KR102316948B1 - Power unit and vehicle having the same - Google Patents
Power unit and vehicle having the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR102316948B1 KR102316948B1 KR1020190175466A KR20190175466A KR102316948B1 KR 102316948 B1 KR102316948 B1 KR 102316948B1 KR 1020190175466 A KR1020190175466 A KR 1020190175466A KR 20190175466 A KR20190175466 A KR 20190175466A KR 102316948 B1 KR102316948 B1 KR 102316948B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- unit
- hand
- hoist
- battery
- power
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
- H02J50/00—Circuit arrangements or systems for wireless supply or distribution of electric power
- H02J50/10—Circuit arrangements or systems for wireless supply or distribution of electric power using inductive coupling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)
Abstract
본 발명에 따른 비히클에서 대상물을 고정하는 핸드 유닛을 작동시키기 위한 전원을 제공하는 전원 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛에서 상기 대상물을 고정하는 그리퍼로 상기 전원을 제공하는 배터리 및 상기 배터리를 무선 충전하기 위한 충전부를 포함할 수 있다. In the vehicle according to the present invention, a power unit providing power for operating a hand unit for fixing an object in the vehicle includes a battery provided in the hand unit and providing the power to a gripper for fixing the object in the hand unit; It may include a charging unit for wirelessly charging the battery.
Description
본 발명은 전원 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에서 대상물을 파지하는 핸드 유닛을 작동시키는 전원 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a power supply unit and a vehicle having the same, and more particularly, to a power supply unit for operating a hand unit that grips an object in the vehicle and a vehicle having the same.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 대상물에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 대상물을 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in the object, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the object.
상기 대상물은 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 대상물을 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The object is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT includes a traveling rail provided along a ceiling of a space in which the semiconductor processing devices are provided, and a vehicle that grips the object and travels along the traveling rail.
상기 비히클은 상기 대상물을 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함한다. The vehicle includes a hand unit for fixing the object and a hoist unit for elevating the hand unit.
상기 호이스트 유닛의 벨트 내부에 구비되는 금속 와이어들 및, 상기 벨트를 권취 및 권출하는 풀리와 접촉하도록 구비되며 상기 금속 와이어들과 전기적으로 연결되는 슬립 링을 이용하여 상기 핸드 유닛을 작동하기 위한 전원을 제공한다. Power for operating the hand unit using metal wires provided inside the belt of the hoist unit, and a slip ring provided to be in contact with a pulley for winding and unwinding the belt and electrically connected to the metal wires provides
그러나, 상기 핸드 유닛의 하중으로 인해 상기 금속 와이어들이 단선될 수 있다. 또한, 상기 슬립 링이 구비되는 풀리의 축이 플라스틱 재질로 이루어지므로, 상기 축이 쉽게 파손될 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛으로 전원이 안정적으로 공급되지 않을 수 있다.However, the metal wires may be disconnected due to the load of the hand unit. In addition, since the shaft of the pulley provided with the slip ring is made of a plastic material, the shaft may be easily damaged. Accordingly, power may not be stably supplied to the hand unit.
본 발명은 핸드 유닛을 동작시키기 위한 전원을 제공하는 전원 유닛을 제공한다. The present invention provides a power supply unit that provides power for operating the hand unit.
또한, 본 발명은 상기 전원 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.The present invention also provides a vehicle having the above power supply unit.
