KR102318327B1 - Plate thickness measurement window structure of work - Google Patents

Plate thickness measurement window structure of work Download PDF

Info

Publication number
KR102318327B1
KR102318327B1 KR1020170060433A KR20170060433A KR102318327B1 KR 102318327 B1 KR102318327 B1 KR 102318327B1 KR 1020170060433 A KR1020170060433 A KR 1020170060433A KR 20170060433 A KR20170060433 A KR 20170060433A KR 102318327 B1 KR102318327 B1 KR 102318327B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
window
thickness
measuring
window structure
Prior art date
Application number
KR1020170060433A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170132667A (en
Inventor
요시오 고이케
유스케 이노우에
히데아키 요시하라
Original Assignee
스피드팸 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스피드팸 가부시키가이샤 filed Critical 스피드팸 가부시키가이샤
Publication of KR20170132667A publication Critical patent/KR20170132667A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102318327B1 publication Critical patent/KR102318327B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B24B37/205—Lapping pads for working plane surfaces provided with a window for inspecting the surface of the work being lapped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은, 창 부재를 정반의 표면에 안정적으로 고정할 수 있는 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 제공한다.
워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 박판형상의 워크(W)를 연마하는 연마 장치(201)의 상정반(211)의 상하면(211a, 211b)을 관통하는 계측 구멍(2)과, 계측 구멍(2)에 삽입된 창 부재(3)를 구비한다. 창 부재(3)는, 계측 구멍(2)에 하단 측이 삽입된 통형상부(31)와, 통형상부(31)의 하단에 마련된 투광성의 창 판(32)을 갖는다. 게다가, 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 면접촉하도록 유지하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 고정부(4)를 구비한다.The present invention provides a window structure for measuring the thickness of a workpiece that can stably fix a window member to the surface of a surface plate.
The window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece includes a measurement hole 2 penetrating the upper and lower surfaces 211a and 211b of the upper platen 211 of the polishing apparatus 201 for polishing the thin plate-shaped workpiece W; , a window member 3 inserted into the measurement hole 2 is provided. The window member 3 has a cylindrical portion 31 having a lower end inserted into the measurement hole 2 , and a translucent window plate 32 provided at the lower end of the cylindrical portion 31 . In addition, the window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece maintains the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical portion 31 so as to be in surface contact with the fixing part fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . (4) is provided.

Description

워크의 판 두께 계측용 창 구조{PLATE THICKNESS MEASUREMENT WINDOW STRUCTURE OF WORK}Window structure for plate thickness measurement of workpieces {PLATE THICKNESS MEASUREMENT WINDOW STRUCTURE OF WORK}

본 발명은 워크의 판 두께 계측용 창(窓) 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a window structure for measuring the thickness of a workpiece.

예로부터, 실리콘 웨이퍼, 유리, 세라믹스, 수정 등의 박판형상의 워크의 양면(兩面)이나 편면(片面)을 평탄으로 하기 위해 워크를 연마하는 연마 장치가 사용되고 있다.BACKGROUND ART A polishing apparatus for polishing a work has been used since ancient times in order to flatten both surfaces and one side of a thin plate-shaped work, such as a silicon wafer, glass, ceramics, or quartz.

이 연마 장치에는, 일반적으로 워크의 연마 중에 워크의 판 두께를 계측하는 판 두께 계측 장치가 접속되어 있다. 이 판 두께 계측 장치로서는, 예컨대 적외선을 워크에 조사하여 반사한 반사광을 수광하여 워크의 판 두께를 계측하는 것이 알려지고 있다.A plate thickness measuring device for measuring the plate thickness of the workpiece is generally connected to the polishing device. As this plate thickness measuring device, for example, it is known that infrared rays are irradiated to a workpiece, and reflected light is received to measure the plate thickness of the workpiece.

연마 장치의 정반(定盤)에는, 예컨대 특허문헌 1에 개시한 바와 같은 계측용 창 구조(워크의 판 두께 계측용 창 구조)가 마련되어 있다. 이 계측용 창 구조는, 연마 장치의 정반의 표리면(表裏面)을 관통하는 계측 구멍에 창(窓) 부재가 부착되는 것으로 이루어져 있다. 창 부재는, 계측 구멍에 일단 측이 삽입된 통형상부와, 통형상부의 일단에 마련된 투광성의 창 판(窓板)과, 통형상부의 타단에 마련된 고정부로 이루어진다. 고정부는 정반의 표면에 고정되어 있다. 이와 같이 구성된 특허문헌 1의 계측용 창 구조는, 판 두께 계측 장치에서 발사된 적외선을 통형상부를 통과시켜 창 판을 투과시키는 것으로 워크의 표면을 조사하고, 워크의 표면 및 리면(裏面)에서 반사된 반사광을 창 판을 투과시켜 통형상부를 통과시키는 것으로 판 두께 계측 장치에 수광시킨다.The surface plate of a polishing apparatus is provided with the window structure for measurement (window structure for plate|board thickness measurement of a workpiece|work) as disclosed in patent document 1, for example. This measurement window structure consists of a window member being attached to the measurement hole penetrating the front and back surfaces of the surface plate of a grinding|polishing apparatus. The window member includes a cylindrical portion having one end inserted into the measurement hole, a translucent window plate provided at one end of the cylindrical portion, and a fixing portion provided at the other end of the cylindrical portion. The fixing part is fixed to the surface of the surface plate. In the window structure for measurement of Patent Document 1 configured as described above, infrared rays emitted from the plate thickness measuring device pass through the cylindrical portion to transmit the window plate, thereby irradiating the surface of the workpiece and reflecting on the surface and the back surface of the workpiece. The reflected light transmitted through the window plate is passed through the cylindrical part, and the plate thickness measuring device receives light.

[특허문헌 1] 일본 특허공개 제2013-223908호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2013-223908

그러나, 특허문헌 1의 계측용 창 구조에서는, 고정부가 창 부재의 통형상부의 타단을 유지하며 정반의 표면에 고정되어 있기 때문에, 창 부재는 정반의 진동 등에 의해 예기하지 않게 기울어지는 경우가 있다. 그 경우에 창 부재는, 워크의 판 두께 측정에 필요한 양(量)의 적외선이나 반사광을 투과시킬 수 없어지기 때문에, 판 두께 계측 장치에서 얻어지는 판 두께의 계측 값의 정밀도가 저하하여 버린다. 그래서, 창 부재를 정반의 표면에 안정적으로 고정할 수 있는 워크의 판 두께 계측용 창 구조가 요구되고 있다.However, in the measurement window structure of Patent Document 1, since the fixing portion is fixed to the surface of the surface plate while holding the other end of the cylindrical portion of the window member, the window member may incline unexpectedly due to vibration of the surface plate or the like. In that case, since the window member cannot transmit the amount of infrared rays or reflected light necessary for measuring the thickness of the workpiece, the precision of the measured value of the thickness obtained by the plate thickness measuring device is lowered. Therefore, there is a demand for a window structure for measuring the thickness of a workpiece that can stably fix the window member to the surface of the surface plate.

본 발명은, 이와 같은 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 창 부재를 정반의 표면에 안정적으로 고정할 수 있는 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a window structure for measuring the thickness of a work in which the window member can be stably fixed to the surface of a surface plate.

본 발명의 워크의 판 두께 계측용 창 구조는, 박판형상의 워크를 연마하는 연마 장치의 정반의 표리면을 관통하는 계측 구멍과, 상기 계측 구멍에 일단측이 삽입된 통형상부 및 상기 통형상부의 일단에 마련된 투광성의 창 판을 갖는 창 부재와, 상기 통형상부의 타단 측의 외주면을 면접촉하도록 유지하며 상기 정반의 표면에 고정된 고정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The window structure for measuring the thickness of a workpiece according to the present invention includes a measurement hole penetrating the front and back surfaces of a surface plate of a polishing apparatus for polishing a thin plate-shaped workpiece, a cylindrical portion having one end inserted into the measurement hole, and the cylindrical shape A window member having a light-transmitting window plate provided at one end of the portion, and a fixing portion fixed to the surface of the surface plate while holding the outer peripheral surface of the other end side of the cylindrical portion in surface contact.

본 발명의 워크의 판 두께 계측용 창 구조에서는, 고정부가 통형상부의 타단 측의 외주면을 면접촉하도록 유지한다. 이에 인해, 고정부는 종래에 비해 창 부재의 통형상부를 유지하는 범위가 넓어지기 때문에, 창 부재의 ??형상부를 미리 조정된 각도를 보존하면서 계속 유지하는 것이 가능으로 된다. 따라서, 본 발명의 워크의 판 두께 계측용 창 구조는, 창 부재를 정반의 표면에 안정적으로 고정할 수 있다.In the window structure for measuring the thickness of a workpiece according to the present invention, the fixing portion holds the outer peripheral surface of the other end side of the cylindrical portion in surface contact. For this reason, since the range in which the fixing portion holds the cylindrical portion of the window member becomes wider than in the prior art, it becomes possible to continuously hold the ??-shaped portion of the window member while preserving the angle adjusted in advance. Accordingly, the window structure for measuring the thickness of a workpiece according to the present invention can stably fix the window member to the surface of the surface plate.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 워크의 판 두께 계측용 창 구조가 적용된 연마 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 워크의 판 두께 계측용 창 구조의 종단면도이다.
도 3은 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 구성하는 슬리브의 평면도이다.
도 4는 도 3의 슬리브의 정면도이다.
도 5는 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 구성하는 칼라의 종단면도이다.
도 6은 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 구성하는 하우징의 평면도이다.
도 7은 도 6의 A-A 단면도 및 B-B 단면도이다.
도 8은 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 구성하는 뚜껑의 평면도이다.
도 9는 도 8의 C-C 단면도 및 D-D 단면도이다.
도 10은 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 구성하는 커버의 평면도이다.
도 11은 도 10의 커버를 상정반의 외주측으로부터 본 개략 사시도이다.
도 12는 도 10의 커버의 개략 저면도이다.
도 13은 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조를 사용한 판 두께 계측 방법을 설명하기 위한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the structure of the grinding|polishing system to which the window structure for plate|board thickness measurement of the work|work which concerns on embodiment of this invention was applied.
Fig. 2 is a longitudinal sectional view of a window structure for measuring the thickness of a workpiece according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a plan view of the sleeve constituting the window structure for measuring the thickness of the workpiece according to the present embodiment.
Fig. 4 is a front view of the sleeve of Fig. 3;
Fig. 5 is a longitudinal sectional view of a collar constituting the window structure for plate thickness measurement of the workpiece according to the present embodiment.
6 is a plan view of a housing constituting the window structure for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment.
7 is a cross-sectional view taken along AA and BB of FIG. 6 .
Fig. 8 is a plan view of a lid constituting a window structure for measuring a sheet thickness of a workpiece according to the present embodiment.
9 is a cross-sectional view taken along CC and DD of FIG. 8 .
Fig. 10 is a plan view of a cover constituting the window structure for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment.
Fig. 11 is a schematic perspective view of the cover of Fig. 10 viewed from the outer peripheral side of the upper plate.
Fig. 12 is a schematic bottom view of the cover of Fig. 10;
It is a figure for demonstrating the plate|board thickness measuring method using the window structure for plate|board thickness measurement of the workpiece|work of this embodiment.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 따라 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)가 적용된 연마 시스템(101)의 구성을 나타내는 모식도이다. 이 연마 시스템(101)은, 연마 장치(201)와, 연마 장치(201)에 접속된 판 두께 계측 장치(301)를 구비한다. 도 1을 사용하여 연마 장치(201)와 판 두께 계측 장치(301)의 구성에 관해 간단히 설명한다.1 : is a schematic diagram which shows the structure of the grinding|polishing system 101 to which the window structure 1 for plate|board thickness measurement of the work|work which concerns on embodiment of this invention was applied. The polishing system 101 includes a polishing apparatus 201 and a plate thickness measuring apparatus 301 connected to the polishing apparatus 201 . The structure of the grinding|polishing apparatus 201 and the plate|board thickness measuring apparatus 301 is demonstrated briefly using FIG.

연마 장치(201)는, 연마제를 사용하여 박판형상의 워크(W)의 양면을 연마하는 것이다. 이 연마 장치(201)는, 회전구동되는 상정반(211) 및 하정반(212)과, 상정반(211) 및 하정반(212)의 구동을 제어하는 제어부(213)를 구비한다.The polishing apparatus 201 polishes both surfaces of the thin plate-shaped work W using an abrasive. The polishing apparatus 201 includes an upper platen 211 and a lower platen 212 that are rotationally driven, and a control unit 213 that controls driving of the upper platen 211 and the lower platen 212 .

상정반(211)의 하면(211b)과 하정반(212)의 상면(212a)에는, 각각 연마 패드(도시하지 않음)가 부착되어 있다. 쌍방의 연마 패드의 사이에는 캐리어(214)가 배치되며 하정반(212)에 얹혀져 있다. 이 캐리어(214)에는 워크(W)가 유지되어 있다. 연마 장치(201)는, 상정반(211) 및 하정반(212)을 회전구동시켜 쌍방의 연마 패드로 연마제를 공급하면서 워크(W)의 양면을 연마하도록 구성되어 있다.A polishing pad (not shown) is respectively attached to the lower surface 211b of the upper surface plate 211 and the upper surface 212a of the lower surface plate 212 . A carrier 214 is disposed between the two polishing pads and is placed on the lower plate 212 . The work W is held on the carrier 214 . The polishing apparatus 201 is configured to grind both surfaces of the work W while rotating the upper platen 211 and the lower platen 212 to supply an abrasive to both polishing pads.

판 두께 계측 장치(301)는, 연마 중의 워크(W)의 판 두께(Wt)를 계측하는 것이다. 이 판 두께 계측 장치(301)는, 계측 장치 본체(311)와, 계측 장치 본체(311)에 접속된 레이저 헤드(312) 및 데이터 해석부(313)를 구비한다.The plate thickness measuring device 301 measures the plate thickness Wt of the workpiece W during grinding. The plate thickness measuring device 301 includes a measuring device main body 311 , a laser head 312 connected to the measuring device main body 311 , and a data analysis unit 313 .

계측 장치 본체(311)는, 도시는 없지만, 적외선(Ra)을 발진하는 발진기와, 반사광(Rb)(도 13 참조)의 간섭 강도를 측정하는 측정기를 구비한다. 레이저 헤드(312)는 발진기에서 발진된 적외선(Ra)을 연마 중의 워크(W)의 표면(Wa)에 조사함과 함께, 워크(W)의 표면(Wa) 및 리면(Wb)에서 반사된 반사광(Rb)을 수광하도록 구성되어 있다.Although not shown, the measuring device main body 311 is provided with the oscillator which oscillates infrared rays Ra, and the measuring instrument which measures the interference intensity|strength of the reflected light Rb (refer FIG. 13). The laser head 312 irradiates infrared rays Ra oscillated by the oscillator to the surface Wa of the workpiece W during polishing, and reflected light reflected from the surface Wa and the back surface Wb of the workpiece W (Rb) is configured to receive light.

데이터 해석부(313)는, 입력 측이 계측 장치 본체(311)의 측정기에 접속되고, 출력 측이 연마 장치(201)의 제어부(213)에 접속되어 있다. 이 데이터 해석부(313)는, 측정기로부터 간섭 강도의 계측 값을 수취하고, 이 계측 값에 기초하여 워크(W)의 판 두께(Wt)를 리얼 타임으로 연산하도록 구성되어 있다. 게다가, 데이터 해석부(313)는, 연산하여 얻어진 워크(W)의 판 두께(Wt)를 제어부(213)에 전송하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 제어부(213)는, 상정반(211) 및 하정반(212)의 회전구동을 제어하도록 구성되어 있다.As for the data analysis part 313 , the input side is connected to the measuring device of the measuring device main body 311 , and the output side is connected to the control part 213 of the grinding|polishing apparatus 201 . This data analysis unit 313 is configured to receive a measurement value of the interference intensity from the measuring device, and to calculate the plate thickness Wt of the workpiece W in real time based on the measurement value. In addition, the data analysis unit 313 is configured to be able to transmit the plate thickness Wt of the workpiece W obtained by the calculation to the control unit 213 . The control unit 213 is configured to control the rotational driving of the upper platen 211 and the lower platen 212 .

상정반(211)에는, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)가 마련되어 있다. 이 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 레이저 헤드(312)에서 발사된 적외선(Ra)을 통과시켜 워크(W)의 표면(Wa)에 조사시키고, 워크(W)의 표면(Wa) 및 리면(Wb)에서 반사된 반사광(Rb)을 통과시켜 레이저 헤드(312)에 수광시키기 위해 사용된다. 이 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)의 구성에 관해 아래에서 구체적으로 설명한다.The upper plate 211 is provided with a window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece according to the present embodiment. As shown in Fig. 13, the window structure 1 for measuring the thickness of the work passes infrared rays Ra emitted from the laser head 312 and irradiates the surface Wa of the work W, It is used to pass the reflected light Rb reflected from the front surface Wa and the back surface Wb of the work W to receive the light by the laser head 312 . The structure of the window structure 1 for plate thickness measurement of this workpiece|work is demonstrated concretely below.

도 2는 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)의 종단면도이다. 이 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 연마 장치(201)의 상정반(211)의 상하면 (표리면)(211a, 211b)을 관통하는 계측 구멍(2)과, 계측 구멍(2)에 삽입된 창 부재(3)와, 창 부재(3)를 유지하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 고정부(4)를 구비한다. 게다가,이 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3) 및 고정부(4)를 피복하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 커버(5)를 구비한다.Fig. 2 is a longitudinal sectional view of the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece. The window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece includes a measurement hole 2 penetrating the upper and lower surfaces (front and back surfaces) 211a and 211b of the upper surface plate 211 of the polishing apparatus 201, and the measurement hole 2 ) and a fixing part 4 that holds the window member 3 and is fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . In addition, the window structure 1 for measuring the thickness of this work has a cover 5 that covers the window member 3 and the fixing portion 4 and is fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . .

계측 구멍(2)은, 그 경로가 상정반(211)의 하면(211b)으로부터 상면(211a)을 향해 형성되어 있다. 이 계측 구멍(2)의 상부에는 구멍붙이 볼트(6)가 삽입하여 고정되어 있다. 이 구멍붙이 볼트(6)에는 삽입통과 구멍(6a)이 상하면을 관통하여 마련되어 있다. 구멍붙이 볼트(6)의 외주에는 부시(7)가 감합되어 상정반(211)의 상면(211a)에 고정되어 있다. 부시(7)의 상면(7a)에는, 구멍붙이 볼트(6)가 통과하는 중앙 구멍(7b)의 주위에 복수개의 고정 구멍(7c)이 마련되어 있다. 이 복수개의 고정 구멍(7c)은 부시(7)의 둘레 방향에 따라 소정의 간격을 두며 배치되어 있다. 또한, 구멍붙이 볼트(6)나 부시(7)를 통하지 않고 창 부재(3)를 유지한 고정부(4)를 상정반(211)의 상면(211a)에 고정하여도 된다.As for the measurement hole 2, the path|route is formed toward the upper surface 211a from the lower surface 211b of the upper surface plate 211. A bolt 6 with a hole is inserted and fixed to the upper part of the measurement hole 2 . The bolt 6 with a hole is provided with an insertion hole 6a penetrating through the upper and lower surfaces. A bush 7 is fitted to the outer periphery of the bolt 6 with a hole and is fixed to the upper surface 211a of the top plate 211 . In the upper surface 7a of the bush 7, a plurality of fixing holes 7c are provided around the central hole 7b through which the bolt 6 passes. The plurality of fixing holes 7c are arranged at predetermined intervals along the circumferential direction of the bush 7 . Alternatively, the fixing portion 4 holding the window member 3 may be fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 without passing through the hole bolt 6 or the bushing 7 .

다음으로, 창 부재(3)의 구성에 관해 설명한다. 이 창 부재(3)는 계측 구멍(2)에 삽입된 통형상부(31)와, 통형상부(31)의 하단에 마련된 창 판(32)을 구비한다. 게다가, 통형상부(31)의 외주면(31a)을 피복하는 피복재(33)를 구비한다.Next, the structure of the window member 3 is demonstrated. The window member 3 includes a cylindrical portion 31 inserted into the measurement hole 2 , and a window plate 32 provided at the lower end of the cylindrical portion 31 . Moreover, the covering material 33 which coat|covers the outer peripheral surface 31a of the cylindrical part 31 is provided.

통형상부(31)는, 석영 유리, BK-7 등의 유리계 재료, 사파이어, 수지 등의 재료에 의해 통형상으로 형성되어 있다. 통형상부(31)의 일단은 개구(開口)되어 있다. 이 통형상부(31)는, 중간부로부터 하부까지의 부분(31b)이 계측 구멍(2)에 삽입되어 있다. 통형상부(31)의 윗 가장자리부(31d)는 외측으로 꺾어 구부러져 플랜지형상으로 형성되어 있다.The cylindrical portion 31 is formed in a cylindrical shape with a material such as quartz glass and a glass-based material such as BK-7, sapphire, or a resin. One end of the cylindrical portion 31 is open. As for this cylindrical part 31, the part 31b from the middle part to the lower part is inserted in the measurement hole 2 . The upper edge portion 31d of the tubular portion 31 is bent outwardly to form a flange shape.

창 판(32)은, 석영 유리, BK-7 등의 유리계 재료, 사파이어, 수지 등의 투광성을 갖는 재료에 의해 판형상으로 형성되어 있다. 이 창 판(32)은, 용착, 접착 또는 일체성형 등에 의해 통형상부(31)의 하단에 마련된다. 또한, 통형상부(31)와 창 판(32)은, 연마제나 연마 찌꺼기 등에 의한 상처 발생 방지의 관점으로부터 출발하면, 투광성을 갖는 메짐성 재료(脆性材料)에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 통형상부(31) 및 창 판(32)의 재료로서 메짐성 재료가 선택되는 경우, 창 판(32)은 용착에 의해 통형상부(31)에 마련되는 것이 바람직하다. 피복재(33)는, 수지에 의한 열수축 튜브로 구성되어 있다. 이 피복재(33)는, 통형상부(31)의 외주면(31a)에 밀착되어 있다.The window plate 32 is formed in a plate shape of a glass-based material such as quartz glass and BK-7, or a light-transmitting material such as sapphire or resin. The window plate 32 is provided at the lower end of the cylindrical portion 31 by welding, bonding, or integral molding. In addition, starting from the viewpoint of preventing the occurrence of scratches due to abrasives, abrasives, or the like, the cylindrical portion 31 and the window plate 32 are preferably formed of a brittle material having light-transmitting properties. In addition, when a brittle material is selected as the material of the cylindrical part 31 and the window plate 32, it is preferable that the window plate 32 is provided in the cylindrical part 31 by welding. The covering material 33 is constituted by a heat-shrinkable tube made of resin. The covering material 33 is in close contact with the outer peripheral surface 31a of the cylindrical portion 31 .

다음으로, 고정부(4)의 구성에 관해 설명한다. 이 고정부(4)는 통형상부(31)의 상부(31c)가 삽입통과된 삽입통과부(41)와, 삽입통과부(41)의 외주에 감합되어 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 고정부 본체(42)를 구비한다.Next, the structure of the fixing part 4 is demonstrated. This fixing part 4 is fitted to the outer periphery of the insertion part 41 through which the upper part 31c of the cylindrical part 31 is inserted, and the insertion part 41, the upper surface 211a of the upper plate 211. ) and a fixing part body 42 fixed to it.

삽입통과부(41)는, 슬리브(411)와, 슬리브(411)의 외주면(411e)의 하부에 감합된 원환형상 탄성부재(412)와, 슬리브(411)의 외주면(411e)의 중간부에 감합된 칼라(collar)(413)를 구비한다. 게다가, 이 삽입통과부(41)는, 슬리브(411)의 외주면(411e)의 상부에 감합된 원환형상 탄성부재(414)를 구비한다.The insertion portion 41 is in the middle of the sleeve 411, the annular elastic member 412 fitted to the lower portion of the outer circumferential surface 411e of the sleeve 411, and the outer circumferential surface 411e of the sleeve 411 It has a fitted collar 413 . In addition, the insertion portion 41 includes an annular elastic member 414 fitted to the upper portion of the outer peripheral surface 411e of the sleeve 411 .

슬리브(411)는, 수지에 의해 대략 원통형상으로 형성되어 있다. 슬리브(411)의 내부에는, 통형상부(31)의 상부(31c)가 피복재(33)를 통해 통과하고 있다. 슬리브(411)의 상면(411a)에는, 통형상부(31)의 윗 가장자리부(31d)가 피복재(33)를 통해 계지(係止)되어 있다.The sleeve 411 is formed in a substantially cylindrical shape by resin. Inside the sleeve 411 , the upper part 31c of the tubular part 31 passes through the covering material 33 . On the upper surface 411a of the sleeve 411 , an upper edge portion 31d of the tubular portion 31 is locked through a covering material 33 .

도 3은 슬리브(411)의 평면도이다. 도 4는 슬리브(411)의 정면도이다. 이 슬리브(411)는, 슬리브 본체(4111)와, 슬리브 본체(4111)의 하부의 외주에 일체형성된 플랜지부(4112)를 구비한다. 슬리브 본체(4111)는 원통형상으로 형성되어 있다. 플랜지부(4112)는 원환형상으로 형성되어 있다.3 is a plan view of the sleeve 411 . 4 is a front view of the sleeve 411 . The sleeve 411 includes a sleeve body 4111 and a flange portion 4112 integrally formed with the outer periphery of the lower portion of the sleeve body 4111 . The sleeve body 4111 is formed in a cylindrical shape. The flange portion 4112 is formed in an annular shape.

슬리브(411)의 상면(411a)(슬리브 본체(4111)의 상면)에는, 복수개의 상슬릿부(411b)가 하방을 향해 마련되어 있다. 이 복수개의 상슬릿부(411b)는, 슬리브(411)의 둘레 방향에 따라 소정의 간격을 두며 배치되어 있다. 슬리브(411)의 하면(411c)(슬리브 본체(4111) 및 플랜지부(4112)의 하면)에는, 복수개의 하슬릿부(411d)가 상방을 향해 마련되어 있다. 이 복수개의 하슬릿부(411d)는, 슬리브(411)의 둘레 방향에서 서로 인접하는 상슬릿부(411b,411b) 사이에 배치되어 있다.On the upper surface 411a of the sleeve 411 (the upper surface of the sleeve main body 4111), a plurality of upper slit portions 411b are provided downward. The plurality of upper slit portions 411b are arranged at predetermined intervals along the circumferential direction of the sleeve 411 . On the lower surface 411c of the sleeve 411 (the lower surface of the sleeve main body 4111 and the flange part 4112), the some lower slit part 411d is provided upward. The plurality of lower slit portions 411d are disposed between the upper slit portions 411b and 411b adjacent to each other in the circumferential direction of the sleeve 411 .

도 2에 도시한 바와 같이, 원환형상 탄성부재(412)는, 실리콘 등의 고무 재료(예컨대, O링) 등의 탄성을 갖는 부재에 의해 형성되어 있다. 이 원환형상 탄성부재(412)는, 슬리브(411)의 플랜지부(4112)에 지지되며 슬리브 본체(4111)의 외주면(411e)의 하부에 감합되어 있다.As shown in Fig. 2, the annular elastic member 412 is formed of a member having elasticity such as a rubber material such as silicone (eg, O-ring). This annular elastic member 412 is supported by the flange portion 4112 of the sleeve 411 and is fitted to the lower portion of the outer peripheral surface 411e of the sleeve body 4111 .

도 5는 칼라(413)의 종단면도이다. 이 칼라(413)는, 원통형상으로 형성되어 있다. 칼라(413)의 내주면(413a)의 상부(413b)는, 내주면(413a)의 중간부(413c)보다도 외측으로 테이퍼형상으로 넓어지도록 형성되어 있다. 칼라(413)의 내주면(413a)의 하부(413d)는, 내주면(413a)의 중간부(413c)보다도 외측으로 테이퍼형상으로 넓어지도록 형성되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 칼라(413)는, 내주면(413a)의 하부(413d)를 원환형상 탄성부재(412)에 맞대며 슬리브 본체(4111)의 외주면(411e)의 중간부에 감합되어 있다.5 is a longitudinal cross-sectional view of the collar 413 . This collar 413 is formed in a cylindrical shape. The upper portion 413b of the inner circumferential surface 413a of the collar 413 is formed so as to taper outwardly than the middle portion 413c of the inner circumferential surface 413a. The lower portion 413d of the inner circumferential surface 413a of the collar 413 is formed so as to taper outwardly than the middle portion 413c of the inner circumferential surface 413a. As shown in FIG. 2, the collar 413 is fitted to the middle of the outer circumferential surface 411e of the sleeve body 4111 while abutting the lower portion 413d of the inner circumferential surface 413a to the annular elastic member 412, have.

도 2에 도시된 바와 같이, 원환형상 탄성부재(414)는, 실리콘 등의 고무 재료(예컨대, O링) 등의 탄성을 갖는 부재에 의해 형성되어 있다. 이 원환형상 탄성부재(414)는, 칼라(413)의 내주면(413a)의 상부(413b)에 맞대며 슬리브 본체(4111)의 외주면(411e)의 상부에 감합되어 있다.As shown in Fig. 2, the annular elastic member 414 is formed of a member having elasticity such as a rubber material such as silicone (for example, an O-ring). This annular elastic member 414 abuts against the upper portion 413b of the inner peripheral surface 413a of the collar 413 and is fitted to the upper portion of the outer peripheral surface 411e of the sleeve body 4111 .

고정부 본체(42)는, 하우징(421)과, 하우징(421)의 상면(421a)에 부착된 뚜껑(422)을 구비한다.The fixing unit body 42 includes a housing 421 and a lid 422 attached to an upper surface 421a of the housing 421 .

하우징(421)은, 원통형의 용기형상으로 형성되어 있다. 이 하우징(421)은, 부시(7)에 지지되어 있다. 하우징(421)의 하면(421b)에는, 부시(7)의 중앙 구멍(7b)과 대향하는 위치에 감합 구멍(421c)이 상방으로 관통하여 마련되어 있다. 이 감합 구멍(421c)에는, 부시(7)의 중앙 구멍(7b)을 통과한 구멍붙이 볼트(6)의 상부가 감합되어 있다.The housing 421 is formed in the shape of a cylindrical container. This housing 421 is supported by the bush 7 . On the lower surface 421b of the housing 421 , a fitting hole 421c is provided to penetrate upwardly at a position opposite to the center hole 7b of the bush 7 . The upper part of the bolt 6 with a hole which passed through the center hole 7b of the bush 7 is fitted into this fitting hole 421c.

하우징(421)의 내부에는 삽입통과부(41)가 수용되어 있다. 이 하우징(421)은, 삽입통과부(41)의 원환형상 탄성부재(414), 칼라(413), 원환형상 탄성부재(412)가 뚜껑(422)에 의해 압압(押壓)되는 것에 의해 발생되는 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)의 외주 측(고정부 본체(42) 측)으로의 변형을 규제하고, 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)의 내주 측(슬리브(411) 측)으로의 변형만을 발생시키는 것으로 슬리브(411)의 내측(창 부재(3) 측)으로 수축시켜, 이 슬리브(411)를 피복재(33)를 통해 통형상부(31)의 상부(3c)의 외주면(31a)에 균등으로 압력이 가해지도록 면접촉시켜 단단히 죄고 있다.The insertion portion 41 is accommodated in the housing 421 . The housing 421 is generated when the annular elastic member 414, the collar 413, and the annular elastic member 412 of the insertion section 41 are pressed by the lid 422. The deformation of the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 on the outer peripheral side (fixing part main body 42 side) is regulated, and the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 are The sleeve 411 is contracted to the inside (window member 3 side) of the sleeve 411 by causing only deformation to the inner peripheral side (sleeve 411 side), and this sleeve 411 is passed through the covering material 33 to a cylindrical portion. The outer peripheral surface 31a of the upper part 3c of (31) is tightened by making surface contact so that pressure is applied equally to it.

도 6은 하우징(421)의 평면도이다. 도 7은 도 6의 A-A 단면도 및 B-B 단면도이다. 하우징(421)의 상면(421a)의 둘레 방향에는, 부시(7)의 복수개의 고정 구멍(7c)(도 2 참조)과 대응하는 위치에 복수개의 하우징 고정 구멍(421d)이 마련되어 있다. 이 복수개의 하우징 고정 구멍(421d)은, 하우징(421)의 상면(421a)으로부터 하면(421b)을 관통하며 형성되어 있다.6 is a plan view of the housing 421 . 7 is a cross-sectional view taken along line A-A and cross-sectional view B-B of FIG. 6 . In the circumferential direction of the upper surface 421a of the housing 421 , a plurality of housing fixing holes 421d are provided at positions corresponding to the plurality of fixing holes 7c (see FIG. 2 ) of the bush 7 . The plurality of housing fixing holes 421d are formed while passing through the lower surface 421b from the upper surface 421a of the housing 421 .

도 2에 도시된 바와 같이, 각 하우징 고정 구멍(421d) 및 부시(7)의 각 고정 구멍(7c)에는, 하우징 고정용 나사(423)가 하우징 고정 구멍(421d)을 통과하여 부시(7)의 고정 구멍(7c)에서 나합(螺合)하고 있다. 이에 인해, 하우징(421)은, 부시(7)를 통해 상정반(211)의 상면(211a)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 2, in each housing fixing hole 421d and each fixing hole 7c of the bush 7, a housing fixing screw 423 is passed through the housing fixing hole 421d and the bush 7 is They are screwed together in the fixing hole 7c of For this reason, the housing 421 is being fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 via the bushing 7 .

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 하우징(421)의 상면(421a)에는, 하우징 고정 구멍(421d)의 둘레 방향의 일방 측에 복수개의 하우징 조정 구멍(421e)이 마련되어 있다. 이 복수개의 하우징 조정 구멍(421e)은, 하우징(421)의 상면(421a)으로부터 하면(421b)을 관통하여 형성되어 있다.6 and 7 , on the upper surface 421a of the housing 421, a plurality of housing adjustment holes 421e are provided on one side of the housing fixing hole 421d in the circumferential direction. The plurality of housing adjustment holes 421e are formed through the lower surface 421b from the upper surface 421a of the housing 421 .

도 2에 도시된 바와 같이, 각 하우징 조정 구멍(421e)에는, 하우징 조정용 나사(424)가 통과하며 나합되어 있다. 하우징 조정용 나사(424)의 하단은 부시(7)의 상면(7a)에 당접하고 있다. 이 하우징 조정용 나사(424)의 상면에는 나사 구멍(424a)이 마련되어 있다. 하우징 조정용 나사(424)는 이 나사 구멍(424a)을 돌려 나사삽입양을 조정하는 것에 의해 하우징(421)의 부착 각도가 조정되도록 되어 있다.As shown in Fig. 2, a housing adjustment screw 424 passes through each housing adjustment hole 421e and is engaged. The lower end of the housing adjustment screw 424 abuts against the upper surface 7a of the bush 7 . A screw hole 424a is provided on the upper surface of this housing adjustment screw 424 . As for the housing adjustment screw 424, the attachment angle of the housing 421 is adjusted by turning this screw hole 424a and adjusting the screw insertion amount.

게다가, 하우징(421)의 상면(421a)에는, 하우징 고정 구멍(421d)의 둘레 방향의 타방 측에 복수개의 뚜껑 고정 구멍(421f)이 마련되어 있다. 이 복수개의 뚜껑 고정 구멍(421f)은, 하우징(421)의 상면(421a)으로부터 하면(421b)을 관통하여 형성되어 있다.In addition, a plurality of lid fixing holes 421f are provided on the upper surface 421a of the housing 421 on the other side of the housing fixing hole 421d in the circumferential direction. The plurality of lid fixing holes 421f are formed through the lower surface 421b from the upper surface 421a of the housing 421 .

도 8은 뚜껑(422)의 평면도이다. 도 9는 도 8의 C-C 단면도 및 D-D 단면도이다. 이 뚜껑(422)은 원환형상으로 형성되어 있다. 뚜껑(422)의 상면(422a)의 중앙부분에는 삽입통과 구멍(422c)이 마련되어 있다. 이 삽입통과 구멍(422c)은, 뚜껑(422)의 상면(422a)으로부터 하면(422b)을 관통하여 형성되어 있다. 이 삽입통과 구멍(422c)에는, 도 2에 도시된 바와 같이 삽입통과부(41)의 슬리브(411)가 통과하고 있다.8 is a top view of the lid 422 . 9 is a cross-sectional view taken along line C-C and cross-section D-D of FIG. 8 . This lid 422 is formed in an annular shape. An insertion hole 422c is provided in the central portion of the upper surface 422a of the lid 422 . The insertion hole 422c is formed to penetrate the lower surface 422b from the upper surface 422a of the lid 422 . The sleeve 411 of the insertion part 41 passes through this insertion hole 422c, as shown in FIG.

뚜껑(422)의 하면(422b)에는, 삽입통과 구멍(422c)의 주위에 원환형상의 감합부(4221)가 마련되어 있다. 이 감합부(4221)는, 도 2에 도시된 바와 같이 하우징(421)의 상단부와 슬리브(411)의 상단부 사이에 감합되어 있다.An annular fitting portion 4221 is provided on the lower surface 422b of the lid 422 around the insertion hole 422c. The fitting portion 4221 is fitted between the upper end of the housing 421 and the upper end of the sleeve 411 as shown in FIG. 2 .

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 뚜껑(422)의 상면(422a)에 있어서 삽입통과 구멍(422c)의 주위에는, 하우징 고정 구멍(421d)(도 6 참조)과 대응하는 위치에 복수개의 하우징 고정용 통과 구멍(422d)이 마련되어 있다. 각 하우징 고정용 통과 구멍(422d)은, 하우징 고정용 나사(423)(도 2 참조)가 통과하도록 뚜껑(422)의 상면(422a)으로부터 하면(422b)을 관통하여 형성되어 있다.8 and 9, around the insertion hole 422c in the upper surface 422a of the lid 422, a plurality of housing fixing holes 421d (see FIG. 6) and corresponding positions are provided. A through hole 422d for fixing the housing is provided. Each housing fixing passage hole 422d is formed so as to pass through the housing fixing screw 423 (refer to FIG. 2 ) from the upper surface 422a to the lower surface 422b of the lid 422 .

뚜껑(422)의 상면(422a)에 있어서 삽입통과 구멍(422c)의 주위에는, 하우징 조정 구멍(421e)(도 6 참조)과 대응하는 위치에 조정용 통과 구멍(422e)이 마련되어 있다. 각 조정용 통과 구멍(422e)은, 하우징 조정용 나사(424)(도 2 참조)가 통과하도록 뚜껑(422)의 상면(422a)으로부터 하면(422b)을 관통하여 형성되어 있다.In the upper surface 422a of the lid 422, around the insertion hole 422c, the adjustment passage hole 422e is provided at the position corresponding to the housing adjustment hole 421e (refer FIG. 6). Each passage hole 422e for adjustment is formed through the lower surface 422b from the upper surface 422a of the lid 422 so that the housing adjustment screw 424 (refer FIG. 2) may pass.

뚜껑(422)의 상면(422a)에 있어서 삽입통과 구멍(422c)의 주위에는, 복수개의 뚜껑 고정 구멍(421f)(도 6 참조)과 대응하는 위치에 복수개의 뚜껑 고정용 통과 구멍(422f)이 마련되어 있다. 이 복수개의 뚜껑 고정용 통과 구멍(422f)은, 뚜껑(422)의 상면(422a)으로부터 하면(422b)을 관통하여 형성되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 각 뚜껑 고정용 통과 구멍(422f) 및 뚜껑 고정 구멍(421f)에는, 뚜껑 고정용 나사(425)가 뚜껑 고정용 통과 구멍(422f)을 통과하여 뚜껑 고정 구멍(421f)에 나합하고 있다. 이에 인해, 뚜껑(422)은, 하우징(421)의 상면(421a)에 부착되어 있고, 뚜껑 고정용 나사(425)의 나사삽입양을 조정하는 것에 의해 뚜껑(422)의 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)에 대한 압압력을 조정한다. 뚜껑 고정용 나사(425)를 단단히 죄는 방향으로 돌림에 따라 뚜껑(422)에 의한 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)에로의 압압력이 증가하여 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)의 변형양이 커진다. 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)는, 뚜껑(422), 하우징(421) 및 칼라(413)에 접하고 있기 때문에, 그런 방향으로 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)는 변형할 수 없고 슬리브(411)의 방향으로만 변형한다. 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)의 변형양을 크게 하면 할 수록, 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)가 슬리브(411) 측으로 밀려 나가는 양(변형양)이 커져 슬리브(411)의 내측(창 부재(3) 측) 방향으로의 수축양이 커진다. 따라서, 뚜껑 고정용 나사(425)의 나사삽입양을 조정하는 것에 의해, 슬리브(411) 의 내측(창 부재(3) 측) 방향으로의 수축양을 조정할 수 있고, 통형상부(31)의 상부(31c)의 외주면(31a)에 균등으로 압력이 가해지도록 면접촉시켜 적절한 힘으로 단단히 죄이는 것이 가능해진다. 또한, 상술한 것 외에, 뚜껑 고정용 나사(425)의 나사삽입양이 최대로 되었을 때, 즉 뚜껑 고정용 나사(425)를 꽉 틀었을 때가 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)의 최적(最適)인 변형양으로 되도록 조정하여도 된다.In the upper surface 422a of the lid 422, around the insertion hole 422c, a plurality of lid fixing holes 421f (refer to Fig. 6) and a plurality of lid fixing passage holes 422f are provided at positions corresponding to the periphery. is provided. The plurality of passage holes 422f for fixing the lid are formed through the lower surface 422b from the upper surface 422a of the lid 422 . As shown in Fig. 2, in each of the lid fixing passage holes 422f and the lid fixing holes 421f, a lid fixing screw 425 passes through the lid fixing passage hole 422f and passes through the lid fixing hole 421f. ) is joined to For this reason, the lid 422 is attached to the upper surface 421a of the housing 421, and the annular elastic member 414 of the lid 422 is adjusted by adjusting the screw insertion amount of the lid fixing screw 425. ) and adjust the pressing force to the annular elastic member (412). As the cap fixing screw 425 is turned in the direction of tightening it, the pressing force to the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 by the lid 422 increases, and the annular elastic member 414 And the amount of deformation of the annular elastic member 412 is increased. Since the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 are in contact with the lid 422, the housing 421 and the collar 413, the annular elastic member 414 and the annular elastic member 414 and the annular elastic member 414 are in such a direction. The member 412 is not deformable and only deforms in the direction of the sleeve 411 . As the amount of deformation of the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 is increased, the amount of the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 is pushed toward the sleeve 411 (deformation). amount) increases, and the amount of contraction in the inner side (window member 3 side) of the sleeve 411 increases. Accordingly, by adjusting the screw insertion amount of the cap fixing screw 425 , the shrinkage amount in the inner side (window member 3 side) direction of the sleeve 411 can be adjusted, and the It becomes possible to make surface contact so that pressure is applied equally to the outer peripheral surface 31a of the upper part 31c, and to be tightened with an appropriate force. In addition to the above, when the screw insertion amount of the cap fixing screw 425 is maximized, that is, when the lid fixing screw 425 is tightened, the annular elastic member 414 and the annular elastic member ( 412), you may adjust so that it may become an optimal amount of deformation.

도 10은 커버(5)의 평면도이다. 도 11은 도 10의 커버(5)를 상정반(211)의 외주측으로부터 본 개략 사시도이다. 도 12는 커버(5)의 개략 저면도(底面圖)이다. 도 2와 도 10 내지 도 12를 사용하여 커버(5)의 구성에 관해 설명한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이 커버(5)는 커버 본체(51)와, 커버 본체(51)의 상면(512b)에 배치된 투광판(52)과, 투광판(52)을 커버 본체(51)의 상면(512b)에 부착시키는 부착부(53)를 구비한다.10 is a plan view of the cover 5 . 11 is a schematic perspective view of the cover 5 of FIG. 10 as viewed from the outer peripheral side of the upper plate 211 . 12 is a schematic bottom view of the cover 5 . The configuration of the cover 5 will be described with reference to FIGS. 2 and 10 to 12 . As shown in FIG. 2 , the cover 5 includes a cover body 51 , a floodlight plate 52 disposed on the upper surface 512b of the cover body 51 , and the floodlight plate 52 with the cover body ( An attachment part 53 attached to the upper surface 512b of 51 is provided.

커버 본체(51)는, 창 부재(3), 고정부(4) 및 부시(7)를 피복하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정되어 있다. 이 커버 본체(51)는, 투명한 수지에 의해 원통형상(도 11을 참조)으로 형성되어 있다. 이 커버 본체(51)는, 주벽(周壁)(511)과, 주벽(511)의 상단에 결합된 덮개(512)와, 주벽(511)의 하단에 결합된 밑벽(513)을 구비한다.The cover body 51 covers the window member 3 , the fixing part 4 , and the bush 7 , and is fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . This cover body 51 is formed in a cylindrical shape (refer FIG. 11) by transparent resin. The cover body 51 includes a circumferential wall 511 , a cover 512 coupled to the upper end of the circumferential wall 511 , and a bottom wall 513 coupled to the lower end of the circumferential wall 511 .

주벽(511)은, 창 부재(3) 및 고정부(4)의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 주벽(511)의 상단은, 상정반(211)의 내주 측으로부터 외주 측(도 2 중의 오른쪽으로부터 왼쪽)을 향해 하방으로 경사하도록 절단되어 있다.The peripheral wall 511 is formed so as to surround the outer periphery of the window member 3 and the fixing portion 4 . The upper end of the circumferential wall 511 is cut so as to incline downward from the inner circumferential side of the upper plate 211 toward the outer circumferential side (right to left in FIG. 2 ).

덮개(512)는, 상정반(211)의 내주 측으로부터 외주 측을 향해 경사로 내려가도록 마련되어 있다. 이 덮개(512)는, 고정부(4)를 피복하도록 원환형상(도 10 및 도 11 참조)으로 형성되어 있다. 덮개(512)에 있어서 통형상부(31)의 상단의 개구부(31e)와 대향하는 부분에는 투과 구멍(512a)이 마련되어 있다. 게다가, 덮개(512)의 상면(512b)에는, 복수개의 부착 구멍(512d)이 마련되어 있다.The lid 512 is provided so as to be inclined downward from the inner peripheral side of the upper plate 211 toward the outer peripheral side. The cover 512 is formed in an annular shape (refer to FIGS. 10 and 11 ) so as to cover the fixing part 4 . A through hole 512a is provided in a portion of the lid 512 opposite to the opening 31e at the upper end of the cylindrical portion 31 . In addition, a plurality of attachment holes 512d are provided on the upper surface 512b of the lid 512 .

밑벽(513)은, 부시(7)의 외주를 둘러싸도록 원환형상(도 12 참조)으로 형성되어 있다. 이 밑벽(513)은, 상정반(211)의 상면(211a)에 배치되어 있다. 이 밑벽(513)의 측면에는, 복수개의 커버 고정 구멍(513a)이 관통하여 마련되어 있다. 각 커버 고정 구멍(513a)에는, 커버 고정용 나사(515)가 통과하며 나합한다. 각 커버 고정용 나사(515)의 선단(先端)은 부시(7)의 주면을 압압한다. 이에 인해, 커버(5)는, 부시(7)을 통해 상정반(211)의 상면(211a)에 고정되어 있다. 또, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 밑벽(513)의 하단으로부터 주벽(511)의 하부에는, 복수개의 결구부(513b)가 밑벽(513)의 둘레 방향을 따라 마련되어 있다.The bottom wall 513 is formed in an annular shape (refer to FIG. 12 ) so as to surround the outer periphery of the bush 7 . The bottom wall 513 is disposed on the upper surface 211a of the upper plate 211 . A plurality of cover fixing holes 513a are provided through the side surface of the bottom wall 513 . A cover fixing screw 515 passes through each cover fixing hole 513a and is screwed together. The tip of each cover fixing screw 515 presses the main surface of the bush 7 . For this reason, the cover 5 is being fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 via the bushing 7 . 11 and 12 , from the lower end of the lower wall 513 to the lower portion of the main wall 511 , a plurality of fitting portions 513b are provided along the circumferential direction of the lower wall 513 .

투광판(52)은, 도 2 및 도 10에 도시된 바와 같이 투과 구멍(512a)을 가로막으며 배치되어 있다. 이 투광판(52)은, 석영 유리, BK-7 등의 유리계 재료, 사파이어, 수지 등의 투광성을 갖는 재료에 의해 판형상으로 형성되어 있다.The light-transmitting plate 52 is disposed while blocking the transmission hole 512a as shown in FIGS. 2 and 10 . The light-transmitting plate 52 is formed in a plate shape of a glass-based material such as quartz glass and BK-7, or a light-transmitting material such as sapphire or resin.

부착부(53)는, 도 2, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 투광판(52)을 커버 본체(51)의 덮개(512)의 상면(512b)으로 억누르는 누름판(531)과, 누름판(531)을 덮개(512)의 상면(512b)에 부착시키는 복수개의 나사(532)를 구비한다.As shown in FIGS. 2, 10 and 11 , the attachment part 53 includes a pressing plate 531 that presses the floodlight plate 52 to the upper surface 512b of the cover 512 of the cover body 51 and , and a plurality of screws 532 for attaching the pressing plate 531 to the upper surface 512b of the cover 512 .

누름판(531)은, 상정반(211)의 외주 측으로 개구한 C자의 판형상으로 형성되어 있다. 이에 인해, 누름판(531)은, 투광판(52)의 외주 부분을 둘러싸도록 마련되어 있으며, 본 실시형태의 위요부(圍繞部)를 구성한다. 누름판(531)이 상정반(211)의 외주 측으로 개구한 C자의 판자형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 누름판(531)의 외주 측에는, 누름판(531)의 내부와 외부를 연통시키는 결구부(531c)(연통부)가 마련되어 있다. 이 누름판(531)의 상면 531a에는, 커버 본체(51)의 덮개(512)의 복수개의 부착 구멍(512d)과 대응하는 위치에 복수개의 부착 구멍(53lb)이 마련되어 있다. 복수개의 나사(532)는, 누름판(531)의 복수개의 부착 구멍(53lb)과 덮개(512)의 부착 구멍(512d)을 통과되며 나합한다.The pressing plate 531 is formed in the shape of a C-shaped plate opened toward the outer periphery of the upper plate 211 . For this reason, the pressure plate 531 is provided so that the outer peripheral part of the light-transmitting plate 52 may be enclosed, and comprises the upper recessed part of this embodiment. Since the pressing plate 531 is formed in the shape of a C-shaped board opened to the outer periphery of the upper plate 211, on the outer peripheral side of the pressing plate 531, a fitting portion 531c for communicating the inside and the outside of the pressing plate 531 (communication unit) is provided. A plurality of attachment holes 53lb are provided on the upper surface 531a of the pressing plate 531 at positions corresponding to the plurality of attachment holes 512d of the cover 512 of the cover body 51 . The plurality of screws 532 pass through the plurality of attachment holes 53lb of the pressing plate 531 and the attachment holes 512d of the cover 512 and are engaged.

다음으로, 도 13을 이용하여 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)를 사용한 워크(W)의 판 두께 계측 방법을 설명한다. 워크(W)의 연마 중에 판 두께 계측 장치(301)의 레이저 헤드(312)(도 1 참조)에서 커버(5)의 투광판(52)을 통해 창 부재(3)에 적외선(Ra)이 조사되면, 적외선(Ra)은 창 부재(3)의 통형상부(31)의 상단의 개구부(31e)로부터 내부에 조사된다. 조사된 적외선(Ra)은, 하방의 창 판(32)을 투과해 워크(W)의 표면(Wa)에 조사되고, 워크(W)의 표면(Wa) 및 리면(Wb)에서 반사한 반사광(Rb)이 창 판(32)을 투과하고 상단의 개구부(31e)를 경과해 커버(5)의 투광판(52)을 통해 판 두께 계측 장치(301)의 레이저 헤드(312)에 수광된다.Next, the plate thickness measurement method of the workpiece|work W using the window structure 1 for plate|board thickness measurement of a workpiece|work is demonstrated using FIG. During polishing of the workpiece W, infrared rays Ra are irradiated to the window member 3 from the laser head 312 (refer to FIG. 1 ) of the plate thickness measuring device 301 through the transparent plate 52 of the cover 5 . Then, infrared rays Ra are irradiated to the inside from the opening 31e of the upper end of the cylindrical portion 31 of the window member 3 . The irradiated infrared rays Ra pass through the lower window plate 32 and are irradiated to the surface Wa of the workpiece W, and reflected light reflected from the front surface Wa and the back surface Wb of the workpiece W ( Rb) passes through the window plate 32, passes through the upper opening 31e, and is received by the laser head 312 of the plate thickness measuring device 301 through the transparent plate 52 of the cover 5.

다음으로, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)의 효과를 열거해 설명한다.Next, the effect of the window structure 1 for plate|board thickness measurement of the workpiece|work of this embodiment is enumerated and demonstrated.

(1) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 상정반(211)의 상하면(211a, 21lb)을 관통하는 계측 구멍(2)과, 계측 구멍(2)에 하단 측(일단 측)이 삽입된 통형상부(31) 및 통형상부(31)의 일단에 마련된 투광성의 창 판(32)을 갖는 창 부재(3)를 구비한다. 게다가, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 통형상부(31)의 상단 측(타단 측)의 외주면(31a)을 면접촉하도록 유지하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 고정부(4)를 구비한다. 즉, 본 실시형태 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 고정부(4)가 통형상부(31)의 타단 측의 외주면(31a)을 면접촉하도록 유지하는 것으로 한다. 이에 인해, 고정부(4)는, 종래에 비해 창 부재(3)의 통형상부(31)를 유지하는 범위가 넓어지므로, 창 부재(3)의 통형상부(31)를 미리 조정된 각도를 보존하면서 계속해 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다. 게다가, 창 부재(3)는, 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정되는 것에 의해, 상정반(211)의 진동 등으로 예기하지 않게 기울어지는 것을 억제할 수 있다. 이에 인해, 창 부재(3)는, 워크(W)의 판 두께(Wt)의 측정에 필요한 양의 적외선(Ra) 및 반사광(Rb)을 확실히 투과시키는 것이 가능해지므로, 판 두께(Wt)의 측정 정밀도의 저하가 억제된다.(1) The window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment includes a measurement hole 2 penetrating the upper and lower surfaces 211a and 21lb of the upper plate 211, and a lower end side of the measurement hole 2 A window member (3) having a cylindrical portion (31) into which (one end side) is inserted and a light-transmitting window plate (32) provided at one end of the cylindrical portion (31) is provided. In addition, the window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece of the present embodiment holds the outer peripheral surface 31a of the upper end side (the other end side) of the cylindrical portion 31 so as to be in surface contact with the upper surface of the upper surface plate 211 . A fixing part 4 fixed to the 211a is provided. That is, in the window structure 1 for plate|board thickness measurement of this embodiment work, the fixing part 4 shall hold|maintain so that the outer peripheral surface 31a of the other end side of the cylindrical part 31 may surface-contact. As a result, the fixing portion 4 has a wider range in which the cylindrical portion 31 of the window member 3 is held than in the prior art. It is possible to continue to maintain while preserving Accordingly, in the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the window member 3 can be stably fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . In addition, the window member 3 is stably fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 , so that unexpected inclination due to vibration of the upper plate 211 or the like can be suppressed. As a result, the window member 3 can reliably transmit the infrared rays Ra and reflected light Rb of the amounts required for the measurement of the plate thickness Wt of the work W, so that the plate thickness Wt is measured. A decrease in precision is suppressed.

(2) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 고정부(4)는, 통형상부(31)의 상단 측이 통과한 슬리브(411)와, 슬리브(411)의 외주면(411e)에 감합된 원환형상의 탄성부재(414, 412)를 구비한다. 게다가, 고정부(4)는, 원환형상의 탄성부재의 외주를 구속시키며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 고정부 본체(42)를 구비한다. 고정부 본체(42)는, 원환형상의 탄성부재의 외주를 압압하여 슬리브(411)를 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)에 균등으로 압력이 가해지도록 면접촉시키며 단단히 죄이는 것에 의해 외주면(31a)을 면접촉하도록 유지하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정되어 있다. 이에 인해, 고정부(4)는, 창 부재(3)의 통형상부(31)를 유지하는 범위가 넓어지므로, 창 부재(3)의 통형상부(31)를 미리 조정된 각도를 보존하면서 계속해 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다. 특히, 통형상부(31)가 석영 유리, BK-7 등의 유리계 재료, 사파이어와 같은 메짐성 재료를 사용하는 경우는, 슬리브(411)에 의해 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 압압력을 분산시키면서 국부적인 압력이 가해지지 않도록 면접촉시켜 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)의 파손을 방지하는 한편 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다.(2) In the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the fixing portion 4 includes a sleeve 411 through which the upper end side of the cylindrical portion 31 passes, and a sleeve 411 . An annular elastic member (414, 412) fitted to the outer peripheral surface (411e) is provided. In addition, the fixing part 4 has a fixing part main body 42 fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 while constraining the outer periphery of the annular elastic member. The fixing part body 42 presses the outer periphery of the annular elastic member so that the sleeve 411 is evenly applied to the outer circumferential surface 31a of the upper end of the cylindrical part 31 and is tightened by surface contact. By this, the outer peripheral surface 31a is kept in surface contact and is fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . As a result, since the fixing portion 4 has a wider range for holding the cylindrical portion 31 of the window member 3 , the angle at which the cylindrical portion 31 of the window member 3 is adjusted in advance is maintained. It becomes possible to keep going. Accordingly, in the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the window member 3 can be stably fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . In particular, when the cylindrical portion 31 uses a glass-based material such as quartz glass, BK-7, or a brittle material such as sapphire, the outer peripheral surface of the upper end of the cylindrical portion 31 is provided by the sleeve 411 . It becomes possible to hold (31a) in surface contact while dispersing the pressing force so that local pressure is not applied. Therefore, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment prevents the window member 3 from being damaged while stably fixing the window member 3 to the upper surface 211a of the upper plate 211 . can do.

(3) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 슬리브(411)의 양단 측에, 각각 복수개의 슬릿부(상슬릿부(41lb), 하슬릿부(411d))가 둘레 방향에 따라 소정의 간격으로 마련되어 있다. 이 때문에, 슬리브(411)는, 슬릿부가 없는 경우에 비해 전체적으로 수축하기 쉬워져 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)에 대한 접촉 면적이 많아진다. 이에 인해, 고정부(4)는, 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 압압력을 더욱 분산시키면서 국부적인 압력이 가해지지 않도록 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)의 파손을 더욱 방지하는 한편 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다.(3) In the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, a plurality of slit portions (upper slit portion 41lb, lower slit portion 411d) are provided on both ends of the sleeve 411, respectively. They are provided at predetermined intervals along the circumferential direction. For this reason, compared with the case where the sleeve 411 does not have a slit part, it is easy to shrink|contract as a whole, and the contact area with respect to the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical part 31 increases. For this reason, the fixing part 4 becomes possible to hold|maintain the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical part 31 so that a local pressure may not be applied while spreading|distributing a pressing force further. Therefore, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment further prevents the window member 3 from being damaged while stably attaching the window member 3 to the upper surface 211a of the upper surface 211 of the base plate 211 . can be fixed

(4) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 통형상부(31) 및 창 판(32)은, 투광성을 갖는 메짐성 재료로 형성되어 있다. 이에 인해, 통형상부(31) 및 창 판(32)은, 적외선(Ra)이나 반사광(Rb)의 투과의 방해 요인으로 되는 연마제나 연마 찌커기 등에 의한 상처의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 창 판(32)은, 통형상부(31)의 일단에 용착되어 마련되어 있으므로, 통형상부(31)의 일단에 접착되어 마련되어 있는 경우에 비해 탈락되기가 어려워진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)의 내구성을 향상시키는 한편 창 부재(3)을 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정하면서 워크(W)를 정밀도 좋게 확실히 측정할 수 있다. (4) In the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the cylindrical portion 31 and the window plate 32 are formed of a light-transmitting brittle material. Accordingly, the cylindrical portion 31 and the window plate 32 can suppress the occurrence of scratches due to an abrasive, abrasive chips, or the like, which are factors that interfere with the transmission of infrared rays (Ra) and reflected light (Rb). In addition, since the window plate 32 is provided by being welded to one end of the cylindrical portion 31 , it is less likely to be detached compared to the case where it is provided by being adhered to one end of the cylindrical portion 31 . Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment improves the durability of the window member 3 while stably fixing the window member 3 to the upper surface 211a of the upper plate 211 . The workpiece W can be measured accurately and reliably while doing so.

(5) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3) 및 고정부(4)를 피복하며 상정반(211)의 상면(211a)에 고정된 커버(5)를 구비한다. 이 커버(5)는, 통형상부(31)의 상단의 개구부(31e)와 대향하는 부분에, 투광성을 갖는 투광부인 투광판(52)이 마련되어 있다. 이에 인해, 통형상부(31) 안에는 투광판(52)을 통해 적외선(Ra)이 투과되며, 통형상부(31) 안에 연마제, 세정수(洗淨水), 먼지 등이 침입되는 것을 커버(5)로 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 방수성(防水性) 및 방진성(防塵性)을 향상시킬 수 있다. (5) The window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment has a cover 5 that covers the window member 3 and the fixing portion 4 and is fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 . ) is provided. The cover 5 is provided with a translucent plate 52 serving as a translucent part having translucency in a portion opposite to the opening 31e at the upper end of the tubular part 31 . For this reason, infrared rays (Ra) are transmitted through the floodlight plate 52 in the cylindrical part 31, and abrasives, washing water, dust, etc. are covered ( 5) can be prevented. Therefore, the window structure 1 for plate thickness measurement of the workpiece|work of this embodiment can improve waterproofness and dustproofness.

(6) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 커버(5)의 투광판(52)은, 상정반(211)의 상면(211a)에 대해 상정반(211)의 내주 측으로부터 외주 측으로 경사로 내려가도록 배치되어 있다. 이에 인해, 워크(W)의 연마 중에 투광판(52) 위에 연마제, 세정수, 먼지 등이 튀어져도, 상정반(211)의 회전을 이용해 연마제, 세정수, 먼지 등을 투광판(52)의 표면으로부터 효율 좋게 제거하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 방수성 및 방진성을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 투광판(52)이 상정반(211)의 상면(211a)에 대해 경사로 배치되어 있는 것에 의해, 레이저 헤드(312)로부터 투광판(52)에 적외선(Ra)이 조사되었을 때에, 투광판(52)로부터의 반사광을 레이저 헤드(312)의 설치 방향과는 다른 방향으로 반사시키는 것이 가능해진다. 이에 인해, 레이저 헤드(312)는, 워크(W)로부터의 반사광(Rb)과는 다른 반사광을 수광하는 것을 방지할 수 있어 판 두께(Wt)의 측정 정밀도가 저하되어 버리는 것을 방지할 수 있다. (6) In the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the light-transmitting plate 52 of the cover 5 is formed of the upper surface 211a of the upper surface 211 of the upper plate 211. It is arrange|positioned so that it may descend in an inclination from an inner peripheral side to an outer peripheral side. For this reason, even if abrasives, washing water, dust, etc. are splashed on the light-transmitting plate 52 during polishing of the work W, the abrasives, washing water, dust, etc. It becomes possible to remove efficiently from the surface. Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment can further improve waterproofness and dustproofness. In addition, since the floodlight plate 52 is disposed at an angle with respect to the upper surface 211a of the upper plate 211 , when infrared rays Ra are irradiated from the laser head 312 to the floodlight plate 52 , the floodlight plate It becomes possible to reflect the reflected light from 52 in a direction different from the installation direction of the laser head 312 . Accordingly, it is possible to prevent the laser head 312 from receiving a reflected light different from the reflected light Rb from the work W, thereby preventing a decrease in the measurement accuracy of the plate thickness Wt.

(7) 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 커버(5)의 투광판(52)의 주위에 투광판(52)의 외주 부분을 둘러싸는 누름판(531)(위요부)이 마련되어 있다. 게다가, 누름판(531)의 상정반(211)의 외주 측에는, 누름판(531)의 내부와 외부를 연통하는 결구부(531c)(연통부)가 마련되어 있다. 이에 인해, 투광판(52) 위에 연마제, 세정수, 먼지 등이 튀어져도, 상정반(211)의 회전을 이용해 연마제, 세정수, 먼지 등을 결구부(531c)를 통해 상정반(211)의 외주 측으로 투광판(52)의 표면으로부터 효율 좋게 제거하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 방수성 및 방진성을 더욱 향상시킬 수 있다.(7) In the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, a pressure plate 531 (above) surrounding the transparent plate 52 of the cover 5 and surrounding the outer periphery of the transparent plate 52 required) is provided. Furthermore, on the outer peripheral side of the upper plate 211 of the pressing plate 531, a fitting portion 531c (communicating portion) for communicating the inside and the outside of the pressing plate 531 is provided. Accordingly, even if abrasives, washing water, dust, etc. are splashed on the floodlight plate 52 , the abrasives, washing water, dust, etc. are transferred to the upper plate 211 through the fitting portion 531c using the rotation of the upper plate 211 . It becomes possible to remove efficiently from the surface of the light-transmissive plate 52 toward the outer periphery side. Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment can further improve waterproofness and dustproofness.

또한, 통형상부(31)의 윗 가장자리부(31d)는, 고정부(4)의 슬리브(411)의 상면(411a)에 계지되어 고정부(4)에 유지되어 있다. 이에 인해, 창 부재(3)는, 고정부(4)로부터 탈락되어 버리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 의해 안정적으로 고정할 수 있다. 게다가, 통형상부(31)의 윗 가장자리부(31d)는, 플랜지형상으로 형성되어 고정부(4)의 슬리브(411)의 상면(411a)에 계지되어 있다. 이에 인해, 창 부재(3)는, 간단한 구성으로 탈락되어 버리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 제조 비용을 억제하는 한편, 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 보다 안정적으로 고정할 수 있다. Further, the upper edge portion 31d of the tubular portion 31 is held by the fixing portion 4 while being caught by the upper surface 411a of the sleeve 411 of the fixing portion 4 . For this reason, the window member 3 can be prevented from falling off from the fixing part 4 . Accordingly, in the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the window member 3 can be stably fixed by the upper surface 211a of the upper plate 211 . In addition, the upper edge 31d of the tubular portion 31 is formed in a flange shape and is locked to the upper surface 411a of the sleeve 411 of the fixing portion 4 . For this reason, the window member 3 can be prevented from falling off with a simple structure. Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece according to the present embodiment can reduce the manufacturing cost and more stably fix the window member 3 to the upper surface 211a of the base plate 211 . .

게다가, 창 판(32)은, 투광성을 갖는 재료로 형성되어 있다. 특히, 통형상부(31) 및 창 판(32)에 메짐성 재료를 사용한 경우는, 내열성을 향상시킬 수 있다. 그에 가해, 창 판(32)은, 투광성을 갖는 메짐성 재료로 형성되어 있는 경우는, 적외선(Ra) 및 반사광(Rb)의 투과를 방해하는 요인으로 되는 상처가 생기는 것을 억제 할 수 있으므로, 워크(W)의 판 두께(Wt)의 측정에 필요한 양의 적외선(Ra) 및 반사광(Rb)을 보다 확실히 투과시키는 것이 가능해진다. 따라서 판 두께(Wt)의 계측 값의 정밀도의 저하가 보다 억제된다.In addition, the window plate 32 is formed of a material having light-transmitting properties. In particular, when a brittle material is used for the cylindrical part 31 and the window plate 32, heat resistance can be improved. In addition, when the window plate 32 is formed of a brittle material having light-transmitting properties, it is possible to suppress the occurrence of scratches that are factors that impede the transmission of infrared rays (Ra) and reflected light (Rb). It becomes possible to transmit the infrared rays Ra and reflected light Rb of the quantity required for the measurement of the plate|board thickness Wt of (W) more reliably. Therefore, the fall of the precision of the measured value of plate|board thickness Wt is suppressed more.

또한, 창 부재(3)는, 통형상부(31)의 외주면(31a)을 피복하는 수지제(樹脂製)의 피복재(33)를 구비한다. 이에 인해, 창 부재(3)는, 통형상부(31)가 피복재(33)에 의해 보호되는 것으로 되어 강도가 향상된다. 또한, 만일 통형상부(31)가 파손되어도, 그 파편이 비산하는 것을 피복재(33)로 방지할 수 있다. 또한, 고정부(4)는, 피복재(33)를 통해 통형상부(31)의 외주면(31a)을 유지하는 것이기 때문에, 통형상부(31)의 외주면(31a)을 피복재(33)의 탄성 및 마찰 계수를 이용해 확실히 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 보다 안정적으로 고정할 수 있다. In addition, the window member 3 is provided with a resin-made covering material 33 covering the outer peripheral surface 31a of the cylindrical portion 31 . Accordingly, in the window member 3, the cylindrical portion 31 is protected by the covering material 33, and the strength is improved. Further, even if the cylindrical portion 31 is damaged, the scattering of the fragments can be prevented by the covering material 33 . In addition, since the fixing part 4 holds the outer peripheral surface 31a of the cylindrical part 31 through the covering material 33, the outer peripheral surface 31a of the cylindrical part 31 is used for the elasticity of the covering material 33. And it becomes possible to maintain reliably using the friction coefficient. Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment can more stably fix the window member 3 to the upper surface 211a of the upper plate 211 .

또한, 슬리브(411)에는, 원환형상 탄성부재(414)와 원환형상 탄성부재(412) 사이에 칼라(413)가 감합되어 있기 때문에, 원환형상 탄성부재(414)와 원환형상 탄성부재(412)의 위치가 고정된다. 이에 인해, 슬리브(411)는, 원환형상 탄성부재(414)와 원환형상 탄성부재(412)에 의해 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)에 대해 균등으로 압력이 가해지도록 단단히 죄인다. 따라서, 고정부(4)는, 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 압압력을 분산시키면서 국부적인 압력이 가해지지 않도록 확실히 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)의 파손을 더욱 방지하는 한편 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다.Further, in the sleeve 411, since the collar 413 is fitted between the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412, the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 position is fixed. For this reason, the sleeve 411 is tightened so that pressure is equally applied to the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical portion 31 by the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 . all. Therefore, the fixing part 4 becomes possible to reliably hold|maintain the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical part 31 so that a local pressure may not be applied while dispersing a pressing force. Therefore, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment further prevents the window member 3 from being damaged while stably attaching the window member 3 to the upper surface 211a of the upper surface 211 of the base plate 211 . can be fixed

게다가, 칼라(413)의 내주면(413a)의 상부(413b)는, 내주면(413a)의 중간부(413c)보다도 외측으로 테이퍼형상으로 넓어지도록 형성되어 원환형상 탄성부재(414)을 지지하고 있다. 이 때문에, 원환형상 탄성부재(414)의 위치가 확실히 고정된다. 또한, 칼라(413)의 내주면(413a)의 하부(413d)는, 내주면(413a)의 중간부(413c)보다도 외측으로 테이퍼형상으로 넓어지도록 형성되어 원환형상 탄성부재(412)에 당접하고 있다. 이 때문에, 원환형상 탄성부재(412)의 위치가 확실히 고정된다. 또한, 칼라(413)의 내주면(413a)의 상부(413b) 및 하부(413d)가 중간부(413c)보다도 외측으로 테이퍼형상으로 넓어지도록 형성되어 있기 때문에, 뚜껑(422)에 의해 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)가 압압되면 슬리브(411)의 방향으로만 확실히 밀려 나가도록 변형한다. 이에 인해, 슬리브(411)는, 원환형상 탄성부재(414) 및 원환형상 탄성부재(412)에 의해 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)에 대해 더욱 균등으로 압력이 가해지도록 단단히 죄인다. 따라서, 고정부(4)는, 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 압압력을 분산시키면서 국부적인 압력이 가해지지 않도록 보다 확실히 유지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 창 부재(3)의 파손을 더욱 방지하면서 창 부재(3)를 상정반(211)의 상면(211a)에 안정적으로 고정할 수 있다. In addition, the upper portion 413b of the inner peripheral surface 413a of the collar 413 is formed so as to be wider than the middle portion 413c of the inner peripheral surface 413a in a tapered shape to support the annular elastic member 414 . For this reason, the position of the annular elastic member 414 is fixed reliably. Further, the lower portion 413d of the inner circumferential surface 413a of the collar 413 is formed so as to taper outward from the middle portion 413c of the inner circumferential surface 413a, and is in contact with the annular elastic member 412. For this reason, the position of the annular elastic member 412 is fixed reliably. In addition, since the upper portion 413b and the lower portion 413d of the inner peripheral surface 413a of the collar 413 are formed to taper outwardly than the intermediate portion 413c, the cap 422 provides an annular elastic member. When the (414) and the annular elastic member (412) is pressed, it deforms so as to be pushed out only in the direction of the sleeve (411). For this reason, the sleeve 411 is rigidly applied to the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical portion 31 by the annular elastic member 414 and the annular elastic member 412 so that pressure is applied more evenly. sinful Therefore, it becomes possible for the fixing part 4 to hold|maintain the outer peripheral surface 31a of the upper end side of the cylindrical part 31 more reliably so that a local pressure may not be applied while dispersing a pressing force. Therefore, in the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, the window member 3 is stably fixed to the upper surface 211a of the upper plate 211 while further preventing damage to the window member 3 . can do.

또한, 고정부(4)는, 고정부 본체(42)가, 삽입통과부(41)를 수용하는 하우징(421)과, 하우징(421)의 상면(421a)에 부착된 뚜껑(422)을 구비한다. 이에 인해, 고정부(4)는, 하우징(421) 안에 연마제, 세정수, 먼지 등이 침입하는 것을 뚜껑(422)으로 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 방수성 및 방진성을 더욱 향상시킬 수 있다. In addition, the fixing part 4 includes a housing 421 in which the fixing part main body 42 accommodates the insertion part 41 and a lid 422 attached to the upper surface 421a of the housing 421 . do. For this reason, the fixing part 4 becomes possible to prevent the abrasive|polishing agent, washing water, dust, etc. from entering into the housing 421 with the lid 422. As shown in FIG. Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment can further improve waterproofness and dustproofness.

또한, 투광판(52)은, 투광성을 갖는 재료로 형성되어 있다. 특히, 투광판(52)에 메짐성 재료를 채용한 경우는, 적외선(Ra)이나 반사광(Rb)의 투과의 방해 요인으로 되는 연마제나 연마 찌꺼기 등에 의한 상처의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 투광판(52)의 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 투광판(52)은 상처가 발생하는 것을 억제 할 수 있는 것에 인해 투광성의 저하가 억제되기 때문에, 워크(W)의 판 두께(Wt)의 측정에 필요한 양의 적외선(Ra) 및 반사광(Rb)을 확실히 투과시키는 것이 가능해진다. 따라서, 판 두께(Wt)의 계측 값의 정밀도의 저하가 보다 억제된다. 또한, 투광판(52)은 투광성을 갖는 메짐성 재료로 형성되어 있는 것에 의해 내열성을 향상시킬 수 있다.In addition, the light transmitting plate 52 is formed of a material having light transmitting properties. In particular, when a brittle material is used for the floodlight plate 52 , it is possible to suppress the occurrence of scratches due to abrasives, polishing residues, etc., which are factors that interfere with the transmission of infrared rays (Ra) or reflected light (Rb). Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of the workpiece according to the present embodiment can improve the durability of the light-transmitting plate 52 . In addition, since the light transmitting plate 52 can suppress the occurrence of scratches, the decrease in light transmittance is suppressed, so the amount of infrared rays (Ra) and reflected light ( It becomes possible to transmit Rb) reliably. Therefore, the fall of the precision of the measured value of plate|board thickness Wt is suppressed more. In addition, since the light transmitting plate 52 is formed of a brittle material having light transmitting properties, heat resistance can be improved.

또한, 커버 본체(51)의 밑벽(513)의 하단으로부터 주벽(511)의 하부에는 결구부(513b)가 마련되어 있다. 이에 인해, 워크(W)의 연마 중에 커버 본체(51) 안에 연마제, 세정수, 먼지 등이 들어와도, 상정반(211)의 회전을 이용하여 연마제, 세정수, 먼지 등을 결구부(513b)로부터 커버 본체(51)의 외측으로 배출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)는, 방수성 및 방진성을 더욱 향상시킬 수 있다. In addition, a fitting portion 513b is provided in the lower portion of the main wall 511 from the lower end of the lower wall 513 of the cover body 51 . Accordingly, even if abrasives, washing water, dust, etc. enter the cover body 51 during polishing of the work W, the abrasives, washing water, dust, etc. are removed from the fitting portion 513b by using the rotation of the upper plate 211 . It becomes possible to discharge|emit to the outside of the cover main body (51). Accordingly, the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment can further improve waterproofness and dustproofness.

이상, 도면을 참조하며 본 발명의 실시형태를 상세히 설명해 왔지만, 구체적인 구성은, 이 실시형태에 한하지 않고, 본 발명의 요지를 일탈(逸脫)하지 않는 정도의 설계적 변경은 본 발명에 포함된다. As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail with reference to drawings, a specific structure is not limited to this embodiment, The design change to the extent which does not deviate from the summary of this invention is included in this invention do.

예컨대, 본 실시형태에서는, 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)를 상정반(211)의 상면(211a)에 설치하였지만, 하정반(212)의 표면인 하면(212b)에 설치해도 된다. For example, in this embodiment, although the window structure 1 for plate|board thickness measurement of a workpiece|work is provided in the upper surface 211a of the upper platen 211, you may provide in the lower surface 212b which is the surface of the lower platen 212.

또한, 본 실시형태에서는, 투광판(52)이 투광성을 갖는 메짐성 재료로 형성된 것으로 하였지만, 투광판(52)을 형성하는 재료는 투광성을 갖는 메짐성 재료에 한정되지 않아도 되고, 투광판(52)을 형성하는 재료가 수지인 경우에서도, 본 실시형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시형태의 워크의 판 두께 계측용 창 구조(1)에서는, 워크(W)의 양면을 연마하는 연마 장치(201)에 적용하였지만, 워크(W)의 편면을 연마하는 연마 장치에 적용해도 된다. In addition, in the present embodiment, although it is assumed that the light-transmitting plate 52 is formed of a brittle material having light-transmitting properties, the material for forming the light-transmitting plate 52 does not need to be limited to a brittle material having light transmitting properties, and the light transmitting plate 52 is not limited to a brittle material having light transmitting properties. ), the same effect as in the present embodiment can be obtained even when the material for forming the resin is resin. In addition, in the window structure 1 for measuring the thickness of a workpiece according to the present embodiment, it is applied to the polishing apparatus 201 for polishing both surfaces of the workpiece W, but it is applied to a polishing apparatus for polishing one side of the workpiece W. You can do it.

또한, 본 실시형태의 커버(5)는, 본 발명에 따른 창 부재(3) 및 고정부(4)에 적용하였지만, 본 발명 외의 창 부재 및 고정부에 적용해도 된다. 이 경우의 워크의 판 두께 계측용 창 구조는, 박판형상의 워크를 연마하는 연마 장치의 정반의 표리면을 관통하는 계측 구멍과, 상기 계측 구멍에 일단측이 삽입된 통형상부 및 상기 통형상부의 일단에 마련된 투광성의 창 판을 갖는 창 부재를 구비한다. 게다가, 이 경우의 워크의 판 두께 계측용 창 구조는, 상기 통형상부를 유지하며 상기 정반의 표면에 고정된 고정부와, 상기 통형상부 및 상기 고정부를 피복하며 상기 정반의 표면에 고정된 커버를 구비한다. 게다가, 상기 커버에는, 상기 통형상부의 타단의 개구부와 대향하는 부분에 투광성을 갖는 투광부가 마련되어 있다. 종래의 워크의 판 두께 계측용 창 구조에서는, 통형상부가 노출되어 있기 때문에 통형상부 안에 연마제, 세정수, 먼지 등이 침입된다는 문제가 있었다. 그러나, 이 경우의 워크의 판 두께 계측용 창 구조에서는, 통형상부 안에 연마제, 세정수, 먼지 등이 침입되는 것을 커버로 방지하는 것이 가능해지므로 방수성 및 방진성을 향상시킬 수 있다.In addition, although the cover 5 of this embodiment is applied to the window member 3 and the fixing part 4 which concern on this invention, it may apply to the window member and fixing part other than this invention. In this case, the structure of the window for measuring the thickness of the workpiece includes a measurement hole passing through the front and back surfaces of a surface plate of a polishing apparatus for polishing a thin-plate-shaped workpiece, a cylindrical portion having one end inserted into the measurement hole, and the cylindrical shape. A window member having a light-transmitting window plate provided at one end of the section is provided. In addition, the window structure for measuring the thickness of the workpiece in this case includes a fixing portion that holds the cylindrical portion and is fixed to the surface of the surface plate, and covers the cylindrical portion and the fixing portion and is fixed to the surface of the surface plate. provide a cover. Further, the cover is provided with a light transmitting portion having light transmitting properties in a portion opposite to the opening at the other end of the cylindrical portion. In the conventional window structure for measuring the thickness of a workpiece, since the cylindrical portion is exposed, there is a problem that abrasives, washing water, dust, etc. enter the cylindrical portion. However, in this case, in the window structure for measuring the thickness of the workpiece, the cover can prevent abrasives, washing water, dust, etc. from entering the cylindrical portion, so that the waterproof and dustproof properties can be improved.

또한, 본 실시형태의 삽입통과부(41)는, 원환형상 탄성부재(412) 및 원환형상 탄성부재(414), 칼라(413)에 의해 구성된 것으로 하였지만, 칼라를 복수개로 하고, 그 복수개의 칼라 사이에도 원환형상 탄성부재를 마련하는 것에 의해, 그 원환형상 탄성부재에 의해 슬리브(411)를 내측(창 부재(3) 측)으로 수축시키기 위한 접촉점을 보다 많이 갖게 하는 것도 가능하다. 그 경우는, 원환형상 탄성부재으로부터의 압압력을 더욱 균등으로 분산시키면서 슬리브(411)에 가해지도록 하는 것이 가능해지고, 통형상부(31)의 상단 측의 외주면(31a)을 압압력을 분산시키면서 국부적인 압력이 가해지지 않도록 보다 확실히 유지하는 것이 가능해진다. 또한, 본 실시형태에서는, 원환형상 탄성부재를 복수개로 하였지만, 하나로 하여도 본 발명과 같은 작용 효과를 얻을 수 있다.In addition, although the insertion section 41 of this embodiment is constituted by the annular elastic member 412, the annular elastic member 414, and the collar 413, it has a plurality of collars and the plurality of collars. By providing an annular elastic member also between them, it is also possible to provide more contact points for contracting the sleeve 411 inward (window member 3 side) by the annular elastic member. In that case, it becomes possible to apply the pressing force from the annular elastic member to the sleeve 411 while more evenly distributing the pressing force, while distributing the pressing force on the outer peripheral surface 31a of the upper end of the cylindrical portion 31 It becomes possible to hold more firmly so that local pressure is not applied. In addition, in the present embodiment, although a plurality of annular elastic members are used, the same effect as in the present invention can be obtained even with one.

1: 워크의 판 두께 계측용 창 구조 2: 계측 구멍
3: 창 부재 4: 고정부
5: 커버 31 통형상부
31a: 외주면 31e: 개구부
32: 창 판 42: 고정부 본체
52: 투광판(투광부) 201: 연마 장치
211: 상정반(정반) 211a: 상면(표면)
21lb: 하면(리면) 411: 슬리브
41lb: 상슬릿부 411d: 하슬릿부
412, 414: 원환형상 탄성부재 531: 누름판(위요부)
531c: 결구부(연통부)1: Window structure for thickness measurement of workpiece 2: Measurement hole
3: Window member 4: Fixed part
5: Cover 31 cylindrical part
31a: outer peripheral surface 31e: opening
32: window plate 42: fixed part body
52: light-transmitting plate (light-transmitting part) 201: polishing device
211: upper surface plate (surface) 211a: upper surface (surface)
21 lb: bottom (rear side) 411: sleeve
41lb: upper slit portion 411d: lower slit portion
412, 414: annular elastic member 531: pressing plate (upper recess)
531c: connection part (communication part)

Claims (8)

박판형상의 워크를 연마하는 연마 장치의 정반(定盤)의 표리면을 관통하는 계측 구멍과,
상기 계측 구멍에 일단측이 삽입된 통형상부 및 상기 통형상부의 일단에 마련된 투광성의 창 판을 갖는 창 부재와,
상기 통형상부의 타단 측의 외주면을 면접촉하도록 유지하며 상기 정반의 표면에 고정된 고정부
를 구비하고,
상기 고정부는, 상기 통형상부의 타단 측이 통과한 슬리브와, 상기 슬리브의 외주면에 감합된 원환형상의 탄성부재와, 상기 원환형상의 탄성부재의 외주를 구속시키며 상기 정반의 표면에 고정된 고정부 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.A measurement hole penetrating the front and back surfaces of a surface of a polishing apparatus for polishing a thin plate-shaped workpiece;
a window member having a cylindrical portion having one end inserted into the measurement hole and a light-transmitting window plate provided at one end of the cylindrical portion;
A fixing part fixed to the surface of the surface plate while keeping the outer peripheral surface of the other end side of the cylindrical part in surface contact
to provide
The fixing part includes a sleeve through which the other end of the cylindrical part passes, an annular elastic member fitted to the outer circumferential surface of the sleeve, and a fixing part that restrains the outer periphery of the annular elastic member and is fixed to the surface of the surface plate A window structure for measuring the thickness of a workpiece, comprising a main body. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 슬리브의 양단 측에는, 각각 복수개의 슬릿부가 둘레 방향에 따라 소정의 간격으로 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.The window structure for measuring the thickness of a workpiece according to claim 1, wherein a plurality of slits are provided at both ends of the sleeve at predetermined intervals along the circumferential direction, respectively. 제1항에 있어서, 상기 통형상부 및 상기 창 판은, 투광성을 갖는 메짐성 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.The window structure for measuring the thickness of a workpiece according to claim 1, wherein the cylindrical portion and the window plate are formed of a brittle material having light-transmitting properties. 제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 창 부재 및 상기 고정부를 피복하며 상기 정반의 표면에 고정된 커버를 구비하고, 상기 커버에는, 상기 통형상부의 타단의 개구부와 대향하는 부분에 투광성을 갖는 투광부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.5. The cover according to any one of claims 1, 3, and 4, comprising a cover that covers the window member and the fixing portion and is fixed to the surface of the surface plate, wherein the cover includes the other end of the cylindrical portion. A window structure for measuring the thickness of a workpiece, wherein a light transmitting portion having light transmission properties is provided in a portion facing the opening. 제5항에 있어서, 상기 투광부는, 상기 정반의 표면에 대해 상기 정반의 내주 측으로부터 외주 측으로 경사로 내려가도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.The window structure for measuring the thickness of a workpiece according to claim 5, wherein the light-transmitting part is arranged so as to be inclined downward from the inner periphery side to the outer periphery side of the surface plate with respect to the surface of the surface plate. 제5항에 있어서, 상기 투광부의 주위에는, 상기 투광부를 둘러싸는 위요부가 마련되어 있고, 상기 위요부의 상기 정반의 외주 측에는, 상기 위요부의 내부와 외부를 연통하는 연통부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.The method according to claim 5, wherein a circumferential portion surrounding the light transmitting portion is provided around the light transmitting portion, and a communicating portion communicating the inside and the outside of the upper concave portion is provided on an outer peripheral side of the base of the upper recessed portion around the light transmitting portion. Window structure for thickness measurement of workpieces to be processed. 제6항에 있어서, 상기 투광부의 주위에는, 상기 투광부를 둘러싸는 위요부가 마련되어 있고, 상기 위요부의 상기 정반의 외주 측에는, 상기 위요부의 내부와 외부를 연통하는 연통부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 판 두께 계측용 창 구조.7. The method according to claim 6, wherein a circumferential portion surrounding the light transmitting portion is provided around the light transmitting portion, and a communicating portion communicating the inside and the outside of the upper concave portion is provided on an outer peripheral side of the base of the upper concave portion around the light transmitting portion. Window structure for thickness measurement of workpieces to be processed.
KR1020170060433A 2016-05-24 2017-05-16 Plate thickness measurement window structure of work KR102318327B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016103410A JP6602725B2 (en) 2016-05-24 2016-05-24 Window structure for workpiece thickness measurement
JPJP-P-2016-103410 2016-05-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170132667A KR20170132667A (en) 2017-12-04
KR102318327B1 true KR102318327B1 (en) 2021-10-28

Family

ID=60425135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170060433A KR102318327B1 (en) 2016-05-24 2017-05-16 Plate thickness measurement window structure of work

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6602725B2 (en)
KR (1) KR102318327B1 (en)
CN (1) CN107414666B (en)
TW (1) TWI707742B (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7034785B2 (en) * 2018-03-20 2022-03-14 株式会社東京精密 Polishing equipment
JP7435113B2 (en) * 2020-03-23 2024-02-21 株式会社Sumco Double-sided polishing device for workpieces
JP7466964B1 (en) 2023-07-03 2024-04-15 株式会社多聞 Substrate thickness measuring device and substrate thickness measuring method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000060650A1 (en) 1999-03-31 2000-10-12 Nikon Corporation Polishing body, polisher, method for adjusting polisher, method for measuring thickness of polished film or end point of polishing, method for producing semiconductor device
JP2013223908A (en) * 2012-04-23 2013-10-31 Speedfam Co Ltd Measuring window structure of polishing apparatus

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10160420A (en) * 1996-12-03 1998-06-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd Instrument for measuring thickness and thickness variation of wafer
JPH10199951A (en) * 1997-01-14 1998-07-31 Tokyo Seimitsu Co Ltd Apparatus for measuring position of polishing face of wafer
TW372483U (en) * 1998-04-13 1999-10-21 Taiwan Semiconductor Mfg Light penetrative grinding system
JP2002170800A (en) * 2000-12-01 2002-06-14 Nikon Corp Polishing apparatus, method for manufacturing semiconductor device using the same and semiconductor device manufactured by this method
US20030114076A1 (en) * 2001-12-14 2003-06-19 Hui-Chun Chang Apparatus for chemical mechanical polishing
US6991514B1 (en) * 2003-02-21 2006-01-31 Verity Instruments, Inc. Optical closed-loop control system for a CMP apparatus and method of manufacture thereof
JP4202841B2 (en) * 2003-06-30 2008-12-24 株式会社Ｓｕｍｃｏ Surface polishing equipment
KR100716935B1 (en) * 2005-11-25 2007-05-14 두산디앤디 주식회사 Loading device for chemical mechanical polisher of semiconductor wafer
KR100889084B1 (en) * 2007-07-06 2009-03-17 두산메카텍 주식회사 End point detecting apparatus for semiconductor wafer polishing process
KR101587226B1 (en) * 2008-07-31 2016-01-20 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 Wafer polishing method and double side polishing apparatus
JP6255991B2 (en) * 2013-12-26 2018-01-10 株式会社Sumco Double-side polishing machine for workpieces
TWI583495B (en) * 2014-01-10 2017-05-21 Ｓｕｍｃｏ股份有限公司 Measuring device and measuring method of work thickness and polishing device of work
JP6230921B2 (en) * 2014-01-16 2017-11-15 株式会社ディスコ Polishing equipment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000060650A1 (en) 1999-03-31 2000-10-12 Nikon Corporation Polishing body, polisher, method for adjusting polisher, method for measuring thickness of polished film or end point of polishing, method for producing semiconductor device
KR100435246B1 (en) 1999-03-31 2004-06-11 가부시키가이샤 니콘 Polishing body, polisher, method for adjusting polisher, method for measuring thickness of polished film or end point of polishing, method for producing semiconductor device
JP2013223908A (en) * 2012-04-23 2013-10-31 Speedfam Co Ltd Measuring window structure of polishing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CN107414666B (en) 2020-12-08
TW201741072A (en) 2017-12-01
JP2017209744A (en) 2017-11-30
TWI707742B (en) 2020-10-21
KR20170132667A (en) 2017-12-04
JP6602725B2 (en) 2019-11-06
CN107414666A (en) 2017-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102318327B1 (en) Plate thickness measurement window structure of work
EP2708934B1 (en) Chromatic confocal measurement apparatus
EP2048484A1 (en) Spectroscopic module
US20120180564A1 (en) Liquid container and inclination detector including the same
CN1726116A (en) Polishing state monitoring apparatus and polishing apparatus and method
JP3686660B2 (en) Light irradiation device and optical unit
JP2004150923A (en) Refractometer
TWI647067B (en) Honing device
US8299397B2 (en) Laser dicing apparatus and dicing method
KR20070118617A (en) Bonded wafer manufacturing method, bonded wafer, and plane polishing apparatus
JP7027840B2 (en) Spectral reflection measuring instrument
US20190086619A1 (en) Optical communication module
US9989460B2 (en) Sensor device for monitoring the state of a lubricant and method for producing said sensor device
AU2009244502B2 (en) Dual diode converging module
US10663287B2 (en) Polishing apparatus
FI3538934T3 (en) A lens array for an optical instrument
WO2011040467A1 (en) Light emitting device
WO2010021266A1 (en) Colorimetric system, and white color proofing unit
US20090189170A1 (en) Light emitting diode
US20180187856A1 (en) Laser unit having a collimator adjusting device
TWI823762B (en) Grinding end point detection device and CMP device
WO2020026531A1 (en) Solid immersion lens unit and semiconductor inspection device
KR100843198B1 (en) Bonding apparatus of semiconductor package
JP2007085908A (en) Orientation meter
KR200249849Y1 (en) auto-lensmeter system using personal computer

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right