KR102230744B1 - 레이저 발생 장치 - Google Patents

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KR102230744B1
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김정현
유한영
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원텍 주식회사
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H01S3/1127—Q-switching using pulse transmission mode [PTM]

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Abstract

본 발명은 레이저 발생 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 의료용 레이저 발생 장치에 관한 것이다. 본 발명은 Q-switch를 이용하여 단일 장치 내에서 나노초와 피코초 레이저 펄스를 모두 출력할 수 있는 레이저 발생 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 발생 장치는 레이저 이득 매질(2); 상기 레이저 이득 매질(2)의 제 1 측에 순차로 배치되는 편광기(3), 제 1 Q 스위치(4), λ/4 파장판(5) 및 제 1 공진기 거울(6); 상기 레이저 이득 매질(2)의 제 2 측에 순차로 배치되는 제 2 Q 스위치(7) 및 제 2 공진기 거울(8); 및 피코초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 1 제어 모드 및 나노초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 2 제어 모드를 포함하는 제어부(60)를 포함한다. 본 발명은 2 개의 Q-switch의 펄스폭, 온/오프 타이밍 등을 제어하여 단일 장치 내에서 나노초와 피코초 레이저 펄스를 모두 출력할 수 있다.

Description

레이저 발생 장치{LASER GENERATION DEVICE}
본 발명은 레이저 발생 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 의료용 레이저 발생 장치에 관한 것이다.
레이저를 짧은 펄스형태로 발진하는 방식은 크게 두 가지 방식으로 분류된다. Q-스위칭(Q-switching) 방식과 모드 락킹(mode-locking) 방식으로 나뉜다. 이 방식들을 구현하기 위한 여러 방법이 개발되었다. 공진기 내부에 능동 진폭변조 또는 주파수 변조(active amplitude or frequency modulation)방법, 포화 흡수체(saturable absorbor)를 통한 수동 변조방법, 동기 이득 변조(synchronous gain modulation) 방법 등이 있다. 이 방법들은 필요한 목적에 따라 Q-스위칭 방식에, 때로는 모드 락킹 방식에 사용된다. 일반적으로 Q-스위칭 방식은 펄스당 높은 에너지를 얻기 위해 유리하며, 모드 락킹 방식은 짧은 펄스의 높은 첨두전력을 얻기에 유리하다.
의료 분야에서 나노초 펄스 레이저와 피코초 펄스 레이저가 주로 사용된다. 다만, 기존 의료용 레이저 발생 장치는 나노초 펄스 레이저와 피코초 펄스 레이저를 동시에 구현할 수 없어, 각각 별개로 구비되어야 하는 문제점이 있었다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
- 한국공개특허 제10-2015-0115349호(공개일: 2015.10.14., 발명의 명칭: 피코초 레이저 생성 장치 및 방법)
- 한국등록특허 제10-0821563호(공고일: 2008.04.14., 발명의 명칭: 고밀도 에너지의 레이저 발생을 위한 레이저발생장치의Ｑ-스위칭 드라이버)
본 발명은 Q-switch를 이용하여 단일 장치 내에서 나노초와 피코초 레이저 펄스를 모두 출력할 수 있는 레이저 발생 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 발생 장치는 레이저 이득 매질(2); 상기 레이저 이득 매질(2)의 제 1 측에 순차로 배치되는 편광기(3), 제 1 Q 스위치(4), λ/4 파장판(5) 및 제 1 공진기 거울(6); 상기 레이저 이득 매질(2)의 제 2 측에 순차로 배치되는 제 2 Q 스위치(7) 및 제 2 공진기 거울(8); 및 피코초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 1 제어 모드(61) 및 나노초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 2 제어 모드(62)를 포함하는 제어부(60)를 포함한다.
여기서, 상기 제어부(60)는 상기 제 1 제어 모드(61)에서 상기 제 1 Q 스위치(4)가 작동된 동안 Δt2의 시간차를 두고 상기 제 2 Q 스위치(7)를 두 번 작동시키는 것에 의해 상기 피코초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
그리고, 상기 제 2 Q 스위치(7)가 첫 번째로 작동되는 것에 의해 시드모드를 생성하고, 상기 시드모드를 기 설정된 회수 이상 재증폭하는 것에 의해 상기 피코초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
또한, 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간은 기 설정된 수나노초일 수 있다.
또한, 상기 시드모드는 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간 보다 적은 폭을 가질 수 있다.
