KR102243487B1 - X-ray inspection apparatus having vibration reduction member of surpport plate for object to be inspected - Google Patents

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Abstract

스테이지의 지지 플레이트에 피검사체를 안착하고 X선 튜브로부터 방사되어 피검사체를 투과한 X선을 수신하여 검사 영상을 획득하는 X선 검사장치가 개시된다. 개시된 X선 검사장치는 상기 스테이지에 결합된 브라켓; 및 상기 브라켓에 설치되어 상기 지지 플레이트를 지지하는 다수의 진동저감부재;를 포함하며, 상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브에 인접하게 배치된다.Disclosed is an X-ray inspection apparatus for acquiring an inspection image by seating an object on a support plate of a stage and receiving X-rays radiated from an X-ray tube and transmitted through the object. The disclosed X-ray inspection apparatus includes a bracket coupled to the stage; And a plurality of vibration reducing members installed on the bracket and supporting the support plate, wherein the plurality of vibration reducing members are disposed adjacent to the X-ray tube.

Description

피검사체 지지 플레이트의 진동저감부재를 구비한 X선 검사장치{X-RAY INSPECTION APPARATUS HAVING VIBRATION REDUCTION MEMBER OF SURPPORT PLATE FOR OBJECT TO BE INSPECTED} X-ray inspection device equipped with a vibration reducing member of the test object support plate {X-RAY INSPECTION APPARATUS HAVING VIBRATION REDUCTION MEMBER OF SURPPORT PLATE FOR OBJECT TO BE INSPECTED}

본 발명은 X선 검사장치에 관한 것으로, 특히 피검사체가 안착되는 지지 플레이트로 전달된 진동을 효과적으로 흡수할 수 있는 피검사체 지지 플레이트용 진동저감부재를 구비한 X선 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray inspection apparatus, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus having a vibration reducing member for a support plate to be tested capable of effectively absorbing the vibration transmitted to the support plate on which the test object is seated.

X선(X-Ray)은 파장이 원자크기 정도로 작아서 결정마다 고유한 회절 무늬를 형성하며, 에너지가 크기 때문에 물질에 대한 형광 작용이 강하고 물질을 쉽게 투과할 수 있으며 물질을 이온화시키는 특징이 있다. 이러한 X선은 투과 시에는 물질의 밀도나 원자에 따라 투과율이 달라져 형광체에 충돌하는 에너지가 상이해 진다.X-ray has a characteristic of forming a unique diffraction pattern for each crystal because its wavelength is as small as an atomic size, and because of its high energy, it has a strong fluorescence effect on a substance, can easily pass through the substance, and ionizes the substance. When such X-rays are transmitted, the transmittance of the X-rays varies depending on the density of the substance or the atoms, so that the energy impinging on the phosphor is different.

이 원리를 이용한 X선 검사장치는 생체 내부를 촬영하는 의료용 X선 검사장치와 일반 산업분야에 활용되는 비파괴 검사를 위한 산업용 X선 검사장치 등으로 구분될 수 있다.The X-ray inspection apparatus using this principle can be divided into a medical X-ray inspection apparatus for photographing the inside of a living body and an industrial X-ray inspection apparatus for non-destructive inspection used in general industrial fields.

특히, 산업용 X선 검사장치는 반도체 칩이나 BGA(Ball Grid Array)와 같이 초소형의 피검사체를 촬영하므로 의료용 X선 검사장치에 비해 현저히 높은 해상도를 갖는 영상을 획득할 수 있도록 구성된다.In particular, the industrial X-ray inspection apparatus is configured to obtain an image having a significantly higher resolution than a medical X-ray inspection apparatus because it photographs a microscopic object such as a semiconductor chip or a ball grid array (BGA).

그런데 산업용 X선 검사장치에 전달되거나 자체적으로 발생하는 진동은 고해상도 영상을 획득하지 못하게 방해하는 요인으로 작용하고 있다. However, vibration transmitted to the industrial X-ray inspection apparatus or generated by itself acts as a factor that prevents obtaining high-resolution images.

종래의 산업용 X선 검사장치는 이러한 진동을 저감하기 위해 고가의 진동저감장치를 구비함에 따라 산업용 X선 검사장치의 제작 단가를 상승시키는 문제가 있었다.The conventional industrial X-ray inspection apparatus has a problem of increasing the manufacturing cost of the industrial X-ray inspection apparatus as it is equipped with an expensive vibration reduction apparatus in order to reduce such vibrations.

한편, X선 촬영을 위해 피검사체가 안착되는 지지 플레이트는 X선 투과율이 높은 재질로 제작되며, 두께가 얇을수록 X선 투과율이 높아 고해상도의 영상을 획득할 수 있다.Meanwhile, the support plate on which the object to be tested is mounted for X-ray imaging is made of a material having a high X-ray transmittance, and the thinner the thickness, the higher the X-ray transmittance, so that a high-resolution image can be obtained.

따라서, 종래의 X선 검사장치는 스테이지에 구비된 지지 플레이트의 두께를 얇게 제작하되 진동에 의해 촬영이 가능한 정도를 함께 고려하여 약 1.5㎜의 얇은 두께를 갖도록 제작하고 있다.Accordingly, the conventional X-ray inspection apparatus is manufactured to have a thin thickness of about 1.5 mm in consideration of the extent to which photographing is possible due to vibrations, although the thickness of the support plate provided on the stage is made thin.

하지만, 고가의 진동저감장치를 구비하더라도, 얇은 두께를 가지는 지지 플레이트는 자체적으로 발생하거나 주변 구조물로부터 전달된 진동이 신속하게 소멸되지 않고 일정한 시간동안 진동이 지속되었고, 이로 인해 지지 플레이트에서의 진동이 촬영 가능한 정도로 저감될 때까지 기다려야 하므로 X선 검사 시간이 현저히 증가하게 되는 문제가 있었다.However, even with an expensive vibration reduction device, the support plate having a thin thickness did not generate itself or the vibration transmitted from the surrounding structure did not disappear quickly, and the vibration continued for a certain period of time, and as a result, the vibration from the support plate was prevented. There is a problem in that the X-ray examination time is significantly increased because it is necessary to wait until it is reduced to the extent that can be taken.

본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위한 것으로, 심플한 구조로 이루어지고 지지 플레이트에서 발생하는 진동을 신속하게 흡수할 수 있는 피검사체 지지 플레이트의 진동저감부재를 구비한 X선 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, and is made of a simple structure and provides an X-ray inspection apparatus having a vibration reducing member of the support plate to be tested capable of quickly absorbing the vibration generated from the support plate. have.

상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 스테이지의 지지 플레이트에 피검사체를 안착하고 X선 튜브로부터 방사되어 피검사체를 투과한 X선을 수신하여 검사 영상을 획득하는 X선 검사장치에 있어서, 상기 스테이지에 결합된 브라켓; 및 상기 브라켓에 설치되어 상기 지지 플레이트를 지지하는 다수의 진동저감부재;를 포함하며, 상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브에 인접하게 배치된 것을 특징으로 하는 X선 검사장치를 제공한다.In order to solve the above problem, the present invention is an X-ray inspection apparatus for acquiring an inspection image by mounting an object to be tested on a support plate of a stage and receiving X-rays radiated from an X-ray tube and transmitted through the object, the stage A bracket coupled to the; And a plurality of vibration reducing members installed on the bracket and supporting the support plate, wherein the plurality of vibration reducing members are disposed adjacent to the X-ray tube.

상기 다수의 진동저감부재는 일부분이 상기 브라켓에 비접촉되고, 나머지 부분이 상기 브라켓에 접촉 상태로 고정될 수 있다.A portion of the plurality of vibration reducing members may be fixed in contact with the bracket, while a portion of the plurality of vibration reducing members are not in contact with the bracket.

상기 다수의 진동저감부재는 일부분이 상기 지지 플레이트를 지지하는 지점일 수 있다.A portion of the plurality of vibration reducing members may be points supporting the support plate.

상기 다수의 진동저감부재의 일부분에는 조립구멍이 형성되고, 상기 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔와, 일단이 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 코일 스프링과, 상기 코일 스프링의 타단이 지지되는 진동흡수체가 순차적으로 배치될 수 있다.An assembly hole is formed in a portion of the plurality of vibration reducing members, and a ball support tool for supporting the support plate in point contact with the assembly hole, a resin washer for supporting the ball support, and one end of the resin washer elastically A coil spring supporting and a vibration absorber supporting the other end of the coil spring may be sequentially disposed.

상기 진동흡수체의 상하면에는 각각 상부 와셔와 하부 와셔가 배치되고, 상기 하부 와셔는 상기 진동저감부재의 일부분에 나사 결합되는 다수의 탄성조절볼트에 의해 지지될 수 있다.Upper and lower washers are disposed on the upper and lower surfaces of the vibration absorber, respectively, and the lower washer may be supported by a plurality of elastic adjustment bolts screwed to a portion of the vibration reducing member.

각 진동저감부재는 조립구멍에 나사 체결되어 상기 진동흡수체를 지지하는 탄성조절부재를 더 포함할 수 있다.Each vibration reducing member may further include an elastic adjusting member that is screwed into the assembly hole to support the vibration absorber.

상기 진동흡수체는 우레탄 또는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.The vibration absorber may be made of urethane or silicone.

상기 다수의 진동저감부재의 일부분에는 조립구멍이 형성되고, 상기 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔와, 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 유압식 쇼크 업소버가 순차적으로 배치될 수 있다.An assembly hole is formed in a portion of the plurality of vibration reducing members, and a ball support tool for supporting the support plate in point contact with the assembly hole, a resin washer for supporting the ball support, and a resin washer for elastically supporting the resin washer. Hydraulic shock absorbers can be arranged sequentially.

상기 유압식 쇼크 업소버는 상기 조립구멍에서 정회전 및 역회전 가능하도록 나사 체결될 수 있다.The hydraulic shock absorber may be screwed to enable forward rotation and reverse rotation in the assembly hole.

상기 다수의 진동저감부재의 일부분에는 조립구멍이 형성되고, 상기 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔와, 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 우레탄 스프링과, 상기 우레탄 스프링을 지지하는 하부 와셔가 순차적으로 배치되며, 상기 하부 와셔는 상기 진동저감부재의 일부분에 나사 결합되는 다수의 탄성조절볼트에 의해 지지될 수 있다.An assembly hole is formed in a portion of the plurality of vibration reducing members, and a ball support tool for supporting the support plate in point contact with the assembly hole, a resin washer for supporting the ball support, and a resin washer for elastically supporting the resin washer. A urethane spring and a lower washer supporting the urethane spring are sequentially disposed, and the lower washer may be supported by a plurality of elastic adjustment bolts screwed to a part of the vibration reducing member.

상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브에 간섭되지 않는 범위 내에서 상기 X선 튜브의 중심으로부터 가장 가깝게 배치될 수 있다.The plurality of vibration reducing members may be disposed closest to the center of the X-ray tube within a range that does not interfere with the X-ray tube.

상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브와 동심인 가상의 원주 상에 배치되거나 상기 가상의 원주에 인접하게 배치될 수 있다.The plurality of vibration reducing members may be disposed on a virtual circumference concentric with the X-ray tube or may be disposed adjacent to the imaginary circumference.

상기한 바와 같이 본 발명에 있어서는, 심플한 구조의 진동흡수부재를 적용함에 따라 제작 비용을 크게 절감할 수 있고, 진동흡수부재가 지지 플레이트를 직접 지지하면서 지지 플레이트의 진동을 신속하게 흡수함에 따라 X선 검사 시간을 현저히 단축시킬 수 있는 이점이 있다. 또한, 본 발명은 얇은 지지 플레이트를 적용함에 따라 종래에 비해 배율을 키울 수 있어 영상 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, in the present invention, as the vibration absorbing member of a simple structure is applied, the manufacturing cost can be greatly reduced, and the vibration absorbing member directly supports the support plate and quickly absorbs the vibration of the support plate. There is an advantage that can significantly shorten the inspection time. In addition, according to the present invention, as the thin support plate is applied, the magnification can be increased compared to the prior art, thereby improving image quality.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동저감부재가 구비된 X선 검사장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 X선 튜브, 진동저감부재 및 스테이지를 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 지지 플레이트를 제거한 상태에서 스테이지의 브라켓에 배치된 진동저감부재를 나타낸 평면도이다.
도 4는 진동저감부재의 내부를 나타낸 단면도이다.
도 5는 진동저감부재의 설치 유무에 따라 달라지는 지지 플레이트에 발생하는 진동 특성을 보여주는 그래프이다.
도 6은 진동저감부재의 진동흡수체를 금속 와셔로 대체 시 지지 플레이트에 발생하는 진동 특성을 보여주는 그래프이다.
도 7 내지 도 9는 진동저감부재의 다양한 실시예를 나타낸 단면도들이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동저감부재가 구비된 X선 검사장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic diagram showing an X-ray inspection apparatus equipped with a vibration reducing member according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view showing an X-ray tube, a vibration reducing member, and a stage.
3 is a plan view showing a vibration reducing member disposed on a bracket of a stage with the support plate removed.
4 is a cross-sectional view showing the inside of the vibration reducing member.
5 is a graph showing vibration characteristics generated in a support plate that vary depending on whether or not a vibration reducing member is installed.
6 is a graph showing vibration characteristics generated in the support plate when the vibration absorber of the vibration reducing member is replaced with a metal washer.
7 to 9 are cross-sectional views illustrating various embodiments of a vibration reducing member.
10 is a schematic diagram showing an X-ray inspection apparatus equipped with a vibration reducing member according to another embodiment of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be abbreviated or omitted.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 피검사체 지지 플레이트용 진동저감부재를 구비한 X선 검사장치를 설명한다.Hereinafter, an X-ray inspection apparatus including a vibration reducing member for an object support plate according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동저감부재가 구비된 X선 검사장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 2는 X선 튜브, 진동저감부재 및 스테이지를 나타낸 분해사시도이다.1 is a schematic diagram showing an X-ray inspection apparatus equipped with a vibration reducing member according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing an X-ray tube, a vibration reducing member, and a stage.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치(1)는 X선 튜브(10)와, X선 튜브(10)로부터 방사되는 X선에 피검사체를 노출시킬 수 있도록 피검사체를 지지하는 스테이지(20)와, 피검사체를 투과한 X선을 수용하기 위한 디텍터(30)와, 스테이지(20)에 구비된 지지 플레이트(25)의 진동을 흡수하기 위한 진동저감부재(40)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes an X-ray tube 10 and an X-ray tube 10 to expose the test object to X-rays radiated from the X-ray tube 10. A supporting stage 20, a detector 30 for receiving X-rays transmitted through an object under test, and a vibration reducing member 40 for absorbing the vibration of the support plate 25 provided in the stage 20 are provided. Can include.

X선 튜브(10)는 베이스(2)에 고정 설치되며, 스테이지(20)의 지지 플레이트(25)를 향해 X선을 방사하도록 스테이지(20)의 하측에 위치한다.The X-ray tube 10 is fixedly installed on the base 2 and is positioned under the stage 20 to radiate X-rays toward the support plate 25 of the stage 20.

본 발명의 X선 검사장치(1)에서 적용하는 X선 튜브(10)는 개방형으로서, 폐쇄형과 달리 진공 상태를 임의로 만들어낼 수 있으므로 일회용으로 공급되는 소모품인 필라멘트나 타깃을 교환할 수 있다.The X-ray tube 10 applied in the X-ray inspection apparatus 1 of the present invention is an open type, and unlike a closed type, a vacuum state can be arbitrarily created, so that a filament or a target, which is a consumable supplied for a single use, can be replaced.

스테이지(20)는 고정부(21)와, 직선 방향으로 이동하는 제1 가동부(22)와, 제1 가동부(22)의 이동 방향에 대하여 직각 방향을 따라 이동하는 제2 가동부(23)와, 제2 가동부(23)에 결합된 지지 플레이트(25)를 포함할 수 있다.The stage 20 includes a fixed part 21, a first movable part 22 moving in a linear direction, a second movable part 23 moving along a direction perpendicular to the moving direction of the first movable part 22, It may include a support plate 25 coupled to the second movable portion 23.

이 경우, 제1 가동부(22)는 X축 방향을 따라 이동하고 제2 가동부(23)는 Y축 방향을 따라 이동한다.In this case, the first movable part 22 moves along the X-axis direction and the second movable part 23 moves along the Y-axis direction.

제1 가동부(22)는 고정부(21)에 직선 방향으로 슬라이딩 가능하게 배치될 수 있다. 제2 가동부(23)는 제1 가동부(22)의 상면에 슬라이딩 가능하게 배치될 수 있다. 이에 따라 제1 및 제2 가동부(22,23)는 상호 간격을 두고 적층된 상태로 배치될 수 있다.The first movable part 22 may be slidably disposed on the fixed part 21 in a linear direction. The second movable part 23 may be slidably disposed on the upper surface of the first movable part 22. Accordingly, the first and second movable parts 22 and 23 may be disposed in a stacked state at intervals from each other.

제1 및 제2 가동부(22,23)는 이동 시 X선 튜브(10)와 간섭되지 않도록 구성된다. 이 경우, X선 튜브(10)는 제1 및 제2 가동부(22,23)를 관통하는 상태로 수직으로 배치될 수 있다.The first and second movable parts 22 and 23 are configured not to interfere with the X-ray tube 10 during movement. In this case, the X-ray tube 10 may be vertically disposed while penetrating the first and second movable parts 22 and 23.

도 2를 참조하면, 피검사체를 안착하기 위한 지지 플레이트(25)는 제2 가동부(23)에 결합되며 제2 가동부(23)와 함께 이동할 수 있다.Referring to FIG. 2, a support plate 25 for seating an object to be tested is coupled to the second movable part 23 and can move together with the second movable part 23.

지지 플레이트(25)는 제1 및 제2 가동부(22,23)에 의해 X축 및 Y축 방향을 따라 이동된다. 이에 따라 지지 플레이트(25)에 안착된 피검사체는 X축 및 Y축 방향을 따라 임의의 위치로 이동할 수 있다.The support plate 25 is moved along the X-axis and Y-axis directions by the first and second movable parts 22 and 23. Accordingly, the test subject seated on the support plate 25 can be moved to an arbitrary position along the X-axis and Y-axis directions.

도 2를 참조하면, 지지 플레이트(25)는 저면이 진동저감부재(40)에 의해 탄성적으로 지지될 수 있다. 지지 플레이트(25) X선이 투과할 수 있는 카본 플레이트나 울템(Ultem) 플레이트로 이루어질 수 있으며, 본 발명에 따른 진동저감부재(40)에 의해 지지되는 경우 두께를 기존의 1.5㎜에서 1㎜로 줄일 수 있다. 이 경우, 본 발명은 기존에 비해 약 1.25배의 배율 향상(최대 160배에서 200배로 향상) 효과를 얻을 수 있으며 X선의 투과력 상승으로 인한 우수한 품질의 영상을 획득할 수 있다.Referring to FIG. 2, the bottom surface of the support plate 25 may be elastically supported by the vibration reducing member 40. The support plate 25 may be made of a carbon plate or an Ultem plate through which X-rays can pass, and when supported by the vibration reducing member 40 according to the present invention, the thickness is increased from 1.5 mm to 1 mm. Can be reduced. In this case, the present invention can obtain an effect of about 1.25 times of magnification improvement (up to 160 times to 200 times) than the conventional one, and an image of excellent quality due to an increase in transmittance of X-rays can be obtained.

디텍터(30)는 눈에 보이지 않는 X선을 눈으로 볼 수 있는 가시광선으로 변환한 뒤 이를 다시 전기신호로 변환하는 방식의 센서 장치로서, X선을 전기적 신호로 만들어 내는 일종의 포토 센서 역할을 하며 X선이 투시한 물체의 밀도 차를 흑백의 영상으로 표현해 준다.The detector 30 is a sensor device of a method of converting invisible X-rays into visible light that can be seen by the eye and then converting it back to an electrical signal, and serves as a kind of photo sensor that generates X-rays into electrical signals. The difference in density of the object through X-rays is expressed in a black and white image.

디텍터(30)는 지지 플레이트(25)의 상측에 간격을 두고 배치되며 피검사체를 투과한 X선을 검출한다. The detector 30 is disposed on the upper side of the support plate 25 at intervals and detects X-rays transmitted through the test object.

이하, 지지 플레이트(25)의 진동을 흡수하기 위한 진동저감부재(40)의 구조를 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.Hereinafter, the structure of the vibration reducing member 40 for absorbing the vibration of the support plate 25 will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 지지 플레이트를 제거한 상태에서 스테이지의 브라켓에 배치된 진동저감부재를 나타낸 평면도이고, 도 4는 진동저감부재의 내부를 나타낸 단면도이다. 3 is a plan view showing a vibration reducing member disposed on a bracket of a stage with the support plate removed, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing the inside of the vibration reducing member.

도 3을 참조하면, 본 발명의 진동저감부재(40)는 지지 플레이트(25)의 저면을 지지하도록 제2 가동부(22)에 결합된 브라켓(27)에 고정 설치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the vibration reducing member 40 of the present invention may be fixedly installed on the bracket 27 coupled to the second movable part 22 to support the bottom surface of the support plate 25.

이 경우, 진동저감부재(40)는 다수(적어도 4개)가 사용될 수 있으며 진동 흡수 효율을 극대화하기 위해 X선 튜브(10)와 간섭되지 않는 위치에 배치하되 X선 튜브(10)의 중심에 최대한 인접하게 배열하는 것이 바람직하다.In this case, a plurality of vibration reducing members 40 (at least 4) may be used, and in order to maximize vibration absorption efficiency, the vibration reducing member 40 is disposed in a position not interfering with the X-ray tube 10, but at the center of the X-ray tube 10. It is desirable to arrange them as closely as possible.

다수의 진동저감부재(40)는 모두 동일한 구조로 이루어지며, 바람직하게는 지지 플레이트(25)와 직접 접촉되는 지점(후술하는 볼 지지구(49))이 X선 튜브(10)에 인접하게 배치될 수 있다. A plurality of vibration reducing members 40 are all made of the same structure, preferably a point in direct contact with the support plate 25 (ball support member 49 to be described later) is disposed adjacent to the X-ray tube 10 Can be.

도 4를 참조하면, 진동저감부재(40)는 후부(rear portion)가 다수의 고정볼트(51,52)에 의해 브라켓(27)에 안정적으로 고정 결합되는 몸체(40a)를 구비할 수 있다. Referring to FIG. 4, the vibration reducing member 40 may include a body 40a in which a rear portion is stably fixedly coupled to the bracket 27 by a plurality of fixing bolts 51 and 52.

이 경우 몸체(40a)의 후부에는 다수의 고정볼트(51,52)가 삽입되는 다수의 삽입구멍(42a,42b)이 형성되고, 브라켓(27)에는 다수의 고정볼트(51,52)가 나사 체결되는 다수의 체결홈(27a,27b)이 형성될 수 있다.In this case, a plurality of insertion holes 42a and 42b into which a plurality of fixing bolts 51 and 52 are inserted are formed at the rear of the body 40a, and a plurality of fixing bolts 51 and 52 are screwed in the bracket 27 A plurality of fastening grooves 27a and 27b to be fastened may be formed.

몸체(40a)는 후부가 브라켓(27)에 고정된 상태에서 전부(fornt portion)가 브라켓(27)에 비접촉 상태로 유지된다. 이러한 구조를 통해 사용자는 진동저감부재(40)의 탄성력을 조절하기 위한 다수의 탄성조절볼트(61,62)로 접근이 용이해진다.The body 40a is maintained in a state in which the fornt portion is in a non-contact state with the bracket 27 while the rear portion is fixed to the bracket 27. Through this structure, the user can easily access a plurality of elastic adjustment bolts 61 and 62 for adjusting the elastic force of the vibration reducing member 40.

다수의 탄성조절볼트(61,62)는 각각의 헤드(61a,62a)가 조립구멍(41a) 내에 배치된 다수의 구성들이 진동저감부재(40)의 하부 개구(41c)를 통해 이탈하지 않도록 지지한다. 이 경우 각 헤드(61a,62a)는 조립구멍(41a) 내에 배치된 다수의 구성들 중 가장 하측에 배치된 하부 와셔(44a)와 접촉한다.A plurality of elastic adjustment bolts (61, 62) are supported so that the plurality of components in which each of the heads (61a, 62a) are arranged in the assembly hole (41a) do not deviate through the lower opening (41c) of the vibration reducing member (40). do. In this case, each of the heads 61a and 62a comes into contact with the lower washer 44a disposed at the lowest of the plurality of components disposed in the assembly hole 41a.

조립구멍(41a) 내에는 하부 개구(41c)에서 상부 개구(41b)를 향해 하부 와셔(44a), 진동흡수체(43), 상부 와셔(44b), 코일 스프링(46), 수지 와셔(47) 및 볼 지지구(49)가 순차적으로 배치될 수 있다.In the assembly hole 41a, from the lower opening 41c toward the upper opening 41b, the lower washer 44a, the vibration absorber 43, the upper washer 44b, the coil spring 46, the resin washer 47, and The ball support 49 may be sequentially disposed.

진동흡수체(43)는 소정 두께를 가지며 지지 플레이트(25)에서 나타나는 진동을 흡수하여 지지 플레이트(25)에 진동이 지속적으로 이어지는 것을 방지할 수 있다. 진동흡수체(43)는 우레탄 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.The vibration absorber 43 has a predetermined thickness and absorbs vibrations appearing from the support plate 25 to prevent continuous vibrations from continuing to the support plate 25. The vibration absorber 43 may be formed of a urethane or silicone material.

하부 와셔(44a)는 진동흡수체(43)의 일면을 지지하며, 동시에 전술한 바와 같이 다수의 탄성조절볼트(61,62)에 의해 지지된다.The lower washer (44a) supports one surface of the vibration absorber 43, and at the same time is supported by a plurality of elastic adjustment bolts (61, 62) as described above.

상부 와셔(44b)는 코일 스프링(46)의 일단이 지지되며, 진동흡수체(43)가 코일 스프링(46)의 일단에 의해 눌림으로써 특정 부분의 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있다.The upper washer 44b is supported by one end of the coil spring 46, and the vibration absorber 43 is pressed by the one end of the coil spring 46, thereby preventing the shape of a specific part from being deformed.

코일 스프링(46)은 일단이 상부 와셔(44b)에 지지되며 타단이 수지 와셔(47)에 지지된다. 이 경우, 코일 스프링(46)은 수지 와셔(47)를 통해 간접적으로 볼 지지구(49)를 탄력적으로 지지한다. 이 경우, 볼 지지구(49)는 지지 플레이트(25)와 점 접촉되며 구름 운동을 함으로써 볼 지지구(49)와 지지 플레이트(25) 사이에 발생하는 마찰 저항이 최소화 될 수 있다.The coil spring 46 has one end supported by the upper washer 44b and the other end supported by the resin washer 47. In this case, the coil spring 46 elastically supports the ball support 49 indirectly through the resin washer 47. In this case, the ball support 49 is in point contact with the support plate 25 and performs a rolling motion, thereby minimizing frictional resistance generated between the ball support 49 and the support plate 25.

수지 와셔(47)는 볼 지지구(49)가 직접 코일 스프링(46)에 지지되는 것을 방지하도록 코일 스프링(46)의 타단과 볼 지지구(49) 사이에 배치된다.The resin washer 47 is disposed between the other end of the coil spring 46 and the ball support 49 to prevent the ball support 49 from being directly supported by the coil spring 46.

수지 와셔(47)는 양면이 각각 평평하게 형성되어 있고 일정한 강도를 가지므로 코일 스프링(46)으로부터 가해지는 압력에 의해 휘어지는 등의 변형이 발생하지 않으므로 코일 스프링(46)의 타단과 볼 지지구(49)를 각각 안정적으로 지지할 수 있다. Since the resin washer 47 is formed flat on both sides and has a certain strength, deformation such as bending does not occur due to the pressure applied from the coil spring 46, so the other end of the coil spring 46 and the ball support ( 49) can be supported stably.

볼 지지구(49)는 스틸(steel)로 이루어질 수 있으며, 상부 개구(41b)를 통해 이탈하지 않도록 상부 개구(41b)의 직경보다 큰 직경을 갖는 것이 바람직하다.The ball support 49 may be made of steel, and preferably has a diameter larger than the diameter of the upper opening 41b so as not to be separated through the upper opening 41b.

볼 지지구(49)는 지지 플레이트(25)와의 접촉 면적을 최소화하도록 구체로 형성되는 것이 바람직하다.The ball support 49 is preferably formed in a spherical shape to minimize the contact area with the support plate 25.

볼 지지구(49)는 직접 지지 플레이트(25)와 접촉함에 따라 지지 플레이트(25)로 직접 또는 간접적으로 전달되는 진동을 수지 와셔(47)를 통해 코일 스프링(46)으로 전달할 수 있다.The ball support 49 may transmit vibration directly or indirectly transmitted to the support plate 25 to the coil spring 46 through the resin washer 47 as it directly contacts the support plate 25.

도 5는 진동저감부재의 설치 유무에 따라 달라지는 지지 플레이트(25)에 발생하는 진동 특성을 보여주는 그래프이다.5 is a graph showing vibration characteristics generated in the support plate 25 depending on whether or not a vibration reducing member is installed.

도 5의 (a)를 참조하면, 종래기술(지지 플레이트를 직접 지지하는 진동저감부재가 없는 경우)의 X선 검사장치의 지지 플레이트에 나타나는 진동 특성은, 지지 플레이트의 일부를 타격할 때 타격 시점에서 큰 파장이 나타나고 시간이 지나감에 따라 파장의 크기가 점차 축소되지만 지지 플레이트를 타격한 시점으로부터 일정한 시간동안 계속해서 진동이 유지된다. Referring to Figure 5 (a), the vibration characteristics appearing on the support plate of the X-ray inspection apparatus of the prior art (when there is no vibration reducing member directly supporting the support plate), when hitting a part of the support plate A large wavelength appears and the magnitude of the wavelength gradually decreases as time passes, but the vibration is maintained for a certain period of time from the point of hitting the supporting plate.

이와 같이 진동에 취약한 환경에서 X선 검사가 이루어지는 경우 디텍터(30)에서 획득되는 영상은 품질이 저하되는 문제가 있고, 다수의 제품을 검사하는 경우 영상 안정화에 소요되는 시간이 크게 증가함에 따라 전체 제품 검사 시간이 현저히 증가하는 문제가 있다.As described above, when an X-ray inspection is performed in an environment vulnerable to vibration, the image obtained by the detector 30 has a problem of deteriorating the quality, and when a number of products are inspected, the time required for image stabilization increases significantly, so that the entire product There is a problem that the inspection time is significantly increased.

도 5의 (b)를 참조하면, 본 발명에 따른 X선 검사장치의 지지 플레이트에 나타나는 진동 특성은, 지지 플레이트의 일부(종래기술의 지지 플레이트의 타격 지점과 동일한 지점)를 타격할 때 타격 시점에서 종래기술과 유사한 큰 파장이 나타나지만 진동이 존재하는 시간은 종래기술보다 매우 짧게 나타난다. 예를 들면, 종래기술의 진동 시간을 T라고 할 때, 본 발명의 진동 시간은 종래의 진송 시간(T)에 비해 T/3~T/4로 줄어들 수 있다.Referring to Figure 5 (b), the vibration characteristics appearing on the support plate of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, when hitting a part of the support plate (the same point as the hitting point of the support plate of the prior art) A large wavelength similar to that of the prior art appears, but the time during which the vibration exists is much shorter than that of the prior art. For example, when the vibration time of the prior art is T, the vibration time of the present invention may be reduced to T/3 to T/4 compared to the conventional propagation time (T).

즉, 본 발명은 지지 플레이트를 타격한 시점으로부터 진동이 빠르게 소멸되므로, 이와 같이 진동 흡수에 최적화된 환경에 X선 촬영을 하는 경우 종래기술에 비해 현저히 우수한 영상 품질을 얻을 수 있으며, 신속한 영상 안정화에 따른 검사 속도의 향상을 통해 전체 검사 시간을 현저히 줄일 수 있다.That is, in the present invention, since the vibration quickly disappears from the point of hitting the support plate, when X-rays are taken in an environment optimized for vibration absorption, remarkably superior image quality can be obtained compared to the prior art, and rapid image stabilization can be achieved. Accordingly, the overall inspection time can be significantly reduced by improving the inspection speed.

도 6은 진동저감부재의 진동흡수체를 금속 와셔로 대체 시 지지 플레이트에 발생하는 진동 특성을 보여주는 그래프이다.6 is a graph showing vibration characteristics generated in the support plate when the vibration absorber of the vibration reducing member is replaced with a metal washer.

한편, 본 발명에 따른 진동저감부재(40)는 진동흡수체(43)를 생략하고, 진동흡수체(43)가 배치되었던 위치에 새로운 금속 와셔(미도시)를 추가할 수 있다.Meanwhile, in the vibration reducing member 40 according to the present invention, the vibration absorber 43 may be omitted, and a new metal washer (not shown) may be added to the position where the vibration absorber 43 was disposed.

이와 같이 구성된 진동저감부재를 적용한 상태에서 지지 플레이트의 일부분을 2회 타격하는 경우, 도 6과 같이, 진동 특성은 도 5의 (b)와 유사하게 진동이 유지되는 시간이 매우 짧게 나타나되, 첫 번째 진동에 이어 간격을 두고 두 번째 진동이 발생한다.When a part of the support plate is hit twice in a state in which the vibration reducing member configured as described above is applied, as shown in FIG. 6, the vibration characteristic is similar to that of FIG. 5(b), and the time during which the vibration is maintained is very short. Following the second vibration, a second vibration occurs at intervals.

이처럼 지지 플레이트를 2회 타격하는 경우, 서로 다른 타격 시점에서 각각 짧은 진동이 나타나되 진동이 연속적으로 유지되지 않고 빠르게 제거된다. 이에 따라 진동흡수체(43)를 우레탄 또는 실리콘 재질 대신 금속 재질로 대체하는 경우에도 진동 흡수가 효과적으로 나타날 수 있다.In the case of hitting the support plate twice, short vibrations appear at different hitting points, but the vibrations are not maintained continuously and are quickly removed. Accordingly, even when the vibration absorber 43 is replaced with a metal material instead of a urethane or silicone material, vibration absorption may be effectively exhibited.

한편, 본 발명에 따른 진동저감부재는 도 4에 도시한 구조에 한정되지 않고 다양한 구조로 형성될 수도 있다. 이하에서는 도 7 내지 도 9를 참조하여 진동저감부재의 다양한 실시예를 설명한다.Meanwhile, the vibration reducing member according to the present invention is not limited to the structure shown in FIG. 4 and may be formed in various structures. Hereinafter, various embodiments of the vibration reducing member will be described with reference to FIGS. 7 to 9.

도 7을 참조하면, 진동저감부재(240)는 다수의 고정볼트(251,252)에 의해 브라켓(27)에 안정적으로 고정 결합되는 몸체(240a)를 구비할 수 있다. Referring to FIG. 7, the vibration reducing member 240 may include a body 240a that is stably fixedly coupled to the bracket 27 by a plurality of fixing bolts 251 and 252.

몸체(240a)의 조립구멍(241a) 내에는 몸체(240a)의 하부에서 상부를 향해 탄성조절부재(242), 진동흡수체(243), 코일 스프링(246), 수지 와셔(247) 및 볼 지지구(249)가 순차적으로 배치될 수 있다.In the assembly hole 241a of the body 240a, the elastic adjustment member 242, the vibration absorber 243, the coil spring 246, the resin washer 247, and the ball support tool from the bottom of the body 240a toward the top. 249 may be arranged sequentially.

진동흡수체(243), 코일 스프링(246), 수지 와셔(247) 및 볼 지지구(249)는 전술한 도 4에 도시된 진동저감부재(40)의 진동흡수체(43), 코일 스프링(46), 수지 와셔(47) 및 볼 지지구(49)와 동일한 구성이며 구체적인 설명은 생략한다.The vibration absorber 243, the coil spring 246, the resin washer 247 and the ball support 249 are the vibration absorber 43 and the coil spring 46 of the vibration reducing member 40 shown in FIG. 4 described above. It is the same configuration as the resin washer 47 and the ball support 49, and a detailed description thereof will be omitted.

탄성조절부재(242)는 조립구멍(241a)의 하부 내측에 형성된 나사부(241b)에 나사 체결된다. 탄성조절부재(242)는 일측에 렌치(미도시)의 일부가 삽입되는 렌치결합구멍(242a)이 형성될 수 있다.The elastic adjustment member 242 is screwed into the screw portion 241b formed in the lower inner side of the assembly hole 241a. The elastic adjustment member 242 may have a wrench coupling hole 242a into which a part of a wrench (not shown) is inserted at one side.

따라서, 사용자는 렌치를 이용하여 탄성조절부재(242)를 정회전 또는 역회전시켜 탄성력을 정밀하게 조절할 수 있다.Accordingly, the user can precisely adjust the elastic force by rotating the elastic adjusting member 242 forward or reverse using a wrench.

도 8을 참조하면, 진동저감부재(340)는 다수의 고정볼트(351,352)에 의해 브라켓(27)에 안정적으로 고정 결합되는 몸체(340a)를 구비할 수 있다. Referring to FIG. 8, the vibration reducing member 340 may include a body 340a that is stably fixedly coupled to the bracket 27 by a plurality of fixing bolts 351 and 352.

몸체(340a)의 조립구멍(341a) 내에는 몸체(340a)의 하부에서 상부를 향해 탄성조절부재(342), 수지 와셔(347) 및 볼 지지구(349)가 순차적으로 배치될 수 있다.In the assembly hole 341a of the body 340a, an elastic adjustment member 342, a resin washer 347, and a ball support 349 may be sequentially disposed from the bottom of the body 340a toward the top.

수지 와셔(347) 및 볼 지지구(349)는 전술한 도 4에 도시된 진동저감부재(40)의 수지 와셔(47) 및 볼 지지구(49)와 동일한 구성이며 구체적인 설명은 생략한다.The resin washer 347 and the ball support 349 are of the same configuration as the resin washer 47 and the ball support 49 of the vibration reducing member 40 shown in FIG. 4, and detailed descriptions thereof will be omitted.

탄성조절부재(342)는 유압식 쇼크 업소버(shock absorber)로 이루어질 수 있다. 이 경우 탄성조절부재(342)는 일측에 수지 와셔(347)를 탄력적으로 지지하는 플런저(342b)가 돌출 형성된다.The elastic adjustment member 342 may be formed of a hydraulic shock absorber. In this case, the elastic adjustment member 342 is formed with a plunger 342b that elastically supports the resin washer 347 on one side of the protrusion.

탄성조절부재(342)는 조립구멍(341a)의 하부 내측에 형성된 나사부(341b)에 나사 체결된다. 탄성조절부재(342)는 일측에 렌치(미도시)의 일부가 삽입되는 렌치결합구멍(342a)이 형성될 수 있다. 따라서, 사용자는 렌치를 이용하여 탄성조절부재(342)를 정회전 또는 역회전시켜 탄성력을 정밀하게 조절할 수 있다.The elastic adjustment member 342 is screwed into the screw portion 341b formed in the lower inner side of the assembly hole 341a. The elastic adjustment member 342 may have a wrench coupling hole 342a into which a part of a wrench (not shown) is inserted at one side. Therefore, the user can precisely adjust the elastic force by rotating the elastic adjusting member 342 forward or backward using a wrench.

도 9를 참조하면, 진동저감부재(440)는 다수의 고정볼트(4351,452)에 의해 브라켓(27)에 안정적으로 고정 결합되는 몸체(440a)를 구비할 수 있다. Referring to FIG. 9, the vibration reducing member 440 may include a body 440a that is stably fixedly coupled to the bracket 27 by a plurality of fixing bolts 4351 and 452.

몸체(440a)의 조립구멍(441a) 내에는 몸체(440a)의 하부에서 상부를 향해 우레탄 스프링(446), 수지 와셔(447) 및 볼 지지구(449)가 순차적으로 배치될 수 있다.In the assembly hole 441a of the body 440a, a urethane spring 446, a resin washer 447, and a ball support 449 may be sequentially disposed from the bottom of the body 440a toward the top.

수지 와셔(447) 및 볼 지지구(449)는 전술한 도 4에 도시된 진동저감부재(40)의 수지 와셔(47) 및 볼 지지구(49)와 동일한 구성이며 구체적인 설명은 생략한다.The resin washer 447 and the ball support 449 are of the same configuration as the resin washer 47 and the ball support 49 of the vibration reducing member 40 shown in FIG. 4, and detailed descriptions thereof will be omitted.

다수의 탄성조절볼트(461,462)는 각각의 헤드(461a,462a)가 조립구멍(441a) 내에 배치된 다수의 구성들이 진동저감부재(440)의 하부 개구를 통해 이탈하지 않도록 지지한다. 이 경우 각 헤드(461a,462a)는 조립구멍(441a) 내에 배치된 다수의 구성들 중 가장 하측에 배치된 하부 와셔(444a)와 접촉한다.The plurality of elastic adjustment bolts 461 and 462 support each of the heads 461a and 462a so that a plurality of components disposed in the assembly hole 441a do not deviate through the lower opening of the vibration reducing member 440. In this case, each of the heads 461a and 462a comes into contact with the lower washer 444a disposed at the lowest of the plurality of components disposed in the assembly hole 441a.

우레탄 스프링(446)은 일단 및 타단이 각각 수지 와셔(447)와 하부 와셔(444a)를 각각 탄력적으로 지지한다. The urethane spring 446 has one end and the other end elastically supporting the resin washer 447 and the lower washer 444a, respectively.

진동저감부재(440)는 다수의 탄성조절볼트(61,62)를 정회전 또는 역회전하여 지지 플레이트(25)를 지지하기 위한 탄성력을 정밀하게 조절할 수 있다.The vibration reducing member 440 may precisely adjust the elastic force for supporting the support plate 25 by rotating the plurality of elastic adjusting bolts 61 and 62 forward or reverse.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동저감부재가 구비된 X선 검사장치를 나타낸 개략도이다. 10 is a schematic diagram showing an X-ray inspection apparatus equipped with a vibration reducing member according to another embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 스테이지(120)의 제1 및 제2 가동부(122,123)가 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 구조하에서, 스테이지(120)가 Z축 방향을 따라 이동 가능한 경우 다수의 진동저감부재(140)의 배치는 전술한 진동저감부재(40)의 배치와 다소 상이할 수 있다.Referring to FIG. 10, under a structure in which the first and second movable parts 122 and 123 of the stage 120 move in the X-axis and Y-axis directions, when the stage 120 is movable along the Z-axis direction, a number of vibrations are reduced. The arrangement of the member 140 may be slightly different from the arrangement of the vibration reducing member 40 described above.

이 경우, 브라켓(127)은 스테이지(120)가 X, Y, Z축 방향을 따라 이동 시 X선 튜브(110)에 간섭되지 않도록 형성된다. 이에 따라, 다수의 진동저감부재(140)는 전술한 다수의 진동저감부재(40)보다 X선 튜브(110)로부터 더 먼 간격으로 배치된다.In this case, the bracket 127 is formed so as not to interfere with the X-ray tube 110 when the stage 120 moves along the X, Y, and Z axis directions. Accordingly, the plurality of vibration reducing members 140 are disposed at a distance farther from the X-ray tube 110 than the plurality of vibration reducing members 40 described above.

다수의 진동저감부재(140)는 대략 X선 튜브(110)의 중심과 동심으로 배치되는 가상의 원주(130) 상에 배열되거나, 도 7과 같이 가상의 원주(130)에 인접한 위치에 배치될 수 있다.The plurality of vibration reducing members 140 are arranged on a virtual circumference 130 that is approximately concentric with the center of the X-ray tube 110, or to be disposed at a position adjacent to the virtual circumference 130 as shown in FIG. 7. I can.

도 10에서 미설명 부호 121은 제1 가동부(122)를 슬라이딩 가능하게 지지하는 고정부를 가리킨다.In FIG. 10, reference numeral 121 denotes a fixed part that supports the first movable part 122 in a slidable manner.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되서는 안될 것이다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described, but the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and the present invention is generally in the technical field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, various modifications may be made by those skilled in the art, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or prospect of the present invention.

10: X선 튜브 20: 스테이지
30: 디텍터 40: 진동저감부재
43: 진동흡수체 44a: 하부 와셔
44b: 상부 와셔 46: 코일 스프링
47: 수지 와셔 49: 볼 지지구10: X-ray tube 20: stage
30: detector 40: vibration reducing member
43: vibration absorber 44a: lower washer
44b: upper washer 46: coil spring
47: resin washer 49: ball support

Claims (12)

스테이지의 지지 플레이트에 피검사체를 안착하고 X선 튜브로부터 방사되어 피검사체를 투과한 X선을 수신하여 검사 영상을 획득하는 X선 검사장치에 있어서,
상기 스테이지에 결합된 브라켓;
상기 브라켓에 설치되어 상기 지지 플레이트를 지지하는 다수의 진동저감부재; 및
상기 다수의 진동저감부재의 탄성력을 조절하기 위해 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되도록 각 진동저감부재에 결합되는 다수의 탄성조절수단;을 포함하며,
상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브에 인접하게 배치되고, 일 부분이 상기 브라켓에 간섭되지 않도록 상기 브라켓으로부터 일측으로 돌출 형성되며,
상기 다수의 탄성조절수단은 각각 상기 브라켓으로부터 일측으로 돌출된 상기 다수의 진동저감부재의 일 부분에 결합된 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.An X-ray inspection apparatus for acquiring an inspection image by seating an object on a support plate of a stage and receiving X-rays radiated from an X-ray tube and transmitted through the object,
A bracket coupled to the stage;
A plurality of vibration reducing members installed on the bracket and supporting the support plate; And
Includes; a plurality of elastic adjustment means coupled to each vibration reducing member so as to rotate clockwise or counterclockwise to adjust the elastic force of the plurality of vibration reducing member,
The plurality of vibration reducing members are disposed adjacent to the X-ray tube, and are formed to protrude from the bracket to one side so that a part does not interfere with the bracket,
The plurality of elasticity control means is an X-ray inspection apparatus, characterized in that each coupled to a portion of the plurality of vibration reducing members protruding from the bracket to one side. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재는 일부분이 상기 지지 플레이트를 지지하는 지점인 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 1,
X-ray inspection apparatus, characterized in that a portion of the plurality of vibration reducing members support the support plate. 제1항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재의 일부분에 형성된 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔와, 일단이 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 코일 스프링과, 상기 코일 스프링의 타단이 지지되는 진동흡수체가 순차적으로 배치된 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 1,
In the assembly hole formed in a portion of the plurality of vibration reducing members, a ball support for supporting the support plate in point contact, a resin washer for supporting the ball support, and a coil spring having one end elastically supporting the resin washer, X-ray inspection apparatus, characterized in that the vibration absorber to which the other end of the coil spring is supported are sequentially arranged. 제4항에 있어서,
상기 진동흡수체의 상하면에는 각각 상부 와셔와 하부 와셔가 배치되고,
상기 다수의 탄성조절수단은 상기 진동저감부재의 일부분에 나사 결합되는 다수의 탄성조절볼트이며,
상기 하부 와셔는 상기 다수의 탄성조절볼트에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 4,
Upper and lower washers are disposed on the upper and lower surfaces of the vibration absorber, respectively,
The plurality of elastic adjustment means is a plurality of elastic adjustment bolts screwed to a portion of the vibration reducing member,
X-ray inspection apparatus, characterized in that the lower washer is supported by the plurality of elastic adjustment bolts. 제4항에 있어서,
각 탄성조절수단은 상기 조립구멍에 나사 체결되어 상기 진동흡수체를 지지하는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 4,
Each elastic adjusting means is screwed into the assembly hole to support the vibration absorber. 제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 진동흡수체는 우레탄 또는 실리콘 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method according to claim 5 or 6,
X-ray inspection apparatus, characterized in that the vibration absorber is made of a urethane or silicone material. 제1항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재의 일부분에 형성된 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔가 순차적으로 배치되고,
상기 탄성조절수단은 상기 조립구멍에 나사 결합되어 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 유압식 쇼크 업소버인 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 1,
A ball support tool for supporting the support plate in point contact and a resin washer for supporting the ball support are sequentially disposed in the assembly hole formed in a portion of the plurality of vibration reducing members
The elastic adjusting means is a hydraulic shock absorber that is screwed into the assembly hole to elastically support the resin washer. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재의 일부분에 형성된 조립구멍에는 상기 지지 플레이트를 점접촉 지지하는 볼 지지구와, 상기 볼 지지구를 지지하는 수지 와셔와, 상기 수지 와셔를 탄력적으로 지지하는 우레탄 스프링과, 상기 우레탄 스프링을 지지하는 하부 와셔가 순차적으로 배치되며,
상기 다수의 탄성조절수단은 상기 진동저감부재의 일부분에 나사 결합되는 다수의 탄성조절볼트이며,
상기 하부 와셔는 상기 다수의 탄성조절볼트에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 1,
In the assembly holes formed in a portion of the plurality of vibration reducing members, a ball support for supporting the support plate in point contact, a resin washer for supporting the ball support, a urethane spring for elastically supporting the resin washer, and the urethane The lower washers supporting the spring are sequentially arranged,
The plurality of elastic adjustment means is a plurality of elastic adjustment bolts screwed to a portion of the vibration reducing member,
X-ray inspection apparatus, characterized in that the lower washer is supported by the plurality of elastic adjustment bolts. 제1항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브에 간섭되지 않는 범위 내에서 상기 X선 튜브의 중심으로부터 가장 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 1,
X-ray inspection apparatus, characterized in that the plurality of vibration reducing members are disposed closest to the center of the X-ray tube within a range that does not interfere with the X-ray tube. 제11항에 있어서,
상기 다수의 진동저감부재는 상기 X선 튜브와 동심인 가상의 원주 상에 배치되거나 상기 가상의 원주에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장치.The method of claim 11,
The plurality of vibration reducing members are arranged on a virtual circumference concentric with the X-ray tube or adjacent to the virtual circumference.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2015087432A1 (en) * 2013-12-12 2015-06-18 株式会社ニコン X-ray device
KR101795642B1 (en) * 2016-12-22 2017-11-08 주식회사 문창 Structure Support Device
JP2019050165A (en) * 2017-09-12 2019-03-28 株式会社日立製作所 X-ray tube device
JP2019100861A (en) * 2017-12-04 2019-06-24 コニカミノルタ株式会社 X-ray imaging system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015087432A1 (en) * 2013-12-12 2015-06-18 株式会社ニコン X-ray device
KR101795642B1 (en) * 2016-12-22 2017-11-08 주식회사 문창 Structure Support Device
JP2019050165A (en) * 2017-09-12 2019-03-28 株式会社日立製作所 X-ray tube device
JP2019100861A (en) * 2017-12-04 2019-06-24 コニカミノルタ株式会社 X-ray imaging system

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