KR102270563B1 - Substrate transporting system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 시스템에 관한 것이며, 보다 상세하게는 프리얼라인이 완료된 기판을 위치 정렬이 정확히 유지한 상태로 이송시키기 위한 기판 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transport system, and more particularly, to a substrate transport system for transporting a pre-aligned substrate in a state in which position alignment is accurately maintained.

Description

기판 이송 시스템{SUBSTRATE TRANSPORTING SYSTEM}SUBSTRATE TRANSPORTING SYSTEM

본 발명은 기판 이송 시스템에 관한 것이며, 보다 상세하게는 프리얼라인이 완료된 기판을 위치 정렬이 정확히 유지한 상태로 이송시키기 위한 기판 이송 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transport system, and more particularly, to a substrate transport system for transporting a pre-aligned substrate in a state in which position alignment is accurately maintained.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 기판 이송 시스템을 참조하면, 우선 로딩부(20)에서 기판 이송 유닛(10) 또는 컨베이어를 통해 프리얼라인 스테이지(30)로 공급된 기판(G)에 대한 프리얼라인 공정이 수행된다.Referring to the conventional substrate transfer system as shown in FIG. 1 , first of all, the pre-loading of the substrate G supplied from the loading unit 20 to the pre-alignment stage 30 through the substrate transfer unit 10 or the conveyor An alignment process is performed.

프리얼라인 공정이 완료된 기판(G)은 다시 기판 이송 유닛(10) 또는 컨베이어를 통해 수평 방향의 작업부(40)로 이송된다.The substrate G on which the pre-alignment process is completed is transferred again to the horizontal work unit 40 through the substrate transfer unit 10 or a conveyor.

작업부(40)는 프리얼라인 이후의 단위 공정이 수행되는 곳으로, 예를 들어 기판의 스크라이빙 또는 브레이킹 등이 수행될 수 있다.The work unit 40 is a place where a unit process after pre-alignment is performed, and for example, scribing or breaking of a substrate may be performed.

프리얼라인 스테이지(30) 상에서 프리얼라인 공정이 완료된 기판(G)은 동일한 위치에서 이후의 단위 공정을 수행할 수 없기 때문에, 기판 이송 유닛(10) 또는 컨베이어를 통해 다른 위치(즉, 작업부(40))로 이송되어야 하며, 프리얼라인 공정이 완료된 이후의 추가적인 이송 작업에 의해 기판(G)의 정렬 상태가 훼손될 가능성이 존재한다.Since the substrate G on which the pre-alignment process has been completed on the pre-alignment stage 30 cannot perform subsequent unit processes at the same position, it is transferred to another position (ie, the work unit) through the substrate transfer unit 10 or the conveyor. (40)), and there is a possibility that the alignment state of the substrate G may be damaged by an additional transfer operation after the pre-alignment process is completed.

특히, 기판(G)의 정렬 상태의 훼손은 컨베이어 벨트를 통해 이송할 경우 두드러지는데, 이는 컨베이어 벨트를 구성하는 다수의 롤 또는 벨트의 미세한 높낮이 차이에도 기판(G)의 정렬 상태가 흐트러질 수 있기 때문이다.In particular, the deterioration of the alignment state of the substrate G is conspicuous when it is transported through the conveyor belt, which may disturb the alignment state of the substrate G even with a slight difference in height of a plurality of rolls or belts constituting the conveyor belt. Because.

또한, 진공 흡착 등을 통해 기판(G)을 흡착시켜 이송하는 기판 이송 유닛(10) 역시 공정 오차를 발생시킬 수 밖에 없는 한계를 가지고 있다.In addition, the substrate transfer unit 10, which adsorbs and transfers the substrate G through vacuum adsorption, etc., also has a limit inevitably causing a process error.

상술한 바와 같이, 기판(G)의 프리얼라인을 완료했음에도 불구하고 이후의 작업부(40) 상에 정렬 상태가 훼손된 상태로 기판(G)이 이송된 경우, 이후의 단위 공정에서의 공정 정밀도가 떨어지게 된다.As described above, when the substrate G is transferred in a state in which the alignment state is damaged on the subsequent work unit 40 despite the completion of the pre-alignment of the substrate G, process precision in subsequent unit processes will fall

또한, 기판 이송 유닛(10)을 통해 로딩부(20)에서 프리얼라인 스테이지(30)를 거쳐 작업부(40)까지 기판(G)을 이송시키기 위해서는 기판 이송 시스템의 전 라인에 걸쳐 기판 이송 유닛(10)이 이동 가능하도록 구성되어야 하며, 이 때 기판 이송 유닛(10)이 차지하는 공간에 의해 전체 시스템의 공간 활용도가 떨어지게 된다.In addition, in order to transfer the substrate G from the loading unit 20 to the work unit 40 through the pre-alignment stage 30 through the substrate transfer unit 10, a substrate transfer unit is provided over the entire line of the substrate transfer system. (10) must be configured to be movable, and at this time, the space utilization of the entire system is reduced by the space occupied by the substrate transfer unit 10 .

이에 따라, 특히 기판(G)의 위치 정렬과 관련된 공정 정밀도를 향상시키고, 전체 시스템의 공간 활용도를 향상시키기 위한 기판 이송 시스템의 개발이 필요한 실정이다.
Accordingly, there is a need to develop a substrate transfer system to improve the process precision related to the alignment of the substrate G, and improve the space utilization of the entire system.

본 발명은 상기와 같은 종래 기판 이송 시스템의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 위치 정렬과 관련된 공정 정밀도를 향상시키고, 전체 시스템의 공간 활용도를 향상시키기 위한 기판 이송 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention is to solve the problems of the conventional substrate transfer system as described above, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer system for improving the processing precision related to the position alignment of the substrate and improving the space utilization of the entire system. .

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 수평 방향으로 공급하는 로딩부; 상기 로딩부로부터 공급된 기판이 안착된 후, 상기 기판의 프리얼라인이 수행되는 프리얼라인 스테이지; 상기 프리얼라인 스테이지 상에서 프리얼라인이 완료된 기판을 흡착하여 수직 방향으로 승강 이동시키기 위한 기판 이송 유닛; 및 상기 프리얼라인 스테이지의 하부에 배치되며, 상기 기판 이동 유닛으로부터 수직 방향으로 이송된 기판이 언로딩되는 작업부;를 포함하는 기판 이송 시스템이 제공될 수 있다.In order to solve the above technical problem, according to an aspect of the present invention, a loading unit for supplying the substrate in a horizontal direction; a pre-alignment stage for pre-aligning the substrate after the substrate supplied from the loading unit is seated; a substrate transfer unit for adsorbing the pre-aligned substrate on the pre-alignment stage and vertically moving the substrate; and a working unit disposed below the pre-alignment stage and unloading the substrate transferred in the vertical direction from the substrate moving unit.

여기서, 상기 프리얼라인 스테이지는 전방 또는 후방으로 이동하여 개구부를 형성하며, 상기 기판 이송 유닛에 의해 흡착된 기판은 상기 개구부를 통해 작업부로 언로딩될 수 있다.Here, the pre-alignment stage moves forward or backward to form an opening, and the substrate adsorbed by the substrate transfer unit may be unloaded to the work unit through the opening.

여기서, 상기 개구부는 적어도 기판의 면적보다 넓은 개구 면적을 가질 수 있다.Here, the opening may have an opening area that is at least larger than that of the substrate.

여기서, 상기 프리얼라인 스테이지는 상기 로딩부의 하부에 배치되도록 후방으로 이동할 수 있다.Here, the pre-alignment stage may move backward to be disposed under the loading part.

여기서, 상기 프리얼라인 스테이지는 힌지식 도어 어셈블리를 통해 개폐 가능하도록 구성될 수 있다.Here, the pre-alignment stage may be configured to be openable and openable through a hinged door assembly.

여기서, 상기 힌지식 도어 어셈블리는 상기 프리얼라인 스테이지의 좌측 및 우측에 각각 구비된 힌지를 포함하며, 상기 프리얼라인 스테이지는 상기 힌지를 중심으로 회동하여 상기 프리얼라인 스테이지의 하부로 개방되는 제1 스테이지 및 제2 스테이지를 포함할 수 있다.Here, the hinged door assembly includes hinges provided on the left and right sides of the pre-alignment stage, respectively, and the pre-alignment stage rotates about the hinge to be opened to the lower part of the pre-alignment stage. It may include a first stage and a second stage.

여기서, 상기 힌지식 도어 어셈블리는 상기 프리얼라인 스테이지의 전단 및 후단에 각각 구비된 힌지를 포함하며, 상기 프리얼라인 스테이지는 상기 힌지를 중심으로 회동하여 상기 프리얼라인 스테이지의 하부로 개방되는 제1 스테이지 및 제2 스테이지를 포함할 수 있다.
Here, the hinged door assembly includes hinges provided at the front and rear ends of the pre-alignment stage, respectively, and the pre-alignment stage rotates about the hinge to be opened to the lower part of the pre-alignment stage. It may include a first stage and a second stage.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템은 기판의 위치 정렬과 관련된 공정 정밀도를 향상시키고, 전체 기판 이송 시스템의 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.
The substrate transfer system according to an embodiment of the present invention may improve process precision related to position alignment of a substrate and improve space utilization of the entire substrate transfer system.

도 1은 종래 기판 이송 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2a 내지 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 구성 및 작동 원리를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3a 내지 3c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 구성 및 작동 원리를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 프리얼라인 스테이지의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 5a 및 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 프리얼라인 스테이지의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 6a 및 6b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 프리얼라인 스테이지의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다.1 schematically shows the configuration of a conventional substrate transfer system.
2A to 2C schematically show the configuration and operating principle of a substrate transport system according to an embodiment of the present invention.
3A to 3C schematically show the configuration and operating principle of a substrate transport system according to another embodiment of the present invention.
4A and 4B schematically show movement of a pre-alignment stage of a substrate transport system according to an embodiment of the present invention.
5A and 5B schematically show movement of a pre-alignment stage of a substrate transport system according to another embodiment of the present invention.
6A and 6B schematically show movement of a pre-alignment stage of a substrate transport system according to another embodiment of the present invention.

본 발명을 더 쉽게 이해하기 위해 편의상 특정 용어를 본원에 정의한다. 본원에서 달리 정의하지 않는 한, 본 발명에 사용된 과학 용어 및 기술 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 특별히 지정하지 않는 한, 단수 형태의 용어는 그것의 복수 형태도 포함하는 것이며, 복수 형태의 용어는 그것의 단수 형태도 포함하는 것으로 이해되어야 한다. In order to better understand the present invention, certain terms are defined herein for convenience. Unless defined otherwise herein, scientific and technical terms used herein shall have the meanings commonly understood by one of ordinary skill in the art. Also, unless the context specifically dictates otherwise, it is to be understood that a term in the singular includes its plural form, and a term in the plural form also includes its singular form.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
Terms including an ordinal number such as 1st, 2nd, etc. may be used to describe various components, but the components are not limited by these terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 구성 및 작동 원리를 보다 상세히 설명하도록 한다.
Hereinafter, the configuration and operating principle of the substrate transport system according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 2c에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템은 기판(G)을 수평 방향으로 이송하는 로딩부(20), 기판(G)의 프리얼라인이 수행되는 프리얼라인 스테이지(30)와 프리얼라인이 완료된 후 수행되는 각 단위 공정이 수행되는 작업부(40)를 포함한다.As shown in FIGS. 2A to 2C , in the substrate transport system according to an embodiment of the present invention, a loading unit 20 for transporting a substrate G in a horizontal direction, a pre-alignment of the substrate G is performed. It includes an alignment stage 30 and a work unit 40 in which each unit process performed after the pre-alignment is completed.

이 때, 기판(G)의 프리얼라인이 시작되기 전 상태에서 로딩부(20)와 프리얼라인 스테이지(30)는 동일한 수평선 상에 배치되어 있으나, 작업부(40)는 도 1에 도시된 기판 이송 시스템과 달리 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치되어 있다.At this time, in the state before the pre-alignment of the substrate G is started, the loading unit 20 and the pre-alignment stage 30 are arranged on the same horizontal line, but the working unit 40 is Unlike the substrate transfer system, it is disposed below the pre-alignment stage 30 .

프리얼라인 스테이지(30)와 작업부(40)는 동일한 수직선 상에 배치되기 때문에 종래의 기판 이송 시스템보다 수평 방향으로 차지하는 공간을 감소시킬 수 있다.Since the pre-alignment stage 30 and the work unit 40 are arranged on the same vertical line, it is possible to reduce the space occupied in the horizontal direction compared to the conventional substrate transfer system.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 수평 방향으로 이동이 가능하도록 구성된 기판 이송 유닛(10)에 의해 로딩부(20) 상의 기판(G)이 흡착되며, 기판 이송 유닛(10)의 수평 방향으로의 이동에 의해 기판(G)은 프리얼라인 스테이지(30) 상에 안착될 수 있다.Referring to FIGS. 2A and 2B , the substrate G on the loading unit 20 is adsorbed by the substrate transfer unit 10 configured to be movable in the horizontal direction, and the substrate transfer unit 10 moves in the horizontal direction. By movement, the substrate G may be seated on the pre-alignment stage 30 .

기판 이송 유닛(10)은 기판(G)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공 흡착 부재를 포함한다.The substrate transfer unit 10 includes a plurality of vacuum adsorption members for vacuum adsorbing the substrate (G).

프리얼라인 스테이지(30)는 작업부(40)에서 수행되는 단위 공정에 기판(G)이 투입되기 전에 기판(G)의 프리얼라인이 수행된다.In the pre-alignment stage 30 , pre-alignment of the substrate G is performed before the substrate G is input to a unit process performed by the work unit 40 .

프리얼라인 스테이지(30) 상에서 프리얼라인이 완료된 기판(G)은 다시 기판 이송 유닛(10)에 의해 흡착되어 수직 방향으로 승강 이동하게 된다. On the pre-alignment stage 30 , the substrate G on which the pre-alignment has been completed is adsorbed again by the substrate transfer unit 10 and moves vertically upward and downward.

구체적으로, 기판 이송 유닛(10)은 프리얼라인이 완료된 기판(G)을 흡착한 후 상승하여 기판(G)을 프리얼라인 스테이지(30)로부터 일정 거리만큼 이격시킨다.Specifically, the substrate transfer unit 10 adsorbs the pre-aligned substrate G and then rises to separate the substrate G from the pre-alignment stage 30 by a predetermined distance.

이어서, 도 2c에 도시된 바와 같이, 프리얼라인 스테이지(30)가 본래의 위치로부터 제거된 후, 기판(G)을 흡착하고 있는 기판 이송 유닛(10)이 수직 방향으로 하강하여 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치된 작업부(40) 상에 기판을 언로딩한다.Subsequently, as shown in FIG. 2C , after the pre-alignment stage 30 is removed from its original position, the substrate transfer unit 10 adsorbing the substrate G descends in the vertical direction to perform the pre-alignment stage. The substrate is unloaded on the work unit 40 disposed under the 30 .

이 때, 기판 이송 유닛(10)에 의해 흡착된 기판(G)은 프리얼라인된 상태 그대로 작업부(40)로 언로딩되기 때문에 기판(G) 정렬 상태의 훼손이 발생할 여지가 없다.At this time, since the substrate G adsorbed by the substrate transfer unit 10 is unloaded to the work unit 40 in a pre-aligned state, there is no room for damage to the alignment state of the substrate G.

특히, 기판 이송 유닛(10)이 수직 방향으로의 승강 이동만이 가능하고, 좌우 또는 회전 유동이 엄격히 억제된 경우, 프리얼라인 스테이지(30) 상에서 프리얼라인된 기판(G)의 위치 정렬은 작업부(40) 상에서도 정확히 유지될 수 있다.In particular, when the substrate transfer unit 10 can only move up and down in the vertical direction and the left-right or rotational flow is strictly suppressed, the positional alignment of the pre-aligned substrate G on the pre-alignment stage 30 is It can be accurately maintained even on the work unit 40 .

기판 이송 유닛(10)을 통해 기판(G)이 작업부(40)로 언로딩되면, 작업부(40)에서는 예를 들어, 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정, 세정 공정, 합착 공정 및 절단 공정 등과 같은 각 단위 공정 중 임의의 하나가 수행될 수 있다.When the substrate G is unloaded to the work unit 40 through the substrate transfer unit 10 , in the work unit 40 , for example, a deposition process, an exposure process, an etching process, a cleaning process, a bonding process, and a cutting process Any one of each unit process such as, etc. may be performed.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템에 의할 경우, 프리얼라인 스테이지(30) 상에서 프리얼라인된 기판(G)의 위치 정렬은 작업부(40) 상에서도 정확히 유지될 수 있기 때문에 이후의 단위 공정에서의 공정 정밀도 역시 향상될 수 있다.
In the case of the substrate transport system according to an embodiment of the present invention, since the position alignment of the pre-aligned substrate G on the pre-alignment stage 30 can be accurately maintained even on the work unit 40 , subsequent Process precision in a unit process may also be improved.

도 3a 내지 3c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 시스템을 나타낸 것이다.3A to 3C show a substrate transport system according to another embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 기판 이송 유닛(10)은 프리얼라인 스테이지(30)와 인접한 위치에 고정 설치되어 있으며, 기판(G)은 로딩부(20)로부터 컨베이어 벨트 등과 같은 이송 수단에 의해 프리얼라인 스테이지(30)로 공급된다.Referring to FIG. 3A , the substrate transfer unit 10 is fixedly installed at a position adjacent to the pre-alignment stage 30 , and the substrate G is pre-aligned by a transfer means such as a conveyor belt from the loading unit 20 . It is supplied to the in-stage 30 .

즉, 도 3a에 도시된 기판 이송 시스템에서는 기판 이송 유닛(10)이 프리얼라인 스테이지(30)와 인접한 위치에 고정 설치되어, 프리얼라인이 완료된 기판(G)을 흡착한 후 수직 방향으로만 승강 이동하도록 구성됨에 따라 도 2a에 도시된 기판 이송 시스템보다 전체 시스템 내 기판 이송 유닛(10)이 차지하는 공간을 감소시킬 수 있다.That is, in the substrate transfer system shown in FIG. 3A , the substrate transfer unit 10 is fixedly installed at a position adjacent to the pre-alignment stage 30 , and after adsorbing the pre-aligned substrate G, only in the vertical direction. As it is configured to move up and down, it is possible to reduce the space occupied by the substrate transfer unit 10 in the entire system compared to the substrate transfer system illustrated in FIG. 2A .

즉, 기판 이송 유닛(10)의 수평 이송 역할을 로딩부(20)가 대체함에 따라 전체 시스템의 공간 활용도를 더욱 향상시킬 수 있다.
That is, as the loading unit 20 replaces the horizontal transfer role of the substrate transfer unit 10 , the space utilization of the entire system can be further improved.

이하에서는 기판 이송 유닛(10)에 의해 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치된 작업부(40)로 기판(G)이 언로딩되기 위한 프리얼라인 스테이지(30)의 이동에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
Hereinafter, the movement of the pre-alignment stage 30 for unloading the substrate G to the work unit 40 disposed below the pre-alignment stage 30 by the substrate transfer unit 10 will be described in detail. let it do

우선, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 프리얼라인 스테이지(30)는 그 전체로서 또는 일부가 전방 또는 후방으로 이동하여 개구부를 형성하며, 기판 이송 유닛(10)에 의해 흡착된 기판은 상기 개구부를 통해 수직 방향으로 하강하여 작업부(40) 상에 기판(G)을 언로딩하도록 구성된다.
First, in one embodiment of the present invention, the pre-alignment stage 30 as a whole or a part thereof moves forward or backward to form an opening, and the substrate adsorbed by the substrate transfer unit 10 is the opening. Down through the vertical direction is configured to unload the substrate (G) on the work unit (40).

도 4a 및 4b는 측면에서 바라본 프리얼라인 스테이지(30)의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다.4A and 4B schematically show the movement of the pre-alignment stage 30 as viewed from the side.

여기서, 기판 이송 유닛(10)은 프리얼라인이 완료된 기판(G)을 흡착한 후 상승하여 기판(G)을 프리얼라인 스테이지(30)로부터 일정 거리만큼 이격시킨다.Here, the substrate transfer unit 10 adsorbs the pre-aligned substrate G and then rises to separate the substrate G from the pre-alignment stage 30 by a predetermined distance.

이어서, 도 4a에 도시된 바와 같이, 프리얼라인 스테이지(30)는 적어도 기판(G)의 면적보다 넓은 개구 면적을 형성하도록 전방으로 이동한다.Then, as shown in FIG. 4A , the pre-alignment stage 30 moves forward to form an opening area that is at least larger than that of the substrate G. As shown in FIG.

그리고 나서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 프리얼라인 스테이지(30)의 이동에 의해 형성된 개구부를 통해 기판(G)을 흡착하고 있는 기판 이송 유닛(10)이 수직 방향으로 하강하여 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치된 작업부(40) 상에 기판을 언로딩한다.Then, as shown in FIG. 4B , the substrate transfer unit 10 adsorbing the substrate G through the opening formed by the movement of the pre-alignment stage 30 descends in the vertical direction to perform the pre-alignment stage. The substrate is unloaded on the work unit 40 disposed under the 30 .

기판(G)의 언로딩이 완료된 후, 기판 이송 유닛(10)은 수직 방향으로 상승하여 본래의 위치로 돌아오며, 이어서 프리얼라인 스테이지(30) 역시 후방으로 이동하여 로딩부(20)와 다시 인접하도록 배치된다.
After the unloading of the substrate G is completed, the substrate transfer unit 10 rises in the vertical direction to return to its original position, and then the pre-alignment stage 30 also moves backward to reconnect with the loading unit 20 again. placed adjacent to each other.

도 5a 및 5b는 다른 실시예에 따른 프리얼라인 스테이지(30)의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다.5A and 5B schematically show the movement of the pre-alignment stage 30 according to another embodiment.

마찬가지로, 기판 이송 유닛(10)은 프리얼라인이 완료된 기판(G)을 흡착한 후 상승하여 기판(G)을 프리얼라인 스테이지(30)로부터 일정 거리만큼 이격시킨다.Similarly, after adsorbing the substrate G on which the pre-alignment has been completed, the substrate transfer unit 10 rises to separate the substrate G from the pre-alignment stage 30 by a predetermined distance.

이어서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 프리얼라인 스테이지(30)는 적어도 기판(G)의 면적보다 넓은 개구 면적을 형성하도록 후방으로 이동하되, 이 경우 프리얼라인 스테이지(30)는 로딩부(20)의 하부에 배치된다.Then, as shown in FIG. 5A , the pre-alignment stage 30 moves backward to form an opening area that is at least larger than the area of the substrate G, and in this case, the pre-alignment stage 30 includes a loading unit ( 20) is placed in the lower part.

보다 상세하게는, 프리얼라인 스테이지(30)는 로딩부(20)의 하부에 배치될 수 있도록 소정의 거리만큼 하강한 뒤 로딩부(20)의 하부로 이동한다.More specifically, the pre-alignment stage 30 moves to a lower portion of the loading unit 20 after descending by a predetermined distance to be disposed under the loading unit 20 .

그리고 나서, 도 5b에 도시된 바와 같이, 프리얼라인 스테이지(30)의 이동에 의해 형성된 개구부를 통해 기판(G)을 흡착하고 있는 기판 이송 유닛(10)이 수직 방향으로 하강하여 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치된 작업부(40) 상에 기판을 언로딩한다.Then, as shown in FIG. 5B , the substrate transfer unit 10 adsorbing the substrate G through the opening formed by the movement of the pre-alignment stage 30 descends in the vertical direction to perform the pre-alignment stage. The substrate is unloaded on the work unit 40 disposed under the 30 .

기판(G)의 언로딩이 완료된 후, 기판 이송 유닛(10)은 수직 방향으로 상승하여 본래의 위치로 돌아오며, 이어서 프리얼라인 스테이지(30) 역시 전방으로 이동하여 로딩부(20)와 다시 인접하도록 배치된다.
After the unloading of the substrate G is completed, the substrate transfer unit 10 rises in the vertical direction to return to its original position, and then the pre-alignment stage 30 also moves forward to reconnect with the loading unit 20 again. placed adjacent to each other.

도 6a 및 6b는 또 다른 실시예에 따른 프리얼라인 스테이지(30)의 이동을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 6a 및 6b는 정면에서 바라본 프리얼라인 스테이지(30)를 나타낸다.6A and 6B schematically show the movement of the pre-alignment stage 30 according to another embodiment. 6A and 6B show the pre-alignment stage 30 viewed from the front.

상기 실시예에 있어서, 프리얼라인 스테이지(30)는 힌지식 도어 어셈블리를 통해 개폐 가능하도록 구성될 수 있다.In the above embodiment, the pre-alignment stage 30 may be configured to be opened and closed through a hinged door assembly.

보다 구체적으로, 힌지식 도어 어셈블리는 프리얼라인 스테이지(30)의 좌측 및 우측에 각각 구비된 힌지(H)를 포함하며, 프리얼라인 스테이지(30)는 힌지(H)를 중심으로 회동하여 프리얼라인 스테이지(30)의 하부로 개방되는 제1 스테이지(30a) 및 제2 스테이지(30b)를 포함할 수 있다.More specifically, the hinged door assembly includes hinges H respectively provided on the left and right sides of the pre-alignment stage 30 , and the pre-alignment stage 30 rotates about the hinge H to pre-align the pre-alignment stage 30 . It may include a first stage 30a and a second stage 30b that are opened to a lower portion of the alignment stage 30 .

따라서, 기판 이송 유닛(10)은 프리얼라인이 완료된 기판(G)을 흡착한 후 상승하여 기판(G)을 프리얼라인 스테이지(30)로부터 일정 거리만큼 이격시킨 후, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(30a)와 제2 스테이지(30b)는 힌지(H)를 중심으로 회동하여 하부로 개방됨에 따라 기판(G)의 면적보다 넓은 개구 면적을 가지는 개구부를 형성한다.Accordingly, the substrate transfer unit 10 adsorbs the substrate G on which the pre-alignment has been completed and then rises to separate the substrate G from the pre-alignment stage 30 by a certain distance, and then, as shown in FIG. 6B , Similarly, as the first stage 30a and the second stage 30b rotate about the hinge H and open downward, an opening having an opening area larger than that of the substrate G is formed.

이어서, 프리얼라인 스테이지(30)의 이동에 의해 형성된 개구부를 통해 기판(G)을 흡착하고 있는 기판 이송 유닛(10)이 수직 방향으로 하강하여 프리얼라인 스테이지(30)의 하부에 배치된 작업부(40) 상에 기판을 언로딩한다.Then, the substrate transfer unit 10 adsorbing the substrate G through the opening formed by the movement of the pre-alignment stage 30 descends in the vertical direction to arrange the operation under the pre-alignment stage 30 . The substrate is unloaded onto the unit 40 .

마지막으로, 기판(G)의 언로딩이 완료된 후, 기판 이송 유닛(10)은 수직 방향으로 상승하여 본래의 위치로 돌아오며, 이어서 제1 스테이지(30a)와 제2 스테이지(30b)는 힌지(H)를 중심으로 개방될 때와는 반대 방향으로 회동하여 프리얼라인 스테이지(30)를 폐쇄한다.Finally, after unloading of the substrate G is completed, the substrate transfer unit 10 rises in the vertical direction and returns to its original position, and then the first stage 30a and the second stage 30b are hinged ( The pre-alignment stage 30 is closed by rotating about H) in the opposite direction to when it is opened.

이 때, 힌지(H)에 의한 제1 스테이지(30a)와 제2 스테이지(30b)의 회동 각도는 특별히 제한되지는 않으나, 바람직하게는 직각 이하인 것이 바람직하다. 예를 들어, 기판(G)의 면적보다 넓은 개구 면적을 가지는 개구부의 형성이 가능한 범위 안에서 회동 각도는 예각일 수도 있다.At this time, the rotation angle of the first stage 30a and the second stage 30b by the hinge H is not particularly limited, but is preferably a right angle or less. For example, the rotation angle may be an acute angle within a range in which an opening having an opening area larger than that of the substrate G can be formed.

이와 같이 힌지(H)에 의한 제1 스테이지(30a)와 제2 스테이지(30b)의 회동 각도를 조절함에 따라 전체 시스템이 차지하는 면적을 줄여 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.As described above, by adjusting the rotation angle of the first stage 30a and the second stage 30b by the hinge H, the area occupied by the entire system can be reduced, thereby improving the space utilization.

상기 실시예에 따른 힌지식 도어 어셈블리는 프리얼라인 스테이지(30)의 좌측 및 우측에 각각 힌지(H)가 구비되도록 형성되나, 다른 실시예에서는 프리얼라인 스테이지(30)의 전단 및 후단에 각각 힌지(H)가 구비되도록 형성되는 것도 가능하다.
The hinged door assembly according to the above embodiment is formed such that hinges H are provided on the left and right sides of the pre-alignment stage 30, respectively, but in another embodiment, the front and rear ends of the pre-alignment stage 30, respectively It is also possible that the hinge (H) is formed to be provided.

다양한 실시예들을 통해 상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템에 의할 경우, 프리얼라인 스테이지 상에서 프리얼라인된 기판의 위치 정렬은 작업부 상에서도 정확히 유지될 수 있으며, 이는 프리얼라인 이후의 단위 공정에서의 공정 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above through various embodiments, in the case of the substrate transport system according to an embodiment of the present invention, the positional alignment of the pre-aligned substrate on the pre-alignment stage can be accurately maintained even on the work unit, which Process precision in a unit process after pre-alignment can be improved.

또한, 프리얼라인 스테이지와 작업부는 동일한 수직선 상에 배치하고, 프리얼라인 완료된 기판의 언로딩을 위한 프리얼라인 스테이지의 효율적인 이탈 동작을 최소한의 공간 내에서 가능하도록 함으로써 기판 이송 시스템의 공간 활용도를 더욱 향상시킬 수 있다.
In addition, the space utilization of the substrate transfer system is improved by arranging the pre-alignment stage and the work unit on the same vertical line, and enabling an efficient separation operation of the pre-alignment stage for unloading of the pre-aligned substrate within a minimum space. can be further improved.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
In the above, although an embodiment of the present invention has been described, those of ordinary skill in the art can add, change, delete or add components within the scope that does not depart from the spirit of the present invention described in the claims. The present invention may be variously modified and changed by, etc., and this will also be included within the scope of the present invention.

Claims (7)

기판을 수평 방향으로 공급하는 로딩부;
상기 로딩부로부터 공급된 기판이 안착된 후, 상기 기판의 프리얼라인이 수행되는 프리얼라인 스테이지;
상기 프리얼라인 스테이지 상에서 프리얼라인이 완료된 기판을 흡착하여 수직 방향으로 승강 이동시키기 위한 기판 이송 유닛; 및
상기 프리얼라인 스테이지의 하부에 배치되며, 상기 기판 이송 유닛으로부터 수직 방향으로 이송된 기판이 언로딩되는 작업부;를 포함하며,
상기 프리얼라인 스테이지는 상기 기판을 이송시키기 위한 개구부를 형성하며,
상기 기판 이송 유닛에 의해 흡착된 기판은 상기 개구부를 통해 상기 작업부로 언로딩되는,
기판 이송 시스템.
a loading unit for supplying the substrate in a horizontal direction;
a pre-alignment stage for pre-aligning the substrate after the substrate supplied from the loading unit is seated;
a substrate transfer unit for adsorbing the pre-aligned substrate on the pre-alignment stage and vertically moving the substrate; and
a work unit disposed under the pre-alignment stage and unloading the substrate transferred in the vertical direction from the substrate transfer unit;
The pre-alignment stage forms an opening for transferring the substrate,
The substrate adsorbed by the substrate transfer unit is unloaded into the working part through the opening,
substrate transfer system.
 제1항에 있어서,
상기 개구부는 상기 프리얼라인 스테이지의 전방 또는 후방으로 이동에 따라 형성되는 기판 이송 시스템.
According to claim 1,
The opening is formed by moving forward or backward of the pre-alignment stage.
 제2항에 있어서,
상기 개구부는 적어도 기판의 면적보다 넓은 개구 면적을 가지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
3. The method of claim 2,
and the opening has an opening area that is at least larger than that of the substrate.
 제2항에 있어서,
상기 프리얼라인 스테이지는 상기 로딩부의 하부에 배치되도록 후방으로 이동하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
3. The method of claim 2,
The pre-alignment stage is a substrate transport system, characterized in that it moves backward so as to be disposed under the loading part.
 제1항에 있어서,
상기 개구부는 힌지식 도어 어셈블리를 통해 개폐 가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
According to claim 1,
The substrate transfer system, characterized in that the opening is formed to be opened and closed through a hinged door assembly.
 제5항에 있어서,
상기 힌지식 도어 어셈블리는 상기 프리얼라인 스테이지의 좌측 및 우측에 각각 구비된 힌지를 포함하며,
상기 프리얼라인 스테이지는 상기 힌지를 중심으로 회동하여 상기 프리얼라인 스테이지의 하부로 개방되는 제1 스테이지 및 제2 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
6. The method of claim 5,
The hinged door assembly includes hinges respectively provided on the left and right sides of the pre-alignment stage,
and the pre-alignment stage includes a first stage and a second stage that are opened to a lower portion of the pre-alignment stage by rotating about the hinge.
 제5항에 있어서,
상기 힌지식 도어 어셈블리는 상기 프리얼라인 스테이지의 전단 및 후단에 각각 구비된 힌지를 포함하며,
상기 프리얼라인 스테이지는 상기 힌지를 중심으로 회동하여 상기 프리얼라인 스테이지의 하부로 개방되는 제1 스테이지 및 제2 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
6. The method of claim 5,
The hinged door assembly includes hinges respectively provided at front and rear ends of the pre-alignment stage,
and the pre-alignment stage includes a first stage and a second stage that are opened to a lower portion of the pre-alignment stage by rotating about the hinge.
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