are generated at all grid positions in the column including nozzles that do not eject, one cycle of the ejection drive waveform It is necessary that the time required for s converge within the movement time corresponding to the grid size. One cycle of this discharge drive waveform is determined by the capacity of the coating liquid to be discharged, and it is not easy to shorten the time required for one cycle.

또한, 토출 구동 파형의 1 사이클에 상당하는 시간에 헤드가 도포하면서 이동할 수 있는 거리는 비트맵을 구성하는 격자 사이즈로 되기 때문에, 도포 속도는,In addition, since the distance that the head can move while applying in the time equivalent to one cycle of the discharge drive waveform becomes the grid size constituting the bitmap, the application speed is

도포 속도=(격자 사이즈)/(토출 구동 파형 시간) … 식 1Application speed = (lattice size) / (discharge drive waveform time) ... Equation 1

로 규정되며, 도포 위치 분해능 즉 격자 사이즈를 1㎛, 토출 구동 파형 시간을 50μsec라고 하면 도포 속도는 20mm/sec로 된다.If the coating position resolution, that is, the grid size, is 1 μm, and the discharge drive waveform time is 50 μsec, the coating speed is 20 mm/sec.

도포 속도가 상기 식 1로 규정되기 때문에, 토출 구동 파형의 1 사이클 시간을 단축하고 격자 사이즈를 미세하게 하여 도포 위치 분해능을 향상시켰다고 해도 도포 속도가 저하되고, 도포 속도를 고속화하기 위해 격자 사이즈를 조잡하게 하면, 도포 위치 분해능이 저하된다고 하는 문제가 있었다.Since the coating speed is defined by the above formula (1), even if the one cycle time of the discharge drive waveform is shortened and the grid size is made fine to improve the coating position resolution, the coating speed is lowered and the grid size is coarsened in order to increase the coating speed. When it did, there existed a problem that the application|coating position resolution fell.

본 발명은 이러한 문제를 해결하여, 도포 위치 분해능을 향상시킴과 함께, 도포 속도를 향상시키는 것을 과제로 한다.The present invention solves such a problem, and while improving the coating position resolution, an object of the present invention is to improve the coating speed.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 도액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와, 상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와, 상기 헤드의 위치를 검출하는 위치 검출부와, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와, 상기 기억부로부터 판독한 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 유지하는 레지스터와, 상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와, 상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기와, 상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 토출 구동 파형을 생성하는 토출 구동 파형 생성부를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치를 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention provides a nozzle for discharging a coating liquid, a head holding a plurality of the nozzles, and a driving unit for relatively moving the head and an object to be applied so as to move the head to a discharge position of the coating liquid; a position detection unit for detecting the position of the head; a storage unit for storing the discharge position coordinates for discharging the coating liquid for each nozzle; and a register for holding the discharge position coordinates for each nozzle read from the storage unit for each nozzle; an adjustment unit for holding the discharge position coordinates in the register in advance until the position detection unit detects a position corresponding to the discharge position coordinates; Comparators provided for each nozzle that compares the detected positions, and a discharge drive waveform generating unit that generates a discharge drive waveform for discharging the coating liquid from the nozzle when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged is determined as a result of comparison by the respective comparators It is to provide an application device characterized in that provided.

이 구성에 의해, 하나의 노즐에 의한 토출 구동 파형의 1 사이클에 제한을 받지 않고, 위치 검출부의 분해능으로, 다른 노즐에 의한 토출 구동 파형을 생성할 수 있다. 따라서, 기울기 직선의 도포 시에 필요하게 되는 상이한 노즐에서의 도포 위치 분해능을 위치 검출부의 분해능까지 향상시킬 수 있다.With this configuration, it is not limited to one cycle of the discharge drive waveform by one nozzle, and it is possible to generate the discharge drive waveform by the other nozzles with the resolution of the position detection unit. Therefore, the application|coating position resolution with the different nozzles required at the time of application|coating of an inclination straight line can be improved to the resolution of a position detection part.

또한, 토출 구동 파형의 생성은 비트맵의 격자마다가 아니라 노즐마다로 되며, 그 간격은 동일 노즐에서의 토출 간격으로 되기 때문에, 토출 구동 파형의 1 사이클에 요하는 시간에 헤드를 이동할 수 있는 거리가 길어져, 도포 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, since the discharge drive waveform is generated for each nozzle instead of per grid of the bitmap, and the interval is the discharge interval from the same nozzle, the distance the head can be moved in the time required for one cycle of the discharge drive waveform becomes longer, and the coating speed can be improved.

