KR102207869B1 - Apparatus for exchanging a collet and a hood - Google Patents

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Abstract

콜릿 및 후드 교체 장치는 다이 본딩 공정에서 다이를 웨이퍼로부터 이젝트하기 위한 이젝트 후드와, 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치로, 복수의 콜릿들을 수납하기 위한 콜릿 수납부와, 복수의 이젝트 후드들을 수납하기 위한 후드 수납부와, 상기 콜릿 수납부와 픽업 헤드 사이를 이동하면서 상기 픽업 헤드에 장착된 콜릿을 분리하여 상기 콜릿 수납부로 전달하고, 상기 콜릿 수납부의 콜릿을 상기 픽업 헤드에 장착하는 제1 로봇 및 상기 후드 수납부와 이젝트 바디 사이를 이동하면서 상기 이젝트 바디로부터 상기 후드를 분리하여 상기 후드 수납부로 전달하고 상기 후드 수납부의 후드를 상기 이젝트 바디에 장착하는 제2 로봇을 포함한다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정의 중단없이 상기 콜릿 및 후드를 공급 및 회수할 수 있다. The collet and hood replacement device includes an eject hood for ejecting a die from a wafer in a die bonding process, and a collet replacement device for bonding the die onto a substrate, and a collet receiving unit for accommodating a plurality of collets, A hood accommodating unit for accommodating a plurality of ejection hoods and a collet mounted on the pickup head while moving between the collet accommodating unit and the pickup head are separated and transferred to the collet accommodating unit, and the collet of the collet accommodating unit A first robot mounted on the pickup head and a first robot that separates the hood from the eject body and transfers the hood to the hood storage unit while moving between the hood storage unit and the eject body, and attaches the hood of the hood storage unit to the eject body. Includes 2 robots. Accordingly, it is possible to supply and recover the collet and the hood without interrupting the die bonding process.

Figure R1020140106866
Figure R1020140106866

Description

콜릿 및 후드 교체 장치{Apparatus for exchanging a collet and a hood}Collet and hood replacement device {Apparatus for exchanging a collet and a hood}

본 발명은 콜릿 및 후드 교체 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다이 본딩 공정에서 다이를 웨이퍼로부터 이젝트하기 위한 이젝트 후드와, 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 콜릿 및 후드 교체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a collet and hood replacement apparatus, and more particularly, an eject hood for ejecting a die from a wafer in a die bonding process, and a collet and hood replacement apparatus for replacing a collet for bonding the die onto a substrate. It is about.

일반적으로, 다이 본딩 공정은 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위한 공정으로, 상기 다이 본딩 공정에서 웨이퍼로부터 상기 다이들을 이젝트하기 위한 이젝터 및 상기 다이를 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. In general, the die bonding process is a process for bonding individualized dies to a substrate through a sawing process.In the die bonding process, an ejector for ejecting the dies from a wafer and a pickup unit for picking up and transferring the dies may be used. have.

상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.The pickup unit may include a collet for picking up the die using the vacuum, a pickup head to which the collet is coupled, and a driving unit for moving the pickup head.

상기 콜릿은 장시간 사용으로 인한 마모 또는 다른 사이즈의 다이를 흡착하기 위해 교체가 요구될 수 있다. 종래 기술에 따르면, 상기 콜릿은 교체를 위해 패널 상에 형성된 콜릿 수용홈에 삽입되어 적재되고, 상기 픽업 헤드에 결합된 콜릿은 상기 패널 상에 구비된 걸림 부재를 이용하여 제거하고, 상기 패널 상의 상기 콜릿은 상기 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합된다. 상기 기술은 한국등록특허 제10-1340831호에 개시되어 있다. The collet may be worn out due to prolonged use or may require replacement to adsorb a die of a different size. According to the prior art, the collet is inserted and loaded into a collet receiving groove formed on a panel for replacement, and the collet coupled to the pickup head is removed using a locking member provided on the panel, and the The collet is coupled to the pickup head using magnetic force. The technology is disclosed in Korean Patent Registration No. 10-1340831.

상기 패널 상에 적재되는 콜릿을 모두 사용되면, 상기 다이 본딩 공정을 중단한 후, 상기 새로운 콜릿들을 상기 패널로 공급한다. 또한, 상기 다이 본딩 공정이 중단한 상태로 상기 제거된 콜릿을 회수할 수 있다. 상기 새로운 콜릿들의 공급과 교체된 콜릿들의 회수를 위해 상기 다이 본딩 공정이 자주 중단되므로, 상기 다이 본딩 공정의 생산성이 저하될 수 있다. When all of the collets loaded on the panel are used, the die bonding process is stopped and the new collets are supplied to the panel. In addition, the removed collet may be recovered while the die bonding process is stopped. Since the die bonding process is often stopped in order to supply the new collets and recover the replaced collets, the productivity of the die bonding process may decrease.

한편, 상기 이젝터는 상기 웨이퍼의 하부에서 상기 다이의 위치에 따라 이동하는 이젝트 바디와 상기 이젝트 바디의 단부에 구비되어 상기 다이들을 이젝트하는 후드를 포함한다. On the other hand, the ejector includes an ejector body that moves according to a position of the die under the wafer, and a hood provided at an end of the ejection body to eject the dies.

상기 후드는 다른 사이즈의 다이를 이젝트하기 위해 교체가 요구될 수 있다. 상기 후드의 교체는 작업자에 의해 수동으로 이루어지므로, 작업자에 의한 수동 교체에는 상당한 시간이 소요될 수 있다. 또한, 상기 후드의 교체시에도 상기 다이 본딩 공정이 중단되므로, 상기 다이 본딩 공정의 생산성이 더욱 저하될 수 있다. The hood may require replacement to eject dies of different sizes. Since the hood is manually replaced by an operator, manual replacement by the operator may take a considerable amount of time. In addition, since the die bonding process is stopped even when the hood is replaced, productivity of the die bonding process may further decrease.

한국등록특허 제10-1340831호 (2013.12.05. 등록)Korean Patent Registration No. 10-1340831 (registered on Dec. 05, 2013)

본 발명은 다이 본딩 공정의 중단없이 콜릿 및 후드를 교체할 수 있는 콜릿 및 후드 교체 장치를 제공한다. The present invention provides a collet and hood replacement apparatus capable of replacing a collet and a hood without interrupting the die bonding process.

본 발명에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치는 다이 본딩 공정에서 다이를 웨이퍼로부터 이젝트하기 위한 이젝트 후드와, 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치에 있어서, 복수의 콜릿들을 수납하기 위한 콜릿 수납부와, 복수의 이젝트 후드들을 수납하기 위한 후드 수납부와, 상기 콜릿 수납부와 픽업 헤드 사이를 이동하면서 상기 픽업 헤드에 장착된 콜릿을 분리하여 상기 콜릿 수납부로 전달하고, 상기 콜릿 수납부의 콜릿을 상기 픽업 헤드에 장착하는 제1 로봇 및 상기 후드 수납부와 이젝트 바디 사이를 이동하면서 상기 이젝트 바디로부터 상기 후드를 분리하여 상기 후드 수납부로 전달하고 상기 후드 수납부의 후드를 상기 이젝트 바디에 장착하는 제2 로봇을 포함한다. The collet and hood replacement apparatus according to the present invention includes an eject hood for ejecting a die from a wafer in a die bonding process, and an apparatus for replacing a collet for bonding the die onto a substrate, wherein the apparatus for receiving a plurality of collets A collet receiving unit, a hood receiving unit for receiving a plurality of eject hoods, and a collet mounted on the pickup head while moving between the collet receiving unit and the pickup head are separated and transferred to the collet receiving unit, and the number of collets The first robot that mounts the collet of payment on the pickup head and the hood storage unit and the eject body while moving between the ejection body and the hood is transferred to the hood storage unit, and the hood of the hood storage unit is ejected. It includes a second robot mounted on the body.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 외부에서 상기 콜릿 및 후드의 공급과 상기 분리된 콜릿 및 후드의 배출이 가능하도록 상기 콜릿 수납부 및 상기 후드 수납부는 상기 외부까지 이동 가능하도록 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the collet storage unit and the hood storage unit may be provided to be movable to the outside so that the collet and hood can be supplied from the outside and the separated collet and hood can be discharged.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 픽업 헤드에 장착될 콜릿들은 공급 스태커에 적재된 상태로 전달되며, 상기 픽업 헤드로부터 분리된 콜릿들은 회수 스태커에 적재된 상태로 전달될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, collets to be mounted on the pickup head may be delivered in a state loaded on a supply stacker, and collets separated from the pickup head may be delivered in a state loaded on a collection stacker.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 로봇이 상기 공급 스태커 및 상기 회수 스태커를 공통으로 파지하도록 상기 공급 스태커 및 상기 회수 스태커는 서로 동일한 형상을 가질 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the supply stacker and the collection stacker may have the same shape so that the first robot holds the supply stacker and the collection stacker in common.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급 스태커는, 상기 콜릿을 적재된 상태로 수용하기 위한 몸체와, 상기 몸체의 내부 저면에 구비되며, 상기 몸체에 수용된 콜릿을 탄성적으로 지지하기 위한 지지부재 및 상기 몸체의 상단 양측에 구비되며, 상기 지지부재의 탄성력에 의해 상기 콜릿이 상기 몸체로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 자성체인 상기 콜릿의 상부 패드로 자력을 가하여 상기 콜릿들을 고정하는 영구 자석들을 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the supply stacker includes a body for receiving the collet in a loaded state, and a support member provided on an inner bottom of the body and elastically supporting the collet accommodated in the body And permanent magnets provided on both sides of the upper end of the body, and applying a magnetic force to the upper pad of the collet, which is a magnetic material, to prevent the collet from being separated from the body by the elastic force of the support member to fix the collets. I can.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 회수 스태커는, 상기 콜릿을 수용하기 위한 몸체 및 상기 몸체의 상단 양측에 구비되며, 상기 픽업 헤드의 상하 이동은 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the collection stacker is provided on both sides of a body for accommodating the collet and an upper end of the body, and allows the pickup head to move up and down, but restricts the upward movement of the collet to the pickup It may include a locking member for separating the collet from the pickup head while the head is moved upward.

본 발명에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치는 제1 로봇 및 제2 로봇을 이용하여 콜릿 및 후드를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 콜릿 및 후드 교체를 신속하고 정확하게 수행할 수 있어 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. The collet and hood replacement apparatus according to the present invention can automatically replace the collet and the hood using the first robot and the second robot. Accordingly, it is possible to quickly and accurately replace the collet and the hood, thereby improving the productivity of the die bonding process.

또한, 상기 콜릿 및 후드 교체 장치는 상기 콜릿들을 동일한 형상을 갖는 공급 스태커 및 회수 스태커에 적재하여 전달한다. 따라서, 상기 제1 로봇으로 상기 공급 스태커 및 상기 회수 스태커를 공통으로 파지할 수 있다. 그러므로, 상기 콜릿 및 후드 교체 장치에 소요되는 비용을 절감할 수 있다. In addition, the collet and hood replacement device loads and transfers the collets to a supply stacker and a recovery stacker having the same shape. Accordingly, it is possible to hold the supply stacker and the collection stacker in common by the first robot. Therefore, it is possible to reduce the cost required for the collet and hood replacement device.

그리고, 상기 콜릿 및 후드 교체 장치는 콜릿 수납부 및 후드 수납부가 외부까지 이동 가능하다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정의 중단없이 상기 콜릿과 상기 후드를 상기 콜릿 수납부 및 후드 수납부에 공급하거나 회수된 콜릿 및 후드를 외부로 배출할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. In addition, the collet and hood replacement device may move the collet storage unit and the hood storage unit to the outside. Accordingly, it is possible to supply the collet and the hood to the collet storage unit and the hood storage unit, or to discharge the recovered collet and hood to the outside without stopping the die bonding process. Accordingly, the die bonding process can be completely automated, and productivity of the die bonding process can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치를 설명하기 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛의 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 공급 스태커를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 회수 스태커를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic perspective view illustrating a collet and hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view for explaining the pickup unit shown in FIG. 1.
3 is a bottom view for explaining the pickup head of the pickup unit shown in FIG. 2.
4 is a schematic cross-sectional view for explaining the supply stacker shown in FIG. 1.
5 is a schematic cross-sectional view for explaining the recovery stacker shown in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a collet and hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치를 설명하기 개략적인 사시도이다. 1 is a schematic perspective view illustrating a collet and hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 콜릿 및 후드 교체 장치(100)는 다이 본딩 공정이 이루어지는 챔버(10) 내에 구비되어 다이싱 공정을 통해 개별화된 후 다이싱 테이프 상에 부착되어 제공되는 웨이퍼(미도시)로부터 다이(미도시)를 이젝트하기 위한 후드(20) 및 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿(70)을 교체한다. 콜릿 및 후드 교체 장치(100)는 콜릿 수납부(110), 공급 스태커(120), 회수 스태커(130), 후드 수납부(140), 제1 로봇(150) 및 제2 로봇(160)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the collet and hood replacement apparatus 100 is provided in the chamber 10 in which the die bonding process is performed, individualized through a dicing process, and then attached to a dicing tape from a wafer (not shown). The hood 20 for ejecting the die (not shown) and the collet 70 for bonding the die to the substrate are replaced. The collet and hood replacement device 100 includes a collet storage unit 110, a supply stacker 120, a collection stacker 130, a hood storage unit 140, a first robot 150 and a second robot 160 do.

챔버(10) 내에는 상기 다이의 본딩을 위해 후드(20), 이젝트 바디(30), 웨이퍼 홀더(40), 스테이지(50), 픽업 유닛(60) 및 다이 스테이지(90)가 구비된다. In the chamber 10, a hood 20, an eject body 30, a wafer holder 40, a stage 50, a pickup unit 60, and a die stage 90 are provided for bonding of the die.

후드(20) 및 이젝트 바디(30)는 상기 웨이퍼의 하부에서 상기 다이를 상승시켜 이젝트한다. 후드(20)는 대략 원기둥 형상을 가지며, 이젝트 바디(30)에 결합된다. 후드(20)는 상기 다이의 사이즈에 따라 교체될 수 있다. The hood 20 and the eject body 30 lift the die from the lower portion of the wafer to eject. The hood 20 has a substantially cylindrical shape, and is coupled to the eject body 30. The hood 20 may be replaced according to the size of the die.

웨이퍼 홀더(40)는 상기 웨이퍼의 가장자리를 지지하여 후드(20) 및 이젝트 바디(30)가 상기 다이를 안정적으로 이젝트하도록 한다. The wafer holder 40 supports the edge of the wafer so that the hood 20 and the eject body 30 stably eject the die.

스테이지(50)는 후드(20), 이젝트 바디(30) 및 웨이퍼 홀더(40)를 지지한다. 스테이지(50)는 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 스테이지(50)의 이동에 따라 후드(20), 이젝트 바디(30) 및 웨이퍼 홀더(40)의 위치를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. The stage 50 supports the hood 20, the eject body 30 and the wafer holder 40. The stage 50 is provided to be movable along the Y-axis direction. According to the movement of the stage 50, the positions of the hood 20, the eject body 30, and the wafer holder 40 may be moved in the Y-axis direction.

후드(20) 및 이젝트 바디(30)는 스테이지(50) 상에서 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 후드(20) 및 이젝트 바디(30)가 상기 웨이퍼의 여러 다이를 이젝트할 수 있다. The hood 20 and the eject body 30 are provided to be movable on the stage 50 in the X-axis and Y-axis directions. Accordingly, the hood 20 and the eject body 30 can eject several dies of the wafer.

픽업 유닛(60)은 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하여 이송하고, 상기 다이를 기판 상에 본딩한다. The pickup unit 60 is provided to be movable along the X-axis, Y-axis and Z-axis directions, picks up and transfers the die from the wafer, and bonds the die onto the substrate.

도 2는 도 1에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛의 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating the pickup unit illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is a bottom view illustrating a pickup head of the pickup unit illustrated in FIG. 2.

도 2 및 도 3을 참조하면, 픽업 유닛(60)은 픽업 헤드(80)와 픽업 헤드(80)에 부착된 콜릿(70)을 포함할 수 있으며, 콜릿(70)은 자기력을 이용하여 픽업 헤드(80)에 장착될 수 있다. 특히, 콜릿(70)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(72)이 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(80)에는 흡착홀들(72)에 진공을 제공하기 위한 공압 배관(82)이 구비될 수 있다.2 and 3, the pickup unit 60 may include a pickup head 80 and a collet 70 attached to the pickup head 80, and the collet 70 is a pickup head using magnetic force. Can be mounted on 80. In particular, the collet 70 may be provided with a plurality of adsorption holes 72 for adsorbing the die, and the pickup head 80 has a pneumatic pipe 82 for providing vacuum to the adsorption holes 72 Can be provided.

콜릿(70)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(74)와 연질의 하부 패드(76)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(72)은 상부 패드(74)와 하부 패드(76)를 관통하여 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(80)의 공압 배관(82)과 연통될 수 있다.The collet 70 may have a substantially rectangular shape and may include a hard upper pad 74 and a soft lower pad 76. The adsorption holes 72 for adsorbing the die may be provided through the upper pad 74 and the lower pad 76, and may communicate with the pneumatic pipe 82 of the pickup head 80.

일 예로서, 픽업 헤드(80)는 콜릿(70)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 픽업 유닛(60)을 이송하기 위한 이송부(미도시)와 연결되는 구동축을 포함할 수 있다. 상기 구동축으로는 중공축이 사용될 수 있으며, 공압 배관(82)으로서 기능할 수 있다. 그러나, 픽업 헤드(80)와 콜릿(70)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.As an example, the pickup head 80 may have a substantially rectangular shape so that the collet 70 can be mounted, and may include a drive shaft connected to a transfer unit (not shown) for transferring the pickup unit 60. A hollow shaft may be used as the drive shaft, and may function as a pneumatic pipe 82. However, the shape of the pickup head 80 and the collet 70 is not limited to a square, and various shapes such as a circle may be used depending on the case, and thus the scope of the present invention will not be limited thereto.

한편, 픽업 헤드(80)와 콜릿(70)은 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 픽업 헤드(80)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 헤드용 영구자석(84)이 구비될 수 있으며, 콜릿(70)의 상부 패드(74)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 픽업 헤드(80)의 하부면 가장자리 부위에는 콜릿(70)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(86)이 배치될 수 있다.Meanwhile, the pickup head 80 and the collet 70 may be coupled to each other by magnetic force. As an example, the pickup head 80 may be provided with a permanent magnet 84 for the head to provide the magnetic force, and the upper pad 74 of the collet 70 may be formed of a magnetic material. On the other hand, guide members 86 for guiding the mounting position of the collet 70 may be disposed at an edge of the lower surface of the pickup head 80.

픽업 유닛(60)은 적어도 한 쌍이 구비될 수 있다. 픽업 유닛(60)이 한 쌍 구비되는 경우, 하나의 픽업 유닛(60)은 상기 웨이퍼의 다이를 픽업하여 이송하고, 다른 하나의 픽업 유닛(60)은 상기 픽업된 다이를 상기 기판에 본딩한다. At least one pair of pickup units 60 may be provided. When a pair of pick-up units 60 are provided, one pick-up unit 60 picks up and transfers the die of the wafer, and the other pick-up unit 60 bonds the picked up die to the substrate.

다이 스테이지(90)는 한 쌍의 픽업 유닛(60) 사이에 구비되며, 하나의 픽업 유닛(60)에서 픽업된 다이를 지지하여 다른 하나의 픽업 유닛(60)이 상기 다이를 픽업할 수 있도록 한다. 다이 스테이지(90)로 인해 한 쌍의 픽업 유닛(60)이 상기 다이의 픽업과 상기 다이의 본딩을 나누어 수행할 수 있다. 그러므로, 상기 다이 본딩 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 다이 스테이지(90)는 고정된 위치를 유지하는 것이 바람직하나, 콜릿(70)의 교체를 위해 상기 위치를 회피할 수 있다. 예를 들면, 콜릿(70)은 Y축 방향으로 회피할 수 있다. The die stage 90 is provided between the pair of pickup units 60 and supports the die picked up from one pickup unit 60 so that the other pickup unit 60 can pick up the die. . Due to the die stage 90, a pair of pick-up units 60 can divide and perform the pick-up of the die and the bonding of the die. Therefore, it is possible to improve the efficiency of the die bonding process. The die stage 90 preferably maintains a fixed position, but the position can be avoided for replacement of the collet 70. For example, the collet 70 can be avoided in the Y-axis direction.

다시 도 1을 참조하면, 콜릿 수납부(110)는 픽업 헤드(80)에 장착할 복수의 콜릿(70)들을 수납한다. 이때, 콜릿(70)들은 공급 스태커(120)에 적재된 상태로 콜릿 수납부(110)에 수납된다. 또한, 콜릿 수납부(120)에는 픽업 헤드(80)로부터 분리되는 콜릿(70)을 적재하기 위한 회수 스태커(130)가 빈 상태로 수납될 수 있다. Referring back to FIG. 1, the collet receiving unit 110 accommodates a plurality of collets 70 to be mounted on the pickup head 80. At this time, the collets 70 are accommodated in the collet storage unit 110 while being loaded on the supply stacker 120. In addition, a collection stacker 130 for loading the collet 70 separated from the pickup head 80 may be accommodated in the collet storage unit 120 in an empty state.

공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)는 서로 동일한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)는 대략 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이때, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)의 단면적은 서로 동일하다. 하지만, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)의 길이는 서로 같을 수도 있고 다를 수도 있다. The supply stacker 120 and the recovery stacker 130 may have the same shape. For example, the supply stacker 120 and the recovery stacker 130 may have a substantially cylindrical shape. At this time, the cross-sectional areas of the supply stacker 120 and the recovery stacker 130 are the same. However, the lengths of the supply stacker 120 and the recovery stacker 130 may be the same or different.

공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)가 동일한 형상과 동일한 단면적을 가지므로, 제1 로봇(150)이 공급 스태커(120) 뿐만 아니라 회수 스태커(130)를 파지할 수 있다. 하나의 로봇(150)으로 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 파지할 수 있으므로, 추가적인 로봇이 불필요하다. Since the supply stacker 120 and the collection stacker 130 have the same shape and the same cross-sectional area, the first robot 150 can grip the supply stacker 120 as well as the collection stacker 130. Since one robot 150 can hold the supply stacker 120 and the collection stacker 130, an additional robot is unnecessary.

한편, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)는 후드(20)와 동일한 형상 및 동일한 단면적을 가질 수 있다. 이 경우, 제1 로봇(150)으로 후드(20)를 파지할 수 있다. 따라서, 제2 로봇(160)의 이상 발생시 제1 로봇(150)으로 후드(20)를 이송할 수도 있다.Meanwhile, the supply stacker 120 and the recovery stacker 130 may have the same shape and the same cross-sectional area as the hood 20. In this case, the hood 20 may be held by the first robot 150. Accordingly, when an abnormality occurs in the second robot 160, the hood 20 may be transferred to the first robot 150.

콜릿 수납부(110)는 대략 플레이트 형상을 갖는다. 콜릿 수납부(110)는 Y축 방향으로 연장되는 것이 바람직하나 X축 방향으로 연장될 수도 있다. 콜릿 수납부(110)는 상부면에 다수의 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 수납한다. The collet receiving part 110 has a substantially plate shape. The collet receiving unit 110 is preferably extended in the Y-axis direction, but may also extend in the X-axis direction. The collet receiving unit 110 accommodates a plurality of supply stackers 120 and collection stackers 130 on an upper surface.

콜릿 수납부(110)는 상부면에 다수의 수용 가이드(112)들을 갖는다. 수용 가이드(112)들은 내부에 수용홈을 가지며, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 수용 및 지지하여 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)가 안정적으로 수납되도록 한다. The collet receiving unit 110 has a plurality of receiving guides 112 on its upper surface. The receiving guides 112 have a receiving groove therein, and accommodate and support the supply stacker 120 and the collection stacker 130 so that the supply stacker 120 and the collection stacker 130 are stably accommodated.

콜릿 수납부(110)는 픽업 유닛(60)과 동일한 개수로 구비될 수 있다. 예를 들면, 픽업 유닛(60)이 한 쌍으로 구비되는 경우, 콜릿 수납부(110)도 한 쌍이 구비될 수 있다. The collet receiving unit 110 may be provided in the same number as the pickup unit 60. For example, when the pickup unit 60 is provided as a pair, the collet receiving unit 110 may also be provided with a pair.

도 4는 도 1에 도시된 공급 스태커를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view for explaining the supply stacker shown in FIG. 1.

도 4를 참조하면, 공급 스태커(120)는 몸체(122), 지지부재(124) 및 영구 자석(126)들을 포함한다. 4, the supply stacker 120 includes a body 122, a support member 124, and permanent magnets 126.

몸체(122)는 상부가 개방된 중공 형태를 가지며, 콜릿(70)들을 내부에 적재된 상태로 수용한다. 몸체(122)는 대략 원기둥 형태 또는 다각 기둥 형태를 가질 수 있다. The body 122 has a hollow shape with an open top, and accommodates the collets 70 in a state loaded therein. The body 122 may have a substantially cylindrical shape or a polygonal column shape.

몸체(122)의 상부에는 적재된 콜릿들(70) 중 최상단의 콜릿(70)을 감싸도록 배치된 복수의 돌출부들(123)이 구비된다. 예를 들면, 최상단 콜릿(70)의 측면들과 마주하는 4개의 돌출부들(123)이 몸체(122)의 측벽들의 상부에 각각 구비될 수 있다. A plurality of protrusions 123 arranged to surround the collet 70 at the top of the loaded collets 70 are provided on the upper part of the body 122. For example, four protrusions 123 facing the side surfaces of the uppermost collet 70 may be provided on each of the sidewalls of the body 122.

또한, 픽업 헤드(80)의 측면 부위들에는 돌출부들(123)이 삽입되는 리세스들(88)이 구비될 수 있다.In addition, recesses 88 into which the protrusions 123 are inserted may be provided at side portions of the pickup head 80.

몸체(122)의 내부에 적재된 콜릿들(70) 중 최상단의 콜릿(70)은 돌출부들(123) 사이에 위치될 수 있으며, 픽업 헤드(80)는 최상단의 콜릿(70)과 결합될 수 있다.Among the collets 70 loaded in the body 122, the top collet 70 may be located between the protrusions 123, and the pickup head 80 may be combined with the top collet 70. have.

지지부재(124)는 몸체(122)의 내부 저면에 구비되며, 몸체(122)에 수용된 콜릿(70)들을 탄성적으로 지지한다. The support member 124 is provided on the inner bottom of the body 122 and elastically supports the collets 70 accommodated in the body 122.

지지부재(124)는 플레이트(125) 및 코일 스프링(126)을 포함한다. The support member 124 includes a plate 125 and a coil spring 126.

플레이트(125)는 몸체(122)의 내부에 수평 상태로 배치된다. 코일 스프링(126)은 몸체(122)의 저면과 플레이트(125) 사이에 배치되며, 플레이트(125)를 탄성적으로 지지한다The plate 125 is disposed in a horizontal state inside the body 122. The coil spring 126 is disposed between the bottom surface of the body 122 and the plate 125, and elastically supports the plate 125

플레이트(125)는 몸체(122)에 수용된 콜릿(70)들을 지지한다. 따라서, 플레이트(125)는 콜릿(70)의 하부 패드(76)와 접촉한다. 플레이트(125)는 저마찰 계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 PEEK 수지, 테프론 수지 등을 들 수 있다. 플레이트(125)의 마찰 계수가 낮으므로, 하부 패드(76)의 손상을 방지할 수 있다. The plate 125 supports the collets 70 accommodated in the body 122. Thus, the plate 125 contacts the lower pad 76 of the collet 70. The plate 125 may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include PEEK resin, Teflon resin, and the like. Since the coefficient of friction of the plate 125 is low, damage to the lower pad 76 can be prevented.

코일 스프링(126)은 콜릿(70)이 하강하여 플레이트(125)와 접촉할 때 콜릿(70)에 가해지는 충격을 완충한다. 따라서, 콜릿(70)의 손상을 방지할 수 있다. The coil spring 126 buffers an impact applied to the collet 70 when the collet 70 descends and contacts the plate 125. Accordingly, damage to the collet 70 can be prevented.

또한, 코일 스프링(126)의 복원력으로 인해 플레이트(125)가 상승하고, 이에 따라 플레이트(125)가 몸체(122)에 수용된 콜릿(70)을 밀어올린다. Further, due to the restoring force of the coil spring 126, the plate 125 rises, and accordingly, the plate 125 pushes up the collet 70 accommodated in the body 122.

몸체(122)의 상단, 구체적으로 돌출부들(123)에는 콜릿(70)을 고정하기 위한 영구 자석(126)이 구비된다. 일 예로, 콜릿(70)이 사각형 형태를 갖는 경우, 영구 자석(126)들은 몸체(122)의 내측 마주보는 양 측면에 배치되거나 몸체(122) 내측의 네 측면에 배치될 수 있다. A permanent magnet 126 for fixing the collet 70 is provided on the upper end of the body 122, specifically the protrusions 123. For example, when the collet 70 has a quadrangular shape, the permanent magnets 126 may be disposed on both sides of the body 122 that face inside, or may be disposed on the four sides of the body 122.

영구 자석(126)들은 자성체인 콜릿(70)의 상부 패드(74)를 자력으로 고정할 수 있다. 지지부재(124)의 탄성력에 의해 몸체(122) 내부의 콜릿(70)들이 밀어 올려지더라도 영구 자석(126)들이 최상단의 콜릿(70)을 고정할 수 있다. 따라서, 지지부재(124)의 탄성력에 의해 콜릿(70)이 몸체(122)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The permanent magnets 126 may magnetically fix the upper pad 74 of the collet 70 which is magnetic. Even if the collets 70 inside the body 122 are pushed up by the elastic force of the support member 124, the permanent magnets 126 may fix the collet 70 at the top end. Therefore, it is possible to prevent the collet 70 from being separated from the body 122 by the elastic force of the support member 124.

또한, 최상단의 콜릿(70)은 영구 자석(126)들의 자기력에 의해 부유된 상태를 유지할 수 있다. 돌출부들(123)은 상기 최상단 콜릿(70)의 측면들로부터 소정 간격 이격되도록 구성될 수 있다.In addition, the uppermost collet 70 may maintain a floating state by the magnetic force of the permanent magnets 126. The protrusions 123 may be configured to be spaced apart from side surfaces of the uppermost collet 70 by a predetermined distance.

한편, 공급 스태커(120)가 픽업 헤드(80)의 하부에 위치된 상태에서 픽업 헤드(80)가 하방으로 이동하거나 공급 스태커(120)가 상방으로 이동함으로써 최상단의 콜릿(70)이 픽업 헤드(80)의 하부면에 장착될 수 있다. 이때, 새로운 콜릿(70)의 상부면은 픽업 헤드(80)의 가장자리 부위에 구비된 가이드 부재들(86)에 의해 픽업 헤드(80)의 하부면으로 안내될 수 있으며, 새로운 콜릿(70)의 용이한 장착을 위하여 헤드용 영구자석(84)은 영구자석(126)보다 큰 자기력을 갖는 것이 바람직하다.On the other hand, the pickup head 80 moves downward while the supply stacker 120 is positioned under the pickup head 80 or the supply stacker 120 moves upward, so that the collet 70 at the top is moved to the pickup head ( 80) can be mounted on the lower surface. At this time, the upper surface of the new collet 70 may be guided to the lower surface of the pickup head 80 by guide members 86 provided at the edge of the pickup head 80, and For easy mounting, the permanent magnet 84 for the head preferably has a greater magnetic force than the permanent magnet 126.

도 5는 도 1에 도시된 회수 스태커를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view for explaining the recovery stacker shown in FIG. 1.

도 5를 참조하면, 회수 스태커(130)는 몸체(132) 및 걸림 부재들(134)을 포함한다. Referring to FIG. 5, the recovery stacker 130 includes a body 132 and locking members 134.

몸체(132)는 콜릿(70)들을 내부에 적재된 상태로 수용할 수 있다. 몸체(132)는 대략 원기둥 형태를 갖는다. 몸체(132)의 외측면에는 콜릿 수납부(110)의 슬롯(114)들과의 고정을 위한 홈 또는 걸림턱이 형성된다. The body 132 may accommodate the collets 70 loaded therein. The body 132 has an approximately cylindrical shape. The outer surface of the body 132 is formed with a groove or a locking jaw for fixing with the slots 114 of the collet receiving portion 110.

걸림 부재들(134)은 몸체(132)의 상단 양측에 구비된다. 걸림 부재(134)들은 픽업 헤드(80)의 상하 이동은 허용하되 콜릿(70)의 상방 이동을 제한하여 픽업 헤드(80)가 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)을 픽업 헤드(80)로부터 분리할 수 있다. The locking members 134 are provided on both sides of the upper end of the body 132. The engaging members 134 allow the pickup head 80 to move up and down, but limit the upward movement of the collet 70 to separate the collet 70 from the pickup head 80 while the pickup head 80 is moved upward. can do.

구체적으로, 픽업 헤드(80)와 콜릿(70)은 콜릿(70)의 제거를 위하여 회수 스태커(130)의 내부를 향해 하방으로 이동될 수 있으며, 이후 다시 상방으로 이동될 수 있다.Specifically, the pickup head 80 and the collet 70 may be moved downward toward the inside of the collection stacker 130 to remove the collet 70, and then may be moved upward again.

이때, 걸림 부재들(134)은 픽업 헤드(80)의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비될 수 있다. 특히, 걸림 부재들(134)은 픽업 헤드(80)의 하방 및 상방 이동을 허용할 수 있으나, 콜릿(70)에 대하여는 하방 이동을 허용하되 상방 이동은 제한할 수 있다. 결과적으로, 걸림 부재들(134)은 픽업 헤드(80)가 회수 스태커(130)의 내부에서 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)을 픽업 헤드(80)로부터 분리시킬 수 있다.In this case, the locking members 134 may be provided on both sides of the vertical movement path of the pickup head 80. In particular, the engaging members 134 may allow downward and upward movement of the pickup head 80, but may allow downward movement with respect to the collet 70, but may limit upward movement. As a result, the locking members 134 may separate the collet 70 from the pickup head 80 while the pickup head 80 is moved upward from the inside of the collection stacker 130.

일 예로서, 개구(112)의 양측 내측면들에는 스프링(미도시), 예를 들면, 코일 스프링 또는 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 걸림 부재들(134)이 장착될 수 있다. 걸림 부재들(134)은 콜릿(70)의 하방 이동이 가능하도록 하방으로 회전될 수 있으나, 콜릿(70)이 하방으로 통과된 후 상기 토션 스프링에 의해 초기 위치로 복귀하여 콜릿(70)의 상방 이동을 제한할 수 있다. 상기와는 다르게, 걸림 부재(110)는 스프링을 이용하여 회수 스태커(130)의 내측면으로부터 진퇴 가능하게 설치될 수도 있다.As an example, locking members 134 may be mounted on inner surfaces of both sides of the opening 112 so as to be rotated downward by a spring (not shown), for example, a coil spring or a torsion spring. The locking members 134 may be rotated downward to enable the collet 70 to move downward, but after the collet 70 passes downward, it returns to the initial position by the torsion spring and the upper part of the collet 70 You can restrict movement. Unlike the above, the locking member 110 may be installed to be able to advance and retreat from the inner surface of the recovery stacker 130 using a spring.

결과적으로, 픽업 헤드(80)가 회수 스태커(130)의 내부에서 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)은 걸림 부재들(134)에 의해 걸림으로써 픽업 헤드(80)로부터 분리될 수 있다. 이때, 도 3에 도시된 바와 같이 픽업 헤드(80)의 양쪽 측면에는 각각 리세스(88)가 구비될 수 있으며 픽업 헤드(80)의 수직 방향 이동은 리세스들(88)에 의해 걸림 부재들(134)과의 간섭이 방지될 수 있다.As a result, the collet 70 can be separated from the pickup head 80 by being caught by the locking members 134 while the pickup head 80 is moved upward in the collection stacker 130. At this time, as shown in FIG. 3, recesses 88 may be provided on both sides of the pickup head 80, respectively, and vertical movement of the pickup head 80 is performed by the recesses 88. Interference with (134) can be prevented.

한편, 상술한 바와 같이 걸림 부재들(134)에 의해 콜릿(70)의 상방 이동이 차단됨으로써 콜릿(70)이 픽업 헤드(80)로부터 분리될 수 있으나, 경우에 따라서 콜릿(70)이 픽업 헤드(80)로부터 완전히 분리되지 않고 픽업 헤드(80)에 매달린 상태로 상승될 수도 있다. 즉, 콜릿(70)의 상부면이 픽업 헤드(80)의 하부면으로부터 분리된 후 곧바로 콜릿(70)의 측면이 픽업 헤드(80)의 하부면에 자기력에 의해 재부착되는 경우가 발생될 수 있다.Meanwhile, the collet 70 may be separated from the pickup head 80 by blocking the upward movement of the collet 70 by the locking members 134 as described above, but in some cases, the collet 70 may be It may be raised in a state suspended from the pickup head 80 without being completely separated from the 80. That is, there may be a case where the side of the collet 70 is reattached to the lower surface of the pickup head 80 by magnetic force immediately after the upper surface of the collet 70 is separated from the lower surface of the pickup head 80. have.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 픽업 헤드(80)가 상승하는 동안 공압 배관(82)을 통하여 콜릿(70)으로 에어가 분사될 수 있다. 즉 공압 배관(82)으로부터 분사된 에어는 콜릿(70)의 상부면에 하방으로 힘을 가하게 되며 이에 의해 콜릿(70)의 분리 동작이 보조될 수 있다.In order to solve the above problems, air may be injected into the collet 70 through the pneumatic pipe 82 while the pickup head 80 is ascending. That is, the air injected from the pneumatic pipe 82 exerts a downward force on the upper surface of the collet 70, thereby assisting the separation operation of the collet 70.

다시 도 1을 참조하면, 후드 수납부(140)는 이젝트 바디(30)에 장착할 후드(20)들을 수납한다. 후드 수납부(140)는 콜릿 수납부(110)와 유사한 형태를 갖는다.Referring back to FIG. 1, the hood storage unit 140 accommodates the hoods 20 to be mounted on the eject body 30. The hood receiving unit 140 has a shape similar to the collet receiving unit 110.

구체적으로, 후드 수납부(140)는 대략 플레이트 형상을 가지며, Y축 방향 또는 X축 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 후드 수납부(140)는 상부면에 후드(20)를 지지하기 위한 다수의 수용 가이드(142)들을 갖는다. 따라서, 후드 수납부(140)는 수용 가이드(142)들을 이용하여 교체할 후드(20) 및 이젝트 바디(30)로부터 분리된 후드(20)를 안정적으로 수납할 수 있다. Specifically, the hood accommodating part 140 has a substantially plate shape and may extend in the Y-axis direction or the X-axis direction. In addition, the hood receiving portion 140 has a plurality of receiving guides 142 for supporting the hood 20 on the upper surface. Accordingly, the hood receiving unit 140 can stably accommodate the hood 20 to be replaced and the hood 20 separated from the eject body 30 by using the accommodation guides 142.

콜릿 수납부(110) 및 후드 수납부(140)는 각각 챔버(10)의 내부에서 외부까지 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 챔버(10)의 외부에서 콜릿 수납부(110) 및 후드 수납부(140)로 콜릿(70) 및 후드(20)를 공급하거나 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)를 배출할 수 있다.The collet receiving unit 110 and the hood receiving unit 140 are provided to be movable from the inside of the chamber 10 to the outside, respectively. Accordingly, the collet 70 and the hood 20 can be supplied from the outside of the chamber 10 to the collet storage unit 110 and the hood storage unit 140 or the separated collet 70 and the hood 20 can be discharged. have.

구체적으로, 콜릿 수납부(110)는 Y축 방향을 따라 챔버(10) 내부에서 외부까지 이동할 수 있다. 콜릿 수납부(110)가 챔버(10)의 외부에 위치한 상태에서 콜릿(70)들이 적재된 공급 스태커(120)와 빈 회수 스태커(130)를 공급할 수 있다. 또한, 콜릿 수납부(110)가 챔버(10)의 외부에 위치한 상태에서 분리된 콜릿(70)들이 적재된 회수 스태커(120)를 배출할 수 있다. Specifically, the collet receiving part 110 may move from the inside of the chamber 10 to the outside along the Y-axis direction. In a state in which the collet receiving unit 110 is located outside the chamber 10, the supply stacker 120 in which the collets 70 are loaded and the empty collection stacker 130 may be supplied. In addition, while the collet receiving unit 110 is located outside the chamber 10, the collection stacker 120 in which the separated collets 70 are loaded may be discharged.

후드 수납부(140)는 Y축 방향을 따라 챔버(10) 내부에서 외부까지 이동할 수 있다. 후드 수납부(140)가 챔버(10)의 외부에 위치한 상태에서 후드(20)를 후드 수납부(140)로 공급하거나, 분리된 후드(20)를 후드 수납부(140)로부터 배출할 수 있다. The hood accommodating part 140 may move from the inside of the chamber 10 to the outside along the Y-axis direction. The hood 20 may be supplied to the hood receiving unit 140 while the hood receiving unit 140 is located outside the chamber 10, or the separated hood 20 may be discharged from the hood receiving unit 140. .

챔버(10)의 외부에서 콜릿(70) 및 후드(20)를 공급하거나 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)를 배출하므로, 콜릿(70) 및 후드(20)의 공급 및 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)의 배출할 때 상기 다이 본딩 공정을 중단할 필요가 없다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. Since the collet 70 and the hood 20 are supplied from the outside of the chamber 10 or the separated collet 70 and the hood 20 are discharged, the collet 70 and the hood 20 are supplied and the separated collet ( 70) And there is no need to stop the die bonding process when the hood 20 is discharged. Therefore, it is possible to improve the productivity of the die bonding process.

한편, 콜릿 수납부(110)는 X축 방향 및 Y축 방향으로도 이동하도록 구비될 수 있다. 따라서, 콜릿 수납부(110)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜 제1 로봇(150)에 대해 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)의 위치를 조절할 수 있다. 그러므로, 제1 로봇(150)이 콜릿 수납부(110)의 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 안정적으로 픽업하거나, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 콜릿 수납부(110)에 안정적으로 안착시킬 수 있다. Meanwhile, the collet receiving unit 110 may be provided to move in the X-axis direction and the Y-axis direction as well. Accordingly, by moving the collet receiving unit 110 in the X-axis direction and the Y-axis direction, the positions of the supply stacker 120 and the collection stacker 130 with respect to the first robot 150 can be adjusted. Therefore, the first robot 150 stably picks up the supply stacker 120 and the collection stacker 130 of the collet storage unit 110, or transfers the supply stacker 120 and the collection stacker 130 to the collet storage unit 110 ) Can be stably settled.

또한, 후드 수납부(140)는 X축 방향 및 Y축 방향으로도 이동하도록 구비될 수 있다. 따라서, 후드 수납부(140)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜 제2 로봇(160)에 대해 후드(20)의 위치를 조절할 수 있다. 그러므로, 제2 로봇(160)이 후드 수납부(140)의 후드(20)를 안정적으로 픽업하거나, 교체된 후드(20)를 후드 수납부(140)에 안정적으로 안착시킬 수 있다. In addition, the hood accommodating part 140 may be provided to move in the X-axis direction and the Y-axis direction as well. Accordingly, by moving the hood accommodating part 140 in the X-axis direction and the Y-axis direction, the position of the hood 20 with respect to the second robot 160 may be adjusted. Therefore, the second robot 160 may stably pick up the hood 20 of the hood receiving unit 140 or stably seat the replaced hood 20 in the hood receiving unit 140.

제1 로봇(150)은 Y축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 공급 스태커(120) 및 회수 스태커(130)를 파지하기 위한 그리퍼를 갖는다.The first robot 150 is provided to be movable in the Y-axis and Z-axis directions, and has a gripper for gripping the supply stacker 120 and the collection stacker 130.

제1 로봇(150)은 픽업 헤드(80)로부터 콜릿(70)을 분리하여 콜릿 수납부(110)로 전달한다. The first robot 150 separates the collet 70 from the pickup head 80 and transfers it to the collet receiving unit 110.

구체적으로, 제1 로봇(150)이 Y축 방향으로 이동하여 콜릿 수납부(110)로부터 빈 상태의 회수 스태커(130)를 파지한다. 회수 스태커(130)를 파지한 상태에서 제1 로봇(150)은 Y축 방향으로 이동하여 회수 스태커(130)를 콜릿 교체 위치에 위치시킨다. Specifically, the first robot 150 moves in the Y-axis direction to hold the empty collection stacker 130 from the collet receiving unit 110. While holding the collection stacker 130, the first robot 150 moves in the Y-axis direction to position the collection stacker 130 at the collet replacement position.

상기 콜릿 교체 위치는 다이 스테이지(90)의 위치일 수 있다. 이때, 제1 로봇(150)과의 충돌을 방지하기 위해 다이 스테이지(90)가 다른 위치로 이동할 수 있다. The collet replacement position may be a position of the die stage 90. In this case, the die stage 90 may move to a different position to prevent collision with the first robot 150.

제1 로봇(150)의 그리퍼에 파지된 회수 스태커(130)가 Y축 방향의 이동만으로 상기 다이 스테이지(90)의 위치인 콜릿 교체 위치로 이동하기 위해서 제1 로봇(150)의 그리퍼와 다이 스테이지(90)는 동일한 Y축 상에 위치할 수 있다. The gripper and die stage of the first robot 150 in order to move the recovery stacker 130 gripped by the gripper of the first robot 150 to the collet replacement position, which is the position of the die stage 90 only by moving in the Y-axis direction. 90 can be located on the same Y axis.

회수 스태커(130)가 상기 콜릿 교체 위치에 위치하고, 픽업 유닛(60)이 회수 스태커(130)의 상방에 위치한 상태에서 회수 스태커(130)와 픽업 유닛(60)을 Z축 방향을 따라 상대 운동시켜 픽업 헤드(80)로부터 콜릿(70)을 분리하여 회수 스태커(130)에 적재한다. With the collection stacker 130 positioned at the collet replacement position and the pickup unit 60 positioned above the collection stacker 130, the collection stacker 130 and the pickup unit 60 are relatively moved along the Z-axis direction. The collet 70 is separated from the pickup head 80 and loaded onto the collection stacker 130.

예를 들면, 제1 로봇(150)을 Z축 방향으로 상승시킨 후 하강시키거나, 픽업 유닛(60)을 하강시킨 후 상승시킴으로써 콜릿(70)이 회수 스태커(130)의 걸림 부재(134)들에 걸려 픽업 헤드(80)로부터 분리된다.For example, by raising the first robot 150 in the Z-axis direction and then lowering it, or by lowering the pickup unit 60 and then raising it, the collet 70 is prevented by the locking members 134 of the recovery stacker 130. It is caught and separated from the pickup head 80.

다이 스테이지(90)가 복수인 경우, 상기 콜릿 교체 위치도 복수이므로, 제1 로봇(150)도 다이 스테이지(90)와 동일한 개수만큼 구비될 수 있다. 이 경우, 스테이지(50) 상에 구비된 복수의 제1 로봇(150)들이 스테이지(50)에 의해 한 번에 상기 콜릿 교체 위치들로 각각 이동할 수 있다. 또한, 상기 각 콜릿 교체 위치에서 콜릿(70)의 분리가 동시에 이루어질 수 있다.When there are a plurality of die stages 90, the collet replacement positions are also plural, and thus the first robot 150 may be provided as many times as the die stage 90. In this case, the plurality of first robots 150 provided on the stage 50 may each move to the collet replacement positions at a time by the stage 50. Further, the collet 70 may be separated at the same time at each collet replacement position.

콜릿(70)의 분리가 완료되면, 제1 로봇(150)은 Y축 방향으로 이동하여 분리된 콜릿(70)들이 적재된 회수 스태커(130)를 콜릿 수납부(110)로 전달한다. When the separation of the collet 70 is completed, the first robot 150 moves in the Y-axis direction and transfers the collection stacker 130 loaded with the separated collets 70 to the collet storage unit 110.

또한, 제1 로봇(150)은 콜릿 수납부(110)의 콜릿(70)을 픽업 헤드(80)에 장착한다. In addition, the first robot 150 mounts the collet 70 of the collet receiving unit 110 on the pickup head 80.

구체적으로, 제1 로봇(150)은 분리된 콜릿(70)들이 적재된 회수 스태커(130)를 콜릿 수납부(110)로 전달하기 위해 이동한 상태에서 콜릿(70)들이 적재된 공급 스태커(120)를 상기 그리퍼로 파지한다. 제1 로봇(150)은 Y축 방향으로 이동하여 공급 스태커(120)를 상기 콜릿 교체 위치에 위치시킨다. Specifically, the first robot 150 is a supply stacker 120 loaded with collets 70 while moving to transfer the collection stacker 130 loaded with the separated collets 70 to the collet receiving unit 110. ) Is gripped with the gripper. The first robot 150 moves in the Y-axis direction to position the supply stacker 120 at the collet replacement position.

공급 스태커(120)가 상기 콜릿 교체 위치에 위치하고, 픽업 헤드(80)가 공급 스태커(120)의 상방에 위치한 상태에서 공급 스태커(120)와 픽업 헤드(80)를 Z축 방향을 따라 상대 운동시켜 픽업 헤드(80)에 콜릿(70)을 장착한다. With the supply stacker 120 positioned at the collet replacement position and the pickup head 80 positioned above the supply stacker 120, the supply stacker 120 and the pickup head 80 are moved relative to each other along the Z-axis direction. The collet 70 is mounted on the pickup head 80.

예를 들면, 제1 로봇(150)을 Z축 방향으로 상승시킨 후 하강시키거나, 픽업 헤드(80)를 하강시킨 후 상승시킴으로써 헤드용 영구자석(84)의 자력으로 픽업 헤드(80)에 콜릿(70)이 장착된다. For example, the first robot 150 is raised in the Z-axis direction and then lowered, or the pickup head 80 is lowered and raised to collet the pickup head 80 with the magnetic force of the permanent magnet 84 for the head. 70 is mounted.

다이 스테이지(90)가 복수인 경우, 상기 콜릿 교체 위치도 복수이므로, 제1 로봇(150)도 다이 스테이지(90)와 동일한 개수만큼 구비될 수 있다. 이 경우, 스테이지(50) 상에 구비된 복수의 제1 로봇(150)들이 스테이지(50)에 의해 한 번에 상기 콜릿 교체 위치들로 각각 이동할 수 있다. 또한, 상기 각 콜릿 교체 위치에서 콜릿(70)의 장착이 동시에 이루어질 수 있다.When there are a plurality of die stages 90, the collet replacement positions are also plural, and thus the first robot 150 may be provided as many times as the die stage 90. In this case, the plurality of first robots 150 provided on the stage 50 may each move to the collet replacement positions at a time by the stage 50. In addition, the collet 70 may be installed at the same time at each collet replacement position.

콜릿(70)의 장착이 완료되면, 제1 로봇(150)은 Y축 방향으로 이동하여 빈 공급 스태커(120)를 콜릿 수납부(110)로 전달한다. When the collet 70 is mounted, the first robot 150 moves in the Y-axis direction to transfer the empty supply stacker 120 to the collet receiving unit 110.

제2 로봇(160)은 X축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 후드(20)를 파지하기 위한 그리퍼를 갖는다. The second robot 160 is provided to be movable in the X-axis and Z-axis directions, and has a gripper for gripping the hood 20.

제2 로봇(160)은 이젝트 바디(30)로부터 후드(20)를 분리하여 후드 수납부(140)로 전달한다. The second robot 160 separates the hood 20 from the eject body 30 and transfers it to the hood storage unit 140.

구체적으로, 제2 로봇(160)이 X축 방향으로 이동하여 이젝트 바디(30)의 상방에 위치한다. 다음으로, 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 하강하여 이젝트 바디(30)에 결합된 후드(20)를 그리퍼로 파지한다. 상기 그리퍼로 후드(20)를 파지한 상태에서 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 상승함으로써 후드(20)가 이젝트 바디(30)로부터 분리된다. 제2 로봇(160)은 다시 X축 방향으로 이동하여 후드 수납부(140)의 상방에 위치하다. 이후 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 하강한 후 상기 그리퍼를 개방하여분리된 후드(20)를 후드 수납부(140)에 전달한다. 다음으로 제2 로봇(160)은 Z축을 따라 상승한다. Specifically, the second robot 160 moves in the X-axis direction and is positioned above the eject body 30. Next, the second robot 160 descends along the Z-axis and grips the hood 20 coupled to the eject body 30 with a gripper. The hood 20 is separated from the eject body 30 by the second robot 160 ascending along the Z axis while the hood 20 is held by the gripper. The second robot 160 moves in the X-axis direction again and is positioned above the hood accommodating part 140. Thereafter, after the second robot 160 descends along the Z axis, the gripper is opened and the separated hood 20 is transferred to the hood receiving unit 140. Next, the second robot 160 ascends along the Z axis.

또한, 제2 로봇(160)은 후드 수납부(140)의 후드(20)를 이젝트 바디(30)에 장착한다.In addition, the second robot 160 mounts the hood 20 of the hood accommodating part 140 to the eject body 30.

구체적으로, 제2 로봇(160)이 분리된 후드(20)를 후드 수납부(140)에 전달하고 상승한 상태에서 후드 수납부(140)가 Y축을 따라 이동하여 후드 수납부(140)의 후드를 제2 로봇(160)의 그리퍼 하방에 위치시킨다. 이 상태에서 제2 로봇(160)은 Z축을 따라 하강하여 그리퍼로 후드 수납부(140)의 후드(20)를 파지한다. 후드(20)를 파지한 상태에서 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 상승한 수, X축 방향으로 이동하여 이젝트 바디(30)의 상방에 위치한다. 이후, 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 하강하여 이젝트 바디(30)에 후드(20)를 장착한다. 상기 그리퍼의 고정을 해제한 상태에서 제2 로봇(160)이 Z축을 따라 상승한다.Specifically, the hood 20 from which the second robot 160 is separated is transferred to the hood storage unit 140 and in an elevated state, the hood storage unit 140 moves along the Y-axis to open the hood of the hood storage unit 140. It is positioned under the gripper of the second robot 160. In this state, the second robot 160 descends along the Z axis and grips the hood 20 of the hood accommodating part 140 with a gripper. While holding the hood 20, the second robot 160 is positioned above the eject body 30 by moving in the direction of the X-axis and the number ascending along the Z-axis. Thereafter, the second robot 160 descends along the Z-axis to mount the hood 20 on the eject body 30. In a state in which the gripper is released, the second robot 160 rises along the Z axis.

콜릿 및 후드 교체 장치(100)는 상기 다이 본딩 공정의 중단없이 콜릿(70) 및 후드(20)를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. The collet and hood replacement apparatus 100 may automatically replace the collet 70 and the hood 20 without interrupting the die bonding process. Accordingly, the die bonding process can be completely automated, and productivity of the die bonding process can be improved.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치는 콜릿과 후드를 자동으로 교체할 수 있으며, 다이 본딩 공정의 중단없이 상기 콜릿과 상기 후드를 콜릿 수납부 및 후드 수납부로 공급하거나 회수부로부터 상기 콜릿 수납부 및 후드 수납부로부터 상기 콜릿 및 후드를 회수할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, the collet and hood replacement apparatus according to the present invention can automatically replace the collet and the hood, and supply the collet and the hood to the collet storage unit and the hood storage unit without interrupting the die bonding process, or The collet and hood may be recovered from the collet storage unit and the hood storage unit. Accordingly, the die bonding process can be completely automated, and productivity of the die bonding process can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

100 : 콜릿 및 후드 교체 장치 110 : 콜릿 수납부
120 : 공급 스태커 130 : 회수 스태커
140 : 후드 수납부 150 : 제1 로봇
160 : 제2 로봇 10 : 챔버
20 : 후드 30 : 이젝트 바디
40 : 웨이퍼 홀더 50 : 스테이지
60 : 픽업 유닛 70 : 콜릿
80 : 픽업 헤드 90 : 다이 스테이지100: collet and hood replacement device 110: collet storage unit
120: supply stacker 130: recovery stacker
140: hood storage unit 150: first robot
160: second robot 10: chamber
20: hood 30: eject body
40: wafer holder 50: stage
60: pickup unit 70: collet
80: pickup head 90: die stage

Claims (6)

다이 본딩 공정에서 다이를 웨이퍼로부터 이젝트하기 위한 이젝트 후드와, 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치에 있어서,
복수의 콜릿들을 수납하기 위한 콜릿 수납부;
복수의 이젝트 후드들을 수납하기 위한 후드 수납부;
상기 콜릿 수납부와 픽업 헤드 사이를 이동하면서 상기 픽업 헤드에 장착된 콜릿을 분리하여 상기 콜릿 수납부로 전달하고, 상기 콜릿 수납부의 콜릿을 상기 픽업 헤드에 장착하는 제1 로봇; 및
상기 후드 수납부와 이젝트 바디 사이를 이동하면서 상기 이젝트 바디로부터 상기 후드를 분리하여 상기 후드 수납부로 전달하고 상기 후드 수납부의 후드를 상기 이젝트 바디에 장착하는 제2 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.An apparatus for replacing an eject hood for ejecting a die from a wafer in a die bonding process, and a collet for bonding the die onto a substrate,
A collet storage unit for receiving a plurality of collets;
A hood accommodating unit for accommodating a plurality of eject hoods;
A first robot that separates the collet mounted on the pickup head while moving between the collet storage unit and the pickup head, transfers the collet to the collet storage unit, and mounts the collet of the collet storage unit on the pickup head; And
And a second robot that separates the hood from the eject body while moving between the hood accommodating unit and the eject body, transfers the hood to the hood accommodating unit, and mounts the hood of the hood accommodating unit to the eject body. Collet and hood replacement device. 제1항에 있어서, 외부에서 상기 콜릿 및 후드의 공급과 상기 분리된 콜릿 및 후드의 배출이 가능하도록 상기 콜릿 수납부 및 상기 후드 수납부는 상기 외부까지 이동 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치. The collet and hood according to claim 1, wherein the collet receiving unit and the hood receiving unit are provided to be movable to the outside so that the collet and the hood can be supplied from the outside and the separated collet and the hood can be discharged. Replacement device. 제1항에 있어서, 상기 픽업 헤드에 장착될 콜릿들은 공급 스태커에 적재된 상태로 전달되며, 상기 픽업 헤드로부터 분리된 콜릿들은 회수 스태커에 적재된 상태로 전달되는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.The collet and hood replacement device according to claim 1, wherein the collets to be mounted on the pickup head are delivered in a state loaded on a supply stacker, and the collets separated from the pickup head are delivered in a state loaded on a recovery stacker. . 제3항에 있어서, 상기 제1 로봇이 상기 공급 스태커 및 상기 회수 스태커를 공통으로 파지하도록 상기 공급 스태커 및 상기 회수 스태커는 서로 동일한 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.The collet and hood replacement apparatus according to claim 3, wherein the supply stacker and the collection stacker have the same shape as each other so that the first robot holds the supply stacker and the recovery stacker in common. 제3항에 있어서, 상기 공급 스태커는,
상기 콜릿을 적재된 상태로 수용하기 위한 몸체;
상기 몸체의 내부 저면에 구비되며, 상기 몸체에 수용된 콜릿을 탄성적으로 지지하기 위한 지지부재; 및
상기 몸체의 상단 양측에 구비되며, 상기 지지부재의 탄성력에 의해 상기 콜릿이 상기 몸체로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 자성체인 상기 콜릿의 상부 패드로 자력을 가하여 상기 콜릿들을 고정하는 영구 자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.The method of claim 3, wherein the supply stacker,
A body for receiving the collet in a loaded state;
A support member provided on the inner bottom of the body and elastically supporting the collet accommodated in the body; And
It includes permanent magnets provided on both sides of the upper end of the body and applying a magnetic force to the upper pad of the collet, which is a magnetic material, to prevent the collet from being separated from the body by the elastic force of the support member to fix the collets. Collet and hood replacement device characterized by. 제3항에 있어서, 상기 회수 스태커는,
상기 콜릿을 수용하기 위한 몸체; 및
상기 몸체의 상단 양측에 구비되며, 상기 픽업 헤드의 상하 이동은 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.The method of claim 3, wherein the recovery stacker,
A body for receiving the collet; And
It is provided on both sides of the upper end of the body, and allows the pickup head to move up and down, but restricts the upward movement of the collet, and includes a locking member for separating the collet from the pickup head while the pickup head is moved upward. Collet and hood replacement device, characterized in that.
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