KR102268829B1 - Alkali-free glass - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고영률 및 고비탄성률을 동시에 만족시키는 무알칼리 유리에 관한 것이며, 구체적으로는 산화물 기준의 질량％ 표시로 SiO2 40 내지 61, Al2O3 15 내지 23.5, MgO 2 내지 20, CaO 0.1 내지 40을 함유하고, [SiO2]+0.43×[Al2O3]+0.59×[CaO]-74.6≤0이고 [SiO2]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0인 무알칼리 유리에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali-free glass that simultaneously satisfies a high Young's modulus and a high specific modulus, and specifically, SiO 2 40 to 61, Al 2 O 3 15 to 23.5, MgO 2 to 20, CaO 0.1 to 0.1 to containing 40, [SiO 2 ]+0.43×[Al 2 O 3 ]+0.59×[CaO]-74.6≤0 and [SiO 2 ]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0 It relates to alkali-free glass.

Description

무알칼리 유리 {ALKALI-FREE GLASS}Alkali-free glass {ALKALI-FREE GLASS}

본 발명은, 각종 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조에 사용되는 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 적합한, 알칼리 금속 산화물을 실질상함유하지 않는, 고영률 및 고비탄성률을 동시에 만족시키는 무알칼리 유리에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali-free glass that does not substantially contain alkali metal oxide, and satisfies both a high Young's modulus and a high specific modulus of elasticity, suitable as a substrate glass for a display or a substrate glass for a photomask used in the manufacture of various flat panel displays (FPD). it's about

FPD의 고정밀화, 대형화가 진행됨에 따라, 제조 공정에 있어서 자중 휨에 기인하는 변형이나, 그에 수반하는 결함이나 판 갈라짐이 발생하여 수율의 저하가 우려되고 있다. 또한 대형 FPD의 실용 강도를 충분히 확보하기 위해서는 기판 유리의 파괴 인성을 향상시키는 것이 유용하다.As the high-definition and enlargement of FPDs progress, deformation due to bending of its own weight in the manufacturing process, defects and plate cracks accompanying it, and a decrease in yield are concerned. In addition, in order to sufficiently secure the practical strength of a large-sized FPD, it is useful to improve the fracture toughness of the substrate glass.

이 때문에, 각종 디스플레이용 기판 유리는 자중 휨을 저감시키기 위하여 고비탄성률일 것이 요구되고, 또한 파괴 인성을 향상시키기 위하여 고영률일 것이 요구된다.For this reason, various types of substrate glass for displays are required to have a high specific elastic modulus in order to reduce self-weight warpage, and are also required to have a high Young's modulus in order to improve fracture toughness.

한편, 각종 디스플레이용 기판 유리, 특히 표면에 금속 내지 산화물 박막 등을 형성하는 것에서는, 종래, 예를 들어 특허문헌 1에 개시된 바와 같은, 이하에 나타내는 특성이 요구되어 왔다.On the other hand, in forming a metal thru|or an oxide thin film etc. on the substrate glass for various displays, especially on the surface, the characteristic shown below as disclosed by patent document 1, for example has conventionally been calculated|required.

(1) 반도체 형성에 사용하는 각종 약품에 대하여 충분한 화학 내구성을 가질 것, 특히 SiOx나 SiNx의 에칭을 위한 버퍼드 불산(BHF: 불산과 불화암모늄의 혼합액) 및 ITO의 에칭에 사용하는 염산을 함유하는 약액, 금속 전극의 에칭에 사용하는 각종 산(질산, 황산 등), 레지스트 박리액의 알칼리에 대하여 내구성이 있을 것.(1) It must have sufficient chemical durability against various chemicals used in semiconductor formation, especially buffered hydrofluoric acid (BHF: a mixture of hydrofluoric acid and ammonium fluoride) for etching SiO x or SiN x and hydrochloric acid used for etching ITO It must be durable against chemical solutions containing , various acids (nitric acid, sulfuric acid, etc.) used for etching metal electrodes, and alkalis of resist stripping solutions.

(2) 액정 디스플레이 제작 시의 열처리의 승강온 속도를 빠르게 하여 생산성을 높이거나 내열충격성을 높이기 위하여, 유리의 평균 열팽창 계수가 작을 것.(2) The average coefficient of thermal expansion of the glass should be small in order to increase the productivity or thermal shock resistance by speeding up the heating/falling rate of the heat treatment in the production of liquid crystal displays.

일본 특허 공개 제2001-348247호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2001-348247

본 발명의 목적은, 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 적합한, 고영률 및 고비탄성률을 동시에 만족시키는 무알칼리 유리를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an alkali-free glass that satisfies both a high Young's modulus and a high specific elastic modulus, suitable as a substrate glass for a display or a substrate glass for a photomask.

본 발명은, 산화물 기준의 질량％ 표시로The present invention is expressed in terms of mass % on an oxide basis.

SiO2 40 내지 61,SiO 2 40 to 61,

Al2O3 15 내지 23.5,Al 2 O 3 15 to 23.5,

MgO 2 내지 20,MgO 2 to 20,

CaO 0.1 내지 40을 함유하고,containing 0.1 to 40 CaO,

[SiO2]+0.43×[Al2O3]+0.59×[CaO]-74.6≤0이고[SiO 2 ]+0.43×[Al 2 O 3 ]+0.59×[CaO]-74.6≤0

[SiO2]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0[SiO 2 ]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0

인 무알칼리 유리를 제공한다.We provide phosphorus alkali-free glass.

본 발명의 무알칼리 유리는 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 적합하지만, 자기 디스크용 유리 기판 등으로서도 사용할 수 있다. 단, 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 유리판의 대형화나 박판화가 요구되는 것을 고려하면, 고영률이고 또한 고비탄성률인 점에서 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 유효하다.The alkali-free glass of the present invention is suitable as various kinds of substrate glass for displays and substrate glass for photomasks, but can also be used as a glass substrate for magnetic disks or the like. However, considering that large-size and thin-plate glass plates are required for various display substrate glasses or photomask substrate glass, it is effective as various display substrate glass and photomask substrate glass from the viewpoint of high Young's modulus and high specific elastic modulus.

다음으로, 각 성분의 조성 범위에 대하여 설명한다. SiO2는 40％(질량％, 이하 특기하지 않는 한 동일함) 미만이면 실투 점성이나 내산성이 저하된다. 45％ 이상이 바람직하고, 50％ 이상이 보다 바람직하며, 53％ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 55％ 이상인 것이 특히 바람직하다. 61％ 초과이면 영률이 저하된다. 60.5％ 이하가 보다 바람직하고 60％ 이하인 것이 더욱 바람직하다.Next, the composition range of each component is demonstrated. SiO 2 is less than 40% (equivalent to a mass%, hereinafter unless otherwise), then the devitrification viscosity or acid resistance is lowered. 45 % or more is preferable, 50 % or more is more preferable, 53 % or more is still more preferable, It is especially preferable that it is 55 % or more. If it exceeds 61 %, the Young's modulus will fall. 60.5% or less is more preferable, and it is still more preferable that it is 60% or less.

Al2O3의 함유에 의하여 영률과 비탄성률이 향상되지만, 23.5％ 초과이면 실투 온도가 상승하기 때문에 유리의 제조가 곤란해진다. 23％ 이하가 바람직하고, 22％ 이하인 것이 보다 바람직하며, 21％ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 20％ 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한 15％ 미만이면 실투 온도가 상승하기 때문에 유리의 제조가 곤란해진다. 16％ 이상이 바람직하고, 17％ 이상이 보다 바람직하며, 18％ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 19％ 이상인 것이 특히 바람직하다.Al 2 O 3 by the inclusion of improving the Young's modulus and the elastic modulus ratio, but, if more than 23.5% because a devitrification temperature increases it is difficult to manufacture glass. 23 % or less is preferable, It is more preferable that it is 22 % or less, It is still more preferable that it is 21 % or less, It is especially preferable that it is 20 % or less. Moreover, since loss-of-clarity temperature rises as it is less than 15 %, manufacture of glass becomes difficult. 16 % or more is preferable, 17 % or more is more preferable, It is still more preferable that it is 18 % or more, It is especially preferable that it is 19 % or more.

MgO는 영률과 비탄성률의 향상에 기여한다. 2％ 미만이면 비탄성률이 저하된다. 3％ 이상이 바람직하고, 6％ 이상이 보다 바람직하며, 8％ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 10％ 이상인 것이 특히 바람직하다. 또한 20％ 초과이면 실투가 발생하기 쉬워진다. 18％ 이하가 바람직하고, 17％ 이하가 보다 바람직하며, 16％ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 15％ 이하인 것이 특히 바람직하다.MgO contributes to the improvement of Young's modulus and specific elastic modulus. If it is less than 2 %, a specific elastic modulus will fall. 3 % or more is preferable, 6 % or more is more preferable, It is still more preferable that it is 8 % or more, It is especially preferable that it is 10 % or more. Moreover, when it is more than 20 %, it will become easy to generate|occur|produce devitrification. 18 % or less is preferable, 17 % or less is more preferable, It is more preferable that it is 16 % or less, It is especially preferable that it is 15 % or less.

CaO의 함유에 의하여 실투 온도를 낮추고 영률을 향상시키는 것이 가능하지만, 함유량이 너무 많으면 SiO2와의 과도한 치환에 의하여 밀도가 상승하여 비탄성률이 저하된다. 이 때문에 40％ 이하로 한다. 30％ 이하가 바람직하고, 25％ 이하가 보다 바람직하며, 20％ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 15％ 이하인 것이 특히 바람직하다. 한편, 0.1％ 미만이면 상술한 영률을 향상시키는 효과를 발휘할 수 없다. 1％ 이상이 바람직하고, 5％ 이상이 보다 바람직하며, 8％ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 10％ 이상인 것이 특히 바람직하다.Lower the devitrification temperature, by inclusion of CaO is possible to improve the Young's modulus, but the non-elasticity is lowered when the content is too large, the density is increased by excessive substituted with SiO 2. For this reason, it is made into 40% or less. 30 % or less is preferable, 25 % or less is more preferable, It is still more preferable that it is 20 % or less, It is especially preferable that it is 15 % or less. On the other hand, when it is less than 0.1 %, the effect of improving the Young's modulus mentioned above cannot be exhibited. 1 % or more is preferable, 5 % or more is more preferable, It is more preferable that it is 8 % or more, It is especially preferable that it is 10 % or more.

본원 발명자들은 SiO2, Al2O3, MgO 및 CaO를 주요 성분으로 하는 무알칼리 유리에 대하여 유리의 조성과 물성의 관계를 상세히 검토한 결과, 영률과 비탄성률을 모두 향상시키기 위해서는 각 성분의 기여도에 따른 특정한 배합 비율로 할 필요가 있음을 알아내었다. 하기 식 (1), (2)를 동시에 만족시키는 배합 비율로 함으로써 94.5㎬ 이상의 고영률과 34.5㎬·㎤/g 이상의 고비탄성률을 동시에 달성할 수 있다.As a result of examining in detail the relationship between the composition and physical properties of the glass with respect to alkali-free glass containing SiO 2 , Al 2 O 3 , MgO and CaO as main components, the present inventors have found that the contribution of each component to improve both the Young's modulus and the specific elastic modulus It was found that it was necessary to use a specific mixing ratio according to By setting the compounding ratio to satisfy the following formulas (1) and (2) at the same time, a high Young's modulus of 94.5 GPa or more and a high specific modulus of 34.5 GPa·cm 3 /g or more can be achieved at the same time.

[SiO2]+0.43×[Al2O3]+0.59×[CaO]-74.6≤0 (1)[SiO 2 ]+0.43×[Al 2 O 3 ]+0.59×[CaO]-74.6≤0 (1)

[SiO2]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0 (2)[SiO 2 ]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0 (2)

상기 식 (1)은 영률 94.5㎬ 이상을 만족시키기 위한 배합 비율, 상기 식 (2)는 비탄성률 34.5㎬·㎤/g 이상을 만족시키기 위한 배합 비율을 각각 나타내고 있다. 상기 식 (1), (2)의 범위를 벗어나면 영률과 비탄성률의 목표 특성을 동시에 만족시키지 않게 된다.The formula (1) represents a blending ratio for satisfying a Young's modulus of 94.5 GPa or more, and the formula (2) represents a blending ratio for satisfying a specific elastic modulus of 34.5 GPa·cm 3 /g or more, respectively. If it is out of the range of Equations (1) and (2), the target characteristics of Young's modulus and specific elastic modulus are not simultaneously satisfied.

본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서 다른 성분, 예를 들어 이하의 성분을 함유해도 된다. 이 경우의 다른 성분은 영률의 저하 등을 억제하기 위하여 바람직하게는 5％ 미만, 보다 바람직하게는 3％ 미만, 더욱 바람직하게는 1％ 미만이고, 보다 더 바람직하게는 0.5％ 미만이며, 특히 바람직하게는 실질적으로, 즉, 불가피적 불순물을 제외하고 함유하지 않는다. 따라서 본 발명에 있어서 SiO2, Al2O3, CaO 및 MgO의 합계 함유량이 95％ 이상인 것이 바람직하고, 97％ 이상인 것이 보다 바람직하며, 99％ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 99.5％ 이상인 것이 보다 더 바람직하다. 실질적으로, 즉, 불가피적 불순물을 제외하고 SiO2, Al2O3, CaO 및 MgO를 포함하는 것이 특히 바람직하다.You may contain other components, for example, the following components in the range which does not impair the effect of this invention. In this case, the other component is preferably less than 5%, more preferably less than 3%, still more preferably less than 1%, still more preferably less than 0.5%, particularly preferably less than 5% in order to suppress a decrease in Young's modulus. practically, ie, free of unavoidable impurities. Therefore, in the present invention, the total content of SiO 2 , Al 2 O 3 , CaO and MgO is preferably 95% or more, more preferably 97% or more, still more preferably 99% or more, even more preferably 99.5% or more. Do. It is particularly preferred to include SiO 2 , Al 2 O 3 , CaO and MgO substantially, ie excluding unavoidable impurities.

B2O3은 유리의 내약품성을 향상시키기 위하여 3％ 미만으로 함유하는 것이 가능하다. 한편, 함유에 의하여 영률이 저하되기 때문에, 바람직한 함유량은 1％ 미만이고 0.5％ 미만이 보다 바람직하다. 실질적으로 함유하지 않는 것이 특히 바람직하다.B 2 O 3 makes it possible to contain less than 3% in order to improve the chemical resistance of the glass. On the other hand, since Young's modulus falls by containing, preferable content is less than 1 %, and less than 0.5 % is more preferable. It is especially preferable that it does not contain substantially.

ZrO2를 함유함으로써 영률을 향상시키는 것이 가능하지만, 동시에 실투 온도가 상승하는 점에서 함유량은 3％ 미만으로 하는 것이 바람직하고, 1％ 미만인 것이 보다 바람직하며, 0.5％ 미만이 보다 더 바람직하다. 특히 바람직하게는 실질적으로 함유하지 않는다.Possible to improve the Young's modulus By containing ZrO 2, but at the same time it is preferable, more preferably less than 1%, and more preferably is less than 0.5% in view of the devitrification temperature rises content of less than 3%. Especially preferably, it does not contain substantially.

SrO 및 BaO는 용해성 향상을 위하여 역학 특성, 구체적으로는 영률과 비탄성률을 손상시키지 않는 범위에서 함유하는 것이 가능하다. 바람직하게는 각각 1％ 미만이고 0.5％ 미만이 보다 더 바람직하다. 실질적으로 함유하지 않는 것이 특히 바람직하다.In order to improve solubility, SrO and BaO can be contained in the range which does not impair mechanical properties, specifically, Young's modulus and specific elastic modulus. Preferably less than 1% each and less than 0.5% is even more preferred. It is especially preferable that it does not contain substantially.

또한 본 발명에서는, 유리의 용해성, 청징성, 성형성을 개선하기 위하여 유리 원료에는 ZnO, SO3, Fe2O3, F, Cl, SnO2를 총량으로 1％ 미만, 바람직하게는 0.5％ 미만, 보다 바람직하게는 0.3％ 미만, 보다 더 바람직하게는 0.1％ 미만 함유할 수 있다.Further, in the present invention, in order to improve the solubility, clarification, and moldability of glass, ZnO, SO 3 , Fe 2 O 3 , F, Cl, SnO 2 are contained in the glass raw material in a total amount of less than 1%, preferably less than 0.5%. , more preferably less than 0.3%, still more preferably less than 0.1%.

또한 본 발명의 유리는, 패널 제조 시에 유리 표면에 형성되는 금속 내지 산화물 박막의 특성 열화를 발생시키지 않기 위하여 알칼리 금속 산화물을 불순물 레벨을 초과하여(즉, 실질적으로) 함유하지 않는다. 또한 유리의 리사이클을 용이하게 하기 위하여 PbO, As2O3, Sb2O3은 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다.In addition, the glass of the present invention does not contain (ie, substantially) an alkali metal oxide exceeding the impurity level in order not to cause deterioration of properties of the metal or oxide thin film formed on the surface of the glass during panel manufacturing. In addition, in order to facilitate recycling of the glass, it is preferable not to substantially contain PbO, As 2 O 3 , and Sb 2 O 3 .

본 발명의 무알칼리 유리는 영률이 94.5㎬ 이상인 것이 바람직하다. 높은 영률은 파괴 인성을 향상시키기 때문에, 유리판의 대형화나 박판화가 요구되는 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리에 적합하다.It is preferable that the alkali free glass of this invention has a Young's modulus of 94.5 GPa or more. Since a high Young's modulus improves fracture toughness, it is suitable for the substrate glass for various display boards and photomask board|substrate glass which the enlargement and thinning of a glass plate are requested|required.

또한 본 발명의 무알칼리 유리는 자중 휨을 저감시키기 위하여 비탄성률이 34.5㎬·㎤/g 이상인 것이 바람직하다. 비탄성률이 높으면 제조 공정에 있어서 자중 휨에 기인하는 변형이 적어, 유리판의 대형화나 박판화가 요구되는 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리에 적합하다.Moreover, in order that the alkali free glass of this invention may reduce dead weight curvature, it is preferable that a specific elastic modulus is 34.5 GPa*cm<3>/g or more. When a specific elastic modulus is high, there is little deformation|transformation resulting from dead weight bending in a manufacturing process, and it is suitable for the substrate glass for various display boards and photomasks which require enlargement and thinning of a glass plate.

본 발명의 무알칼리 유리는, 예를 들어 다음과 같은 방법으로 제조할 수 있다. 통상 사용되는 각 성분의 원료를 목표 성분으로 되도록 조합하고, 이를 용해로에 연속적으로 투입하고 1550 내지 1650℃로 가열하여 용융시킨다. 이 용융 유리를 플로트법에 의하여 소정의 판 두께로 성형하고 서냉 후 절단함으로써 판유리를 얻을 수 있다.The alkali free glass of this invention can be manufactured by the following method, for example. The raw materials of each component normally used are combined to become a target component, and this is continuously introduced into a melting furnace and melted by heating at 1550 to 1650°C. Plate glass can be obtained by shape|molding this molten glass to predetermined plate|board thickness by the float method, and cutting|disconnecting after slow cooling.

실시예Example

이하에 있어서, 예 1 내지 50, 55 내지 58은 실시예, 예 51 내지 54는 비교예이다. 각 성분의 원료를 목표 조성으로 되도록 조합하고, 백금 도가니를 사용하여 1550 내지 1650℃의 온도에서 용해시켰다. 이어서, 용해 유리를 흘려 내어 판상으로 성형 후 서냉하였다.In the following, Examples 1 to 50 and 55 to 58 are Examples, and Examples 51 to 54 are comparative examples. The raw materials of each component were combined so that it might become a target composition, and it melt|dissolved at the temperature of 1550-1650 degreeC using the platinum crucible. Subsequently, the molten glass was poured and formed into a plate shape and then slowly cooled.

표 1 내지 표 10에는, 식 (1), (2)의 수치를 포함한 유리 조성(단위: 질량％)과, 밀도 ρ(g/㎤), 영률 E(㎬)(초음파법에 의하여 측정), 비탄성률 E/ρ(㎬·㎤/g), 비커스 경도 Hv, 유리 점도 η가 102 포아즈로 되는 온도 T2(단위: ℃), 유리 전이점 Tg(단위: ℃), 및 50 내지 350℃에서의 평균 열팽창 계수(단위: ×10-7/℃)를 나타낸다.In Tables 1 to 10, the glass composition (unit: mass %) including the numerical values of the formulas (1) and (2), the density ρ (g/cm 3 ), the Young's modulus E (GPa) (measured by ultrasonic method), Specific elastic modulus E/ρ (GPa cm 3 /g), Vickers hardness Hv, temperature T 2 at which glass viscosity η becomes 10 2 poise (unit: ° C.), glass transition point Tg (unit: ° C.), and 50 to 350 The average coefficient of thermal expansion at °C (unit: ×10 -7 /°C) is shown.

또한 표 1 내지 표 10 중, 괄호를 씌워 나타낸 값은 계산값이다.In addition, in Tables 1-10, the value shown with parentheses is a calculated value.

Figure 112015125597155-pct00001
Figure 112015125597155-pct00001

Figure 112015125597155-pct00002
Figure 112015125597155-pct00002

Figure 112015125597155-pct00003
Figure 112015125597155-pct00003

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표로부터 밝혀진 바와 같이, 실시예의 유리는 모두 영률이 94.5㎬ 이상으로 높고, 또한 비탄성률이 34.5㎬·㎤/g 이상으로 높다.As is clear from the table, the Young's modulus is as high as 94.5 GPa or more, and the specific elastic modulus is as high as 34.5 GPa·cm 3 /g or more in all of the glasses of the Examples.

본 발명을 상세히, 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러 변형이나 수정을 가할 수 있음은 당업자에게 있어 명확하다.Although this invention was demonstrated with reference to the specific embodiment in detail, it is clear for those skilled in the art that various changes and correction can be added without deviating from the mind and range of this invention.

본 출원은 2013년 6월 27일 출원된 일본 특허 출원 제2013-134752호에 기초하는 것이며, 그 내용은 본 명세서에 참조로서 도입된다.This application is based on Japanese Patent Application No. 2013-134752 for which it applied on June 27, 2013, The content is taken in here as a reference.

본 발명의 무알칼리 유리는 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 적합하지만, 자기 디스크용 유리 기판 등으로서도 사용할 수 있다. 단, 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 유리판의 대형화나 박판화가 요구되는 것을 고려하면, 고영률이고 또한 고비탄성률인 점에서 각종 디스플레이용 기판 유리나 포토마스크용 기판 유리로서 유효하다.The alkali-free glass of the present invention is suitable as various kinds of substrate glass for displays and substrate glass for photomasks, but can also be used as a glass substrate for magnetic disks or the like. However, considering that large-size and thin-plate glass plates are required for various display substrate glasses or photomask substrate glass, it is effective as various display substrate glass and photomask substrate glass from the viewpoint of high Young's modulus and high specific elastic modulus.

Claims (2)

산화물 기준의 질량％ 표시로
SiO2 40 내지 61,
Al2O3 19 내지 23.5,
MgO 10 초과 20 이하,
CaO 0.1 내지 30을 함유하고,
[SiO2]+0.43×[Al2O3]+0.59×[CaO]-74.6≤0이고
[SiO2]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0
인 무알칼리 유리.In terms of mass % of oxide
SiO 2 40 to 61,
Al 2 O 3 19 to 23.5,
MgO more than 10 and less than 20,
containing 0.1 to 30 CaO,
[SiO 2 ]+0.43×[Al 2 O 3 ]+0.59×[CaO]-74.6≤0
[SiO 2 ]+0.21×[MgO]+1.16×[CaO]-83.0≤0
Phosphorus alkali-free glass. 제1항에 있어서,
영률이 94.5㎬ 이상이고 비탄성률이 34.5㎬·㎤/g 이상인 무알칼리 유리.According to claim 1,
Alkali-free glass having a Young's modulus of 94.5 GPa or more and a specific elastic modulus of 34.5 GPa·cm 3 /g or more.
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