KR102255678B1 - 염화티타늄 검사장치 - Google Patents

염화티타늄 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102255678B1
KR102255678B1 KR1020190011846A KR20190011846A KR102255678B1 KR 102255678 B1 KR102255678 B1 KR 102255678B1 KR 1020190011846 A KR1020190011846 A KR 1020190011846A KR 20190011846 A KR20190011846 A KR 20190011846A KR 102255678 B1 KR102255678 B1 KR 102255678B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sample
inspection
inspection unit
nitrogen
unit
Prior art date
Application number
KR1020190011846A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200094410A (ko
Inventor
한정수
Original Assignee
호서대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호서대학교 산학협력단 filed Critical 호서대학교 산학협력단
Priority to KR1020190011846A priority Critical patent/KR102255678B1/ko
Publication of KR20200094410A publication Critical patent/KR20200094410A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102255678B1 publication Critical patent/KR102255678B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/20—Metals
    • G01N33/205—Metals in liquid state, e.g. molten metals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 염화티타늄 검사장치에 관한 것으로, 본 발명은 양단이 개구된 중공의 기둥형상인 검사부; 외부의 시료가 상기 검사부로 유입되도록 상기 검사부와 연결되는 시료 유입구; 외부의 질소가 상기 검사부로 유입되도록 상기 검사부와 연결되는 질소 유입구; 상기 검사부의 내부공간을 형성하도록 상기 검사부의 양단에 각각 마련되고 상기 검사부의 내부공간을 폐쇄하는 투시창; 상기 검사부를 중심으로 서로 마주보고 적외선 분광 검사를 실시하는 제1 및 제2측정부; 및 상기 검사부로부터 수용된 시료 또는 질소가 외부로 유출되는 유출구;를 포함하고, 상기 시료 유입구와 상기 유출구는 상기 시료를 이용하는 외부의 장치와 연결가능하고, 상기 외부의 장치가 상기 시료를 이용한 공정을 수행하는 중에 상기 시료를 상기 검사부로 이동하여 검사한 후 다시 상기 외부의 장치로 이동가능하다.
본 발명은 염화티타늄의 정제 공정을 멈추지 않고 연속 공정을 수행하면서 동시에 적외선 분광 검사를 실시할 수 있고, 외부 공기와 시료가 단절되어 정확한 측정값을 얻을 수 있다.

Description

염화티타늄 검사장치{APPARATUS FOR TITANIUM CLORIDE INSPECTION}
본 발명은 염화티타늄 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 염화티타늄을 정제하는 공정 중에 염화티타늄을 검사하는 공정을 추가하더라도 염화티타늄을 이용한 연속공정 및 연속측정이 가능한 염화티타늄 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 염화티타늄(TiCl4)은 기화성이 매우 강한 물질로 화학 기상 증착에 사용된다.
화학 기상 증착에 사용되는 염화티타늄(TiCl4)은 질화티타늄(TiN)의 CVD 공정에 적용되는 소스(Source)로 종래에는 단순히 금속 불순물(Metal impurity)을 측정하여 불순물의 존재여부를 확인하였으나 이러한 방법으로는 측정에 한계가 있어 정확하고 정밀한 분석방법이 요구되고 있다.
그 박막으로 사용하는 염화티타늄에 다양한 요인에 의해 존재하는 입자가 증착에 방해되어 배선의 단락이나 또는 박막의 결함으로 존재하게 되어 이를 해소하는 다양한 방법이 발명되고 있지만 여전히 만족할 만한 정도로 불량입자를 제거하기에는 한계가 있다.
따라서 염화티타늄을 정제하는 과정에서 불순물의 존재를 확인하기 위해 적외선 분광 검사를 실시하는데, 종래에는 정제 공정 중의 염화티타늄을 시료로써 별도의 용기에 담아 검사를 실시하는 중에 공기와의 접촉으로 기화되므로 검사를 실시하기가 어렵고, 또한 검사를 실시하더라도 측정값이 부정확한 문제점이 있었다.
KR 10-0976124 B1 KR 10-0977991 B1
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 염화티타늄의 정제 공정을 멈추지 않는 연속 공정을 수행하면서 동시에 외부 공기와 단절한 채로 적외선 분광 검사를 실시하도록 연속공정이 가능한 염화티타늄 검사장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치는, 양단이 개구된 중공의 기둥형상인 검사부; 외부의 시료가 상기 검사부로 유입되도록 상기 검사부와 연결되는 시료 유입구; 외부의 질소가 상기 검사부로 유입되도록 상기 검사부와 연결되는 질소 유입구; 상기 검사부의 내부공간을 형성하도록 상기 검사부의 양단에 각각 마련되고 상기 검사부의 내부공간을 폐쇄하는 투시창; 상기 검사부를 중심으로 서로 마주보고 적외선 분광 검사를 실시하는 제1 및 제2측정부; 및 상기 검사부로부터 수용된 시료 또는 질소가 외부로 유출되는 유출구;를 포함하고, 상기 시료 유입구와 상기 유출구는 상기 시료를 이용하는 외부의 장치와 연결가능하고, 상기 외부의 장치가 상기 시료를 이용한 공정을 수행하는 중에 상기 시료를 상기 검사부로 이동하여 검사한 후 다시 상기 외부의 장치로 이동가능하다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 검사부는, 상기 시료가 유입되지 않은 상태에서 상기 제1 및 제2측정부가 적외선 분광 검사를 실시한 경우 기준값을 제공하는 제1검사부; 및 상기 시료 또는 질소가 수용되고 상기 시료가 유입된 상태에서 상기 제1 및 제2측정부가 적외선 분광 검사를 실시한 경우 측정값을 제공하는 제2검사부;를 포함할 수 있다..
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 제1 및 제2측정부는, 상기 제1검사부 및 제2검사부의 각각의 높이에 대응되게 배치시키는 구동부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 질소 유입구는 상기 검사부 내부의 시료를 상기 유출구로 밀어내고 상기 검사부 내부를 세척가능한 압력으로 질소를 제공할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 질소 유입구와 연결되고 상기 질소를 수용하는 봄베; 및 상기 상기 봄베와 상기 질소 유입구를 연결하며 상기 질소가 제공되는 압력을 선택적으로 조절가능한 레귤레이터;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 검사부와, 시료 유입구, 질소 유입구, 제1 및 제2측정부, 유출구는 테프론 재질로 형성되고, 상기 투시창은 적외선이 100％ 투과되는 유리재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치에 있어서, 상기 검사부와 투시창 사이에 배치되어 상기 검사부의 내부를 밀폐시키는 밀폐수단;을 더 포함할 수 있다.
본 발명은 염화티타늄의 정제 공정을 멈추지 않고 연속 공정을 수행하면서 동시에 적외선 분광 검사를 실시할 수 있고, 외부 공기와 시료가 단절되어 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 측정부가 상승해 있는 상태의 정면 투시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 측정부가 하강해 있는 상태의 정면 투시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 검사부의 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 사용을 나타내는 개념도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 “연결”, “결합” 또는 “접속”된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 “연결”, “결합” 또는 “접속”될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 측정부가 상승해 있는 상태의 정면 투시도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 측정부가 하강해 있는 상태의 정면 투시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 검사부의 사시도이다.
본 발명의 검사대상 시료는 염화티타늄 또는 사염화티타늄이라고 불리는 TiCl4(Titanium(IV) Chloride)이고, 이는 액체로써 기화성이 매우 높다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치는 검사부(100), 시료 유입구(200), 질소 유입구(300), 투시창(400), 제1측정부(510), 제2측정부(520) 및 유출구(600)를 포함할 수 있다.
검사부(100)는 제1검사부(110)와 제2검사부(120)를 포함할 수 있다. 제1검사부(110)는 제2검사부(120)의 상측에 마련되어 서로 높이를 달리할 수 있다.
제1 및 제2검사부(110, 120)는 양단이 개구된 중공의 기둥형상일 수 있다(도 4 참조).
제1검사부(110)는 상기 시료가 유입되지 않은 상태에서 후술하는 측정부(500)에 의해 적외선 분광 검사를 실시할 수 있고, 이때 측정된 검사값으로 기준값을 제공할 수 있다.
제2검사부(120)는 상기 시료 또는 질소가 수용되고 상기 시료가 유입된 상태에서 측정부(500)가 적외선 분광 검사를 실시한 경우 검사값으로 측정값을 제공할 수 있다.
그리고 사용자는 기준값과 측정값을 비교하여 상기 시료의 적외선 분광 검사 결과를 얻을 수 있다.
시료 유입구(200)는 사용자가 상기 시료를 상기 검사부(100)로 유입시키기 위한 구멍일 수 있다. 즉, 시료 유입구(200)는 외부의 시료가 검사부(100)로 유입되도록 연결관(미부호)에 의해 검사부(100)와 연결될 수 있다.
질소 유입구(300)는 사용자가 봄베(310)로부터 유출되는 질소를 검사부(100)로 유입시키기 위한 구멍일 수 있다. 즉, 질소 유입구(300)는 외부의 질소가 검사부(100)로 유입되도록 검사부(100)와 연결될 수 있다.
질소 유입구(300)는 고압의 질소가 액체상태로 수용된 봄베(310)가 연결관(미부호)에 의해 연결될 수 있으며, 사용자의 선택에 따라 레귤레이터(320)를 통해 봄베(310)로부터 분출되는 질소의 압력을 조절할 수 있다. 참고로, 레귤레이터(320)는 봄베(310)와 질소 유입구(300)를 연결하며 질소가 제공되는 압력을 사용자의 선택에 따라 조절이 가능하다.
질소 유입구(300)를 통해 검사부(100)에 질소가 고압으로 제공 즉, 세척가능한 압력으로 질소가 제공되면, 제2검사부(120) 내부에 수용된 시료를 후술하는 유출구(600)로 밀어내고 제2검사부(120) 내부를 세척할 수 있다. 이때, 질소의 제공 압력을 특별히 한정하지 않는다.
한편, 검사부(100)는 시료 유입구(200) 또는 질소 유입구(300) 및 후술하는 유출구(600)와 사이에 별도의 연결관(미부호)이 설치되며 연통될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 검사부의 개념도이다.
도 4를 참조하면, 검사부(100)의 양단에는 투시창(400)이 마련될 수 있고, 투시창(400)은 검사부(100)와 함께 검사부(100) 내부에 내부공간을 형성하며, 상기 내부공간을 폐쇄할 수 있다.
도 4에서는 투시창(400)을 사각 형상의 투명한 창으로 도시하였으나, 이는 투시창(400)의 존재를 개념적으로 나타내기 위한 것일 뿐으로, 도 2 내지 도 3에서와 같이 투시창(400)은 검사부의 양단에 밀봉하기 위해 마련된 별도의 플랜지(미부호)에 배치될 수 있다. 이때, 검사부(100)와 투시창(400) 사이 즉, 검사부(100)와 상기 플랜지 사이에는 오링과 같은 밀폐수단이 마련될 수 있다.
검사부(100)는 내부공간이 외부와 연통될 수 있다. 즉, 검사부(100)는 시료 유입구(200) 및 유출구(600)와 각각 연결관에 의해 연통될 수 있다. 도 4에서는 상기 연결관(미부호)이 설치될 수 있는 장소가 상하로 구분되어 있으나, 이는 도시의 편의성을 위한 것으로, 시료 유입구(200) 및 유출구(600)와 연통되도록 설치되는 상기 연결관은 제작자의 의도에 따라 다양한 위치에 설치 가능하다.
측정부(500)는 제1 및 제2측정부(510, 520) 및 구동부(530)를 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 제1측정부(510)와 제2측정부(520)는 검사부(100)를 중심으로 서로 마주볼 수 있고, 검사부(100)의 양측에 이격되어 배치될 수 있다.
제1측정부(510)와 제2측정부(520)는 검사부(100)의 내부를 향해 적외선 분광 검사를 실시할 수 있다.
구동부(530)는 측정부(500)를 제1검사부(110) 및 제2검사부(120)의 각각의 높이에 대응되게 배치시키킬 수 있다.
제1측정부(510)와 제2측정부(520)는 구동부(530)에 의해 제1검사부(110)와 제2검사부(120)의 높이에 대응하여 상하로 승하강이 가능하다.
예컨대, 제1측정부(510)와 제2측정부(520)는 구동부에 의해 제1검사부(110)와 대응하는 높이에 위치하여 내부가 비어있는 제1검사부(110)의 내부공간을 적외선 분광 검사를 실시하여 기준값을 얻고, 제1측정부(510)와 제2측정부(520)는 구동부에 의해 제2검사부(120)와 대응하는 높이에 위치하여 내부에 상기 시료가 수용된 상태의 제2검사부의 내부공간을 적외선 분광 검사를 실시하여 측정값을 얻을 수 있다.
유출구(600)는 검사부(100)와 연결관(미부호)에 의해 연결 및 연통될 수 있으며, 검사부(100)에 수용된 시료 또는 질소가 외부로 유출될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치는 케이스(700)를 더 포함할 수 있고, 케이스(700)에는 구멍(710)이 형성될 수 있다. 사용자는 구멍(710)을 통해 시료 유입구(200)와 질소 유입구(300) 및 유출구(600)에 각각 시료 유입관(20)과 질소 유입관(미부호) 및 유출관(30)이 연결작업을 실시할 수 있고, 밸브(21, 31, 210, 610)를 설치 및 조작가능하다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치는 조작부(800)를 더 포함할 수 있다.
조작부(800)를 통해 사용자는 각종 밸브(21, 31, 210, 610)를 조작할 수 있고, 상기 시료 또는 상기 질소가 검사부(100)로의 유입되거나 검사부(100)로부터 유출되는 과정을 조작할 수 있고, 측정부(500)의 승하강 및 적외선 분광 검사를 실시할 수 있다. 또한, 도면에는 별도로 도시하지 않았지만, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 내부의 실제상황을 지켜볼 수 있는 디스플레이부(미도시)가 마련될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 사용을 나타내는 개념도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 외부에는 외부 장치(10)가 마련될 수 있다. 즉, 염화티타늄을 이용한 작업을 수행하는 외부 장치(10)에 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치를 이동시켜 작업을 중단시키지 않고 연속공정이 이루어지도록 연결할 수 있다.
시료 유입구(200)와 유출구(600)는 시료를 이용하는 외부 장치(10)와 연결가능하고, 외부 장치(10)가 상기 시료를 이용한 공정을 수행하는 중에 상기 시료를 검사부(100)로 이동하여 검사한 후 외부 장치(10)로 이동가능하다.
이때, 외부 장치(10)는 염화티타늄을 정제하는 장치일 수 있다. 하지만, 이에 한정하지 않고, 외부 장치(10)는 염화티타늄을 이용하는 작업을 수행한다면 어떠한 것이라도 무방하다.
외부 장치(10)는 염화티타늄이 이동되는 통로의 일측에 밸브(21, 31)가 설치되고, 시료 유입관(20)과 유출관(30)이 밸브(21, 31)와 연결될 수 있다.
즉, 외부 장치(10)가 염화티타늄을 정제하는 장치인 경우, 외부 장치(10)에 염화티타늄이 이동되고, 이동되는 염화티타늄의 일부는 밸브(21)와 시료 유입관(20), 밸브(210) 및 연결관(미부호)를 통해 검사부(100)의 내부공간으로 유입될 수 있다.
또한, 검사부(100)의 내부공간에서 시료는 연결관(미부호)과 밸브(610), 유출관(30) 및 밸브(31)를 통해 다시 외부 장치(10)로 유입될 수 있다.
본 발명은 염화티타늄의 정제를 수행하면서 동시에 염화티타늄의 검사를 실시할 수 있으므로, 연속공정이 이루어질 수 있다.
상기에서 언급한 검사부(100)와 시료 유입구(200), 질소 유입구(300), 측정부(500), 유출구(600)는 부식 또는 산화 등을 방지하기 위해 테프론 재질로 형성되는 것이 바람직하고, 투시창(400)은 적외선이 100％ 투과되는 유리재질로 형성되는 것이 바람직하다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치의 사용방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
먼저, 염화티타늄을 정제하거나 염화티타늄을 이용하여 작업을 수행하는 장치에 본 발명의 일실시예에 따른 염화티타늄 검사장치를 연결한다.
즉, 외부 장치(10)에 설치된 밸브(21)와 시료 유입구(200)의 밸브(210)를 연결하도록 시료 유입관(20)을 설치하고, 외부 장치(10)에 설치된 밸브(31)와 유출구(600)의 밸브(610)를 연결하도록 유출관(30)을 설치한다.
또한, 고압의 질소가 수용된 봄베(310)에 레귤레이터(320)를 설치하고 질소 유입관(미부호)를 질소 유입구(300)의 밸브(210)와 연결하도록 한다. 이때, 밸브(210)는 개폐여부에 따라 시료 유입구(200) 또는 질소 유입구(300)를 검사부(100)와 각각 연결할 수 있다. 예컨대, 밸브(210)는 사용자의 의도에 따라 질소 유입구(300)를 닫고 시료 유입구(200)를 열 수 있으며, 반대로 시료 유입구(200)를 닫고 질소 유입구(300)를 열 수 있다.
사용자는 조작부(800)를 조작하여 제2검사부(120) 내부에 고압의 질소가 유입되도록 밸브(210)를 질소 유입구(300)에 열고, 유출구(600)의 밸브(610)를 열도록 한다.
이후, 사용자는 조작부(800)를 조작하여 레귤레이터(320)를 통해 검사부(100)로 유입되는 질소의 압력을 조절한다.
참고로, 질소는 불활성기체로서 염화티타늄과 공존하더라도 화학적인 반응을 일으키지 않아 안정적으로 사용할 수 있다.
검사부(100)의 내부 공간 세척이 끝나면, 레귤레이터(320)와 밸브(210)를 조작부(800)를 통해 조작하여 제2검사부(120)의 내부공간에 질소의 유입을 중단하고, 밸브(210)를 질소 유입구(300)에 닫고 시료 유입구(200)에 열어 제2검사부(120)의 내부공간에 상기 시료가 유입되도록 한다.
이후, 밸브(210, 610)를 모두 폐쇄하여 검사부(100) 내부에 상기 시료를 가둔다.
사용자는 조작부(800)를 조작하여 구동부(530)를 통해 제1측정부(510)와 제2측정부(520)가 제1검사부(110)의 높이에 위치하도록 한 후 적외선 분광 검사를 실시하여 기준값을 얻는다.
이후, 사용자는 조작부(800)를 조작하여 구동부(530)를 통해 제1측정부(510)와 제2측정부(520)가 제2검사부(120)의 높이에 위치하도록 한 후 적외선 분광 검사를 실시하여 측정값을 얻어, 상기 기준값과 상기 측정값을 비교한다.
이후, 밸브(610)를 열고 밸브(210)를 질소 유입구(300)에 열리도록 하고 제2검사부(120)의 내부를 세척하여 다음 검사를 준비한다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 염화티타늄 검사장치를 실시하기 위한 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
10 : 외부 장치 20 : 시료 유입관
21 : 밸브 30 : 유출관
31 : 밸브
100 : 검사부 110 : 제1검사부
120 : 제2검사부 200 : 시료 유입구
210 : 밸브 300 : 질소 유입구
310 : 봄베 320 : 레귤레이터
400 : 투시창 500 : 측정부
510 : 제1측정부 520 : 제2측정부
530 : 구동부 600 : 유출구
610 : 밸브 700 : 케이스
710 : 구멍 800 : 조작부

Claims (7)

  1. 양단이 개구된 중공의 기둥형상인 검사부;
    외부의 시료가 상기 검사부로 유입되도록 상기 검사부와 연결되는 시료 유입구;
    외부의 질소가 상기 검사부로 유입되도록 상기 시료 유입구와 연결되는 질소 유입구;
    상기 검사부의 내부공간을 형성하도록 상기 검사부의 양단에 각각 마련되고 상기 검사부의 내부공간을 폐쇄하는 투시창;
    상기 검사부를 중심으로 서로 마주보고 적외선 분광 검사를 실시하는 제1 및 제2측정부;
    상기 검사부로부터 수용된 시료 또는 질소가 외부로 유출되는 유출구;
    외부 장치에서 상기 시료를 이용한 공정의 중단 없이 검사를 진행하기 위하여 상기 시료 유입구 및 상기 시료가 제공되는 상기 외부 장치를 상호 연결하는 제1 밸브; 및
    상기 유출구 및 상기 외부 장치를 상호 연결하는 제2 밸브를 포함하며.
    상기 시료 유입구와 상기 유출구는 상기 시료를 이용하는 상기 제1 및 제2 밸브를 통해 상기 외부 장치와 조립 및 분해 되게 연결되고,
    상기 외부 장치가 상기 시료를 이용한 공정을 수행하는 중에 상기 시료는 상기 제1 밸브 및 상기 시료 유입구를 통해 상기 검사부로 이동하여 검사한 후 외부 장치에서 연속공정이 진행되도록 검사된 시료 및 상기 질소는 상기 유출구 및 상기 제2 밸브를 통해 상기 외부 장치로 토출되는 염화티타늄 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 시료가 유입되지 않은 상태에서 상기 제1 및 제2측정부가 적외선 분광 검사를 실시한 경우 기준값을 제공하는 제1검사부; 및
    상기 시료 또는 질소가 수용되고 상기 시료가 유입된 상태에서 상기 제1 및 제2측정부가 적외선 분광 검사를 실시한 경우 측정값을 제공하는 제2검사부;
    를 포함하는 염화티타늄 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2측정부는,
    상기 제1검사부 및 제2검사부의 각각의 높이에 대응되게 배치시키는 구동부;
    를 더 포함하는 염화티타늄 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 질소 유입구는 상기 검사부 내부의 시료를 상기 유출구로 밀어내고 상기 검사부 내부를 세척가능한 압력으로 질소를 제공하는 염화티타늄 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 질소 유입구와 연결되고 상기 질소를 수용하는 봄베; 및
    상기 봄베와 상기 질소 유입구를 연결하며 상기 질소가 제공되는 압력을 선택적으로 조절가능한 레귤레이터;
    를 더 포함하는 염화티타늄 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 검사부와, 시료 유입구, 질소 유입구, 제1 및 제2측정부, 유출구는 테프론 재질로 형성되고, 상기 투시창은 적외선이 100％ 투과되는 유리재질로 형성되는 염화티타늄 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 검사부와 투시창 사이에 배치되어 상기 검사부의 내부를 밀폐시키는 밀폐수단;
    을 더 포함하는 염화티타늄 검사장치.
KR1020190011846A 2019-01-30 2019-01-30 염화티타늄 검사장치 KR102255678B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190011846A KR102255678B1 (ko) 2019-01-30 2019-01-30 염화티타늄 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190011846A KR102255678B1 (ko) 2019-01-30 2019-01-30 염화티타늄 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200094410A KR20200094410A (ko) 2020-08-07
KR102255678B1 true KR102255678B1 (ko) 2021-05-26

Family

ID=72049814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190011846A KR102255678B1 (ko) 2019-01-30 2019-01-30 염화티타늄 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102255678B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004037409A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Toagosei Co Ltd 光吸収スペクトル分析用セル、及びそれを用いるシラノール基濃度の測定方法
JP2008197120A (ja) 2008-05-19 2008-08-28 Seiko Epson Corp 赤外吸収分光器を用いた温室効果ガス測定方法
JP2010169444A (ja) * 2009-01-20 2010-08-05 Toshiba Corp エアロゾル分光分析装置およびその較正方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010017150A (ko) * 1999-08-09 2001-03-05 윤종용 부식성 가스내 수분함량 측정 시스템
KR100977991B1 (ko) 2009-12-17 2010-08-25 테크노세미켐 주식회사 염화티타늄의 분석 방법
KR100976124B1 (ko) 2010-01-05 2010-08-16 테크노세미켐 주식회사 염화티타늄 사용중의 미립자 발생 억제 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004037409A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Toagosei Co Ltd 光吸収スペクトル分析用セル、及びそれを用いるシラノール基濃度の測定方法
JP2008197120A (ja) 2008-05-19 2008-08-28 Seiko Epson Corp 赤外吸収分光器を用いた温室効果ガス測定方法
JP2010169444A (ja) * 2009-01-20 2010-08-05 Toshiba Corp エアロゾル分光分析装置およびその較正方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200094410A (ko) 2020-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5661225A (en) Dynamic dilution system
US5233861A (en) Apparatus and method for in situ calibration of a metering device
US11222765B2 (en) Electron microscope sample holder fluid handling with independent pressure and flow control
CN105659067A (zh) 用于测量污染水平的多采样端口监测装置和使用该装置的监测方法
EP3686533A1 (en) System and method for drying and analytical testing of containers
US6729177B2 (en) Method and apparatus for inspecting for airtightness failure
KR102255678B1 (ko) 염화티타늄 검사장치
CN107051242B (zh) 一种动态配气仪及其配气方法
ITPD20110150A1 (it) Apparato per il rilevamento di perdite di un componente a tenuta ed un relativo processo di rilevamento
CN101104122B (zh) 流动现场专用快速过滤器
JPH08153685A (ja) 半導体用特殊材料ガス供給装置
KR20110017654A (ko) 가스 샘플링 및 세정장치
CN209432507U (zh) 气液混合介质在线取样***
US7028563B2 (en) Fluid sampling system and method thereof
TWI760466B (zh) 液體供給裝置及液體供給方法
CN111007204A (zh) 气体分析检定设备
CN109357915A (zh) 气液混合介质在线取样***
KR100572700B1 (ko) 진공누설 검사방법 및 장치
KR101435658B1 (ko) 가스시료 희석장치
KR100609863B1 (ko) 반도체 제조용 반응공정 진단시스템
RU2807432C1 (ru) Способ калибровки многофазного расходомера
US20240133789A1 (en) Device for the sequential testing of filters and their use
JP7490551B2 (ja) 気密試験方法
US20240230504A9 (en) Device for the sequential testing of filters and their use
CN211718210U (zh) 气相色谱仪的辅助进样***以及测试***

Legal Events

Date Code Title Description
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant