KR102353833B1

KR102353833B1 - 캐비넷상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법

Info

Publication number: KR102353833B1
Application number: KR1020200103483A
Authority: KR
Inventors: 최재욱; 최돈진; 홍원기
Original assignee: 주식회사 씨케이피
Priority date: 2020-08-18
Filing date: 2020-08-18
Publication date: 2022-01-21

Abstract

본 발명은 캐비넷에 설치된 호이스트모듈의 와이어에 한 쌍의 가스자동공급모듈에 의해 고압가스통의 가스를 공급과 차단 및 교체하게 하는 케비넷 상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 고압가스통(1)(2)를 케비넷(100)에 장입하기 전에 얼라인 지그(9a)를 고압가스통(1)에 장착하는 제1 단계;, 상기 얼라인 지그(9)가 장착된 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100)에 장입시키고, 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제1, 2 고압가스통(1)(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9)에 도킹하는 제2 단계;, 상기 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 제3 단계;, 상기 캐비넷(100) 도어를 닫은 후 제어부에 로딩 완료 버튼을 클릭하는 제4 단계;, 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입 방지하게 하는 실린더커넥터플러그(610a)를 해제하는 제5 단계;, 상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)가 고압가스통(1) 출구포트(5)의 체결위치 방향으로 이동하는 제6 단계;, 엔드캡부재(400a)은 실린더커넥터부재(500a)와 병렬된 상태의 분리구조를 가지되, 엔드캡툴(400a)은 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키면 상기 엔드캡툴(410a)가 엔드캡에 삽입되고, 상기 엔드캡툴(410a)가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하여 엔드캡(8)을 홀딩한 상태로 복귀하는 제 7 단계:, 상기 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)로부터 가스켓을 투입받는 제8 단계;, 가스켓 삽입된 상기 실린더커넥터(510a)는 고압가스통 출구포트(5) 방향으로로 이동하여 고압가스통 출구포트(5)상에 체결하는 제9 단계;, 상기 출구포트(5)에 실린더커넥터(510a)가 체결, 고정되면, 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 개방시키고, 제어부에의해 고압가스통(1)의 가스는 출구포트(5)와 체결된 실린더커넥터(510a)의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하고, 제2 고압가스통(2)은 가스공급을 대기하는 제10 단계;,가 순차적으로 이루어지는 구성으로 수작업으로 인한 작업자의 작업효율을 향상함으로 물론 작업자의 산업안전을 예방하고, 나아가 컴팩트한 캐비넷 구조에 용이하게 사용할 수 있는 효과가 있다.

Description

캐비넷상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법{Clamping and removal method for high pressure gas cylinder in Cabinet}

본 발명은 캐비닛에 설치된 호이스트모듈의 와이어에 한 쌍의 가스자동공급모듈에 의해 고압가스통의 가스를 공급과 차단 및 교체하게 하는 캐비닛상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 상기 자동공급모듈을 업/다운시켜 제1 고압가스통 헤드상의 얼라인 지그에 파지시킨 후, 차단된 실린더커넥터플러그의 분리하고, 실린더커넥터와 엔드캡툴에 의해 엔드캡이 분리하고, 실린더커넥터 상에 가스켓을 공급하여 제1 고압가스통의 출구포트에 연결하고 밸브를 열어 가스를 공급하고, 상기 가스가 소진되는 시점에 제어부에서 교체알람을 울리면 상기 제1 고압가스통의 밸브를 차단하고, 대기 중인 제2 고압가스통의 가스를 공급함과 동시에 제3 고압가스통을 교체가능하게 함으로써 수작업으로 인한 작업자의 작업효율을 향상함은 물론 작업자의 산업안전을 예방하고, 나아가 컴팩트한 캐비넷 구조에 용이하게 사용할 수 있는 것을 목적으로 한다.

일반적으로 반도체장치 제조공정에서는 공정 특성에 따른 가연성 또는 독성이 강한 가스가 많이 사용되고 있으며, 이러한 가스는 통상 고압가스통에 고압 상태로 담겨져 잔존하는 가스 잔량에 따라 교체하여 사용하도록 되어 있다.

즉, 실린더커넥터가 고압가스통의 출구포트에 체결되면서 실린더커넥터의 내부에 배치된 배관과 출구포트가 맞닿아 연결되면 밸브를 열어 고압가스통의 가스를 출구포트 및 배관을 통해 반도체장치의 제조공정으로 공급하게 된다.

종래 가스 캐비닛 탑재형 모듈로서, 특허문헌1(한국공개번호 제10-2019-0014463호)에 공지된 것이 개시되어 있다.

특허문헌1에 있어서, 캐비닛의 가로 × 세로가 800 × 590(mm)인 구형 타입의 가스통 자동 개폐장치에는 공간이 좁아 가스통(60)을 자동으로 상승시키는 리프트의 설치가 불가능하여 제2얼라인수단(130)을 적용하도록 설계되어 있다.

캐비닛의 좌측과 우측에 각각 가스통 자동 개폐장치가 설치되는 구조라서, 한 개는 가스 공급 중이고 다른 한 개는 교체해서 대기중인 것으로 해서 연속 가스 공급을 행한다.

제2얼라인수단(30)은 도 44에 나타낸 바와 같이 메인 플레이트(11)의 저면에 고정되고 2개 이상의 얼라인 핀(31a)을 갖는 얼라이너(31)와, 가스통(60)의 밸브(63)에 착탈 가능하게 고정되며 얼라인 핀(131a)이 끼워지는 위치결정공(32a)이 형성된 얼라인 블럭(32)과, 얼라인 블럭(32)을 밸브(63)에 체결부재(도시는 생략함)로 고정하는 체결판(33)으로 구성되어 있다.

따라서 캐비닛의 내부에 가스통(60)을 위치시킨 상태에서 메인 플레이트(11)가 하강하면 작업자가 얼라인 핀(31a)의 위치를 육안으로 식별하면서 가스통(60)의 위치를 미세하게 조절하여 얼라인 핀(31a)이 얼라인 블럭(132)의 위치결정공(32a)으로 삽입되도록 함으로써, 가스통(60)의 위치가 얼라인된다.

메인 플레이트(11)는 도 43에 도시한 바와 같이 메인 플레이트(11)의 좌우측에 배치되는 실린더와 승강블록 및 도르래를 이용해서, 실린더의 피스톤이 올라가면 메인 플레이트(11)가 내려오고 피스톤이 내려가면 올라가는 구조이다.

이러한 메인 플레이트(11)의 승강구조는 메일 플레이트(11)의 일측면 외측에 설치되어 있기 때문에, 일정한 메일 플레이트(11)의 사이즈에 대해 옆으로 더 튀어나와 있고 특히 한 쌍으로 탑재되는 관계로 캐비닛의 가로 길이(800mm)에 맞추기가 어렵다.

또한, 도 43과 같이 메인 플레이트(11)의 승강은 가이드 블록을 타고 오르고 내리기 때문에 상하 이외에는 움직임에 제한을 받아, 얼라인을 위해 가스통(60)의 위치를 미세하게 조절해야 하는 번거로움이 있다.

또한, 실린더, 도르래, 가이드 블록 등 메인 플레이트를 승강시키기 위한 부품이 매우 많다.

한편, 특허문헌2(한국등록특허 제10-2112765호)의 가스 캐비닛 탑재형 모듈이 도 45와 같은 배치로 공지되어 있다.

특허문헌 2의 가스 캐비닛 탑재형 모듈은 도 45에 도시한 바와 같이, 엔드캡부(60)와 실린더커넥터부(70)가 후면에 배치되고, 가스켓부(81)(82)가 일 측면에 배치되어 있다.

가스켓부(81)(82)는 가스켓 공급부(81)와 가스켓 전달부(80)로 구성되어 있다.

가스켓 공급부(80)는 실린더커넥터부(70)의 옆에 배치되고, 가스켓 전달부(82)는 가스켓 공급부(81)에 대해 전방에 배치되어 있다.

이러한 가스켓 공급부(81)가 일측 후방에 배치됨으로써, 작업자가 가스켓의 공급량을 바로 육안으로 확인하기 힘들고(가스켓을 바로바로 채워있지 않을 경우 그만큼 작업속도가 느리게 되어 반도체 공정에 치명적이다) 가스켓 채울 때도 측 후방의 좁은 공간으로 손을 넣고 수작업으로 넣어야 하는 등 유지 보수 측면에서 바람직하지 않다.

다른 한편, 고압가스통의 미 투입상태에서 실린더커넥터부를 막는 실린더커넥터 플러그가 없기 때문에, 실린더커넥터부 배관의 오염 및 가스 공급배관의 가스 잔여물이 외부로 퍼지는 현상을 막을 수 없다.

한편, 엔드캡부(60)와 실린더커넥터부(70)는 나란히 고정되어 있기 때문에, 점유공간이 좀 더 크게 차지할 뿐만 아니라 회전 또는 전후 이송 시 동시에 움직여야 해서 불필요한 동력손실도 있다.

이러한 종래기술들의 출구포트는 중공 형상의 수나사에 맞춘 실린더커넥터이기 때문에, 본 실시예에서와 같이 중실 형상의 수나사인 경우 종래의 실린더커넥터로는 체결이 불가능하다.

참고로 실린더커넥터는 통상적으로 CGA(Compressed Gas Asssociatipn의 약자) 규격에 따른 실린더 밸브와 연결되는 연결구의 용어로 사용한다.

한국공개번호 제10-2019-0014463호 한국등록특허 제10-2112765호

그러나 종래의 고압가스통의 체결 및 교체하는 방법에 있어서는 작업자가 캐비넷에 신규의 고압가스통을 장입한 상태에서 고압가스통의 교체 시기가 검출되면 수작업 또는 반자동화 작업을 하여 사용 다한 고압가스통을 분리 제거한 다음 새로운 고압가스통을 가스 배관의 커넥터 홀더에 연결함에 따른 신속한 교체가 용이하지 않음을 물론 작업자의 숙련도에 따라 교체의 정확성과 교체시간이 길어지는 작업효율 저하와 작업 중에 부주의로 인한 가스의 누출이 발생하는 경우 가스 폭발로 이어질 수 있을 뿐만 아니라 작업자가 누출되는 가스에 중독되어 생명의 위해를 당하는 산업재해의 원인이 되고 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 공지된 한 쌍의 제1 고압가스통의 가스를 배관을 통해 반도체 공정으로 자동으로 공급하고, 제1 고압가스통의 가스가 모두 소모될 즈음에 대기중인 제2 고압가스통의 가스를 공급하고, 상기 제1 공압가스통을 제3 고압가스통으로 교체함으로써 수작업 또는 종래의 반자동으로 인한 작업자에 의한 작업의 애로사항을 해결하여 작업자의 작업효율을 향상함으로 물론 작업자의 산업안전을 예방하고, 나아가 컴팩트한 캐비넷 구조에 용이하게 사용할 수 있도록 해결하고자 하는 과제적 특징이 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 한 쌍의 고압가스통을 캐비넷 안으로 이동하여 고압가스통을 체결하는 방법에 있어서, 상기 고압가스통를 케비넷에 장입하기 전에 얼라인 지그를 제1, 제2 고압가스통에 장착하는 제1 단계;, 상기 얼라인 지그가 장착된 제1, 제2 고압가스통을 캐비넷에 장입시키고, 호이스트모듈에 매달려 있는 가스자동공급모듈을 하강시켜 제1, 2 고압가스통의 헤더에 설치된 얼라인 지그에 도킹하는 제2 단계;, 상기 가스자동공급모듈에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 제1, 제2 고압가스통을 정밀하게 고정하는 제3 단계;, 상기 캐비넷 도어를 닫은 후 제어부에 로딩 완료 버튼을 클릭하는 제4 단계;, 실린더커넥터부재의 실린더커넥터에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입 방지하게 하는 실린더커넥터플러그를 해제하는 제5 단계;, 상기 실린더커넥터부재의 실린더커넥터가 제1 고압가스통 출구포트의 체결위치 방향으로 이동하는 제6 단계;, 엔드캡부재은 실린더커넥터부재와 병렬된 상태의 분리구조를 가지되, 엔드캡툴은 캠팔로우를 따라 이동하여 실린더커넥터부재 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재상에 구비되어 있는 제 2액추에이터를 전진시키면 상기 엔드캡툴가 엔드캡에 삽입되고, 상기 엔드캡툴가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하여 엔드캡을 홀딩한 상태로 복귀하는 제 7 단계:, 상기 실린더커넥터는 실린더커넥터플러그 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼로부터 가스켓을 투입받는 제8 단계;, 가스켓 삽입된 상기 실린더커넥터는 고압가스통 출구포트 방향으로 이동하여 고압가스통 출구포트상에 체결하는 제9 단계;, 상기 출구포트에 실린더커넥터가 체결, 고정되면, 밸브셔트부재의 밸브셔터를 회전시켜 제1 고압가스통의 밸브를 개방시키고, 제어부에의해 고압가스통의 가스는 출구포트와 체결된 실린더커넥터의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하고, 제2 고압가스통은 가스공급을 대기하는 제10 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법에 의해 상기 가스가 소진되는 시점에 상기 제1 고압가스통의 밸브를 차단하고, 대기 중인 제2 고압가스통의 가스를 공급함과 동시에 제3 고압가스통을 교체가능하게 함으로써 수작업으로 인한 작업자의 작업효율을 향상함으로 물론 작업자의 산업안전을 예방하고, 나아가 컴팩트한 캐비넷 구조에 용이하게 사용할 수 있는 것을 그 해결수단으로 한다.

또한, 본 발명은 한 쌍의 고압가스통을 캐비넷 안으로 이동하여 고압가스통을 제거하는 방법에 있어서, 상기 제1 고압가스통으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통에서 가스 공급라인으로 가스를 공급하는 제1 단계와;, 상기 제1 고압가스통의 밸브를 밸브셔트부재의 밸브셔터를 역 회전시켜 제1 고압가스통의 밸브를 차단후 교체알람이 발생하는 제2 단계;, 상기 제1 고압가스통의 밸브가 차단되면, 실린더커넥터부재상의 실린더커넥터를 회전시켜 출구포트가 분리되면 제2액추에이터가 무부하 상태에서 후진으로 변경되어 대기 위치로 가는 제3 단계;, 상기 실린더커넥터부재의 실린더커넥터는 실린더커넥터플러그 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼에 의해 가스켓을 제거하는 제4 단계;, 엔드캡툴부상의 엔드캡툴은 캠팔로우를 따라 이동하여 실린더커넥터부재상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재상에 구비되어 있는 제2 액추에이터를 전진시키며 실린더커넥터는 회전하여 상기 엔드캡툴에 장착된 엔드캡을 고압가스통의 출구포트에 체결하여 차단한 후 상기 엔드캡툴부의 엔드캡툴을 후진하여 캠팔로우을 따라 원위치로 복귀하는 제5 단계;, 상기 실린더커넥터부재의 실린더커넥터상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지하기 위해 상기 실린더커넥터플러그를 체결하는 제6 단계;, 상기 캐비닛 도어을 열고 가스자동공급모듈에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 제1 고압가스통을 해제하는 제7 단계;, 상기 제1 고압가스통에 장착된 얼라인 지그로부터 도킹된 호이스트모듈에 매달려 있는 가스자동공급모듈을 상승시켜 제1 고압가스통과 분리하고, 상기 고압가스통을 캐비넷으로부터 분리하는 제8 단계;, 제1 고압가스통을 제거한 다음 제3 고압가스통에 얼라인 지그를 결합 한 후 캐비닛에 투입하여 상기 캐비닛의 상기 가스자동공급모듈을 하강시켜 제3 고압가스통의 헤더에 설치된 얼라인 지그에 결합시킨 후 캐비닛의 도어를 닫는 제9 단계와;, 상기 실린더커넥터부재의 실린더커넥터상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지를 위해 체결되어 있는 실린더커넥터플러그를 해제하고, 상기 엔드캡툴은 실린더커넥터부재의 구동과 감속에 의해 엔드캡을 분리한 후 엔드캡툴은 캠팔로우을 따라 원위치하며, 상기 가스켓공급부재에서 가스켓투입/투출부재가 가스켓을 척킹하여 실런더커넥터부재에 장입시키고, 가스켓이 장입된 상기 실린더커넥터부재가 제3 고압가스통의 출구포트에 연결하는 제10 단계와;, 상기 밸브셔트부재의 밸브셔터에 의해 제3 고압가스통의 밸브를 열어 대기하는 제11 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은 한 쌍의 고압가스통)을 캐비넷 안으로 이동하여 고압가스통을 체결 및 제거하는 방법에 있어서, 캐비닛에 설치된 호이스트모듈의 와이어에 한쌍의 가스자동공급모듈에 의해 고압가스통의 가스를 공급과 차단 및 교체하도록 상기 자동공급모듈을 업/다운시켜 고압가스통 헤드상의 얼라인지그에 파지시킨 후, 차단된 실린더커넥터플러그의 분리하고, 실린더커넥터와 엔드켑툴에 의해 엔드캡이 분리하고, 실린더커넥터 상에 가스켓을 공급하여 고압가스통의 출구포트에 연결하여 가스를 공급하고, 상기 가스가 소진되는 시점에 상기 고압가스통의 밸브를 차단하고, 대기 중인 제2 고압가스통의 가스를 공급함과 동시에 제1 고압가스통을 교체가능하게 하는 방법을 통하여 수작업으로 인한 작업자의 작업효율을 향상함으로 물론 작업자의 산업안전을 예방하고, 나아가 컴팩트한 캐비넷 구조에 용이하게 사용할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 상기 고압가스통을 케비넷에 장입하기 전에 먼저 얼라인 지그를 고압가스통(1)에 장착하고, 상기 얼라인 지그가 장착된 고압가스통을 캐비넷에 장입시키고, 호이스트모듈에 매달려 있는 가스자동공급모듈을 하강시켜 제1, 2 고압가스통을 작업자가 와이어의 플렉서블을 이용 결합시키기가 매우 용이하다.