또한, 기억부의 판독에 비교적 긴 시간을 요하는 경우라도, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 기억부로부터 판독하여 미리 레지스터에 유지해 둠으로써, 토출 위치 좌표와, 위치 검출부가 검출한 구동부의 위치를 고속으로 비교하여 도액을 토출함으로써 도포 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, even when reading from the storage unit requires a relatively long time, by reading the discharge position coordinates for discharging the coating liquid from the storage unit and holding them in a register in advance, the discharge position coordinates and the position of the driving unit detected by the position detection unit can be obtained at high speed. In comparison with , the coating speed can be improved by discharging the coating liquid.

또한, 상기 레지스터는 시프트 레지스터로 구성하며, 당해 시프트 레지스터는 복수의 토출 위치 좌표를 유지하도록 구성해도 된다.Further, the register may be constituted by a shift register, and the shift register may be constituted to hold a plurality of discharge position coordinates.

이 구성에 의해, 일부 액적을 밀집시켜 도포를 행하는 부분이 있고, 그 부분에 있어서, 레지스터가 토출 위치 좌표 출력을 갱신하는 시간 간격의 쪽이 레지스터에 토출 위치 좌표를 유지시키는 시간 간격보다 짧은 경우라도, 미리 복수의 토출 위치 좌표가 유지되어 있으므로, 도중에 끊어지지 않고 토출 위치 좌표와 검출된 구동부의 위치를 비교기에서 비교하여 도액을 토출할 수 있다.According to this configuration, there is a part where some droplets are densely applied to apply, and in that part, even when the time interval for updating the discharge position coordinate output by the register is shorter than the time interval for maintaining the discharge position coordinate in the register , since a plurality of discharging position coordinates are maintained in advance, the coating liquid can be discharged by comparing the discharging position coordinates with the detected position of the driving unit in a comparator without interruption.

상기 위치 검출부는 인코더로 구성해도 된다. 인코더는, 구동부의 구성에 의해, 로터리 인코더여도 되고 리니어 인코더여도 된다.The position detection unit may be constituted by an encoder. The encoder may be a rotary encoder or a linear encoder depending on the configuration of the drive unit.

위치 검출부를 인코더로 구성함으로써, 저비용으로 구성할 수 있다.By configuring the position detection unit as an encoder, it can be configured at low cost.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 도액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와, 상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와, 상기 헤드의 위치를 검출하는 위치 검출부와, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와, 상기 기억부로부터 판독한 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 유지하는 레지스터와, 상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와, 상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기를 구비하고, 상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에, 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 것을 특징으로 하는 도포 방법을 제공하는 것이다.Further, in order to solve the above problem, the present invention provides a nozzle for discharging a coating liquid, a head holding a plurality of the nozzles, and a driving unit for relatively moving the head and the application object so as to move the head to a discharge position of the coating liquid a position detection unit for detecting the position of the head; a storage unit for storing the discharge position coordinates for discharging the coating liquid for each nozzle; and the discharge position coordinates for each nozzle read from the storage unit for each nozzle a register; an adjustment unit for holding the discharge position coordinates in the register in advance until the position detection unit detects a position corresponding to the discharge position coordinates; A comparator provided for each of the nozzles for comparing the positions detected by the position detection unit is provided, and the coating liquid is discharged from the nozzle when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged is determined as a result of comparison by the respective comparators. to provide a way

이 구성에 의해, 하나의 노즐에 의한 토출 구동 파형의 1 사이클에 제한을 받지 않고, 위치 검출부의 분해능으로, 다른 노즐에 의한 토출 구동 파형을 생성할 수 있다. 따라서, 기울기 직선의 도포 시에 필요하게 되는 상이한 노즐에서의 도포 위치 분해능을 위치 검출부의 분해능까지 향상시킬 수 있다.With this configuration, it is not limited to one cycle of the discharge drive waveform by one nozzle, and it is possible to generate the discharge drive waveform by the other nozzles with the resolution of the position detection unit. Therefore, the application|coating position resolution with the different nozzles required at the time of application|coating of an inclination straight line can be improved to the resolution of a position detection part.

또한, 토출 구동 파형의 생성은 비트맵의 격자마다가 아니라 노즐마다로 되며, 그 간격은 동일 노즐에서의 토출 간격으로 되기 때문에, 토출 구동 파형의 1 사이클에 요하는 시간에 헤드를 이동할 수 있는 거리가 길어져, 도포 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, since the discharge drive waveform is generated for each nozzle instead of per grid of the bitmap, and the interval is the discharge interval from the same nozzle, the distance the head can be moved in the time required for one cycle of the discharge drive waveform becomes longer, and the coating speed can be improved.

또한, 기억부의 판독에 비교적 긴 시간을 요하는 경우라도, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 기억부로부터 판독하여 미리 레지스터에 유지해 둠으로써, 토출 위치 좌표와, 위치 검출부가 검출한 구동부의 위치를 고속으로 비교하여 도액을 토출함으로써 도포 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, even when reading from the storage unit requires a relatively long time, by reading the discharge position coordinates for discharging the coating liquid from the storage unit and holding them in a register in advance, the discharge position coordinates and the position of the driving unit detected by the position detection unit can be obtained at high speed. In comparison with , the coating speed can be improved by discharging the coating liquid.

