KR102270044B1 - Transport apparatus - Google Patents
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Abstract
이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량과, 상기 주행 레일과 만나는 제2 주행 레일을 따라 이동하는 제2 이송 차량에 상기 주행 레일과 상기 제2 주행 레일의 합류 지점으로의 진입 여부에 관한 신호를 제공하는 신호 제공부와, 상기 제2 이송 차량으로부터 제공되는 신호를 검출하기 위한 신호 검출부를 포함한다.A transfer device is disclosed. The transfer device includes a transfer vehicle configured to be movable along a travel rail for material transfer, and a merging of the travel rail and the second travel rail into a second transfer vehicle moving along a second travel rail that meets the travel rail It includes a signal providing unit for providing a signal regarding whether to enter the point, and a signal detecting unit for detecting a signal provided from the second transfer vehicle.
Description
본 발명의 실시예들은 자재 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device for material conveying. More particularly, it relates to a transport device including a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail for material transport in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device or display device, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, glass substrates, display panels, etc. may be transported through an unmanned transport system such as an overhead hoist transport (OHT) device and a rail guided vehicle (RGV) device. . In particular, the transport devices as described above may include a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail installed on the ceiling or floor of a clean room, and the operation control of the transport vehicle is performed by a higher level control such as an OHT Control Server (OCS) device. It can be controlled by the device.
예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 특히, 주행 레일들이 합류하는 지점에서의 상기 이송 차량들의 운행 제어는 상기 OCS 장치에 의해 수행될 수 있으며, 또한 상기 주행 레일들에 근접하게 설치되는 충돌 방지 장치 등에 의해 수행될 수 있다. 일 예로서, 주행 레일들의 합류 지점으로 이송 차량이 진입하기 위해서는 상기 OCS 장치의 진입 명령이 있더라도 다른 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위하여 상기 충돌 방지 장치의 이동 신호가 요구될 수 있다.For example, in a clean room for manufacturing a semiconductor device, traveling rails for material conveying may be installed on a ceiling, and a plurality of conveying vehicles may be movably disposed along the traveling rails. In particular, the operation control of the transport vehicles at the point where the traveling rails converge may be performed by the OCS device, and may also be performed by a collision avoidance device installed close to the traveling rails. As an example, in order for the transport vehicle to enter the junction of the traveling rails, a movement signal of the collision avoidance device may be required to prevent a collision with another transport vehicle even if there is an entry command from the OCS device.
일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1610209호에는 주행 레일들에 각각 통신용 중계 장치를 설치하고 상기 통신용 중계 장치들을 이용하여 상기 이송 차량들과 통신함으로써 상기 주행 레일들의 합류 지점에서 상기 이송 차량들 사이의 충돌을 방지하는 물품 반송 설비 및 물품 반송 장치가 개시되어 있다.As an example, Korean Patent No. 10-1610209 discloses that a communication relay device is installed on each of the traveling rails and the communication relay devices are used to communicate with the transportation vehicles at the junction of the traveling rails. Disclosed are an article transport facility and an article transport device for preventing collision between them.
그러나, 상기와 같이 주행 레일들 각각에 통신용 중계 장치들을 설치하는 경우 설치 비용이 증가될 뿐만 아니라 유지 보수가 어렵고 아울러 유지 보수를 수행하는 경우 해당 주행 레일을 통한 자재 이송이 불가능하므로 이송 효율이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 주행 레일이 클린룸의 천장 부위에 설치되기 때문에 작업자의 안전성 확보를 위한 별도의 장치들이 요구되며 아울러 작업자의 안전 사고 가능성을 배제할 수 없는 문제점이 있다.However, when the communication relay devices are installed on each of the traveling rails as described above, not only the installation cost increases, but also the maintenance is difficult, and when the maintenance is performed, the transfer efficiency is lowered because it is impossible to transfer the material through the corresponding traveling rail. There is a problem. In addition, since the traveling rail is installed on the ceiling portion of the clean room, separate devices are required for securing the safety of the operator, and there is a problem in that the possibility of a safety accident of the operator cannot be excluded.
