KR102308053B1

KR102308053B1 - Gas filter of ultra low differential pressure for high technology industry

Info

Publication number: KR102308053B1
Application number: KR1020190176298A
Authority: KR
Inventors: 이득규; 이태경
Original assignee: 나노콤코리아 유한회사; 이태경
Priority date: 2019-12-27
Filing date: 2019-12-27
Publication date: 2021-10-05
Also published as: KR20210083720A

Abstract

본 발명은, 제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 한정하는 하우징; 상기 제1 영역과 연통되고 가스 원료가 유입되는 유입구; 상기 제2 영역과 연통되고 상기 가스 원료가 배출되는 배출구; 상기 제2 영역에 배치되어, 상기 가스 원료를 여과하여 상기 배출구로 안내하는 금속 화이버 필터; 및 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 중 적어도 하나에 설치되어, 상기 유입구로부터 상기 금속 화이버 필터를 향해 이어지는 상기 가스 원료의 유로가 복수 회에 걸쳐 꺾이게 하는 유로조정 유닛을 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터를 제공한다.The present invention provides a housing defining an interior space having a first area and a second area; an inlet in communication with the first region and through which a gas source is introduced; an outlet communicating with the second region and discharging the gas source; a metal fiber filter disposed in the second region to filter the gas source and guide it to the outlet; and a flow path adjusting unit installed in at least one of the first region and the second region to bend the flow path of the gas raw material extending from the inlet to the metal fiber filter a plurality of times. A gas filter is provided.

Description

첨단산업용 초저차압 가스필터{GAS FILTER OF ULTRA LOW DIFFERENTIAL PRESSURE FOR HIGH TECHNOLOGY INDUSTRY}Ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry {GAS FILTER OF ULTRA LOW DIFFERENTIAL PRESSURE FOR HIGH TECHNOLOGY INDUSTRY}

본 발명은 첨단산업 분야에서 사용되는 초저차압 가스필터에 관한 것이다.The present invention relates to an ultra-low differential pressure gas filter used in high-tech industries.

일반적으로, 첨단산업 분야, 예를 들어 반도체, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode), LED(Light Emitting Diode) 등의 제조 공정에 있어서, 기판상에 박막을 형성하는 방법의 하나로서 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)이 이용된다. 화학기상증착은 다른 박막 증착 방법에 비해 박막형성이 우수하고 증착 속도가 빠른 이점을 제공한다.In general, in the manufacturing process of high-tech industrial fields, for example, semiconductor, liquid crystal display (LCD), organic light emitting diode (OLED), light emitting diode (LED), etc., one of the methods of forming a thin film on a substrate As a chemical vapor deposition (Chemical Vapor Deposition) is used. Chemical vapor deposition provides advantages of superior thin film formation and fast deposition rate compared to other thin film deposition methods.

화학기상증착에서 사용되는 원료 가스는, 액체 원료를 기화시켜 얻어질 수 있다. 이렇게 얻어진 기체 상태의 원료를 이용하여 기판상에 성막을 수행한 경우, 기화 불량에 의한 액적(液滴)이나 파티클 등에 의해 성막 후에 기판상에 파티클이 발생하는 경우가 많다. The raw material gas used in chemical vapor deposition can be obtained by vaporizing a liquid raw material. When film formation is performed on a substrate using the gaseous raw material thus obtained, particles are often generated on the substrate after film formation due to droplets or particles due to poor vaporization.

이러한 파티클의 방지하기 위하여, 기화기와 챔버 사이에 가스 필터를 설치하기도 한다. 그러나, 기화기로 기화하기 어려운(증기압이 낮음) 액체 원료를 사용한 경우나 요구되는 기화 유량이 많은 경우에는, 가스 필터로 파티클이나 기화 불량의 액적 등을 완전히 포집할 수는 없다. In order to prevent such particles, a gas filter may be installed between the vaporizer and the chamber. However, when a liquid raw material that is difficult to vaporize (vapor pressure is low) with a vaporizer is used, or when the required vaporization flow rate is large, the gas filter cannot completely collect particles or poor vaporization droplets.

또한, 가스 필터에 막힘(clogging)이 발생하면 그 막힘이 파티클원(源)이 되기도 된다. 그에 따라 막힘이 발생하면, 그때마다 가스 필터의 필터를 교환해야 하는 문제도 발생한다.In addition, if clogging occurs in the gas filter, the clogging may become a particle source. Accordingly, when clogging occurs, there is also a problem that the filter of the gas filter must be replaced each time.

본 발명의 목적은, 원료 가스에 대한 우수한 여과 능력을 가지면서도, 그 여과 능력의 유지 시간을 오래도록 유지할 수 있게 하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry, which has excellent filtration ability for raw material gas, while maintaining the filtration capacity for a long time.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터는, 제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 한정하는 하우징; 상기 제1 영역과 연통되고 가스 원료가 유입되는 유입구; 상기 제2 영역과 연통되고 상기 가스 원료가 배출되는 배출구; 상기 제2 영역에 배치되어, 상기 가스 원료를 여과하여 상기 배출구로 안내하는 금속 화이버 필터; 및 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 중 적어도 하나에 설치되어, 상기 유입구로부터 상기 금속 화이버 필터를 향해 이어지는 상기 가스 원료의 유로가 복수 회에 걸쳐 꺾이게 하는 유로조정 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry, comprising: a housing defining an inner space having a first area and a second area; an inlet in communication with the first region and through which a gas source is introduced; an outlet communicating with the second region and discharging the gas source; a metal fiber filter disposed in the second region to filter the gas source and guide it to the outlet; and a flow path adjusting unit installed in at least one of the first region and the second region to bend the flow path of the gas raw material from the inlet toward the metal fiber filter a plurality of times.

여기서, 상기 금속 화이버 필터는, 실린더 형상으로 구부려진 금속 메쉬; 상기 금속 메쉬의 양단부가 각각 삽입되는 한 쌍의 삽입 그루브를 구비하는 프레임; 및 상기 프레임과 상기 금속 메쉬의 단부를 결합시키는 브레이징부를 포함할 수 있다.Here, the metal fiber filter may include: a metal mesh bent in a cylindrical shape; a frame having a pair of insertion grooves into which both ends of the metal mesh are respectively inserted; And it may include a brazing unit for coupling the frame and the end of the metal mesh.

여기서, 상기 유로조정 유닛은, 메인 블럭; 및 상기 메일 블럭 중 상기 유입구에 대응하는 단부면에 상기 유입구에 대응하여 오목하게 형성되는 전환홈을 포함하고, 상기 메인 블럭은, 상기 하우징의 내주면과 이격되는 사이즈를 가져서, 상기 하우징의 내주면과 상기 메인 블럭 사이로 상기 가스 원료가 유동하도록 허용할 수 있다.Here, the flow path adjustment unit includes: a main block; and a diverting groove concavely formed to correspond to the inlet in an end surface corresponding to the inlet of the mail block, wherein the main block has a size spaced apart from the inner circumferential surface of the housing, the inner circumferential surface of the housing and the The gas source may be allowed to flow between the main blocks.

여기서, 상기 유로조정 유닛은, 상기 유입구에 대응하는 중앙 충돌부; 및 상기 중앙 충돌부를 둘러싸도록 형성되고, 상기 가스 원료가 통과하는 공간을 제공하는 링형의 통과 채널을 포함할 수 있다.Here, the flow path adjustment unit may include a central collision unit corresponding to the inlet; and a ring-shaped passage channel formed to surround the central collision portion and providing a space through which the gas source passes.

여기서, 상기 유로조정 유닛은, 복수 층의 플레이트; 상기 복수 층의 플레이트 각각에 형성되어, 상기 가스 원료가 통과하도록 하는 통과홀을 포함하고, 상기 복수 층의 플레이트 중 인접한 플레이트 간에 형성된 상기 통과홀들은 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.Here, the flow path adjustment unit may include a plurality of layers of plates; A through hole formed in each of the plurality of layers to allow the gas source to pass may be included, and the through holes formed between adjacent plates among the plurality of layers may be alternately disposed.

여기서, 상기 유로조정 유닛은, 상기 제2 영역에서 상기 금속 화이버 필터의 외주면을 감싸도록 배치될 수 있다.Here, the flow path adjusting unit may be disposed to surround an outer circumferential surface of the metal fiber filter in the second region.

여기서, 상기 금속 화이버 필터와 상기 유로조정 유닛 간의 결합을 위한 결합 유닛을 더 포함하고, 상기 결합 유닛은, 상기 유로조정 유닛에 형성되고, 상기 금속 화이버 필터의 단부 영역을 수용하는 수용홈; 및 상기 금속 화이버 필터와 상기 유로조정 유닛 간의 연결을 위한 브레이징부를 포함할 수 있다.Here, the method further includes a coupling unit for coupling between the metal fiber filter and the flow path adjusting unit, wherein the coupling unit includes: a receiving groove formed in the flow path adjusting unit and accommodating an end region of the metal fiber filter; and a brazing unit for connection between the metal fiber filter and the flow path adjusting unit.

여기서, 상기 결합 유닛은, 상기 수용홈에 삽입되어, 상기 금속 화이버 필터를 클램핑하는 금속 링; 및 상기 금속 링과 상기 유로조정 유닛 간의 연결을 위한 용접부를 더 포함할 수 있다.Here, the coupling unit may include a metal ring inserted into the receiving groove to clamp the metal fiber filter; and a welding part for connection between the metal ring and the flow path adjusting unit.

여기서, 상기 하우징은, 상기 주입구 및 상기 유로조정 유닛과 결합되는 제1 하우징; 및 상기 배출구와 결합되고, 상기 제1 하우징과 용접 결합되는 제2 하우징을 포함할 수 있다.Here, the housing may include: a first housing coupled to the inlet and the flow path adjusting unit; and a second housing coupled to the outlet and welded to the first housing.

본 발명의 다른 일 측면에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터는, 가스 원료가 유입되는 유입구; 상기 유입구와 결합되는 제1 하우징; 상기 제1 하우징이 한정하는 제1 내부 영역 내에 설치되고, 상기 유입구를 통해 유입되는 상기 가스 원료의 유로가 복수 회에 걸쳐 꺾이게 하는 유로조정 유닛; 상기 제1 하우징과 용접 결합되어, 상기 제1 내부 영역에 연통되는 제2 내부 영역을 한정하는 제2 하우징; 상기 유로조정 유닛에 대해 브레이징 결합된 채로 상기 제2 내부 영역에 배치되고, 상기 유로조정 유닛을 통해 복수 회에 걸쳐 꺾여서 입력되는 상기 가스 원료를 여과하는 금속 화이버 필터; 및 상기 제2 하우징에 연통되어, 상기 금속 화이버 필터를 거친 상기 가스 원료를 외부로 배출하는 배출구를 포함할 수 있다.An ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry according to another aspect of the present invention includes an inlet through which a gas raw material is introduced; a first housing coupled to the inlet; a flow path adjustment unit installed in a first inner region defined by the first housing and configured to bend the flow path of the gas raw material introduced through the inlet port a plurality of times; a second housing welded to the first housing and defining a second inner region communicating with the first inner region; a metal fiber filter disposed in the second inner region while being brazed to the flow path adjusting unit and configured to filter the gas source input by being bent multiple times through the flow path adjusting unit; and an outlet communicating with the second housing and discharging the gas raw material that has passed through the metal fiber filter to the outside.

