KR102316522B1

KR102316522B1 - Humidity Controll Method for A Thermo-hydrostat

Info

Publication number: KR102316522B1
Application number: KR1020200023375A
Authority: KR
Inventors: 이영익
Original assignee: 주식회사 삼원테크놀로지
Priority date: 2020-02-26
Filing date: 2020-02-26
Publication date: 2021-10-21
Also published as: KR20210108601A

Abstract

본 발명은 항온항습기의 습도 제어 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의하면, 항온항습기(R)의 현재 온도(Tp)가 설정 온도(Ts)로 유지되는 단계(S310)와, 항온항습기(R)의 설정 온도(Ts)와 설정 습도(Hs)에 일치하는 이슬점온도(Tw)의 습공기가 항온항습기(R)로 공급되는 단계(312)와, 이슬점온도의 습공기에 의해서 항온항습기(R)의 현재 습도(Hp)가 설정 습도(Hs)로 조절되는 단계(S314)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하고, 이에 의하면 저온·저습 환경이나 영하의 환경에서도 습도를 제어할 수 있는 이점이 있다.The present invention relates to a humidity control method of a thermo-hygrostat, and according to the present invention, a step (S310) of maintaining the current temperature (Tp) of the thermo-hygrostat (R) at a set temperature (Ts); A step 312 of supplying humid air with a dew point temperature Tw corresponding to a set temperature Ts and a set humidity Hs to the thermo-hygrostat R, and the current humidity of the thermo-hygrostat R by the humid air at the dew point temperature (Hp) is characterized in that it is configured to include a step (S314) of adjusting to the set humidity (Hs), according to this, there is an advantage that can control the humidity even in a low-temperature, low-humidity environment or a sub-zero environment.

Description

항온항습기 습도 제어 방법{Humidity Controll Method for A Thermo-hydrostat}Humidity Control Method for A Thermo-hydrostat

본 발명은 항온항습기 습도 제어 방법에 관한 것으로, 특히 저온·저습 환경이나 영하의 환경에서도 습도를 제어할 수 있도록 하기에 적당하도록 한 항온항습기 습도 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a humidity control method for a thermo-hygrostat, and more particularly, to a humidity control method for a thermo-hygrostat that is suitable for controlling humidity even in a low-temperature/low-humidity environment or a sub-zero environment.

일반적으로 항온항습기는 예를 들어 LCD필름이나 반도체 소재나 반도체 장비와 같은 시료를 시험실[챔버] 내부에 재치한 상태에서 시험실의 내부에 있는 시료에 대하여 각종 테스트를 수행하기 위하여 필요한 장비로서, 통상적으로는 설정 온도와 설정 습도를 유지하는 것이 필수이다.In general, a thermo-hygrostat is a device necessary to perform various tests on a sample inside a test room while placing a sample such as an LCD film, semiconductor material, or semiconductor equipment inside the test room [chamber], usually It is essential to maintain the set temperature and set humidity.

항온항습기는 그 내부를 일정한 온도와 습도로 유지하기 위하여 열을 제공하여 내부를 히팅시키는 히터와, 항온항습기 내부에 냉기를 공급하여 쿨링(cooling)하는 냉동기를 구비하여서 냉동기와 히터의 적절한 운전을 통해서 수행한다.The thermo-hygrostat includes a heater for heating the inside by supplying heat to maintain the inside at a constant temperature and humidity, and a refrigerator for cooling by supplying cold air to the inside of the thermo-hygrostat, through appropriate operation of the refrigerator and heater. carry out

그러나, 종래의 항온항습기는 저온(예컨대 0 ~ 20 도씨)이나 저습(예컨대 15 ~ 30 %)의 환경이나, 0 도씨 미만의 영하권에서는 열교환기에 수분이 결빙되는 문제로 인해 습도 제어에 한계가 있었다.However, the conventional thermo-hygrostat has a low temperature (eg, 0 to 20 degrees Celsius) or low humidity (for example, 15 to 30%) environment, but is limited in humidity control due to the problem of moisture freezing in the heat exchanger in a sub-zero zone below 0 degrees Celsius. there was

우선, 종래에는 예컨대 0 도씨 ~ 20 도씨 환경의 저온의 환경에서 습도 조절을 위해서는 별도의 제습장치(습기를 제공하여 습도를 조절할 수 있는 장치)에 의해서 습도 조절을 하였으므로, 습도 제어에 한계가 있었다.First, in the related art, for humidity control in a low-temperature environment of, for example, 0°C to 20°C, humidity control is performed by a separate dehumidifier (a device capable of controlling humidity by providing moisture), so there is a limit to humidity control. there was.

또한 종래에는 영하에서는 수분이 결빙되는 문제로 인해서 습도 조절 자체가 불가능하였다. 그리고 제습장치를 사용하더라도 0 ~ 20 도씨의 저온의 환경에서 저습으로 장시간 운전하거나 또는 영하의 환경에서 운전하는 경우에는 증발기가 얼어서 장시간 사용이 불가능하였다.In addition, in the prior art, humidity control itself was impossible due to the problem of water freezing at sub-zero temperatures. In addition, even if a dehumidifier is used, the evaporator is frozen and cannot be used for a long time in a low-humidity environment of 0 to 20 °C for a long time or when operating in a sub-zero environment.

그리고, 종래에는 100 도씨 이상의 고온 환경에서는, 증발하기 때문에 상대습도를 운전하기 위한 컨트롤러가 없었고, 또한 상대습도센서 테이블도 100 도씨까지만 정의되어 있었으므로, 습도 제어에 어려움이 있었다.And, conventionally, there was no controller for operating the relative humidity because of evaporation in a high temperature environment of 100 degrees C or more, and the relative humidity sensor table was also defined up to 100 degrees C, so there was a difficulty in controlling the humidity.

문헌1: 등록특허공보 제10-1671604호(공고일: 2016.11.01)Document 1: Registered Patent Publication No. 10-1671604 (Announcement date: 2016.11.01) 문헌2: 등록특허공보 제10-0708555호(공고일: 2007.04.18)Document 2: Registered Patent Publication No. 10-0708555 (Announcement date: 2007.04.18)

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명에 의한 항온항습기의 습도 제어 방법의 목적은,The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above.

첫째, 0 도씨 미만의 온도 영역에서도 이슬점이 존재하므로 이 이슬점을 이용해서 저온(예컨대 0 도씨 ~ 20 도씨) 및 저습(예컨대 15 ~ 30 %) 환경이나 또는 영하의 환경에서도 습도를 제어할 수 있도록 하고, 또한 장시간 동안 운전을 할 수 있도록 하며,First, since the dew point exists even in the temperature region below 0 degree Celsius, it is possible to use the dew point to control the humidity even in low temperature (eg 0°C to 20°C) and low humidity (eg 15 to 30%) environments or sub-zero environments. to be able to drive, and also to drive for long periods of time,

둘째, 상온에서만 이루어지던 습도 제어 영역을 영하의 이슬점 영역으로 확대할 수 있도록 하며,Second, the humidity control area, which was only performed at room temperature, can be expanded to the sub-zero dew point area.

셋째, 항온항습기의 압력 조건[감압(진공을 포함한다) 및 가압])에 무관하게 습도 제어를 할 수 있도록 함으로써 어떠한 환경 조건에서도 재현 가능한 시험을 수행할 수 있도록 하며,Third, by enabling humidity control regardless of the pressure conditions of the thermo-hygrostat [decompression (including vacuum) and pressurization]), reproducible tests can be performed under any environmental conditions,

넷째, 예컨대 100 도씨 이상의 고온 환경에서도 습도 제어가 가능할 수 있도록 하며,Fourth, to enable humidity control even in a high temperature environment of, for example, 100 degrees C or higher,

다섯째, 이슬점온도 기반으로 습도를 제어함으로써 히터의 전력량을 줄일 수 있어서 항온항습기 전체적으로 에너지를 절감할 수 있도록 하기에 적당하도록 한 항온항습기의 습도 제어 방법을 제공하는 데 있다.Fifth, to provide a humidity control method of a thermo-hygrostat that is suitable to reduce the amount of power of the heater by controlling the humidity based on the dew point temperature, thereby saving energy as a whole of the thermo-hygrostat.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 항온항습기의 현재 온도가 설정 온도로 유지되는 단계와, 항온항습기의 설정 온도와 설정 습도에 일치하는 이슬점온도의 습공기가 항온항습기로 공급되는 단계와, 이슬점온도의 습공기에 의해서 항온항습기의 현재 습도가 설정 습도로 조절되는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a method for controlling humidity in a thermo-hygrostat, in which the current temperature of the thermo-hygrostat is maintained at a set temperature, and humid air having a dew point temperature matching the set temperature and set humidity of the thermo-hygrostat is converted to a thermo-hygrostat. It is characterized in that it is configured including the step of supplying, and the step of adjusting the current humidity of the thermo-hygrostat to the set humidity by the humid air of the dew point temperature.

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 이슬점온도의 습공기가 항온항습기로 공급하는 단계는, 항온항습기로 공급되는 이슬점온도의 습공기가 기준 온도보다 큰 경우에는 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단로부터 항온항습기로 이슬점온도의 습공기가 공급되고, 항온항습기로 공급되는 이슬점온도의 습공기가 기준 온도 미만인 경우에는 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단로부터 항온항습기로 이슬점온도의 습공기가 공급되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control method for a thermo-hygrostat according to the present invention, the step of supplying the humid air having a dew point temperature to the thermo-hygrostat is a dew point from the first dew-point region humid air supply means to the thermo-hygrostat when the humid air with the dew-point temperature supplied to the thermo-hygrostat is greater than the reference temperature. It is characterized in that the humid air of the temperature is supplied, and when the humid air of the dew point temperature supplied to the thermo-hygrostat is less than the reference temperature, the humid air of the dew-point temperature is supplied from the humid air supply means in the second dew point region to the thermo-hygrostat.

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 브라인액 공급조로부터 항온항습기에 구비된 브라인 열교환기로 브라인액이 공급되는 단계와, 브라인 열교환기에 의해서 항온항습기 내부의 공기가 열교환되는 단계와, 이슬점온도의 습공기와 브라인 열교환기에서 열교환된 공기가 혼합되는 단계와, 혼합 공기가 항온항습기으로 유입되는 단계가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a method for controlling humidity in a thermo-hygrostat includes the steps of supplying brine solution from a brine solution supply tank to a brine heat exchanger provided in the thermo-hygrostat; It is characterized in that the step of mixing the air heat-exchanged in the brine heat exchanger and the step of introducing the mixed air into the thermo-hygrostat is further included.

