KR102377896B1 - 배향막 세정액 조성물 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배향막용 세정액 조성물에 관한 것으로서, 저휘발성 친수성 첨가제를 포함함으로써 세정제의 휘발성에 의한 폴리이미드 오염물의 부착 및 응착을 방지할 수 있는 세정액 조성물을 제공한다. 본 발명에 따른 세정액 조성물에 의하면, 폴리이미드 분해물에 의한 오염을 방지함과 동시에 분해물을 쉽게 분산시켜 세정공정에서 제거를 용이하게 할 수 있다.

Description

배향막 세정액 조성물{A Composition for Cleaning Alignment Film}
본 발명은 배향막 세정액 조성물에 관한 것으로, 보다 구체적으로 액정 디스플레이 제조공정 중 폴리이미드 배향막을 세정하기 위한 세정액 조성물에 관한 것이다.
배향막은 액정 디스플레이 배향 공정에서 러빙 공정 또는 자외선 조사 공정을 통해 형성되는데, 종래의 러빙 공정에 의한 물리적인 문제점 및 오염을 보완하기 위하여 UV 조사를 이용한 광 배향막 형성 방법이 사용되고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 광 배향막 공정에서는 기판 상에 광 배향막 형성용 폴리머(예를 들면, 폴리이미드)를 도포한 후 일정한 패턴(각도)으로 빛을 조사하게 되면 빛의 조사 방향과 동일 방향으로 폴리이미드 사슬이 배열되고, 이후 액정 공정을 진행하면 동일 방향으로 액정이 배열하게 된다.
배향막 공정에서 폴리이미드는 다음과 같이 산무수물과 다이아민의 반응 및 경화 공정에 의해 이미드화가 진행된다.
Figure 112015096966220-pat00001
경화 후의 폴리이미드 분자 체인은 임의 배열을 하고 있는데, 편광 UV 조사에 의해 산 부분의 탄소고리가 절단되어 고분자가 분해될 수 있다. 이 때 고분자 사슬 방향과 UV 편광 방향에 따라 고분자 사슬 끊어짐 정도가 달라져 단량체 또는 올리고머 형태의 저분자량 분포를 갖는 분해물이 생성된다. 이러한 분해물은 세정 공정으로부터 세정액에 의해 용해 및 제거되는데, 이렇게 함으로써 결함이 없는 상태로 액정이 배열될 수 있는 트렌치를 형성할 수 있다.
세정 공정 후 폴리이미드 분해물이 용해된 세정액을 제거할 때, 휘발성이 큰 세정액이 휘발되면서 폴리이미드 분해물이 응집되어 잔류할 수 있다. 도 2는 에틸 락테이트(EL)와 같은 고휘발성 용제를 사용하는 세정 공정에서 불량이 발생하는 원인을 개략적으로 도시한다. 배향막 세정 공정에서는 세정액 스프레이 공정과 물 스프레이 공정을 거치게 되는데, 세정액 스프레이 공정의 세정액이 물 스프레이 존으로 넘어가는 것을 최소화하기 위하여 에어 나이프를 사용할 수 있다. 에어 나이프를 사용하는 경우에는, 잔류 세정액의 휘발을 촉진시킬 수 있으므로 응집물이 발생하기가 더 쉽고, 응집물은 휘발성이 없으므로 기판에 부착되기 쉽다. 이렇게 기판 상에 부착된 응집물은 물에 불용성이므로 물로 린스하는 단계에서 제거가 불가하고 기판상에 잔류하게 되는데, 이는 액정의 배향 방향을 교란하는 불량으로 이어질 수 있으며, 결과적으로 빛샘 현상 등의 문제점을 초래할 수 있다. 빛샘 현상은 액정으로 입사하는 빛 중 일부가, 비스듬하게 배향되어 있는 액정을 통하여 외부로 출사되는 경우 발생하는 현상으로 불량을 판단하는 기준 중 하나이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 휘발도가 낮으면서 폴리이미드 단량체에 대한 분산성과 물에 대한 혼화성이 우수한 세정액 조성물을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은,
휘발도가 0.1을 초과하는 유기용제 100중량부 및
휘발도 0.1 이하의 저휘발성 친수성 첨가제 0.1 내지 20중량부를 포함하는 세정액 조성물을 제공한다.
본 발명에 따른 세정액 조성물에 의하면, 폴리이미드 광 배향막 세정 공정 시 폴리이미드 분해물에 대한 분산성 및 물에 대한 혼화성이 우수하여 세정공정 이후에 기판에 잔류하여 부착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 광배향막 공정의 원리를 개략적으로 도시한다.
도 2는 기존 공정의 불량문제가 발생하는 원리를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 개선 효과의 원리를 개략적으로 도시한다.
도 4는 실시예 2에 따른 배향막 세정 처리 후 표면 사진이다.
도 5는 비교예 1에 따른 배향막 세정 처리 후 표면 사진이다.
이하, 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 휘발도가 0.1을 초과하는 유기용제 100중량부 및 휘발도 0.1 이하의 저휘발성 친수성 첨가제 0.1 내지 20중량부를 포함하는 세정액 조성물을 제공한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 세정액 조성물은 휘발도가 낮으면서 폴리이미드 단량체에 대한 분산성과 물에 대한 혼화성이 우수하다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따라 저휘발성 첨가제를 함께 함유하는 세정제는 에어나이프 공정에서 고휘발성 용매가 증발되어 제거되더라도 폴리이미드 분해물이 저휘발성 친수성 첨가제에 분산되어 기판에 응집 부착되는 것을 방지한다. 이들은 또한 물에 대한 용해성(혼화성)이 있기 때문에 이후 진행되는 린스 공정에서 물에 분산되어 쉽게 제거될 수 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 상기 휘발도는 노말부틸아세테이트의 휘발도 1을 기준으로 하는 상대 휘발도로서, 25℃, 상압(760mmHg) 조건에서 5시간 동안 휘발량을 측정한 것이다.
상기 첨가제는 이하에서 저휘발성 첨가제 또는 친수성 첨가제로 약칭될 수 있다.
일 구현예에 따르면 상기 저휘발성 첨가제의 함량은 고휘발성 유기용제 100 중량부를 기준으로 0.1 내지 20 중량부, 바람직하게는 0.1 내지 10 중량부, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 5 중량부일 수 있다.
상기 저휘발성 첨가제의 함량이 지나치게 적을 경우 세정력이 저하되는 경향이 있고, 지나치게 많으면 점도 상승으로 인해 에어 나이프 등에 의한 세정액 제거 공정에서 충분히 제거되지 않을 수 있으며 그 결과 이후 린스 공정에서도 충분히 충분히 제거되지 않고 잔류하여 불량을 초래할 가능성이 많다.
일 구현예에 따르면, 휘발도 0.1 이하의 저휘발성 첨가제가 증기압 1 mmHg 이하의 알코올류, 에테르류, 피롤리돈류, 설폭사이드류 및 이들의 조합으로부터 선택되는 것일 수 있다. 저휘발성 첨가제의 휘발도는 유기용제의 휘발도 보다 낮으면 되며 특별히 한정되지 않으나 공정 적용성을 감안할 때 0.0001 이상일 수 있다.
상기 저휘발성 첨가제는 린스 공정에서 물에 의한 제거가 용이하도록 물 100g 에 대하여 20g 이상의 용해도를 갖는 친수성 물질인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 물 100g 에 대하여 50g 이상의 용해도를 갖는 것일 수 있다.
일 구현예에 따르면, 상기 휘발도가 0.1 이하인 저휘발성 첨가제는 알코올류일 수 있으며, 히드록시기를 적어도 하나 이상 포함하는 유기기일 수 있다. 상기 히드록시기는 카르복실기(COOH)가 포함하는 OH와는 구분되는 것으로, 수소와 산소로 이루어지는 작용기를 의미할 수 있다.
또한, 저휘발성 첨가제가 가지는 수소 원자 중 하나 이상이 카르복실기, 티올기, 히드록시기, 탄소수 1 내지 20의 알킬기, 탄소수 1 내지 20의 헤테로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알킬카르보닐기, 탄소수 2 내지 20의 알케닐카르보닐기, 탄소수 1 내지 20의 알콕시기, 탄소수 2 내지 20의 알케닐기, 탄소수 2 내지 20의 헤테로알케닐기, 탄소수 2 내지 20의 헤테로 알키닐기, 탄소수 6 내지 30의 아릴기, 탄소수 7 내지 30의 아릴알킬기 등으로 치환될 수 있다.
구체적으로 예를 들면, 상기 저휘발성 첨가제가 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 글리세롤, 부틸디글리콜, 메틸피롤리돈, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디메틸설폭사이드 및 이들의 조합으로부터 선택되는 것일 수 있다.