여기서, 상기 금속 화이버 필터를 클램핑하는 금속 링이 더 구비되고, 상기 유로조정 유닛은, 상기 금속 화이버 필터 및 상기 금속 링을 수용하여, 상기 금속 화이버 필터가 클램핑되게 하는 수용홈을 포함하고, 상기 금속 링과 상기 유로조정 유닛은 용접에 의해 서로 결합될 수 있다.Here, a metal ring clamping the metal fiber filter is further provided, and the flow path adjusting unit includes a receiving groove for accommodating the metal fiber filter and the metal ring to clamp the metal fiber filter, and the metal The ring and the flow path adjusting unit may be coupled to each other by welding.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 첨단산업용 초저차압 가스필터에 의하면, 유입구를 통해 하우징의 제1 영역으로 유입된 가스 원료는 유로조정 유닛을 거치면서 복수 회에 걸쳐 꺾이는 유동을 하면서 보다 오랫동안 하우징 외부의 열원(예를 들어, 히팅 자켓, 히팅 밴드 등)에 의해 가열된 후에 금속 화이버로 형성되는 필터를 거쳐 배출구로 배출된다. 여기서, 금속 화이버 필터는 초저차압 환경을 구현하면서 파티클 포집율이 높은 이점을 가지는데, 그는 유로조정 유닛을 통해 보다 오랜 시간 가열된 원료 가스를 여과 대상으로 함에 의해 보다 오랫동안 포집된 파티클을 유지할 수 있게 된다.According to the ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry related to the present invention configured as described above, the gas raw material introduced into the first region of the housing through the inlet flows through the flow path adjustment unit and bends several times while flowing outside the housing for a longer period of time. After being heated by a heat source (eg, heating jacket, heating band, etc.) of Here, the metal fiber filter has the advantage of a high particle collection rate while realizing an ultra-low differential pressure environment. do.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(100)에 대한 단면도이다.
도 2는 도 1의 금속 화이버 필터(160)를 보인 사시도이다.
도 3은 도 1의 결합 유닛(160)을 확대하여 보인 부분 확대 단면도이다.
도 4는 도 3의 결합 유닛(160)의 일 변형예에 따른 결합 유닛(160')을 보인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(200)에 대한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(300)에 대한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(400)에 대한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 100 for high-tech industry according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the metal fiber filter 160 of FIG. 1 .
3 is a partially enlarged cross-sectional view showing the coupling unit 160 of FIG. 1 in an enlarged manner.
4 is a cross-sectional view showing a coupling unit 160 ′ according to a modification of the coupling unit 160 of FIG. 3 .
5 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 200 for high-tech industries according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 300 for high-tech industries according to a third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 400 for high-tech industries according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.Hereinafter, an ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same and similar reference numerals are assigned to the same and similar components in different embodiments, and the description is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(100)에 대한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 100 for high-tech industry according to a first embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 가스필터(100)는, 하우징(110), 유입구(120), 배출구(130), 금속 화이버 필터(140), 유로조정 유닛(150), 그리고 결합 유닛(160)을 포함할 수 있다.Referring to this drawing, the gas filter 100 includes a housing 110 , an inlet 120 , an outlet 130 , a metal fiber filter 140 , a flow path adjustment unit 150 , and a coupling unit 160 . can do.

하우징(110)은 대체로 실린더 형상을 갖는 중공형 구조물이다. 그에 의해, 하우징(110)은 내부 공간(112 및 116)을 한정하게 된다. 내부 공간(112 및 116)은 제1 (내부) 영역(112)과 제2 (내부) 영역(116)으로 구분될 수 있다. 이러한 구분은 하우징(110)이 제1 하우징(111)과 제2 하우징(115)으로 구분됨에 의해 각 하우징(111,115) 내의 공간이 각 영역(112,116)이 됨에 따른 것일 수 있다. 제1 하우징(111)과 제2 하우징(115)은 금속, 예를 들어 SUS 재질로서 서로 간에 맞대기 용접될 수 있다. 이러한 하우징(110)의 외주면은 가열 수단, 예를 들어 히팅 자켓(미도시)에 의해 감싸질 수 있다. The housing 110 is a hollow structure having a generally cylindrical shape. Thereby, the housing 110 defines interior spaces 112 and 116 . The internal spaces 112 and 116 may be divided into a first (internal) region 112 and a second (internal) region 116 . This division may be due to the fact that the space in each housing 111 and 115 becomes each region 112 and 116 as the housing 110 is divided into the first housing 111 and the second housing 115 . The first housing 111 and the second housing 115 are made of metal, for example, SUS, and may be butt welded to each other. The outer peripheral surface of the housing 110 may be surrounded by a heating means, for example, a heating jacket (not shown).

유입구(120)는 하우징(110), 구체적으로 제1 하우징(111)에 결합된다. 그에 의해, 유입구(120)는 제1 영역(112)과 연통된다. 유입구(120)로는 기화기로부터의 가스 원료가 유입된다. The inlet 120 is coupled to the housing 110 , specifically, the first housing 111 . Thereby, the inlet 120 communicates with the first region 112 . The gas source from the vaporizer is introduced into the inlet 120 .

배출구(130)는 하우징(110)을 기준으로 유입구(120)의 반대 측에 위치한다. 그에 의해, 배출구(130)는 제2 하우징(115)에 결합되어, 제2 영역(116)에 연통된다. 또한, 배출구(130)를 통해서는, 후술할 유로조정 유닛(150) 및 금속 화이버 필터(140)를 차례로 거친 가스 원료가 반응 챔버로 배출된다. The outlet 130 is located on the opposite side of the inlet 120 with respect to the housing 110 . Thereby, the outlet 130 is coupled to the second housing 115 and communicates with the second region 116 . In addition, through the outlet 130 , the gas raw material passing through the flow path adjusting unit 150 and the metal fiber filter 140 , which will be described later, is discharged into the reaction chamber.

금속 화이버 필터(140)는 주로 제2 영역(116)에 배치되는 여과 수단이다. 금속 화이버 필터(140)는 전체적으로 실린더 또는 파이프 형상을 가지며, 금속 메쉬 구조를 가진다. 이러한 금속 화이버 필터(140)는 여과 작용 중에 초저차압의 특성을 구현할 수 있다. 금속 화이버 필터(140)는 하나로서 예시하였으나, 2개 이상이 단면상 동심 관계에 놓이도록 배치될 수도 있다.The metal fiber filter 140 is a filtering means mainly disposed in the second region 116 . The metal fiber filter 140 has a cylindrical or pipe shape as a whole, and has a metal mesh structure. Such a metal fiber filter 140 may implement the characteristic of ultra-low differential pressure during the filtration operation. Although the metal fiber filter 140 is exemplified as one, two or more may be disposed so as to be in a concentric relationship in cross section.

유로조정 유닛(150)은 제1 영역(112)에 설치되어, 유입구(120)를 통해 유입되어 금속 화이버 필터(140)로 유동하는 가스 원료의 유동이 복수 회에 걸쳐 꺾이게 하는 구성이다. 그에 의해, 가스 원료가 유입구(120)에서 금속 화이버 필터(140)까지 유동하는 시간이 증대된다. 그를 위해, 유로조정 유닛(150)이 유입구(120)에서 배출구(130)를 향한 방향을 따라 차지하는 구간의 길이는 금속 화이버 필터(140)가 차지하는 구간의 길이의 절바보다 큰 것일 수 있다. The flow path adjustment unit 150 is installed in the first region 112 and is configured to bend the flow of the gas raw material flowing in through the inlet 120 and flowing into the metal fiber filter 140 several times. Thereby, the time for which the gas source flows from the inlet 120 to the metal fiber filter 140 is increased. To this end, the length of the section occupied by the flow path adjustment unit 150 in the direction from the inlet 120 to the outlet 130 may be greater than a half of the length of the section occupied by the metal fiber filter 140 .

유로조정 유닛(150)은 구체적으로, 메인 블럭(151)과, 전환홈(155)을 가질 수 있다. 메인 블럭(151)은 제1 하우징(111)의 내주면과 이격된 유동 공간을 형성하는 사이즈를 가진다. 또한, 메인 블럭(151)은 그의 원주 방향을 따르는 일부 부분에서만 제1 하우징(111)과 연결되는 연결부(미도시)를 가져서, 본 도면의 단면 방향에서는 그 연결부가 보이지 않는다. 상기 유동 공간은 대략 링 형상의 단면이 연장된 형태이고, 그를 통해 가스 원료가 유동하도록 허용한다. 전환홈(155)은 메인 블럭(151) 중 유입구(120)에 대응하는 단부면에 오목 형성된다. 그에 의해, 유입구(120)를 통해 도입된 가스 원료는 전환홈(155)에서 메인 블럭(151)과 충돌된 후에 방향을 전환하여, 상기 유동 공간으로 진행하게 된다. Specifically, the flow path adjustment unit 150 may have a main block 151 and a switching groove 155 . The main block 151 has a size that forms a flow space spaced apart from the inner circumferential surface of the first housing 111 . In addition, the main block 151 has a connection portion (not shown) connected to the first housing 111 only in a partial portion along the circumferential direction thereof, so that the connection portion is not visible in the cross-sectional direction of this drawing. The flow space has a substantially ring-shaped cross section and allows the gas source to flow therethrough. The diversion groove 155 is concavely formed in the end surface corresponding to the inlet 120 of the main block 151 . Thereby, the gas source introduced through the inlet 120 changes direction after colliding with the main block 151 in the diverting groove 155, and proceeds to the flow space.

이러한 구성에 의하면, 유입구(120)를 통해 하우징(110) 내로 도입되는 가스 원료는 유로조정 유닛(150)을 거침에 의해, 가스 원료가 금속 화이버 필터(140)에 도달하기까지의 시간이 길어진다. 그에 의해, 가스 원료가 상기 가열 수단에 의해 열적 영향을 받는 시간이 길어지게 된다. 이는 가스 원료 내의 미스트가 좀 더 기화될 수 있게 한다. According to this configuration, the gas raw material introduced into the housing 110 through the inlet 120 passes through the flow path adjustment unit 150 , and thus the time until the gas raw material reaches the metal fiber filter 140 is increased. . Thereby, the time during which the gas raw material is thermally affected by the heating means becomes long. This allows the mist in the gas source to be more vaporized.

이렇게 기화 정도가 높아진 가스 원료는 유로조정 유닛(150)을 거쳐서 금속 화이버 필터(140)로 유입된다. 구체적으로, 금속 화이버 필터(140)의 외측에서 내측으로 유입되는 방향으로 유동하는 것이다. 그 과정에서, 금속 화이버 필터(140)는 가스 원료 내의 파티클을 포집하게 된다. 금속 화이버 필터(140)는 초저차압을 구현하여, 파티클의 제거 효율을 극대화한다. 나아가, 유로조정 유닛(150)에 의해 금속 화이버 필터(140)로 유입되는 가스 원료 중의 미스트 등의 발생이 줄어들게 됨에 의해, 금속 화이버 필터(140)는 막힘 현상으로부터 보다 자유로워, 보다 오래도록 파티클을 포집한 상태를 유지할 수 있다.The gas raw material whose vaporization degree is increased in this way flows into the metal fiber filter 140 through the flow path adjustment unit 150 . Specifically, it flows in a direction from the outside to the inside of the metal fiber filter 140 . In the process, the metal fiber filter 140 collects particles in the gas source. The metal fiber filter 140 implements an ultra-low differential pressure, thereby maximizing particle removal efficiency. Furthermore, as the generation of mist in the gas raw material flowing into the metal fiber filter 140 by the flow path adjustment unit 150 is reduced, the metal fiber filter 140 is more free from clogging and collects particles for a longer period of time. can remain in one state.

이상의 금속 화이버 필터(140)에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 도 1의 금속 화이버 필터(160)를 보인 사시도이다.The above-described metal fiber filter 140 will be described with reference to FIG. 2 . FIG. 2 is a perspective view showing the metal fiber filter 160 of FIG. 1 .

본 도면을 참조하면, 금속 화이버 필터(140)는, 금속 메쉬(141), 프레임(143), 그리고 브레이징부(145)를 포함할 수 있다. Referring to this drawing, the metal fiber filter 140 may include a metal mesh 141 , a frame 143 , and a brazing unit 145 .

금속 메쉬(141)는 금속 재질, 예를 들어 SUS 재질의 와이어가 격자 형태로 엮여서 형성된 것이다. 금속 메쉬(141)는 대체로 판재 형태를 가질 수 있다. The metal mesh 141 is formed by weaving a wire made of a metal material, for example, a SUS material, in a grid shape. The metal mesh 141 may generally have a plate shape.

프레임(143)은 길이 방향을 따라 연장 형성되어, 금속 메쉬(141)가 결합되는 대상이 되는 구성이다. 프레임(143)도 역시 금속 재질로 형성될 수 있다. 프레임(143)의 양 측면에는 삽입 그루브(144)가 형성될 수 있다. 한 쌍의 삽입 그루브(144)에는 실린더 형상으로 말린 금속 메쉬(141)의 양단부가 각각 삽입되게 된다. The frame 143 is formed to extend along the longitudinal direction, and is configured to be a target to which the metal mesh 141 is coupled. The frame 143 may also be formed of a metal material. Insertion grooves 144 may be formed on both sides of the frame 143 . Both ends of the metal mesh 141 rolled in a cylindrical shape are respectively inserted into the pair of insertion grooves 144 .

브레이징부(145)는 금속 메쉬(141)를 프레임(143)에 대해 결합시키는 구성이다. 이를 위해, 브레이징부(145)는 프레임(143)과 금속 메쉬(141)가 접촉하는 부분에, 프레임(143)의 연장 방향을 따라 형성될 수 있다.The brazing unit 145 is configured to couple the metal mesh 141 to the frame 143 . To this end, the brazing unit 145 may be formed in a portion in which the frame 143 and the metal mesh 141 contact, along the extending direction of the frame 143 .

이러한 금속 화이버 필터(140)과 유로조정 유닛(150) 간의 결합에 대해서도는 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. The coupling between the metal fiber filter 140 and the flow path adjustment unit 150 will also be described with reference to FIGS. 3 and 4 .

먼저, 도 3은 도 1의 결합 유닛(160)을 확대하여 보인 부분 확대 단면도이다.First, FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the coupling unit 160 of FIG. 1 .

본 도면을 참조하면, 금속 화이버 필터(140)와 유로조정 유닛(150) 간의 결합을 위한 구성은 결합 유닛(160)이라 칭해질 수 있다. Referring to this drawing, a configuration for coupling between the metal fiber filter 140 and the flow path adjustment unit 150 may be referred to as a coupling unit 160 .

결합 유닛(160)은, 수용홈(161), 브레이징부(163), 금속 링(165), 및 용접부(167)를 포함할 수 있다. The coupling unit 160 may include a receiving groove 161 , a brazing part 163 , a metal ring 165 , and a welding part 167 .

수용홈(161)은 메인 블럭(151)의 일 단부면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 단부면은 금속 화이버 필터(140)를 마주하고 있는 면이다. 단부면의 외경은 금속 화이버 필터(140)의 외경보다 작은 외경을 갖는다. 수용홈(161)은 금속 화이버 필터(140)의 형상에 대응하여 원형 또는 링형 그루브로서 형성될 수 있다. 이러한 수용홈(161)에는 금속 화이버 필터(140)의 단부 영역이 수용된다. The receiving groove 161 may be formed on one end surface of the main block 151 . Specifically, the end surface is the surface facing the metal fiber filter (140). The outer diameter of the end face has an outer diameter smaller than the outer diameter of the metal fiber filter 140 . The receiving groove 161 may be formed as a circular or ring-shaped groove corresponding to the shape of the metal fiber filter 140 . The end region of the metal fiber filter 140 is accommodated in the receiving groove 161 .

브레이징부(163)는 수용홈(161) 내에서 금속 화이버 필터(140)와 메인 블럭(151)을 브레이징에 의해 결합하는 구성이다. 그에 의해, 브레이징부(163)는 금속 화이버 필터(140)의 외면에서 그가 메인 블럭(151)과 결합되게 한다. 발명자는 금속 화이버 필터(140)의 금속 메쉬(141, 도 2 참조)은 용접의 대상이 되기에는 약하다는 점을 인식하고, 브레이징을 채용하게 되었다. The brazing unit 163 is configured to combine the metal fiber filter 140 and the main block 151 in the receiving groove 161 by brazing. Thereby, the brazing portion 163 allows it to be coupled to the main block 151 on the outer surface of the metal fiber filter 140 . The inventor recognizes that the metal mesh 141 (refer to FIG. 2 ) of the metal fiber filter 140 is weak to be a target of welding, and employs brazing.

금속 링(165)은 수용홈(161)에서 금속 화이버 필터(140)과 브레이징부(163)가 차지하고 남은 공간에 삽입되는 구성이다. 금속 링(165)은 수용홈(161)에 대응하여 링 형상을 가지고, 금속 메쉬(141, 도 2 참조)와 달리 꽉찬(solid) 형태를 가질 수 있다. 이러한 금속 링(165)이 삽입됨에 의해, 금속 화이버 필터(140) 및 브레이징부(163)는 수용홈(161) 내에 견고하게 클램핑되게 된다. The metal ring 165 is configured to be inserted into the remaining space occupied by the metal fiber filter 140 and the brazing unit 163 in the receiving groove 161 . The metal ring 165 may have a ring shape corresponding to the receiving groove 161 , and may have a solid shape unlike the metal mesh 141 (refer to FIG. 2 ). When the metal ring 165 is inserted, the metal fiber filter 140 and the brazing part 163 are firmly clamped in the receiving groove 161 .

용접부(167)는 금속 링(165)과 메인 블럭(151)을 결합시키는 구성이다. 이 둘은 모두 꽉찬 형태로서, 그들 간에서는 용접 결합이 가능하다. 그에 따라, 용접부(167)는 그 둘을 견고하게 결합시키게 된다.The welding part 167 is configured to couple the metal ring 165 and the main block 151 . Both of these are solid shapes, and a welded connection is possible between them. Accordingly, the welding portion 167 firmly couples the two.

이러한 구성에 의하면, 메쉬 형태의 금속 화이버 필터(140)에 대한 직접 용접이 불가능한 문제를 브레이징부(163) 및 금속 링(165)를 이용하여 최종적으로 용접부(167)로 용접할 수 있게 된다. 나아가, 용접부(167)는 금속 화이버 필터(140)와 이격된 위치에 형성될 수 있다. According to this configuration, a problem in which direct welding to the mesh-shaped metal fiber filter 140 is impossible can be finally welded to the welding part 167 using the brazing part 163 and the metal ring 165 . Furthermore, the welding part 167 may be formed at a position spaced apart from the metal fiber filter 140 .

그에 의해, 유로조정 유닛(150)에 대한 금속 화이버 필터(140)의 결합력이 견고하게 유지될 수 있다. Thereby, the coupling force of the metal fiber filter 140 to the flow path adjustment unit 150 may be firmly maintained.

다음으로, 도 4는 도 3의 결합 유닛(160)의 일 변형예에 따른 결합 유닛(160')을 보인 단면도이다.Next, FIG. 4 is a cross-sectional view showing the coupling unit 160 ′ according to a modification of the coupling unit 160 of FIG. 3 .

본 도면을 참조하면, 결합 유닛(160')은 앞선 결합 유닛(160)과 달리, 금속 링(165) 및 용접부(167)를 갖지 않는 간단 형태로 구성될 수 있다. 구체적으로, 결합 유닛(160')은 수용홈(161')과 브레이징부(163')로만 구성될 수 있다.Referring to this figure, the coupling unit 160 ′ may be configured in a simple form that does not have the metal ring 165 and the welding part 167 , unlike the previous coupling unit 160 . Specifically, the coupling unit 160' may be composed of only the receiving groove 161' and the brazing part 163'.

이 경우, 수용홈(161')은 앞선 수용홈(161)과 달리 보다 좁은 폭을 가져서, 금속 화이버 필터(140)만이 겨우 삽입되는 폭을 가질 수 있다. 그렇게 금속 화이버 필터(140)이 수용홈(161')에 삽입된 상태에서, 금속 화이버 필터(140)와 메인 블럭(151) 간에는 브레이징부(163')에 의해 브레이징 결합이 이루어지게 된다.In this case, the receiving groove 161 ′ has a narrower width than the previous receiving groove 161 , so that only the metal fiber filter 140 can have a width into which it is barely inserted. In such a state that the metal fiber filter 140 is inserted into the receiving groove 161 ′, brazing is performed between the metal fiber filter 140 and the main block 151 by the brazing unit 163 ′.

이러한 구성은 앞선 실시예에 비해 금속 화이버 필터(140)과 유로조정 유닛(150) 간의 결합을 간단화하면서도, 그들 간에 필요한 수준의 결합력을 확보할 수 있게 한다. This configuration simplifies the coupling between the metal fiber filter 140 and the flow path adjustment unit 150 compared to the previous embodiment, and makes it possible to secure a required level of coupling force between them.

다음으로, 다른 형태의 초저차압 가스필터(200,300,400)에 대해 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 이들 형태에서 금속 화이버 필터(240,340,440)는 처음 실시예의 금속 화이버 필터(140)와 동일하므로 그에 관한 설명은 생략하고, 유로조정 유닛(250,350,450)을 중심으로 설명한다.Next, other types of ultra-low differential pressure gas filters 200 , 300 , and 400 will be described with reference to FIGS. 5 to 7 . In these forms, the metal fiber filters 240 , 340 , and 440 are the same as the metal fiber filters 140 of the first embodiment, so a description thereof will be omitted, and the flow path adjustment units 250 , 350 , and 450 will be mainly described.

먼저, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(200)에 대한 단면도이다. First, FIG. 5 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 200 for high-tech industry according to a second embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 유로조정 유닛(250)은 유입구(220)에 대응하는 중앙 충돌부(251)를 가질 수 있다. 중앙 충돌부(251)는 대체로 원형 단면을 가진 봉의 형태를 가질 수 있다. Referring to this figure, the flow path adjustment unit 250 may have a central collision portion 251 corresponding to the inlet 220 . The central collision portion 251 may have a rod shape having a substantially circular cross-section.

중앙 충돌부(251)를 둘러싸서는, 통과 채널(255)이 형성될 수 있다. 통과 채널(255)은 링 형상의 공간을 제공하여, 그를 통해 가스 원료가 통과하게 한다. 통과 채널(255)은 본 실시예에서와 같이 복수 개로 형성될 수 있다. 또한, 그들은 중앙 충돌부(251)의 중심과 동심원 관계에 있을 수 있다. Surrounding the central impingement 251 , a passage channel 255 may be formed. The passage channel 255 provides a ring-shaped space through which the gas source passes. A plurality of passing channels 255 may be formed as in the present embodiment. Also, they may be in a concentric relationship with the center of the central impingement 251 .

이러한 유로조정 유닛(250)의 구성에 의해, 유입구(220)를 통해 도입된 가스 원료는 중앙 충돌부(251)와 충돌한 후에 그 방향을 전환하게 된다. 전환된 가스 원료는 복수의 통과 채널(255)로 분산되어 그들을 통과하게 된다. By the configuration of the flow path adjustment unit 250 , the gas source introduced through the inlet 220 changes its direction after colliding with the central collision unit 251 . The converted gas source is dispersed into a plurality of passing channels 255 to pass therethrough.

그러한 과정에서 가스 원료는 복수 회에 걸쳐 꺾이면서 유로조정 유닛(250)에 머무는 시간이 극대화된다. 이는 가스 원료가 하우징(210)을 감싸고 있는 상기 가열 수단에 의해 보다 오랫동안 열적 영향을 받을 수 있게 한다. In such a process, the gas raw material is bent several times to maximize the time it stays in the flow path adjustment unit 250 . This allows the gas source to be thermally affected for a longer period of time by the heating means surrounding the housing 210 .

이렇게 오랫동안 열적 영향을 받은 가스 원료는 금속 화이버 필터(240)를 거치면서 여과된 채로, 배출구(230)를 통해 배출된다. The gas raw material that has been thermally affected for a long time is discharged through the outlet 230 while being filtered while passing through the metal fiber filter 240 .

다음으로, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(300)에 대한 단면도이다. Next, FIG. 6 is a cross-sectional view of the ultra-low differential pressure gas filter 300 for high-tech industry according to the third embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 유로조정 유닛(350)은 복수 층의 플레이트(351)와 통과홀(353), 그리고 결합 블럭(155)을 포함할 수 있다. Referring to this figure, the flow path adjustment unit 350 may include a plurality of layers of plates 351 , through holes 353 , and a coupling block 155 .

플레이트(351)는 유입구(320)에서 금속 화이버 필터(340)를 향한 방향을 따라 복수 층을 이루도록 복수 개로 구비될 수 있다. 본 도면에서는 플레이트(351)가 4개인 경우를 예시하고 있다. A plurality of plates 351 may be provided to form a plurality of layers in a direction from the inlet 320 toward the metal fiber filter 340 . In this figure, the case where there are four plates 351 is exemplified.

통과홀(353)은 복수 개의 플레이트(351) 각각에 형성되어, 가스 원료가 통과할 수 있게 한다. 이러한 통과홀(353)은 인접한 플레이트(351) 간에 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.The through hole 353 is formed in each of the plurality of plates 351 to allow the gas source to pass therethrough. These through-holes 353 may be alternately disposed between adjacent plates 351 .

결합 블럭(355)은 플레이트(351)와 연결되며, 또한 금속 화이버 필터(340)가 결합되는 대상체가 된다. 나아가, 결합 블럭(355)은 가스 원료가 금속 화이버 필터(340)의 중심축을 따라 진입하는 것을 막고, 가스 원료가 한 번 더 꺾여서 유동하게 하기도 한다.The coupling block 355 is connected to the plate 351 , and is an object to which the metal fiber filter 340 is coupled. Furthermore, the coupling block 355 prevents the gas raw material from entering along the central axis of the metal fiber filter 340 , and also allows the gas raw material to be bent once more to flow.

이러한 유로조정 유닛(350)의 구성에 의해, 유입구(320)를 통해 도입된 가스 원료는 유로조정 유닛(350)을 거치면서 복수 회에 걸쳐 꺾이게 된다. 그에 의해 상기 가열 수단에 의해 보다 오랫동안 열적 영향을 받은 가스 원료는 금속 화이버 필터(340)를 거치면서 여과된 채로, 배출구(330)를 통해 배출된다. By the configuration of the flow path adjusting unit 350 , the gas raw material introduced through the inlet 320 is bent a plurality of times while passing through the flow path adjusting unit 350 . Thereby, the gas raw material that has been thermally affected by the heating means for a longer period is discharged through the outlet 330 while being filtered while passing through the metal fiber filter 340 .

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 첨단산업용 초저차압 가스필터(400)에 대한 단면도이다. 7 is a cross-sectional view of an ultra-low differential pressure gas filter 400 for high-tech industries according to a fourth embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 유로조정 유닛(450)은 메인 블럭(451)과 연장 플레이트(455)를 가질 수 있다. Referring to this drawing, the flow path adjustment unit 450 may have a main block 451 and an extension plate 455 .

메인 블럭(451)은 유입구(420)를 통해 도입된 가스 원료가 충돌하는 충돌면(452)을 가진다. 충돌면(452)의 반대 면에는 금속 화이버 필터(440)가 결합될 수 있다. The main block 451 has a collision surface 452 on which the gas source introduced through the inlet 420 collides. A metal fiber filter 440 may be coupled to a surface opposite to the collision surface 452 .

연장 플레이트(455)는 메인 블럭(451)에 결합되어, 제2 하우징(415)에 의해 한정된 제2 영역(416) 내로 연장하도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 연장 플레이트(455)는 금속 화이버 필터(440)를 감싸도록 형성될 수 있다. 그러한 일 형태로서, 연장 플레이트(455)는 대체로 실린더 형상을 가져서, 금속 화이버 필터(440)와 동심 관계를 이루도록 배치될 수 있다. The extension plate 455 may be coupled to the main block 451 to extend into the second region 416 defined by the second housing 415 . Specifically, the extension plate 455 may be formed to surround the metal fiber filter 440 . As such, the extension plate 455 may have a substantially cylindrical shape and may be disposed to form a concentric relationship with the metal fiber filter 440 .

연장 플레이트(455)에는 통과홀(456)이 형성된다. 연장 플레이트(455)가 복수 개로 구비될 때, 이러한 통과홀(456)은 복수의 연장 플레이트(455)에 대해 서로 엇갈리게 배열될 수 있다. A through hole 456 is formed in the extension plate 455 . When a plurality of extension plates 455 are provided, these through holes 456 may be alternately arranged with respect to the plurality of extension plates 455 .

이러한 구성에 의하면, 유입구(420)를 통해 제1 영역(412) 내로 도입된 가스 원료는 충돌면(452)과 충돌한 후에 그 방향이 절곡된 채로 연장 플레이트(455) 측으로 유동하게 된다. 가스 원료는 연장 플레이트(455)의 통과홀(456)을 거치면서 다시 수차례 방향이 꺾이는 과정을 겪게 된다. 그러한 과정에서 가스 원료는 하우징(410)을 감싸는 상기 히팅 수단에 의해 열적 영향을 충분히 받게 된다. According to this configuration, the gas source introduced into the first region 412 through the inlet 420 flows toward the extension plate 455 with the direction bent after colliding with the collision surface 452 . The gas source undergoes a process in which the direction is again bent several times while passing through the through hole 456 of the extension plate 455 . In such a process, the gas source is sufficiently thermally affected by the heating means surrounding the housing 410 .

이렇게 가열된 가스 원료는 금속 화이버 필터(440)을 거쳐서 파티클로부터 분리된다. 파티클이 제거된 가스 원료는 배출구(430)로 배출된다. The gas source heated in this way is separated from the particles through the metal fiber filter 440 . The gas source from which the particles are removed is discharged to the outlet 430 .

상기와 같은 첨단산업용 초저차압 가스필터은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry as described above is not limited to the configuration and operation method of the embodiments described above. The above embodiments may be configured so that various modifications may be made by selectively combining all or part of each of the embodiments.

100,200,300,400: 초저차압 가스필터 110,210,310,410: 하우징
120,220,320,420: 유입구 130,230,330,430: 배출구
140,240,340,440: 금속 화이버 필터 150,250,350,450: 유로조정 유닛
160,260,360,460: 결합 유닛100,200,300,400: ultra-low differential pressure gas filter 110,210,310,410: housing
120,220,320,420: inlet 130,230,330,430: outlet
140,240,340,440: metal fiber filter 150,250,350,450: flow adjustment unit
160,260,360,460: combined unit

Claims

화학기상증착에 사용되는 가스 원료를 기화기를 이용해 액체 원료로부터 기화시켜 얻는 경우에 상기 기화기와 화학기상증착을 위한 반응 챔버 사이에 설치되는 필터로서,
제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 한정하는 하우징;
상기 제1 영역과 연통되고 상기 가스 원료가 상기 기화기로부터 유입되는 유입구;
상기 제2 영역과 연통되고 상기 가스 원료가 상기 반응 챔버로 배출되는 배출구;
상기 제2 영역에 배치되어, 상기 가스 원료를 여과하여 상기 배출구로 안내하는 금속 화이버 필터; 및
상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 중 적어도 하나에 설치되어, 상기 유입구로부터 상기 금속 화이버 필터를 향해 이어지는 상기 가스 원료의 유로가 복수 회에 걸쳐 꺾이게 하며, 상기 유입구에서 상기 배출구를 향한 방향을 따라 상기 금속 화이버 필터가 차지하는 구간의 길이의 절반 보다 큰 길이의 구간을 차지하는 유로조정 유닛을 포함하고,
상기 유로조정 유닛은,
상기 제1 영역에 배치되며 상기 하우징의 내주면과 이격되는 사이즈를 가져서, 상기 하우징의 내주면과 메인 블럭 사이로 상기 가스 원료가 유동하도록 허용하는 유동 공간을 형성하는 메인 블럭을 포함하고,
상기 금속 화이버 필터는,
파이프 형상을 가지며, 상기 메인 블럭의 단부면의 외경보다 작은 외경을 갖고, 그의 외면에서 상기 메인 블럭과 결합되는 것인, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
A filter installed between the vaporizer and a reaction chamber for chemical vapor deposition when a gas raw material used for chemical vapor deposition is obtained by vaporizing from a liquid raw material using a vaporizer,
a housing defining an interior space having a first region and a second region;
an inlet in communication with the first region and through which the gas source is introduced from the vaporizer;
an outlet communicating with the second region and discharging the gas source into the reaction chamber;
a metal fiber filter disposed in the second region to filter the gas source and guide it to the outlet; and
It is installed in at least one of the first region and the second region so that the flow path of the gas raw material extending from the inlet to the metal fiber filter is bent several times, and from the inlet to the outlet along the direction from the inlet to the outlet. a flow path adjustment unit occupying a section having a length greater than half the length of the section occupied by the metal fiber filter;
The flow adjustment unit,
a main block disposed in the first region and having a size spaced apart from the inner circumferential surface of the housing to form a flow space allowing the gas raw material to flow between the inner circumferential surface of the housing and the main block;
The metal fiber filter,
It has a pipe shape, has an outer diameter smaller than the outer diameter of the end surface of the main block, and will be coupled to the main block on the outer surface, ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry.

제1항에 있어서,
상기 금속 화이버 필터는,
실린더 형상으로 구부려진 금속 메쉬;
상기 금속 메쉬의 양단부가 각각 삽입되는 한 쌍의 삽입 그루브를 구비하는 프레임; 및
상기 프레임과 상기 금속 메쉬의 단부를 결합시키는 브레이징부를 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The metal fiber filter,
metal mesh bent into a cylinder shape;
a frame having a pair of insertion grooves into which both ends of the metal mesh are respectively inserted; and
A high-tech industrial ultra-low differential pressure gas filter comprising a brazing unit coupling the frame and the ends of the metal mesh.

제1항에 있어서,
상기 유로조정 유닛은,
상기 메인 블럭 중 상기 유입구에 대응하는 단부면에 상기 유입구에 대응하여 오목하게 형성되는 전환홈을 더 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The flow adjustment unit,
High-tech industrial ultra-low differential pressure gas filter, further comprising a diverting groove concavely formed corresponding to the inlet on the end surface corresponding to the inlet of the main block.

제1항에 있어서,
상기 유로조정 유닛은,
상기 유입구와 상기 메인 블럭 사이에 배치되고, 상기 유입구에 대응하는 중앙 충돌부; 및
상기 유입구와 상기 메인 블럭 사이에서 상기 중앙 충돌부를 둘러싸도록 형성되고, 상기 가스 원료가 통과하는 공간을 제공하는 링형의 통과 채널을 더 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The flow adjustment unit,
a central collision unit disposed between the inlet and the main block and corresponding to the inlet; and
The ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry, which is formed to surround the central collision part between the inlet and the main block, and further includes a ring-shaped passage channel providing a space through which the gas raw material passes.

제1항에 있어서,
상기 유로조정 유닛은,
상기 유입구와 상기 메인 블럭 사이에 배치되는 복수 층의 플레이트;
상기 복수 층의 플레이트 각각에 형성되어, 상기 가스 원료가 통과하도록 하는 통과홀을 포함하고,
상기 복수 층의 플레이트 중 인접한 플레이트 간에 형성된 상기 통과홀들은 서로 엇갈리게 배치되는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The flow adjustment unit,
a plurality of layers of plates disposed between the inlet and the main block;
and a through hole formed in each of the plurality of layers of the plate to allow the gas raw material to pass therethrough;
The through-holes formed between adjacent plates of the plurality of layers of the plate are alternately disposed with each other, an ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industries.

제1항에 있어서,
상기 유로조정 유닛은,
상기 제2 영역에서 상기 금속 화이버 필터의 외주면을 감싸도록 배치되는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The flow adjustment unit,
An ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry, which is disposed to surround the outer circumferential surface of the metal fiber filter in the second region.

제1항에 있어서,
상기 금속 화이버 필터와 상기 메인 블럭 간의 결합을 위한 결합 유닛을 더 포함하고,
상기 결합 유닛은,
상기 메인 블럭에 링 형상으로 오목 형성되고, 상기 금속 화이버 필터의 단부 영역을 수용하는 수용홈; 및
상기 수용홈 내에 형성되고, 상기 금속 화이버 필터와 상기 메인 블럭을 연결하는 브레이징부를 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
Further comprising a coupling unit for coupling between the metal fiber filter and the main block,
The coupling unit is
a receiving groove formed concavely in a ring shape in the main block and accommodating an end region of the metal fiber filter; and
A high-tech industrial ultra-low differential pressure gas filter formed in the receiving groove and comprising a brazing unit connecting the metal fiber filter and the main block.

제7항에 있어서,
상기 결합 유닛은,
상기 수용홈 중 상기 금속 화이버 필터와 상기 브레이징부가 차지하고 남는 공간에 삽입되어, 상기 금속 화이버 필터 및 상기 브레이징부를 상기 수용홈에 대해 클램핑하는 금속 링; 및
상기 금속 화이버 필터와 이격된 위치에서, 상기 금속 링과 상기 메인 블럭을 연결하는 용접부를 더 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
8. The method of claim 7,
The coupling unit is
a metal ring inserted into a space occupied by the metal fiber filter and the brazing unit among the receiving grooves to clamp the metal fiber filter and the brazing unit to the receiving groove; and
At a position spaced apart from the metal fiber filter, the ultra-low differential pressure gas filter for high-tech industry further comprising a welding part connecting the metal ring and the main block.

제1항에 있어서,
상기 하우징은,
상기 유입구 및 상기 유로조정 유닛과 결합되는 제1 하우징; 및
상기 배출구와 결합되고, 상기 제1 하우징과 용접 결합되는 제2 하우징을 포함하는, 첨단산업용 초저차압 가스필터.
According to claim 1,
The housing is
a first housing coupled to the inlet and the flow path adjusting unit; and
A high-tech industrial ultra-low differential pressure gas filter comprising a second housing coupled to the outlet and welded to the first housing.

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