KR102322599B1 - Digital pattern exposure device - Google Patents

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KR102322599B1
KR102322599B1 KR1020210047065A KR20210047065A KR102322599B1 KR 102322599 B1 KR102322599 B1 KR 102322599B1 KR 1020210047065 A KR1020210047065 A KR 1020210047065A KR 20210047065 A KR20210047065 A KR 20210047065A KR 102322599 B1 KR102322599 B1 KR 102322599B1
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KR
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exposure
transparent cover
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exposed
digital pattern
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KR1020210047065A
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이홍재
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(주) 고송이엔지
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Abstract

As a digital pattern exposure device includes an exposure machine frame member, a table member, and an exposure member, an exposure target placed on a vacuum table constituting the table member is sucked on the vacuum table, and as a transparent cover covering the exposure target is also pulled toward the vacuum table, the transparent cover presses the exposure target, so that the exposure target can be in close contact with the table member. Accordingly, the surface of the exposure target mounted on the table member becomes uniform, so that accurate exposure of the exposure target can be performed.

Description

디지털 패턴 노광기{Digital pattern exposure device}Digital pattern exposure device

본 발명은 디지털 패턴 노광기에 관한 것이다.The present invention relates to a digital pattern exposure machine.

노광기는 반도체나 디스플레이 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 반도체 웨이퍼나 디스플레이 유리기판에 회로를 그려주는 장비를 말하는 것이다.Exposure machine refers to equipment that draws circuits on semiconductor wafers or display glass substrates in manufacturing lines that require circuit processes such as semiconductors or displays.

이러한 노광기에는 포토 마스크가 필요한 종래 장비를 개선하여, 그러한 포터 마스크없이도 회로를 그려줄 수 있는 장비가 개발되어 왔고, 레이저 등을 이용하여 그러한 포토 마스크없이도 회로를 그려줄 수 있는 장비가 디지털 패턴 노광기이다.Equipment that can draw circuits without such a porter mask has been developed by improving the conventional equipment that requires a photomask in such an exposure machine, and the equipment that can draw a circuit without such a photomask using a laser is a digital pattern exposure machine. .

이러한 디지털 패턴 노광기의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.Those of the patent documents presented below that can be presented as examples of such a digital pattern exposure machine.

상기 디지털 패턴 노광기에서는, 반도체 웨이퍼나 디스플레이 유리기판 등의 노광 대상체가 테이블 부재 상에 올려지고, 상기 테이블 부재에 부압(negative pressure)이 형성되어, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 흡착된 상태에서, 레이저가 상기 노광 대상체의 상공에서 회로를 그려주게 된다.In the digital pattern exposure machine, an exposure target such as a semiconductor wafer or a display glass substrate is placed on a table member, a negative pressure is formed on the table member, and the exposure target is adsorbed onto the table member. , the laser draws a circuit above the exposure target.

그러나, 종래의 디지털 패널 노광기에 의하면, 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체의 저면이 흡착되는 형태로 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 올려지게 되는데, 이러한 방식에 의해서는, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 완전히 밀착되지 못하고, 상기 노광 대상체의 표면이 불균일해져서, 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어지지 못하여 불량이 발생될 수 있는 문제가 있었다.However, according to the conventional digital panel exposure machine, the exposure object is placed on the table member in a form in which the bottom surface of the exposure object placed on the table member is adsorbed. In this case, the exposure target is not completely in close contact, and the surface of the exposure target is non-uniform, so that accurate exposure of the exposure target is not performed, thereby causing defects.