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 브라인액 공급조로부터 항온항습기에 구비된 브라인 열교환기로 공급되는 브라인액은, 이슬점온도 습공기 공급수단으로부터 항온항습기로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 제2 오차범위 내에서 동일한 온도로서 공급되는 것을 특징으로 한다.In the method for controlling humidity in a thermo-hygrostat according to the present invention, the brine solution supplied from the brine solution supply tank to the brine heat exchanger provided in the thermo-hygrostat has a dew point temperature within the second error range from the dew point temperature of the humid air supplied from the humid air supply means to the thermo-hygrostat. It is characterized in that it is supplied at the same temperature.

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 항온항습기 내부의 공기가 열교환되는 단계는, 항온항습기 내부의 공기의 온도가 강하하도록 열교환되는 것을 특징으로 한다.In the method for controlling humidity in a thermo-hygrostat according to the present invention, the step of exchanging heat with air inside the thermo-hygrostat is characterized in that the heat exchange is performed so that the temperature of the air inside the thermo-hygrostat drops.

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 항온항습기 내부의 공기가 열교환되는 단계는, 항온항습기 내부의 공기의 온도를 강하함과 동시에, 이슬점온도를 유지하도록 수증기의 양을 조절하도록 열교환되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control method of a thermo-hygrostat according to the present invention, the step of exchanging heat with air inside the thermo-hygrostat is characterized in that the heat exchange is performed to lower the temperature of the air inside the thermo-hygrostat and to control the amount of water vapor to maintain the dew point temperature. .

본 발명인 항온항습기 습도 제어 방법은, 브라인 열교환기로 공급되는 브라인액은, 항온항습기로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도로서 공급되는 것을 특징으로 한다.The humidity control method of the thermo-hygrostat according to the present invention is characterized in that the brine solution supplied to the brine heat exchanger is supplied at the same temperature as the dew point temperature of the humid air supplied to the thermo-hygrostat.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명인 항온항습기의 습도 제어 방법은 다음과 같은 효과가 있다. The humidity control method of the present invention, a thermo-hygrostat having the above configuration, has the following effects.

첫째, 항온항습기의 습도 제어 방법에 있어서, 0 도씨 미만의 온도 영역에서도 이슬점이 존재하므로 이 이슬점을 이용해서 저온(예컨대 0 도씨 ~ 20 도씨) 및 저습(예컨대 15 ~ 30 %)환경이나 또는 영하의 환경에서도 습도를 제어할 수 있는 효과가 있고, 장시간 동안 운전을 할 수 있는 효과가 있다.First, in the humidity control method of the thermo-hygrostat, since the dew point exists even in the temperature region below 0 ° C, the dew point is used in low temperature (eg 0 ° C to 20 ° C) and low humidity (e.g. 15 to 30 %) environments. Alternatively, there is an effect of controlling the humidity even in a sub-zero environment, and there is an effect of driving for a long time.

둘째, 상온에서만 이루어지던 습도 제어 영역을 영하의 이슬점 영역으로 확대할 수 있는 효과가 있다.Second, there is an effect that the humidity control area, which was only performed at room temperature, can be expanded to the sub-zero dew point area.

셋째, 예컨대 항온항습기의 습도 제어 방법의 항온항습기의 압력 조건에 무관하게 습도 제어를 할 수 있도록 함으로써 어떠한 환경 조건에서도 재현 가능한 시험을 수행할 수 있는 효과가 있다.Third, for example, in the humidity control method of the thermo-hygrostat, humidity control can be performed irrespective of the pressure condition of the thermo-hygrostat, so that a reproducible test can be performed under any environmental conditions.

넷째, 예컨대 100 도씨 이상의 고온 환경에서도 습도 제어가 가능할 수 있는 효과가 있다.Fourth, for example, there is an effect that humidity can be controlled even in a high temperature environment of 100 degrees C or more.

다섯째, 이슬점온도 기반으로 습도를 제어함으로써 히터의 전력량을 줄일 수 있어서 에너지를 절감할 수 있는 효과가 있다.Fifth, by controlling the humidity based on the dew point temperature, the amount of power of the heater can be reduced, thereby saving energy.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기 습도 제어 방법을 구현하기 위한 항온항습기 습도 제어 시스템의 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기 습도 제어 방법을 구현하기 위한 컨트롤러(160)의 제어 블록 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기 습도 제어 방법의 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기 습도 제어 방법의 다른 동작 흐름도이다.1 is a block diagram of a thermo-hygrostat humidity control system for implementing a humidity control method for a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of a control block of a controller 160 for implementing a method for controlling humidity in a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart of a method for controlling humidity in a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention.
4 is another operational flowchart of a method for controlling humidity in a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention.

다음은 본 발명인 항온항습기의 습도 제어 방법의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the method for controlling the humidity of the thermo-hygrostat according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 방법을 구현하기 위한 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 대해서 설명한다.First, a humidity control system for a thermo-hygrostat according to an embodiment for implementing the method for controlling the humidity of a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템은, 피시험물(미도시)이 들어가는 항온항습기(R)가 설정 온도(Ts)를 유지하고 있는 상태에서, 항온항습기(R)의 현재 습도(Hp)를 설정 습도(Hs)로 만들기 위해서 항온항습기(R)의 설정 온도(Ts)와 설정 습도(Hs)에 일치하는 이슬점온도(Tw)[이하, "설정 이슬점온도"라고도 칭한다.]의 습공기(wet air)를 항온항습기(R)로 공급하는 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)과, 상기 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)에 구비되고, 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)의 이슬점온도의 습공기의 온도를 감지하는 습공기 온도센서(151,152)와, 상기 습공기 온도센서(151,152)로부터 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)의 현재 습공기의 온도를 수신하고, 수신한 현재 습공기의 온도가 상기 설정 이슬점온도와 다른 경우에는 현재 습공기의 온도가 설정 이슬점온도에 도달하도록 상기 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)에서 공급되는 습공기의 온도를 제어하는 컨트롤러(160)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, in the state that the thermo-hygrostat (R) into which the test object (not shown) enters maintains the set temperature (Ts), the current of the thermo-hygrostat (R) In order to make the humidity (Hp) into the set humidity (Hs), the dew point temperature (Tw) matching the set temperature (Ts) and the set humidity (Hs) of the thermo-hygrostat (R) [hereinafter also referred to as “set dew point temperature”] It is provided in the dew point temperature humid air supply means 110 and 120 for supplying the wet air of the constant temperature and humidifier R, and the dew point temperature humid air supply means 110 and 120, and the dew point temperature of the dew point temperature of the wet air supply means 110 and 120 The humidity air temperature sensors 151 and 152 for detecting the temperature of the wet air, and the dew point temperature and the current wet air temperature of the wet air supply means 110 and 120 are received from the wet air temperature sensors 151 and 152, and the received current wet air temperature is the set dew point temperature. and a controller 160 for controlling the temperature of the wet air supplied from the dew point temperature and wet air supply means 110 and 120 so that the current wet air temperature reaches the set dew point temperature.

상기와 같은 제어 구성에 의하면, 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 공급되는 이슬점온도의 습공기에 의해서, 설정 온도(Ts)로 유지되고 있는 항온항습기(R)의 현재 습도(Hp)가 설정 습도(Hs)로 되는 것이다.According to the control configuration as described above, the current humidity (Hp) of the thermo-hygrostat (R) maintained at the set temperature (Ts) by the humid air of the dew point temperature supplied from the dew point temperature and humid air supply means (110, 120) is the set humidity ( Hs) will be

즉, 설정 온도(Ts)를 유지하고 있는 항온항습기(R)로 이슬점온도의 습공기가 공급되면, 항온항습기(R)의 습도는 설정 습도(Hs)로 되는 것이다.That is, when the humid air of the dew point temperature is supplied to the thermo-hygrostat R maintaining the set temperature Ts, the humidity of the thermo-hygrostat R becomes the set humidity Hs.

여기서, 항온항습기(R)의 설정 온도(Ts)는 이슬점온도의 습공기가 항온항습기(R)에 공급되는 경우에 구현 목표인 설정 습도(Hs)[제어 목표인 습도값]를 만들기 위한 항온항습기(R)의 온도(Ts)이다.Here, the set temperature (Ts) of the thermo-hygrostat (R) is a thermo-hygrostat ( is the temperature (Ts) of R).

상기 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)은, 기준 온도(Tc)(예컨대 0 도씨) 이상의 이슬점온도의 습공기[즉, 제1 이슬점 영역(0 도씨 이상의 이슬점온도)을 갖는 이슬점온도의 습공기]를 항온항습기(R)로 공급하여서, 설정 온도(Ts)를 유지하고 있는 항온항습기(R)의 현재 습도를 설정 습도(Hs)로 제어하는 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)과, 기준 온도(Tc)(예컨대 0 도씨) 미만의 이슬점온도의 습공기[즉, 제2 이슬점 영역(0 도씨 미만의 이슬점온도)을 갖는 이슬점온도의 습공기]를 항온항습기(R)로 공급하여서, 설정 온도(Ts)를 유지하고 있는 항온항습기(R)의 현재 습도를 설정 습도(Hs)로 제어하는 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)을 포함하여 구성된다.The dew point temperature humid air supply means 110 and 120 supplies wet air with a dew point temperature equal to or higher than a reference temperature Tc (for example, 0 ° C.) The first dew point region humid air supply means 110 for controlling the current humidity of the thermo-hygrostat (R) maintaining the set temperature (Ts) to the set humidity (Hs) by supplying it to the thermo-hygrostat (R), and the reference temperature ( Tc) (e.g., 0 degrees Celsius) of the dew point temperature below the wet air (that is, the wet air with the dew point temperature having a second dew point region (the dew point temperature below 0 degrees Celsius)) is supplied to the thermo-hygrostat R, so that the set temperature ( Ts) is configured to include a second dew point region moist air supply means 120 for controlling the current humidity of the thermo-hygrostat (R) to the set humidity (Hs).

상기와 같이, 제1 이슬점 영역과 제2 이슬점 영역으로 구분하여서 이슬점온도의 습공기를 공급함으로써, 항온항습기(R)의 온도에 대응되어서 영하의 이슬점온도의 습공기 또는 영상의 이슬점온도의 습공기의 공급을 선택적으로 공급할 수 있는 이점이 있다.As described above, by dividing the first dew point region and the second dew point region and supplying the wet air with the dew point temperature, the supply of wet air with a dew point temperature of sub-zero or wet air with a dew point temperature of zero in response to the temperature of the thermo-hygrostat (R) is controlled. It has the advantage of being able to supply selectively.

상기 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)과 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)은 택일적으로 동작하여서 이슬점온도의 습공기를 공급한다.The first dew point area wet air supply means 110 and the second dew point area wet air supply means 120 operate alternatively to supply wet air having a dew point temperature.

상기 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)과 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)이 택일적으로 동작한다는 것은 상기 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)과 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120) 중에서 하나의 습공기 공급수단에서만 습공기가 공급되고, 2 개의 습공기 공급수단에서 동시에 습공기가 항온항습기(R)로 공급되지 않는다는 의미이다.The alternative operation of the first dew point area wet air supply means 110 and the second dew point area wet air supply means 120 means that the first dew point area wet air supply means 110 and the second dew point area wet air supply means 120 operate. ), the wet air is supplied from only one of the humid air supply means, and the wet air is not simultaneously supplied from the two humid air supply means to the thermo-hygrostat (R).

이는 당연한 것인데, 왜냐하면, 기준 온도(Tc) 이상에서는 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)에서만 습공기가 공급되고, 기준 온도(Tc) 미만에서는 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)에서만 습공기가 공급되기 때문이다.This is natural, because, above the reference temperature (Tc), the wet air is supplied only from the first dew point region wet air supply means (110), and below the reference temperature (Tc), the wet air is supplied only from the second dew point region wet air supply means (120). because it becomes

상기 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)은, 물(w1)이 담겨져 있고, 외부로부터 공기(예컨대 건조공기)를 공급받고, 외부로부터 공급되는 공기(예컨대 건조공기)를 물(w1)과 접촉시켜서 기준 온도(Tc) 이상의 이슬점온도의 습공기로 만들어서[변환시켜서] 항온항습기(R)로 공급하는 제1 수조(111)와, 상기 제1 수조(111)에 담겨 있는 물(w1)의 온도를 이슬점온도와 동일한 온도로 만들기 위해서, 상기 제1 수조(111)의 물(w1)을 가열하는 제1 히팅부재와, 상기 제1 수조(111)에 담겨 있는 물(w1)의 온도를 이슬점온도와 동일한 온도로 만들기 위해서, 상기 제1 수조(111)의 물(w1)을 냉각하는 제1 냉각부재를 포함하여 구성된다.The first dew point region wet air supply means 110 contains water w1, receives air (eg, dry air) from the outside, and brings the air (eg, dry air) supplied from the outside into contact with the water (w1). The temperature of the first water tank 111 that is supplied to the thermo-hygrostat (R) by making it into humid air with a dew point temperature higher than the reference temperature (Tc) and the temperature of the water (w1) contained in the first water tank 111 In order to make the temperature equal to the dew point temperature, the first heating member for heating the water w1 of the first water tank 111 and the temperature of the water w1 contained in the first water tank 111 are equal to the dew point temperature and the dew point temperature. In order to make the same temperature, a first cooling member for cooling the water w1 of the first water tank 111 is included.

이때, 상기 컨트롤러(160)는 제1 수조(111)의 물(w1)의 온도를 상기 설정 이슬점 온도와 동일한 온도가 되도록 상기 제1 히팅부재와 제1 냉각부재의 동작을 제어한다.At this time, the controller 160 controls the operation of the first heating member and the first cooling member so that the temperature of the water w1 in the first water tank 111 becomes the same as the set dew point temperature.

그리고, 상기와 같은 컨트롤러(160)의 제어에 의해서 제1 수조(111)는 외부로부터 공기(예컨대 건조공기)를 공급받고, 외부로부터 공급되는 공기(예컨대 건조공기)는 이슬점 온도와 동일한 온도의 물(w1)과 접촉되어서 기준 온도(Tc) 이상의 이슬점온도의 습공기로 만들어진다.And, under the control of the controller 160 as described above, the first water tank 111 receives air (eg, dry air) from the outside, and the air (eg, dry air) supplied from the outside is water at the same temperature as the dew point temperature. In contact with (w1), it is made into moist air with a dew point temperature above the reference temperature (Tc).

상기 제1 수조(111)는, 예컨대 탱크 형상으로 형성될 수도 있는데, 물(w1)을 담고 있고 공기를 공급받아서 습공기를 배출할 수 있는 구성이라면 그 형상이나 명칭에 관계없이 모두 본원발명의 기술적 범위에 속함은 물론이다.The first water tank 111 may be formed, for example, in a tank shape, and if it contains water w1 and is capable of discharging wet air by receiving air, all of them are the technical scope of the present invention regardless of the shape or name. Of course, it belongs to

상기 제1 히팅부재는 예컨대 제1 수조(111)의 내부에 구비되어서 물을 가열하는 제1 히터(112)로 구성될 수 있을 것이다. 또한 상기 제1 히팅부재는 제1 수조(111)의 물(w1)에 침잠 또는 부분 침잠되어서 구비될 수 있다.The first heating member may include, for example, a first heater 112 provided in the first water tank 111 to heat water. In addition, the first heating member may be provided by being submerged or partially submerged in the water w1 of the first water tank 111 .

상기 컨트롤러(160)는 상기 제1 히터(112)의 동작을 제어함으로써 제1 수조(111)의 물의 온도를 제어할 수 있다.The controller 160 may control the temperature of the water in the first water tank 111 by controlling the operation of the first heater 112 .

상기 제1 냉각부재는, 상기 제1 수조(111)의 물(w1)과 열교환하기 위한 열교환매체가 내부를 흐르는 제1 열교환 배관(113)으로 구성된다.The first cooling member includes a first heat exchange pipe 113 through which a heat exchange medium for heat exchange with the water w1 of the first water tank 111 flows therein.

상기 제1 열교환 배관(113)에는 제1 열교환 배관(113)을 흐르는 열교환매체의 흐름을 단속하거나 유량을 제어하는 제3 밸브(V3)가 구비되고, 상기 컨트롤러(160)는 상기 제3 밸브(V3)의 개도를 제어함으로써 제1 수조(111)의 물(w1)의 온도를 제어할 수 있다.The first heat exchange pipe 113 is provided with a third valve V3 for intermittent flow or to control the flow rate of the heat exchange medium flowing through the first heat exchange pipe 113 , and the controller 160 operates the third valve ( By controlling the opening degree of V3), the temperature of the water w1 in the first water tank 111 can be controlled.

제1 열교환 배관(113)은 제1 수조(111)의 내부에서는 예컨대 코일(coil) 형태로 배치될 수도 있을 것이다. 이에 의하면 냉각효율이 좋아지게 된다.The first heat exchange pipe 113 may be disposed in, for example, a coil shape inside the first water tank 111 . Accordingly, the cooling efficiency is improved.

상기 제1 열교환 배관(113)은, 상기 제1 수조(111)의 물(w1)을 순환하여서 브라인(brine)액 공급조(130)로 궤환하도록, 브라인액이 저장되어 있는 브라인액 공급조(130)에 일단(입구)과 타단(출구)이 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.The first heat exchange pipe 113 is a brine solution supply tank in which the brine solution is stored so as to circulate the water w1 of the first water tank 111 and feed it back to the brine solution supply tank 130 ( 130) is characterized in that one end (inlet) and the other end (outlet) are provided.

상기 제1 열교환 배관(113)은, 열교환매체가 브라인액(brine liquid)로 구성되는 브라인 배관인 것을 특징으로 한다.The first heat exchange pipe 113 is characterized in that the heat exchange medium is a brine pipe composed of a brine liquid.

상기 브라인액은 예컨대 영하 40 도씨에서도 얼지 않는 부동의 열교환매체이다.The brine solution is, for example, an immovable heat exchange medium that does not freeze even at minus 40 degrees Celsius.

상기와 같이 제1 열교환 배관(113)의 열교환매체를 브라인액으로 구성하는 경우, 열교환매체의 온도 조절 제어가 가능하고 또한 그 온도 조절 제어가 신속하고 즉각적으로 조절할 수 있으므로, 이슬점온도의 습공기를 만들기 위한 물(w1)의 온도 제어가 가능하고 동시에 용이하다는 이점이 있다. 또한 이슬점온도의 습공기를 만들기 위한 물(w1)의 온도를 정밀하고 정확하게 제어할 수 있는 이점이 있다.As described above, when the heat exchange medium of the first heat exchange pipe 113 is composed of brine liquid, the temperature control of the heat exchange medium can be controlled and the temperature control control can be quickly and immediately adjusted, so that humid air having a dew point temperature is created. There is an advantage that the temperature control of the water w1 for the purpose is possible and easy at the same time. In addition, there is an advantage that can precisely and accurately control the temperature of the water (w1) for making the humid air of the dew point temperature.

한편, 상기 제1 열교환 배관(113)의 열교환매체는 상기의 브라인액 외에도 예컨대 냉매가스 또는 냉수로 구성될 수 있을 것이며, 그 밖에 물(w1)과 열교환하는 유체라면 어느 것이라도 본원발명의 기술적 범위에 속함은 물론이다.On the other hand, the heat exchange medium of the first heat exchange pipe 113 may be composed of, for example, refrigerant gas or cold water in addition to the brine solution, and any other fluid that exchanges heat with water w1 is the technical scope of the present invention. Of course, it belongs to

상기 습공기 온도센서(151,152)는 상기 제1 수조(111)의 물(w1)의 온도 또는 하기하는 제1 습공기 공급관(116)의 습공기의 온도를 측정하는 제1 온도센서(151)와, 하기하는 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 온도를 측정하는 제2 온도센서(152)를 포함하여 구성된다.The wet air temperature sensors 151 and 152 are a first temperature sensor 151 for measuring the temperature of the water w1 of the first water tank 111 or the temperature of the wet air of the first wet air supply pipe 116 to be described below; and a second temperature sensor 152 for measuring the temperature of the ice I1 in the second water tank 121 .

제1 온도센서(151)가 측정하는 지점은 예컨대 제1 수조(111)의 물(w1)이 될 수도 있고, 또는 습공기를 공급하는 제1 습공기 공급관(116)의 습공기의 온도가 될 수도 있는데, 바람직하게는 제1 습공기 공급관(116)의 습공기의 온도이다.The point measured by the first temperature sensor 151 may be, for example, the water w1 of the first water tank 111, or the temperature of the wet air of the first wet air supply pipe 116 for supplying wet air. Preferably, it is the temperature of the wet air of the first wet air supply pipe 116 .

상기 컨트롤러(160)는 제1 온도센서(151)로부터 수신한 상기 제1 수조(111)의 현재 온도(Tp)를 기초로 상기 제1 히터(112)의 동작을 제어하거나 또는 제1 열교환 배관(113)으로 공급되는 열교환매체의 공급을 제어하여서 제1 수조(111)의 물(w1)의 온도가 상기 설정 이슬점온도와 동일하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.The controller 160 controls the operation of the first heater 112 based on the current temperature Tp of the first water tank 111 received from the first temperature sensor 151 or a first heat exchange pipe ( 113) by controlling the supply of the heat exchange medium supplied to the first water tank 111 is characterized in that the control so that the temperature of the water (w1) is equal to the set dew point temperature.

상기 컨트롤러(160)는 예컨대 컨트롤러(160)의 내부나 외부에 구비된 이슬점 저장부[이슬점 기억매체](미도시)에 기억되어 있는 이슬점온도의 테이블값(온도와 습도에 따라서 일의적으로 결정되는 이슬점의 온도가 매칭되어서 저장되어 있는 계산표)을 데이터로서 저장하고 있고, 상기 컨트롤러(160)는 이 이슬점 저장부(미도시)에 저장되어 있는 테이블값을 리드하여서 항온항습기의 설정 온도와 설정 습도[목표 습도]에 일치하는 이슬점온도를 추출하게 되는 것이다.The controller 160 has, for example, a table value of dew point temperature stored in a dew point storage unit [dew point storage medium] (not shown) provided inside or outside the controller 160 (uniquely determined according to temperature and humidity). The dew point temperature is matched and stored as data), and the controller 160 reads the table value stored in the dew point storage unit (not shown) to read the set temperature and set humidity [ The dew point temperature corresponding to the target humidity] is extracted.

한편, 상기 제1 수조(111)는 정확한 이슬점온도의 습공기를 공급하기 위해서 복수로 구성될 수도 있다.On the other hand, the first water tank 111 may be configured in plurality in order to supply wet air having an accurate dew point temperature.

상기 제1 수조(111)로 공기를 공급하기 위해서, 일단이 공기공급원에 연결되고 타단이 제1 수조(111)에 연결되는 제1 공기배관(114)과, 상기 제1 수조(111)로 물을 공급하기 위해서, 일단이 물공급원에 연결되고 타단이 제1 수조(111)에 연결되는 제1 물배관(115)이 더 포함되어서 구성될 수도 있다.In order to supply air to the first water tank 111 , a first air pipe 114 having one end connected to an air supply source and the other end connected to the first water tank 111 , and water to the first water tank 111 . In order to supply water, a first water pipe 115 having one end connected to a water supply source and the other end connected to the first water tank 111 may be further included.

상기 제1 수조(111)에서 생성된 이슬점온도의 습공기를 항온항습기(R)로 공급하기 위해서 일단이 제1 수조(111)에 연결되고 타단이 항온항습기(R)에 연결되는 제1 습공기 공급관(116)이 더 포함되어서 구성된다.A first wet air supply pipe ( 116) is further included.

상기 제1 습공기 공급관(116)에는 공급되는 습공기(Aw)의 흐름을 단속하기 위한 제1 밸브(V1)가 구비되어 있고, 상기 컨트롤러(160)는 상기 제1 밸브(V1)의 동작을 제어함으로써 상기 제1 수조(111)로부터 상기 항온항습기(R)로 공급되는 기준 온도(Tc) 이상의 이슬점온도의 습공기의 공급을 제어하는 것을 특징으로 한다.The first wet air supply pipe 116 is provided with a first valve V1 for controlling the flow of the supplied wet air Aw, and the controller 160 controls the operation of the first valve V1. It is characterized in that the supply of wet air having a dew point temperature equal to or higher than the reference temperature (Tc) supplied from the first water tank 111 to the thermo-hygrostat (R) is controlled.

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 있어서, 상기 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)은, 아이스(ice)[얼음](I1)가 내부에 구비되어 있고, 외부로부터 공기(예컨대 건조공기)를 공급받으며, 외부로부터 공급받은 공기를 아이스(I1)와 접촉시켜서 기준 온도(Tc) 미만(예컨대 영하)의 이슬점온도의 습공기로 만들어서 항온항습기(R)로 공급하는 제2 수조(121)와, 항온항습기(R)로 공급되는 이슬점온도의 습공기의 온도를 기준 온도(Tc) 미만의 이슬점의 온도로 만들기 위해서, 제2 수조(121)로 공급된 물을 냉동하여서 아이스(I1)로 만들기 위한 제2 냉각부재를 포함하여 구성되고, 상기 컨트롤러(160)는 제2 온도센서(152)로부터 수신한 온도(Tp)[즉 상기 제2 수조(121)의 아이스(I1)와 접촉하는 공기의 온도(Tp)]가 상기 기준 온도(Tc) 미만의 이슬점온도와 동일하도록 제2 냉각부재의 동작을 제어하는 것을 특징으로 한다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, the second dew point region humid air supply means 120 includes ice (ice) I1 inside, and air from the outside. (for example, dry air) is supplied, and the air supplied from the outside is brought into contact with the ice (I1) to make wet air with a dew point temperature less than the reference temperature (Tc) (for example, below zero) and supplied to the thermo-hygrostat (R). (121) and the water supplied to the second water tank 121 to make the temperature of the humid air at the dew point temperature supplied to the thermo-hygrostat (R) to the temperature of the dew point less than the reference temperature (Tc) by freezing the water supplied to the ice (I1) ), and the controller 160 is in contact with the temperature Tp received from the second temperature sensor 152 (that is, the ice I1 of the second water tank 121). It characterized in that the operation of the second cooling member is controlled so that the temperature (Tp) of the air is equal to the dew point temperature less than the reference temperature (Tc).

이와 같이 간단한 아이스(I1)를 구비하고 이 아이스를 공기와 접촉시킨 후에 배출하는 제2 수조(121)의 구성에 의해서 영하권의 이슬점온도를 갖는 차가운 습공기를 간단한 구성으로 제작할 수 있는 이점이 있다.As described above, there is an advantage in that cold wet air having a dew point temperature below zero can be produced with a simple configuration by the configuration of the second water tank 121 having the simple ice I1 and discharging the ice after contacting it with air.

상기 제2 수조(121)는 예컨대 탱크 형상으로 형성될 수도 있는데, 아이스(I1)를 구비할 수 있고, 외부로부터 공기를 공급받아서 습공기를 배출할 수 있는 구성이라면 그 형상이나 명칭에 관계없이 모두 본원발명의 기술적 범위에 속함은 물론이다.The second water tank 121 may be formed, for example, in a tank shape, and if it is configured to include ice I1 and to discharge wet air by receiving air from the outside, regardless of its shape or name, all Of course, it belongs to the technical scope of the invention.

상기 제2 수조(121)에 구비되는 아이스(I1)의 제조 방법으로는 예컨대 물을 제2 수조(121)에 공급한 후에 이 제2 수조(121)의 물을 하기의 제2 냉각부재에 의해서 얼려서 만들 수 있다.As a method of manufacturing the ice I1 provided in the second water tank 121, for example, after water is supplied to the second water tank 121, the water in the second water tank 121 is cooled by the following second cooling member. It can be made by freezing.

바람직하게는 상기 제2 냉각부재는 상기 제2 수조(121)의 물과 열교환하여서 제2 수조의 물을 냉동하기 위한 열교환매체가 내부를 흐르는 제2 열교환 배관(123)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the second cooling member comprises a second heat exchange pipe 123 through which a heat exchange medium for refrigerating the water in the second water tank by exchanging heat with the water in the second water tank 121 flows through the inside. .

상기 제2 열교환 배관(123)은 열교환매체가 브라인액(brine liquid)으로 구성되는 브라인 배관인 것을 특징으로 한다.The second heat exchange pipe 123 is characterized in that the heat exchange medium is a brine pipe composed of a brine liquid.

상기 제2 열교환 배관(123)은 상기 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 내부를 순환하여서 브라인액 공급조(131)로 궤환하도록, 브라인액이 저장되어 있는 브라인액 공급조(130)에 일단(입구)과 타단(출구)가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.The second heat exchange pipe 123 circulates the inside of the ice I1 of the second water tank 121 and feeds it back to the brine solution supply tank 131 , the brine solution supply tank 130 in which the brine solution is stored. It is characterized in that one end (inlet) and the other end (outlet) are provided.

열교환 매체를 브라인액으로 구성하는 경우 열교환매체의 온도 조절 제어가 가능하고 또한 그 온도 조절 제어가 신속하고 즉각적으로 조절할 수 있으므로, 이슬점온도의 습공기를 만들기 위한 물의 냉동[즉 아이스(I1)]의 온도 제어가 가능하고 동시에 용이하다는 이점이 있다. 또한 이슬점온도의 습공기를 만들기 위한 아이스(I1)의 온도를 정밀하고 정확하게 제어할 수 있는 이점이 있다.When the heat exchange medium is composed of brine liquid, the temperature control of the heat exchange medium can be controlled and the temperature control can be controlled quickly and immediately. It has the advantage of being controllable and easy at the same time. In addition, there is an advantage of precisely and precisely controlling the temperature of the ice (I1) for making wet air of the dew point temperature.

전술한 바와 같이, 상기 제2 수조(121)의 온도를 감지하는 제2 온도센서(152)가 구비된다.As described above, the second temperature sensor 152 for sensing the temperature of the second water tank 121 is provided.

그리고, 상기 제2 열교환 배관(123)에는 제2 열교환 배관(123)을 흐르는 열교환매체(예컨대 브라인액)의 흐름을 단속하거나 유량을 제어하는 제4 밸브(V4)가 구비되고, 상기 컨트롤러(160)는 제2 온도센서(152)로부터 수신한 상기 제2 수조(111)의 아이스의 현재 온도(Tp)를 기초로 상기 제4 밸브(V4)의 개도를 제어함으로써 제2 열교환 배관(113)으로 공급되는 열교환매체의 공급을 제어하고, 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 온도가 상기 설정 이슬점온도와 동일하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, the second heat exchange pipe 123 is provided with a fourth valve V4 that intermittently or controls the flow rate of a heat exchange medium (eg, brine solution) flowing through the second heat exchange pipe 123 , and the controller 160 . ) to the second heat exchange pipe 113 by controlling the opening degree of the fourth valve V4 based on the current temperature Tp of the ice in the second water tank 111 received from the second temperature sensor 152. Controlling the supply of the supplied heat exchange medium, and controlling the temperature of the ice I1 of the second water tank 121 to be the same as the set dew point temperature.

상기 컨트롤러(160)는 이슬점표 저장부에 저장되어 있는 테이블값을 리드하여서 항온항습기의 설정 온도와 설정 습도[목표 습도]에 일치하는 이슬점온도를 추출하여서 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 온도를 제어하게 되는 것이다.The controller 160 reads the table value stored in the dew point table storage unit, extracts the dew point temperature that matches the set temperature and set humidity [target humidity] of the thermo-hygrostat, and then extracts the ice (I1) of the second water tank 121. to control the temperature of

상기 제2 열교환 배관(123)에 구비되어서 상기 제2 수조(121)로 공급되는 브라인액의 온도를 조절하는 제2 히팅부재가 더 포함되어 구성된다.A second heating member provided in the second heat exchange pipe 123 to control the temperature of the brine solution supplied to the second water tank 121 is further included.

상기 제2 히팅부재는 상기 브라인액이 통과될 수 있도록 구성된 제2 히터(122)인 것을 특징으로 한다.The second heating member is characterized in that the second heater 122 configured to allow the brine solution to pass therethrough.

상기 컨트롤러(160)는 제2 온도센서(152)로부터 수신한 상기 제2 수조(111)의 현재 온도(Tp)를 기초로, 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 온도가 상기 설정 이슬점온도와 동일하도록 상기 제2 히터(122)의 동작을 제어하는 것을 특징으로 한다.The controller 160 sets the temperature of the ice I1 in the second water tank 121 based on the current temperature Tp of the second water tank 111 received from the second temperature sensor 152 to the set dew point. It is characterized in that the operation of the second heater 122 is controlled to be the same as the temperature.

상기 제2 수조(121)로 공기를 공급하기 위해서 일단이 공기공급원에 연결되고 타단이 제2 수조(121)에 연결되는 제2 공기배관(124)과, 상기 제2 수조(121)로 물을 공급하기 위해서 일단이 물공급원에 연결되고 타단이 제2 수조(121)에 연결되는 제2 물배관(125)이 더 포함되어서 구성될 수도 있다.In order to supply air to the second water tank 121 , one end is connected to an air supply source and the other end is connected to the second water tank 121 , a second air pipe 124 , and water to the second water tank 121 . In order to supply, a second water pipe 125 having one end connected to a water supply source and the other end connected to the second water tank 121 may be further included.

또한 제2 수조(121)에서 생성된 이슬점온도의 습공기를 항온항습기(R)로 공급하기 위해서 일단이 제2 수조(121)에 연결되고 타단이 항온항습기(R)에 연결되는 제2 습공기 공급관(126)이 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, a second wet air supply pipe ( 126) is characterized in that it is further included.

상기 제2 습공기 공급관(126)에는 공급되는 습공기(Aw)의 흐름을 단속하기 위한 제2 밸브(V2)가 구비되어 있고, 상기 컨트롤러(160)는 상기 제2 밸브(V2)의 동작을 제어함으로써 상기 제2 수조(121)로부터 상기 항온항습기(R)로 공급되는 기준 온도(Tc) 미만의 이슬점온도의 습공기의 공급을 제어하는 것을 특징으로 한다.The second wet air supply pipe 126 is provided with a second valve V2 for controlling the flow of the supplied wet air Aw, and the controller 160 controls the operation of the second valve V2. It is characterized in that the supply of humid air having a dew point temperature lower than the reference temperature (Tc) supplied from the second water tank (121) to the thermo-hygrostat (R) is controlled.

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 있어서, 상기 제1 열교환 배관(113)과 제2 열교환 배관(123)으로 브라인액을 공급하는 브라인액 공급조(131)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, the brine solution supply tank 131 for supplying the brine solution to the first heat exchange pipe 113 and the second heat exchange pipe 123 is further included. characterized in that it is composed.

상기 제1,2 열교환 배관(113,123)에는 브라인액의 공급하기 위한 펌프(미도시)가 구비될 수도 있는데, 이 펌프의 구동은 상기 컨트롤러(160)에 의해서 제어될 수 있을 것이다.A pump (not shown) for supplying the brine solution may be provided in the first and second heat exchange pipes 113 and 123 , and the operation of the pump may be controlled by the controller 160 .

상기 브라인액 공급조(131)에는 브라인액의 온도를 조절하기 위한 제3 히팅부재가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기 제3 히팅부재는 예컨대 제3 히터(132)와, 상기 브라인액 공급조(131)의 브라인액의 온도를 감지하는 제3 온도센서(153)가 더 포함되어서 구성된다.The brine solution supply tank 131 is characterized in that it further comprises a third heating member for controlling the temperature of the brine solution. The third heating member is configured to further include, for example, a third heater 132 and a third temperature sensor 153 for sensing the temperature of the brine solution in the brine solution supply tank 131 .

상기 컨트롤러(160)는 상기 제3 온도센서(153)로부터 수신한 브라인액 공급조(131)의 온도[엄밀하게는 브라인액 공급조(131)의 브라인액]를 기초로 공급되어야 하는 열교환 매체인 브라인액의 온도를 조절할 수 있는데, 예컨대 상기 제3 히터(132)의 동작 제어에 의해서 브라인액의 온도를 제어할 수 있을 것이다.The controller 160 is a heat exchange medium to be supplied based on the temperature of the brine solution supply tank 131 received from the third temperature sensor 153 (strictly, the brine solution in the brine solution supply tank 131). The temperature of the brine solution may be adjusted, for example, the temperature of the brine solution may be controlled by controlling the operation of the third heater 132 .

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템은, 항온항습기(R)의 내부의 습도를 측정하기 위한 습도센서(171)와, 항온항습기(R)의 내부의 온도를 측정하기 위한 시험실 온도센서(172)와, 항온항습기(R)의 현재 온도를 설정 온도로 제어하기 위해서 항온항습기(R)의 내부 온도를 상승시키기 위하여 열을 항온항습기(R)로 공급하는 항온항습기 히팅부재와, 브라인액을 공급하는 브라인액 공급조(131)와 브라인액 배관(141a)으로 연결되고, 브라인액과 열교환되어서 온도가 강하된 공기를 항온항습기(R)로 공급하는 브라인 열교환기(141)와, 상기 브라인 배관(141a)을 흐르는 열교환매체인 브라인액의 흐름을 단속하거나 유량을 제어하도록 브라인 배관(141a)에 구비되는 제5 밸브(V5)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.The humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention includes a humidity sensor 171 for measuring the internal humidity of the thermo-hygrostat (R), and a test room for measuring the internal temperature of the thermo-hygrostat (R). A temperature sensor 172 and a thermo-hygrostat heating member for supplying heat to the thermo-hygrostat (R) to increase the internal temperature of the thermo-hygrostat (R) to control the current temperature of the thermo-hygrostat (R) to a set temperature; The brine solution supply tank 131 for supplying the brine solution is connected to the brine solution pipe 141a, and the brine heat exchanger 141 for supplying the air whose temperature is lowered by heat exchange with the brine solution to the thermo-hygrostat (R); A fifth valve (V5) provided in the brine pipe (141a) is further included to regulate the flow or control the flow rate of the brine solution as a heat exchange medium flowing through the brine pipe (141a).

바람직하게는 상기 브라인 열교환기(141)는 열교환 작용에 의해서 항온항습기 내부의 공기의 온도를 강하함과 동시에 습공기의 이슬점온도를 유지하도록 수증기의 양을 조절하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 수증기가 많은 경우에는 이슬점온도로 제습을 하고, 수증기가 적은 경우에는 더 이상 제습을 하지 않는다.Preferably, the brine heat exchanger 141 lowers the temperature of the air inside the thermo-hygrostat by a heat exchange action and at the same time adjusts the amount of water vapor to maintain the dew point temperature of the humid air. Therefore, when there is a lot of water vapor, dehumidification is performed at the dew point temperature, and when there is little water vapor, dehumidification is not performed anymore.

즉, 상기 브라인 열교환기(141)는 온도 하강의 역할을 하면서, 이슬점온도로 유지되도록 하는 역할을 동시에 수행하는 것이다.That is, the brine heat exchanger 141 serves to lower the temperature and to maintain the dew point temperature at the same time.

상기 항온항습기 히팅부재는 예컨대 시험실 히터(145)로 구성될 수 있을 것이다.The thermo-hygrostat heating member may be composed of, for example, a laboratory heater 145 .

그리고, 상기 컨트롤러(160)는 시험실 온도센서(172)로부터 수신한 항온항습기의 내부의 온도가 항온항습기의 설정 온도(Ts)와 동일하게 되도록, 상기 시험실 히터(145)의 동작을 제어하고, 상기 제5 밸브(V5)의 개도를 제어하여서 브라인 배관(141a)으로 공급되는 브라인액의 공급을 제어하는 것을 특징으로 한다.Then, the controller 160 controls the operation of the laboratory heater 145 so that the temperature inside the thermo-hygrostat received from the laboratory temperature sensor 172 is the same as the set temperature (Ts) of the thermo-hygrostat, and It is characterized in that by controlling the opening degree of the fifth valve (V5) to control the supply of the brine solution supplied to the brine pipe (141a).

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 있어서, 브라인액 공급조(131)로부터 상기 브라인액 배관(141a)을 통해서 상기 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액은, 상기 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도로서 공급되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, the brine solution supplied from the brine solution supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 through the brine solution pipe 141a is at the dew point. It is characterized in that it is supplied at the same temperature as the dew point temperature of the humid air supplied from the temperature and humidity air supply means (110, 120) to the thermo-hygrostat (R).

브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액을 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도로서 공급함으로써, 항온항습기(R)로 들어가는 이슬점온도의 습공기가 정확하게 이슬점온도[즉, 항온항습기의 설정 온도 및 설정 습도에 일치하는 이슬점온도]에 일치하도록 하기 위함이다.By supplying the brine solution supplied to the brine heat exchanger 141 at the same temperature as the dew point temperature of the humid air supplied from the humid air supply means 110 and 120 to the thermo-hygrostat R, the dew-point temperature entering the thermo-hygrostat R This is to ensure that the humid air exactly matches the dew point temperature [that is, the dew point temperature corresponding to the set temperature and set humidity of the thermo-hygrostat].

즉, 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)로부터 공급되는 이슬점온도의 습공기는 최초 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)에 의해서 생성될 때에는 항온항습기의 설정 온도 및 설정 습도에 일치하는 이슬점온도에 해당하지만, 습공기 공급관(116,126)을 통해서 공급되는 과정에서 온도의 변화(증감)가 발생할 수 있는데, 브라인 열교환기(141)에서 습공기의 습도는 그래도 유지한 채로 온도만을 항온항습기의 설정 온도 및 설정 습도에 일치하는 이슬점의 온도로 열교환함으로써, 상기와 같은 온도의 변화를 보정할 수 있게 되는 것이다.That is, when the humid air of dew point temperature supplied from the dew point temperature and humid air supply means 110 and 120 is initially generated by the dew point temperature humid air supply means 110 and 120, it corresponds to the dew point temperature corresponding to the set temperature and set humidity of the constant temperature/hygrostat, but the wet air A change in temperature (increase or decrease) may occur in the process of being supplied through the supply pipes 116 and 126 . In the brine heat exchanger 141 , the humidity of the humid air is still maintained and only the temperature is the set temperature and the set humidity of the thermostat and the dew point matching the set humidity. By exchanging heat at a temperature of

따라서, 상기 브라인 열교환기(141)는 항온항습기(R)의 온도를 설정 온도로 조절하는 역할을 수행하고, 또한 제습 작용[수증기양의 조절]에 의해서 항온항습기(R)로 공급되는 습공기가 정확한 이슬점온도[즉 설정 온도 및 설정 습도에 일치하는 이슬점온도로서, 설정 습도를 만들기 위한 이슬점온도]를 유지하도록 하는 역할을 하게 된다.Therefore, the brine heat exchanger 141 serves to adjust the temperature of the thermo-hygrostat (R) to a set temperature, and the humid air supplied to the thermo-hygrostat (R) by the dehumidifying action [control of the amount of water vapor] is accurate. It serves to maintain the dew point temperature [that is, the dew point temperature corresponding to the set temperature and the set humidity, and the dew point temperature to make the set humidity].

그리고, 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액의 온도는 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도인 것이 바람직하지만, 항온항습기의 환경, 열손실 등의 현실적이고도 현장 상황의 이유로 완전히 동일한 온도의 브라인액을 공급하기 어려우므로, 이슬점온도 대비 제2 오차(예컨대 ±2 도씨) 값의 범위 내의 온도값을 갖는 브라인액을 공급하는 경우도 본원발명의 기술적 범위에 속하여야 함은 물론이다.And, the temperature of the brine liquid supplied to the brine heat exchanger 141 is preferably the same temperature as the dew point temperature of the humid air supplied to the thermo-hygrostat (R), but the environment of the thermo-hygrostat, heat loss, etc. Since it is difficult to supply the brine solution at the exact same temperature for some reason, the case of supplying the brine solution having a temperature value within the range of the second error (eg, ±2 degrees Celsius) value compared to the dew point temperature should also fall within the technical scope of the present invention. is of course

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 있어서, 브라인액 공급조(131)로부터 상기 브라인액 배관(141a)을 통해서 상기 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액의 온도를 조절하기 위하여, 상기 브라인액 배관(141a)에 구비되는 제4 히팅부재가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, the temperature of the brine solution supplied from the brine solution supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 through the brine solution pipe 141a is controlled. In order to do so, it is characterized in that the fourth heating member provided in the brine solution pipe (141a) is further included.

상기 제4 히팅부재는 상기 브라인액이 통과될 수 있도록 구성된 제4 히터(142)인 것을 특징으로 한다.The fourth heating member is a fourth heater 142 configured to allow the brine solution to pass therethrough.

상기 브라인액 배관(141a)의 브라인액의 온도를 감지하는 제4 온도센서(154)가 구비된다.A fourth temperature sensor 154 for detecting the temperature of the brine solution in the brine solution pipe (141a) is provided.

상기 컨트롤러(160)는 상기 제4 온도센서(154)로부터 수신한 브라인액 배관(141a)의 브라인액의 온도를 기초로 공급되어야 하는 열교환 매체인 브라인액의 온도를 조절할 수 있는데, 예컨대 상기 제4 히터(142)의 동작 제어에 의해서 브라인액의 온도를 제어할 수 있을 것이다.The controller 160 may adjust the temperature of the brine solution as a heat exchange medium to be supplied based on the temperature of the brine solution in the brine solution pipe 141a received from the fourth temperature sensor 154, for example, the fourth temperature sensor 154 . The temperature of the brine solution may be controlled by controlling the operation of the heater 142 .

본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 시스템에 있어서, 항온항습기(R)에는 시료가 놓이는 항온항습 공간인 시험실(R1)과, 상기 시험실(R1)의 일측에 형성되는 공조실(R2)이 형성된다.In the humidity control system of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention, the thermo-hygrostat (R) includes a test room (R1), which is a thermo-hygrostat space in which a sample is placed, and an air conditioning room (R2) formed on one side of the test room (R1) this is formed

상기 공조실(R2)의 공기가 유입되도록 항온항습기(R)의 일측에는 유입구(R11)가 형성되고, 항온항습기(R)의 공기가 항온항습기(R)로 배출되도록 항온항습기(R)의 타측에는 토출구(R12)가 형성되어 있으며, 상기 브라인 열교환기(141)와 항온항습기 히팅부재는 공조실(R2)에 구비된다.An inlet (R11) is formed on one side of the thermo-hygrostat (R) so that the air of the air-conditioning room (R2) flows in, and the other side of the thermo-hygrostat (R) so that the air of the thermo-hygrostat (R) is discharged to the thermo-hygrostat (R) A discharge port (R12) is formed, and the brine heat exchanger (141) and the thermo-hygrostat heating member are provided in the air conditioning room (R2).

한편, 실시예에 따라서는, 항온항습기(R)에 구비되고, 냉매에 의해서 항온항습기(R)의 내부와 열교환하여서 항온항습기(R)의 온도를 낮추는 제1 열교환기(146)가 더 포함되어서 구성될 수도 있다.On the other hand, according to the embodiment, the first heat exchanger 146 is provided in the thermo-hygrostat (R) and heat-exchanges with the inside of the thermo-hygrostat (R) by a refrigerant to lower the temperature of the thermo-hygrostat (R). may be configured.

상기 제1 열교환기(146)는 냉매가스에 의해서 열교환되는 일반적인 증발기로서 이 제1 열교환기(146)는 예컨대 항온항습기의 온도를 빠르고 큰 값으로 낮추고자 하는 경우에 이용될 수 있다.The first heat exchanger 146 is a general evaporator that exchanges heat with refrigerant gas, and the first heat exchanger 146 may be used, for example, to quickly lower the temperature of the thermo-hygrostat to a large value.

상기 공조실(R2)의 공기를 시험실(R1)로 공급하고, 또한 시험실(R1)과 공조실(R2)의 공기를 순환시키기 위한 순환팬(F1)이 더 포함되어서 구성된다.A circulation fan F1 for supplying the air of the air conditioning room R2 to the test room R1 and circulating the air in the test room R1 and the air conditioning room R2 is further included.

상기 컨트롤러(160)는 순환팬(F1)의 동작을 제어한다.The controller 160 controls the operation of the circulation fan F1.

상기 순환팬(F1)의 동작에 의해서 시험실(R) 및 공조실(R2)에서의 공기의 순환 흐름이 형성되고, 이 순환 흐름이 도 1에 점선 화살표로 도시되어 있다.By the operation of the circulation fan F1, a circulation flow of air in the test room R and the air conditioning room R2 is formed, and this circulation flow is shown by a dotted arrow in FIG. 1 .

시험실(R1)과 공조실(R2)은 격벽에 의해서 구획되고, 상기 유입구(R11)와 토출구(R12)는 격벽에 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the test room R1 and the air conditioning room R2 are partitioned by a partition wall, and the inlet R11 and the discharge port R12 are formed in the partition wall.

시험실(R1) 및 공조실(R2)과의 사이에 이격공간이 형성되도록 시험실(R1)과 공조실(R2)을 외포하는 외부 하우징(Ro)이 더 포함되어서 구성된다. 이러한 외부 하우징(Ro)에 의하면 항온항습기(R)를 외부와 단열함으로써 항온항습기의 온도 조건 구현을 더욱더 용이하게 수행할 수 있다.An external housing Ro enclosing the test room R1 and the air conditioning room R2 is further included so that a spaced space is formed between the test room R1 and the air conditioning room R2. According to the external housing Ro, the thermo-hygrostat R can be insulated from the outside, so that the temperature condition of the thermo-hygrostat can be more easily implemented.

그리고, 외부 하우징(Ro)에 구비되는 제2 열교환기(147)와, 외부 하우징(Ro)에 구비되는 외부 히터(도면번호 미병기)가 더 포함되어서 구성될 수도 있다.In addition, the second heat exchanger 147 provided in the outer housing Ro and an external heater (reference number not mentioned) provided in the outer housing Ro may be further included.

상기 항온항습기(R)의 압력을 조절[가압 또는 감압(진공을 포함)]하기 위해서 압력센서(173)와 진공펌프(V1)가 더 포함되어서 구성될 수 있다.A pressure sensor 173 and a vacuum pump V1 may be further included to adjust the pressure of the thermo-hygrostat R (pressurization or pressure reduction (including vacuum)).

다음은 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 방법에 대하여 기술한다.Next, a humidity control method of a thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention having the above configuration will be described.

먼저, 항온항습기(R)의 현재 온도(Tp)가 설정 온도(Ts)로 조절되어서 유지된다(S310).First, the current temperature Tp of the thermo-hygrostat R is adjusted to the set temperature Ts and maintained (S310).

이는 전술한 바와 같이, 컨트롤러(160)의 제어에 의해서 시험실 히터(145)와 브라인 열교환기(141)와 제1 열교환기(146)의 동작에 의해서 수행될 수 있다.As described above, this may be performed by the operation of the laboratory heater 145 , the brine heat exchanger 141 , and the first heat exchanger 146 under the control of the controller 160 .

이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)의 설정 온도(Ts)와 설정 습도(Hs)에 일치하는 이슬점온도(Tw)의 습공기가 항온항습기(R)로 공급된다(312).From the dew point temperature and humidity air supply means 110 and 120, the humid air of the dew point temperature Tw corresponding to the set temperature Ts and the set humidity Hs of the thermo-hygrostat R is supplied to the thermo-hygrostat R (312).

다음으로 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 공급된 이슬점온도의 습공기에 의해서 항온항습기(R)의 현재 습도(Hp)가 설정 습도(Hs)로 조절되는 단계(S314)가 수행된다.Next, the step (S314) of adjusting the current humidity (Hp) of the thermo-hygrostat (R) to the set humidity (Hs) is performed by the humid air of the dew point temperature supplied from the dew point temperature and humid air supply means ( 110 , 120 ).

이와 같이 이슬점온도의 습공기가 항온항습기(R)로 공급되면 항온항습기의 환경이 저온(예컨대 0 ~ 20 도씨) 및 저습(예컨대 15 ~ 30 %)의 환경이나 또는 영하의 환경에서도 항온항습기의 습도를 조절할 수 있게 된다.As such, when humid air with a dew point temperature is supplied to the thermo-hygrostat (R), the environment of the thermo-hygrostat is low temperature (eg 0 to 20 ° C) and low humidity (eg 15 to 30 %) or the humidity of the thermo-hygrostat even in an environment of sub-zero. can be adjusted.

예를 들면, 항온항습기(R)의 내부 온도가 40 도씨로 유지된 상태에서, 이슬점온도 38 도씨의 습공기를 항온항습기(R)로 공급하게 되면[이슬점온도 38 도씨의 습공기가 항온항습기로 공급되면], 항온항습기(R)는 습도 90 %가 되는 것이다.For example, if the internal temperature of the thermo-hygrostat (R) is maintained at 40 °C and humid air with a dew point temperature of 38 °C is supplied to the thermo-hygrostat (R) [the humid air with a dew point temperature of 38 °C is converted into a thermo-hygrostat If supplied], the thermo-hygrostat (R) will have a humidity of 90%.

실제로 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 온도(이슬점온도)는 항온항습기의 설정 온도와 설정 습도에 정확히 일치하는 이슬점인 것이 가장 바람직하나, 항온항습기의 조건이나 항온항습기의 환경 등의 이유로 예컨대 ±1 도씨의 오차(제1 오차)가 발생할 수도 있는데, 이와 같이 항온항습기의 설정 온도와 설정 습도에 일치하는 이슬점온도에서 제1 오차범위를 갖는 이슬점온도를 공급하는 경우에도 본원발명의 기술적 범위에 속하여야 함은 물론이다.In fact, it is most preferable that the temperature (dew point temperature) of the humid air supplied to the thermo-hygrostat (R) is the dew point that exactly matches the set temperature and the set humidity of the thermo-hygrostat, but for reasons such as the conditions of the thermo-hygrostat or the environment of the thermo-hygrostat An error of 1 degree (first error) may occur. As such, even when supplying a dew point temperature having a first error range at a dew point temperature that matches the set temperature and set humidity of the thermo-hygrostat, it is within the technical scope of the present invention. Of course you have to belong.

상기 이슬점온도(Tw)의 습공기가 항온항습기(R)로 공급하는 단계(312)는 항온항습기(R)로 공급되는 이슬점온도의 습공기가 기준 온도(Tc)보다 큰 경우에는 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단(110)로부터 항온항습기(R)로 이슬점온도의 습공기가 공급되고, 항온항습기(R)로 공급되는 이슬점온도의 습공기가 기준 온도(Tc) 미만인 경우에는 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단(120)로부터 항온항습기(R)로 이슬점온도의 습공기가 공급된다.In the step 312 of supplying the humid air with the dew point temperature Tw to the thermo-hygrostat R, the humid air with the dew-point temperature supplied to the thermo-hygrostat R is greater than the reference temperature Tc. When the humid air at the dew point temperature is supplied from the means 110 to the thermo-hygrostat (R), and the humid air at the dew-point temperature supplied to the thermo-hygrostat (R) is less than the reference temperature (Tc), the second dew point region humid air supply means (120) Humid air at the dew point temperature is supplied from the thermo-hygrostat (R).

그리고, 브라인액 공급조(131)로부터 항온항습기(R)에 구비된 브라인 열교환기(141)로 브라인액이 공급되는 단계(410)가 수행된다.Then, the step 410 of supplying the brine solution from the brine solution supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 provided in the thermo-hygrostat R is performed.

그리고, 브라인액이 공급되면 브라인 열교환기(141)에 의해서 항온항습기(R) 내부의 공기가 열교환된다(412).Then, when the brine solution is supplied, the air inside the thermo-hygrostat (R) is heat-exchanged by the brine heat exchanger (141) (412).

다음으로 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 공급된 이슬점온도(Tw)의 습공기(Aw)와 브라인 열교환기(141)에서 열교환된 공기가 혼합되는 단계(414)가 수행된다.Next, a step 414 of mixing the humid air Aw with the dew point temperature Tw supplied from the dew point temperature humid air supply means 110 and 120 and the air heat-exchanged in the brine heat exchanger 141 is performed.

이후, 혼합 공기(Ax)가 항온항습기(R)의 시험실(R1)로 유입되어서(416)가 시험실(R1)의 습도가 설정 습도(Hs)로 제어되는 것이다.Thereafter, the mixed air (Ax) is introduced into the test room (R1) of the thermo-hygrostat (R) (416) so that the humidity of the test room (R1) is controlled to the set humidity (Hs).

그리고, 브라인액 공급조(131)로부터 항온항습기(R)에 구비된 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액은 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 제2 오차범위 내에서 동일한 온도로서 공급됨은 전술한 바와 같다.And, the brine liquid supplied from the brine liquid supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 provided in the thermo-hygrostat R is the dew point temperature of the humid air supplied from the humid-air supply means 110 and 120 to the dew point of the humid air supplied to the thermo-hygrostat R. It is as described above that the temperature is supplied as the same temperature within the second error range.

또한, 브라인 열교환기(141)에 의해서 항온항습기(R) 내부의 공기가 열교환되는 단계(412)는 항온항습기(R) 내부의 공기의 온도를 강하하면서 동시에 습공기의 이슬점온도의 습공기가 유지되도록 열교환되는 것을 특징으로 한다.In addition, the step 412 of exchanging the air inside the thermo-hygrostat R by the brine heat exchanger 141 lowers the temperature of the air inside the thermo-hygrostat R and at the same time heat exchanges so that the humid air at the dew point temperature of the humid air is maintained. characterized by being

그리고, 브라인액 공급조(131)로부터 브라인액 배관(141a)을 통해서 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액은, 상기 이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도로서 공급됨은 전술한 바와 같다.In addition, the brine liquid supplied from the brine liquid supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 through the brine liquid pipe 141a is humid air supplied from the dew point temperature humid air supply means 110 and 120 to the constant temperature and humidifier (R). The supply at the same temperature as the dew point temperature of is as described above.

다음은 본 발명의 일 실시예에 의한 항온항습기의 습도 제어 방법의 구체적인 예에 대하여 기술한다.Next, a specific example of the humidity control method of the thermo-hygrostat according to an embodiment of the present invention will be described.

먼저, 항온항습기(R)의 설정 습도(목표 습도)가 90 %이고, 설정 온도(목표 온도)가 40 도씨인 경우의 예를 들어서 설명한다.First, a case where the set humidity (target humidity) of the thermo-hygrostat R is 90% and the set temperature (target temperature) is 40 degrees Celsius will be described.

이 경우의 이슬점온도는 38 도씨가 되는데, 이 이슬점온도의 데이터값은 컨트롤러(160)가 리드할 수 있도록 저장매체에 저장되어 있어서 컨트롤러가 리드할 수 있다.In this case, the dew point temperature is 38 degrees C. The data value of the dew point temperature is stored in the storage medium so that the controller 160 can read it, so that the controller can read it.

이슬점온도가 기준 온도(Tc)인 0 도씨 이상이므로 제1 수조(111)에서 습공기가 공급되도록 제어된다.Since the dew point temperature is equal to or higher than 0 degrees Celsius which is the reference temperature Tc, it is controlled so that the wet air is supplied from the first water tank 111 .

이러한 습공기의 공급 제어는 컨트롤러(160)에 의해서 제어될 수 있는데, 예컨대 제1 습공기 공급관(116)에 제1 밸브(V1)는 온 제어하고 제2 밸브(V2)는 오프 제어에 의해서 습공기의 공급을 제어할 수 있다.The supply control of the wet air may be controlled by the controller 160, for example, the first valve V1 of the first wet air supply pipe 116 is turned on and the second valve V2 is turned off by controlling the supply of wet air. can be controlled.

제1 히팅부재와 제1 냉각부재를 제어하여서 제1 습공기 공급관(116)의 습공기의 온도가 38 도씨가 되도록 하면, 이슬점온도 38 도씨의 습공기가 항온항습기(R)로 공급된다.When the first heating member and the first cooling member are controlled so that the temperature of the wet air in the first wet air supply pipe 116 is 38 degrees C, the wet air having a dew point temperature of 38 degrees C is supplied to the thermo-hygrostat (R).

브라인 열교환기(141)의 브라인액의 온도를 38 도씨로 공급하고, 항온항습기 히팅부재의 동작 제어에 의해서 항온항습기의 온도를 설정 온도인 40 도씨로 유지시켜 놓은 상태에서, 38 도씨의 이슬점온도의 습공기를 공급하면 항온항습기(R)의 습도는 90 %가 된다.The temperature of the brine liquid of the brine heat exchanger 141 is supplied at 38 ° C, and the temperature of the thermo-hygrostat is maintained at the set temperature of 40 ° C by controlling the operation of the thermo-hygrostat heating member. If humid air at the dew point temperature is supplied, the humidity of the thermo-hygrostat (R) becomes 90%.

다음으로 항온항습기(R)의 설정 습도(목표 습도)를 30 %로 하고, 설정 온도(목표 온도)를 영하 10 도씨로 하는 경우의 예를 들어서 설명한다.Next, an example of the case where the set humidity (target humidity) of the thermo-hygrostat R is set to 30% and the set temperature (target temperature) is set to minus 10 degrees Celsius will be described.

이 경우의 이슬점온도는 영하 24.2 도씨가 되는데, 이 이슬점온도의 데이터값은 컨트롤러(160)가 리드할 수 있도록 이슬점온도의 정보값이 저장매체에 저장되어 있음은 전술한 바와 같다.In this case, the dew point temperature is minus 24.2 degrees Celsius. As described above, the dew point temperature information value is stored in the storage medium so that the data value of the dew point temperature can be read by the controller 160 .

이슬점온도가 기준 온도(Tc)인 0 도씨 미만이므로 예컨대 제1 습공기 공급관(116)의 제1 밸브(V1)는 오프되고, 제2 습공기 공급관(126)의 제2 밸브(V2)는 온되어서 제2 수조(121)에서 습공기가 공급되도록 제어된다.Since the dew point temperature is less than 0 degrees Celsius, which is the reference temperature Tc, for example, the first valve V1 of the first wet air supply pipe 116 is turned off, and the second valve V2 of the second wet air supply pipe 126 is turned on. It is controlled so that wet air is supplied from the second water tank 121 .

예컨대 제2 열교환 배관(123)을 통해서 공급되는 브라인액의 온도가 영하 24.2 도씨가 되도록 제어하여서 제2 수조(121)의 아이스(I1)의 온도가 영하 24.2 도씨가 되도록 하면, 이슬점온도 영하 24.2 도씨의 습공기가 항온항습기(R)로 공급된다.For example, if the temperature of the brine solution supplied through the second heat exchange pipe 123 is controlled to be 24.2 degrees below zero so that the temperature of the ice I1 in the second water tank 121 is 24.2 degrees below zero, the dew point temperature is below zero. Humid air at 24.2°C is supplied to the thermo-hygrostat (R).

그리고, 브라인 열교환기(141)의 브라인액의 온도를 영하 24.2 도씨로 공급하고, 항온항습기 히팅부재의 동작 제어에 의해서 설정 온도인 영하 10 도씨로 유지시켜 놓은 상태에서 영하 24.2 도씨의 이슬점온도의 습공기를 공급하면 항온항습기(R)의 습도는 30 %가 되는 것이다.Then, the dew point of minus 24.2 degrees Celsius in the state that the temperature of the brine liquid in the brine heat exchanger 141 is supplied at minus 24.2 degrees Celsius and maintained at the set temperature of minus 10 degrees Celsius by the operation control of the thermo-hygrostat heating member. If humid air of temperature is supplied, the humidity of the thermo-hygrostat (R) will be 30%.

이제 더 구체적으로 습공기 공급관(116,126)으로부터 습공기가 공급되는 경우의 습도 제어 방법에 대해서 설명한다.Now, in more detail, a humidity control method when wet air is supplied from the wet air supply pipes 116 and 126 will be described.

이슬점온도 38 도씨의 습공기가 공급되면, 이 이슬점온도의 습공기가 브라인 열교환기(141)를 통과한 공기와 혼합되면서 더욱더 정확한 신뢰성 높은 이슬점온도 38 도씨로 된다.When wet air having a dew point temperature of 38°C is supplied, the wet air having a dew point temperature is mixed with the air that has passed through the brine heat exchanger 141, resulting in a more accurate and reliable dew point temperature of 38°C.

제1 습공기 공급관(116)의 습공기의 온도를 측정하는 제1 온도센서(151)의 센싱 온차가 있을 수도 있고, 브라인 열교환(141)의 온도의 오차도 있을 수도 있으므로, 이러한 오차 요인을 고려하여 이슬점온도의 브라인 열교환기(141)를 통과한 공기와 공급된 이슬점온도의 습공기를 혼합함으로써 더욱더 신뢰성 있고 완벽에 가까운 이슬점온도의 습공기를 공급할 수 있게 되는 것이다.Since there may be a sensing temperature difference of the first temperature sensor 151 for measuring the temperature of the wet air of the first wet air supply pipe 116 and there may also be an error in the temperature of the brine heat exchange 141, in consideration of these error factors, the dew point By mixing the air that has passed through the brine heat exchanger 141 of temperature and the supplied wet air of the dew point temperature, it is possible to supply more reliable and near-perfect wet air with a dew point temperature.

시험실 히터(146)는 설정 온도인 40 도씨의 열을 제공하여 시험실 내부의 온도는 40 도씨가 된다.The test room heater 146 provides heat of 40 degrees Celsius, which is a set temperature, so that the temperature inside the test room becomes 40 degrees Celsius.

40 도씨의 시험실 내부의 공기가 순환하면서 브라인 열교환기(141)와 열교환되고, 이슬점온도(위 예의 38 도씨)의 습공기를 만나서 이후 계속 순환하면서 시험실 내부가 이슬점온도가 유지(따라서 이슬점온도의 수증기량은 그대로 유지)되면서 상대습도가 90%가 된다.The air inside the test room at 40 °C circulates and exchanges heat with the brine heat exchanger 141, meets the humid air at the dew point temperature (38 °C in the example above) and continues to circulate thereafter, maintaining the dew point temperature inside the test room (thus the dew point temperature The amount of water vapor remains the same) and the relative humidity becomes 90%.

이와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것은 해당 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술한 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 이해해야만 한다.As described above, preferred embodiments according to the present invention have been reviewed, and it is common knowledge in the technical field that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features in addition to the above-described embodiments. It is self-evident to those who have Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

R : 항온항습기 R1 : 시험실
R11 : 시험실의 유입구 R12 : 시험실의 토출구
R2 : 공조실 F1 : 제1 순환팬
Ro : 외부 하우징 M1 : 진공펌프
110 : 제1 이슬점 영역 습공기 공급수단
111 : 제1 수조 w1 : 물
112 : 제1 히터 113 : 제1 열교환 배관
114 : 제1 공기배관 115 : 제1 물배관
116 : 제1 습공기 공급관
120 : 제2 이슬점 영역 습공기 공급수단
121 : 제2 수조 I1 : 아이스
122 : 제2 히터 123 : 제2 열교환 배관
124 : 제2 공기배관 125 : 제2 물배관
126 : 제2 습공기 공급관
131 : 브라인액 공급조 132 : 제3 히터
141 : 브라인 열교환기 141a : 브라인액 배관
142 : 제4 히터
145 : 시험실 히터
146 : 제1 열교환기 147 : 제2 열교환기
151 : 제1 온도센서 152 : 제2 온도센서
153 : 제3 온도센서 154 : 제4 온도센서
171 : 습도센서 172 : 시험실 온도센서
173 : 압력센서
V1 : 제1 밸브 V2 : 제2 밸브
V3 : 제3 밸브 V4 : 제4 밸브
V5 : 제5 밸브R : Thermo-hygrostat R1 : Test room
R11 : Inlet of the test room R12 : Outlet of the test room
R2: air conditioning room F1: first circulation fan
Ro : Outer housing M1 : Vacuum pump
110: first dew point area wet air supply means
111: first water tank w1: water
112: first heater 113: first heat exchange pipe
114: first air pipe 115: first water pipe
116: first wet air supply pipe
120: second dew point area wet air supply means
121: second tank I1: ice
122: second heater 123: second heat exchange pipe
124: second air pipe 125: second water pipe
126: second wet air supply pipe
131: brine liquid supply tank 132: third heater
141: brine heat exchanger 141a: brine solution pipe
142: fourth heater
145: test room heater
146: first heat exchanger 147: second heat exchanger
151: first temperature sensor 152: second temperature sensor
153: third temperature sensor 154: fourth temperature sensor
171: humidity sensor 172: test room temperature sensor
173: pressure sensor
V1: first valve V2: second valve
V3: third valve V4: fourth valve
V5: 5th valve

Claims

항온항습기(R)의 현재 온도(Tp)가 설정 온도(Ts)로 유지되는 단계(S310)와,
항온항습기(R)의 설정 온도(Ts)와 설정 습도(Hs)에 일치하는 이슬점온도(Tw)의 습공기가 항온항습기(R)로 공급되는 단계(312)와,
이슬점온도의 습공기에 의해서 항온항습기(R)의 현재 습도(Hp)가 설정 습도(Hs)로 조절되는 단계(S314)를 포함하여 구성되고,
브라인액 공급조(131)로부터 항온항습기(R)에 구비된 브라인 열교환기(141)로 브라인액이 공급되는 단계(410)와,
브라인 열교환기(141)에 의해서 항온항습기(R) 내부의 공기가 열교환되는 단계(412)와,
이슬점온도(Tw)의 습공기(Aw)와 브라인 열교환기(141)에서 열교환된 공기가 혼합되는 단계(414)와,
혼합 공기(Ax)가 항온항습기(R)의 시험실(R1)로 유입되는 단계(416)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 항온항습기의 습도 제어 방법.
A step (S310) of maintaining the current temperature (Tp) of the thermo-hygrostat (R) at the set temperature (Ts);
A step 312 of supplying humid air with a dew point temperature (Tw) corresponding to the set temperature (Ts) and set humidity (Hs) of the thermo-hygrostat (R) to the thermo-hygrostat (R) (312);
It is configured including a step (S314) of adjusting the current humidity (Hp) of the thermo-hygrostat (R) to the set humidity (Hs) by the humid air of the dew point temperature,
A step 410 of supplying the brine solution from the brine solution supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 provided in the thermo-hygrostat (R);
A step 412 of heat-exchanging the air inside the thermo-hygrostat (R) by the brine heat exchanger 141;
A step (414) of mixing humid air (Aw) at a dew point temperature (Tw) and air heat-exchanged in a brine heat exchanger (141) (414);
The humidity control method of the thermo-hygrostat, characterized in that the step (416) of the mixed air (Ax) flowing into the test room (R1) of the thermo-hygrostat (R) is further included.

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청구항 1에 있어서,
브라인액 공급조(131)로부터 항온항습기(R)에 구비된 브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액은,
이슬점온도 습공기 공급수단(110,120)으로부터 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 제2 오차범위 내에서 동일한 온도로서 공급되는 것을 특징으로 하는 항온항습기의 습도 제어 방법.
The method according to claim 1,
The brine solution supplied from the brine solution supply tank 131 to the brine heat exchanger 141 provided in the thermo-hygrostat R is,
Dew point temperature Humidity control method of a thermo-hygrostat, characterized in that it is supplied as the same temperature as the dew-point temperature of the humid air supplied from the humid air supply means (110, 120) to the thermo-hygrostat (R) and within a second error range.

청구항 1에 있어서,
브라인 열교환기(141)에 의해서 항온항습기(R) 내부의 공기가 열교환되는 단계(412)는,
항온항습기(R) 내부의 공기의 온도가 강하하도록 열교환되는 것을 특징으로 하는 항온항습기의 습도 제어 방법.
The method according to claim 1,
In the step 412, the air inside the thermo-hygrostat (R) is heat-exchanged by the brine heat exchanger 141,
A humidity control method of a thermo-hygrostat, characterized in that heat exchange is performed so that the temperature of the air inside the thermo-hygrostat (R) drops.

청구항 4에 있어서,
브라인 열교환기(141)에 의해서 항온항습기 내부의 공기가 열교환되는 단계(S412)는, 항온항습기 내부의 공기의 온도를 강하함과 동시에 이슬점온도를 유지하도록 수증기의 양을 조절하도록 열교환되는 것을 특징으로 하는 항온항습기의 습도 제어 방법.
5. The method according to claim 4,
In the step (S412) of exchanging the air inside the thermo-hygrostat by the brine heat exchanger 141, heat exchange is performed to lower the temperature of the air inside the thermo-hygrostat and control the amount of water vapor to maintain the dew point temperature at the same time. A method of controlling the humidity of a thermo-hygrostat.

청구항 1에 있어서,
브라인 열교환기(141)로 공급되는 브라인액은, 항온항습기(R)로 공급되는 습공기의 이슬점온도와 동일한 온도로서 공급되는 것을 특징으로 하는 항온항습기의 습도 제어 방법.The method according to claim 1,
The brine solution supplied to the brine heat exchanger 141 is supplied at the same temperature as the dew point temperature of the humid air supplied to the thermo-hygrostat (R).