한편, 휘발도가 0.1을 초과하는 유기용제는 알코올류, 에스테르류, 에테르류, 아세테이트류 및 이들의 조합으로부터 선택될 수 있으며, 바람직하게는 휘발도가 0.2 이상일 수 있다. 유기용제는 휘발도가 클수록 바람직하며, 휘발도의 상한은 특별히 한정되지는 않으나 공정 적용성을 감안할 때 5 이하일 수 있다.
상기 알코올류 중 1가 알코올은 예를 들어, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 시클로헥산올 및 이들의 혼합물을 예시할 수 있다.
상기 유기용제의 구체적인 예로는 에틸 락테이트, 에틸알코올, 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 및 이들의 조합을 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 에테르류로는 예를 들어 프로필렌글리콜메틸에테르 등을 예시할 수 있으며, 아세테이트류로는 예를 들어, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 등을 예시할 수 있다.
또한 에스테르류로는 에틸락테이트를 포함할 수 있다.
상기 세정액 조성물에 포함되는 유기용제로는 예시와 같은 화합물을 사용할 수 있지만, 본 발명의 저휘발성 첨가제를 부가하여 향상된 물성을 적용할 수 있는 화합물로서 통상의 기술자에 의해 적절하게 선택될 수 있으며, 상기 기재에 한정되지는 않는다.
본 발명의 세정액 조성물은 세정 성능을 향상시키기 위하여 당업계에 공지되어 있는 통상의 첨가제를 더 포함할 수 있다.
일 구현예에 따르면, 상기 세정액 조성물은 부가 첨가물로서 계면활성제를 더 포함할 수 있다.
상기 계면활성제는 적용 표면에 대해 젖음성(wetting property)을 향상시켜 상기 세정액 조성물이 기판상에 골고루 작용할 수 있도록 하고, 첨가제의 거품 특성 개선 및 기타 유기 첨가제에 대한 용해성을 높이기 위해 추가적으로 첨가할 수 있다.
상기 계면활성제는 비이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제 및 양쪽성 계면활성제로 이루어지는 군 중에서 선택되는 1종 이상일 수 있다.
상기 비이온성 계면활성제는 수용액 상태에서 이온을 생성하지 않는 이유로 다른 유형의 계면 활성제와 혼합 첨가하여 사용할 수 있다. 비이온성 계면활성제는 예를 들어, 에톡시레이티드 선형 알코올, 에톡시레이티드 알킬 페놀, 지방산 에스테르, 아민 및 아마이드 유도체, 알킬폴리글리코사이드, 산화에틸렌-산화프로필렌 혼성 중합체, 폴리알콜 및 에톡시레이티드 폴리알콜, 싸이올 및 메르캅탄 파생 화합물을 포함할 수 있다.
상기 음이온성 계면활성제는 황산염, 술폰산염, 유기인산계열, 사르코사이드, 알킬 아미노산, 라우릴 사르코시네이트를 포함할 수 있으며, 예를 들어 알킬 에스테르 황산염, 알킬 에톡시 에테르 황산염, 도데실 벤젠 술폰산염, 알킬 벤젠 술폰산염, 알파-올레핀 술폰산염, 리그노 술폰산염, 술포-카르복실 화합물을 포함할 수 있다.
상기 양이온성 계면활성제는 음전하 기질에 흡착이 가능하며 이로 인해 정전기 방지 및 유연제의 역할을 할 수 있다. 또한 고형 입자의 분산제, 부유집진제, 소수성제, 부식방지제의 역할을 할 수 있다. 양이온성 계면활성제는 예를 들어 지방산아민, 4급 알킬-암모늄, 선형 디아민, n-도데실 피리디늄 클로라이드, 이미다졸 및 몰포린 화합물을 포함할 수 있다.
상기 양쪽성 계면활성제는 동일 분자 중에 음이온성과 양이온성의 해리를 가지고 일정한 등전점을 가지며, 예를 들어 암포카복실레이트, 알킬 베타인, 아미도알킬 베타인, 아미도알킬 설타인, 암포포스페이트, 포스포베타인, 피로포스포베타인, 카복시알킬 알킬 폴리아민을 포함할 수 있다.
상기 계면활성제로서는 예를 들어 아세틸렌디올, 알킬아민, 알킬카르복실산 및 플루로닉 계열 중합체 중 하나 이상을 사용할 수 있다. 상기 플루로닉 계열 중합체는 예를 들어, 에틸렌옥사이드와 프로필렌옥사이드의 블록 공중합체 등을 포함할 수 있다.
상기 세정액 조성물에 포함될 수 있는 계면활성제는 당업계에 일반적으로 사용되는 것일 수 있으며, 상기 기재된 계면활성제에 제한되지는 않는다.
상기 계면활성제는 상기 세정액 조성물 총 100중량부를 기준으로 0.0005 내지 5중량부의 함량으로 첨가할 수 있으며, 예를 들어 비이온성 계면활성제, 양쪽성 계면활성제 또는 이들의 혼합물을 0.001 내지 2 중량부 첨가할 수 있다. 상기 계면활성제 함량이 적절하지 못할 경우 젖음성 향상, 첨가제의 거품 특성 개선 및 기타 유기 첨가제에 대한 용해성을 높이는 효과를 기대할 수 없거나, 용해도의 문제로 인해 계면활성제 석출 문제가 발생할 수 있다.
이와 같은 첨가제를 추가적으로 배합하는 경우, 그 배합량은 각 첨가제의 사용 목적 등에 따라 적절하게 선택할 수 있지만, 본 발명의 효과를 손상시키지 않도록 하는 관점에서, 본 발명의 세정액 조성물 100 중량부에 대하여 기타 첨가제는 합계 10 중량부 이하의 범위로 첨가할 수 있다.
본 발명에 따른 세정액 조성물은 비수용성의 폴리이미드 분해물에 대한 충분한 세정력이 필요하기 때문에 물을 포함하지 않는 것이 바람직하다.
일 구현예에 따르면, 고온 공정 조건의 특성상 내열성과 필름 형성에 적합한 도포 특성 및 기계적 강도, 그리고 공정 후 세정에 견딜 수 있는 내약품성 및 다양한 구조의 특성을 가지는 폴리이미드가 배향막의 주재료로서 사용될 수 있다.
따라서 일 구현예에 따르면, 상기 세정액 조성물은 폴리이미드 배향막 제조 공정에 사용될 수 있다. 상기 제조 공정은 폴리이미드, 폴리아믹산 유도체 및 이들의 조합을 사용하여 형성되는 배향막의 제조 공정일 수 있다.
상기 배향막은 예를 들어, 폴리비닐시나메이트, 폴리실록산, 말레이미드 등을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 광중합 재료로서 광반응기를 측쇄에 포함하는 폴리이미드계 화합물을 포함할 수 있다.
상기 폴리이미드의 종류로는 예를 들어, 압축소결성형법을 사용하는 전방향족 폴리이미드, 열가소성 폴리이미드, 열경화성 폴리이미드, 용융성형 폴리이미드, 유기용매 가용성 폴리이미드, 저열팽창성 폴리이미드, 저응력성 폴리이미드, 무색투명 폴리이미드, 감광성 폴리이미드, 고강도 고탄성률 섬유용 폴리이미드 등을 예시할 수 있다.
일 구현예에 따르면, 본 발명에 따른 세정액 조성물을 적용할 수 있는 상기 배향막의 종류로는 예를 들어, PVA(Patterned Vertical Alignment), TN (Twisted Nematic), VA(Vertical Alignment), MVA (Multi-domain Vertical Alignment), IPS (In-Plane Switching), OCB(Optically Compensated Bend) 등을 예시할 수 있다.
일 구현예에 따르면, 상기 세정액 조성물은 배향막 제조 공정으로 광이성화법, 광분해법, 광경화법 등의 제조 공정에 사용할 수 있다.
본 발명에 따른 세정액 조성물을 적용할 수 있는 제조 공법에는 제한이 없지만, 예를 들어 러빙공정, 자외선 조사 공정 등을 들 수 있다. 상기 러빙 관련 공정은 변수 미세 조절의 어려움 때문에 정전기 발생으로 인한 트랜지스터 손상 및 먼지의 흡착 그리고 스크래치 형성 유발 문제로 디스플레이 성능 및 생산수율의 저하가 초래될 수 있다. 이와 같은 문제를 방지하지 위하여, 물리적 접촉이 없는 액정 배향막 제조 방법으로 편광 자외선 조사 기술을 사용할 수 있다. 본 발명에 따른 조성물은 특히 자외선 조사 공정으로 제조한 광 배향막 세정에 효과적이다.
