KR102312864B1 - Unit for unloading customer tray - Google Patents

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KR102312864B1
KR102312864B1 KR1020150090155A KR20150090155A KR102312864B1 KR 102312864 B1 KR102312864 B1 KR 102312864B1 KR 1020150090155 A KR1020150090155 A KR 1020150090155A KR 20150090155 A KR20150090155 A KR 20150090155A KR 102312864 B1 KR102312864 B1 KR 102312864B1
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Abstract

커스터머 트레이 언로딩 유닛은 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들이 언로딩 피커에 의해 커스터머 트레이로 전달되기 위한 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트와, 상기 제2 위치에서 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암과, 상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터 및 상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함할 수 있다. The customer tray unloading unit includes an unloading plate for transferring the tested semiconductor devices stored in the test tray from a first position to a second position for being transferred to the customer tray by an unloading picker, and from the second position to the customer An unloading transfer arm for picking up trays and transferring them to a third position, an elevator for receiving the customer trays from the third position and sequentially lowering them, and an unloading stacker for loading customer trays lowered by the elevator may include.

Description

커스터머 트레이 언로딩 유닛{Unit for unloading customer tray}Customer tray unloading unit {Unit for unloading customer tray}

본 발명은 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 핸들러에서 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로딩하기 위한 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a customer tray unloading unit, and more particularly, to a customer tray unloading unit for unloading a customer tray containing semiconductor devices in a test handler.

일반적으로, 반도체 소자 및 상기 반도체 소자들을 포함하는 집적 회로들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다.In general, semiconductor devices and integrated circuits including the semiconductor devices are shipped after undergoing various testing processes after production.

테스트 핸들러는 상기 반도체 소자 및 집적 회로 등을 테스트하는 장치이다. 상기 테스트 핸들러는 로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이(customer tray)들의 반도체 소자들을 테스트 트레이로 수납한 후, 상기 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 이송하여 상기 반도체 소자들에 대한 테스트를 수행한다. 상기 테스트 사이트에서는 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트헤드의 소켓에 전기적으로 접속시켜 소정의 전기적 테스트를 하게 된다. 상기 테스트 핸들러는 테스트가 완료된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 커스터머 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 수납한 후, 상기 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재한다. 상기 테스트 핸들러의 예는 대한민국 특허공개 제10-2010-0000270호에 개시되어 있다. The test handler is a device for testing the semiconductor device and the integrated circuit. The test handler accommodates semiconductor devices in customer trays loaded in the loading stacker as a test tray, and then transfers the test tray in which the semiconductor devices are accommodated to a test site to test the semiconductor devices. do the test In the test site, a predetermined electrical test is performed by electrically connecting the leads or ball portions of the semiconductor devices mounted on the test tray to the socket of the test head. The test handler separates the semiconductor elements of the test tray on which the test is completed, sorts and stores the semiconductor elements in the customer tray according to the test results, and then loads the customer tray on the unloading stacker. An example of the test handler is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2010-0000270.

테스트가 완료된 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이로부터 언로딩 피커가 상기 반도체 소자들을 버퍼 플레이트의 커스터머 트레이로 이송하고, 제1 트랜스퍼가 상기 커스터머 트레이를 세트 베이스로 이송한다. 이후, 세트 플레이트가 상승하여 상기 세트 베이스로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받고, 제2 트랜스퍼가 상기 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재한다. An unloading picker transfers the semiconductor elements from the test tray in which the tested semiconductor elements are accommodated to the customer tray of the buffer plate, and the first transfer transfers the customer tray to the set base. Thereafter, the set plate rises to receive the customer tray from the set base, and a second transfer loads the customer tray onto the unloading stacker.

그러나, 상기 테스트된 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 언로딩 스태커로 적재하기까지 여러 단계를 거치므로, 상기 커스터머 트레이를 언로딩하기 위한 구성이 복잡하며 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 많은 시간이 소요된다. However, since the customer tray in which the tested semiconductor devices are accommodated goes through several steps until the unloading stacker is loaded, the configuration for unloading the customer tray is complicated and it takes a lot of time to unload the customer tray. do.

