KR102292126B1

KR102292126B1 - FOUP transfer load port device

Info

Publication number: KR102292126B1
Application number: KR1020210064619A
Authority: KR
Inventors: 김태민
Original assignee: 김태민
Priority date: 2021-05-20
Filing date: 2021-05-20
Publication date: 2021-08-19

Abstract

The present invention is made of a FOUP transfer device for inputting a FOUP into a wafer processing space and a FOUP fixing device which can be mounted and fixed without respect to a lower surface structure of the FOUP having a plurality of wafers embedded therein. Therefore, the present invention provides a configuration which rapidly and accurately transfers a FOUP accommodating a plurality of wafers to a wafer processing space.

Description

풉이송장치{FOUP transfer load port device}FOUP transfer load port device

본 발명은 로드포트 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 풉을 웨이퍼 처리공간으로 투입하기 위한 풉이송장치로 이루어지는 로드포트 시스템에 대한 것이다.The present invention relates to a load port system, and more particularly, to a load port system comprising a FOOP transfer device for inputting a FOOP into a wafer processing space.

반도체의 제조 공정에 있어서, 수율이나 품질의 향상을 위해 청정한 클린룸 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지고 있다. 그러나, 소자의 고집적화나 회로의 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 클린룸 전체를 청정한 상태로 유지하는 것은 기술적 비용적으로 곤란하게 되었다.In a semiconductor manufacturing process, wafers are processed in a clean clean room to improve yield and quality. However, as devices become highly integrated, circuits are miniaturized, and wafers are enlarged, it is technically and costly difficult to maintain the entire clean room in a clean state.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 최근에는 웨이퍼 주위의 공간에 대해서만 청정도를 관리를 하게 되었다. 구체적으로, 풉(FOUP, Front-Opening Unified Pod)이라 불리는 밀폐식의 저장 포드의 내부에 웨이퍼가 저장된다. 웨이퍼의 가공을 행하는 공정장비와 풉 사이에서의 웨이퍼의 전달을 위해서는, 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)이라 불리는 장치가 이용되고 있다. 이러한 이에프이엠은 로드 포트 모듈에 안착된 풉에 대해 질소 충전을 진행하여 웨이퍼의 청정도를 관리하고 있다.In order to solve this problem, recently, cleanliness has been managed only for the space around the wafer. Specifically, the wafer is stored inside a sealed storage pod called FOUP (Front-Opening Unified Pod). In order to transfer the wafer between the process equipment that processes the wafer and the FOUP, a device called an EFEM (Equipment Front End Module) is used. Such EFEM manages the cleanliness of the wafer by nitrogen filling the FOOP seated in the load port module.

그러나, 이러한 질소 충전 작업이 로드 포트 모듈에서 진행 중인 경우에, 비히클은 해당 로드 포트 모듈에 풉을 내려놓을 수 없다. 그에 따라, 비히클이 질소 충전 작업의 완료시까지 대기하는 경우라면, 비히클 운용의 효율성이 떨어지게 된다.However, when this nitrogen filling operation is in progress on a load port module, the vehicle cannot place the FOUP on that load port module. Accordingly, if the vehicle waits until the completion of the nitrogen filling operation, the efficiency of vehicle operation is reduced.

로드 포트 모듈 역시 질소 충전 작업 완료시까지 다른 작업이 불가하다. 그에 의해, 이에프이엠 및 공정장비의 생산성이 감소된다.The load port module also cannot perform other operations until the nitrogen filling operation is completed. Thereby, the productivity of the FM and process equipment is reduced.

나아가, 웨이퍼 반송 로봇 역시 반송실 내에서 효율적으로 작업하지 못한다. 예를 들어, 웨이퍼 반송 로봇이 시간당 20개의 풉(하나의 풉은 25장의 웨이퍼 수용)을 처리하는 경우라면, 3분당 1개의 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 최대의 생산성을 발휘할 수 있다. 그러나, 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 하는 점에 기존 풉이 해당 로드 포트 모듈에서 질소 충전 작업 중에 있다면, 이러한 생산성은 달성될 수 없게 된다.Furthermore, the wafer transfer robot also does not work efficiently in the transfer room. For example, if a wafer transfer robot processes 20 FOOPs per hour (one FOOP accommodates 25 wafers), one new FOOP every 3 minutes must be seated in the load port module to achieve maximum productivity. However, this productivity cannot be achieved if the old FOOP is in the process of nitrogen filling in the load port module at the point where the new FOOP must be seated on the load port module.

대한민국등록특허 제10-1266131호Republic of Korea Patent No. 10-1266131 대한민국등록특허 제10-0772845호Republic of Korea Patent No. 10-0772845

본 발명은 다수의 웨이퍼를 수납한 풉을 웨이퍼 처리공간으로 빠르고 정확하게 이송되도록 하며, 좁은 공간에서도 이송거리의 간격을 넓게 갖도록 하여 투입하기 위한 구성을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a configuration for quickly and accurately transferring a FOUP containing a plurality of wafers to a wafer processing space, and widening the transfer distance even in a narrow space for input.

본 발명은 로드포트 시스템을 특징으로 한다.The present invention features a loadport system.

일 실시예에서, 상기 로드포트 시스템은, 풉을 웨이퍼 처리공간으로 투입하기 위한 풉이송장치를 포함하며, 상기 풉이송장치는, 포트이송함을 지지하도록 지면에서 이동가능하도록 형성되는 틀프레임과, 풉케이스가 위치되어 이동가능하도록 틀프레임 상부로 형성되는 포트이송함과, 풉케이스가 일측방향으로 이동되어 외부로 돌출되도록 포트이송함 전면으로 형성되는 인출구와, 풉케이스가 인출구 측으로 이송가능하도록 포트이송함 바닥면에 형성되는 이송홈과, 풉케이스를 슬라이드 이동시키며, 슬라이드레일바가 안착 형성될 수 있도록 프레임 상부로 형성되는 베이스플레이트와, 제1플레이트가 슬라이드 될 수 있도록 베이스플레이트 상면 양측으로 형성되는 슬라이드레일바와, 슬라이드레일바가 베이스플레이트 상에 고정될 수 있도록 슬라이드레일바 양측으로 결합되어 베이스플레이트에 고정되도록 형성되는 레일바고정부재와, 구동벨트의 하부에 결합되어 구동벨트가 회전됨에 따라 제1플레이트가 슬라이드되도록 베이스플레이트 상부 일측으로 형성되는 하부벨트그립부재와, 슬라이드레일바에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 제1플레이트와, 제2플레이트가 안착되어 슬라이드 될 수 있도록 제1플레이트 상면 양측으로 형성되는 플레이트레일바와, 플레이트레일바가 제1플레이트 상에 고정될 수 있도록 플레이트레일바 양측으로 결합되어 제1플레이트에 고정되도록 형성되는 레일바지지대와, 구동벨트의 일측에서 풀리모터에 의해 회전되도록 제1플레이트 일측으로 형성되는 제1벨트풀리와, 구동벨트의 타측에서 회전되는 구동벨트에 의해 회전되도록 제1플레이트 타측으로 형성되는 제2벨트풀리와, 일측으로 형성되는 제1벨트풀리와 타측으로 형성되는 제2벨트풀리 간의 연결 형성되는 구동벨트와, 제1벨트풀리를 회전시키기 위해 제1플레이트 일측에 안착되어 제1벨트풀리와 연결 형성되는 풀리모터와, 플레이트레일바에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 제2플레이트와, 안착되는 풉케이스의 하단부를 고정시키기 위해 돌기실린더에 의해 일측방향으로 회전되도록 제2플레이트 상면 양측으로 형성되는 케이스고정돌기와, 케이스고정돌기를 회전시키기 위해 일측이 케이스고정돌기와 연결되고, 타측이 제2플레이트 하면에 고정 형성되는 돌기실린더와, 구동벨트의 상부에 결합되어 구동벨트가 회전됨에 따라 제2플레이트가 슬라이드되도록 제2플레이트 하면 양측으로 형성되는 상부벨트그립부재를 포함한다.In one embodiment, the load port system includes a FOUP transfer device for putting the FOUP into the wafer processing space, the FOUP transfer device comprising: a frame frame formed to be movable on the ground to support the port transfer box; A port transfer box formed on the upper part of the frame so that the FOUP case is located and movable, a port transfer box formed on the front of the port transfer box so that the FOUP case is moved in one direction to protrude to the outside, and a port so that the FOUP case can be transferred to the outlet side A transfer groove formed on the bottom surface of the transfer box, a base plate formed above the frame to slide the FOUP case, and a slide rail bar to be seated, and a base plate formed on both sides of the upper surface of the base plate so that the first plate can slide A slide rail bar, a rail bar fixing member formed to be fixed to the base plate by being coupled to both sides of the slide rail bar so that the slide rail bar can be fixed on the base plate; A lower belt grip member formed on one side of the upper portion of the base plate so that the plate slides, a first plate formed to be seated on the slide rail bar and slide, and a play formed on both sides of the upper surface of the first plate so that the second plate can be seated and slid A trail bar, a rail bar support formed to be fixed to the first plate by being coupled to both sides of the plate rail bar so that the plate rail bar can be fixed on the first plate, and one side of the first plate to be rotated by a pulley motor from one side of the drive belt A first belt pulley formed of a, a second belt pulley formed on the other side of the first plate so as to be rotated by a drive belt rotated from the other side of the drive belt, a first belt pulley formed on one side and a second side formed on the other side A drive belt connected between the belt pulleys, a pulley motor that is seated on one side of the first plate to rotate the first belt pulley and is connected to the first belt pulley, and a second plate that is seated on the plate rail bar and formed to slide; , formed on both sides of the upper surface of the second plate so as to be rotated in one direction by a protruding cylinder to fix the lower end of the FOUP case to be seated. In order to rotate the case fixing projection and the case fixing projection, one side is connected to the case fixing projection and the other side is fixedly formed on the lower surface of the second plate. It includes upper belt grip members formed on both sides of the lower surface of the second plate to slide.

또다른 일 실시예에서, 상기 풉이송장치에는, 풉케이스의 교체를 위해 밀착 거치하기 위한 거치이송부; 또는 풉케이스의 교체 및 상태확인을 위해 승하강시키기 위한 승하강부; 중 어느 하나가 선택되되, 상기 거치이송부는, 포트이송함 상면으로 형성되는 이송홈 양측으로 형성되는 측면안착판과, 밀착거치를 위해 풉케이스 측으로 이동되거나, 밀착거치된 풉케이스를 이동시키기 위해 측면안착판 상부로 형성되는 이송수단과, 풉케이스를 밀착거치하기 위해 이송수단 상부로 형성되는 거치수단을 포함하며, 상기 이송수단은, 가이드바를 고정시키기 위해 측면안착판 상부 일측과 타측방향으로 각각 형성되는 바고정대와, 일측과 타측으로 형성되는 바고정대 상에 형성되는 가이드바와, 승하강실린더가 안착되되록 바결합부재 상부로 형성되는 이송부재와, 가이드바에 결합되어 이송부재를 슬라이드 시키기 위해 이송부재 하면에 결합 형성되는 바결합부재와, 이송벨트를 고정시키기 위해 이송부재 하면으로 형성되는 벨트부재와, 벨트부재가 결합되도록 형성되며, 일측으로 형성되는 벨트구동기어와 타측으로 형성되는는 벨트기어에 결합되어 회전되도록 형성되는 이송벨트와, 이송벨트 일측으로 걸려지도록 측면안착판 일측으로 형성되는 벨트구동기어와, 이송벨트 타측으로 걸려지도록 측면안착판 타측으로 형성되는 벨트기어와, 벨트구동기어를 측면안착판에 고정시키며, 벨트기어를 측면안착판에 고정시키기 위한 기어고정부재와, 이송벨트를 회전시키기 위해 벨트구동기어 일측으로 연결 형성되는 벨트구동모터으로 이루어지며, 상기 거치수단은, 풉케이스를 상승시키기 위해 이송부재 상부로 형성되는 승하강실린더와, 밀착실린더를 지지하도록 승하강실린더의 실린더 축에 결합 형성되는 승하강부재와, 밀착부재를 풉케이스 측으로 전진시키며, 터치센서와 압력센서로부터 감지정보를 제공받아 작동되도록 승하강부재 상부로 형성되는 밀착실린더와, 풉케이스 일측면과 타측면에 각각 밀착 되도록 밀착실린더의 실린더 축에 연결 형성되는 밀착부재와, 밀착부재가 풉케이스 측면에 접촉시 접촉되는 압력을 감지하여 감지된 정보를 밀착실린더 측으로 제공하여, 밀착실린더를 작동시키기 위해 밀착부재 일측으로 형성되는 압력센서와, 거치된 풉케이스를 밀착부재 상에서 이탈시키기 위한 밀착실린더 측으로 터치감지정보를 제공하도록 밀착실린더 일측으로 형성되는 터치센서로 이루어지며, 상기 승하강부는, 풉안착판과 대응되는 위치인 제2플레이트 상면에 안착 형성되는 승하강고정판과, 진동 및 충격이 풉케이스 측으로 전달되지 않도록 하기 위해 제2플레이트와 승하강고정판 사이에 복수개 형성되는 진동패드와, 풉케이스가 안착되며, 교체시 승하강되도록 승하강고정판과 대응되는 위치로 일정 간격을 두고 형성되는 풉안착판과, 승하강되는 풉안착판의 높이를 감지하기 위해 풉안착판 일측으로 형성되는 높낮이감지센서와, 높낮이감지센서가 높이를 감지하도록 승하강고정판 일측으로 형성되는 센서부재와, 제1가이드바를 풉안착판 상에 고정시키기 위해 풉안착판 하면 일측과 타측으로 형성되는 유동측바고정부재와, 일측과 타측으로 형성되는 유동측바고정부재 상에 형성되는 제1가이드바와, 제3부재와 제2높낮이바를 통해 연결되며, 제1가이드바를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바에 결합 형성되는 제1부재와, 실린더구동부재와 제1높낮이바를 통해 연결되며, 제1가이드바를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바에 결합 형성되는 제2부재와, 제1높낮이바와 제2높낮이바의 각 끝단에 제1부재와 제2부재와 제3부재와 실린더구동부재의 결합시 회전될 수 있도록 형성되는 부재힌지와, 일측이 부재힌지를 통해 제2부재와 연결되고, 타측이 부재힌지를 통해 제3부재와 연결 형성되고, 중앙에 제2높낮이바와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 제1높낮이바와, 일측이 부재힌지를 통해 제1부재와 연결되고, 타측이 부재힌지를 통해 실린더구동부재와 연결 형성되며, 중앙에 제1높낮이바와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 제2높낮이바와, 제2가이드바를 승하강고정판 상에 고정시키기 위해 승하강고정판 하면 일측과 타측으로 형성되는 가변측고정부재와, 일측과 타측으로 형성되는 가변측고정부재 상에 형성되는 제2가이드바와, 제1부재와 제2높낮이바를 통해 연결되며, 제2가이드바를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바에 결합 형성되는 제3부재와, 제2부재와 제1높낮이바를 통해 연결되며, 제2가이드바를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바에 결합되며, 일측이 구동실린더의 실린더 축에 연결 형성되는 실린더구동부재와, 구동실린더가 안착될 수 있도록 승하강고정판 내부로 형성되는 실린더안착홈과, 실린더구동부재를 일측방향으로 이동시키기 위해 실린더안착홈 내부에 안착 형성되는 구동실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In another embodiment, the poop transfer device includes a transfer unit for holding in close contact for replacement of the poop case; Or an elevating unit for elevating or elevating for replacement and status check of the FOUP case; Any one is selected, the stationary transport unit, the side seating plates formed on both sides of the transport groove formed on the upper surface of the port transport box, and the side to move to the FOUP case side for close contact or to move the closely mounted FOUP case It includes a transfer means formed on the upper portion of the seating plate, and a carrying means formed on the upper portion of the transfer means to closely mount the FOUP case, wherein the transfer means are respectively formed in the upper side and the other direction of the side seating plate to fix the guide bar. a bar holder, a guide bar formed on the bar holder formed on one side and the other side, a conveying member formed above the bar coupling member so that the elevating cylinder is seated, and a conveying member coupled to the guide bar to slide the conveying member A bar coupling member formed to be coupled to the lower surface, a belt member formed as a lower surface of the conveying member to fix the conveying belt, and a belt member are formed to be coupled, the belt driving gear formed on one side and the belt gear formed on the other side are coupled A conveying belt formed to be rotated, a belt driving gear formed on one side of the side seating plate to be hung on one side of the conveying belt, a belt gear formed from the other side of the side seating plate to be hooked on the other side of the conveying belt, and the belt driving gear to be side mounted It is fixed to the plate and consists of a gear fixing member for fixing the belt gear to the side seating plate, and a belt driving motor connected to one side of the belt driving gear to rotate the conveying belt, wherein the mounting means raises the FOUP case The elevating cylinder formed on the upper part of the conveying member to A close contact cylinder formed on the upper part of the elevating member to receive and operate, a contact member connected to the cylinder shaft of the close contact cylinder so as to be in close contact with one side and the other side of the FOUP case, respectively, and the contact member is in contact with the side of the FOUP case A pressure sensor formed on one side of the close contact member to operate the close contact cylinder by sensing the pressure and provide the sensed information to the close contact cylinder, and to separate the mounted FOUP case from the contact member. Consists of a touch sensor formed on one side of the close contact cylinder to provide touch sensing information to the close contact cylinder, and the elevating unit is formed to be seated on the upper surface of the second plate corresponding to the FOUP seat plate, and vibration and shock A plurality of vibration pads are formed between the second plate and the elevating fixing plate in order not to be transmitted to the FOUP case side, and the FOUP case is seated. A height detection sensor formed on one side of the FOOP seating plate to detect the height of the FOUP seating plate, and the elevation of the FOOP seating plate, and a sensor member formed on one side of the elevation fixing plate so that the height detection sensor detects the height; In order to fix the guide bar on the FOUP seating plate, a flow-side bar fixing member formed on one side and the other side of the lower surface of the FOOP seating plate, a first guide bar formed on the flow-side bar fixing member formed on one side and the other side, a third member and a third member A first member that is connected through two height bars and is formed to be coupled to the first guide bar so as to slide along the first guide bar, and the cylinder driving member and the first height bar are connected through the first height bar and are coupled to the first guide bar to slide along the first guide bar. A second member is formed, and at each end of the first raising bar and the second raising bar, a member hinge formed to be rotatable when the first member, the second member, the third member, and the cylinder driving member are coupled, and one side is a member A first elevation bar that is connected to the second member through a hinge, the other side is connected to the third member through a member hinge, and can be rotated through a second elevation bar and a bar hinge in the center, and one side is a member hinge It is connected to the first member through the member, the other side is connected to the cylinder driving member through the member hinge, and a second height bar formed to be rotated through the first height bar and the bar hinge in the center, and the second guide bar for elevating and lowering the fixing plate A variable-side fixing member formed on one side and the other side of the lower surface of the elevating fixing plate to be fixed on the upper surface, a second guide bar formed on the variable-side fixing member formed on one side and the other side, and a first member and a second height bar are connected and a third member coupled to the second guide bar to slide along the second guide bar, and the second member and the first height bar, coupled to the second guide bar to slide along the second guide bar, and a cylinder driving member having one side connected to the cylinder shaft of the driving cylinder, and the inside of the elevating fixing plate so that the driving cylinder can be seated. It characterized in that it consists of a cylinder seating groove formed by, and a driving cylinder seated inside the cylinder seating groove to move the cylinder driving member in one direction.