본 발명에 따른 비히클에서 대상물을 고정하는 핸드 유닛을 작동시키기 위한 전원을 제공하는 전원 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛에서 상기 대상물을 고정하는 그리퍼로 상기 전원을 제공하는 배터리 및 상기 배터리를 무선 충전하기 위한 충전부를 포함할 수 있다. In the vehicle according to the present invention, a power unit providing power for operating a hand unit for fixing an object in the vehicle includes a battery provided in the hand unit and providing the power to a gripper for fixing the object in the hand unit; It may include a charging unit for wirelessly charging the battery.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 충전부는, 상기 핸드 유닛을 승강하는 호이스트 유닛에 구비되며, 공급되는 전류에 따라 자기장을 발생하는 송신 코일을 갖는 제1 충전 모듈 및 상기 핸드 유닛에 상기 배터리와 전기적으로 연결되도록 구비되며, 상기 송신 코일과의 전자기 유도에 따라 전류를 발생하여 상기 배터리를 충전하는 수신 코일을 갖는 제2 충전 모듈을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the charging unit is provided in a hoist unit that elevates the hand unit, and includes a first charging module having a transmitting coil that generates a magnetic field according to a supplied current and the battery in the hand unit. and a second charging module provided to be electrically connected to and having a receiving coil for charging the battery by generating a current according to electromagnetic induction with the transmitting coil.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛이 상기 호이스트 유닛을 향해 상승하여 원점에 위치할 때 상기 송신 코일과 상기 수신 코일 사이에 상기 전자기 유도가 이루어져 상기 배터리가 충전될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when the hand unit rises toward the hoist unit and is located at the origin, the electromagnetic induction is made between the transmitting coil and the receiving coil to charge the battery.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛에 대해 Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며, 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 벨트들을 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 하단부에 고정되며, 대상물을 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛을 작동시키기 위한 전원을 제공하는 전원 유닛을 포함하고, 상기 전원 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛에서 상기 대상물을 고정하는 그리퍼로 상기 전원을 제공하는 배터리 및 상기 배터리를 무선 충전하기 위한 충전부를 포함할 수 있다. A vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling in an X-axis direction along a traveling rail of a ceiling, a slide unit provided under the traveling unit and fixed to the traveling unit, and a Y-axis direction with respect to the slide unit. a hoist unit provided at the lower part of the slide unit so as to be movable as a a power supply unit providing power, the power unit being provided in the hand unit, a battery providing the power to a gripper for fixing the object in the hand unit, and a charging unit for wirelessly charging the battery can do.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 유닛은 상기 벨트들은 와이어 형상을 가지며, 하나의 풀리가 회전축이 상기 호이스트 유닛의 상부면과 수직하도록 배치되어 상기 벨트들을 동시에 권취 및 권출할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the hoist unit has the belts have a wire shape, and one pulley is arranged such that a rotation shaft is perpendicular to the upper surface of the hoist unit, so that the belts can be simultaneously wound and unwound.
본 발명에 따른 상기 전원 유닛은 상기 배터리를 이용하여 상기 핸드 유닛에 전원을 공급하여 동작시킨다. 따라서, 슬립링이나 상기 호이스트 유닛의 벨트에 구비되는 금속 와이어를 사용할 필요가 없으므로, 상기 핸드 유닛으로 상기 전원을 안정적으로 공급할 수 있다. The power unit according to the present invention operates by supplying power to the hand unit using the battery. Therefore, there is no need to use a slip ring or a metal wire provided on the belt of the hoist unit, so that the power can be stably supplied to the hand unit.
또한, 상기 핸드 유닛이 상기 원점에 위치할 때 상기 배터리 충전부가 무선 충전을 통해 상기 배터리를 충전할 수 있다. 따라서, 상기 배터리가 방전되는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the hand unit is located at the origin, the battery charging unit may charge the battery through wireless charging. Accordingly, it is possible to prevent the battery from being discharged.
본 발명에 따른 비히클은 상기 핸드 유닛으로 상기 전원을 안정적으로 전달할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클에서 상기 핸드 유닛이 상기 대상물을 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. The vehicle according to the present invention can stably transmit the power to the hand unit. Therefore, the hand unit in the vehicle can stably load and unload the object.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 전원 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 호이스트 유닛과 핸드 유닛이 이격된 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 정렬 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a side view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view for explaining the hoist unit, the hand unit, and the power supply unit shown in FIG. 1 .
3 is a side view for explaining a state in which the hoist unit and the hand unit shown in FIG. 2 are spaced apart.
4 is a cross-sectional view for explaining the alignment unit shown in FIG.
5 is a cross-sectional view for explaining another example of the alignment unit shown in FIG.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 전원 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 호이스트 유닛과 핸드 유닛이 이격된 상태를 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a side view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view for explaining a hoist unit, a hand unit, and a power unit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. It is a side view for explaining a state in which the hoist unit and the hand unit are spaced apart.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 대상물(20)을 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 핸드 유닛(150), 전원 유닛(160) 및 정렬 유닛(170)을 포함한다. 1 to 3 , the
상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 X축 방향을 따리 이동할 수 있다.The
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)이 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 대상물(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 대상물(20)이 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향의 일측면 또는 양측면이 개방될 수 있다.The
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면 또는 양측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The
구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(130)은 가이드 레일, 이동 블록, 제1 고정 브래킷 및 제2 고정 브래킷을 포함할 수 있다. Specifically, the
상기 가이드 레일은 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 레일 및 상기 이동 블록은 LM 가이드일 수 있다. The guide rail is disposed along the Y-axis direction. The moving block is provided on one side of the guide rail to be movable along the Y-axis direction. Accordingly, the moving block may move along the guide rail in the Y-axis direction. For example, the guide rail and the moving block may be an LM guide.
상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임 유닛(120)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 가이드 레일을 고정한다. The first fixing bracket is fixed to the inner upper surface of the
상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트 유닛(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트 유닛(140)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 이동 블록과 결합된다. The second fixing bracket is fixed to the upper surface of the hoist
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 다수의 벨트(142)들로 상기 핸드 유닛(150)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 풀리(미도시)로 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 호이스트 유닛(140)을 승강시킬 수 있다.The hoist
상기 벨트(142)들에 금속 와이어가 구비되지 않으므로, 상기 벨트(142)들을 두께를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 풀리의 지름을 감소시킬 수 있다. Since a metal wire is not provided in the
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 풀리는 회전축이 상기 호이스트 유닛(140)의 상부면과 수직하도록 하나가 배치될 수 있다. 상기 벨트(142)들은 와이어 형상으로 상기 하나의 풀리에 권취될 수 있다. 또한, 상기 풀리를 회전시키기 위한 별도의 구동부가 구비되고, 상기 구동부와 상기 풀리는 벨트, 기어 등으로 연결될 수 있다. On the other hand, although not shown, one of the pulleys may be arranged such that the rotation shaft is perpendicular to the upper surface of the hoist
상기 풀리의 지름이 감소하거나, 상기 풀리가 눕혀지도록 배치되므로, 상기 호이스트 유닛(140)의 전체 두께를 감소시킬 수 있다. 상기 호이스트 유닛(140)의 두께가 감소된 만큼 상기 비히클(100)의 크기를 줄일 수 있다. Since the diameter of the pulley is reduced or the pulley is arranged to be laid down, it is possible to reduce the overall thickness of the hoist
상기 핸드 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(20)을 고정한다. The
구체적으로 상기 핸드 유닛(150)은 상기 대상물(20)을 파지하기 위한 그리퍼들(152)과 상기 대상물(20)을 감지하기 위한 센서(154)를 포함할 수 있다.Specifically, the
상기 대상물(20)은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다. The
상기 전원 유닛(160)은 상기 핸드 유닛(150)을 작동시키기 위한 전원을 제공하기 위한 것으로, 배터리(161) 및 충전부(163)를 포함할 수 있다. The
상기 배터리(161)는 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 그리퍼들(152)를 작동시키기 위한 모터(미도시) 및 상기 센서(154)로 전원을 제공할 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 배터리(161)는 상기 그리퍼들(152) 및 상기 센서(154)의 동작을 제어하기 위한 제어 보드(미도시)로 전원을 제공할 수도 있다. 상기 배터리(161)는 재충전이 가능한 배터리일 수 있다.The
상기 충전부(163)는 상기 배터리(161)를 충전하기 위한 것으로, 제1 충전 모듈(165) 및 제2 충전 모듈(167)을 포함할 수 있다. The charging
상기 제1 충전 모듈(165)은 상기 호이스트 유닛(140)에 구비되며, 외부 전원과 연결된다. 상기 제1 충전 모듈(165)은 송신 코일을 포함하며, 상기 송신 코일은 상기 외부 전원으로부터 공급되는 전류에 따라 자기장을 발생할 수 있다. The
상기 제2 충전 모듈(167)은 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 배터리(161)와 전기적으로 연결된다. 상기 제2 충전 모듈(167)은 수신 코일을 포함한다. 상기 수신 코일은 상기 송신 코일과의 전자기 유도에 따라 전류를 발생하고, 상기 전류가 상기 배터리(161)로 공급되어 상기 배터리(161)가 충전될 수 있다. The
상기 송신 코일과 상기 수신 코일 사이의 전자기 유도는 상기 핸드 유닛(150)의 승강에 따라 상기 제1 충전 모듈(165)과 상기 제2 충전 모듈(167)이 서로 인접하는 경우 발생할 수 있다. Electromagnetic induction between the transmitting coil and the receiving coil may occur when the
도 3과 같이 상기 핸드 유닛(150)이 하강하여 상기 호이스트 유닛(140)과 이격되면, 상기 제1 충전 모듈(165)과 상기 제2 충전 모듈(167)이 서로 이격된다. 따라서, 상기 송신 코일과 상기 수신 코일 사이의 전자기 유도가 발생하지 않고 상기 배터리(161)가 충전되지 않는다. As shown in FIG. 3 , when the
도 2와 같이 상기 핸드 유닛(150)이 상기 호이스트 유닛(140)을 향해 상승하여 상기 핸드 유닛(150)이 원점에 위치할 때 상기 제1 충전 모듈(165)과 상기 제2 충전 모듈(167)이 서로 인접한다. 따라서, 상기 송신 코일과 상기 수신 코일 사이의 전자기 유도가 발생하여 상기 배터리(161)가 충전될 수 있다. 2, when the
상기 비히클(100)이 주행하는 동안 상기 핸드 유닛(150)은 상기 원점에 위치하므로, 상기 배터리(161)가 충분히 충전될 수 있다. 따라서, 상기 배터리(161)가 방전되는 것을 방지할 수 있다. Since the
한편, 도시되지는 않았지만 상기 충전부(163)는 제1 충전 모듈(165)과 상기 제2 충전 모듈(167) 사이의 공진 유도를 이용하여 상기 배터리(161)를 충전할 수도 있다. Meanwhile, although not shown, the charging
상기 배터리(161)를 무선 충전 방식으로 충전하므로, 종래와 달리 상기 호이스트 유닛(140)에 슬립링이나 상기 벨트(142)에 금속 와이어를 구비할 필요가 없다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)으로 상기 전원을 안정적으로 제공하며 상기 핸드 유닛(150)을 안정적으로 작동시킬 수 있다. Since the
상기 정렬 유닛(170)은 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)을 정렬한다. The
도 4는 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view for explaining the alignment unit shown in FIG.
도 4를 참조하면, 상기 비히클(100)은 정렬 유닛(170)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4 , the
상기 정렬 유닛(170)은 정렬 핀들(172), 홀더들(174) 및 자성체들(176)을 포함한다. The
상기 정렬 핀들(172)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면 및 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중 어느 하나에 구비되며, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면 및 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중 나머지 하나에 구비된다. The alignment pins 172 are provided on any one of the lower surface of the hoist
구체적으로, 상기 정렬 핀들(172)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비될 수 있다. Specifically, the alignment pins 172 may be provided on the lower surface of the hoist
이하에서는 상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비되는 것을 기준으로 설명한다. Hereinafter, it will be described on the basis that the alignment pins 172 are provided on the upper surface of the
상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면으로부터 돌출되도록 구비된다. The alignment pins 172 are provided to protrude from the upper surface of the
상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 노출되도록 상기 호이스트 유닛(140)에 내장된다. 상기 홀더들(174)은 상기 정렬 핀들(172)을 수용하기 위한 홈(175)을 각각 갖는다. The
상기 핸드 유닛(150)이 상승함에 따라 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)의 홈(175)에 삽입되면서 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)이 정렬된다. As the
상기 홈(175)은 상기 정렬 핀들(172)이 삽입되는 입구가 점차로 넓어지도록 테이퍼진 형상을 갖는다. 따라서, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174)의 정렬이 약간 어긋나더라도 상기 홈(175)의 입구를 따라 상기 홈(175)에 삽입될 수 있다. 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(172)이 충돌하는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 정렬 핀들(172)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. The
상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)의 홈(175)에 삽입된 상태에서 상기 정렬 핀들(175)과 상기 홀더들(174)은 일정 간격만큼 이격될 수 있다. 상기 간격은 약 0.2 내지 0.3 mm 일 수 있다. In a state in which the alignment pins 172 are inserted into the
상기 간격이 약 0.2 mm 미만인 경우, 상기 간격이 상대적으로 좁아 상기 정렬 핀들(175)이 상기 홀더들(174)에 삽입되면서 접촉할 가능성이 높다. 따라서, 상기 파티클이나 소음의 발생 가능성이 높아질 수 있다. When the gap is less than about 0.2 mm, the gap is relatively narrow, so that the alignment pins 175 are highly likely to come into contact while being inserted into the
상기 간격이 약 0.3 mm를 초과하는 경우, 상기 간격이 상대적으로 넓어 상기 정렬 핀들(175)이 상기 홀더들(174)의 내부에서 요동할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제하기 어렵다. When the distance exceeds about 0.3 mm, the distance is relatively wide and the alignment pins 175 may swing inside the
상기 자성체들(176)은 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)에 자성을 인가한다. The
구체적으로, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 자성체로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 영구 자석이나 전자석일 수 있다. Specifically, the alignment pins 172 and the
상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하므로, 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)에 삽입될 때 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 접촉으로 인한 파티클이나 소음의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 상기 척력에 의해 상기 홀더들(174)에 상기 정렬 핀들(172)이 고정되므로, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제할 수 있다. Since a repulsive force acts between the alignment pins 172 and the
한편, 상기 정렬 핀들(172)의 외측면 및 상기 홀더들(174)의 내측면은 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅될 수 있다. 상기 재질의 예로는 엠씨 나일론(MC Nylon) 재질 또는 테프론 재질을 들 수 있다. 따라서, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉하더라도 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 마찰을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 마찰로 인한 상기 파티클 및 소음의 발생을 최소화할 수 있다. Meanwhile, the outer surfaces of the alignment pins 172 and the inner surfaces of the
도 5는 도 1에 도시된 정렬 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view for explaining another example of the alignment unit shown in FIG.
도 5를 참조하면, 상기 자성체들(176)은 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)에 내장될 수 있다. 즉, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 영구 자석이나 전자석일 수 있다. Referring to FIG. 5 , the
상기 자성체들(176)에 의해 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하므로, 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)에 삽입될 때 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 접촉으로 인한 파티클이나 소음의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 상기 척력에 의해 상기 홀더들(174)에 상기 정렬 핀들(172)이 고정되므로, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제할 수 있다. Since a repulsive force acts between the alignment pins 172 and the
한편, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)은 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 이루어질 수 있다. 상기 재질의 예로는 상기 엠씨 나일론 재질 또는 상기 테프론 재질일 수 있다. Meanwhile, the alignment pins 172 and the
또한, 상기 정렬 핀들(172)의 외측면 및 상기 홀더들(174)의 내측면은 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅될 수 있다. 상기 재질의 예로는 상기 엠씨 나일론 재질 또는 상기 테프론 재질을 들 수 있다. In addition, outer surfaces of the alignment pins 172 and inner surfaces of the
상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 이루어지거나 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅되므로, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉하더라도 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 마찰을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 마찰로 인한 상기 파티클 및 소음의 발생을 최소화할 수 있다. Since the alignment pins 172 and the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 상기 전원 유닛이 상기 배터리를 이용하여 상기 핸드 유닛에 전원을 공급하여 동작시키고, 상기 배터리를 상기 충전부를 이용하여 충전할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 상기 핸드 유닛을 안정적으로 작동시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, the power unit may operate by supplying power to the hand unit using the battery, and the battery may be charged using the charging unit. Accordingly, it is possible to stably operate the hand unit of the vehicle.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 150 : 핸드 유닛
160 : 전원 유닛 170 : 정렬 유닛
10 : 주행 레일 20 : 대상물100: vehicle 110: driving unit
120: frame unit 130: slide unit
140: hoist unit 150: hand unit
160: power unit 170: alignment unit
10: running rail 20: object
Claims (5)
상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛에서 상기 대상물을 고정하는 그리퍼로 상기 전원을 제공하는 배터리; 및
상기 배터리를 무선 충전하기 위한 충전부를 포함하고,
상기 비히클에서 상기 핸드 유닛은 호이스트 유닛에 의해 승강하는 것을 특징으로 하는 전원 유닛.A power unit for providing power for operating a hand unit for fixing an object in a vehicle, the power unit comprising:
a battery provided in the hand unit to provide the power to a gripper for fixing the object in the hand unit; and
Comprising a charging unit for wirelessly charging the battery,
In the vehicle, the hand unit is raised and lowered by a hoist unit.
상기 호이스트 유닛에 구비되며, 공급되는 전류에 따라 자기장을 발생하는 송신 코일을 갖는 제1 충전 모듈; 및
상기 핸드 유닛에 상기 배터리와 전기적으로 연결되도록 구비되며, 상기 송신 코일과의 전자기 유도에 따라 전류를 발생하여 상기 배터리를 충전하는 수신 코일을 갖는 제2 충전 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 전원 유닛.According to claim 1, wherein the charging unit,
a first charging module provided in the hoist unit and having a transmitting coil that generates a magnetic field according to the supplied current; and
and a second charging module provided to the hand unit to be electrically connected to the battery and having a receiving coil that generates a current according to electromagnetic induction with the transmitting coil to charge the battery.