상기한 바와 같이, 도액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와, 상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와, 상기 헤드의 위치를 검출하는 위치 검출부와, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와, 상기 기억부로부터 판독한 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 유지하는 레지스터와, 상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와, 상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기와, 상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 구동 파형을 생성하는 토출 구동 파형 생성부를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치에 의해, 도포 위치 분해능을 향상시키고, 또한 도포 속도를 향상시킬 수 있다.As described above, a nozzle for discharging the coating liquid, a head holding a plurality of the nozzles, a driving unit for relatively moving the head and the object to be applied so as to move the head to the discharge position of the coating liquid, the position of the head a position detection unit to detect, a storage unit for storing the discharge position coordinates for discharging the coating liquid for each nozzle; a register for holding the discharge position coordinates for each nozzle read from the storage unit for each nozzle; an adjustment unit for holding the discharge position coordinates in the register in advance until a position corresponding to the discharge position coordinates is detected; a comparator provided for each nozzle to be compared, and a discharge drive waveform generating unit that generates a drive waveform for discharging the coating liquid from the nozzle when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged is determined as a result of comparison by the respective comparators; With the coating device to be used, the coating position resolution can be improved, and the coating speed can be improved.

또한, 도액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와, 상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와, 상기 헤드의 위치를 검출하는 위치 검출부와, 도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와, 상기 기억부로부터 판독한 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 유지하는 레지스터와, 상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와, 상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기를 구비하고, 상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에, 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 것을 특징으로 하는 도포 방법에 의해, 도포 위치 분해능을 향상시키고, 또한 도포 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, a nozzle for discharging the coating liquid, a head holding a plurality of the nozzles, a driving unit for relatively moving the head and the object to be applied so as to move the head to a discharge position of the coating liquid, a position for detecting the position of the head a detection unit; a storage unit for storing the discharge position coordinates for discharging the coating liquid for each nozzle; a register for holding the discharge position coordinates for each nozzle read from the storage unit for each nozzle; an adjustment unit for holding the discharge position coordinates in the register in advance until a position corresponding to the coordinates is detected, and comparing the discharge position coordinates of the respective nozzles held in the register with the position detected by the position detection unit A comparator provided for each nozzle is provided, and the coating position resolution is improved by the coating method characterized in that the coating liquid is discharged from the nozzle when, as a result of comparison in the respective comparators, it is determined that the coating liquid is to be discharged. , can also improve the application rate.

도 1은 본 발명의 도액 토출 개요를 도시하는 도면이다.
도 2는 토출 위치 좌표 데이터의 예를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 있어서의 제어 회로를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 도액 토출 타이밍을 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 있어서의 제어 회로를 도시하는 도면이다.
도 6은 종래의 도액 토출 개요를 도시하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the outline|summary of the coating liquid discharge of this invention.
2 is a diagram showing an example of discharge position coordinate data.
Fig. 3 is a diagram showing a control circuit according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a diagram showing the timing of discharging the coating liquid according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a diagram showing a control circuit according to the second embodiment of the present invention.
6 is a diagram showing a conventional coating liquid discharge outline.

실시예 1Example 1

도 1 내지 도 4를 사용하여, 본 발명의 도포 장치 및 도포 방법의 실시예 1에 대하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 도액 토출 개요를 도시하고 있고, 도 2는, 기억부에 기억된 토출 위치 좌표 데이터의 예를 도시하고 있고, 도 3은, 본 발명의 실시예 1에 있어서의 제어 회로를 도시하고 있고, 도 4는, 본 발명의 도액 토출 타이밍을 도시하고 있다.Example 1 of the coating device and coating method of this invention is demonstrated using FIG. 1-4. Fig. 1 shows an outline of discharging the coating liquid of the present invention, Fig. 2 shows an example of the discharging position coordinate data stored in the storage unit, and Fig. 3 is a control circuit according to the first embodiment of the present invention. is shown, and FIG. 4 shows the timing of discharging the coating liquid according to the present invention.

도 1에 도시하는 바와 같이, 헤드(3)는 5개의 노즐(41 내지 45)을 구비하고 있고, 각 노즐(41 내지 45)은 잉크젯식의 노즐로 되어 있다. 헤드(3)는, 도시하지 않은 구동부에 의해 도포 방향으로 이동하면서, 결정된 토출 위치를 도시하지 않은 위치 검출부가 검출하면 각 노즐(41 내지 45)로부터 도액을 토출하여 기판 상에 회로를 형성한다.As shown in FIG. 1, the head 3 is equipped with five nozzles 41-45, and each nozzle 41-45 is an inkjet type nozzle. The head 3 is moved in the application direction by a driving unit (not shown), and when a position detection unit (not shown) detects the determined discharge position, the head 3 discharges the coating liquid from each of the nozzles 41 to 45 to form a circuit on the substrate.

또한, 헤드(3)를 이동시키지 않고 도시하지 않은 도포 대상물을 이동시켜도 되며, 헤드(3)와 도포 대상물이 상대적으로 이동하는 구성이면 된다.In addition, an application|coating target object (not shown) may be moved without moving the head 3, and what is necessary is just a structure in which the head 3 and an application|coating target move relatively.

또한, 노즐의 수는 5개로는 한정되지는 않으며, 복수라면 6개 이상이어도 되고 4개 이하여도 상관없다.In addition, the number of nozzles is not limited to five, If it is plural, six or more may be sufficient, and four or less may be sufficient as it.

종래와 같이 비트맵으로 토출 위치 좌표가 설정되어 있는 경우에는, 비트맵의 격자 사이즈가 도포 위치 분해능으로 되어, 예를 들어 5080dpi(dot per inch)로 표현된 비트맵이라면 약 5㎛의 분해능이었다. 본 발명에 있어서는, 도 2에 도시하는 바와 같이 노즐마다 토출 위치 좌표를 기억부에 기억하고 있어 위치 검출부가 검출한 위치와 토출 위치 좌표를 비교하여, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에 도액을 토출시키므로, 위치 검출부의 분해능을 도포 위치 분해능으로 할 수 있다. 실시예 1에서는, 위치 검출부로서 구동부에 설치한 인코더를 사용하고 있으며, 약 0.5㎛라고 하는 높은 분해능을 얻을 수 있다.When the ejection position coordinates are set in a bitmap as in the prior art, the grid size of the bitmap becomes the application position resolution, for example, if it is a bitmap expressed in 5080 dpi (dots per inch), the resolution was about 5 μm. In the present invention, as shown in Fig. 2, the discharge position coordinates for each nozzle are stored in the storage unit, the position detected by the position detection unit is compared with the discharge position coordinates, and when it is determined that it is the position where the coating liquid should be discharged, the coating liquid is Since it discharges, the resolution of a position detection part can be made into application|coating position resolution. In Example 1, the encoder provided in the drive part is used as a position detection part, and the high resolution of about 0.5 micrometer can be obtained.

또한, 실시예 1에서는, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우로서, 토출 위치 좌표와 위치 검출부가 검출한 위치가 일치하였을 때로 하고 있다. 그러나, 토출 위치 좌표와 위치 검출부가 검출한 위치에 오프셋을 가미한 값이 일치하였을 때로 해도 된다. 오프셋의 값은, 시간이어도 되고, 인코더의 펄스수로 해도 된다.Moreover, in Example 1, it is set as the case where it is determined that it is the position where the coating liquid should be discharged, and it is set as the case where the discharge position coordinate and the position detected by the position detection part coincide. However, it is good also as the case where the value which added the offset to the position detected by the discharge position coordinate and the position detection part coincides. The value of the offset may be time or the number of pulses of the encoder.

또한, 위치 검출부는 인코더에 한하지 않고, TV 카메라나 광센서에 의해 마크 등의 대상물을 검출하는 것이어도 된다. TV 카메라나 광센서를 사용함으로써, 더 위치 검출 분해능을 향상시킬 수 있다.In addition, the position detection part is not limited to an encoder, You may detect target objects, such as a mark, with a TV camera or an optical sensor. By using a TV camera or an optical sensor, the position detection resolution can be further improved.

도포 속도는,The dispensing speed is

도포 속도=(동일 노즐 토출 간격)/(토출 구동 파형 시간) … 식 2Application speed = (same nozzle discharge interval) / (discharge drive waveform time) ... Equation 2

로 규정되며, 동일 노즐에서의 토출 간격은, 도포 방향으로 직선을 결락없이도포할 수 있는 토출 간격인 20㎛로 할 수 있으므로, 토출 구동 파형 시간이 50μsec인 경우에는 400mm/sec로 되어 종래보다 대폭으로 고속화할 수 있다., and the discharge interval from the same nozzle can be set to 20 μm, which is a discharge interval that can apply a straight line in the application direction without missing, so when the discharge drive waveform time is 50 μsec, it becomes 400 mm/sec, which is significantly larger than before. can be accelerated to

또한, 상기 도포 속도를 구현화하기 위해, 본 발명의 실시예 1에 있어서는, 도 3에 도시하는 바와 같이 노즐마다 레지스터(11 내지 15)를 구비하고 있다. 각 레지스터(11 내지 15)에는, 조정부(2)가 기억부로부터 토출 위치 좌표를 판독하여 유지시킨다. 각 레지스터(11 내지 15)에 유지된 토출 위치 좌표는 노즐마다 구비된 비교기(21 내지 25) 중 해당되는 비교기(21 내지 25)의 한쪽에 입력된다. 위치 검출부로부터 출력되는 펄스는, 카운터(1)에 의해 계수하여 구동부의 위치를 모든 비교기(21 내지 25)의 다른 한쪽에 입력된다.In addition, in order to implement the said application|coating speed, in Example 1 of this invention, as shown in FIG. 3, the resistors 11-15 are provided for each nozzle. In each of the registers 11 to 15, the adjusting unit 2 reads and holds the discharge position coordinates from the storage unit. The discharge position coordinates held in the respective registers 11 to 15 are input to one of the comparators 21 to 25 corresponding to the comparators 21 to 25 provided for each nozzle. The pulses output from the position detection unit are counted by the counter 1, and the positions of the driving units are input to the other of all comparators 21 to 25.