본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 통신용 중계 장치와 같이 주행 레일들에 설치되는 별도의 장치들을 사용하지 않고도 이송 차량들 사이의 충돌을 방지할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention are to solve the problems as described above, and to provide a transfer device capable of preventing a collision between transport vehicles without using separate devices installed on the traveling rails, such as a communication relay device. There is a purpose.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일부 실시예들에 따른 이송 장치는, 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량과, 상기 주행 레일과 만나는 제2 주행 레일을 따라 이동하는 제2 이송 차량에 상기 주행 레일과 상기 제2 주행 레일의 합류 지점으로의 진입 여부에 관한 신호를 제공하는 신호 제공부와, 상기 제2 이송 차량으로부터 제공되는 신호를 검출하기 위한 신호 검출부를 포함할 수 있다.A transport device according to some embodiments of the present invention for achieving the above object includes a transport vehicle configured to be movable along a running rail for material transport, and a second moving rail that meets the second running rail. It may include a signal providing unit for providing a signal to the transfer vehicle as to whether the traveling rail and the second traveling rail enter a junction point, and a signal detecting unit for detecting a signal provided from the second conveying vehicle. .
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제2 이송 차량으로부터 제공되는 신호에 따라 상기 제2 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위해 상기 이송 차량의 운행을 제어하는 차량 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer device further includes a vehicle control unit for controlling the operation of the transfer vehicle in order to prevent a collision with the second transfer vehicle according to a signal provided from the second transfer vehicle. may include
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 제공부는 상기 합류 지점으로 진입할 것임을 알리는 제1 신호와 상기 합류 지점으로 진입하지 않을 것임을 알리는 제2 신호를 선택적으로 제공할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the signal providing unit may selectively provide a first signal informing that it will enter the confluence point and a second signal informing that it will not enter the confluence point.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 차량 제어부는 상기 제2 이송 차량으로부터 상기 제1 신호가 검출되거나 상기 제1 및 제2 신호들 중 어떠한 신호도 검출되지 않는 경우 상기 제2 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위해 상기 이송 차량의 속도를 감속하거나 상기 이송 차량을 정지시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the vehicle control unit communicates with the second transfer vehicle when the first signal is detected from the second transfer vehicle or none of the first and second signals is detected. To prevent a collision, the speed of the transport vehicle may be reduced or the transport vehicle may be stopped.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 차량 제어부는 상기 제2 이송 차량으로부터 상기 제2 신호가 검출되는 경우 상기 합류 지점으로 진입하도록 상기 이송 차량의 운행을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, when the second signal is detected from the second transfer vehicle, the vehicle controller may control the operation of the transfer vehicle to enter the merging point.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 제공부는 상기 합류 지점으로 진입할 것임을 표시하는 제1 색상과 상기 합류 지점으로 진입하지 않을 것임을 표시하는 제2 색상을 선택적으로 표시하는 램프 유닛을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the signal providing unit may include a lamp unit that selectively displays a first color indicating that it will enter the junction and a second color indicating that it will not enter the junction. can
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 차량으로부터 상기 제1 색상이 검출되는 경우 상기 신호 제공부는 상기 제2 색상을 표시할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, when the first color is detected from the second transfer vehicle, the signal providing unit may display the second color.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 검출부는 상기 제2 이송 차량의 램프 유닛을 검출하기 위한 카메라 유닛을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the signal detecting unit may include a camera unit for detecting a lamp unit of the second transfer vehicle.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 카메라 유닛에 의해 획득된 영상을 분석하여 상기 합류 지점으로 상기 제2 이송 차량의 진입 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 이송 차량의 운행을 제어하는 차량 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer device analyzes the image obtained by the camera unit to determine whether the second transfer vehicle enters the merging point, and according to the determination result, the transfer vehicle It may further include a vehicle control unit for controlling the operation.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 검출부는 상기 이송 차량의 전방과 후방 및 양쪽 측방을 각각 감시하기 위한 복수의 카메라 유닛들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the signal detection unit may include a plurality of camera units for monitoring the front, rear, and both sides of the transport vehicle, respectively.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 카메라 유닛들에 의해 획득된 영상들을 이용하여 상기 이송 차량 주위에 대한 파노라마 뷰를 생성하고, 상기 파노라마 뷰에 기초하여 상기 합류 지점으로 상기 제2 이송 차량의 진입 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 상기 이송 차량의 운행을 제어하는 차량 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transport device generates a panoramic view around the transport vehicle using images acquired by the camera units, and moves to the merging point based on the panoramic view. The second transfer vehicle may further include a vehicle control unit that determines whether or not the transfer vehicle enters, and controls the operation of the transfer vehicle according to the determination result.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 제공부는 가시광을 이용하여 상기 신호를 발신하는 가시광 통신 송신기를 포함하고, 상기 신호 검출부는 상기 가시광에 포함된 상기 신호를 수신하는 가시광 통신 수신기를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the signal providing unit may include a visible light communication transmitter transmitting the signal using visible light, and the signal detecting unit may include a visible light communication receiver receiving the signal included in the visible light. can
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 신호 검출부에 의해 검출된 신호에 기초하여 상기 제2 이송 차량과의 충돌이 방지되도록 상기 이송 차량의 운행을 제어하는 차량 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the transfer device further includes a vehicle controller configured to control the operation of the transfer vehicle to prevent a collision with the second transfer vehicle based on the signal detected by the signal detection unit. can do.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 합류 지점으로 접근하는 상기 이송 차량과 상기 제2 이송 차량은 서로간의 충돌을 방지하기 위하여 상기 합류 지점으로 진입할 것을 알리는 제1 신호와 상기 합류 지점으로 진입하지 않을 것을 알리는 제2 신호를 서로에게 각각 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 신호를 수신한 상기 이송 차량은 상기 제2 이송 차량보다 먼저 상기 합류 지점을 통과할 수 있으며, 상기 제1 신호를 수신한 상기 제2 이송 차량은 상기 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위해 상기 합류 지점 이전의 기 설정된 위치에서 정지하거나 상기 이송 차량이 상기 합류 지점을 통과한 후 상기 합류 지점으로 진입하도록 감속할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서 주행 레일들 각각에 통신용 중계 장치들을 설치하는데 소요되는 비용과 시간을 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 통신용 중계 장치들에 대한 유지 보수 또한 불필요하므로 이로 인한 이송 효율 저하 및 작업자의 안전 사고 등을 충분히 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the transfer vehicle and the second transfer vehicle approaching the merging point receive a first signal indicating that they will enter the merging point and the merging in order to prevent collision with each other. A second signal indicating not to enter the point may be provided to each other. Accordingly, the transfer vehicle receiving the second signal may pass through the merging point before the second transfer vehicle, and the second transfer vehicle receiving the first signal may prevent a collision with the transfer vehicle. To prevent this, it may stop at a preset position before the merging point or decelerate to enter the merging point after the transport vehicle has passed the merging point. Therefore, in the prior art, it is possible to reduce the cost and time required to install the communication relay devices on each of the traveling rails, and since maintenance of the communication relay devices is also unnecessary, the transport efficiency is reduced and the operator's safety accident is caused by this. can be sufficiently prevented.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1 .
4 and 5 are schematic diagrams for explaining the operation of the transfer device shown in FIG.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transport device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1 , and FIG. 3 is shown in FIG. It is a schematic plan view for explaining a transport vehicle.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(2)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(50) 이송을 위해 사용될 수 있다. 상기 이송 장치(2)는 주행 레일들(10, 20)을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량들(100, 200)을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량들(100, 200) 사이의 충돌을 방지하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 주행 레일들(10, 20)이 서로 만나는 합류 지점(30)에서 이송 차량들(100, 200)의 충돌을 방지하기 위하여 상기 이송 차량들(100, 200)은 신호 송수신을 위한 신호 제공부(300)와 신호 검출부(400)를 각각 구비할 수 있다.1 to 3 , a
상기 신호 제공부(300)는 상기 합류 지점(30)으로의 진입 여부에 관한 신호를 제공할 수 있으며, 상기 신호 검출부(400)는 상기 신호 제공부(300)에 의해 제공되는 신호를 검출할 수 있다. 예를 들면, 주행 레일(10)과 제2 주행 레일(20)이 서로 만나는 합류 지점(30)으로 이송 차량(100)이 접근하는 경우, 상기 이송 차량(100)의 신호 제공부(300)는 상기 합류 지점(30)으로 진입할 것임을 알리는 제1 신호를 제공할 수 있으며, 상기 합류 지점(30)으로 접근하는 다른 제2 이송 차량(200)의 신호 검출부(400)는 상기 이송 차량(100)의 제1 신호를 검출할 수 있다. 아울러, 상기 제2 이송 차량(200)의 신호 제공부(300)는 상기 합류 지점(30)으로 진입하지 않을 것임을 알리는 제2 신호를 제공할 수 있으며, 상기 이송 차량(100)의 신호 검출부(400)는 상기 제2 이송 차량(200)의 제2 신호를 검출할 수 있다.The
한편, 상기 이송 차량(100)과 상기 제2 이송 차량(200)의 운행 제어는 OCS 장치(40)에 의해 수행될 수 있다. 상기 이송 차량들(100, 200)과 상기 OCS 장치(40)는 무선 통신 방식으로 서로 연결될 수 있으며, 상기 OCS 장치(40)는 상기 합류 지점(30)에 대한 통과 여부를 결정할 수 있다. 일 예로서, 상기 OCS 장치(400)는 상기 합류 지점(30)에 먼저 도달될 것으로 예상되는 이송 차량, 예를 들면, 상기 이송 차량(100)에 대하여 상기 합류 지점(30) 통과를 위한 제1 명령 신호를 제공할 수 있으며, 다른 이송 차량, 예를 들면, 상기 제2 이송 차량(200)에 대하여는 충돌 방지를 위해 정지 또는 감속을 지시하는 제2 명령 신호를 제공할 수 있다.Meanwhile, operation control of the
상기 이송 차량(100)은 상기 제1 명령 신호를 수신하는 경우 상기 신호 제공부(300)를 통해 상기 제2 이송 차량(200)에 상기 합류 지점(30)으로의 진입을 알리는 제1 신호를 송신할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 신호 검출부(400)를 통해 상기 제1 신호를 수신하고 상기 이송 차량(100)에 상기 제2 신호를 송신하며 아울러 상기 이송 차량(100)과의 충돌 방지를 위해 기 설정된 지점에 정지하거나 상기 합류 지점(30)까지의 도달 거리를 계산하여 적절한 속도로 감속할 수 있다.When the
한편, 상기 이송 장치(2)는 상기 이송 차량들(100, 200) 각각의 운행을 제어하기 위한 차량 제어부들(500)을 포함할 수 있다. 상기 이송 차량들(100, 200) 각각에 장착되는 차량 제어부들(500)은 무선 통신 방식으로 상기 OCS 장치(40)와 연결될 수 있으며, 상기 OCS 장치(40)로부터 수신되는 명령 신호와 상기 합류 지점(30)에 접근하는 다른 이송 차량(200 또는 100)으로부터 제공되는 신호에 따라 각각의 이송 차량들(100, 200)의 운행을 제어할 수 있다.Meanwhile, the
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 이송 차량(100)은 상기 주행 레일(10)을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈(110)과, 상기 주행 모듈(110)의 하부에 연결되며 자재(50)의 이송을 위한 호이스트 모듈(120)을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈(120)은 자재의 픽업(pickup) 또는 플레이스(place) 동작을 위한 호이스트 유닛(122)을 포함할 수 있으며, 일 예로서, 상기 신호 제공부(300)와 신호 검출부(400) 및 차량 제어부(500)는 상기 호이스트 모듈(120)에 장착될 수 있다. 상기 주행 모듈(110)은 전방 모듈(112)과 후방 모듈(114)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 및 후방 모듈들(112, 114)은 상기 주행 레일(10) 상에 배치되는 구동 휠들(wheels)과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터 등을 포함할 수 있다.2 and 3 , the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 신호 제공부(300)는 상기 합류 지점(30)으로 진입할 것임을 알리는 제1 신호와 상기 합류 지점(30)으로 진입하지 않을 것임을 알리는 제2 신호를 선택적으로 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 신호 제공부(300)는 상기 합류 지점(30)으로 진입할 것임을 표시하는 제1 색상과 상기 합류 지점(30)으로 진입하지 않을 것임을 표시하는 제2 색상을 선택적으로 표시하는 램프 유닛(310)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 램프 유닛(310)은 상기 호이스트 모듈(120)의 양쪽 측면들과 후면 부위들에 장착되는 복수의 LED(Light Emitting Device) 소자들을 포함할 수 있으며, 상기 제1 신호로서 적색 LED 소자들을 점등할 수 있고, 상기 제2 신호로서 녹색 LED 소자들을 점등할 수 있다. 그러나, 상기 색상들은 일 예로서 기재된 것으로 다양하게 변경 가능하다.According to an embodiment of the present invention, the
상기 신호 검출부(400)는 상기 램프 유닛(310)을 검출하기 위한 카메라 유닛(410)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 차량(100)에는 전방과 후방 및 양쪽 측방을 감시하기 위한 복수의 카메라 유닛들(410)이 구비될 수 있으며, 상기 카메라 유닛들(410)에 의해 상기 제2 이송 차량(200)의 램프 유닛(310)의 점등 상태가 검출될 수 있다. 상기 차량 제어부(500)는 상기 카메라 유닛들(410)에 의해 획득된 영상들을 분석하여 상기 합류 지점(30)으로 상기 제2 이송 차량(200)의 진입 여부를 판단할 수 있으며, 판단 결과에 따라 상기 이송 차량(100)의 운행을 제어할 수 있다.The
한편, 상기와 같이 복수의 카메라 유닛들(410)을 이용하는 경우 상기 카메라 유닛들(410)에 의해 획득된 영상들에는 서로 중첩되는 영역들이 발생될 수 있으며, 상기 차량 제어부(500)는 상기 중첩되는 영역들을 매칭하여 상기 이송 차량(100) 주위에 대한 파노라마 뷰를 생성할 수 있다. 즉, 상기 영상들의 중첩에 의한 판단 오류를 방지하기 위하여 상기 차량 제어부(500)는 상기 이송 차량(100) 주위에 대한 파노라마 뷰를 생성하고, 상기 파노라마 뷰에 기초하여 상기 합류 지점(30)으로 상기 제2 이송 차량(200)의 진입 여부를 판단할 수 있다.On the other hand, when a plurality of
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도시되지는 않았으나, 상기 신호 제공부(300)와 상기 신호 검출부(400)는 가시광 통신(Visible Light Communication; VLC) 방식을 이용하여 서로 신호를 송수신할 수 있다. 예를 들면, 상기 신호 제공부(300)는 가시광을 이용하여 상기 신호를 발신하는 가시광 통신 송신기(VLC Transmitter)를 포함할 수 있으며, 상기 신호 검출부(400)는 상기 가시광에 포함된 상기 신호를 수신하는 가시광 통신 수신기(VLC Receiver)를 포함할 수 있다. 상기 가시광 통신 송신기는 LED 소자들을 이용하여 가시광 신호를 제공할 수 있으며, 상기 가시광 통신 수신기는 포토다이오드를 이용하여 상기 가시광 신호를 수신할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, although not shown, the
특히, 상기 신호 제공부(300)는 인접하는 제2 주행 레일(20)을 향하여 즉 상기 주행 레일(10) 상의 상기 이송 차량(100)은 상기 신호 제공부(300)의 LED 소자들을 이용하여 상기 제2 주행 레일(20) 상의 상기 제2 이송 차량(200)을 향하여 상기 신호들을 제공할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 신호 제공부(300)는 상기 이송 차량(100)의 양쪽 측면들 및 후면 상에 장착된 복수의 LED 소자들을 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)을 향하여 상기 LED 소자들 중 일부를 선택적으로 점등함으로써 상기 제2 이송 차량(200)에 상기 신호들을 제공할 수 있다. 상기와 같이 신호 제공부(300)가 복수의 LED 소자들을 선택적으로 점등하는 것은 상기 신호들이 상기 제2 이송 차량(200)을 향하는 지향성을 갖도록 하기 위함이며, 상기와 다르게 상기 신호들이 상기 이송 차량(100) 주위로 방사되는 경우 주변의 다른 이송 차량(미도시)의 운행에 영향을 줄 수 있기 때문이다. 즉, 상기 이송 차량(100)으로부터 제공되는 신호들은 상기 합류 지점(30)으로 접근하는 상기 제2 이송 차량(200)만을 위한 것이므로 상기 제2 이송 차량(200)을 향하는 지향성을 갖는 것이 바람직하며, 이를 위하여 상기 신호 제공부(300)는 상기 복수의 LED 소자들 중 상기 제2 이송 차량(200)을 향하는 일부만을 점등함으로써 주위의 다른 이송 차량들에 상기 신호들이 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.In particular, the
한편, 상기에서는 상기 이송 차량(100)에 장착되는 신호 제공부(300)와 신호 검출부(400) 및 차량 제어부(500)에 대하여 설명하였으나, 상기 제2 이송 차량(200)에도 동일한 구성의 신호 제공부(300)와 신호 검출부(400) 및 차량 제어부(500)가 장착될 수 있다.Meanwhile, in the above description, the
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.4 and 5 are schematic diagrams for explaining the operation of the transfer device shown in FIG.
도 4를 참조하면, 상기 주행 레일(10)과 상기 제2 주행 레일(20)을 따라 각각 상기 이송 차량(100)과 상기 제2 이송 차량(200)이 상기 합류 지점(30)으로 접근하는 경우, 상기 OCS 장치(40)는 상기 합류 지점(30)에 먼저 도착할 것으로 예상되는 상기 이송 차량(100)에 상기 합류 지점(30) 통과를 위한 제1 명령 신호를 전송하고 상기 제2 이송 차량(200)에 감속 또는 정지를 위한 제2 명령 신호를 전송할 수 있다.Referring to FIG. 4 , when the
상기 제1 명령 신호를 수신한 상기 이송 차량(100)은 상기 신호 제공부(300)를 이용하여 상기 제2 이송 차량(200)을 향하여 상기 합류 지점(30)으로 진입할 것임을 알리는 제1 신호를 제공할 수 있으며, 상기 제2 명령 신호를 수신한 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 이송 차량(100)을 향하여 상기 합류 지점(30)으로 진입하지 않을 것임을 알리는 제2 신호를 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 차량(100)은 상기 LED 소자들 중 일부가 적색으로 점등되도록 할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 LED 소자들 중 일부가 녹색으로 점등되도록 할 수 있다.The
상기 이송 차량(100)의 차량 제어부(500)는 상기 신호 검출부(400)에 의해 상기 제2 이송 차량(200)의 제2 신호가 수신되면 상기 이송 차량(100)이 상기 합류 지점(30)을 통과하도록 상기 이송 차량(100)의 운행을 제어할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)의 차량 제어부(500)는 상기 이송 차량(100)의 제1 신호가 수신되면 상기 합류 지점(30)까지의 거리를 산출하고 그에 따라 기 설정된 지점에서 상기 제2 이송 차량(200)이 정지하도록 또는 상기 이송 차량(100)과 충돌하지 않도록 상기 제2 이송 차량(200)의 이동 속도를 감속할 수 있다.When the second signal of the
한편, 상기 OCS 장치(40)와 상기 제2 이송 차량(200) 사이의 무선 통신에 장애가 발생되어 상기 제2 명령 신호가 정상적으로 전달되지 않는 경우 또는 상기 제2 이송 차량(200)의 차량 제어부(500)에 에러가 발생되는 경우, 예를 들면, 상기 제2 이송 차량(200)으로부터 상기 제2 명령 신호에 반하는 제1 신호가 검출되거나 상기 제1 및 제2 신호들 중 어떠한 신호도 검출되지 않는 경우, 상기 이송 차량(100)의 차량 제어부(500)는 상기 제1 명령 신호에도 불구하고 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌을 방지하기 위해 상기 이송 차량(100)의 속도를 감속하거나 상기 이송 차량(100)을 정지시킬 수 있다. 즉, 상기 이송 차량(100)은 상기 제2 이송 차량(200)이 상기 제2 명령 신호에도 불구하고 비정상적으로 상기 합류 지점(300)으로 진입하는 경우 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌을 방지하기 위해 정지하거나 감속할 수 있다. 특히, 상기 이송 차량(100)은 상기 OCS 장치(40)로부터의 상기 제1 명령 신호와 상기 제2 이송 차량(200)으로부터의 상기 제2 신호가 모두 수신되는 경우에만 상기 합류 지점(300)을 통과할 수 있으며, 이에 따라 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌이 충분히 방지될 수 있다.On the other hand, when the second command signal is not normally transmitted due to a failure in wireless communication between the
도 5를 참조하면, 상기와 다르게, 상기 제2 이송 차량(200)에 상기 제1 명령 신호가 전송되고 상기 이송 차량(100)에 상기 제2 명령 신호가 전송되는 경우, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 신호를 상기 이송 차량(100)에 제공할 수 있으며, 상기 이송 차량(100)은 상기 제2 신호를 상기 제2 이송 차량(200)에 제공할 수 있다. 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 이송 차량(100)으로부터 상기 제2 신호가 검출되면 상기 합류 지점(30)을 먼저 통과할 수 있으며, 상기 이송 차량(100)은 상기 제1 신호가 검출되면 상기 합류 지점(30) 이전의 기 설정된 위치에서 정지하거나 상기 제2 이송 차량(200)이 상기 합류 지점(30)을 통과한 후 이어서 상기 합류 지점(30)을 통과하도록 주행 속도를 감속할 수 있다.5 , differently from the above, when the first command signal is transmitted to the
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 합류 지점(30)으로 접근하는 상기 이송 차량(100)과 상기 제2 이송 차량(200)은 서로간의 충돌을 방지하기 위하여 상기 합류 지점(30)으로 진입할 것을 알리는 제1 신호와 상기 합류 지점(30)으로 진입하지 않을 것을 알리는 제2 신호를 서로에게 각각 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 신호를 수신한 상기 이송 차량(100)은 상기 제2 이송 차량(200)보다 먼저 상기 합류 지점(30)을 통과할 수 있으며, 상기 제1 신호를 수신한 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 이송 차량(100)과의 충돌을 방지하기 위해 상기 합류 지점(30) 이전의 기 설정된 위치에서 정지하거나 상기 이송 차량(100)이 상기 합류 지점(30)을 통과한 후 상기 합류 지점(30)으로 진입하도록 감속할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서 주행 레일들 각각에 통신용 중계 장치들을 설치하는데 소요되는 비용과 시간을 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 통신용 중계 장치들에 대한 유지 보수 또한 불필요하므로 이로 인한 이송 효율 저하 및 작업자의 안전 사고 등을 충분히 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is
2 : 이송 장치 10 : 주행 레일
20 : 제2 주행 레일 30 : 합류 지점
40 : OCS 장치 50 : 자재
100 : 이송 차량 110 : 주행 모듈
120 : 호이스트 모듈 200 : 제2 이송 차량
300 : 신호 제공부 310 : 램프 유닛
400 : 신호 검출부 410 : 카메라 유닛
500 : 차량 제어부2: conveying device 10: running rail
20: second running rail 30: junction point
40: OCS device 50: material
100: transport vehicle 110: driving module
120: hoist module 200: second transfer vehicle
300: signal providing unit 310: lamp unit
400: signal detection unit 410: camera unit
500: vehicle control unit
Claims (13)
상기 주행 레일과 만나는 제2 주행 레일을 따라 이동하는 제2 이송 차량에 상기 주행 레일과 상기 제2 주행 레일의 합류 지점으로의 진입 여부에 관한 신호를 제공하기 위해 상기 합류 지점으로 진입할 것임을 표시하는 제1 색상과 상기 합류 지점으로 진입하지 않을 것임을 표시하는 제2 색상을 선택적으로 표시하는 램프 유닛을 포함하는 신호 제공부;
상기 제2 이송 차량으로부터 제공되는 신호를 검출하기 위해 상기 이송 차량의 전방과 후방 및 양쪽 측방을 각각 감시하기 위한 복수의 카메라 유닛들을 포함하는 신호 검출부; 및
상기 카메라 유닛들에 의해 획득된 영상들을 이용하여 상기 이송 차량 주위에 대한 파노라마 뷰를 생성하고, 상기 파노라마 뷰에 기초하여 상기 합류 지점으로 상기 제2 이송 차량의 진입 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 상기 이송 차량의 운행을 제어하는 차량 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail for transporting materials in a semiconductor device manufacturing process;
Indicating that it will enter the junction to provide a signal as to whether or not to enter the junction of the driving rail and the second driving rail to a second transfer vehicle moving along a second driving rail that meets the driving rail a signal providing unit including a lamp unit selectively displaying a first color and a second color indicating that the first color will not enter the junction;
a signal detection unit including a plurality of camera units for respectively monitoring the front and rear and both sides of the transfer vehicle to detect a signal provided from the second transfer vehicle; and
A panoramic view of the surroundings of the transfer vehicle is generated using the images obtained by the camera units, and based on the panoramic view, whether the second transfer vehicle enters the merging point is determined, and according to the determination result and a vehicle control unit for controlling the operation of the transfer vehicle.
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