한국공개특허 제10-2010-0000270호 (2010.01.06. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2010-0000270 (published on Jan. 6, 2010)

본 발명은 테스트 핸들러에서 커스터머 트레이를 신속하게 언로딩할 수 있는 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 제공한다.The present invention provides a customer tray unloading unit capable of quickly unloading a customer tray in a test handler.

본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들이 언로딩 피커에 의해 커스터머 트레이로 전달되기 위한 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트와, 상기 제2 위치에서 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암과, 상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터 및 상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함할 수 있다. The customer tray unloading unit according to the present invention includes an unloading plate for transferring the tested semiconductor devices stored in the test tray from a first position to a second position for being transferred to the customer tray by an unloading picker, and the second An unloading transfer arm for picking up the customer tray from a position and transferring it to a third position, an elevator for receiving the customer tray from the third position and sequentially descending, and loading the customer trays lowered by the elevator It may include an unloading stacker for

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 언로딩 이송암은 상기 커스터머 트레이를 상하 방향으로 이송하며, 상기 언로딩 플레이트는 상기 커스터머 트레이를 수평 방향으로 이송할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the unloading transfer arm may transfer the customer tray in an up-down direction, and the unloading plate may transfer the customer tray in a horizontal direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 상기 언로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이들을 덮기 위한 커버 트레이 및 상기 커스터머 트레이들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된 인식 트레이를 다수의 래치로 지지하는 스토어를 더 포함하며, 상기 스토어가 상기 제3 위치로 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이에 눌려 상기 래치가 개방되면서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이가 상기 커스터머 트레이들에 상에 적재될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the customer tray unloading unit includes a cover tray for covering the customer trays loaded in the unloading stacker and a recognition tray having a recognition mark for recognizing the customer trays with a plurality of latches. and a store supporting the store, wherein the cover tray and the recognition tray are placed on the customer trays while the latch is opened by being pressed against the customer tray in the third position by the force lowering the store to the third position. can be loaded

본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 언로딩 플레이트, 언로딩 이송암 및 엘리베이터를 이용하여 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재하므로, 상기 커스터머 언로딩 스태커의 구성이 단순하며, 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.The customer tray unloading unit according to the present invention uses an unloading plate, an unloading transfer arm, and an elevator to load a customer tray into an unloading stacker, so the configuration of the customer unloading stacker is simple, and the customer tray is unloaded. You can shorten the time it takes to do it.

또한, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 스토어에 커버 트레이 및 인식 트레이를 미리 적재하고, 상기 엘리베이터를 이용하여 상기 커버 트레이 및 인식 트레이를 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 커버 트레이 및 인식 트레이의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. In addition, the customer tray unloading unit may load the cover tray and the recognition tray in advance in the store, and load the cover tray and the recognition tray at once using the elevator. Accordingly, the time required for loading the cover tray and the recognition tray can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토어를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3 내지 도 7은 도 1에 도시된 커스터머 트레이 로딩 유닛을 이용한 커스터머 트레이 언로딩 방법을 설명하기 위한 블록도들이다.1 is a block diagram illustrating a customer tray unloading unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the store shown in FIG. 1 .
3 to 7 are block diagrams for explaining a customer tray unloading method using the customer tray loading unit shown in FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a customer tray unloading unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 설명하기 위한 블록도이다. 1 is a block diagram illustrating a customer tray unloading unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 언로딩 플레이트(110), 언로딩 이송암(120), 엘리베이터(130), 언로딩 스태커(140) 및 스토어(150)를 포함한다. Referring to FIG. 1 , the customer tray unloading unit 100 includes an unloading plate 110 , an unloading transfer arm 120 , an elevator 130 , an unloading stacker 140 and a store 150 .

언로딩 플레이트(110)는 일정한 높이에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 언로딩 플레이트(110)는 커스터머 트레이(10)를 상기 수평 방향을 따라 이송할 수 있다. The unloading plate 110 is provided to be movable in the horizontal direction at a constant height. That is, the unloading plate 110 may transport the customer tray 10 in the horizontal direction.