각 비교기(21 내지 25)는, 위치 검출부가 검출한 구동부의 위치와, 대응하는 레지스터(11 내지 15)에 유지된 토출 위치 좌표를 비교하여, 일치한 경우에 해당되는 토출 구동 파형 생성부(31 내지 35)를 구동하여, 토출 구동 파형을 노즐마다 생성하고 해당되는 노즐(41 내지 45)로부터 도액을 토출시킨다. 그 후, 레지스터(11 내지 15)에는 새로운 토출 위치 좌표를 유지함으로써, 레지스터(11 내지 15)의 출력 데이터를 갱신하여 새로운 위치에서의 토출에 대비한다.Each of the comparators 21 to 25 compares the position of the driving unit detected by the position detection unit with the discharge position coordinates held in the corresponding registers 11 to 15, and the discharge drive waveform generating unit 31 corresponding to the case of coincidence to 35) to generate a discharge driving waveform for each nozzle, and discharge the coating liquid from the corresponding nozzles 41 to 45. Thereafter, by holding the new discharge position coordinates in the registers 11 to 15, the output data of the registers 11 to 15 is updated to prepare for discharge at the new position.

도 4를 사용하여, 도액 토출 타이밍에 대하여 설명한다. 도 4에는, 예로서 노즐(41) 및 노즐(42)에 있어서의 도액 토출 타이밍에 대하여 기재하고 있지만 노즐(43 내지 45)에 대해서도 마찬가지이다.The coating liquid discharge timing will be described with reference to FIG. 4 . In FIG. 4, as an example, although the coating-liquid discharge timing in the nozzle 41 and the nozzle 42 is described, it is the same also about the nozzles 43-45.

위치 검출부의 출력 펄스를 카운터(1)가 카운트하고, 헤드(3)의 이동 위치에 상당하는 타이밍 T1, T2, … Tn … Tm을 출력하여 비교기(21 내지 25)의 다른 한쪽에 입력하고 있다. 이 카운터(1)가 카운트하는 타이밍의 분해능은 위치 검출부(본 실시예 1에 있어서는, 인코더)의 분해능에 상당한다.The counter 1 counts the output pulses of the position detection unit, and timings T1, T2, ... corresponding to the moving positions of the head 3 . Tn … Tm is output and inputted to the other side of the comparators 21 to 25. The resolution of the timing counted by this counter 1 corresponds to the resolution of the position detection unit (in the present embodiment, the encoder).

우선, 기억부로부터 노즐(41)용 토출 위치 좌표 T1을 판독하여 레지스터(11)에 유지시키고, 비교기(21)의 한쪽에 입력해 둔다. 그렇게 하면, 카운터(1)가 타이밍 T1을 출력하여 비교기(21)의 다른 한쪽에 입력하면, 비교기(21)는 양자가 일치하였다고 판단하고, 토출 구동 파형 생성부(31)에 신호를 출력함으로써, 노즐(41)에 토출 구동 파형을 출력하여 도액을 토출시킨다.First, the ejection position coordinate T1 for the nozzle 41 is read from the storage unit, and is stored in the register 11, and is input to one side of the comparator 21 . Then, when the counter 1 outputs the timing T1 and inputs it to the other side of the comparator 21, the comparator 21 judges that both coincide, and outputs a signal to the discharge drive waveform generation unit 31, A discharge driving waveform is output to the nozzle 41 to discharge the coating liquid.

노즐(41)의 토출 구동과 병행하여, 또는 그보다 전의, 카운터(1)가 타이밍 T2를 카운트하기 전까지 기억부로부터 노즐(42)의 토출 위치 좌표 T2를 판독하여 레지스터(12)에 유지시키고 비교기(22)의 한쪽에 입력한다. 그렇게 하면 카운터(1)가 타이밍 T2를 카운트하여 비교기(22)의 다른 한쪽에 입력하면, 비교기(22)는 양자가 일치하였다고 판단하고, 신호를 토출 구동 파형 생성부(32)에 신호를 출력하여 노즐(42)에 대하여 토출 구동 파형을 출력하고, 노즐(42)로부터 도액을 토출시킨다.In parallel with or before the ejection driving of the nozzle 41, until the counter 1 counts the timing T2, the ejection position coordinate T2 of the nozzle 42 is read from the storage unit and held in the register 12, and the comparator ( 22), enter it on one side. Then, when the counter 1 counts the timing T2 and inputs it to the other side of the comparator 22, the comparator 22 judges that both coincide, and outputs the signal to the discharge drive waveform generating unit 32 A discharge drive waveform is output to the nozzle 42 , and the coating liquid is discharged from the nozzle 42 .

이하, 마찬가지로 카운터(1)가 타이밍 Tn을 카운트하기 전에, 레지스터(11)에 노즐(41)용 토출 위치 좌표 Tn을 기억부로부터 판독하여 유지하고 비교기(21)의 한쪽에 입력해 둠으로써, 카운터(1)가 타이밍 Tn을 카운트하여 비교기(21)의 다른 한쪽에 입력하면, 비교기(21)는 양자가 일치하였다고 판단하여 토출 구동 파형 생성부(31)에 신호를 출력하고, 노즐(41)에 대하여 토출 구동 파형을 출력하여 노즐(41)로부터 도액을 토출시킨다.Hereinafter, similarly, before the counter 1 counts the timing Tn, the discharge position coordinates Tn for the nozzles 41 are read from the storage unit in the register 11, held, and input to one side of the comparator 21, so that the counter When (1) counts the timing Tn and inputs it to the other side of the comparator 21, the comparator 21 judges that both coincide, and outputs a signal to the discharge drive waveform generation unit 31, and to the nozzle 41 The coating liquid is discharged from the nozzle 41 by outputting a discharge driving waveform to the opposite side.

또한, 카운터(1)가 타이밍 Tm을 카운트하기 전에, 레지스터(12)에 노즐(42)용 토출 위치 좌표 Tm을 기억부로부터 판독하여 유지하고 비교기(22)의 한쪽에 입력해 둠으로써, 카운터(1)가 타이밍 Tm을 카운트하여 비교기(22)의 다른 한쪽에 입력하면, 비교기(22)는 양자가 일치하였다고 판단하여 토출 구동 파형 생성부(32)에 신호를 출력하고, 노즐(42)에 대하여 토출 구동 파형을 출력하여 노즐(42)로부터 도액을 토출시킨다.Further, before the counter 1 counts the timing Tm, the register 12 reads and holds the ejection position coordinates Tm for the nozzles 42 from the storage unit and inputs them to one side of the comparator 22, so that the counter ( When 1) counts the timing Tm and inputs it to the other side of the comparator 22 , the comparator 22 determines that they match and outputs a signal to the discharge drive waveform generation unit 32 , and sends a signal to the nozzle 42 . A discharge driving waveform is output to discharge the coating liquid from the nozzle (42).

이와 같이, 실시예 1에 있어서는, 노즐마다 레지스터(11 내지 15), 비교기(21 내지 25) 및 토출 구동 파형 생성부(31 내지 35)를 구비하고 있으므로, 카운터(1)가 토출 위치 좌표에 상당하는 위치인 타이밍 T1을 카운트하기 전에, 미리 레지스터(11)에 토출 위치 좌표 T1을 유지시켜 두고, 카운터(1)가 토출 위치 좌표에 상당하는 위치인 타이밍 T2를 카운트하기 전에, 미리 레지스터(12)에 토출 위치 좌표 T2를 유지시켜 둠으로써, 위치 검출부의 분해능에 상당하는 타이밍 T1, T2에서, 상이한 노즐인 노즐(41), 노즐(42)로부터 도액을 토출시킬 수 있고, 도포 위치 분해능을 위치 검출부의 분해능인 0.5㎛로 향상시킬 수 있다.As described above, in Example 1, since the registers 11 to 15, the comparators 21 to 25, and the discharge drive waveform generating units 31 to 35 are provided for each nozzle, the counter 1 corresponds to the discharge position coordinates. Before counting the timing T1, which is the position to By maintaining the discharge position coordinate T2 at can be improved to 0.5 μm, which is the resolution of

또한, 동일 노즐에서의 토출 간격은, 도포 방향으로 직선을 결락없이 도포할 때 필요한 토출 간격인 20㎛로 할 수 있으므로, 토출 구동 파형 시간이 50μsec인 경우의 도포 속도는 상술한 식 2로부터 400mm/sec로 되어 종래의 20mm/sec보다 대폭으로 고속화할 수 있다.In addition, since the discharge interval from the same nozzle can be set to 20 μm, which is the required discharge interval when applying a straight line in the application direction without missing, the application speed when the discharge drive waveform time is 50 μsec is 400 mm/ from Equation 2 above. sec, and can be significantly faster than the conventional 20 mm/sec.

또한, 도포 위치 분해능을 위치 검출부인 인코더의 분해능으로 할 수 있으므로, 종래의 1㎛에 대하여 0.5㎛로 향상시킬 수 있다.Moreover, since the application|coating position resolution can be made into the resolution of the encoder which is a position detection part, it can be improved to 0.5 micrometer with respect to the conventional 1 micrometer.

실시예 2Example 2

이어서, 본 발명의 실시예 2에 대하여, 도 5를 사용하여 설명한다. 실시예 2의 제어 회로는 실시예 1의 제어 회로와 거의 동일하지만, 레지스터(11 내지 15) 대신에, 레지스터(111 내지 115)를 구비하고 있는 바가 상이하며, 나머지는 동일하다.Next, Example 2 of this invention is demonstrated using FIG. The control circuit of Embodiment 2 is almost the same as the control circuit of Embodiment 1, except that registers 111 to 115 are provided instead of registers 11 to 15, and the rest are the same.

레지스터(111 내지 115)에는, 조정부(2)가 기억부로부터 토출 위치 좌표를 판독하여 유지시킬 수 있다. 레지스터(111 내지 115)의 출력은 비교기(21 내지 25)의 한쪽에 입력되어 있어, 실시예 1과 마찬가지로 위치 검출부가 검출한 위치와 비교할 수 있다.In the registers 111 to 115, the adjusting unit 2 can read and hold the discharge position coordinates from the storage unit. The outputs of the registers 111 to 115 are input to one of the comparators 21 to 25, and similarly to the first embodiment, they can be compared with the positions detected by the position detection unit.

그리고, 레지스터(111 내지 115)는, FIFO로 이루어지는 시프트 레지스터로 구성되어 있고, 레지스터(111 내지 115)에는 복수의 토출 위치 좌표를 유지시킬 수 있다. 유지된 복수의 토출 위치 좌표 중 최초로 유지된 것부터 비교기(21 내지 25)에 입력되고, 하나의 비교가 비교기에서 행해지면 도시하지 않은 신호가 레지스터(111 내지 115)에 입력되고, 레지스터(111 내지 115) 내의 토출 위치 좌표는 시프트되어, 유지되어 있는 다음의 토출 위치 좌표가 비교기(21 내지 25)에 입력된다.The registers 111 to 115 are constituted by shift registers made of FIFOs, and the registers 111 to 115 can hold a plurality of discharge position coordinates. From among the plurality of maintained discharge position coordinates, the one maintained first is input to the comparators 21 to 25, and when one comparison is performed by the comparator, a signal not shown is input to the registers 111 to 115, and the registers 111 to 115 The discharge position coordinates in ) are shifted, and the next discharge position coordinates held are input to the comparators 21 to 25 .

조정기(2)는, 레지스터(111 내지 115) 내에서 유지되어 있는 복수의 토출 위치 좌표가 시프트되면, 그 정보를 레지스터(111 내지 115)로부터 수취하여, 새로운 토출 위치 좌표를 레지스터(111 내지 115)에 유지시킨다.When a plurality of discharge position coordinates held in the registers 111 to 115 are shifted, the regulator 2 receives the information from the registers 111 to 115, and sets new discharge position coordinates to the registers 111 to 115. keep on

이 구성에 의해, 액적을 밀집시켜 도포를 행하는 부분에 있어서, 레지스터가 토출 위치 좌표 출력을 갱신하는 시간 간격의 쪽이 레지스터에 토출 위치 좌표를 유지시키는 시간 간격보다 짧은 경우라도, 미리 복수의 토출 위치 좌표가 시프트 레지스터(111 내지 115)에 유지되어 있으므로, 도중에 끊어지지 않고 토출 위치 좌표와 위치 검출부가 검출한 위치를 비교기(21 내지 25)에서 비교하여 도액을 토출할 수 있다.With this configuration, in the portion where droplets are densely applied, even when the time interval for updating the discharge position coordinate output by the register is shorter than the time interval for maintaining the discharge position coordinate in the register, a plurality of discharge positions Since the coordinates are maintained in the shift registers 111 to 115, the discharging position coordinates and the positions detected by the position detection unit are compared with the comparators 21 to 25 without interruption, and the coating liquid can be discharged.

실시예 2에 있어서도, 동일 노즐에서의 토출 간격은 20㎛로 할 수 있으므로, 토출 구동 파형 시간이 50μsec인 경우의 도포 속도는 상술한 식 2로 규정되어 400mm/sec로 되어 종래의 20mm/sec보다 대폭으로 고속화할 수 있다.Also in Example 2, since the discharge interval from the same nozzle can be set to 20 µm, the application speed when the discharge drive waveform time is 50 µsec is 400 mm/sec defined by Equation 2 above, which is higher than that of the conventional 20 mm/sec. It can be significantly speeded up.

