KR102230770B1 - Holding apparatus, transfer system including the same and transfer method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다양한 형태의 대상물에 대한 손상을 최소화하면서 안정적인 홀딩 및 이송을 구현할 있는 홀딩장치, 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 프레임; 상기 프레임에 결합되며, 스테이지에 놓인 대상물을 홀딩하여 상기 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩유닛; 및 상기 프레임에 결합되며, 상기 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩유닛;을 포함하며, 상기 제2 홀딩유닛은, 내부에 수용공간을 구비하는 유연커버와, 상기 수용공간에 채워지고 상기 대상물의 측면부 형상에 대응하여 변형되는 분말체를 구비하는 그립부; 및 상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부가 상기 대상물을 홀딩하도록 하는 부압발생부;를 포함하는 특징을 개시한다.The present invention is to provide a holding device that can implement stable holding and transfer while minimizing damage to various types of objects, a transfer system including the same, and a transfer method. The present invention for this is a frame; A first holding unit coupled to the frame and holding an object placed on a stage to separate the object from the stage; And a second holding unit coupled to the frame and holding a side portion of the object spaced apart from the stage, wherein the second holding unit includes a flexible cover having an accommodation space therein, and the receiving space A grip portion having a powder body that is filled and deformed in accordance with the shape of the side portion of the object; And a negative pressure generator configured to hold the object by suctioning the air in the receiving space and contracting the flexible cover so that the powder body is squeezed and fixed in a state in which the grip part is deformed.

Description

홀딩장치, 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법{HOLDING APPARATUS, TRANSFER SYSTEM INCLUDING THE SAME AND TRANSFER METHOD}Holding device, transfer system including the same, and transfer method {HOLDING APPARATUS, TRANSFER SYSTEM INCLUDING THE SAME AND TRANSFER METHOD}

본 발명은 홀딩장치, 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법에 관한 것으로, 상세하게는 다양한 형태의 대상물에 대한 손상을 최소화하면서 안정적인 홀딩 및 이송을 구현할 있는 홀딩장치, 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법에 관한 것이다.The present invention relates to a holding device, a transfer system including the same, and a transfer method, and in detail, a holding device capable of implementing stable holding and transfer while minimizing damage to various types of objects, and a transfer system and transfer method including the same. About.

일반적으로 협업 로봇은 산업용 로봇에 안전 기능이 강화되어 인간과 같은 공간에서 공동 작업이 가능한 제조 로봇을 말한다.In general, a collaborative robot refers to a manufacturing robot that can collaborate in a human-like space by enhancing safety functions in industrial robots.

협업 로봇은 공정 재배치가 용이하기 때문에, 기존 산업용 로봇에 비해 생산 유연성 증대 효과가 큰 장점이 있다. 이에 따라 협업 로봇은 단팔 형태의 협업 로봇, 양팔 형태의 협업 로봇 등 여러 형태로 개발되고 있다.Since the collaborative robot is easy to relocate the process, it has a great advantage of increasing production flexibility compared to existing industrial robots. Accordingly, collaboration robots are being developed in various forms, such as short-armed collaboration robots and double-armed collaboration robots.

그러나 물류자동화 요구 증대에 따른 다품종 부품과 화물에 대한 피킹 작업 자동화가 시급함에도 불구하고, 기존의 협업 로봇 기술은 인간의 손을 그대로 본 따서 모터로 구동하는 로봇 손의 형태의 그리퍼(Gripper)가 대부분이다. 그런데, 인간의 손 형태를 구현하기 위해서는 각 손가락에 해당하는 부분별로, 액츄에이터와, 회전구동링크 등의 구성이 마련되어야 하고, 각각의 액츄에이터를 제어하기 위한 제어장치가 필요하기 때문에, 구성이 복잡해지고 이를 통합하기 위한 제어 시스템도 복잡해지는 문제점이 있다.However, despite the urgent need to automate the picking work for multiple parts and cargo due to the increasing demand for logistics automation, most of the existing collaborative robot technology is a gripper in the form of a robot hand driven by a motor after the human hand as it is. to be. However, in order to implement the shape of a human hand, a configuration such as an actuator and a rotation drive link must be provided for each part corresponding to each finger, and since a control device for controlling each actuator is required, the configuration becomes complicated. The control system for integrating this also has a problem of becoming complicated.

예를 들어 반도체나 디스플레이 제조 공정에서도 각 공정마다 기판 등의 대상물을 이송하기 위한 이송장치를 필요로 하게 되는데, 이러한 반도체나 디스플레이 제조 공정에 사용되는 기판들 역시 다양 종류의 두께와 크기를 가지고 있다.For example, in a semiconductor or display manufacturing process, a transfer device for transferring an object, such as a substrate, is required for each process, and substrates used in the semiconductor or display manufacturing process also have various types of thicknesses and sizes.

이때 종래에 사용되는 로봇 그리퍼의 경우는 다양한 모양과 재질의 물체를 잡기가 어려운 경우가 많다. 왜냐하면, 일반적으로 각각의 로봇은 잡을 수 있는 물체가 한정되어 있어, 물체에 맞는 그리퍼를 각각 구입하여 결합하여야 하고, 이에 따른 제어기도 물체에 맞게 튜닝되어야 하는 번거로움이 있다.At this time, in the case of a conventional robot gripper, it is often difficult to grasp objects of various shapes and materials. Because, in general, each robot has a limited number of objects that can be grasped. Therefore, a gripper suitable for the object must be purchased and combined, and accordingly, the controller is also cumbersome to be tuned to fit the object.

한편 기판과 같이 판상 구조의 대상물은 손상을 방지하고 원활한 이송을 위하여 공기부양이나 진공흡착 방식의 이송장치를 구성하게 되는데, 그러나 기존 공기부양이나 진공흡착 방식은 상대적으로 파지력이 낮아 이송을 위한 가감속 중 대상물이 분리되어 추락될 우려가 크고, 대상물의 상면 혹은 하면에 밀착되는 구조로 인하여 파지하고자 하는 대상물의 크기나 모양에 한계가 있었다.On the other hand, a plate-like object such as a substrate is configured with an air-lifting or vacuum-suction type transfer device to prevent damage and smooth transfer. There is a high risk of falling due to separation of the object, and there is a limit to the size or shape of the object to be gripped due to the structure in close contact with the top or bottom of the object.

따라서 파지하고자 하는 대상물의 크기나 모양에 제한되지 않고, 다양한 형태의 대상물 파지가 가능하며, 파지된 대상물의 손상을 최소화하면서도 안정적으로 파지 및 이송하기 위한 기술이 요구된다.Therefore, it is not limited to the size or shape of the object to be gripped, it is possible to grip various types of objects, and a technology for stably gripping and transferring the gripped object while minimizing damage to the gripped object is required.

대한민국 공개특허공보 제2012-0126576호(2012.11.21.공개)Republic of Korea Patent Publication No. 2012-0126576 (published on November 21, 2012)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 복수 공정의 홀딩 동작을 통하여 대상물의 손상 없이 안정적으로 홀딩하여 이송할 수 있는 홀딩장치 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법을 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve a conventional problem, and the present invention is to provide a holding device capable of stably holding and transporting an object without damage through a holding operation of a plurality of processes, and to provide a transport system and a transport method including the same. .

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 홀딩장치는, 프레임; 상기 프레임에 결합되며, 스테이지에 놓인 대상물을 홀딩하여 상기 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩유닛; 및 상기 프레임에 결합되며, 상기 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩유닛;을 포함할 수 있으며, 이때 상기 제2 홀딩유닛은, 내부에 수용공간을 구비하는 유연커버와, 상기 수용공간에 채워지고 상기 대상물의 측면부 형상에 대응하여 변형되는 분말체를 구비하는 그립부; 및 상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부가 상기 대상물을 홀딩하도록 하는 부압발생부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention described above, the holding device according to the present invention comprises: a frame; A first holding unit coupled to the frame and holding an object placed on a stage to separate the object from the stage; And a second holding unit coupled to the frame and holding a side portion of the object spaced apart from the stage, wherein the second holding unit includes a flexible cover having an accommodation space therein, and the A grip part filled in the receiving space and provided with a powder body that is deformed corresponding to the shape of the side part of the object; And a negative pressure generator configured to hold the object by suctioning air in the receiving space and contracting the flexible cover while the grip part is deformed so that the powder body is compressed and fixed.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 제1 홀딩유닛은, 상기 대상물의 일면에 밀착됨으로써 내부 공간이 밀폐되는 흡착부; 상기 흡착부 내부의 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 부압발생부; 및 상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하며, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상승되거나 하강되도록 하는 제1 이송부;를 포함할 수 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the first holding unit includes: an adsorption unit in which the inner space is sealed by being in close contact with one surface of the object; A first negative pressure generator configured to suck the air inside the adsorption unit so that the object is adsorbed to the adsorption unit; And a first transfer unit connecting the frame to the adsorption unit and allowing the object adsorbed to the adsorption unit to rise or fall.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 제1 이송부는, 상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하는 신축연결부; 및 상기 신축연결부 내부의 공기를 흡입하거나 공급함에 따라 상기 신축연결부가 수축되거나 신장되도록 하는 제2 부압발생부;를 포함할 수 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the first transfer unit comprises: a telescopic connection unit connecting the frame and the suction unit; And a second negative pressure generating unit configured to contract or expand the elastic connection unit as the air inside the elastic connection unit is sucked or supplied.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 신축연결부는, 내부에 공기가 공급되어 상압이 유지되면, 상기 흡착부가 자중에 의해 하강하여 상기 제2 홀딩유닛보다 낮은 제1 높이에 위치하도록 최대 신장 상태를 유지할 수 있고, 내부에 공기가 빠져나가 부압이 발생되면, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상기 제2 홀딩유닛과 동일한 제2 높이에 위치하도록 최대 수축 상태를 유지할 수 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, when the air is supplied to the inside and the normal pressure is maintained, the suction unit is lowered by its own weight and is in a maximum elongated state so that it is located at a first height lower than the second holding unit. And, when negative pressure is generated due to air exhaustion therein, the object adsorbed to the adsorption unit may maintain a maximum contraction state so that the object adsorbed to the adsorption unit is positioned at the same second height as the second holding unit.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 신축연결부는, 상기 프레임에 결합되는 상부결합지지대; 상기 흡착부에 결합되는 하부결합지지대; 상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이에 배치되는 하나 이상의 중간연결지지대; 및 상기 상부결합지지대와 상기 중간연결지지대 및 상기 중간연결지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부의 내부 공간이 밀폐되도록 하는 유연연결부재;를 포함한 것일 수 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the expansion and contraction connection portion, the upper coupling support coupled to the frame; A lower coupling support coupled to the adsorption unit; At least one intermediate connection support disposed between the upper coupling support and the lower coupling support; And a flexible connection member that connects the upper coupling support and the intermediate connection support and the intermediate connection support and the lower coupling support, and seals the inner space of the elastic connection unit.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 신축연결부는, 상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부가 신장된 상태에서 상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이의 간격을 제한하는 간격유지부재를 더 포함할 수도 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the elastic connection part connects the upper coupling support and the lower coupling support, and limits the distance between the upper coupling support and the lower coupling support while the elastic connection is extended. It may further include a gap maintaining member.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 제2 홀딩유닛은, 상기 프레임과 상기 그립부를 연결하며, 상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접시키거나 이격시키는 제2 이송부를 더 포함할 수 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the second holding unit may further include a second transfer unit that connects the frame and the grip unit and makes the grip unit close to or spaced apart from the object.

또한 본 발명에 따른 홀딩장치에 있어서, 상기 제2 홀딩유닛은, 상기 유연커버의 타면에 밀착되도록 마련되며, 상기 그립부가 변형 시 함께 압축 변형되면서 상기 그립부를 지지하는 유연지지부를 더 포함할 수도 있다.In addition, in the holding device according to the present invention, the second holding unit is provided to be in close contact with the other surface of the flexible cover, and may further include a flexible support part supporting the grip part while being compressed and deformed when the grip part is deformed. .

한편 본 발명에 따른 이송시스템은, 제1 스테이지; 상기 제1 스테이지와 이격 배치되는 제2 스테이지; 및 전술한 홀딩장치가 구비되며 상기 제1 스테이지의 대상물을 상기 제2 스테이지 측으로 이송시키는 이송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the transfer system according to the present invention comprises: a first stage; A second stage spaced apart from the first stage; And a transfer robot provided with the above-described holding device and transferring the object of the first stage to the side of the second stage.

한편 본 발명은 전술한 홀딩장치가 구비된 이송시스템을 이용하여 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지 측으로 대상물을 이송하는 이송방법으로서, 상기 제1 스테이지에 안착된 상기 대상물의 상측으로 상기 홀딩장치를 이송시키는 제1 이송단계; 상기 대상물의 상부면을 홀딩하여 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩단계; 상기 제1 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩단계; 상기 홀딩장치에 홀딩된 상기 대상물을 상기 제2 스테이지의 상측으로 이송시키는 제2 이송단계; 상기 대상물의 측면부에 대한 홀딩을 해제하는 제1 분리단계; 및 상기 제2 스테이지에 상기 대상물을 안착시킨 후 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제2 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the present invention is a transfer method for transferring an object from the first stage to the second stage using a transfer system equipped with the holding device described above, wherein the holding device is placed above the object seated on the first stage. A first transfer step of transferring; A first holding step of holding an upper surface of the object to separate the object from the first stage; A second holding step of holding a side portion of the object spaced apart from the first stage; A second transfer step of transferring the object held by the holding device to an upper side of the second stage; A first separating step of releasing the holding of the side portion of the object; And a second separating step of releasing the holding of the upper surface of the object after mounting the object on the second stage.

또한 본 발명에 따른 이송방법에 있어서, 상기 제1 홀딩단계는, 상기 대상물의 상부면에 상기 흡착부가 밀착된 상태에서 상기 흡착부의 내부 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 흡착단계; 및 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물을 상승시켜 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물이 이격되도록 하는 제1 상승단계;를 포함할 수 있다.In addition, in the transfer method according to the present invention, the first holding step is a first step of sucking the air inside the adsorption unit while the adsorption unit is in close contact with the upper surface of the object so that the object is adsorbed to the adsorption unit. Adsorption step; And a first raising step of raising the object adsorbed to the adsorption unit so that the object is spaced apart from the first stage.

또한 본 발명에 따른 이송방법에 있어서, 상기 제2 홀딩단계는, 상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접 이동시켜 상기 대상물의 가압력에 의해 상기 그립부가 변형되도록 하는 제2 가압단계; 및 상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부에 상기 대상물이 홀딩되도록 하는 제2 그립단계;를 포함할 수 있다.In addition, in the transfer method according to the present invention, the second holding step includes: a second pressing step of moving the grip part closer to the object so that the grip part is deformed by the pressing force of the object; And a second gripping step of suctioning air in the accommodation space while the grip part is deformed to contract the flexible cover so that the powder body is compressed and fixed so that the object is held in the grip part.

또한 본 발명에 따른 이송방법에 있어서, 상기 제2 홀딩단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제1 홀딩해제단계; 및 상기 제2 이송단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면을 재차 홀딩하는 제1 재차홀딩단계;를 더 포함할 수도 있다.In addition, in the transfer method according to the present invention, a first holding release step of releasing holding of the upper surface of the object, which is performed after completion of the second holding step; And a first re-holding step of re-holding the upper surface of the object, which is performed after completion of the second transfer step.

본 발명에 따르면, 제1 홀딩유닛 및 대상물의 형상에 대응하여 변형되는 그립부를 포함하는 제2 홀딩유닛을 통하여 복수 공정의 홀딩 동작을 구현함으로써, 대상물에 가해지는 파지력을 최소화하여 대상물의 손상을 줄이고, 대상물에 대한 홀딩 및 이송을 효과적으로 수행할 수 있다.According to the present invention, by implementing a holding operation of a plurality of processes through a second holding unit including a first holding unit and a grip portion that is deformed corresponding to the shape of the object, the gripping force applied to the object is minimized to reduce damage to the object. , It is possible to effectively carry out the holding and transfer of the object.

또한 본 발명에 따르면, 제1 홀딩유닛 및 제2 홀딩유닛을 통한 복수 공정의 홀딩 동작을 구현함으로써, 판상 구조의 대상물에 대한 홀딩 동작을 보다 신속하고 안정적으로 수행할 수 있다.In addition, according to the present invention, by implementing the holding operation of a plurality of processes through the first holding unit and the second holding unit, it is possible to more quickly and stably perform the holding operation on the object of the plate-shaped structure.

또한 본 발명에 따르면, 대상물의 형상에 대응하여 변형되는 그립부를 포함함으로써, 다양한 크기나 형상의 대상물을 손상 없이 안정적으로 홀딩할 수 있다.In addition, according to the present invention, by including a grip portion that is deformed corresponding to the shape of the object, it is possible to stably hold objects of various sizes or shapes without damage.

또한 본 발명에 따르면, 제1 홀딩유닛 및 제2 홀딩유닛을 통한 복수 공정의 홀딩 및 분리 동작을 구현함으로써, 스테이지에 대한 대상물의 로딩 및 언로딩 이송 작업을 보다 신속하고 안정적으로 수행할 수 있다.In addition, according to the present invention, by implementing the holding and separating operation of a plurality of processes through the first holding unit and the second holding unit, the loading and unloading of the object to the stage can be carried out more quickly and stably.

또한 본 발명에 따르면, 크기, 무게 등 대상물의 종류에 따라 대상물의 이송 중 홀딩유닛의 선택적인 작동이 가능하기 때문에, 이송되는 대상물의 홀딩 상태를 보다 견고히 하거나 혹은 보다 효율적인 장치 구동이 가능할 수 있다.In addition, according to the present invention, since it is possible to selectively operate the holding unit during the transfer of the object according to the type of the object such as size and weight, the holding state of the object to be transported can be made more robust or the device can be driven more efficiently.

도 1은 본 발명에 따른 홀딩장치를 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 홀딩장치가 대상물을 홀딩하기 전 상태(a 도면)와 대상물을 홀딩한 상태(b 도면)를 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 홀딩유닛을 나타낸 작동 예시도이다.
도 4는 도 3의 신축연결부를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 홀딩유닛을 나타낸 단면 예시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 그립부의 작동을 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 그립부의 작동을 설명하기 위한 다른 예시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 이송시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물의 이송방법을 설명하기 위한 단계별 예시도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상물의 이송방법을 설명하기 위한 단계별 예시도이다.1 is an exemplary view showing a holding device according to the present invention.
2 is an exemplary view showing a state before the holding device according to the present invention holds an object (a drawing) and a state in which the object is held (b drawing).
3 is an exemplary view showing the operation of the first holding unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged view of the telescopic connection part of FIG. 3.
5 is an exemplary cross-sectional view showing a second holding unit according to an embodiment of the present invention.
6 is an exemplary view for explaining the operation of the grip unit according to the present invention.
7 is another exemplary view for explaining the operation of the grip unit according to the present invention.
8 is a view for explaining the transfer system according to the present invention.
9 is a step-by-step exemplary diagram for explaining a method of transferring an object according to an embodiment of the present invention.
10 is a step-by-step exemplary diagram for explaining a method of transporting an object according to another embodiment of the present invention.

이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above-described problem to be solved can be realized in detail will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiments, the same names and the same reference numerals are used for the same components, and additional descriptions thereof may be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 홀딩장치를 나타낸 예시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 홀딩장치가 대상물을 홀딩하기 전 상태(a 도면)와 대상물을 홀딩한 상태(b 도면)를 나타낸 예시도이다.1 is an exemplary view showing a holding device according to the present invention, and FIG. 2 is an exemplary view showing a state before holding an object (a drawing) and a state in which the object is held (b drawing) by the holding device according to the present invention. .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 홀딩장치는, 프레임(100), 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 포함한다.1 and 2, the holding device according to the present invention includes a frame 100, a first holding unit 200 and a second holding unit 300.

프레임(100)은 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 구성하는 일련의 구성요소를 고정 지지할 수 있다.The frame 100 may fixedly support a series of components constituting the first holding unit 200 and the second holding unit 300.

프레임(100)은 후술하겠지만 이송로봇에 구비되는 로봇헤드부일 수 있다. 프레임 구조의 로봇헤드부는 이송로봇에 탈부착 가능하게 연결될 수 있다.The frame 100 may be a robot head provided in a transfer robot, as will be described later. The frame structure of the robot head may be detachably connected to the transfer robot.

제1 홀딩유닛(200)은 프레임(100)에 연결될 수 있으며, 스테이지(S)에 놓인 대상물(M)의 상측에 배치될 수 있다. 제1 홀딩유닛(200)은 스테이지(S)에 놓인 대상물(M)을 홀딩하여 스테이지(S)로부터 대상물(M)이 이격되도록 할 수 있다.The first holding unit 200 may be connected to the frame 100 and may be disposed above the object M placed on the stage S. The first holding unit 200 may hold the object M placed on the stage S so that the object M is spaced apart from the stage S.

스테이지(S)에 놓인 이송 대상물(M)은 판상 구조를 가질 수 있으며, 박막, 필름 및 기판 등이 해당될 수 있다. 대상물(M)은 반드시 판상의 구조를 가지는 것에만 국한하는 것은 아니며, 다양한 크기나 모양을 가질 수 있다.The transfer object M placed on the stage S may have a plate-like structure, and may correspond to a thin film, a film, and a substrate. The object M is not necessarily limited to having a plate-like structure, and may have various sizes or shapes.

제1 홀딩유닛(200)은 스테이지(S)에 놓인 대상물(M)의 상부면을 홀딩할 수 있으며, 홀딩된 대상물(M)을 스테이지(S)로부터 이격되게 상승시키거나 스테이지(S)에 근접되게 하강시킬 수 있다.The first holding unit 200 may hold the upper surface of the object M placed on the stage S, and raise the held object M apart from the stage S or close to the stage S. It can be lowered.

제1 홀딩유닛(200)은 흡착부(210), 제1 부압발생부(230) 및 제1 이송부(250)를 포함할 수 있다.The first holding unit 200 may include an adsorption unit 210, a first negative pressure generator 230, and a first transfer unit 250.

흡착부(210)는 유연패드를 포함할 수 있다. 유연패드는 유연소재로 이루어질 수 있으며, 얇은 시트, 콘(Cone) 및 컵과 같은 형태로 이루어질 수 있다. 유연패드는 공기가 통하지 않는 소재로 이루어질 수 있다.The adsorption unit 210 may include a flexible pad. The flexible pad may be made of a flexible material, and may be formed in the form of a thin sheet, cone, and cup. The flexible pad may be made of a material through which air does not pass.

유연패드의 일측에는 대상물(M)이 밀착되는 흡착개구부가 구비될 수 있으며, 흡착개구부가 대상물(M)에 밀착된 상태에서 유연패드의 내부 공간은 폐쇄될 수 있다. 유연패드의 내부공간은 제1 부압발생부(210)의 흡입관과 연결될 수 있다.One side of the flexible pad may be provided with an adsorption opening to which the object M is in close contact, and the inner space of the flexible pad may be closed while the adsorption opening is in close contact with the object M. The inner space of the flexible pad may be connected to the suction pipe of the first negative pressure generator 210.

제1 부압발생부(230)는 흡착부(210)에 연결될 수 있다. 제1 부압발생부(230)는 흡입관을 구비할 수 있으며, 흡입관은 흡착부(210)의 내부 공간과 연결될 수 있다. 제1 부압발생부(230)는 흡입관을 통해 흡착부(210) 내부의 공기를 흡입할 수 있다.The first negative pressure generator 230 may be connected to the adsorption unit 210. The first negative pressure generating unit 230 may include a suction pipe, and the suction pipe may be connected to the inner space of the suction unit 210. The first negative pressure generator 230 may suck air inside the adsorption unit 210 through a suction pipe.

제1 부압발생부(210)에 의해 흡착부(210)의 내부 공간에 존재하는 공기가 흡입되면, 대상물(M)은 흡착부(210)의 흡착면에 흡착되어 견고히 고정될 수 있다. 즉, 유연패드의 흡착개구부에 흡착될 수 있다.When air existing in the inner space of the adsorption unit 210 is sucked by the first negative pressure generator 210, the object M may be adsorbed on the adsorption surface of the adsorption unit 210 and be firmly fixed. That is, it may be adsorbed to the adsorption opening of the flexible pad.

제1 이송부(250)는 프레임(100)과 흡착부(210)를 연결하도록 구성될 수 있다. 제1 이송부(250)는 스테이지(S)로부터 흡착부(210)를 근접시키거나 이격시킬 수 있다. 즉, 제1 이송부(250)는 흡착부(210)에 흡착된 대상물(M)을 상승시키거나 하강시킬 수 있다.The first transfer unit 250 may be configured to connect the frame 100 and the adsorption unit 210. The first transfer unit 250 may bring the adsorption unit 210 closer to or spaced apart from the stage S. That is, the first transfer unit 250 may raise or lower the object M adsorbed by the adsorption unit 210.

제1 이송부(250)를 통하여 흡착부(210)에 흡착된 대상물(M)은 제1 높이(h1)와 제2 높이(h2) 사이에서 상승하거나 하강될 수 있다. 제1 높이(h1)는 대상물(M)이 스테이지(S)의 상부면에 위치하는 상태이고, 제2 높이(h2)는 대상물(M)이 스테이지(S)로부터 최대로 이격된 상태일 수 있다.The object M adsorbed to the adsorption unit 210 through the first transfer unit 250 may rise or fall between the first height h1 and the second height h2. The first height h1 may be a state in which the object M is located on the upper surface of the stage S, and the second height h2 may be a state in which the object M is maximally separated from the stage S. .

여기서 상기 제2 높이(h2)는 제2 홀딩유닛(300)이 대상물(M)의 측면부를 감싸면서 홀딩할 수 있도록, 제2 홀딩유닛(300)의 그립부(310) 일부분이 대상물(M)의 하측으로 진입할 수 있을 만큼의 공간을 확보하기 위한 높이일 수 있다.Here, the second height h2 is a part of the grip part 310 of the second holding unit 300 so that the second holding unit 300 can hold and surround the side surface of the object M. It may be a height to secure enough space to enter the lower side.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제1 홀딩유닛을 나타낸 작동 예시도이며, 도 4는 도 3의 신축연결부를 확대하여 나타낸 도면이다.3 is an exemplary view showing an operation of the first holding unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged view of the telescopic connection portion of FIG. 3.

도 3 및 도 4를 추가 참조하면, 실시예에 따른 제1 이송부(250)는 신축연결부(260) 및 제2 부압발생부(270)를 포함할 수 있다.3 and 4, the first transfer unit 250 according to the embodiment may include a telescopic connection unit 260 and a second negative pressure generation unit 270.

신축연결부(260)는 프레임(100)과 흡착부(210)를 연결하도록 구성될 수 있다.The elastic connection part 260 may be configured to connect the frame 100 and the adsorption part 210.

신축연결부(260)는 외력에 의해 신장되거나 수축될 수 있도록 구성한 것으로, 상부결합지지대(261), 하부결합지지대(262), 중간연결지지대(263), 유연연결부재(264)를 포함할 수 있다.The elastic connection part 260 is configured to be extended or contracted by an external force, and may include an upper coupling support 261, a lower coupling support 262, an intermediate connection support 263, and a flexible connection member 264. .

상부결합지지대(261)는 프레임(100)에 결합될 수 있고, 하부결합지지대(262)는 흡착부(210)에 결합될 수 있다. 상부결합지지대(261)와 프레임(100) 및 하부결합지지대(262)와 흡착부(210) 간의 결합 부분은 폐쇄된 상태를 이룰 수 있다.The upper coupling support 261 may be coupled to the frame 100, and the lower coupling support 262 may be coupled to the adsorption unit 210. The coupling portion between the upper coupling support 261 and the frame 100 and the lower coupling support 262 and the adsorption unit 210 may be in a closed state.

중간연결지지대(263)는 상부결합지지대(261)와 하부결합지지대(262) 사이에 배치될 수 있으며, 중간연결지지대(263)는 복수개가 배치될 수 있다.The intermediate connection support 263 may be disposed between the upper coupling support 261 and the lower coupling support 262, and a plurality of intermediate connection support 263 may be disposed.

상부결합지지대(261), 중간연결지지대(263) 및 하부결합지지대(262)는 평면 상에서 환 형상이나 다각 형상으로 형성될 수 있으며, 서로 동일한 형상으로 형성되거나 서로 다른 형상으로 형성될 수도 있다.The upper coupling support 261, the intermediate connection support 263, and the lower coupling support 262 may be formed in an annular or polygonal shape on a plane, and may be formed in the same shape or different shapes.

유연연결부재(264)는 상부결합지지대(261)와 하부결합지지대(262)를 연결하여, 신축연결부(260)의 내부 공간을 형성할 수 있다. 유연연결부재(264)는 신축 가능한 유연소재로 이루어질 수 있고, 공기가 통하지 않는 소재로 이루어질 수 있다. 결국 신축연결부(260)의 내부 공간은 유연연결부재(264)를 통해 밀폐될 수 있다.The flexible connection member 264 may connect the upper coupling support 261 and the lower coupling support 262 to form an inner space of the telescopic connection part 260. The flexible connection member 264 may be made of a flexible material that can be stretched, and may be made of a material that does not pass through air. As a result, the inner space of the elastic connection part 260 may be sealed through the flexible connection member 264.

예를 들면 유연연결부재(264)는 상부결합지지대(261)와 하부결합지지대(262)를 연결하는 하나의 부재로 구성될 수 있다. 또한 유연연결부재(264)는 상부결합지지대(261)와 상기 상부결합지지대(261)와 이웃하는 중간연결지지대(263)를 연결하는 제1 부재, 서로 이웃하는 중간연결지지대(263)를 연결하는 제2 부재 및 하부결합지지대(262)와 상기 하부결합지지대(262)와 이웃하는 중간연결지지대(263)를 연결하는 제3 부재로 이루어질 수도 있다.For example, the flexible connection member 264 may be composed of one member connecting the upper coupling support 261 and the lower coupling support 262. In addition, the flexible connection member 264 is a first member connecting the upper coupling support 261 and the upper coupling support 261 and the neighboring intermediate connection support 263, and connecting the intermediate connection support 263 adjacent to each other. It may be formed of a second member and a third member connecting the lower coupling support 262 and the lower coupling support 262 and the adjacent intermediate connection support 263.

이와 같이 상부결합지지대(261), 중간연결지지대(263), 하부결합지지대(262) 및 유연연결부재(264)로 이루어지는 신축연결부(260)는 마치 벨로우즈(Bellows)와 같은 구조를 취할 수 있다.In this way, the elastic connection portion 260 made of the upper coupling support 261, the intermediate connection support 263, the lower coupling support 262 and the flexible connection member 264 may take a structure such as bellows.

신축연결부(260)의 내부 공간은 제2 부압발생부(270)의 흡입관에 연결될 수 있다. 신축연결부(260)는 내부 공간의 공기가 빠지면 수축될 수 있고, 내부 공간에 공기가 공급되면 하방으로 늘어지면서 신장될 수 있다.The inner space of the elastic connection part 260 may be connected to the suction pipe of the second negative pressure generator 270. The elastic connector 260 may contract when the air in the inner space is exhausted, and when air is supplied to the inner space, it may be stretched while being stretched downward.

한편 신축연결부(260)는 간격유지부재(265)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the elastic connection part 260 may further include a gap maintaining member 265.

간격유지부재(265)는 상부결합지지대(261) 및 하부결합지지대(262)를 연결하도록 구성될 수 있으며, 간격유지부재(265)는 유연소재의 와이어부재일 수 있다. 이러한 간격유지부재(265)는 자중에 의해 낙하되는 하부결합지지대(262)를 지지하여 상부결합지지대(261)와 하부결합지지대(262) 사이의 간격을 제한할 수 있다. 즉, 간격유지부재(265)는 신축연결부(260)의 최대 신장 상태를 제한할 수 있다.The gap maintaining member 265 may be configured to connect the upper engaging support 261 and the lower engaging support 262, and the gap maintaining member 265 may be a wire member made of a flexible material. The gap maintaining member 265 may support the lower coupling support 262 falling by its own weight to limit the space between the upper coupling support 261 and the lower coupling support 262. That is, the gap maintaining member 265 may limit the maximum elongation state of the elastic connection part 260.

제2 부압발생부(270)는 신축연결부(260)에 연결될 수 있다. 제2 부압발생부(270)는 신축연결부(260)의 내부 공간과 연결되는 흡입관을 구비할 수 있다. 제2 부압발생부(270)는 흡입관을 통해 신축연결부(260)의 내부 공간의 공기를 흡입하거나 내부 공간에 공기를 공급할 수 있다.The second negative pressure generation unit 270 may be connected to the elastic connection unit 260. The second negative pressure generation unit 270 may include a suction pipe connected to the inner space of the expansion/contraction connection unit 260. The second negative pressure generator 270 may suck air in the inner space of the expansion/contractor 260 through a suction pipe or may supply air to the inner space.

제2 부압발생부(270)의 작동여부에 따라, 신축연결부(260)의 내부 공간에 공기를 공급하여 내부 공간에 상압이 유지되면, 흡착부(210)는 자중에 의해 하강하게 되고, 이와 함께 신축연결부(260)는 간격유지부재(265)에 지지된 최대 신장 상태를 유지할 수 있다. 이렇게 신축연결부(260)가 최대로 신장된 상태에서 흡착부(210)는 제2 홀딩유닛(300)보다 낮은 제1 높이(h1)를 유지할 수 있다. 상기 제1 높이(h1)는 스테이지(S)에 안착된 대상물(M)과 동일한 높이에 해당될 수 있는데, 이 경우 스테이지(S)에 안착된 대상물(M)을 이송하기 위해 홀딩장치가 대상물(M)을 향해 이송되는 과정에서 대상물(M)의 상부면에 흡착부(210)가 가장 먼저 접촉될 수 있다.Depending on whether the second negative pressure generating unit 270 is operated, air is supplied to the inner space of the expansion/contractor 260 to maintain normal pressure in the inner space, and the adsorption unit 210 is lowered by its own weight. The elastic connection part 260 may maintain a maximum elongated state supported by the spacing member 265. In this way, in a state in which the elastic connection part 260 is maximized, the adsorption part 210 may maintain a first height h1 lower than that of the second holding unit 300. The first height h1 may correspond to the same height as the object M seated on the stage S. In this case, the holding device is used to transfer the object M seated on the stage S. In the process of being transferred toward M), the adsorption unit 210 may first contact the upper surface of the object M.

한편 제2 부압발생부(270)의 작동여부에 따라, 신축연결부(260)의 내부 공간의 공기를 흡입하여 내부 공간에 부압이 발생되면, 신축연결부(260)는 수축하게 되는데, 이때 상부결합지지대(261), 중간연결지지대(263) 및 하부결합지지대(262)가 서로 밀착된 최대 수축 상태를 유지할 수 있다. 이렇게 신축연결부(260)가 최대로 수축된 상태에서 흡착부(210)는 제2 높이(h2)를 유지할 수 있다. 상기 제2 높이(h2)는 제2 홀딩유닛(300)의 그립부(310)의 수평 중심선과 동일한 높이일 수 있다.On the other hand, depending on whether the second negative pressure generating unit 270 is operated, when negative pressure is generated in the inner space by inhaling air in the inner space of the telescopic connector 260, the telescopic connector 260 contracts. At this time, the upper coupling support (261), the intermediate connection support 263 and the lower coupling support 262 can maintain the maximum contraction state in close contact with each other. In this way, in a state in which the elastic connection part 260 is maximally contracted, the adsorption part 210 may maintain the second height h2. The second height h2 may be the same height as the horizontal center line of the grip part 310 of the second holding unit 300.

이와 같이 제2 부압발생부(270)의 작동여부에 따라, 대상물(M)은 스테이지(S)에 안착되는 제1 높이(h1)와 스테이지(S)로부터 이격된 제2 높이(h2) 사이에서 상승되거나 하강될 수 있다.In this way, depending on whether the second negative pressure generator 270 is operated, the object M is between the first height h1 seated on the stage S and the second height h2 spaced apart from the stage S. It can be raised or lowered.

제2 홀딩유닛(300)은 프레임(100)에 결합될 수 있으며, 스테이지(S) 놓인 대상물(M)의 가장자리 영역에 배치될 수 있다.The second holding unit 300 may be coupled to the frame 100 and may be disposed in an edge region of the object M placed on the stage S.

제2 홀딩유닛(300)은 단독으로 배치된 하나의 유닛으로 구성될 수 있고, 대상물(M)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 유닛으로 구성될 수도 있으며, 대상물(M)의 가장자리 주변부를 따라 3개 이상의 복수 유닛으로 구성될 수도 있다. 이러한 제2 홀딩유닛(300)의 배치 수량은 대상물(M)의 무게, 크기 및 형상 등을 고려하여 적절히 배치될 수 있다.The second holding unit 300 may be composed of a single unit disposed alone, may be composed of a pair of units disposed facing each other with the object M interposed therebetween, and the edge of the object M It may be composed of three or more plural units along the periphery. The quantity of the second holding unit 300 may be appropriately placed in consideration of the weight, size, and shape of the object M.

제2 홀딩유닛(300)은 제1 홀딩유닛(200)을 통하여 스테이지(S) 상측으로 이격된 대상물(M)의 측면부를 감싸도록 홀딩하여 대상물(M)을 고정 지지할 수 있다.The second holding unit 300 may hold the object M to be fixedly supported by holding the side portion of the object M spaced above the stage S through the first holding unit 200.

제2 홀딩유닛(300)은 그립부(310), 부압발생부(330) 및 제2 이송부(350)를 포함할 수 있다.The second holding unit 300 may include a grip part 310, a negative pressure generator 330, and a second transfer part 350.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제2 홀딩유닛을 나타낸 단면 예시도이다.5 is an exemplary cross-sectional view showing a second holding unit according to an embodiment of the present invention.

도 5를 추가 참조하면 본 발명에 따른 그립부(310)는 대상물(M)의 가압력에 의하여 변형될 수 있으며, 유연커버(311) 및 분말체(312)를 포함할 수 있다.5, the grip part 310 according to the present invention may be deformed by the pressing force of the object M, and may include a flexible cover 311 and a powder body 312.

유연커버(311)는 유연커버(311)의 일측면을 형성하고 대상물(M)과 밀착되는 그립면(311a)과, 유연커버(311)의 타측면을 형성하고 그립면(311a)과 짝을 이루는 기준면(311b)을 구비할 수 있으며, 내측에는 수용공간(311c)을 구비할 수 있다.The flexible cover 311 forms one side of the flexible cover 311 and forms a grip surface 311a that is in close contact with the object M, and the other side of the flexible cover 311, and is paired with the grip surface 311a. A reference surface 311b may be provided, and an accommodation space 311c may be provided inside.

유연커버(110)는 유연성을 가지는 얇은 막의 형태로 이루어질 수 있으며, 공기가 통하지 않는 소재로 이루어질 수 있다.The flexible cover 110 may be formed in the form of a thin film having flexibility, and may be made of a material through which air does not pass.

분말체(312)는 수용공간(311c)에 채워질 수 있다. 분말체(312)는 분말 형태를 이룰 수 있다.The powder body 312 may be filled in the receiving space 311c. The powder body 312 may have a powder form.

유연커버(311)에 대상물(M)이 가압되면 분말체(312)는 가압되는 대상물(M)의 형상에 대응하여 변형될 수 있다. 여기서 분말체(312)가 변형된다는 의미는 가압되는 대상물(M)에 의해 분말들이 밀려나면서 형상이 변형되는 것을 의미한다.When the object (M) is pressed on the flexible cover 311, the powder body 312 may be deformed corresponding to the shape of the object (M) to be pressed. Here, the meaning that the powder body 312 is deformed means that the shape is deformed as the powders are pushed by the object M to be pressed.

유연커버(312)의 기준면(311b)에는 지지브래킷(미도시)이 더 구비될 수 있으며, 지지브래킷에는 제2 이송부(350)가 결합될 수 있다.A support bracket (not shown) may be further provided on the reference surface 311b of the flexible cover 312, and a second transfer part 350 may be coupled to the support bracket.

부압발생부(330)는 유연커버(311)에 연결될 수 있다. 부압발생부(330)는 흡입관(331)을 구비할 수 있으며, 흡입관(331)은 수용공간(311c)의 내측으로 연장될 수 있다. 부압발생부(330)는 흡입관(331)을 통해 수용공간(311c)의 공기를 흡입할 수 있다.The negative pressure generator 330 may be connected to the flexible cover 311. The negative pressure generator 330 may include a suction pipe 331, and the suction pipe 331 may extend into the receiving space 311c. The negative pressure generator 330 may suck air in the accommodation space 311c through the suction pipe 331.

부압발생부(330)에 의해 수용공간(311c)의 공기가 흡입되면, 유연커버(310)는 수축될 수 있고, 수용공간(311c)의 공기가 빠져나가면서 유연커버(310)가 수축되고, 수축되는 유연커버(310)에 의하여 분말체(312)는 압착되어 견고하게 고정될 수 있다.When the air in the receiving space 311c is sucked by the negative pressure generating unit 330, the flexible cover 310 may be contracted, and the flexible cover 310 is contracted as the air in the receiving space 311c escapes, The powder body 312 may be compressed and firmly fixed by the shrinkable flexible cover 310.

후술하겠지만 대상물(M)이 그립면(311a)에 가압된 상태에서 부압발생부(330)가 수용공간(311c)의 공기를 흡입하면, 분말체(312)는 가압된 대상물(M)에 의해 형상이 변형된 상태에서 유연커버(311)가 수축함에 따라 서로 압착되고, 분말체(312)와 유연커버(311)는 딱딱하게 굳어지게 된다. 즉, 그립면(311a)에 대상물(M)이 가압됨에 따라 변형된 분말체(312)는 변형된 상태로 굳어지게 되며, 그립면(311a)에 가압된 대상물(M)의 측면부는 유연커버(311)에 의해 홀딩될 수 있다.As will be described later, when the negative pressure generator 330 inhales the air in the receiving space 311c while the object M is pressed against the grip surface 311a, the powder 312 is shaped by the pressed object M. In this deformed state, as the flexible cover 311 shrinks, they are compressed to each other, and the powder body 312 and the flexible cover 311 are hardened. That is, as the object M is pressed against the grip surface 311a, the deformed powder body 312 is hardened in a deformed state, and the side portion of the object M pressed to the grip surface 311a is a flexible cover ( 311) can be held.

제2 이송부(350)는 프레임(100)과 그립부(310)를 연결하도록 구성될 수 있다. 제2 이송부(350)는 대상물(M)의 측면부를 향해 그립부(310)를 근접시키거나 이격시킬 수 있다.The second transfer unit 350 may be configured to connect the frame 100 and the grip unit 310. The second transfer part 350 may bring the grip part 310 closer or spaced apart toward the side part of the object M.

제2 이송부(350)는 예를 들면, 리니어모터나 회전모터, 볼스크류, LM가이드 등을 조합한 직선이송 구조체가 적용될 수 있다. 이와 같이 직선이송 구조체는 당해 기술분야에 있어서 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.The second transfer unit 350 may be a linear transfer structure combining a linear motor, a rotary motor, a ball screw, and an LM guide, for example. As described above, since the linear transport structure is obvious to a person skilled in the art, a detailed description will be omitted.

계속해서 도 5를 참조하면 본 발명에 따른 그립부(310)는 유연포켓(315)을 더 구비할 수 있다. 유연포켓(315)은 수용공간(311c)에 구비될 수 있으며, 분말체(312)를 내측에 수용할 수 있다. 이 경우 부압발생부(330)의 흡입관(331)은 유연포켓(315)에 연결될 수 있다.With continued reference to FIG. 5, the grip part 310 according to the present invention may further include a flexible pocket 315. The flexible pocket 315 may be provided in the receiving space 311c, and may accommodate the powder body 312 inside. In this case, the suction pipe 331 of the negative pressure generator 330 may be connected to the flexible pocket 315.

유연포켓(315)은 유연소재로 형성되고, 메시(Mesh) 형태로 이루어져서 분말체(312)의 크기보다 작은 크기의 다공(316)을 구비할 수 있다. 따라서 흡입관(331)으로 유연포켓(315) 내부의 공기가 흡입되면, 다공(316)을 통해 수용공간(311c)의 공기도 유연포켓(315)의 내측으로 이동되고, 이어서 흡입관(331)으로 흡입될 수 있다.The flexible pocket 315 may be formed of a flexible material and may have a porous 316 having a size smaller than that of the powder body 312 because it is formed in a mesh shape. Therefore, when the air inside the flexible pocket 315 is sucked into the suction pipe 331, the air in the receiving space 311c is also moved to the inside of the flexible pocket 315 through the porous 316, and then sucked into the suction pipe 331. Can be.

계속해서 도 5를 참조하면 본 발명에 따른 제2 홀딩유닛(300)은 유연지지부(320)를 더 포함할 수 있다.With continued reference to FIG. 5, the second holding unit 300 according to the present invention may further include a flexible support part 320.

유연지지부(320)는 유연커버(311)에 밀착되도록 마련될 수 있다. 유연지지부(320)의 지지면(321)은 유연커버(311)의 기준면(311b)에 밀착될 수 있다.The flexible support part 320 may be provided to be in close contact with the flexible cover 311. The support surface 321 of the flexible support part 320 may be in close contact with the reference surface 311b of the flexible cover 311.

유연커버(311)의 그립면(311a)에 대상물(M)이 가압되어 유연커버(311) 및 분말체(312)가 변형되면 유연지지부(320)도 함께 변형될 수 있으며, 유연지지부(320)는 유연커버(311)를 지지할 수 있다. 유연지지부(320)는 폴리머 소재로 이루어질 수 있으며, 벌집(Honeycomb) 구조로 이루어질 수 있다.When the object (M) is pressed to the grip surface (311a) of the flexible cover 311 and the flexible cover 311 and the powder body 312 are deformed, the flexible support part 320 may also be deformed, and the flexible support part 320 May support the flexible cover 311. The flexible support part 320 may be made of a polymer material, and may have a honeycomb structure.

유연지지부(320)의 하부에는 유연지지부(320)를 지지하기 위한 지지브래킷(미도시)이 더 구비될 수 있으며, 지지브래킷은 제2 이송부(350)에 결합될 수 있다.A support bracket (not shown) for supporting the flexible support part 320 may be further provided under the flexible support part 320, and the support bracket may be coupled to the second transfer part 350.

유연지지부(320)는 그립부(310)를 지지하여 그립부(310)의 변형이 보다 효과적으로 이루어지도록 도울 수 있다.The flexible support part 320 may support the grip part 310 to help the grip part 310 to be deformed more effectively.

이하에서는 도 6 및 도 7을 추가 참조하여 본 발명에 따른 그립부의 작동예를 설명한다.Hereinafter, an operation example of the grip unit according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

먼저 도 6은 본 발명에 따른 그립부의 작동을 설명하기 위한 예시도인데, 도 6의 (a)는 수용공간에 흡입력이 제공되기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 6의 (b)는 수용공간에 흡입력이 제공된 후의 상태를 나타낸 것이다.First, Figure 6 is an exemplary view for explaining the operation of the grip unit according to the present invention, Figure 6 (a) shows a state before the suction power is provided to the accommodation space, Figure 6 (b) is the suction power to the accommodation space It shows the state after being provided.

도 6의 (a)에서와 같이, 수용공간(311c)에 흡입력이 제공되기 전의 초기 상태에서 제2 이송부(350)의 작동에 따라 대상물(M)이 유연커버(311)의 그립면(311a)에 가압되면, 이때의 가압력(F)에 의해 가압되는 분말체(312)는 대상물(M)에 대응되어 형상이 변형된다. 동시에 유연커버(311) 및 유연포켓(315)의 형상도 대상물(M)의 형상에 대응되도록 변형될 수 있으며, 유연지지부(320)도 가압되면서 형상이 변형될 수 있다.As shown in (a) of Figure 6, in the initial state before the suction force is provided to the receiving space 311c, the object M is the grip surface 311a of the flexible cover 311 according to the operation of the second transfer unit 350 When pressed, the powder body 312 pressed by the pressing force F at this time is deformed in shape in correspondence with the object M. At the same time, the shape of the flexible cover 311 and the flexible pocket 315 may also be deformed to correspond to the shape of the object M, and the shape of the flexible support part 320 may also be deformed while being pressed.

이후 도 6의 (b)에서와 같이 부압발생부(330)의 작동에 따라 유연커버(311)의 내측으로 흡입력이 제공되어 그립부(310)의 분말체(312)가 굳어지게 되면, 그립부(310)는 대상물(M)의 측면부를 감싸면서 홀딩한다. 이때 파지력(f1)은 대상물(M)의 측면부와 밀착되는 그립면(311a)에 전체적으로 분산되어 가해진다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (b), when the suction force is provided to the inside of the flexible cover 311 according to the operation of the negative pressure generating unit 330, and the powder body 312 of the grip unit 310 is hardened, the grip unit 310 ) Is held while surrounding the side of the object (M). At this time, the gripping force f1 is distributed and applied as a whole on the grip surface 311a in close contact with the side surface of the object M.

그리고 그립부(310) 및 유연지지부(320)에 분산되어 가해지는 분산가압력(f1)의 합은 도 6의 (a)의 가압력(F)과 같을 수 있다. 따라서 대상물(M)이 파지 된 후에 추가 외력이 제공되더라도 이렇게 추가로 제공되는 힘은 크기가 작게 분산되어 제공되기 때문에 분말체(312)의 변형이 최소화될 수 있다. 이를 통해 대상물(M)의 형상에 대응되도록 형상이 변형된 분말체(312)는 안정적으로 형태가 유지될 수 있고, 대상물(M)의 홀딩도 안정적으로 지속될 수 있다.In addition, the sum of the distributed pressing force f1 distributed and applied to the grip part 310 and the flexible support part 320 may be equal to the pressing force F of FIG. 6A. Therefore, even if an additional external force is provided after the object M is gripped, the deformation of the powder body 312 can be minimized because the additional force is provided in a small size. Through this, the powder body 312 whose shape is deformed to correspond to the shape of the object M can be stably maintained in shape, and the holding of the object M can also be stably maintained.

한편 도 7은 본 발명에 따른 그립부의 작동을 설명하기 위한 다른 예시도인데, 도 7의 (a)는 그립부(310A)만 형성된 경우를 나타낸 것이고, 도 7의 (b)는 본 발명에 따른 유연지지부(320)를 포함하는 그립부(310)를 나타낸 것이다.On the other hand, Figure 7 is another exemplary view for explaining the operation of the grip portion according to the present invention, Figure 7 (a) shows a case in which only the grip portion 310A is formed, and Figure 7 (b) is a flexible paper according to the present invention. It shows the grip portion 310 including the branch portion 320.

도 7의 (a)에서와 같이 그립부(310A)의 두께가 두꺼울수록 수용되는 분말체의 양도 많아지게 되므로, 분말체를 변형시키기 위해서는 상대적으로 큰 힘이 필요하게 된다.As shown in (a) of FIG. 7, the larger the thickness of the grip part 310A, the greater the amount of the powder to be accommodated. Therefore, a relatively large force is required to deform the powder.

즉, 대상물(M)에 의해 가해지는 힘은 그립부(310A)에서 대상물(M)과 가까운 부분의 분말체를 변형시키기 위한 힘(f2)과, 대상물(M)에서 먼 부분의 분말체까지 변형시키기 위한 힘(f3)으로 사용되어야 한다. 따라서 대상물(M)과 가까운 부분에 가해지는 힘(f2)이 충분한 크기를 가지기 어렵고, 이에 따라 대상물(M)과 가까운 부분의 분말체의 형상 변형이 효과적으로 이루어지지 못할 수 있다. 즉, 대상물(M)과 가까운 부분의 분말체가 대상물(M)에 대응되는 형태로 효과적으로 변형되지 못하게 되기 때문에, 이후 흡입력이 제공되어 분말체가 견고하게 굳어지더라도 대상물(M)를 파지하는 파지력이 제한될 수 있다.That is, the force applied by the object (M) is the force (f2) to deform the powder body near the object (M) in the grip portion 310A and the powder body away from the object (M). It should be used as a force (f3). Therefore, it is difficult for the force f2 applied to the portion close to the object M to have a sufficient size, and accordingly, the shape of the powder body near the object M may not be effectively deformed. In other words, since the powder body close to the object (M) cannot be effectively transformed into a shape corresponding to the object (M), the gripping force to grip the object (M) is limited even if the powder body is firmly hardened by providing a suction force afterwards. Can be.

또한 흡입력이 제공되어 그립부(310A)에 대상물(M)이 파지된 상태에서 만약 추가 외력이 발생하게 되면, 견고하게 굳어진 그립부(310A)로 인하여 대상물(M) 측으로 추가 외력이 고스란히 전달되고, 이에 따라 대상물(M)이 변형되거나 파손될 수 있다.In addition, if an additional external force is generated while the object M is gripped by the grip portion 310A by providing a suction force, the additional external force is transmitted to the object M side due to the firmly hardened grip portion 310A, and accordingly The object (M) may be deformed or damaged.

예를 들어 홀딩된 대상물(M)을 이송할 시 가속 또는 감속 운동에 의한 추가 외력이 발생하게 되면, 이러한 외력은 그립부(310A)와 접촉되는 대상물(M)의 홀딩부분에서 파지력의 큰 변화를 발생시키고, 이에 따라 대상물(M)의 홀딩부분이 변형되거나 파손될 수 있다.For example, when an additional external force is generated due to acceleration or deceleration motion when transporting the held object (M), this external force causes a large change in the gripping force at the holding portion of the object (M) in contact with the grip portion (310A). And, accordingly, the holding part of the object M may be deformed or damaged.

이와 달리 도 7의 (b)에서와 같이 유연커버(311)의 두께를 상대적으로 얇게 하여 분말체의 양을 줄이고, 유연지지부(320)를 마련하여 유연커버(311)을 지지하는 구성을 취함으로써, 유연커버(311)의 두께 방향으로 수용되는 분말체(312)에 대상물(M)에 의한 가압력(F)이 효과적으로 적용되도록 할 수 있다. 따라서 대상물(M)에 의해 도 7의 (a)에서와 동일한 크기의 가압력(F)이 제공되는 것으로 가정했을 때, 분말체(312)의 변형이 더욱 효과적으로 이루어져서 대상물(M)에 밀착되는 밀착 면적이 더 커질 수 있고, 더욱 견고한 파지가 가능할 수 있다.Unlike this, as shown in Fig. 7(b), by making the thickness of the flexible cover 311 relatively thin to reduce the amount of powder, and by providing a flexible support part 320 to support the flexible cover 311 , It is possible to effectively apply the pressing force (F) by the object (M) to the powder body 312 accommodated in the thickness direction of the flexible cover 311. Therefore, assuming that the same size of the pressing force (F) as in Fig. 7 (a) is provided by the object (M), the deformation of the powder body 312 is made more effectively and the contact area that is in close contact with the object (M) This can be larger, and a more rigid gripping can be possible.

즉, 상대적으로 작은 힘을 이용해서 대상물(M)의 파지가 가능할 수 있으며, 상대적으로 작은 힘을 이용하기 때문에, 대상물(M)가 큰 가압력이 가해지는 경우 파손될 수 있는 대상물인 경우에도 손상을 최소화하면서 파지가 가능할 수 있다.In other words, it is possible to grip the object (M) using a relatively small force, and because a relatively small force is used, damage is minimized even if the object (M) is an object that can be damaged when a large pressing force is applied. While holding it may be possible.

또한 흡입력이 제공되어 그립부(310)에 대상물(M)이 파지된 상태에서 추가 외력이 발생하게 되면, 그립부(310)로부터 전달되는 추가 외력을 유연지지부(320)가 효과적으로 흡수하여 대상물(M) 측으로 추가 외력이 전달되는 것을 방지할 수 있다.In addition, when an additional external force is generated while the object M is gripped by the grip part 310 by providing a suction force, the flexible support part 320 effectively absorbs the additional external force transmitted from the grip part 310 to the object M side. It can prevent the transmission of additional external force.

따라서 홀딩된 대상물(M)을 이송할 시 가속 또는 감속 운동에 의한 추가 외력이 발생되더라도 이를 유연지지부(320)가 효과적으로 흡수할 수 있기 때문에, 대상물(M)에 가해지는 파지력의 힘을 최소화하면서 안정적인 홀딩 상태를 유지할 수 있다. 결국 유연지지부(320)는 그립부(310)의 홀딩 과정 및 홀딩 상태에서 추가적으로 인가되는 외력을 최소화할 수 있다.Therefore, even if an additional external force is generated due to acceleration or deceleration motion when transferring the held object (M), the flexible support unit 320 can effectively absorb it, so that the force of the gripping force applied to the object (M) is minimized while being stable. You can maintain the holding state. As a result, the flexible support part 320 may minimize an external force that is additionally applied during the holding process and the holding state of the grip part 310.

도 8은 본 발명에 따른 이송시스템을 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining the transfer system according to the present invention.

도 8을 참조하면 본 발명에 따른 이송시스템은 제1 스테이지(S1), 제2 스테이지(S2) 및 이송로봇을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the transfer system according to the present invention may include a first stage S1, a second stage S2, and a transfer robot.

제1 스테이지(S1)는 대상물(M)이 안착될 수 있다.In the first stage S1, the object M may be seated.

제2 스테이지(S)는 대상물(M)이 안착될 수 있으며, 제2 스테이지(S2)는 제1 스테이지(S1)로부터 이격 배치될 수 있다.In the second stage S, the object M may be seated, and the second stage S2 may be spaced apart from the first stage S1.

이송로봇(2000)은 제1 스테이지(S1) 및 제2 스테이지(S2)를 포함하는 영역을 작업영역으로 할 수 있다. 이송로봇(2000)은 로봇이라는 명칭을 부여하고 있으나, 하나 이상의 관절이 구비되는 로봇 구조체에 국한하는 것은 아니며, 예를 들면, 리니어모터, 회전모터, 볼스크류, LM가이드 등을 조합한 X, Y, Z축으로의 일반적인 직선이송 구조체의 조합으로도 적용될 수도 있다. 이와 같이 다축의 직선이송 구조체나 로봇 구조체는 당해 기술분야에 있어서 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.The transfer robot 2000 may use an area including the first stage S1 and the second stage S2 as a work area. The transfer robot 2000 is given the name of a robot, but is not limited to a robot structure equipped with one or more joints, for example, X, Y, which combines a linear motor, a rotating motor, a ball screw, and an LM guide. , It can also be applied as a combination of a general linear transfer structure to the Z-axis. As described above, since the multi-axis linear transport structure or the robot structure is self-evident to a person skilled in the art, a detailed description will be omitted.

이송로봇(2000)의 출력단에는 홀딩장치(1000)가 구비된다. 홀딩장치(1000)는 전술한 바와 같이 구성될 수 있으며, 관련 중복 설명은 생략한다.A holding device 1000 is provided at the output end of the transfer robot 2000. The holding device 1000 may be configured as described above, and a related redundant description will be omitted.

따라서 제1 스테이지(S1)에 안착된 대상물(M)은 이송로봇(2000) 및 홀딩장치(1000)를 통하여 제1 스테이지(S1)로부터 언로딩될 수 있고, 이송로봇(2000)을 통하여 이송되어서, 이송로봇(2000) 및 홀딩장치(1000)를 통하여 제2 스테이지(S2)에 로딩될 수 있다.Therefore, the object M seated on the first stage S1 can be unloaded from the first stage S1 through the transfer robot 2000 and the holding device 1000, and is transferred through the transfer robot 2000. , It may be loaded into the second stage S2 through the transfer robot 2000 and the holding device 1000.

이하에서는 도 9를 추가 참조하여 본 발명에 따른 이송시스템을 이용한 제1 스테이지(S1)에서 제2 스테이지(S2) 측으로 대상물(M)을 이송하는 이송방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a transfer method of transferring the object M from the first stage S1 to the second stage S2 using the transfer system according to the present invention will be described with reference to FIG. 9.

도 9는 본 발명에 따른 이송시스템을 이용한 대상물의 이송방법을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining a method of transporting an object using a transport system according to the present invention.

도 9를 참조하면 본 발명에 따른 이송방법은 제1 이송단계(S110), 제1 홀딩단계(S120), 제2 홀딩단계(S130), 제2 이송단계(S140), 제1 분리단계(S150) 및 제2 분리단계(S160)를 포함할 수 있다.9, the transfer method according to the present invention includes a first transfer step (S110), a first holding step (S120), a second holding step (S130), a second transfer step (S140), and a first separation step (S150). ) And a second separation step (S160).

제1 이송단계(S110)는 이송로봇(2000)을 작동하여, 제1 스테이지(S1)에 안착된 대상물(M)의 상측으로 홀딩장치(1000)를 이송시키는 단계이다. 제1 이송단계(S110)가 완료된 후, 제1 이송부(250)의 작동여부에 따라 흡착부(210)는 대상물(M)의 상부면과 동일한 제1 높이(h1)를 유지할 수 있다.The first transfer step (S110) is a step of operating the transfer robot (2000) to transfer the holding device (1000) to the upper side of the object (M) seated in the first stage (S1). After the first transfer step S110 is completed, the adsorption unit 210 may maintain the same first height h1 as the upper surface of the object M depending on whether the first transfer unit 250 is operated.

제1 스테이지(S1)상의 대상물(M) 상측에 홀딩장치(1000)가 준비되면, 홀딩장치(1000)에 대상물(M)을 홀딩하게 되는데, 대상물(M)의 홀딩단계는 제1 홀딩단계(S120) 및 제2 홀딩단계(S130)를 포함한다.When the holding device 1000 is prepared above the object M on the first stage S1, the object M is held in the holding device 1000, and the holding step of the object M is a first holding step ( S120) and a second holding step (S130).

제1 홀딩단계(S120)는 대상물(M)의 상부면을 홀딩하고, 홀딩된 대상물(M)을 제1 스테이지(M)의 상측으로 이격시키는 단계이다. 제1 홀딩단계(S120)는 제1 위치조정단계, 제1 흡착단계(S122) 및 제1 상승단계(S123)를 포함할 수 있다.The first holding step (S120) is a step of holding the upper surface of the object (M), and separating the held object (M) to the upper side of the first stage (M). The first holding step (S120) may include a first position adjustment step, a first adsorption step (S122), and a first raising step (S123).

제1 위치조정단계는 제1 스테이지(S1)에 안착된 대상물(M)의 상부면에 제1 홀딩유닛(200)의 흡착부(210)를 밀착시키는 단계이다. 제1 이송부(250)의 작동에 따라 흡착부(210)의 위치를 상승시키거나 하강시키면서 대상물(M)의 상부면에 흡착부(210)를 밀착시킬 수 있다.The first position adjustment step is a step of bringing the adsorption part 210 of the first holding unit 200 into close contact with the upper surface of the object M seated on the first stage S1. The adsorption unit 210 may be in close contact with the upper surface of the object M while raising or lowering the position of the adsorption unit 210 according to the operation of the first transfer unit 250.

제1 흡착단계(S122)는 흡착부(210)에 대상물(M)이 흡착되도록 하는 단계이다. 대상물(M)의 상부면에 흡착부(210)가 밀착된 상태에서 제1 부압발생부(230)의 작동에 따라 흡착부(210)의 내부 공기를 흡입하여 흡착부(210)의 내부 공간에 부압을 발생시킴으로써 대상물(M)은 흡착부(210)에 흡착될 수 있다.The first adsorption step (S122) is a step of adsorbing the object M to the adsorption unit 210. In a state in which the adsorption unit 210 is in close contact with the upper surface of the object M, the internal air of the adsorption unit 210 is sucked into the inner space of the adsorption unit 210 according to the operation of the first negative pressure generating unit 230. By generating negative pressure, the object M may be adsorbed to the adsorption unit 210.

제1 상승단계(S123)는 흡착부(210)에 흡착된 대상물(M)을 상승시켜 제1 스테이지(S1)로부터 대상물(M)이 이격되도록 하는 단계이다. 제1 이송부(250)의 작동에 따라 흡착부(210)의 위치를 상승시킴으로써 대상물(M)은 제1 스테이지(S1)로부터 이격될 수 있다.The first rising step S123 is a step of raising the object M adsorbed by the adsorption unit 210 so that the object M is separated from the first stage S1. The object M may be separated from the first stage S1 by raising the position of the adsorption unit 210 according to the operation of the first transfer unit 250.

제1 흡착단계(S122) 및 제1 상승단계(S123)는 동시에 수행될 수도 있다.The first adsorption step (S122) and the first ascending step (S123) may be performed at the same time.

제2 홀딩단계(S130)는 제2 홀딩유닛(300)을 작동하여, 제1 스테이지(S1)로부터 이격된 대상물(M)의 측면부를 홀딩하는 단계이다. 제2 홀딩단계(S130)는 제2 가압단계 및 제2 그립단계를 포함할 수 있다.The second holding step (S130) is a step of operating the second holding unit (300) to hold the side portion of the object (M) spaced apart from the first stage (S1). The second holding step S130 may include a second pressing step and a second gripping step.

제2 가압단계는 제2 이송부(350)의 작동에 따라 대상물(M)을 향해 그립부(310)를 근접 이동시켜 대상물(M)의 가압력에 의해 그립부(310)가 변형되도록 하는 단계이다.The second pressing step is a step in which the grip part 310 is moved close to the object M according to the operation of the second transfer part 350 so that the grip part 310 is deformed by the pressing force of the object M.

제2 그립단계는 그립부(310)가 변형된 상태에서 부압발생부(330)의 작동에 따라 수용공간(311c)의 공기를 흡입하여 유연커버(311)를 수축시켜 분말체(312)가 압착 고정됨으로써 그립부(310)에 대상물(M)이 홀딩되도록 하는 단계이다. 제2 그립단계 시 수용공간(311c)에는 부압이 발생될 수 있다.In the second gripping step, in the state in which the grip part 310 is deformed, the air in the receiving space 311c is sucked in according to the operation of the negative pressure generating part 330, and the flexible cover 311 is contracted so that the powder body 312 is compressed and fixed. As a result, the object M is held in the grip part 310. During the second gripping step, negative pressure may be generated in the receiving space 311c.

제2 이송단계(S140)는 이송로봇(2000)을 작동하여, 홀딩장치(1000)에 홀딩된 대상물(M)을 제2 스테이지(S2)의 상측으로 이송시키는 단계이다.The second transfer step S140 is a step of operating the transfer robot 2000 to transfer the object M held by the holding device 1000 to the upper side of the second stage S2.

제2 스테이지(S2)의 상측에 대상물(M)을 포함한 홀딩장치(1000)가 준비되면, 홀딩장치(1000)로부터 대상물(M)을 분리하게 되는데, 대상물(M)의 분리단계는 제1 분리단계(S150) 및 제2 분리단계(160)를 포함한다.When the holding device 1000 including the object M on the upper side of the second stage S2 is prepared, the object M is separated from the holding device 1000, and the separation step of the object M is the first separation. It includes a step (S150) and a second separation step (160).

제1 분리단계(S150)는 제2 홀딩유닛(300)을 작동하여, 대상물(M)의 측면부에 대한 홀딩을 해제하는 단계이다. 제1 분리단계(S150)는 전술한 제2 홀딩단계(S130)와 반대로 동작하는 단계로, 제1 그립해제단계 및 제1 가압해제단계를 포함할 수 있다.The first separation step S150 is a step of releasing the holding of the side portion of the object M by operating the second holding unit 300. The first separating step (S150) is a step that operates opposite to the second holding step (S130) described above, and may include a first grip release step and a first pressure release step.

제1 그립해제단계는 그립부(310)가 변형된 상태에서 부압발생부(330)의 작동에 따라 수용공간(311c)에 공기를 공급하여 유연커버(311) 및 분말체(312)의 압착 상태가 해제됨으로써 그립부(310)에 대상물(M)의 홀딩이 해제되는 단계이다. 제2 그립해제단계 시 수용공간(311c)은 상압 상태가 유지될 수 있다.In the first grip release step, air is supplied to the receiving space 311c according to the operation of the negative pressure generating unit 330 while the grip unit 310 is deformed, so that the flexible cover 311 and the powder body 312 are compressed. This is a step in which the holding of the object M on the grip part 310 is released by being released. During the second grip release step, the accommodation space 311c may be maintained in a normal pressure state.

제1 가압해제단계는 제2 이송부(350)의 작동에 따라 대상물(M)로부터 그립부(310)를 이격시켜 대상물(M)의 가압력을 해제하는 단계이다.The first pressure release step is a step of releasing the pressing force of the object M by separating the grip part 310 from the object M according to the operation of the second transfer part 350.

제2 분리단계(S160)는 제1 홀딩유닛(200)을 작동하여, 제2 스테이지(S2)에 대상물(M)을 안착시키고, 대상물(M)의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 단계이다. 제2 분리단계는 전술한 제1 홀딩단계(S120)와 반대로 동작하는 단계로, 제2 하강단계(S162) 및 제2 흡착해제단계(S163)를 포함할 수 있다.The second separation step S160 is a step of operating the first holding unit 200 to place the object M on the second stage S2 and release the holding of the upper surface of the object M. The second separation step is a step that operates opposite to the above-described first holding step (S120), and may include a second descending step (S162) and a second adsorption release step (S163).

제2 하강단계(S162)는 흡착부(210)에 흡착된 대상물(M)을 하강시켜 제2 스테이지(S2)의 상측에 대상물(M)을 안착시키는 단계이다. 제1 이송부(250)의 작동에 따라 흡착부(210)의 위치를 서서히 하강시킴으로써 대상물(M)은 제2 스테이지(S2)에 안착될 수 있다.The second lowering step (S162) is a step of lowering the object (M) adsorbed by the adsorption unit (210) and seating the object (M) on the upper side of the second stage (S2). The object M may be seated on the second stage S2 by gradually lowering the position of the adsorption unit 210 according to the operation of the first transfer unit 250.

제2 흡착해제단계(S163)는 흡착부(210)로부터 대상물(M)의 흡착이 해제되어 분리되도록 하는 단계이다. 제1 부압발생부(230)의 작동에 따라 흡착부(210)의 내부 공간에 공기를 공급하여 흡착부(210)의 내부 공간에 상압을 유지시킴으로써 대상물(M)은 흡착부(210)에서 분리될 수 있다.The second adsorption release step (S163) is a step in which adsorption of the object M from the adsorption unit 210 is released and separated. The object (M) is separated from the adsorption unit 210 by supplying air to the inner space of the adsorption unit 210 according to the operation of the first negative pressure generating unit 230 to maintain atmospheric pressure in the inner space of the adsorption unit 210 Can be.

상기의 단계를 반복함으로서 제1 스테이지(S1)의 대상물(M)은 제2 스테이지(S2) 측으로 계속해서 반복 이송될 수 있다.By repeating the above steps, the object M of the first stage S1 may be continuously and repeatedly transferred toward the second stage S2.

한편 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상물의 이송방법을 설명하기 위한 도면이다.Meanwhile, FIG. 10 is a view for explaining a method of transporting an object according to another embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송방법은 제1 이송단계(S210), 제1 홀딩단계(S220), 제2 홀딩단계(S230), 제1 홀딩해제단계(S240), 제2 이송단계(S250), 제1 재차홀딩단계(S260), 제1 분리단계(S270) 및 제2 분리단계(S280)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, a transfer method according to another embodiment of the present invention includes a first transfer step (S210), a first holding step (S220), a second holding step (S230), a first holding release step (S240), and A second transfer step (S250), a first re-holding step (S260), a first separation step (S270), and a second separation step (S280) may be included.

다른 실시예에 따른 이송방법에 있어서, 제1 이송단계(S210), 제1 홀딩단계(S220), 제2 홀딩단계(S230), 제2 이송단계(S250), 제1 분리단계(S270) 및 제2 분리단계(S280)는 도 9를 통해 설명한 일 실시예에서의 각 단계들과 거의 동일하게 수행되며, 다만 제1 홀딩해제단계(S240) 및 제1 재차홀딩단계(260)에서 차이점을 가진다.In the transfer method according to another embodiment, a first transfer step (S210), a first holding step (S220), a second holding step (S230), a second transfer step (S250), a first separation step (S270), and The second separation step (S280) is performed almost the same as each of the steps in the exemplary embodiment described with reference to FIG. 9, but has a difference in the first holding release step (S240) and the first re-holding step (260). .

이에 제1 홀딩해제단계(S240) 및 제1 재차홀딩단계(S260)에 대해서만 상세히 설명한다.Accordingly, only the first holding release step (S240) and the first re-holding step (S260) will be described in detail.

제1 홀딩해제단계(S240)는 제2 홀딩단계(S230)를 완료한 이후 수행되며, 대상물(M)의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 단계이다. 즉, 제1 홀딩해제단계(S240)는 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 이용하여 제1 스테이지(S1)의 대상물(M)을 홀딩한 상태에서 제1 홀딩유닛(200)의 홀딩을 다시 해제한다.The first holding release step (S240) is performed after completing the second holding step (S230), and is a step of releasing the holding of the upper surface of the object (M). That is, in the first holding release step (S240), the first holding unit (S240) while holding the object (M) of the first stage (S1) using the first holding unit (200) and the second holding unit (300). 200) is released again.

따라서 제2 스테이지(S2)를 향해 이송되는 중 대상물(M)은 제2 홀딩유닛(300)의 그립부(310)에 의해서만 홀딩된 상태를 취한다.Therefore, while being transferred toward the second stage S2, the object M is held only by the grip part 310 of the second holding unit 300.

제1 홀딩해제단계(S240)는 흡착부(210)로부터 대상물(M)의 흡착이 해제되어 분리되는 단계일 수 있으며, 제1 부압발생부(230)의 작동에 따라 흡착부(210)의 내부 공간에 공기를 공급하여 흡착부(210)의 내부 공간에 상압을 유지시킴으로써 대상물(M)은 흡착부(210)에서 분리될 수 있다.The first holding release step (S240) may be a step in which adsorption of the object M from the adsorption unit 210 is released and separated, and the interior of the adsorption unit 210 according to the operation of the first negative pressure generating unit 230 By supplying air to the space to maintain atmospheric pressure in the inner space of the adsorption unit 210, the object M can be separated from the adsorption unit 210.

제1 재차홀딩단계(S260)는 제2 이송단계(S250)를 완료한 이후 수행되며, 대상물(M)의 상부면을 재차 홀딩하는 단계이다. 즉, 제1 재차홀딩단계(S260)는 제2 스테이지(S2)의 상측으로 대상물(M)이 이송된 상태에서 제1 홀딩유닛(200)에 대상물(M)을 재차 홀딩한다.The first re-holding step (S260) is performed after completing the second transfer step (S250), and is a step of holding the upper surface of the object M again. That is, in the first re-holding step (S260), the object (M) is held in the first holding unit (200) again while the object (M) is transferred to the upper side of the second stage (S2).

따라서 이후 제2 스테이지(S2)에 대상물(M)을 안착시키는 과정에서 추락 없이 대상물(M)을 안정적으로 안착시킬 수 있다.Therefore, in the process of mounting the object M on the second stage S2, the object M can be stably seated without falling.

제1 재차홀딩단계(260)는 흡착부(210)에 대상물(M)이 다시 흡착되도록 하는 단계일 수 있으며, 대상물(M)의 상부면에 흡착부(210)를 밀착시킨 상태에서 제1 부압발생부(230)의 작동에 따라 흡착부(210)의 내부 공기를 흡입하여 흡착부(210)의 내부 공간에 부압을 발생시킴으로써 대상물(M)은 흡착부(210)에 흡착될 수 있다.The first re-holding step 260 may be a step of allowing the object M to be adsorbed on the adsorption unit 210 again, and the first negative pressure in a state in which the adsorption unit 210 is in close contact with the upper surface of the object M. The object M may be adsorbed to the adsorption unit 210 by inhaling air inside the adsorption unit 210 according to the operation of the generation unit 230 to generate negative pressure in the inner space of the adsorption unit 210.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 홀딩유닛은 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 통한 복수 공정의 홀딩 동작을 구현함으로써, 대상물(M)에 가해지는 파지력을 최소화하여 대상물(M)의 손상을 줄이고, 대상물(M)에 대한 홀딩 및 이송을 효과적으로 수행할 수 있으며, 특히 스테이지(S)에 안착된 판상 구조의 대상물(M)에 대한 홀딩 동작을 신속하고 안정적으로 수행할 수 있다.As described above, the holding unit according to the present invention implements a holding operation of a plurality of processes through the first holding unit 200 and the second holding unit 300, thereby minimizing the gripping force applied to the object (M) to minimize the object ( M) damage can be reduced, holding and transporting of the object (M) can be effectively performed, and in particular, the holding operation of the object (M) of a plate-shaped structure seated on the stage (S) can be performed quickly and stably. have.

또한 본 발명에 따른 홀딩유닛은 대상물(M)의 형상에 대응하여 변형되는 그립부(310)를 포함함으로써, 다양한 크기나 형상의 대상물(M)을 손상 없이 안정적으로 홀딩할 수 있다.In addition, since the holding unit according to the present invention includes a grip part 310 that is deformed in response to the shape of the object M, it is possible to stably hold the object M of various sizes or shapes without damage.

또한 본 발명에 따른 이송시스템을 이용한 이송방법은, 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 통한 복수 공정의 홀딩 동작을 구현함으로써, 스테이지(S)에 대한 대상물(M)의 로딩 및 언로딩 작업을 대상물(M)의 손상 없이 신속하고 안정적으로 수행할 수 있다.In addition, the transfer method using the transfer system according to the present invention, by implementing a holding operation of a plurality of processes through the first holding unit 200 and the second holding unit 300, Loading and unloading can be performed quickly and stably without damaging the object (M).

또한 본 발명에 따른 이송시스템을 이용한 이송방법은, 크기, 무게 등 대상물(M)의 종류에 따라, 이송 과정에서 제1 홀딩유닛(200) 및 제2 홀딩유닛(300)을 모두 이용하여 이송 중인 대상물(M)의 홀딩 상태를 견고히 하거나, 제2 홀딩유닛(300)만을 작동시킴으로써 보다 효율적인 장치 구동이 가능하다.In addition, the transfer method using the transfer system according to the present invention is being transferred by using both the first holding unit 200 and the second holding unit 300 in the transfer process according to the type of the object M, such as size and weight. It is possible to drive the device more efficiently by strengthening the holding state of the object M or by operating only the second holding unit 300.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.As described above, preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings, but those skilled in the art will variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. Can be modified or changed.

100: 프레임
200: 제1 홀딩유닛
210: 흡착부
230: 제1 부압발생부
250: 제1 이송부
260: 신축연결부
270: 제2 부압발생부
300: 제2 홀딩유닛
310: 그립부
320: 유연지지부
330: 부압발생부
350: 제2 이송부100: frame
200: first holding unit
210: adsorption unit
230: first negative pressure generator
250: first transfer unit
260: telescopic connection
270: second negative pressure generator
300: second holding unit
310: grip part
320: flexible support
330: negative pressure generator
350: second transfer unit

Claims (13)

프레임;
상기 프레임에 결합되며, 스테이지에 놓인 대상물을 홀딩하여 상기 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩유닛; 및
상기 프레임에 결합되며, 상기 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩유닛;을 포함하며,
상기 제2 홀딩유닛은,
상기 대상물과 밀착되는 그립면과 상기 그립면의 반대면에 구비되는 기준면을 포함하되 내부에는 수용공간을 구비하는 유연커버와, 상기 수용공간에 채워지고 상기 대상물의 측면부 형상에 대응하여 변형되는 분말체를 구비하는 그립부;
상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부가 상기 대상물을 홀딩하도록 하는 부압발생부;
상기 유연커버의 기준면에 밀착되도록 마련되며, 상기 유연커버의 변형 시 상기 대상물의 형상에 대응되도록 상기 유연커버와 함께 변형되면서 상기 유연커버가 벤딩될 수 있도록 지지하는 유연지지부; 및
상기 유연지지부의 하부에 배치되어 상기 유연지지부를 지지하는 지지브래킷을 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.frame;
A first holding unit coupled to the frame and holding an object placed on a stage to separate the object from the stage; And
A second holding unit coupled to the frame and holding a side portion of the object spaced apart from the stage;
The second holding unit,
A flexible cover including a grip surface in close contact with the object and a reference surface provided on a surface opposite to the grip surface, and a flexible cover having an accommodation space therein, and a powder body that is filled in the accommodation space and deformed in response to the shape of the side portion of the object A grip unit having a;
A negative pressure generator configured to hold the object by suctioning the air in the receiving space and contracting the flexible cover so that the powder body is compressed and fixed while the grip part is deformed;
A flexible support part provided to be in close contact with the reference surface of the flexible cover, and supporting the flexible cover to be bent while being deformed together with the flexible cover to correspond to the shape of the object when the flexible cover is deformed; And
A holding device comprising a support bracket disposed below the flexible support part to support the flexible support part. 제1 항에 있어서,
상기 제1 홀딩유닛은,
상기 대상물의 일면에 밀착됨으로써 내부 공간이 밀폐되는 흡착부;
상기 흡착부 내부의 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 부압발생부; 및
상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하며, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상승되거나 하강되도록 하는 제1 이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 1,
The first holding unit,
An adsorption unit in which the inner space is sealed by being in close contact with one surface of the object;
A first negative pressure generator configured to suck the air inside the adsorption unit so that the object is adsorbed to the adsorption unit; And
And a first transfer unit connecting the frame and the adsorption unit and allowing the object adsorbed to the adsorption unit to rise or fall. 제2항에 있어서,
상기 제1 이송부는,
상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하는 신축연결부; 및
상기 신축연결부 내부의 공기를 흡입하거나 공급함에 따라 상기 신축연결부가 수축되거나 신장되도록 하는 제2 부압발생부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 2,
The first transfer unit,
A telescopic connection part connecting the frame and the adsorption part; And
And a second negative pressure generating unit configured to contract or expand the elastic connection unit as the air inside the elastic connection unit is sucked or supplied. 제3항에 있어서,
상기 신축연결부는,
내부에 공기가 공급되어 상압이 유지되면, 상기 흡착부가 자중에 의해 하강하여 상기 제2 홀딩유닛보다 낮은 제1 높이에 위치하도록 최대 신장 상태를 유지하고,
내부에 공기가 빠져나가 부압이 발생되면, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상기 제2 홀딩유닛과 동일한 제2 높이에 위치하도록 최대 수축 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 3,
The telescopic connection part,
When air is supplied to the inside and the normal pressure is maintained, the adsorption unit is lowered by its own weight to maintain a maximum elongated state so that it is located at a first height lower than the second holding unit,
A holding device, characterized in that, when negative pressure is generated due to air escape from the inside, a maximum contraction state is maintained so that the object adsorbed to the adsorption unit is positioned at the same second height as the second holding unit. 제3항에 있어서,
상기 신축연결부는,
상기 프레임에 결합되는 상부결합지지대;
상기 흡착부에 결합되는 하부결합지지대;
상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이에 배치되는 하나 이상의 중간연결지지대; 및
상기 상부결합지지대와 상기 중간연결지지대 및 상기 중간연결지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부의 내부 공간이 밀폐되도록 하는 유연연결부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 3,
The telescopic connection part,
An upper coupling support coupled to the frame;
A lower coupling support coupled to the adsorption unit;
At least one intermediate connection support disposed between the upper coupling support and the lower coupling support; And
And a flexible connection member that connects the upper coupling support and the intermediate connection support and the intermediate connection support and the lower coupling support, and seals the inner space of the elastic connection unit. 제5항에 있어서,
상기 신축연결부는,
상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부가 신장된 상태에서 상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이의 간격을 제한하는 간격유지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 5,
The telescopic connection part,
A holding device that connects the upper coupling support and the lower coupling support, and further comprises a gap maintaining member configured to limit a distance between the upper coupling support and the lower coupling support in a state in which the elastic connection part is extended. 제1항에 있어서,
상기 제2 홀딩유닛은,
상기 프레임과 상기 그립부를 연결하며, 상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접시키거나 이격시키는 제2 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치.The method of claim 1,
The second holding unit,
And a second transfer part connecting the frame and the grip part, and making the grip part close to or spaced apart from the object. 삭제delete 제1 스테이지;
상기 제1 스테이지와 이격 배치되는 제2 스테이지; 및
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 홀딩장치가 구비되며, 상기 제1 스테이지의 대상물을 상기 제2 스테이지 측으로 이송시키는 이송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송시스템A first stage;
A second stage spaced apart from the first stage; And
A transfer system comprising: a transfer robot provided with the holding device according to any one of claims 1 to 7, and transferring the object of the first stage to the side of the second stage. 제9항에 기재된 이송시스템을 이용하며, 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지 측으로 대상물을 이송하는 이송방법으로서,
상기 제1 스테이지에 안착된 상기 대상물의 상측으로 상기 홀딩장치를 이송시키는 제1 이송단계;
상기 대상물의 상부면을 홀딩하여 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩단계;
상기 제1 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩단계;
상기 홀딩장치에 홀딩된 상기 대상물을 상기 제2 스테이지의 상측으로 이송시키는 제2 이송단계;
상기 대상물의 측면부에 대한 홀딩을 해제하는 제1 분리단계; 및
상기 제2 스테이지에 상기 대상물을 안착시킨 후 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제2 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법.A transfer method for transferring an object from the first stage to the second stage using the transfer system according to claim 9,
A first transfer step of transferring the holding device to an upper side of the object seated on the first stage;
A first holding step of holding an upper surface of the object to separate the object from the first stage;
A second holding step of holding a side portion of the object spaced apart from the first stage;
A second transfer step of transferring the object held by the holding device to an upper side of the second stage;
A first separating step of releasing the holding of the side portion of the object; And
And a second separating step of releasing the holding of the upper surface of the object after seating the object on the second stage. 제10항에 있어서,
상기 제1 홀딩단계는,
상기 대상물의 상부면에 상기 흡착부가 밀착된 상태에서 상기 흡착부의 내부 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 흡착단계; 및
상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물을 상승시켜 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물이 이격되도록 하는 제1 상승단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법.The method of claim 10,
The first holding step,
A first adsorption step of sucking the air inside the adsorption unit while the adsorption unit is in close contact with the upper surface of the object so that the target is adsorbed to the adsorption unit; And
And a first lifting step of raising the object adsorbed to the adsorption unit so that the object is spaced apart from the first stage. 제10항에 있어서,
상기 제2 홀딩단계는,
상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접 이동시켜 상기 대상물의 가압력에 의해 상기 그립부가 변형되도록 하는 제2 가압단계; 및
상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부에 상기 대상물이 홀딩되도록 하는 제2 그립단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법.The method of claim 10,
The second holding step,
A second pressing step of moving the grip portion closer toward the object so that the grip portion is deformed by the pressing force of the object; And
And a second grip step of suctioning air in the receiving space while the grip part is deformed to contract the flexible cover so that the powder body is compressed and fixed so that the object is held in the grip part. . 제10항에 있어서,
상기 제2 홀딩단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제1 홀딩해제단계; 및
상기 제2 이송단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면을 재차 홀딩하는 제1 재차홀딩단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법.The method of claim 10,
A first holding release step of releasing holding of the upper surface of the object, performed after completion of the second holding step; And
And a first re-holding step of re-holding the upper surface of the object, which is performed after completion of the second transfer step.
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