KR102251428B1 - Gas leak check clamp - Google Patents

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KR102251428B1
KR102251428B1 KR1020200052675A KR20200052675A KR102251428B1 KR 102251428 B1 KR102251428 B1 KR 102251428B1 KR 1020200052675 A KR1020200052675 A KR 1020200052675A KR 20200052675 A KR20200052675 A KR 20200052675A KR 102251428 B1 KR102251428 B1 KR 102251428B1
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Abstract

The present invention relates to a pipe connector for preventing gas leak, which comprises: a first fastening ring which includes a first fastening mainframe, a first flange unit extended to an upper side and a lower side of the inner circumferential edge of the first fastening ring mainframe, and a second flange unit extended to an upper side and a lower side of the outer circumferential edge of the first fastening ring mainframe; a second lower fastening ring which includes a second lower fastening ring mainframe placed on a lower side of the first fastening ring, and a first sealing ring formed as one body with an upper surface of the second lower fastening ring mainframe; a second upper fastening ring which includes a second upper fastening ring mainframe placed on an upper side of the first fastening ring, and a second sealing ring formed as one body with a lower surface of the second upper fastening ring mainframe; a lower clamp which is in a hollow structure which has an upper surface opened and a first penetrating hole formed in the center of a lower surface, accommodating the second lower fastening ring and a lower side of the first fastening ring; an upper clamp which is in a hollow structure which has a lower surface opened and a second penetrating hole formed in the center on an upper surface, accommodating the second upper fastening ring and an upper side of the first fastening ring and being fastened with the lower clamp; and a pressure sensor provided to the upper clamp or the lower clamp. The present invention is able to monitor the presence or absence of gas leak of a gas pipe connection unit, and simultaneously control a control valve provided on a gas pipe, thereby preventing a gas leak.

Description

가스누출 방지 배관 연결구 {Gas leak check clamp}Gas leak prevention piping connection {Gas leak check clamp}

본 발명은 가스누출 방지 배관 연결구에 관한 것이다.The present invention relates to a gas leak prevention pipe connector.

대한민국 등록특허 제1503652호(등록일자: 2015.3.11., 발명의 명칭: 가스누출 검지센서 및 이를 포함한 플랜지 조립체)는 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 배관용 덕트(1)를 연이어 설치할 수 있도록 상기 덕트(1)의 끝단 접합부위에 서로 대응되게 절곡 형성된 플랜지부(1a)를 포함하는 덕트 연결용 플랜지 조립체에 있어서, 상기 접합되는 플랜지부(1a)를 사이에 두고 일면이 대향되게 걸림 배치될 수 있도록 상기 덕트(1)의 외주연에 결합되는 적어도 한 쌍의 끼움형 플랜지(110); 상기 플랜지부(1a) 사이에 개재되는 기밀유지용 가스켓(120); 상기 대향되게 배치된 끼움형 플랜지(110)의 타면에 양단이 제각기 걸림 결합될 수 있도록 걸고리(133)가 구비된 적어도 두 개의 블록(131)으로 분할 형성되되, 체결부재(135)의 체결을 통해 상기 한 쌍의 끼움형 플랜지(110)를 가스켓(120) 측으로 가압 고정해주는 클램프(130); 및 상기 덕트(1) 및 끼움형 플랜지(110) 표면에 구비되어 배기가스의 누출 여부 및 위치를 실시간으로 검지해주는 가스누출 검지센서(140);를 포함하는 덕트 연결용 플랜지 조립체가 개시되어 있다.Republic of Korea Patent Registration No. 1503652 (Registration Date: March 11, 2015, Title of Invention: Gas Leak Detection Sensor and Flange Assembly including the same), as shown in FIG. In the flange assembly for duct connection comprising a flange portion (1a) bent to correspond to each other at the end joint portion of the duct (1), so that one side of the flange portion (1a) to be joined is interposed so that one surface is engaged and arranged to be opposed to each other. At least a pair of fitting type flanges 110 coupled to the outer periphery of the duct 1; An airtight gasket 120 interposed between the flange portions 1a; Divided into at least two blocks 131 provided with hooks 133 so that both ends of the fitting flange 110 disposed opposite to each other can be respectively engaged with each other, through fastening of the fastening member 135 A clamp 130 for pressing and fixing the pair of fitting flanges 110 toward the gasket 120; And a gas leak detection sensor 140 provided on the surface of the duct 1 and the fitting flange 110 to detect whether or not the exhaust gas leaks and the location in real time.

이러한 종래 기술은, 반도체 제조장비의 배기라인에 사용되는 배관용 덕트를 링 형상의 플랜지를 이용하여 무용접 방식으로 간단하게 연결할 수 있고, 클램프를 이용한 체결방식을 통해 접합되는 플랜지의 접합면 전체에 균일한 체결압력을 가해줌으로써 기밀성을 향상시킬 수 있으며, 플랜지 조립체의 분리가 가능함에 따라 유지보수가 용이하다는 효과가 있으나, 플랜지 조립체를 모니터링할 수 없는 근원적인 문제점이 있었다.In this conventional technology, the pipe duct used in the exhaust line of semiconductor manufacturing equipment can be simply connected in a non-welding method using a ring-shaped flange, and the entire joint surface of the flange to be joined through a fastening method using a clamp. Airtightness can be improved by applying a uniform fastening pressure, and as the flange assembly can be separated, there is an effect that maintenance is easy, but there is a fundamental problem that the flange assembly cannot be monitored.

또한, 대한민국 등록특허 제1464372호(등록일자: 2014.11.17., 발명의 명칭: 가스 누출 검출장치)는 도 7에 나타나 있는 바와 같이, 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스를 포집하는 포집부; 일단이 상기 포집부의 토출구에 결합되어 상기 포집부의 토출구로 배출되는 배출가스를 외부로 배기시키는 배기라인; 상기 배기라인의 타단에 결합되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 누출공에 부착되어 상기 가스를 포집하는 포집구가 형성되고, 상기 포집부의 양측에 각각 돌출되어 상기 공압밸브의 외주면을 감싸는 한 쌍의 날개로 이루어지되, 상기 날개가 서로 마주하는 방향으로 탄성력을 갖는 날개부;를 더 포함하는 가스 누출 검출장치가 개시되어 있다.In addition, Republic of Korea Patent No. 1464372 (registration date: 2014.11.17., title of the invention: gas leak detection device), as shown in Figure 7, a collection unit for collecting the gas leaked due to the breakage of the pneumatic valve; An exhaust line having one end coupled to the discharge port of the collecting part to exhaust the exhaust gas discharged through the discharge port of the collecting part to the outside; A detection unit coupled to the other end of the exhaust line to detect gas contained in exhaust air exhausted to the exhaust line, wherein the collecting unit is attached to a leak hole through which gas leaks due to damage of the pneumatic valve, and the A collection port for collecting gas is formed, and a pair of blades each protruding from both sides of the collecting unit to surround the outer circumferential surface of the pneumatic valve, wherein the blades have elastic force in a direction facing each other; further includes; A gas leak detection device is disclosed.

이러한 종래 기술은, 반도체라인에 설치된 공압밸브에 포집부를 설치할 때, 날개부를 이용하여 공압밸브의 상측 내지 측면에서 끼움결합시키며 포집부의 포집구와 공압밸브의 누출공을 서로 일치시킬 수 있어, 반도체 라인을 중지시키지 않아 반도체 라인작업에 영향을 주지 않을 뿐만 아니라, 반도체 라인 중지에 따른 생산량 감소, 그에 따른 손해비용 등이 발생하지 않는다고 주장하는 반면, 배관 연결부의 가수 누출 감지가 원활하지 못한 단점이 있었다.This prior art, when installing a collecting part in a pneumatic valve installed in a semiconductor line, is fitted from the top or side of the pneumatic valve using the wing part, and the collecting part of the collecting part and the leaking hole of the pneumatic valve can be matched with each other. Not only does not stop it not affecting the semiconductor line work, but also claims that there is no reduction in production volume due to the stoppage of the semiconductor line, and the resulting loss cost, while there is a disadvantage in that it is not smooth to detect leakage of water at the pipe connection.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 창출된 본 발명의 목적은, 배관 연결부의 가스 누출을 방지함은 물론 가스 누출을 방지하고 가스 누출을 모니터링 및 제어하는 가스누출 방지 배관 연결구를 제공하는 데 있다.An object of the present invention created in order to solve the above problems is to provide a gas leak-preventing pipe connector for preventing gas leakage and monitoring and controlling gas leakage as well as preventing gas leakage at the pipe connection.

이러한 본 발명의 목적은, 1차 체결링 본체와, 상기 1차 체결링 본체의 내주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 1 프랜지부와, 상기 1차 체결링 본체의 외주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 2 프랜지부를 갖는 1차 체결링과; 상기 1차 체결링의 하부에 위치되는 2차 하부 체결링 본체와, 상기 2차 하부 체결링 본체의 상부면에 일체로 형성된 제 1 실링 링을 갖는 2차 하부 체결링과; 상기 1차 체결링의 상부에 위치되는 2차 상부 체결링 본체와, 상기 2차 상부 체결링 본체의 하부면에 일체로 형성된 제 2 실링 링을 갖는 2차 상부 체결링과; 상부면은 개방되어 있고 하부면 중심 부분에 제 1 관통공이 형성된 중공 구조로써 상기 2차 하부 체결링과, 상기 1차 체결링의 하부를 수용하는 하부 클램프와; 하부면은 개방되어 있고 상부면 중심 부분에 제 2 관통공이 형성된 중공 구조로써 상기 2차 상부 체결링과, 상기 1차 체결링의 상부를 수용하며, 상기 하부 클램프과 체결된 상부 클램프와; 상기 상부 클램프 또는 상기 하부 클램프에 제공된 압력 센서로 이루어진 가스누출 방지 배관 연결구에 의해 달성될 수 있다.The object of the present invention is a primary fastening ring body, a first flange portion extending in the upper and lower directions of the inner circumference of the primary fastening ring body, and in the upper and lower directions of the outer circumference of the primary fastening ring body. A primary fastening ring having an extended second flange portion; A second lower fastening ring having a second lower fastening ring body positioned under the primary fastening ring, and a first sealing ring integrally formed on an upper surface of the secondary lower fastening ring body; A secondary upper fastening ring having a secondary upper fastening ring body positioned above the primary fastening ring and a second sealing ring integrally formed on a lower surface of the secondary upper fastening ring body; A hollow structure having an open upper surface and having a first through hole formed at a center portion of the lower surface, and a lower clamp for accommodating the second lower fastening ring and the lower part of the primary fastening ring; A hollow structure having a lower surface open and having a second through hole formed at a central portion of the upper surface, and receiving the secondary upper fastening ring and an upper part of the primary fastening ring, and an upper clamp fastened to the lower clamp; It may be achieved by a gas leak prevention pipe connector made of a pressure sensor provided in the upper clamp or the lower clamp.

바람직하게는, 본 발명의 상기 1차 체결링은 상기 1차 체결링 본체의 상부면 및 하부면에 일체로 형성된 실링 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the primary fastening ring of the present invention is characterized in that it further comprises a sealing pad integrally formed on the upper and lower surfaces of the primary fastening ring body.

바람직하게는, 본 발명의 상기 2차 상부 체결링 본체는 상부면에 장착 요부가 형성되어 있으며, 상기 장착 요부의 가장자리에 복수 개의 제 1 키홈이 형성된 베이스 링 플레이트와; 상기 장착 요부에 삽입되어지되 상기 제 1 키홈과 인접되어 연통되는 복수 개의 제 2 키홈이 형성되어 있으며 상부면에 복수 개의 밀착편 삽입홈이 형성되어 있고 상기 밀착편 삽입홈에 삽입된 밀착 돌기를 갖는 보조 링 플레이트와; 연통되는 상기 제 1 및 제 2 키홈에 강제삽입된 고정 키부재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Preferably, the secondary upper fastening ring body of the present invention includes a base ring plate having a mounting recess formed on an upper surface, and having a plurality of first key grooves formed at an edge of the mounting recess; It is inserted into the mounting recess, a plurality of second key grooves are formed adjacent to and in communication with the first key groove, a plurality of contact piece insertion grooves are formed on the upper surface, and having a contact protrusion inserted into the contact piece insertion groove. An auxiliary ring plate; It is characterized in that it consists of a fixed key member forcibly inserted into the first and second keyways communicated.

바람직하게는, 본 발명의 상기 압력 센서는 상기 하부 클램프 또는 상기 상부 클램프의 외부에 돌출되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the pressure sensor of the present invention is characterized in that it protrudes to the outside of the lower clamp or the upper clamp.

이상과 같은 본 발명은 가스 배관 연결부의 가스누출 여부를 모니터링함과 동시에 가스 배관에 제공된 제어 밸브를 제어하여 가스 누출을 미연에 차단할 수 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is possible to prevent gas leakage in advance by monitoring whether gas leakage of the gas pipe connection unit is leaked, and by controlling a control valve provided in the gas pipe.

도 1은 본 발명에 의한 가스누출 방지 배관 연결구를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 부분 절개 확대 사시도이다.
도 3은 도 1의 분해 사시도이다.
도 4는 2차 체결링을 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 도 1의 가스누출 방지 배관 연결구를 구비한 가스누출 제어 시스템을 나타내는 구성도이다.
도 6은 종래 기술의 일 실시예에 의한 가스누출 검지센서를 포함한 플랜지 조립체를 나타내는 요부 단면도이다.
도 7은 종래 기술의 다른 실시예에 의한 가스 누출 검출장치를 나타내는 구성도이다.1 is a perspective view showing a gas leak prevention pipe connector according to the present invention.
FIG. 2 is a partially cut-out enlarged perspective view of FIG. 1.
3 is an exploded perspective view of FIG. 1.
4 is an exploded perspective view showing a secondary fastening ring.
5 is a block diagram showing a gas leak control system having a gas leak prevention pipe connector of FIG. 1.
6 is a cross-sectional view of a main part showing a flange assembly including a gas leak detection sensor according to an embodiment of the prior art.
7 is a block diagram showing a gas leak detection apparatus according to another embodiment of the prior art.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 가스누출 방지 배관 연결구(100)는 1차 체결링(10), 2차 하부 체결링(20), 2차 상부 체결링(30), 압력센서(Ps1)(Ps2), 실링부재(70) 및 클램프(80)(90)로 이루어져 있다.1 to 4, the gas leak prevention pipe connector 100 according to the present invention includes a primary fastening ring 10, a secondary lower fastening ring 20, a secondary upper fastening ring 30, and a pressure sensor. It consists of (Ps1) (Ps2), a sealing member 70 and a clamp 80, 90.

1차 체결링(10)은 1차 체결링 본체(11)와, 1차 체결링 본체(11)의 내주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 1 프랜지부(13)와, 1차 체결링 본체(11)의 외주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 2 프랜지부(15)로 이루어져 있다.The primary fastening ring 10 includes a primary fastening ring body 11, a first flange portion 13 extending in the upper and lower directions of the inner circumference of the primary fastening ring body 11, and the primary fastening ring body It consists of a second flange portion 15 extending in the upper and lower directions of the outer periphery of (11).

여기서, 1차 체결링(10)은 금속 재질, 비철금속 재질 또는 합성수지 재질로 제작될 수 있다.Here, the primary fastening ring 10 may be made of a metal material, a non-ferrous metal material, or a synthetic resin material.

또한, 1차 체결링(10)은 1차 체결링 본체(11)의 상부면 및 하부면에 일체로 형성된 실링 패드(10s)를 더 포함한다. 여기서, 실링 패드(10s)는 실리콘, 우레탄 또는 고무 재질로 형성되어 있다,In addition, the primary fastening ring 10 further includes a sealing pad 10s integrally formed on the upper and lower surfaces of the primary fastening ring body 11. Here, the sealing pad 10s is formed of a silicone, urethane or rubber material,

2차 하부 체결링(20)은 1차 체결링(10)의 하부에 위치되는 2차 하부 체결링 본체(21)와, 2차 하부 체결링 본체(21)의 상부면에 일체로 형성된 제 1 실링 링(23)으로 이루어져 있다.The secondary lower fastening ring 20 includes a second lower fastening ring body 21 located under the primary fastening ring 10, and a first formed integrally on the upper surface of the secondary lower fastening ring body 21. It consists of a sealing ring (23).

2차 상부 체결링(30)은 1차 체결링(10)의 상부에 위치되는 2차 상부 체결링 본체(31)와, 2차 상부 체결링 본체(31)의 하부면에 일체로 형성된 제 2 실링 링(33)으로 이루어져 있다.The secondary upper fastening ring 30 is formed integrally with the secondary upper fastening ring body 31 located above the primary fastening ring 10 and the lower surface of the secondary upper fastening ring body 31. It consists of a sealing ring (33).

2차 상부 체결링 본체(31)는 상부면에 장착 요부(31a1)가 형성되어 있으며 장착 요부(31a1)의 가장자리에 복수 개의 제 1 키홈(31a2)이 형성된 베이스 링 플레이트(31a)와, 장착 요부(31a1)에 삽입되어지되 제 1 키홈(31a2)과 인접되어 연통되는 복수 개의 제 2 키홈(31b2)이 형성되어 있으며 상부면에 복수 개의 밀착편 삽입홈(31b1)이 형성되어 있고 밀착편 삽입홈(31b1)에 삽입된 밀착 돌기(31b3)를 갖는 보조 링 플레이트(31b)와, 연통된 제 1 및 제 2 키홈(31a2)(31b2)에 강제삽입된 고정 키부재(31c)로 이루어져 있다.Secondary upper fastening ring body 31 has a mounting recess (31a1) formed on the upper surface, a plurality of first key grooves (31a2) formed at the edge of the mounting recess (31a1) base ring plate (31a), and the mounting recess A plurality of second key grooves (31b2) that are inserted into (31a1) but are adjacent to and communicated with the first key groove (31a2) are formed, and a plurality of contact piece insertion grooves (31b1) are formed on the upper surface, and the contact piece insertion groove It consists of an auxiliary ring plate (31b) having a close contact projection (31b3) inserted in (31b1), and a fixed key member (31c) forcibly inserted into the communicating first and second keyway (31a2) (31b2).

여기서, 2차 상부 체결링 본체(31)가 복수 개의 구성요소로 이루어지는 이유는 후술되는 상부 클램프(90)의 내측면과 바람직하는 밀착을 구현하기 위함이다. 또한, 밀착 돌기(31b3)는 연질의 실리콘 재질로 제작되어 있으며 밀착편 삽입홈(31b1) 위로 상단부가 전체 길이의 1/5 ~ 1/10 정도가 돌출되어 있는데, 가스누출 방지 배관 연결구(100)의 조립시 상부 클램프(90)의 내측면과 밀착되어 압축되면서 밀착편 삽입홈(31b1)의 내부로 완전히 수용되는 구조를 갖는다.Here, the reason that the secondary upper fastening ring body 31 is made of a plurality of components is to implement a desirable close contact with the inner surface of the upper clamp 90 to be described later. In addition, the contact protrusion 31b3 is made of a soft silicone material, and the upper end of the contact piece insertion groove 31b1 protrudes about 1/5 to 1/10 of the total length. It has a structure that is completely accommodated into the interior of the contact piece insertion groove (31b1) while being in close contact with the inner surface of the upper clamp (90) and compressed during assembly.

하부 클램프(80)는 상부면은 개방되어 있고 하부면 중심 부분에 제 1 관통공(81)이 형성된 중공 구조로써 2차 하부 체결링(20)과, 1차 체결링(10)의 하부를 수용한다.The lower clamp 80 is a hollow structure in which the upper surface is open and the first through hole 81 is formed in the center of the lower surface, and accommodates the second lower fastening ring 20 and the lower part of the primary fastening ring 10 do.

상부 클램프(90)는 하부면은 개방되어 있고 상부면 중심 부분에 제 2 관통공(91)이 형성된 중공 구조로써 2차 상부 체결링(30)과, 1차 체결링(10)의 상부를 수용하며, 하부 클램프(80)과 조립 가능하도록 체결되어 있다.The upper clamp 90 has an open lower surface and a hollow structure in which a second through hole 91 is formed in the center of the upper surface, and accommodates the secondary upper fastening ring 30 and the upper part of the primary fastening ring 10 And, it is fastened to be assembled with the lower clamp 80.

여기서, 미설명부호 'B'는 상부 및 하부 클램프(80)(90)를 체결하는 체결 볼트이고, 상부 클램프(90)의 상부면에 형성된 볼트 체결공은 번호를 부여하지 않았고 하부 클램프(80)의 하부면에 형성된 볼트 체결공은 미도시하였다.Here, the non-described reference numeral'B' is a fastening bolt for fastening the upper and lower clamps 80, 90, and the bolt fastening hole formed on the upper surface of the upper clamp 90 is not assigned a number, and the lower clamp 80 Bolt fastening holes formed on the lower surface of are not shown.

또한, 상부 및 하부 클램프(80)(90)를 체결하는 방법은 본 실시예의 방법이나 방식 이외에 다양하게 변형실시가 가능하다.In addition, the method of fastening the upper and lower clamps 80 and 90 may be variously modified in addition to the method or method of the present embodiment.

제 1 압력센서(Ps1)는 1차 체결링(10)의 상부면과 2차 상부 체결링(30)의 가스 누출을 감지하도록 상부 클램프(90)에 제공되어 있다. 여기서, 제 1 압력센서(Ps1)의 하단부는 가스 누출을 감지하도록 1차 체결링(10)의 상부면과 2차 상부 체결링(30)의 하부면 사이에 연통되어 있으며 상단부는 상부 클램프(90)에 외부에 돌출되어 있으며, 노출된 이유는 후술되는 가스누출 제어 시스템(200)과 전기, 전자적으로 연결을 용이하게 하기 위함이다. 따라서, 제 1 압력센서(Ps1)는 본 실시예와 달리 상부 클램프(90)에 매립되어 제공될 수도 있다.The first pressure sensor Ps1 is provided on the upper clamp 90 to detect gas leakage from the upper surface of the primary fastening ring 10 and the secondary upper fastening ring 30. Here, the lower end of the first pressure sensor Ps1 communicates between the upper surface of the primary fastening ring 10 and the lower surface of the secondary upper fastening ring 30 to detect gas leakage, and the upper end of the upper clamp 90 ) Is protruding to the outside, and the reason for being exposed is to facilitate electrical and electronic connection with the gas leak control system 200 to be described later. Accordingly, the first pressure sensor Ps1 may be provided by being embedded in the upper clamp 90 unlike the present embodiment.

제 2 압력센서(Ps2)는 1차 체결링(10)의 하부면과 2차 하부 체결링(20)의 가스 누출을 감지하도록 하부 클램프(80)에 제공되어 있다. 여기서, 제 2 압력센서(Ps2)의 하단부는 가스 누출을 감지하도록 1차 체결링(10)의 하부면과 2차 하부 체결링(20)의 하부면 사이에 연통되어 있으며 상단부는 하부 클램프(80)의 외부에 돌출되어 있으며, 노출된 이유는 후술되는 가스누출 제어 시스템(200)과 전기, 전자적으로 연결을 용이하게 하기 위함이다. 따라서, 제 2 압력센서(Ps2)는 본 실시예와 달리 하부 클램프(80)에 매립되어 제공될 수도 있다.The second pressure sensor Ps2 is provided on the lower clamp 80 to detect gas leakage from the lower surface of the primary fastening ring 10 and the secondary lower fastening ring 20. Here, the lower end of the second pressure sensor Ps2 communicates between the lower surface of the primary fastening ring 10 and the lower surface of the secondary lower fastening ring 20 to detect gas leakage, and the upper end of the lower clamp 80 ), and the reason for exposure is to facilitate electrical and electronic connection with the gas leak control system 200, which will be described later. Accordingly, the second pressure sensor Ps2 may be provided by being embedded in the lower clamp 80 unlike the present embodiment.

그리고, 하부 가스 배관(P1)의 상단 프랜지부(번호 없음)는 2차 하부 체결링(20)의 제 1 실링 링(23)의 상부면과 하단부가 밀착되고, 상단부는 1차 체결링(10)의 하부 실링 패드(10s)와 밀착된다. 따라서, 가스의 누출이 없다면 1차 체결링(10)의 하부면과 2차 하부 체결링(20)의 하부면 사이에 제공된 제 2 압력센서(Ps2)의 하단부에 압력이 감지되지 않지만 만약, 가스가 누출된다면 제 2 압력센서(Ps2)의 하단부에 플러스 압력이 감지된다. 또한, 상부 가스 배관(P2)의 하단 프랜지부(번호 없음)는 2차 상부 체결링(30)의 제 2 실링 링(33)의 하부면과 상단부가 밀착되고, 하단부는 1차 체결링(10)의 상부 실링 패드(10s)와 밀착되는 구성을 갖는다. 따라서, 가스의 누출이 없다면 1차 체결링(10)의 상부면과 2차 상부 체결링(30)의 하부면 사이에 제공된 제 1 압력센서(Ps1)의 하단부에 압력이 감지되지 않지만 만약, 가스의 누출된다면 제 1 압력센서(Ps1)의 하단부에 플러스 압력이 감지된다.In addition, the upper flange portion (no number) of the lower gas pipe P1 is in close contact with the upper surface and the lower end of the first sealing ring 23 of the secondary lower fastening ring 20, and the upper end is in close contact with the primary fastening ring 10 ) In close contact with the lower sealing pad (10s). Therefore, if there is no gas leakage, the pressure is not detected at the lower end of the second pressure sensor Ps2 provided between the lower surface of the primary fastening ring 10 and the lower surface of the secondary lower fastening ring 20, but if gas is If is leaked, a positive pressure is sensed at the lower end of the second pressure sensor Ps2. In addition, the lower flange portion (no number) of the upper gas pipe P2 is in close contact with the lower surface and the upper end of the second sealing ring 33 of the secondary upper fastening ring 30, and the lower end is in close contact with the primary fastening ring 10 ) Has a configuration in close contact with the upper sealing pad (10s). Therefore, if there is no gas leakage, the pressure is not detected at the lower end of the first pressure sensor Ps1 provided between the upper surface of the primary fastening ring 10 and the lower surface of the secondary upper fastening ring 30, but if gas is If the leak of the positive pressure is sensed at the lower end of the first pressure sensor (Ps1).

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 가스누출 방지 배관 연결구를 구비한 가스누출 제어 시스템은 가스 공급원(Pmp)과 연통된 가스 배관(P3)과, 가스 배관(P3)에 제공된 하나 이상의 개폐 제어밸브(CV1)(CV2)와, 가스 배관(P3)에 제공된 하나 이상의 가스누출 방지 배관 연결구(101)(102)(103)와, 개폐 제어밸브(CV1)(CV2)와 가스누출 방지 배관 연결구(101)(102)(103)을 각기 제어하도록 제공된 제어기(200)로 이루어져 있다.5, a gas leak control system having a gas leak prevention pipe connector according to the present invention includes a gas pipe P3 in communication with a gas supply source Pmp, and one or more open/close control valves provided in the gas pipe P3. (CV1) (CV2), at least one gas leak prevention pipe connector (101) (102) (103) provided in the gas pipe (P3), an opening/closing control valve (CV1) (CV2) and a gas leak prevention pipe connector (101) ) Consists of a controller 200 provided to control 102 and 103 respectively.

여기서, 가스 공급원(Pmp)은 반도체 제조용 가스 탱크 또는 이러한 가스 탱크와 연통된 펌프, 또는 다른 장치 등이 될 수 있다.Here, the gas supply source Pmp may be a semiconductor manufacturing gas tank, a pump communicated with the gas tank, or other devices.

또한, 가스 배관(P3)은 가스 공급원(Pmp)과 연통되어 있으며 다른 바이패스관(P4) 또는 다른 장치들(도시 안됨)과 연통되어 있다.In addition, the gas pipe P3 is in communication with the gas supply source Pmp and is in communication with another bypass pipe P4 or other devices (not shown).

가스누출 방지 배관 연결구(101)(102)(103)은 도 1 내지 도 4의 구성을 갖는 가스누출 방지 배관 연결구(100)와 동일한 구성을 갖으며, 가스 배관(P3) 또는 바이패스관(P4)에 제공되어 있다.The gas leak prevention pipe connector 101, 102, 103 has the same configuration as the gas leak prevention pipe connector 100 having the configuration of FIGS. 1 to 4, and the gas pipe P3 or the bypass pipe P4 ).

제어기(200)는 가스누출 방지 배관 연결구(101)(102)(103)에 각기 제공된 압력 센서(Ps1)(Ps2)로부터 입력된 압력값에 따라 개폐 제어밸브(CV1)(CV2)의 개방 또는 폐쇄한다. 여기서, 제어기(200)는 모니터, 저장매체 등으로 구성되지만 이러한 구성은 공지의 장치에 준하는 것으로 이에 대한 상세한 설명이나 도시는 생략하기로 한다.The controller 200 opens or closes the opening/closing control valves CV1 and CV2 according to the pressure values input from the pressure sensors Ps1 and Ps2 respectively provided to the gas leak prevention pipe connectors 101, 102, and 103. do. Here, the controller 200 is composed of a monitor, a storage medium, etc., but this configuration is equivalent to a known device, and a detailed description or illustration thereof will be omitted.

이상과 같은 본 발명은 일 실시예에 한정되어 설명되었으나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 사상을 토대로 변형되는 실시예들은 모두 본 발명의 권리범위에 속함이 분명하다.The present invention as described above has been described limited to one embodiment, but the embodiments are not limited thereto and modified based on the technical idea of the present invention, it is clear that all of the embodiments belong to the scope of the present invention.

10 : 1차 체결링
20, 30 : 2차 체결링
80, 90 : 클램프
100 : 가스누출 방지 배관 연결구
Ps1, Ps2 : 압력 센서
P1, P2 : 가스 배관10: 1st fastening ring
20, 30: 2nd fastening ring
80, 90: clamp
100: gas leak prevention piping connector
Ps1, Ps2: pressure sensor
P1, P2: gas piping

Claims (4)

1차 체결링 본체와, 상기 1차 체결링 본체의 내주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 1 프랜지부와, 상기 1차 체결링 본체의 외주연 상부 및 하부 방향으로 연장된 제 2 프랜지부를 갖는 1차 체결링과;
상기 1차 체결링의 하부에 위치되는 2차 하부 체결링 본체와, 상기 2차 하부 체결링 본체의 상부면에 일체로 형성된 제 1 실링 링을 갖는 2차 하부 체결링과;
상기 1차 체결링의 상부에 위치되는 2차 상부 체결링 본체와, 상기 2차 상부 체결링 본체의 하부면에 일체로 형성된 제 2 실링 링을 갖는 2차 상부 체결링과;
상부면은 개방되어 있고 하부면 중심 부분에 제 1 관통공이 형성된 중공 구조로써 상기 2차 하부 체결링과, 상기 1차 체결링의 하부를 수용하는 하부 클램프와;
하부면은 개방되어 있고 상부면 중심 부분에 제 2 관통공이 형성된 중공 구조로써 상기 2차 상부 체결링과, 상기 1차 체결링의 상부를 수용하며, 상기 하부 클램프과 체결된 상부 클램프와;
하단부는 상기 1차 체결링의 상부면과 상기 2차 상부 체결링의 하부면 사이에 연통되어 있으며 상단부는 상기 상부 클램프에 외부에 돌출된 제 1 압력센서와;
하단부는 상기 1차 체결링의 하부면과 상기 2차 하부 체결링의 하부면 사이에 연통되어 있으며 상단부는 상기 하부 클램프의 외부에 돌출된 제 2 압력센서로 이루어지되,
상기 2차 상부 체결링 본체는 상부면에 장착 요부가 형성되어 있으며, 상기 장착 요부의 가장자리에 복수 개의 제 1 키홈이 형성된 베이스 링 플레이트와; 상기 장착 요부에 삽입되어지되 상기 제 1 키홈과 인접되어 연통되는 복수 개의 제 2 키홈이 형성되어 있으며 상부면에 복수 개의 밀착편 삽입홈이 형성되어 있고 상기 밀착편 삽입홈에 삽입된 밀착 돌기를 갖는 보조 링 플레이트와; 연통되는 상기 제 1 및 제 2 키홈에 강제삽입된 고정 키부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스누출 방지 배관 연결구.
Having a primary fastening ring body, a first flange part extending in upper and lower directions of the inner circumference of the primary fastening ring body, and a second flange part extending in the upper and lower directions of the outer circumference of the primary fastening ring body. A primary fastening ring;
A second lower fastening ring having a second lower fastening ring body positioned under the primary fastening ring, and a first sealing ring integrally formed on an upper surface of the secondary lower fastening ring body;
A second upper fastening ring having a secondary upper fastening ring body positioned above the primary fastening ring and a second sealing ring integrally formed on a lower surface of the secondary upper fastening ring body;
A hollow structure having an upper surface open and a first through hole formed in a central portion of the lower surface, and a lower clamp for accommodating the second lower fastening ring and the lower part of the primary fastening ring;
A hollow structure having a lower surface open and having a second through hole formed in a central portion of the upper surface, and receiving the secondary upper fastening ring and an upper part of the primary fastening ring, and an upper clamp fastened to the lower clamp;
A first pressure sensor having a lower end in communication between an upper surface of the primary fastening ring and a lower surface of the secondary upper fastening ring, and an upper end protruding outwardly from the upper clamp;
The lower end is communicated between the lower surface of the primary fastening ring and the lower surface of the secondary lower fastening ring, and the upper end is made of a second pressure sensor protruding from the outside of the lower clamp,
The secondary upper fastening ring body includes a base ring plate having a mounting recess formed on an upper surface and a plurality of first key grooves formed at an edge of the mounting recess; It is inserted into the mounting recess, a plurality of second key grooves are formed adjacent to and in communication with the first key groove, a plurality of contact piece insertion grooves are formed on the upper surface, and having a contact protrusion inserted into the contact piece insertion groove. An auxiliary ring plate; Gas leak prevention pipe connector, characterized in that consisting of a fixed key member forcibly inserted into the first and second keyways communicated.
 제 1 항에 있어서,
상기 1차 체결링은 상기 1차 체결링 본체의 상부면 및 하부면에 일체로 형성된 실링 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스누출 방지 배관 연결구.
The method of claim 1,
The primary fastening ring further comprises a sealing pad integrally formed on an upper surface and a lower surface of the primary fastening ring body.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 압력 센서는 상기 하부 클램프 또는 상기 상부 클램프의 외부에 돌출되는 것을 특징으로 하는 가스누출 방지 배관 연결구.The method of claim 1,
The pressure sensor is a gas leak prevention pipe connector, characterized in that protruding to the outside of the lower clamp or the upper clamp.
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