또한, 도포 위치 분해능을 위치 검출부인 인코더의 분해능으로 할 수 있으므로, 종래의 1㎛에 대하여 0.5㎛로 향상시킬 수 있다.Moreover, since the application|coating position resolution can be made into the resolution of the encoder which is a position detection part, it can be improved to 0.5 micrometer with respect to the conventional 1 micrometer.

<산업상 이용가능성><Industrial Applicability>

본 발명은 판상 또는 시트상의 대상물에 도액을 도포하는 도포 장치 및 도포 방법에 널리 적용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to a coating device and a coating method for applying a coating liquid to a plate-like or sheet-like object.

1: 카운터
2: 조정부
3: 헤드
11 내지 15: 레지스터
21 내지 25: 비교기
31 내지 35: 토출 구동 파형 생성부
41 내지 45: 노즐
111 내지 115: 레지스터1: counter
2: Adjustment
3: head
11 to 15: register
21 to 25: comparator
31 to 35: discharge driving waveform generating unit
41 to 45: nozzle
111 to 115: register

Claims (4)

도액을 토출하는 노즐과,
상기 노즐을 복수 보유 지지하는 헤드와,
상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키는 구동부와,
상기 헤드의 상기 도포 대상물과의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와,
도액을 토출하는 토출 위치 좌표를 상기 노즐마다 기억하는 기억부와,
상기 기억부로부터 판독한 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 유지하는 상기 노즐마다 구비된 레지스터와,
상기 위치 검출부가 상기 토출 위치 좌표에 상당하는 위치를 검출할 때까지, 미리 상기 노즐마다의 상기 토출 위치 좌표를 상기 레지스터에 유지시키는 조정부와,
상기 레지스터에 유지된 상기 각 노즐의 상기 토출 위치 좌표와 상기 위치 검출부가 검출한 위치를 비교하는 상기 노즐마다 설치한 비교기와,
상기 각 비교기에서 비교한 결과, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에 당해 노즐로부터 도액을 토출하는 구동 파형을 생성하는 토출 구동 파형 생성부를 구비한 것을 특징으로 하는, 도포 장치.a nozzle for discharging the coating liquid;
a head for holding a plurality of the nozzles;
a driving unit for relatively moving the head and the object to be applied so as to move the head to the discharge position of the coating liquid;
a position detection unit for detecting a relative position of the head with respect to the application target;
a storage unit for storing the discharge position coordinates for discharging the coating liquid for each of the nozzles;
a register provided for each nozzle that holds the discharge position coordinates for each nozzle read from the storage unit;
an adjustment unit for holding in the register the discharge position coordinates for each of the nozzles in advance until the position detection unit detects a position corresponding to the discharge position coordinates;
a comparator provided for each nozzle that compares the discharge position coordinates of the nozzles held in the register with the position detected by the position detection unit;
and a discharge drive waveform generating unit that generates a drive waveform for discharging the coating liquid from the nozzle when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged is determined as a result of comparison by the respective comparators. 제1항에 있어서, 복수의 상기 레지스터가 각각 유지해야 할 상기 토출 위치 좌표를 하나의 상기 조정부가 각각의 레지스터에 유지시키는 것을 특징으로 하는, 도포 장치.The application apparatus according to claim 1, wherein one said adjusting section holds, in each register, the discharge position coordinates to be respectively held by a plurality of said registers. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 레지스터는 시프트 레지스터로 구성하고, 당해 시프트 레지스터는 복수의 토출 위치 좌표를 유지하는 것을 특징으로 하는, 도포 장치.The application device according to claim 1 or 2, wherein the register is constituted by a shift register, and the shift register holds a plurality of discharge position coordinates. 헤드에 보유 지지한 복수의 노즐 각각의 토출 위치 좌표를 미리 상기 노즐 각각에 구비한 레지스터에 유지시키고,
상기 헤드를 도액의 토출 위치까지 이동시키도록 상기 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키면서 상기 헤드의 상기 도포 대상물과의 상대 위치를 검출하고,
각 상기 레지스터에 유지된 상기 노즐 각각의 상기 토출 위치 좌표와 상기 상대 위치를 비교하여, 도액을 토출해야 할 위치라고 판단한 경우에, 당해 노즐로부터 도액을 토출하고,
당해 토출이 완료된 상기 노즐에 대응하는 상기 레지스터에 새로운 토출 위치 좌표를 유지시키는 것을 특징으로 하는, 도포 방법.The discharge position coordinates of each of the plurality of nozzles held by the head are held in a register provided in each of the nozzles in advance,
Detecting the relative position of the head with the application object while relative movement of the head and the object to be applied so as to move the head to the discharge position of the coating liquid;
Comparing the discharge position coordinates of each of the nozzles held in the registers with the relative positions, and when it is determined that the position at which the coating liquid should be discharged, the coating liquid is discharged from the nozzle;
A coating method characterized in that a new discharge position coordinate is maintained in the register corresponding to the nozzle on which the discharge has been completed.
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