KR102207900B1 - Optical inspection apparatus and method of optical inspection - Google Patents
Optical inspection apparatus and method of optical inspection Download PDFInfo
- Publication number
- KR102207900B1 KR102207900B1 KR1020140015890A KR20140015890A KR102207900B1 KR 102207900 B1 KR102207900 B1 KR 102207900B1 KR 1020140015890 A KR1020140015890 A KR 1020140015890A KR 20140015890 A KR20140015890 A KR 20140015890A KR 102207900 B1 KR102207900 B1 KR 102207900B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- display panel
- image
- defect
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
광학 검사 장치는 표시 패널에 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 표시 패널에 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원, 표시 패널에 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원, 표시 패널에서 반사되는 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 표시 패널에서 반사되는 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 표시 패널에서 반사되는 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라 및 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 표시 패널의 불량을 분석하는 영상 분석부를 포함한다.The optical inspection apparatus includes a first light source that irradiates light of a first wavelength to the display panel, a second light source that irradiates light of a second wavelength to the display panel, a third light source that irradiates light of a third wavelength to the display panel, and displays. A first filter for passing light of a first wavelength reflected from the panel, a second filter for passing light of a second wavelength reflected from the display panel, a third filter for passing light of a third wavelength reflected from the display panel, Camera and first charge coupling including a first charge coupling element arranged to correspond to the first filter, a second charge coupling element arranged to correspond to the second filter, and a third charge coupling element arranged to correspond to the third filter And an image analyzer configured to analyze a defect of the display panel by combining the first image acquired from the device, the second image acquired from the second charge-coupled device, and the third image acquired from the third charge-coupled device.
Description
본 발명은 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 평판 표시 장치의 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection device. More specifically, the present invention relates to an optical inspection device and an optical inspection method of a flat panel display device.
평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathoderay Tube Display Device)를 대체하는 표시 장치로서 사용되고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode display device; OLED)가 있다. 이러한 평판 표시 장치의 제조 공정에서 표시 패널(Display Panel)의 불량을 검출하는 다양한 장치 및 방법이 있다.Flat panel display devices are used as a display device that replaces a cathode ray tube display device due to characteristics such as light weight and thinness. Representative examples of such a flat panel display include a liquid crystal display device (LCD) and an organic light emitting diode display device (OLED). There are various devices and methods for detecting defects in a display panel in the manufacturing process of such a flat panel display device.
광학 검사 장치는 표시 패널의 제조 과정 중 또는 제조 완료 후에 검사 공정을 진행하여 불량을 검출 수 있다. 광학 검사 장치는, 표시 패널에 직접 접촉시키지 않고 빛을 조사하여 그 반사되는 빛을 카메라에 전달시킬 수 있다. 광학 검사 장치는 카메라에 전달되는 광량의 차를 이용하여 표시 패널의 불량 여부를 검출할 수 있다. 그러나, 이러한 광학 검사 장치는 표시 패널의 불량 여부만을 검출하고, 불량의 종류는 파악할 수 없다. 따라서, 표면 이물 불량과 같이 양품화 가능한 불량을 가진 표시 패널도 불량으로 분류되어 수율을 감소시키는 문제점이 있다.The optical inspection apparatus may detect defects by performing an inspection process during or after manufacturing of the display panel is completed. The optical inspection apparatus may irradiate light without directly contacting the display panel and transmit the reflected light to the camera. The optical inspection apparatus may detect whether the display panel is defective by using a difference in the amount of light transmitted to the camera. However, such an optical inspection apparatus only detects whether a display panel is defective, and cannot determine the type of defect. Accordingly, there is a problem in that a display panel having a defect that can be good quality, such as a defect of a surface foreign substance, is classified as a defect, reducing the yield.
본 발명의 일 목적은 표시 패널의 불량 종류를 파악할 수 있는 광학 검사 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an optical inspection device capable of identifying a defect type of a display panel.
본 발명의 다른 목적은 광학 검사 장치를 이용한 광학 검사 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an optical inspection method using an optical inspection device.
그러나, 본 발명이 목적은 상술한 목적들로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-described objects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치는 표시 패널에 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 상기 표시 패널에 상기 제 1 파장과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원, 상기 표시 패널에 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라, 및 상기 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 상기 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 상기 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 영상 분석부를 포함할 수 있다.In order to achieve an object of the present invention, an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention includes a first light source for irradiating light of a first wavelength to a display panel, and having a wavelength different from the first wavelength to the display panel. A second light source that irradiates light of a second wavelength, a third light source that irradiates the display panel with light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength, and the third light source reflected from the display panel A first filter for passing light of one wavelength, a second filter for passing light of the second wavelength reflected from the display panel, a third filter for passing light of the third wavelength reflected from the display panel, the A camera including a first charge-coupled element disposed to correspond to a first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a third charge-coupled element disposed to correspond to the third filter, and An image for detecting a defect in the display panel by combining a first image acquired from the first charge-coupled device, a second image acquired from the second charge-coupled device, and a third image acquired from the third charge-coupled device It may include an analysis unit.
일 실시예에 의하면, 상기 영상 분석부는 상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다.According to an embodiment, the image analysis unit includes a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the shape of the defect. The type of defect can be detected based on.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광일 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength may be red light, green light, and blue light.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, a reflecting mirror for irradiating light of the third wavelength may be further included.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널에 동시에 조사될 수 있다.According to an exemplary embodiment, light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength may be simultaneously irradiated to the display panel.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법은 표시 패널에 제 1 광원으로부터 조사되는 제 1 파장의 광, 제 2 광원으로부터 조사되고, 상기 제 1 파장의 광과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광 및 제 3 광원으로부터 조사되고, 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 상기 제 3 파장의 광을 동시에 조사하는 단계, 상기 표시 패널에 대향하여 배치되는 카메라로 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영하는 단계 및 상기 제 1 영상, 상기 제 2 영상 및 상기 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve another object of the present invention, an optical inspection method according to embodiments of the present invention includes light having a first wavelength irradiated from a first light source and a second light source irradiating a display panel, and light having the first wavelength Irradiating light of a second wavelength having a wavelength different from that of a third light source and simultaneously irradiating light of the third wavelength having a wavelength different from that of the first wavelength and the second wavelength, facing the display panel A first image by light of the first wavelength reflected from the display panel by a camera disposed, a second image by light of the second wavelength reflected from the display panel, and the third wavelength reflected from the display panel And detecting a defect by analyzing the first image, the second image, and the third image.
일 실시예에 의하면, 상기 불량을 검출하는 단계는, 상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the detecting of the defect includes a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and It may include the step of detecting the type of the defect based on the type of the defect.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광일 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength may be red light, green light, and blue light.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an exemplary embodiment, the light having the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel.
일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 포함할 수 있다.According to an embodiment, a reflective mirror for irradiating light of the third wavelength may be included.
일 실시예에 의하면, 상기 카메라는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터 및 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the camera may include a first filter for passing light of the first wavelength, a second filter for passing light of the second wavelength, and a third filter for passing light of the third wavelength. I can.
일 실시예에 의하면, 상기 카메라는 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the camera includes a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a second charge-coupled element disposed to correspond to the third filter. 3 may further include a charge-coupled device.
본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법은 표시 패널에 적색 파장, 녹색 파장, 청색 파장의 광원을 동시에 조사하고, 각각의 파장을 통과시키는 필터 상부에 위치한 카메라로 영상을 취득하여 분석함으로써, 불량의 종류를 검출할 수 있다. 또한, 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법은 불량의 종류를 검출하여 양품화 가능한 표시 패널을 분류함으로써 생산성을 향상시킬 수 있다.In the optical inspection apparatus and optical inspection method according to embodiments of the present invention, a display panel is simultaneously irradiated with light sources of red wavelength, green wavelength, and blue wavelength, and images are acquired with a camera positioned above a filter passing each wavelength. By analyzing, the kind of defect can be detected. In addition, the optical inspection apparatus and the optical inspection method can improve productivity by detecting types of defects and classifying display panels that can be made good.
다만, 본 발명의 효과는 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 광학 검사 장치에서 검사하는 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a display panel inspected by the optical inspection device of FIG. 1.
3 is a flowchart illustrating an optical inspection method according to embodiments of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same elements in the drawings, and duplicate descriptions for the same elements are omitted.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention.
도 1을 참조하면, 광학 검사 장치(100)는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114), 제 3 광원(116), 카메라(130) 및 영상 분석부(140)를 포함할 수 있다. 제 1 광원(112)은 표시 패널(P)에 제 1 파장의 광(A)을 조사하고, 제 2 광원(114)은 표시 패널(P)에 제 2 파장의 광(B)을 조사하며, 제 3 광원(116)은 표시 패널(P)에 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 카메라(130)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(Charge-Coupled Device; CCD)(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함할 수 있다. 제 1 필터(122)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 1 파장의 광(A)을 통과시키고, 제 2 필터(124)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 2 파장의 광(B)을 통과시키며, 제 3 필터(126)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 3 파장의 광(C)을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 영상 분석부(140)는 제 1 내지 제 3 전하 결합 소자들(132, 134, 136)에서 취득되는 제 1 내지 제 3 영상들을 조합하여 표시 패널(P)의 불량을 검출할 수 있다.Referring to FIG. 1, the
구체적으로, 제 1 광원(112)은 표시 패널(P)에 제 1 파장의 광(A)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 1 파장의 광(A)은 적색 광일 수 있다. 제 1 광원(112)은 제 1 파장의 광(A)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 1 광원(112)은 적색 광을 방출하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED)일 수 있다. 제 2 광원(114)은 표시 패널(P)에 제 2 파장의 광(B)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 2 파장의 광(B)은 녹색 광일 수 있다. 제 2 광원(114)은 제 2 파장의 광(B)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 2 광원(114)은 녹색 광을 방출하는 발광 다이오드일 수 있다. 제 3 광원(116)은 표시 패널(P)에 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 파장의 광(C)은 청색 광일 수 있다. 제 3 광원(116)은 제 3 파장의 광(C)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 3 광원(116)은 청색 광을 방출하는 발광 다이오드일 수 있다. 본 발명에서는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 방출하는 광들로 적색 광, 녹색 광 및 청색 광을 예로 들어 설명하지만, 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원에서 방출하는 광들은 이에 한정되지 않는다. 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 방출하는 광은 각기 다른 파장 대를 갖는 광들 일 수 있다.Specifically, the
일 실시예에서, 제 1 파장의 광(A)은 표시 패널(P)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 파장의 광(B)은 표시 패널(P)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 예를 들어, 제 1 광원(112) 및 제 2 광원(114)은 돔(dome) 형태의 구조물에 의해 배치되어 제 1 파장의 광(A) 및 제 2 파장의 광(B)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 광원(116)은 반사 미러(156)를 구비하여 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)로 동시에 조사될 수 있다. 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B), 제 3 파장의 광(C)이 표시 패널(P)로 조사되는 각도를 서로 다르게 함으로써, 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들이 표시 패널(P)에 조사될 때, 또는, 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들이 표시 패널(P)에서 반사되어 나갈 때, 각각의 파장이 중첩되는 것을 최소화할 수 있다.In an embodiment, the light A of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel P. In another embodiment, the light B having the second wavelength may be irradiated with the display panel P at an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees. In another embodiment, the light C of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel P. For example, the first
카메라(130)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함할 수 있다. 제 1 필터(122), 제 2 필터(124) 및 제 3 필터(126)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C) 중 어느 하나를 선택적으로 투과시킬 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 필터(122)는 제 1 파장의 광(A)을 통과시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 필터(124)는 제 2 파장의 광(B)을 통과시킬 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 필터(126)는 제 3 파장의 광(C)을 통과시킬 수 있다. 제 1 필터(122), 제 2 필터(124) 및 제 3 필터(126)에는 특정 파장대의 광만 통과시키는 물질이 도포될 수 있다. The
제 1 필터(122)에 상응하도록 제 1 전하 결합 소자(132)가 배치될 수 있고, 제 2 필터(124)에 상응하도록 제 2 전하 결합 소자(134)가 배치될 수 있으며, 제 3 필터(124)에 상응하도록 제 3 전하 결합 소자(136)가 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)는 영상을 전기 신호로 변환할 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부(140)로 전달될 수 있다. The first
영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다. 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 조사되는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)의 불량에 의해 반사될 수 있다. 이 때, 불량 유형에 따라 제 1 영상에 포함되는 불량의 밝기, 제 2 영상에 포함되는 불량의 밝기 및 제 3 영상에 포함되는 불량의 밝기가 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(P)의 표면에 오염 또는 이물이 존재할 경우, 제 1 파장의 광(A) 및 제 2 파장의 광(B)은 오염 또는 이물에 의해 카메라로 반사될 수 있고, 제 1 영상과 제 2 영상의 오염 또는 이물이 존재하는 영역은 주변 영역에 비해 밝게 표시될 수 있다. 또한, 제 3 파장의 광(C)은 수직으로 조사되므로 오염 또는 이물에 부딪쳐 산란될 수 있다. 따라서, 카메라로 반사되는 광량이 감소하여 제 3 영상의 오염 또는 이물이 존재하는 영역은 주변 영역에 비해 어둡게 표시될 수 있다. 표면 오염 또는 표면 이물은 제 1 내지 제 3 영상에 촬영된 불량의 형태에 기초하여 구분할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염은 불량 발생 범위가 넓고, 경계가 모호할 수 있다. 표면 이물은 불량 발생 범위가 좁고, 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태를 가질 수 있다. 이와 같이, 영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 영상 분석부(140)에서 불량을 검출하는 방법은 도 2를 참조하여 자세히 설명하도록 한다.The
상술한 바와 같이, 도 1의 광학 검사 장치(100)는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)을 구비하고, 각각 다른 파장을 갖는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)을 표시 패널(P)로 동시에 조사할 수 있다. 이 때, 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)의 배치를 달리함으로써, 각각의 파장이 중첩되지 않고 표시 패널(P)로 조사될 수 있다. 광학 검사 장치(100)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함하는 카메라(130)를 구비할 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기들의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다. 이와 같이, 도 1의 광학 검사 장치(100)는 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들을 동시에 조사함으로써, 광학 검사 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 불량 유형을 검출하여 양품화 가능한 표시 패널(P)을 구분할 수 있게 되어, 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the
도 2는 도 1의 광학 검사 장치에서 검사하는 표시 패널을 나타내는 단면도이다. .2 is a cross-sectional view illustrating a display panel inspected by the optical inspection device of FIG. 1. .
도 2를 참조하면, 표시 패널(200)은 기판(220), 편광판(240), 접착 수지(260) 및 윈도우 부재(280)를 포함할 수 있다. 표시 패널(200)의 각각의 층에서 다양한 불량이 발생할 수 있다. 기판(220)에 편광판(240)이 합착되는 공정에서 기판(220)과 편광판(240) 사이에 이물이 삽입되는 편광판 이물 불량(242)이 발생할 수 있다. 편광판(240) 상에 접착 수지(260)가 형성되는 공정에서 접착 수지(260)가 불균일하게 도포되어 발생하는 접착 수지 기포 불량(262) 또는 편광판(240)과 접착 수지(260) 사이에 이물이 삽입되는 접착 수지 이물 불량(262) 발생할 수 있다. 또한, 접착 수지(260) 상에 합착되는 윈도우 부재(280)에는 윈도우 부재(280) 상부에 발생하는 표면 오염(282), 표면 이물(284), 표면 눌림(286) 및 표면 긁힘(288) 불량이 발생할 수 있다. 이러한 불량 유형을 검출하여 표시 패널(200)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 표면 이물(284) 불량을 갖는 표시 패널(200)은 표면의 이물을 제거하여 양품화할 수 있다. 또한, 불량 발생 위치를 검출하여 재작업 여부를 판단하고, 재작업 과정을 거침으로써, 불량을 갖는 표시 패널(200)을 양품화할 수 있다.Referring to FIG. 2, the
영상 분석부는 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 전달받을 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량의 유형을 분석할 수 있다.The image analysis unit generates a first image by light having a first wavelength passing through the first filter, a second image by light having a second wavelength passing through the second filter, and light having a third wavelength passing through the third filter. You can receive the third video. The image analysis unit may analyze the type of defect based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect.
표 1은 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기를 나타내는 표이다. 표 1을 참조하면, 표면 오염(282) 불량 및 표면 이물(284) 불량은 제 1 영상 및 제 2 영상에서 주변 영역에 의해 밝게 검출되고, 제 3 영상에서 주변 영역에 비해 어둡게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광과 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상 및 제 2 영상에서 표면 오염(282) 불량 또는 표면 이물(284) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 산란되므로, 주변 영역보다 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서, 표면 오염(282) 불량 또는 표면 이물(284) 불량은 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 표면 오염(282) 불량 및 표면 이물(284) 불량은 형태에 따라 다시 구분될 수 있다. 예를 들어, 표면 오염(282) 불량은 경계가 모호한 얼룩진 형태일 수 있고, 표면 이물(284) 불량은 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태일 수 있다.Table 1 is a table showing the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image. Referring to Table 1, the defect of the
표 1을 참조하면, 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출되며, 제 3 영상에서 어둡게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 표면 눌림(286) 영역 또는 표면 긁힘(288) 영역에서 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 산란되므로, 주변 영역보다 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서, 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 형태에 따라 다시 구분될 수 있다. 예를 들어, 표면 눌림(286) 불량은 경계가 모호한 면의 형태일 수 있고, 표면 긁힘(288) 불량은 날카로운 선의 형태일 수 있다.Referring to Table 1, defects in the surface pressing 286 and defects in the surface scratches 288 may be detected brighter than the surrounding area in the first image, black in the second image, and dark in the third image. Specifically, the light of the first wavelength irradiated while forming an angle of not less than 60 degrees and less than 90 degrees with the
표 1을 참조하면, 접착 수지 기포(262) 불량은 제 1 영상 및 제 3 영상에서 주변 영역에 비해 밝게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광과 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 접착 수지 기포(262)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상 및 제 3 영상에서 접착 수지 기포(262) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 기포(262)에서 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 접착 수지 기포(262) 불량은 검게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, the defect of the
표 1을 참조하면, 접착 수지 이물(264) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝거나 어둡게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출되면, 제 3 영상에서 밝게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 접착 수지 이물(264)에 부딪치는 제 1 파장의 광은 카메라 방향으로 반사되거나, 산란될 수 있다. 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 반사되거나 산란되는 제 1 파장의 광량은 접착 수지의 종류에 따라 다를 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 주변 영역보다 밝거나, 어둡게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 이물(264)에 부딪칠 경우, 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, a defect of the adhesive resin
표 1을 참조하면, 편광판 이물(242) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝거나 어둡게 검출되고, 제 2 영상 및 제 3 영상에서 검게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 편광판 이물(242)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 편광판 이물(242)에 부딪치는 제 1 파장의 광은 카메라 방향으로 반사되거나, 산란될 수 있다. 편광판 이물(242)에 부딪쳐 반사되거나 산란되는 제 1 파장의 광량은 편광판(240)의 종류에 따라 다를 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 주변 영역보다 밝거나, 어둡게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 편광판 이물(242)에 부딪칠 경우 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 편광판 이물(242)에 부딪칠 경우 산란될 수 있다. 이 때, 산란되는 제 3 파장의 광은 편광판(240)에 의해 진행 방향이 변경될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 검게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, a defect of the polarizing plate
상술한 바와 같이, 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 분석하여 표시 패널(200)의 불량 유형을 검출할 수 있다. 구체적으로, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 잇다. 검출된 불량 유형에 따라, 표시 패널(200)을 재작업 또는 양품화하여 표시 패널(200)의 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, a first image by light of a first wavelength passing through the first filter, a second image by light of a second wavelength passing through the second filter, and light of a third wavelength passing through the third filter A defect type of the
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도이다.3 is a flowchart illustrating an optical inspection method according to embodiments of the present invention.
도 3을 참조하면, 도 3의 광학 검사 방법은 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사(S120)하고, 카메라로 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 촬영(S140)하며, 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출(S160)할 수 있다.Referring to FIG. 3, in the optical inspection method of FIG. 3, light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength are simultaneously irradiated to the display panel (S120), and the first image and the second image are And a third image (S140), and a defect may be detected (S160) by analyzing the first image, the second image, and the third image.
구체적으로, 도 3의 광학 검사 방법은 표시 패널에 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사(S120)할 수 있다. 예를 들어, 제 1 파장의 광은 적색 광이고, 제 2 파장의 광은 녹색 광이며, 제 3 파장의 광은 청색 광일 수 있다. 제 1 파장의 광은 제 1 광원에서 조사될 수 있고, 제 2 파장의 광은 제 2 광원에서 조사될 수 있으며, 제 3 파장의 광은 제 3 광원에서 조사될 수 있다. 이 때, 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원은 각각 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 예를 들어 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원은 발광 다이오드 소자일 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 파장의 광은 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 파장의 광은 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 파장의 광은 표시 패널과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 예를 들어, 제 1 광원 및 제 2 광원은 돔 형태의 구조물에 의해 배치되어 제 1 파장의 광 및 제 2 파장의 광을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 광원은 반사 미러를 구비하여 제 3 파장의 광을 수직으로 조사할 수 있다. 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널로 조사되는 각도를 서로 다르게 함으로써, 제 1 내지 제 3 파장의 광들이 표시 패널에 조사될 때, 또는, 제 1 내지 제 3 파장의 광들이 표시 패널에서 반사되어 나갈 때, 각각의 파장이 중첩되는 것을 최소화할 수 있다.Specifically, the optical inspection method of FIG. 3 may simultaneously irradiate the display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength to the display panel (S120). For example, light of a first wavelength may be red light, light of a second wavelength may be green light, and light of a third wavelength may be blue light. Light of a first wavelength may be irradiated from a first light source, light of a second wavelength may be irradiated from a second light source, and light of a third wavelength may be irradiated from a third light source. In this case, the first light source, the second light source, and the third light source may be optical elements capable of emitting light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength, respectively. For example, the first light source, the second light source, and the third light source may be light emitting diode devices. In one embodiment, the light of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel. In another embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel. In another embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel. For example, the first light source and the second light source may be disposed by a dome-shaped structure to irradiate light of a first wavelength and light of a second wavelength. For example, the third light source may include a reflective mirror to vertically irradiate light having a third wavelength. When light of the first wavelength, the second wavelength, and the third wavelength are irradiated to the display panel at different angles, when light of the first to third wavelength is irradiated to the display panel, or When lights of the third wavelength are reflected from the display panel, overlapping of each wavelength can be minimized.
이어서, 도 4의 광학 검사 방법은 카메라로 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 촬영(S140)할 수 있다. 카메라는 제 1 필터, 제 2 필터, 제 3 필터, 제 1 전하 결합 소자, 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 전하 결합 소자를 포함할 수 있다. 제 1 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 1 파장의 광을 통과시키고, 제 2 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 2 파장의 광을 통과시키며, 제 3 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 3 파장의 광을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부로 전달될 수 있다.Subsequently, in the optical inspection method of FIG. 4, a first image, a second image, and a third image may be photographed with a camera (S140). The camera may include a first filter, a second filter, a third filter, a first charge-coupled element, a second charge-coupled element, and a third charge-coupled element. The first filter passes light of a first wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, the second filter passes light of a second wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, and the third filter passes Light of the third wavelength reflected from and incident to the camera may pass. The first charge-coupled element may be disposed to correspond to the first filter, the second charge-coupled element may be disposed to correspond to the second filter, and the third charge-coupled element may be disposed to correspond to the third filter. The first charge-coupled device may capture a first image by light of a first wavelength passing through the first filter, and the second charge-coupled device may capture a second image by light of a second wavelength passing through the second filter. The third charge-coupled device may capture a third image by light having a third wavelength passing through the third filter. The first image, the second image, and the third image may be transmitted to the image analysis unit.
마지막으로, 도 4의 광학 검사 방법은 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 조합하여 불량을 검출(S160)할 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원에서 조사되는 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광은 표시 패널의 불량에 의해 카메라 방향으로 반사될 수 있다. 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널의 불량에 의해 반사되어 카메라 방향으로 향하는 광량에 따라 불량 영역이 주변 영역 보다 밝거나 어둡게, 또는, 검게 나타날 수 있다. 구체적으로, 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널로 조사될 때, 표시 패널과 이루는 각도, 즉, 입사각이 각각 다르므로, 동일한 불량에 대해서 카메라로 반사되는 광의 양이 각각 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 그러나, 표시 패널에 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 산란되면서, 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 표면 이물 불량은 제 1 영상에서 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있고, 제 3 영상에서 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 또한, 동일한 각도로 조사되는 동일한 파장의 광에 대해서, 표시 패널의 불량 발생 위치마다 반사되는 광의 양이 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 그러나, 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 이물에 부딪치지 않고 통과할 수 있다. 따라서, 동일한 각도로 조사되는 제 2 파장의 광에 대해서, 표면 이물 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있고, 접착 수지 이물 불량은 검게 표시될 수 있다. 이와 같이, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합에 기초하여 불량의 유형을 검출할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기들의 조합이 동일한 경우, 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염 불량 및 표면 이물 불량은 제 1 영상 및 제 2 영상에서 주변 영역보다 밝게 표시되고, 제 3 영상에서 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 이 때, 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상의 불량 형태에 따라 표면 오염 불량 및 표면 이물 불량을 검출할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염 불량은 불량 발생 범위가 넓고 경계가 모호할 수 있고, 표면 이물 불량은 불량 발생 범위가 좁고 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태를 가질 수 있다 Finally, the optical inspection method of FIG. 4 may detect a defect by combining the first image, the second image, and the third image (S160). The image analysis unit receives the first image, the second image, and the third image, and the combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and The type of defect can be detected based on the shape. Light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength irradiated from the first light source, the second light source, and the third light source may be reflected toward the camera due to a defect in the display panel. Light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength may be reflected by a defect in the display panel and the defective area may appear brighter, darker, or blacker than the surrounding area according to the amount of light directed toward the camera. Specifically, when light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength are irradiated to the display panel, the angle formed with the display panel, that is, the incident angle, is different, so that the same defect is reflected to the camera. The amount of light can be different. For example, light having a first wavelength irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel may hit a foreign object on the surface of the display panel, and a large amount of light may be reflected by the camera. However, the light of the third wavelength irradiated perpendicularly to the display panel hits and scatters foreign objects on the surface of the display panel, so that a small amount of light may be reflected by the camera. Accordingly, the surface foreign material defect may be displayed brighter than the surrounding area in the first image and darker than the surrounding area in the third image. Also, for light of the same wavelength irradiated at the same angle, the amount of reflected light may be different for each defect location of the display panel. For example, light having a second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees to the display panel may hit a foreign object on the surface of the display panel, and a large amount of light may be reflected to the camera. However, the light of the second wavelength has a very small incidence angle so that it can pass without hitting the foreign material of the adhesive resin. Accordingly, with respect to the light of the second wavelength irradiated at the same angle, the surface foreign material defect may be displayed brighter than the surrounding area, and the adhesive resin foreign material defect may be displayed black. In this way, the type of defect may be detected based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image. When a combination of the brightnesses of the defects in the first image, the second image, and the third image is the same, the type of defect may be detected based on the type of the defect. For example, the surface contamination defect and the surface foreign matter defect may be displayed brighter than the surrounding area in the first image and the second image, and darker than the surrounding area in the third image. In this case, surface contamination defects and surface foreign matter defects may be detected according to defect types of the first image, second image, and third image. For example, surface contamination defects may have a wide range of defects and have an ambiguous boundary, and surface foreign matter defects may have a small particle or thread-like shape with a narrow defect generation range.
상술한 바와 같이, 도 3의 광학 검사 방법은 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사할 수 있다. 이 때, 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원 및 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원은 서로 다른 각도로 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 조사할 수 있도록 배치될 수 있다. 카메라는 표시 패널에서 반사되는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 표시 패널에서 반사되는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 표시 패널에서 반사되는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 이 때, 카메라는 제 1 필터, 제 2 필터, 제 3 필터, 제 1 전하 결합 소자, 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 전하 결합 소자를 포함할 수 있다. 제 1 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 1 파장의 광을 통과시키고, 제 2 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 2 파장의 광을 통과시키며, 제 3 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 3 파장의 광을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부로 전달되어 표시 패널의 불량 유형을 검출할 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 표시 패널의 불량 유형을 검출할 수 있다. 이와 같이, 도 1의 광학 검사 장치는 제 1 내지 제 3 파장의 광들을 동시에 조사함으로써, 검사 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 불량 유형을 검출하여 양품화 가능한 표시 패널을 구분할 수 있게 되어, 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the optical inspection method of FIG. 3 may simultaneously irradiate the display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength. In this case, the first light source that irradiates light of the first wavelength, the second light source that irradiates the light of the second wavelength, and the third light source that irradiates the light of the third wavelength are at different angles. It may be arranged to irradiate the light of the second wavelength and the light of the third wavelength. The camera displays a first image by light of a first wavelength reflected from the display panel, a second image by light of a second wavelength reflected from the display panel, and a third image by light of a third wavelength reflected from the display panel. You can shoot. In this case, the camera may include a first filter, a second filter, a third filter, a first charge coupling element, a second charge coupling element, and a third charge coupling element. The first filter passes light of a first wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, the second filter passes light of a second wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, and the third filter passes Light of the third wavelength reflected from and incident to the camera may pass. The first charge-coupled element may be disposed to correspond to the first filter, the second charge-coupled element may be disposed to correspond to the second filter, and the third charge-coupled element may be disposed to correspond to the third filter. The first image, the second image, and the third image may be transmitted to the image analysis unit to detect a defect type of the display panel. The image analyzer may detect a defect type of the display panel based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect. As described above, the optical inspection apparatus of FIG. 1 can shorten the inspection time by simultaneously irradiating the light of the first to third wavelengths. In addition, by detecting a defect type, it is possible to classify a display panel capable of producing good quality, thereby improving productivity.
본 발명은 표시 장치의 광학 검사에 적용될 수 있다. The present invention can be applied to optical inspection of a display device.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to exemplary embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the relevant technical field can variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that it can be modified and changed.
100: 광학 검사 장치
112: 제 1 광원 114: 제 2 광원
116: 제 3 광원 122: 제 1 필터
124: 제 2 필터 126: 제 3 필터
130: 카메라 132: 제 1 전하 결합 소자
134: 제 2 전하 결합 소자 136: 제 3 전하 결합 소자
140: 영상 분석부100: optical inspection device
112: first light source 114: second light source
116: third light source 122: first filter
124: second filter 126: third filter
130: camera 132: first charge coupling element
134: second charge-coupled element 136: third charge-coupled element
140: image analysis unit
Claims (17)
상기 표시 패널에 상기 제 1 파장과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원;
상기 표시 패널에 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원;
상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라; 및
상기 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 상기 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 상기 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 영상 분석부를 포함하고,
상기 제1 파장은 상기 제2 파장보다 크고, 상기 제2 파장은 상기 제3 파장보다 크며,
상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제2 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 크고, 상기 제3 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 큰 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.A first light source for irradiating light having a first wavelength onto the display panel;
A second light source for irradiating the display panel with light of a second wavelength having a wavelength different from that of the first wavelength;
A third light source for irradiating light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength to the display panel;
A first filter for passing light of the first wavelength reflected from the display panel, a second filter for passing light of the second wavelength reflected from the display panel, light of the third wavelength reflected from the display panel A third filter passing through, a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a third charge disposed to correspond to the third filter A camera including a coupling element; And
An image for detecting a defect in the display panel by combining a first image acquired from the first charge-coupled device, a second image acquired from the second charge-coupled device, and a third image acquired from the third charge-coupled device Including an analysis unit,
The first wavelength is greater than the second wavelength, the second wavelength is greater than the third wavelength,
An angle between the light of the first wavelength and the display panel is greater than an angle between the light of the second wavelength and the display panel, and an angle between the light of the third wavelength and the display panel is light of the first wavelength. And an angle formed by the display panel.
상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The method of claim 6,
An optical inspection device, characterized in that it further comprises a reflecting mirror for irradiating the light of the third wavelength.
상기 표시 패널에 대향하여 배치되는 카메라로 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영하는 단계; 및
상기 제 1 영상, 상기 제 2 영상 및 상기 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출하는 단계를 포함하고,
상기 제1 파장은 상기 제2 파장보다 크고, 상기 제2 파장은 상기 제3 파장보다 크며,
상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제2 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 크고, 상기 제3 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 큰 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Simultaneously irradiating a display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength having a wavelength different from the light of the first wavelength, and light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength ;
A camera disposed opposite the display panel, a first image by light of the first wavelength reflected from the display panel, a second image by light of the second wavelength reflected from the display panel, in the display panel Capturing a third image by the reflected light of the third wavelength; And
Analyzing the first image, the second image, and the third image to detect a defect,
The first wavelength is greater than the second wavelength, the second wavelength is greater than the third wavelength,
An angle between the light of the first wavelength and the display panel is greater than an angle between the light of the second wavelength and the display panel, and an angle between the light of the third wavelength and the display panel is light of the first wavelength. And an angle formed by the display panel.
상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The method of claim 9, wherein detecting the defect comprises:
Detecting the type of defect based on the combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect Optical inspection method comprising the step.
The method of claim 16, wherein the camera comprises a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a second charge-coupled element disposed to correspond to the third filter. 3 An optical inspection method further comprising a charge-coupled device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140015890A KR102207900B1 (en) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | Optical inspection apparatus and method of optical inspection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140015890A KR102207900B1 (en) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | Optical inspection apparatus and method of optical inspection |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150094948A KR20150094948A (en) | 2015-08-20 |
| KR102207900B1 true KR102207900B1 (en) | 2021-02-01 |
Family
ID=54058110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140015890A KR102207900B1 (en) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | Optical inspection apparatus and method of optical inspection |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102207900B1 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107484422A (en) | 2016-04-08 | 2017-12-15 | 新日铁住金株式会社 | The surface state monitoring arrangement of metallic object and the surface state monitoring method of metallic object |
| WO2018144437A1 (en) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | Oakland University | 3d digital image correlation using single, color camera pseudo-stereo system |
| CN110398849B (en) * | 2019-07-31 | 2024-03-22 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | Optical detection system for liquid crystal display screen |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013195378A (en) | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Stanley Electric Co Ltd | Liquid crystal inspection device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100723763B1 (en) * | 2000-04-22 | 2007-05-30 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | Apparatus for inspecting fluorescent material in plasma display |
| KR101017300B1 (en) * | 2008-10-07 | 2011-02-28 | (주)펨트론 | Apparatus for measurement of surface profile |
| KR101108672B1 (en) * | 2009-05-12 | 2012-01-25 | (주)제이티 | Vision inspection apparatus and vision inspection method therefor |
-
2014
- 2014-02-12 KR KR1020140015890A patent/KR102207900B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013195378A (en) | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Stanley Electric Co Ltd | Liquid crystal inspection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150094948A (en) | 2015-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI408360B (en) | Apparatus for detecting particles on a glass surface and a method thereof | |
| TWI491871B (en) | Illumination system for use in optical inspection, illumination system-based inspection system, and illumination system-based inspection method | |
| TWI553307B (en) | Transparent substrate for visual inspection device and appearance inspection method | |
| CN107796825B (en) | Device detection method | |
| JP2012208122A (en) | Light-emitting element inspection device and inspection method | |
| TW201616123A (en) | System and method for defect detection | |
| TWI495867B (en) | Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method | |
| US7800568B2 (en) | Apparatus and method for inspecting liquid crystal display | |
| CN105486700B (en) | System for detecting transparent object defects and using method thereof | |
| CN104102029A (en) | Liquid Crystal Panel Detection Device | |
| TWI647465B (en) | Optical inspection system | |
| KR20150086633A (en) | Apparatus of inspecting optical film and method of inspecting the same | |
| KR102207900B1 (en) | Optical inspection apparatus and method of optical inspection | |
| TWI647446B (en) | Flexible display panel inspection jig and inspection device using the same | |
| TWI502186B (en) | A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method | |
| KR101678169B1 (en) | Upper Surface Foreign Matter Detection Device of Ultra-Thin Transparent Substrate | |
| JP2020085854A (en) | Visual inspection method and visual inspection device | |
| JP2011180135A (en) | Defect inspection method of liquid crystal panel with polarizer laminated | |
| TW201621298A (en) | System and method for inspection of sheet-shaped products and polarizing plate for use in such inspection | |
| JP2011163846A (en) | Method of inspecting defect in liquid crystal panel with polarization plate stuck thereon | |
| KR102678467B1 (en) | Optical inspection device and method of optical inspection | |
| KR20140031687A (en) | A optical examination system and method of substrate surface | |
| KR102246219B1 (en) | An apparatus for infrared inspection of an electronic component and method thereof | |
| KR102063680B1 (en) | Display Panel Inspection Apparatus and Its Method | |
| KR20160032576A (en) | System and Method for Analyzing Image Using High-Speed Camera and Infrared Optical System |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |