KR102270289B1 - Liquid particle counter system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 미립자 계측 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 일정 양의 유체(Liquid)에 부유되어 있는 미립자(Particle)의 개수 및 사이즈를 측정할 수 있도록 구현한 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a particle measurement system, and more particularly, to a particle measurement system implemented to measure the number and size of particles suspended in a predetermined amount of liquid.
광학 액체 입자 센서 및 계수기는 반도체, 약학 및 미세전자 산업을 포함하는 다양한 산업분야에 활용된다.Optical liquid particle sensors and counters are utilized in a variety of industries including semiconductor, pharmaceutical and microelectronics industries.
일부 산업적 배경에서, 광학 액체 입자 센서 및 계수기는 일례로 미립자 오염물과 관련된 엄격한 규제 요건에 해당되는 의약품 생산과 같은 작업에서 활용되는 순수 액체 및 조성물을 지속적으로 모니터링하기 위한 중요한 도구가 된다. 기타 다른 산업적 환경에서, 광학 액체 입자 센서 및 계수기는 품질 제어 분석을 제공하는 중요한 도구가 된다. In some industrial settings, optical liquid particle sensors and counters become important tools for continuous monitoring of pure liquids and compositions utilized in operations such as, for example, pharmaceutical production subject to stringent regulatory requirements related to particulate contamination. In other industrial environments, optical liquid particle sensors and counters become important tools for providing quality control analysis.
특히 유체가 불필요한 입자로 오염된 경우 신속히 확인하여 프로세스를 초기 단계에 중지할 수 있고, 이에 따라 불량품 제조로 인한 낭비를 방지한다. 예를 들어, 반도체 및 기타 클린룸 환경 또는 살균 및 청정 생산이 요구되는 산업들 (예: 의약산업)에서, 최종 생산품을 제조하는데 활용되는 액체 물질들은 적합한 순도를 보장하고 유체 내 부유하는 불필요한 임의의 입자들이 허용 오차 범위 내에 있는지가 지속적으로 모니터된다.In particular, if the fluid is contaminated with unnecessary particles, it can be quickly identified and the process can be stopped at an early stage, thereby avoiding wastage due to the manufacture of defective products. For example, in semiconductors and other cleanroom environments or industries where sterilization and clean production are required (eg, the pharmaceutical industry), the liquid materials utilized to manufacture the final product ensure adequate purity and contain any unwanted particles suspended in the fluid. It is continuously monitored to ensure that the particles are within tolerance.
현대적 액체 입자 계수기의 과제는 유동 챔버 내의 유속 변화 또는 버블로 유발되는 검출이기 어레이 또는 광원과 같은 액체 입자 계수기의 내부 구성요소들에 가해지는 손상이고, 특히 보다 소형 입자를 검출하기 위한 고전력 광원을 활용하는 시스템에서 발생한다. 예를 들어, 대상 입자들 보다 크기가 큰 버블들이 유동 챔버를 통과할 때 입자 계수기의 수집 및 검출 시스템에 과부하 및 손상을 줄 수 있는 많은 양의 전자기 방사선을 분산시킨다. A challenge with modern liquid particle counters is damage to internal components of liquid particle counters, such as detector arrays or light sources, caused by changes in flow rate or bubbles within the flow chamber, particularly utilizing high-power light sources to detect smaller particles. occurs in systems that For example, bubbles that are larger in size than the target particles as they pass through the flow chamber disperse large amounts of electromagnetic radiation that can overload and damage the collection and detection system of the particle counter.
또한, 입자 계수기의 유동 챔버를 통과하는 액체의 유속이 너무 낮거나 멈춰지면, 광원은 유동 챔버를 향하는 입자 또는 광학 시스템에 강한 방사선을 산란시키는 액체를 가열할 수 있고, 수집 및 검출 시스템을 손상 및/또는 광원 자체를 과열 및 손상하게 된다.Additionally, if the flow rate of the liquid through the particle counter's flow chamber is too low or stopped, the light source can heat the particles towards the flow chamber or liquid that scatters strong radiation into the optical system, damaging and damaging the collection and detection system. / or overheat and damage the light source itself.
한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.On the other hand, the above-mentioned background art is technical information that the inventor possessed for the derivation of the present invention or acquired in the process of derivation of the present invention, and it cannot necessarily be said to be a known technique disclosed to the general public before the filing of the present invention .
본 발명의 일측면은 일정 양의 유체(Liquid)에 부유되어 있는 미립자(Particle)의 개수 및 사이즈를 측정할 수 있도록 구현한 미립자 계측 시스템을 제공한다.One aspect of the present invention provides a particle measurement system implemented to measure the number and size of particles suspended in a predetermined amount of liquid.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템은, 피계측물인 액체 또는 공기에 포함되어 있는 미립자 형태의 부유물(Particles)의 개수 및 부유물의 사이즈를 측정하는 파티클 센서;를 포함한다.A particle measurement system according to an embodiment of the present invention includes a particle sensor that measures the number and size of particles in the form of particles included in liquid or air, which are objects to be measured.
일 실시예에서, 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템은, 상기 파티클 센서의 구동에 필요한 전기를 공급하는 파티클 컨트롤러; 피계측물이 일정한 유속으로 상기 파티클 센서로 공급될 수 있도록 일정한 압력으로 상기 파티클 센서로부터 피계측물을 자신 방향으로 빨아들이는 벨로우즈 샘플러; 및 상기 벨로우즈 샘플러의 구동에 필요한 전기를 공급하며, 상기 파티클 센서로부터 측정 데이터를 전달받아 PLC(Programmable Logic Controller) 프로그램이 설치된 컴퓨터 장치로 전송하는 벨로우즈 컨트롤러;를 포함한다.In one embodiment, the particulate measurement system according to an embodiment of the present invention, a particle controller for supplying electricity required to drive the particle sensor; a bellows sampler for sucking the object to be measured from the particle sensor in its own direction with a constant pressure so that the object to be measured can be supplied to the particle sensor at a constant flow rate; and a bellows controller that supplies electricity necessary for driving the bellows sampler, receives measurement data from the particle sensor and transmits it to a computer device in which a programmable logic controller (PLC) program is installed.
일 실시예에서, 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템은, 상기 파티클 센서, 상기 파티클 컨트롤러, 상기 벨로우즈 샘플러 및 상기 벨로우즈 컨트롤러를 설치하기 위한 계측 선반;을 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the particle measurement system according to an embodiment of the present invention may further include a measurement shelf for installing the particle sensor, the particle controller, the bellows sampler, and the bellows controller.
일 실시예에서, 상기 계측 선반은, 내부 공간을 형성하는 박스 형태로 형성되는 선반 몸체; 상기 선반 몸체의 내부 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 선반 몸체의 내부 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치되는 제1 파티션; 상기 제1 파티션에 의해 구획되는 상부 안착 공간과 하부 안착 공간 중 상기 상부 안착 공간을 좌우 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 상부 안착 공간을 상하 수직 방향으로 가로질러 설치되는 제2 파티션; 상기 제2 파티션에 의해 구획되는 좌측 안착 공간과 우측 안착 공간 중 상기 좌측 안착 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 좌측 안착 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치되는 제3 파티션; 상기 선반 몸체의 하측에 설치되어 상기 선반 몸체를 지지하는 지지대; 및 상기 선반 몸체의 이동을 위해 상기 지지대의 하부에 설치되는 다수 개의 휠;을 포함할 수 있다.In an embodiment, the measurement shelf includes: a shelf body formed in a box shape forming an inner space; a first partition installed across the inner space of the shelf body in a left and right horizontal direction to partition the inner space of the shelf body in a vertical direction; a second partition installed across the upper seating space in a vertical and vertical direction to partition the upper seating space from among the upper seating space and the lower seating space partitioned by the first partition in left and right directions; a third partition installed across the left seating space in a left and right horizontal direction to vertically partition the left seating space among the left seating space and the right seating space partitioned by the second partition; a support installed under the shelf body to support the shelf body; and a plurality of wheels installed under the support to move the shelf body.
일 실시예에서, 상기 선반 몸체의 내부 공간은, 상기 하부 안착 공간에 해당하는 상기 제1 파티션의 하측에 형성되는 제1 안착 공간, 상기 상부 안착 공간과 상기 우측 안착 공간이 중첩되어 형성되는 제2 안착 공간, 상기 상부 안착 공간과 상기 좌측 안착 공간이 중첩되어 형성되되 상기 제3 파티션의 상측에 형성되는 제3 안착 공간과 상기 제3 파티션의 하측에 형성되는 제4 안착 공간으로 이루어질 수 있다.In an embodiment, the internal space of the shelf body includes a first seating space formed below the first partition corresponding to the lower seating space, and a second seating space formed by overlapping the upper seating space and the right seating space. A seating space, the upper seating space and the left seating space overlap each other, and may include a third seating space formed above the third partition and a fourth seating space formed below the third partition.
일 실시예에서, 상기 파티클 컨트롤러와 상기 벨로우즈 컨트롤러는, 상기 제4 안착 공간에 안착 설치될 수 있다.In an embodiment, the particle controller and the bellows controller may be installed to be seated in the fourth seating space.
일 실시예에서, 상기 파티클 센서와 상기 벨로우즈 샘플러는, 상기 제1 안착 공간에 안착 설치될 수 있다.In an embodiment, the particle sensor and the bellows sampler may be installed to be seated in the first seating space.
일 실시예에서, 상기 계측 선반은, 상기 선반 몸체의 일측에 설치되어 상기 선반 몸체의 일측을 지지하는 제1 선반 지지대; 및 상기 제1 선반 지지대와 대칭 구조를 형성하며 상기 선반 몸체의 다른 일측에 설치되어 상기 선반 몸체의 다른 일측을 지지하는 제2 선반 지지대;를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the measurement shelf includes: a first shelf support installed on one side of the shelf body to support one side of the shelf body; and a second shelf support that forms a symmetrical structure with the first shelf support and is installed on the other side of the shelf body to support the other side of the shelf body.
일 실시예에서, 상기 제1 선반 지지대는, 아치(Arch) 형태로 상측으로 둥글게 절곡 형성되되, 일단이 하측 직각 방향으로 절곡되어 상기 선반 몸체의 일측에 연결 설치되고, 타단이 바닥면에 안착될 수 있도록 상기 선반 몸체 방향의 수평 방향으로 절곡 형성되는 아치형 지지 플레이트; 상기 아치형 지지 플레이트의 곡률에 대응하여 아치 형태로 둥글게 절곡 형성되며, 상기 선반 몸체와 대향하는 상기 아치형 지지 플레이트의 내측에 연결 설치되어 상기 아치형 지지 플레이트를 지지하는 아치형 지지 프레임; 상기 선반 몸체와 대향하는 상기 아치형 지지 플레이트의 내측에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임을 체결하는 프레임 체결부; 및 상기 아치형 지지 플레이트의 일단이 절곡되어 형성되는 수직 절곡면에 설치되어 상기 아치형 지지 플레이트를 상기 선반 몸체의 일측을 따라 승강 또는 하강시켜 주는 플레이트 구동부;를 포함할 수 있다.In one embodiment, the first shelf support is formed to be rounded upwardly in the form of an arch, one end is bent in a lower right angle direction to be connected to one side of the shelf body, and the other end is to be seated on the floor. an arcuate support plate bent in a horizontal direction in the direction of the shelf body so as to an arcuate support frame formed to be rounded in an arcuate shape corresponding to the curvature of the arcuate support plate and connected to the inside of the arcuate support plate facing the shelf body to support the arcuate support plate; a frame fastening part installed inside the arcuate support plate facing the shelf body to fasten the arcuate support frame; and a plate driving unit installed on a vertical curved surface formed by bending one end of the arcuate support plate to raise or lower the arcuate support plate along one side of the shelf body.
일 실시예에서, 상기 아치형 지지 프레임은, 하측을 따라 좌우 방향의 이동을 위한 바퀴가 적어도 하나 이상 설치될 수 있다.In one embodiment, at least one wheel for moving in the left and right direction along the lower side of the arcuate support frame may be installed.
일 실시예에서, 상기 수직 절곡면은, 상기 선반 몸체의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 슬라이딩 홈에 삽입 체결되어 상기 슬라이딩 홈을 따라 상하 방향으로 이동할 수 있도록 상기 슬라이딩 홈의 형상에 대응하여 형성되는 슬라이딩 돌기가 상기 선반 몸체와의 대항면에 형성될 수 있다.In an embodiment, the vertical curved surface is inserted and fastened into a sliding groove extending in a vertical direction along one side of the shelf body and formed to correspond to the shape of the sliding groove so as to move in the vertical direction along the sliding groove A sliding protrusion may be formed on a surface opposite to the shelf body.
일 실시예에서, 상기 플레이트 구동부는, 상기 선반 몸체와 대향하는 면인 상기 수직 절곡면의 내측면의 반대면인 외측면에 설치되는 제1 구동 모터; 상기 제1 구동 모터와 대향하며 설치되는 제2 구동 모터; 상기 제1 구동 모터의 구동축에 설치되며, 상기 수직 절곡면에 형성되는 제1 관통홀을 통해 삽입되어 상기 선반 몸체의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 제1 렉기어에 맞물려 연결 설치되는 제1 피니언 기어; 및 상기 제2 구동 모터의 구동축에 설치되며, 상기 수직 절곡면에 형성되는 제2 관통홀을 통해 삽입되어 상기 선반 몸체의 일측을 따라 상기 제1 렉기어와 대향하면서 상하 방향으로 연장 형성되는 제2 렉기어에 맞물려 연결 설치되는 제2 피니언 기어;를 포함할 수 있다.In one embodiment, the plate driving unit, the first drive motor installed on the outer surface opposite to the inner surface of the vertical bent surface that is a surface opposite to the shelf body; a second driving motor installed to face the first driving motor; A first installed on the drive shaft of the first drive motor, inserted through a first through hole formed in the vertical bent surface, and connected to and connected to a first rack gear extending in the vertical direction along one side of the shelf body pinion gear; and a second installed on the driving shaft of the second driving motor, inserted through a second through hole formed in the vertical bent surface, and extending in the vertical direction while facing the first rack gear along one side of the shelf body It may include a; a second pinion gear engaged with the rack gear and installed.
일 실시예에서, 상기 프레임 체결부는, 상기 아치형 지지 프레임의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 상기 수직 절곡면의 외측면에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임의 상부가 삽입되는 제1 지지대; 상기 아치형 지지 플레이트의 하측에 설치되며, 상기 아치형 지지 프레임이 안착될 수 있도록 상기 아치형 지지 프레임의 형태에 대응하여 길이 방향으로 관통 형성되는 지지 관통홀이 형성되는 제2 지지대; 상기 아치형 지지 프레임의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 상기 아치형 지지 플레이트의 타단이 절곡되어 형성되는 수평 절곡면의 상측에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임의 하부가 삽입되는 제3 지지대; 및 상기 제1 지지대의 내측에 설치되어 상기 제1 지지대에 삽입되어 있는 상기 아치형 지지 프레임의 상측을 탄성력을 이용하여 지지하는 탄성 지지 스프링;을 포함할 수 있다.In one embodiment, the frame fastening portion is formed in a cylindrical shape bent to correspond to the curvature of the arcuate support frame, is installed on the outer surface of the vertical bent surface is a first supporter into which the upper portion of the arcuate support frame is inserted ; a second support installed under the arcuate support plate and having a support through hole penetrating in the longitudinal direction corresponding to the shape of the arcuate support frame so that the arcuate support frame can be seated; a third support formed in a cylindrical shape bent to correspond to the curvature of the arcuate support frame and installed above a horizontal curved surface formed by bending the other end of the arcuate support plate to insert a lower portion of the arcuate support frame; and an elastic support spring installed inside the first support to support the upper side of the arcuate support frame inserted into the first support by using an elastic force.
일 실시예에서, 상기 아치형 지지 프레임은, 하측이 상기 수평 절곡면의 하측으로 노출되어 바닥면에 안차 설치되며, 상기 아치형 지지 플레이트가 하강함에 따라 상부가 상기 제1 지지대의 내측으로 점진적으로 삽입될 수 있다.In one embodiment, the arcuate support frame, the lower side is exposed to the lower side of the horizontal curved surface is installed on the bottom surface, as the arcuate support plate descends, the upper part is to be gradually inserted into the inside of the first supporter can
상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 전원 공급, 시료 공급 및 CDA 공급을 하나의 시스템을 통하여 구현함으로써, 일정 양의 유체(Liquid)에 부유되어 있는 미립자(Particle)의 개수 및 사이즈를 측정의 효율성을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.According to the above-described aspect of the present invention, power supply, sample supply, and CDA supply are implemented through one system, thereby measuring the number and size of particles suspended in a certain amount of liquid. can provide the effect of improving
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and various effects may be included within the range apparent to those skilled in the art from the description below.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 계측 선반을 보여주는 도면이다.
도 3은 2의 계측 선반의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3의 제1 선반 지지대의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 플레이트 구동부를 보여주는 도면이다.
도 6은 도 4의 프레임 체결부를 보여주는 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a configuration of a particle measurement system according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a measuring shelf according to the present invention.
3 is a view showing another embodiment of the measuring lathe 2 .
4 is a view showing an embodiment of the first shelf support of FIG. 3 .
FIG. 5 is a view showing the plate driving unit of FIG. 4 .
FIG. 6 is a view showing the frame fastening part of FIG. 4 .
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0023] Reference is made to the accompanying drawings, which show by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein with respect to one embodiment may be embodied in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the detailed description set forth below is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the invention, if properly described, is limited only by the appended claims, along with all scope equivalents to those claimed. Like reference numerals in the drawings refer to the same or similar functions throughout the various aspects.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a configuration of a particle measurement system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템(10)은, 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , a
파티클 센서(100)는, 파티클 컨트롤러(200)로부터 공급되는 전기를 이용하여 구동되며, 피계측물, 즉 시료인 액체 또는 공기에 포함되어 있는 미립자 형태의 부유물(Particles)의 개수 및 부유물의 사이즈를 측정한다.The
일 실시예에서, 파티클 센서(100)는, Chemical 중성화 라인(DIW or CDA)(L1)과 Sample Line(L2)(압력: 300kPa 이하, 온도: 15~35℃_)를 통해 피계측물을 전달받아 측정을 수행하게 되고, 피계측물이 입력되는 전단에는 Regulator(HICV)(R) 및 Pressure Gauge(G)가 설치될 수 있다.In one embodiment, the
일 실시예에서, 파티클 센서(100)는, 3~10L/min의 Clean Dry Air를 제 3 라인(L3)을 통해 입력(설치 장소가 100 Class 이상일 경우 필수) 받는다.In one embodiment, the
파티클 컨트롤러(200)는, 100V 내지 200V의 전압으로 구동되며, 파티클 센서(100)의 구동에 필요한 전기를 공급한다.The
벨로우즈 샘플러(300)는, 피계측물이 일정한 유속으로 파티클 센서(100)로 공급될 수 있도록 일정한 압력으로 파티클 센서(100)로부터 피계측물을 자신 방향으로 빨아들인다.The bellows sampler 300 sucks the object to be measured from the
일 실시예에서, 벨로우즈 샘플러(300)는, 제4 라인(L4)을 통해 압력 300~500kPa 정도의 압력을 입력받고, 제5 라인(L5)을 통해 토출압 0.2mPa 정도의 압력을 배출하게 된다.In one embodiment, the bellows sampler 300 receives a pressure of about 300 to 500 kPa through the fourth line L4 and discharges the pressure of about 0.2 mPa through the fifth line L5. .
벨로우즈 컨트롤러(400)는, 100V 내지 200V의 전압으로 구동되며, 벨로우즈 샘플러(300)의 구동에 필요한 전기를 공급하며, 파티클 센서(100)로부터 측정 데이터를 전달받아 PLC(Programmable Logic Controller) 프로그램이 설치된 컴퓨터 장치(700)로 Re-232C 출력(Data 송/수신)을 통해 전송한다.The
즉, 파티클 컨트롤러(200)와 벨로우즈 컨트롤러(400)는 각각 파티클 센서(100)와 벨로우즈 샘플러(300)에 각각의 구동에 필요한 전원을 공급하는 전원 공급 장치에 해당하고, 각각 파티클 센서(100)와 벨로우즈 샘플러(300)는 시료 공급 및 CDA를 공급하는 장치에 해당하는 것이다.That is, the
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템(10)은, 계측 선반(500)을 더 포함할 수 있다.The
계측 선반(500)은, 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400)를 설치한다.The
일 실시예에서, 계측 선반(500)은, 선반 몸체(510), 제1 파티션(520), 제2 파티션(530), 제3 파티션(540), 지지대(550) 및 다수 개의 휠(560)을 포함한다.In one embodiment, the
선반 몸체(510)는, 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400) 등의 구성들이 설치되기 위한 내부 공간을 형성하는 박스 형태로 형성되며, 내부 공간이 제1 파티션(520), 제2 파티션(530) 및 제3 파티션(540)에 의해 다수 개의 공간으로 구획된다.The
제1 파티션(520)은, 선반 몸체(510)의 내부 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 선반 몸체(510)의 내부 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치된다.The
제2 파티션(530)은, 제1 파티션(520)에 의해 구획되는 상부 안착 공간과 하부 안착 공간 중 상부 안착 공간을 좌우 방향으로 구획시킬 수 있도록 상부 안착 공간을 상하 수직 방향으로 가로질러 설치된다.The
제3 파티션(540)은, 제2 파티션(530)에 의해 구획되는 좌측 안착 공간과 우측 안착 공간 중 좌측 안착 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 좌측 안착 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치된다.The
지지대(550)는, 선반 몸체(510)의 하측에 설치되어 선반 몸체(510)를 지지하며, 하측을 따라 휠(560)이 설치된다.The
휠(560)은, 선반 몸체(510)의 이동을 위해 지지대(550)의 하부에 설치된다.The
일 실시예에서, 선반 몸체(510)의 내부 공간은, 하부 안착 공간에 해당하는 제1 파티션(520)의 하측에 형성되는 제1 안착 공간(S1), 상부 안착 공간과 우측 안착 공간이 중첩되어 형성되는 제2 안착 공간(S2), 상부 안착 공간과 좌측 안착 공간이 중첩되어 형성되되 제3 파티션(540)의 상측에 형성되는 제3 안착 공간(S3)과 제3 파티션(540)의 하측에 형성되는 제4 안착 공간(S4)으로 이루어질 수 있다.In one embodiment, the inner space of the
일 실시예에서, 파티클 컨트롤러(200)와 벨로우즈 컨트롤러(400)는, 제4 안착 공간(S4)에 안착 설치될 수 있다.In an embodiment, the
일 실시예에서, 파티클 센서(100)와 벨로우즈 샘플러(300)는, 제1 안착 공간(S1)에 안착 설치될 수 있다.In an embodiment, the
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 미립자 계측 시스템(10)은, 전원 공급, 시료 공급 및 CDA 공급을 하나의 시스템을 통하여 구현함으로써, 일정 양의 유체(Liquid)에 부유되어 있는 미립자(Particle)의 개수 및 사이즈를 측정의 효율성을 향상시킬 수 있다.The
도 3은 2의 계측 선반의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.3 is a view showing another embodiment of the measuring lathe 2 .
도 3을 참조하면, 다른 실시예에 따른 계측 선반(500a)은, 선반 몸체(510), 제1 파티션(520), 제2 파티션(530), 제3 파티션(540), 지지대(550), 다수 개의 휠(560), 제1 선반 지지대(570) 및 제2 선반 지지대(580)를 포함한다.Referring to FIG. 3 , a
여기서, 선반 몸체(510), 제1 파티션(520), 제2 파티션(530), 제3 파티션(540), 지지대(550) 및 다수 개의 휠(560)은, 도 2의 구성요소와 동일하므로 그 설명을 생략하기로 한다.Here, the
제1 선반 지지대(570)는, 제2 선반 지지대(580)와 대칭 구조를 형성하며, 선반 몸체(510)의 일측에 설치되어 선반 몸체(510)의 일측을 지지한다.The
제2 선반 지지대(580)는, 제1 선반 지지대(570)와 대칭 구조를 형성하며 선반 몸체(510)의 다른 일측에 설치되어 선반 몸체(510)의 다른 일측을 지지한다.The
상술한 바와 같은 구성을 가지는 다른 실시예에 따른 계측 선반(500a)은, 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400)가 안착되는 선반 몸체(510)의 일측 및 다른 일측을 지지하여 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400) 등의 구동에 따라 선반 몸체(510)에서 발생되는 진동 또는 충격 등을 완충시켜 줌으로써, 파티클 센서(100), 파티클 컨트롤러(200), 벨로우즈 샘플러(300) 및 벨로우즈 컨트롤러(400) 등에 의한 계측이 보다 정밀하게 이루어지도록 할 수 있다.The
도 4는 도 3의 제1 선반 지지대의 일 실시예를 보여주는 도면이다.4 is a view showing an embodiment of the first shelf support of FIG. 3 .
도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 제1 선반 지지대(600)는, 아치형 지지 플레이트(610), 아치형 지지 프레임(620), 프레임 체결부(630) 및 플레이트 구동부(640)를 포함한다.Referring to FIG. 4 , the
여기서, 제2 선반 지지대(580)는, 일 실시예에 따른 제1 선반 지지대(600)와 대칭 구조로서, 후술하는 제1 선반 지지대(600)의 아치형 지지 플레이트(610), 아치형 지지 프레임(620), 프레임 체결부(630) 및 플레이트 구동부(640) 등의 구성요소가 동일하게 적용될 수 있는 것으로서, 설명의 중복을 피하기 위해 그 설명을 생략하기로 한다.Here, the
아치형 지지 플레이트(610)는, 아치(Arch) 형태로 상측으로 둥글게 절곡 형성되되, 일단(611)이 하측 직각 방향으로 절곡되어 선반 몸체(510)의 일측에 연결 설치되고, 타단(612)이 바닥면에 안착될 수 있도록 선반 몸체(510) 방향의 수평 방향으로 절곡 형성된다.The
일 실시예에서, 수직 절곡면(611)은, 도 5에 도시된 바와 같이 선반 몸체(510)의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 슬라이딩 홈(511)(도 3 참조)에 삽입 체결되어 슬라이딩 홈(511)을 따라 상하 방향으로 이동할 수 있도록 슬라이딩 홈(511)의 형상에 대응하여 형성되는 슬라이딩 돌기(611a)가 선반 몸체(510)와의 대항면에 형성될 수 있다.In one embodiment, the vertical
아치형 지지 프레임(620)은, 아치형 지지 플레이트(610)의 곡률에 대응하여 아치 형태로 둥글게 절곡 형성되며, 선반 몸체(510)와 대향하는 아치형 지지 플레이트(610)의 내측에 연결 설치되어 아치형 지지 플레이트(610)를 지지한다.The
즉, 아치형 지지 프레임(620)은, 상측에 위치하는 일단이 제1 지지대(631)에 삽입되어 탄성 지지 스프링(634)에 의해 지지되고, 하측에 위치하는 타단(621)이 아치형 지지 플레이트(610)의 타단(612)을 관통하고 바닥면에 안착되어 아치형 지지 플레이트(610)를 지지한다.That is, the
다만, 아치형 지지 프레임(620)의 일단이 제1 지지대(631)의 내측 단부까지 삽입될 경우, 아치형 지지 프레임(620)의 타단(621)이 아치형 지지 플레이트(610)의 타단(612) 바닥면에 형성되는 하부 안착홈(612a)에 안착되어 아치형 지지 플레이트(610) 단독으로 선반 몸체(510)를 지지하게 되는 것이다.However, when one end of the
일 실시예에서, 아치형 지지 프레임(620)은, 하측(621)이 수평 절곡면의 하측으로 노출되어 바닥면에 안차 설치되며, 아치형 지지 플레이트(610)가 하강함에 따라 상부가 제1 지지대(631)의 내측으로 점진적으로 삽입될 수 있다.In one embodiment, the
일 실시예에서, 아치형 지지 프레임(620)은, 하측(621)을 따라 좌우 방향의 이동을 위한 바퀴(622)가 적어도 하나 이상 설치될 수 있다.In one embodiment, in the
프레임 체결부(630)는, 선반 몸체(510)와 대향하는 아치형 지지 플레이트(610)의 내측에 설치되어 아치형 지지 프레임(620)을 체결한다.The
플레이트 구동부(640)는, 아치형 지지 플레이트(610)의 일단(611)이 절곡되어 형성되는 수직 절곡면(611)에 설치되어 아치형 지지 플레이트(610)를 선반 몸체(510)의 일측을 따라 승강 또는 하강시켜 준다.The
도 5는 도 4의 플레이트 구동부를 보여주는 도면이다.FIG. 5 is a view showing the plate driving unit of FIG. 4 .
도 5를 참조하면, 플레이트 구동부(640)는, 제1 구동 모터(641), 설치되는 제2 구동 모터(642), 제1 피니언 기어(643) 및 제2 피니언 기어(644)를 포함한다.Referring to FIG. 5 , the
제1 구동 모터(641)는, 선반 몸체(510)와 대향하는 면인 수직 절곡면(611)의 내측면의 반대면인 외측면에 설치되어 제1 피니언 기어(643)를 회전시켜 준다.The
제2 구동 모터(642)는, 제1 구동 모터(641)와 대향하며 설치되어 제2 피니언 기어(644)를 회전시켜 준다.The
제1 피니언 기어(643)는, 제1 구동 모터(641)의 구동축에 설치되며, 수직 절곡면(611)에 형성되는 제1 관통홀(H1)(도 6 참조)을 통해 삽입되어 선반 몸체(510)의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 제1 렉기어(R1)(도 3 참조)에 맞물려 연결 설치된다.The
제2 피니언 기어(644)는, 제2 구동 모터(642)의 구동축에 설치되며, 수직 절곡면(611)에 형성되는 제2 관통홀(H2)(도 6 참조)을 통해 삽입되어 선반 몸체(510)의 일측을 따라 제1 렉기어(R1)와 대향하면서 상하 방향으로 연장 형성되는 제2 렉기어(R2)(도 3 참조)에 맞물려 연결 설치된다.The
상술한 바와 같은 구성을 가지는 플레이트 구동부(640)는, 제1 선반 지지대(570)에 의해 선반 몸체(510)가 안정적으로 지지될 수 있도록 제1 선반 지지대(570)를 승강 또는 하강 구동시켜 줌으로써, 제1 선반 지지대(570)에 의한 선반 몸체(510)의 최적으로 지지가 수행되도록 할 수 있다.The
도 6은 도 4의 프레임 체결부를 보여주는 도면이다.FIG. 6 is a view showing the frame fastening part of FIG. 4 .
도 6을 참조하면, 프레임 체결부(630)는, 제1 지지대(631), 제2 지지대(632), 제3 지지대(633) 및 탄성 지지 스프링(634)을 포함한다.Referring to FIG. 6 , the
제1 지지대(631)는, 아치형 지지 프레임(620)의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 수직 절곡면(611)의 외측면에 설치되어 아치형 지지 프레임(620)의 상부가 삽입된다.The
제2 지지대(632)는, 아치형 지지 플레이트(610)의 하측에 설치되며, 아치형 지지 프레임(620)이 안착되어 지지될 수 있도록 아치형 지지 프레임(620)의 형태에 대응하여 길이 방향으로 관통 형성되는 지지 관통홀(632a)이 형성된다.The
제3 지지대(633)는, 아치형 지지 프레임(620)의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 아치형 지지 플레이트(610)의 타단(612)이 절곡되어 형성되는 수평 절곡면(612)의 상측에 설치되어 아치형 지지 프레임(620)의 하부가 삽입된다.The
탄성 지지 스프링(634)은, 제1 지지대(631)의 내측에 설치되어 제1 지지대(631)에 삽입되어 있는 아치형 지지 프레임(620)의 상측을 탄성력을 이용하여 지지한다.The
상술한 바와 같은 구성을 가지는 프레임 체결부(630)는, 아치형 지지 프레임(620)이 아치형 지지 플레이트(610)와 이격되어 안정적으로 지지되도록 아치형 지지 프레임(620)을 체결할 수 있다.The
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above-described embodiments are for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the above-described embodiments pertain can easily transform into other specific forms without changing the technical idea or essential features of the above-described embodiments. You will understand. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.
본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The scope to be protected through this specification is indicated by the claims described below rather than the above detailed description, and it should be construed to include all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents. .
10: 미립자 계측 시스템
100: 파티클 센서
200: 파티클 컨트롤러
300: 벨로우즈 샘플러
400: 벨로우즈 컨트롤러
500: 계측 선반
600: 제1 선반 지지대10: Particulate measurement system
100: particle sensor
200: particle controller
300: bellows sampler
400: bellows controller
500: measuring lathe
600: first shelf support
Claims (3)
상기 파티클 센서의 구동에 필요한 전기를 공급하는 파티클 컨트롤러;
피계측물이 일정한 유속으로 상기 파티클 센서로 공급될 수 있도록 일정한 압력으로 상기 파티클 센서로부터 피계측물을 자신 방향으로 빨아들이는 벨로우즈 샘플러; 및
상기 벨로우즈 샘플러의 구동에 필요한 전기를 공급하며, 상기 파티클 센서로부터 측정 데이터를 전달받아 PLC(Programmable Logic Controller) 프로그램이 설치된 컴퓨터 장치로 전송하는 벨로우즈 컨트롤러;를 포함하며,
상기 파티클 센서, 상기 파티클 컨트롤러, 상기 벨로우즈 샘플러 및 상기 벨로우즈 컨트롤러를 설치하기 위한 계측 선반;을 더 포함하며,
상기 계측 선반은,
내부 공간을 형성하는 박스 형태로 형성되는 선반 몸체;
상기 선반 몸체의 내부 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 선반 몸체의 내부 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치되는 제1 파티션;
상기 제1 파티션에 의해 구획되는 상부 안착 공간과 하부 안착 공간 중 상기 상부 안착 공간을 좌우 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 상부 안착 공간을 상하 수직 방향으로 가로질러 설치되는 제2 파티션;
상기 제2 파티션에 의해 구획되는 좌측 안착 공간과 우측 안착 공간 중 상기 좌측 안착 공간을 상하 방향으로 구획시킬 수 있도록 상기 좌측 안착 공간을 좌우 수평 방향으로 가로질러 설치되는 제3 파티션;
상기 선반 몸체의 하측에 설치되어 상기 선반 몸체를 지지하는 지지대; 및
상기 선반 몸체의 이동을 위해 상기 지지대의 하부에 설치되는 다수 개의 휠;을 포함하며,
상기 선반 몸체의 내부 공간은,
상기 하부 안착 공간에 해당하는 상기 제1 파티션의 하측에 형성되는 제1 안착 공간, 상기 상부 안착 공간과 상기 우측 안착 공간이 중첩되어 형성되는 제2 안착 공간, 상기 상부 안착 공간과 상기 좌측 안착 공간이 중첩되어 형성되되 상기 제3 파티션의 상측에 형성되는 제3 안착 공간과 상기 제3 파티션의 하측에 형성되는 제4 안착 공간으로 이루어지며,
상기 파티클 컨트롤러와 상기 벨로우즈 컨트롤러는,
상기 제4 안착 공간에 안착 설치되며,
기 파티클 센서와 상기 벨로우즈 샘플러는,
상기 제1 안착 공간에 안착 설치되며,
상기 계측 선반은,
상기 선반 몸체의 일측에 설치되어 상기 선반 몸체의 일측을 지지하는 제1 선반 지지대; 및
상기 제1 선반 지지대와 대칭 구조를 형성하며 상기 선반 몸체의 다른 일측에 설치되어 상기 선반 몸체의 다른 일측을 지지하는 제2 선반 지지대;를 더 포함하며,
상기 제1 선반 지지대는,
아치(Arch) 형태로 상측으로 둥글게 절곡 형성되되, 일단이 하측 직각 방향으로 절곡되어 상기 선반 몸체의 일측에 연결 설치되고, 타단이 바닥면에 안착될 수 있도록 상기 선반 몸체 방향의 수평 방향으로 절곡 형성되는 아치형 지지 플레이트;
상기 아치형 지지 플레이트의 곡률에 대응하여 아치 형태로 둥글게 절곡 형성되며, 상기 선반 몸체와 대향하는 상기 아치형 지지 플레이트의 내측에 연결 설치되어 상기 아치형 지지 플레이트를 지지하는 아치형 지지 프레임;
상기 선반 몸체와 대향하는 상기 아치형 지지 플레이트의 내측에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임을 체결하는 프레임 체결부; 및
상기 아치형 지지 플레이트의 일단이 절곡되어 형성되는 수직 절곡면에 설치되어 상기 아치형 지지 플레이트를 상기 선반 몸체의 일측을 따라 승강 또는 하강시켜 주는 플레이트 구동부;를 포함하며,
상기 아치형 지지 프레임은,
하측을 따라 좌우 방향의 이동을 위한 바퀴가 적어도 하나 이상 설치되며,
상기 수직 절곡면은,
상기 선반 몸체의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 슬라이딩 홈에 삽입 체결되어 상기 슬라이딩 홈을 따라 상하 방향으로 이동할 수 있도록 상기 슬라이딩 홈의 형상에 대응하여 형성되는 슬라이딩 돌기가 상기 선반 몸체와의 대항면에 형성되며,
상기 플레이트 구동부는,
상기 선반 몸체와 대향하는 면인 상기 수직 절곡면의 내측면의 반대면인 외측면에 설치되는 제1 구동 모터;
상기 제1 구동 모터와 대향하며 설치되는 제2 구동 모터;
상기 제1 구동 모터의 구동축에 설치되며, 상기 수직 절곡면에 형성되는 제1 관통홀을 통해 삽입되어 상기 선반 몸체의 일측을 따라 상하 방향으로 연장 형성되는 제1 렉기어에 맞물려 연결 설치되는 제1 피니언 기어; 및
상기 제2 구동 모터의 구동축에 설치되며, 상기 수직 절곡면에 형성되는 제2 관통홀을 통해 삽입되어 상기 선반 몸체의 일측을 따라 상기 제1 렉기어와 대향하면서 상하 방향으로 연장 형성되는 제2 렉기어에 맞물려 연결 설치되는 제2 피니언 기어;를 포함하며,
상기 프레임 체결부는,
상기 아치형 지지 프레임의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 상기 수직 절곡면의 외측면에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임의 상부가 삽입되는 제1 지지대; 상기 아치형 지지 플레이트의 하측에 설치되며, 상기 아치형 지지 프레임이 안착될 수 있도록 상기 아치형 지지 프레임의 형태에 대응하여 길이 방향으로 관통 형성되는 지지 관통홀이 형성되는 제2 지지대; 상기 아치형 지지 프레임의 곡률에 대응하여 절곡 형성되는 원통 형태로 형성되며, 상기 아치형 지지 플레이트의 타단이 절곡되어 형성되는 수평 절곡면의 상측에 설치되어 상기 아치형 지지 프레임의 하부가 삽입되는 제3 지지대; 및 상기 제1 지지대의 내측에 설치되어 상기 제1 지지대에 삽입되어 있는 상기 아치형 지지 프레임의 상측을 탄성력을 이용하여 지지하는 탄성 지지 스프링;을 포함하며,
상기 아치형 지지 프레임은,
하측이 상기 수평 절곡면의 하측으로 노출되어 바닥면에 안차 설치되며, 상기 아치형 지지 플레이트가 하강함에 따라 상부가 상기 제1 지지대의 내측으로 점진적으로 삽입되는, 미립자 계측 시스템.a particle sensor for measuring the number and size of suspended particles in the form of particles included in liquid or air, which are objects to be measured;
a particle controller for supplying electricity necessary for driving the particle sensor;
a bellows sampler that sucks the object to be measured from the particle sensor in its own direction with a constant pressure so that the object to be measured can be supplied to the particle sensor at a constant flow rate; and
A bellows controller that supplies electricity necessary for driving the bellows sampler, receives measurement data from the particle sensor and transmits it to a computer device in which a programmable logic controller (PLC) program is installed; includes,
Further comprising; a measuring shelf for installing the particle sensor, the particle controller, the bellows sampler, and the bellows controller,
The measuring shelf,
a shelf body formed in a box shape forming an inner space;
a first partition installed across the inner space of the shelf body in a left and right horizontal direction to partition the inner space of the shelf body in a vertical direction;
a second partition installed across the upper seating space in a vertical and vertical direction to partition the upper seating space from among the upper seating space and the lower seating space partitioned by the first partition in left and right directions;
a third partition installed across the left seating space in a left and right horizontal direction to vertically partition the left seating space among the left seating space and the right seating space partitioned by the second partition;
a support installed under the shelf body to support the shelf body; and
Includes; a plurality of wheels installed on the lower portion of the support for movement of the shelf body;
The inner space of the shelf body,
A first seating space formed below the first partition corresponding to the lower seating space, a second seating space formed by overlapping the upper seating space and the right seating space, and the upper seating space and the left seating space It is formed to be overlapped with a third seating space formed above the third partition and a fourth seating space formed below the third partition,
The particle controller and the bellows controller,
It is seated and installed in the fourth seating space,
The particle sensor and the bellows sampler are,
It is seated and installed in the first seating space,
The measuring shelf,
a first shelf support installed on one side of the shelf body to support one side of the shelf body; and
It further includes; a second shelf support that forms a symmetrical structure with the first shelf support and is installed on the other side of the shelf body to support the other side of the shelf body,
The first shelf support is,
It is formed by bending upward in an arch shape, and one end is bent in a lower right angle direction to be connected to one side of the shelf body, and the other end is bent in the horizontal direction in the direction of the shelf body so that the other end can be seated on the floor surface. an arcuate support plate;
an arcuate support frame formed to be rounded in an arcuate shape corresponding to the curvature of the arcuate support plate and connected to an inner side of the arcuate support plate facing the shelf body to support the arcuate support plate;
a frame fastening part installed inside the arcuate support plate facing the shelf body to fasten the arcuate support frame; and
and a plate driving unit installed on a vertical bent surface formed by bending one end of the arcuate support plate to elevate or lower the arcuate support plate along one side of the shelf body;
The arcuate support frame,
At least one wheel for moving left and right along the lower side is installed,
The vertical curved surface is
A sliding protrusion formed to correspond to the shape of the sliding groove is inserted and fastened into a sliding groove extending in the vertical direction along one side of the shelf body to move vertically along the sliding groove on a surface opposite to the shelf body. is formed,
The plate driving unit,
a first driving motor installed on an outer surface opposite to an inner surface of the vertical bent surface, which is a surface opposite to the shelf body;
a second driving motor installed to face the first driving motor;
A first installed on the drive shaft of the first drive motor, inserted through a first through hole formed in the vertical bent surface, and connected to and connected to a first rack gear extending in the vertical direction along one side of the shelf body pinion gear; and
A second rack installed on the drive shaft of the second drive motor, inserted through a second through hole formed in the vertical bent surface, and extended in the vertical direction while facing the first rack gear along one side of the shelf body It includes a; a second pinion gear that is engaged with the gear and installed,
The frame fastening part,
a first support formed in a cylindrical shape bent to correspond to the curvature of the arcuate support frame, installed on an outer surface of the vertical bent surface, and into which an upper portion of the arcuate support frame is inserted; a second support installed under the arcuate support plate and having a support through-hole penetrating in the longitudinal direction corresponding to the shape of the arcuate support frame so that the arcuate support frame can be seated; a third support formed in a cylindrical shape bent to correspond to the curvature of the arcuate support frame, installed above a horizontal bent surface formed by bending the other end of the arcuate support plate, and into which a lower portion of the arcuate support frame is inserted; and an elastic support spring installed inside the first support to support the upper side of the arcuate support frame inserted into the first support by using an elastic force,
The arcuate support frame,
The lower side is exposed to the lower side of the horizontal curved surface and is installed on the bottom surface, and the upper part is gradually inserted into the inside of the first support as the arcuate support plate descends.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210044860A KR102270289B1 (en) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | Liquid particle counter system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210044860A KR102270289B1 (en) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | Liquid particle counter system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102270289B1 true KR102270289B1 (en) | 2021-06-28 |
Family
ID=76607720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210044860A KR102270289B1 (en) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | Liquid particle counter system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102270289B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218677A (en) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | Scanning probe microscope |
| KR101046156B1 (en) * | 2010-03-12 | 2011-07-04 | 주식회사 나노엔텍 | Blood corpuscle separation chip |
| KR20130143534A (en) | 2012-06-21 | 2013-12-31 | 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 | Electroplating apparatuses and methods employing liquid particle counter modules |
| KR102165033B1 (en) * | 2014-02-03 | 2020-10-13 | 가부시키가이샤 에이 앤 디 | Weighing system |
| KR102198319B1 (en) * | 2019-07-31 | 2021-01-05 | 국방과학연구소 | A Movable Evaluation Device of Outdoor Aerosols |
-
2021
- 2021-04-06 KR KR1020210044860A patent/KR102270289B1/en active IP Right Grant
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