KR102235562B1 - 펌핑 시스템에서의 펌핑 방법 및 진공 펌프 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 펌핑 시스템(SP,SPP)에서의 펌핑 방법에 관한 것으로서, 이것은 진공 챔버(1)에 연결된 기체 유입 개구(2) 및, 펌핑 시스템(SP,SPP)의 기체 출구(8)로의 개방 이전에 도관(5)으로 개방되는 기체 유출 개구(4)를 가진 제 1 윤활 베인 스크류 진공 펌프(3), 기체 유출 개구(4)와 기체 출구(8) 사이에서 도관(5)에 위치된 역지 밸브(6) 및, 역지 밸브(6)와 병렬로 연결된 이젝터(7)를 포함한다. 상기 방법에 따라서, 제 1 윤활 베인 스크류 진공 펌프(3)는 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 기체 유출 개구(4)를 통해 펌핑하기 위하여 작동된다; 동시에, 이젝터(7)에는 작동 매체가 공급되고, 제 1 윤활 스크류 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 시간 내내 그리고/또는 제 1 윤활 스크류 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안의 미리 정해진 압력을 유지하는 시간 내내 이젝터(7)에는 계속 기동 매체가 공급된다. 본 발명은 상기 방법을 구현하기 위하여 사용되기에 적절한 펌핑 시스템(SP,SPP)에 관한 것이다.
Description
본 발명은 주 펌프가 윤활 로터리 베인 진공 펌프인 펌핑 시스템에서 유량 및 최종 진공과 관련된 성능을 향상시킬 뿐만 아니라 전기 에너지의 소비를 감소시킬 수 있는 펌핑 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 본 발명에 따른 방법을 달성하는데 이용될 수 있는 펌핑 시스템에 관한 것이다.
산업 분야에서 진공 펌프의 성능을 향상시키고, 설치 비용을 감소시키며 에너지 소비를 감소시키려는 일반적인 경향은 구동부등에서의 성능, 에너지 경제, 부피와 관련하여 현저한 발전을 가져왔다.
현재의 기술은 최종 진공을 향상시키고 에너지 보충 단계들의 소비를 줄이는 것을 다단 루트 유형(multi-stage Roots type) 또는 다단계 클로우 유형 (multi-stage claw type) 의 진공 펌프들에 추가되어야만 한다는 점을 나타낸다. 스크류 진공 펌프들에 대하여, 스크류의 추가적인 회전이 있어야 하고 그리고/또는 내부 압축의 비율이 증가되어야 한다. 윤활 로터리 베인 진공 펌프들에 대하여 하나 이상의 보충적인 단계들이 직렬로 추가되어야 하고 내부 압축의 비율이 증가되어야 한다.
최종 진공을 향상시키고 유량을 증가시키려는 목적을 가진 펌핑 시스템에 관한 현재 기술은 제 1 윤활 로터리 베인 펌프들로부터 상류측에 배치된 루트 유형의 부스터 펌프들은 나타낸다. 이러한 유형의 시스템들은 부피가 크고, 신뢰성의 문제를 나타내는 바이패스 밸브로써 작동되거나 또는 측정, 제어, 조절 또는 서보 제어의 수단을 채용함으로써 작동된다. 그러나, 이러한 제어, 조절 또는 서보 제어의 수단은 능동적인 방식으로 제어되어야만 하는데, 이것은 필연적으로 시스템 구성 요소들, 복잡성 및 비용의 증가를 초래한다.
한편, 국제 공개 공보 WO 2014/012896 에는 "프로세스 챔버의 펌핑을 위한 방법과 장치"가 개시되고, 프랑스 출원 FR 2 952 683 에는 "전력 소비가 적은 펌핑 방법 및 장치"가 개시되고, 일본 공개 특허공보 특개 2007-100562 에는 "진공 장치가 개시되어 있다.
한편, 국제 공개 공보 WO 2014/012896 에는 "프로세스 챔버의 펌핑을 위한 방법과 장치"가 개시되고, 프랑스 출원 FR 2 952 683 에는 "전력 소비가 적은 펌핑 방법 및 장치"가 개시되고, 일본 공개 특허공보 특개 2007-100562 에는 "진공 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 출구 기체의 온도를 감소시킬 뿐만 아니라, 챔버를 진공하에 두고 상기 챔버에서 진공을 유지하는데 필요한 전기 에너지를 감소시킬 수 있는 펌핑 시스템의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 진공 챔버의 펌핑중에 단일의 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 도움으로 얻을 수 있는 유량보다 높은 유량을 저압에서 얻을 수 있는 펌핑 시스템의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
더욱이 본 발명의 목적은 진공 챔버에서 단일의 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 도움으로 얻을 수 있는 진공보다 더 우수한 진공을 얻을 수 있게 하는 펌핑 시스템의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
본 발명의 상기 목적들은 펌핑 시스템의 구조에서 이루어지는 펌핑 방법의 도움으로 달성되는데, 상기 펌핑 시스템의 구성은 진공 챔버에 연결된 기체 유입 포트 및, 대기(atmosphere)로 또는 다른 장치들로 나오기 이전에 역지 밸브에 설치된 도관으로 이어지는 기체 유출 포트가 설치되는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프로 이루어진다. 이젝터의 흡입 단부는 상기 역지 밸브에 병렬로 연결되고, 그것의 출구는 역지 밸브 이후에 제 1 펌프의 도관에 다시 접합되거나 또는 대기로 간다.
그러한 펌핑 방법은 특히 독립 청구항 제 1 항의 주제이다. 본 발명의 상이한 바람직한 실시예들은 종속 청구항들의 주제이다.
상기 방법은 실질적으로 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 진공 챔버 안에 포함된 기체를 기체 유입 포트를 통하여 펌핑하는 동안 내내 이젝터에 작동 유체를 공급하고 그것을 연속적으로 작동시키는 것으로 이루어지지만, 또한 유출부를 통하여 상승하는 기체를 배출함으로써 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 정해진 압력(예를 들어 최종 진공)을 챔버 안에 유지시키는 내내 그렇게 되는 것으로 이루어진다.
제 1 양상에 따르면, 본 발명은 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프 및 이젝터의 결합이 측정 및 특정 장치들(예를 들어, 압력, 온도, 전류등의 센서들), 서보 제어, 또는 데이터 관리 및 계산을 필요로 하지 않는 점에 있다. 결국, 본 발명에 따른 펌핑 방법을 구현하기에 적절한 펌핑 시스템은 최소한의 구성 요소들을 포함하고, 매우 단순하며 현존 시스템보다 훨씬 저렴하다.
그 특징에 의하여, 펌핑 시스템에 통합되는 이젝터는 현재의 펌핑 방법에 따른 손상 없이 항상 작동될 수 있다. 그것의 치수 설정은 장치의 작동을 위한 작동 유체의 최소 소비에 의해 결정된다. 이것은 정상적으로는 단일 단계(single staged)이다. 공칭 유량은 역지 밸브에 의해 한정되는, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 체적에 따라서 선택된다. 이러한 유량은 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 공칭 유량의 1/500 내지 1/20 일 수 있지만, 이러한 값들보다 크거나 작을 수도 있다. 이젝터를 위한 작동 유체는 압축 공기일 수 있지만, 다른 기체일 수도 있으며, 예를 들어 질소일 수 있다.
역지 밸브는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부에서 도관내에 배치되는 것으로서, 상업적으로 이용 가능한 표준 요소일 수 있다. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 공칭 유량에 따라서 그 치수가 정해질 수 있다. 특히, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 흡입 단부에서의 압력이 500 mbar absolute 내지 최종 압력(예를 들어, 100 mbar) 사이일 때 역지 밸브가 폐쇄되는 것이 예상된다.
다른 변형예에 따라서, 이젝터는 다중 단계이다.
다른 변형예에 따르면, 이젝터는 다중 단계 이젝터에서와 같이 단일 단계 이젝터 변형예에서도, 화학 산업 및 반도체 산업에서 통상적으로 이용되는 기체 및 물질에 대하여 화학적 저항성을 가지는 재료로 만들어질 수 있다.
이젝터가 바람직스럽게는 소형이다.
다른 변형예에 따르면, 이젝터는 역지 밸브를 포함하는 카트리지에 일체화된다.
다른 변형예에 따르면, 이젝터는 역지 밸브를 포함하는 카트리지에 일체화되고, 상기 카트리지 자체는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 오일 분리기에 수용된다.
본 발명의 방법의 다른 변형예에 따르면, 특정의 요건을 충족시키도록, 이젝터의 작동에 필요한 압력에서의 기체 유량은 "전부 또는 전무" 방식(all or nothing way)으로 제어된다. 실제로, 제어는 하나 이상의 파라미터들을 측정하고 특정의 미리 정해진 규칙에 따라서 이젝터를 작동시키거나 정지시키는 것으로 이루어진다. 적절한 센서들에 의해 제공되는 파라미터들은, 예를 들어 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 모터 전류, 역지 밸브에 의해 한정되는, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간내 기체 압력이나 온도, 또는 이들 파라미터들의 조합이다.
챔버를 비우는 사이클로 시작하여, 그 안의 압력은 상승되며, 예를 들어 대기 압력과 같게 상승된다. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프에서 압축이 이루어지면, 그것의 유출부에서 배출되는 기체의 압력은 (만약 제 1 펌프의 유출부에서의 기체가 대기로 직접 배출된다면) 대기 압력보다 높거나, 또는 하류측에 연결된 다른 장치의 유입부에서의 압력보다 높다. 이것은 역지 밸브의 개방을 일으킨다.
상기 역지 밸브가 개방될 때, 이젝터의 작용은 그것의 유입부에서의 압력이 그것의 유출부에서의 압력과 거의 같으므로 매우 약하게 느껴진다. 대조적으로, 역지 밸브가 특정 압력에서 폐쇄될 때(챔버 안의 압력이 그 사이에 강하하기 때문에), 이젝터의 작용은 역지 밸브 이후의 도관과 챔버 사이의 압력 차이를 점진적으로 감소시키게 된다. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부에서의 압력은 이젝터의 유입부에서의 압력이 되며, 그것의 유출부에서의 압력은 항상 역지 밸브 이후의 도관에서의 압력이다. 이젝터가 더 펌핑될수록, (역지 밸브에 의해 한정되는) 폐쇄 공간에 있는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구에서의 압력 강하는 커지고, 결국 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부와 챔버 사이의 압력 차이는 감소한다. 이러한 약간의 차이는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프에서의 내부 누설을 감소시키고 동시에 챔버에서의 압력 감소를 일으키는데, 이것은 최종적인 진공을 향상시킬 수 있게 한다. 더욱이, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 압축을 위하여 에너지를 덜 소비하고, 압축열을 덜 발생시킨다.
이젝터의 제어의 경우에, 센서들이 정해진 상태에 있거나 또는 초기 값을 제공할 때 펌핑 시스템을 시동시키기 위한 초기 위치가 존재한다. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 진공 펌프의 기체를 펌핑하므로, 그것의 모터의 전류, 출구 도관의 공간에 있는 기체의 압력 및 온도와 같은 파라미터는 변화하기 시작하고 센서들에 의해 검출된 쓰레숄드 값에 도달한다. 이것은 이젝터에서의 스위치 작용을 일으킨다. 이러한 파라미터들이 시간 지체와 함께 (설정된 값들을 벗어나서) 초기 범위로 복귀되었을 때, 이젝터는 정지된다.
본 발명의 다른 변형에 따르면, 이젝터의 작동에 필요한 압력에서의 기체 유동은 콤프레서에 의해 제공된다. 주목할만한 방식으로, 이러한 콤프레서는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프에 의해서, 또는 대안으로서 또는 추가적으로, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프와 독립적으로 자율적인 방식에 의해 구동될 수 있다. 이러한 콤프레서는 역지 밸브 이후에 기체 출구 도관에서 대기의 공기 또는 기체를 흡입할 수 있다. 그러한 콤프레서의 존재는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프 시스템을 압축 기체 소스(compressed gas source)와 독립적이게 하며, 이것은 특정의 산업적 환경들의 수요를 충족시킬 수 있다. 콤프레서는 복수개의 이젝터들의 작동에 필요한 압력에서 기체의 유동을 제공할 수 있으며, 이들은 각각 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프를 가지는 복수개의 진공 펌프 시스템들의 일부를 형성한다. 콤프레서는 적절한 센서들에 의하여 제어되는, 파라미터들에 따른 제어의 경우뿐만 아니라, 이젝터의 연속 작동의 경우에도 시스템의 일부를 형성한다.
다른 한편으로, 기계적인 개념에 대한 연구는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 기체 유출 포트와 역지 밸브 사이의 공간에서 보다 신속하게 압력을 낮출 목적을 가지고 상기 공간의 감소를 추구한다는 점이 명백하다.
본 발명의 특징 및 장점들은 상세한 설명에 있는 세부 내용들로써 제시될 것이며, 상기 상세 설명은 첨부된 도면을 참조하여 예시적으로 그리고 비제한적으로 주어진 실시예들과 함께 설명된다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예들에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 3 은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예들에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 3 은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 펌핑 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 펌핑 방법을 구현하기에 적절한 펌프 시스템(SP)을 나타낸다.
펌프 시스템(SP)은 챔버(1)를 포함하고, 이것은 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 포트(2)에 연결된다. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 기체 유출 포트는 도관(5)에 연결된다. 역지 배출 밸브(non-return discharge valve, 6)는 도관(5) 안에 배치되는데, 상기 도관은 역지 밸브(6) 이후에 기체 출구 도관(8)으로 계속된다. 역지 밸브(6)는 폐쇄되었을 때 제 1 진공 펌프(3)의 기체 출구 포트와 자체 사이에 포함된 공간(4)의 형성을 허용한다. 펌프 시스템(SP)은 이젝터(ejector, 7)도 포함하고, 이것은 역지 밸브(6)와 병렬로 연결된다. 이젝터의 흡입 포트는 도관(5)의 공간(4)에 연결되고, 배출 포트는 도관(8)에 연결된다. 공급 도관(9)은 이젝터(7)를 위한 작동 유체를 제공한다.
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 시작으로부터, 이젝터(7)를 위한 작동 유체는 공급 도관(9)을 통해 주입된다. 다음에 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)는 챔버(1) 안의 기체를 그것의 유입부에 연결된 포트(2)를 통해 흡입하고 기체를 압축하여 이후에 도관(5)에 있는 유출부에서 역지 밸브(6)를 통해 배출한다. 역지 밸브(6)의 폐쇄 압력에 도달되었을 때, 역지 밸브는 폐쇄된다. 이러한 순간으로부터 시작하여 이젝터(7)의 펌핑은 공간(4)내의 압력을 그것의 제한 압력 값으로 점진적으로 감소시킨다. 병행하여, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)에 의해 소비되는 동력이 점진적으로 감소된다. 이것은 짧은 기간에 발생되며, 예를 들어 5 내지 10 초의 특정 사이클 동안 발생된다.
챔버(1)의 공간 및 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 유량의 함수로서 역지 밸브(6)의 폐쇄 압력 및 이젝터(7)의 유량을 현명하게 조절함으로써, 비움 사이클(evacuation cycle)의 지속 기간과 관련하여 역지 밸브(6)의 폐쇄 이전의 시간을 감소시킬 수 있고 따라서 펌핑에 영향을 미치지 않으면서 이젝터(7)의 작동 시간 동안 작동 유체의 손실을 감소시킬 수 있다. 더욱이 이러한 "손실" 은 적으며, 에너지 소비의 평가에 참작된다. 다른 한편으로, 프로그래머블 자동 제어 및/또는 스피드 콘트롤러, 제어된 밸브, 센서등이 설치된 유사한 펌프들과 비교하여, 단순성의 장점은 저렴한 가격 뿐만 아니라 우수한 신뢰성을 시스템에 부여한다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펌핑 방법을 구현하기에 적절한 펌핑 시스템(SP)을 도시한다.
도 1 에 도시된 시스템과 관련하여, 도 2 에 도시된 시스템은 이젝터(7)의 작동에 필요한 압력에서 기체의 유동을 제공하는 콤프레서(10)를 더 포함한다. 실제로, 이러한 콤프레서(10)는 역지 밸브(6) 이후에 기체 출구(8)에 있는 기체 또는 대기의 공기를 흡입할 수 있다. 그것의 존재는 펌핑 시스템이 압축된 기체 소스(gas source)와 독립적이도록 하며, 이는 특정의 산업적 환경의 요건을 충족시킬 수 있다. 콤프레서(10)는 제 1 윤활 로터리 베인 펌프(3) 또는 그 자체의 전기 모터에 의해 구동될 수 있으며, 따라서 펌프(3)로부터 완전하게 독립적인 방식으로 구동될 수 있다. 모든 경우에, 이젝터(7)를 작동시키는데 필요한 압력으로 기체 유동을 제공할 때의 콤프레서(10)의 에너지 소비는 주 펌프(3)의 에너지 소비에서 달성되는 장점과 비교하여 실질적으로 작다.
도 3 은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 펌핑 방법을 수행하는데 적절한 진공 펌프(SPP) 의 시스템을 도시한다.
도 1 및 도 2 에 도시된 시스템과 관련하여, 도 3 에 도시된 시스템은 제어되는 펌핑 시스템에 대응하는데, 이것은 센서(11,12,13)들을 더 포함하며, 이것은 예를 들어 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 모터 전류(센서 11), (역지 밸브(6)에 의해 제한된) 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간에 있는 기체의 압력(센서 13), (역지 밸브(6)에 의해 제한된) 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간에 있는 기체의 온도(센서 12) 또는 이들 파라미터들의 조합을 제어한다. 실제로, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1)의 기체를 펌핑하기 시작할 때, 상기 파라미터들(특히, 모터의 전류, 도관(4)의 출구의 공간에 있는 기체의 압력 및 온도)은 변화하기 시작하고, 대응 센서(11,12,13)에 의해 검출되는 쓰레숄드 값들에 도달한다. 이것은 (특정의 시간 지체 이후에) 이젝터(7)의 개시를 일으킨다. 상기 파라미터들이 (설정값 밖의) 초기 범위에 복귀될 때, 이젝터는 (다시 특정의 시간 지체 이후에) 정지한다. 물론 제어된 펌핑 시스템(SSP)은 도 2 에 도시된 조건에서 콤프레서(10) 또는 공급 네트워크를 압축 기체 소스로서 가질 수 있다.
특히 본 발명은 그것의 구현예에 관하여 다양한 변형을 가질 수 있다. 비록 여러가지 실시예들이 설명되었지만, 모든 가능한 실시예들을 모두 다 설명하는 방식으로 나타내도록 생각될 수 없다는 점이 이해될 것이다. 물론 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않으면서 설명된 수단을 등가의 수단과 교체하는 것이 생각될 수 있다. 이들 모든 변형예는 진공 기술 분야의 당업자의 통상적인 지식의 일부를 형성한다.
1. 진공 펌프 3. 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프
4. 기체 유출 포트 5. 도관
6. 역지 밸브 7. 이젝터(ejector)
4. 기체 유출 포트 5. 도관
6. 역지 밸브 7. 이젝터(ejector)
Claims (34)
- 진공 챔버(1)에 연결된 기체 유입 포트(2) 및 펌핑 시스템(SP,SPP)의 기체 출구(8)로 나오기 전에 도관(5)으로 이어진 기체 유출 포트(4)를 가지는, 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3),
기체 유출 포트(4)와 기체 출구(8) 사이에서 도관(5)내에 위치된 역지 밸브(6),
역지 밸브(6)와 병렬로 연결된 이젝터(ejector, 7) 및,
콤프레서(10)를 포함하는 펌핑 시스템(SP,SPP)의 펌핑 방법으로서,
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)는 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 기체 유출 포트(4)를 통하여 펌핑하기 위하여 작동되고;
동시에, 상기 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)를 구동하는 힘에 의해 구동되는 상기 콤프레서(10)에 의하여 이젝터(7)에 작동 유체가 공급되고;
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 동안 내내 또는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안의 정해진 압력을 유지하는 동안 내내, 이젝터(7)에는 작동 유체가 계속 공급되고,
이젝터(7)의 작동 유체는 압축 공기인 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항에 있어서,
이젝터(7)의 유출부는 역지 밸브(6) 이후에 도관(5)과 다시 접합되는 것을 특징으로 하는 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이젝터(7)의 치수는 작동 유체를 최소로 소비하도록 정해지는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이젝터(7)의 공칭 유량(nominal flow rate)은 역지 밸브(6)에 의해 제한되는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 출구 도관(5)의 체적에 따라서 선택되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 4 항에 있어서,
이젝터의 공칭 유량은 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 공칭 유량의 1/500 내지 1/20 인 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이젝터(7)는 단일 스테이지(single-staged) 또는 다중 스테이지(multi-staged)인 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
제1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 단부에서의 압력이 절대 압력(absolute pressure)으로서의 500 mbar 와 최종 진공 사이에 있을 때 역지 밸브(6)가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이젝터(7)는 화학 산업 또는 반도체 산업에서 통상적으로 사용되는 기체 및 물질에 대하여 화학적 고저항성(高抵抗性)을 가지는 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이젝터(7)는 역지 밸브(6)에 포함된 카트리지(cartridge)에 통합되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 9 항에 있어서,
카트리지 자체는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 오일 분리기에 수용되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
콤프레서(10)는 역지 밸브(6) 이후에 기체 출구 도관(8)에 있는 대기 공기 또는 기체를 흡입하는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법. - 진공 챔버(1)에 연결된 기체 유입 포트(2) 및 진공 펌프(SP)의 시스템의 기체 출구(8)로 나오기 전에 도관(5)으로 이어지는 기체 유출 포트(4)를 가지는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3),
기체 유출 포트(4)와 기체 출구(8) 사이에서 도관(5)에 위치된 역지 밸브(non-return valve, 6),
역지 밸브(6)에 병렬로 연결된 이젝터(7) 및,
콤프레서(10)를 포함하고,
상기 콤프레서(10)는 상기 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)를 구동하는 힘에 의해 구동되고,
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(3)내에 포함된 기체를 개스 유출 포트(4)를 통해 펌핑하기 위하여 작용됨과 동시에, 이젝터(7)에 콤프레서에 의하여 작동 유체가 공급되도록 구성되고,
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 동안 내내, 또는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1)에서 정해진 압력을 유지하는 동안 내내, 상기 콤프레서(10)에 의하여 이젝터(7)에 작동 유체가 공급되도록 구성되고,
이젝터(7)의 작동 유체는 압축 공기인 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템(SP, SPP). - 제 12 항에 있어서,
이젝터(7)의 유출부는 역지 밸브(6) 이후에 도관(5)과 다시 접합되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
이젝터(7)의 치수는 작동 유체를 최소로 소비하도록 정해지는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
이젝터(7)의 공칭 유량은 역지 밸브(6)에 의해 제한되는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 출구 도관(5)의 체적에 따라서 선택되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 15 항에 있어서,
이젝터의 공칭 유량은 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 공칭 유량의 1/500 내지 1/20 인 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
이젝터(7)는 단일 단계 또는 다중 단계인 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 단부에서의 압력이 절대 압력(absolute pressure)으로서의 500 mbar 와 최종 진공 사이일 때 역지 밸브(6)가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
이젝터(7)는 화학 산업 또는 반도체 산업에서 통상적으로 사용되는 기체 및 물질에 대하여 화학적 고저항성을 가진 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
이젝터(7)는 역지 밸브(6)를 포함하는 카트리지에 통합되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 20 항에 있어서,
카트리지 자체는 제 1 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 오일 분리기 안에 수용되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템. - 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
콤프레서(10)는 역지 밸브(6) 이후에 기체 출구 도관(8)에 있는 대기 공기 또는 기체를 흡입하는 것을 특징으로 하는, 펌핑 시스템.
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
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| GRNT | Written decision to grant |