KR102298162B1 - Large Scale Pressure Sensor Element having Two Mesh Grid Layers - Google Patents

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KR102298162B1
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박지만
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Abstract

The present invention relates to a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers. More specifically, the CNT pressure sensor which is manufactured by including two layers of meshes with elasticity to manufacture a large-area pressure sensor manufactured by forming a CNT coating layer over a film layer, forming an electrode over the CNT coating layer, and then covering the electrode with an insulator. According to the present invention, the pressure sensor can be laid on a bottom of a large area to be widely used and applied for various purposes such as the purpose of sensing the moving path of a person or an animal by measuring the pressure applied to the bottom since the pressure sensor can be manufactured to have a large area by increasing the width while having a long length instead of being manufactured in a band shape like a conventional pressure sensor. Also, according to the present invention, the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers can be mass-produced and lower production costs to provide an excellent sensor at a low price since the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers can be produced in a continuous process. Moreover, an application product using the pressure sensor can be quickly manufactured since the sensor can be cut into a length desired by a consumer. For example, the sensor can be cut and used in accordance with the size of the application product when manufacturing the application product.

Description

두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서{Large Scale Pressure Sensor Element having Two Mesh Grid Layers}Large Scale Pressure Sensor Element having Two Mesh Grid Layers

본 발명은 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서에 관한 것이다. 좀 더 자세하게로는, 필름층 위에 CNT코팅층을 형성하고, CNT코팅층 위에 전극을 형성한 후 절연체로 덮는 방식으로 제조되는 압력센서에서, 대면적으로 압력센서를 제조하는 것이 가능하게 하기 위하여 두 개 층의 탄성을 가진 메시(mesh)망을 포함하여 제작하는 CNT 압력센서에 관한 것이다. 본 발명에 의한 압력센서는, 통상의 압력센서처럼 띠 형태로 제작하는 것이 아니라, 길이가 길면서도 너비를 매우 크게 하여 대면적으로 제작할 수 있기 때문에 넓은 면적의 바닥에 깔아서, 바닥에 가해지는 압력을 측정하여 사람 또는 동물의 움직임 동선을 감지해 내는 용도 등 다양한 용도로 광범위하게 사용되고 응용될 수 있다. 또한 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서는, 연속공정으로 생산할 수 있기 때문에 대량생산이 가능하고, 생산단가를 낮출 수 있어 성능이 우수한 센서를 저렴한 가격에 공급할 수 있다. 또한 압력센서를 사용하는 응용제품을 제작할 때 응용제품의 크기에 맞추어 센서를 잘라 사용하면 되는 등 소비자가 원하는 길이대로 마음대로 잘라서 사용할 수 있는 장점이 있으므로 응용제품의 신속한 제작이 가능하다.The present invention relates to a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers. In more detail, in a pressure sensor manufactured by forming a CNT coating layer on a film layer, forming an electrode on the CNT coating layer, and then covering it with an insulator, two layers to make it possible to manufacture a pressure sensor with a large area It relates to a CNT pressure sensor manufactured including a mesh network with elasticity of The pressure sensor according to the present invention is not manufactured in the form of a band like a conventional pressure sensor, but has a long length and a very large width so that it can be manufactured in a large area. It can be widely used and applied for various purposes, such as the purpose of detecting the movement of a person or an animal by measuring it. In addition, the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the present invention can be mass-produced because it can be produced in a continuous process, and the production cost can be lowered, so that a sensor with excellent performance can be supplied at a low price. In addition, when manufacturing an application product using a pressure sensor, the sensor can be cut according to the size of the application product and used.

제4차 산업혁명은 빅데이터를 기반으로 물리적 세계와 디지털 세계를 통합시킴으로써 경제 및 산업 등 사회의 모든 분야에 영향을 미치고 있는 것으로 설명될 수 있다. O2O(Online to Offline 또는 Offline to Online)를 통하여 물리적인 실제 세계와 디지털 세계의 통합이 수행되고, IoT(Internet of Things)를 통하여 사물과 사물이 통신하는 세계가 되었으며, 인체정보를 디지털 세계에 접목하는 기술인 스마트워치나 스마트밴드를 이용하여 생물학적 세계는 모바일 헬스케어로 구현될 수 있다. 가상현실(VR)과 증강현실(AR) 및 혼합현실(MR)도 물리적 세계와 디지털 세계의 융합에 해당될 수 있다. The fourth industrial revolution can be described as affecting all areas of society, including economy and industry, by integrating the physical and digital worlds based on big data. The integration of the physical real world and the digital world is performed through O2O (Online to Offline or Offline to Online), and the world has become a world in which objects and objects communicate through IoT (Internet of Things), and human body information is grafted into the digital world. The biological world can be implemented as mobile health care using smart watches or smart bands, which are technologies that Virtual reality (VR), augmented reality (AR), and mixed reality (MR) may also correspond to the convergence of the physical world and the digital world.

이러한 4차 산업혁명을 이끄는 핵심기술로는 인공지능, 빅데이터, 클라우드, 블록체인, 사물인터넷(IoT), 자율주행 자동차, 드론, 로봇 등 다양하고 새로운 혁신적 기술들이 포함된다. 이렇게 혁신적인 핵심기술들 모두에서 필수적으로 사용되는 것은 센서이다. 센서는, 디지털 시스템이 물리적 환경에 접속하여 판단을 하기 위한 기초자료를 측정하는 감각수단으로서, 온도, 습도, 거리, 압력, 높이, 속도 등 물리적 세계에서 측정 가능한 모든 종류의 환경을 측정하여 디지털시스템에 제공하며, 디지털 시스템은 이를 근거로 판단하고 작동하는 것으로서, 생활, 주거, 의료, 스포츠 및 산업환경 등 다양한 분야의 서비스에 폭넓게 사용되는 소자이다. 즉 센서는 4차 산업혁명에 있어서, 물리적 세계와 디지털 세계를 연결하는 연결수단으로서 없어서는 안 되는 존재일 뿐만 아니라 얼마나 좋은 성능의 센서를 얼마나 저렴하게 제공할 수 있는가가 4차 산업혁명관련 사업에서 성공의 관건으로 부각되고 있다. 따라서 고성능의 센서소자에 대한 국산화와 더불어 시장요구에 따른 다양한 응용제품의 개발이 필요할 뿐만 아니라, 첨단소재에 의하여 경량화되고, 장 수명을 가지며, 초 광폭이고 다기능을 가지는 센서소자에 대한 개발 필요성이 점점 높아지고 있다. The core technologies that lead the 4th industrial revolution include various new innovative technologies such as artificial intelligence, big data, cloud, block chain, Internet of Things (IoT), autonomous vehicles, drones, and robots. Essentially used in all of these innovative core technologies are sensors. A sensor is a sensory means for measuring basic data for a digital system to access the physical environment and make a decision. The digital system determines and operates based on this, and is a device widely used in services in various fields such as living, housing, medical care, sports and industrial environments. In other words, in the 4th industrial revolution, sensors are not only indispensable as a means of connecting the physical and digital worlds, but also how cheaply a sensor with good performance can be provided. is highlighted as the key to Therefore, in addition to localization of high-performance sensor elements, it is necessary not only to develop various application products according to market demands, but also to develop light-weight, long-life, ultra-wide and multi-functional sensor elements by advanced materials. is rising

한편, 탄소나노튜브(carbon nanotubes, CNT)는 변형에 의하여 재료의 전기전도성이 변화하는 전왜성을 지니고 있기 때문에, 복합소재 공정을 활용하면 센서 및 전극재료에 유연성을 부여할 뿐만 아니라 다양한 기능적 특성을 부여할 수 있다. 따라서 CNT를 이용하여 다양한 종류의 센서를 개발하기 위한 시도가 계속되고 있다. 특히 CNT를 힘, 변형률 및 압력을 측정할 수 있는 센서로 개발하는 연구는 많은 진전이 있어왔는데, 초박막의 슬림형으로 제작이 가능하기 때문에 의류나 몸에 붙여서 신체의 활동 등을 모니터링 하는 웨어러블 디바이스용 스트레인 게이지나 바닥에 가해지는 압력을 측정하여 사람이나 동물의 동선 측정 또는 안전사고 예방수단 등에 사용하기 위한 다양한 응용제품으로도 사용되고 있다. CNT 이용 압력센서는 블루투스, BLE, Wifi 등의 근거리 통신망이나 Lora 등과 같은 중·장거리 사물 인터넷망과 결합한 응용제품으로 개발하는 경우 노인보호분야, 복지 분야, 운동 및 헬스케어분야, 환자관리 분야, 재난안전 분야 등 다양한 분야에서 폭넓게 사용될 수 있는 부품으로서 그 활용분야는 점점 더 넓어질 것으로 전망되고 있다.On the other hand, since carbon nanotubes (CNT) have electrostrictive properties that change the electrical conductivity of the material due to deformation, using the composite material process not only gives flexibility to the sensor and electrode material, but also provides various functional properties. can be given Therefore, attempts are being made to develop various types of sensors using CNTs. In particular, there has been a lot of progress in research on developing CNTs as sensors that can measure force, strain, and pressure. Since it can be manufactured in an ultra-thin and slim form, it is a strain for wearable devices that can be attached to clothing or the body to monitor body activity. It is also used in various applications to measure the pressure applied to the gauge or the floor and use it to measure the movement of people or animals or to prevent safety accidents. If CNT-use pressure sensor is developed as an application product combined with a local area network such as Bluetooth, BLE, Wifi, or a medium/long-distance Internet of Things network such as Lora, the elderly protection field, welfare field, exercise and health care field, patient management field, disaster As a part that can be widely used in various fields such as the safety field, the field of application is expected to expand more and more.

CNT코팅막 위에 전극을 형성하여 제작하는, CNT코팅막을 이용한 압력센서는, 전극이 압력에 의하여 눌려지면 전극과 CNT코팅막이 접촉하게 되어 전극을 통하여 CNT코팅막으로 전류가 흐르게 되며, CNT코팅막의 전기저항을 통하여 흐르는 전류의 값을 측정하여 압력을 감지하게 되는 원리로 작동된다. 따라서 CNT코팅막 이용 압력센서는, CNT코팅막과 전극 사이에 일정한 간극이 계속하여 유지되어야 한다. 그리고 압력이 가해지면 전극이 CNT코팅막과 접촉되도록 하고, 가해지던 압력이 중단되면 전극은 탄성에 의하여 다시 복원되어 전극과 CNT코팅막 사이는 다시 간극이 유지되도록 하는 구조이어야 한다. In a pressure sensor using a CNT coating film, which is manufactured by forming an electrode on the CNT coating film, when the electrode is pressed by pressure, the electrode and the CNT coating film come into contact, and a current flows to the CNT coating film through the electrode, and the electrical resistance of the CNT coating film is It operates on the principle of sensing the pressure by measuring the value of the current flowing through it. Therefore, in the pressure sensor using the CNT coating film, a certain gap must be continuously maintained between the CNT coating film and the electrode. And when pressure is applied, the electrode is brought into contact with the CNT coating film, and when the applied pressure is stopped, the electrode is restored by elasticity again, so that the gap between the electrode and the CNT coating film is maintained again.

그러나 전극의 길이가 너무 길어지면 탄성과 복원력이 약해지기 때문에 전극의 길이를 짧게 할 수 밖에 없는 제약이 있기 때문에 도 1에서 보는 바와 같이 폭이 좁은 띠 형태로 제조할 수밖에 없었다. 따라서 압력감지 면적을 넓게 해야 하는 응용제품을 만들기 위해서는 도 2에서 보는 바와 같이 띠 형태의 압력센서 여러 개를 병렬로 붙여서 제작할 수밖에 없었다. 그러므로 각각의 띠에 형성된 전극들은 서로 병렬 연결해야 하고 이에 따른 연결선이 필요하기 때문에 응용제품의 제작공정이 복잡해지고 제작비용이 많이 소요되는 문제점이 있어왔다. 뿐만 아니라 응용제품 내부에 연결선을 위한 공간 등이 필요하기 때문에 어쩔 수 없이 제품이 더 커지게 되는 문제점이 있고, 연결선이 길고 복잡해질 뿐만 아니라 연결점이 많아지기 때문에 연결선이나 연결점에서 단선 또는 접촉 불량 등이 자주 발생하여 제품의 수명이 짧아지고 감지오류 등이 빈번하게 일어나는 문제점이 있어왔다.However, if the length of the electrode is too long, elasticity and restoring force are weakened, so there is a constraint to shorten the length of the electrode. Therefore, in order to make an application product requiring a wide pressure sensing area, as shown in FIG. 2 , several band-shaped pressure sensors were attached in parallel to manufacture. Therefore, since the electrodes formed on each band need to be connected in parallel with each other and a corresponding connecting line is required, there has been a problem in that the manufacturing process of the applied product is complicated and the manufacturing cost is high. In addition, there is a problem that the product inevitably becomes larger because space for the connecting line is required inside the applied product, and the connecting line becomes long and complicated and the number of connecting points increases, so disconnection or poor contact at the connecting line or at the connecting point occurs. There have been problems such as frequent occurrences, shortening the lifespan of the product, and frequent occurrence of detection errors.

상술한 문제점을 해결하기 위하여 창안된, 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서는, 폭이 넓고 대면적으로 제작이 가능한 CNT코팅막 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. A large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the present invention, devised to solve the above-mentioned problems, aims to provide a CNT-coated pressure sensor that can be manufactured in a wide and large area.

본 발명의 또 다른 목적은 폭이 넓은 압력센서로 함에 따라 전극의 길이가 길어지더라도, 압력센서에 가해지는 압력에 민감하게 반응하여 전극이 CNT코팅막에 잘 접촉되도록 하여 압력을 감지한 뒤, 압력이 제거되면 다시 신속하게 복원되어 간극이 잘 유지될 수 있도록 함으로써 검출오류가 없을 뿐만 아니라 민감하고 신속하게 압력을 감지할 수 있는 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. Another object of the present invention is that even if the length of the electrode is increased by using a wide pressure sensor, it responds sensitively to the pressure applied to the pressure sensor so that the electrode is in good contact with the CNT coating film to sense the pressure, An object of the present invention is to provide a pressure sensor capable of detecting pressure sensitively and quickly as well as not having a detection error by allowing the gap to be well maintained by being quickly restored again when this is removed.

본 발명의 또 다른 목적은, 넓은 면적에 대한 압력감지가 필요한 응용제품을 만들더라도 하나의 센서만으로 넓은 면적을 감지할 수 있고, 내부에서 센서 간에 서로 연결해주는 연결선이 필요없는 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a pressure sensor that can sense a large area with only one sensor and does not require a connection line connecting the sensors to each other even if an application product requiring pressure sensing for a large area is made. The purpose.

본 발명의 또 다른 목적은 표면이 불균일하거나 푹신푹신한 연질의 바닥 위에 압력센서를 설치한다 하더라도 압력센서에 가해지는 압력이 전극에 효과적으로 전달되어 전극이 CNT코팅막에 잘 접촉될 수 있는 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a pressure sensor in which the pressure applied to the pressure sensor is effectively transmitted to the electrode even if the pressure sensor is installed on a non-uniform surface or on a soft floor, so that the electrode can be in good contact with the CNT coating film aim to

본 발명의 또 다른 목적은 사람이나 동물의 발바닥과 같은 연질의 물체에 의한 압력이 가해지더라도, 압력센서에 가해지는 압력이 전극에 효과적으로 전달되어 전극이 CNT코팅막에 잘 접촉될 수 있는 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a pressure sensor in which the pressure applied to the pressure sensor is effectively transmitted to the electrode even when pressure is applied by a soft object such as the sole of a person or an animal, so that the electrode can be in good contact with the CNT coating film aim to do

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. There will be.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판층; 상기 기판층 위에 배치되는 CNT컴파운드층; 상기 CNT컴파운드층 위에 배치되는 제1탄성메시망; 상기 제1탄성메시망 위에 일정간격을 두고 서로 평행하게 반복하여 배치되는 복수의 제1전극; 상기 복수의 제1전극 각각을 교번 연결시켜 서로 대향되는 쌍으로 만드는 한 쌍의 제2전극; 상기 제1전극 및 상기 제2전극 위에 배치되는 제2탄성메시망; 및 상기 제2탄성메시망 위에 형성되는 라미네이트층;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서로 하는 것이 바람직하다. In order to achieve the above object, the present invention, a substrate layer; a CNT compound layer disposed on the substrate layer; a first elastic mesh network disposed on the CNT compound layer; a plurality of first electrodes repeatedly arranged in parallel with each other at regular intervals on the first elastic mesh; a pair of second electrodes configured to be opposite to each other by alternately connecting each of the plurality of first electrodes; a second elastic mesh network disposed on the first electrode and the second electrode; and a laminate layer formed on the second elastic mesh network.

또한 상술한 특징들에 더하여, 상기 기판층 아래에 배치되는 제1경질층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서로 하거나 이에 더하여 상기 라미네이트층과 상기 제2탄성메시망 사이에 배치되는 제2경질층;이 더 포함되는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서로 하는 것도 가능하다.Also, in addition to the above-described characteristics, a first hard layer disposed under the substrate layer; a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it further comprises, or in addition to, the laminate layer and the first It is also possible to make a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it further includes; a second hard layer disposed between the two elastic mesh networks.

또한 이러한 특징들 모두에 더하여, 상기 제1탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x)인 제1메시선 각각은 상기 제1전극 각각과 직각이며, 너비방향(y) 메시선인 제2메시선 각각의 사이에는 상기 제1전극 각각이 위치하도록 배치되고, 상기 제2탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x)인 제3메시선 각각은, 너비방향(y) 메시선인 제4메시선 각각의 아래에서 직교하면서 연결되어 있으며, 상기 제3메시선 각각은 상기 제1메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되고, 상기 제4메시선 각각은 상기 제2메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서로 하는 것이 바람직하다.In addition to all of these features, each of the first mesh lines in the longitudinal direction (x) of the mesh lines constituting the first elastic mesh network is perpendicular to each of the first electrodes, and the second mesh lines in the width direction (y) are mesh lines. Each of the first electrodes is disposed between each of the mesh lines, and among the mesh lines constituting the second elastic mesh, each of the third mesh lines in the longitudinal direction (x) is a second mesh line in the width direction (y). They are orthogonally connected under each of the 4 mesh lines, each of the third mesh lines is disposed between each of the first mesh lines, and each of the fourth mesh lines is between each of the second mesh lines. It is preferable to use a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it is arranged to be positioned.

뿐만 아니라 이러한 특징들 모두에 더하여 상기 제1탄성메시망은 연질이고 절연성질을 갖는 탄성소재로 되어 있으며, 상기 제2탄성메시망은 경질의 탄성소재로 되어 있는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서로 하는 것도 가능하다. In addition to all these features, the first elastic mesh network is made of a soft and insulating elastic material, and the second elastic mesh network is made of a hard elastic material. It is also possible to use a large-area CNT pressure sensor with

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서는, CNT컴파운드층 위에 배치되는, 탄성 재질로 된 메시(mesh)망인 제1탄성메시망을 가지고 있고 제1탄성메시망 위에 제1전극이 배치되는 구조이며, 제1전극에 압력이 가해지면, 제1탄성메시망이 눌려지면서 제1전극이, 제1탄성메시망을 구성하는 메시선 사이로 CNT컴파운드층과 접촉하게 되며, 압력이 제거되면 제1탄성메시망의 탄성에 의하여 CNT컴파운드층과 제1전극 사이의 간극이 복원되는 구조이기 때문에 대면적으로 센서를 만들 수 있을 뿐만 아니라, 센서 위의 어느 위치에서나 압력을 감지할 수 있는 효과가 있다. 따라서 대면적 압력센서 응용제품을 제작할 때 공정이 단순해지므로 제작시간 및 제작인건비를 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the present invention has a first elastic mesh network, which is a mesh network made of an elastic material, disposed on the CNT compound layer, and the first elastic mesh It has a structure in which the first electrode is disposed on the mesh, and when pressure is applied to the first electrode, the first elastic mesh is pressed so that the first electrode is in contact with the CNT compound layer between the mesh lines constituting the first elastic mesh. Since the gap between the CNT compound layer and the first electrode is restored by the elasticity of the first elastic mesh when the pressure is removed, the sensor can be made with a large area, and pressure can be applied at any position on the sensor. There is a perceptible effect. Therefore, when manufacturing a large-area pressure sensor application product, the process is simplified, which has the effect of reducing manufacturing time and manufacturing labor cost.

뿐만 아니라 제1전극과 CNT컴파운드층 사이에 제1탄성메시망을 포함하기 때문에 센서의 폭이 커져서 전극의 길이가 아무리 길어지더라도, 제1탄성메시망의 메시선들이 일정간격으로 제1전극을 지지할 수 있고, 이에 따라 평상시에는 제1전극과 CNT컴파운드층 사이의 간극이 잘 유지될 수 있게 된다. 또한 메시선들은 일정간격을 가지고 있고 제1전극은 그 간격 사이에 떠 있는 상태이기 때문에 압력이 가해지는 경우 제1전극이 아래로 내려가면서 CNT코팅막에 원활하게 잘 접촉할 뿐만 아니라, 압력이 제거되면 제1탄성메시망과 제1전극의 탄성에 의하여 제1전극이 원래위치로 다시 복원되어 간극이 잘 유지될 수 있는 효과가 있다. In addition, since the first elastic mesh is included between the first electrode and the CNT compound layer, no matter how long the length of the electrode is due to the increase in the width of the sensor, the mesh lines of the first elastic mesh connect the first electrode at regular intervals. can be supported, and thus the gap between the first electrode and the CNT compound layer can be well maintained in normal times. In addition, since the mesh wires have a certain interval and the first electrode is in a state of floating between the intervals, when pressure is applied, the first electrode goes down to smoothly contact the CNT coating film, and when the pressure is removed, the first electrode goes down. The first electrode is restored to its original position by the elasticity of the first elastic mesh network and the first electrode, so that the gap can be well maintained.

그리고 폭이 넓은 광폭의 센서를 길이가 매우 길게 제작할 수 있기 때문에 필요한 만큼만 잘라서 사용하면, 하나의 센서로 대면적 압력센서 응용제품을 제작할 수 있는 효과가 있으며, 응용제품 내부에 하나의 센서밖에 없으므로 내부에서 센서 상호간에 서로 연결해주는 연결선이 필요치 않게 되며, 이에 따라 연결선 설치공간을 없앨 수 있는 효과가 있다.And since a wide sensor can be manufactured to be very long, if you cut it as needed and use it, you can manufacture a large-area pressure sensor application with one sensor. There is no need for a connection line that connects the sensors to each other in the sensor, thereby eliminating the space for installing the connection line.

또한 제1전극 및 제2전극과 라미네이트층 사이에 배치되는 제2탄성메시망을 포함하기 때문에 압력센서의 표면에 압력이 가해졌을 때 제2탄성메시망이 제1전극을 누르는 구조이다. 따라서 제2탄성메시망이 제1전극을 누르는 힘에 의하여 제1전극이 휘어지고, 이에 따라 제1탄성메시망의 메시선 사이로 제1전극과 CNT컴파운드층이 용이하게 접촉할 수 있는 효과가 있다.In addition, since it includes the first electrode and the second elastic mesh network disposed between the second electrode and the laminate layer, the second elastic mesh network presses the first electrode when pressure is applied to the surface of the pressure sensor. Therefore, the first electrode is bent by the force of the second elastic mesh network pressing the first electrode, and accordingly, there is an effect that the first electrode and the CNT compound layer can easily contact between the mesh lines of the first elastic mesh network. .

그리고 제2탄성메시망은 경질 탄성소재이기 때문에 압력이 가해졌을 때 휘어지면서 제1전극을 강하게 누를 수 있는 반면, 압력이 제거되면 휘었던 부분이 탄성에 의하여 바로 복원될 수 있으며, 제1탄성메시망은 연질의 탄성소재이기 때문에 제2탄성메시망에 의하여 제1전극이 눌려질 때 그 압력에 의하여 제1탄성메시망의 메시선이 수축되면서 제1전극과 CNT컴파운드층과의 간극을 줄여서 서로 접촉될 수 있게 될 뿐만 아니라, 압력이 제거되면 제1탄성메시망과 제1전극의 탄성에 의하여 제1전극이 원래위치로 바로 복원될 수 있게 된다. 즉 본 발명은 제1탄성메시망과 제2탄성메시망으로 인하여 압력센서에 압력이 인가될 때는 제1전극과 CNT컴파운드층이 용이하게 접촉하게 되어 정확한 압력감지를 함과 동시에 압력이 제거된 후에는 원래위치로 신속하게 복원되도록 하는 등 압력감지의 정확성과 신속성을 높일 수 있는 효과가 있다. And since the second elastic mesh is a hard elastic material, it is bent when pressure is applied and can strongly press the first electrode, whereas when the pressure is removed, the bent portion can be immediately restored by elasticity, and the first elastic mesh Since the mesh is a soft elastic material, when the first electrode is pressed by the second elastic mesh network, the mesh wire of the first elastic mesh network is contracted by the pressure, thereby reducing the gap between the first electrode and the CNT compound layer. In addition to being in contact with each other, when the pressure is removed, the first electrode can be immediately restored to its original position by the elasticity of the first elastic mesh network and the first electrode. That is, in the present invention, when pressure is applied to the pressure sensor due to the first elastic mesh network and the second elastic mesh network, the first electrode and the CNT compound layer easily come into contact with each other to accurately sense the pressure and at the same time after the pressure is removed. This has the effect of increasing the accuracy and speed of pressure sensing by allowing it to be quickly restored to its original position.

그리고 제1탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x방향)의 메시선인 제1메시선은 제1전극과 직각이며, 너비방향(y방향) 메시선인 제2메시선 각각의 사이에는 제1전극 각각이 위치하도록 배치되고, 제2탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x방향)의 메시선인 제3메시선은 너비방향(y방향) 메시선인 제4메시선의 아래에서 직교하면서 연결되어 있으며, 제3메시선 각각은 제1메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되고, 제4메시선 각각은 제2메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되어 있는 등 제1전극과 제1탄성메시망의 너비방향 메시선인 제2메시선은 서로 엇갈리는 구조로 되어 있는 반면, 제2탄성메시망의 너비방향 메시선인 제4메시선은 제1전극과 겹치는 구조로 되어 있기 때문에 제2탄성메시망에 가해지는 압력이 제1전극에 정확하게 전달되어 제1전극이 제1탄성메시망의 메시선 사이로 휘어지면서 CNT컴파운드층과 용이하게 접촉할 수 있는 효과가 있다. And, among the mesh lines constituting the first elastic mesh network, a first mesh line that is a mesh line in the longitudinal direction (x-direction) is perpendicular to the first electrode, and a second mesh line is a second mesh line that is a mesh line in the width direction (y-direction) between each of the mesh lines. Each of the first electrodes is disposed, and among the mesh lines constituting the second elastic mesh, a third mesh line that is a mesh line in the longitudinal direction (x-direction) is orthogonal below a fourth mesh line that is a mesh line in the width direction (y-direction). are connected, each of the third mesh lines is disposed between each of the first mesh lines, each of the fourth mesh lines is disposed between each of the second mesh lines, etc. The second mesh line, which is the mesh line in the width direction of the elastic mesh, has a structure that is crossed with each other, whereas the fourth mesh line, which is the mesh line in the width direction of the second elastic mesh network, has a structure overlapping with the first electrode. As the pressure applied to the mesh is accurately transmitted to the first electrode, the first electrode is bent between the mesh lines of the first elastic mesh network, thereby making it possible to easily contact the CNT compound layer.

뿐만 아니라, 기판층 아래에는 제1경질층이 배치되기 때문에 바닥면이 고르지 못하거나 푹신푹신한 연질 바닥의 경우에도 밑에서 단단하게 받쳐주므로 제1탄성메시망의 메시선 사이로 제1전극과 CNT컴파운드층이 용이하게 접촉될 수 있는 효과가 있으며, 라미네이트층 위에 또는 라미네이트층과 제2탄성메시망 사이에는 제2경질층이 배치되기 때문에 맨발로 밟는 등의 부드러운 물체의 압력에 의해서도 제1전극과 CNT컴파운드층이 용이하게 접촉될 수 있는 효과가 있다.In addition, since the first hard layer is disposed under the substrate layer, the first electrode and the CNT compound layer are interposed between the mesh lines of the first elastic mesh, so that even in the case of an uneven or soft floor, the first electrode and the CNT compound layer are firmly supported from the bottom. Since the second hard layer is disposed on the laminate layer or between the laminate layer and the second elastic mesh, even under the pressure of a soft object such as barefoot, the first electrode and the CNT compound layer There is an effect that this can be easily contacted.

도 1은 종래기술에 의한 CNT압력센서에 대한 사시도(a), 평면도(b) 및 단면도(c)를 도시한 것이다.
도 2는 종래기술에 의한 CNT압력센서를 이용하여 대면적 압력센서 응용제품을 제작하는 경우를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 분해사시도를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 평면도를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 단면도를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 작동과정을 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 폭을 더 광폭으로 하는 경우에 대한 평면도를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 분해사시도를 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 단면도를 도시한 것이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 분해사시도를 도시한 것이다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 단면도를 도시한 것이다.1 shows a perspective view (a), a plan view (b) and a cross-sectional view (c) of a CNT pressure sensor according to the prior art.
Figure 2 shows a case of manufacturing a large-area pressure sensor application using a CNT pressure sensor according to the prior art.
3 is an exploded perspective view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a first embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a first embodiment of the present invention.
Figure 6 shows the operation process of the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the first embodiment of the present invention.
7 is a plan view showing a case in which the width of the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the first embodiment of the present invention is made wider.
8 is an exploded perspective view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a second embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a second embodiment of the present invention.
10 is an exploded perspective view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a third embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a third embodiment of the present invention.

이하에서 상술한 목적과 특징이 분명해지도록 본 발명을 상세하게 설명할 것이며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련한 공지기술 중 이미 그 기술 분야에 익히 알려져 있는 것으로서, 그 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail so that the above-described objects and features become clear, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to easily implement the technical idea of the present invention. In addition, in the description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention as it is already well known in the technical field among the known technologies related to the present invention, the detailed description is given. to be omitted.

아울러, 본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며 이 경우는 해당되는 발명의 설명부분에서 상세히 그 의미를 기재하였으므로, 단순한 용어의 명칭이 아닌 용어가 가지는 의미로서 본 발명을 파악하여야 함을 밝혀두고자 한다. 실시 예들에 대한 설명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 실시 예들을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. In addition, the terms used in the present invention have been selected as widely used general terms as possible, but in certain cases, there are also terms arbitrarily selected by the applicant. It is intended to clarify that the present invention should be understood as the meaning of the term, not the name. Terms used in the description of the embodiments are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the embodiments. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

실시 예들은 여러 가지 형태로 변경을 가할 수 있고 다양한 부가적 실시 예들을 가질 수 있는데, 여기에서는 특정한 실시 예들이 도면에 표시되고 관련된 상세한 설명이 기재되어 있다. 그러나 이는 실시 예들을 특정한 형태에 한정하려는 것이 아니며, 실시 예들의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경이나 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 할 것이다. Embodiments may be modified in various forms and may have various additional embodiments, in which specific embodiments are shown in the drawings and related detailed descriptions are given. However, this is not intended to limit the embodiments to specific forms, and it should be understood to include all changes or equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the embodiments.

다양한 실시 예들에 대한 설명 가운데 “제1”, “제2”, “첫째” 또는“둘째”등의 표현들이 실시 예들의 다양한 구성요소들을 수식할 수 있지만, 해당 구성요소들을 한정하지 않는다. 예를 들어, 상기 표현들은 해당 구성요소들의 순서 및/또는 중요도 등을 한정하지 않는다. 상기 표현들은 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분 짓기 위해 사용될 수 있다. In the description of various embodiments, expressions such as “first”, “second”, “first” or “second” may modify various components of the embodiments, but do not limit the corresponding components. For example, the above expressions do not limit the order and/or importance of corresponding components. The above expressions may be used to distinguish one component from another.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다. 먼저 도 1은 종래기술에 의한 CNT압력센서에 대한 사시도(a), 평면도(b) 및 단면도(c)를 도시한 것이며, 도 2는 종래기술에 의한 CNT압력센서를 이용하여 대면적 압력센서 응용제품을 제작하는 경우를 도시한 것이다. 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이 종래기술에 의한 CNT압력센서(10)는 일정 폭(W)을 가진 띠 모양의 필름층(11)위에 CNT코팅층(12)을 형성하고, 상기 CNT코팅층(12) 위에, 상기 CNT코팅층(12)을 너비방향으로 가로지르는 한 쌍의 제1전극(14)을 반복하여 형성시키되, 상기 제1전극(14)과 상기 CNT코팅층(12)과의 사이에 일정한 간극을 유지시키도록 하고 있다. 상기 제1전극(14)과 상기 CNT코팅층(12)과의 사이에 일정한 간극을 유지하는 방법으로는, 절연재질로 된 한 쌍의 스페이서층(13)을 상기 CNT코팅층(12) 위에 너비방향 양단 쪽에 형성되도록 한 후, 상기 제1전극(14)이 한 쪽의 스페이서층(13)으로부터 다른 쪽의 스페이서층(13)으로 가로지르는 다리(Bridge)형상이 되도록 하는 방법을 사용하기도 한다. 그리고 한 쌍의 제1전극(14) 각각을 서로 연결하는 한 쌍의 제2전극(15)을 형성한 뒤 맨 위에 라미네이터층(16)을 형성하도록 하는 것이다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. First, FIG. 1 shows a perspective view (a), a plan view (b) and a cross-sectional view (c) of a CNT pressure sensor according to the prior art, and FIG. 2 is a large-area pressure sensor application using a CNT pressure sensor according to the prior art. A case in which a product is manufactured is shown. 1 and 2, the CNT pressure sensor 10 according to the prior art forms a CNT coating layer 12 on the band-shaped film layer 11 having a predetermined width W, and the CNT coating layer 12 ), a pair of first electrodes 14 that cross the CNT coating layer 12 in the width direction are repeatedly formed, and a certain gap is formed between the first electrode 14 and the CNT coating layer 12 . is to be maintained. As a method of maintaining a constant gap between the first electrode 14 and the CNT coating layer 12, a pair of spacer layers 13 made of an insulating material are formed on the CNT coating layer 12 in the width direction at both ends. After forming on one side, a method of forming a bridge shape in which the first electrode 14 crosses from the spacer layer 13 on one side to the spacer layer 13 on the other side may be used. And after forming a pair of second electrodes 15 connecting each of the pair of first electrodes 14 to each other, the laminator layer 16 is formed on the top.

이와 같이 제조된 종래기술에 의한 CNT압력센서(10)는 상기 라미네이터층(16)에 압력이 가해져 눌려지면, 눌려지는 상기 라미네이터층(16)이 상기 제1전극(14)을 누르게 되고, 이에 따라 상기 제1전극(14)의 하면이 상기 CNT코팅층(12)의 상면에 닿게 되므로, 인접해있는 상기 한 쌍의 제1전극(14) 사이에는 상기 CNT코팅층(12)을 통하여 회로가 형성되고, 상기 한 쌍의 제2전극(15)을 통하여 상기 한 쌍의 제1전극(14)에 가해지는 전압에 의하여 상기 CNT코팅층(12)을 통하여 전류가 흐르게 되고, 압력센서의 센싱회로에서는 상기 한 쌍의 제2전극(15)을 통하여 흐르는 전류 값의 크기에 따라 압력센서에 압력이 가해졌는지의 여부를 판단하게 된다. 그리고 가해진 압력이 제거되면, 상기 제1전극(14)은 탄성에 의하여 복원되고, 이에 따라 상기 제1전극(14)과 상기 CNT코팅층(12)과의 사이에는 일정한 간극을 다시 유지할 수 있게 되고, 상기 한 쌍의 제2전극(15)에는 전류가 흐르지 않게 된다. When the CNT pressure sensor 10 according to the prior art manufactured as described above is pressed by applying pressure to the laminator layer 16, the pressed laminator layer 16 presses the first electrode 14, and accordingly Since the lower surface of the first electrode 14 comes into contact with the upper surface of the CNT coating layer 12, a circuit is formed between the pair of adjacent first electrodes 14 through the CNT coating layer 12, A current flows through the CNT coating layer 12 by the voltage applied to the pair of first electrodes 14 through the pair of second electrodes 15, and in the sensing circuit of the pressure sensor, the pair It is determined whether pressure is applied to the pressure sensor according to the magnitude of the current flowing through the second electrode 15 of the And when the applied pressure is removed, the first electrode 14 is restored by elasticity, and thus a certain gap can be maintained again between the first electrode 14 and the CNT coating layer 12, No current flows through the pair of second electrodes 15 .

이와 같은 종래기술에 의한 CNT압력센서(10)는 상기 제1전극(14)의 길이를 길게 하면 탄성이 부족하여 복원이 안되는 문제점이 생기며, 전극이 너무 길게 되면 평상시에도 상기 제1전극(14)의 자체 무게에 의하여 상기 제1전극(14)과 상기 CNT코팅층(12)과의 사이에는 접촉상태가 발생하게 되므로 압력센서로서의 기능이 상실된다. 따라서 종래기술에 의한 CNT압력센서(10)는 도 1(b)에서 보는 바와 같이 너비가 좁은 띠 모양으로 만들어야 한다. 다만, 길이방향으로는 얼마든지 길게 하여 필요에 따라 잘라서 사용할 수는 있다. 그러나 도 2에서 보는 바와 같이 폭이 넓은 대면적에서 압력감지가 필요한 응용제품(20)으로 만들기 위해서는 상기 CNT압력센서(10)를 평행하게 여러 줄을 붙여서 배치한 뒤 상기 제2전극(15) 사이를 연결선(21)으로 연결하여야 한다. 그러므로 종래기술에 의한 CNT압력센서(10)를 이용하여 폭이 넓은 대면적에서 압력감지가 필요한 응용제품(20)으로 만들려면 제품(20)의 제작공정이 복잡해지고 제작비용이 많이 소요되는 문제점이 있어왔다. 뿐만 아니라 응용제품(20) 내부에 상기 연결선(21)을 위한 공간 등이 필요하기 때문에 응용제품(20)이 어쩔 수 없이 커지게 되는 문제점이 있고, 상기 연결선(21)이 길고 복잡해질 뿐만 아니라 연결점이 많아지기 때문에 연결선이나 연결점에서 단선 또는 접촉 불량 등이 자주 발생하여 응용제품(20)의 수명이 짧아지고 감지오류 등이 빈번하게 일어나는 문제점이 있어왔다.In the CNT pressure sensor 10 according to the prior art, when the length of the first electrode 14 is lengthened, there is a problem that it cannot be restored due to insufficient elasticity. Since a contact state is generated between the first electrode 14 and the CNT coating layer 12 due to its own weight, the function as a pressure sensor is lost. Therefore, the CNT pressure sensor 10 according to the prior art should be made in a narrow band shape as shown in FIG. 1(b). However, it can be lengthened as much as possible in the longitudinal direction and cut as needed. However, as shown in FIG. 2 , in order to make an application product 20 that requires pressure sensing in a large area, the CNT pressure sensor 10 is placed in parallel with several rows and then placed between the second electrodes 15 . should be connected with the connecting wire (21). Therefore, in order to use the CNT pressure sensor 10 according to the prior art to make the application product 20 that requires pressure sensing in a wide area, the manufacturing process of the product 20 is complicated and the manufacturing cost is high. there has been In addition, there is a problem in that the application product 20 is inevitably enlarged because a space for the connection line 21 is required inside the application product 20 , and the connection line 21 is long and complicated as well as the connection point. Due to this increase, disconnection or poor contact occurs frequently at the connection line or at the connection point, so that the life of the application product 20 is shortened, and there is a problem that a detection error occurs frequently.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 제1실시예가 도 3 내지 도 7에 도시되어 있다. 먼저 도 3은 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 분해사시도를 도시한 것이며, 도 4는 본 발명 제1실시예의 평면도를 도시한 것이고, 도 5는 본 발명 제1실시예의 단면도 중 도 4에서 A방향에서 본 단면도(도 5(a))와 B방향에서 본 단면도(도 5(b))가 도시되어 있다. 도 3 내지 도 5에서 보는 바와 같이 본 발명의 제1실시예는 기판층(100)과 그 위에 배치되는 CNT컴파운드층(200)을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 기판층(100)과 상기 CNT컴파운드층(200)은 별도의 층으로 적층되기 보다는 상기 기판층(100) 위에 CNT컴파운드 재료를 코팅하는 방법에 의하여 적층하도록 하는 것이 더욱 바람직하다. 상기 기판층(100)으로는 PE(Polyethylene) 등과 같은 플라스틱 시트를 사용하는 것이 바람직하다. A first embodiment of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the present invention devised to solve such a problem is shown in FIGS. 3 to 7 . First, Figure 3 shows an exploded perspective view of a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to a first embodiment of the present invention, Figure 4 is a plan view of the first embodiment of the present invention, Figure 5 is Of the cross-sectional views of the first embodiment of the present invention, a cross-sectional view viewed from the direction A (Fig. 5(a)) and a cross-sectional view viewed from the direction B (Fig. 5(b)) are shown in Fig. 4 . 3 to 5, the first embodiment of the present invention preferably includes a substrate layer 100 and a CNT compound layer 200 disposed thereon. It is more preferable that the substrate layer 100 and the CNT compound layer 200 be laminated by a method of coating the CNT compound material on the substrate layer 100 rather than being laminated as separate layers. It is preferable to use a plastic sheet such as PE (polyethylene) as the substrate layer 100 .

그리고 상기 CNT컴파운드층(200) 위에는 제1탄성메시망(300)이 배치되도록 한 뒤 상기 제1탄성메시망(300) 위에 복수의 제1전극(400)을 형성하도록 하는 것이 바람직한데, 상기 복수의 제1전극(400) 각각은 도 3 및 도 4에서 보는 바와 같이 상기 CNT컴파운드층(200) 위를 너비방향으로 가로지르며, 일정간격을 두고 서로 평행하게 반복하여 배치되는 띠 형상으로 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 복수의 제1전극(400) 각각은, 도 4에서 보는 바와 같이 상기 탄성메시망(300)을 구성하는 메시선 중 길이방향(x1 방향) 메시선인 제1메시선(300a)과는 직교되도록 하고, 너비방향(y1 방향) 메시선인 제2메시선(300b)과는 서로 평행하되, 겹치지 아니하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 더욱 바람직하게는 상기 복수의 제1전극(400) 각각은 상기 제2메시선(300b) 각각의 사이마다 중앙에 배치되도록 하는 것이 바람직하다. 즉 상기 제2메시선(300b) 각각의 사이마다 중앙에 하나씩의 제1전극(400)이 배치되도록 하는 것이 바람직하다. And it is preferable to form a plurality of first electrodes 400 on the first elastic mesh network 300 after the first elastic mesh network 300 is disposed on the CNT compound layer 200 , the plurality of As shown in FIGS. 3 and 4, each of the first electrodes 400 crosses over the CNT compound layer 200 in the width direction, and preferably has a band shape that is repeatedly arranged in parallel with each other at regular intervals. do. And each of the plurality of first electrodes 400 is orthogonal to the first mesh line 300a, which is a longitudinal (x1 direction) mesh line among the mesh lines constituting the elastic mesh network 300 as shown in FIG. 4 . It is preferable to be parallel to the second mesh line 300b, which is a mesh line in the width direction (y1 direction), but not overlap. And more preferably, each of the plurality of first electrodes 400 is preferably arranged at the center between each of the second mesh lines 300b. That is, it is preferable to arrange one first electrode 400 at the center between each of the second mesh lines 300b.

따라서 상기 탄성메시망(300)은 상기 복수의 제1전극(400) 각각을 상기 CNT컴파운드층(200)으로부터 일정한 간극을 유지하도록 하여 평상시에는 상기 복수의 제1전극(400) 각각이 상기 CNT컴파운드층(200)에 접촉하지 않도록 하는 역할을 하는 것인데, 상기 복수의 제1전극(400) 각각이 상기 탄성메시망(300)을 구성하는 메시선 중 상기 제1메시선(300a)과 일정간격으로 직교하게 되므로 도 5(a)에서 보듯이 상기 복수의 제1전극(400) 각각에 대하여 상기 제1메시선(300a)은 마치 다리(bridge)의 교각역할을 하여 상판역할을 하는 상기 복수의 제1전극(400) 각각을 지지하게 되는 것이다. 그러므로 본 발명에서는 상기 복수의 제1전극(400)이 길어지더라도 항상 상기 CNT컴파운드층(200)과 일정한 간극을 유지할 수 있게 되는 것이다. Therefore, the elastic mesh network 300 maintains a predetermined gap between each of the plurality of first electrodes 400 from the CNT compound layer 200, so that each of the plurality of first electrodes 400 is normally formed with the CNT compound. It serves to prevent contact with the layer 200 , and each of the plurality of first electrodes 400 is spaced apart from the first mesh line 300a among the mesh lines constituting the elastic mesh network 300 . Since they are orthogonal to each other, as shown in FIG. 5( a ), the first mesh line 300a for each of the plurality of first electrodes 400 acts as a bridge pier and serves as a top plate. Each of the first electrodes 400 is supported. Therefore, in the present invention, even if the plurality of first electrodes 400 are long, it is possible to always maintain a constant gap with the CNT compound layer 200 .

그리고 상기 탄성메시망(300)은 절연성능을 가지도록 하여 상기 복수의 제1전극(400) 각각과 상기 CNT컴파운드층(200)과의 절연상태를 유지시키도록 함과 동시에 연질소재로서 적절한 탄성을 가지도록 하여, 상기 복수의 제1전극(400) 중 하나 이상에 압력이 가해져서 눌러졌을 때 상기 탄성메시망(300)의 메시선이 눌려지는 압력에 의하여 축소되도록 하고, 압력이 제거되었을 때는 축소되었던 형상이 다시 복원되어 원형으로 돌아가도록 하는 것이 바람직하다. And the elastic mesh network 300 has insulating performance so as to maintain an insulating state between each of the plurality of first electrodes 400 and the CNT compound layer 200, and at the same time to have appropriate elasticity as a soft material. When a pressure is applied and pressed to one or more of the plurality of first electrodes 400, the mesh wire of the elastic mesh network 300 is reduced by the pressed pressure, and reduced when the pressure is removed. It is desirable to restore the original shape and return to the original shape.

한편 상기 복수의 제1전극(400) 위에는 상기 복수의 제1전극(400) 각각을 교번 연결시켜 서로 대향되는 쌍으로 만드는 한 쌍의 제2전극(500)이 배치되도록 하는 것이 바람직한데, 이를 위하여 상기 복수의 제1전극(400)은 도 3 및 도 4에서 보는 바와 같이 서로 교번하여 상기 한 쌍의 제2전극(500) 각각과 연결될 수 있도록, 양단이 서로 번갈아가며 단부에서 일정 간격을 가지도록 함으로써 약간씩 지그재그 방식으로 배치하는 것이 바람직하다. On the other hand, it is preferable that a pair of second electrodes 500 are disposed on the plurality of first electrodes 400 by alternately connecting each of the plurality of first electrodes 400 to form a pair opposite to each other. As shown in FIGS. 3 and 4 , the plurality of first electrodes 400 are alternately connected to each other and connected to each of the pair of second electrodes 500 so that both ends thereof are alternately spaced apart from each other at the ends. By doing so, it is preferable to arrange it in a zigzag manner little by little.

그리고 상기 복수의 제1전극(400) 및 상기 한 쌍의 제2전극(500) 위에는 제2탄성메시망(600)을 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 이와 더불어 상기 제2탄성메시망(600)을 구성하는 메시선 중 길이방향(x2 방향)인 제3메시선(600a) 각각은, 너비방향(y2 방향) 메시선인 제4메시선(600b) 각각의 아래에서 직교하면서 연결되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제1탄성메시망(300)의 경우 상기 제1메시선(300a)과 상기 제2메시선(300b)이 같은 높이에서 서로 십자형으로 연결된 1층 구조인데 비하여, 상기 제2탄성메시망(600)의 경우에는 상기 제4메시선(600b)은 위에 있고, 상기 제3메시선(600a)은 밑에 있는 2층 구조이며, 직각으로 교차되는 지점에서 상기 제3메시선(600a)의 윗부분이 상기 제4메시선(600b)의 아랫부분에 접착되어 연결되도록 하는 것이다. And it is preferable to include a second elastic mesh network 600 on the plurality of first electrodes 400 and the pair of second electrodes 500 . In addition, each of the third mesh lines 600a in the longitudinal direction (x2 direction) of the mesh lines constituting the second elastic mesh network 600 is, respectively, the fourth mesh lines 600b which are mesh lines in the width direction (y2 direction). It is preferable to connect orthogonally below. That is, in the case of the first elastic mesh network 300 , the first mesh line 300a and the second mesh line 300b have a one-layer structure connected to each other in a cross shape at the same height, whereas the second elastic mesh network In the case of 600, the fourth mesh line 600b is above and the third mesh line 600a is below the two-layer structure, and the upper part of the third mesh line 600a is crossed at right angles. This is to be bonded and connected to the lower portion of the fourth mesh line 600b.

또한 상기 제3메시선(600a) 각각은 상기 제1메시선(300a) 각각의 사이에 위치하도록 배치되고, 상기 제4메시선(600b) 각각은 상기 제2메시선(300b) 각각의 사이에 위치하도록 배치하는 것이 바람직하다. 즉 도 4에서 보듯이 상기 제1탄성메시망(300)에서 상기 제1메시선(300a) 및 상기 제2메시선(300b)의 교차점들은 상기 제2탄성메시망(600)에서 상기 제3메시선(600a) 및 제4메시선(600b)으로 이루어진 사각형들의 중앙에 위치하며, 상기 제2탄성메시망(600)에서 상기 제3메시선(600a) 및 상기 제4메시선(600b)의 교차점들은 상기 제1탄성메시망(300)에서 상기 제1메시선(300a) 및 제2메시선(300b)으로 이루어진 사각형들의 중앙에 위치하도록 서로 엇갈리게 배치하는 것이다. 이렇게 하는 경우 상기 제4메시선(600b) 각각은 상기 제1전극(400) 각각의 위에 위치하게 되며, 상기 제3메시선(600a) 각각은 상기 제1전극(400) 각각의 위에서 직교하되, 상기 제1메시선(300a) 사이의 중앙에 위치하게 되므로, 상기 제4메시선(600b)에 압력이 가해질 때 밑에 있는 상기 제3메시선(600a)을 누르게 되고, 상기 제3메시선(600a)이 눌려지면 상기 제1전극(400)을 누르게 된다. 그리고 상기 제1전극(400)은 상기 제1메시선(300a) 사이의 중앙부분에서 휘어져서 상기 CNT컴파운드층(200)과 접촉할 수 있게 된다. 이에 관한 상세한 내용은 도 6을 참조하는 설명에서 후술하기로 한다. In addition, each of the third mesh lines 600a is disposed to be positioned between each of the first mesh lines 300a, and each of the fourth mesh lines 600b is disposed between each of the second mesh lines 300b. It is preferable to arrange it so that it is located. That is, as shown in FIG. 4 , the intersections of the first mesh line 300a and the second mesh line 300b in the first elastic mesh network 300 are the third mesh in the second elastic mesh network 600 . It is located in the center of the rectangles formed by the gaze 600a and the fourth mesh line 600b, and the intersection point of the third mesh line 600a and the fourth mesh line 600b in the second elastic mesh network 600 . In the first elastic mesh network 300, the first mesh line 300a and the second mesh line 300b are arranged to be alternately arranged so as to be located in the center of the squares. In this case, each of the fourth mesh lines 600b is positioned above each of the first electrodes 400, and each of the third mesh lines 600a is orthogonal to each of the first electrodes 400, Since it is located in the center between the first mesh lines 300a, when pressure is applied to the fourth mesh lines 600b, the lower third mesh lines 600a are pressed, and the third mesh lines 600a ) is pressed, the first electrode 400 is pressed. In addition, the first electrode 400 is bent at a central portion between the first mesh lines 300a to be in contact with the CNT compound layer 200 . Detailed information on this will be described later in the description with reference to FIG. 6 .

한편 상술한 바와 같이 상기 제1탄성메시망(300)은 연질이고 절연성질을 갖는 탄성소재로 하는 것이 바람직한데 비하여, 상기 제2탄성메시망(600)의 경우에는 경질의 탄성소재로 하는 것이 바람직하다. 즉 상기 제1탄성메시망(300)의 경우 압력을 받을 경우 압력을 받는 방향으로는 축소되고, 압력을 받는 방향과 직각인 방향으로 형태가 늘어나도록 하며, 압력이 없어졌을 때 다시 원형대로 복원되는 소재로 하는 것이 바람직하다. 그러나 상기 제2탄성메시망(600)의 경우에는 압력을 받을 경우 압력을 받는 방향으로는 휘어지기만 하고 축소되지는 않도록 하여 압력이 고스란히 전극에 전달되도록 하면서 압력이 없어졌을 때 다시 원형대로 복원되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 제2탄성메시망(600) 위에는 라미네이트 코팅을 통하여 라미네이트층(700)이 배치되도록 하는 것이 바람직하다. On the other hand, as described above, the first elastic mesh network 300 is preferably made of an elastic material having soft and insulating properties, whereas in the case of the second elastic mesh network 600, it is preferable to use a hard elastic material. do. That is, in the case of the first elastic mesh network 300, when the pressure is applied, it is reduced in the direction of receiving the pressure, the shape is increased in the direction perpendicular to the direction of receiving the pressure, and when the pressure is removed, it is restored to the original shape. It is preferable to use the material. However, in the case of the second elastic mesh network 600, when pressure is applied, it only bends in the direction of receiving pressure and does not shrink, so that the pressure is transmitted to the electrode as it is, and restored to the original shape when the pressure is removed. it is preferable And it is preferable that the laminate layer 700 is disposed on the second elastic mesh 600 through the laminate coating.

이상에서 설명한 본 발명 제1실시예에 의한, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서의 작동과정은 도 6에 도시되어 있다. 도 6(a)에서 보는 바와 같이 압력센서(50)에 대하여 압력이 가해지면, 상기 제2탄성메시망(600)은 경질의 탄성소재로 되어 있기 때문에, 도 6(b)에서 보는 바와 같이, 압력이 가해진 상기 제2탄성메시망(600) 중 상기 제4메시선(600b)은 아랫부분으로 휘어지게 되고 상기 제4메시선(600b)의 아래에 위치한 상기 제3메시선(600a)은 형태가 변형되지 않고 아래로 이동하면서 상기 제1전극(400)을 누르게 된다. 상기 제3메시선(600a)에 의하여 눌려지는 상기 제1전극(400) 또한 도 6(b)에서 보는 바와 같이 아랫부분으로 휘어지게 되는데, 상기 제1전극(400)이 아래로 휘어지면서 상기 제1탄성메시망(300) 중 상기 제1메시선(300a)을 누르게 되면 상기 제1탄성메시망(300)은 연질의 탄성절연체로서 탄성을 가지고 있기 때문에 상기 제1메시선(300a)은 상기 제1전극(400)을 통하여 전달되는 압력에 의하여 변형되어 납작하게 눌러지게 된다. 그 과정에서 상기 제1전극(400) 중 상기 제1메시선(300a)들 사이에 있는 부분(도 6(b)중 빨간색 타원부분)은 상기 CNT컴파운드층(200)과 접촉하게 된다. 따라서 도 6(c)에서 보는 바와 같이 예를 들어 발바닥을 통하여 사람의 몸무게에 의한 압력이 전해지면, 상기 제1전극(400)과 상기 CNT컴파운드층(200)과 접촉되는 부분이 다수 발생되면(도 6(c)중 빨간색 타원부분) 상기 한 쌍의 제2전극(500) 양단에는 상기 CNT컴파운드층(200)의 저항 값에 해당하는 저항회로가 형성되어 압력감지 전류(I)가 흐르게 된다. The operation process of the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the first embodiment of the present invention described above is shown in FIG. 6 . When pressure is applied to the pressure sensor 50 as shown in Fig. 6 (a), the second elastic mesh network 600 is made of a hard elastic material, as shown in Fig. 6 (b), Of the second elastic mesh network 600 to which the pressure is applied, the fourth mesh line 600b is bent downward, and the third mesh line 600a positioned below the fourth mesh line 600b has a shape The first electrode 400 is pressed while moving downward without being deformed. The first electrode 400 pressed by the third mesh line 600a is also bent downward as shown in FIG. 6(b). As the first electrode 400 is bent downward, the first electrode 400 When the first mesh wire 300a of the first elastic mesh network 300 is pressed, the first elastic mesh network 300 has elasticity as a soft elastic insulator. It is deformed by the pressure transmitted through the first electrode 400 and pressed flat. In the process, a portion of the first electrode 400 between the first mesh lines 300a (a red oval portion in FIG. 6B ) comes into contact with the CNT compound layer 200 . Therefore, as shown in FIG. 6(c), when, for example, pressure due to the weight of a person is transmitted through the sole of the foot, a plurality of parts in contact with the first electrode 400 and the CNT compound layer 200 are generated ( A resistance circuit corresponding to the resistance value of the CNT compound layer 200 is formed at both ends of the pair of second electrodes 500 (red oval portion in FIG. 6(c) ), so that the pressure sensing current I flows.

그리고 상기 압력센서(50)에 가해지는 압력이 없어지게 되면 상기 제2탄성메시망(600)에 가해지던 압력도 없어지고, 휘어졌던 상기 제4메시선(600b)은 원상으로 복구되며, 이에 따라 상기 제3메시선(600a)은 다시 위로 올라가게 되고, 이에 따라 상기 제1전극(400) 및 상기 제1탄성메시망(300)에 가해지던 압력이 없어지게 된다. 따라서 상기 제1전극(400) 및 상기 제1탄성메시망(300)은 탄성에 의하여 원래의 형태로 복원되며, 상기 제1전극(400)과 상기 CNT컴파운드층(200) 사이에는 다시 간극이 형성되어 절연상태가 된다. 따라서 압력감지 전류(I)는 흐르지 않게 된다. And when the pressure applied to the pressure sensor 50 is removed, the pressure applied to the second elastic mesh network 600 also disappears, and the bent fourth mesh wire 600b is restored to its original state, and accordingly The third mesh line 600a moves upward again, and accordingly, the pressure applied to the first electrode 400 and the first elastic mesh network 300 is eliminated. Therefore, the first electrode 400 and the first elastic mesh network 300 are restored to their original shapes by elasticity, and a gap is again formed between the first electrode 400 and the CNT compound layer 200 . become insulated. Therefore, the pressure sensing current I does not flow.

한편 도 7에는 본 발명의 제1실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서에서 폭을 더 광폭으로 하는 경우에 대한 평면도를 도시한 것이다. 상술한 바와 같이 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서는 상기 제1탄성메시망(300)에 의하여 상기 제1전극(400)과 상기 CNT컴파운드층(200) 사이에 간극을 유지시켜주는 구조이기 때문에 상기 제1탄성메시망(300)의 메시선 중 제1메시선(300a)은 마치 다리(bridge)의 교각역할을 하여 상판역할을 하는 상기 복수의 제1전극(400) 각각을 중간 중간 지지하게 되므로 상기 제1전극(400)이 길어지더라도 항상 상기 CNT컴파운드층(200)과 일정한 간극을 유지할 수 있다. 따라서 도 7에서 보는 바와 같이 그 폭(W)을 얼마든지 길게 할 수 있으며, 길이(L) 또한 상기 CNT컴파운드층(200)의 길이범위 내에서 얼마든지 길게 할 수 있다. 따라서 압력센서의 응용제품을 대면적으로 만들 수 있기 때문에 큰 면적의 매트는 물론 마루 바닥 또는 침대바닥 등의 전체 바닥에서 압력을 감지할 수 있는 응용제품들을 저렴한 비용으로 용이하게 얼마든지 만들 수 있는 장점이 있다. Meanwhile, FIG. 7 is a plan view showing a case in which the width is made wider in the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the first embodiment of the present invention. As described above, the large-area CNT pressure sensor having two mesh layers according to the present invention forms a gap between the first electrode 400 and the CNT compound layer 200 by the first elastic mesh network 300 . Since the structure maintains the structure, the first mesh line 300a among the mesh lines of the first elastic mesh network 300 acts as a pier of a bridge and serves as a top plate of the plurality of first electrodes 400. Since each is supported in the middle, even if the first electrode 400 is elongated, it is possible to always maintain a constant gap with the CNT compound layer 200 . Therefore, as shown in FIG. 7 , the width W can be lengthened as much as possible, and the length L can also be lengthened as much as possible within the length range of the CNT compound layer 200 . Therefore, since pressure sensor applications can be made in a large area, not only large mats but also application products that can sense pressure on the entire floor, such as the floor or bed floor, can be easily made at low cost. There is this.

한편 도 8에는 본 발명의 제2실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서(50)의 분해사시도가 도시되어 있으며, 도 9에는 본 발명 제2실시예에 의한 압력센서의 단면도가 도시되어 있다. 이하에서는 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명 제2실시예를 설명한다. 본 발명 제2실시예는, 위에서 살펴본 본 발명 제1실시예의 구성에 더하여 상기 기판층(100) 아래에 제1경질층(800)을 더 배치하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 제1경질층(800)은 금속판 또는 경질의 재질을 갖는 플라스틱 박막기판으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 상기 기판층(100) 아래에 상기 제1경질층(800)을 두게 되면, 상기 제1경질층(800)이 상기 기판층(100) 및 그 위에 적층되거나 코팅된 상기 CNT컴파운드층(200)에 대하여 아래쪽으로부터의 안정적인 받침대 역할을 하기 때문에 상기 제1전극(400)이 상기 제1메시층(300)에 압력을 가하면서 아래로 눌려질 때 상기 CNT컴파운드층(200)과 잘 접촉될 수 있는 효과가 있는데 이는 상기 제1경질층(800)이 아래 쪽으로부터 받쳐지고 있는 상태이기 때문이다. 이와 같은 효과는, 본 발명에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서(50)가 연질의 바닥이나 고르지 못한 바닥위에 설치되어 있는 경우 더욱 효과를 발휘하게 된다. Meanwhile, FIG. 8 is an exploded perspective view of the large-area CNT pressure sensor 50 having two mesh layers according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the second embodiment of the present invention. is shown. Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9 . In the second embodiment of the present invention, it is preferable to further dispose the first hard layer 800 under the substrate layer 100 in addition to the configuration of the first embodiment of the present invention described above. And the first hard layer 800 is preferably a metal plate or a plastic thin film substrate having a hard material. When the first hard layer 800 is placed under the substrate layer 100 in this way, the first hard layer 800 is laminated or coated on the substrate layer 100 and the CNT compound layer 200 ), since it serves as a stable pedestal from the bottom, when the first electrode 400 is pressed down while applying pressure to the first mesh layer 300, it can be in good contact with the CNT compound layer 200. There is an effect because the first hard layer 800 is supported from the bottom. This effect is more effective when the large-area CNT pressure sensor 50 having two mesh layers according to the present invention is installed on a soft floor or an uneven floor.

그리고 도 10에는 본 발명의 제3실시예에 의한 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서(50)의 분해사시도가 도시되어 있으며, 도 11에는 본 발명의 제3실시예의 단면도가 도시되어 있다. 이하에서는 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명 제3실시예를 설명한다. 본 발명 제3실시예는, 위에서 살펴본 본 발명 제2실시예의 구성에 더하여 상기 라미네이트층(700)과 상기 제2탄성메시망(600) 사이에 배치되는 제2경질층(900)을 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 제2경질층(900) 또한 상기 제1경질층(800)과 마찬가지로 금속판 또는 경질의 재질을 갖는 플라스틱 박막기판으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 제2경질층(900)을 두게 되면, 상기 제2경질층(900)은 단단한 재질로 되어 있으므로 상기 제2경질층(900)에 가해지는 압력이 상기 제2탄성메시망(600)의 넓은 면적에 가해지게 되며, 이에 따라 상기 제1전극(400)과 상기 CNT컴파운드층(200)과의 접촉점이 더 많아지게 되어 본 발명에 의한 대면적 압력센서(50)의 압력감지 감도를 상승시킬 수 있는 효과가 있게 된다.And FIG. 10 is an exploded perspective view of a large-area CNT pressure sensor 50 having two mesh layers according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a cross-sectional view of a third embodiment of the present invention. . Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 11 . The third embodiment of the present invention, in addition to the configuration of the second embodiment of the present invention discussed above, to further include a second hard layer 900 disposed between the laminate layer 700 and the second elastic mesh 600 It is preferable to do Like the first hard layer 800 , the second hard layer 900 is preferably a metal plate or a plastic thin film substrate having a hard material. When the second hard layer 900 is placed in this way, since the second hard layer 900 is made of a hard material, the pressure applied to the second hard layer 900 is applied to the second elastic mesh network 600 . It is applied to a large area, and thus the contact points between the first electrode 400 and the CNT compound layer 200 are increased to increase the pressure sensing sensitivity of the large area pressure sensor 50 according to the present invention. can have an effect.

상술한 여러 가지 예로 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 예들에 국한되는 것이 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서 본 발명에 개시된 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 예들에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. Although the present invention has been described with the various examples described above, the present invention is not necessarily limited to these examples, and various modifications may be made within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the examples disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these examples. The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

50 대면적 압력센서
100 기판층
200 CNT컴파운드층
300 제1탄성메시망
300a 제1메시선 300b 제2메시선
400 제1전극
500 제2전극
600 제2탄성메시망
600a 제3메시선 600b 제4메시선
700 라미네이트층
800 제1경질층
900 제2경질층 50 Large area pressure sensor
100 substrate layer
200 CNT compound layer
300 first elastic mesh
300a first mesh line 300b second mesh line
400 first electrode
500 second electrode
600 second elastic mesh
600a 3rd mesh line 600b 4th mesh line
700 laminate layers
800 first hard layer
900 2nd hard layer

Claims (5)

기판층;
상기 기판층 위에 배치되는 CNT컴파운드층;
상기 CNT컴파운드층 위에 배치되는 제1탄성메시망;
상기 제1탄성메시망 위에 일정간격을 두고 서로 평행하게 반복하여 배치되는 복수의 제1전극;
상기 복수의 제1전극 각각을 교번 연결시켜 서로 대향되는 쌍으로 만드는 한 쌍의 제2전극;
상기 제1전극 및 상기 제2전극 위에 배치되는 제2탄성메시망;
상기 제2탄성메시망 위에 형성되는 라미네이트층;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서substrate layer;
a CNT compound layer disposed on the substrate layer;
a first elastic mesh network disposed on the CNT compound layer;
a plurality of first electrodes repeatedly arranged in parallel with each other at regular intervals on the first elastic mesh;
a pair of second electrodes configured to be opposite to each other by alternately connecting each of the plurality of first electrodes;
a second elastic mesh network disposed on the first electrode and the second electrode;
A large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it comprises; a laminate layer formed on the second elastic mesh network 제1항에 있어서,
상기 기판층 아래에 배치되는 제1경질층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서According to claim 1,
A large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it further comprises; a first hard layer disposed under the substrate layer. 제2항에 있어서,
상기 라미네이트층과 상기 제2탄성메시망 사이에 배치되는 제2경질층;이 더 포함되는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서3. The method of claim 2,
A large-area CNT pressure sensor having two mesh layers, characterized in that it further comprises; a second hard layer disposed between the laminate layer and the second elastic mesh network. 제1항에 있어서,
상기 제1탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x)인 제1메시선 각각은 상기 제1전극 각각과 직각이며, 너비방향(y) 메시선인 제2메시선 각각의 사이에는 상기 제1전극 각각이 위치하도록 배치되고,
상기 제2탄성메시망을 구성하는 메시선 중 길이방향(x)인 제3메시선 각각은, 너비방향(y) 메시선인 제4메시선 각각의 아래에서 직교하면서 연결되어 있으며,
상기 제3메시선 각각은 상기 제1메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되고, 상기 제4메시선 각각은 상기 제2메시선 각각의 사이에 위치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서 According to claim 1,
Among the mesh lines constituting the first elastic mesh network, each of the first mesh lines in the longitudinal direction (x) is at right angles to each of the first electrodes, and between each of the second mesh lines as the mesh lines in the width direction (y) is the second mesh line. 1 electrode is disposed so as to be positioned,
Among the mesh lines constituting the second elastic mesh network, each of the third mesh lines in the longitudinal direction (x) is orthogonally connected under each of the fourth mesh lines that are mesh lines in the width direction (y),
Each of the third mesh lines is disposed to be positioned between each of the first mesh lines, and each of the fourth mesh lines is disposed to be positioned between each of the second mesh lines, two mesh layers Large area CNT pressure sensor with 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1탄성메시망은 연질이고 절연성질을 갖는 탄성소재로 되어 있으며, 상기 제2탄성메시망은 경질의 탄성소재로 되어 있는 것을 특징으로 하는, 두 개의 메시층을 가지는 대면적 CNT 압력센서5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first elastic mesh network is made of an elastic material having soft and insulating properties, and the second elastic mesh network is made of a hard elastic material, a large-area CNT pressure sensor having two mesh layers
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KR20170141019A (en) * 2016-06-14 2017-12-22 크루셜텍 (주) Touch force sensing sensor for flexible material

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