KR102217740B1 - Carriage - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 이송대차에 관한 것에 관한 것으로서, 복수의 이송 대상물을 한 번에 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)할 수 있는 이송대차에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer cart, and relates to a transfer cart capable of loading and unloading a plurality of transfer objects at once.
일반적으로, 천장 대차 시스템(Overhead Hoist Transport, OHT)는 이송할 이송 대상물이 많은 반도체 생산공장 등에 설치된다. 이러한 천장 대차 시스템은 천장에 설치된 주행레일(rail)을 따라 주행하며 이송 대상물을 운반하는 이송대차(vehicle)를 포함한다. 천장 대차 시스템은 이송명령을 지령하는 OCS(OHT Control System)에 의해서 통합 제어관리 된다.In general, an overhead hoist transport (OTT) system is installed in a semiconductor production plant with many objects to be transported. Such a ceiling bogie system includes a vehicle for transporting an object to be transported while traveling along a running rail installed on the ceiling. The overhead truck system is integrated and managed by OCS (OHT Control System) that commands the transfer command.
반도체 생산 라인에 설치된 천장 대차 시스템에서 주행레일은 크린 룸(clean room) 내의 천장 공간에 설치되며, 주행레일을 따라 이동되는 이송대차는 반도체 칩(chip)이 수용된 트레이(tray) 등의 이송 대상물을 여러 포트(port)로 운반한다.In the ceiling bogie system installed in the semiconductor production line, the running rail is installed in the ceiling space in a clean room, and the transfer truck moving along the running rail handles transfer objects such as trays containing semiconductor chips. It transports to multiple ports.
이러한 천장 대차 시스템은 복수의 이송대차가 주행레일 위를 주행하여 이송 대상물을 이송하는데, 종래의 이송의 이송대차는 이송대상물을 파지하는 헤드(head)가 하나만 구비하고 있어, 한 번에 하나의 이송 대상물만을 이송할 수 있어 단위 시간 당 이송량이 낮은 문제점이 있다. 이러한 단위 시간 당 이송량을 높이기 위해 이송대차의 수량을 높이는 경우에는 이송대차들의 주행과정에서 심각한 교통 정체가 문제가 발생된다. In such a ceiling bogie system, a plurality of transfer carts travel on a running rail to transfer an object to be transferred, and the transfer cart of the conventional transfer has only one head that holds the transfer object, so that one transfer at a time. Since only the object can be transferred, there is a problem that the transfer amount per unit time is low. When the number of transfer trucks is increased in order to increase the transfer amount per unit time, serious traffic congestion occurs during the driving process of the transfer trucks.
이러한 단점을 개선하기 위해 최근 이송대차에 복수개의 헤드를 설치한 이송대차가 제시되었으나, 헤드들 사이의 간격 및 헤드들의 위치가 고정되어 있어 포트들의 다양한 간격 및 위치에 대응하지 못하여 복수의 이송 대상물들을 동시에 로딩 및 언로딩하지 못하는 문제점이 있다.In order to improve these disadvantages, a transfer cart with a plurality of heads installed on the transfer cart has been recently proposed, but the distance between the heads and the position of the heads are fixed, so it cannot cope with the various distances and positions of the ports. There is a problem in not being able to load and unload at the same time.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이송 대상물을 파지하는 복수의 헤드부들 위치가 가변될 수 있는 이송대차를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a transfer cart in which the positions of a plurality of head portions for gripping a transfer object can be varied.
본 발명의 일 측면에 따르면, 주행레일을 따라 이동하는 이송대차 본체; 상기 이송대차 본체에 지지되며, 제1 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제1 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 헤드유닛; 상기 이송대차 본체에 지지되고 제2 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제2 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키며, 상기 제1 헤드유닛에 대해 이격되어 배치되는 제2 헤드유닛; 및 상기 이송대차 본체에 지지되고 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛에 연결되며, 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛을 상기 이송대차 본체에 대해 상대이동시켜 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛을 포함하는 이송대차가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a transport cart body that moves along a running rail; A first head unit supported by the transfer cart body, gripping a first transfer object, and moving the gripped first transfer object up/down; A second head unit that is supported by the transfer cart body, grips a second transfer object, moves the gripped second transfer object up/down, and is spaced apart from the first head unit; And being supported by the transfer cart body and connected to the first head unit and the second head unit, and moving the first head unit and the second head unit relative to the transfer cart body to the first head unit A transfer cart including a position control unit capable of adjusting the position of the second head unit may be provided.
상기 위치조절유닛은, 상기 제1 헤드유닛에 연결되어 상기 제1 헤드유닛을 이동시키는 제1 헤드용 위치조절모듈; 및 상기 제2 헤드유닛에 연결되어 상기 제2 헤드유닛을 이동시키는 제2 헤드용 위치조절모듈을 포함할 수 있다.The position adjusting unit includes: a position adjusting module for a first head connected to the first head unit to move the first head unit; And a position adjustment module for a second head connected to the second head unit to move the second head unit.
상기 제1 헤드용 위치조절모듈은, 상기 이송대차 본체에 결합되며, 상기 제1 헤드유닛을 상기 제2 헤드유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향으로 이동시키는 제1 간격조절용 이동부를 포함할 수 있다.The first head position control module is coupled to the transfer cart body, and a first distance control moving part for moving the first head unit in a direction of a first axis which is a direction approaching and spaced apart from the second head unit. Can include.
상기 제1 간격조절용 이동부는, 상기 이송대차 본체에 결합되는 제1 간격조절용 고정 플레이트부; 상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제1 헤드유닛이 연결되며, 상기 제1축 방향으로 이동되는 제1 간격조절용 이동 플레이트부; 상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제1 간격조절용 이동 가이드부; 및 상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부를 이동시키는 제1 간격조절용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The first space adjustment moving part, a first space adjustment fixed plate part coupled to the transfer cart body; A first gap adjustment movable plate part disposed in a lower region of the first gap adjustment fixing plate part, the first head unit connected, and moving in the first axis direction; A first distance adjustment moving guide part supported by the first space adjusting fixed plate part, connected to the first space adjusting moving plate part, and guiding the movement of the first space adjusting moving plate part; And a first distance adjustment movable driving part supported by the first space adjustment fixed plate part, connected to the first space adjustment movable plate part, and moving the first space control movable plate part.
상기 제1 간격조절용 이동 구동부는, 상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 마련된 제1 간격조절용 나사공에 치합되는 제1 조절볼트부를 포함할 수 있다.The first distance adjustment movable driving unit includes a first adjustment bolt portion rotatably coupled to the first space adjustment fixed plate portion, and engaged with a first clearance adjustment screw hole provided on the first distance adjustment movable plate portion I can.
상기 제1 헤드용 위치조절모듈은, 상기 제1 간격조절용 이동부에 결합되며, 상기 제1 헤드유닛을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제1 얼라인용 이동부를 더 포함할 수 있다.The first head positioning module further includes a first alignment moving unit coupled to the first distance adjusting moving unit and moving the first head unit in a second axis direction crossing the first axis direction. can do.
상기 제1 얼라인용 이동부는, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제1 헤드유닛이 결합되며, 상기 제2축 방향으로 이동되는 제1 얼라인용 이동 플레이트부; 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제1 얼라인용 이동 가이드부; 및 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부를 이동시키는 제1 얼라인용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The first alignment moving part may include a first alignment moving plate part disposed in a lower area of the first gap adjusting moving plate part, coupled to the first head unit, and moving in the second axis direction; A first alignment moving guide part supported on the first moving plate part for space adjustment, connected to the first moving plate part for alignment, and guiding the movement of the first moving plate part for alignment; And a first alignment movement driving unit supported by the first moving plate unit for distance adjustment, connected to the first alignment moving plate unit, and moving the first alignment moving plate unit.
상기 제1 얼라인용 이동 가이드부는, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 결합되는 제1 얼라인용 가이드 레일부; 및 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되며, 상기 제1 얼라인용 가이드 레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제1 얼라인용 가이드 블록부를 포함할 수 있다.The first alignment guide unit may include a first alignment guide rail unit coupled to the first distance adjustment moving plate unit; And a first alignment guide block portion coupled to the first alignment moving plate portion and slidably coupled to the first alignment guide rail portion.
상기 제1 얼라인용 이동 구동부는, 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되는 제1 얼라인용 이동블록부; 상기 제1 얼라인용 이동블록부에 결합되는 제1 얼라인용 이동 너트부; 상기 제1 얼라인용 이동 너트부에 치합되는 제1 얼라인용 볼 스크류부; 및 상기 제1 얼라인용 볼 스크류부에 결합되어 상기 제1 얼라인용 볼 스크류부를 회전시키는 제1 얼라인용 구동모터부를 포함할 수 있다.The first alignment movement driving unit may include a first alignment movement block unit coupled to the first alignment movement plate unit; A first alignment movable nut part coupled to the first alignment movable block part; A first alignment ball screw unit engaged with the first alignment movable nut unit; And a first alignment driving motor unit coupled to the first alignment ball screw unit to rotate the first alignment ball screw unit.
상기 제2 헤드용 위치조절모듈은, 상기 이송대차 본체에 결합되며, 상기 제2 헤드유닛을 상기 제1 헤드유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향으로 이동시키는 제2 간격조절용 이동부를 포함할 수 있다.The second head position control module is coupled to the transfer cart body, and a second distance adjustment moving part for moving the second head unit in a direction of a first axis which is a direction approaching and spaced apart from the first head unit. Can include.
상기 제2 간격조절용 이동부는, 상기 이송대차 본체에 결합되는 제2 간격조절용 고정 플레이트부; 상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제2 헤드유닛이 연결되며, 상기 제1축 방향으로 이동되는 제2 간격조절용 이동 플레이트부; 상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제2 간격조절용 이동 가이드부; 및 상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부를 이동시키는 제2 간격조절용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The second distance adjustment moving part may include a second distance adjustment fixed plate part coupled to the transfer cart body; A second movable plate part for adjusting gaps disposed in a lower region of the second gap adjusting plate part, to which the second head unit is connected, and moving in a direction of the first axis; A second space adjustment moving guide part supported by the second space adjusting fixed plate part, connected to the second space adjusting moving plate part, and guiding the movement of the second space adjusting moving plate part; And a second distance adjustment movable driving part supported by the second space adjustment fixed plate part, connected to the second space adjustment movable plate part, and moving the second space adjustment movable plate part.
상기 제2 간격조절용 이동 구동부는, 상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 마련된 제2 간격조절용 나사공에 치합되는 제2 조절볼트부를 포함할 수 있다.The second distance adjustment movable driving unit includes a second adjustment bolt portion rotatably coupled to the second space adjustment fixing plate unit, and engaged with a second distance adjustment screw hole provided on the second distance adjustment movable plate unit. I can.
상기 제2 헤드용 위치조절모듈은, 상기 제2 간격조절용 이동부에 결합되며, 상기 제2 헤드유닛을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 얼라인용 이동부를 더 포함할 수 있다.The second head positioning module further includes a second alignment moving unit coupled to the second distance adjusting moving unit and moving the second head unit in a second axis direction crossing the first axis direction. can do.
상기 제2 얼라인용 이동부는, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제2 헤드유닛이 결합되며, 상기 제2축 방향으로 이동되는 제2 얼라인용 이동 플레이트부; 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제2 얼라인용 이동 가이드부; 및 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부를 이동시키는 제2 얼라인용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The second alignment moving part may include a second alignment moving plate part disposed in a lower area of the second distance adjusting moving plate part, the second head unit coupled thereto, and moving in the second axis direction; A second alignment moving guide part supported by the second moving plate part for distance adjustment, connected to the second moving plate part for alignment, and guiding the movement of the second moving plate part for alignment; And a second alignment movement driving unit supported by the second moving plate unit for distance adjustment, connected to the second alignment moving plate unit, and moving the second alignment moving plate unit.
상기 제2 얼라인용 이동 가이드부는, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 결합되는 제2 얼라인용 가이드 레일부; 및 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되며, 상기 제2 얼라인용 가이드 레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 얼라인용 가이드 블록부를 포함할 수 있다.The second alignment guide unit may include a second alignment guide rail unit coupled to the second distance adjustment moving plate unit; And a second alignment guide block unit coupled to the second alignment moving plate unit and slidably connected to the second alignment guide rail unit.
상기 제2 얼라인용 이동 구동부는, 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되는 제2 얼라인용 이동블록부; 상기 제2 얼라인용 이동블록부에 결합되는 제2 얼라인용 이동 너트부; 상기 제2 얼라인용 이동 너트부에 치합되는제2 얼라인용 볼 스크류부; 및 상기 제2 얼라인용 볼 스크류부에 결합되어 상기 제2 얼라인용 볼 스크류부를 회전시키는 제2 얼라인용 구동모터부를 포함할 수 있다.The second alignment movement driving unit may include a second alignment movement block unit coupled to the second alignment movement plate unit; A second alignment movable nut part coupled to the second alignment movable block part; A second alignment ball screw unit engaged with the second alignment movable nut unit; And a second alignment driving motor unit coupled to the second alignment ball screw unit to rotate the second alignment ball screw unit.
본 발명의 실시예들은, 제1 헤드유닛과 제2 헤드유닛을 이송대차 본체에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛과 제2 헤드유닛의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛을 구비함으로써, 제1 헤드유닛과 제2 헤드유닛 각각에 대응되는 포트들의 간격 및 위치에 상응하게 제1 헤드유닛과 제2 헤드유닛 사이의 간격 및 제1 헤드유닛과 제2 헤드유닛의 개별적인 위치를 조절할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물과 제2 이송 대상물을 동시에 로딩 및 언로딩할 수 있다.Embodiments of the present invention are provided with a position adjusting unit capable of adjusting the positions of the first head unit and the second head unit by moving the first head unit and the second head unit relative to the transfer cart body, The distance between the first head unit and the second head unit and the individual positions of the first head unit and the second head unit can be adjusted according to the distance and position of the ports corresponding to the unit and the second head unit, respectively. The first transport object and the second transport object may be loaded and unloaded at the same time.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송대차가 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 위치조절유닛이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 2를 아래쪽에서 바라본 사시도이다.
도 4는 도 1의 트레이 파지부가 도시된 사시도이다.
도 5는 도 1의 트레이 추락방지유닛이 도시된 도면이다.
도 6는 도 5의 트레이 추락방지유닛의 내부가 도시된 도면이다.
도 7은 도 6의 'A' 부분의 확대도이다.
도 8은 도 4의 그리퍼부와 트레이 정렬유닛의 동작상태가 도시된 동작상태도이다.
도 9는 도 4를 아래쪽에서 바라본 상태에서 트레이 정렬유닛의 동작이 도시된 도면이다.1 is a view showing a transport cart according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating the position control unit of FIG. 1.
3 is a perspective view of FIG. 2 viewed from below.
4 is a perspective view showing the tray gripping portion of FIG. 1.
5 is a view illustrating the tray fall prevention unit of FIG. 1.
6 is a view showing the inside of the tray fall prevention unit of FIG.
7 is an enlarged view of portion'A' of FIG. 6.
8 is an operating state diagram showing an operating state of the gripper unit and the tray alignment unit of FIG.
9 is a view showing the operation of the tray alignment unit in a state viewed from the bottom of FIG. 4.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the implementation of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다. 또한, 이하에서 제1축 방향은 'X'로 제2축 방향은 'Y'로 표시한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, a description of a function or configuration that is already known will be omitted in order to clarify the gist of the present invention. In addition, hereinafter, the first axis direction is indicated as'X' and the second axis direction is indicated as'Y'.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송대차가 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 위치조절유닛이 도시된 사시도이며, 도 3은 도 2를 아래쪽에서 바라본 사시도이고, 도 4는 도 1의 트레이 파지부가 도시된 사시도이며, 도 5는 도 1의 트레이 추락방지유닛이 도시된 도면이고, 도 6는 도 5의 트레이 추락방지유닛의 내부가 도시된 도면이며, 도 7은 도 6의 'A' 부분의 확대도이고, 도 8은 도 4의 그리퍼부와 트레이 정렬유닛의 동작상태가 도시된 동작상태도이며, 도 9는 도 4를 아래쪽에서 바라본 상태에서 트레이 정렬유닛의 동작이 도시된 도면이다.1 is a view showing a transport cart according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the position control unit of FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view of FIG. 2 viewed from below, and FIG. 4 is 1 is a perspective view showing the tray gripping part, FIG. 5 is a view showing the tray fall prevention unit of FIG. 1, FIG. 6 is a view showing the inside of the tray fall prevention unit of FIG. 5, and FIG. 7 is It is an enlarged view of part'A', FIG. 8 is an operation state diagram showing an operation state of the gripper part and the tray alignment unit of FIG. 4, and FIG. 9 is an operation of the tray alignment unit when viewed from the bottom of FIG. 4. It is a drawing.
본 실시예에 따른 이송대차는, 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 주행레일(미도시)을 따라 이동하는 이송대차 본체(100)와, 제1 헤드유닛(200)과, 제2 헤드유닛(300)과, 위치조절유닛(400)과, 트레이 정렬유닛(500)과, 트레이 추락방지유닛(600)을 포함한다. The transfer cart according to the present embodiment, as shown in Figs. 1 to 9, the
이러한 이송대차는, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛(400)을 구비함으로써, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 대응되는 포트들의 간격 및 위치에 상응하게 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 사이의 간격 및 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 개별적인 위치를 조절할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 동시에 로딩 및 언로딩할 수 있다.Such a transfer cart moves the
이송대차 본체(100)는 주행레일(미도시)을 따라 이동한다. 이러한 이송대차 본체(100)는, 대차 몸체(110)와, 대차 몸체(110)에 회전 가능하게 결합되며 주행레일(미도시)에 지지되어 주행레일(미도시)을 따라 회전되는 주행 휠(120)를 포함한다. The
제1 헤드유닛(200)은 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 제1 헤드유닛(200)은 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하고 파지된 제1 이송 대상물(TM1)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. The
본 실시예에 따른 제1 헤드유닛(200)은, 도 1 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 트레이 정렬유닛(500)을 지지하며 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하는 트레이 파지부(210)와, 이송대차 본체(100)에 연결되고 트레이 파지부(210)를 지지하며 트레이 파지부(210)를 업/다운(up/down) 이동시키는 호이스트부(270)를 포함한다. The
트레이 파지부(210)에는 트레이 정렬유닛(500)이 지지된다. 이러한 트레이 파지부(210)는 제1 이송 대상물(TM1)을 파지한다. 트레이 파지부(210)에 대한 자세한 구조는 설명의 편의를 위해 후술한다. A
호이스트부(270)는 이송대차 본체(100)에 연결되고 트레이 파지부(210)를 지지한다. 이러한 호이스트부(270)는 트레이 파지부(210)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에 따른 호이스트부(270)는, 트레이 파지부(210)에 결합되는 다수개의 벨트(V)와, 벨트(V)들 각각이 감기는 다수개의 드럼(미도시)과, 드럼(미도시)에 연결되어 드럼(미도시)을 회전시키는 드럼 회전 구동부(미도시)를 포함한다. The hoist
드럼(미도시)의 회전에 의해 트레이 파지부(210)에 결합된 벨트(V)가 감기고 풀려서 트레이 파지부(210)가 상하방향으로 업/다운(up/down) 이동된다.The belt V coupled to the
제2 헤드유닛(300)은 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 제2 헤드유닛(300)은 제2 이송 대상물(TM2)을 파지하고 파지된 제2 이송 대상물(TM2)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에 따른 제2 헤드유닛(300)은 제1 헤드유닛(200)에 대해 이격되어 배치된다. The
이러한 제2 헤드유닛(300)은 제1 헤드유닛(200)과 동일한 구조를 가지므로, 설명의 편의를 위해 제2 헤드유닛(300)의 구조는 제1 헤드유닛(200)에 대한 설명으로 대체한다. Since the
본 실시예에서 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)은 다수개의 트레이(T)들이 적층되어 형성되는 트레이 적층체이며, 개개의 트레이(T)의 내부에는 반도체 칩(chip)이 수용될 수 있다.In this embodiment, the first transfer object TM1 and the second transfer object TM2 are tray stacks formed by stacking a plurality of trays T, and a semiconductor chip inside each tray T Can be accommodated.
위치조절유닛(400)은 이송대차 본체(100)에 지지되고 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)에 연결된다. 이러한 위치조절유닛(400)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절한다.The
본 실시예에서 위치조절유닛(400)은, 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)을 이동시키는 제1 헤드용 위치조절모듈(410)과, 제2 헤드유닛(300)에 연결되어 제2 헤드유닛(300)을 이동시키는 제2 헤드용 위치조절모듈(460)을 포함한다. In this embodiment, the
제1 헤드용 위치조절모듈(410)은 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)을 이동시킨다. 이러한 제1 헤드용 위치조절모듈(410)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 이송대차 본체(100)에 결합되며 제1 헤드유닛(200)을 제2 헤드유닛(300)에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향(X)으로 이동시키는 제1 간격조절용 이동부(420)와, 제1 간격조절용 이동부(420)에 결합되며 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X)에 교차하는 제2축 방향(Y)으로 이동시키는 제1 얼라인용 이동부(430)를 포함한다.The first head
제1 간격조절용 이동부(420)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제1 간격조절용 이동부(420)는 제1 헤드유닛(200)을 제2 헤드유닛(300)에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향(X)으로 이동시킨다. The first distance adjustment moving part 420 is coupled to the
본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동부(420)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이. 이송대차 본체(100)에 결합되는 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)의 하부영역에 배치되고 제1 헤드유닛(200)이 연결되며 제1축 방향(X)으로 이동되는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결되며 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 이동을 안내하는 제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)와, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결되며, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)를 이동시키는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)를 포함한다.The first distance adjustment moving part 420 according to this embodiment is as shown in detail in FIGS. 2 to 3. It is disposed in the lower region of the first gap adjustment fixing
제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. The first gap adjustment fixing
제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는 제1 얼라인용 이동부(430)를 통해 제1 헤드유닛(200)에 연결된다. 본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)에 의해 제1축 방향(X)으로 이동된다. The first
제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에는 제1 간격조절용 이동 구동부(424)의 후술할 제1 조절볼트부(425)가 관통하며 제1 간격조절용 나사공(미도시)이 형성된 제1 연결 블록(422a)이 마련된다. 여기서 제1 간격조절용 나사공(미도시)의 내주면에는 나사산이 형성된다.A first connection block in which a first
제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 이동을 안내한다. The first moving guide part (not shown) for adjusting the distance is supported by the first fixed
제1 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 결합되는 제1 간격조절용 가이드 레일부(미도시)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 결합되며 제1 간격조절용 가이드 레일부(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제1 간격조절용 가이드 블록부(미도시)를 포함한다. The first gap adjustment moving guide part (not shown) includes a first gap adjusting guide rail part (not shown) coupled to the first gap adjusting fixed
제1 간격조절용 이동 구동부(424)는 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 지지되고 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 연결된다. 이러한 제1 간격조절용 이동 구동부(424)제1 간격조절용 이동 구동부(424)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)를 이동시킨다.The first distance adjustment moving driving
본 실시예에 따른 제1 간격조절용 이동 구동부(424)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 고정 플레이트부(421)에 회전 가능하게 결합되며 제1 연결 블록(422a)에 마련된 제1 간격조절용 나사공(미도시)에 치합되는 제1 조절볼트부(425)를 포함한다. The first distance adjustment moving
제1 조절볼트부(425)는, 외주면에 나사산이 마련된 제1 볼트 몸체(425a)와, 제1 볼트 몸체(425a)에 연결되며 제1 볼트 몸체(425a)를 회전시키는 제1 볼트 헤드(425b)를 포함한다, The first
이러한 제1 볼트 몸체(425a)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 제1 연결 블록(422a)에 형성된 제1 간격조절용 나사공(미도시)에 치합된다. 따라서, 제1 조절볼트부(425)의 회전에 따라 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)가 제1축 방향(X)으로 이동된다.The
제1 얼라인용 이동부(430)는 제1 간격조절용 이동부(420)에 결합된다. 이러한 제1 얼라인용 이동부(430)는 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X)에 교차하는 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. The first
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동부(430)는, 도2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하부영역에 배치되고 제1 헤드유닛(200)이 결합되며 제2축 방향(Y)으로 이동되는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결되며 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 이동을 안내하는 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)와, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결되며 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)를 이동시키는 제1 얼라인용 이동 구동부(433)를 포함한다, The first
제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에는 제1 헤드유닛(200)이 결합된다. 본 실시예에서 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)는 제1 얼라인용 이동 구동부(433)에 의해 제2축 방향(Y)으로 이동된다. The first alignment moving
제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 이동을 안내한다. The first alignment moving
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 결합되는 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)와, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 결합되며 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)를 포함한다. The first alignment moving
제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 하면에 결합되어 제2축 방향(Y)으로 길게 연장된다. The first alignment
제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 상면에 에 결합된다. 이러한 제1 얼라인용 가이드 블록부(432b)는 제1 얼라인용 가이드 레일부(432a)에 제2축 방향(Y)으로 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다. The first alignment
제1 얼라인용 이동 구동부(433)는 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)에 지지되고 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 연결된다. 이러한 제1 얼라인용 이동 구동부(433)는 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)를 이동시킨다. The first alignment
본 실시예에 따른 제1 얼라인용 이동 구동부(433)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)에 결합되는 제1 얼라인용 이동블록부(433a)와, 제1 얼라인용 이동블록부(433a)에 결합되는 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)와, 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)에 치합되는 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)와, 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)에 결합되어 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)를 회전시키는 제1 얼라인용 구동모터부(433c)를 포함한다. The first alignment
본 실시예에서 제1 얼라인용 구동모터부(433c)는 서모 모터로 마련된다. 제1 얼라인용 구동모터부(433c)의 동작에 의해 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)가 회전되며, 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)의 회전에 의해 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)에 치합된 제1 얼라인용 이동 너트부(미도시)가 제1 얼라인용 볼 스크류부(433b)를 따라 이동되고, 그에 따라 제1 얼라인용 이동블록부(433a)에 결합된 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)가 제1 얼라인용 이동 가이드부(432)에 안내되어 제2축 방향(Y)으로 이동된다.In this embodiment, the first alignment
한편, 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은 제2 헤드유닛(300)에 연결되어 제2 헤드유닛(300)을 이동시킨다.Meanwhile, the second head
이러한 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 이송대차 본체(100)에 결합되며 제2 헤드유닛(300)을 제1축 방향(X)으로 이동시키는 제2 간격조절용 이동부(470)와, 제2 간격조절용 이동부(470)에 결합되며 제2 헤드유닛(300)을 제2축 방향(Y)으로 이동시키는 제2 얼라인용 이동부(480)를 포함한다.This second head
제2 간격조절용 이동부(470)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제2 간격조절용 이동부(470)는 제2 헤드유닛(300)을 제1축 방향(X)으로 이동시킨다. The second distance
본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동부(470)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이. 이송대차 본체(100)에 결합되는 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)의 하부영역에 배치되고 제2 헤드유닛(300)이 연결되며 제1축 방향(X)으로 이동되는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결되며 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 이동을 안내하는 제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)와, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결되며, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)를 이동시키는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)를 포함한다.The second distance
제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. The fixing
제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는 제2 얼라인용 이동부(480)를 통해 제2 헤드유닛(300)에 연결된다. 본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)에 의해 제1축 방향(X)으로 이동된다. The second
제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에는 제2 간격조절용 이동 구동부(474)의 후술할 제2 조절볼트부(475)가 관통하며 제2 간격조절용 나사공(미도시)이 형성된 제2 연결 블록(472a)이 마련된다. 여기서 제2 간격조절용 나사공(미도시)의 내주면에는 나사산이 형성된다.A second connection block in which a second
제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 이동을 안내한다. The second moving guide part (not shown) for adjusting the distance is supported by the second fixed
제2 간격조절용 이동 가이드부(미도시)는, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 결합되는 제2 간격조절용 가이드 레일부(미도시)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 결합되며 제2 간격조절용 가이드 레일부(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제2 간격조절용 가이드 블록부(미도시)를 포함한다. The second moving guide part for distance adjustment (not shown) includes a second guide rail part for distance adjustment (not shown) coupled to the second distance control fixed
제2 간격조절용 이동 구동부(474)는 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 지지되고 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 연결된다. 이러한 제2 간격조절용 이동 구동부(474)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)를 이동시킨다.The second moving
본 실시예에 따른 제2 간격조절용 이동 구동부(474)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 고정 플레이트부(471)에 회전 가능하게 결합되며 제2 연결 블록(472a)에 마련된 제2 간격조절용 나사공(미도시)에 치합되는 제2 조절볼트부(475)를 포함한다. The second distance control moving
제2 조절볼트부(475)는, 외주면에 나사산이 마련된 제2 볼트 몸체(475a)와, 제2 볼트 몸체(475a)에 연결되며 제2 볼트 몸체(475a)를 회전시키는 제2 볼트 헤드(475b)를 포함한다, The second
이러한 제2 볼트 몸체(475a)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 제2 연결 블록(472a)에 형성된 제2 간격조절용 나사공(미도시)에 치합된다. 따라서, 제2 조절볼트부(475)의 회전에 따라 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)가 제1축 방향(X)으로 이동된다.The
제2 얼라인용 이동부(480)는 제2 간격조절용 이동부(470)에 결합된다. 이러한 제2 얼라인용 이동부(480)는 제2 헤드유닛(300)을 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. The second
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동부(480)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하부영역에 배치되고 제2 헤드유닛(300)이 결합되며 제2축 방향(Y)으로 이동되는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결되며 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 이동을 안내하는 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)와, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결되며 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)를 이동시키는 제2 얼라인용 이동 구동부(483)를 포함한다, The second
제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하부영역에 배치된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에는 제2 헤드유닛(300)이 결합된다. 본 실시예에서 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)는 제2 얼라인용 이동 구동부(483)에 의해 제2축 방향(Y)으로 이동된다. The second alignment moving
제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 이동을 안내한다. The second alignment
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 결합되는 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)와, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 결합되며 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)를 포함한다. The second alignment moving
제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 하면에 결합되어 제2축 방향(Y)으로 길게 연장된다. The second alignment
제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 상면에 에 결합된다. 이러한 제2 얼라인용 가이드 블록부(482b)는 제2 얼라인용 가이드 레일부(482a)에 제2축 방향(Y)으로 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다. The second alignment
제2 얼라인용 이동 구동부(483)는 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)에 지지되고 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 연결된다. 이러한 제2 얼라인용 이동 구동부(483)는 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)를 이동시킨다. The second alignment moving
본 실시예에 따른 제2 얼라인용 이동 구동부(483)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)에 결합되는 제2 얼라인용 이동블록부(483a)와, 제2 얼라인용 이동블록부(483a)에 결합되는 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)와, 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)에 치합되는 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)와, 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)에 결합되어 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)를 회전시키는 제2 얼라인용 구동모터부(483c)를 포함한다. The second alignment
본 실시예에서 제2 얼라인용 구동모터부(483c)는 서모 모터롤 마련된다. 제2 얼라인용 구동모터부(483c)의 동작에 의해 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)가 회전되며, 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)의 회전에 의해 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)에 치합된 제2 얼라인용 이동 너트부(미도시)가 제2 얼라인용 볼 스크류부(483b)를 따라 이동되고, 그에 따라 제2 얼라인용 이동블록부(483a)에 결합된 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)가 제2 얼라인용 이동 가이드부(482)에 안내되어 제2축 방향(Y)으로 이동된다.In this embodiment, the second alignment
한편, 제1 헤드유닛(200)의 트레이 파지부(210)는 제1 이송 대상물(TM1)을 파지한다. 이러한 트레이 파지부(210)는, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 호이스트부(270)에 연결되는 파지용 프레임부(220)와, 파지용 프레임부(220)에 상대이동 가능하게 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되며 제1 이송 대상물(TM1)을 파지하는 그리퍼부(230)와, 파지용 프레임부(220)에 지지되고 그리퍼부(230)에 연결되며 그리퍼부(230)를 이동시키는 그리퍼용 이동 구동부(미도시)와, 파지용 프레임부(220)에 지지되며 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 하측으로 가압하는 푸셔부(250)를 포함한다. Meanwhile, the
파지용 프레임부(220)에는 호이스트부(270)에 연결된다. 이러한 파지용 프레임부(220)에는 트레이 정렬유닛(500)의 후술할 정렬용 가압 바아부(510)가 회전 가능하게 결합된다. 본 실시예의 파지용 프레임부(220)에는 그리퍼부(230)의 후술할 파지용 이동 블록부(233)가 슬라이딩 이동 가능하게 결합되어 파지용 이동 블록부(233)의 이동을 안내하는 가이드레일(미도시)이 마련된다.The
그리퍼부(230)는 파지용 프레임부(220)에 상대이동 가능하게 연결된다. 이러한 그리퍼부(230)는 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 제1 이송 대상물(TM1)을 파지 및 파지해제 한다. The
본 실시예에서 그리퍼부(230)는 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 그리퍼부(230)는 제1 이송 대상물(TM1)을 사이에 두고 상호 이격되어 배치된다.In this embodiment, the
이러한 그리퍼부(230)는, 도 4 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부에 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)을 지지하는 파지용 지지대(231)와, 파지용 지지대(231)에 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)을 가압하는 파지용 가압 플레이트부(232)와, 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되며 파지용 프레임부(220)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 파지용 이동 블록부(233)를 포함한다. The
파지용 지지대(231)는 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부 가장자리 영역에 각각 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 지지한다. 상술한 바와 같이 한 쌍으로 마련된 파지용 지지대(231) 각각이 제1 이송 대상물(TM1)의 하단부 일측 가장자리 영역과 타측 가장자리 영역에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 지지한다. The holding
파지용 가압 플레이트부(232)는 파지용 지지대(231)에 연결된다. 이러한 파지용 가압 플레이트부(232)는 제1 이송 대상물(TM1)의 양측 사이드를 가압한다. The gripping
파지용 이동 블록부(233)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결된다. 이러한 파지용 이동 블록부(233)는 파지용 프레임부(220)에 마련된 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합된다. The gripping
푸셔부(250)는 파지용 프레임부(220)에 지지된다. 이러한 푸셔부(250)는 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 연결되어 제1 이송 대상물(TM1)을 파지용 지지대(231) 방향으로 가압한다. 이러한 푸셔부(250)는 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 배치된 트레이(T)를 하측으로 가압함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)의 이송과정에서 이송대차 본체(100) 인가된 충격에 의해 제1 이송 대상물(TM1)의 상단에 배치된 트레이(T)가 상측으로 튀어 올라 이송대차 본체(100)에서 추락하는 것을 방지한다.The
본 실시예에 따른 푸셔부(250)는, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 파지용 프레임부(220)에 결합되며 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 이격되게 배치되는 푸셔용 가이드 바아부(251)와, 푸셔용 가이드 바아부(251)의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결되며 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 접촉되는 푸셔용 가압 플레이트부(252)와, 파지용 프레임부(220)에 결합되고 푸셔용 가압 플레이트부(252)에 연결되며 푸셔용 가압 플레이트부(252)를 업/다운(up/down) 이동시키는 푸셔용 이동 구동부(미도시)를 포함한다. The
푸셔용 가이드 바아부(251)는 파지용 프레임부(220)에 결합된다. 이러한 푸셔용 가이드 바아부(251)는 긴 봉 형상으로 마련되어 제1 이송 대상물(TM1)에 대해 이격되게 배치된다. The pusher
푸셔용 가압 플레이트부(252)는 푸셔용 가이드 바아부(251)의 외벽에 슬라이딩 가능하게 연결된다. 이러한 푸셔용 가압 플레이트부(252)는, 플레이트 형상으로 마련되며, 제1 이송 대상물(TM1)의 상단부에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 하측으로 가압한다. The pusher pressing
푸셔용 이동 구동부(미도시)는 파지용 프레임부(220)에 결합되고 푸셔용 가압 플레이트부(252)에 연결된다. 이러한 푸셔용 가압 플레이트부(252)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 본 실시예에서 푸셔용 이동 구동부(미도시)에는 가압 실린더(미도시)가 사용될 수 있다. The pusher moving driving unit (not shown) is coupled to the
한편, 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착된다. 이러한 트레이 정렬유닛(500)은 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 일부 트레이(T)가 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압한다. Meanwhile, the
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 적층된 트레이(T) 중 일부 트레이(T)가 측방향으로 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛(500)을 구비함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 이송과정에서 이송대차에 가해지는 충돌, 관성력 및 흔들림 등에 의해 적층된 트레이(T)들이 한쪽으로 쏠려 일부 트레이(T)가 돌출되는 것을 방지할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 언로딩과정에서 트레이(T)가 포트(미도시)의 구조물에 부딪히는 것을 방지할 수 있다.As described above, the transfer cart according to the present embodiment includes the trays T so that some of the stacked trays T of the first transfer object TM1 and the second transfer object TM2 do not protrude in the lateral direction. By providing the
상술한 바와 같이 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착되는데, 이하에서는 제1 헤드유닛(200)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)에 대해 주로 설명하며 제2 헤드유닛(300)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)은 제1 헤드유닛(200)에 장착된 트레이 정렬유닛(500)과 동일한 구조를 가지므로 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.As described above, the
이러한 트레이 정렬유닛(500)은, 도 4 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 헤드유닛(200)에 회전 가능하게 결합되며 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 가압하는 정렬용 가압 바아부(510)와, 제1 헤드유닛(200)에 지지되고 정렬용 가압 바아부(510)에 연결되며 정렬용 가압 바아부(510)를 회전시키는 정렬용 회전 구동부(미도시)를 포함한다. The
정렬용 가압 바아부(510)는 제1 헤드유닛(200)에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 정렬용 가압 바아부(510)는 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 가압한다. The alignment
본 실시예에 따른 정렬용 가압 바아부(510)는, 도 4 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되는 제1 세로 몸체(511)와, 제1 세로 몸체(511)에 결합되는 가로 몸체(513)와, 가로 몸체(513)에 결합되고 헤드유닛에 회전 가능하게 결합되며 정렬용 회전 구동부(미도시)에 연결되는 제2 세로 몸체(515)를 포함한다.As shown in detail in FIGS. 4 and 6, the alignment
제1 세로 몸체(511)는 원형의 봉 형상으로 마련되며 제1 이송 대상물(TM1)에 접촉되어 제1 이송 대상물(TM1)을 측방향으로 가압한다.The first
가로 몸체(513)는 제1 세로 몸체(511)에 결합된다. 제2 세로 몸체(515)는 가로 몸체(513)에 결합되고 헤드유닛에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 제2 세로 몸체(515)는 정렬용 회전 구동부(미도시)에 연결되어 제1 세로 몸체(511)의 회동 축심의 역할을 한다. The
상술한 정렬용 가압 바아부(510)는 복수개로 마련되어 제1 이송 대상물(TM1)을 기준으로 상호 대칭되게 이격되어 배치된다. 본 실시예에서 정렬용 가압 바아부(510)는 4개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 정렬용 가압 바아부(510)는 다양한 개수로 마련될 수 있다. The above-described alignment
정렬용 회전 구동부(미도시)는 헤드유닛에 지지되고 정렬용 가압 바아부(510)의 제2 세로 몸체(515)에 연결된다. 정렬용 회전 구동부(미도시)는 정렬용 가압 바아부(510)를 회전시킨다. 본 실시예에서 정렬용 회전 구동부(미도시)에는 서보 모터(미도시)가 사용될 수 있다. The alignment rotation driving unit (not shown) is supported by the head unit and is connected to the second
한편 트레이 추락방지유닛(600)은, 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 트레이 추락방지유닛(600)은 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 트레이 추락방지유닛(600)은 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 연결되어 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 파지된 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 추락을 방지한다.On the other hand, the tray
한 쌍의 트레이 추락방지유닛(600)은 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 제1 헤드유닛(200)에 연결되어 제1 헤드유닛(200)에 파지된 제1 이송 대상물(TM1)의 추락을 방지하는 트레이 추락방지유닛(600)에 대해 주로 설명한다. Since the pair of tray
트레이 추락방지유닛(600)은 제1 헤드유닛(200)의 그리퍼부(230)에 연결되어 그리퍼부(230)를 제1 이송 대상물(TM1) 방향으로 가압한다. 이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 그리퍼부(230)에 연결되어 그리퍼부(230)를 제1 이송 대상물(TM1) 방향으로 가압하는 트레이 추락방지유닛(600)을 구비함으로써, 이송과정에서 이송대차 본체(100)에 가해지는 충격 등에 의해 그리퍼부(230)에서 제1 이송 대상물(TM1)이 이탈되어 추락하는 것을 방지할 수 있다.The tray
이러한 트레이 추락방지유닛(600)은, 도 1 및 도 5 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 파지용 가압 플레이트부(232)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 추락방지용 가압부(610)와, 추락방지용 가압부(610)가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 추락방지용 가이드부(미도시)와, 추락방지용 가압부(610)에 연결되며 추락방지용 가압부(610)를 이동시키는 추락방지용 가압 구동부(630)를 포함한다.This tray
추락방지용 가압부(610)는 한 쌍으로 마련된다. 이러한 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다. 이러한 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 제1 이송 대상물(TM1)을 기준으로 상호 대칭되게 이동된다. 즉, 한 쌍의 추락방지용 가압부(610)는 제1 이송 대상물(TM1)을 사이에 두고 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그리퍼부(230)를 가압하고 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그리퍼부(230)를 가압을 해제한다. Fall
본 실시예에 따른 추락방지용 가압부(610)는, 도 6 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 추락방지용 가압 구동부(630)에 연결되는 추락 방지용 이동블록부(611)와, 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압하는 추락 방지용 가압블록부(613)와, 추락 방지용 가압블록부(613)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부의 하측에 이격되어 배치되는 추락방지용 스토퍼부(615)와, 추락 방지용 가압블록부(613)에 결합되며 파지용 가압 플레이트부(232)에 접촉되는 쿠션 패드부(617)를 포함한다.Fall
추락 방지용 이동블록부(611)는 추락방지용 가압 구동부(630)와 추락방지용 가이드부(미도시)에 연결된다. The fall prevention moving
추락 방지용 가압블록부(613)는 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합된다. 이러한 추락 방지용 가압블록부(613)는 파지용 가압 플레이트부(232)에 연결되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압한다. 이러한 추락 방지용 가압블록부(613)가 파지용 가압 플레이트부(232)를 가압함으로써, 그리퍼부(230)가 옆으로 벌어지는 것이 방지되어 파지용 지지대(231)에서 제1 이송 대상물(TM1)이 이탈되지 않는다.The fall prevention pressing
쿠션 패드부(617)는 추락 방지용 가압블록부(613)의 외벽에 결합된다. 이러한 쿠션 패드부(617)는, 파지용 가압 플레이트부(232)에 접촉되어 파지용 가압 플레이트부(232)를 탄성적으로 가압하며, 파지용 가압 플레이트부(232)에 인가되는 진동을 흡수한다. The
추락방지용 스토퍼부(615)는 추락 방지용 가압블록부(613)의 하부 외벽에 결합된다. 이러한 추락방지용 스토퍼부(615)는 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부의 하측에 이격되어 배치된다. The fall
추락방지용 스토퍼부(615)와 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부 사이의 소정의 이격간격을 마련함으로써, 파지용 가압 플레이트부(232)의 제작 상 공차에 의해 추락 방지용 이동블록부(611)의 이동과정에서 추락방지용 스토퍼부(615)가 파지용 가압 플레이트부(232)에 부딪히는 것을 방지할 수 있다. By providing a predetermined space between the
또한, 추락방지용 스토퍼부(615)와 파지용 가압 플레이트부(232)의 하단부에 배치됨으로써, 호이스트부(270)의 벨트(V)의 전부 또는 일부가 끊어져 트레이 파지부(210)가 추락하거나 기울어질 수 있는 경우 추락방지용 스토퍼부(615)가 파지용 가압 플레이트부(232)를 지지하여 트레이 파지부(210)가 추락을 저지하고 트레이 파지부(210)가 소정 각도 이상으로 기울어지 않도록 한다.In addition, by being disposed at the lower end of the
추락방지용 가이드부(미도시)는 이송대차 본체(100)에 결합된다. 이러한 추락방지용 가이드부(미도시)에는 추락방지용 가압부(610)의 추락 방지용 이동블록부(611)가 슬라이딩 이동가능하게 연결된다. A fall prevention guide part (not shown) is coupled to the
추락방지용 가압 구동부(630)는 이송대차 본체(100)에 지지된다. 이러한 추락방지용 가압 구동부(630) 추락방지용 가압부(610)에 연결되어 추락방지용 가압부(610)를 이동시킨다. The
추락방지용 가압 구동부(630)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 추락 방지용 이동블록부(611)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 대칭 나선 볼 스크류부(631)와, 대칭 나선 볼 스크류부(631)에 연결되어 대칭 나선 볼 스크류부(631)를 회전시키는 추락 방지 가압용 서보 모터(632)를 포함한다.As shown in detail in FIG. 6, the
대칭 나선 볼 스크류부(631)의 외주면에는, 제1 나선방향으로 형성된 제1 나선부(미도시)와, 제1 나선부(미도시)에 이격되어 배치되며 제1 나선방향에 대해 반대방향을 가지는 제2 나선방향으로 형성된 제2 나선부(미도시)가 마련된다. On the outer circumferential surface of the symmetrical spiral
제1 나선부(미도시)와 제2 나선부(미도시) 각각에는 추락 방지용 이동블록부(611) 각각이 연결됨으로써, 대칭 나선 볼 스크류부(631)의 회전에 의해 추락방지용 가압부(610)가 대칭적으로 이동될 수 있다.Each of the first spiral portion (not shown) and the second spiral portion (not shown) is connected to each of the fall-preventing moving
이하에서 본 실시예에 따른 이송대차의 동작을 도 1 내지 도 9을 참고하여 설명한다. Hereinafter, the operation of the transfer cart according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 9.
제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 장착된 트레이 정렬유닛(500)은 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 일부 트레이(T)가 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압한다. In the
제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 파지하기 전에서는 도 8의 (a), (b) 및 도 9(a)에 도시된 바와 같이 제1 세로 몸체(511)는 회동되어 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)에 간섭되지 않는 위치로 회피되며, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)에 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)이 파지된 때에서 도 8의 (c), (d) 및 도 9(b)에 도시된 바와 같이 제1 세로 몸체(511)가 회동되어 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 각각의 트레이(T)들을 가압하여 트레이(T)들이 정렬된다. Before gripping the first transfer object TM1 and the second transfer object TM2, the first
상술한 바와 같이 제1 세로 몸체(511)는 세로 방향으로 연장된 긴 봉 형상으로 마련되므로, 제1 세로 몸체(511)의 가압에 의해 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)의 전체 트레이(T)가 가압된다. As described above, since the first
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 제1 이송 대상물(TM1)의 적층된 트레이(T) 중 일부 트레이(T)가 측방향으로 돌출되지 않도록 트레이(T)들의 측벽을 가압하는 트레이 정렬유닛(500)을 구비함으로써, 제1 이송 대상물(TM1)의 이송과정에서 이송대차에 가해지는 충돌, 관성력 및 흔들림 등에 의해 적층된 트레이(T)들이 한쪽으로 쏠려 트레이(T)들 중 일부가 측방향으로 돌출되는 것을 방지할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)의 언로딩과정에서 돌출된 트레이(T)가 포트(미도시)에 간섭되는 것을 방지할 수 있다.As described above, the transfer cart according to the present embodiment is a tray alignment unit that presses the side walls of the trays T so that some of the stacked trays T of the first transfer object TM1 do not protrude in the lateral direction. By having 500, the stacked trays T are pulled to one side due to collision, inertia force and shaking applied to the transfer cart during the transfer process of the first transfer object TM1, so that some of the trays T are lateral It can be prevented from protruding, and accordingly, it is possible to prevent the protruding tray T from interfering with the port (not shown) during the unloading process of the first transport object TM1.
한편, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각은 독립적으로 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2) 각각을 독립적으로 로딩 및 언로딩한다. Meanwhile, each of the first and
이송대차 본체(100)에 지지되고 제1 헤드유닛(200)에 연결된 제1 헤드용 위치조절모듈(410)은, 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X) 및 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. 즉, 제1 간격조절용 이동 플레이트부(422)의 제1축 방향(X)으로 이동에 의해 제1 헤드유닛(200)이 제1축 방향(X)으로 이동되며, 제1 얼라인용 이동 플레이트부(431)의 제2축 방향(Y)의 이동에 의해 제1 헤드유닛(200)이 제2축 방향(Y)으로 이동된다. The first
또한, 이송대차 본체(100)에 지지되고 제2 헤드유닛(300)에 연결되는 제2 헤드용 위치조절모듈(460)은 제1 헤드유닛(200)을 제1축 방향(X) 및 제2축 방향(Y)으로 이동시킨다. 즉, 제2 간격조절용 이동 플레이트부(472)의 제1축 방향(X)으로 이동에 의해 제2 헤드유닛(300)이 제1축 방향(X)으로 이동되며, 제2 얼라인용 이동 플레이트부(481)의 제2축 방향(Y)의 이동에 의해 제2 헤드유닛(300)이 제2축 방향(Y)으로 이동된다. In addition, the
이와 같이 본 실시예에 따른 이송대차는, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)을 이송대차 본체(100)에 대해 상대이동시켜 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛(400)을 구비함으로써, 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 각각에 대응되는 포트들의 간격 및 위치에 상응하게 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300) 사이의 간격 및 제1 헤드유닛(200)과 제2 헤드유닛(300)의 개별적인 위치를 조절할 수 있고, 그에 따라 제1 이송 대상물(TM1)과 제2 이송 대상물(TM2)을 동시에 로딩 및 언로딩할 수 있다.As described above, in the transfer cart according to the present embodiment, the
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present embodiment has been described in detail with reference to the drawings above, the scope of the present embodiment is not limited to the above-described drawings and description.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those of ordinary skill in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to belong to the scope of the claims of the present invention.
100: 이송대차 본체 200: 제1 헤드유닛
210: 트레이 파지부 220: 파지용 프레임부
230: 그리퍼부 231: 파지용 지지대
232: 파지용 가압 플레이트부 233: 파지용 이동 블록부
270: 호이스트부 300: 제2 헤드유닛
400: 위치조절유닛 410: 제1 헤드용 위치조절모듈
420: 제1 간격조절용 이동부
421: 제1 간격조절용 고정 플레이트부
422: 제1 간격조절용 이동 플레이트부
424: 제1 간격조절용 이동 구동부 425: 제1 조절볼트부
430: 제1 얼라인용 이동부
431: 제1 얼라인용 이동 플레이트부
432: 제1 얼라인용 이동 가이드부
433: 제1 얼라인용 이동 구동부 460: 제2 헤드용 위치조절모듈
470: 제2 간격조절용 이동부
471: 제2 간격조절용 고정 플레이트부
472: 제2 간격조절용 이동 플레이트부
474: 제2 간격조절용 이동 구동부 475: 제2 조절볼트부
480: 제2 얼라인용 이동부
481: 제2 얼라인용 이동 플레이트부
482: 제2 얼라인용 이동 가이드부
483: 제2 얼라인용 이동 구동부 500: 트레이 정렬유닛
510: 정렬용 가압 바아부 511: 제1 세로 몸체
513: 가로 몸체 515: 제2 세로 몸체
600: 트레이 추락방지유닛 610: 추락방지용 가압부
611: 추락 방지용 이동블록부 613: 추락 방지용 가압블록부
615: 추락방지용 스토퍼부 617: 쿠션 패드부
630: 추락방지용 가압 구동부 TM1: 제1 이송 대상물
TM2: 제2 이송 대상물100: transfer cart body 200: first head unit
210: tray gripping portion 220: gripping frame portion
230: gripper part 231: support for gripping
232: gripping pressure plate portion 233: gripping moving block portion
270: hoist part 300: second head unit
400: position control unit 410: position control module for the first head
420: first distance adjustment moving part
421: fixing plate portion for the first gap adjustment
422: a moving plate portion for first gap adjustment
424: first distance adjustment moving drive unit 425: first adjustment bolt unit
430: first alignment moving part
431: first alignment plate portion
432: first alignment movement guide portion
433: first alignment movement driving unit 460: second position control module for head
470: second gap adjustment moving part
471: fixing plate portion for second interval adjustment
472: second gap adjustment moving plate portion
474: second distance adjustment moving drive unit 475: second adjustment bolt unit
480: second alignment moving part
481: second alignment moving plate portion
482: second alignment movement guide portion
483: second alignment movement drive 500: tray alignment unit
510: alignment pressure bar portion 511: first vertical body
513: horizontal body 515: second vertical body
600: tray fall prevention unit 610: pressure part for fall prevention
611: fall prevention moving block part 613: fall prevention pressure block part
615: fall prevention stopper part 617: cushion pad part
630: fall prevention pressurization drive TM1: first transport object
TM2: second object to be transferred
Claims (16)
상기 이송대차 본체에 지지되며, 제1 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제1 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 헤드유닛;
상기 이송대차 본체에 지지되고 제2 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제2 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키며, 상기 제1 헤드유닛에 대해 이격되어 배치되는 제2 헤드유닛; 및
상기 이송대차 본체에 지지되고 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛에 연결되며, 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛을 상기 이송대차 본체에 대해 상대이동시켜 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛을 포함하고,
상기 위치조절유닛은,
상기 제1 헤드유닛에 연결되어 상기 제1 헤드유닛을 이동시키는 제1 헤드용 위치조절모듈을 포함하며,
상기 제1 헤드용 위치조절모듈은,
상기 이송대차 본체에 결합되며, 상기 제1 헤드유닛을 상기 제2 헤드유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향으로 이동시키는 제1 간격조절용 이동부; 및
상기 제1 간격조절용 이동부에 결합되며, 상기 제1 헤드유닛을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제1 얼라인용 이동부를 포함하는 이송대차.A transfer cart body moving along the running rail;
A first head unit supported by the transfer cart body, gripping a first transfer object, and moving the gripped first transfer object up/down;
A second head unit that is supported by the transfer cart body, grips a second transfer object, moves the gripped second transfer object up/down, and is spaced apart from the first head unit; And
The transfer cart body is supported and connected to the first head unit and the second head unit, and the first head unit and the second head unit are moved relative to the transfer cart body to move the first head unit and the second head unit. It includes a position adjustment unit capable of adjusting the position of the second head unit,
The position control unit,
And a position control module for a first head connected to the first head unit to move the first head unit,
The position control module for the first head,
A first distance adjustment moving unit coupled to the transfer cart body and moving the first head unit in a direction of a first axis that is a direction approaching and spaced apart from the second head unit; And
A transport cart including a first alignment moving unit coupled to the first distance adjusting moving unit and moving the first head unit in a second axis direction crossing the first axis direction.
상기 제1 간격조절용 이동부는,
상기 이송대차 본체에 결합되는 제1 간격조절용 고정 플레이트부;
상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제1 헤드유닛이 연결되며, 상기 제1축 방향으로 이동되는 제1 간격조절용 이동 플레이트부;
상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제1 간격조절용 이동 가이드부; 및
상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부를 이동시키는 제1 간격조절용 이동 구동부를 포함하는 이송대차.The method of claim 1,
The first distance adjustment moving part,
A fixed plate portion for adjusting a first distance coupled to the transfer cart body;
A first gap adjustment movable plate part disposed in a lower region of the first gap adjustment fixing plate part, the first head unit connected, and moving in the first axis direction;
A first distance adjustment moving guide part supported by the first space adjusting fixed plate part, connected to the first space adjusting moving plate part, and guiding the movement of the first space adjusting moving plate part; And
A transfer cart including a first distance control moving driving unit supported by the first space control fixed plate unit, connected to the first distance control moving plate unit, and moving the first distance control moving plate unit.
상기 제1 간격조절용 이동 구동부는,
상기 제1 간격조절용 고정 플레이트부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 마련된 제1 간격조절용 나사공에 치합되는 제1 조절볼트부를 포함하는 이송대차.The method of claim 4,
The first distance adjustment moving drive unit,
A transfer cart including a first adjustment bolt part rotatably coupled to the first gap adjustment fixing plate part and engaged with a first gap adjustment screw hole provided on the first gap adjustment moving plate part.
상기 제1 얼라인용 이동부는,
상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제1 헤드유닛이 결합되며, 상기 제2축 방향으로 이동되는 제1 얼라인용 이동 플레이트부;
상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제1 얼라인용 이동 가이드부; 및
상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부를 이동시키는 제1 얼라인용 이동 구동부를 포함하는 이송대차.The method of claim 4,
The first alignment moving part,
A first alignment movable plate part disposed in a lower area of the first gap adjusting movable plate part, coupled to the first head unit, and moving in the second axis direction;
A first alignment moving guide part supported on the first moving plate part for space adjustment, connected to the first moving plate part for alignment, and guiding the movement of the first moving plate part for alignment; And
A transfer truck including a first alignment movement driving unit supported by the first moving plate unit for space adjustment, connected to the first alignment moving plate unit, and moving the first alignment moving plate unit.
상기 제1 얼라인용 이동 가이드부는,
상기 제1 간격조절용 이동 플레이트부에 결합되는 제1 얼라인용 가이드 레일부; 및
상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되며, 상기 제1 얼라인용 가이드 레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제1 얼라인용 가이드 블록부를 포함하는 이송대차.The method of claim 7,
The first alignment movement guide unit,
A first alignment guide rail portion coupled to the first distance adjustment moving plate portion; And
A transfer cart including a first alignment guide block unit coupled to the first alignment moving plate unit and slidably coupled to the first alignment guide rail unit.
상기 제1 얼라인용 이동 구동부는,
상기 제1 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되는 제1 얼라인용 이동블록부;
상기 제1 얼라인용 이동블록부에 결합되는 제1 얼라인용 이동 너트부;
상기 제1 얼라인용 이동 너트부에 치합되는 제1 얼라인용 볼 스크류부; 및
상기 제1 얼라인용 볼 스크류부에 결합되어 상기 제1 얼라인용 볼 스크류부를 회전시키는 제1 얼라인용 구동모터부를 포함하는 이송대차.The method of claim 7,
The first alignment movement driving unit,
A first alignment moving block unit coupled to the first alignment moving plate unit;
A first alignment movable nut part coupled to the first alignment movable block part;
A first alignment ball screw unit engaged with the first alignment movable nut unit; And
A transfer cart including a first alignment driving motor unit coupled to the first alignment ball screw unit to rotate the first alignment ball screw unit.
상기 이송대차 본체에 지지되며, 제1 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제1 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 헤드유닛;
상기 이송대차 본체에 지지되고 제2 이송 대상물을 파지하고 파지된 상기 제2 이송 대상물을 업/다운(up/down) 이동시키며, 상기 제1 헤드유닛에 대해 이격되어 배치되는 제2 헤드유닛; 및
상기 이송대차 본체에 지지되고 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛에 연결되며, 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛을 상기 이송대차 본체에 대해 상대이동시켜 상기 제1 헤드유닛과 상기 제2 헤드유닛의 위치를 조절할 수 있는 위치조절유닛을 포함하고,
상기 위치조절유닛은,
상기 제2 헤드유닛에 연결되어 상기 제2 헤드유닛을 이동시키는 제2 헤드용 위치조절모듈을 포함하며,
상기 제2 헤드용 위치조절모듈은,
상기 이송대차 본체에 결합되며, 상기 제2 헤드유닛을 상기 제1 헤드유닛에 대해 접근 및 이격되는 방향인 제1축 방향으로 이동시키는 제2 간격조절용 이동부; 및
상기 제2 간격조절용 이동부에 결합되며, 상기 제2 헤드유닛을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 얼라인용 이동부를 포함하는 이송대차.A transfer cart body moving along the running rail;
A first head unit supported by the transfer cart body, gripping a first transfer object, and moving the gripped first transfer object up/down;
A second head unit that is supported by the transfer cart body, grips a second transfer object, moves the gripped second transfer object up/down, and is spaced apart from the first head unit; And
The transfer cart body is supported and connected to the first head unit and the second head unit, and the first head unit and the second head unit are moved relative to the transfer cart body to move the first head unit and the second head unit. It includes a position adjustment unit capable of adjusting the position of the second head unit,
The position control unit,
It is connected to the second head unit and comprises a second head position control module for moving the second head unit,
The position control module for the second head,
A second distance adjustment moving part coupled to the transfer cart body and moving the second head unit in a first axis direction, which is a direction approaching and spaced apart from the first head unit; And
A transfer cart including a second alignment moving unit coupled to the second distance adjusting moving unit and moving the second head unit in a second axis direction crossing the first axis direction.
상기 제2 간격조절용 이동부는,
상기 이송대차 본체에 결합되는 제2 간격조절용 고정 플레이트부;
상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제2 헤드유닛이 연결되며, 상기 제1축 방향으로 이동되는 제2 간격조절용 이동 플레이트부;
상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제2 간격조절용 이동 가이드부; 및
상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 지지되고 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부를 이동시키는 제2 간격조절용 이동 구동부를 포함하는 이송대차.The method of claim 10,
The second distance adjustment moving part,
A fixed plate part for adjusting a second distance coupled to the transfer cart body;
A second movable plate part for adjusting gaps disposed in a lower region of the second gap adjusting plate part, to which the second head unit is connected, and moving in a direction of the first axis;
A second space adjustment moving guide part supported by the second space adjusting fixed plate part, connected to the second space adjusting moving plate part, and guiding the movement of the second space adjusting moving plate part; And
A transfer cart including a second distance control moving driving unit supported by the second space adjusting fixed plate unit, connected to the second distance adjusting moving plate unit, and moving the second distance adjusting moving plate unit.
상기 제2 간격조절용 이동 구동부는,
상기 제2 간격조절용 고정 플레이트부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 마련된 제2 간격조절용 나사공에 치합되는 제2 조절볼트부를 포함하는 이송대차.The method of claim 11,
The second moving drive unit for adjusting the distance,
A transfer cart including a second adjustment bolt part rotatably coupled to the second gap adjustment fixing plate part and engaged with a second gap adjustment screw hole provided on the second gap adjustment moving plate part.
상기 제2 얼라인용 이동부는,
상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부의 하부영역에 배치되고 상기 제2 헤드유닛이 결합되며, 상기 제2축 방향으로 이동되는 제2 얼라인용 이동 플레이트부;
상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부의 이동을 안내하는 제2 얼라인용 이동 가이드부; 및
상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 지지되고 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 연결되며, 상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부를 이동시키는 제2 얼라인용 이동 구동부를 포함하는 이송대차.The method of claim 11,
The second alignment moving part,
A second alignment moving plate unit disposed in a lower area of the second space adjustment moving plate unit, coupled to the second head unit, and moving in the second axis direction;
A second alignment moving guide part supported by the second moving plate part for distance adjustment, connected to the second moving plate part for alignment, and guiding the movement of the second moving plate part for alignment; And
A transfer cart including a second alignment movement driving unit supported by the second moving plate unit for space adjustment, connected to the second alignment moving plate unit, and moving the second alignment moving plate unit.
상기 제2 얼라인용 이동 가이드부는,
상기 제2 간격조절용 이동 플레이트부에 결합되는 제2 얼라인용 가이드 레일부; 및
상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되며, 상기 제2 얼라인용 가이드 레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제2 얼라인용 가이드 블록부를 포함하는 이송대차.The method of claim 14,
The second alignment movement guide unit,
A second guide rail unit for alignment coupled to the second distance adjustment moving plate unit; And
A transfer cart including a second alignment guide block unit coupled to the second alignment moving plate unit and slidably connected to the second alignment guide rail unit.
상기 제2 얼라인용 이동 구동부는,
상기 제2 얼라인용 이동 플레이트부에 결합되는 제2 얼라인용 이동블록부;
상기 제2 얼라인용 이동블록부에 결합되는 제2 얼라인용 이동 너트부;
상기 제2 얼라인용 이동 너트부에 치합되는 제2 얼라인용 볼 스크류부; 및
상기 제2 얼라인용 볼 스크류부에 결합되어 상기 제2 얼라인용 볼 스크류부를 회전시키는 제2 얼라인용 구동모터부를 포함하는 이송대차.The method of claim 14,
The second alignment movement driving unit,
A second alignment moving block unit coupled to the second alignment moving plate unit;
A second alignment movable nut part coupled to the second alignment movable block part;
A second alignment ball screw unit engaged with the second alignment movable nut unit; And
A transfer cart including a second alignment driving motor unit coupled to the second alignment ball screw unit to rotate the second alignment ball screw unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020190098855A KR102217740B1 (en) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | Carriage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020190098855A KR102217740B1 (en) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | Carriage |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102217740B1 true KR102217740B1 (en) | 2021-02-22 |
Family
ID=74687659
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020190098855A KR102217740B1 (en) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | Carriage |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR102217740B1 (en) |
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