또한, 본 발명은 감속기와 엔드캡툴부를 개별 유닛으로 설정하여 엔드캡툴이 실린더커넥터의 병렬로 배치되어 엔드캡툴이 전,후,좌,우로 이송되기 때문에, 엔드캡툴을 전후 및 회전시키는 구성이 없어 콤팩트화가 가능하고, 엔드캡툴의 동력전달부가 없어 그만큼 공간의 확보로 다른 부품의 유지보수가 매우 수월하다.

또한, 본 발명은 하나의 동력으로 엔드캡분리/체결 또는 출구포트와의 커넥팅을 수행하는 단계에 의해 동력의 효율화에 기여한다.

또한, 본 발명은 출구포트의 다양하게 적용되는 엔드캡의 형상이 많더라도, 엔드캡툴부에서 엔드캡툴만 교체하면 되기 때문에 보전 측면에서 매우 우수하다.

또한, 본 발명은 엔드캡툴이 실린더커넥터와 병렬로 나란히 있을 때 실린더커넥터보다 앞쪽으로 나와 있지 않고 뒤쪽에 배치되게 캠팔로우부가 더 포함됨으로써, 가스 실린더의 투입 시 또는 실린더커넥터의 수리 시 간섭이 일어날 우려가 없다.

또한, 본 발명은 실린더커넥터플러그부재와 가스켓투입/투출부재가 일측판에 서로 겹쳐 작동되게 동시에 설치되어, 실린더커넥터, 실린더커넥터플러그, 가스켓 그립퍼가 같은 선상에서 동작 가능하고, 콤팩트화를 구현한다.

도 1은 본 발명에 따른 고압가스통의 가스자동공급장치를 도시한 외관도.
도 2는 고압가스통에 얼라인지그가 파지된 상태도.
도 3은 가스자동공급모듈이 고압가스통에 장착되어 있는 상태도.
도 4는 고압가스통에 얼라인지그가 파지과정을 나타내는 단계도.
도 5는 도 1의 가스자동공급모듈이 호이스트모듈에 매달린 저면 사시도.
도 6은 도 2의 호이스트모듈을 도시한 저면도.
도 7은 가스자동공급모듈의 엔드캡부재와 실린더커넥터부재 배치도.
도 8은 가스자동공급모듈의 엔드캡부재 사시도.
도 9는 가스자동공급모듈의 엔드캡부재가 전진한 사시도.
도 10은 실린더커넥터부재상에 엔드캡부재가 결합되어 있는 사시도.
도 11은 실린더커넥터부재와 엔드캡부재가 배열된 정면도.
도 12는 실린더커넥터부재상에 엔드캡부재가 결합되어 있는 사시도.
도 13은 엔드캡부재가 엔드캡에 장입된 상태를 도시하는 사시도.
도 14는 엔드캡부재가 엔드캡을 분리한 상태를 도시하는 사시도.
도 15는 엔드캡을 클램핑한 엔드캡부재가 원위치로 복귀한 상태를 도시하는 사시도.
도 16은 실린더커넥터를 실린더커넥터플러그가 차단되어 있는 상태도.
도 17은 실린더커넥터를 실린더커넥터플러그가 해제되어 있는 상태도.
도 18은 가스켓투입/투출부재와 가스켓공급부재 사시도.
도 19는 가스켓핑거그립퍼가 전진 및 가스켓을 척킹하는 상태도.
도 20은 가스켓핑거그립퍼가 후진 및 180도 회전된 상태도.
도 21은 가스켓핑거그립퍼가 전진해서 실린더커넥터 투입 및 언 척킹하는 상태도.
도 23은 실린더커넥터가 출구포트에 커넥팅 된 상태도.
도 24는 실린더커넥터가 출구포트로부터 분리된 상태도.
도 25는 밸브셔터부재 배면도.
도 26은 밸브셔터부재와 얼라인지그가 체결직전 상태도.
도 27는 케비넷 상에서의 고압가스통 체결 단계를 나타내는 플로우 챠트도.
도 28은 케비넷 상에서의 고압가스통 제거 단계를 나타내는 플로우 챠트도.
도 29는 고압가스통에 얼라인지그가 파지과정을 나타내는 단계도.
도 30은 종래 가스자동공급모듈을 도시한 사시도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 고압가스통의 가스자동공급장치를 도시한 외관도이고, 도 2는 고압가스통에 얼라인지그가 파지된 상태도이고, 도 3은 가스자동공급모듈이 고압가스통에 장착되어 있는 상태도이고, 도 4는 고압가스통에 얼라인지그가 파지과정을 나타내는 단계도이고, 도 5는 도 1의 가스자동공급모듈이 호이스트모듈에 매달린 저면 사시도이고, 도 6은 도 2의 호이스트모듈을 도시한 저면도이고, 도 7은 가스자동공급모듈의 엔드캡부재와 실린더커넥터부재 배치도이고, 도 8은 가스자동공급모듈의 엔드캡부재 사시도이고, 도 9는 가스자동공급모듈의 엔드캡부재가 전진한 사시도이고, 도 10은 실린더커넥터부재상에 엔드캡부재가 결합되어 있는 사시도이고, 도 11은 실린더커넥터부재와 엔드캡부재가 배열된 정면도이고, 도 12는 실린더커넥터부재상에 엔드캡부재가 결합되어 있는 사시도이고, 도 13은 엔드캡부재가 엔드캡에 장입된 상태를 도시하는 사시도이고, 도 14는 엔드캡부재가 엔드캡을 분리한 상태를 도시하는 사시도이고, 도 15는 엔드캡을 클램핑한 엔드캡부재가 원위치로 복귀한 상태를 도시하는 사시도이고, 도 16은 실린더커넥터를 실린더커넥터플러그가 차단되어 있는 상태도이고, 도 17은 실린더커넥터를 실린더커넥터플러그가 해제되어 있는 상태도이고, 도 18은 가스켓투입/투출부재와 가스켓공급부재 사시도이고, 도 19는 가스켓핑거그립퍼가 전진 및 가스켓을 척킹하는 상태도이고, 도 20은 가스켓핑거그립퍼가 후진 및 180도 회전된 상태도이고, 도 21은 가스켓핑거그립퍼가 전진해서 실린더커넥터 투입 및 언 척킹하는 상태도이고, 도 23은 실린더커넥터가 출구포트에 커넥팅 된 상태도이고, 도 24는 실린더커넥터가 출구포트로부터 분리된 상태도이고, 도 25는 밸브셔터부재 배면도이고, 도 26은 밸브셔터부재와 얼라인지그가 체결직전 상태도이고, 도 27는 케비넷 상에서의 고압가스통 체결 단계를 나타내는 플로우 챠트도이고, 도 28은 케비넷 상에서의 고압가스통 제거 단계를 나타내는 플로우 챠트도이고, 도 29는 고압가스통에 얼라인지그가 파지과정을 나타내는 단계도이고, 도 30은 종래 가스자동공급모듈을 도시한 사시도로 도시되어 있다.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

먼저 본 발명에서의 캐비닛 규격은 가로*세로*높이방향을 x축(좌우), y축(전후), z축(상하)방향이라 정이하며, 실린더의 피스톤이 전진한다는 것은 작업할 위치로 접근하는 것을, 실린더의 피스톤이 후진한다는 것은 처음 위치로 복귀(후퇴)하는 것을 의미한다.

본 발명에서의 구체적인 기술적 구성으로는 아래와 같이 특정 한다.

먼저, 본 발명은 한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 체결하는 방법에 있어서, 상기 고압가스통(1)(2)를 케비넷(100)에 장입하기 전에 얼라인 지그(9a)를 고압가스통(1)에 장착하는 제1 단계;, 상기 얼라인 지그(9)가 장착된 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100)에 장입시키고, 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제1, 2 고압가스통(1)(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9)에 도킹하는 제2 단계;, 상기 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)을 작동시켜 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 제3 단계;, 상기 캐비넷(100) 도어를 닫은 후 제어부에 로딩 완료 버튼을 클릭하는 제4 단계;, 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입 방지하게 하는 실린더커넥터플러그(610a)를 해제하는 제5 단계;, 상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)가 고압가스통(1) 출구포트(5)의 체결위치 방향으로 이동하는 제6 단계;, 엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)와 병렬된 상태의 분리구조를 가지되, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키면 상기 엔드캡툴(410a)가 엔드캡(8)에 삽입되고, 상기 엔드캡툴(410a)가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하여 상기 엔드캡(8)을 홀딩한 상태로 복귀하는 제 7 단계:, 상기 실린더커넥터(510a)는 상기 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)로부터 가스켓을 투입받는 제8 단계;, 가스켓 삽입된 상기 실린더커넥터(510a)는 고압가스통 출구포트(5) 방향으로 이동하여 상기 고압가스통 출구포트(5)상에 체결하는 제9 단계;, 상기 고압가스통 출구포트(5)에 상기 실린더커넥터(510a)가 체결, 고정되면, 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 개방시키고, 제어부에 의해 고압가스통(1)의 가스는 출구포트(5)와 체결된 실린더커넥터(510a)의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하고, 제2 고압가스통(2)은 가스공급을 대기하는 제10 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 상기 고압가스통(1)(2)를 케비넷(100)에 장입하기 전에 얼라인 지그(9a)를 고압가스통(1)에 장착하는 제1 단계에서 상기 고압가스통(1)(2)을 얼라인 하도록 하는 얼라인 지그(9a)를 삽입하는 단계는 상기 고압가스통(1)(2)의 높이와 측면을 맞추어 기준블록(94a)으로 밀착시키는 단계, 슬라이더(95a)를 밀어 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 결합하는 단계, 상기 결합된 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 슬라이드고정락(96a)에 의해 고정시키는 단계, 상기 슬라이드고정락(96a) 아래에 위치한 잠금밸브(98a)을 돌려 움직이지 않도록 측면을 파지 및 고정되게 하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 상기 얼라인 지그(9)가 장착된 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100)에 장입시키고, 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제1, 2 고압가스통(1)(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9)에 도킹하는 제2 단계에서 호이스트모듈(200a)에는 상기 캐비넷(100)의 상부에 4줄 와이어 형태의 호이스트가 구비되는 단계, 상기 와이어 4줄은 각각 길이 조절이 가능하여 수평조절을 가능하게 하는 단계, 와이어에 의하여 전/후/좌/우/회전이 자유롭게 이동이 가능하도록 하는 단계, 상기 호이스트는 1개의 공압실린더에 자동 또는 수동으로 승하강 유지가 가능하도록 작동이 이루어지는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 상기한 제2 단계에서 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)은 얼라인 지그(9a)의 상면결합부재(93a)에 형성된 공압핀(931a)에 의해 장착되고 얼라인공압척버튼(940a)에 의해 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 상기 제3 단계인 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)은 얼라인 지그(9a)의 상면결합부재(93a)에 형성된 공압핀(931a)에 의해 장착되고 얼라인공압척버튼(940a)에 의해 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 단계에서 상기 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)은 상기 얼라인 지그(9a)의 상면결합부재(93a)에 형성된 공압핀(931a)을 안정되게 고정하도록 상면결합부재(93a)에 가이드핀(932a)이 형성하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입 방지하게 하는 실린더커넥터플러그(610a)를 해제하는 제5 단계에서 상기 실린더커넥터플러그(610a)는 상기 실린더커넥터(510a)가 풀리는 방향으로 회전할 때, 제4액추에이터(630a)의 무부하 상태에서 풀리는 방향으로 뒤로 밀리다가 풀림이 끝나면, 상기 실린더커넥터(510a)의 회전을 정지하고 제4액추에이터(630a)가 실린더커넥터플러그(610a)를 후진시켜 감지센서에 의해 해제를 확인하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 제7 단계에서의 상기 엔드캡(8)의 홀딩은 엔드캡툴(410a)의 볼 플런저에 의해 행해지는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 상기 제8 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)를 전진시켜 가스켓척킹부로 공급된 가스켓에 접근하고, 제5액추에이터(720a)에 의해 서로 접근해서 가스켓의 양측을 척킹하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 제8 단계에서 상기 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)의 후진 및 제7액추에이터(740a)에 의해 180°회전시켜 척킹한 가스켓을 실린더커넥터(510a)쪽에 마주하게 하고, 제6액추에이터(730a)의 전진으로 가스켓은 실린더커넥터(510a)의 내부에 투입되고, 제5액추에이터(720a)의 후퇴로 언 척킹후 제6액추에이터(730a)에 의해 후진되면 투입이 완료되고, 가스켓의 투입이 완료되면 가스켓투입/투출부재(700a)에 의해 위치로 복귀하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통을 체결하는 방법의 제9 단계에서 가스켓(G)이 삽입된 실린더커넥터(510a)는 제3액추에이터(550a)에 의해 실린더커넥터부재(500a)를 좌측으로 이동시켜, 상기 실린더커넥터(510a)의 중심이 출구포트(5)의 중심에 맞추어 정지하고, 그 다음 제2액추에이터(570a)로 실린더커넥터부재(500a)를 전진시키면 실린더커넥터(510a)가 출구포트(5)에 닿게 되며, 실린더커넥터(510a)를 체결되는 방향으로 회전하여 체결이 진행되면 제2액추에이터(570a)는 무부하 상태로 변경되고 설정된 토크에 의해 커넥팅이 완료되면 정지하는 단계인 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명은 한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 제거하는 방법에 있어서, 상기 제1 고압가스통(1)으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통(1)의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통(1)으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통(1)에서 가스 공급라인으로 가스를 공급하는 제1 단계와;, 상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 역 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 차단후 교체알람을 발생하는 제2 단계;, 상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)가 차단되면, 실린더커넥터부재(500a)상의 실린더커넥터(510a)를 회전시켜 출구포트(5)가 분리되면 제2액추에이터(570a)가 무부하 상태에서 후진으로 변경되어 대기 위치로 가는 제3 단계;, 상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)에 의해 가스켓을 제거하는 제4 단계;, 엔드캡툴부재(400a)상의 엔드캡툴(410a)은 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키면 상기 엔드캡툴(410a)에 장착된 엔드캡을 고압가스통(1)의 출구포트에 체결하여 가스를 차단한 후 상기 엔드캡툴부재(400a)의 엔드캡툴(410a)을 후진하여 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치로 복귀하는 제5 단계;, 상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지하기 위해 상기 실린더커넥터플러그(610a)를 체결하는 제6 단계;, 상기 캐비넷(100)의 도어(110)를 열고 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 고압가스통(1)을 해제하는 제7 단계;, 상기 고압가스통(1)에 장착된 얼라인 지그(9)로부터 도킹된 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 상승시켜 제1 고압가스통(1)과 분리하고, 상기 고압가스통(1)을 캐비넷(100)으로부터 분리하는 제8 단계;, 제1 고압가스통(1)을 제거한 다음 제3 고압가스통(1)에 얼라인 지그(9a)를 결합 후 캐비닛(100)에 투입하여 상기 캐비닛(100)의 상기 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제3 고압가스통(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9a)에 결합시킨 후 캐비닛(100)의 도어(110)를 닫는 제9 단계와;, 상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지를 위해 체결되어 있는 실린더커넥터플러그(610a)를 해체하고, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)의 구동과 감속에 의해 엔드캡(8)을 분리한 후 엔드캡툴부재(400a)는 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치하며, 가스켓공급부재(800a)에서 가스켓투입/투출부재(700a)가 가스켓을 척킹하여 실런더커넥터부재(500a)에 장입시키고, 가스켓이 장입된 상기 실린더커넥터부재(500a)가 제3 고압가스통(1)의 출구포트(5)에 연결하는 제10 단계와;, 상기 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910)에 의해 제3 고압가스통(3)의 밸브(3)를 열어 대기하는 제11 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통의 제거방법에서의 상기 제3 단계에서 출구포트(5)로부터 분리된 실린더커넥터(510a)는 우측으로 이동하여 실린더커넥터플러그(610a)와 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)가 있는 위치로 복귀하는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통의 제거방법에서의 상기 제4 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)가 실린더커넥터(510a)와 마주하는 위치로 와서, 기 사용한 가스켓을 척킹하고 후진하면 투출되고, 180°위치로 회전시켜 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)를 언척킹하면 기 사용한 가스켓은 가스켓수거통(850a)에 떨어지면 수거가 완료되는 단계인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 고압가스통의 제거방법에서 상기 제5 단계에서 기 사용한 가스켓의 투출이 완료되면, 엔드캡툴부재(400a)를 전진 및 회전시켜 홀딩된 엔드캡(8)을 출구포트(5)에 체결을 완료한 후 후진시키면 엔드캡(8)의 체결을 완료되는 단계인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 발명의 구체적인 구성의 작동관계에 대해 설명하기로 한다.

먼저 본 발명의 고압가스통의 고압가스통을 체결 및 해제하는 방법을 설명하기 이전에 본 발명의 고압가스통의 고압가스통을 체결 및 해제하는 방법에서 작동되는 기술구성을 간단히 설명하기로 한다.

본 발명에서 작동되는 기술구성으로 도 1에서와 같이, 전면에 도어가 달린 박스 형상 구조인 캐비넷(100)이 있고, 캐비넷(100)의 바닥에는 로드 셀(미도시)이 설치되고, 상기 로드 셀(미도시) 위에 고압가스통(1)가 놓이게 된다.

도 2 내지 도 4에서는 얼라인 지그(9a)와 상기 얼라인 지그(9a)를 장착하는 단계가 도시되어 있는데, 상기 얼라인 지그(9a)는 고압가스통 밸브(1)(2)에 체결하고, 밸브셔터부재(900a) 상의 밸브셔터(910a)와 결합하기 위한 수단으로 상기 밸브와 체결되도록 오른쪽파지블록(91a), 왼쪽파지블록(92a) 및 상면결합부재(93a)로 결합되어 있으며, 상기 상면결합부재(93a)에는 상기 밸브셔터(910a)과 체결, 작동할 수 있도록 공압척 핀(931a)과 얼라인 가이드핀(932a)이 형성되어 있고, 상기 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92a)은 슬라이드(95a)로 연결되어 있으며, 고압가스통의 높이 및 측면을 밀착하여 맞출 수 있도록 기준블록(94a)과, 가스를 라인으로 공급하기 위한 가스배출구 얼라인블록(97a)이 형성되어 있고, 가스통의 높이와 측면이 밀착되면 슬라이드 슬라이드고정락(96a)에 의해 고정시키는 잠금밸브(98a)로 구성된다.

또한, 도 5와 도 6에서는 호이스트모듈(200a)구성으로, 호이스트모듈(200a)은 상부에 천장(110a), 좌우에 있는 가스자동공급모듈(300a)이 각각 매달리는 프레임(110b)(110c)이 설치되어 있다. 또한, 상기 프레임(110b)(110c)은 한 쌍으로 이루어지며, 좌우에 설치되는 한 쌍의 호이스트모듈(200a)이 설치되어, 하나의 가스자동공급모듈(300a)의 좌우를 매달아 지지하고 있다. 상기 한 쌍의 호이스트모듈(200a)은 상기 캐비넷(100)의 상부에 4열 와이어 형태의 호이스트가 구비되고, 각 와이어는 수평조절 가능하며, 와이어 특성에 의하여 전/후/좌/우/회전이 가능하도록 구비되어 공압 실린더에 의해 승하강 가능하도록 구성되어 있다. 상기 한 쌍의 호이스트모듈(200a) 각각은 한 개의 공압 실린더(111a)와, 일단은 공압실린더(111a)에 고정되고 타단은 가스자동공급모듈(300a)의 좌측에 고정되는 4열 와이어와(220a)와, 상기 천장(110a)에는 x방향으로 상기 와이어(220a)가 걸리는 수평 도르래(230a)와 수직 도르래(240a)를 포함한다. 상기 공압실린더(111a)에는 y 방향 상하 길이방향으로 배치 설치되는 공압실린더(111a)의 상하 길이방향으로 가이드 하는 가이드레일 가이드부(115a)를 포함한다. 상기 공압실린더(111a)내에 작동하는 피스톤(115a) 끝단부에는 4열 와이어의 길이에 따라 조절에 가능한 조절부(117a)가 부착되어 있다. 상기 호이스트모듈(200a)에 연결된 와이어(220a)를 통해 가스자동공급모듈(300a)이 매달려 있기 때문에 어느 방향으로든 움직임이 가능하여, 캐비넷(100) 내에 놓인 고압가스통(1)의 헤드에 설치되는 얼라인 지그(9)에 가스자동공급모듈(300a)을 내려서 결합시키기가 매우 용이하다.

또한, 도 7 내지 도 15에서는 가스자동공급모듈(300a)가 도시되어 있는데, 상기 가스자동공급모듈(300a)은 출구포트(5)에 실린더커넥터(510a)가 체결/해제되는 실린더커넥터부재(500a)와, 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에 실린더커넥터플러그(610a)를 체결/해제되는 실린더커넥터플러그부재(600a)와, 실린더커넥터(510a)에 가스켓(G)을 투입/투출하는 가스켓투입/투출부재(700a)와, 가스켓투입/투출부재(700a)에 가스켓(G)을 공급하는 가스켓공급부재(800a)와, 사용된 가스켓(G)을 수납하는 가스켓수납부재(849a)와, 고압가스통(1)의 밸브(3)를 오픈/클로즈시키는 밸브셔터부재(900a)를 포함한다.

또한, 가스자동공급모듈(300a)에는 고압가스통(1)의 출구포트(5)의 엔드캡(8)을 분리/체결시키는 엔드캡툴부(400a)가 더 설치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 가스자동공급모듈(300a)은 전면에서 볼 때 반시계방향으로 90°회전시켜 앤드캡툴부재(400a)/실린더커넥터부재(500a)와, 가스켓공급부재(800a)가 좌우에 배치되고, 실린더커넥터플러그부재(600a)와 가스켓투입/투출부재(700a)가 배면에 배치되어 있으며, 실린더커넥터부재(500a)와 엔드캡투부재(400a)가 감속기(533a)에 복합으로 동작되지만 감속기(533a)와 엔드캡툴부재(400a)를 개별 유닛으로 구성되어 작동된다.

또한, 실린더커넥터부재(500a)는 지지판(501a)에 의해 프레임(310a)의 상면 측에 지지되어 있다. 실린더커넥터부재(500a)는 출구포트(5)에 커넥팅 되는 실린더커넥터(510a)와, 실린더커넥터(510a)에 회전동력을 전달하는 제1액추에이터(530a)와, 실린더커넥터(510a)를 출구포트(5)와 일렬(직렬) 또는 나란히(병렬) 배치되게 출구포트(5)와 실린더커넥터플러그(610a) 사이인 전후(y)로 직선 이송하는 제2액추에이터(570a)와, 실린더커넥터(510a)를 출구포트(5)에 대해 접근/후퇴되게 좌우(x)로 직선 이송하는 제3액추에이터(550a)을 포함한다. 실질적으로 실린더커넥터부재(500a)의 전후(y)와 좌우(x) 이송은 실린더커넥터(510a)를 포함하는 제1액추에이터(530a)가 행하는 것이다. 또한, 출구포트(5)와 나란히 배치되는 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그부재(600a)/가스켓투입과투출부재(700a)와 마주하는 위치이다.

또한, 엔드캡툴부재(400a)는 도 7 ~도 15에 도시한 바와 같이, 실린더커넥터(510a)와 나란히 병렬로 배치되는 엔드캡툴(410a)과, 실린더커넥터(510a)의 회전동력을 엔드캡툴(410a)에 전달하는 회전동력전달부(430a)와, 엔드캡툴(410a)을 실린더커넥터(510a)와 병렬/직렬로 배치되게 전후 이송시키는 앤드캡툴용 액추에이터(1450a)와, 실린더커넥터(510a)와 함께 전진된 엔드캡툴(410a)을 복귀시키는 복귀액추에이터(470a)를 포함한다. 엔드캡툴(410a)은 중공형상으로서, 엔드캡(8)에 끼워지는 엔드캡용 툴(1410a)과, 실린더커넥터(510a)의 회전동력을 전달받는 실린더커넥터용 툴(2410a)을 포함한다. 엔드캡용 툴(1410a)의 내주면에는 안쪽으로 돌출한 돌기가 소정 간격마다 설치되어 있는 구성이다.

엔드캡툴용 액추에이터(450a)는 프레임(310a)에 설치되는 받침판(350a)에 설치되는 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)와, 엔드캡툴(410a)을 지지한 채 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)에 설치되는 엔드캡툴용 브라켓(2450a)과, 받침판(350a)의 상면과 엔드캡툴용 브라켓(2450a)의 하면에 사이에 설치되는 제1엔드캡툴용 LM가이드(3450a)를 포함한다. 제1엔드캡툴용 LM가이드(3450a)는 받침판(350a)에 설치되는 제1가이드레일(3451a)과, 엔드캡툴용 브라켓(2450a)에 설치되는 제1가이드레일홈블록(3453a)의 결합으로 이루어진다. 또한, 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)는 받침판(350a)의 상면에 설치되는 엔드캡툴용 에어 실린더(1451a)와, 엔드캡툴용 브라켓(2450a)에 설치되는 피스톤(1453a)으로 이루어진다. 또한, 엔드캡툴용 지지브라켓(2450a)은 전체적으로 L자 형상으로서, 복귀에추에이터(470a)가 설치되는 판 형상의 엔드캡툴용 블록(2451a)과, 엔드캡툴용 블록(2451a)의 전방에 배치 설치되는 L자형 엔드캡툴용 브라켓(2453a)을 포함한다.

이러한 구성에 의하면, 엔드캡툴(410a)이 항상 실린더커넥터(510a)보다 앞쪽에 위치하고 있는 배치이기 때문에, 가스 실린더의 투입 시나 실린더커넥터(510a)의 수리 시 간섭이 일어날 우려가 있다.

그 이유로 인해 엔드캡툴(410a)이 실린더커넥터(510a)와 병렬로 나란히 있을 때 실린더커넥터(510a) 보다 앞쪽으로 나와 있지 않게 캠팔로우부(490a)가 더 포함된다.

또한, 실린더커넥터플러그부재(600a)는 도 16, 도 17에서 고압가스통(1)가 캐비넷(100)에 놓이기 전이라도 실린더커넥터부재(500a)의 배관(511)의 오염 및 가스 공급 배관의 가스 잔여물이 외부로 퍼지는 현상을 막기 위한 기능성 부재이며, 가스자동공급모듈(300a)이 얼라인 지그(9a)에 결합된 후에도 실린더커넥터부재(500a)의 동작 없이 대기 위치에서 실린더커넥터플러그(610a)가 실린더커넥터(510a)를 개폐하는데 그 특징이 있다. 상기 실린더커넥터플러그부재(600a)는 실린더커넥터(510a)에 체결/분리되는 실린더커넥터플러그(610a)와, 실린더커넥터플러그(610a)를 실린더커넥터(510a)에 대해 y방향으로 전후진시키는 제4액추에이터(630a)를 포함한다. 상기 실린더커넥터플러그(610a)는 수나사 형태의 원통형으로 실린더커넥터(510a)의 회전에 의해 체결/분리된다. 또한, 실린더커넥터플러그(610a)의 중심은 실린더커넥터(510a)의 y축 회전중심과 일치되는 방향으로 배치되게 우측판(313)의 내측에 배향되어 있다.

또한, 가스켓투입/투출부재(700a)는 도 16 내지 도 20에서 도시되어 있는 바와 같이, 실린더커넥터(510a)가 출구포트(5)에 체결되기 전에 가스켓(G)을 투입시키고, 실린더커넥터(510a)가 출구포트(5)로부터 분리되면 투입된 가스켓(G)을 꺼내 투출하는 기능을 수행한다. 상기 가스켓투입/투출부재(700a)는 실린더커넥터플러그부재(600a)와 마찬가지로 우측판의 내측에 배치 설치되어 있다.

가스켓투입/투출부재(700a)는 공급되는 새 가스켓(G)의 양측을 척킹하는 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)와, 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)를 x축방향을 따라 서로 접근/후퇴시키는 제5액추에이터(720)와, 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)를 y축방향을 따라 전후진시키는 제6액추에이터(730a)와, 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)를 x축을 중심으로 실린더커넥터(510a) 쪽으로 180도 회전시키는 제7액추에이터(740a)를 포함한다.

또한, 가스켓공급부재(800a)는 도 16에 도시한 바와 같이, 가스켓공급부(810a)와, 가스켓공급부(810a)로부터 공급된 가스켓(G)을 차지(charge) 및 척킹하는 가스켓차지부(820a)와 가스켓척킹부, 가스켓차지부(820a)의 가스켓(G)을 가스켓척킹부로 리프팅(업)시키는 제8액추에이터(840a)를 포함한다.

또한, 밸브셔터부재(900a)는 도 23에서 도시되어 있는 바와 같이, 고압가스통(1)의 밸브(3)를 작업자 없이 자동으로 열고 닫게 하여 인체 유해 가스의 누출로 인한 흡입사고를 사전 차단하기 위한 구성으로 밸브셔터부재(900a)는 프레임(310a) 중심 보다 상세히는 프레임(310a)의 내부에 설치되는 내부 프레임(317a)에 수직하게 설치되어 있다. 밸브셔터부재(900a)는 밸브셔터(910a)와, 밸브셔터(910a)를 회전시키는 제9액추에이터(미도시)를 포함한다. 제9액추에이터(미도시)도 밸브셔터(910a)에 결합되는 감속기와, 상기 감속기에 회전동력을 전달하는 에어 모터로 구현되고, 밸브셔터(910a)는 고압가스통(1)의 밸브(3) 외주면을 감싸 열고 닫는 구성이다.

이상과 같이 본 발명에서 물건의 방법에 있어 그 대상이 되는 물건의 구성을 설명하였는데 이를 기초로 하여 본 발명의 고압가스통의 고압가스통을 체결 및 해제하는 방법에 대한 작동관계를 설명하기로 한다.

한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 체결작동하는 방법은 아래와 같다.

상기 고압가스통(1)(2)를 케비넷(100)에 장입하기 전에 얼라인 지그(9a)를 고압가스통(1)에 장착한다(제1 단계).

상기 1단계에서 보다 구체적인 작동단계를 보면, 상기 고압가스통(1)(2)을 얼라인 하도록 하는 얼라인 지그(9a)를 삽입하는 단계는 상기 고압가스통(1)(2)의 높이와 측면을 맞추어 기준블록(94a)으로 밀착시키는 단계, 슬라이더(95a)를 밀어 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 결합하는 단계, 상기 결합된 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 슬라이드고정락(96a)에 의해 고정시키는 단계, 상기 슬라이드고정락(96a) 아래에 위치한 잠금밸브(98a)을 돌려 움직이지 않도록 측면을 파지 및 고정되게 하는 시계열적 단계를 갖는다.

상기 얼라인 지그(9)가 장착된 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100)에 장입시키고, 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제1, 2 고압가스통(1)(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9a)에 도킹한다(제2 단계).

상기 제2 단계에서 이루어지는 구체적인 작동단계를 보면, 호이스트모듈(200a)에는 상기 캐비닛(100)의 상부에 4줄 와이어 형태의 호이스트가 구비되는 단계, 상기 와이어 4줄은 각각 길이 조절이 가능하여 수평조절을 가능하게 하는 단계, 와이어에 의하여 전/후/좌/우/회전이 자유롭게 이동이 가능하도록 하는 단계, 상기 호이스트는 1개의 공압실린더에 자동 또는 수동으로 승하강 유지가 가능하도록 작동이 이루어지는 시계열적 단계를 갖는다.

상기 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정한다(제3 단계). 상기 제3 단계에서 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)은 얼라인 지그(9a)의 상면결합부재(93a)에 형성된 공압핀(931a)에 의해 장착되고 얼라인공압척버튼(940a)에 의해 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 단계를 갖는다.

상기 캐비넷(100) 도어를 닫은 후 제어부에 로딩 완료 버튼을 클릭한다(제4 단계).

실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입 방지하게 하는 실린더커넥터플러그(610a)를 해제한다(제5 단계). 상기 제5 단계에서 상기 실린더커넥터플러그(610a)는 상기 실린더커넥터(510a)가 풀리는 방향으로 회전할 때, 제4액추에이터(630a)의 무부하 상태에서 풀리는 방향으로 뒤로 밀리다가 풀림이 끝나면, 상기 실린더커넥터(510a)의 회전을 정지하고 제4액추에이터(630a)가 실린더커넥터플러그(610a)를 후진시켜 감지센서에 의해 해제를 확인하는 단계를 갖는다.

상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)가 고압가스통(1) 출구포트(5)의 체결위치 방향으로 이동한다(제6 단계).

엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)와 병렬된 상태의 분리구조를 가지되, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a)상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키면 상기 엔드캡툴(410a)가 엔드캡에 삽입되고, 상기 엔드캡툴(410a)가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하여 엔드캡(8)을 홀딩한 상태로 복귀한다(제 7 단계). 상기 제7 단계에서의 엔드캡(8)의 홀딩은 엔드캡툴(410)의 자성에 의해 행해지는 단계를 갖는다.

상기 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)로부터 가스켓을 투입 받는다(제8 단계). 상기 상기 제8 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)를 전진시켜 가스켓척킹부(830a)로 공급된 가스켓에 접근하고, 제5액추에이터(720a)에 의해 서로 접근해서 가스켓의 양측을 척킹하는 단계를 갖는다.

또한, 상기 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)의 후진 및 제7액추에이터(740a)에 의해 180도 회전시켜 척킹한 가스켓을 실린더커넥터(510a)쪽에 마주하게 하고, 제6액추에이터(730a)의 전진으로 가스켓은 실린더커넥터(510a)의 내부에 투입되고, 제5액추에이터(720a)의 후퇴로 언 척킹 및 후진되면 투입이 완료되고, 가스켓의 투입이 완료되면 가스켓투입/투출부재(700a)에 의해 위치로 복귀하는 단계를 갖는다.

가스켓 삽입된 상기 실린더커넥터(510a)는 고압가스통 출구포트(5) 방향으로로 이동하여 고압가스통 출구포트(5)상에 체결한다(제9 단계). 특히 상기 가스켓(G)이 삽입된 실린더커넥터(510a)는 제3액추에이터(550a)에 의해 실린더커넥터부재(500a)를 좌측으로 이동시켜, 상기 실린더커넥터(510a)의 중심이 출구포트(5)의 중심에 맞추어 정지하고, 그 다음 제2액추에이터(570a)로 실린더커넥터부재(500a)를 전진시키면 실린더커넥터(510a)가 출구포트(5)에 닿게 되며, 실린더커넥터(510a)를 체결되는 방향으로 회전하여 커넥팅이 완료되면 정지하는 단계를 갖는다.

상기 출구포트(5)에 실린더커넥터(510a)가 체결, 고정되면, 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 개방시키고, 제어부에의해 고압가스통(1)의 가스는 출구포트(5)와 체결된 실린더커넥터(510a)의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하고, 제2 고압가스통(2)은 가스공급을 대기한다(제10 단계).

한편, 한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 제거하는 방법은 아래와 같다.

먼저, 한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 제거하는 방법에 있어서, 상기 제1 고압가스통(1)으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통(1)의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통(1)으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통(1)에서 가스 공급라인으로 가스를 공급한다(제1 단계).

상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 역 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 차단한후 교체알람을 발생시킨다(제2 단계).

상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)가 차단되면, 실린더커넥터부재(500a)상의 실린더커넥터(510a)를 회전 및 후진시켜 출구포트(5)로부터 분리한다(제3 단계). 상기 제3 단계에서 출구포트(5)로부터 분리된 실린더커넥터(510a)는 우측으로 이동하여 실린더커넥터플러그(610a)와 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)가 있는 위치로 복귀하는 단계를 갖는다.

상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)에 의해 가스켓을 제거한다(제4 단계). 상기 제4 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)가 실린더커넥터(510a)와 마주하는 위치로 와서, 기 사용한 가스켓을 척킹하고 후진하면 투출되고, 180°위치로 회전시켜 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)를 언척킹하면 기 사용한 가스켓은 가스켓수거통(850a)에 떨어지면 수거가 완료되는 단계를 갖는다.

엔드캡툴부재(400a)상의 엔드캡툴(410a)은 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(570a)를 전진시키며 실린더커넥터(510a)는 회전하여 상기 엔드캡툴(410a)에 장착된 엔드캡(8)을 고압가스통의 출구포트(5)에 체결하여 차단한 후 상기 엔드캡툴부재(400a)의 상기 엔드캡툴(410a)을 후진하여 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치로 복귀한다(제5 단계). 상기 제5 단계에서 기 사용한 가스켓의 투출이 완료되면, 엔드캡툴부재(400a)를 전진 및 회전시켜 홀딩된 엔드캡(8)을 출구포트(5)에 체결을 완료한 후 후진시키면 상기 엔드캡(8)의 체결을 완료되는 단계를 갖는다.

상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지하기 위해 상기 실린더커넥터플러그(610a)를 체결한다(제6 단계).

상기 캐비넷(100)의 도어(110)을 열고 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척을 작동시켜 상기 고압가스통(1)을 해제한다(제7 단계).

상기 고압가스통(1)에 장착된 얼라인 지그(9a)로부터 도킹된 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 상승시켜 제1 고압가스통(1)과 분리하고, 상기 고압가스통(1)을 캐비넷(100)으로부터 분리한다(제8 단계).

제1 고압가스통(1)을 제거한 다음 제3 고압가스통(1)에 얼라인 지그(9)를 결합 후 캐비닛(100)에 투입하여 상기 캐비닛(100)의 상기 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제3 고압가스통(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9)에 결합시킨 후 캐비넷(100)의 도어(110)를 닫는다(제9 단계).

상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지를 위해 체결되어 있는 실린더커넥터플러그(610a)를 해체하고, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)의 구동과 감속에 의해 엔드캡(8)을 분리한 후 엔드캡툴부재(400a)은 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치하며, 상기 가스켓공급부재(800a)에서 가스켓투입/투출부재(700a)가 가스켓을 척킹하여 실런더커넥터부재(500a)에 장입시키고, 가스켓이 장입된 상기 실린더커넥터부재(500a)가 제3 고압가스통(1)의 출구포트(5)에 연결한다(제10 단계).

상기 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910)에 의해 제3 고압가스통(3)의 밸브(3)를 열어 대기한다(제11 단계)

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.

1 : 고압가스통 3 : 밸브
5 : 출구포트 8 : 엔드캡
9a : 얼라인 지그 91a : 오른쪽파지블록
92a : 왼쪽파지블록 93a : 상면결합부재
931a : 공압척 핀 932a : 얼라인 가이드핀
94a : 기준블록 95a : 슬라이드
96a : 슬라이드고정락 97a : 가스배출구 얼라인블록
98a : 잠금밸브
100 : 캐비넷 110a : 천장
110b : 좌측프레임 110c : 우측프레임
111a : 공압실린더 111b : 피스톤
117a : 와이어조절부
200a : 호이스트모듈 220a : 와이어
230a : 수평 도르래 240a : 수직 도르래
300a,300b : 가스자동공급모듈 310a : 프레임
317a : 내부 프레임
400a : 엔드캡툴부재 410a : 엔드캡툴
430a : 회전동력전달부 450a : 엔드캡용 액추에이터
470a : 복귀액추에이터 1490a : 캠팔로우부
500a : 실린더커넥터부재 501a : 커넥터모듈베이스
510a : 실린더커넥터 511a : 배관
512a : 다각형 중공부 518a : 연결편
519a : 플랜지 520a : 그랜드복귀스프링
521a : 스토퍼 580a : 가스켓 & 플러그 유무 감지센서
600a : 실린더커넥터플러그부재 610a : 실린더커넥터플러그
631a : 커넥터플러그실린더
700a : 가스켓투입/투출부재 710a : 가스켓그립퍼
720a : 제5액추에이터 730a : 제6액추에이터
740a : 제7액추에이터
800a : 가스켓공급부재 810a : 가스켓공급부
813a : 상부가스켓 카트리지 814a : 하부가스켓 카트리지
815a : 가스켓스페어감지센서 816a : 가스켓 감지센서
825a : 가스켓모듈베이스 820a : 가스켓차지부
830a : 가스켓척킹부 840a : 제8액추에이터
841a : 제8액추에이터 블록 850a : 고정가스켓수거함
860a : 이동식가스켓수거함
900a : 밸브셔터부재 910a : 밸브셔터
920a : 공압척 930a: 가이드홀
940a : 얼라인공압척버튼 950a : 밸브셔터수동버튼
960a : 실린더커넥터 수동회전버튼

Claims

한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 체결하는 방법에 있어서,
상기 고압가스통(1)(2)를 케비넷(100)에 장입하기 전에 얼라인 지그(9a)를 고압가스통(1)에 장착하는 제1 단계;,
상기 얼라인 지그(9a)가 장착된 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100)에 장입시키고, 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제1, 2 고압가스통(1)(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9a)에 도킹하는 제2 단계;,
상기 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)을 작동시켜 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 제3 단계;,
상기 캐비넷(100) 도어를 닫은 후 제어부에 로딩 완료 버튼을 클릭하는 제4 단계;,
실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)에서 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지하게 하는 실린더커넥터플러그(610a)를 해제하는 제5 단계;,
상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)가 고압가스통(1) 출구포트(5)의 체결위치 방향으로 이동하는 제6 단계;,
엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)와 병렬된 상태의 분리구조를 가지되, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키면 엔드캡툴(410a)이 엔드캡(8)에 삽입되고, 상기 엔드캡툴(410a)가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하여 상기 엔드캡(8)을 홀딩한 상태로 복귀하는 제 7 단계:,
상기 실린더커넥터(510a)는 상기 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)로부터 가스켓을 투입받는 제8 단계;,
가스켓 삽입된 상기 실린더커넥터(510a)는 고압가스통 출구포트(5) 방향으로 이동하여 상기 고압가스통 출구포트(5)상에 체결하는 제9 단계;,
상기 고압가스통 출구포트(5)에 상기 실린더커넥터(510a)가 체결, 고정되면, 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 개방시키고, 제어부에 의해 고압가스통(1)의 가스는 출구포트(5)와 체결된 실린더커넥터(510a)의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하고, 제2 고압가스통(2)은 가스공급을 대기하는 제10 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
상기 1단계에서 상기 고압가스통(1)(2)을 얼라인 하도록 하는 얼라인 지그(9a)를 삽입하는 단계는 상기 고압가스통(1)(2)의 높이와 측면을 맞추어 기준블록(94a)으로 밀착시키는 단계, 슬라이더(95a)를 밀어 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 결합하는 단계, 상기 결합된 오른쪽파지블록(91a)과 왼쪽파지블록(92)을 슬라이드고정락(96a)에 의해 고정시키는 단계, 상기 슬라이드고정락(96a) 아래에 위치한 잠금밸브(98a)을 돌려 움직이지 않도록 측면을 파지 및 고정되게 하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
상기 제2단계에서 호이스트모듈(200a)에는 상기 캐비넷(100)의 상부에 4줄 와이어 형태의 호이스트가 구비되는 단계, 상기 와이어 4줄은 각각 길이 조절이 가능하여 수평조절을 가능하게 하는 단계, 와이어에 의하여 전/후/좌/우/회전이 자유롭게 이동이 가능하도록 하는 단계, 상기 호이스트는 1개의 공압실린더에 자동 또는 수동으로 승하강 유지가 가능하도록 작동이 이루어지는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
상기 제3 단계에서 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)은 얼라인 지그(9a)의 상면결합부재(93a)에 형성된 공압핀(931a)에 의해 장착되고 얼라인공압척버튼(940a)에 의해 상기 고압가스통(1)(2)을 정밀하게 고정하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
제5 단계에서 상기 실린더커넥터플러그(610a)는 상기 실린더커넥터(510a)가 풀리는 방향으로 회전할 때, 제4액추에이터(630a)의 무부하 상태에서 풀리는 방향으로 뒤로 밀리다가 풀림이 끝나면, 상기 실린더커넥터(510a)의 회전을 정지하고 제4액추에이터(630a)가 실린더커넥터플러그(610a)를 후진시켜 감지센서에 의해 해제를 확인하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
제7 단계에서의 상기 엔드캡(8)의 홀딩은 엔드캡툴(410a)의 볼 플런저에 의해 행해지는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
상기 제8 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)를 전진시켜 가스켓척킹부로 공급된 가스켓에 접근하고, 제5액추에이터(720a)에 의해 서로 접근해서 가스켓의 양측을 척킹하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1 또는 청구항 7에 있어서,
상기 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)는 제6액추에이터(730a)의 후진 및 제7액추에이터(740a)에 의해 180도 회전시켜 척킹한 가스켓을 실린더커넥터(510a)쪽에 마주하게 하고, 제6액추에이터(730a)의 전진으로 가스켓은 실린더커넥터(510a)의 내부에 투입되고, 제5액추에이터(720a)의 후퇴로 언 척킹후 제6액추에이터(730a)에 의해 후진되면 투입이 완료되고, 가스켓의 투입이 완료되면 가스켓투입/투출부재(700a)에 의해 위치로 복귀하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
청구항 1에 있어서,
가스켓(G)이 삽입된 실린더커넥터(510a)는 제3액추에이터(550a)에 의해 실린더커넥터부재(500a)를 좌측으로 이동시켜, 상기 실린더커넥터(510a)의 중심이 출구포트(5)의 중심에 맞추어 정지하고, 그 다음 제2액추에이터(570a)로 실린더커넥터부재(500a)를 전진시키면 실린더커넥터(510a)가 출구포트(5)에 닿게 되며, 실린더커넥터(510a)를 체결되는 방향으로 회전하여 체결이 진행되면 제2액추에이터(570a)는 무부하 상태로 변경되고 설정된 토크가 나오면 커넥팅이 완료되면 정지하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 체결방법.
한 쌍의 고압가스통(1)(2)을 캐비넷(100) 안으로 이동하여 고압가스통을 제거하는 방법에 있어서,
상기 제1 고압가스통(1)으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통(1)의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통(1)으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통(1)에서 가스 공급라인으로 가스를 공급하는 제1 단계와;,
상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910a)를 역회전시켜 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)를 차단후 교체알람을 발생하는 제2 단계;,
상기 제1 고압가스통(1)의 밸브(3)가 차단되면, 실린더커넥터부재(500a)상의 실린더커넥터(510a)를 회전시켜 출구포트(5)가 분리되면 제2액추에이터(570a)가 무부하 상태에서 후진으로 변경되어 대기 위치로 가는 제3 단계;,
상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)는 실린더커넥터플러그(610a) 위치로 이동하여 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)에 의해 가스켓을 제거하는 제4 단계;,
엔드캡툴부재(400a)상의 엔드캡툴(410a)은 캠팔로우(2490a)를 따라 이동하여 실린더커넥터부재(500a) 상에 일체로 결합되고, 실린더커넥터부재(500a)상에 구비되어 있는 제 2액추에이터(550a)를 전진시키며 실린더커넥터(510a)는 회전하여 상기 엔드캡툴에 장착된 엔드캡을 고압가스통의 출구포트에 체결하여 차단한 후 상기 엔드캡툴부재(400a)의 엔드캡툴(410a)을 후진하여 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치로 복귀하는 제5 단계;,
상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지하기 위해 상기 실린더커넥터플러그(610a)를 체결하는 제6 단계;,
상기 캐비넷(100)의 도어(110)을 열고 가스자동공급모듈(300a)에 장착된 공압 척(920a)을 작동시켜 상기 고압가스통(1)을 해제하는 제7 단계;,
상기 고압가스통(1)에 장착된 얼라인 지그(9a)로부터 도킹된 호이스트모듈(200a)에 매달려 있는 가스자동공급모듈(300a)을 상승시켜 제1 고압가스통(1)과 분리하고, 상기 고압가스통(1)을 캐비넷(100)으로부터 분리하는 제8 단계;,
상기 제1 고압가스통(1)을 제거한 다음 제3 고압가스통(1)에 얼라인 지그(9a)를 결합 후 캐비넷(100)에 투입하여 상기 캐비넷(100)의 상기 가스자동공급모듈(300a)을 하강시켜 제3 고압가스통(1)의 헤더에 설치된 얼라인 지그(9a)에 결합시킨 후 캐비넷(100)의 도어(110)를 닫는 제9 단계와;,
상기 실린더커넥터부재(500a)의 실린더커넥터(510a)상에 존재하는 잔류가스의 누출 및 이물 투입을 방지를 위해 체결되어 있는 실린더커넥터플러그(610a)를 해체하고, 상기 엔드캡툴부재(400a)는 실린더커넥터부재(500a)의 구동과 감속에 의해 엔드캡(8)을 분리한 후 엔드캡툴부재(400a)는 캠팔로우(2490a)을 따라 원위치하며, 가스켓공급부재(800a)에서 가스켓투입/투출부재(700a)가 가스켓을 척킹하여 실런더커넥터부재(500a)에 장입시키고, 가스켓이 장입된 상기 실린더커넥터부재(500a)가 제3 고압가스통(1)의 출구포트(5)에 연결하는 제10 단계와;,
상기 밸브셔트부재(900a)의 밸브셔터(910)에 의해 제3 고압가스통(3)의 밸브(3)를 열어 대기하는 제11 단계;,가 순차적으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 제거방법.
청구항 10에 있어서,
상기 제3 단계에서 출구포트(5)로부터 분리된 실린더커넥터(510a)는 우측으로 이동하여 실린더커넥터플러그(610a)와 한 쌍의 가스켓그립퍼(710a)가 있는 위치로 복귀하는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 제거방법.
청구항 10에 있어서,
상기 제4 단계에서 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)가 실린더커넥터(510a)와 마주하는 위치로 와서, 기 사용한 가스켓을 척킹하고 후진하여 투출되고, 180°위치로 회전시켜 한 쌍의 가스켓그립퍼(610a)를 언척킹하면 기 사용한 가스켓은 가스켓수거통(850a)에 떨어지면 수거가 완료되는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 제거방법.
청구항 10에 있어서,
상기 제5 단계에서 기 사용한 가스켓의 투출이 완료되면, 엔드캡툴부재(400a)를 전진 및 회전시켜 홀딩된 엔드캡(8)을 출구포트(5)에 체결을 완료한 후 후진시키면 엔드캡(8)의 체결을 완료되는 단계인 것을 특징으로 하는 고압가스통의 제거방법.