일 실시예에서, 상기 로드포트 시스템은, 복수의 웨이퍼가 내장된 풉의 하면 구조와 관계없이 안착 고정될 수 있도록 형성되는 풉고정장치를 포함하며, 상기 풉고정장치는, 풉고정장치 일측으로 형성되는 고정패널과, 풉케이스의 일측면이 밀착되도록 고정패널 면에 형성되는 케이스밀착면과, 풉안착플레이트에 형성되는 바홈에 삽입될 수 있도록 고정패널 하부로 형성되는 돌기고정바와, 에어실린더가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 일측으로 형성되는 실린더안착바와, 에어실린더의 실린더축에 연결되고, 일측이 풉안착플레이트 하면에 고정 형성되는 실린더바와, 풉케이스가 안착되어 슬라이드 이동될 수 있도록 플레이트가이드레일에 안착형성되는 풉안착플레이트과, 돌기고정바가 슬라이드 삽입될 수 있도록 풉안착플레이트 중앙 일측으로 형성되는 바홈과, 풉케이스 하면에 형성되는 홈에 걸리도록 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 안착돌기와, 플레이트가이드레일을 따라 슬라이드될 수 있도록 일측이 풉안착플레이트에 고정되고, 타측이 플레이트가이드레일에 안착되는 레일부재와, 레일부재가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 양측으로 형성되는 플레이트가이드레일과, 풉안착플레이트을 슬라이드 이동시키기 위해 실린더안착바에 안착 형성되어 실린더 축이 실린더바에 연결 형성되는 에어실린더와, 풉케이스 하면에 걸려 이동될 수 있도록 돌기고정바 일측 상면으로 형성되는 케이스걸림돌기와, 풉안착플레이트에 걸려 이동될 수 있도록 돌기고정바 일측 하면으로 형성되는 플레이트걸림돌기와, 풉케이스의 안착을 감지하기 위해 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 케이스안착센서를 포함한다.In one embodiment, the load port system includes a loom fixing device configured to be seated and fixed regardless of the structure of the lower surface of the FOUP in which the plurality of wafers are embedded, and the FOOT fixing device is formed on one side of the FOOP fixing device. A fixed panel that is a fixed panel, a case adhesion surface formed on the surface of the fixed panel so that one side of the FOUP case is in close contact, a fixing bar with a projection formed under the fixed panel to be inserted into the bar groove formed on the FOOP seating plate, and an air cylinder are seated The cylinder seating bar is formed on one side of the lower side of the fixing panel so that it can be fixed, the cylinder bar is connected to the cylinder shaft of the air cylinder, and one side is fixed to the lower surface of the FOOP seating plate, and the FOUP case is mounted on the plate guide rail so that it can be slidably seated. The FOOP seating plate is formed to be seated, a bar groove formed on one side of the center of the FOOP seating plate so that the protrusion fixing bar can be slide-inserted, a plurality of seating projections formed on the upper surface of the FOOP seating plate to be caught in the groove formed on the lower surface of the FOOP case, and a plate guide rail A rail member with one side fixed to the FOUP seating plate and the other side mounted on the plate guide rail so that it can slide along the An air cylinder that is seated on the cylinder seating bar to move it and the cylinder shaft is connected to the cylinder bar, a case locking protrusion formed on one side of the upper surface of one side of the protrusion fixing bar so that it can be moved by hanging on the lower surface of the FOUP case, and can be moved by being caught by the FOUP seating plate It includes a plate locking protrusion formed on one lower surface of the fixing bar and a case seating sensor formed in a plurality on the upper surface of the FOOP seating plate to detect the seating of the FOOP case.

또다른 일 실시예에서, 상기 풉고정장치에는, 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스 하부를 고정시키기 위한 케이스고정부; 또는 풉케이스의 교체하기 위한 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나를 풉케이스가 보관되도록 풉고정장치 일측 지면에 형성되는 케이스보관거치부; 중 어느 하나가 선택되되, 상기 케이스고정부는, 풉안착플레이트와 일정 간격을 두고 대응되도록 형성되는 고정안착판과, 고정안착판을 풉안착플레이트 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 고정안착판과 풉안착플레이트 사이에 복수개 형성되는 연결지지대과, 풉케이스를 일측방향에서 타측방향으로 밀어 고정시키기 위한 단일고정수단과, 양측 방향에서 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 복수회전고정수단을 포함하며, 상기 단일고정수단은, 단일밀착대에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 고정안착판 상부 일측으로 형성되는 고정단과, 고정안착판에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단 측으로 밀착시키기 위해 고정안착판 상부 타측에서 단일부재홈을 따라 이동가능하도록 형성되는 단일밀착대와, 단일밀착대를 이동시키기 위해 일측이 단일밀착대에 연결되고, 타측이 단일스크류에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 단일이동부재와, 단일스크류를 고정하기 위해 고정안착판 하면 양측으로 형성되는 스크류고정대와, 양측으로 형성되는 스크류고정대 상에 형성되어 단일이동부재가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 단일스크류와, 단일스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 스크류고정대 일측으로 형성되는 단일모터와, 단일이동부재가 이동될 수 있도록 고정안착판 상에 형성되는 단일부재홈과, 풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 단일모터 측으로 제공하도록 단일밀착대 일측으로 형성되는 밀착센서로 이루어지며, 상기 복수회전고정수단은, 제1회전축이 이동될 수 있도록 고정안착판 상 일측으로 복수개 형성되는 제1축홈과, 제1스크류를 고정하기 위해 고정안착판 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제1스크류대와, 복수개 형성되는 제1스크류대 상에 결합 형성되는 제1스크류와, 제1스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제1이동부재와, 제1회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대가 회전될 수 있도록 제1이동부재 상부로 형성되는 제1회전축과, 풉케이스 일측에 밀착되도록 제1회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제1회전밀착대와, 제2회전축이 이동될 수 있도록 고정안착판 상 타측으로 복수개 형성되는 제2축홈과, 제2스크류를 고정하기 위해 고정안착판 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제2스크류대와, 복수개 형성되는 제2스크류대 상에 결합 형성되는 제2스크류와, 제2스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제2이동부재와, 제2회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대가 회전될 수 있도록 제2이동부재 상부로 형성되는 제2회전축와, 풉케이스 일측에 밀착되도록 제2회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제2회전밀착대로 이루어지며, 상기 케이스보관거치부는, 풉케이스가 안착되어 보관함 측으로 이동될 수 있도록 수직이송수단과 수평이송승하강수단이 형성되는 거치플레이트와, 거치플레이트를 지지하도록 거치플레이트 하면에 복수개 형성되는 거치프레임과, 풉케이스가 보관될 수 있도록 거치플레이트 일측으로 복수의 보관공간이 형성되는 보관함과, 풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 보관함 상에 복수개 형성되는 보관공간과, 풉케이스를 수평이송승하강수단 측으로 이송시키기 위해 거치플레이트 일측으로 형성되는 수직이송수단과, 수직이송수단을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 보관공간 측으로 상승시키도록 거치플레이트 중앙 측으로 형성되는 수평이송승하강수단과, 해당 보관공간 측으로 상승된 풉케이스를 보관공간 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간 상 마다 각각 형성되는 보관이동수단을 포함하며, 상기 수직이송수단은, 수직이송바가 수직방향으로 이동될 수 있도록 거치플레이트 상에 수직방향으로 형성되는 수직이송홈과, 수직이송스크류를 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 거치플레이트 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수직스크류부재와, 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 수직스크류부재 상에 결합 형성되는수직이송스크류와, 회전되는 수직이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수직이송부재와, 거치플레이트 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단 측으로 밀어 이동시키기 위해 수직이송부재 상부로 형성되는 수직이송바와, 수직이송스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 수직스크류부재에 결합 형성되어 모터축이 수직이송스크류에 연결 형성되는 수직스크류모터로 이루어지며, 상기 수평이송승하강수단은, 상승실린더가 수평방향으로 이동될 수 있도록 거치플레이트 상에 수형방향으로 형성되는 수평이송홈과, 수평이송스크류를 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 거치플레이트 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수평스크류부재와, 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 수평스크류부재 상에 결합 형성되는 수평이송스크류와, 회전되는 수평이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수평이송부재와, 상승실린더가 안착되도록 수평이송부재 상부로 형성되는 실린더안착부재와, 실린더안착부재를 승하강 시키기 위해 실린더안착부재 상부로 안착 형성되는 상승실린더와, 수직이송바에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 상승실린더 상부로 형성되는 상승판으로 이루어지며, 상기 보관이동수단은, 풉케이스의 일측면을 지지하도록 "ㄴ"형태로 형성되는 밀착지지부재와, 밀착지지부재 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 밀착지지부재 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 케이스밀착바와, 밀착가이드를 지지하도록 밀착지지부재 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 가이드지지부재와, 밀착구동부재가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 가이드지지부재 상에 고정되도록 형성되는 밀착가이드와, 일측이 밀착가이드에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 케이스밀착바에 연결되어 밀착가이드를 따라 이동시 케이스밀착바가 밀착지지부재 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 밀착구동부재와, 일측이 밀착지지부재 후면에 형성되어, 밀착구동부재를 이동시키기 위해 밀착구동부재의 타측에 연결되는 밀착구동실린더와, 밀착지지부재를 상승판에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 보관공간 내면에 형성되며, 밀착지지부재 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 전후진실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In another embodiment, the loom fixing device includes: a case fixing unit for fixing the lower portion of the FOUP case to prevent shaking due to vibration and shock; or a case storage cradle formed on the ground on one side of the loom fixing device so that the loom case is stored in either the loot case used for replacement of the loop case or the loop case before use; Any one is selected, and the case fixing unit includes a fixed seating plate formed to correspond to the FOOP seating plate at a predetermined interval, and a fixed seating plate and a FOOP mounting plate to form the fixed seating plate at a predetermined interval on the FOOP seating plate. A plurality of connection supports formed between the seating plates, a single fixing means for fixing the FOUP case by pushing it from one direction to the other, and a plurality of rotations for moving the FOUP case from both directions and rotating according to the shape of the FOUP case to closely fix it It includes a fixing means, wherein the single fixing means includes a fixing end formed on one side of the upper portion of the fixing seating plate so that the FOUP case moved by the single bonding rod is caught and fixed, and the fixing end by pushing the FOUP case seated on the fixing seating plate from one side. In order to adhere to the side, a single cohesive rod is formed to be movable along the single member groove from the other side of the fixed seating plate upper side, and one side is connected to the single cohesive bar to move the single cohesive bar, and the other side is coupled to the single screw and slides. A single moving member formed, a screw holder formed on both sides of the lower surface of the fixed seating plate to fix the single screw, and a single screw formed on the screw holder formed on both sides so that the single moving member can slide; A single motor formed on one side of the screw holder formed on one side to rotate the screw, a single member groove formed on the fixed seating plate so that the single moving member can be moved, and information sensed by detecting close contact with the FOUP case Consists of a close contact sensor formed on one side of a single contact table to provide a single motor side, the plurality of rotation fixing means, a first shaft groove formed in plurality on one side of the fixing seat plate so that the first rotation shaft can be moved, and a first In order to fix the screw, a plurality of first screw rods formed on one side and the other side in one direction of the lower side of the fixing seat plate, a first screw formed in combination on the plurality of first screw stands, and the first screw are coupled to the first screw to move A first moving member formed, and a first rotating shaft formed above the first moving member so that the first rotating attachment can be rotated according to the shape of the FOUP case when the first rotary attachment is in close contact with one side of the FOUP case; The first rotational attachment is formed to be coupled to the upper portion of the first rotational shaft so as to be in close contact with one side of the FOUP case, and a plurality of first rotational adhesive rods are formed on the other side of the fixed seating plate so that the second rotational shaft can be moved. A two-axis groove, a plurality of second screw bars formed on one side and the other side in the other direction under the fixing seating plate to fix the second screw, and a second screw coupled and formed on the second screw stand formed in plurality; A second moving member formed to be moved by being coupled to the screw, and a second moving member formed above the second moving member so that the second rotating attachment can be rotated according to the shape of the FOUP case when the second rotary attachment is in close contact with one side of the FOUP case The second rotary shaft and the second rotary shaft are coupled to the upper part of the second rotary shaft so as to be in close contact with one side of the FOUP case, and it is composed of a second rotary attachment that is formed to be rotatable according to the shape of the FOUP case. A mounting plate on which the vertical transport means and the horizontal transport elevating means are formed so as to be moved, a plurality of mounting frames formed on the lower surface of the mounting plate to support the mounting plate, and a plurality of storage on one side of the mounting plate so that the FOUP case can be stored A storage box in which a space is formed, a plurality of storage spaces formed on the storage box so that the FOUP case can be stored respectively, a vertical transport means formed on one side of the mounting plate to transport the FOUP case to the horizontal transport elevating means side, and vertical transport Horizontal transfer elevating means formed toward the center of the mounting plate to move the FOUP case transported along the means in the horizontal direction and raise it to the storage space side, and each storage to move the FOUP case raised to the storage space side to the storage space side and storage and moving means respectively formed in each space, wherein the vertical transfer means includes a vertical transfer groove formed in a vertical direction on the mounting plate so that the vertical transfer bar can be moved in the vertical direction, and a vertical transfer screw on the mounting plate. A vertical screw member formed on one side and the other side in the vertical direction from the lower surface of the mounting plate in order to fix it to a vertical transfer screw formed by coupling on a plurality of vertical screw members formed on the lower surface of the mounting plate, A vertical transfer member coupled to the rotating vertical transfer screw to be movable, and a vertical transfer bar formed above the vertical transfer member in close contact with the FOUP case seated on the mounting plate to push it toward the horizontal transfer elevating means and move it; The vertical screw motor is coupled to a vertical screw member formed on one side to rotate the vertical transfer screw, and the motor shaft is connected to the vertical transfer screw. A horizontal transfer groove formed in the male direction on the mounting plate to be able to be, and a horizontal screw member formed on one side and the other side in the horizontal direction from the lower surface of the mounting plate to fix the horizontal transfer screw on the mounting plate, and the lower surface of the mounting plate A horizontal transfer screw coupled and formed on a plurality of horizontal screw members formed in the , a horizontal transfer member formed to be movable by being coupled to the rotating horizontal transfer screw, and a cylinder seating formed above the horizontal transfer member so that the rising cylinder is seated It consists of a member, a rising cylinder formed to be seated on the upper part of the cylinder seating member to elevate the cylinder seating member, and a rising plate formed on the upper part of the rising cylinder so that the FOUP case transferred by the vertical transfer bar is seated, and the storage and moving means Silver, a close contact support member formed in a "B" shape to support one side of the FOUP case, and a case adhesion bar formed so as to be slidable from one side of the close contact support member so as to be in close contact with the other side of the FOUP case located inside the close contact support member; , A guide support member formed on one side and the other side of the upper portion of the close contact support member to support the close contact guide, a close contact guide formed to be slidable on the close contact driving member, and fixed on the guide support member, and one side to the close contact guide It is formed to be coupled and slid, and the center is connected to the case adhesion bar and when moving along the adhesion guide, the adhesion driving member is formed to move the case adhesion bar to the adhesion support member side, and one side is formed on the rear surface of the adhesion support member, the adhesion driving member In order to move the close contact drive cylinder connected to the other side of the close contact drive member, move the close contact support member to the side of the loot case seated on the rising plate. It is formed on the inner surface of the storage space to move it, and it is characterized in that it consists of a forward and backward cylinder in which the cylinder shaft is connected to the rear surface of the close contact support member.

상술한 바와 같이, 좁은 공간에서도 넓은 이송거리를 확보할 수 있도록 하여 공간의 활용성이 높은 효과를 제공하며, 웨이퍼 처리공간 측으로 빠르게 이송시킴으로 작업의 신속성을 갖도록 하는 효과를 제공한다.As described above, it provides an effect of high usability of space by ensuring a wide transfer distance even in a narrow space, and provides the effect of having a speedy operation by quickly transferring the wafer to the processing space side.

또한, 풉하면이 안착되도록 포트가 형성되어 다양한 형태의 풉케이스가 안착될 수 있도록 하여 다양한 풉케이스의 호환이 가능하도록 하여 안착포트를 교체없이 사용함으로 작업의 효율성을 극대화하는 효과를 제공한다.In addition, the port is formed so that the bottom of the FOOP can be seated, so that various types of FOUP cases can be seated so that various FOOP cases can be compatible.

도 1은 본 발명 풉이송장치에 대한 사시도이다.
도 2와 도 3은 도 1에 대한 상세도이다.
도 4는 풉이송장치에 대한 또다른 실시예인 거치이송부를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 대한 상세도이다.
도 6은 풉이송장치에 대한 또다른 실시예인 승하강부를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 대한 상세도이다.1 is a perspective view of the present invention poop transfer device.
2 and 3 are detailed views of FIG. 1 .
4 is a view showing a stationary transfer unit according to another embodiment of the poop transfer device.
FIG. 5 is a detailed view of FIG. 4 .
6 is a view showing an elevating unit that is another embodiment of the poop transfer device.
FIG. 7 is a detailed view of FIG. 6 .

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0023] Reference is made to the accompanying drawings, which show by way of illustration specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein with respect to one embodiment may be embodied in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the detailed description set forth below is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the invention, if properly described, is limited only by the appended claims, along with all scope equivalents to those claimed. Like reference numerals in the drawings refer to the same or similar functions throughout the various aspects.

도 1은 본 발명 풉이송장치(100)에 대한 사시도이며, 도 2와 도 3은 도 1에 대한 상세도이다.1 is a perspective view of the present invention poop transfer device 100, Figures 2 and 3 are detailed views of FIG.

상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 풉이송장치(100)는 풉을 웨이퍼 처리공간으로 투입하기 위한 것을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the FOUP transfer device 100 is characterized in that the FOOP is introduced into the wafer processing space.

상기 풉이송장치(100)는 틀프레임(110), 포트이송함(111), 인출구(112), 이송홈(113), 베이스플레이트(120), 슬라이드레일바(121), 레일바고정부재(122), 하부벨트그립부재(123), 제1플레이트(130), 플레이트레일바(131), 레일바지지대(132), 제1벨트풀리(133), 제2벨트풀리(134), 구동벨트(135), 풀리모터(136), 제2플레이트(140), 케이스고정돌기(141), 돌기실린더(142), 상부벨트그립부재(143)를 포함한다.The poop transfer device 100 includes a frame frame 110 , a port transfer box 111 , an outlet 112 , a transfer groove 113 , a base plate 120 , a slide rail bar 121 , and a rail bar fixing member ( 122), lower belt grip member 123, first plate 130, plate rail bar 131, rail bar support 132, first belt pulley 133, second belt pulley 134, drive belt 135 , a pulley motor 136 , a second plate 140 , a case fixing protrusion 141 , a protrusion cylinder 142 , and an upper belt grip member 143 .

상기 틀프레임(110)은 포트이송함(111)을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 틀프레임(110)은 지면에서 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The frame frame 110 is formed to support the port transfer box 111, the frame frame 110 is characterized in that it is formed to be movable on the ground.

상기 포트이송함(111)은 풉케이스가 위치되어 이동가능하도록 형성되는 것으로, 상기 포트이송함(111)은 틀프레임(110) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The port transfer box 111 is formed so that the FOUP case is positioned and movable, and the port transfer box 111 is formed above the frame frame 110 .

상기 인출구(112)는 풉케이스가 일측방향으로 이동되어 외부로 돌출되도록 형성되는 것으로, 상기 인출구(112)는 포트이송함(111) 전면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The outlet 112 is formed so that the FOUP case is moved in one direction to protrude to the outside, and the outlet 112 is formed in the front of the port transfer box 111 .

상기 이송홈(113)은 풉케이스가 인출구(112) 측으로 이송가능하도록 형성되는 것으로, 상기 이송홈(113)은 포트이송함(111) 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 한다.The transfer groove 113 is formed so that the FOUP case can be transferred to the outlet 112 side, and the transfer groove 113 is formed on the bottom surface of the port transfer box 111 .

상기 베이스플레이트(120)는 풉케이스를 슬라이드 이동시키며, 슬라이드레일바(121)가 안착 형성될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 베이스플레이트(120)는 프레임 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The base plate 120 slides the FOUP case and is formed so that the slide rail bar 121 can be seated, and the base plate 120 is formed above the frame.

상기 슬라이드레일바(121)는 제1플레이트(130)가 슬라이드 될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 슬라이드레일바(121)는 베이스플레이트(120) 상면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The slide rail bar 121 is formed so that the first plate 130 can slide, and the slide rail bar 121 is formed on both sides of the upper surface of the base plate 120 .

상기 레일바고정부재(122)는 슬라이드레일바(121)가 베이스플레이트(120) 상에 고정될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 레일바고정부재(122)는 슬라이드레일바(121) 양측으로 결합되어 베이스플레이트(120)에 고정되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The rail bar fixing member 122 is formed so that the slide rail bar 121 can be fixed on the base plate 120 , and the rail bar fixing member 122 is coupled to both sides of the slide rail bar 121 . It is characterized in that it is formed to be fixed to the base plate (120).

상기 하부벨트그립부재(123)는 구동벨트(135)의 하부에 결합되어 구동벨트(135)가 회전됨에 따라 제1플레이트(130)가 슬라이드되도록 형성되는 것으로, 상기 하부벨트그립부재(123)는 베이스플레이트(120) 상부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The lower belt grip member 123 is coupled to the lower portion of the drive belt 135 so that the first plate 130 slides as the drive belt 135 rotates, and the lower belt grip member 123 is It is characterized in that it is formed on one side of the upper side of the base plate 120 .

상기 제1플레이트(130)는 슬라이드레일바(121)에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The first plate 130 is seated on the slide rail bar 121 and is formed to slide.

상기 플레이트레일바(131)는 제2플레이트(140)가 안착되어 슬라이드 될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 플레이트레일바(131)는 제1플레이트(130) 상면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plate rail bar 131 is formed so that the second plate 140 can be seated and slid, and the plate rail bar 131 is formed on both sides of the upper surface of the first plate 130 .

상기 레일바지지대(132)는 플레이트레일바(131)가 제1플레이트(130) 상에 고정될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 레일바지지대(132)는 플레이트레일바(131) 양측으로 결합되어 제1플레이트(130)에 고정되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The rail bar support 132 is formed so that the plate rail bar 131 can be fixed on the first plate 130, and the rail bar support 132 is coupled to both sides of the plate rail bar 131 to make the first It is characterized in that it is formed to be fixed to one plate (130).

상기 제1벨트풀리(133)는 구동벨트(135)의 일측에서 풀리모터(136)에 의해 회전되도록 형성되는 것으로, 상기 제1벨트풀리(133)는 제1플레이트(130) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The first belt pulley 133 is formed to be rotated by a pulley motor 136 on one side of the drive belt 135 , and the first belt pulley 133 is formed on one side of the first plate 130 . characterized.

상기 제2벨트풀리(134)는 구동벨트(135)의 타측에서 회전되는 구동벨트(135)에 의해 회전되도록 형성되는 것으로, 상기 제2벨트풀리(134)는 제1플레이트(130) 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The second belt pulley 134 is formed to be rotated by the drive belt 135 rotated on the other side of the drive belt 135 , and the second belt pulley 134 is formed on the other side of the first plate 130 . characterized by being

상기 구동벨트(135)는 일측으로 형성되는 제1벨트풀리(133)와 타측으로 형성되는 제2벨트풀리(134) 간의 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The drive belt 135 is characterized in that the connection between the first belt pulley 133 formed on one side and the second belt pulley 134 formed on the other side is formed.

상기 풀리모터(136)는 제1벨트풀리(133)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 풀리모터(136)는 제1플레이트(130) 일측에 안착되어 제1벨트풀리(133)와 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The pulley motor 136 is formed to rotate the first belt pulley 133 , and the pulley motor 136 is seated on one side of the first plate 130 to be connected to the first belt pulley 133 . characterized in that

상기 제2플레이트(140)는 플레이트레일바(131)에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The second plate 140 is seated on the plate rail bar 131 and is formed to slide.

상기 케이스고정돌기(141)는 안착되는 풉케이스의 하단부를 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 케이스고정돌기(141)는 돌기실린더(142)에 의해 일측방향으로 회전되도록 제2플레이트(140) 상면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The case fixing projection 141 is formed to fix the lower end of the FOUP case to be seated, and the case fixing projection 141 is rotated in one direction by the projection cylinder 142 on both sides of the upper surface of the second plate 140 . characterized in that it is formed with

상기 돌기실린더(142)는 케이스고정돌기(141)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 돌기실린더(142)는 일측이 케이스고정돌기(141)와 연결되고, 타측이 제2플레이트(140) 하면에 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.The protrusion cylinder 142 is formed to rotate the case fixing protrusion 141, and the protruding cylinder 142 has one side connected to the case fixing protrusion 141, and the other side is on the lower surface of the second plate 140. It is characterized in that it is fixedly formed.

상기 상부벨트그립부재(143)는 구동벨트(135)의 상부에 결합되어 구동벨트(135)가 회전됨에 따라 제2플레이트(140)가 슬라이드되도록 형성되는 것으로, 상기 상부벨트그립부재(143)는 제2플레이트(140) 하면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The upper belt grip member 143 is coupled to the upper portion of the drive belt 135 so that the second plate 140 slides as the drive belt 135 rotates. When the second plate 140 is characterized in that it is formed on both sides.

도 4는 풉이송장치(100)에 대한 또다른 실시예인 거치이송부(200)를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4에 대한 상세도이다.FIG. 4 is a view showing the stationary transfer unit 200 which is another embodiment of the loos transfer device 100, and FIG. 5 is a detailed view of FIG.

상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 거치이송부(200)는 풉이송장치(100)에 더 포함되는 것으로, 상기 거치이송부(200)는 풉케이스의 교체를 위해 밀착 거치하기 위한 것을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the stationary transport unit 200 is further included in the FOUP transport device 100, and the stationary transport unit 200 is characterized in that it is closely mounted for replacement of the FOUP case.

상기 거치이송부(200)는 측면안착판(210)과 이송수단(220)과 거치수단(250)을 포함한다.The mounting transfer unit 200 includes a side mounting plate 210 , a transfer unit 220 , and a mounting unit 250 .

상기 측면안착판(210)은 포트이송함(111) 상면으로 형성되는 이송홈(113) 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The side seating plate 210 is characterized in that it is formed on both sides of the transfer groove 113 formed on the upper surface of the port transfer box 111 .

상기 이송수단(220)은 밀착거치를 위해 풉케이스 측으로 이동되거나, 밀착거치된 풉케이스를 이동시키기 위해 측면안착판(210) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The transfer means 220 is moved toward the FOUP case for close contact, or is formed above the side seating plate 210 to move the FOUP case that has been placed in close contact.

상기 이송수단(220)은 바고정대(221), 가이드바(222), 이송부재(223), 바결합부재(224), 벨트부재(225), 이송벨트(226), 벨트구동기어(227), 벨트기어(228), 기어고정부재(229), 벨트구동모터(230)를 포함한다.The conveying means 220 includes a bar holder 221 , a guide bar 222 , a conveying member 223 , a bar coupling member 224 , a belt member 225 , a conveying belt 226 , and a belt driving gear 227 . , a belt gear 228 , a gear fixing member 229 , and a belt driving motor 230 .

상기 바고정대(221)는 가이드바(222)를 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 바고정대(221)는 측면안착판(210) 상부 일측과 타측방향으로 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.The bar holder 221 is formed to fix the guide bar 222, and the bar holder 221 is formed in the upper one side and the other direction of the side mounting plate 210, respectively.

상기 가이드바(222)는 일측과 타측으로 형성되는 바고정대(221) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.The guide bar 222 is characterized in that it is formed on the bar holder 221 formed on one side and the other side.

상기 이송부재(223)는 승하강실린더(251)가 안착되도록 형성되는 것으로, 상기 이송부재(223)는 바결합부재(224) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The transfer member 223 is formed so that the elevating cylinder 251 is seated, and the transfer member 223 is formed above the bar coupling member 224 .

상기 바결합부재(224)는 가이드바(222)에 결합되어 이송부재(223)를 슬라이드 시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 바결합부재(224)는 이송부재(223) 하면에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The bar coupling member 224 is coupled to the guide bar 222 to slide the conveying member 223, and the bar coupling member 224 is coupled to the lower surface of the conveying member 223. do.

상기 벨트부재(225)는 이송벨트(226)를 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 벨트부재(225)는 이송부재(223) 하면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The belt member 225 is formed to fix the transfer belt 226 , and the belt member 225 is formed as a lower surface of the transfer member 223 .

상기 이송벨트(226)는 벨트부재(225)가 결합되도록 형성되는 것으로, 상기 이송벨트(226)는 일측으로 형성되는 벨트구동기어(227)와 타측으로 형성되는는 벨트기어(228)에 결합되어 회전되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The transfer belt 226 is formed such that the belt member 225 is coupled, and the transfer belt 226 is coupled to a belt driving gear 227 formed on one side and a belt gear 228 formed on the other side to rotate. It is characterized in that it is formed so as to be possible.

상기 벨트구동기어(227)는 이송벨트(226) 일측으로 걸려지도록 형성되는 것으로, 상기 벨트구동기어(227)는 측면안착판(210) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The belt driving gear 227 is formed to be hung on one side of the transfer belt 226 , and the belt driving gear 227 is formed on one side of the side seating plate 210 .

상기 벨트기어(228)는 이송벨트(226) 타측으로 걸려지도록 형성되는 것으로, 상기 벨트기어(228)는 측면안착판(210) 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The belt gear 228 is formed to be hung on the other side of the transfer belt 226 , and the belt gear 228 is formed on the other side of the side seating plate 210 .

상기 기어고정부재(229)는 벨트구동기어(227)를 측면안착판(210)에 고정시키며, 벨트기어(228)를 측면안착판(210)에 고정시키기 위한 것을 특징으로 한다.The gear fixing member 229 is characterized in that the belt driving gear 227 is fixed to the side mounting plate 210 , and the belt gear 228 is fixed to the side mounting plate 210 .

상기 벨트구동모터(230)는 이송벨트(226)를 회전시키기 위해 벨트구동기어(227) 일측으로 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The belt driving motor 230 is characterized in that it is connected to one side of the belt driving gear 227 to rotate the conveying belt 226 .

상기 거치수단(250)은 풉케이스를 밀착거치하기 위해 이송수단(220) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The holding means 250 is characterized in that it is formed above the transfer means 220 to hold the FOUP case in close contact.

상기 거치수단(250)은 승하강실린더(251), 승하강부재(252), 밀착실린더(253), 밀착부재(254), 압력센서(255), 터치센서(256)를 포함한다.The mounting means 250 includes an elevating cylinder 251 , an elevating member 252 , a close contact cylinder 253 , a contact member 254 , a pressure sensor 255 , and a touch sensor 256 .

상기 승하강실린더(251)는 풉케이스를 상승시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 승하강실린더(251)는 이송부재(223) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The elevating cylinder 251 is formed to raise the FOUP case, and the elevating cylinder 251 is formed above the transfer member 223 .

상기 승하강부재(252)는 밀착실린더(253)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 승하강부재(252)는 승하강실린더(251)의 실린더 축에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The elevating member 252 is formed to support the close contact cylinder 253 , and the elevating member 252 is coupled to the cylinder shaft of the elevating cylinder 251 .

상기 밀착실린더(253)는 밀착부재(254)를 풉케이스 측으로 전진시키며, 터치센서(256)와 압력센서(255)로부터 감지정보를 제공받아 작동되도록 형성되는 것으로, 상기 밀착실린더(253)는 승하강부재(252) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The close contact cylinder 253 advances the contact member 254 toward the FOUP case, and is formed to operate by receiving sensing information from the touch sensor 256 and the pressure sensor 255, and the close contact cylinder 253 wins. It is characterized in that the lowering member 252 is formed in the upper part.

상기 밀착부재(254)는 풉케이스 일측면과 타측면에 각각 밀착 되도록 형성되는 것으로, 상기 밀착부재(254)는 밀착실린더(253)의 실린더 축에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The contact member 254 is formed to be in close contact with one side and the other side of the FOUP case, respectively, and the contact member 254 is connected to the cylinder shaft of the close contact cylinder 253 .

상기 압력센서(255)는 밀착부재(254)가 풉케이스 측면에 접촉시 접촉되는 압력을 감지하여 감지된 정보를 밀착실린더(253) 측으로 제공하여, 밀착실린더(253)를 작동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 압력센서(255)는 밀착부재(254) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The pressure sensor 255 is formed to operate the close contact cylinder 253 by sensing the pressure in contact with the contact member 254 on the side of the FOUP case and providing the sensed information to the close contact cylinder 253 side. , the pressure sensor 255 is characterized in that the contact member 254 is formed on one side.

상기 터치센서(256)는 거치된 풉케이스를 밀착부재(254) 상에서 이탈시키기 위한 밀착실린더(253) 측으로 터치감지정보를 제공하도록 형성되는 것으로, 상기 터치센서(256)는 밀착실린더(253) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The touch sensor 256 is formed to provide touch sensing information to the close contact cylinder 253 for detaching the mounted FOUP case from the contact member 254, and the touch sensor 256 is one side of the close contact cylinder 253. characterized in that it is formed with

도 6은 풉이송장치(100)에 대한 또다른 실시예인 승하강부(300)를 나타낸 도면이며, 도 7은 도 6에 대한 상세도이다.6 is a view showing the elevating unit 300, which is another embodiment of the poop transfer device 100, and FIG. 7 is a detailed view of FIG.

상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 승하강부(300)는 풉이송장치(100)에 더 포함하는 것으로, 상기 승하강부(300)는 풉케이스의 교체 및 상태확인을 위해 승하강시키기 위한 것을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the elevating unit 300 is further included in the FOUP transfer device 100, and the elevating unit 300 is for elevating and lowering the FOUP case for replacement and status check. .

상기 승하강부(300)는 승하강고정판(310), 진동패드(311), 풉안착판(312), 높낮이감지센서(313), 센서부재(314), 유동측바고정부재(315), 제1가이드바(316), 제1부재(317), 제2부재(318), 부재힌지(319), 제1높낮이바(320), 제2높낮이바(321), 가변측고정부재(322), 제2가이드바(323), 제3부재(324), 실린더구동부재(325), 실린더안착홈(326), 구동실린더(327)를 포함한다.The elevating unit 300 includes an elevating fixed plate 310 , a vibration pad 311 , a loom seat plate 312 , a height sensing sensor 313 , a sensor member 314 , a floating-side bar fixing member 315 , the first Guide bar 316, first member 317, second member 318, member hinge 319, first height bar 320, second height bar 321, variable side fixing member 322, It includes a second guide bar 323 , a third member 324 , a cylinder driving member 325 , a cylinder seating groove 326 , and a driving cylinder 327 .

상기 승하강고정판(310)은 풉안착판(312)과 대응되는 위치인 제2플레이트(140) 상면에 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.The elevating fixing plate 310 is seated on the upper surface of the second plate 140 at a position corresponding to the FOUP seating plate 312 .

상기 진동패드(311)는 진동 및 충격이 풉케이스 측으로 전달되지 않도록 하기 위해 형성되는 것으로, 상기 진동패드(311)는 제2플레이트(140)와 승하강고정판(310) 사이에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The vibration pad 311 is formed to prevent vibration and shock from being transmitted to the FOUP case, and the vibration pad 311 is formed in plurality between the second plate 140 and the elevating fixing plate 310 . do it with

상기 풉안착판(312)은 풉케이스가 안착되며, 교체시 승하강되도록 형성되는 것으로, 상기 풉안착판(312)은 승하강고정판(310)과 대응되는 위치로 일정 간격을 두고 형성되는 것을 특징으로 한다.The FOUP seating plate 312 is formed so that the FOUP case is seated and elevates during replacement. do it with

상기 높낮이감지센서(313)는 승하강되는 풉안착판(312)의 높이를 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 높낮이감지센서(313)는 풉안착판(312) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The height detection sensor 313 is formed to detect the height of the FOUP seating plate 312 that is raised and lowered, and the height detection sensor 313 is formed on one side of the FOUP seating plate 312 .

상기 센서부재(314)는 높낮이감지센서(313)가 높이를 감지하도록 형성되는 것으로, 상기 센서부재(314)는 승하강고정판(310) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The sensor member 314 is formed so that the height detection sensor 313 detects the height, and the sensor member 314 is formed on one side of the elevating fixing plate 310 .

상기 유동측바고정부재(315)는 제1가이드바(316)를 풉안착판(312) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 풉안착판(312) 하면 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The flow-side bar fixing member 315 is formed to fix the first guide bar 316 on the FOUP seating plate 312, and is formed on one side and the other side when the FOUP seating plate 312 is lowered.

상기 제1가이드바(316)는 일측과 타측으로 형성되는 유동측바고정부재(315) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.The first guide bar 316 is formed on the flow-side bar fixing member 315 formed on one side and the other side.

상기 제1부재(317)는 제3부재(324)와 제2높낮이바(321)를 통해 연결되며, 제1가이드바(316)를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바(316)에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The first member 317 is connected to the third member 324 and the second height bar 321 , and is coupled to the first guide bar 316 so as to slide along the first guide bar 316 . characterized.

상기 제2부재(318)는 실린더구동부재(325)와 제1높낮이바(320)를 통해 연결되며, 제1가이드바(316)를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바(316)에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The second member 318 is connected to the cylinder driving member 325 and the first height bar 320, and is coupled to the first guide bar 316 so as to slide along the first guide bar 316. characterized.

상기 부재힌지(319)는 제1높낮이바(320)와 제2높낮이바(321)의 각 끝단에 제1부재(317)와 제2부재(318)와 제3부재(324)와 실린더구동부재(325)의 결합시 회전될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The member hinge 319 is a first member 317, a second member 318, a third member 324, and a cylinder driving member at each end of the first raising bar 320 and the second raising and lowering bar 321. It is characterized in that it is formed so that it can be rotated when the (325) is coupled.

상기 제1높낮이바(320)는 일측이 부재힌지(319)를 통해 제2부재(318)와 연결되고, 타측이 부재힌지(319)를 통해 제3부재(324)와 연결 형성되고, 중앙에 제2높낮이바(321)와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The first height bar 320 has one side connected to the second member 318 through the member hinge 319, and the other side is connected to the third member 324 through the member hinge 319, and is formed in the center It is characterized in that it is formed to be rotatable through the second height bar 321 and the bar hinge.

상기 제2높낮이바(321)는 일측이 부재힌지(319)를 통해 제1부재(317)와 연결되고, 타측이 부재힌지(319)를 통해 실린더구동부재(325)와 연결 형성되며, 중앙에 제1높낮이바(320)와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The second height bar 321 has one side connected to the first member 317 through a member hinge 319, and the other side is connected to the cylinder driving member 325 through a member hinge 319, and is formed in the center It is characterized in that it is formed so as to be rotated through the first height bar 320 and the bar hinge.

상기 가변측고정부재(322)는 제2가이드바(323)를 승하강고정판(310) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 가변측고정부재(322)는 승하강고정판(310) 하면 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The variable side fixing member 322 is formed to fix the second guide bar 323 on the elevating fixing plate 310, and the variable side fixing member 322 is the lower side of the elevating and lowering fixing plate 310. It is characterized in that it is formed on the other side.

상기 제2가이드바(323)는 일측과 타측으로 형성되는 가변측고정부재(322) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.The second guide bar 323 is formed on the variable side fixing member 322 formed on one side and the other side.

상기 제3부재(324)는 제1부재(317)와 제2높낮이바(321)를 통해 연결되며, 제2가이드바(323)를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바(323)에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.The third member 324 is connected to the first member 317 and the second height bar 321 to be coupled to the second guide bar 323 so as to slide along the second guide bar 323. characterized.

상기 실린더구동부재(325)는 제2부재(318)와 제1높낮이바(320)를 통해 연결되며, 제2가이드바(323)를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바(323)에 결합되며, 일측이 구동실린더(327)의 실린더 축에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.The cylinder driving member 325 is connected to the second member 318 and the first height bar 320 and is coupled to the second guide bar 323 so as to slide along the second guide bar 323, one side It is characterized in that it is connected to the cylinder shaft of the driving cylinder (327).

상기 실린더안착홈(326)은 구동실린더(327)가 안착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 실린더안착홈(326)은 승하강고정판(310) 내부로 형성되는 것을 특징으로 한다.The cylinder seating groove 326 is formed so that the driving cylinder 327 can be seated, and the cylinder seating groove 326 is formed inside the elevating fixing plate 310 .

상기 구동실린더(327)는 실린더구동부재(325)를 일측방향으로 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 구동실린더(327)는 실린더안착홈(326) 내부에 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.The driving cylinder 327 is formed to move the cylinder driving member 325 in one direction, and the driving cylinder 327 is seated inside the cylinder seating groove 326 .

상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above-described embodiments are for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the above-described embodiments pertain can easily transform into other specific forms without changing the technical idea or essential features of the above-described embodiments. You will understand. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The scope to be protected through this specification is indicated by the claims described below rather than the above detailed description, and it should be construed to include all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents. .

10 : 로드포트 시스템
100 : 풉이송장치
110 : 틀프레임 111 : 포트이송함
112 : 인출구 113 : 이송홈
120 : 베이스플레이트 121 : 슬라이드레일바
122 : 레일바고정부재 123 : 하부벨트그립부재
130 : 제1플레이트 131 : 플레이트레일바
132 : 레일바지지대 133 : 제1벨트풀리
134 : 제2벨트풀리 135 : 구동벨트
136 : 풀리모터 140 : 제2플레이트
141 : 케이스고정돌기 142 :돌기실린더
143 : 상부벨트그립부재
200 : 거치이송부
210 : 측면안착판 220 : 이송수단
221 : 바고정대 222 : 가이드바
223 : 이송부재 224 : 바결합부재
225 : 벨트부재 226 : 이송벨트
227 : 벨트구동기어 228 : 벨트기어
229 : 기어고정부재 230 : 벨트구동모터
250 : 거치수단 251 : 승하강실린더
252 : 승하강부재 253 : 밀착실린더
254 : 밀착부재 255 : 압력센서
256 : 터치센서
300 : 승하강부
310 : 승하강고정판 311 : 진동패드
312 : 풉안착판 313 : 높낮이감지센서
314 : 센서부재 315 : 유동측바고정부재
316 : 제1가이드바 317 : 제1부재
318 : 제2부재 319 : 부재힌지
320 : 제1높낮이바 321 : 제2높낮이바
322 : 가변측고정부재 323 : 제2가이드바
324 : 제3부재 325 : 실린더구동부재
326 : 실린더안착홈 327 : 구동실린더
500 : 풉고정장치
510 : 고정패널 511 : 케이스밀착면
512 : 돌기고정바 513 : 실린더안착바
514 : 실린더바 520 : 풉안착플레이트
521 : 바홈 522 : 안착돌기
523 : 레일부재 524 : 플레이트가이드레일
525 : 에어실린더 526 : 케이스걸림돌기
527 : 플레이트걸림돌기 528 : 케이스안착센서
600 : 케이스고정부
610 : 고정안착판 611 : 연결지지대
620 : 단일고정수단 621 : 고정단
622 : 단일밀착대 623 : 단일이동부재
624 : 스크류고정대 625 : 단일스크류
626 : 단일모터 627 : 단일부재홈
628 : 밀착센서
650 : 복수회전고정수단 651 : 제1축홈
652 : 제1스크류대 653 : 제1스크류
654 : 제1이동부재 655 : 제1회전축
656 : 제1회전밀착대 657 : 제2축홈
658 : 제2스크류대 659 : 제2스크류
660 : 제2이동부재 661 : 제2회전축
662 : 제2회전밀착대
700 : 케이스보관거치부
710 : 거치플레이트 711 : 거치프레임
712 : 보관함 713 : 보관공간
730 : 수직이송수단 731 : 수직이송홈
732 : 수직스크류부재 733 : 수직이송스크류
734 : 수직이송부재 735 : 수직이송바
736 : 수직스크류모터
750 : 수평이송승하강수단 751 : 수평이송홈
752 : 수평스크류부재 753 : 수평이송스크류
754 : 수평이송부재 755 : 실린더안착부재
756 : 상승실린더 757 : 상승판
770 : 보관이동수단 771 : 밀착지지부재
772 : 케이스밀착바 773 : 가이드지지부재
774 : 밀착가이드 775 : 밀착구동부재
776 : 밀착구동실린더 777 : 전후진실린더10: load port system
100: loom transfer device
110: frame frame 111: port transfer box
112: outlet 113: transfer groove
120: base plate 121: slide rail bar
122: rail bar fixing member 123: lower belt grip member
130: first plate 131: plate rail bar
132: rail bar support 133: first belt pulley
134: second belt pulley 135: drive belt
136: pulley motor 140: second plate
141: case fixing projection 142: projection cylinder
143: upper belt grip member
200: stationary transfer unit
210: side seating plate 220: transport means
221: bar fixing bar 222: guide bar
223: transfer member 224: bar coupling member
225: belt member 226: transfer belt
227: belt drive gear 228: belt gear
229: gear fixing member 230: belt drive motor
250: mounting means 251: elevating cylinder
252: elevating member 253: close cylinder
254: adhesion member 255: pressure sensor
256: touch sensor
300: elevating part
310: elevating fixed plate 311: vibration pad
312: Loop seating plate 313: height detection sensor
314: sensor member 315: floating side bar fixing member
316: first guide bar 317: first member
318: second member 319: member hinge
320: first height bar 321: second height bar
322: variable measuring and fixing member 323: second guide bar
324: third member 325: cylinder driving member
326: cylinder seating groove 327: driving cylinder
500: unfastening device
510: fixed panel 511: case adhesion surface
512: projection fixing bar 513: cylinder seating bar
514: cylinder bar 520: loosen seating plate
521: bar groove 522: seating projection
523: rail member 524: plate guide rail
525: air cylinder 526: case locking projection
527: plate locking projection 528: case seating sensor
600: case fixing part
610: fixed seating plate 611: connection support
620: single fixing means 621: fixed end
622: single cohesive bar 623: single moving member
624: screw holder 625: single screw
626: single motor 627: single member groove
628: adhesion sensor
650: multiple rotation fixing means 651: first shaft groove
652: first screw stand 653: first screw
654: first moving member 655: first rotating shaft
656: 1st rotary attachment 657: 2nd shaft groove
658: second screw stand 659: second screw
660: second moving member 661: second rotating shaft
662: 2nd rotary abutment band
700: case storage holder
710: mounting plate 711: mounting frame
712: storage box 713: storage space
730: vertical transfer means 731: vertical transfer groove
732: vertical screw member 733: vertical transfer screw
734: vertical transfer member 735: vertical transfer bar
736: vertical screw motor
750: horizontal transfer elevating means 751: horizontal transfer groove
752: horizontal screw member 753: horizontal transfer screw
754: horizontal transfer member 755: cylinder seating member
756: rising cylinder 757: rising plate
770: storage moving means 771: close support member
772: case adhesion bar 773: guide support member
774: close guide 775: close drive member
776: close driving cylinder 777: front and rear truth cylinder

Claims

풉을 웨이퍼 처리공간으로 투입하기 위한 풉이송장치에 있어서,
상기 풉이송장치는,
포트이송함을 지지하도록 지면에서 이동가능하도록 형성되는 틀프레임과,
풉케이스가 위치되어 이동가능하도록 틀프레임 상부로 형성되는 포트이송함과,
풉케이스가 일측방향으로 이동되어 외부로 돌출되도록 포트이송함 전면으로 형성되는 인출구와,
풉케이스가 인출구 측으로 이송가능하도록 포트이송함 바닥면에 형성되는 이송홈과,
풉케이스를 슬라이드 이동시키며, 슬라이드레일바가 안착 형성될 수 있도록 프레임 상부로 형성되는 베이스플레이트와,
제1플레이트가 슬라이드 될 수 있도록 베이스플레이트 상면 양측으로 형성되는 슬라이드레일바와,
슬라이드레일바가 베이스플레이트 상에 고정될 수 있도록 슬라이드레일바 양측으로 결합되어 베이스플레이트에 고정되도록 형성되는 레일바고정부재와,
구동벨트의 하부에 결합되어 구동벨트가 회전됨에 따라 제1플레이트가 슬라이드되도록 베이스플레이트 상부 일측으로 형성되는 하부벨트그립부재와,
슬라이드레일바에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 제1플레이트와,
제2플레이트가 안착되어 슬라이드 될 수 있도록 제1플레이트 상면 양측으로 형성되는 플레이트레일바와,
플레이트레일바가 제1플레이트 상에 고정될 수 있도록 플레이트레일바 양측으로 결합되어 제1플레이트에 고정되도록 형성되는 레일바지지대와,
구동벨트의 일측에서 풀리모터에 의해 회전되도록 제1플레이트 일측으로 형성되는 제1벨트풀리와,
구동벨트의 타측에서 회전되는 구동벨트에 의해 회전되도록 제1플레이트 타측으로 형성되는 제2벨트풀리와,
일측으로 형성되는 제1벨트풀리와 타측으로 형성되는 제2벨트풀리 간의 연결 형성되는 구동벨트와,
제1벨트풀리를 회전시키기 위해 제1플레이트 일측에 안착되어 제1벨트풀리와 연결 형성되는 풀리모터와,
플레이트레일바에 안착되어 슬라이드되도록 형성되는 제2플레이트와,
안착되는 풉케이스의 하단부를 고정시키기 위해 돌기실린더에 의해 일측방향으로 회전되도록 제2플레이트 상면 양측으로 형성되는 케이스고정돌기와,
케이스고정돌기를 회전시키기 위해 일측이 케이스고정돌기와 연결되고, 타측이 제2플레이트 하면에 고정 형성되는 돌기실린더와,
구동벨트의 상부에 결합되어 구동벨트가 회전됨에 따라 제2플레이트가 슬라이드되도록 제2플레이트 하면 양측으로 형성되는 상부벨트그립부재를 포함하되,
상기 풉이송장치에는,
풉케이스의 교체를 위해 밀착 거치하기 위한 거치이송부; 또는
풉케이스의 교체 및 상태확인을 위해 승하강시키기 위한 승하강부; 중 어느 하나가 선택되되,
상기 거치이송부는,
포트이송함 상면으로 형성되는 이송홈 양측으로 형성되는 측면안착판과,
밀착거치를 위해 풉케이스 측으로 이동되거나, 밀착거치된 풉케이스를 이동시키기 위해 측면안착판 상부로 형성되는 이송수단과,
풉케이스를 밀착거치하기 위해 이송수단 상부로 형성되는 거치수단을 포함하며,
상기 이송수단은,
가이드바를 고정시키기 위해 측면안착판 상부 일측과 타측방향으로 각각 형성되는 바고정대와,
일측과 타측으로 형성되는 바고정대 상에 형성되는 가이드바와,
승하강실린더가 안착되되록 바결합부재 상부로 형성되는 이송부재와,
가이드바에 결합되어 이송부재를 슬라이드 시키기 위해 이송부재 하면에 결합 형성되는 바결합부재와,
이송벨트를 고정시키기 위해 이송부재 하면으로 형성되는 벨트부재와,
벨트부재가 결합되도록 형성되며, 일측으로 형성되는 벨트구동기어와 타측으로 형성되는는 벨트기어에 결합되어 회전되도록 형성되는 이송벨트와,
이송벨트 일측으로 걸려지도록 측면안착판 일측으로 형성되는 벨트구동기어와,
이송벨트 타측으로 걸려지도록 측면안착판 타측으로 형성되는 벨트기어와,
벨트구동기어를 측면안착판에 고정시키며, 벨트기어를 측면안착판에 고정시키기 위한 기어고정부재와,
이송벨트를 회전시키기 위해 벨트구동기어 일측으로 연결 형성되는 벨트구동모터으로 이루어지며,
상기 거치수단은,
풉케이스를 상승시키기 위해 이송부재 상부로 형성되는 승하강실린더와,
밀착실린더를 지지하도록 승하강실린더의 실린더 축에 결합 형성되는 승하강부재와,
밀착부재를 풉케이스 측으로 전진시키며, 터치센서와 압력센서로부터 감지정보를 제공받아 작동되도록 승하강부재 상부로 형성되는 밀착실린더와,
풉케이스 일측면과 타측면에 각각 밀착 되도록 밀착실린더의 실린더 축에 연결 형성되는 밀착부재와,
밀착부재가 풉케이스 측면에 접촉시 접촉되는 압력을 감지하여 감지된 정보를 밀착실린더 측으로 제공하여, 밀착실린더를 작동시키기 위해 밀착부재 일측으로 형성되는 압력센서와,
거치된 풉케이스를 밀착부재 상에서 이탈시키기 위한 밀착실린더 측으로 터치감지정보를 제공하도록 밀착실린더 일측으로 형성되는 터치센서로 이루어지며,
상기 승하강부는,
풉안착판과 대응되는 위치인 제2플레이트 상면에 안착 형성되는 승하강고정판과,
진동 및 충격이 풉케이스 측으로 전달되지 않도록 하기 위해 제2플레이트와 승하강고정판 사이에 복수개 형성되는 진동패드와,
풉케이스가 안착되며, 교체시 승하강되도록 승하강고정판과 대응되는 위치로 일정 간격을 두고 형성되는 풉안착판과,
승하강되는 풉안착판의 높이를 감지하기 위해 풉안착판 일측으로 형성되는 높낮이감지센서와,
높낮이감지센서가 높이를 감지하도록 승하강고정판 일측으로 형성되는 센서부재와,
제1가이드바를 풉안착판 상에 고정시키기 위해 풉안착판 하면 일측과 타측으로 형성되는 유동측바고정부재와,
일측과 타측으로 형성되는 유동측바고정부재 상에 형성되는 제1가이드바와,
제3부재와 제2높낮이바를 통해 연결되며, 제1가이드바를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바에 결합 형성되는 제1부재와,
실린더구동부재와 제1높낮이바를 통해 연결되며, 제1가이드바를 따라 슬라이드되도록 제1가이드바에 결합 형성되는 제2부재와,
제1높낮이바와 제2높낮이바의 각 끝단에 제1부재와 제2부재와 제3부재와 실린더구동부재의 결합시 회전될 수 있도록 형성되는 부재힌지와,
일측이 부재힌지를 통해 제2부재와 연결되고, 타측이 부재힌지를 통해 제3부재와 연결 형성되고, 중앙에 제2높낮이바와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 제1높낮이바와,
일측이 부재힌지를 통해 제1부재와 연결되고, 타측이 부재힌지를 통해 실린더구동부재와 연결 형성되며, 중앙에 제1높낮이바와 바힌지를 통해 회전될 수 있도록 형성되는 제2높낮이바와,
제2가이드바를 승하강고정판 상에 고정시키기 위해 승하강고정판 하면 일측과 타측으로 형성되는 가변측고정부재와,
일측과 타측으로 형성되는 가변측고정부재 상에 형성되는 제2가이드바와,
제1부재와 제2높낮이바를 통해 연결되며, 제2가이드바를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바에 결합 형성되는 제3부재와,
제2부재와 제1높낮이바를 통해 연결되며, 제2가이드바를 따라 슬라이드되도록 제2가이드바에 결합되며, 일측이 구동실린더의 실린더 축에 연결 형성되는 실린더구동부재와,
구동실린더가 안착될 수 있도록 승하강고정판 내부로 형성되는 실린더안착홈과,
실린더구동부재를 일측방향으로 이동시키기 위해 실린더안착홈 내부에 안착 형성되는 구동실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 풉이송장치.

A FOUP transfer device for inputting FOOP into a wafer processing space, comprising:
The loot transfer device is
A frame frame formed to be movable on the ground to support the port transfer box;
A port transfer box formed on the upper part of the frame frame so that the FOUP case is located and movable;
An outlet formed in the front of the port transfer box so that the FOUP case is moved in one direction to protrude to the outside;
A transfer groove formed on the bottom surface of the port transfer box so that the FOUP case can be transferred to the outlet side;
A base plate formed on the upper part of the frame so that the FOUP case can be slided and the slide rail bar can be seated;
A slide rail bar formed on both sides of the upper surface of the base plate so that the first plate can slide;
A rail bar fixing member formed to be fixed to the base plate by being coupled to both sides of the slide rail bar so that the slide rail bar can be fixed on the base plate;
a lower belt grip member coupled to the lower portion of the drive belt and formed on one side of the upper portion of the base plate so that the first plate slides as the drive belt rotates;
A first plate that is seated on the slide rail bar and formed to slide;
A plate rail bar formed on both sides of the upper surface of the first plate so that the second plate can be seated and slid;
a rail bar support formed to be fixed to the first plate by being coupled to both sides of the plate rail bar so that the plate rail bar can be fixed on the first plate;
A first belt pulley formed on one side of the first plate to be rotated by a pulley motor on one side of the drive belt;
a second belt pulley formed on the other side of the first plate so as to be rotated by the driving belt rotated from the other side of the drive belt;
A drive belt connected between the first belt pulley formed on one side and the second belt pulley formed on the other side,
A pulley motor seated on one side of the first plate to rotate the first belt pulley and connected to the first belt pulley;
a second plate that is seated on the plate rail bar and is formed to slide;
A case fixing protrusion formed on both sides of the upper surface of the second plate so as to be rotated in one direction by a protruding cylinder to fix the lower end of the FOUP case to be seated;
A protrusion cylinder having one side connected to the case fixing projection to rotate the case fixing projection, and the other side being fixedly formed on the lower surface of the second plate,
It is coupled to the upper part of the drive belt and includes upper belt grip members formed on both sides of the lower surface of the second plate so that the second plate slides as the drive belt rotates,
In the loot transfer device,
a stationary transport unit for closely mounting the loot case for replacement; or
Elevating unit for elevating and lowering for replacement and status check of the FOUP case; Any one of them is selected,
The transfer unit,
Side seating plates formed on both sides of the transfer groove formed on the upper surface of the port transfer box,
A transfer means that is moved to the FOUP case side for close mounting or is formed on the upper side of the side seating plate to move the FOUP case that has been closely mounted;
It includes a mounting means formed above the transport means to hold the FOUP case in close contact,
The transport means,
A bar holder formed in each of the upper side and the other direction of the side seating plate to fix the guide bar,
A guide bar formed on a bar holder formed on one side and the other side,
A transfer member formed above the bar coupling member so that the elevating cylinder is seated;
A bar coupling member coupled to the guide bar and formed to be coupled to the lower surface of the conveying member to slide the conveying member;
A belt member formed as a lower surface of the conveying member to fix the conveying belt;
The belt member is formed to be coupled, the belt drive gear formed on one side and the conveyance belt formed to rotate by being coupled to the belt gear formed on the other side;
A belt driving gear formed on one side of the side seating plate so as to be hung on one side of the transfer belt,
A belt gear formed on the other side of the side seating plate so as to be hung on the other side of the transfer belt,
A gear fixing member for fixing the belt drive gear to the side mounting plate and fixing the belt gear to the side mounting plate;
It consists of a belt drive motor connected to one side of the belt drive gear to rotate the conveying belt,
The holding means is
An elevating cylinder formed on the upper part of the transfer member to raise the FOUP case;
an elevating member coupled to the cylinder shaft of the elevating cylinder to support the close contact cylinder;
A close contact cylinder formed on the upper part of the elevating member to advance the contact member toward the FOUP case and receive sensing information from the touch sensor and pressure sensor to operate;
A contact member connected to the cylinder shaft of the close contact cylinder so as to be in close contact with one side and the other side of the FOUP case, respectively;
A pressure sensor formed on one side of the contact member to operate the close contact cylinder by sensing the pressure when the contact member comes into contact with the side of the FOUP case and providing the sensed information to the close contact cylinder;
It consists of a touch sensor formed on one side of the close contact cylinder to provide touch sensing information to the close contact cylinder for detaching the mounted FOUP case from the contact member,
The elevating unit,
An elevating fixing plate that is seated and formed on the upper surface of the second plate, which is a position corresponding to the FOUP seating plate,
A plurality of vibration pads formed between the second plate and the elevating fixing plate to prevent vibration and shock from being transmitted to the FOUP case;
The FOUP case is seated, and the FOUP seating plate is formed at a certain interval at a position corresponding to the elevating and lowering fixing plate so that it can be raised or lowered during replacement;
A height detection sensor formed on one side of the FOOP seating plate to detect the height of the elevating and lowering FOOP seating plate;
A sensor member formed on one side of the elevation fixing plate so that the height detection sensor detects the height;
a floating-side bar fixing member formed on one side and the other side of the lower surface of the FOOP seating plate to fix the first guide bar on the FOOP seating plate;
A first guide bar formed on the flow-side bar fixing member formed on one side and the other side;
A first member connected to the third member and the second height bar and coupled to the first guide bar to slide along the first guide bar;
A second member connected to the cylinder driving member through the first height bar and coupled to the first guide bar to slide along the first guide bar;
A member hinge formed at each end of the first raising bar and the second raising bar to be rotatable when the first member, the second member, the third member, and the cylinder driving member are combined;
A first height bar formed so that one side is connected to the second member through a member hinge, the other side is connected to the third member through a member hinge, and can be rotated through a second height bar and a bar hinge in the center;
A second elevation bar having one side connected to the first member through a member hinge, the other side being connected to the cylinder driving member through a member hinge, and being rotatable through the first elevation bar and the bar hinge in the center;
A variable side fixing member formed on one side and the other side of the lower surface of the elevating fixed plate to fix the second guide bar on the elevating fixed plate,
a second guide bar formed on the variable side fixing member formed on one side and the other side;
A third member connected to the first member and the second height bar and coupled to the second guide bar to slide along the second guide bar;
A cylinder driving member connected to the second member through the first height bar, coupled to the second guide bar to slide along the second guide bar, and having one side connected to the cylinder shaft of the driving cylinder;
A cylinder seating groove formed inside the elevating fixing plate so that the driving cylinder can be seated;
A poof transfer device comprising a driving cylinder that is seated and formed in a cylinder seating groove to move the cylinder driving member in one direction.

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