구체적으로, 언로딩 플레이트(110)는 커스터머 트레이(10)를 제1 위치에서 상기 수평 방향을 따라 제2 위치로 이송한다. 상기 제1 위치는 테스트 트레이(30)에 수납된 반도체 소자들이 언로딩 피커(20)에 의해 커스터머 트레이(10)로 전달되는 위치이다. Specifically, the unloading plate 110 transfers the customer tray 10 from the first position to the second position along the horizontal direction. The first position is a position at which the semiconductor devices accommodated in the test tray 30 are transferred to the customer tray 10 by the unloading picker 20 .

언로딩 이송암(120)은 언로딩 스태커(140)의 상방에 구비되며, 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 언로딩 이송암(120)은 커스터머 트레이(10)를 상기 상하 방향을 따라 이송할 수 있다. The unloading transfer arm 120 is provided above the unloading stacker 140 and is provided to be movable in the vertical direction. That is, the unloading transfer arm 120 may transfer the customer tray 10 in the vertical direction.

구체적으로, 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치까지 이송된 커스터머 트레이(10)를 제3 위치로 이송한다. 상기 제3 위치는 상기 제2 위치보다 낮게 위치한다. 이때, 언로딩 이송암(120)은 커스터머 트레이(10)를 상기 제2 위치에서 바로 상기 제3 위치로 이송하지 않는다. 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치에서 언로딩 플레이트(110)로부터 커스터머 트레이(10)를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승하고, 언로딩 플레이트(110)가 상기 제1 위치를 향해 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동한 후, 언로딩 이송암(120)이 하강하여 커스터머 트레이(10)를 상기 제3 위치로 이송한다. Specifically, the unloading transfer arm 120 transfers the customer tray 10 transferred to the second position to the third position. The third position is lower than the second position. At this time, the unloading transfer arm 120 does not directly transfer the customer tray 10 from the second position to the third position. The unloading transfer arm 120 picks up the customer tray 10 from the unloading plate 110 at the second position and rises higher than the second position, and the unloading plate 110 moves toward the first position. After moving in the horizontal direction from the second position to another position, the unloading transfer arm 120 descends to transfer the customer tray 10 to the third position.

엘리베이터(130)는 상기 상하 방향을 따라 승강가능하도록 구비된다. 구체적으로, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치까지 상승하며, 상기 제3 위치에서 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받는다. 엘리베이터(130)는 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받을 때마다 커스터머 트레이(10)의 두께만큼 순차적으로 하강한다. 따라서, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치에서 지속적으로 커스터머 트레이(10)들을 전달받을 수 있다. The elevator 130 is provided to be able to ascend and descend along the vertical direction. Specifically, the elevator 130 ascends to the third position, and receives the customer tray 10 from the unloading transfer arm 120 at the third position. The elevator 130 sequentially descends by the thickness of the customer tray 10 whenever it receives the customer tray 10 from the unloading transfer arm 120 . Accordingly, the elevator 130 may continuously receive the customer trays 10 at the third position.

엘리베이터(130)가 커스터머 트레이(10)들을 전달받기 위해 상기 제3 위치까지 상승하므로, 언로딩 이송암(120)이 커스터머 트레이(10)를 전달하기 위해 하강하는 거리를 단축할 수 있다. Since the elevator 130 rises to the third position to receive the customer trays 10 , it is possible to shorten the distance at which the unloading transfer arm 120 descends to deliver the customer trays 10 .

언로딩 스태커(140)는 테스트가 완료된 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)들을 적재한다. 커스터머 트레이(10)들을 지지한 엘리베이터(130)가 하강하면서 커스터머 트레이(10)들은 언로딩 스태커(140)에 수직 방향으로 적재된다.The unloading stacker 140 loads customer trays 10 in which test-completed semiconductor devices are accommodated. As the elevator 130 supporting the customer trays 10 descends, the customer trays 10 are vertically loaded on the unloading stacker 140 .

도 2는 도 1에 도시된 스토어를 설명하기 위한 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the store shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 스토어(150)는 언로딩 스태커(140)의 상방에 배치되며, 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 경우에 따라 수평 방향을 따라 이동할 수 있다. 1 and 2 , the store 150 is disposed above the unloading stacker 140 , is provided to be movable in the vertical direction, and may move in the horizontal direction in some cases.

스토어(150)는 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 적재하기 위한 것으로, 프레임(152) 및 래치(154)들을 포함한다. The store 150 is for loading the cover tray 12 and the recognition tray 14 , and includes a frame 152 and latches 154 .

커버 트레이(12)는 언로딩 스태커(140)에 적재된 커스터머 트레이(10)들을 덮는다. 따라서, 커버 트레이(10)는 최상층의 커스터머 트레이(10)에 수납된 반도체 소자들에 이물질이 유입되는 것을 차단할 수 있다. The cover tray 12 covers the customer trays 10 loaded on the unloading stacker 140 . Accordingly, the cover tray 10 may block foreign substances from entering the semiconductor devices accommodated in the customer tray 10 of the uppermost layer.

인식 트레이(14)는 언로딩 스태커(140)에 적재된 커스터머 트레이(10)들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된다. 상기 인식 마크를 이용하여 커스터머 트레이(10)들에 대한 정보를 획득할 수 있다. 예를 들면, 상기 인식 마크는 숫자 , 바코드, 큐알 코드, 알에프아이디(RFID) 태그 등 일 수 있다. The recognition tray 14 is formed with a recognition mark for recognizing the customer trays 10 loaded on the unloading stacker 140 . Information on the customer trays 10 may be acquired using the recognition mark. For example, the recognition mark may be a number, a barcode, a QR code, an RFID tag, or the like.

커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 크기는 커스터머 트레이(10)의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다. The size of the cover tray 12 and the recognition tray 14 may be substantially the same as the size of the customer tray 10 .

프레임(152)은 대략 중공을 갖는 사각 프레임이며, 상기 중공의 크기는 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 크기보다 클 수 있다. The frame 152 is a substantially hollow rectangular frame, and the size of the hollow may be larger than that of the cover tray 12 and the recognition tray 14 .

래치(154)들은 프레임(152)의 내측면 하단부에 돌출되도록 배치되며, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 지지한다. 이때, 커버 트레이(12)가 하부에 위치하고 인식 트레이(14)가 상부에 위치한다. 래치(154)들은 하방에서 가해지는 힘에 의해 프레임(152)의 내부에 삽입되며, 상기 힘이 제거되면 탄성 복원력에 의해 다시 프레임(152)의 외부로 돌출될 수 잇다. The latches 154 are disposed to protrude from the lower end of the inner surface of the frame 152 , and support the cover tray 12 and the recognition tray 14 . At this time, the cover tray 12 is located at the lower portion and the recognition tray 14 is located at the upper portion. The latches 154 are inserted into the frame 152 by a force applied from below, and when the force is removed, the latches 154 may protrude out of the frame 152 again by an elastic restoring force.

스토어(150)에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 순차적으로 적재된 상태에서 스토어(150)가 상기 제3 위치로 하강하면, 스토어(150)가 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이(10)가 래치(154)들을 누르게 되어 래치(154)들이 개방된다. 이 상태에서 스토어(150)가 상승하거나 엘리베이터(130)가 하강하면 래치(154)들이 원위치로 복원되기 전에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 자유낙하 하여 한꺼번에 엘리베이터(130)의 커스터머 트레이(10) 상에 적재된다. When the store 150 descends to the third position in a state in which the cover tray 12 and the recognition tray 14 are sequentially loaded in the store 150, the store 150 is moved to the third position by the descending force. of the customer tray 10 presses the latches 154 so that the latches 154 are opened. In this state, when the store 150 rises or the elevator 130 descends, the cover tray 12 and the recognition tray 14 freely fall before the latches 154 are restored to their original positions, and the customer tray of the elevator 130 at once. (10) is loaded on top.

한편, 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방에서 벗어난 위치에서 별도의 이송암(미도시)이 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 스토어(150)에 적재할 수 있다. 이후, 언로딩 스태커(140)에 커스터머 트레이(10)들의 적재가 완료되면, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 미리 적재된 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방으로 이동할 수 있다. Meanwhile, a separate transfer arm (not shown) may load the cover tray 12 and the recognition tray 14 into the store 150 at a position where the store 150 is deviated from the upper side of the unloading stacker 140 . Thereafter, when the loading of the customer trays 10 on the unloading stacker 140 is completed, the store 150 on which the cover tray 12 and the recognition tray 14 are loaded in advance is moved upward of the unloading stacker 140 . can

또한, 언로딩 스태커(140)에 커스터머 트레이(10)들의 적재가 진행되는 동안에 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방에 위치할 수도 있다. 이때, 언로딩 이송암(120)은 프레임(152)의 중공을 통해 상하 이동할 수 있다. In addition, the store 150 may be located above the unloading stacker 140 while the customer trays 10 are being loaded on the unloading stacker 140 . At this time, the unloading transfer arm 120 may move up and down through the hollow of the frame 152 .

커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 언로딩 플레이트(110), 언로딩 이송암(120) 및 엘리베이터(130)를 이용하여 커스터머 트레이(10)를 언로딩 스태커(140)에 적재한다. 그러므로, 커스터머 언로딩 스태커(100)의 구성을 단순화할 수 있고, 커스터머 트레이(10)들을 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.The customer tray unloading unit 100 loads the customer tray 10 onto the unloading stacker 140 using the unloading plate 110 , the unloading transfer arm 120 , and the elevator 130 . Therefore, the configuration of the customer unloading stacker 100 can be simplified, and the time taken for unloading the customer trays 10 can be shortened.

또한, 커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 스토어(150)에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 미리 적재하여 커스터머 트레이(10)들 상으로 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
In addition, the customer tray unloading unit 100 can load the cover tray 12 and the recognition tray 14 in the store 150 in advance onto the customer trays 10 at once. Accordingly, the time required for loading the cover tray 12 and the recognition tray 14 can be reduced.

도 3 내지 도 7은 도 1에 도시된 커스터머 트레이 로딩 유닛을 이용한 커스터머 트레이 언로딩 방법을 설명하기 위한 블록도들이다.3 to 7 are block diagrams for explaining a customer tray unloading method using the customer tray loading unit shown in FIG.

도 3을 참조하면, 빈 커스터머 트레이(10)를 지지한 언로딩 플레이트(110)가 상기 수평 방향을 따라 제1 위치로 이동한다. 따라서, 빈 커스터머 트레이(10)가 상기 제1 위치에 위치한다. 상기 제1 위치에서 테스트 트레이(30)에 수납된 반도체 소자들이 언로딩 피커(20)에 의해 커스터머 트레이(10)로 전달된다. Referring to FIG. 3 , the unloading plate 110 supporting the empty customer tray 10 moves to the first position along the horizontal direction. Accordingly, the empty customer tray 10 is located in the first position. The semiconductor devices accommodated in the test tray 30 at the first position are transferred to the customer tray 10 by the unloading picker 20 .

도 4를 참조하면, 상기 반도체 소자들이 커스터머 트레이(10)에 수납되면, 언로딩 플레이트(110)가 상기 수평 방향을 따라 이동하면서 상기 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)를 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이송한다. Referring to FIG. 4 , when the semiconductor elements are accommodated in the customer tray 10 , the unloading plate 110 moves along the horizontal direction to move the customer tray 10 in which the semiconductor elements are accommodated from the first position. transfer to the second position.

도 5를 참조하면, 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치에서 언로딩 플레이트(110)로부터 커스터머 트레이(10)를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승한다. 이때, 언로딩 플레이트(110)가 상기 제1 위치를 향해 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동한다. Referring to FIG. 5 , the unloading transfer arm 120 picks up the customer tray 10 from the unloading plate 110 at the second position and rises higher than the second position. At this time, the unloading plate 110 moves in the horizontal direction toward the first position and moves from the second position to another position.

도 6을 참조하면, 언로딩 이송암(120)이 하강하여 커스터머 트레이(10)를 상기 제3 위치로 이송한다. 언로딩 플레이트(110)가 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동하므로, 언로딩 이송암(120)이 언로딩 플레이트(110)와 충돌하는 것을 방지할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the unloading transfer arm 120 descends to transfer the customer tray 10 to the third position. Since the unloading plate 110 moves from the second position to another position, it is possible to prevent the unloading transfer arm 120 from colliding with the unloading plate 110 .

한편, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치까지 상승하며, 상기 제3 위치에서 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받는다. 엘리베이터(130)는 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받을 때마다 커스터머 트레이(10)의 두께만큼 순차적으로 하강한다. Meanwhile, the elevator 130 ascends to the third position, and receives the customer tray 10 from the unloading transfer arm 120 at the third position. The elevator 130 sequentially descends by the thickness of the customer tray 10 whenever it receives the customer tray 10 from the unloading transfer arm 120 .

또한, 커스터머 트레이(10)들을 지지한 엘리베이터(130)가 하강하면서 커스터머 트레이(10)들은 언로딩 스태커(140)에 수직 방향으로 적재된다.In addition, as the elevator 130 supporting the customer trays 10 descends, the customer trays 10 are vertically loaded on the unloading stacker 140 .

도 7을 참조하면, 스토어(150)에 미리 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 순차적으로 적재된 상태에서 스토어(150)가 상기 제3 위치로 하강하면, 스토어(150)가 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이(10)가 래치(154)들을 누르게 되어 래치(154)들이 개방된다. 이 상태에서 스토어(150)가 상승하거나 엘리베이터(130)가 하강하면 래치(154)들이 원위치로 복원되기 전에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 자유낙하 하여 한꺼번에 엘리베이터(130)의 커스터머 트레이(10) 상에 적재된다. 미리 적재된 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 커스터머 트레이(10)들 상에 한번에 적재할 수 있으므로, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 신속하게 적재할 수 있다. Referring to FIG. 7 , when the store 150 descends to the third position in a state in which the cover tray 12 and the recognition tray 14 are sequentially loaded in the store 150 in advance, the store 150 descends. The customer tray 10 in the third position presses the latches 154 by force, so that the latches 154 are opened. In this state, when the store 150 rises or the elevator 130 descends, the cover tray 12 and the recognition tray 14 freely fall before the latches 154 are restored to their original positions, and the customer tray of the elevator 130 at once. (10) is loaded on top. Since the preloaded cover tray 12 and the recognition tray 14 can be loaded on the customer trays 10 at once, the cover tray 12 and the recognition tray 14 can be loaded quickly.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 구성을 단순화하여 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다. As described above, the customer tray unloading unit according to the present invention can reduce the time required for unloading the customer tray by simplifying the configuration.

또한, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 스토어를 이용하여 미리 적재된 커버 트레이 및 인식 트레이를 언로딩 스태커에 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 커버 트레이 및 인식 트레이의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. In addition, the customer tray unloading unit can load the previously loaded cover tray and the recognition tray into the unloading stacker at once using the store. Accordingly, the time required for loading the cover tray and the recognition tray can be reduced.

그러므로, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛의 효율을 향상시킬 수 있다. Therefore, it is possible to improve the efficiency of the customer tray unloading unit.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 커스터머 트레이 언로딩 유닛 110 : 언로딩 플레이트
120 : 언로딩 이송암 130 : 엘리베이터
140 : 언로딩 스태커 150 : 스토어
10 : 커스터머 트레이 20 : 언로딩 피커
30 : 테스트 트레이100: customer tray unloading unit 110: unloading plate
120: unloading transfer arm 130: elevator
140: unloading stacker 150: store
10: customer tray 20: unloading picker
30: test tray

Claims (17)

테스트 완료된 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트;
상기 제2 위치에서 상기 언로딩 플레이트로부터 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승하고, 상기 언로딩 플레이트가 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동한 후 하강하여 상기 커스터머 트레이를 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암;
상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터; 및
상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛. an unloading plate for transferring the customer tray in which the tested semiconductor devices are accommodated from the first position to the second position;
In the second position, the customer tray is picked up from the unloading plate to rise higher than the second position, and the unloading plate is moved from the second position to another position and then lowered to move the customer tray to the third position. an unloading transfer arm for transferring to a furnace;
an elevator for receiving the customer tray from the third position and lowering it sequentially; and
Customer tray unloading unit comprising an unloading stacker for loading customer trays lowered by the elevator. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 이송암은 상기 커스터머 트레이를 상하 방향으로 이송하며, 상기 언로딩 플레이트는 상기 커스터머 트레이를 수평 방향으로 이송하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛. The customer tray unloading unit according to claim 1, wherein the unloading transfer arm transports the customer tray in a vertical direction, and the unloading plate transports the customer tray in a horizontal direction. 제2항에 있어서, 상기 제2 위치 및 상기 제3 위치는 상기 언로딩 스태커의 상방에 위치하며, 상기 제3 위치는 상기 제2 위치보다 낮은 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.The customer tray unloading unit according to claim 2, wherein the second position and the third position are located above the unloading stacker, and the third position is lower than the second position. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 언로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이들을 덮기 위한 커버 트레이 및 상기 커스터머 트레이들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된 인식 트레이를 다수의 래치로 지지하는 스토어를 더 포함하며, 상기 스토어가 상기 제3 위치로 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이에 눌려 상기 래치가 개방되면서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이가 상기 커스터머 트레이들에 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛. The method of claim 1, further comprising a store supporting a cover tray for covering customer trays loaded in the unloading stacker and a recognition tray having identification marks for recognizing the customer trays formed thereon with a plurality of latches, wherein the store The customer tray unloading unit, characterized in that the cover tray and the recognition tray are loaded onto the customer trays while the latch is opened by being pressed against the customer tray in the third position by the force descending to the third position . 제5항에 있어서, 상기 인식 트레이가 상기 커버 트레이의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.The customer tray unloading unit according to claim 5, wherein the recognition tray is located above the cover tray. 제1항에 있어서, 상기 엘리베이터가 상기 제3 위치에서 지속적으로 상기 커스터머 트레이를 전달받을 수 있도록 상기 엘리베이터는 상기 언로딩 이송암으로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받을 때마다 상기 커스터머 트레이의 두께만큼 순차적으로 하강하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.The elevator according to claim 1, wherein the elevator descends sequentially by the thickness of the customer tray each time the elevator receives the customer tray from the unloading transfer arm so that the elevator can continuously receive the customer tray at the third position. Customer tray unloading unit, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 플레이트는 상기 제1 위치에서 테스트 트레이에 수납된 상기 테스트 완료된 반도체 소자들을 언로딩 피커에 의해 전달받는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.The customer tray unloading unit according to claim 1, wherein the unloading plate receives the tested semiconductor devices accommodated in the test tray at the first position by an unloading picker. 언로딩 플레이트가 빈 커스터머 트레이를 제1 위치로 이동하는 단계;
언로딩 피커가 상기 제1 위치에서 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들을 상기 커스터머 트레이로 전달하는 단계;
상기 언로딩 플레이트가 상기 반도체 소자들이 수납된 상기 커스터머 트레이를 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이송하는 단계;
언로딩 이송암이 상기 제2 위치에서 상기 언로딩 플레이트로부터 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승하는 단계;
상기 언로딩 플레이트가 상기 제1 위치를 향해 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동하는 단계;
상기 언로딩 이송암이 하강하여 상기 커스터머 트레이를 제3 위치로 이송하는 단계; 및
엘리베이터가 상기 제3 위치에서 상기 언로딩 이송암으로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받아 언로딩 스태커에 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.moving the unloading plate empty customer tray to a first position;
transferring, by an unloading picker, the tested semiconductor devices accommodated in the test tray at the first position to the customer tray;
transferring, by the unloading plate, the customer tray in which the semiconductor devices are accommodated from the first position to a second position;
an unloading transfer arm picking up the customer tray from the unloading plate at the second position and ascending higher than the second position;
moving the unloading plate from the second position to another position by horizontally moving toward the first position;
lowering the unloading transfer arm to transfer the customer tray to a third position; and
and the elevator receiving the customer tray from the unloading transfer arm at the third position and loading the customer tray onto an unloading stacker. 제9항에 있어서, 상기 언로딩 플레이트는 상기 커스터머 트레이를 수평 방향으로 이송하며, 상기 언로딩 이송암은 상기 커스터머 트레이를 상하 방향으로 이송하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.10. The method of claim 9, wherein the unloading plate transports the customer tray in a horizontal direction, and the unloading transfer arm transports the customer tray in an up-down direction. 제10항에 있어서, 상기 제2 위치 및 상기 제3 위치는 상기 언로딩 스태커의 상방에 위치하며, 상기 제3 위치는 상기 제2 위치보다 낮은 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.11. The method of claim 10, wherein the second position and the third position are located above the unloading stacker, and the third position is lower than the second position. 삭제delete 제9항에 있어서, 상기 엘리베이터가 상기 제3 위치에서 상기 언로딩 이송암으로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받아 상기 언로딩 스태커에 적재하는 단계는,
상기 엘리베이터가 상기 제3 위치까지 상승하는 단계;
상기 제3 위치에서 상기 언로딩 이송암으로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받는 단계; 및
상기 커스터머 트레이를 상기 언로딩 스태커에 적재하기 위해 상기 커스터머 트레이를 지지한 상기 엘리베이터가 하강하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.The method of claim 9, wherein the step of the elevator receiving the customer tray from the unloading transfer arm at the third position and loading it on the unloading stacker comprises:
ascending the elevator to the third position;
receiving the customer tray from the unloading transfer arm at the third position; and
Customer tray unloading method comprising the step of lowering the elevator supporting the customer tray to load the customer tray to the unloading stacker. 제13항에 있어서, 상기 엘리베이터가 상기 제3 위치에서 지속적으로 상기 커스터머 트레이를 전달받을 수 있도록 상기 엘리베이터는 상기 언로딩 이송암으로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받을 때마다 상기 커스터머 트레이의 두께만큼 순차적으로 하강하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.The method according to claim 13, wherein the elevator is sequentially lowered by the thickness of the customer tray each time it receives the customer tray from the unloading transfer arm so that the elevator can continuously receive the customer tray at the third position. Customer tray unloading method, characterized in that. 제9항에 있어서, 상기 언로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이들을 덮기 위한 커버 트레이 및 상기 커스터머 트레이들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된 인식 트레이를 다수의 래치로 지지하는 스토어가 상기 제3 위치에서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이를 상기 언로딩 스태커에 적재된 상기 커스터머 트레이들 상에 적재하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.10. The method according to claim 9, wherein a store supporting a cover tray for covering the customer trays loaded in the unloading stacker and an identification mark for recognizing the customer trays with a plurality of latches is provided in the third position. The customer tray unloading method further comprising the step of loading a tray and the recognition tray on the customer trays loaded on the unloading stacker. 제15항에 있어서, 상기 스토어가 상기 제3 위치로 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 상기 커스터머 트레이에 눌려 상기 래치가 개방되면서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이가 상기 커스터머 트레이들에 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법. 16. The method according to claim 15, wherein the cover tray and the recognition tray are loaded onto the customer trays while the store is pressed against the customer tray in the third position by a force lowering to the third position and the latch is opened. Customer tray unloading method, characterized in that being. 제15항에 있어서, 상기 인식 트레이가 상기 커버 트레이의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 방법.16. The method of claim 15, wherein the recognition tray is located above the cover tray.
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