상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛;
상기 슬라이드 유닛에 대해 Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며, 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 벨트들을 승강시키는 호이스트 유닛;
상기 벨트의 하단부에 고정되며, 상기 호이스트 유닛에 의해 승강하며 대상물을 고정하는 핸드 유닛; 및
상기 핸드 유닛을 작동시키기 위한 전원을 제공하는 전원 유닛을 포함하고,
상기 전원 유닛은,
상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛에서 상기 대상물을 고정하는 그리퍼로 상기 전원을 제공하는 배터리; 및
상기 배터리를 무선 충전하기 위한 충전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.a traveling unit traveling in an X-axis direction along a traveling rail of the ceiling;
a slide unit provided under the traveling unit and fixed to the traveling unit;
a hoist unit provided at a lower portion of the slide unit to be movable in the Y-axis direction with respect to the slide unit, and for winding or unwinding the belts to elevate the belts;
a hand unit fixed to the lower end of the belt, elevating by the hoist unit, and fixing the object; and
a power supply unit providing power for operating the hand unit;
The power unit is
a battery provided in the hand unit to provide the power to a gripper for fixing the object in the hand unit; and
A vehicle comprising a charging unit for wirelessly charging the battery.
하나의 풀리가 회전축이 상기 호이스트 유닛의 상부면과 수직하도록 배치되어 상기 벨트들을 동시에 권취 및 권출하는 것을 특징으로 하는 비히클. According to claim 4, wherein the hoist unit, the belts have a wire shape,
A vehicle, characterized in that a single pulley is disposed so that the rotation shaft is perpendicular to the upper surface of the hoist unit to simultaneously take up and unwind the belts.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190175466A KR102316948B1 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Power unit and vehicle having the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190175466A KR102316948B1 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Power unit and vehicle having the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210082960A KR20210082960A (en) | 2021-07-06 |
KR102316948B1 true KR102316948B1 (en) | 2021-10-25 |
Family
ID=76860831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190175466A KR102316948B1 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Power unit and vehicle having the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102316948B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114803336A (en) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 弥费实业(上海)有限公司 | Move and carry device and air transport vehicle |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140014424A (en) * | 2012-07-24 | 2014-02-06 | 주식회사 선익시스템 | A substrate transfer apparatus with wireless charging esc |
KR102242812B1 (en) * | 2018-05-17 | 2021-04-22 | 세메스 주식회사 | Transfer unit, apparatus for treating substrate including the same |
KR20190141408A (en) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 세메스 주식회사 | Aligning unit and vehicle having the same |
-
2019
- 2019-12-26 KR KR1020190175466A patent/KR102316948B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210082960A (en) | 2021-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102192244B1 (en) | Apparatus for transferring substrate | |
KR20190063951A (en) | Vehicle for Overhead Hoist Transport device | |
CN109791906B (en) | Ceiling conveying system and ceiling conveying vehicle | |
JP2008013330A (en) | Carriage cart running track | |
KR102289021B1 (en) | Unit for supporting cassette and vehicle having the unit | |
KR102316948B1 (en) | Power unit and vehicle having the same | |
KR102185263B1 (en) | Vehicle for overhead hoist transport device | |
JP2005225598A (en) | Carriage, and carrying device | |
US9026269B2 (en) | System and method for providing wireless power and control signals to a trolley | |
CN113471117A (en) | Tower elevator, tower elevator driving method, and machine-readable medium | |
KR102313248B1 (en) | Vehicle and overhead hoist transport | |
KR102270045B1 (en) | Power unit and vehicle having the same | |
JP5549062B2 (en) | Transport device | |
JP2005194009A (en) | Suspension type conveying carriage | |
JP5353107B2 (en) | Transport device | |
CN114430727A (en) | Lifting conveying device | |
KR20190141408A (en) | Aligning unit and vehicle having the same | |
KR102344111B1 (en) | Overhead hoist transport device | |
CN113120597B (en) | Conveying unit and clamping method | |
US11152240B2 (en) | Apparatus for conveying carrier and system for controlling carrier having the same | |
KR20210116999A (en) | Overhead Hoist transport device | |
KR20220095834A (en) | Overhead hoist transport device | |
KR100699272B1 (en) | Transferring apparatus | |
TW201946199A (en) | Positioning device, loading and/or unloading system and method for operating a positioning device | |
KR102161524B1 (en) | Ccontrol unit and vehicle having the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |