KR102246828B1 - 입자 분리기를 갖는 ｃｖｄ 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 공정 가스를 공정 챔버(8) 내로 유입시키기 위한 가스 유입 부재(11) 및 상기 공정 챔버(8)로부터 나온 폐가스 흐름을, 공정 가스 반응 시 형성되는, 상기 폐가스 흐름의 입자를 필터링하기 위한, 입자 분리기 하우징(3) 내에 배치된 그리고 다공성 필터 매체(16)를 갖는 입자 필터(4)로 배출시키기 위한 가스 배출 부재(10)를 구비한, 반응기 하우징(1)의 공정 챔버(8) 내에서 기판들을 코팅하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에서는, CVD 또는 PVD 장치에서 입자 필터의 필터 성능을 향상시키기고, 이러한 사용 목적에 적합한 입자 필터를 제공하기 위해, 폐가스 흐름 내에 존재하는 입자가 상기 필터 매체(16)의 표면에 부착되지만, 그러나 상기 필터 매체(16) 내로는 침투하지 않으며, 그리고 입자가 상기 필터 매체(16) 밖에서 집합체로 계속 성장하도록 상기 필터 매체(16)의 표면 특성 및 기공 크기가 선택되는 것이 제안되며, 이 경우 상기 집합체의 기계적인 분리를 통해 상기 입자 필터(4)를 청소하기 위한 매스 가속 장치가 제공된다.

Description

입자 분리기를 갖는 ＣＶＤ 장치 {ＣＶＤ SYSTEM HAVING PARTICLE SEPARATOR}
본 발명은 공정 가스를 공정 챔버 내로 유입시키기 위한 가스 유입 부재 및 상기 공정 챔버로부터 나온 폐가스 흐름을, 공정 가스 반응 시 형성되는, 상기 폐가스 흐름의 입자를 필터링하기 위한, 입자 분리기 하우징 내에 배치된 그리고 다공성 필터 매체를 갖는 입자 필터로 배출시키기 위한 가스 배출 부재를 구비한, 반응기 하우징의 공정 챔버 내에서 기판들을 코팅하기 위한 장치에 관한 것이다.
CVD 반응기들은 특히 DE 10 2004 062553 A1호, DE 100 55 182 A1호, DE 102 47 921 A1호, DE 10 2009 043840 A1호 또는 US 2011/0237051 A1호에 공지되어 있다.
이와 같은 종류의 CVD 반응기는 기판들을 코팅하기 위한 장치를 형성한다. 상기 장치는 반응기 하우징 내에 배치된 공정 챔버를 갖는다. 상기 공정 챔버는 가스 유입 부재를 갖는데, 하나 또는 다수의 공정 가스는 상기 가스 유입 부재를 통해 상기 공정 챔버로 유입된다. 공정 챔버 내부에서는 화학적 또는 물리적 반응이 일어난다. 이를 위해 공정 챔버는 상승된 공정 온도에 도달할 수 있다. 공정 챔버 내부에는 코팅되는 하나 또는 다수의 기판을 지지하는 기판 홀더가 존재한다. 층 형성은 가스 상태에서 적어도 하나의 공정 가스의 반응 결과이거나 가스 상태로부터 응축 결과이다. 특히, 서로 다른 2개의 공정 가스가 공정 챔버 내로 유입되는 MOCVD 코팅 공정에서는, 이러한 공정 가스들이 가스 상태에서 상호 반응할 수 있다. 이러한 반응 시 입자가 형성될 수 있다. 그러나 가스 상태에서 입자 형성은 이종 반응 시에만 나타나는 것을 아니다. 입자 형성은 동질 가스 상태의 반응에서도 나타날 수 있다. 이와 같은 입자는 공정 챔버로부터 폐가스 흐름으로 운반된다. 입자 형성의 또 다른 공급원은 공정 챔버로부터 폐가스 흐름을 배출시킬 수 있고, 유동 방향으로 가스 배출 부재 하류에 배치된 콜드 트랩(cold trap)일 수 있다. 이러한 콜드 트랩에서는 폐가스가 예를 들면 액체 질소의 온도로 냉각된다. 이러한 냉각 시에는 또한 상기 폐가스가 한 편으로는 화학적 반응을 통해, 그 밖에 다른 한 편으로는 응축을 통해 입자를 형성할 수 있다. 폐가스 흐름 내에 존재하는 이러한 입자는 입자 필터에 의해 폐가스 흐름으로부터 필터링 된다. 이를 위해 상기 입자 필터는 입자 분리기 하우징 내에 위치한다.
가공품을 코팅하기 위해 분말을 사용하는 분말 코팅 장치들에서는 필터 부재들이 사용되는데, 이렇게 함으로써 가스 흐름으로부터 분말을 분리할 수 있다. 이와 같은 장치와 관련하여, DE 10246126 A1호는 기계적 필터 청소를 제안하는데, 상기와 같은 기계적 필터 청소 시 필터 부재는 진동 장치에 의해 진동이 야기되고, 그 결과 필터 표면에 침전된 분말이 필터 매체로부터 분리될 수 있다. US 2002/0106461 A1호, US 2006/0081188 A1호 또는 US 3,791,341호도 유사한 장치를 기술한다. 대응 가스 흐름을 제공하거나 펄스 방식 가스 흐름을 사용하는 분말 코팅 장치의 필터 청소는 US 4,913,085호 또는 EP 0129053 B1호에 공지되어 있다.
유사한 종류의 CVD 장치에서는 폐가스 흐름으로 운반된 미세 입자가 입자 필터의 필터 매체 표면에서 집합체(conglomerate)로 집결되는 것이 관찰되었다. 요약하면, 상기 입자 필터의 표면에서는 입자 성장이 일어난다. 이와 결부된 필터 매체의 표면 커버링은 입자 필터의 필터 성능에 악영향을 미친다.
본 발명의 과제는 CVD 또는 PVD 장치에서 입자 필터의 필터 성능을 향상시키고, 이러한 사용 목적에 적합한 입자 필터를 제공하는 것이다.
상기 과제는 맨 먼저 그리고 기본적으로 청구항 1에 제시된 코팅 장치 및 청구항 7에 제시된 입자 분리 장치에 의해서 해결된다. 종속항들은 본 발명의 바람직한 개선예들을 나타낸다.
본 발명에 따라, 입자 필터를 청소하기 위한 수단들이 제공된다. 상기 수단들은 기계적 타입으로서, 필터 매체에 형성된 집합체가 상기 필터 매체로부터 분리되도록 필터 매체에 영향을 미친다. 본 발명에 따라, 상기 필터 매체는 폐가스 흐름 내에 존재하는 입자가 필터 매체의 표면에 부착되지만, 그러나 상기 필터 매체 내로는 침투되지 않도록 선택된 표면 특성 또는 기공 크기를 갖는다. 상기 필터 매체의 표면 특성 또는 기공 크기는, 입자가 필터 매체 밖에서만 집합체로 계속 성장하도록 설정된다.
본 발명에 따른 입자 필터는 매스 가속 장치(mass acceleration means)에 의해 이동이 야기될 수 있다. 상기 매스 가속 장치는 이동이 야기되는 매스를 가질 수 있다. 이러한 상황은 입자 필터로의 충격 전달을 야기하는데, 충격 전달 시에는 가능한 큰 힘이 발생되어야 하며, 따라서 상기 매스 가속 장치에 의해 높은 가속도, 즉 가능한 짧은 시간 내에 속도 변경이 야기된다. 한 바람직한 실시예에서, 상기 매스 가속 장치는 해머 장치(hammer device)에 의해 형성되고, 이 해머 장치는 해머를 형성하는 매스를 가지며, 이때 상기 해머는 앤빌(anvil)에 충격을 가하기 위해 가속화된다. 그와 동시에 상기 해머는 매스 가속 장치에 의해 이동이 야기되어 앤빌에 부딪친다. 이는 낙하 해머 장치에 관계된다. 이러한 목적으로 입자 분리기 하우징과 탄성적으로 연결된 입자 필터가 낙하 매스를 갖고, 이러한 낙하 매스는 기계적으로 들어 올려진 다음 낙하된다. 상기 낙하 매스는 앤빌에 낙하하여 카트리지로 충격을 전달하며, 그 결과 카트리지 벽들에 부착되는 입자가 분리되어 떨어진다. 한 바람직한 실시예에서, 해머 장치는 입자 필터의 본체, 예를 들면 베이스 플레이트에 고정되어 있다. 상기 입자 필터의 본체는 필터 카트리지의 캐리어이면서, 공동을 형성하는 몸체의 캐리어이며, 이 경우 상기 몸체는 해머 장치를 형성한다. 상기 공동 내부에는 수직 방향으로 지지 가능한 매스가 존재한다. 이러한 매스는 원통형 공동 내부에 피스톤 형태로 가스, 예를 들면 공기 공급에 의해 들어 올려질 수 있다. 매스는 상기와 같이 들어 올려진 위치로부터 낙하되며, 이러한 것은 예를 들면 밸브 개방에 의해 이루어질 수 있다. 이어서 상기 매스는 앤빌을 형성하는 공동의 바닥부에 떨어져 부딪친다. 충격은 본체를 통해 필터 카트리지로 전달된다. 그 밖에도 상기 매스는 공동의 덮개에 부딪치기 위해 상부로 수직 방향으로 가속화될 수 있으며, 이러한 경우 상기 덮개는 앤빌을 형성한다. 이에 대한 대안으로서 입자 필터는 입자 분리기 하우징을 마주보고 진동이 야기될 수 있다. 이러한 진동은, 필터 매체의 표면에 형성된 집합체가 상기 필터 매체로부터 분리되고, 그리고 상기 집합체에 작용하는 중력으로 인해 입자 분리기 하우징의 바닥부로 떨어지도록 하는 주파수와 진폭을 갖는다. 하나 또는 다수의 입자 필터가 제공될 수 있다. 상기 입자 필터들은 각각 필터 카트리지에 의해 형성될 수 있다. 필터 카트리지는 바람직하게 대체로 원통 형상을 가지며, 이 경우 상기 필터 카트리지는 중공 실린더로서 형성되어 있다. 상기 중공 실린더의 벽은 필터 매체에 의해 형성된다. 필터 매체는 특히 주름이 잡혀 있다. 이는 필터지(filter paper)에 관계될 수 있다. 그 밖에도 필터 매체는 중합체 직물(polymer fabric)일 수 있다. 필터 매체는 코팅되어 있을 수 있다. 특히 상기 필터 매체는 테플론(teflon)으로 코팅되어 있을 수 있다. 상기 하나 또는 다수의 카트리지는 특히 수직 방향으로 연장된다. 상기 카트리지들의 하부면들은 입자 분리기 하우징의 바닥부에 탄성적으로 고정되어 있다. 이를 위해 실리콘 벨로우즈에 의해 형성되는 탄성적 베어링 부재가 사용된다. 상기 실리콘 벨로우즈는 관 형상을 갖는데, 여과된 폐가스 흐름은 상기 관을 통해 필터 카트리지로부터 배출될 수 있다. 각각의 필터 카트리지는 탄성적 베어링에 의해 개별적으로 입자 분리기 하우징에 연결될 수 있다. 입자 필터의 상부 자유 단부는 진동 장치에 의해 진동이 야기될 수 있다. 단일 진동 장치가 제공될 수 있으며, 이러한 단일 진동 장치는 다수의 입자 필터의 진동을 야기한다. 이를 위해 서로 평행하게 연장되는 입자 필터의 상부면들, 즉 자유 단부들이 서로 연결될 수 있다. 입자 필터 상부에 있는 하우징 내에 배치될 수 있는 진동 장치는 전기 모터를 가질 수 있으며, 상기 전기 모터는 편심 평형추(balance weight/centrifugal mass)들을 회전 구동시킨다. 이로 인해 약 3,000Hz의 여기 주파수(excitation frequency)가 형성될 수 있다. 그 밖에는 이에 대안적으로 또는 조합으로, 입자 필터의 진동을 야기하기 위한 초음파 여진기도 제공될 수 있다. 또한, 진동 장치는 전자석과 강자성체 평형추로 이루어질 수 있다. 상기 평형추는, 전자석에 교류가 공급되면 진동이 야기된다. 실리콘 벨로우즈는, 압력 손실이 10mbar보다 작도록 하는 내부 지름을 가지며, 이 경우 여과된 폐가스 흐름은 상기 실리콘 벨로우즈를 통해 입자 필터를 벗어난다. 필터 매체는 대체로 매끄러운 표면을 가진다. 필터 매체는 최소 150℃의 온도에 노출될 수 있다. 필터 매체의 기공도 또는 필터 매체의 표면 특성은, 가스 상태에서 입자가 필터 매체의 표면에 부착되지만, 그러나 필터 매체의 기공 내부로 침투하지 않을 정도로 선택된다. 입자는 필터 매체의 표면에서 집합체로 계속 성장할 수 있다. 이 경우 집합체는 필터 매체의 기공 내부로는 성장하지 않음으로써, 결과적으로 상기 집합체가 진동 결과로 필터 매체로부터 벗어날 수 있다. 대체로 원호 라인 상에서 진행되는 벤딩 라인(bending line)들은 10 내지 12㎜의 간격을 가질 수 있다. 진동 진폭은 1㎜ 범위에 놓여 있을 수 있다. 진동 부재에 의해, 자체 하부 단부에서 탄성적으로 복귀 가능하게 입자 분리기의 하우징 바닥부와 연결된 입자 필터는 진자식(pendulous) 이동이 야기된다. 바닥부에 연결된 입자 필터의 단부에 마주 놓인 자유 단부는 진동 장치에 의해 자유 진동이 야기될 수 있다. 이를 위해 입자 필터 또는 서로 단단히 연결된 다수의 입자 필터가 입자 분리기 하우징 내부로 자유롭게 돌출한다. 서로 단단히 연결된 다수의 입자 필터는 공동 진동 장치에 의해 진동이 야기된다.
도입부에 언급한 과제는 또한, 필터 카트리지가 내부에서 외부로 법선 가스 흐름 방향으로 배출됨으로써 해결된다. 이를 위해 필터 매체의 하류면에서 가스 흐름을 필터 카트리지 내부로 삽입시키기 위한 수단들이 제공된다. 폐가스 라인 내에 배치된, 폐쇄될 수 있는 밸브 사용 하에, 상기와 같은 가스 흐름에 의해서는 대응 가스 흐름이 형성될 수 있고, 상기 대응 가스 흐름은 예를 들면 카트리지 내부로 침투됨으로써, 결과적으로 대응 가스 흐름이 내부에서 외부로 흐를 수 있다. 카트리지들을 내부에서 외부로 법선 흐름 방향으로 배출할 수 있는 가스는 질소일 수 있다. 상기와 같은 추가 가스 공급 가능성에 의해, 카트리지 내부에서 충격 압력도 발생될 수 있으며, 그 결과 필터 재료가 팽창하여 집합체가 상기 필터 재료의 외부 측면 상에서 떨어진다. 상기 충격 압력은 다른 방식에 의해서도 발생될 수 있는데, 예를 들면 실린더 피스톤 유닛에 의해서도 발생될 수 있다. 또한, 필터 재료의 탄성적 변형을 발생시키기 위해 다른 기계적 여기 상태를 이용할 수도 있다. 특히 필터 재료만 진동이 야기될 수 있다. 이러한 것은 주파수 여진기, 예를 들면 초음파 여진기에 의해 이루어질 수 있다.
더 나아가, 본 발명은 공정 가스로서 유기 금속 갈륨 화합물 및 복합물을 사용하는 CVD 장치, 특히 MOCVD 장치의 입자 필터의 진동을 야기하기 위한 진동 장치를 사용하는 입자 분리기의 용도와 관련된다. 그 밖에 상기와 같은 입자 분리기의 사용은 PVD 장치에서도 이루어진다. 바람직하게 상기 입자 분리기는 유기 금속 갈륨 화합물과 암모니아 갈륨-질화물을 사용하여 분리하는 장치에서 사용된다. 특히 기계적 수단들이 제공되며, 이러한 수단들의 사용은, 필터 매체의 표면에 결합된 집합체가 필터 매체로부터 분리되도록 입자 필터 또는 필터 매체의 이동을 야기한다.
하기에서는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면들을 참고로 설명된다. 도면에 대한 설명:
도 1은 제 1 실시예의 입자 분리기를 갖는 CVD 반응기를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 라인 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이며,
도 3은 도 1의 라인 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단한 단면도이고,
도 4는 입자 분리기의 제 2 실시예를 도시한 도면이며,
도 5는 도 7의 절단선 Ⅴ-Ⅴ를 따라 도 4에 도시된 입자 분리기를 절단한 종단면도이고,
도 6은 도 7의 절단선 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 입자 분리기를 도시한 사시도이며, 그리고
도 7은 도 5의 라인 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단한 단면도이다.
CVD 반응기(1)는 가스 유입 부재(11)를 가지며, 상기 가스 유입 부재는 관 연결을 통해 도면에 도시되지 않은 가스 공급 유닛에 연결되어 있다. 상기 가스 공급 유닛은 공정 가스를 공급하고, 상기 공정 가스는 상기 가스 유입 부재(11)에 의해 상기 CVD 반응기(1)의 공정 챔버(8) 내로 유입된다. 가열될 수 있는 서셉터(susceptor)(9) 상에는 코팅될 기판들이 놓여 있다. 공정 가스는 가스 상태에서 열분해 방식으로 또는 상기 서셉터(9) 상에 놓여 있는 기판들의 표면에서 분류될 수 있으며, 그 결과 상기 위치에 계속해서 단결정 층이 성장한다. 바람직하게 가스 유입 부재(11)를 통해서는 캐리어 가스(carrier gas), 예를 들면 수소 그리고 반응성 가스가 유입된다. 갈륨-질화물을 분리하기 위해, 암모니아 및 유기 금속 갈륨 화합물, 예컨대 TMGa가 공정 챔버(8) 내로 유입된다. 공정 가스는 기판 표면들에서 반응 생성물로서 GaN을 응축한다. 뿐만 아니라 상기 공정 가스는 가스 상태에서 서셉터(9) 위쪽에서도 서로 반응하며, 그 결과 입자가 생성된다.
입자를 포함할 수 있는 폐가스 흐름은 가스 배출 부재(10)를 통해서 공정 챔버(8)로부터 배출된 다음 가스 라인에 의해 콜드 트랩(2) 내부로 이동된다. 상기 콜드 트랩(2) 내에는 냉각 코일(cooling coil)(13)이 존재하며, 이러한 냉각 코일은 예를 들면 액체 질소에 의해 관류된다. 폐가스는 냉각된다. 이러한 경우 상기 폐가스는 응축될 수 있으며, 그 결과 폐가스 냉각 시에도 입자가 생성된다.
콜드 트랩(2) 아래쪽에는 입자 분리기 하우징(3)이 존재한다. 상기 입자 분리기 하우징(3)은 가스 배출구(15)를 가지며, 이러한 가스 배출구에 의해 입자 분리기 하우징(3)은 진공 장치, 예컨대 진공 펌프와 연결되어 있다. 도면에 도시되지 않은 상기 진공 펌프에 의해 공정 챔버(8), 콜드 트랩(2) 및 입자 분리기 하우징(3) 내에서 전체압력(total pressure)은 1 내지 950mbar의 레벨로 유지될 수 있다. 그 밖에도 상기 전체압력은 진공 레벨, 예를 들면 1 내지 5mbar의 레벨에서 유지될 수 있다.
입자 분리기 하우징(3)의 바닥부(21)에는 가스 배출 채널(6)이 할당되어 있다. 상기 가스 배출 채널(6)은 바닥부(21) 아래쪽에서 진행되고 가스 배출구(15)와 연결된다. 실시예에서, 상기 바닥부(21)에는 3개의 입자 필터가 있으며, 상기 3개의 입자 필터는 각각 필터 카트리지(4) 형상을 갖는다.
입자 분리기 하우징(3)은 상기 바닥부(21)에 마주 놓인 측면에 개구를 가지며, 이러한 개구를 통해 폐가스는 상기 입자 분리기 하우징(3) 내로 유입될 수 있다. 콜드 트랩(2)은 상기 개구 바로 위에 존재한다.
필터 카트리지(4)들은 원형 형상을 갖고, 그리고 가스 배출 개구를 가지며, 이러한 가스 배출 개구를 통해 여과된 폐가스는 가스 배출 채널(6) 내부로 흐를 수 있다. 상기 필터 카트리지(4)들은 각각 실리콘 벨로우즈(6)를 통해서 바닥부(21)에 연결되어 있다. 상기 실리콘 벨로우즈(5)의 관 개방에 의해, 여과된 폐가스 흐름은 필터 카트리지(4) 내부로부터 가스 배출 채널(6) 내로 유입될 수 있다.
중공 원통형 필터 카트리지(4)들의 외부벽은 얇은 벽 모양의, 주름이 잡힌 필터 매체(16)로 이루어져 있다. 도 2에 나타난 바에 따르면, 상기 필터 매체(16)는 지그재그 형태로 접혀 있고, 그리고 서로 평행하게 진행되는 내부 벤딩 라인(18)들과 외부 벤딩 라인(18)들을 형성한다. 벤딩 라인(17 또는 18)들의 간격은 10 내지 12㎜ 범위에 놓여 있다.
실리콘 벨로우즈(5)들은 탄성적인 베어링 부재들을 형성하고, 이러한 베어링 부재에 의해 필터 카트리지(4)들은 진동성으로 바닥부(21)에 고정되어 있다. 위쪽을 가리키는, 3개의 필터 카트리지(4)의 자유 단부들은 진동 장치(7)의 하우징(14)에 의해 서로 연결되어 있다. 상기 진동 장치(7)의 하우징(14) 내부에는 전기 모터(19)가 존재하고, 상기 전기 모터의 샤프트 상에는 평형추(20)들이 배치되어 있다. 상기 평형추(20)들은 상기 전기 모터(19)의 회전이 3개의 카트리지(4)의 앙상블(ensemble)의 진동을 야기하도록, 전기 모터(19)의 샤프트 회전축에 대해 편심으로 배치되어 있으며, 이 경우 상기 진동은 약 1㎜의 진폭을 갖는다. 진동 주파수는 바람직하게 약 50 내지 60Hz 범위에 놓여 있다. 그 밖에 상기 진동 주파수는 최대 3,000Hz에 이를 수 있다. 또한, 초음파 영역에서 필터 카트리지(4)들을 조정할 수도 있다. 실시예에 제공되어 있는 진동 장치(7)에 의해서는, 3개의 카트리지로 이루어진 어레인지먼트가 진자식 진동을 야기한다. 그 밖에도 상기 필터 카트리지(4) 또는 필터 카트리지-어레인지먼트는 필터 카트리지(4)의 축을 따라 길이 방향으로 진동될 수 있다.
필터 매체(16)는 얇은 벽 모양의 다공성 재료이다. 상기 필터 매체의 기공 크기는 1 내지 50㎛ 범위에 놓여 있다. 기공 크기는 바람직하게 약 10㎛이다. 필터 매체는 종이 또는 종이를 기재로 하는 재료로 이루어질 수 있다. 또한, 필터 매체는 중합체 직물일 수 있다. 필터 매체는 코팅되어 있을 수 있다. 상기 필터 매체는 바람직하게 테플론으로 코팅되어 있다. 필터 매체의 표면은, 가스 흐름 내에 존재하는 입자가 상기와 같은 필터 매체 표면에 축적될 수 있도록 형성되어 있다. 상기와 같은 미립자는 필터 매체(16)의 기공 내부로 성장하지 않고 필터 매체(16)의 표면에 부착된다. 필터 매체(16)의 표면에 부착된 개별 미립자는 성장 결정 핵을 형성하고, 이때 상기 성장 결정 핵에는 다른 미립자가 부착될 수 있다. 이 경우 0.5 내지 5㎜ 크기에 이를 수 있는 집합체가 형성된다. 진동 주파수 및 진동 진폭은, 상기 집합체가 밀리미터 범위에 놓이는 크기에 도달하는 즉시 필터 매체(16)의 표면으로부터 분리되도록 설정되어 있다. 이러한 경우 상기 집합체는 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부(21)로 떨어진다. 필터 매체(16)의 표면에 형성된 집합체가 필터 매체(16)로부터 분리됨으로써, 사전에 집합체에 의해 요구되는 면적이 재차 폐가스용 가스 통과 면적으로 사용된다. 이로 인해 입자 필터의 성능이 상승된다.
필터 매체(16)를 벗어난 집합체는 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부(21)에 축적된다. 입자는 도면에 도시되지 않은 유지 보수 개구(maintenance opening)를 통해 인출될 수 있다.
진동 모터는 또한 필터 카트리지 내부에, 즉 필터 매체(16)의 하류면에 놓일 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 그러나 필터 카트리지 또는 장치가 대체로 동일한 구조를 갖는 도면에 도시되지 않은 실시예에는, 필터 카트리지(4)의 내부로 가스 흐름을 유입시키기 위한 수단들이 제공되어 있다. 예를 들어 가스 배출 채널(6)에 추가 가스 공급 라인이 연결될 수 있다. 가스 배출구(15)에는 밸브가 제공될 수 있으며, 이러한 밸브는 분리 동작 동안 개방되어 있다. 상기 밸브가 폐쇄되면, 가스 배출 채널(6) 내로 유입되는 가스의 공급이 필터 카트리지(4) 내부에서 과압을 야기한다. 이러한 상황은 외부 방향으로 필터 매체(16)의 탄성적 변형을 야기한다. 이러한 변형 결과로 필터 매체(16)의 외면에 축적된 집합체가 낙하할 수 있다. 압력 공급과 결부하여, 가스 흐름은 필터 매체(16)를 통해 반대 방향으로, 즉 내부에서 외부로 야기된다.
추가 공급 라인에 의해, 예를 들면 가스 배출 채널(16) 내로 이어지거나, 또는 필터 카트리지(4) 내로 직접 이어지는 추가 공급 라인에 의해, 접선 가스 흐름 방향으로 흐르는 가스 흐름 외에 카트리지 내부에는 오로지 충격 압력만 형성될 수도 있다. 이러한 충격 압력에 의해 필터 재료가 팽창된다. 이와 같은 탄성적 변형은 필터 매체(16)의 표면으로부터 집합체를 분리시킨다.
충격 압력은 또한 피스톤 실린더 유닛에 의해서도 형성될 수 있다. 예를 들어 상기 피스톤 실린더 유닛은 가스 배출 채널(6)과 연결될 수 있다. 실린더는 가스 배출 채널(6) 쪽으로 개방되어 있다. 상기 실린더 내부에서 피스톤이 이동되면, 이동 방향에 따라 가스가 가스 배출 채널(6)로 이동하거나, 또는 상기 가스 배출 채널(6)로부터 가스가 이동된다. 상응하게 빠른 이동은 충격 압력을 야기한다. 피스톤의 진동은 필터 재료의 기계적 여기를 야기하고, 그 결과 상기 필터 재료가 탄성적으로 변형된다. 이는 필터 매체(16)의 진동을 야기하는 주기적인 여기에 관련될 수 있다. 필터 매체의 진동을 야기할 수 있는, 필터 매체와의 다른 기계적 연결도 고려될 수 있다.
도 4 내지 도 7은 입자 필터의 제 2 실시예를 도시한다. 스테인리스강으로 이루어진 외부 하우징은 외벽(25), 상기 외벽(25)으로부터 분리될 수 있는 덮개(26) 그리고 가스 배출구(15)를 갖는 바닥 섹션을 갖는다. 상기 덮개(26)에는 콜드 트랩(2)을 형성하는 하우징 섹션이 위치하고, 이때 상기 콜드 트랩에는 CVD 반응기로부터 오는 가스 라인(12)이 연결된다.
직경이 서로 마주 놓이도록 배치된 2개의 고정 클램프(33)에 의해 입자 필터의 하우징은 지지 장치(32)의 지지 암(35)에 고정되어 있다. 상기 고정 클램프(33)들은 탄성적인 고무 버퍼(34)들을 통해서 상기 지지 암(35)에 연결되어 있다. 지지 암(35)은 지지 칼럼(36)에 위치한다. 상기 고무 버퍼(34)들은 입자 분리기 하우징(3)의 수직 이동을 감쇠시킬 수 있다.
입자 분리기 하우징(3)의 상부 섹션은 언급한 콜드 트랩(2)을 형성한다. 콜드 트랩(2)을 형성하는 하우징 섹션 내부에는 냉각 코일(13)이 존재한다. 가스 라인(12)을 통해 콜드 트랩(2) 내부로 유입되는 폐가스는 상기 냉각 코일(13)에 의해 냉각되며, 그 결과 가스 또는 폐가스의 액체가 고체로 응축될 수 있다.
콜드 트랩(2)의 하류 측으로, 상기 콜드 트랩(2) 하부에는 외벽(25)에 의해 둘러싸인 공동이 존재한다. 이러한 공동은 관통 개구들을 갖는 덮개(26)에 의해 상부쪽으로 제한되며, 이때 상기 관통 개구들을 통해 콜드 트랩(2)으로부터 오는 가스는 외벽(26)에 의해 둘러싸인 공동 내부로 유입될 수 있다.
공동(25) 내부에는 단일 필터 카트리지(4) 형태의 입자 분리기가 존재한다. 상기 필터 카트리지(4)의 막은 위에서 자세히 기술되었으므로, 여기서는 위에서 기술한 실시예가 참조된다. 그 밖에 다수의 필터 카트리지가 서로 나란히 배치될 수 있다.
자체 하부 단부에 의해 본체(37)에 고정된 필터 카트리지(4)의 내부에는 해머 장치(7') 형태로 된 매스 가속 장치가 존재한다. 상기 해머 장치(7')는 베이스 플레이트로 형성된 본체(37)에 연결되어 있다. 본체(37)는 재차 3개의 실리콘 벨로우즈(5)에 의해 공동의 바닥부(21)에 연결되어 있다. 상기 실리콘 벨로우즈(5)들은 수직 방향으로 변형될 수 있으며, 그리하여 본체(37) 및 이러한 본체에 고정된 필터 카트리지(4)가 수직 방향으로 이동될 수 있다.
실리콘 벨로우즈(5)들은 가스 배출 라인을 형성하고, 그리고 필터 카트리지(4)의 내부에 유동 연결되어 있다. 상기 실리콘 벨로우즈들은 필터 카트리지(4)의 내부 용적을 바닥부(21) 아래에 놓여 있는 가스 배출 채널(6)에 연결한다. 상기 가스 배출 채널(6)은 가스 배출구(15)에 연결된다.
해머 장치(7')는 원통형 공동(22)을 갖는 원통형 바디를 갖는다. 상기 원통형 공동(22) 내부에는, 공동(22) 내부에서 수직 방향으로 이동 가능한 매스(20')가 존재한다. 본체(37)에 의해 형성된 공동(22)의 하부면(38)은 앤빌을 형성하며, 공기 유입 채널(23)에 의해 매스(20') 내부에 있는 공간으로 공급되는 가스 흐름의 도움으로 매스(20)가 들어 올려지는 경우, 매스(20)는 상기 앤빌 상에 떨어질 수 있다. 공기 유입 채널(23) 내에 배치된 밸브 개방에 의해 공기는 매스(20') 하부에 있는 공동(22)으로부터 누출될 수 있고, 그에 따라 낙하 매스(20')가 아래쪽으로 떨어져 본체(37) 또는 필터 카트리지(4)에 충격을 전달하며, 결과적으로 필터 막의 벽에 부착되는 집합체가 벽에서 분리될 수 있다.
공동(22)은 공기 배출 채널(24)을 갖는 덮개에 의해 상부로 제한되어 있다. 매스(20')가 압축 공기식으로 들어 올려지는 경우, 매스는 상기 덮개에 부딪친다. 따라서 덮개의 하부면(39)도 마찬가지로 앤빌을 형성한다.
필터 카트리지(4)의 캐비티 내부에는 2개의 수직 버팀대를 갖는 지지 프레임(28)이 형성되어 있으며, 상기 2개의 수직 버팀대 사이에서 내부 하우징(29)이 연장된다. 상기 내부 하우징(29) 내부에는 낙하 매스 장치(7')가 형성되어 있는데, 상기 낙하 매스 장치는 여과된 공정 가스로부터 기밀 방식으로 밀폐되어 있다.
상기 지지 프레임(28)의 2개의 수직 버팀대는 크로스 헤드(crosshead)(31)에 의해 서로 연결되어 있다. 상기 크로스 헤드(31)로부터, 스레디드 로드(threaded rod)(30)가 상부로 돌출하고, 상기 스레디드 로드는 덮개판(27)을 지지한다. 도면들에 도시된 실시예에서 매스(20')는 낙하 매스를 형성하고, 해머 장치는 낙하 해머 장치를 형성한다. 그 밖에도 카트리지(4)의 진동을 야기하기 위해 매스(20')의 수직 진동도 야기될 수 있다. 도면에 도시되지 않은 실시예에서, 해머 장치는 수평 방향으로 이동 가능한 매스도 구비할 수 있다.
전술한 실시예들은 본 출원서에서 전체적으로 고려되는 발명들을 설명하는데 사용되며, 상기 발명들은 적어도 하기 특징 조합을 통해 각각 독자적으로 선행 기술을 개선하며, 구체적으로 말하면 다음과 같다:
폐가스 흐름 내에 존재하는 입자가 상기 필터 매체(16)의 표면에 부착되지만, 그러나 상기 필터 매체(16) 내로는 침투하지 않으며, 그리고 입자가 상기 필터 매체(16) 밖에서 집합체로 계속 성장하도록 상기 필터 매체(16)의 표면 특성 및 기공 크기가 선택되고, 이 경우 또한 상기 집합체의 기계적으로 분리를 통해 상기 입자 필터(4)를 청소하기 위한 수단들이 제공된 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 필터 매체(16)가 종이, 플라스틱 또는 중합체 직물이고, 그리고/또는 상기 필터 매체(16)가 코팅된, 특히 테플론으로 코팅된 것을 특징으로 하는, 장치.
기공 크기가 1 내지 50㎛, 바람직하게는 5 내지 20㎛의 범위에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 수단들이 매스 가속 장치(7, 7')를 포함하고, 상기 매스 가속 장치에 의해 입자 필터(4)가 이동할 수 있으며, 이 경우 상기 매스 가속 장치가 특히 평형추(20)를 구비한 진동 장치(7) 또는 앤빌(38, 39)에 부딪치는 매스(20')를 구비한 해머 장치(7')인 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 수단들이 상기 입자 필터(4)의 필터 매체(16)를 탄성적으로 변형시킬 수 있거나, 또는 상기 수단들이 특히 상기 필터 매체(16)의 하류면에서 충격 압력을 발생시킬 수 있는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 입자 필터(4)가 탄성적으로 지지되는 하나 또는 다수의 필터 카트리지를 구비하고, 상기 필터 카트리지들은 수직 방향으로 연장되며, 이 경우 특히, 상기 적어도 하나의 필터 카트리지의 하부면이 탄성 베어링 부재(5)에 의해 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있고, 그리고 특히 바람직하게 자유 진동할 수 있는 상기 적어도 하나의 필터 카트리지의 상부면에 진동 장치(7)가 배치되어 있거나, 또는 바람직하게 상기 필터 카트리지(4) 내부에 매스(20')를 구비한 해머 장치가 제공되어 있으며, 상기 매스는 필터 카트리지에 바람직하게 수직 방향으로 충격 접촉하는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 적어도 하나의 필터 카트리지가 수직 방향으로 연장되고, 상기 매스 가속 장치(7, 7')가 상기 필터 카트리지(4)에 단단히 고정된 것을 특징으로 하는, 장치.
본체(37)가 탄성적 베어링 부재(5)에 의해 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있고, 상기 적어도 하나의 필터 카트리지(4) 및 해머 장치(7')를 지지하며, 이 경우 상기 해머 장치(7')가 바람직하게 상기 필터 카트리지(4) 내부에 배치된 것을 특징으로 하는, 장치.
낙하 해머 장치(7')로 형성된 매스 가속 장치(7, 7')가 공동(22)을 갖고, 상기 공동 내에 수직 방향으로 이동 가능한 매스(20')가 존재하며, 그리고 상기 공동(22)의 바닥부(38)에 의해 형성된 앤빌에 낙하하거나 상기 공동(22)의 덮개(39)에 부딪히며, 그리고 입자 필터(4)에 충격을 전달하기 위해, 상기 매스(20')가 특히 공기 압축식으로 들어 올려지는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 진동 장치(7)가 전기 모터(19)를 포함하고, 상기 전기 모터는 회전축에 대해 편심으로 배치된 평형추(20)들의 회전을 야기하며, 그리고/또는 상기 진동 장치(7)가 초음파 여진기를 포함하고, 그리고/또는 다수의, 특히 서로 평행하게 배치된 필터 카트리지(4)가 단일 진동 장치(7)에 의해 진동이 야기되며, 이 경우 상기 진동 장치(7)는 특히 다수의 필터 카트리지(4)의 상부면을 서로 연결하며, 그리고/또는 상기 필터 카트리지(4)가 중공 실린더에 의해 형성되어 있으며, 상기 중공 실린더의 벽은 상기 필터 매체(16)에 의해 형성된 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 필터 카트리지(4)의 축 방향으로 연장되는 벤딩 라인(17, 18)들에 의해 상기 필터 매체(16)에 주름이 잡혀 있는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 필터 카트리지(4)의 하단부(foot)가 적어도 하나의 실리콘 벨로우즈(5)에 의해 형성되어 있으며, 상기 실리콘 벨로우즈를 통해 여과된 가스 흐름이 상기 필터 카트리지(4)로부터 배출되고, 그리고 상기 입자 분리기 하우징(6)을 마주보고 상기 필터 카트리지(4)의 수직 이동을 가능하게 하며, 그리고/또는 다수의, 특히 서로 평행하게 배치된 3개의 필터 카트리지(4)가 각각 실리콘 벨로우즈에 의해 상기 실리콘 벨로우즈(5) 둘레에서 진자식 진동을 실시할 수 있도록 상기 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있으며, 그리고/또는 상기 입자 필터(4)가 상기 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부에 고정되어 있으며, 이 경우 상기 바닥부는 집합체용 수집면을 형성하는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 수단들이 상기 필터 매체(16)의 하류면에서 상류 가스 압력보다 큰 가스 압력을 형성할 수 있고, 그리고/또는 상기 필터 매체(16)에 의해 폐가스 흐름에 반대 방향으로 가스 흐름을 발생시킬 수 있으며, 그리고/또는 상기 수단들이 필터 재료의 탄성적 변형을 야기하기 위해 기계적 여기 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 장치.
상기 입자 필터(4)의 필터 매체(16)의 표면에서 형성되는, 폐가스 흐름 내에 포함된 입자의 집합체가 상기 필터 매체로부터 떨어지도록, 상기 입자 필터(4) 및/또는 상기 필터 매체(16)가 특히 매스 가속 장치(7, 7')에 의해 또는 보충되는 가스 공급에 의해 이동이 야기될 수 있고, 특히 상기 입자 분리기 하우징(3)과 마주보고 진동이 야기될 수 있으며, 결과적으로 상기 집합체가 상기 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부(21) 영역에 축적되며, 이 경우 상기 집합체의 크기는 밀리미터 범위에 놓여 있으며, 특히 상기 집합체의 평균 지름이 0.5 내지 5㎜ 범위에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 장치의 용도.
공개된 모든 특징들은 (그 자체로, 또한 상호 조합으로도) 본 발명에 중요하다. 따라서 관련된/첨부된 우선권 서류(예비 출원서의 사본)의 특징들을 본 출원서의 청구범위에 수용하기 위해서도 상기 우선권 서류의 공개 내용은 전체 내용적으로 본 공개 출원서에 포함된다. 종속항들의 특징들은, 특히 상기 청구항들을 기본으로 한 부분 출원을 수행하기 위해 선행 기술의 독자적 발명 개선예들을 특징으로 한다.
1: CVD 반응기
2: 콜드 트랩
3: 입자 분리기 하우징
4: 필터 카트리지
5: 실리콘 벨로우즈
6: 가스 배출 채널
7: 진동 장치 7': 해머 장치
8: 공정 챔버
9: 서셉터
10: 가스 배출 부재
11: 가스 유입 부재
12: 가스 라인
13: 냉각 코일
14: 하우징
15: 가스 배출구
16: 필터 매체
17: 벤딩 라인
18: 벤딩 라인
19: 전기 모터
20: 평형추 20': 매스
21: 바닥부
22: 공동
23: 공기 유입 채널
24: 공기 배출 채널
25: 외부벽, 공동
26: 덮개
27: 덮개
28: 지지 프레임
29: 내부 하우징
30: 스레디드 로드
31: 크로스 헤드
32: 지지 장치
33: 고정 클램프
34: 고무 버퍼
35: 지지 암
36: 지지 칼럼
37: 본체
38: 앤빌
39: 앤빌

Claims (21)

  1. 공정 가스를 공정 챔버(8) 내로 유입시키기 위한 가스 유입 부재(11) 및 상기 공정 챔버(8)로부터 나온 폐가스 흐름을, 공정 가스 반응 시 형성되는, 상기 폐가스 흐름의 입자를 필터링하기 위한, 입자 분리기 하우징(3) 내에 배치된 그리고 다공성 필터 매체(16)를 갖는 입자 필터(4)로 배출시키기 위한 가스 배출 부재(10)를 구비한, 반응기 하우징(1)의 공정 챔버(8) 내에서 기판들을 코팅하기 위한 장치로서,
    폐가스 흐름 내에 존재하는 입자가 상기 필터 매체(16)의 표면에 부착되지만, 그러나 상기 필터 매체(16) 내로는 침투하지 않으며, 그리고 상기 입자 필터(4)는, 입자가 상기 필터 매체(16) 밖에서 집합체로 계속 성장하도록 선택되는 표면 특성 및 기공 크기를 가지는 상기 필터 매체(16)를 포함하고, 또한 상기 집합체의 기계적인 분리를 통해 상기 입자 필터(4)를 청소하기 위한 매스 가속 장치가 제공되고,
    적어도 하나의 입자 필터(4)는 필터 카트리지를 포함하며, 필터 카트리지의 하부면이 탄성적 베어링 부재(bearing element)(5)에 의해 상기 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있고, 그리고 자유 진동할 수 있는, 상기 적어도 하나의 필터 카트리지의 상부면에 진동 장치(7)가 배치되어 있으며, 상기 진동 장치에 의해 상기 입자 필터(4)는 상기 입자 분리기 하우징(3)을 마주보고 진동이 야기될 수 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  2. 공정 가스를 공정 챔버(8) 내로 유입시키기 위한 가스 유입 부재(11) 및 상기 공정 챔버(8)로부터 나온 폐가스 흐름을, 공정 가스 반응 시 형성되는, 상기 폐가스 흐름의 입자를 필터링하기 위한, 입자 분리기 하우징(3) 내에 배치된 그리고 다공성 필터 매체(16)를 갖는 입자 필터(4)로 배출시키기 위한 가스 배출 부재(10)를 구비한, 반응기 하우징(1)의 공정 챔버(8) 내에서 기판들을 코팅하기 위한 장치로서,
    폐가스 흐름 내에 존재하는 입자가 상기 필터 매체(16)의 표면에 부착되지만, 그러나 상기 필터 매체(16) 내로는 침투하지 않으며, 그리고 상기 입자 필터(4)는, 입자가 상기 필터 매체(16) 밖에서 집합체로 계속 성장하도록 선택되는 표면 특성 및 기공 크기를 가지는 상기 필터 매체(16)를 포함하고, 또한 상기 집합체의 기계적인 분리를 통해 상기 입자 필터(4)를 청소하기 위한 매스 가속 장치가 제공되고,
    적어도 하나의 입자 필터(4)가 필터 카트리지에 의해 형성되어 있으며, 상기 매스 가속 장치는 수직 방향으로 상기 필터 카트리지에 충격 접촉하는 매스(20')를 구비한 해머 장치인 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 필터 매체(16)가 종이, 플라스틱 또는 중합체 직물(polymer fabric)인 것,
    상기 필터 매체(16)가 코팅된 것, 및
    상기 필터 매체(16)가 테플론(teflon)으로 코팅된 것 중 적어도 하나를 특징으로 하는, 코팅 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기공 크기가 1 내지 50㎛ 또는 5 내지 20㎛의 범위에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 매스 가속 장치(7)는 평형추(balance weight/centrifugal mass)(20)에 의해 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 매스(20')는 앤빌(envil)(38, 39)에 부딪치는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    탄성적으로 지지된 상기 적어도 하나의 필터 카트리지가 수직 방향으로의 범위(extension)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 필터 카트리지의 하부면이 탄성적 베어링 부재(5)에 의해 상기 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 매스 가속 장치(7, 7')가 상기 필터 카트리지에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 필터 카트리지가 수직 방향으로의 범위를 포함하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    본체(37)가 상기 탄성적 베어링 부재(5)에 의해 상기 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있고, 상기 적어도 하나의 필터 카트리지 및 상기 매스 가속 장치(7')를 지지하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상기 매스 가속 장치(7')는 상기 필터 카트리지의 내부에 배치된 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  13. 제 2 항에 있어서,
    낙하 해머 장치(7')로 형성된 해머 장치(7')가 공동(22)을 갖고, 상기 공동 내에 수직 방향으로 이동 가능한 매스(20')가 존재하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 공동(22)의 바닥부(38)에 의해 형성된 앤빌에 낙하하거나 상기 공동(22)의 덮개(39)에 부딪치고, 그리고 상기 입자 필터(4)에 충격을 전달하기 위해, 상기 매스(20')가 공기 압축식으로 들어 올려지는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동 장치(7)가 전기 모터(19)를 포함하고, 상기 전기 모터는 회전축에 대해 편심으로 배치된 평형추(20)들의 회전을 야기하고, 그리고/또는 상기 진동 장치(7)가 초음파 여진기를 포함하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    다수의 서로 평행하게 배치된 필터 카트리지가 단일 진동 장치(7)에 의해 진동이 야기되며, 상기 진동 장치(7)는 다수의 필터 카트리지의 상부면들을 서로 단단히 연결하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  17. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 필터 카트리지가 중공 실린더에 의해 형성되어 있고, 상기 중공 실린더의 벽은 상기 필터 매체(16)에 의해 형성되어 있으며, 상기 필터 카트리지의 축 방향으로 연장되는 벤딩 라인(bending line)(17, 18)들에 의해 상기 필터 매체(16)에 주름이 잡혀 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 카트리지의 하단부(foot)가 적어도 하나의 실리콘 벨로우즈(5)에 의해 형성되어 있으며, 상기 실리콘 벨로우즈를 통해 여과된 가스 흐름이 상기 필터 카트리지로부터 배출되고, 그리고 상기 실리콘 벨로우즈는 상기 입자 분리기 하우징(3)을 마주보고 상기 필터 카트리지의 수직 이동을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    다수의 서로 평행하게 배치된 필터 카트리지가 각각 실리콘 벨로우즈에 의해, 상기 실리콘 벨로우즈(5) 둘레에서 진자식 진동을 실시할 수 있도록 상기 입자 분리기 하우징(3)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  20. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 입자 필터(4)가 상기 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부에 고정되어 있으며, 상기 바닥부는 집합체용 수집면을 형성하는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치.
  21. 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 코팅 장치를 사용하는 방법에 있어서,
    상기 입자 필터(4)의 필터 매체(16)의 표면에서 형성되는, 폐가스 흐름 내에 포함된 입자의 집합체가 상기 필터 매체(16)로부터 떨어지도록, 상기 입자 필터(4)가 매스 가속 장치(7, 7')에 의해 상기 입자 분리기 하우징(3)을 마주보고 이동이 야기될 수 있고, 결과적으로 상기 집합체가 상기 입자 분리기 하우징(3)의 바닥부(21) 영역에 축적되며, 상기 집합체의 평균 지름이 0.5 내지 5㎜ 범위에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 코팅 장치를 사용하는 방법.
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