KR102328368B1 - Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector - Google Patents

Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector Download PDF

Info

Publication number
KR102328368B1
KR102328368B1 KR1020150150807A KR20150150807A KR102328368B1 KR 102328368 B1 KR102328368 B1 KR 102328368B1 KR 1020150150807 A KR1020150150807 A KR 1020150150807A KR 20150150807 A KR20150150807 A KR 20150150807A KR 102328368 B1 KR102328368 B1 KR 102328368B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
electromagnetic wave
detection unit
delete delete
path
Prior art date
Application number
KR1020150150807A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170049904A (en
Inventor
옥경식
최성욱
장현주
박기상
Original Assignee
한국식품연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국식품연구원 filed Critical 한국식품연구원
Priority to KR1020150150807A priority Critical patent/KR102328368B1/en
Publication of KR20170049904A publication Critical patent/KR20170049904A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102328368B1 publication Critical patent/KR102328368B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
    • G02B26/0883—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30—Collimators
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts
    • G01N2201/0636—Reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts
    • G01N2201/0638—Refractive parts
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10004—Still image; Photographic image

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부를 포함한다.The electromagnetic wave detection module according to an embodiment of the present invention includes a housing unit including a detection unit for directly detecting an electromagnetic wave passing through an inspection object and the detection unit provided adjacent to a lower end of the inspection object.

Description

전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치{MODULE FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC WAVE AND, APPARATUS FOR DETECTING TRANSMISSION OF ELECTROMAGNETIC WAVE INCLUDING ADJACENT DETECTOR}Electromagnetic wave detection module and transmission detection device using electromagnetic wave

본 발명은 전자기파를 이용한 비파괴적인 방법으로, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a non-destructive method using electromagnetic waves, and to a device capable of obtaining a transmission image at high speed, having a high signal-to-noise ratio (SNR) and high detection resolution.

본 발명은 비파괴적인 방법으로, 전자기파를 물체의 내부에 투과시켜, 투과 영상을 획득하는 기술에 관한 것이다. 본 발명과 관련된 종래의 방법으로는 조명없이 단일한 픽셀 카메라로 압축센싱하여, 영상을 얻거나 회전거울이나 진동거울을 이용하여 영상을 얻는 방법(수동형 영상법) 또는, 조명없이 카메라, 혹은 1-d line 검출기로 직접 영상을 얻는 방법 또는, 출력이 강한 자이로트론이나 레이저로 조명하고 카메라로 영상(능동형 영상법)을 얻는 방법이 있다.The present invention relates to a technology for acquiring a transmitted image by transmitting electromagnetic waves into an object in a non-destructive manner. As a conventional method related to the present invention, compression sensing is performed with a single pixel camera without illumination, and an image is obtained or an image is obtained using a rotating mirror or a vibrating mirror (passive imaging method), or a camera without illumination, or 1- There is a method of obtaining an image directly with a d-line detector, or a method of illuminating with a gyrotron or laser with strong output and obtaining an image (active imaging method) with a camera.

전자기파는 물체를 통과할 때 흡수되거나 산란되기 때문에, 물체를 투과하면서 전자기파의 세기가 감소하는 성질을 가진다. 따라서, 전자기파를 잘 흡수하는 매질을 통과한 경우의 투과영상은 신호 대 잡음비(SNR)이 낮아지는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 고출력광원을 사용하는 것보다 저출력이라도 포인트 빔으로 전자기파를 초점 위치에 집속시켜 레스터 스캐닝(raster scanning)하면, 효율적으로 선명한 투과영상을 얻을 수 있다. 이를 통해, 신호 대 잡읍비(SNR)를 높일 수 있다.Since electromagnetic waves are absorbed or scattered when passing through an object, the intensity of electromagnetic waves decreases while passing through an object. Therefore, there is a problem in that the signal-to-noise ratio (SNR) of the transmitted image when it passes through a medium that absorbs electromagnetic waves well is low. In order to solve this problem, a clear transmitted image can be efficiently obtained by raster scanning by focusing an electromagnetic wave with a point beam to a focal position even at a low output power than using a high-power light source. Through this, the signal-to-noise ratio (SNR) can be increased.

그런데, 전자기파를 초점위치에 집속하여 투과영상을 얻으려면, 전자파 빔을 고속으로 움직이는 도구가 필요하다. 또한, 전자기파 빔을 움직이며 영상을 얻는 경우, 영상의 분해능은 카메라의 화소 크기보다는 전자파 빔을 얼마나 최대로 작은 점으로 집속하느냐에 크게 영향을 받게 된다.However, in order to obtain a transmitted image by focusing the electromagnetic wave at a focal position, a tool that moves the electromagnetic wave beam at high speed is required. In addition, when an image is obtained by moving the electromagnetic wave beam, the resolution of the image is greatly affected by how the electromagnetic wave beam is focused to the smallest point rather than the pixel size of the camera.

이에, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 기술에 대한 개발이 필요하다.Accordingly, it is necessary to develop a technology capable of obtaining a transmission image at high speed while having a high signal-to-noise ratio (SNR) and high detection resolution.

본 기술과 관련된 내용을 포함하는 특허로는 한국등록특허 10-1365261가 있다.Patents related to the present technology include Korean Patent Registration No. 10-1365261.

높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있는 검출 기술을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a detection technology capable of obtaining a transmission image having a high detection resolution while having a high signal-to-noise ratio (SNR).

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.Other objects and advantages of the present invention may be understood by the following description, and will become more clearly understood by the examples of the present invention. Moreover, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the claims.

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 포함한다.The electromagnetic wave detection module according to an embodiment of the present invention includes a housing including a detection unit that directly detects an electromagnetic wave that has passed through an inspection object, and the detection unit provided adjacent to a lower end of the inspection object.

하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.The housing part further includes a fixing part capable of fixing the object to be inspected.

고정부는 상기 검출부의 상단에 상기 검사 대상 물체가 배치되도록, 상기 하우징부에 형성된다.A fixing part is formed in the housing part so that the object to be inspected is disposed on the upper end of the detection part.

검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.The detection unit is embedded in the lower end of the position on which the object to be inspected is mounted.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함된다.The detection unit is a single detection unit, and the detection unit further includes a driving unit coupled to the detection unit and configured to move the detection unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit.

검출부용 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킨다.In order to obtain a two-dimensional image, the driving unit for the detector moves the detector in two dimensions in synchronization with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave passing through the object to be inspected.

본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 대상 물체를 이송하는 이송부 및 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.The electromagnetic wave detection module according to another embodiment of the present invention includes a transfer unit for transferring an object to be inspected, and a detection unit provided adjacent to a lower end of the transfer unit to directly detect the electromagnetic wave passing through the object to be inspected.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함한다.The detection unit is a single detection unit, and the detection unit further includes a driving unit coupled to the detection unit and configured to move the detection unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit.

검출부의 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.In order to obtain a two-dimensional image, the driver of the detector may move the detector in two dimensions by synchronizing with a two-dimensional movement path of the electromagnetic wave passing through the object to be inspected.

검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.The detector may be a two-dimensional array-type detector for acquiring a two-dimensional image.

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부와, 상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.A transmission detecting apparatus using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention includes a path change unit for changing a path of an incident electromagnetic wave, a focusing lens for focusing an electromagnetic wave incident from the path change unit onto an inspection target object, and the inspection target object It is provided adjacent to the lower end of the detection unit for directly detecting the electromagnetic wave passing through the object to be inspected; includes.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 더 포함한다.The transmission detection apparatus using electromagnetic waves further includes a housing unit including the detection unit provided adjacent to a lower end of the object to be inspected.

하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.The housing part further includes a fixing part capable of fixing the object to be inspected.

검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.The detection unit is embedded in the lower end of the position on which the object to be inspected is mounted.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 집속 렌즈 및 상기 검출부 사이에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 이송하는 이송부를 더 포함하고, 검출부는 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비된다.The transmission detecting apparatus using electromagnetic waves is provided between the focusing lens and the detection unit, and further includes a conveying unit for conveying the object to be inspected, and the detecting unit is provided adjacent to a lower end of the conveying unit.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부의 구동부를 더 포함한다.The detection unit is a single detection unit, and further includes a driving unit coupled to the detection unit and configured to move the detection unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit.

경로 변경부는 원 형태로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 이동시킬 수 있다.The path changing unit changes the path of the electromagnetic wave in a circular shape, and the driving unit of the detection unit synchronizes with the rotation path of the electromagnetic wave changed by the path changing unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit, the detection unit can be moved

경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.The path change unit changes the path of the electromagnetic wave in two dimensions, and the driving unit of the detection unit synchronizes with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave changed by the path change unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit. The detection unit may be moved in two dimensions.

경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 검출부는 2차원 배열형 검출부일 수 있다.The path change unit may change the path of the electromagnetic wave in two dimensions, and the detection unit may be a two-dimensional array type detection unit.

경로 변경부는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다.The path change unit is any one of a diffraction grating, a hologram, a galvano mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism, or a diffraction grating, a hologram, a galvano It may be a combination of mirrors, monogon mirrors, polygon mirrors and wedge prisms.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함할 수 있다.The transmission detecting apparatus using electromagnetic waves may further include a collimating unit that forms the incident electromagnetic waves in parallel and makes them incident on the path change unit.

개시된 발명에 따르면, 높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있다.According to the disclosed invention, it is possible to obtain a transmission image having a high detection resolution while having a high signal-to-noise ratio (SNR).

또한, 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.In addition, since the detector is provided adjacent to the lower end of the object to be inspected, a separate optical device is not required between the object and the detector, and the signal-to-noise ratio (SNR) generated while electromagnetic waves pass through the separate optical device is reduced. degradation can also be prevented.

또한, 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.In addition, by using the driving unit to move the detection unit in synchronization with the movement path of the electromagnetic wave, it is possible to not only inspect a large-area object to be inspected at high speed, but also to implement the detection unit at a low cost, thereby reducing production costs.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.1 is a block diagram of a transmission detecting apparatus using electromagnetic waves related to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of an electromagnetic wave detection module and a transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram of an electromagnetic wave detection module and a transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.
4 is a block diagram of an electromagnetic wave detection module and a transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, specific contents for carrying out the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.1 is a block diagram of a transmission detecting apparatus using electromagnetic waves related to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(100)는 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130), 집속 렌즈(140) 및, 검출부(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the transmission detecting apparatus 100 using electromagnetic waves includes an electromagnetic wave generating unit 110 , a collimating unit 120 , a path changing unit 130 , a focusing lens 140 , and a detecting unit 150 . do.

전자기파 생성부(110)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(110)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.The electromagnetic wave generator 110 may be a device capable of generating electromagnetic waves of various types. For example, the electromagnetic wave generator 110 may generate a millimeter wave or a tera wave. Millimeter wave is an electromagnetic wave in an extremely high frequency region, and preferably has a frequency of 30 GHz to 300 GHz band. Tera wave refers to electromagnetic waves in the terahertz region, and may preferably have a frequency of 0.1 THz to 10 THz. However, even if it is slightly outside of this range, as long as it is within a range that can be easily conceived by those skilled in the art to which the present invention pertains, it can be recognized as tera wave in the present invention.

콜리메이팅부(120)는 전자기파 생성부(110)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(130)로 입사된다. The collimating unit 120 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 110 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident to the path change unit 130 .

경로변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(130)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(140)로 입사된다. The path change unit 130 may change the path of the incident electromagnetic wave. The electromagnetic wave whose path is changed by the path change unit 130 is incident on the focusing lens 140 .

예를 들면, 경로 변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 집속 렌즈(140)로 입사시킬 수 있다.For example, the path change unit 130 may include a reflective surface for changing the path of the incident electromagnetic wave. The reflective surface may reflect the incident electromagnetic wave to be incident on the focusing lens 140 .

예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나로 구성 될 수 있다. For example, the path change unit 130 may be composed of any one of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism.

예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다. 예를 들면, 경로 변경부(130)는 2개의 경로 변경부가 구비되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다.For example, the path change unit 130 may be a combination of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism. For example, the path change unit 130 may include two path change units so that electromagnetic waves are focused in two dimensions on the object to be inspected.

경로변경부(130)는 위치를 변경시킬 수 있는 경로변경부용 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 경로변경부용 구동부(미도시)는 경로 변경부(130)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(130)가 회전될 수 있다. The path change unit 130 may be mechanically coupled to a path change unit driving unit (not shown) capable of changing a position. A driving unit (not shown) for the path change unit may move the path change unit 130 to adjust the path of the electromagnetic wave. For example, when the path changing unit driving unit (not shown) rotates, the path changing unit 130 may be rotated as the path changing unit driving unit (not shown) rotates.

또 다른 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다.As another example, the driving unit (not shown) for the path change unit may be implemented as two actuators driven in different axial directions or implemented as one two-axis actuator, so that electromagnetic waves are focused on the object to be inspected in two dimensions. have. In addition, the path changing unit and the driving unit for the path changing unit may be implemented in various ways so that the electromagnetic wave is focused on the object to be inspected in two or three dimensions.

집속 렌즈(140)는 경로 변경부(130)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시킬 수 있다. The focusing lens 140 may focus the electromagnetic wave incident from the path change unit 130 to the object to be inspected.

검출부(150)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(180)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 이와 같이, 검출부(180)를 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 배치하여 직접 전자기파를 검출함으로써, 검사 대상 물체와 검출부(180) 사이에 별도의 장치(예를 들면, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 반사시키는 반사판 등)가 필요 없다. 이와 같이, 별도의 장치가 필요 없으므로, 투과된 전자기파가 검출기로 입사되는 과정에서 발생하는 왜곡을 현저히 줄일 수 있다. 이에, 최종적으로 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖을 수 있다. The detection unit 150 may directly detect the electromagnetic wave passing through the object to be inspected. The detector 180 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected. In this way, by arranging the detection unit 180 adjacent to the lower end of the inspection target to directly detect the electromagnetic wave, a separate device (eg, the electromagnetic wave passing through the inspection target object) is interposed between the inspection target and the detection unit 180 . Reflectors, etc.) are not required. As such, since a separate device is not required, distortion generated while the transmitted electromagnetic wave is incident on the detector can be significantly reduced. Accordingly, finally, the transmission detection apparatus using electromagnetic waves may have a high detection resolution while having a high signal-to-noise ratio (SNR).

예를 들면, 검출부(180)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.For example, the detector 180 may detect the intensity of the electromagnetic wave passing through the object to be inspected.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속의 투과 영상을 얻을 수 있다.The transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to the present invention can obtain a high-speed transmission image having high detection resolution while having a high signal-to-noise ratio (SNR).

도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.2 is a block diagram of a transmission detecting apparatus using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(200)는 전자기파 생성부(210), 콜리메이팅부(220), 경로변경부(230), 집속 렌즈(240), 검출부(260) 및, 하우징부(270)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(260) 및 하우징부(270)를 구비한 모듈을 의미한다.Referring to FIG. 2 , the transmission detecting apparatus 200 using electromagnetic waves includes an electromagnetic wave generator 210 , a collimating unit 220 , a path change unit 230 , a focusing lens 240 , a detection unit 260 , and a housing. part 270 . Here, the electromagnetic wave detection module means a module including the detection unit 260 and the housing unit 270 .

전자기파 생성부(210)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generator 210 may be a device capable of generating electromagnetic waves of various types.

콜리메이팅부(220)는 전자기파 생성부(210)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(230)로 입사된다. The collimating unit 220 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 210 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident to the path change unit 230 .

경로변경부(230)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(230)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(240)로 입사된다. The path change unit 230 may change the path of the incident electromagnetic wave. The electromagnetic wave whose path is changed by the path change unit 230 is incident on the focusing lens 240 .

집속 렌즈(240)는 경로 변경부(230)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(250)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 240 may focus the electromagnetic wave incident from the path change unit 230 to the inspection target object 250 .

검출부(260)는 검사 대상 물체(250)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(250)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 검출부(260)는 하우징부(270)의 상단에 형성될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부(260)는 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 하우징부(270) 내에 매립되어 구비될 수 있다.The detection unit 260 may directly detect the electromagnetic wave that has passed through the inspection target object 250 . The detector 250 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected. For example, the detection unit 260 may be formed on the upper end of the housing unit 270 . As another example, the detection unit 260 may be embedded in the housing unit 270 at a lower end of a position where the object to be inspected is mounted.

하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)의 하단에 인접하게 구비된 검출부(260)를 포함할 수 있다.The housing unit 270 may include a detection unit 260 provided adjacent to the lower end of the object to be inspected 250 .

하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)를 고정시킬 수 있는 고정부(271)를 포함할 수 있다. 고정부(271)는 검출부(260)의 상단에 검사 대상 물체(250)가 고정배치되도록, 가이드 해주는 장치이다.The housing unit 270 may include a fixing unit 271 capable of fixing the object to be inspected 250 . The fixing unit 271 is a device for guiding the inspection target object 250 to be fixedly disposed on the upper end of the detection unit 260 .

예를 들면, 검출부(260)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(260)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(250)를 통과한 전자기파가 검출부(260)에 집속되도록, 검출부(260)를 이동시킬 수 있다.For example, the detection unit 260 may be a single detection unit, and a driving unit (not shown) for the detection unit may be combined with the detection unit 260 . A driving unit for the detection unit (not shown) may move the detection unit 260 so that the electromagnetic wave passing through the inspection target object 250 is focused on the detection unit 260 .

또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(260)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(230)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(240)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(260)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다. As another example, the detector driver (not shown) may move the detector 260 in two dimensions in synchronization with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave passing through the object to be inspected in order to acquire a two-dimensional image. Specifically, for example, a movement path of the two-dimensional electromagnetic wave is generated by the path change unit 230 , and the focusing lens 240 focuses the electromagnetic wave on the object to be inspected according to the movement path of the generated two-dimensional electromagnetic wave. make it Along the movement path of the dimensional electromagnetic wave, the electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is generated. Accordingly, the driving unit for the detection unit may obtain a two-dimensional image by moving the detection unit 260 in synchronization with the movement path of the two-dimensional electromagnetic wave.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.In the transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to the present invention, since the detection unit is provided adjacent to the lower end of the inspection target object, there is no need for a separate optical device between the inspection target object and the detection unit, and the electromagnetic wave passes through the separate optical device. The resulting signal-to-noise ratio (SNR) degradation can also be prevented.

도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.3 is a block diagram of an electromagnetic wave detection module and a transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(300)는 전자기파 생성부(310), 콜리메이팅부(320), 경로변경부(330), 집속 렌즈(340), 검출부(360) 및, 이송부(370)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(360) 및 이송부(370)를 구비한 모듈을 의미한다.Referring to FIG. 3 , the transmission detection apparatus 300 using electromagnetic waves includes an electromagnetic wave generator 310 , a collimator 320 , a path change unit 330 , a focusing lens 340 , a detection unit 360 , and a transfer unit. (370). Here, the electromagnetic wave detection module means a module including the detection unit 360 and the transfer unit 370 .

전자기파 생성부(310)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generator 310 may be a device capable of generating electromagnetic waves of various types.

콜리메이팅부(320)는 전자기파 생성부(310)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(330)로 입사된다. The collimating unit 320 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 310 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident to the path change unit 330 .

경로변경부(330)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(330)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(340)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(330)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.The path change unit 330 may change the path of the incident electromagnetic wave. The electromagnetic wave whose path is changed by the path change unit 330 is incident on the focusing lens 340 . In this embodiment, the description will be made based on the case where the path change unit 330 is implemented as a polygon mirror.

집속 렌즈(340)는 경로 변경부(330)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(350)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 340 may focus the electromagnetic wave incident from the path change unit 330 to the inspection target object 350 .

검출부(360)는 검사 대상 물체(350)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(360)는 이송부(370)의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 즉, 검출부(360)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다.The detection unit 360 may directly detect the electromagnetic wave that has passed through the inspection target object 350 . The detection unit 360 may be provided adjacent to the lower end of the transfer unit 370 . That is, the detector 360 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected.

이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 특정 방향으로 이송할 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 집속 렌즈(340) 및 검출부(360) 사이에 구비될 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 컨베이어 벨트일 수 있으나, 이외에도 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The transfer unit 370 may transfer the inspection target object 350 in a specific direction. For example, the transfer unit 370 may be provided between the focusing lens 340 and the detection unit 360 . For example, the transfer unit 370 may be a conveyor belt capable of transporting the inspection target 350 , but may also be a device of various types capable of transporting the inspection target 350 .

예를 들면, 검출부(360)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(360)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(350)를 통과한 전자기파가 검출부(360)에 집속되도록, 검출부(360)를 이동시킬 수 있다.For example, the detection unit 360 may be a single detection unit, and a driving unit (not shown) for the detection unit may be combined with the detection unit 360 . A driving unit (not shown) for the detection unit may move the detection unit 360 so that the electromagnetic wave passing through the inspection target object 350 is focused on the detection unit 360 .

또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(360)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(330)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(340)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(360)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다. As another example, in order to obtain a two-dimensional image, the detector driver (not shown) may move the detector 360 in two dimensions in synchronization with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave passing through the object to be inspected. Specifically, for example, a movement path of the two-dimensional electromagnetic wave is generated by the path change unit 330 , and the focusing lens 340 focuses the electromagnetic wave on the object to be inspected according to the movement path of the generated two-dimensional electromagnetic wave. make it Along the movement path of the dimensional electromagnetic wave, the electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is generated. Accordingly, the driving unit for the detection unit may obtain a two-dimensional image by moving the detection unit 360 in synchronization with the movement path of the two-dimensional electromagnetic wave.

또 다른 예를 들면, 검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.As another example, the detector may be a two-dimensional array-type detector for acquiring a two-dimensional image.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.The transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to the present invention uses a driving unit to move the detection unit in synchronization with the movement path of the electromagnetic wave, so that it is possible to not only inspect a large-area object to be inspected at high speed, but also to implement the detection unit at a low cost. cost can be reduced.

도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.4 is a block diagram of an electromagnetic wave detection module and a transmission detection apparatus using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(400)는 전자기파 생성부(410), 콜리메이팅부(420), 경로변경부(430), 집속 렌즈(440), 검출부(460) 및, 검출부용 구동부(470)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(460) 및 검출부용 구동부(470)를 구비한 모듈을 의미한다.Referring to FIG. 4 , the transmission detecting apparatus 400 using electromagnetic waves includes an electromagnetic wave generator 410 , a collimator 420 , a path changer 430 , a focusing lens 440 , a detector 460 , and detection. It includes a bouillon driving unit 470 . Here, the electromagnetic wave detection module means a module including a detection unit 460 and a driving unit 470 for the detection unit.

전자기파 생성부(410)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generator 410 may be a device capable of generating electromagnetic waves of various types.

콜리메이팅부(420)는 전자기파 생성부(410)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(430)로 입사된다. The collimating unit 420 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 410 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident on the path change unit 430 .

경로변경부(430)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(430)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(440)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(430)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.The path change unit 430 may change the path of the incident electromagnetic wave. The electromagnetic wave whose path is changed by the path change unit 430 is incident on the focusing lens 440 . In this embodiment, a description will be made based on the case in which the path change unit 430 is implemented as a polygon mirror.

경로변경부(430)는 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)을 이용하여, 2차원 스캐닝을 수행할 수 있다.The path change unit 430 may include a reflection mirror 431 and a wedge prism 432 . In this way, two-dimensional scanning may be performed using the reflection mirror 431 and the wedge prism 432 .

집속 렌즈(440)는 경로 변경부(430)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(450)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 440 may focus the electromagnetic wave incident from the path change unit 430 to the inspection target object 450 .

검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)의 하단에 인접하게 배치될 수 있다. 본 실시예에서는, 검출부(260)가 단일 검출부인 경우를 기준으로 설명하겠습니다.The detector 460 may directly detect the electromagnetic wave that has passed through the inspection target object 450 . The detector 460 may be disposed adjacent to the lower end of the object 450 to be inspected. In this embodiment, the description will be based on the case where the detection unit 260 is a single detection unit.

검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)의 상부에는 검사 대상 물체(450)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 검출부의 구동부(470)는 검출부(460)를 지름 방향(471)으로 이동시키거나, 검출부(460)를 회전 방향(472)으로 이동시킬 수 있다. 즉, 검출부의 구동부(470)는 회전 운동과 직선 운동을 모두 수행할 수 있는 장치이거나, 회전 운동을 하는 장치 및 직선 운동을 장치의 조합일 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(470)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다. The driving unit 470 for the detection unit may be coupled to the detection unit 460 . An object to be inspected 450 may be disposed above the driving unit 470 for the detection unit. For example, the driving unit 470 of the detection unit may move the detection unit 460 in the radial direction 471 , or may move the detection unit 460 in the rotation direction 472 . That is, the driving unit 470 of the detection unit may be a device capable of performing both a rotational motion and a linear motion, or a combination of a device performing a rotational motion and a device performing a linear motion. As another example, the driving unit 470 for the detection unit may be implemented as two actuators driven in different axial directions or as a single two-axis actuator, so that electromagnetic waves are focused on the object to be inspected in two dimensions. In addition, the path change unit and the driver for the path change unit may be implemented in various ways so that the electromagnetic wave is focused on the object to be inspected in two or three dimensions.

예를 들면, 검출부(460)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)는 검사 대상 물체(450)를 통과한 전자기파가 검출부(460)에 집속되도록, 검출부(460)를 이동시킬 수 있다.For example, the detection unit 460 may be a single detection unit, and the driving unit 470 for the detection unit may be combined with the detection unit 460 . The driving unit 470 for the detection unit may move the detection unit 460 such that the electromagnetic wave passing through the inspection target object 450 is focused on the detection unit 460 .

또 다른 예를 들면, 경로 변경부(430)는 원 형태로 전자기파의 경로를 변경할 수 있다. 이 경우, 검출부용 구동부(470)는 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파가 상기 검사 대상 물체로 집속되도록, 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 검출부(460)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 원 형태로 투과한 2차원의 전자기파를 검출할 수 있다.As another example, the path change unit 430 may change the path of the electromagnetic wave in a circular shape. In this case, the driving unit 470 for the detection unit synchronizes with the rotation path of the electromagnetic wave changed by the path change unit 430 so that the electromagnetic wave changed by the path change unit 430 is focused on the object to be inspected. can be moved Accordingly, the detection unit 460 may detect a two-dimensional electromagnetic wave that has passed through the inspection target object 450 in a circular shape.

설명된 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The described embodiments may be configured by selectively combining all or part of each of the embodiments so that various modifications can be made.

또한, 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.In addition, it should be noted that the examples are for illustrative purposes only, and not for their limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

100 : 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 집속 렌즈
150 : 검출부100: transmission detection device using electromagnetic waves
110: electromagnetic wave generator
120: collimating unit
130: path change unit
140: focusing lens
150: detection unit

Claims (21)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 입사되는 전자기파의 경로를 지름이 변경되는 원 형태로 변경시키고, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합인 경로 변경부;
상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈;
상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;
상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하고, 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 포함하는 하우징부; 및
상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 경로 변경부에 의해 변경된 원 형태 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 회전시키고, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 지름과 동기시켜 상기 검출부를 직선으로 이동시켜, 상기 검출부가 상기 검사 대상 물체를 지름이 변경되는 원 형태로 투과한 2차원의 전자기파를 검출할 수 있도록 하는 검출부용 구동부를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
Change the path of the incident electromagnetic wave into a circle shape with a changed diameter, and any one of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism or a path change unit that is a combination of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism;
a focusing lens for focusing the electromagnetic wave incident from the path change unit to an object to be inspected;
a detection unit provided adjacent to a lower end of the inspection target and directly detecting electromagnetic waves passing through the inspection target;
a housing unit including the detection unit provided adjacent to a lower end of the inspection object and including a fixing unit capable of fixing the inspection object; and
It is coupled to the detection unit and rotates the detection unit in synchronization with the rotation path of the circular electromagnetic wave changed by the path change unit so that the electromagnetic wave passing through the inspection target is focused on the detection unit, and the diameter changed by the path change unit Transmission detection using electromagnetic waves, including a driving unit for a detection unit that moves the detection unit in a straight line in synchronization with the detection unit so that the detection unit can detect a two-dimensional electromagnetic wave that has passed through the inspection target object in the shape of a circle whose diameter is changed Device.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 11 항에 있어서,
입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.12. The method of claim 11,
The transmission detecting apparatus using electromagnetic waves, further comprising a collimating unit that forms the incident electromagnetic waves in parallel and makes them incident on the path change unit.
KR1020150150807A 2015-10-29 2015-10-29 Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector KR102328368B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150150807A KR102328368B1 (en) 2015-10-29 2015-10-29 Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150150807A KR102328368B1 (en) 2015-10-29 2015-10-29 Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170049904A KR20170049904A (en) 2017-05-11
KR102328368B1 true KR102328368B1 (en) 2021-11-18

Family

ID=58741085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150150807A KR102328368B1 (en) 2015-10-29 2015-10-29 Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102328368B1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102043881B1 (en) 2017-10-30 2019-12-02 한국식품연구원 Inspection apparatus for hign speed and large area
KR102069299B1 (en) * 2018-07-04 2020-01-22 한국식품연구원 High efficiehcy transmission image object inspection module and object inspection apparatus
JP7246151B2 (en) * 2018-09-26 2023-03-27 京セラ株式会社 Electromagnetic wave detector

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006084275A (en) * 2004-09-15 2006-03-30 Hitachi Ltd Method and device for detecting explosive substance, or the like
JP4773839B2 (en) * 2006-02-15 2011-09-14 キヤノン株式会社 Detection device for detecting information of an object
JP2012137393A (en) * 2010-12-27 2012-07-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate inspection device and substrate inspection method
KR101365261B1 (en) 2011-12-29 2014-02-25 한국식품연구원 Apparatus for inspecting objects using terahertz wave

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006084275A (en) * 2004-09-15 2006-03-30 Hitachi Ltd Method and device for detecting explosive substance, or the like
JP4773839B2 (en) * 2006-02-15 2011-09-14 キヤノン株式会社 Detection device for detecting information of an object
JP2012137393A (en) * 2010-12-27 2012-07-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate inspection device and substrate inspection method
KR101365261B1 (en) 2011-12-29 2014-02-25 한국식품연구원 Apparatus for inspecting objects using terahertz wave

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170049904A (en) 2017-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7897924B2 (en) Beam scanning imaging method and apparatus
KR101316568B1 (en) High resolution object inspection apparatus using terahertz wave
JP2018529102A (en) LIDAR sensor
JP2009229462A (en) Detection device
CN101889188A (en) The optical coherent chromatographic imaging device
KR102328368B1 (en) Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector
US9964757B2 (en) Laser scanning microscope apparatus and control method
US11681199B2 (en) Light receive scanner with liquid crystal beamsteerer
KR102043881B1 (en) Inspection apparatus for hign speed and large area
KR102043880B1 (en) Optical head for a high resolution detecting apparatus and a high resolution detecting apparatus using ring beam
WO2014157431A1 (en) Imaging system
JP2021071471A (en) Distance image creation device
KR102069299B1 (en) High efficiehcy transmission image object inspection module and object inspection apparatus
KR102348914B1 (en) Module for converting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave
RU2521215C1 (en) Fibre-optic laser-based sorting machine
US20150002853A1 (en) Miniature scan-free optical tomography system
KR102493422B1 (en) 2-Dimensional scanning optical system by simple objective lens sequential actuation
US11977182B2 (en) Optical imaging apparatus, robot hand, moving body, and LiDAR apparatus
WO2018147454A1 (en) Scanning optical system and laser radar device
JP6851751B2 (en) Optical equipment, processing equipment, and article manufacturing methods
JP2015087270A (en) THz BAND INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD USING THz BANDS
KR20080098811A (en) Surface measurement apparatus
JP2007064803A (en) Laser radar apparatus
TWI470299B (en) Method and apparatus for auto-focusing
KR101617144B1 (en) Optical system for high speed laser scanner

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant