KR102353238B1 - 기판들을 위한 홀더 - Google Patents

Abstract

기판을 유지하기 위해 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더가 설명된다. 홀더는 재료 소스 또는 마스크와 대면하도록 배치된 전면부; 재료 소스를 등지도록 배치된 후면부 ― 후면부는 경사진 표면을 갖는 비스듬한 부분을 포함함 ―; 및 전면부와 후면부 사이에 제공된 기판을 수용하기 위한 홈을 포함한다.

Description

기판들을 위한 홀더

[0001] 본 개시내용의 실시예들은 예컨대, 층 증착을 위한 처리 중에 기판을 유지하기 위한 홀더들에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 특히, 진공 층 증착 중에 기판을 유지하기 위해 캐리어들의 캐리어 바디들에 부착되도록 구성된 홀더들에 관한 것이다. 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은 기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더, 하나 이상의 기판들을 유지하기 위한 캐리어, 및 캐리어 바디를 갖는 캐리어에 기판을 고정하기 위한 방법에 관한 것이다.

[0002] 기판 상에 재료를 증착하기 위한 여러 가지 방법들이 공지되어 있다. 예컨대, 기판들은 물리적 기상 증착(PVD: physical vapor deposition) 프로세스, 화학 기상 증착(CVD) 프로세스, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD: plasma enhanced chemical vapor deposition) 프로세스 등에 의해 코팅될 수 있다 통상적으로, 프로세스는 코팅될 기판이 위치된 프로세스 장치 또는 프로세스 챔버에서 수행된다. 장치 내에 증착 재료가 제공된다. 복수의 재료들, 그러나 또한 이들의 산화물들, 질화물들 또는 탄화물들이 기판 상에 증착을 위해 사용될 수 있다. 또한, 에칭, 구조화, 어닐링 등과 같은 다른 처리 작용들이 처리 챔버들에서 수행될 수 있다.

[0003] 코팅된 재료들은 여러 응용들 및 여러 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 응용은 반도체 디바이스들의 생성과 같은 마이크로일렉트로닉스 분야에 있다. 또한, 디스플레이들을 위한 기판들은 흔히 PVD 프로세스에 의해 코팅된다. 추가 응용들은 절연 패널들, 유기 발광 다이오드(OLED: organic light emitting diode) 패널들, TFT를 갖는 기판, 컬러 필터들 등을 포함한다.

[0004] 통상적으로, 유리 기판들이 그 처리 중에 캐리어들 상에 지지될 수 있다. 캐리어는 유리 또는 기판을 지지하고 처리 기계를 통해 구동된다. 즉, 캐리어는 유리 또는 기판을 구동한다. 캐리어들은 통상적으로 프레임 또는 플레이트를 형성하는데, 이러한 프레임 또는 플레이트는 그 주변부를 따라 기판을 지지하거나 플레이트의 경우에는 표면을 그대로 지지한다.

[0005] 캐리어에 기판을 고정하기 위해, 이용 가능한 다른 유지 어레인지먼트(arrangement)들, 예컨대 유리 홀더들이 있다. 예컨대, TFT 응용들에 대한 증가된 입자 요건들로 인해, 입자 생성을 피하는 것이 더욱 중요하게 된다. 캐리어 및 홀더, 예컨대 클램프 상의 측면 증착뿐만 아니라 홀더, 예컨대 유리 클램프 내부에서의 유리 이동은 유리 표면 근처의 주요 입자 생성기들이다.

[0006] 위의 내용을 고려하여, 홀더, 특히 당해 기술분야의 문제점들 중 적어도 일부를 극복하는, 기판을 유지하기 위해 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더를 제공하는 것이 유리하다.

[0007] 위의 내용을 고려하여, 기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더, 캐리어, 및 캐리어에 기판을 고정하기 위한 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가 양상들, 이점들 및 특징들은 종속 청구항들, 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하다.

[0008] 일 실시예에 따르면, 기판을 유지하기 위해 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더가 제공된다. 홀더는 재료 소스 또는 마스크와 대면하도록 배치된 전면부; 재료 소스를 등지도록 배치된 후면부 ― 후면부는 경사진 표면을 갖는 비스듬한 부분(beveled portion)을 포함함 ―; 및 전면부와 후면부 사이에 제공된 기판을 수용하기 위한 홈을 포함한다.

[0009] 다른 양상에 따르면, 적어도 하나의 홀더를 포함하는 캐리어가 제공된다. 적어도 하나의 홀더는 재료 소스 또는 마스크와 대면하도록 배치된 전면부; 재료 소스를 등지도록 배치된 후면부 ― 후면부는 경사진 표면을 갖는 비스듬한 부분을 포함함 ―; 및 전면부와 후면부 사이에 제공된 기판을 수용하기 위한 홈을 포함한다.

[0010] 또 다른 양상에 따르면, 캐리어 바디를 갖는 캐리어에 기판을 고정하기 위한 방법이 제공된다. 이 방법은 캐리어 상에 기판을 로딩하는 단계; 적어도 하나의 홀더를 캐리어 바디에 대해 기판 쪽으로 이동시키는 단계 ― 적어도 하나의 홀더는 비스듬한 부분을 포함함 ―; 및 비스듬한 부분을 갖는 홈의 제1 부분에서 기판을 안내하는 단계를 포함한다.

[0011] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 제공될 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관련되며 다음과 같이 설명된다.
도 1은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르며 적어도 하나의 홀더를 갖는 캐리어들을 예시한다.
도 2는 본 개시내용의 실시예들의 개선들을 예시하기 위한 홀더를 도시한다.
도 3은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 홀더를 예시한다.
도 4a 및 도 4b는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 추가 홀더의 서로 다른 뷰들을 도시한다.
도 5a 및 도 5b는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 추가 홀더의 서로 다른 뷰들을 도시한다.
도 6은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 홀더들을 갖는 캐리어를 도시하며 로봇 암에 의한 로딩을 예시한다.
도 7은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어 바디를 갖는 캐리어에 기판을 고정하기 위한 방법의 흐름도를 예시한다.
도 8은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 증착 챔버의 개략도를 예시한다.

[0012] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들에 대한 상세한 참조가 이루어질 것이며, 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들은 도면들에 예시된다. 도면들의 다음 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개개의 실시예들에 관한 차이점들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되며 본 개시내용의 제한으로 여겨지는 것은 아니다. 또한, 일 실시예의 일부로서 예시되거나 설명되는 특징들은 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용되어 또 추가 실시예를 야기할 수 있다. 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하는 것으로 의도된다.

[0013] 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 홀더를 포함하는 캐리어가 제공된다. 적어도 하나의 홀더는 기판을 유지 또는 클램핑하도록 구성된다. 홀더는 작은 틈, 예를 들어 0.5㎜ 이하, 이를테면 약 0.1㎜의 틈을 갖는 추가 홈 부분 내에 기판을 안내하는 홈의 일부를 형성하는 비스듬한 부분을 포함한다.

[0014] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기판 두께는 0.1 내지 1.8㎜일 수 있으며, 홀더는 이러한 기판 두께에 적응될 수 있다. 이는 기판 두께가 약 0.9㎜ 이하, 이를테면 0.7㎜ 또는 0.5㎜ 또는 0.3㎜일 때 특히 유리할 수 있으며, 홀더들은 이러한 기판 두께들에 구체적으로 적응된다. 홀더들은 또한 더 작은 또는 더 큰 기판 두께에 적응될 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 홀더 또는 적어도 하나의 홀더를 포함하는 캐리어는 특정 유리 두께에 적응될 수 있다. 특정 유리 두께와 비교하여 더 작은 두께를 갖는 유리 기판들은 또한 홀더 또는 홀더를 포함하는 캐리어에 의해 지지될 수 있다.

[0015] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 대면적 기판들은 적어도 0.174㎡의 크기를 가질 수 있다. 그 크기는 약 1.375㎡ 내지 약 10㎡, 보다 통상적으로는 약 2㎡ 내지 약 11㎡ 또는 심지어 최대 12㎡일 수 있다. 통상적으로, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 마스크 구조들, 장치들 및 방법들이 제공되는 직사각형 기판들은 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 대면적 기판들이다. 예컨대, 대면적 기판은 약 1.4㎡ 기판들(1.1m × 1.3m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.39㎡ 기판들(1.95m × 2.25m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.5㎡ 기판들(2.2m × 2.5m)에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어 약 8.7㎡ 기판들(2.85m × 3.05m)에 대응하는 GEN 10일 수 있다. 훨씬 더 큰 세대들, 이를테면 GEN 11 및 GEN 12 그리고 대응하는 기판 면적들도 유사하게 구현될 수 있다. 그러나 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 홀더들이 임의의 기판 크기, 즉 심지어 위에서 개요가 설명된 것보다 더 작은 또는 더 큰 기판 크기에 사용될 수 있다고 이해할 수 있다.

[0016] 통상적으로, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 만들어질 수 있다. 예컨대, 기판은 유리(예컨대, 소다 석회 유리, 붕규산 유리 등), 금속, 중합체, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들, 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 결합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 만들어질 수 있다.

[0017] 도 1은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르며 적어도 하나의 홀더(200)를 갖는 캐리어(100)를 예시한다. 캐리어(100)는 기판(101)을 지지하도록 구성된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(101)은 특히 처리 챔버 내에서 처리될 때 캐리어(100) 내의 위치에 제공된다. 캐리어(100)는 프레임 또는 캐리어 바디(160)를 포함한다. 예를 들어, 캐리어 바디는 창 또는 구멍을 한정할 수 있다. 통상적인 구현들에 따르면, 캐리어 바디(160)는 기판 수용 표면을 제공한다.

[0018] 도 1은 캐리어(100)의 하부 부분에 배치될 수 있는 안내 바(162), 예를 들어 로드(rod)를 추가로 도시한다. 작동 중에, 안내 바(162)는 캐리어 바디(160) 아래에 제공될 수 있다. 안내 바는 이송 시스템, 예를 들어 롤러 어레인지먼트와 접촉하도록 구성될 수 있다. 캐리어(100)는 또한 상부 안내 어레인지먼트(164)를 포함할 수 있다. 상부 안내 어레인지먼트(164)는 이송 시스템의 상부 부분과 함께 캐리어(100)의 위치를 지지하도록 구성될 수 있다.

[0019] 또 추가 실시예들에 따르면, 캐리어는 비접촉 이송을 위해, 예를 들면 자기 부상 시스템으로 구성될 수 있다. 비접촉 이송을 위한 캐리어의 어레인지먼트는 자기 부상 시스템과 상호 작용하도록 구성된 캐리어의 상부 부분에 자기 엘리먼트를 가질 수 있다. 캐리어의 하부 부분이 캐리어의 횡단 안정화를 위해 구성될 수 있거나 캐리어 바디(160)가 비접촉 이송 어레인지먼트에 걸려 있을 수 있다.

[0020] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 복수의 홀더들(200)이 이동 가능할 수 있는데, 특히 캐리어 바디의 에지에 수직인 또는 본질적으로 수직인 방향으로 이동 가능할 수 있다. 예를 들어, 캐리어 바디의 에지는 캐리어 바디에 의해 형성된 구멍의 에지일 수 있다. 홀더들은 홀더에 의해 지지되는 기판의 각각의 에지에 수직인 또는 본질적으로 수직인 방향으로 이동 가능할 수 있다. 도 1에서, 홀더들의 이동은 화살표들(201)로 표시된다. 일부 실시예들에 따르면, 캐리어 바디의 일측(좌측 또는 우측)의 홀더들(200) 및 캐리어 바디의 최상위 측 또는 최하위 측, 특히 도 1에 도시된 바와 같은 캐리어 바디의 최상위 측의 홀더들(200)이 이동 가능할 수 있다. 캐리어 바디(160)는 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면 및 제4 측면을 포함한다. 적어도 8개의 홀더들, 특히 적어도 24개의 홀더들이 제공될 수 있는데, 본 명세서에서는 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면 및 제4 측면의 각각의 측면 상에 적어도 8개의 홀더들 중 적어도 2개의 각각의 홀더들이 장착될 수 있다. 홀더들 중 적어도 2개의 각각의 홀더들은 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면 및 제4 측면의 2개의 인접한 사이트들 상에 이동 가능하게 장착된다.

[0021] 홀더들은 캐리어 바디의 2개의 인접한 측면들, 예를 들면 도 1에서 우측 및 최상위 측에서 이동 가능할 수 있다. 홀더들을 이동시키는 것은 홀더들(200)을 수축시키는 것을 가능하게 한다. 홀더들(200)은 캐리어 바디 내에서 유리 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위해 수축될 수 있다. 도 1에서 화살표들(201)로 표시된 바와 같이 홀더들을 수축시킴으로써, 캐리어 바디 또는 홀더들(200)에 의해 각각 형성된 구멍이 크기가 증가된다. 증가된 구멍 크기는 유리 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 충분한 공간을 제공한다.

[0022] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어 바디(160)는 알루미늄, 알루미늄 합금들, 티타늄, 이들의 합금들, 스테인리스 스틸 등으로 만들어질 수 있다. 비교적 작은 대면적 기판들, 예컨대 GEN 5 이하의 경우, 캐리어 바디(160)는 단일 부품으로 제조될 수 있는데, 즉 프레임이 일체로 형성된다. 그러나 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어 바디(160)는 최상위 바, 측면 바들 및 최하위 바와 같은 2개 이상의 엘리먼트들을 포함할 수 있다. 특히, 매우 넓은 면적의 기판들의 경우, 여러 부분들을 갖는 캐리어 또는 캐리어 바디가 제조될 수 있다. 캐리어 바디의 이러한 부분들이 조립되어 기판(101)을 지지하기 위한 캐리어 바디(160)를 제공한다. 캐리어 바디(160)는 특히, 기판 영역, 예컨대 캐리어 바디의 구멍에서 기판(101)을 수용하도록 구성된다.

[0023] 도 2는 공통 클램프와 비교할 만할 수 있는 홀더(20)를 도시한다. 홀더 또는 클램프는 직사각형 단면, 즉 직사각형 홈을 갖는 기판 수용부 또는 홈(30)을 갖는다. 홀더(20)는 후면부(216), 전면부 및 중간부(212)를 갖는다. 중간부(212)는 전면부(214)와 후면부(216)를 연결한다. 전면부(214)는 증착 재료 또는 재료 소스와 대면하고 있다. 재료 증착 방향은 화살표들(25)로 표시된다. 후면부(216)는 증착 재료와 후면부(216) 사이에 기판(101)이 제공되도록 증착 재료를 등지고 있다.

[0024] 직사각형 기판 수용부(30)를 가진 홀더 또는 클램프의 경우, 홀더 또는 클램프로의 유리 공급을 용이하게 하기 위해 홀더 또는 클램프와 유리 사이에 비교적 큰 틈이 있을 수 있다. 예를 들어, 도 2는 후면부(216)와 기판(101)의 유리 사이의 후면 갭(21) 및 전면부(214)와 기판(101)의 유리 사이의 전면 갭(23)을 도시한다. 틈은 유리가 홀더, 즉 클램프의 홈 내에서 이동할 수 있게 한다.

[0025] 도 2에 추가로 예시된 바와 같이, 화살표들(25)로 표시된 방향을 따라 기판(101) 상에 증착되는 재료는 측면 증착(50), 즉 홀더(20) 상에 바람직하지 않은 재료 증착을 야기할 수 있다. 측면 증착(50)은 특히 전면 갭(23) 내로 크리프(creep)할 수 있다. 기판(101)과 홀더 사이의 마찰은 입자 생성으로 이어질 수 있다. 예컨대, 전면 갭(23), 전면부(214)에서의 홀더의 폭 및 마스크-홀더-갭(27)에 의해 유리-마스크 갭(26)이 제공된다. 유리-마스크 갭(26)은 클램프 내부의 정해지지 않은 유리 위치로 인해 비교적 클 수 있는데, 예컨대 이는 더 큰 전면 갭(23)을 야기할 수 있다. 전면 갭(23)은 홀더와 유리 사이에서 홀더에 대해 제공된다. 홀더 또는 클램프는 서로 분리되어 제공될 수 있어, 예컨대 홀더와 마스크(70) 사이에 마스크-홀더-갭(27)을 야기할 수 있다. 홀더 또는 클램프는 에지 배제 마스크와 같은 마스크(70)까지의 정해지지 않은 거리를 고려하여 적절히 커버될 수 없기 때문에, 비교적 많은 양의 측면 증착이 홀더 또는 클램프 상에 축적된다. 도 2에 예시된 바와 같이, 측면 증착이 클램프의 홈, 즉 전면부(214)와 기판(101) 사이의 갭으로 들어가는 것이 가능하다. 홀더 내부에서의 유리 이동은 측면 증착을 느슨하게 하며, 이는 입자 생성을 더욱 증가시킨다.

[0026] 도 3은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 홀더(200)를 도시한다. 홀더(200)는 전면부(214) 및 후면부(216)를 포함한다. 홀더(200) 안으로 기판(101)의 삽입을 위해 구성될 수 있는 홈(300)은 경사진 표면을 갖는 비스듬한 부분(220)을 포함한다. 비스듬한 부분(220)은 반-V자형(semi-V-shape) 홀더 또는 클램프를 제공하는데, 즉 기판을 위한 홈의 일측은 V자형이다. 기판을 위한 홈의 다른 측면은 V자형이 아닐 수 있는데, 즉 직선일 수 있다. 반-V자형 클램프 설계는 위에서 설명된 단점들 중 일부 또는 전부를 해결한다. 중간부(212)는 전면부와 후면부를 연결할 수 있다.

[0027] 한편으로, 기판의 로딩 또는 공급은 후면부에서의 유리의 후면 측에 대한 큰 홀더 입구에 의해 완화된다. 다른 한편으로, 홀더 내에서의 유리 이동은 예컨대, 0.1㎜의 작은 틈에 의해 제한된다. 작은 틈을 갖는 홈 부분은 홈의 제1 부분을 형성한다. 큰 홀더 입구를 갖는 홈 부분, 즉 비스듬한 부분 또는 반-V자형 부분은 홈의 제2 부분을 형성한다. 본 개시내용의 실시예들에 따라, 형상이 서로 다른 제1 홈 부분 및 제2 홈 부분을 갖는 홀더가 제공될 수 있다.

[0028] 일부 실시예들에 따르면, 홀더 또는 클램프는 작은 틈의 이득의 전부 또는 대부분을 갖도록, 사용되는 유리의 두께로 맞춤화될 수 있다. 대안으로, 캐리어의 홀더들의 홀더 교환 없이 처리 시스템에서 여러 개의 유리 두께들이 사용될 수 있으며, 더 얇은 유리들의 경우에도 처리 시스템에서 처리된 가장 두꺼운 유리를 위한 홀더 또는 클램프를 사용하는 것이 가능하다.

[0029] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 홈(300)은 제1 부분, 예를 들어 도 3의 하부 부분을 가질 수 있다. 홈의 제1 부분은 본질적으로 평행한 표면들, 예를 들어 전면부(214)의 내부 표면 및 후면부(216)의 내부 표면을 가질 수 있다. 제1 부분은 평행한 부분일 수 있다. 예를 들어, 제1 부분은 전면부와 후면부의 대향 표면들 사이에서 5° 이하, 특히 0°의 제1 각도를 가질 수 있다. 홈(300)은 비스듬한 부분(220)으로 인해 대향 표면들 사이에서 제1 각도보다 더 큰 제2 각도를 갖는 제2 부분을 갖는다. 제2 각도는 비스듬한 부분(220)의 경사진 표면과 전면부(214)의 내부 표면 사이에 제공될 수 있다. 제2 각도는 10° 이상, 예컨대 약 15°일 수 있다. 제1 각도를 형성하는 전면부(214)의 내부 표면과 제2 각도를 형성하는 전면부(214)의 내부 표면은 동일한 내부 표면, 즉 하나의 평평한 표면일 수 있다.

[0030] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 홈(300)의 특히 제1 부분, 예컨대 바닥에서의, 즉 중간부(212)에 인접한 홈 부분에서의 작은 틈은 추가로, 기판(101)의 더 양호한 또는 더 직선인 유리 에지로 이어질 수 있다. 이는 또한 기판(101)의 유리 표면과 마스크(70), 예를 들어 에지 배제 마스크 사이의 더 작은 갭을 가능하게 한다. 유리와 마스크 사이의 더 작은 갭은 균일성을 높이고 홀더 또는 클램프로의 측면 증착을 감소시킨다. 더욱이, 클램프 내부는 클램프 내부의 정해진 유리 위치에 의해 측면 증착으로부터 더 잘 보호된다. 예컨대, 작은 전면 갭, 전면부(214)에서의 홀더의 폭 및 마스크-홀더-갭(27)에 의해 유리-마스크 갭(326)이 제공된다. 유리-마스크 갭(326)은 클램프 내부의 유리 위치로 인해 감소될 수 있는데, 예컨대 이는 작은 전면 갭을 야기할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 화살표들(25)을 따라 증착된 재료로부터의 측면 증착(250)은 도 2의 측면 증착(50)에 비해 감소된다. 도 3은 예컨대, 재료 증착 중에 타깃 재료의 스퍼터링 동안 화살표(335)로 표시된 바와 같이 회전될 수 있는 회전 가능한 또는 회전 캐소드(330)를 추가로 도시한다. 다른 실시예들에 따르면, 평면 캐소드들 또는 재료 증착을 위한 다른 소스들이 사용될 수 있다.

[0031] 도 4a 내지 도 5b는 홀더들(200)의 추가 실시예들을 도시한다. 도 4a 및 도 5a는 전면부(214)의 측면으로부터의 측면도들을 도시한다. 도 4b 및 도 5b는 도 2 및 도 3과 유사한 측면도들을 도시한다. 도 4a 및 도 4b는 일례에 따른 홀더(200)를 도시하며, 이는 본 개시내용의 실시예들과 결합될 수 있는 수정들을 예시하는 데 사용될 수 있다. 홀더는 후면부(216)를 갖는다. 예를 들어, 후면부는 20 내지 40㎜, 예를 들어 약 30㎜의 높이를 가질 수 있다. 전면부(214)는 홀더(200)의 길이를 따라 연장된다. 일부 실시예들에 따르면, 길이(도 4a에 도시된 좌측에서 우측까지의 치수)는 30 내지 60㎜, 예를 들어 약 40㎜일 수 있다. 중간부(212)는 5㎜ 내지 15㎜, 예를 들어 약 7㎜의 폭(도 4b에 도시된 좌측에서 우측까지의 치수)을 가질 수 있다. 홈(300)은 홈(300)의 제1 부분(412), 예컨대 도 4a 내지 도 5b의 바닥 부분에, 즉 중간부(212)와 대면하는 홈 부분에서 폭을 갖는다. 도 4a 내지 도 5b의 바닥 부분은 홀더가 캐리어의 최상위 측에 장착되는 경우 홈의 최상위 부분일 수 있다. 제1 부분(412)의 폭은 기판의 두께에 대응한다. 통상적으로, 제1 부분(412)의 폭은 기판의 두께보다 0.05 내지 0.2㎜ 더 클 수 있다. 예를 들어, 제1 부분의 폭은 0.6㎜, 0.7㎜, 0.8㎜ 또는 1㎜일 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 비스듬한 부분(220)은 10° 내지 25°, 예를 들어 약 13° 또는 약 15°의 경사진 표면의 경사각을 가질 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 비스듬한 부분(220) 또는 경사진 표면의 높이는 각각 비스듬한 부분의 폭이 1.5㎜ 내지 5㎜, 이를테면 약 3㎜일 수 있다. 비스듬한 부분의 폭은 홈의 제2 부분에서의 홈의 폭 증가에 대응한다.

[0032] 또한, 도 4a에 도시된 홀더(200)는 개구(416)를 포함한다. 개구(416)는 홀더(200)를 캐리어에 장착하도록 구성된다. 예를 들어, 개구(416)는 나사 등을 수용하기 위한 나사산을 포함할 수 있다. 개구(416)는 홀더(200)를 캐리어에 장착하도록 구성된다. 홀더는 화살표(417)로 표시된 바와 같이 캐리어에 선회 가능하게 장착될 수 있다. 홀더의 선회 장착은 유리를 홈의 제1 부분(412)과 완전히 접촉시키기 위해 홀더가 예컨대, 25° 이하로 회전할 수 있다는 이점을 갖는다. 홈의 지면에는 유리의 에지를 따라 유리의 완전한 접촉이 제공될 수 있다. 이는 유리 에지에서의 응력을 줄일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 홈(300)의 제1 부분(412)은 그 측면 부분들에서 만곡될 수 있다. 이는 홀더(200)에 기판을 부드럽게 로딩하는 데 유리할 수 있다. 곡선은 2㎜ 이상의 반경을 가질 수 있다.

[0033] 도 5a 및 도 5b는 일례에 따른 홀더(200)를 도시하며, 이는 본 개시내용의 실시예들과 결합될 수 있는 수정들을 예시하는 데 사용될 수 있다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 홀더(200)와 비교하여, 도 5a 및 도 5b에 예시된 예의 홀더(200)는 예를 들어, 7㎜ 내지 15㎜의 감소된 높이를 갖는 후면부(216)를 가질 수 있다. 추가 또는 대안적인 수정에 따르면, 전면부(214)는 2개의 전면부 세그먼트들을 갖는 전면부 어셈블리일 수 있다. 전면부의 측면, 즉 재료 증착의 측면에서 볼 때 비스듬한 부분(220)이 노출되도록 2개의 전면부 세그먼트들 사이에 갭이 있을 수 있다. 후면부(216)의 감소된 높이를 고려하면, 개구 대신에 홀더(200)를 캐리어 또는 캐리어 바디에 장착하기 위한 블라인드 홀(516)이 제공된다.

[0034] 도 6은 로딩 암(602), 예를 들어 로봇 암에 의한 로딩 동작 동안의 캐리어(100)를 도시한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어 바디(160)의 4개의 측면들 중 제1 측면 및 제2 측면 상의 홀더들(200)이 수축 위치로 이동된다. 예시적으로, 도 6의 최상위 측 및 우측의 홀더들(200)은 수축 위치에 도시된다. 수축 위치는 도 1의 화살표들(201)로 예시된 바와 같이 홀더들의 이동으로 인해 제공된다. 예를 들어, 수축 위치로의 그리고 수축 위치로부터의 이동은 홀더에 의해 지지될 직사각형 기판(101)의 에지에 수직일 수 있다.

[0035] 최상위 측 및 우측의 홀더들(200)의 수축 위치에서는, 홀더들 사이의 기판 수용 영역이 확대되기 때문에, 홀더들 사이의 영역에서 로딩 암(602)이 기판(101)을 이동시킬 수 있다. 기판은 예를 들어, 도 6의 하부 측 및 좌측에서 홀더들(200)에 지지되도록 화살표들(603)로 표시된 바와 같이 이동될 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어 바디의 2개의 인접한 측면들 상의 홀더들(200)은 고정적일 수 있고, 캐리어 바디의 4개의 측면들 중 나머지 2개의 측면들 상의 홀더들은 이동 가능할 수 있다. 나머지 2개의 측면들은 또한 캐리어 바디의 인접한 측면들일 수 있다.

[0036] 앞서 설명한 바와 같이, 홀더 내의 홈이 기판에 대해 비교할 수 있는 작은 틈을 갖는 제1 부분을 가질 수 있다. 제1 부분은 홀더의 중간부에 인접하다. 예를 들어, 제1 부분은 캐리어 바디(160)의 최하위 측의 홀더의 홈의 최하위 부분일 수 있고 캐리어 바디의 최상위 측의 홀더의 홈의 최상위 부분일 수 있다. 또한, 홀더 내의 홈은 비스듬한 부분을 포함하는 제2 부분을 가질 수 있다. 비스듬한 부분은 홀더 입구의 크기를 홀더의 후면 측, 즉 예컨대, 기판 상에 재료를 증착하는 동안 재료 소스를 등지는 측까지 증가시킨다.

[0037] 캐리어(100)로의 기판(101)의 로딩을 위해, 기판은 화살표들(603)로 표시된 바와 같이 이동된다. 비스듬한 부분을 포함하는 홈의 제2 부분은 기판을 홈들로 안내한다. 제2 부분에서의 홈들의 증가된 두께는 홀더들로의 기판의 매끄러운 삽입을 가능하게 한다. 화살표들(603)을 따라 이동한 후, 기판(101)은 홈들의 제1 부분에서 지지되고, 제1 부분은 제2 부분의 틈과 비교하여 더 작은 틈을 기판에 제공한다. 최종 위치에서 기판을 유지하기 위한 감소된 틈은 홀더들에서의 측면 증착을 감소시키고, 지지된 위치에서 유리 기판에 대한 안정성을 제공하며, 그리고/또는 감소된 기판-마스크 거리로 예를 들어, 에지 배제 마스크를 이용한 마스킹을 가능하게 한다. 감소된 기판-마스크 거리는 측면 증착을 더 감소시킨다. 감소된 측면 증착 및 향상된 능력은 기판의 처리 중에 입자 생성을 감소시킨다.

[0038] 화살표(603)를 따라 기판의 이동 이후, 도 6의 최상위 측 및 우측의 홀더들(200)은 수축 위치에서 비-수축 위치로 이동될 수 있다. 또한, 홀더들의 이러한 이동 중에, 홀더들의 홈의 제2 부분은 기판을 정확한 위치로 안내하고, 홀더들의 홈의 제1 부분은 홀더들의 최종 위치에서 향상된 안정성 및 감소된 측면 증착을 제공한다.

[0039] 다른 실시예들에 따르면, 캐리어(100)는 PVD 증착 프로세스들, CVD 증착 프로세스들, 기판 구조화 에징(edging), 가열(예컨대, 어닐링) 또는 임의의 종류의 기판 처리에 이용될 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 캐리어들 및 이러한 캐리어들을 이용하기 위한 방법들의 실시예들은 고정, 즉 비연속 기판 처리에 특히 유용하다. 통상적으로, 캐리어들은 수직으로 배향된 대면적 유리 기판들을 처리하기 위해 제공된다.

[0040] 도 7은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어 바디(160)를 갖는 캐리어(100)에 기판(101)을 고정하기 위한 방법(80)의 흐름도를 예시한다. 블록(81)에서, 기판(101)이 캐리어(100) 상에 로딩된다. 블록(82)에서, 적어도 하나의 홀더(200)가 로딩된 기판(101) 쪽으로 캐리어 바디(160)에 대해 이동된다. 적어도 하나의 홀더(200)는 비스듬한 부분(220), 예컨대 홀더의 홈(300)의 제2 부분의 비스듬한 부분을 포함한다. 블록(83)에서, 기판(101)은 비스듬한 부분, 즉 홈의 제2 부분의 경사진 표면을 가진 홈의 일부로 안내된다.

[0041] 직선 내부 표면을 갖는 홀더의 전면부는 홀더의 감소된 측면 증착을 가능하게 한다. 홈의 비스듬한 부분, 즉 홈의 제2 부분의 경사진 표면은 홀더로의 기판의 매끄러운 삽입을 가능하게 한다. 홈의 제2 부분과 비교하여 홈의 제1 부분에서의 기판의 더 작은 틈은 감소된 입자 생성을 가능하게 한다. 특히, 반-V자형, 즉 일면 V자형은 이러한 이점들의 조합을 가능하게 한다.

[0042] 도 8은 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 증착 챔버(600)의 개략도를 예시한다. 증착 챔버(600)는 PVD 또는 CVD 프로세스와 같은 증착 프로세스에 적응된다. 기판(101)은 기판 이송 디바이스(620) 상의 캐리어(100) 내에 또는 캐리어(100)에 위치되는 것으로 도시된다. 코팅될 기판(101)의 측면과 대면하는 챔버(612)에 증착 재료를 위한 재료 소스(630)가 제공된다. 재료 소스(630)는 기판(101) 상에 증착될 증착 재료를 제공한다.

[0043] 도 8에서, 재료 소스(630)는 그 위에 증착 재료를 갖는 타깃 또는 기판(101) 상에 증착을 위해 재료가 방출될 수 있게 하는 임의의 다른 어레인지먼트일 수 있다. 통상적으로, 재료 소스(630)는 회전 가능한 타깃, 즉 회전 타깃일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 재료 소스(630)는 소스를 포지셔닝 및/또는 교체하기 위해 이동 가능할 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 재료 소스는 평면 타깃일 수 있다.

[0044] 일부 실시예들에 따르면, 증착 재료는 증착 프로세스 및 코팅된 기판의 이후 응용에 따라 선택될 수 있다. 예컨대, 소스의 증착 재료는: 알루미늄, 몰리브덴, 티타늄, 구리 등과 같은 금속, 실리콘, 인듐 주석 산화물 및 다른 투명 전도성 산화물들로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료일 수 있다. 통상적으로, 이러한 재료들을 포함할 수 있는 산화물, 질화물 또는 탄화물 층들은 소스로부터 재료를 제공함으로써 또는 반응성 증착에 의해 증착될 수 있는데, 즉 소스로부터의 재료는 처리 가스로부터의 산소, 질화물 또는 탄소와 같은 엘리먼트들과 반응한다.

[0045] 통상적으로, 캐리어(100) 내에 또는 캐리어(100)에 기판(101)이 제공된다. 캐리어 또는 캐리어 어셈블리는 또한 특히, 비-고정 증착 프로세스들을 위한 에지 배제 마스크로서의 역할을 하거나 그러한 에지 배제 마스크를 포함할 수 있다. 파선들(665)은 증착 챔버(600)의 작동 중에 증착 재료의 경로를 예시적으로 도시한다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 다른 실시예들에 따르면, 마스킹은 챔버(612)에 제공되는 별도의 에지 배제 마스크에 의해 제공될 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어는 고정 프로세스들에 그리고 비-고정 프로세스들에 유리할 수 있다.

[0046] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 홀더(200)(보다 용이한 도면 작성을 위해, 비스듬한 부분, 즉 반-V자형 없이 스케치가 제공됨)는 특히 증착 프로세스 동안 기판(101)의 에지들을 견고하게 유지한다. 실시예들은 특히 기판들이 길이 및 높이가 더 커지고 있다는 사실을 고려하여, 향상된 기판 안정성 및 이에 따른 기판 파손의 감소를 제공할 수 있다. 또한, 특히 기판 근처에서의 입자 생성이 감소될 수 있다.

[0047] 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판들 및 캐리어들이 증착 동안 수직, 즉 본질적으로 수직 배향으로 제공될 수 있다. 실질적으로 수직으로는 기판 배향을 언급할 때 20° 이하의, 예컨대 10° 이하의 수직 방향으로부터의 편차를 허용하는 것으로 이해된다. 예를 들어, 수직 배향으로부터의 약간의 편차를 갖는 기판 지지부가 보다 안정한 기판 위치를 야기할 수 있기 때문에 이러한 편차가 제공될 수 있다. 대안으로, (기판이 아래쪽으로 향하는) 반대 방향에서의 편차는 기판 상에 감소된 수의 입자들을 야기할 수 있다.

[0048] 전술한 내용은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 기본 범위를 벗어나지 않으면서 본 개시내용의 다른 실시예들 및 추가 실시예들이 안출될 수 있으며, 본 개시내용의 범위는 하기의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

1. 기판(101)을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디(160)에 부착되도록 구성된 홀더(200)로서,
   재료 소스 또는 마스크와 대면하도록 배치된 전면부(214);
   재료 소스를 등지도록 배치된 후면부(216) ― 상기 후면부는 경사진 표면을 갖는 비스듬한 부분(beveled portion)(220)을 포함함 ―; 및
   상기 전면부와 상기 후면부 사이에 제공된 기판을 수용하기 위한 홈을 포함하며,
   상기 홈은 제1 대향 표면들 사이에서 5° 이하의 제1 각도를 갖는 제1 부분을 갖고, 상기 제1 대향 표면들은 상기 전면부(214)의 내부 표면 및 상기 후면부(216)의 내부 표면이며,
   상기 홈은 제2 대향 표면들 사이에서 10° 이상의 제2 각도를 갖는 제2 부분을 갖고, 상기 제2 대향 표면들은 상기 전면부(214)의 내부 표면 및 상기 비스듬한 부분(220)의 경사진 표면이며,
   상기 제1 부분은 상기 기판에 대해 0.5㎜ 이하의 틈을 갖는,
   기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 각도는 0°인,
   기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 홈은 반-V자형(semi-V shape) 부분 및 평행 부분을 포함하는,
   기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 전면부는 적어도 2개의 전면부 세그먼트들을 갖는 전면부 어셈블리이며, 상기 2개의 전면부 세그먼트들 사이에는 갭이 있는,
   기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더.
5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 홀더를 캐리어 바디에 장착하기 위한 개구 또는 블라인드 홀을 더 포함하는,
   기판을 유지하기 위해 캐리어의 캐리어 바디에 부착되도록 구성된 홀더.
6. 캐리어(100)로서,
   제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항의 적어도 하나의 홀더(200)를 포함하는,
   캐리어.
7. 제6 항에 있어서,
   캐리어 바디(160)를 더 포함하며,
   상기 캐리어 바디(160)는 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면 및 제4 측면을 포함하고,
   상기 적어도 하나의 홀더(200)는 적어도 8개의 홀더들이고,
   상기 제1 측면, 상기 제2 측면, 상기 제3 측면 및 상기 제4 측면의 각각의 측면 상에 상기 적어도 8개의 홀더들 중 적어도 2개의 각각의 홀더들이 장착되는,
   캐리어.
8. 제7 항에 있어서,
   상기 적어도 8개의 홀더들 중 적어도 2개의 각각의 홀더들은 상기 제1 측면, 상기 제2 측면, 상기 제3 측면 및 상기 제4 측면의 2개의 인접한 사이트들 상에 이동 가능하게 장착되는,
   캐리어.
9. 캐리어 바디(160)를 갖는 캐리어(100)에 기판(101)을 고정하기 위한 방법(80)으로서,
   상기 캐리어(100) 상에 기판(101)을 로딩하는 단계;
   적어도 하나의 홀더(200)를 상기 캐리어 바디(160)에 대해 상기 기판(101) 쪽으로 이동시키는 단계(82) ― 상기 적어도 하나의 홀더(200)는 비스듬한 부분(220)을 포함함 ―;
   상기 비스듬한 부분(220)을 갖는 홈의 제1 부분에서 상기 기판을 안내하는 단계로서, 상기 비스듬한 부분(220)을 갖는 홈의 제2 부분에 의해 상기 홈의 제1 부분으로 상기 기판을 안내하는, 상기 비스듬한 부분(220)을 갖는 홈의 제1 부분에서 상기 기판을 안내하는 단계; 및
   상기 홈의 제1 부분에서 상기 기판을 지지하는 단계 ― 상기 제1 부분은 상기 기판에 대해 0.5㎜ 이하의 틈을 가짐 ―;를 포함하는,
   캐리어 바디를 갖는 캐리어에 기판을 고정하기 위한 방법.
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