따라서 일 구현예에 따르면, 본 발명에 따른 세정액 조성물은 폴리이미드 필름의 광 배향막 제조 공정에 사용할 수 있다.
본 발명의 수계세정액 조성물을 사용하는 세정방법은 특별히 한정되지 않으며, 침지 세정법, 요동 세정법, 초음파 세정법, 스프레이 세정법, 퍼들 세정법, 브러쉬 세정법 등을 사용하여 처리할 수 있다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 실시예를 실시할 수 있는바, 이하 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 실시예를 도면에 예시하고 상세하게 설명한다. 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물로 이해되어야 한다.
실시예 1 내지 10 및 비교예 1 내지 6
사용된 저휘발성 첨가제의 휘발도는 노말부틸아세테이트에 대한 상대 휘발도로 측정하였다. 실험예 1에 사용된 저휘발성 첨가제 시료를 각 2g씩 둥근 은 접시에 담고, 상온(25℃) 온도에서 방치하여 5시간 경과에 따른 시료의 양 변화를 측정하였다. 노말 부틸 아세테이트의 휘발된 양을 기준값 1로 정하고, 다른 조성물의 휘발량을 비교하여 상대 휘발도를 측정하였다.
하기 표 1의 조성에 따라 실시예 1 내지 10 및 비교예 1 내지 6의 세정액 조성물을 제조하였으며, 함량의 단위는 중량부이다.
구분 유기용제 1 유기용제 2 저휘발성 첨가제
(유기용제 대비 투입 비율)
종류 함량 종류 함량 종류 함량
실시예1 EL 100 - - MEG 1
실시예2 EL 100 - - PEG 1
실시예3 EL 100 - - BDG 1
실시예4 EL 100 - - NMP 1
실시예5 EL 100 - - DMSO 1
실시예6 EL 100 - - PEG 5
실시예7 Et-OH 100 - - PEG 1
실시예8 EL 50 Et-OH 50 PEG 1
실시예9 EL 50 PGME 50 PEG 1
실시예10 EL 50 PGMEA 50 PEG 1
비교예1 EL 100 - - - -
비교예2 EL 100 - - PEG 0.05
비교예3 Et-OH 100 - - - -
비교예4 EL 50 PGME 50 - -
비교예5 EL 50 PGMEA 50 - -
비교예6 - - Et-OH 100 BDG 50
상기 표 1에서 사용된 약어 및 상대 휘발도 및 HLB(hydrophile-lipophile balance) 값은 다음과 같다.
구분 상대 휘발도
(노말부틸아세테이트 nBA=1, 기준) 		물 100g 에 대한 용해도
(용해량 표기)
EL: 에틸락테이트 0.214 50g 이상
Et-OH: 에틸알코올 1.70 50g 이상
PGME: 프로필렌글리콜메틸에테르 0.814 50g 이상
PGMEA: 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 0.368 50g 이상
MEG: 모노에틸렌클리콜 0.01 50g 이상
PEG: 폴리에틸레글리콜 (분자량: 200) 0.01 이하 50g 이상
BDG: 부틸디글리콜 0.003 50g 이상
NMP: N-메틸피롤리돈 0.03 50g 이상
DMSO: 디메틸설폭사이드 0.026 50g 이상
실험예 1 : 세정성능 및 배향막 손상 평가
베어글라스(Bare glass)에 폴리이미드를 도포한 후 230℃에서 소성 공정을 거쳐 1,000Å 두께로 폴리이미드 막을 형성하여 자외선 조사를 실시 하였다. 50mm x 50mm 크기로 잘라서 평가 시편으로 사용하였다.
실시예 및 비교예 각 조성에 따른 평가 약액 300g을 2중 자켓 비이커 용기에 채운 후, 항온 순환조를 이용하여 50℃ 온도 조건으로 유지하면서 마그네틱 교반기를 이용하여 약 300rpm 속도로 교반하여 실시하였다.
세정 처리된 시편은 90도 각도, 약 50mm 높이로 고정된 질소(N2) 분사 장치를 이용하여 1.0kgf/cm2 압력 조건에서 약 30초 동안 분사 실시하였다.
이후 탈이온수(DIW) 를 스프레이 분사하여 1분 동안 린스 작업 후, 질소로 건조를 실시하였다.
시편의 세정 상태는 광학현미경(BX51TRF, Olympus社) 및 주사전자 현미경(S-4800, Hitach社)을 이용하여 관찰하였으며, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.
구분 배향막 세정 상태
Ⅹ(매우불량), △(불량),
○(양호), ◎(매우양호)
광학현미경 주사전자 현미경
실시예1 ◎ ◎
실시예2 ◎ ◎
실시예3 ◎ ◎
실시예4 ◎ ◎
실시예5 ◎ ◎
실시예6 ◎ ◎
실시예7 ◎ ◎
실시예8 ◎ ○
실시예9 ◎ ○
실시예10 ◎ ◎
비교예1 Ⅹ Ⅹ
비교예2 △ Ⅹ
비교예3 Ⅹ Ⅹ
비교예4 Ⅹ Ⅹ
비교예5 Ⅹ Ⅹ
비교예6 Ⅹ Ⅹ
상기 표 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 저휘발성 첨가제를 포함하는 실시예 1 내지 10의 경우 배향막 세정 후 불량이 거의 발생되지 않음을 확인할 수 있다. 특히, 실시예 2의 경우 도 4 에 나타낸 바와 같이 배향막 세정 후 막의 표면 상태는 잔류 분해물이 없으며, 폴리이미드 배향막도 손상되지 않은 상태로 매우 양호한 결과를 보이는 것을 알 수 있다. 반면, 저휘발성 첨가제를 포함하지 않는 비교예 1, 3, 4, 5의 경우 배향막 세정 이후 불량이 다수 발생되는 것을 확인 할 수 있으며, 비교예 1의 결과인 도 5와 같이 배향막 세정 후 막의 표면 상태가 잔류 분해물 및 배향막 손상으로 매우 불량한 결과를 보이는 것을 알 수 있다. 아울러, 비교예 2의 경우는 저휘발성 첨가제를 포함하고 있지만, 첨가제의 함량이 그 효과를 발휘할 만큼의 충분한 양이 아니기 때문에 세정 효과가 불량한 것을 확인할 수 있다.
또한 비교예 6의 경우에는 저휘발성 첨가제 투입량 증가에 따른 유기용제 비율 감소로 배향막 세정이 충분하지 않는 문제와 점도 상승에 따른 린스 불량문제로 인하여 불량한 결과를 보이는 것을 알 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 세정액 조성물을 폴리이미드 광 배향막 세정공정에서 사용하여, 폴리이미드 분해물로부터 발생될 수 있는 석출물 및 부착물 등의 오염 불량 요건이 개선됨을 확인할 수 있으며, 따라서 세정 성능이 향상된 것을 알 수 있다.
이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술한 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시 양태일 뿐이며, 이에 의해 상기 기재된 특정한 실시예에 본 발명의 범위가 제한되는 것은 아니다.

Claims (8)

  1. 휘발도가 0.1을 초과하는 유기용제 100중량부 및
    휘발도 0.1 이하의 저휘발성 친수성 첨가제 0.1 내지 20중량부를 포함하고,
    상기 휘발도가 노말부틸아세테이트의 휘발도 1을 기준으로 한 상대 휘발도이며,
    단, 상기 저휘발성 친수성 첨가제가 알코올을 포함하는 경우 상기 알코올이 히드록시기를 2개 이하로 포함하는, 세정액 조성물.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 저휘발성 친수성 첨가제는 물 100g 에 대하여 20g 이상의 용해도를 갖는 친수성인 세정액 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 저휘발성 친수성 첨가제가 증기압 1 mmHg 이하의 알코올류, 에테르류, 피롤리돈류, 설폭사이드류 및 이들의 조합으로부터 선택되는 것인 세정액 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 상기 저휘발성 친수성 첨가제가 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 글리세롤, 부틸디글리콜, 메틸피롤리돈, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디메틸설폭사이드 및 이들의 조합으로부터 선택되는 것인 세정액 조성물.
  6. 제1항에 있어서, 상기 유기용제가 알코올류, 에테르류, 에스테르류, 아세테이트류 및 이들의 조합으로부터 선택되는 것인 세정액 조성물.
  7. 제1항에 있어서, 상기 유기용제가 에틸 락테이트, 에틸알코올, 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 및 이들의 조합을 포함하는 것인 세정액 조성물.
  8. 제1항 및 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조성물은 배향막 세정에 사용되는 것인 세정액 조성물.
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