등록특허 제 10-1214657호, 등록일자: 2012.12.14., 발명의 명칭: 디지털 노광 장치 및 그 방법Registered Patent No. 10-1214657, Registration Date: 2012.12.14., Title of Invention: Digital exposure apparatus and method therefor 등록특허 제 10-2171301호, 등록일자: 2020.10.22., 발명의 명칭: DMD를 이용한 디지털 노광기 및 그 제어 방법Registered Patent No. 10-2171301, Registration Date: 2020.10.22., Title of Invention: Digital exposure machine using DMD and control method thereof

본 발명은 테이블 부재 상에 올려진 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있는 디지털 패턴 노광기를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a digital pattern exposure machine capable of adhering the exposure object onto the table member so that the surface of the exposure target mounted on the table member becomes uniform so that the exposure target can be accurately exposed. do it with

본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기는 노광기 프레임 부재; 상기 노광기 프레임 부재 상에 배치되어, 노광 대상체가 올려지고, 흡착홀이 형성되어, 상기 노광 대상체를 흡착할 수 있는 테이블 부재; 및 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체에 요구되는 패턴을 형성하는 노광 부재;를 포함하고,A digital pattern exposure apparatus according to an aspect of the present invention includes an exposure machine frame member; a table member disposed on the exposure machine frame member, on which an exposure target is mounted, and a suction hole is formed to adsorb the exposure target; and an exposure member for forming a pattern required for the exposure target mounted on the table member;

상기 테이블 부재는 상기 흡착홀이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체가 올려지는 진공 테이블과, 상기 진공 테이블 상에 흡착된 상기 노광 대상체의 상면을 덮고, 투명한 재질로 이루어지는 투명 덮개를 포함하고,The table member has a transparent cover made of a transparent material that is formed in a flat shape in which a plurality of the adsorption holes are penetrated to cover a vacuum table on which the exposure target is mounted, and an upper surface of the exposure target adsorbed on the vacuum table. including,

상기 투명 덮개가 상기 진공 테이블 상에 올려진 상기 노광 대상체를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체가 상기 투명 덮개에 의해 눌려서 상기 노광 대상체의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재가 상기 투명 덮개의 상공에서 상기 투명 덮개를 통하여 상기 노광 대상체에 상기 요구되는 패턴을 형성하고,
상기 테이블 부재는 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러를 포함하고,
상기 실러에 의해 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 누르면서 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지게 되는 것을 특징으로 한다.When the transparent cover covers the exposure object placed on the vacuum table, the exposure object is pressed by the transparent cover to make the surface of the exposure object uniform, and the transparent cover is made of a transparent material, so that the exposure A member forms the required pattern on the object to be exposed through the transparent cover above the transparent cover,
The table member includes a sealer for sealing the edge of the vacuum table and the transparent cover,
A negative pressure is formed in a portion between the vacuum table and the transparent cover by the sealer, so that the transparent cover is pulled toward the vacuum table while pressing the object to be exposed.

본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기에 의하면, 상기 디지털 패턴 노광기가 노광기 프레임 부재와, 테이블 부재와, 노광 부재를 포함함에 따라, 상기 테이블 부재를 구성하는 진공 테이블 상에 올려진 노광 대상체가 상기 진공 테이블 상에 흡착됨과 함께, 상기 노광 대상체를 덮은 상태의 투명 덮개도 함께 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 눌러주게 되어, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있고, 그에 따라 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있게 되는 효과가 있다.According to the digital pattern exposure machine according to an aspect of the present invention, as the digital pattern exposure machine includes an exposure machine frame member, a table member, and an exposure member, an exposure object mounted on a vacuum table constituting the table member is the While being adsorbed on the vacuum table, the transparent cover covering the exposure target is also pulled toward the vacuum table, and the transparent cover presses the exposure target, so that the exposure target can be in close contact with the table member, , thereby making the surface of the exposure target mounted on the table member uniform, so that accurate exposure of the exposure target can be achieved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기의 구성을 개략적으로 보이는 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 사시도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도.1 is a front view schematically showing the configuration of a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged front view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention; FIG.
4 is an enlarged perspective view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention;
5 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 디지털 패턴 노광기에 대하여 설명한다.Hereinafter, a digital pattern exposure machine according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기의 구성을 개략적으로 보이는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 사시도이다.1 is a front view schematically showing the configuration of a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting the digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, 3 is an enlarged front view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged front view of the digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention. It is an enlarged perspective view of a corner portion of one side of an exposure target mounted on a constituting table member.

도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기(100)는 노광기 프레임 부재(110)와, 테이블 부재(150)와, 노광 부재(130)를 포함한다.1 to 4 , the digital pattern exposure machine 100 according to the present embodiment includes an exposure machine frame member 110 , a table member 150 , and an exposure member 130 .

상기 노광기 프레임 부재(110)는 상기 디지털 패턴 노광기(100)의 설치면 상에 놓이는 것이다.The exposure machine frame member 110 is placed on the installation surface of the digital pattern exposure machine 100 .

상기 노광 부재(130)는 상기 노광기 프레임 부재(110)에 연결되어, 상기 테이블 부재(150) 상에 올려진 노광 대상체(10)에 회로 등의 요구되는 패턴을 형성하는 것으로, 레이저를 이용한 방식 등 다양한 방식으로 제시될 수 있다.The exposure member 130 is connected to the exposure machine frame member 110 to form a required pattern such as a circuit on the exposure target object 10 mounted on the table member 150, using a laser method, etc. It can be presented in a variety of ways.

도면 번호 120은 노광 구동 부재로서, 상기 노광 구동 부재(120)는 상기 노광기 프레임 부재(110)로부터 소정 길이로 연장되고, 모터 등의 구동 수단을 포함하고, 상기 노광 부재(130)가 그 전면부에 연결된 것으로, 상기 노광 구동 부재(120)의 작동에 따라, 상기 노광 부재(130)가 전후진 및/또는 좌우 이동됨으로써, 상기 테이블 부재(150)의 상공에서 상기 노광 부재(130)가 상기 노광 대상체(10)에 대한 노광을 위해 이동될 수 있게 된다.Reference numeral 120 denotes an exposure driving member, the exposure driving member 120 extending to a predetermined length from the exposure machine frame member 110 , including a driving means such as a motor, and the exposure member 130 having a front portion thereof connected to , the exposure member 130 is moved forward and backward and/or left and right according to the operation of the exposure driving member 120 , so that the exposure member 130 is moved above the table member 150 . The object 10 may be moved for exposure.

상기 테이블 부재(150)는 상기 노광기 프레임 부재(110) 상에 배치되어, 상기 노광 대상체(10)가 올려지고, 흡착홀(152)이 형성되어, 상기 노광 대상체(10)를 흡착할 수 있는 것으로, 진공 테이블(151)과, 투명 덮개(153)를 포함한다.The table member 150 is disposed on the exposure machine frame member 110 , the exposure target 10 is mounted, and a suction hole 152 is formed to adsorb the exposure target 10 . , a vacuum table 151 and a transparent cover 153 .

상기 진공 테이블(151)은 상기 흡착홀(152)이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체(10)가 올려지는 것이다.The vacuum table 151 is formed in a flat shape in which a plurality of the suction holes 152 are penetrated, and the object 10 to be exposed is mounted thereon.

상기 흡착홀(152)은 외부의 진공 펌프 등의 흡착 수단(미도시)과 연결되어, 상기 흡착 수단이 작동되면, 상기 흡착홀(152)에 부압이 형성되어, 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151)의 표면에 흡착된다.The suction hole 152 is connected to a suction means (not shown) such as an external vacuum pump, and when the suction means is operated, a negative pressure is formed in the suction hole 152 , and is formed on the vacuum table 151 . The mounted exposure object 10 is adsorbed to the surface of the vacuum table 151 .

상기 흡착홀(152)은 상기 진공 테이블(151)에 서로 이격되도록 복수 개 형성될 수 있다.A plurality of suction holes 152 may be formed in the vacuum table 151 to be spaced apart from each other.

상기 투명 덮개(153)는 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착된 상기 노광 대상체(10)의 상면을 덮고, 투명한 플라스틱, 유리 등의 투명한 재질로 이루어지는 것이다.The transparent cover 153 covers the upper surface of the exposure target 10 adsorbed on the vacuum table 151 and is made of a transparent material such as transparent plastic or glass.

상기 투명 덮개(153)는 소정 면적의 평평한 플레이트 형태로 형성되어, 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 된다.The transparent cover 153 is formed in the form of a flat plate having a predetermined area, and presses the exposure target 10 .

상기와 같이 구성되면, 상기 투명 덮개(153)가 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체(10)가 상기 투명 덮개(153)에 의해 눌려서 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개(153)가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재(130)가 상기 투명 덮개(153)의 상공에서 상기 투명 덮개(153)를 통하여 레이저 등을 조사해줌으로써 상기 노광 대상체(10)에 상기 요구되는 패턴을 형성한다.When configured as described above, the transparent cover 153 covers the exposure target 10 mounted on the vacuum table 151 , so that the exposure target 10 is pressed by the transparent cover 153 . As the surface of the exposure target 10 becomes uniform, the transparent cover 153 is made of a transparent material, so that the exposure member 130 is laser beamed through the transparent cover 153 from above the transparent cover 153 . By irradiating the light, the desired pattern is formed on the object 10 to be exposed.

또한, 본 실시예에서는, 상기 테이블 부재(150)가 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러(154)를 포함한다.In addition, in this embodiment, the table member 150 includes a sealer 154 sealing the edge of the vacuum table 151 and the transparent cover 153 .

상기 실러(154)는 고무 등 탄성이 있는 재질로 이루어지고, 상기 진공 테이블(151)의 가장자리 부분으로부터 소정 높이로 돌출되되, 상기 진공 테이블(151)의 가장자리 부분을 따라 폐루프가 되는 형태로 형성된다. 그러면, 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 덮을 때 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분에 의해 상기 실러(154)가 눌리면서, 상기 실러(154)에 의해 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153) 사이의 부분이 외부에 대하여 밀폐된다.The sealer 154 is made of an elastic material such as rubber, and protrudes to a predetermined height from the edge of the vacuum table 151 , and is formed in a closed loop shape along the edge of the vacuum table 151 . do. Then, when the transparent cover 153 covers the exposure target 10 , the sealer 154 is pressed by the edge of the transparent cover 153 , and the vacuum table 151 is pressed by the sealer 154 . and the portion between the transparent cover 153 is sealed to the outside.

상기와 같이, 상기 실러(154)가 적용됨으로써, 상기 흡착홀(152)을 통한 상기 노광 대상체(10)에 대한 흡착이 이루어질 때, 상기 실러(154)에 의해 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153) 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 자중에 의해 누름과 함께, 상기 투명 덮개(153)가 부압에 의해 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지게 됨으로써, 상기 투명 덮개(153)에 의해 덮이는 상기 노광 대상체(10)가 더욱 더 평평해질 수 있게 된다.As described above, by applying the sealer 154 , when the exposure target 10 is adsorbed through the suction hole 152 , the vacuum table 151 and the transparent A negative pressure is formed in the portion between the lids 153 , so that the transparent lid 153 presses the exposure target 10 by its own weight, and the transparent lid 153 presses the vacuum table 151 by the negative pressure. By being pulled toward the side, the exposure target 10 covered by the transparent cover 153 can be further flattened.

또한, 본 실시예에서는, 상기 실러(154)가 상기 노광 대상체(10)의 측단과 소정 간격 이격되도록 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분에 형성됨으로써, 상기 흡착홀(152)에서 흡착이 이루어지면, 상기 노광 대상체(10), 상기 진공 테이블(151), 상기 실러(154) 및 상기 투명 덮개(153) 사이에 형성된 공간에 있던 에어가 상기 흡착홀(152)을 통해 빠져나가게 되어, 상기 노광 대상체(10), 상기 진공 테이블(151), 상기 실러(154) 및 상기 투명 덮개(153) 사이에 형성된 공간에 부압이 신속하게 형성될 수 있게 된다.In addition, in this embodiment, the sealer 154 is formed at the edge of the vacuum table 151 and the transparent cover 153 so as to be spaced apart from the side end of the exposure target 10 by a predetermined distance, so that the suction hole ( When adsorption is performed at 152 , air in the space formed between the exposure target 10 , the vacuum table 151 , the sealer 154 , and the transparent cover 153 passes through the adsorption hole 152 . As it exits, a negative pressure can be quickly formed in the space formed between the exposure target 10 , the vacuum table 151 , the sealer 154 , and the transparent cover 153 .

한편, 상기 디지털 패턴 노광기(100)는 정렬 표식 인식 부재(140)를 더 포함한다.Meanwhile, the digital pattern exposure machine 100 further includes an alignment mark recognition member 140 .

상기 정렬 표식 인식 부재(140)는 상기 노광기 프레임 부재(110) 중 상기 테이블 부재(150)로부터 소정 간격 이격된 위치에 형성되어, 상기 노광 대상체(10)에 표시된 정렬 표식(141, 142)을 인식할 수 있는 것이다.The alignment mark recognition member 140 is formed at a position spaced apart from the table member 150 by a predetermined distance among the exposure machine frame member 110 to recognize the alignment marks 141 and 142 displayed on the exposure target object 10 . it can be done

상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 모서리 등의 미리 설정된 부분에 형성된다.The alignment marks 141 and 142 are formed in preset portions such as corners of the exposure target 10 .

본 실시예에서는, 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 하나씩 표시된다. 즉, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 일측 표면에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 타측 표면에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시된다.In the present embodiment, the alignment marks 141 and 142 are respectively displayed at the same position corresponding to each other on both surfaces of the preset portion of the exposure target 10 . That is, one 142 of the alignment marks 141 and 142 is displayed on one surface of the preset portion of the exposure target 10 , and the other 141 of the alignment marks 141 and 142 is the Displayed on the other surface of the preset portion of the exposure object 10 , the pair of alignment marks 141 and 142 are located at the same position corresponding to each other on both surfaces of the preset portion of the exposure object 10 . each is displayed.

예를 들어, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 하측 표면(저면 표면)에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 상측 표면에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시된다. 이러한 예시는, 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 하측에서 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 상기 정렬 표식(141, 142)을 인식하는 경우에 적용되는 것이고, 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 상측에서 상기 정렬 표식(141, 142)을 인식하는 경우에는, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 상측 표면에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 하측 표면(저면 표면)에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시될 것이고, 이러한 경우도 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.For example, one 142 of the alignment marks 141 and 142 is displayed on a lower surface (bottom surface) of the preset portion of the exposure target 10 , and the other of the alignment marks 141 and 142 . One 141 is displayed on the upper surface of the preset portion of the exposure object 10 , and a pair of the alignment marks 141 and 142 is on both surfaces of the preset portion of the exposure object 10 . They are respectively displayed in the same position corresponding to each other. This example is applied when the alignment mark recognizing member 140 recognizes the alignment marks 141 and 142 from the lower side of the exposure target 10 mounted on the table member 150 , and the alignment When the mark recognizing member 140 recognizes the alignment marks 141 and 142 from the upper side of the exposure target 10 mounted on the table member 150, one of the alignment marks 141 and 142 is is displayed on the upper surface of the preset portion of the exposure object 10 , and the other of the alignment marks 141 and 142 is displayed on the lower surface (bottom surface) of the preset portion of the exposure object 10 . However, the pair of alignment marks 141 and 142 will be respectively displayed at the same positions corresponding to each other on both surfaces of the preset portion of the exposure object 10, and this case also falls within the scope of the present invention is of course

상기와 같이 구성되면, 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)에 표시된 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)를 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 인식한 다음 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 상면에 대한 상기 노광 부재(130)에 의한 노광이 이루어지고, 그런 다음, 상기 노광 대상체(10)가 뒤집어진 상태로 상기 테이블 부재(150) 상에 다시 올려지면, 상기 노광 대상체(10)에 표시된 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)를 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 인식하고 그러한 상태에서 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 저면에 대한 상기 노광 부재(130)에 의한 노광이 이루어짐으로써, 상기 노광 대상체(10)의 양 표면에 대해 정확한 노광이 가능해질 수 있게 되면서도, 상기 노광 대상체(10)의 정확한 노광을 위한 표식을 위해 상기 노광 대상체(10)를 관통하는 등 상기 노광 대상체(10)를 손상시킬 필요가 없게 된다.When configured as described above, the alignment mark recognizing member 140 recognizes one of the alignment marks 141 and 142 displayed on the exposure target 10 mounted on the table member 150 , and then the Exposure is performed by the exposure member 130 on the upper surface of the exposure target 10 mounted on the table member 150 , and then, the table member 150 is in a state in which the exposure target 10 is turned upside down. ), the other one 141 of the alignment marks 141 and 142 displayed on the exposure target 10 is recognized by the alignment mark recognizing member 140, and in such a state, the table member 150 By performing exposure by the exposure member 130 on the bottom surface of the exposure object 10 mounted on the exposure target object 10, accurate exposure is possible on both surfaces of the exposure object 10, while the exposure object ( 10), there is no need to damage the exposure object 10, such as penetrating the exposure object 10 for a mark for accurate exposure.

이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기(100)의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the digital pattern exposure machine 100 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 올려진 상태에서, 상기 정렬 표식 인식 부재(140)에 의해 상기 노광 대상체(10)의 상기 정렬 표식(141, 142)이 인식되어, 상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 정확하게 올려졌는지가 확인된다.When the exposure object 10 is placed on the vacuum table 151 , the alignment marks 141 and 142 of the exposure object 10 are recognized by the alignment mark recognition member 140 , and the It is checked whether the exposure target 10 is correctly placed on the vacuum table 151 .

상기와 같이, 상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 정확하게 올려진 상태에서, 상기 흡착 수단이 작동되어, 상기 흡착홀(152)을 통한 부압 형성이 이루어지면, 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착됨과 함께, 상기 투명 덮개(153)도 함께 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 되고, 그에 따라 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해질 수 있게 된다.As described above, in a state in which the exposure target 10 is accurately placed on the vacuum table 151 , the suction means is operated to form a negative pressure through the suction hole 152 , the exposure target ( 10) is adsorbed on the vacuum table 151, the transparent cover 153 is also pulled toward the vacuum table 151, and the transparent cover 153 presses the exposure target 10, Accordingly, the surface of the exposure target 10 may be uniform.

상기와 같이, 상기 디지털 패턴 노광기(100)가 상기 노광기 프레임 부재(110)와, 상기 테이블 부재(150)와, 상기 노광 부재(130)를 포함함에 따라, 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착됨과 함께, 상기 노광 대상체(10)를 덮은 상태의 상기 투명 덮개(153)도 함께 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 되어, 상기 테이블 부재(150) 상에 상기 노광 대상체(10)가 밀착될 수 있고, 그에 따라 상기 테이블 부재(150) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체(10)에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있게 된다.As described above, as the digital pattern exposure machine 100 includes the exposure machine frame member 110 , the table member 150 , and the exposure member 130 , the digital pattern exposure machine 100 is mounted on the vacuum table 151 . While the exposure target 10 is adsorbed onto the vacuum table 151, the transparent cover 153 covering the exposure target 10 is also pulled toward the vacuum table 151, and the transparent cover ( 153) presses the exposure target 10, so that the exposure target 10 can be in close contact with the table member 150, and thus the exposure target 10 mounted on the table member 150 The surface of 10) becomes uniform, so that accurate exposure of the object 10 can be performed.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out such a description, the description overlapping with the content already described in the above-described embodiment of the present invention will be omitted here instead of it.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도이다.5 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 실시예에서는, 테이블 부재(250)가 실러 관통 덮개 흡착관(255)과, 실러 내측 흡착관(256)을 더 포함한다.Referring to FIG. 5 , in this embodiment, the table member 250 further includes a sealer through-cover adsorption tube 255 and a sealer inner adsorption tube 256 .

상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)은 흡착홀(252)로부터 연장되되, 진공 테이블(251) 및 실러(254)를 연속적으로 관통하여 상기 실러(254)의 상단까지 연장된 것이다.The sealer through-cover adsorption tube 255 extends from the adsorption hole 252 , continuously passes through the vacuum table 251 and the sealer 254 to the upper end of the sealer 254 .

상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)이 형성됨에 따라, 상기 흡착홀(252)에 부압이 형성될 때, 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)에도 부압이 형성되고, 그에 따라 투명 덮개(253)의 외곽 부분이 상기 실러(254)의 상단에 더욱 견고하게 흡착될 수 있게 되어, 상기 진공 테이블(251)과 상기 투명 덮개(253) 사이의 부분에 대한 밀폐력이 향상될 수 있게 된다.As the sealer through-cover adsorption tube 255 is formed, when a negative pressure is formed in the adsorption hole 252 , a negative pressure is also formed in the sealer through-cover adsorption tube 255 , and accordingly, the Since the outer portion can be more firmly adsorbed to the upper end of the sealer 254 , the sealing force of the portion between the vacuum table 251 and the transparent cover 253 can be improved.

상기 실러 내측 흡착관(256)은 상기 실러(254)의 측면 중 노광 대상체(10)와 대면되는 면인 내면과 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)을 연통시키는 것이다.The sealer inner adsorption tube 256 communicates the inner surface of the sealer 254 , which is a surface facing the exposure target 10 , and the sealer penetrating cover adsorption tube 255 .

상기 실러 내측 흡착관(256)이 형성됨에 따라, 상기 흡착홀(252)에 부압이 형성될 때, 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)은 물론 상기 실러 내측 흡착관(256)에도 부압이 형성되고, 그에 따라 상기 진공 테이블(251), 상기 투명 덮개(253) 및 노광 대상체(10) 사이의 공간의 에어가 상기 실러 내측 흡착관(256)을 통해 토출될 수 있게 되어, 상기 진공 테이블(251)과 상기 투명 덮개(253) 사이의 부분에 대한 밀폐력이 더욱 향상될 수 있게 된다.As the sealer inner adsorption tube 256 is formed, when a negative pressure is formed in the adsorption hole 252 , a negative pressure is formed in the sealer through-cover adsorption tube 255 as well as the sealer inner adsorption tube 256 , , so that air in the space between the vacuum table 251, the transparent cover 253, and the exposure target 10 can be discharged through the sealer inner suction tube 256, and the vacuum table 251 and the sealing force for the portion between the transparent cover 253 can be further improved.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to specific embodiments, but those of ordinary skill in the art can variously modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. and can be changed. However, it is intended to clearly state that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기에 의하면, 테이블 부재 상에 올려진 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the digital pattern exposure machine according to an aspect of the present invention, the exposure target can be closely adhered to the table member so that the surface of the exposure target mounted on the table member becomes uniform so that the exposure target can be accurately exposed. Therefore, it can be said that the industrial applicability is high.

10 : 노광 대상체
100 : 디지털 패턴 노광기
110 : 노광기 프레임 부재
120 : 노광 구동 부재
130 : 노광 부재
140 : 정렬 표식 인식 부재
150 : 테이블 부재
151 : 진공 테이블
152 : 흡착홀
153 : 투명 덮개
154 : 실러10: exposure object
100: digital pattern exposure machine
110: exposure machine frame member
120: exposure driving member
130: exposure member
140: alignment mark recognition absent
150: no table
151 vacuum table
152: suction hole
153: transparent cover
154: sealer

Claims (5)

노광기 프레임 부재;
상기 노광기 프레임 부재 상에 배치되어, 노광 대상체가 올려지고, 흡착홀이 형성되어, 상기 노광 대상체를 흡착할 수 있는 테이블 부재; 및
상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체에 요구되는 패턴을 형성하는 노광 부재;를 포함하고,
상기 테이블 부재는
상기 흡착홀이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체가 올려지는 진공 테이블과,
상기 진공 테이블 상에 흡착된 상기 노광 대상체의 상면을 덮고, 투명한 재질로 이루어지는 투명 덮개를 포함하고,
상기 투명 덮개가 상기 진공 테이블 상에 올려진 상기 노광 대상체를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체가 상기 투명 덮개에 의해 눌려서 상기 노광 대상체의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재가 상기 투명 덮개의 상공에서 상기 투명 덮개를 통하여 상기 노광 대상체에 상기 요구되는 패턴을 형성하고,
상기 테이블 부재는
상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러를 포함하고,
상기 실러에 의해 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 누르면서 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지게 되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.an exposure machine frame member;
a table member disposed on the exposure machine frame member, on which an object to be exposed is mounted, and a suction hole is formed to adsorb the object to be exposed; and
and an exposure member for forming a pattern required for the exposure target mounted on the table member;
the table member
a vacuum table in which the suction holes are formed in a flat manner in which a plurality of penetrating holes are formed to mount the exposure target;
and a transparent cover covering the upper surface of the exposure target adsorbed on the vacuum table and made of a transparent material,
When the transparent cover covers the exposure object placed on the vacuum table, the exposure object is pressed by the transparent cover to make the surface of the exposure object uniform, and the transparent cover is made of a transparent material, so that the exposure A member forms the required pattern on the object to be exposed through the transparent cover above the transparent cover,
the table member
and a sealer sealing the edge of the vacuum table and the transparent cover,
A digital pattern exposure machine, characterized in that a negative pressure is formed in a portion between the vacuum table and the transparent cover by the sealer, and the transparent cover is pulled toward the vacuum table while pressing the object to be exposed. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 실러는 상기 노광 대상체의 측단과 소정 간격 이격되도록 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분에 형성됨으로써, 상기 흡착홀에서 흡착이 이루어지면, 상기 진공 테이블, 상기 실러 및 상기 투명 덮개 사이에 형성된 공간에 부압이 형성되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.The method of claim 1,
The sealer is formed on the edge of the vacuum table and the transparent cover so as to be spaced apart from the side end of the object by a predetermined distance. Digital pattern exposure machine, characterized in that the negative pressure is formed. 제 1 항에 있어서,
상기 디지털 패턴 노광기는
상기 노광기 프레임 부재 중 상기 테이블 부재로부터 소정 간격 이격된 위치에 형성되어, 상기 노광 대상체에 표시된 정렬 표식을 인식할 수 있는 정렬 표식 인식 부재;를 더 포함하고,
상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광 대상체의 상면에 대한 상기 노광 부재의 노광이 이루어진 상태에서, 상기 노광 대상체의 저면에 대한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 노광 부재에 의한 노광이 이루어진 상기 노광 대상체의 상면이 저면이 되도록 상기 노광 대상체가 뒤집어져서 상기 테이블 부재에 올려질 때, 상기 정렬 표식 인식 부재가 상기 노광 대상체의 상기 정렬 표식을 인식함으로써, 상기 테이블 부재 상의 요구되는 위치에 상기 노광 대상체가 올려졌는지 여부가 확인될 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.The method of claim 1,
The digital pattern exposure machine
Further comprising; an alignment mark recognition member formed at a position spaced apart from the table member by a predetermined distance among the exposure machine frame member to recognize the alignment mark displayed on the exposure object;
In a state in which the exposure member is exposed to the upper surface of the exposure object mounted on the table member, the upper surface of the exposure object exposed by the exposure member may be exposed so that the lower surface of the exposure object may be exposed. When the exposure object is turned over so as to become a bottom surface and placed on the table member, the alignment mark recognizing member recognizes the alignment mark of the exposure object, thereby determining whether the exposure object is placed at a required position on the table member Digital pattern exposure machine, characterized in that it can be identified. 제 4 항에 있어서,
상기 정렬 표식은 상기 노광 대상체의 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 하나씩 표시되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.5. The method of claim 4,
The digital pattern exposure machine according to claim 1, wherein the alignment marks are respectively displayed at the same position corresponding to each other on both surfaces of the preset portion of the exposure target.
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