또한, 상기 제어부(60)는 상기 제 2 제어 모드(62)에서 상기 제 1 Q 스위치(4)가 작동된 동안 Δt2의 시간차를 두고 상기 제 2 Q 스위치(7)를 두 번 작동시키는 것에 의해 상기 나노초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
여기서, 상기 제 2 Q 스위치(7)가 첫 번째로 작동되는 것에 의해 시드모드를 생성하고, 상기 시드모드를 기 설정된 회수 이상 재증폭하는 것에 의해 상기 나노초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
그리고, 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간은 기 설정된 수나노초일 수 있다.
또한, 상기 시드모드는 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간 보다 적은 폭을 가질 수 있다.
또한, 상기 제어부(60)는 상기 제 1 제어 모드(61) 및 제 2 제어 모드(62)를 기 설정된 배열 규칙에 따라 순차로 배치하여 동작시킬 수 있다.
본 발명은 2 개의 Q-switch의 펄스폭, 온/오프 타이밍 등을 제어하여 단일 장치 내에서 나노초와 피코초 레이저 펄스를 모두 출력할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 발생 장치의 기능 블록도이다.
도 2는 도 1의 레이저 발생 장치가 나노초 및 피코초 펄스 레이저를 출력하는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 레이저 발생 장치의 다양한 변형 실시예를 나타낸다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 발생 장치에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 발생 장치의 기능 블록도이다. 도 2는 도 1의 레이저 발생 장치가 나노초 및 피코초 펄스 레이저를 출력하는 상황을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 본 발명의 레이저 발생 장치의 다양한 변형 실시예를 나타낸다.
도 1을 참고하면, 레이저 발생 장치는 광선로(10)를 따라 배열되는 다양한 광부품을 포함할 수 있다.
먼저, 광선로(10) 상에 레이저 이득 매질(2)이 설치될 수 있다. 레이저 이득 매질(2)로 Nd:YAG, Ruby, Alexandrite, Erbium, Co2 등이 사용될 수 있다. 본 발명은 레이저 이득 매질을 제한하지 않는다.
레이저 이득 매질(2)의 제 1 측에 편광기(3), 제 1 Q 스위치(4), λ/4 파장판(5), 제 1 공진기 거울(6)이 순차로 배치되고, 각각은 광선로(10)에 커플링될 수 있다.
레이저 이득 매질(2)의 제 2 측에 제 2 Q 스위치(7) 및 제 2 공진기 거울(8)이 순차로 배치되고, 각각은 광선로(10)에 커플링될 수 있다.
λ/4 파장판(5)은 패시브 소자이며, 제 1 및 제 2 Q 스위치(7)는 액티브 소자일 수 있다.
이 같은 구조에서, 레이저 이득 매질(2)은 램프(1)가 조사하는 광에 의해 펌핑 동작을 수행할 수 있다. 이때, 주지된 바와 같이, 제 1 공진기 거울(6)과 제 2 공진기 거울(8) 간에서 반사되며 레이저 이득 매질(2)을 여기시키는 광자에 의해 유도 방출이 일어나면서 레이저 이득 매질(2)은 펌핑될 수 있다. 그리고, 펌핑에 의해, 점유자수 역전이 발생하면 레이저가 생성될 수 있다. 제 1 공진기 거울(6) 및 제 2 공진기 거울(8)은 전반사 거울일 수 있다.
제어부(60)는 제 1 제어 모드(61) 및 제 2 제어 모드(62)를 가질 수 있다. 제 1 제어 모드(61)에서는 제 1 Q 스위치(4) 및 제 2 Q 스위치(7)의 작동을 제어하여 피코초 레이저 펄스를 생성할 수 있다. 제 2 제어 모드(62)에서는 제 1 Q 스위치(4) 및 제 2 Q 스위치(7)의 작동을 제어하여 나노초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
이하, 나노초 및 피코초 레이저 펄스가 생성되는 사항에 대하여 설명한다.
도 2를 참조하면, 제어부(60)는 램프 트리거 신호(Lamp Trigger)를 출력할 수 있다. 이때, 램프 드리이버(미도시)는 램프를 온시키기 위한 전기 펄스(Lamp Electrical Pulse)를 출력할 수 있다. 이에 의해, 레이저 이득 매질(2)은 펌핑을 개시할 수 있다. 그리고, T1 시점에서 제어부(60)는 Q1 트리거 펄스(Q1 Trigger Pulse)를 제 1 Q 드라이버(40)로 출력할 수 있다. 그리고, 제어부(60)는 T1과 Δt1의 시간차를 두고 T2 시점에서 Q2-1 트리거 펄스를 제 2 Q 드라이버(70)로 출력할 수 있다. 또한, 제어부(60)는 T2와 Δt2의 시간차를 두고 T3 시점에서 Q2-2 트리거 펄스를 제 2 Q 드라이버(70)로 출력할 수 있다.
Q1 트리거 펄스를 수신한 제 1 Q 드라이버(40)는 제 1 Q 스위치(4) 구동을 위한 Q1 전기 펄스(Q1 Electrical Pulse)를 T1으로부터 Δt3 만큼 지연된 시점인 T4부터 출력할 수 있고, Q1 전기 펄스에 의해 제 1 Q 스위치(4)가 작동될 수 있다.
그리고, 제 1 Q 스위치(4)가 작동되는 동안에는 제 2 Q 스위치(7)를 작동시키기 위한 Q2 전기 펄스(Q2 Electrical Pulse)가 제 2 Q 드라이버(40)를 통해 출력될 수 있다.
Q2 전기 펄스(Q2 Eclectrical Pulse)는 총 2번 출력될 수 있다. 이하, 2번의 Q2 전기 펄스 중 먼저 출력되는 것을 ‘제 1 Q2 전기 펄스’라고 칭하고, 두 번째 출력되는 것을 ‘제 2 Q2 전기 펄스’라고 칭한다. 제 1 Q2 전기 펄스와 제 2 Q2 전기 펄스는 Δt2의 시간차를 두고 출력될 수 있다. 여기서, 제 1 Q2 전기 펄스는 Q2-1 트리거 펄스에 대응한 것이며, 제 2 Q2 전기 펄스는 Q2-2 트리거 펄스에 대응한 것일 수 있다.
도 2를 참조하면, 제 1 Q2 전기 펄스는 T5 시점에 출력되며, 제 2 Q2 전기 펄스는 T5에서 Δt2 경과한 시점인 T6에서 출력될 수 있다. 제 1 Q2 전기 펄스 및 제 2 Q2 전기 펄스는 상술한 바와 같이, 제 1 Q 스위치(4)가 작동되는 동안에 출력될 수 있다. 즉, 제 1 Q 스위치(4)가 작동되는 동안 제 1 Q2 전기 펄스 및 제 2 Q2 전기 펄스에 의해 제 2 Q 스위치(7)는 작동될 수 있다.
제 1 Q2 전기 펄스 및 제 2 Q2 전기 펄스의 펄스 폭은 기 설정된 수나노초일 수 있다. 이때, 제1 Q2 전기 펄스 및 제 2 Q2 전기 펄스의 펄스 폭은 후술하는 시드모드(SeedMode, SM)의 폭이 제 2 Q2 전기 펄스의 펄스 폭 이하가 되도록 그리고, 시드모드(SeedMode, SM)의 폭이 기 설정된 수피코초(제 1 제어모드에서 피코초 레이저 펄스를 출력하는 경우) 또는 기 설정된 수나노초(제 2 제어모드에서 나노초 레이저 펄스를 출력하는 경우)가 되도록 설정하는 것이 바람직하다.
제 1 Q 스위치(4)가 작동되는 동안, 레이저 이득 매질(2)에서 방출된 광은 제 1 측으로 이동하면서, 편광기(3), 제 1 Q 스위치(4), λ/4 파장판(5)을 순차로 통과하여 제 1 공진기 거울(6)에 다다를 수 있다.
또한, 편광기(3)에 의한 편광, 제 1 Q 스위치(4)에 의한 λ/4 위상지연을 통한 원편광, λ/4 파장판(5)에 의한 선평광이 순차로 형성된 후 그 선평광은 제 1 공진기 거울(6)에 의해 반사될 수 있다. 반사된 선편광은 λ/4 파장판(5), 제 1 Q 스위치(4)를 순차로 통과할 수 있다.
이때, λ/4 파장판(5)에 의한 λ/4 위상지연을 통한 원편광, 제 1 Q 스위치(4)에 의한 λ/4 위상 지연을 통한 선편광이 생성될 수 있다. 이 선평광은 편광기(3)를 관통한 이후, 레이저 이득 매질(2)을 여기시키면서 제 2 공진기 거울(8)에 다다를 수 있다.
이 같은 과정을 거쳐, 레이저 이득 매질(2)은 광을 펌핑하는 것에 의해 광이 증폭될 수 있다.
본 발명은 제 1 Q2 전기 펄스를 T5에 기 설정된 수나노초(예를 들어, 3 또는 5.5 ns)인가하는 것에 의해 나노 또는 피코 시드모드(SeedMode, SM)를 자체 생성할 수 있다. 보다 구체적으로, 기 설정된 수나노초 동안 제 2 Q 스위치(7)를 작동시키는 것에 의해 제 2 측을 왕복하는 광의 위상을 λ/4만큼 지연시켜, 편광상태를 90˚ 회전시킬 수 있다.
제 1 Q2 트리거 펄스에 의해 제 2 Q 스위치(7)가 작동되는 시간 동안의 광은 편광기(3)를 통해 덤핑(광모드 추출)되고, 공진기 왕복 시간 2L/c(c: 빛의 속도, L 광선로 길이(달리 표현하면, 공진기 거리))에 해당하는 광 중 제 1 Q2 전기 펄스의 펄스 폭에 해당하는 광을 제외한 광이 시드모드(SeedMode, SM)로 생성된다. 상기 2L/cs는 예를 들어 6 nsec(공진기 왕복시간)이라 가정하고, 제 1 Q2 전기 펄스를 3ns 와 5.5ns를 인가하면, 각각 3ns(나노 시드모드)와 0.5.ns(500ps)(피코 시드모드)의 SeedMode를 생성할 수 있다.
시드모드(SeedMode, SM)는 재증폭을 위해 레이저 이득 매질(2)에 인가된다.
이때, 시드모드(SeedMode, SM)는 제 2 Q 스위치(7)가 작동되지 않는 동안(제 1 Q2 트리거 펄스가 제거된 시점 ~ T6 까지) 가우시안 곡선(레이저 이득 매질(2)의 이득(gain) 곡선)을 따라 재증폭될 수 있다.
또한, 시드모드(SeedMode, SM)는 가우시안 곡선을 따라 이산적으로 분포하는 다양한 모드를 가질 수 있다. 시드모드(SeedMode, SM)를 포함한 상기 다양한 모드는 모드 간 간격이 2L/c sec(c: 빛의 속도, L 광선로 길이(달리 표현하면, 공진기 거리))일 수 있다. 시드모드(SeedMode, SM) 이외의 다양한 모드의 폭은 시드모드(SeedMode, SM)와 동일할 수 있다.
시드모드(SeedMode, SM)의 재증폭을 하는 과정에서 제 2 Q2 전기 펄스가 기 설정된 수나노초 인가되는 것에 의해 특정 시드모드의 레이저가 편광기(3)를 통해 덤핑될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제 2 Q2 전기 펄스가 기 설정된 수 나노초 인가되는 것에 의해 증폭된 특정 모드의 레이저 위상이 λ/4만큼 지연되어 편광방향이 90˚ 회전되고, 이 특정 재증폭된 시드모드(SeedMode, SM)의 레이저가 편광기(3)를 통해 출력될 수 있다.
이때, 제 2 Q2 전기 펄스가 출력되는 타이밍(T6)을 조정하는 것에 의해, 시드모드(SeedMode, SM)가 최대로 증폭된 시점에서 피코초 펄스 또는 나노초 펄스를 출력할 수 있다. 도 2은 레이저 이득 매질(2)이 2번의 재증폭 시 이득이 최대치인 것을 예시하고 있다. 이때, 제 2 Q2 전기 펄스는 제 1 Q2 전기 펄스의 인가가 종료된 시점에서 2 * 2L/c sec(c: 빛의 속도, L 광선로 길이(달리 표현하면, 공진기 거리))가 경과한 시점에서 출력되는 것에 의해 이득이 최대치인 고출력의 피코초 또는 나노초 레이저 펄스를 출력할 수 있다.
설계자에 따라, L(공진기 또는 광선로 길이), Q1, Q2-1, Q2-2 Trigger Pulse의 인가 타이밍, 펄스폭을 적절히 조정하는 것에 의해 고출력의 피코초 또는 나노초 펄스를 출력할 수 있다. 제 2 Q 스위치(7)의 작동에 의해 모드가 상쇄되는 것을 방지하기 위해서는 제 2 Q 스위치(7)가 작동되는 시간이 2L/c sec(c: 빛의 속도, L 광선로 길이(달리 표현하면, 공진기 거리)) 미만이 되도록 하는 것이 바람직하며, 시드모드의 폭 또한 제 2 Q 스위치(7)가 Q2-2 Trigger Pulse에 의해 작동되는 타이밍, L(공진기 또는 광선로 길이), 레이저 이득 매질의 이득 특성을 고려하여 적절히 설정되는 것이 바람직하다. 나노초 펄스 레이저를 생성할 때 시드모드(나노 시드모드)의 폭이 기 설정된 수나노초가 되게 할 수 있고, 피코초 펄스 레이저를 생성할 때 시드모드(피코 시드모드)의 폭이 기 설정된 수피코초가 되게 할 수 있다. 즉, 시드모드의 폭을 제 1 Q2 전기 펄스의 폭으로 제어하는 것에 의해 피코초 또는 나노초 펄스 레이저가 생성될 수 있다. 제 1 제어모드 및 제 2 제어모드는 각각 시드모드의 폭이 상기와 같도록 각각 제어할 수 있고 이에 따라, 제 1 제어모드 및 제 2 제어모드는 각각 Q2-1, Q2-2 Trigger Pulse의 인가 타이밍, 제 1 및 제 2 Q2 전기 펄스의 인가 타이밍 및 펄스폭을 제어할 수 있다.
도 3에서는 나노초 펄스 레이저 와 피코초 펄스 레이저를 일체화 한 장비에 있어서 실제로 이를 이용하여 도 6(a)에서와 같이 피코초 펄스 레이저를 연속으로 조사하다가 나노초 펄스 레이저를 연속으로 조사 하거나 또는 도 6(b)에서와 같이 피코초 펄스 레이저와 나노초 펄스 레이저를 교차하면서 조사하는 등 다양한 모드로 조합하여 사용할 수 있다.
상술한 바와 같이, 피코초 펄스 레이저를 생성할 때는 제어부(60)가 제 1 제어 모드(61)에서 동작하고, 나노초 펄스 레이저를 생성할 때는 제어부(60)가 제 2 제어 모드(62)에서 동작할 수 있다. 위와 같이, 나노초 펄스 레이저와 피코초 펄스 레이저 교번 또는 순차적으로 생성하는 것을 제어하기 위해 제어 모드를 변환하는 기능이 제어부에 탑재될 수 있음은 물론이다.
위와 같이, 본 발명은 2 개의 Q 스위치를 사용하여 단일 공진기 내에서 나노초와 피코초 레이저 펄스를 생성할 수 있다.
1: 램프
2: 레이저 이득 매질
3: 편광기
4: 제 1 Q 스위치
5: λ/4 파장판
6: 제 1 공진기 거울
7: 제 2 Q 스위치
8: 제 2 공진기 거울
10: 광선로
40: 제 1 Q 드라이버
60: 제어부
61: 제 1 제어 모드
62: 제 2 제어 모드
70: 제 2 Q 드라이버

Claims (10)

  1. 레이저 이득 매질(2);
    상기 레이저 이득 매질(2)의 제 1 측에 순차로 배치되는 편광기(3), 제 1 Q 스위치(4), λ/4 파장판(5) 및 제 1 공진기 거울(6);
    상기 레이저 이득 매질(2)의 제 2 측에 순차로 배치되는 제 2 Q 스위치(7) 및 제 2 공진기 거울(8); 및
    피코초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 1 제어 모드(61) 및 나노초 레이저 펄스 생성 동작을 수행하는 제 2 제어 모드(62)를 포함하는 제어부(60)를 포함하고,
    상기 제어부(60)는 상기 제 1 제어 모드(61)에서 상기 제 1 Q 스위치(4)가 작동된 동안 Δt2의 시간차를 두고 상기 제 2 Q 스위치(7)를 두 번 작동시키는 것에 의해 상기 피코초 레이저 펄스를 생성하며,
    상기 제 2 Q 스위치(7)가 첫 번째로 작동되는 것에 의해 시드모드를 생성하고, 상기 시드모드를 기 설정된 회수 이상 재증폭하는 것에 의해 상기 피코초 레이저 펄스를 생성하고,
    상기 피코초 레이저 펄스를 생성하기 위해 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간은 기 설정된 수나노초이며, 상기 시드모드는 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간 보다 적은 폭을 가지며,
    상기 제어부(60)는 상기 제 2 제어 모드(62)에서 상기 제 1 Q 스위치(4)가 작동된 동안 Δt2의 시간차를 두고 상기 제 2 Q 스위치(7)를 두 번 작동시키는 것에 의해 상기 나노초 레이저 펄스를 생성하고,
    상기 제 2 Q 스위치(7)가 첫 번째로 작동되는 것에 의해 시드모드를 생성하고, 상기 시드모드를 기 설정된 회수 이상 재증폭하는 것에 의해 상기 나노초 레이저 펄스를 생성하며,
    상기 나노초 레이저 펄스를 생성하기 위해 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간은 기 설정된 수나노초이고, 상기 시드모드는 상기 제 2 Q 스위치(7)가 두 번째로 작동되는 시간 보다 적은 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 레이저 발생 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부(60)는 상기 제 1 제어 모드(61) 및 제 2 제어 모드(62)를 기 설정된 배열 규칙에 따라 순차로 배치하여 동작시키는 것을 특징으로 하는 레이저 발생 장치.
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